WO2014069259A1 - 配管の洗浄方法及び配管の洗浄システム - Google Patents

Abstract

設備機器が有する配管を高い洗浄能力で効率よく洗浄する。洗浄水（Ｓ）に酸（Ａ）を供給してｐＨ４以下の洗浄水を調製する工程と、洗浄水（Ｓ）にオゾンガスを混合する工程と、洗浄水（Ｓ）を前記被洗浄配管（Ｐ）に通水する工程と、を含む配管の洗浄方法、又は、浄水を貯留する貯留槽（１０）と、洗浄水（Ｓ）に酸（Ａ）を供給する酸供給手段（３０）と、オゾンガスを発生するオゾン発生手段（２０）と、貯留槽（１０）とオゾン発生手段（２０）を閉環状に接続し、貯留槽（１０）とオゾン発生手段（２０）との間で洗浄水を循環させる循環ポンプ（４２０）を備えた循環流路（１２０）と、貯留槽（１０）と被洗浄配管（Ｐ）を連通し、貯留槽（１０）に貯留された洗浄水（Ｓ）を被洗浄配管（Ｐ）に送水する送水ポンプ（４４０）を備えた送水流路（１４０）と、を含む配管の洗浄システムを用いる。

Description

配管の洗浄方法及び配管の洗浄システム

　本発明は、配管の洗浄方法及び配管の洗浄システムに関する。

　製造業等で用いられている設備や機器類を洗浄する方式として、分解洗浄（Cleaning Out Place；ＣＯＰ）と定置洗浄（Cleaning In Place；ＣＩＰ）がある。
　分解洗浄は、設備機器を分解した後、各部品や部分毎に洗浄を行う方式である。
　他方、定置洗浄は、設備機器を分解することなく洗浄を行う方式であり、設備機器に洗浄機能を組み込むことで行われる他、食品製造業や食品加工業等でみられる配管や容器を中心に構成される食品製造設備や機器においては、外部から高圧の洗浄液を配管内に通水することで洗浄が行われる。

　このような食品製造業や食品加工業において行われる定置洗浄では、主に有機物を洗浄対象とするアルカリ洗浄と、主に無機物を洗浄対象とする酸洗浄とが組み合わされた方法が広く採用されている。また、アルカリ洗剤や酸洗剤による洗浄処理と共に、設備機器の殺菌処理を目的として、塩素系又はヨウ素系の殺菌剤が用いられたり、除香処理を目的として、界面活性剤が用いられたりする等、多数の薬剤が使用されることがある。これらの洗浄液や、洗浄処理の前後にリンスのために用いられる水や、殺菌用蒸気は、洗浄効率を高めるために温度調節されており、通常、高温に加熱されて用いられた後、冷却されて排水されている。そのため洗浄処理に多くの時間、薬剤、エネルギーを要している。

　従来、高い洗浄度で洗浄できるとともに定置洗浄時間を短縮することができ、定置洗浄の際の薬剤等の使用量が軽減できる技術として、びん、缶等の容器に飲料等を充填する充填機器或いは充填液の液処理機器或いはこれらの機器を接続する配管機器等の機器の液通路を定置洗浄する洗浄方法において、機器にナノバブルを含んだ液体を送液して所定時間静置浸漬するようにした機器洗浄方法があり、ナノバブルの気体をオゾンガスとしたことにより、殺菌作用、除香作用が付加される技術がある（特許文献１参照）。
　また、オゾン水を用いた洗浄技術として、半導体用シリコン基板、液晶用ガラス基板などの電子材料の洗浄方法であって、酸を添加したオゾン水で洗浄する酸性オゾン水洗浄工程及びアルカリを添加したオゾン水で洗浄するアルカリ性オゾン水洗浄工程を有する電子材料の洗浄方法がある（特許文献２参照）。

特開２０１２－０４５５２８号公報 特開２００２－００１２４３号公報

　しかしながら、従来の技術では、設備機器が有する被洗浄配管の末端において、洗浄に用いるオゾンの濃度が低下し、充分な洗浄を行うことができないという問題がある。
　また、洗浄処理、殺菌処理、除香処理が組み合わされた多段階の定置洗浄は、洗浄が長時間化し、洗浄液や薬剤を大量使用し、排水への負荷が大きい他、洗浄水の温度調節に伴ってエネルギーを大量に消費するという問題がある。
　特に、液体系食品の製造においては、加熱による殺菌が必須の工程となっているが、殺菌工程で用いられる熱交換器は、汚れが固着し易く、加熱温度を高くすると、熱交換器表面に固着する無機物含量が高くなることが知られている。このような有機物にカルシウムやマグネシウムのような無機物が結合して固着した頑強な汚れは、除去が難しく、洗浄処理に時間を要する場合が多い。
　そのため、より洗浄能力と効率に優れた洗浄方法が望まれている。
　そこで、本発明の課題は、設備機器が有する配管を高い洗浄能力で効率よく洗浄する手段を提供することにある。

　前記課題を解決した第１の発明は、
　被洗浄配管に洗浄水を通水することにより配管内を洗浄する配管の洗浄方法であって、
　洗浄水に酸を供給してｐＨ４以下の洗浄水を調製する工程と、
　洗浄水にオゾンガスを混合する工程と、
　洗浄水を前記被洗浄配管に通水する工程と、
　を含むことを特徴とする配管の洗浄方法である。

　第２の発明は、
　被洗浄配管に洗浄水を通水することにより配管内を洗浄する配管の洗浄システムであって、
　洗浄水を貯留する貯留槽と、
　洗浄水に酸を供給する酸供給手段と、
　オゾンガスを発生するオゾン発生手段と、
　貯留槽とオゾン発生手段とを閉環状に接続し、貯留槽とオゾン発生手段との間で洗浄水を循環させる循環ポンプを備えた循環流路と、
　貯留槽と被洗浄配管とを連通し、貯留槽に貯留された洗浄水を被洗浄配管に送水する送水ポンプを備えた送水流路と、
　を含み、
　酸を供給された洗浄水を循環流路で循環すると共にオゾンガスを混合し、送水流路を経て被洗浄配管に通水する
　ことを特徴とする配管の洗浄システムである。

