WO2014136159A1 - モジュールソケット、無線モジュールの検査装置、及び無線モジュールの検査方法 - Google Patents

モジュールソケット、無線モジュールの検査装置、及び無線モジュールの検査方法 Download PDF

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WO2014136159A1
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module
wireless module
installation
module socket
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卓 藤田
耕平 杉本
健太郎 渡邊
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Panasonic Corp
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    • G01R29/08—Measuring electromagnetic field characteristics
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    • G01R29/105—Radiation diagrams of antennas using anechoic chambers; Chambers or open field sites used therefor
    • G—PHYSICS
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    • G01R1/045—Sockets or component fixtures for RF or HF testing
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    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
    • G01R31/2822—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere of microwave or radiofrequency circuits

Definitions

  • the present disclosure relates to a module socket, a wireless module inspection device, and a wireless module inspection method.
  • module performance is inspected before product shipment, for example.
  • a module to be inspected is installed on an installation table for inspecting a module that is a part of the inspection apparatus.
  • various characteristics for example, circuit characteristics
  • An electronic device antenna and a measurement antenna are housed inside a test box having a radio wave absorber, and the radio waves radiated from the electronic device antenna are received by the measurement antenna.
  • An apparatus for testing performance is known (see, for example, Patent Document 1).
  • the present disclosure has been made in view of the above circumstances, and provides a module socket, a wireless module inspection apparatus, and a wireless module inspection method that can improve the reliability of module characteristics in the inspection of a wireless module.
  • the module socket according to the present disclosure includes a base member having an installation surface in contact with a mounting surface on which the antenna is mounted in a wireless module including an antenna, and a radio wave from the antenna in a state where the wireless module is installed on the installation surface. And a gap formed within a predetermined distance in the radial direction.
  • the reliability of the module characteristics in the inspection of the wireless module can be improved.
  • Sectional drawing which shows the example of whole structure of the test
  • Sectional drawing which shows an example of the shape of the installation stand in which the wireless module in 1st Embodiment was installed
  • Sectional drawing which shows the 1st modification of the shape of the installation stand in which the wireless module in 1st Embodiment was installed
  • A) Sectional drawing which shows the 2nd modification of the shape of the installation base in which the wireless module in 1st Embodiment was installed
  • a conventional module inspection apparatus when inspecting the module characteristics of a wireless module having an antenna, the inspection apparatus is provided with an antenna that receives radio waves radiated from a wireless module to be inspected.
  • an installation base made of, for example, resin exists between the antenna of the wireless module and the antenna of the inspection apparatus.
  • the installation base interferes with the radio wave radiated from the wireless module, and changes the radio wave radiation pattern. As a result, the reliability of the module characteristics as the inspection result of the wireless module is lowered.
  • the installation base of the following embodiment is provided in a wireless module inspection device, and is applied to, for example, an installation base on which a wireless module that transmits or receives radio waves in a high band including a millimeter wave band is installed.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of the overall configuration of an inspection apparatus 1 according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view showing the vicinity of the installation table 20 of FIG.
  • the inspection apparatus 1 measures a radiation pattern of radio waves radiated from the wireless module 5 that is an inspection target (DUT: Device Under Test).
  • the inspection apparatus 1 includes an IC handler 3, a pusher 10, an installation table 20, and a dark box 40.
  • the installation table 20 is an example of a module socket in which the wireless module 5 is installed.
  • the IC handler 3 has a suction pad (not shown) for picking up the wireless module 5 and contact pins 12 that are pressed by the pusher 10 and come into contact with the wireless module 5.
  • the contact pin 12 is an example of a contact.
  • the IC handler 3 When installing the wireless module 5 on the installation table 20, the IC handler 3 sucks the surface of the wireless module 5 with the suction pad to pick up the wireless module 5, then moves to the upper part of the installation table 20, and moves to the installation table 20. Place.
  • the pusher 10 is movable in the vertical direction (Z direction) and descends to press the contact pin 12 of the IC handler 3.
  • a predetermined load is applied to the IC handler 3
  • the contact pins 12 of the IC handler 3 come into contact with, for example, electrode terminals 5 b formed on the surface of the wireless module 5 installed on the installation table 20.
  • the predetermined load is, for example, about 20 g per one electrode terminal 5b.
  • a predetermined signal or power for inspection is supplied from the contact pin 12 of the IC handler 3 to the electrode terminal 5b formed in the wireless module 5.
  • a radio wave for example, a radio wave in the millimeter wave band
  • the antenna 8 receives radio waves radiated from the measurement antenna 43 provided in the inspection apparatus 1.
  • the dark box 40 includes a radio wave absorber 47 that absorbs unnecessary radio waves from outside the dark box 40 on the inner wall surface of the dark box 40.
  • the dark box 40 is an example of an antenna housing portion that houses the measurement antenna 43 of the inspection apparatus 1.
  • the dark box 40 is surrounded by a radio wave absorber 47.
  • the dark box 40 includes a measurement antenna 43 that receives radio waves radiated from the radio module 5 or radiates radio waves to the radio module 5.
  • the measurement antenna 43 is an example of a second antenna. Further, as the measurement antenna 43, a transmission antenna and a reception antenna may be provided separately.
  • the dark box 40 includes a module characteristic measurement unit that measures the intensity of the radio wave received or transmitted by the measurement antenna 43, for example.
  • the measurement antenna 43 is installed on a mount 43b supported by four legs 43a, for example, with the center position of the measurement antenna 43 fixed. Further, the measurement antenna 43 can receive radio waves in a directivity direction other than the vertical direction (Z-axis direction) by tilting the four legs 43a. By adjusting the inclination of the four legs 43a to change the reception direction of the radio wave, the module characteristic measurement measures the intensity of the radio wave received by the measurement antenna 43, so that the radiation pattern of the radio wave radiated from the antenna 8 is changed. You can get it.
  • the number of legs that support the gantry 43b may be other than four.
  • FIG. 12A is a schematic perspective view of the installation base auxiliary member 35 installed in the dark box 40 as viewed from above.
  • FIG. 12B is a schematic perspective view of the dark box 40 as viewed from above. In FIG. 12A, the vicinity of the installation base auxiliary member 35 in the entire dark box 40 is partially enlarged, and in FIG. 12B, the vicinity of the opening 40A in the entire dark box 40 is partially shown. It expands and shows.
  • the coupling member 34 and the installation base auxiliary member 35 are installed on the ceiling surface 40B of the dark box 40.
  • the coupling member 34 is a member for coupling the dark box 40 and the installation base auxiliary member 35 by, for example, screwing.
  • the installation table auxiliary member 35 assists the installation of the installation table 20 in the dark box 40.
  • the installation base auxiliary member 35 is provided with a buffer material 46, and the installation table 20 is installed via the buffer material 46.
  • the coupling member 34 and the installation base auxiliary member 35 include openings 34a and 35a, respectively.
  • the size of the opening 34a is, for example, substantially the same size as the opening 40A of the dark box 40. Further, the opening 40A of the dark box 40, the opening 34a of the coupling member 34, and the opening 35a of the installation base auxiliary member 35 are formed at substantially the same position in the XY plane and penetrate in the Z-axis direction.
  • the opening 40A has a larger cross-sectional area on the XY plane on the inner wall surface side than on the outer wall surface side of the dark box 40, for example.
  • size of the said cross-sectional area inside and outside the dark box 40 may be comparable.
  • the opening 40A is formed, for example, in a columnar shape on the ceiling surface 40B of the dark box 40.
  • the size of the opening 40A is determined based on, for example, the directivity direction of the antenna 8 and the restrictions for installing the buffer material 46 and the installation table 20 on the ceiling surface 40B of the dark box 40.
  • the gasket 32 shown in FIG. 1A is a kind of cushioning material disposed between the dark box 40 and the inspection board 33. Since various components are mounted on the opposite surface of the inspection board 33 that faces the dark box 40, the inspection board 33 is not usually placed directly on the dark box 40. The gasket 32 creates a space between the dark box 40 and the inspection board 33.
  • the size of the opening 40A is restricted by the arrangement of the gasket 32, for example.
  • a reception antenna is mainly shown as the measurement antenna 43, when a transmission antenna is separately provided in the dark box 40, radio waves can be transmitted from a direction different from reception.
  • the radio wave radiated from the measurement antenna 43 is received by the antenna 8 of the wireless module 5.
  • the installation base 20 is formed into a socket type by using, for example, a dielectric material (for example, resin), and a guide member 20 b that guides the installed wireless module 5 to the inside of the installation base 20, and a wireless module 5 has a pedestal member 20a installed in contact with the installation surface 20p.
  • the pedestal member 20a has an opening 20e.
  • the opening 20e is an example of a gap formed within a predetermined distance from the antenna 8 in the radio wave radiation direction in a state where the wireless module 5 is installed on the installation surface 20p.
  • the opening 20e formed in, for example, substantially the center of the installation surface 20p of the pedestal member 20a is formed in a recess 20d that becomes a recess, for example.
  • a lid 20c is provided on the bottom surface 22 of the recess 20d.
  • the opening 20e may be formed in the hole as will be described later.
  • the recess 20d creates a gap within a predetermined distance from the antenna 8 mounted on the mounting surface 5a of the wireless module 5 in a state where the wireless module 5 is installed on the installation surface 20p of the base member 20a. Further, when the wireless module 5 is inspected, the contact pin 12 of the IC handler 3 comes into contact with the electrode terminal 5b of the wireless module 5 placed on the installation table 20.
  • FIGS. 3A to 3D are plan views or cross-sectional views showing an example of the shape of the installation base 20 on which the wireless module 5 is installed.
  • FIG. 3A is a plan view of the installation table 20 on which one wireless module 5 is installed as viewed from above (Z-axis positive direction).
  • FIG. 3B is a schematic view of the A-A ′ cross section of the installation table 20 of FIG.
  • FIG. 3C is a plan view of the installation table 20 on which a plurality of wireless modules 5 are installed as viewed from above (Z-axis positive direction).
  • FIG. 3D is a schematic view of a cross section taken along the line B-B ′ of the installation table 20 of FIG. In FIGS. 3A to 3D, the guide member 20b is omitted.
  • the plurality of wireless modules 5 are arranged in a lattice shape, for example, but may be arranged in other shapes.
  • the installation base 20 on which one wireless module 5 is installed will be mainly described, but the same applies to the case of a large number.
  • the opening 20e formed at the approximate center of the installation surface 20p of the pedestal member 20a includes a wall surface 21 (an example of a first surface) and a bottom surface 22 (second surface) of the pedestal member 20a. Is formed as a recess 20d having an example of the surface of The wall surface 21 is connected to the installation surface 20p.
  • the bottom surface 22 is connected to the wall surface 21 and substantially faces the installation surface 20p.
  • the bottom surface 22 of the recess 20d is formed by, for example, a lid 20c that is mounted on the opening 20e of the base member 20a so as to face the wireless module 5 to be inspected.
  • the wall surface 21 of the recess 20d is connected to the installation surface 20p and the bottom surface 22, and is formed along the Z direction orthogonal to the bottom surface 22 (surface along the XY direction), for example.
  • the length in the lateral direction (X-axis direction in FIGS. 3A to 3D) of the opening 20e formed in the base member 20a may be shorter or longer than the lateral length of the wireless module 5.
  • the length of the opening 20e in the vertical direction (the Y-axis direction in FIGS. 3A to 3D) may be longer or shorter than the length of the wireless module 5 in the vertical direction.
  • the opening 20e is an expression including the above-described recess 20d having the wall surface 21 and the bottom surface 22 and a hole 20f (see FIG. 6) penetrating a pedestal member 20a described later.
  • the condition that the interference by the signal (reflected wave) reflected by the peripheral structure with respect to the signal (incident wave) radiated from the wireless module 5 is the smallest is that the phase difference of the reflected wave with respect to the incident wave is the wavelength ⁇ of the fundamental wave. For example, it is a case where it becomes approximately one quarter.
  • the peripheral structure includes, for example, a wall surface 21 and a bottom surface 22 of the base member 20a.
  • phase difference between the phase of the fundamental wave (Sin wave: sine wave) signal included in the radiated radio wave and the phase of the reflected wave signal is approximately 1 / 4 ⁇ , the combined wave of the incident wave and the reflected wave
  • the peak value of the amplitude fluctuates while maintaining the shape of the Sin wave.
  • the incident wave is a signal radiated from the antenna of the wireless module 5 and the reflected wave is a signal radiated from a structure around the antenna 8, for example, the amplitude of the synthesized wave varies. Therefore, the power peak value (the maximum amplitude value of the power waveform) varies depending on the presence or absence of the reflected wave. On the other hand, the shape (phase) of the combined wave of the incident wave and the reflected wave does not change. Therefore, the directivity can be measured stably without destroying the shape of the directivity of the antenna 8.
  • the mounting surface 5a of the antenna 8 is perpendicular to the directivity direction (for example, the Z-axis direction) (for example, the X-axis direction and the Y-axis direction).
  • the distance to the surface along the surface is set as follows, for example.
  • the wavelength of the millimeter wave band is in the range of 1 mm to 10 mm. Therefore, the bottom surface 22 of the installation table 20 may be arranged at a position approximately a predetermined distance from the antenna 8 according to the wavelength ⁇ of the signal to be used (condition (1)). This predetermined distance is expressed by the following (formula 1). When the condition (1) is satisfied, the influence of the reflected wave reflected from the bottom surface 22 on the module characteristics including the antenna 8 can be suppressed to the minimum.
  • the wall surface 21 of the installation base 20 may be disposed at a position of a predetermined distance or more from the antenna 8 according to the wavelength ⁇ of the signal to be used (condition (2)).
