WO2014068681A1 - ワイヤ放電加工装置および制御装置 - Google Patents

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WO2014068681A1
WO2014068681A1 PCT/JP2012/078067 JP2012078067W WO2014068681A1 WO 2014068681 A1 WO2014068681 A1 WO 2014068681A1 JP 2012078067 W JP2012078067 W JP 2012078067W WO 2014068681 A1 WO2014068681 A1 WO 2014068681A1
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wire
workpiece
correction amount
machining
wire electrode
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PCT/JP2012/078067
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English (en)
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弘 杉江
浩之 竹田
中川　孝幸
Original Assignee
三菱電機株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02—Wire-cutting
    • B23H7/06—Control of the travel curve of the relative movement between electrode and workpiece
    • B23H7/065—Electric circuits specially adapted therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02—Wire-cutting
    • B23H7/08—Wire electrodes
    • B23H7/10—Supporting, winding or electrical connection of wire-electrode
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23H7/02—Wire-cutting
    • B23H7/08—Wire electrodes
    • B23H7/10—Supporting, winding or electrical connection of wire-electrode
    • B23H7/105—Wire guides

Definitions

  • the present invention relates to a wire electric discharge machining apparatus and a control apparatus that reduce machining contour errors by correcting positional displacement of wire electrodes.
  • a wire guide provided with a nozzle sends a machining fluid to the wire.
  • This wire electrical discharge machining apparatus detects the amount of wire displacement caused by the pressure of the machining fluid, and determines the position correction amount of the wire from the detected amount of displacement. And the wire electric discharge machining apparatus corrects the relative position between the workpiece and the wire using the position correction amount, and thereby corrects the machining contour error (see, for example, Patent Document 1).
  • the above-described conventional technique has a problem in that a high-precision machining contour error cannot be corrected because the positional displacement of the wire due to the elastic deformation of the wire guide depending on the wire tension is not taken into consideration.
  • the processing removal amount at the time of finishing changes depending on the processing direction due to a machining contour error at the time of roughing. For this reason, there existed a problem that a processing speed will fall on the processing surface where processing removal amount becomes large, and a problem that processing surface accuracy deteriorated.
  • the present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to obtain a wire electric discharge machining apparatus and a control apparatus capable of highly accurate position error correction of a wire electrode.
  • the present invention provides a first wire guide that supports a wire electrode at a first position and sends the wire electrode to a workpiece, and the first wire guide.
  • a second wire guide that supports the wire electrode at a second position opposite to the position of the workpiece and winds up the wire electrode sent from the workpiece side, and moves the position of the first wire guide.
  • the first drive unit that changes the relative position between the wire electrode and the workpiece and the position of the second wire guide are moved.
  • a second drive unit that changes a relative position between the first drive unit and a first drive control unit that controls the first drive unit based on a machining shape of a portion that performs machining on the workpiece.
  • the processed shape A processing condition including a second drive control unit for controlling the second drive unit, and a tension of the wire electrode stretched between the first wire guide and the second wire guide.
  • a processing condition setting unit for setting the position, a correction amount storage unit for storing a position correction amount for the wire electrode corresponding to the processing condition in advance, and a position correction amount for the wire electrode corresponding to the processing condition.
  • the first and second drive control units Based on the correction amount reading unit that reads from the correction amount storage unit and the position correction amount, the first and second drive control units correct the relative distance between the wire electrode and the workpiece. And a wire position correction unit.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a wire electric discharge machining apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining the position of the wire electrode that varies depending on the processing conditions.
  • FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the influence of the wire position displacement during the rough machining on the finishing machining.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining elastic deformation of the wire guide due to wire tension and machining fluid pressure.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining the influence of the working fluid reaction force when the distance between the nozzle of the wire guide and the workpiece is longer than a predetermined value.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining a processing error caused by the deformation of the wire electrode.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a wire electric discharge machining apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining the position of the wire electrode that varies depending on the processing conditions.
  • FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the influence of the wire position displacement during the rough
  • FIG. 7 is a diagram for explaining elastic deformation of the workpiece due to the machining fluid reaction force.
  • FIG. 8A is a diagram illustrating an example of a machining shape measurement result of a workpiece.
  • FIG. 8B is a diagram illustrating an example of the wire position correction amount for each processing condition.
  • FIG. 9 is a diagram for explaining the interpolation points of the machining conditions when the practical maximum and minimum values of the machining conditions are used as the actual measurement points of the wire position correction amount.