　本発明によれば、設備機器が有する配管を高い洗浄能力で効率よく洗浄することができる。
　例えば、設備機器が有する配管の末端においても高濃度のオゾンによる高い洗浄能力が得られ、配管の洗浄効率が向上する。
　また、有機物と、カルシウムやマグネシウムのような無機物とが結合した複合的な汚れを適切に洗浄、除去することができる。
　また、所定の洗浄処理が達成されるまでの洗浄時間が短縮され、洗浄処理に要するエネルギーの消費が抑制される他、洗浄処理に伴う排水負荷が低減される。

オゾンを溶解した洗浄水を被洗浄配管に送水したときの、送水距離（ｍ）と、溶存オゾン濃度（ｍｇ／Ｌ）の関係を示す図である。 オゾンを溶解した洗浄水を被洗浄配管に送水したときの、水温（℃）と、洗浄時間の関係を示す図である。 実施形態に係る配管の洗浄システムの構成図である。 第１の変形例に係る配管の洗浄システムの構成図である。 第２の変形例に係る配管の洗浄システムの構成図である。

　本発明の一実施形態である配管の洗浄方法は、
　被洗浄配管に洗浄水を通水することにより配管内を洗浄する配管の洗浄方法であって、
　洗浄水に酸を供給してｐＨ４以下の洗浄水を調製する工程（酸供給工程）と、
　洗浄水にオゾンガスを混合する工程（オゾン混合工程）と、
　洗浄水を前記被洗浄配管に通水する工程（通水工程）と、
を含む方法である。
　本実施形態では、流体を輸送する目的で設備や機器に備えられる中空の管に、オゾンが溶解した酸性の洗浄水を通して配管内面の洗浄を行う。
　洗浄される配管としては、食品製造設備や、食品製造機器に備えられる配管が適している。特に、タンパク質や脂質等の有機物、カルシウムやマグネシウム等の無機物による汚れがある配管に好適である。
　本実施形態の配管の洗浄方法は、少なくとも前記各工程を含む方法であれば、特に制限されるものではないが、好ましくは前記各工程を順次含む方法である。洗浄水のｐＨを４以下とした後にオゾンを混合することによって、高濃度のオゾンが溶解した洗浄水を調製することができる。

　本実施形態において洗浄水とは、配管を洗浄するための水を主成分とした液体を指し、被洗浄配管に通水されるオゾンが溶解した酸性の洗浄水の他、その原料として用いられる原水や酸が添加されてｐＨが調整された原水等が含まれる。
　原水としては、蒸留水、精製水、滅菌水等の各種処理がなされた水や、界面活性剤等の添加剤が混合された水を用いることができるが、通常、水道水が用いられる。
　原水の水温は、特に制限されるものではないが、常温域付近、例えば、２０±１５℃付近であることが好ましい。

（酸供給工程）
　酸供給工程では、洗浄水に酸を供給してｐＨ４以下の洗浄水を調製する。
　酸の供給は、例えば、配管への通水に必要な水量の洗浄水を容器に貯留した後、洗浄水を撹拌しながら酸を添加することにより行われる。洗浄水を貯留する容器としては、耐酸性を有し、オゾンによる腐食に耐性がある材質の容器を用いる。
　酸の供給は、洗浄水のｐＨをｐＨ計で測定して所定値に達するまで行う、或いは所定量の洗浄水に所定量の酸を添加して行ってもよい。
　供給する酸としては、硝酸、亜硝酸、ハロゲン酸、過ハロゲン酸、亜ハロゲン酸、次亜ハロゲン酸、硫酸、亜硫酸、リン酸、亜リン酸、炭酸、過マンガン酸、ホウ酸等の無機酸や、カルボン酸、スルホン酸等の有機酸のいずれでも用いることができるが、常温付近で洗浄水への溶解度が高い酸や、オゾンと反応しない酸や、無機物に対する洗浄能力が高い酸が好ましく、硝酸が好適に用いられる。
　調製される洗浄水のｐＨは、ｐＨ４以下であれば特に制限されるものではないが、より酸性域にあることが好ましく、ｐＨ２以下であることがより好ましい。

（オゾン混合工程）
　オゾン混合工程では、洗浄水にオゾンガスを混合する。
　オゾンガスの混合は、例えば、密閉容器に封入された洗浄水にオゾンガスを通気ないし接触させることにより行われる。洗浄水を密閉容器に封入し洗浄水内にオゾンガスを注入する方法、エジェクタによりオゾンガスを吸引混合する方法、オゾン透過膜を介してオゾンガスと洗浄水を接触させる方法等がある。
　オゾンガスは、酸素ガス中で無声放電やコロナ放電を発生させる方法や、酸素ガスに紫外線を照射する方法等で生成する。酸素ガスとしては、電気分解で生成した酸素ガス、空気から濃縮した酸素ガス等のいずれでも用いられるが、窒素を除去する等の精製処理を行ったものが好ましい。
　混合するオゾンガスの濃度は、特に制限されるものではないが、飽和濃度まで混合することが好ましく、常温の洗浄水中にオゾン濃度が５０ｍｇ／Ｌ以上となるように混合されることが好ましい。

（通水工程）
　通水工程では、洗浄水を被洗浄配管に通水する。
　洗浄水の通水は、例えば、被洗浄配管の配管構造が終わる位置である下流端部まで、洗浄水を送水することが可能なポンプを用いて行われる。
　通水は、オゾンを混合した洗浄水を調製した容器と被洗浄配管を、配管等により接続して、密閉状態を保って行うことが好ましい。
　通水する洗浄水の水温は、２５℃～６０℃の範囲とすることが好ましい。
　通水する洗浄水の流速と流量は、被洗浄配管の容量、形状、汚れの程度等に応じて適宜調節した値とすることができる。

　図１は、オゾンを混合した洗浄水を被洗浄配管に送水したときの、送水距離（ｍ）と、溶存オゾン濃度（ｍｇ／Ｌ）の関係を示す図である。
　水道水に酸を供給して、ｐＨ１．２（□）、ｐＨ３．６（●）、ｐＨ６．１（◆）、ｐＨ７．２（■）、ｐＨ８．４（▲）の洗浄水をそれぞれ調製し、オゾンガスを飽和まで混合して配管に送水した場合の、送水時（送水距離０ｍ）と２０ｍ、４０ｍ、６０ｍ、８０ｍ、１００ｍを送水した後の洗浄水の溶存オゾンを測定した結果が示されている。
　図１が示すとおり、洗浄水のｐＨが低くなるほど、洗浄水に溶解する初期オゾン濃度が高濃度となっている。また、洗浄水のｐＨが低くなるほど、送水後のオゾン濃度の減衰が抑えられている。