  • This predetermined distance is the same as the distance represented by the above (Formula 1).
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of the shape of the installation base 20 on which the wireless module 5 is installed, and corresponds to FIG.
  • the radio module 5 is installed on the installation surface 20 p with the mounting surface 5 a of the antenna 8 facing downward with respect to the base member 20 a of the installation table 20.
  • the mounting surface 5a of the wireless module 5 is in contact with the installation surface 20p around the opening 20e.
  • the opening 20e of the base member 20a has a wall surface 21 and a bottom surface 22 and is formed in a recess 20d in which the antenna 8 is accommodated.
  • a lid portion 20c as a part for forming a recess 20d is provided below the pedestal member 20a.
  • the thickness (length in the Z-axis direction) of the lid portion 20c is, for example, 2 mm.
  • the directivity direction of the antenna 8 is downward (the direction of the Z-axis negative direction, the direction of the arrow in FIG. 4).
  • the pusher 10 descends to press the contact pin 12 of the IC handler 3 and when a predetermined load is applied to the wireless module 5, the mounting surface 5a of the wireless module 5 is opened to the opening of the base member 20a.
  • the periphery of the portion 20e is supported.
  • the periphery of the opening 20e has rigidity with respect to a predetermined load, and for example, a deformation in which a substantially central portion of the wireless module 5 is bent downward is difficult to occur.
  • the antenna 8 is opposed to and close to the surface of the lid 20c, that is, the bottom surface 22. Even in this case, when the above condition (1) is satisfied, the influence of the reflected wave on the signal in the directivity direction radiated from the antenna 8 can be suppressed.
  • FIG. 5 is a sectional view showing a first modified example (installation table 20A) of the shape of the installation table 20 on which the wireless module 5 is installed.
  • the recess 20d is formed such that the distance from the lower surface (front surface) 8b of the antenna 8 to the upper surface (bottom surface 22) of the lid portion 20c is 2 mm, for example. That is, in the installation table 20A, the pedestal member 20a is thicker than the installation table 20, and the depth of the recess 20d in which the antenna 8 is accommodated at the time of inspection is deep, and is within a predetermined range from the antenna 8 in the Z-axis direction. Has voids.
  • the recess 20d is formed so that a distance ⁇ 1 from the end 8a in the horizontal direction (X-axis direction) of the antenna 8 to the wall surface 21 of the recess 20d is, for example, 2.4 mm or more.
  • the thickness (length in the Z-axis direction) of the lid 20c is 2 mm, for example, and is the same as the installation table 20 of the second example. Further, the directivity direction of the antenna 8 is downward (Z-axis negative direction) in FIG.
  • the distance ⁇ 2 (for example, 2 mm) from the lower surface 8b to the bottom surface 22 of the antenna 8 is, for example, a value close to about 1 ⁇ 4 of the wavelength ⁇ (for example, 8 mm) in the millimeter wave band. That is, in a state where the wireless module 5 is installed on the installation surface 20p of the pedestal member 20a, the distance from the antenna 8 to the bottom surface 22 is a predetermined distance represented by approximately (Expression 1). Thereby, the influence by the reflected wave with respect to the signal of the directivity direction radiated
  • the distance ⁇ 1 (for example, 2.4 mm or more) from the wall surface 21 of the recess 20d to the end 8a of the antenna 8 is, for example, a value that is approximately 1 ⁇ 4 or more of the wavelength of the millimeter wave band (for example, 8 mm). That is, in a state where the wireless module 5 is installed on the installation surface 20p of the base member 20a, the distance from the antenna 8 to the wall surface 21 is approximately equal to or greater than the predetermined distance represented by (Equation 1). Thereby, the influence by the reflected wave with respect to signals other than a directivity direction can be suppressed.
  • the recess 20d creates a gap in a predetermined range around the antenna 8, for example, it is possible to suppress the generation of reflected waves due to a resin material, and it is possible to suppress a decrease in module characteristics by suppressing changes in antenna characteristics.
  • FIG. 6A is a cross-sectional view showing a second modification (installation table 20B) of the shape of the installation table 20 on which the wireless module 5 is installed.
  • FIG. 6A shows a case where the installation base 20B is formed of a flexible member (for example, a rubber material or a sponge material). Further, a hole 20f that penetrates the pedestal member 20a in the direction (Z-axis direction) orthogonal to the installation surface 20p is formed as an opening 20e at, for example, the approximate center of the pedestal member 20a of the installation pedestal 20B. By forming the hole 20f, the base member 20a does not exist in the directivity direction of the antenna 8, and the influence of the reflected wave on the signal radiated from the antenna 8 can be suppressed.
  • a hole 20f that penetrates the pedestal member 20a in the direction (Z-axis direction) orthogonal to the installation surface 20p is formed as an opening 20e at, for example, the approximate center of the pedestal member 20a of the installation pedestal 20B.
  • the wireless module 5 When the wireless module 5 is inspected, when the pusher 10 descends and presses the contact pin 12 of the IC handler 3, the base member 20a of the installation base 20B that is pressed via the wireless module 5 is as indicated by an arrow a in the figure. Then, it bends so as to sink evenly downward (Z-axis negative direction). Thereby, the wireless module 5 does not bend downward, and the wireless module 5 can be maintained in a horizontal state. Therefore, the module characteristics of the wireless module 5 can be satisfactorily inspected while suppressing changes in the directivity direction.
  • FIG. 6B is a cross-sectional view showing a third modification (installation table 20C) of the shape of the installation table 20 on which the wireless module 5 is installed.
  • the spring member 31 is provided on the side opposite to the installation surface 20p of the base member 20a.
  • the spring member 31 has a function as a damper that buffers a load applied to the installation table 20C.
  • the spring member 31 has elasticity in the direction in which the installation surface 20p is pressed. Even when the pusher 10 is lowered, since the dark box 40 exists in the downward direction (pressing direction) of the installation table 20C, the base member 20a of the installation table 20C receives the elastic force of the spring member 31 and sinks downward. To avoid.
  • the wireless module 5 does not bend downward and the wireless module 5 can be maintained in a horizontal state. Therefore, the module characteristics of the wireless module 5 can be satisfactorily inspected while suppressing changes in the directivity direction.
  • Millimeter waves are electromagnetic waves (radio waves) having a wavelength of 1 mm to 10 mm and a frequency of 30 to 300 GHz.
  • the transmission / reception characteristics of a signal radiated from the antenna 8 of the wireless module 5 using a millimeter-wave band signal are inspected, since the wavelength ⁇ becomes very short, the phase difference of the signal in the time difference between the incident wave and the reflected wave is reduced. Fluctuation is large. Accordingly, when the shape of the installation table 20 is not devised, for example, the influence on the quality of the signal of the millimeter wave band radiated from the antenna 8 by the signal reflected by the peripheral structure is the signal of the low frequency band. Appears more prominently.
  • the installation table 20 there is a member made of, for example, a dielectric material around the antenna 8, and deterioration of directivity of the antenna 8 can be suppressed even when the wireless module 5 using a high band (for example, a millimeter wave band) is inspected.
  • the radiation characteristics of the antenna 8 can be improved by forming the recess 20 d or the hole 20 f in the base member 20 a of the installation base 20.
  • the wireless module 5 is installed on the base member 20a and a gap is generated within a predetermined distance from the antenna 8, it is less affected by reflected waves, and the reliability of module characteristics in the inspection of the wireless module 5 is improved. it can.
  • the reliability of the module characteristics in the inspection of the wireless module 5 can be improved, and the module characteristics can be measured with high accuracy.
  • the inspection device 1 of the second embodiment has the same configuration as the inspection device 1 of the first embodiment.
  • description is abbreviate
  • FIGS. 7A to 7D are plan views or cross-sectional views showing an example of the shape of the installation table 20D on which the wireless module 5 is installed.
  • FIG. 7A is a plan view of an installation table 20D on which one wireless module 5 is installed as viewed from above (Z-axis positive direction).
  • FIG. 7B is a schematic diagram of a C-C ′ cross section of the installation table 20 ⁇ / b> D of FIG.
  • FIG. 7C is a plan view of the installation table 20D on which a plurality of wireless modules 5 are installed as viewed from above (Z-axis positive direction).
  • FIG. 7D is a schematic diagram of a D-D ′ cross section of the installation table 20 ⁇ / b> D of FIG. 8C.
  • the guide member 20b is omitted.
  • the plurality of wireless modules 5 are arranged in a lattice shape, for example, but may be arranged in other shapes.
  • the installation base 20D on which one wireless module 5 is installed will be mainly described, but the same applies to the case of a large number.
  • the installation table 20D is formed into a socket type made of a resin material, for example, and has a base member 20a on which the wireless module 5 is installed.
  • the pedestal member 20a has an opening 20e.
  • a hole 20g that obliquely penetrates the pedestal member 20a is formed as an example of the opening 20e. That is, the hole 20g is inclined at a predetermined angle from the Z-axis direction.
  • the wall surface 21 (inner wall surface) of the hole 20g has a tapered surface 20h along the directivity direction of the antenna 8.
  • the opening 20e may be a recess 20d having a lid 20c instead of the hole 20g.
  • the length of the hole 20g of the base member 20a in the horizontal direction is shorter than the length of the radio module 5 in the horizontal direction.
  • the length of the hole 20g in the vertical direction (the Y direction in FIGS. 7A and 7B) is longer than the length of the wireless module 5 in the vertical direction.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing an example of the shape of the installation table 20D on which the wireless module 5 is installed, and corresponds to FIG. 7B. Similar to the first embodiment, the installation base 20D includes a base member 20a on which the wireless module 5 is installed with the mounting surface 5a on which the antenna 8 is mounted facing downward.
  • a hole 20g is formed as an opening 20e in the approximate center of the base member 20a.
  • the wall surface 21 of the hole 20 g has a tapered surface 20 h along the directionality direction of the signal radiated from the antenna 8.
  • the directivity direction of the antenna 8 is an obliquely downward direction from the antenna 8 as shown by an arrow b in FIG.
  • the left and right wall surfaces 21 in FIG. 8 have a tapered surface 20h along the directivity direction during transmission and reception.
  • the pusher 10 descends and presses the contact pin 12 of the IC handler 3.
  • the periphery of the opening 20e of the base member 20a supports the mounting surface 5a of the wireless module 5.
  • the periphery of the opening 20e has rigidity with respect to a predetermined load, and for example, a deformation in which a substantially central portion of the wireless module 5 is bent downward is difficult to occur.
  • the wall surface 21 of the hole 20g is tapered along the directivity direction of the antenna 8 and the bottom surface of the installation base 20D does not exist, the influence of the reflected wave of the signal in the directivity direction is eliminated. Further, when the wireless module 5 is installed on the installation table 20D, since there is a gap from the wall surface 21 of the hole 20g to the end 8a of the antenna 8, the influence of reflected waves on signals other than the directivity direction can be suppressed. In addition, deterioration of directivity of the antenna 8 due to the presence of a member made of a dielectric material, for example, around the antenna 8 can be suppressed.
  • FIGS. 9A and 9B are schematic diagrams illustrating an example of a radiation pattern p of a signal radiated from the antenna 8.
  • the X-axis direction represents the horizontal direction of the installation table 20D
  • the Y-axis direction represents the vertical direction of the installation table 20D
  • the Z-axis direction represents the vertical direction of the installation table 20D.
  • the mounting surface 5a of the antenna 8 of the wireless module 5 is arranged upward (Z-axis positive direction).
  • the radio wave intensity is indicated by shading, and the radio wave intensity is higher as it is darker.
  • antennas having the same directivity are used.
  • FIG. 9A shows the simulation result of the radiation pattern p of the signal radiated from the wireless module 5 installed on the installation table 20D.
  • FIG. 9B shows the simulation result of the radiation pattern p of the signal radiated from the wireless module installed on the conventional installation table 120.
  • the installation surface in contact with the antenna mounting surface of the wireless module in the installation table 120 is flat with no recesses. That is, the installation table 120 has a uniform thickness (length in the Z-axis direction).
  • the signal radiated from the antenna 8 has a radiation pattern p having a higher radio wave intensity in the directional direction of the antenna 8 than in the directional direction.
  • a direction inclined by a predetermined angle from the positive Z-axis direction to the X-axis direction is the direction in which the radiated radio wave intensity is the highest, and the directivity direction It is.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view showing a first modification (installation table 20E) of the shape of the installation table 20D on which the wireless module 5 is installed.
  • the wall surface 21 of the recess 20d that is the opening 20e has a tapered surface 20h along the directivity direction.
  • a lid 20c that forms the bottom surface 22 of the recess 20d is provided on the lower side of the installation table 20D in FIG.
  • the thickness (length in the Z direction) of the lid 20c is, for example, 2 mm.
  • the recess 20d is formed such that the distance from the lower surface 8b of the antenna 8 to the upper surface (bottom surface 22) of the lid portion 20c is 2 mm, for example.
  • the recess 20d is formed such that the distance from the end 8a in the horizontal direction (X direction) of the antenna 8 to the tapered surface 20h is, for example, 2.4 mm or more.
  • the distance (for example, 2 mm) from the bottom surface 8 b to the bottom surface 22 of the antenna 8 is approximately 1 ⁇ 4 of the wavelength in the millimeter wave band (for example, 8 mm), the distance from the signal in the directivity direction radiated from the antenna 8 The influence can be suppressed.
  • the distance (for example, 2.4 mm or more) from the wall surface 21 of the recess 20d formed in the tapered surface 20h to the end 8a of the antenna 8 is approximately 1/4 or more of the wavelength of the millimeter wave band (for example, 8 mm). Therefore, it is possible to suppress the influence of the reflected wave on the signal other than the directivity direction.