  • FIG. 10 is a diagram for explaining the interpolation point of the machining condition when the practical center value of the machining condition is set as the actual measurement point of the wire position correction amount.
  • FIG. 11 is a diagram for explaining a method of measuring the displacement amount of the wire guide.
  • FIG. 12 is a diagram for explaining a method of measuring the displacement amount of the wire guide and the displacement amount of the workpiece.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating a configuration of a wire electric discharge machining apparatus according to the sixth embodiment
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a wire electric discharge machining apparatus according to the first embodiment.
  • the wire electrical discharge machining apparatus 1a is an apparatus that performs electrical discharge machining on the workpiece 14 by applying a voltage between the wire electrode 12 and the workpiece 14.
  • the wire electric discharge machining apparatus 1a of the present embodiment takes into account the positional displacement of the wire electrode 12 resulting from the elastic deformation of the wire guides (upper wire guide 8a, lower wire guide 8b) depending on the wire tension. The relative position between 14 and the wire electrode 12 is corrected.
  • the wire electric discharge machining apparatus 1 a includes a control device 10 and a machining unit 20.
  • the control device 10 includes a machining condition setting unit 2, a correction amount storage unit 3, a correction amount reading unit 4, a wire position correction unit 5, drive control units 6a and 6b, a command generation unit 9, and a power control unit.
  • the processing unit 20 includes drive units 7 a and 7 b, an upper wire guide 8 a, a lower wire guide 8 b, a power source 11, and a wire electrode 12.
  • an upper wire guide 8a is disposed on the upper side of a position where the workpiece (work) 14 is processed, and a lower wire guide 8b is disposed on the lower side.
  • the upper wire guide 8a and the lower wire guide 8b are arranged so as to sandwich the workpiece (workpiece) 14 between the upper and lower sides.
  • the upper wire guide 8a supports the wire electrode 12 from the upper side and sends the wire electrode 12 to the lower side.
  • the lower wire guide 8b supports the wire electrode 12 from below and winds up the wire electrode 12.
  • the wire electrode 12 is extended between the upper wire guide 8a and the lower wire guide 8b. Then, the wire electrode 12 is fed in a certain direction from the upper wire guide 8a toward the lower wire guide 8b.
  • the power supply 11 is connected to the wire electrode 12 and the workpiece 14.
  • a pulse voltage is applied between the wire electrode 12 and the workpiece 14 by the power supply 11, and the workpiece 14 is machined into a sawtooth shape by a discharge generated by the application of this voltage.
  • the working fluid 13 is supplied along the wire electrode 12 from each nozzle (nozzles 30a and 30b described later) installed in the upper wire guide 8a and the lower wire guide 8b.
  • the machining liquid 13 maintains, for example, an insulating state between the wire electrode 12 and the workpiece 14, discharges a removed workpiece generated by machining the workpiece 14, and removes the workpiece 14 and Supplied to cool the wire electrode 12.
  • the driving unit 7a drives the upper wire guide 8a
  • the driving unit 7b drives the lower wire guide 8b.
  • the drive unit 7 a moves the position of the upper wire guide 8 a in a plane perpendicular to the wire electrode 12.
  • the drive unit 7b moves the position of the lower wire guide 8b within a plane perpendicular to the wire electrode 12, for example.
  • the drive units 7 a and 7 b and the power source 11 are controlled by the control device 10.
  • the machining shape is input to the command generator 9 of the control device 10 from an external device (not shown).
  • the command generation unit 9 generates commands for the drive control units 6 a and 6 b and the power supply control unit 15 based on the input machining shape.
  • the machining shape input to the command generation unit 9 is a shape of a portion where machining is performed on the workpiece 14.
  • the processed shape may be a post-processing shape of the workpiece 14 formed by processing the workpiece 14.
  • the command (upper drive command) generated by the command generation unit 9 for the drive control unit 6a is a command for the drive control unit 6a to control the drive unit 7a, and the drive unit 7a drives the upper wire guide 8a. It is a command for.
  • the command (lower drive command) generated by the command generation unit 9 for the drive control unit 6b is a command for the drive control unit 6b to control the drive unit 7b, and the drive unit 7b uses the lower wire guide 8b. This is a command for driving.
  • the command (power command) generated by the command generating unit 9 for the power control unit 15 is a command for the power control unit 15 to control the power source 11, and the power source 11 includes the wire electrode 12 and the workpiece 14. Is a command for controlling the voltage applied between the two.
  • the drive control unit 6a controls the drive unit 7a based on the upper drive command.
  • the drive control unit 6b controls the drive unit 7b based on the lower drive command.