　図２は、洗浄水を被洗浄配管に通水したときの、水温（℃）と、洗浄時間の関係を示す図である。常温（２５℃）の洗浄水の水温を１０℃～８０℃の範囲で調節して被洗浄配管にそれぞれ通水し、被洗浄配管を所定の程度に洗浄するまでに要する通水時間を測定した結果が示されている。
　図２が示すとおり、洗浄水の水温が２５℃～６０℃の範囲であると、洗浄に要する時間が短縮されている。

　以上、本実施形態の配管の洗浄方法によれば、洗浄水をｐＨ４以下とすることにより、洗浄水に溶解するオゾンの濃度を高濃度にすることができる。
　また、溶存するオゾンの濃度を高濃度にするためのエネルギー消費が軽減される。一般に、中性付近の洗浄水のオゾン濃度を高めるためには、洗浄水を冷却する必要があり、弱酸性付近の洗浄水のオゾン濃度を高めるためには、高圧オゾンガスが必要である。
　洗浄水をｐＨ４以下とすると、オゾン濃度が５０ｍｇ／Ｌ以上の高オゾン濃度の洗浄水を容易に調製することができ、配管内を１００ｍ送水された洗浄水にも９０％程度のオゾンが残存して、配管の洗浄効率が向上する。
　また、洗浄水の酸としての作用により、無機物含量が高い汚れに対する洗浄能力が向上し、通水する洗浄水の水温を２５℃～６０℃の範囲とすることにより、洗浄時間が短縮され、洗浄効率が向上する。用いられる水温が２５℃～６０℃の範囲の洗浄水は、温度調節に過大なエネルギーを要することなく、常温域の水道水を用いて調製することができる。

　次に、適宜図面を参照して本発明の一実施形態に係る配管の洗浄システムについて、より具体的に説明する。

　図３は、実施形態に係る配管の洗浄システム１の構成図である。この洗浄システムは、配管を構成要素として含む設備機器を定置洗浄する装置であって、洗浄される設備機器の被洗浄配管Ｐに接続された後、被洗浄配管内に洗浄水を通水することにより配管内を洗浄する洗浄システムである。この洗浄システムにおいては、原水を酸性にした後にオゾンを溶解した酸性オゾン水が、洗浄水として使用される。

　図３を参照して、配管の洗浄システム１の構成について説明する。
　配管の洗浄システム１は、主に、貯留槽１０と、酸供給手段３０と、オゾン発生手段２０と、循環ポンプ４２０と、送水ポンプ４４０と、により構成される。

　貯留槽１０は、被洗浄配管Ｐに通水される洗浄水Ｓを貯留する密閉容器である。また、貯留槽１０は、洗浄水Ｓを調製するための原水を一時的に貯留するために用いられる。
　貯留槽１０の材質は、接触する酸やオゾンに対して耐性を有する金属であり、例えば、ステンレス鋼である。具体的には、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等である。
　貯留槽１０の槽内には、貯留される洗浄水又は原水のｐＨを計測するｐＨ計測手段５３０が備えられている。
　貯留槽１０には、図示しないその他の手段、例えば、温度計測手段、水位計測手段、圧力計測手段等の槽内の環境を計測する手段や、撹拌手段が備えられていてもよい。

　貯留槽１０には、原水の流路となる水供給路１１０と、酸Ａの流路となる酸供給路１３０と、洗浄水Ｓの流路となる循環流路１２０及び送水流路１４０とが貯留槽１０の槽内に連通するように接続され、洗浄システム内に一連の流路を形成している。
　これらの流路には、図示しないその他の流路、例えば、洗浄水Ｓを洗浄システム外に排出する排水流路が接続されていてもよい。
　流路は、配管或いは洗浄システム中の閉構造により形成されている。

　水供給路１１０は、水道と貯留槽１０を接続し、原水として用いる水道水を水道から貯留槽１０へ引き込む流路をなしている。
　水供給路１１０には、図示しないバルブが備えられており、流路の開放と閉鎖が操作される。
　また、水供給路１１０には、図示しないその他の手段、例えば、原水移送手段、温度計測手段、流量計測手段、フィルタ等が備えられていてもよい。
　水供給路１１０は、図３が示すように水道と接続する他、原水を貯留したタンク等と接続されてもよい。

　循環流路１２０は、貯留槽１０からオゾン発生手段２０へ接続される往き流路と、オゾン発生手段２０から再び貯留槽１０へ接続される戻り流路とからなり、貯留槽１０とオゾン発生手段２０を閉環状に接続する流路をなしている。
　循環流路１２０には、往き流路の上流側にバルブ６２０が設けられている。バルブ６２０としては、比例制御弁等の流量制御弁が用いられ、貯留槽１０に貯留された洗浄水Ｓを循環流路１２０において循環させる流量を制御できるように構成されていてもよい。
　また、循環流路１２０には、戻り流路に循環ポンプ４２０が備えられている。
　循環流路１２０には、図３に示すように、往き流路に温度計測手段５２０と温度制御手段７２０とが備えられ、図示しないその他の手段、例えば、温度計測手段、流量計測手段等が備えられていてもよい。
　循環流路１２０を形成する配管等の材質は、接触する酸やオゾンに対して耐性を有する金属であり、例えば、ステンレス鋼である。具体的には、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等である。

　循環ポンプ４２０は、貯留槽１０に貯留された洗浄水Ｓを、往き流路を介してオゾン発生手段２０へ移送し、戻り流路を介してオゾン発生手段２０から貯留槽１０へ移送して、貯留された洗浄水Ｓを循環する。循環ポンプ４２０の運転により、洗浄液Ｓは循環流路１２０を循環すると共に撹拌され、貯留槽１０に均一な状態で貯留されるように構成されている。
　循環ポンプ４２０としては、浸漬式又は昇圧式のいずれでもよいが、機械的運動が小さくオゾンの分解が抑えられるものが好ましい。

　オゾン発生手段２０は、洗浄水に混合するオゾンガスを発生する手段である。
　オゾン発生手段２０としては、例えば、無声放電、コロナ放電、紫外線照射等によりオゾンを発生するオゾン発生器と、除湿した空気中の窒素を吸着除去して酸素ガスを濃縮する酸素発生装置又は酸素ボンベとを組み合わせて構成することができる。
　オゾン発生手段２０は、ガスの吐出口が、循環流路１２０に接続されており、循環流路１２０を循環する洗浄水Ｓに、発生したオゾンガスを通気又は接触させるように構成されている。

