JP2005121959A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 少なくとも２つの面を有する被描画体を、所定の位置に保持する被描画体保持ユニットと、
   前記被描画体の２つの面に設けられた露光領域に光を照射するための光源と、
   前記光源から照射された光を主走査方向に走査させる光走査ユニットと、
   前記光走査ユニットにより走査された光が、前記被描画体に照射される位置を確認する光路確認手段と、
   前記被描画体への光の照射位置を調整する光路調整手段と
   を備え、前記被描画体の２つの面の副走査方向の照射位置を一致させて同時に露光することが可能であることを特徴とする両面露光装置。
2. 前記被描画体保持ユニットが、前記露光領域を露出しつつ、前記光源から照射される光の光路に対して前記被描画体の全面が垂直になるように前記被描画体を保持することを特徴とする請求項１に記載の両面露光装置。
3. 前記被描画体保持ユニットが複数設けられ、前記被描画体保持ユニットの全てが独立に相対移動して、前記被描画体を一定の張力で保持することを特徴とする請求項２に記載の両面露光装置。
4. 前記被描画体保持ユニットが、前記副走査方向に沿って往復動自在であることを特徴とする請求項２に記載の両面露光装置。
5. 前記被描画体保持ユニットが、前記被描画体の両端部に接する複数の保持部材を有することを特徴とする請求項２に記載の両面露光装置。
6. 前記保持部材の位置が、前記被描画体の大きさに応じて調整可能であることを特徴とする請求項５に記載の両面露光装置。
7. 前記保持部材が、ロボットハンドにより構成されることを特徴とする請求項５に記載の両面露光装置。
8. 前記被描画体保持ユニットが、前記被描画体を保持する張力を一定に保つための張力調整機構をさらに有することを特徴とする請求項２に記載の両面露光装置。
9. 前記被描画体表面を保持しつつ、前記被描画体を前記被描画体保持ユニットに供給する被描画体供給ユニットをさらに有することを特徴とする請求項１に記載の両面露光装置。
10. 前記被描画体供給ユニットが、前記被描画体表面に接する接触部材を有することを特徴とする請求項９に記載の両面露光装置。
11. 前記接触部材の位置が、前記被描画体の大きさに応じて調整可能であることを特徴とする請求項１０に記載の両面露光装置。
12. 前記接触部材が、多孔質素材から成形された吸着板であり、前記吸着板の内部を減圧することにより前記被描画体を保持することを特徴とする請求項１０に記載の両面露光装置。
13. 前記吸着板の内部を部分的に減圧するため、前記吸着板が分室構造であることを特徴とする請求項１２に記載の両面露光装置。
14. 前記光源を移動させる光源移動ユニットをさらに有し、
    前記光源が多数の変調素子により形成され、前記光源と前記光源移動ユニットとを含む投影光源ユニットが、走査光を照射することを特徴とする請求項１に記載の両面露光装置。
15. 前記光路確認手段により、前記被描画体の２つの面に設けられた前記露光領域における副走査方向の光の照射位置が同時に確認されることを特徴とする請求項１に記載の両面露光装置。