  • the power supply control unit 15 controls the power supply 11 based on the power supply command.
  • the drive control units 6a and 6b control the drive units 7a and 7b, so that the drive units 7a and 7b drive the upper wire guide 8a and the lower wire guide 8b.
  • the relative positions of the upper wire guide 8a and the lower wire guide 8b with respect to the workpiece 14 are controlled in accordance with the upper drive command and the lower drive command corresponding to the machining shape.
  • the workpiece 14 is cut into a shape corresponding to the machining shape.
  • the power supply control unit 15 controls the power supply 11 so that the discharge phenomenon between the wire electrode 12 and the workpiece 14 is maintained in an appropriate state according to the power supply command.
  • the upper wire guide 8a and the lower wire guide 8b may be referred to as a wire guide 8.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining the position of the wire electrode that varies depending on the processing conditions.
  • FIG. 2 shows a cross-sectional view of the wire guide 8. Wire tension is applied between the pair of upper and lower upper wire guides 8a and 8b in order to keep the wire electrode 12 straight.
  • the elastic deformation amount of the wire guide 8 becomes large.
  • the upper wire guide 8a and the lower wire guide 8b when elastically deformed (when the wire tension is large) are respectively shown by solid lines.
  • the elastic deformation amount of the wire guide 8 is small.
  • the upper wire guide 8a and the lower wire guide 8b when not elastically deformed are respectively shown by broken lines.
  • the wire electrode 12 when the wire guide 8 is elastically deformed is indicated by a solid line, and the wire electrode 12 when the wire guide 8 is not elastically deformed is indicated by a broken line.
  • the wire electrode 12 Since the wire electrode 12 is supported by the wire guide 8, when the amount of elastic deformation of the wire guide 8 changes, the wire electrode 12 is pulled to a position corresponding to the amount of elastic deformation. Thus, when the wire tension changes, the cutting position of the workpiece 14 by the wire electrode 12 changes according to the magnitude of the wire tension, and an error occurs in the processing position.
  • FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the influence of the wire position displacement during the rough machining on the finishing machining.
  • FIG. 3 shows a top view of the workpiece 14 (cross-sectional view of the wire electrode 12).
  • the workpiece 14 is roughly machined along a rough machining line 31 indicated by a solid line, and is then taken along a finishing machining line 32 indicated by a broken line.
  • the workpiece 14 is finished.
  • the inner region 41 is removed from the workpiece 14 and a substantially annular outer region 42 is left.
  • the illustration of the approach line up to the inner region 41 of the workpiece 14 is omitted.
  • the wire tension is set low during rough machining, and the wire tension is set high during finishing. Therefore, there is a difference in the amount of elastic deformation of the wire guide 8 between the roughing process and the finishing process, and as a result, a difference occurs in the position of the wire electrode 12 on the workpiece 14.
  • the workpiece 14 is machined along a locus along the rough machining line 31.
  • the amount of elastic deformation of the wire guide 8 differs during finishing using the finishing conditions as compared to rough machining.
  • the wire electrode 12 processes the workpiece 14 along a locus along the finishing line 32 that is displaced from the roughing line 31.
  • the removal amount 21 of the workpiece 14 is increased, and when finishing is performed at the position shown on the right side of the paper surface. Reduces the removal amount 22 of the workpiece 14.
  • the workpiece 14 is processed so that the rough processing line 31 becomes the same as the finishing processing line 32 by correcting the position of the wire electrode 12 when performing rough processing.
  • the position of the wire electrode 12 is made to correspond with the time of rough processing and the time of finishing with respect to the same position command.
  • the correction amount storage unit 3 is a memory that stores a wire position correction amount.
  • the correction amount storage unit 3 stores a wire position correction amount for each processing condition in advance.
  • the machining condition setting unit 2 sets the externally inputted machining conditions in the control device 10.
  • the processing conditions set by the processing condition setting unit 2 include, for example, wire tension.
  • the processing conditions may be a type of processing such as rough processing or finishing processing.
  • the processing condition setting unit 2 registers the correspondence between the type of processing and the processing conditions in advance. Then, the machining condition setting unit 2 extracts a machining condition corresponding to the type of machining based on the registered correspondence, and sets it in the control device 10.
  • the correction amount reading unit 4 reads the processing conditions from the processing condition setting unit 2 and reads the wire position correction amount corresponding to the processing conditions from the correction amount storage unit 3 when processing the workpiece 14.
  • the correction amount reading unit 4 sends the read wire position correction amount to the wire position correction unit 5.