　酸供給路１３０は、酸供給手段３０と貯留槽１０を接続し、溶液状の酸Ａを貯留槽１０へ供給する流路をなしている。
　酸供給路１３０には、図示しないバルブが備えられており、流路の開放と閉鎖が操作される。
　また、酸供給路１３０には、図３に示すように、酸供給ポンプ４３０が備えられ、図示しないその他の手段、例えば、温度計測手段、流量計測手段、フィルタ等が備えられていてもよい。
　酸供給路１３０を形成する配管等の材質は、接触する酸に対して耐性を有する合成樹脂又は金属である。耐酸性のライニングがなされた配管等であってもよい。

　酸供給手段３０は、洗浄システムにおいて用いられる原水又は洗浄水に酸を供給する手段である。
　酸供給手段３０としては、例えば、溶液状の酸を貯留する酸貯留容器と溶液状の酸を送液する酸移送手段を組み合わせて構成することができる。本実施形態においては、図３に示すように、酸移送手段として酸供給ポンプ４３０が備えられている。
　酸貯留容器の材質は、接触する酸に対して耐性を有する合成樹脂又は金属である。耐酸性のライニングがなされた容器等であってもよい。

　酸供給ポンプ４３０は、酸供給手段３０に貯留された酸Ａを、酸供給路１３０を介して貯留槽１０へ供給して、貯留された洗浄水に酸Ａを注入する。
　酸供給ポンプ４３０としては、浸漬式又は昇圧式のいずれでもよい。
　また、酸供給ポンプ４３０は、図３に破線で示されるように、貯留槽１０に備えられたｐＨ計測手段５３０と制御線を介して接続されることによって、洗浄水ＳのｐＨに基づいて運転制御されるように構成されていてもよい。例えば、ｐＨ計測手段５３０の計測値が所定ｐＨを超える場合に、作動して貯留槽１０へ酸Ａを供給し、所定ｐＨ以下である場合に、運転を停止して貯留槽１０への酸Ａの供給を中断するように制御される。

　送水流路１４０は、洗浄システム１が被洗浄配管Ｐに連結されたときに、貯留槽１０と被洗浄配管Ｐを接続し、貯留槽１０に貯留された洗浄水Ｓを被洗浄配管Ｐに送水する流路をなしている。
　送水流路１４０には、バルブ６４０が設けられ、流路の開放と閉鎖が操作される。バルブ６４０としては、比例制御弁等の流量制御弁や逆止弁等の止め弁が用いられる。
　また、送水流路１４０には、送水ポンプ４４０が備えられている。
　送水流路１４０には、図示しないその他の手段、例えば、温度計測手段、流量計測手段、フィルタ等が備えられていてもよい。
　送水流路１４０を形成する配管等の材質は、接触する酸やオゾンに対して耐性を有する金属であり、例えば、ステンレス鋼である。具体的には、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等である。

　送水ポンプ４４０は、貯留槽１０に貯留された洗浄水を、被洗浄配管Ｐに送水し被洗浄配管Ｐの管内に洗浄水を通水する。
　送水ポンプ４４０としては、浸漬式又は昇圧式のいずれでもよいが、機械的運動が小さく、運転に伴うオゾンの分解が抑えられるものが好ましい。

　洗浄システム１には、流路上又は貯留槽上に、洗浄水Ｓの水温を制御する温度制御手段７２０を備えることができる。
　温度制御手段７２０は、洗浄水Ｓの水温を洗浄に適した温度、例えば２５℃～６０℃の範囲内の設定温度に制御する。
　図３においては、循環流路１２０の往き流路に、温度制御手段７２０である熱交換器７２０と温度計測手段５２０とが備えられている。図３に破線で示されるように、熱交換媒体流路１８０に設けられたバルブ６７０と、温度計測手段５２０とが制御線を介して接続されることによって、洗浄水Ｓの水温を温度制御するように構成されている。
　温度制御手段７２０としては、洗浄水Ｓの水温を洗浄に適した温度、例えば２５℃～６０℃の範囲内の所定値に制御できる限りにおいて、ヒータ等の加熱手段により構成されていてもよい。
　温度計測手段５２０としては、接触式又は非接触式の温度計のいずれでもよい。

　次に、配管の洗浄システム１の動作について説明する。
　洗浄システム１は、予め、貯留槽１０に貯留された洗浄水Ｓを被洗浄配管Ｐに送水する送水流路１４０をなすように、設備機器の被洗浄配管Ｐと接続される。例えば、送水経路１４０を形成する配管等が、継手を介して被洗浄配管Ｐの開口部と連結される。
　また、原水として用いる水道水を水道から貯留槽１０へ引き込む水供給路１１０をなすように、水道と接続される。
　また、酸供給手段３０には、溶液状の酸Ａが貯留される。

　はじめに、洗浄システム１の貯留槽１０に洗浄水Ｓとなる原水が貯留される。
　水道と貯留槽１０とを接続する水供給路１１０を開放することにより、原水として用いられる水道水が水道から貯留槽１０へ注水される。
　注水される原水は、貯留槽１０に所定量貯留されるように、水位等に基づいて貯留量が管理されており、原水の貯留量が所定量に達すると、水供給路１１０は閉鎖される。
　貯留槽１０に注水する間は、バルブ６２０，６４０は全閉されている。

　次に、貯留槽１０に貯留された洗浄水（原水）に酸が供給され、酸性の洗浄水Ｓが調製される。
　酸供給手段３０と貯留槽１０とを接続する酸供給路１３０が開放され、酸供給ポンプ４３０が駆動されることにより、酸供給手段３０に貯留された酸Ａが酸供給手段３０から貯留槽１０へ供給される。
　続いて、循環流路１２０に設けられたバルブ６２０の全閉状態が解かれ、循環流路１２０が開放されると共に、循環ポンプ４２０が駆動される。
　貯留槽１０に貯留されている洗浄水（原水）は、循環ポンプ４２０の作動にしたがい、酸供給手段３０から供給されている酸Ａと共に循環流路１２０を循環し、洗浄水Ｓと酸Ａが均一に混和される。酸Ａが供給される洗浄水Ｓは、ｐＨが所定値となるように、ｐＨ計測手段５３０によって酸性度が管理されている。
　酸Ａが供給される洗浄水ＳのｐＨが所定値で定常に達すると、酸供給ポンプ４３０の運転は停止され、酸Ａの貯留槽１０への供給は終了する。このとき、貯留槽１０に備えられたｐＨ計測手段５３０から出力される測定信号に基づいて、酸供給ポンプ４３０が運転を停止するように動作させてもよい。
　酸性の洗浄水Ｓを調製する間は、バルブ６４０は全閉されている。