  • the installation base 20E has the lid portion 20c, the base member 20a that supports the mounting surface 5a of the wireless module 5 can be made strong against the load.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view showing a second modification (installation table 20F) of the shape of the installation table 20D on which the wireless module 5 is installed.
  • installation table 20F a second modification of the shape of the installation table 20D on which the wireless module 5 is installed.
  • FIG. 11 it is assumed that the antenna 8 has different directivity directions in transmission and reception.
  • the installation base 20F has a tapered surface 20h1 along the directivity direction of the signal transmitted by the antenna 8 among the wall surfaces 21 on both sides of the recess 20d, and the other surface is received by the antenna 8.
  • the tapered surface 20h1 may be along the directivity of the reception signal, and the tapered surface 20h2 may be along the directivity of the transmission signal.
  • the installation table 20F is the same as the installation table 20E except that the installation table 20F has a divergent taper surface 20h.
  • the distance between each position and the thickness (for example, 2 mm, 2.4 mm) are the same as those of the installation table 20E, and thus the description thereof is omitted.
  • radio waves can be transmitted or received from different directions by using a reception antenna and a transmission antenna in the dark box 40 as the measurement antenna 43.
  • the influence of the reflected wave from the wall surface 21 of the opening 20e on the signal in the directivity direction radiated from the antenna 8 can be suppressed.
  • the influence by the reflected wave from the wall surface 21 of the opening part 20e with respect to the signal of the directivity direction received by the antenna 8 can be suppressed.
  • the installation base has a hole as an opening.
  • the inspection device 1 of the third embodiment has the same configuration as the inspection device 1 of the first embodiment.
  • description is abbreviate
  • FIG. 13 is a partially enlarged cross-sectional view showing an example of the vicinity of the installation table 20G in the third embodiment.
  • the installation table 20G has a hole 20i as the opening 20e.
  • the area of the opening end face (xy plane) 20i1 on the wireless module 5 side (Z-axis positive side) is smaller than the area of the opening end face 20i2 on the dark box 40 side (Z-axis negative side). That is, the installation table 20G is formed so that the installation table 20G does not interfere with radio waves radiated from the antenna 8 and spreading in the space.
  • a tapered surface 20i3 is formed as a wall surface of the hole 20i from the opening end surface 20i1 toward the opening end surface 20i2.
  • the angle ⁇ formed by the tapered surface 20 i 3 in the hole 20 i and the opening end surface 20 i 1 or the opening end surface 20 i 2 is determined according to the radiation pattern of the antenna 8, for example.
  • the angle ⁇ is shown as an angle formed between the direction along the Z axis and the tapered surface 20 i 3.
  • ⁇ 15 degrees may be added to the ⁇ 30 degrees so that the angle ⁇ is 45 degrees or more.
  • the difference between the area of the opening end face 20i1 and the area of the opening end face 20i2 may be made as large as possible. In this case, the strength of the installation table 20 can be increased.
  • FIG. 14 is a plan view of the installation table 20G as viewed from below (Z-axis negative direction).
  • the opening end surface 20i1 is an end surface on the positive side of the Z axis of the hole 20i.
  • the opening end surface 20i2 is an end surface on the negative side of the Z axis of the hole 20i.
  • the antenna 8 mounted on the wireless module 5 can be confirmed in the opening end face 20i1.
  • the opening end surfaces 20i1 and 20i2 are formed in a substantially rectangular shape, but may be formed in other shapes (for example, a substantially circular shape).
  • the antenna 8 includes, for example, eight antenna elements and two 2 ⁇ 2 patch antennas.
  • the shape of the patch antenna may be other than 2 ⁇ 2, and the number of patch antennas may be other than two.
  • the distance d1 between each antenna element and the opening end face 20i1 is set to ⁇ / 2 or more, for example, where the wavelength corresponding to the communication frequency used by the antenna 8 is the wavelength ⁇ .
  • the portion subjected to the pressing by the contact pin 12 is relatively wide, the deterioration of the radiated radio wave is suppressed, and the strength of the installation table 20G against the pressing can be ensured.
  • the dielectric material for example, resin material
  • the dielectric material is not disposed on the radiation direction of the radio wave from the antenna 8, that is, on the negative side of the Z-axis from the antenna 8, the reduction of the radiated radio wave intensity and the radiation pattern Deformation can be suppressed.
  • 15A to 15C are plan views showing modified examples of the configuration of the hole 20i.
  • the center of the wireless module 5 in the xy plane and the centers of the opening end surfaces 20i1 and 20i2 in the XY plane are arranged so as to substantially coincide with each other.
  • the antenna elements are arranged in two rows along the Y-axis, but the distance d2 between the antenna elements arranged in the X-axis positive side row and the opening end face 20i1 is approximately ⁇ / 2.
  • the distance d2 between the antenna elements arranged in the X-axis negative side row and the opening end face 20i1 is approximately ⁇ / 2 or more.
  • the center of the antenna 8 may be arranged so as to be shifted from the center of the opening end face 20i1. Even in this case, the contact pin 12 (see FIG. 13) presses the wireless module 5 over a wider range on the X-axis negative side than on the X-axis positive side. Therefore, the wireless module 5 can be pressed evenly against the installation table 20G.
  • the center of the wireless module 5 in the XY plane and the centers of the opening end surfaces 20i1 and 20i2 in the XY plane are arranged so as to substantially coincide with each other.
  • the distance between each antenna element included in the antenna 8 and the opening end face 20i1 is approximately ⁇ / 2 or more.
  • the area of the opening end surface 20 i 1 is formed slightly smaller than the area of the mounting surface 5 a of the wireless module 5.
  • the opening end surface 20i1 is included in the range corresponding to the mounting surface 5a. Therefore, the hole 20i is formed larger than the case of FIG.
  • the measurement accuracy of the wireless module 5 can be improved by further reducing interference between the radio wave radiated from the antenna 8 and the dielectric member and suppressing the change in antenna characteristics.
  • the lengths of two opposing sides (here, sides 201 and 202) on the opening end face 20i1 are two sides (here, sides) of the wireless module 5 parallel to these two sides. 203, 204).
  • the wireless module 5 is pressed by the contact pin 12 in the vicinity of two opposing sides (here, sides 201 and 202) of the wireless module 5.
  • the wireless module 5 is not pressed by the contact pins 12.
  • the distance between each antenna element included in the antenna 8 and the opening end face 20i1 is approximately ⁇ / 2 or more.
  • the radio module 5 can be pressed and fixed, and the radio module 5 module characteristics can be measured.
  • the hole 20i is formed in consideration of the radio wave radiated from the antenna 8 and spreading in the space, it is possible to suppress the radiated radio wave from interfering with the dielectric portion of the installation base 20G. Therefore, the measurement accuracy and inspection accuracy of the wireless module 5 can be improved by suppressing changes in antenna characteristics.
  • the installation base 20i of the present embodiment is formed in a shape that takes into account the measurement of the characteristics of the wireless module 5 on which the antenna 8 is mounted, thereby suppressing changes in the antenna characteristics. Degradation of the measurement accuracy and inspection accuracy of the wireless module 5 can be suppressed.
  • the fourth embodiment is a modification of the third embodiment.
  • the characteristics of the module on which the antenna is mounted are measured using a radio wave absorber separate from the dark box 40 without using the dark box 40.
  • FIG. 16 is a cross-sectional view showing a partial configuration example of the inspection apparatus 1B including the installation table 20G in the fourth embodiment.
  • the inspection apparatus 1B does not include the dark box 40 illustrated in FIG. 1 but includes a radio wave absorber 44, an acrylic plate 45, and a measuring device 48.
  • the same components as those of the inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 or the installation base 20G shown in FIG. 13 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted or simplified.
  • the radio wave absorber 44 absorbs the radio wave reflected from the measuring device 48 and reduces the radio wave traveling from the measuring device 48 to the wireless module 5.
  • the acrylic plate 45 supports the radio wave absorber 44 and fixes the position of the radio wave absorber 44.
  • the measuring device 48 includes, for example, the above-described measurement antenna 43 and a module characteristic measurement unit that measures the intensity of the radio wave received or transmitted by the measurement antenna 43.
  • the radio wave absorber 44, the acrylic plate 45, and the measuring device 48 are arranged on the lower side (Z-axis negative side) of the installation table 20 ⁇ / b> G.
  • the end of the radio wave absorber 44 on the center portion side of the antenna 8 in the X direction is disposed, for example, at a position on a substantially extended line of the tapered surface 20i3 of the hole 20i. Thereby, it can suppress that the reflected radio wave radiated
  • the distance between the inspection board 33 and the acrylic plate 45 may be close as long as it does not interfere with the installation table 20G.
  • the characteristics of the wireless module 5 on which the antenna 8 is mounted can be measured by downsizing the inspection apparatus 1B without using the dark box 40.
  • the radio wave radiated from the wireless module 5 propagates while spreading in the space, but the reflected wave or radiated wave from the measuring device 48 is reduced by the radio wave absorber 44. Measurement accuracy can be improved.
  • the wireless module is fixed to the installation base by pressing the wireless module with the contact pin, and the installation base is fixed to the inspection board 33.
  • a module socket that fixes the wireless module 5 using a plurality of members using a hook will be described.
  • a radio wave is radiated from the antenna 8 in the direction of the arrow a shown in FIG.
  • the measuring device 48 shown in FIG. 16 or the device for measuring the module characteristics shown in FIG. 1 (for example, the measurement antenna 43 and the module characteristic measuring unit) is arranged.
  • a dark box 40 is arranged.
  • the module characteristic is measured by, for example, a method similar to the measurement method in the above-described embodiment.
  • FIG. 17A and 17B are a cross-sectional view and a plan view showing an example of the shape of the module socket 20H and members near the module socket 20H.
  • FIG. 17A shows a cross section of the module socket 20H when viewed from the front (Y axis positive side).
  • FIG. 17B shows the shape of the socket lid 23 when the module socket of FIG. 17A is viewed from above (Z-axis negative side).
  • an antenna 8 that radiates radio waves is mounted in the Z axis direction, that is, in a direction substantially orthogonal to the mounting surface 5a.
  • the module socket 20H includes a base portion 26, a socket lid 23, and a hook 25.
  • the base unit 26 is mounted on an inspection board 33 that supplies power to the wireless module 5 and inputs and outputs signals.
  • an inspection board 33 for example, a connector connected to the measuring instrument 48 or a power source (not shown), and an electronic component (for example, a capacitor, a power IC) as an external component of the wireless module 5 are mounted.
  • the base portion 26 is formed with a recess 26a in which the wireless module 5 is accommodated.
  • the wireless module 5 is installed on the installation surface 26e which is the bottom surface of the recess 26a.
  • a plurality of conductive pins 27 that come into contact with each of the electrode terminals (balls) 5b of the wireless module 5 housed in the recess 26a are disposed.
  • the conductive pin 27 protrudes from the installation surface 26e.
  • the plurality of conductive pins 27 are connected to, for example, signal lines or power supply lines on the inspection board 33.
  • the socket lid 23 is brought into contact with the mounting surface 5a of the wireless module 5 so as to press the wireless module 5 installed on the base portion 26.
  • a projection (projection) 23e is formed at a substantially central portion of the socket lid 23, and a hole is formed as an opening 23a so as to penetrate the projection 23e in a direction along the Z axis.
  • the shape of the cross section along the XY plane of the opening 23a may be a rectangular shape, a circular shape, or other shapes.
  • the opening 23a has a small opening area on the lower side (Z-axis positive side) and a large opening area on the upper side (Z-axis positive side).
  • the angle of the inner wall surface of the opening 23a is formed, for example, as a tapered slope inclined by 45 degrees with respect to the Z-axis direction.
  • a distance d1 between the lower opening end 23d having the smallest opening area and the element of the antenna 8 is, for example, ⁇ / 2 or more.
  • ⁇ is the wavelength of the radio wave radiated from the wireless module 5.
  • the angle of the opening 23a varies depending on, for example, the radiation pattern of the radio wave from the antenna 8. For example, when the half-value angle of the antenna directivity is ⁇ 30 degrees, the angle of the opening 23a is ⁇ 45 degrees or more by adding ⁇ 15 degrees to the half-value angle. Thereby, both the ease of processing of the module socket 20H and the strength of the module socket 20H can be achieved.
  • the socket lid 23 moves the wireless module 5 downward (Z-axis positive direction) by the convex portion 23e so that force is evenly applied to the vicinity of the four sides of the upper surface (Z-axis negative surface) of the wireless module 5. ).
  • the antenna 8 is disposed at the substantially central portion of the wireless module 5, the peripheral portion of the wireless module 5 is pressed evenly.
  • the antenna 8 is biased to one side of the wireless module 5, one end side in the X-axis direction and the other end in the X-axis direction are formed on the lower surface (surface on the Z-axis positive side) of the protrusion 23 e of the socket lid 23.
  • the contact area with the wireless module 5 differs on the side. Even in this case, the wireless module 5 can be pressed evenly by the different surfaces of the wireless module 5.
  • the hook 25 has a pair of locking pieces 25a and 25b that respectively engage with a hook portion 26c formed as a step portion on the base portion 26 and a hook portion 23b formed as a step portion on the socket lid 23.
  • the hook 25 sandwiches and fixes the base portion 26 and the socket lid 23.
  • the wireless module 5 is sandwiched between the base portion 26 and the socket lid 23.
  • FIG. 17A it is exemplified that two hooks 25 are used, but three or more hooks 25 may be used.
  • the wireless module 5 Before the start of the module characteristic inspection, the wireless module 5 is accommodated in the recess 26a of the base portion 26, and each of the plurality of electrode terminals 5b comes into contact with the plurality of conductive pins 27.