  • the wire position correction unit 5 corrects the control position controlled by the drive control units 6a and 6b according to the wire position correction amount. In other words, the wire position correction unit 5 corrects the control instruction (control position) output from the drive control units 6a and 6b to the drive units 7a and 7b with the wire position correction amount. Accordingly, the drive units 7a and 7b correct the position of the wire guide 8 to the control position corrected with the wire position correction amount.
  • the correction amount storage unit 3 stores the wire position correction amount associated with the machining conditions. Further, the machining condition setting unit 2 sets machining conditions inputted externally in the control device 10. In addition, the machining shape is input to the command generation unit 9. The command generation unit 9 generates commands for the drive control units 6 a and 6 b and the power supply control unit 15 based on the input machining shape.
  • the power supply control unit 15 controls the power supply 11 based on the power supply command.
  • the drive control unit 6a controls the drive unit 7a based on the upper drive command, and the drive control unit 6b controls the drive unit 7b based on the lower drive command.
  • the correction amount reading unit 4 reads the processing conditions from the processing condition setting unit 2 and reads the wire position correction amount corresponding to the processing conditions from the correction amount storage unit 3. Then, the correction amount reading unit 4 sends the read wire position correction amount to the wire position correction unit 5.
  • the wire position correction unit 5 corrects the control position controlled by the drive control units 6a and 6b according to the wire position correction amount. Accordingly, the drive units 7a and 7b correct the position of the wire guide 8 to the control position corrected with the wire position correction amount. As a result, the position of the wire electrode 12 is corrected to a position according to the processing conditions.
  • the case where the upper wire guide 8a and the lower wire guide 8b are driven has been described. However, if at least two of the upper wire guide 8a, the lower wire guide 8b, and the workpiece 14 are driven, they are driven. Good. For example, by controlling the relative position between the workpiece 14 and the wire electrode 12 and the inclination of the wire electrode 12, the same effect as in the case of controlling the positions of the upper wire guide 8a and the lower wire guide 8b can be obtained. .
  • the position of the wire electrode 12 may be corrected by correcting at least one of the finishing line 32 and the roughing line 31.
  • the position of the wire electrode 12 may be corrected so that the finishing line 32 is the same as the roughing line 31.
  • the pair of wire guides 8 may be arranged in any direction.
  • a pair of wire guides 8 may be arranged in the horizontal direction.
  • one wire guide is arranged on the right side and the other wire guide is arranged on the left side.
  • one wire guide is disposed at the first position, and the other wire guide is disposed at the second position facing each other with the workpiece 14 interposed therebetween.
  • the wire position is corrected in accordance with the processing conditions such as the wire tension. Therefore, the distance between the wire electrode 12 and the workpiece 14 that changes depending on the processing conditions.
  • the relative position can be corrected.
  • Embodiment 2 a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
  • the wire tension is considered as a processing condition.
  • the position of the wire electrode 12 is corrected in consideration of the reaction force (processing fluid pressure) of the processing fluid 13.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining elastic deformation of the wire guide due to wire tension and working fluid pressure.
  • FIG. 4 the positions of the wire guide 8 and the wire electrode 12 that change depending on the wire tension and the working fluid pressure (working fluid pressure) are shown in cross-sectional views.
  • the downward wire tension by the wire electrode 12 and the upward processing reaction force (processing fluid pressure) by the processing fluid 13 act on the upper wire guide 8a.
  • the upper wire guide 8a shown in FIG. 4 shows an example in which the influence of the wire tension is larger than the influence of the working fluid reaction force, and the upper wire guide 8a is elastically deformed downward.
  • the lower wire guide 8b shown in FIG. 4 shows an example in which the influence of the working fluid reaction force is larger than the influence of the wire tension, and the lower wire guide 8b is elastically deformed downward.
  • the wire tension When the wire tension is large, the amount of elastic deformation toward the workpiece 14 is large, and when the machining fluid reaction force is large, the amount of elastic deformation toward the opposite side of the workpiece 14 is large.
  • the upper wire guide 8a and the lower wire guide 8b when elastically deformed are respectively shown by solid lines. Further, the upper wire guide 8a and the lower wire guide 8b when not elastically deformed are respectively shown by broken lines. Further, the wire electrode 12 when the wire guide 8 is elastically deformed is indicated by a solid line, and the wire electrode 12 when the wire guide 8 is not elastically deformed is indicated by a broken line.