　次に、調製された酸性の洗浄水Ｓにオゾンガスが混合され、オゾンが溶解した洗浄水Ｓが調製される。
　洗浄水Ｓが循環流路１２０を循環し続けるように、引き続き循環ポンプ４２０の運転が継続されると共に、新たにオゾン発生手段２０が駆動される。
　オゾン発生手段２０は、起動されたオゾン発生器に酸素ガスが供給されることで、酸素分子の解離と再結合を惹起してオゾンガスを発生し、循環流路１２０にオゾンガスの通気を開始する。
　循環ポンプ４２０の継続した運転にしたがい、循環流路１２０を循環する洗浄水Ｓと、オゾン発生手段２０が発生するオゾンガスとが混合され、オゾンが溶解した洗浄水Ｓが調製される。
　循環ポンプ４２０とオゾン発生手段２０の運転を続けると、貯留槽１０及び循環流路１２０にある洗浄水Ｓのオゾン濃度は次第に上昇し、高濃度のオゾンが溶解した洗浄水Ｓが貯留槽１０に貯留される。

　次に、調製されたオゾンが溶解した洗浄水Ｓが被洗浄配管Ｐに通水される。
　貯留槽１０と被洗浄配管Ｐとを接続する送水流路１４０に設けられたバルブ６４０の全閉状態が解かれ、送水流路１４０が開放されると共に、送水ポンプ４４０が駆動される。
　貯留槽１０に貯留されているオゾンが溶解した洗浄水Ｓは、送水ポンプ４４０の運転に伴い、送水流路１４０を経て、洗浄システム１から被洗浄配管Ｐに向けて送水される。
　被洗浄配管Ｐに送水された洗浄水Ｓは、被洗浄配管Ｐにおける洗浄システム１との接続位置である上流端部から、被洗浄配管Ｐの配管構造が終わる位置である下流端部まで被洗浄配管内を通水されて被洗浄配管Ｐを洗浄した後、被洗浄配管Ｐの下流端部で排水として配管外に流出する。
　その後、適宜、オゾン発生手段２０、循環ポンプ４２０、送水ポンプ４４０の運転が停止され、配管の洗浄が終了する。被洗浄配管Ｐから配管外に流出した洗浄水Ｓの排水は、残存オゾン処理後、一般的な排水処理設備ないし下水道に送水され廃棄される。

　本洗浄システムによれば、酸供給手段３０が、酸供給路１３０を介して貯留槽１０に接続されており、貯留槽１０に貯留された洗浄水Ｓが循環流路１２０を循環してオゾンガスを混合される構成とされているため、洗浄水ＳのｐＨを４以下とした後にオゾンを混合することによって、高濃度のオゾンが溶解した洗浄水Ｓを調製することが容易になされる。

　次に、本発明の実施形態の第１の変形例について説明する。

　図４は、第１の変形例に係る配管の洗浄システム２の構成図である。
　第１の変形例に係る洗浄システム２が実施形態の洗浄システム１と異なる点は、被洗浄配管Ｐに通水された洗浄水Ｓが、被洗浄配管Ｐを洗浄した後、再び貯留槽１０に還水される還水流路１５０を備えている点である。
　洗浄システム２は、被洗浄配管Ｐに通水された洗浄水Ｓを貯留槽１０に還水し、被洗浄配管Ｐの洗浄に再利用するシステムである。

　図４を参照して、第１の変形例の構成について説明する。
　第１の変形例に係る配管の洗浄システム２は、洗浄システム１と同様に、主に、貯留槽１０と、酸供給手段３０と、オゾン発生手段２０と、循環ポンプ４２０と、送水ポンプ４４０と、により構成されている。
　洗浄システム１と同様に、水供給路１１０と、循環流路１２０と、酸供給路１３０と、送水流路１４０と、がそれぞれ流路を形成し、循環流路１２０には、バルブ６２０が設けられ、送水流路１４０には、バルブ６４０が設けられ、酸供給路１３０には、酸供給ポンプ４３０が備えられている。
　洗浄システム２には、図４に示されるように、循環流路１２０に、温度制御手段７２０と、温度計測手段５２０とが備えられていてもよい。

　還水流路１５０は、被洗浄配管Ｐの洗浄水Ｓが排水される端部と貯留槽１０とを連通する流路をなしている。
　還水流路１５０には、図示しないバルブが備えられており、流路の開放と閉鎖が操作される。
　また、還水流路１５０には、図示しないその他の手段、例えば、温度計測手段、流量計測手段、オゾン濃度計測手段、フィルタ等が備えられていてもよい。
　還水流路１５０を形成する配管の材質は、接触する酸やオゾンに対して耐性を有する金属であり、例えば、ステンレス鋼である。具体的には、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等である。
　還水流路１５０の流路断面積は、送水流路１４０の流路断面積と同程度の大きさとすることが好ましい。

　次に、第１の変形例に係る配管の洗浄システム２の動作について説明する。
　洗浄システム２は、洗浄システム１と同様に、予め、貯留槽１０に貯留された洗浄水Ｓを被洗浄配管Ｐに送水する送水流路１４０をなすように、設備機器の被洗浄配管Ｐと接続される。
　また、原水として用いる水道水を水道から貯留槽１０へ引き込む水供給路１１０をなすように、水道と接続される。
　また、酸供給手段３０には、溶液状の酸Ａが貯留される。
　洗浄システム２は、さらに、被洗浄配管Ｐを通水された洗浄水Ｓを貯留槽１０に還水する還水流路１５０をなすように、設備機器の被洗浄配管Ｐと接続される。

　洗浄システム２は、洗浄システム１と同様の動作又は工程を経て、被洗浄配管Ｐに通水する洗浄水Ｓを貯留槽１０に貯留し、被洗浄配管Ｐに向けて送水する。
　被洗浄配管Ｐに送水された洗浄水Ｓは、被洗浄配管Ｐにおける洗浄システム２との接続位置である上流端部から、被洗浄配管Ｐの配管構造が終わる位置である下流端部まで被洗浄配管内を通水されて被洗浄配管Ｐを洗浄した後、被洗浄配管Ｐの下流端部で還水流路１５０に送水される。
　還水流路１５０に送水された洗浄水Ｓは、再び洗浄システム２内に戻り、貯留槽１０に還水される。