  • the wireless module 5 is pressed by the convex portion 23 e of the socket lid 23, and the hook 25 sandwiches the socket lid 23 and the base portion 26. Thereby, the wireless module 5 is fixed in the module socket 20H.
  • the influence of a member (for example, a resin member) of the module socket 20H can be suppressed.
  • the measurement accuracy and inspection accuracy of the module characteristics of the wireless module 5 including the antenna 8 having directivity in a direction substantially orthogonal to the mounting surface 5a of the antenna 8 can be improved.
  • a module characteristic measuring device for example, module characteristic measuring unit, measuring device 48
  • the wireless module 5 is evenly pressed by the convex portion 23e of the socket lid 23, the electrode terminal 5b and the conductive pin 27 can be satisfactorily contacted. Therefore, for example, power supply to the wireless module 5 or signal input / output can be stably executed.
  • the radio module 5 to be inspected can be easily replaced.
  • the thickness of the module socket 20H can be reduced.
  • the conductive pin 27 of the base portion 26 is connected to, for example, a signal line or a power supply line on the inspection board 33, signals necessary for the inspection of the wireless module 5 can be input / output.
  • the opening 23a is formed in the socket lid 23
  • a member formed of a dielectric for example, resin
  • the influence on the module characteristics of the antenna 8 is suppressed. it can. Therefore, the measurement accuracy and inspection accuracy of the wireless module 5 can be improved by suppressing changes in antenna characteristics.
  • the first module socket of the present disclosure includes: A pedestal member having an installation surface in contact with a mounting surface on which the antenna is mounted in a wireless module including the antenna; In a state where the wireless module is installed on the installation surface, a gap formed within a predetermined distance from the antenna toward the radio wave radiation direction, and Have
  • the second module socket of the present disclosure is a first module socket,
  • the pedestal member has a first surface connected to the installation surface,
  • the gap has a hole that penetrates the base member.
  • the third module socket of the present disclosure is a first module socket,
  • the pedestal member includes a first surface connected to the installation surface; A second surface connected to the first surface and facing the installation surface, The gap has a recess formed by the first surface and the second surface.
  • the fourth module socket of the present disclosure is a third module socket, In a state where the wireless module is installed on the installation surface, the distance from the antenna to the first surface is approximately when the wavelength of a radio wave transmitted or received by the antenna is ⁇ and the integer is n. It is not less than the distance represented by 1 ⁇ 4 ⁇ ⁇ ⁇ (4n + 1).
  • the fifth module socket of the present disclosure is a third or fourth module socket, In a state where the wireless module is installed on the installation surface, the distance from the antenna to the second surface is approximately when the wavelength of a radio wave transmitted or received by the antenna is ⁇ and the integer is n. A distance represented by 1/4 ⁇ ⁇ ⁇ (4n + 1).
  • the sixth module socket of the present disclosure is a third or fourth module socket,
  • the first surface includes a tapered surface formed along the directivity direction of the antenna.
  • the seventh module socket of the present disclosure is a sixth module socket,
  • the first surface includes a tapered surface formed along substantially the same direction when the directivity direction of the antenna is substantially the same in transmission and reception of radio waves.
  • the eighth module socket of the present disclosure is a sixth module socket, In the first surface, when the directivity direction of the antenna is different in transmission and reception of radio waves, A tapered surface formed along a first directivity direction in the transmission; A tapered surface formed along a second directivity direction in the reception; including.
  • the ninth module socket of the present disclosure is any one of the first to eighth module sockets,
  • the pedestal member has elasticity in a direction in which the installation surface is pressed.
  • a tenth module socket of the present disclosure is a second module socket,
  • the first surface includes a tapered surface formed along the directivity direction of the antenna;
  • the hole includes a first opening end surface located on the installation surface side;
  • a second opening end surface located on the opposite side of the installation surface and having a larger area than the area of the first opening end surface; including.
  • the eleventh module socket of the present disclosure is a tenth module socket,
  • the tapered surface has an inclination based on a half-value angle of the antenna with respect to an axis orthogonal to the installation surface.
  • the twelfth module socket of the present disclosure is a tenth or eleventh module socket, In a state where the wireless module is installed on the installation surface, the distance from the antenna to the first surface is 1 ⁇ 2 ⁇ ⁇ when the wavelength of the radio wave transmitted or received by the antenna is ⁇ . Greater than or equal to the distance represented.
  • a thirteenth module socket of the present disclosure is a twelfth module socket, The first opening end surface is located within a range facing the wireless module in a state where the wireless module is installed on the installation surface.
  • a fourteenth module socket of the present disclosure is a twelfth module socket,
  • the first opening end surface has a second direction in which both end portions in the first direction face the wireless module and are orthogonal to the first direction in a state where the wireless module is installed on the installation surface. Both ends of the do not face the wireless module.
  • the wireless module inspection device of the present disclosure Any one of the first to fourteen module sockets; A contact that contacts the electrode terminal of the wireless module installed in the module socket and supplies a predetermined signal or power to the wireless module; A pusher that presses the contact toward the wireless module; A second antenna that receives radio waves radiated from a first antenna mounted on the wireless module, or radiates radio waves to the first antenna; An antenna housing portion surrounded by a radio wave absorber, facing the module socket, and housing the second antenna; Is provided.