  • the correction amount storage unit 3 of the present embodiment stores a wire position correction amount (correspondence between processing conditions and wire position correction amount) set in advance for each combination of wire tension and machining fluid pressure. At this time, the correction amount storage unit 3 calculates the wire position correction amount for correcting the relative position between the upper wire guide 8a and the workpiece 14, and the relative position between the lower wire guide 8b and the workpiece 14. The wire position correction amount to be corrected is stored for each processing condition. The wire position correction amount for the upper wire guide 8a and the wire position correction amount for the lower wire guide 8b may be the same value.
  • the machining condition setting unit 2 of the present embodiment sets the wire tension and the machining fluid pressure in the control device 10 as machining conditions input from the outside.
  • the correction amount reading unit 4 of the present embodiment reads out the processing conditions (wire tension and processing fluid pressure) from the processing condition setting unit 2 when processing the workpiece 14, and responds to the processing conditions.
  • the wire position correction amount to be read is read from the correction amount storage unit 3.
  • the correction amount storage unit 3 stores a wire position correction amount associated with a processing condition (a combination of wire tension and processing fluid pressure). Since the processing fluid pressure may differ between the upper wire guide 8a side and the lower wire guide 8b side, the processing conditions for the upper wire guide 8a side, the processing conditions for the lower wire guide 8b side, Is stored in the correction amount storage unit 3.
  • a processing condition a combination of wire tension and processing fluid pressure
  • the processing condition setting unit 2 sets the wire tension and the processing fluid pressure in the control device 10 as processing conditions.
  • the machining shape is input to the command generation unit 9.
  • the command generation unit 9 generates commands for the drive control units 6 a and 6 b and the power supply control unit 15 based on the input machining shape.
  • the power supply control unit 15 controls the power supply 11 based on the power supply command.
  • the drive control unit 6a controls the drive unit 7a based on the upper drive command, and the drive control unit 6b controls the drive unit 7b based on the lower drive command.
  • the correction amount reading unit 4 reads the processing condition from the processing condition setting unit 2 and reads the wire position correction amount corresponding to the processing condition from the correction amount storage unit 3. Specifically, the correction amount reading unit 4 corrects the relative position between the upper wire guide 8a and the workpiece 14 corresponding to the processing conditions (combination of wire tension and processing fluid pressure). Correction amounts (for example, wire position correction amounts ⁇ X1, ⁇ Y1) are read from the correction amount storage unit 3.
  • the correction amount reading unit 4 calculates wire position correction amounts (for example, wire position correction amounts ⁇ X2, ⁇ Y2) for correcting the relative position between the lower wire guide 8b and the workpiece 14 corresponding to the processing conditions. Read from the correction amount storage unit 3.
  • wire position correction amounts for example, wire position correction amounts ⁇ X2, ⁇ Y2
  • the correction amount reading unit 4 sends the read wire position correction amounts to the wire position correction unit 5.
  • the wire position correction unit 5 corrects the control amount of the drive control unit 6a according to the wire position correction amounts ⁇ X1 and ⁇ Y1. Thereby, the relative position of the upper wire guide 8a and the workpiece 14 is corrected via the drive part 7a.
  • the wire position correction unit 5 corrects the control amount of the drive control unit 6b according to the wire position correction amounts ⁇ X2 and ⁇ Y2. Thereby, the relative position of the lower wire guide 8b and the workpiece 14 is corrected via the drive unit 7b.
  • the wire electric discharge machining apparatus 1a corrects the relative position between the upper wire guide 8a and the workpiece 14 using the machining conditions for the upper wire guide 8a. Further, the wire electric discharge machining apparatus 1a corrects the relative position between the lower wire guide 8b and the workpiece 14 using the machining conditions for the lower wire guide 8b.
  • the machining conditions include the wire tension and the machining fluid pressure
  • the wire electrode 12 and the workpiece 14 that change depending on both the wire tension and the machining fluid pressure
  • the relative position between can be corrected. Accordingly, it is possible to obtain a highly accurate contour processing shape that is not affected by the processing conditions.
  • Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to FIG.
  • the wire tension and the machining fluid pressure are considered as the machining conditions.
  • the distance between the nozzle (working fluid nozzle) of the wire guide 8 and the workpiece 14 is further considered.
  • the position of the wire electrode 12 is corrected.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining the influence of the working fluid reaction force when the distance between the nozzle of the wire guide and the workpiece is longer than a predetermined value.
  • a nozzle (first nozzle) 30a for delivering the processing liquid 13 is disposed at the tip of the upper wire guide 8a (on the workpiece 14 side).
  • a nozzle (second nozzle) 30b for delivering the processing liquid 13 is disposed at the tip end (workpiece 14 side) of the lower wire guide 8b.