　その後、貯留槽１０に戻された洗浄水Ｓは、貯留槽１０に貯留されていた洗浄水Ｓと合流し、循環ポンプ４２０とオゾン発生手段２０の運転に伴い、オゾンガスが再混合される。このとき、貯留槽１０に戻された洗浄水ＳのｐＨの上昇が認められる場合は、酸供給手段３０の運転により酸Ａが供給され、ｐＨが再調整されてもよい。
　オゾンが混合された洗浄水Ｓは、送水ポンプ４４０の継続した運転に伴い、送水流路１４０を経て、洗浄システム２から被洗浄配管Ｐに向けて再び送水され、被洗浄配管Ｐに通水される。
　洗浄水Ｓは、このような一連の循環を、洗浄システム２と被洗浄配管Ｐの間で繰り返すことにより、被洗浄配管Ｐの洗浄を継続して行う。

　このような、第１の変形例に係る配管の洗浄システム２によれば、洗浄水Ｓの再利用により、洗浄に要する洗浄水Ｓの総量を減らすことができ、洗浄処理に伴う排水負荷が低減される。
　また、洗浄水Ｓのオゾン濃度の低下が抑制され、洗浄効果が所定の範囲に保たれる。
　また、洗浄水Ｓの温度調節及びオゾン混合に伴うエネルギー消費が抑制される。

　次に、本発明の実施形態の第２の変形例について説明する。

　図５は、第２の変形例に係る配管の洗浄システム３の構成図である。
　第２の変形例に係る洗浄システム３が実施形態の洗浄システム１と異なる点は、被洗浄配管Ｐに通水された洗浄水Ｓが、被洗浄配管Ｐを洗浄した後、再び貯留槽１０に還流される還水流路１５０と、被洗浄配管Ｐに通水された洗浄水Ｓが、被洗浄配管Ｐを洗浄した後、貯留槽１０に還流されることなく、再び被洗浄配管Ｐに送水される再送流路１６０と、を備えている点である。
　さらに、第２の変形例に係る洗浄システム３では、還水流路１５０と送水流路１４０の接続位置には制御弁６５０が設けられ、還水流路１５１にはオゾン濃度計測手段５５０が設けられており、制御弁６５０及びオゾン濃度計測手段５５０には、排水制御部８０が制御線を介して接続される。
　また、還水流路１５０と送水流路１４０の接続位置で分岐する排水流路１７０が備えられている。
　洗浄システム３は、被洗浄配管Ｐに通水された洗浄水Ｓを貯留槽１０に還水し、オゾンガスを再混合して被洗浄配管Ｐの洗浄に再利用する還水運転と、被洗浄配管Ｐに通水された洗浄水Ｓを貯留槽１０に還水することなく、被洗浄配管Ｐの洗浄に再利用する再送水運転の運転様式とを選択する制御機構を備えるシステムである。この制御機構には、被洗浄配管Ｐに通水された洗浄水Ｓを排水する排水運転の運転様式を組み合わせることもできる。
　図５が示すとおり、洗浄システム３では、還水流路１５０は、被洗浄配管Ｐの洗浄水Ｓが排水される端部と制御弁６５０とを接続する還水流路１５１と、制御弁６５０と貯留槽１０とを接続する還水流路１５２とが連なって構成されている。

　図５を参照して、第２の変形例の構成について説明する。
　第２の変形例に係る配管の洗浄システム３は、洗浄システム１と同様に、主に、貯留槽１０と、酸供給手段３０と、オゾン発生手段２０と、循環ポンプ４２０と、送水ポンプ４４０と、により構成されている。
　洗浄システム１と同様に、水供給路１１０と、循環流路１２０と、酸供給路１３０と、送水流路１４０と、がそれぞれ流路を形成し、循環流路１２０には、バルブ６２０が設けられ、送水流路１４０には、バルブ６４０が設けられ、酸供給路１３０には、酸供給ポンプ４３０が備えられている。図５において、バルブ６４０は三方弁で構成されている。
　また、図５に示されるように、循環流路１２０には、温度制御手段７２０と、温度計測手段５２０とが備えられていてもよい。

　還水流路１５１，１５２は、洗浄システム２と同様に、被洗浄配管Ｐの洗浄水Ｓが排水される端部と貯留槽１０とを連通する流路をなしている。
　還水流路１５１には、オゾン濃度計測手段５５０及び制御弁６５０が備えられている。

　再送流路１６０は、還水流路１５０の途中で分岐した流路であって、還水流路１５１と送水流路１４０とを貯留槽１０をパイパスして接続する流路をなしている。
　図５において、再送流路１６０は、三方弁であるバルブ６４０に接続されて送水流路１４０と合流している。

　排水流路１７０は、図５において、還水流路１５０と送水流路１４０の接続位置で分岐した流路として構成され、被洗浄配管Ｐの洗浄水Ｓが排水される端部と洗浄システム３の外部にある一般的な排水処理設備ないし下水道とを接続する流路をなしている。

　還水流路１５１，１５２、再送流路１６０、排水流路１７０は、配管或いは洗浄システム中の閉構造により形成されている。
　還水流路１５１，１５２、再送流路１６０、排水流路１７０には、図示しないその他の手段、例えば、温度計測手段、流量計測手段、フィルタ等が備えられていてもよい。
　還水流路１５１，１５２、再送流路１６０、排水流路１７０を形成する配管等の材質は、接触する酸やオゾンに対して耐性を有する金属であり、例えば、ステンレス鋼である。
具体的には、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等である。
　還水流路１５１，１５２及び再送流路１６０の流路断面積は、送水流路１４０の流路断面積と同程度の大きさとすることが好ましい。また、排水流路１７０の流路断面積は、送水流路１４０の流路断面積を超える大きさとすることが好ましい。

　制御弁６５０は、還水流路１５０と再送流路１６０、排水流路１７０の分岐に設けられている。図５において、制御弁６５０は、四方弁で構成されているが、各流路の開放と閉鎖が制御される限りにおいて、四方弁に代えて二方弁等を各流路に配置することもできる。制御弁６５０としては、電磁弁や電動弁を用いることができる。図５に破線で示されるように、制御弁６５０は、ｐＨ計測手段６５０と制御線を介して接続されており、制御信号の入力で流路の切り替えを行う。