  • the wireless module inspection method of the present disclosure includes: Installing a wireless module in any one of the first to fourteenth module sockets; Abutting a contact for supplying a predetermined signal or power to the wireless module to an electrode terminal of the wireless module installed in the module socket; Pressing the contact toward the wireless module; A radio wave radiated from the first antenna mounted on the wireless module is received by the second antenna surrounded by the radio wave absorber and accommodated in the antenna accommodating portion facing the module socket, or the first antenna Radiating radio waves to the antenna; Have
  • This disclosure is useful for a module socket, a wireless module inspection apparatus, and the like that can improve the reliability of module characteristics in the inspection of a wireless module.

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Abstract

　無線モジュールの検査におけるモジュール特性の信頼性を向上できるモジュールソケットを提供する。　モジュールソケットは、アンテナを備える無線モジュールにおけるアンテナが実装される実装面と当接する設置面を有する台座部材と、設置面に無線モジュールが設置された状態において、アンテナから電波の放射方向に向かって所定距離の範囲内に形成された空隙部と、を有する。

Description

モジュールソケット、無線モジュールの検査装置、及び無線モジュールの検査方法
　本開示は、モジュールソケット、無線モジュールの検査装置、及び無線モジュールの検査方法に関する。
　従来、例えば製品出荷前に、モジュール性能の検査が実施される。モジュール性能を検査する際、検査装置の一部であるモジュールを検査するための設置台に、検査対象のモジュールが設置される。この検査装置を用いて、モジュールの各種特性（例えば、回路特性）が検査される。
　なお、電波吸収体を有する試験箱の内部に、電子機器のアンテナと測定用のアンテナとを収容し、電子機器のアンテナから放射される電波を測定用のアンテナで受信することで、電子機器の性能を試験する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
日本国特開２００７－２２５５６７号公報
　従来の検査装置では、アンテナを備える無線モジュールの検査におけるモジュール特性の信頼性が不十分であった。
　本開示は、上記事情に鑑みてなされたものであり、無線モジュールの検査におけるモジュール特性の信頼性を向上できるモジュールソケット、無線モジュールの検査装置、及び無線モジュールの検査方法を提供する。
　本開示のモジュールソケットは、アンテナを備える無線モジュールにおける前記アンテナが実装される実装面と当接する設置面を有する台座部材と、前記設置面に前記無線モジュールが設置された状態において、前記アンテナから電波の放射方向に向かって所定距離の範囲内に形成された空隙部と、を有する。
　本開示によれば、無線モジュールの検査におけるモジュール特性の信頼性を向上できる。
第１の実施形態における検査装置の全体構成例を示す断面図 第１の実施形態における設置台近傍を示す部分拡大断面図 （Ａ）～（Ｄ）第１の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の一例を示す概略平面図又は概略断面図 第１の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の一例を示す断面図 第１の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の第１変形例を示す断面図 （Ａ）第１の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の第２変形例を示す断面図、（Ｂ）第１の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の第３変形例を示す断面図 （Ａ）～（Ｄ）第２の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の一例を示す概略平面図又は概略断面図 第２の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の一例を示す断面図 （Ａ）第２の実施形態における無線モジュールのアンテナから放射される信号の放射パターンｐの一例を示す模式図，（Ｂ）従来の無線モジュールのアンテナから放射される信号の放射パターンｐの一例を示す模式図 第２の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の第１変形例を示す断面図 第２の実施形態における無線モジュールが設置された設置台の形状の第２変形例を示す断面図 （Ａ）第１の実施形態における暗箱に設置された設置台補助部材を上方から見た概略斜視図、（Ｂ）第１の実施形態における暗箱内部から上方を見た概略斜視図 第３の実施形態における設置台の近傍の一例を示す部分拡大断面図 第３の実施形態における設置台の開口部付近の構成例を示す平面図 （Ａ）～（Ｃ）第３の実施形態における設置台の開口部付近の構成の変形例を示す平面図 第４の実施形態における設置台を含む検査装置の部分構成例を示す断面図 （Ａ）第５の実施形態におけるモジュールソケットの近傍の一例を示す断面図、（Ｂ）第５の実施形態におけるモジュールソケットの開口部付近の構成例を示す平面図
　本開示の実施形態について、図面を用いて説明する。
（本開示の一形態を得るに至った経緯）
　従来のモジュール検査装置では、アンテナを有する無線モジュールのモジュール特性を検査する場合、検査装置に、検査対象の無線モジュールから放射される電波を受信するアンテナが設けられる。設置台に無線モジュールが設置された状態において無線モジュールから電波を放射すると、無線モジュールのアンテナと検査装置のアンテナとの間に、例えば樹脂により形成された設置台が存在する。この場合、設置台が無線モジュールから放射された電波に干渉し、電波の放射パターンを変化させる。この結果、無線モジュールの検査結果としてのモジュール特性の信頼性が低下する。
　以下、無線モジュールの検査におけるモジュール特性の信頼性を向上できる設置台、無線モジュールの検査装置、及び無線モジュールの検査方法について説明する。
　以下の実施形態の設置台は、無線モジュールの検査装置に設けられ、例えばミリ波帯域を含む高帯域の電波を送信又は受信する無線モジュールが設置される設置台に適用される。
　図１は実施形態における検査装置１の全体構成例を示す断面図である。図２は、図１の設置台２０の近傍を示す部分拡大断面図である。検査装置１は、検査対象（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ　Ｕｎｄｅｒ　Ｔｅｓｔ）である無線モジュール５から放射される電波の放射パターンを測定する。検査装置１は、ＩＣハンドラ３、プッシャ１０、設置台２０、及び暗箱４０を備える。設置台２０は、無線モジュール５が設置されるモジュールソケットの一例である。
　ＩＣハンドラ３は、無線モジュール５をピックアップする吸引パッド（図示せず）と、プッシャ１０により押圧されて無線モジュール５に当接するコンタクトピン１２と、を有する。コンタクトピン１２は、接触子の一例である。
　無線モジュール５を設置台２０に設置する場合、ＩＣハンドラ３は、吸引パッドにより無線モジュール５の表面を吸引して無線モジュール５をピックアップした後、設置台２０の上部に移動し、設置台２０に載置する。
　プッシャ１０は、垂直方向（Ｚ方向）に移動自在であり、降下してＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２を押圧する。ＩＣハンドラ３に所定の荷重がかかると、ＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２は、設置台２０に設置された無線モジュール５の例えば表面に形成された電極端子５ｂと当接する。上記所定の荷重は、例えば１つの電極端子５ｂ当たり約２０ｇである。
　無線モジュール５に形成された電極端子５ｂには、ＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２から、例えば検査用の所定信号又は電力が供給される。無線モジュール５は、所定信号又は電力が供給されると、アンテナ８（第１のアンテナの一例）により電波（例えばミリ波帯域の電波）が放射される。また、アンテナ８は、検査装置１が備える測定用アンテナ４３から放射された電波を受信する。
　暗箱４０は、暗箱４０の内壁面に、暗箱４０外部からの不要な電波を吸収する電波吸収体４７を備える。暗箱４０は、検査装置１の測定用アンテナ４３を収容するアンテナ収容部の一例である。
　暗箱４０は、電波吸収体４７により包囲される。また、暗箱４０は、無線モジュール５から放射された電波を受信し、又は無線モジュール５へ電波を放射する測定用アンテナ４３を備える。測定用アンテナ４３は、第２のアンテナの一例である。また、測定用アンテナ４３として、送信用アンテナと受信用アンテナとを別個に備えてもよい。
　また、暗箱４０は、図示はしないが、例えば、測定用アンテナ４３により受信又は送信した電波の強度を計測するモジュール特性計測部を備える。
　測定用アンテナ４３は、４本脚４３ａにより支持された架台４３ｂ上に、例えば測定用アンテナ４３の中心位置が固定されて設置される。また、測定用アンテナ４３は、４本脚４３ａを傾けることにより、上下方向（Ｚ軸方向）以外の指向性方向に対しても電波を受信できる。４本脚４３ａの傾きを調整して電波の受信方向を変更し、モジュール特性計測が測定用アンテナ４３により受信された電波の強度を測定することにより、アンテナ８から放射される電波の放射パターンを取得できる。なお、架台４３ｂを支持する脚の数は、４本以外でもよい。
　また、暗箱４０の天井面４０Ｂは、設置台２０の開口部２０ｅに対向する開口部４０Ａ（孔部）を有する。また、暗箱４０の天井面４０Ｂには、設置台２０が設置される設置台補助部材３５が設けられる。図１２（Ａ）は、暗箱４０に設置された設置台補助部材３５を上方から見た概略斜視図である。図１２（Ｂ）は、暗箱４０内部から上方を見た概略斜視図である。なお、図１２（Ａ）では、暗箱４０全体のうち、設置台補助部材３５付近を部分的に拡大して示し、図１２（Ｂ）では、暗箱４０全体のうち、開口部４０Ａ付近を部分的に拡大して示す。
　図１，図１２（Ａ）に示すように、暗箱４０の天井面４０Ｂには、結合部材３４及び設置台補助部材３５が設置される。結合部材３４は、暗箱４０と設置台補助部材３５とを例えばねじ止めにより結合するための部材である。設置台補助部材３５は、設置台２０の暗箱４０への設置を補助する。設置台補助部材３５には緩衝材４６が設けられ、緩衝材４６を介して設置台２０が設置される。
　結合部材３４及び設置台補助部材３５は、各々開口部３４ａ、３５ａを備える。開口部３４ａの大きさは、例えば、暗箱４０の開口部４０Ａと略同一の大きさである。また、暗箱４０の開口部４０Ａ、結合部材３４の開口部３４ａ、設置台補助部材３５の開口部３５ａは、ＸＹ平面において略同一の位置に形成され、Ｚ軸方向に貫通する。
　また、図１に示すように、開口部４０Ａは、例えば、暗箱４０の外壁面側よりも内壁面側の方がＸＹ平面上の断面積が大きく形成される。なお、緩衝材の制約がなく、暗箱４０の開口部４０Ａの開口幅を十分に確保できる場合、暗箱４０内外の上記断面積の大きさは同程度でもよい。
　図１２（Ｂ）に示すように、開口部４０Ａは、暗箱４０の天井面４０Ｂにおいて例えば円柱状に形成される。
　開口部４０Ａの大きさは、例えば、アンテナ８の指向性方向と、暗箱４０の天井面４０Ｂに緩衝材４６及び設置台２０を設置するための制約と、に基づいて決定される。ここで、図１（Ａ）に示したガスケット３２は、暗箱４０と検査ボード３３との間に配設された緩衝材の一種である。検査ボード３３の暗箱４０に対向する対向面には、各種部品が実装されるので、検査ボード３３は、暗箱４０に通常直置きされない。ガスケット３２は、暗箱４０と検査ボード３３との間にスペースを生成する。開口部４０Ａの大きさは、例えば、このガスケット３２の配置により制約される。
　なお、測定用アンテナ４３として、受信用アンテナを主に示したが、暗箱４０内に送信用アンテナを別途設けた場合、受信とは異なる方向から電波を送信できる。測定用アンテナ４３から放射された電波は、無線モジュール５のアンテナ８により受信される。
　図２に示すように、設置台２０は、例えば、誘電体材料（例えば樹脂）によりソケット型に成形され、設置される無線モジュール５を設置台２０の内側に案内する案内部材２０ｂと、無線モジュール５が設置面２０ｐに当接して設置される台座部材２０ａと、を有する。台座部材２０ａは、開口部２０ｅを有する。開口部２０ｅは、設置面２０ｐに無線モジュール５が設置された状態において、アンテナ８から電波の放射方向に向かって所定距離の範囲内に形成された空隙部の一例である。
　台座部材２０ａの設置面２０ｐの例えば略中央に形成された開口部２０ｅは、例えば窪みとなる凹部２０ｄに形成される。凹部２０ｄの底面２２には、蓋部２０ｃが設けられる。なお、開口部２０ｅは、後述するように、孔部に形成されてもよい。
　凹部２０ｄは、台座部材２０ａの設置面２０ｐに無線モジュール５が設置された状態において、無線モジュール５の実装面５ａに実装されたアンテナ８から所定距離の範囲内に、空隙を生じさせる。また、無線モジュール５の検査時、設置台２０に載置された無線モジュール５の電極端子５ｂには、ＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２が接触する。
　図３（Ａ）～（Ｄ）は、無線モジュール５が設置された設置台２０の形状の一例を示す平面図又は断面図である。図３（Ａ）は、１個の無線モジュール５が設置された設置台２０を上方向（Ｚ軸正方向）から見た平面図である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の設置台２０のＡ－Ａ’断面の概略図である。図３（Ｃ）は、複数個の無線モジュール５が設置された設置台２０を上方向（Ｚ軸正方向）から見た平面図である。図３（Ｄ）は、図３（Ｃ）の設置台２０のＢ－Ｂ’断面の概略図である。図３（Ａ）～（Ｄ）では、案内部材２０ｂは省略されている。
　複数個の無線モジュール５は、例えば格子状に配列されるが、他の形状に配列されてもよい。また、ここでは、１個の無線モジュール５が設置される設置台２０について主に説明するが、多数個の場合も同様である。
　図３（Ａ）～（Ｄ）では、台座部材２０ａの設置面２０ｐの略中央に形成された開口部２０ｅは、台座部材２０ａの壁面２１（第１の面の一例）及び底面２２（第２の面の一例）を有する凹部２０ｄとして形成される。壁面２１は、設置面２０ｐに接続される。底面２２は、壁面２１に接続され、設置面２０ｐに略対向する。
　凹部２０ｄの底面２２は、例えば台座部材２０ａの開口部２０ｅに検査対象の無線モジュール５に対向して装着された蓋部２０ｃによって形成される。凹部２０ｄの壁面２１は、設置面２０ｐと底面２２とに接続され、例えば底面２２（ＸＹ方向に沿った面）と直交するＺ方向に沿って形成される。
　台座部材２０ａに形成された開口部２０ｅの横方向（図３（Ａ）～（Ｄ）ではＸ軸方向）の長さは、無線モジュール５の横方向の長さより短くても長くてもよい。開口部２０ｅの縦方向（図３（Ａ）～（Ｄ）ではＹ軸方向）の長さは、無線モジュール５の縦方向の長さより長くても短くてもよい。