  • the lower side distance Db the distance between the nozzle 30b and the workpiece 14 in FIG. 5
  • the lower wire guide 8b of FIG. 4 the lower wire guide 8b of FIG.
  • the elastic deformation amount of the lower wire guide 8b varies depending on the lower side distance Db.
  • the upper wire guide 8a depends on the distance between the nozzle 30a of the upper wire guide 8a and the workpiece 14 (hereinafter referred to as the upper side distance Da).
  • the position correction of the wire electrode 12 is performed by adding the lower side distance Db and the upper side distance Da to the processing conditions.
  • the correction amount storage unit 3 corrects the relative position between the upper wire guide 8a and the workpiece 14, and corrects the relative position between the lower wire guide 8b and the workpiece 14.
  • the position correction amount is stored for each processing condition. Specifically, the correction amount storage unit 3 stores a wire position correction amount (correspondence between processing conditions and wire position correction amount) set in advance for each combination of wire tension, machining fluid pressure, and lower side distance Db. Keep it. Further, the correction amount storage unit 3 stores a wire position correction amount (correspondence between processing conditions and wire position correction amount) set in advance for each combination of wire tension, machining fluid pressure, and upper side distance Da. .
  • the machining condition setting unit 2 of the present embodiment sets the wire tension, the machining fluid pressure, the upper side distance Da, and the lower side distance Db in the control device 10 as the externally input machining conditions.
  • the correction amount reading unit 4 reads the processing conditions from the processing condition setting unit 2 and reads the wire position correction amount corresponding to the processing conditions from the correction amount storage unit 3 when processing the workpiece 14. .
  • the correction amount storage unit 3 stores the wire position correction amount associated with the machining conditions.
  • the wire position correction amounts stored in the correction amount storage unit 3 are the wire position correction amount for the nozzle 30a and the wire position correction amount for the nozzle 30b.
  • the wire position correction amount for the nozzle 30a is associated with a set of wire tension, working fluid pressure, and upper side distance Da.
  • the wire position correction amount for the nozzle 30b is associated with a set of wire tension, working fluid pressure, and lower side distance Db.
  • the processing condition setting unit 2 sets the wire tension, the processing fluid pressure, the upper side distance Da, and the lower side distance Db in the control device 10 as processing conditions.
  • the machining shape is input to the command generation unit 9.
  • the command generation unit 9 generates commands for the drive control units 6 a and 6 b and the power supply control unit 15 based on the input machining shape.
  • the power supply control unit 15 controls the power supply 11 based on the power supply command.
  • the drive control unit 6a controls the drive unit 7a based on the upper drive command, and the drive control unit 6b controls the drive unit 7b based on the lower drive command.
  • the correction amount reading unit 4 reads the processing condition from the processing condition setting unit 2 and reads the wire position correction amount corresponding to the processing condition from the correction amount storage unit 3.
  • the correction amount reading unit 4 is configured so that the relative position between the lower wire guide 8b and the workpiece 14 corresponding to the processing conditions (a combination of the wire tension, the processing fluid pressure, and the lower side distance Db). Is read from the correction amount storage unit 3.
  • the correction amount reading unit 4 corrects the relative position between the upper wire guide 8a and the workpiece 14 corresponding to the processing conditions (combination of wire tension, processing fluid pressure, and upper side distance Da).
  • the wire position correction amount to be read is read from the correction amount storage unit 3.
  • the correction amount reading unit 4 sends the read wire position correction amounts to the wire position correction unit 5.
  • the wire position correction unit 5 corrects the control amount of the drive control unit 6b according to the wire position correction amount. Thereby, the relative position of the lower wire guide 8b and the workpiece 14 is corrected via the drive unit 7b.
  • the wire position correction unit 5 corrects the control amount of the drive control unit 6a according to the wire position correction amount. Thereby, the relative position of the upper wire guide 8a and the workpiece 14 is corrected via the drive part 7a.
  • the processing conditions include the wire tension, the processing liquid pressure, the upper side distance Da, and the lower side distance Db
  • the wire tension, the processing liquid pressure, the upper side distance Da, and the lower part The relative position between the wire electrode 12 and the workpiece 14 that changes depending on the side distance Db can be corrected. Accordingly, it is possible to obtain a highly accurate contour processing shape that is not affected by the processing conditions.
  • Embodiment 4 FIG. Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
  • the wire tension, the working fluid pressure, the upper side distance Da, and the lower side distance Db are considered as processing conditions.
  • the wire electrode 12 itself is further considered in terms of deformation. 12 position correction is performed.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining a processing error caused by deformation of the wire electrode.
