WO2014156310A8 - 金属被膜の成膜装置および成膜方法 - Google Patents

金属被膜の成膜装置および成膜方法 Download PDF

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Abstract

　所望の膜厚の金属被膜を、複数の基材の表面に連続して成膜することができるとともに、金属被膜の異常を抑制しつつ成膜速度を高めることができる、金属被膜の成膜装置およびその成膜方法を提供する。成膜装置１Ａは、陽極１１と、陽極と陰極となる基材Ｂとの間において陽極１１側に金属イオン溶液Ｌが配置された固体電解質膜１３と、陽極１１と前記基材Ｂとの間に電圧を印加する電源部Ｅと、を少なくとも備えている。陽極１１と基材Ｂとの間に電圧を印加して、固体電解質膜１３の内部に含有された金属イオンから金属を基材Ｂの表面に析出させることにより、金属イオンの金属からなる金属被膜Ｆを成膜するものである。陽極１１は、金属イオン溶液Ｌに対して不溶性を有するベース材１１ａに、金属被膜Ｆと同じ金属からなる金属めっき膜１１ｃが被覆されている。
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