　次に、設置台２０の設置面２０ｐに形成される開口部２０ｅの仕様について考察する。開口部２０ｅとは、前述した壁面２１及び底面２２を有する凹部２０ｄと、後述する台座部材２０ａを貫通した孔部２０ｆ（図６参照）と、を含む表現である。
　無線モジュール５から放射された信号（入射波）に対する周辺構造物により反射された信号(反射波)による干渉が最も少なくなる条件は、反射波の入射波に対する位相差が、基本波の波長λの例えば略４分の１となる場合である。周辺構造物は、例えば台座部材２０ａの壁面２１、底面２２を含む。
　放射された電波に含まれる基本波（Ｓｉｎ波：正弦波）の信号の位相と、反射波の信号の位相と、の位相差が略１／４λの場合、入射波と反射波との合成波は、Ｓｉｎ波の形状を保持したまま、振幅のピーク値が変動する。
　入射波を無線モジュール５のアンテナから放射される信号とし、反射波をアンテナ８周辺の構造物から放射された信号とすると、例えば合成波の振幅は変動する。従って、反射波の有無により電力ピーク値（電力波形の最大振幅値）が変動する。一方、入射波と反射波との合成波の形状（位相）は変化しない。よって、アンテナ８の指向性の形状を崩すことなく、安定して指向性を測定できる。
　アンテナ８の放射パターンに影響を与えない設置台２０の形状として、アンテナ８の実装面５ａから指向性方向（例えばＺ軸方向）に対して垂直な方向（例えばＸ軸方向、Ｙ軸方向）に沿う面（例えば底面２２）までの距離を、例えば以下のように設定する。
　即ち、実装面５ａから、アンテナ８が使用する通信周波数に対応する波長λの１／４×（４ｎ＋１）倍（ｎは整数）の距離離された位置に、指向性方向に対して垂直な方向に沿う面を配置することで、設置台２０からの反射波の影響を最小限に抑制できる。
　ミリ波帯の周波数帯を用いて通信する場合について例示する。
　例えば、ミリ波帯の波長は、１ｍｍ～１０ｍｍの範囲にある。従って、使用する信号の波長λに応じて、アンテナ８からおよそ所定距離の位置に、設置台２０の底面２２を配置してもよい（条件（１））。この所定距離は、以下の（式１）により表される。条件（１）を満たす場合、アンテナ８を加味したモジュール特性に対する、底面２２により反射する反射波の影響を最小限に抑制できる。
　（０．２５ｍｍ～２．５ｍｍ）×（４ｎ＋１）倍（ｎは整数）　・・・（式１）
　無線モジュール５の設計時、例えば、ミリ波帯の波長（１ｍｍ～１０ｍｍ）のうち波長λとしてどの長さを用いるかに基づいて、（０．２５ｍｍ～２．５ｍｍ）のいずれを（式１）に用いるかが一意に決定される。つまり、この括弧部分は、λ／４に設定される。
　また、アンテナ８の指向性方向以外についても、使用する信号の波長λに応じて、アンテナ８から所定距離以上の位置に、設置台２０の壁面２１を配置してもよい（条件（２））。この所定距離は、上記の（式１）により表される距離と同じである。条件（２）を満たす場合、アンテナ８を加味したモジュール特性に対する、壁面２１により反射する反射波の影響を最小限に抑制できる。
　次に、上記考察を踏まえ、設置台２０の形状の具体例について説明する。
　図４は無線モジュール５が設置された設置台２０の形状の一例を示す断面図であり、図２（Ｂ）に対応する。図４では、設置台２０の台座部材２０ａに対して、アンテナ８の実装面５ａを下向きにして、無線モジュール５が設置面２０ｐに設置される。無線モジュール５の実装面５ａは、開口部２０ｅの周囲の設置面２０ｐと当接する。
　台座部材２０ａの開口部２０ｅは、壁面２１および底面２２を有し、アンテナ８が収容される凹部２０ｄに形成される。図４では、台座部材２０ａの下側には、凹部２０ｄを形成する一部としての蓋部２０ｃが設けられる。蓋部２０ｃの厚さ（Ｚ軸方向の長さ）は、例えば２ｍｍである。図４では、アンテナ８の指向性方向は、下向き（Ｚ軸負方向の向き、図４の矢印の向き）である。
　無線モジュール５を検査する場合、プッシャ１０が降下してＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２を押圧し、無線モジュール５に所定の荷重がかかると、無線モジュール５の実装面５ａを、台座部材２０ａの開口部２０ｅの周囲が支持する。開口部２０ｅの周囲は、所定の加重に対して剛性を有し、無線モジュール５の例えば略中央部が下方に撓む変形を生じにくい。
　また、アンテナ８は、蓋部２０ｃの面、つまり底面２２に対向近接する。この場合でも、上記の条件（１）を満たす場合、アンテナ８から放射される指向性方向の信号に対する反射波による影響を抑制できる。
　また、凹部２０ｄの壁面２１からアンテナ８の端部８ａまでに空隙がある。これにより、上記の条件（２）を満たす場合、アンテナ８から放射される指向性方向以外の信号に対する反射波による影響を抑制できる。
　即ち、設置台２０の台座部材２０ａに凹部２０ｄを形成することにより、アンテナ８周辺に底面２２又は壁面２１を形成する誘電体材料が存在することによる、アンテナ８の指向性の劣化を抑制できる。
　図５は無線モジュール５が設置された設置台２０の形状の第１変形例（設置台２０Ａ）を示す断面図である。設置台２０Ａでは、凹部２０ｄがアンテナ８の下面（前面）８ｂから蓋部２０ｃの上面（底面２２）までの距離が、例えば２ｍｍとなるように形成される。即ち、設置台２０Ａでは、設置台２０と比較すると、台座部材２０ａの厚さが厚く、検査時にアンテナ８が収容される凹部２０ｄの深さが深く、アンテナ８からＺ軸方向の所定範囲内に空隙を有する。
　凹部２０ｄは、アンテナ８の水平方向（Ｘ軸方向）の端部８ａから凹部２０ｄの壁面２１までの距離α１は、例えば２．４ｍｍ以上となるように形成される。蓋部２０ｃの厚さ（Ｚ軸方向の長さ）は、例えば２ｍｍであり、第２例の設置台２０と同じである。また、アンテナ８の指向性方向は、図５において下向き（Ｚ軸負方向）である。
　この場合、アンテナ８の下面８ｂから底面２２までの距離α２（例えば２ｍｍ）は、例えば、ミリ波帯の波長λ（例えば８ｍｍ）の略１／４に近い値になる。つまり、無線モジュール５が台座部材２０ａの設置面２０ｐに設置された状態において、アンテナ８から底面２２までの距離は、およそ（式１）により表される所定距離となる。これにより、アンテナ８から放射される指向性方向の信号に対する反射波による影響を抑制できる。
　また、凹部２０ｄの壁面２１からアンテナ８の端部８ａまでの距離α１（例えば２．４ｍｍ以上）は、例えば、ミリ波帯の波長（例えば８ｍｍ）の略１／４以上の値になる。つまり、無線モジュール５が台座部材２０ａの設置面２０ｐに設置された状態において、アンテナ８から壁面２１までの距離は、およそ（式１）により表される所定距離以上である。これにより、指向性方向以外の信号に対する反射波による影響を抑制できる。
　凹部２０ｄにより、アンテナ８周辺の所定範囲内に空隙が生じるので、例えば樹脂材料による反射波の発生を抑制でき、アンテナ特性の変化を抑えることでモジュール特性の低下を抑制できる。
　図６（Ａ）は、無線モジュール５が設置された設置台２０の形状の第２変形例（設置台２０Ｂ）を示す断面図である。
　図６（Ａ）は、設置台２０Ｂが可撓性部材（例えばゴム材又はスポンジ材）により形成される場合を示す。また、設置台２０Ｂの台座部材２０ａの例えば略中央には、開口部２０ｅとして、設置面２０ｐと直交する方向（Ｚ軸方向）に台座部材２０ａを貫通する孔部２０ｆが形成される。孔部２０ｆが形成されることで、アンテナ８の指向性方向に台座部材２０ａが存在せず、アンテナ８から放射された信号に対する反射波の影響を抑制できる。
　無線モジュール５を検査する場合、プッシャ１０が降下してＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２を押圧すると、無線モジュール５を介して押圧される設置台２０Ｂの台座部材２０ａは、図中矢印ａに示すように、下向き（Ｚ軸負方向）に均等に沈むように撓む。これにより、無線モジュール５が下方に撓まず、無線モジュール５を水平状態に維持できる。従って、無線モジュール５のモジュール特性を、指向性方向の変化を抑制して、良好に検査できる。
　図６（Ｂ）は、無線モジュール５が設置された設置台２０の形状の第３変形例（設置台２０Ｃ）を示す断面図である。
　図６（Ｂ）では、台座部材２０ａの設置面２０ｐとは反対側に、ばね部材３１が設けられる。ばね部材３１は、設置台２０Ｃに加わる荷重を緩衝するダンパーとしての機能を有する。ここでは、ばね部材３１は、設置面２０ｐが押圧される方向に弾性を有する。プッシャ１０が降下した場合でも、設置台２０Ｃの下方向（押圧方向）に暗箱４０が存在するので、設置台２０Ｃの台座部材２０ａは、ばね部材３１の弾性力を受け、下方に沈み込むことを回避する。
　よって、図６（Ａ）と同様、無線モジュール５が下方に撓まず、無線モジュール５を水平状態に維持できる。従って、無線モジュール５のモジュール特性を、指向性方向の変化を抑制して、良好に検査できる。
　無線モジュールの設置台２０（２０，２０Ａ～２０Ｃ）によれば、以下の効果が得られる。
　ミリ波は、波長１ｍｍ～１０ｍｍ、周波数３０～３００ＧＨｚの電磁波（電波）である。ミリ波帯域の信号を用いる無線モジュール５のアンテナ８から放射される信号の送受信特性を検査する場合、非常に短い波長λとなることから、入射波と反射波との時間差における信号の位相差の変動が大きい。従って、設置台２０の例えば形状を工夫しない場合、アンテナ８から放射されたミリ波帯の信号に対する、同信号が例えば周辺構造物により反射された信号による品質への影響が、低周波数帯域の信号と比べて顕著に現れる。
　設置台２０によれば、アンテナ８周辺に例えば誘電体材料からなる部材があり、高帯域（例えばミリ波帯域）を用いる無線モジュール５を検査する場合でも、アンテナ８の指向性の劣化を抑制できる。例えば、設置台２０の台座部材２０ａに凹部２０ｄ又は孔部２０ｆを形成することにより、アンテナ８の放射特性を改善できる。また、無線モジュール５が台座部材２０ａに設置され、アンテナ８から所定距離の範囲内に空隙が生じることで、反射波の影響を受けにくくなり、無線モジュール５の検査におけるモジュール特性の信頼性を向上できる。
　同様に、設置台２０を含む検査装置１によれば、無線モジュール５の検査におけるモジュール特性の信頼性を向上でき、高精度にモジュール特性を計測できる。
（第２の実施形態）
　第１の実施形態では、無線モジュール５のアンテナ８の指向性方向が、設置台２０の設置面２０ｐに直交する方向（Ｚ軸方向）である場合を示した。第２の実施形態では、アンテナ８の指向性方向が、設置台２０の設置面２０ｐに直交する方向（Ｚ軸方向）から所定角度ずれており、斜め方向である場合を示す。
　第２の実施形態の検査装置１は、第１の実施形態の検査装置１と同様の構成を有する。第１の実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を用いることで、説明を省略又は簡略化する。
　図７（Ａ）～（Ｄ）は、無線モジュール５が設置された設置台２０Ｄの形状の一例を示す平面図又は断面図である。図７（Ａ）は、１個の無線モジュール５が設置された設置台２０Ｄを上方向（Ｚ軸正方向）から見た平面図である。図７（Ｂ）は、図７（Ａ）の設置台２０ＤのＣ－Ｃ’断面の概略図である。図７（Ｃ）は、複数個の無線モジュール５が設置された設置台２０Ｄを上方向（Ｚ軸正方向）から見た平面図である。図７（Ｄ）は、図８（Ｃ）の設置台２０ＤのＤ－Ｄ’断面の概略図である。図８（Ａ）～（Ｄ）では、案内部材２０ｂは省略されている。
　複数個の無線モジュール５は、例えば格子状に配列されるが、他の形状に配列されてもよい。また、ここでは、１個の無線モジュール５が設置される設置台２０Ｄについて主に説明するが、多数個の場合も同様である。
　設置台２０Ｄは、例えば樹脂材料からなるソケット型に成形され、無線モジュール５が設置される台座部材２０ａを有する。台座部材２０ａは、開口部２０ｅを有する。台座部材２０ａの例えば略中央には、開口部２０ｅの一例として、台座部材２０ａを斜めに貫通する孔部２０ｇが形成される。つまり、孔部２０ｇは、Ｚ軸方向から所定角度傾斜される。
　また、孔部２０ｇの壁面２１（内壁面）は、アンテナ８の指向性方向に沿ったテーパ面２０ｈを有する。なお、開口部２０ｅは、孔部２０ｇではなく、蓋部２０ｃを有する凹部２０ｄでもよい。
　台座部材２０ａの孔部２０ｇの横方向（図７（Ａ），（Ｂ）ではＸ方向）の長さは、無線モジュール５の横方向の長さよりも短い。孔部２０ｇの縦方向（図７（Ａ），（Ｂ）ではＹ方向）の長さは、無線モジュール５の縦方向の長さよりも長い。
　図８は、無線モジュール５が設置された設置台２０Ｄの形状の一例を示す断面図であり、図７（Ｂ）に対応する。設置台２０Ｄは、第１の実施形態と同様、アンテナ８が実装される実装面５ａを下向きにして、無線モジュール５が設置される台座部材２０ａを有する。
　台座部材２０ａの例えば略中央には、開口部２０ｅとして、孔部２０ｇが形成される。孔部２０ｇの壁面２１は、アンテナ８から放射された信号の指向性方向に沿ったテーパ面２０ｈを有する。アンテナ８の指向性方向は、図８では、矢印ｂに示すように、アンテナ８から斜め下向きの方向である。
　図８では、送信及び受信において、略同一の指向性を有しているので、図８における左右の壁面２１は、送受信時の指向性方向に沿ったテーパ面２０ｈを有する。
　無線モジュール５を検査する場合、プッシャ１０が降下してＩＣハンドラ３のコンタクトピン１２を押圧する。コンタクトピン１２を介して無線モジュール５に所定の荷重がかかると、無線モジュール５の実装面５ａを台座部材２０ａの開口部２０ｅの周囲が支持する。開口部２０ｅの周囲は、所定の加重に対して剛性を有し、無線モジュール５の例えば略中央部が下方に撓む変形を生じにくい。
　また、アンテナ８の指向性方向に沿って孔部２０ｇの壁面２１がテーパに形成され、設置台２０Ｄの底面が存在しないので、指向性方向の信号の反射波による影響は無くなる。また、無線モジュール５を設置台２０Ｄに設置した場合、孔部２０ｇの壁面２１からアンテナ８の端部８ａまでに空隙があるので、指向性方向以外の信号に対する反射波による影響も抑制できる。また、アンテナ８周辺に、例えば誘電体材料からなる部材が存在することによるアンテナ８の指向性の劣化を抑制できる。
　図９（Ａ），（Ｂ）は、アンテナ８から放射される信号の放射パターンｐの一例を示す模式図である。
　図９（Ａ），（Ｂ）では、Ｘ軸方向が設置台２０Ｄの横方向を表し、Ｙ軸方向が設置台２０Ｄの縦方向を表し、Ｚ軸方向が設置台２０Ｄの上下方向を表す。また、無線モジュール５のアンテナ８の実装面５ａは、上向き（Ｚ軸正方向）に配置される。また、放射パターンｐでは、濃淡により電波強度を示し、濃い程電波強度が高い。図９（Ａ）、（Ｂ）では、同じ指向性を持つアンテナが用いられる。
　図９（Ａ）は、設置台２０Ｄに設置された無線モジュール５から放射される信号の放射パターンｐのシミュレーション結果を示す。
　図９（Ｂ）は、従来の設置台１２０に設置された無線モジュールから放射される信号の放射パターンｐのシミュレーション結果を示す。設置台１２０における無線モジュールのアンテナ実装面と接触する設置面には、凹部が形成されておらず、平坦である。つまり、設置台１２０は厚さ（Ｚ軸方向の長さ）が一様である。
　設置台２０Ｄを用いた場合、図９（Ａ）に示すように、アンテナ８から放射される信号は、アンテナ８の指向性方向に、指向性方向以外よりも大きな電波強度を持つ放射パターンｐが得られる。つまり、図９（Ａ）を参照すると、Ｚ軸正方向からＸ軸方向に所定角度傾斜した方向（例えば６０度チルトした位置）が、放射される電波強度が最も大きい方向であり、指向性方向である。
　一方、従来の設置台１２０を用いた場合、図９（Ｂ）に示すように、アンテナの指向性方向に大きな強度を持つ放射パターンｐが得られない。つまり、従来の設置台１２０を用いた場合、アンテナ８の周囲に所望の空隙が生じておらず、アンテナの放射特性が悪化することが理解できる。