  • the wire guide 8 being elastically deformed by the wire tension and the working fluid reaction force, the wire electrode 12 is deformed depending on the processing conditions. For this reason, the relative position between the wire electrode 12 and the workpiece 14 changes.
  • the wire electrode 12 is more likely to be deformed as the rigidity that changes depending on the wire material is lower. Further, the wire electrode 12 is more easily deformed as the diameter is smaller. Furthermore, the longer the distance between the wire guide 8a and the wire guide 8b, the easier the deformation.
  • the wire electric discharge machining apparatus 1a performs position correction of the wire electrode 12 in consideration of the deformation of the wire electrode 12.
  • the correction amount storage unit 3 includes a wire tension, a working fluid pressure, an upper wire guide 8a or a lower side distance Db, a rigidity of the wire electrode 12 (wire rigidity), and a diameter of the wire electrode 12 ( The wire position correction amount set for each combination of the (wire diameter) and the inter-guide distance Dc is stored.
  • the machining condition setting unit 2 of the present embodiment includes, as externally inputted machining conditions, wire tension, machining fluid pressure, upper side distance Da, lower side distance Db, rigidity of the wire electrode 12, and diameter of the wire electrode 12.
  • the guide distance Dc is set in the control device 10.
  • the correction amount reading unit 4 reads the processing conditions from the processing condition setting unit 2 and reads the wire position correction amount corresponding to the processing conditions from the correction amount storage unit 3 when processing the workpiece 14. .
  • the correction amount storage unit 3 stores the wire position correction amount associated with the processing conditions.
  • the wire position correction amount for the nozzle 30a is associated with a set of wire tension, machining fluid pressure, upper side distance Da, rigidity of the wire electrode 12, diameter of the wire electrode 12, and distance Dc between the guides. ing.
  • the processing condition setting unit 2 sets the wire tension, the processing fluid pressure, the upper side distance Da, the rigidity of the wire electrode 12, the diameter of the wire electrode 12, and the distance Dc between the guides in the control device 10 as processing conditions.
  • the correction amount reading unit 4 reads the processing condition from the processing condition setting unit 2, and corrects the wire position corresponding to the processing condition.
  • the amount is read from the correction amount storage unit 3.
  • the correction amount reading unit 4 determines whether the machining conditions (wire tension, machining fluid pressure, upper side distance Da, rigidity of the wire electrode 12, the diameter of the wire electrode 12, and the distance between the guides are combined.
  • the wire position correction amount for correcting the relative position between the upper wire guide 8a and the work piece 14 corresponding to () is read out from the correction amount storage unit 3.
  • the wire position correction unit 5 corrects the control amount of the drive control unit 6b according to the wire position correction amount. Thereby, the relative position of the upper wire guide 8a and the workpiece 14 is corrected via the drive part 7a.
  • the processing condition setting unit 2 may set the material of the wire electrode 12 instead of the rigidity of the wire electrode 12.
  • the correction amount storage unit 3 stores the rigidity (such as an elastic coefficient) of the wire electrode 12 in association with the material of the wire electrode 12.
  • the correction amount reading unit 4 extracts the rigidity of the wire electrode 12 based on the association in the correction amount storage unit 3. Even in this case, the same effect as when the rigidity of the wire electrode 12 is set in the processing condition setting unit 2 can be obtained.
  • the shape, rigidity, and material of the wire guide 8 and the shapes, rigidity, and material of the nozzles 30a and 30b may be added. In this case, it is possible to further improve the processing contour accuracy by correcting the position of the wire electrode 12 in consideration of the deformation of the wire guide 8 or the deformation of the nozzles 30a and 30b.
  • the processing conditions are wire tension, processing fluid pressure, upper side distance Da and lower side distance Db, rigidity of wire electrode 12, diameter of wire electrode 12, and inter-guide distance Dc. Therefore, the wire electrode 12 varies depending on the wire tension, the working fluid pressure, the upper side distance Da, the lower side distance Db, the rigidity of the wire electrode 12, the diameter of the wire electrode 12, and the distance Dc between the guides. And the relative position between the workpiece 14 can be corrected. Accordingly, it is possible to obtain a highly accurate contour processing shape that is not affected by the processing conditions.
  • Embodiment 5 a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
  • the wire tension, the working fluid pressure, the upper side distance Da, the lower side distance Db, the rigidity of the wire electrode 12, the diameter of the wire electrode 12, and the guide distance Dc are considered as the processing conditions.