　オゾン濃度計測手段５５０は、制御弁６５０に対して洗浄水の流れ方向の上流に設けられている。
　オゾン濃度計測手段５５０としては、ガラス電極を備えた測定器、紫外吸収測定器等が用いられる。
　図５に破線で示されるように、オゾン濃度計測手段５５０は、制御弁６５０と制御線を介して接続されており、還水流路１５１を通過する洗浄水Ｓのオゾン濃度を計測して、測定信号を出力する。

　制御弁６５０とオゾン濃度計測手段５５０を接続する制御線には、オゾン濃度の測定値に基づいて流路の選択を制御する排水制御部８０を設置することができる。
　排水制御部８０には、少なくとも演算部と、記憶部と、入力部と、出力部とを備えることができる。記憶部は、ユーザインターフェイスから入力されるオゾン濃度の設定値１、設定値２を記憶し、演算部は、測定信号の入力に基づいて、設定値１、２を参照してＯＮ／ＯＦＦ、ＰＩＤ制御等の演算を行える構成とされる。また、入力部は、オゾン濃度計測手段５５０が出力する測定信号、排水運転指示及び設定値の入力を受け付け、出力部は、制御弁６５０への制御信号を出力する。
　例えば、設定値１としては、還水運転と再送水運転との切り替えを行うオゾン濃度の値が設定され、設定値２としては、排水運転と還水運転又は再送水運転との切り替えを行うオゾン濃度の値が設定される。
　排水運転要求としては、ユーザインターフェイスを介して行われるユーザからの排水の指示や、通水洗浄終了時のシステムからの要求がある。

　次に、第２の変形例に係る配管の洗浄システム３の動作について説明する。
　洗浄システム３は、洗浄システム１と同様に、予め、貯留槽１０に貯留された洗浄水Ｓを被洗浄配管Ｐに送水する送水流路１４０をなすように、設備機器の被洗浄配管Ｐと接続される。
　また、原水として用いる水道水を水道から貯留槽１０へ引き込む水供給路１１０をなすように、水道と接続される。
　また、酸供給手段３０には、溶液状の酸Ａが貯留される。
　洗浄システム３は、さらに、被洗浄配管Ｐを通水された洗浄水Ｓを貯留槽１０に還水する還水流路１５０をなすように、設備機器の被洗浄配管Ｐと接続される。排水運転の運転様式を組み合わせて制御する場合は、被洗浄配管Ｐを通水された洗浄水Ｓを洗浄システム３の外部に排水する排水流路１７０をなすように、洗浄システム３の外部にある一般的な排水処理設備ないし下水道と接続される。

　洗浄システム３は、洗浄水Ｓの循環が異なる還水運転及び再送水運転と、排水運転の３種類の運転様式を採ることができる。
　洗浄システム３は、洗浄システム１と同様の動作又は工程を経て、被洗浄配管Ｐに通水する洗浄水Ｓを貯留槽１０に貯留し、被洗浄配管Ｐに向けて送水する。
　被洗浄配管Ｐに送水された洗浄水Ｓは、被洗浄配管Ｐにおける洗浄システム３との接続位置である上流端部から、被洗浄配管Ｐの配管構造が終わる位置である下流端部まで被洗浄配管内を通水されて被洗浄配管Ｐを洗浄した後、被洗浄配管Ｐの下流端部で還水流路１５１に送水される。
　このとき、オゾン濃度計測手段５５０によって、還水流路１５１を通過する洗浄水Ｓのオゾン濃度が計測され、その測定値が測定信号として排水制御部８０に出力される。

　排水制御部８０は、測定信号の入力を受け付けると、測定値範囲に基づいて、運転様式の選択制御を行い、還水運転を行う還水制御、再送水運転を行う再送水制御、排水運転を行う排水制御のいずれかの制御信号を制御弁６５０へ出力する。制御の方式は、特に制限されるものではないが、例えば、オゾンの再混合の必要が無い程度にオゾンが必要量溶存していると判断される濃度値を設定値１とし、オゾン濃度が極端に低下していると判断される濃度値を設定値２として設定して、設定値を境界とする各測域に運転様式を対応させる方式がある。
　この場合、はじめに、排水制御部８０は、排水運転要求の有無を判断する。
　排水運転要求が確認された場合、排水制御部８０は、排水制御の制御信号を出力する。
　排水運転要求が確認されない場合、排水制御部８０は、オゾン濃度計測手段５５０からの測定値と設定値２とを比較し、設定値２未満である場合は、排水制御の制御信号を出力する。さらに、設定値２未満でない場合は、オゾン濃度計測手段５５０からの測定値と設定値１とを比較し、設定値１以上である場合は、再送水制御の制御信号を出力し、設定値１未満である場合は、還水制御の制御信号を出力する。

　還水運転は、貯留槽１０から被洗浄配管Ｐに通水された洗浄水Ｓが、被洗浄配管Ｐを洗浄した後、再び貯留槽１０に還水される運転様式であり、洗浄システム２と同様の流路で洗浄水Ｓが循環される様式である。
　還水運転は、洗浄水Ｓのオゾン濃度が設定値１を下回り、通水によるオゾンの消耗が認められるときに選択される。

　排水制御部８０は、設定値１未満の測定値を受け付けると、制御弁６５０に、還水流路１５２を開放し、再送流路１６０を閉鎖し、排水流路１７０を閉鎖する還水制御の制御信号を出力する。
　当該信号の入力があった制御弁６５０は、流路の解放と閉鎖を作動して、還水流路１５１が還水流路１５２とのみ接続された流路を形成する。

　その後、被洗浄配管Ｐの下流端部から還水流路１５１に送水された洗浄水Ｓは、還水流路１５２を介して、貯留槽１０に還水される。
　貯留槽１０に戻された洗浄水Ｓは、貯留槽１０に貯留されていた洗浄水Ｓと合流し、循環ポンプ４２０とオゾン発生手段２０の運転に伴い、オゾンガスが再混合される。このとき、貯留槽１０に戻された洗浄水ＳのｐＨの上昇が認められる場合は、酸供給手段３０の運転により酸Ａが供給され、ｐＨが再調整されてもよい。
　オゾンが混合された洗浄水Ｓは、送水ポンプ４４０の継続した運転に伴い、送水流路１４０を経て、洗浄システム２から被洗浄配管Ｐに向けて再び送水され、被洗浄配管Ｐに通水される。