　図１０は、無線モジュール５が設置された設置台２０Ｄの形状の第１変形例（設置台２０Ｅ）を示す断面図である。設置台２０Ｅは、開口部２０ｅである凹部２０ｄの壁面２１が、指向性方向に沿うテーパ面２０ｈを有する。また、設置台２０Ｄの図１０における下側には、凹部２０ｄの底面２２を形成する蓋部２０ｃが設けられる。蓋部２０ｃの厚さ（Ｚ方向長さ）は、例えば２ｍｍである。
　凹部２０ｄは、アンテナ８の下面８ｂから蓋部２０ｃの上面（底面２２）までの距離が、例えば２ｍｍとなるように形成される。凹部２０ｄは、アンテナ８の水平方向（Ｘ方向）の端部８ａからテーパ面２０ｈまでの距離が、例えば２．４ｍｍ以上となるように形成される。
　アンテナ８の下面８ｂから底面２２までの距離（例えば２ｍｍ）は、ミリ波帯の波長（例えば８ｍｍ）の略１／４であるので、アンテナ８から放射される指向性方向の信号に対する反射波による影響を抑制できる。
　また、テーパ面２０ｈに形成された凹部２０ｄの壁面２１からアンテナ８の端部８ａまでの距離（例えば２．４ｍｍ以上）は、ミリ波帯の波長（例えば８ｍｍ）の略１／４以上であるので、指向性方向以外の信号に対する反射波の影響を抑制できる。
　また、設置台２０Ｅは蓋部２０ｃを有するので、無線モジュール５の実装面５ａを支持する台座部材２０ａを、荷重に対して強固にできる。
　図１１は、無線モジュール５が設置された設置台２０Ｄの形状の第２変形例（設置台２０Ｆ）を示す断面図である。図１１では、アンテナ８が、送信及び受信において異なる指向性方向を有することを想定する。
　設置台２０Ｆは、凹部２０ｄの両側の壁面２１のうち、一方の面は、アンテナ８により送信される信号の指向性方向に沿ったテーパ面２０ｈ１を有し、他方の面は、アンテナ８により受信される信号の指向性方向に沿ったテーパ面２０ｈ２を有する。即ち、凹部２０ｄの壁面２１は、末広がり型のテーパ面２０ｈを形成する。なお、テーパ面２０ｈ１が受信信号の指向性に沿い、テーパ面２０ｈ２が送信信号の指向性に沿う構成でもよい。
　設置台２０Ｆは、末広がり型のテーパ面２０ｈを有する以外、設置台２０Ｅと同様である。例えば、各位置間の距離、厚さ（例えば２ｍｍ，２．４ｍｍ）は、設置台２０Ｅと同様であるので、説明を省略する。
　この場合、測定用アンテナ４３として、暗箱４０には、受信用アンテナと送信用アンテナとを用いることにより、異なる方向から電波を送信又は受信できる。
　このように、アンテナ８から放射される指向性方向の信号に対する、開口部２０ｅの壁面２１からの反射波による影響を抑制できる。また、アンテナ８により受信される指向性方向の信号に対する、開口部２０ｅの壁面２１からの反射波による影響を抑制できる。
（第３の実施形態）
　第３の実施形態では、無線モジュール５のアンテナ８の指向性方向が、設置台の設置面に直交する方向（Ｚ軸方向）又は直交する方向から所定角度傾斜した方向である場合について説明する。第３の実施形態では、設置台が開口部として孔部を有する。
　第３の実施形態の検査装置１は、第１の実施形態の検査装置１と同様の構成を有する。第１の実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を用いることで、説明を省略又は簡略化する。
　図１３は、第３の実施形態における設置台２０Ｇの近傍の一例を示す部分拡大断面図である。設置台２０Ｇは、開口部２０ｅとして孔部２０ｉを有する。孔部２０ｉは、無線モジュール５側（Ｚ軸正側）の開口端面（ｘ－ｙ面）２０ｉ１の面積が、暗箱４０側（Ｚ軸負側）の開口端面２０ｉ２の面積よりも小さい。つまり、アンテナ８から放射され、空間に広がる電波に設置台２０Ｇが干渉しないように、設置台２０Ｇが形成される。開口端面２０ｉ１から開口端面２０ｉ２に向かって、孔部２０ｉの壁面としてテーパ面２０ｉ３が形成される。
　図１３では、孔部２０ｉにおけるテーパ面２０ｉ３と、開口端面２０ｉ１又は開口端面２０ｉ２と、により形成される角度θは、例えば、アンテナ８の放射パターンに応じて決定される。図１３では、角度θは、Ｚ軸に沿う方向とテーパ面２０ｉ３とのなす角度として示されている。例えば、アンテナ指向性（電波の放射方向）の半値角が±３０度の場合、この±３０度に±１５度を追加して、上記角度θを４５度以上としてもよい。これにより、電波の放射方向に誘電体部材が存在する可能性を更に低減でき、アンテナ特性の変化を抑えることでモジュール特性の劣化を抑制してモジュール特性を測定できる。
　図１３では、開口端面２０ｉ１の面積と開口端面２０ｉ２の面積との差を、可能な限り大きくしてもよい。この場合、設置台２０の強度を増大できる。
　図１４は設置台２０Ｇを下方向（Ｚ軸負方向）から見た平面図である。開口端面２０ｉ１は、孔部２０ｉのＺ軸正側の端面である。開口端面２０ｉ２は、孔部２０ｉのＺ軸負側の端面である。設置台２０Ｇを下方向から見ると、開口端面２０ｉ１内には、無線モジュール５に実装されたアンテナ８を確認できる。図１４では、開口端面２０ｉ１，２０ｉ２は、略矩形状に形成されるが、他の形状（例えば略円形状）に形成されてもよい。
　図１４では、アンテナ８は、例えば、８個のアンテナ素子を含み、２×２のパッチアンテナを２個含む。パッチアンテナの形状は２×２以外でもよく、パッチアンテナの数も２個以外でもよい。
　各アンテナ素子と開口端面２０ｉ１との距離ｄ１は、アンテナ８が使用する通信周波数に対応する波長を波長λとすると、例えば、λ／２以上に設定される。これにより、設置台２０Ｇの壁面（テーパ面２０ｉ３）からの反射波の影響およびアンテナに対する放射インピーダンスの変化を抑制できる。
　図１４では、一例として、ｄ１＝λ／２に設定される。この場合、コンタクトピン１２により押し付けを受ける部分が比較的広いので、放射される電波の劣化を抑制し、押圧に対する設置台２０Ｇの強度も確保できる。
　設置台２０Ｇによれば、アンテナ８による電波の放射方向、つまりアンテナ８からＺ軸負側に誘電体材料（例えば樹脂材料）が配置されていないので、放射された電波強度の低減および放射パターンの変形を抑制できる。
　次に、孔部２０ｉの変形例について説明する。
　図１５（Ａ）～（Ｃ）は、孔部２０ｉの構成の変形例を示す平面図である。
　図１５（Ａ）に示す第１変形例では、無線モジュール５のｘ－ｙ面における中心と、開口端面２０ｉ１，２０ｉ２のＸ－Ｙ面における中心と、が略一致するように配置される。図１５（Ａ）では、アンテナ素子がＹ軸に沿って２列に配列されるが、Ｘ軸正側の列に配置されたアンテナ素子と開口端面２０ｉ１との距離ｄ２は、略λ／２であり、Ｘ軸負側の列に配置されたアンテナ素子と開口端面２０ｉ１との距離ｄ２は、略λ／２以上である。
　このように、アンテナ８の中心が開口端面２０ｉ１の中心からずれて配置されてもよい。この場合でも、コンタクトピン１２（図１３参照）がＸ軸正側よりもＸ軸負側において広範囲にわたって無線モジュール５を押圧する。従って、無線モジュール５を設置台２０Ｇに対して均等に押しつけることができる。
　図１５（Ｂ）に示す第２変形例では、無線モジュール５のＸ－Ｙ面における中心と、開口端面２０ｉ１，２０ｉ２のＸ－Ｙ面における中心と、が略一致するように配置される。図１５（Ｂ）では、アンテナ８に含まれる各アンテナ素子と開口端面２０ｉ１との距離は、略λ／２以上である。図１５（Ｂ）では、開口端面２０ｉ１の面積が、無線モジュール５の実装面５ａの面積よりも若干小さく形成される。この場合、図１５（Ｂ）に示すように、実装面５ａに対応する範囲内に、開口端面２０ｉ１が含まれる。よって、コンタクトピン１２により無線モジュール５を設置台２０Ｇへ押圧可能に、図１５（Ａ）の場合よりも孔部２０ｉが大きく形成される。この場合、アンテナ８から放射された電波と誘電体部材との干渉を更に低減し、アンテナ特性の変化を抑えることで無線モジュール５の計測精度を向上できる。
　図１５（Ｃ）に示す第３変形例では、開口端面２０ｉ１における対向する２辺（ここでは辺２０１，２０２）の長さが、この２辺と平行な無線モジュール５の２辺（ここでは辺２０３，２０４）よりも長い。この場合、無線モジュール５における対向する２辺（ここでは辺２０１，２０２）の近傍において、コンタクトピン１２により無線モジュール５が押圧される。この２辺以外の辺の近傍では、コンタクトピン１２により無線モジュール５が押圧されない。図１５（Ｃ）では、アンテナ８に含まれる各アンテナ素子と開口端面２０ｉ１との距離は、略λ／２以上である。
　従って、実装面５ａにおけるＹ軸方向の両端部には、コンタクトピン１２により当接される領域が存在する。実装面５ａにおけるＸ軸方向の両端部には、コンタクトピン１２により当接される領域が存在しない。この場合でも、実装面５ａにおけるＹ軸方向の両端部において無線モジュール５を固定できるので、アンテナ８から放射された電波と誘電体部材との干渉を低減し、アンテナ特性の変化を抑えることで無線モジュール５の計測精度を向上できる。
　このように、孔部２０ｉが、ｘ－ｙ面に沿う面において、いずれかの方向（例えばＹ軸方向）に開口端面２０ｉ１よりも長い場合でも、無線モジュール５を押圧して固定でき、無線モジュール５のモジュール特性を計測できる。
　本実施形態によれば、アンテナ８から放射され、空間に広がる電波を考慮して孔部２０ｉが形成されるので、放射電波が設置台２０Ｇの誘電体部分と干渉することを抑制できる。よって、アンテナ特性の変化を抑えることで無線モジュール５の測定精度、検査精度を向上できる。
　従来のＩＣソケットは、モジュールの端子から出力される信号特性を測定するために用いられるＩＣソケットであり、アンテナが実装されたモジュールの特性を測定するものではなかった（例えば、参考特許文献参照）。
　（参考特許文献：日本国特開２００９－２４５８８９号公報）
　従来のＩＣソケットと比較すると、本実施形態の設置台２０ｉは、アンテナ８が実装された無線モジュール５の特性を測定することを考慮した形状に形成されており、アンテナ特性の変化を抑えることで無線モジュール５の計測精度、検査精度の劣化を抑制できる。
（第４の実施形態）
　第４の実施形態は、第３の実施形態の変形例である。第４の実施形態では、暗箱４０を用いず、暗箱４０とは別体の電波吸収体を用いて、アンテナが実装されたモジュールの特性を計測する。
　図１６は、第４の実施形態における設置台２０Ｇを含む検査装置１Ｂの部分構成例を示す断面図である。検査装置１Ｂは、図１に示した暗箱４０を備えず、電波吸収体４４、アクリル板４５、及び測定器４８を備える。検査装置１Ｂにおいて、図１に示した検査装置１又は図１３に示した設置台２０Ｇと同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略又は簡略化する。
　電波吸収体４４は、測定器４８から反射波された電波を吸収し、測定器４８から無線モジュール５へ向かう電波を減少させる。アクリル板４５は、電波吸収体４４を支持し、電波吸収体４４の位置を固定する。測定器４８は、例えば、前述した測定用アンテナ４３と、測定用アンテナ４３により受信又は送信した電波の強度を計測するモジュール特性計測部と、を含んで構成される。
　図１６では、設置台２０Ｇの下側（Ｚ軸負側）に電波吸収体４４、アクリル板４５、及び測定器４８が配置される。電波吸収体４４のＸ方向におけるアンテナ８の中心部側の端部は、例えば、孔部２０ｉのテーパ面２０ｉ３の略延長線上の位置に配置される。これにより、測定器４８から放射される反射電波が、設置台２０Ｇから放射された電波と干渉することを抑制できる。検査ボード３３とアクリル板４５との距離は、設置台２０Ｇに干渉しない限り近接してもよい。
　検査装置１Ｂによれば、暗箱４０を用いることなく、検査装置１Ｂを小型化してアンテナ８が実装された無線モジュール５の特性を測定できる。また、無線モジュール５から放射された電波は空間で広がりながら伝搬するが、電波吸収体４４により測定器４８による反射波又は放射波を低減するので、アンテナ特性の変化を抑えることで無線モジュール５の測定精度を向上できる。
（第５の実施形態）
　第１～第４の実施形態では、無線モジュールがコンタクトピンにより押下されることで無線モジュールが設置台に固定され、設置台が検査ボード３３に固定されることを例示した。第５の実施形態では、フックを用いて複数の部材により無線モジュール５を固定するモジュールソケットについて説明する。
　第５の実施形態では、図１７（Ａ）に示した矢印ａの方向にアンテナ８からの電波が放射される。矢印ａの先の方向には、例えば、図１６に示した測定器４８、又は、図１に示したモジュール特性を測定する装置（例えば、測定用アンテナ４３、モジュール特性計測部）が配された暗箱４０、が配置される。モジュール特性の測定は、例えば、先述の実施形態における測定方法と同様の方法により実施される。
　図１７（Ａ），（Ｂ）は、モジュールソケット２０Ｈの形状及びモジュールソケット２０Ｈ近傍の部材の一例を示す断面図及び平面図である。図１７（Ａ）は、正面（Ｙ軸正側）から視た場合のモジュールソケット２０Ｈの断面を示す。図１７（Ｂ）は、図１７（Ａ）のモジュールソケットを上方（Ｚ軸負側）から視た場合のソケット蓋２３の形状を示す。
　無線モジュール５の上面（Ｚ軸負側のＸ－Ｙ面に沿う面）には、Ｚ軸方向、つまり実装面５ａと略直交する方向に電波を放射するアンテナ８が実装される。
　モジュールソケット２０Ｈは、ベース部２６、ソケット蓋２３、及びフック２５を含んで構成される。ベース部２６は、無線モジュール５に対し、電源を供給し、信号の入出力を行う検査ボード３３に搭載される。検査ボード３３には、例えば、測定器４８又は電源（図示せず）と接続されるコネクタ、無線モジュール５の外部部品としての電子部品（例えば、コンデンサ、電源用ＩＣ）が実装される。
　ベース部２６には、無線モジュール５が収容される凹部２６ａに形成される。凹部２６ａの底面である設置面２６ｅに無線モジュール５が設置される。ベース部２６の設置面２６ｅには、凹部２６ａに収容された無線モジュール５の電極端子（ボール）５ｂの各々と接触する複数の導電性ピン２７が配置される。導電性ピン２７は、設置面２６ｅから突出する。複数の導電性ピン２７は、検査ボード３３における例えば信号線又は電源線と接続される。
　ソケット蓋２３は、ベース部２６に設置された無線モジュール５を押圧するように、無線モジュール５の実装面５ａに当接される。ソケット蓋２３の略中央部には、突部（凸部）２３ｅが形成され、凸部２３ｅをＺ軸に沿う方向に貫通するように開口部２３ａとして孔部が形成される。開口部２３ａのＸ－Ｙ面に沿う断面の形状は、矩形状、円形状でもよく、その他の形状でもよい。
　開口部２３ａでは、下側（Ｚ軸正側）において開口面積が小さく、上側（Ｚ軸正側）で開口面積が大きい。開口部２３ａの内壁面の角度は、例えば、Ｚ軸方向に対して、４５度傾斜したテーパ状の斜面に形成される。開口面積が最も小さい下側の開口端部２３ｄとアンテナ８の素子との距離ｄ１は、例えばλ／２以上である。λは無線モジュール５から放射される電波の波長である。
　開口部２３ａの角度においては、例えばアンテナ８による電波の放射パターンに応じて、最小角度が異なる。開口部２３ａの角度は、例えば、アンテナ指向性の半値角が±３０度の場合、半値角に±１５度を追加して±４５度以上とする。これにより、モジュールソケット２０Ｈの加工の容易性とモジュールソケット２０Ｈの強度とを両立できる。
　ソケット蓋２３は、無線モジュール５の上面（Ｚ軸負側の面）において端辺である４辺付近に均等に力が加わるように、凸部２３ｅによって無線モジュール５を下方向（Ｚ軸正方向）に押さえ付ける。例えば、無線モジュール５の略中央部にアンテナ８が配置される場合、無線モジュール５の周縁部が均等に押さえ付けられる。例えば、無線モジュール５の片側に偏ってアンテナ８が配置される場合、ソケット蓋２３の凸部２３ｅの下面（Ｚ軸正側の面）では、Ｘ軸方向の一端側とＸ軸方向の他端側とにおいて無線モジュール５との接触面積が異なる。この場合でも、無線モジュール５における広さの異なる面により、無線モジュール５を均等に押さえ付けられる。
　フック２５は、ベース部２６に段部として形成された引っ掛かり部２６ｃと、ソケット蓋２３に段部として形成された引っ掛かり部２３ｂと、にそれぞれ係合する一対の係止片２５ａ，２５ｂを有する。フック２５は、ベース部２６及びソケット蓋２３を挟み込んで固定する。これにより、無線モジュール５がベース部２６及びソケット蓋２３により挟持される。図１７（Ａ）では、フック２５が２個使用されることを例示したが、３個以上使用されてもよい。
