JP2005144484A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. レーザ光源と、
   被加工物を保持する保持部と、
   前記保持部に保持された被加工物の被加工部に前記レーザ光源からのレーザ光を照射するレーザ照射部材と、
   前記レーザ照射部材と前記被加工物とを相対的に移動させる相対移動機構と、
   前記レーザ照射部材と前記被加工物の被加工部との間の距離を調整する距離調整機構とを備え、
   前記レーザ照射部材の照射側の端部は薄板状であることを特徴とするレーザ加工装置。
2. レーザ光源と、
   被加工物を保持する保持部と、
   前記保持部に保持された被加工物の被加工部に前記レーザ光源からのレーザ光を照射するレーザ照射部材と、
   前記レーザ照射部材と前記被加工物とを相対的に移動させる相対移動機構と、
   前記レーザ照射部材と前記被加工物の被加工部との間の距離を調整する距離調整機構とを備え、
   前記レーザ照射部材は、少なくとも１つの側板と、該側板に固定される導波材とを備え、
   前記レーザ照射部材の内部を通過するレーザ光は、前記導波材と該導波材の外部空間との界面において前記レーザ照射部材の厚さ方向に全反射しながら進行することを特徴とするレーザ加工装置。
3. レーザ光源と、
   被加工物を保持する保持部と、
   前記保持部に保持された被加工物の被加工部に前記レーザ光源からのレーザ光を照射するレーザ照射部材と、
   前記レーザ照射部材と前記被加工物とを相対的に移動させる相対移動機構と、
   前記レーザ照射部材と前記被加工物の被加工部との間の距離を調整する距離調整機構とを備え、
   前記レーザ照射部材は、少なくとも１つの側板と、該側板に固定される導波材とを備え、
   前記導波材の表面に流体を存在させることを特徴とするレーザ加工装置。
4. 被加工物を保持部により保持し、
   前記保持部に保持された被加工物の被加工部にレーザ光源からのレーザ光をレーザ照射部材を介して照射し、
   前記レーザ照射部材の照射側の端部を薄板状とし、
   前記レーザ照射部材と前記被加工物の被加工部との間の距離を調整しつつ、前記レーザ照射部材と前記被加工物とを相対的に移動させて前記レーザ光により前記被加工物を加工することを特徴とするレーザ加工方法。
5. 被加工物を保持部により保持し、
   前記保持部に保持された被加工物の被加工部にレーザ光源からのレーザ光を、少なくとも１つの側板と該側板に固定された導波材とを有するレーザ照射部材を介して照射し、
   前記レーザ照射部材の内部を通過するレーザ光を、前記導波材と該導波材の外部空間との界面において前記レーザ照射部材の厚さ方向に全反射させながら進行させ、
   前記レーザ照射部材と前記被加工物の被加工部との間の距離を調整しつつ、前記レーザ照射部材と前記被加工物とを相対的に移動させて前記レーザ光により前記被加工物を加工することを特徴とするレーザ加工方法。
6. 被加工物を保持部により保持し、
   前記保持部に保持された被加工物の被加工部にレーザ光源からのレーザ光を、少なくとも１つの側板と該側板に固定された導波材とを有するレーザ照射部材を介して照射し、
   前記レーザ照射部材と前記被加工物の被加工部との間の距離を調整しつつ、前記レーザ照射部材と前記被加工物とを相対的に移動させて前記レーザ光により前記被加工物を加工し、
   前記導波材の表面に流体を存在させることを特徴とするレーザ加工方法。