　このような還水運転の運転様式によれば、洗浄システム２と同様の効果が得られる。

　再送水運転は、貯留槽１０から被洗浄配管Ｐに通水された洗浄水Ｓが、被洗浄配管Ｐを洗浄した後、再び貯留槽１０に還水されることなく被洗浄配管Ｐの洗浄に再利用される運転様式である。
　再送水運転は、洗浄水Ｓのオゾン濃度が設定値１を上回り、通水によるオゾンの消耗が認められないときに選択される。

　排水制御部８０は、設定値１以上の測定値を受け付けると、制御弁６５０に、還水流路１５２を閉鎖し、再送流路１６０を開放し、排水流路１７０を閉鎖する再送水制御の制御信号を出力する。
　当該信号の入力があった制御弁６５０は、流路の解放と閉鎖を作動して、還水流路１５１が再送流路１６０とのみ接続された流路を形成する。
　このとき、バルブ６４０においても、貯留槽１０から送水される流路が閉鎖されるように、流路の方向制御がなされてもよい。

　その後、被洗浄配管Ｐの下流端部から還水流路１５１に送水された洗浄水Ｓは、送水ポンプ４４０の継続した運転に伴い、再送流路１６０を介して、洗浄システム３から被洗浄配管Ｐに向けて再び送水され、被洗浄配管Ｐに通水される。

　このような再送水運転の運転様式によれば、洗浄水Ｓの再利用により、洗浄に要する洗浄水Ｓの総量を減らすことができ、洗浄処理に伴う排水負荷が低減される。
　また、再送水運転中に温度調節やオゾン混合を中断することができ、洗浄水Ｓの温度調節及びオゾン混合に伴うエネルギー消費が抑制される。

　排水運転は、貯留槽１０から被洗浄配管Ｐに通水された洗浄水Ｓが、被洗浄配管Ｐを洗浄した後、洗浄システム外に排出される運転様式である。
　排水運転は、洗浄水Ｓのオゾン濃度が設定値２を下回るとき、または排水運転要求があるときに選択される。

　排水制御部８０は、設定値２未満の測定値又は排水運転要求を受け付けると、制御弁６５０に、還水流路１５２を閉鎖し、再送流路１６０を閉鎖し、排水流路１７０を開放する排水制御の制御信号を出力する。
　当該信号の入力があった制御弁６５０は、流路の解放と閉鎖を作動して、還水流路１５１が排水流路１７０とのみ接続された流路を形成する。

　その後、被洗浄配管Ｐの下流端部から還水流路１５１に送水された洗浄水Ｓは、排水流路１７０を介して、洗浄システム外に排出され、一般的な排水処理設備ないし下水道に送水され廃棄される。

　このような排水運転の運転様式によれば、洗浄システム３と被洗浄配管Ｐの間を循環する洗浄水Ｓの流量の管理が容易になる。
　また、被洗浄配管Ｐへの通水後に洗浄水Ｓに混入した汚れを、循環する洗浄水Ｓ中から排除することができる。

１　　　洗浄システム
２　　　洗浄システム
３　　　洗浄システム
１０　　貯留槽
２０　　オゾン発生手段
３０　　酸供給手段
８０　　排水制御部
１１０　水供給路
１２０　循環流路
１３０　酸供給路
１４０　送水流路
１５０　還水流路
１５１　還水流路
１５２　還水流路
１６０　再送流路
１７０　排水流路
１８０　熱交換媒体流路
４２０　循環ポンプ
４３０　酸供給ポンプ
４４０　送水ポンプ
５２０　温度計測手段
５３０　ｐＨ計測手段
５５０　オゾン濃度計測手段
６２０　バルブ
６４０　バルブ
６５０　制御弁
６７０　バルブ
７２０　温度制御手段
Ａ　　　酸
Ｐ　　　被洗浄配管
Ｓ　　　洗浄水

Claims (7)

1. 　被洗浄配管に洗浄水を通水することにより前記配管内を洗浄する配管の洗浄方法であって、
   　洗浄水に酸を供給してｐＨ４以下の洗浄水を調製する工程と、
   　洗浄水にオゾンガスを混合する工程と、
   　洗浄水を前記被洗浄配管に通水する工程と、
   　を含むことを特徴とする配管の洗浄方法。
2. 　前記混合する工程を、前記調製する工程の後に実施し、
   　前記通水する工程では、オゾンが溶解した洗浄水を前記被洗浄配管に通水する
   ことを特徴とする請求項１に記載の配管の洗浄方法。
3. 　前記酸は、硝酸であり、
   　前記通水される洗浄水の水温は、２５℃～６０℃である
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の配管の洗浄方法。
4. 　被洗浄配管に洗浄水を通水することにより前記配管内を洗浄する配管の洗浄システムであって、
   　洗浄水を貯留する貯留槽と、
   　前記洗浄水に酸を供給する酸供給手段と、
   　オゾンガスを発生するオゾン発生手段と、
   　前記貯留槽と前記オゾン発生手段とを閉環状に接続し、前記貯留槽と前記オゾン発生手段との間で前記洗浄水を循環させる循環ポンプを備えた循環流路と、
   　前記貯留槽と前記被洗浄配管とを連通し、前記貯留槽に貯留された洗浄水を前記被洗浄配管に送水する送水ポンプを備えた送水流路と、
   　を含み、
   　前記酸を供給された洗浄水を前記循環流路で循環すると共に前記オゾンガスを混合し、前記送水流路を経て前記被洗浄配管に通水する
   　ことを特徴とする配管の洗浄システム。
5. 　さらに、送水された前記洗浄水の排水が流出する前記被洗浄配管の端部と前記貯留槽とを連通する還水流路
   　を含むことを特徴とする請求項４に記載の配管の洗浄システム。
6. 　さらに、
   　前記還水流路と前記送水流路とを前記貯留槽をバイパスして接続する再送流路と、
   　前記還水流路に設けられたオゾン濃度計測手段と、
   　前記還水流路と前記再送流路との接続位置に設けられた制御弁と、
   　を含み、
   　前記オゾン濃度計測手段は、前記還水流路における洗浄水のオゾン濃度を計測し、
   　前記制御弁は、前記オゾン濃度が所定の値以上であるときは、前記還水流路から前記再送流路に至る流路を開放し、且つ前記還水流路から前記貯留槽に至る流路を閉鎖する
   ことを特徴とする請求項５に記載の配管の洗浄システム。
7. 　さらに、前記循環流路又は前記貯留槽に設けられた温度制御手段を含むことを特徴とする請求項４から請求項６のいずれか一項に記載の配管の洗浄システム。

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