　モジュール特性の検査開始前、無線モジュール５は、ベース部２６の凹部２６ａに収容され、複数の電極端子５ｂの各々が複数の導電性ピン２７と接触する。無線モジュール５は、ソケット蓋２３の凸部２３ｅにより押圧され、フック２５は、ソケット蓋２３とベース部２６とを挟み込む。これにより、モジュールソケット２０Ｈにおいて無線モジュール５が固定される。
　モジュールソケット２０Ｈによれば、モジュールソケット２０Ｈの部材（例えば樹脂部材）の影響を抑制できる。これにより、アンテナ８の実装面５ａと略直交する方向に指向性を有するアンテナ８を備えた無線モジュール５のモジュール特性の測定精度、検査精度を向上できる。例えば、モジュールソケット２０ＨよりもＺ軸負側に配置されたモジュール特性の測定器（例えば、モジュール特性計測部、測定器４８）により測定されるモジュール特性の測定精度の劣化を抑制できる。
　また、ソケット蓋２３の凸部２３ｅによって無線モジュール５が均等に押圧されるので、電極端子５ｂと導電性ピン２７とを良好に接触できる。そのため、例えば、無線モジュール５への電源の供給又は信号の入出力を安定的に実行できる。
　また、電極端子５ｂと導電性ピン２７との接触によって無線モジュール５とベース部２６との電気的接続が確保されるので、検査対象である無線モジュール５の交換が容易である。
　また、フック２５が、ベース部２６とソケット蓋２３とにより無線モジュール５を挟み込むように固定するので、無線モジュール５の位置ずれを抑制できる。
　また、無線モジュール５がベース部２６に形成された凹部２６ａに収容されるので、モジュールソケット２０Ｈの厚さを薄くできる。
　また、ベース部２６の導電性ピン２７は、例えば検査ボード３３上の信号線又は電源線と接続されるので、無線モジュール５の検査に必要な信号を入出力できる。
　また、ソケット蓋２３に開口部２３ａが形成されるので、無線モジュール５に実装されたアンテナ８から誘電体（例えば樹脂）により形成された部材を離間でき、アンテナ８のモジュール特性に与える影響を抑制できる。従って、アンテナ特性の変化を抑えることで無線モジュール５の測定精度、検査精度を向上できる。
　なお、本開示は、上記実施形態の構成に限られるものではなく、特許請求の範囲で示した機能、または本実施形態の構成が持つ機能が達成できる構成であればどのようなものであっても適用可能である。
（本開示の一形態の概要）
　本開示の第１のモジュールソケットは、
　アンテナを備える無線モジュールにおける前記アンテナが実装される実装面と当接する設置面を有する台座部材と、
　前記設置面に前記無線モジュールが設置された状態において、前記アンテナから電波の放射方向に向かって所定距離の範囲内に形成された空隙部と、
　を有する。
　本開示の第２のモジュールソケットは、第１のモジュールソケットであって、
　前記台座部材は、前記設置面に接続された第１の面を有し、
　前記空隙部は、前記台座部材を貫通する孔部を有する。
　本開示の第３のモジュールソケットは、第１のモジュールソケットであって、
　前記台座部材は、前記設置面に接続される第１の面と、
　前記第１の面に接続され前記設置面に対向する第２の面と、を有し、
　前記空隙部は、前記第１の面及び前記第２の面により形成された凹部を有する。
　本開示の第４のモジュールソケットは、第３のモジュールソケットであって、
　前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記アンテナから前記第１の面までの距離は、前記アンテナにより送信又は受信される電波の波長をλとし、整数をｎとした場合、略１／４×λ×（４ｎ＋１）により表される距離以上である。
　本開示の第５のモジュールソケットは、第３または第４のモジュールソケットであって、
　前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記アンテナから前記第２の面までの距離は、前記アンテナにより送信又は受信される電波の波長をλとし、整数をｎとした場合、略１／４×λ×（４ｎ＋１）により表される距離である。
　本開示の第６のモジュールソケットは、第３または第４のモジュールソケットであって、
　前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向に沿って形成されたテーパ面を含む。
　本開示の第７のモジュールソケットは、第６のモジュールソケットであって、
　前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向が電波の送信及び受信において略同一方向である場合、前記略同一方向に沿って形成されたテーパ面を含む。
　本開示の第８のモジュールソケットは、第６のモジュールソケットであって、
　前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向が電波の送信と受信において異なる方向である場合、
　前記送信における第１の指向性方向に沿って形成されたテーパ面と、
　前記受信における第２の指向性方向に沿って形成されたテーパ面と、
　を含む。
　本開示の第９のモジュールソケットは、第１ないし第８のいずれか１つのモジュールソケットであって、
　前記台座部材は、前記設置面が押圧される方向に弾性を有する。
　本開示の第１０のモジュールソケットは、第２のモジュールソケットであって、
　前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向に沿って形成されたテーパ面を含み、
　前記孔部は、前記設置面側に位置する第１の開口端面と、
　前記設置面と反対側に位置し、前記第１の開口端面の面積よりも面積が大きい第２の開口端面と、
　を含む。
　本開示の第１１のモジュールソケットは、第１０のモジュールソケットであって、
　前記テーパ面は、前記設置面に直交する軸に対して、前記アンテナの半値角に基づく傾斜を有する。
　本開示の第１２のモジュールソケットは、第１０または第１１のモジュールソケットであって、
　前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記アンテナから前記第１の面までの距離は、前記アンテナにより送信又は受信される電波の波長をλとした場合、１／２×λにより表される距離以上である。
　本開示の第１３のモジュールソケットは、第１２のモジュールソケットであって、
　前記第１の開口端面は、前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記無線モジュールと対向する範囲内に位置する。
　本開示の第１４のモジュールソケットは、第１２のモジュールソケットであって、
　前記第１の開口端面は、前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、第１の方向における両端部が、前記無線モジュールと対向し、前記第１の方向と直交する第２の方向における両端部が、前記無線モジュールと対向しない。
　本開示の無線モジュール検査装置は、
　第１ないし第１４のいずれか１つのモジュールソケットと、
　前記モジュールソケットに設置される無線モジュールの電極端子に当接し、所定信号または電力を前記無線モジュールに供給する接触子と、
　前記接触子を前記無線モジュール側に押圧するプッシャと、
　前記無線モジュールに実装された第１のアンテナから放射された電波を受信し、または前記第１のアンテナへ電波を放射する第２のアンテナと、
　電波吸収体に包囲され、前記モジュールソケットと対向し、前記第２のアンテナを収容するアンテナ収容部と、
　を備える。
　本開示の無線モジュール検査方法は、
　第１ないし第１４のいずれか１つのモジュールソケットに無線モジュールを設置するステップと、
　前記モジュールソケットに設置された前記無線モジュールの電極端子に、所定信号または電力を前記無線モジュールに供給する接触子を当接するステップと、
　前記接触子を前記無線モジュール側に押圧するステップと、
　電波吸収体に包囲され、前記モジュールソケットと対向するアンテナ収容部に収容された第２のアンテナにより、前記無線モジュールに実装された第１のアンテナから放射された電波を受信し、又は第１のアンテナへ電波を放射するステップと、
　を有する。
　本出願は、2013年3月5日出願の日本特許出願No.2013-043494に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
　本開示は、無線モジュールの検査におけるモジュール特性の信頼性を向上できるモジュールソケット、無線モジュールの検査装置等に有用である。
　１，１Ｂ　検査装置
　３　ＩＣハンドラ
　５　無線モジュール
　５ａ　実装面
　５ｂ　電極端子
　８　アンテナ
　８ａ　アンテナの端部
　８ｂ　アンテナの下面
　１０　プッシャ
　１２　コンタクトピン
　２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅ，２０Ｆ，２０Ｇ，１２０　設置台
　２０Ｈ　モジュールソケット
　２０ａ　台座部材
　２０ｂ　案内部材
　２０ｃ　蓋部
　２０ｄ　凹部
　２０ｅ　開口部
　２０ｇ，２０ｆ，２０ｉ　孔部
　２０ｉ１，２０ｉ２　開口端面
　２０ｈ，２０ｈ１，２０ｈ２，２０ｉ３　テーパ面
　２０ｐ　設置面
　２１　壁面
　２２　底面
　２３　ソケット蓋
　２３ａ　開口部
　２３ｂ　引っ掛かり部
　２３ｄ　開口端部
　２３ｅ　凸部
　２５　フック
　２５ａ，２５ｂ　係止片
　２６　ベース部
　２６ａ　凹部
　２６ｃ　引っ掛かり部
　２６ｅ　設置面
　２７　導電性ピン
　３１　ばね部材
　３２　ガスケット
　３３　検査ボード
　３４　結合部材
　３４ａ　開口部
　３５　設置台補助部材
　３５ａ　開口部
　４０　暗箱
　４０Ａ　開口部
　４０Ｂ　天井面
　４３　測定用アンテナ
　４３ａ　４本脚
　４３ｂ　架台
　４６　緩衝材
　４７　電波吸収体
　４８　測定器

Claims (16)

  1. 　アンテナを備える無線モジュールにおける前記アンテナが実装される実装面と当接する設置面を有する台座部材と、
    　前記設置面に前記無線モジュールが設置された状態において、前記アンテナから電波の放射方向に向かって所定距離の範囲内に形成された空隙部と、
    　を有することを特徴とするモジュールソケット。
  2. 　前記台座部材は、前記設置面に接続された第１の面を有し、
    　前記空隙部は、前記台座部材を貫通する孔部を有する
    　ことを特徴とする請求項１に記載のモジュールソケット。
  3. 　前記台座部材は、前記設置面に接続される第１の面と、
    　前記第１の面に接続され前記設置面に対向する第２の面と、を有し、
    　前記空隙部は、前記第１の面及び前記第２の面により形成された凹部を有する
    　ことを特徴とする請求項１記載のモジュールソケット。
  4. 　前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記アンテナから前記第１の面までの距離は、前記アンテナにより送信又は受信される電波の波長をλとし、整数をｎとした場合、略１／４×λ×（４ｎ＋１）により表される距離以上であることを特徴とする請求項３に記載のモジュールソケット。
  5. 　前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記アンテナから前記第２の面までの距離は、前記アンテナにより送信又は受信される電波の波長をλとし、整数をｎとした場合、略１／４×λ×（４ｎ＋１）により表される距離であることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のモジュールソケット。
  6. 　前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向に沿って形成されたテーパ面を含む請求項３または請求項４に記載のモジュールソケット。
  7. 　前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向が電波の送信及び受信において略同一方向である場合、前記略同一方向に沿って形成されたテーパ面を含む請求項６に記載のモジュールソケット。
  8. 　前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向が電波の送信と受信において異なる方向である場合、
    　前記送信における第１の指向性方向に沿って形成されたテーパ面と、
    　前記受信における第２の指向性方向に沿って形成されたテーパ面と、
    　を含む請求項６に記載のモジュールソケット。
  9. 　前記台座部材は、前記設置面が押圧される方向に弾性を有することを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載のモジュールソケット。
  10. 　前記第１の面は、前記アンテナの指向性方向に沿って形成されたテーパ面を含み、
    　前記孔部は、前記設置面側に位置する第１の開口端面と、
    　前記設置面と反対側に位置し、前記第１の開口端面の面積よりも面積が大きい第２の開口端面と、
    　を含む請求項２に記載のモジュールソケット。
  11. 　前記テーパ面は、前記設置面に直交する軸に対して、前記アンテナの半値角に基づく傾斜を有することを特徴とする請求項１０に記載のモジュールソケット。
  12. 　前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記アンテナから前記第１の面までの距離は、前記アンテナにより送信又は受信される電波の波長をλとした場合、１／２×λにより表される距離以上であることを特徴とする請求項１０または１１に記載のモジュールソケット。
  13. 　前記第１の開口端面は、前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、前記無線モジュールと対向する範囲内に位置することを特徴とする請求項１２に記載のモジュールソケット。
  14. 　前記第１の開口端面は、前記無線モジュールが前記設置面に設置された状態において、第１の方向における両端部が、前記無線モジュールと対向し、前記第１の方向と直交する第２の方向における両端部が、前記無線モジュールと対向しない、ことを特徴とする請求項１２に記載のモジュールソケット。
  15. 　請求項１ないし１４のいずれか１項に記載のモジュールソケットに設置される無線モジュールの電極端子に当接し、所定信号または電力を前記無線モジュールに供給する接触子と、
    　前記接触子を前記無線モジュール側に押圧するプッシャと、
    　前記無線モジュールに実装された第１のアンテナから放射された電波を受信し、または前記第１のアンテナへ電波を放射する第２のアンテナと、
    　電波吸収体に包囲され、前記モジュールソケットと対向し、前記第２のアンテナを収容するアンテナ収容部と、
    　を備える無線モジュール検査装置。
  16. 　請求項１ないし１４のいずれか１項に記載のモジュールソケットに無線モジュールを設置するステップと、
    　前記モジュールソケットに設置された前記無線モジュールの電極端子に、所定信号または電力を前記無線モジュールに供給する接触子を当接するステップと、
    　前記接触子を前記無線モジュール側に押圧するステップと、
    　電波吸収体に包囲され、前記モジュールソケットと対向するアンテナ収容部に収容された第２のアンテナにより、前記無線モジュールに実装された第１のアンテナから放射された電波を受信し、又は第１のアンテナへ電波を放射するステップと、
    　を有する無線モジュールの検査方法。
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