  • the position of the wire electrode 12 is corrected in consideration of the amount of elastic deformation of the workpiece 14 caused by the machining fluid pressure.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining the elastic deformation of the workpiece caused by the machining fluid reaction force.
  • the workpiece 14 is elastically deformed by the machining fluid reaction force. For this reason, the relative position between the wire electrode 12 and the workpiece 14 changes.
  • the wire electric discharge machining apparatus 1a performs position correction of the wire electrode 12 in consideration of the shape and rigidity of the workpiece 14.
  • the correction amount storage unit 3 of the present embodiment preliminarily includes wire tension, machining fluid pressure, upper wire guide 8a or lower side distance Db, rigidity of the wire electrode 12, diameter of the wire electrode 12, and distance between guides.
  • the wire position correction amount set for each combination of Dc and the shape / rigidity information (shape and rigidity) of the workpiece 14 is stored.
  • the machining condition setting unit 2 of the present embodiment includes, as externally inputted machining conditions, wire tension, machining fluid pressure, upper side distance Da, lower side distance Db, rigidity of the wire electrode 12, and diameter of the wire electrode 12.
  • the guide distance Dc and the shape / rigidity information are set in the control device 10.
  • the correction amount reading unit 4 reads the processing conditions from the processing condition setting unit 2 and reads the wire position correction amount corresponding to the processing conditions from the correction amount storage unit 3 when processing the workpiece 14. .
  • the correction amount storage unit 3 stores the wire position correction amount associated with the processing conditions.
  • the wire position correction amount for the nozzle 30a includes the wire tension, the working fluid pressure, the upper side distance Da, the rigidity of the wire electrode 12, the diameter of the wire electrode 12, the distance Dc between the guides, and the shape / rigidity information. Are associated with each other.
  • the machining condition setting unit 2 uses the wire tension, the machining fluid pressure, the upper side distance Da, the rigidity of the wire electrode 12, the diameter of the wire electrode 12, the distance between guides Dc and the shape / rigidity information as the machining conditions. Set.
  • the correction amount reading unit 4 reads the processing condition from the processing condition setting unit 2, and corrects the wire position corresponding to the processing condition. The amount is read from the correction amount storage unit 3.
  • the correction amount reading unit 4 is configured to process the processing conditions (wire tension, processing fluid pressure, upper side distance Da, rigidity of the wire electrode 12, diameter of the wire electrode 12, and distance between guides Dc, The wire position correction amount for correcting the relative position between the upper wire guide 8a and the workpiece 14 corresponding to the combination of the shape / rigidity information) is read from the correction amount storage unit 3.
  • the wire position correction unit 5 corrects the control amount of the drive control unit 6b according to the wire position correction amount. Thereby, the relative position of the upper wire guide 8a and the workpiece 14 is corrected via the drive part 7a.
  • the processing condition setting unit 2 may set the material of the workpiece 14 instead of the rigidity of the workpiece 14.
  • the shape and material of the workpiece 14 may be set in the shape / rigidity information.
  • the correction amount storage unit 3 stores the rigidity (elastic coefficient and the like) of the workpiece 14 in association with the material of the workpiece 14.
  • the correction amount reading unit 4 extracts the rigidity of the workpiece 14 based on the association in the correction amount storage unit 3 and the material in the shape / rigidity information. Even in this case, the same effect as when the shape and rigidity of the workpiece 14 are set in the shape / rigidity information can be obtained.
  • the wire electric discharge machining apparatus 1a may use a plurality of shape / rigidity information corresponding to the machining progress. Further, the size and weight of the workpiece 14 may be added to the shape / rigidity information.
  • the processing conditions are wire tension, processing fluid pressure, upper side distance Da and lower side distance Db, rigidity of wire electrode 12, diameter of wire electrode 12, distance between guides Dc, shape Since it includes the rigidity information, the wire tension, the working fluid pressure, the upper side distance Da, the lower side distance Db, the rigidity of the wire electrode 12, the diameter of the wire electrode 12, and the wire that changes depending on the shape / rigidity information
  • the relative position between the electrode 12 and the workpiece 14 can be corrected. Accordingly, it is possible to obtain a highly accurate contour processing shape that is not affected by the processing conditions.
  • the wire position correction amount to be stored in the correction amount storage unit 3 is determined from the processing shape measurement result (the shape after processing) of the workpiece 14 processed under various processing conditions.
  • FIG. 8A is a diagram illustrating an example of a machining shape measurement result of a workpiece.
  • FIG. 8A shows a top view of the workpiece 14 after processing.
  • the X-axis direction is the same direction as the reference plane 50
  • the Y-axis direction is a direction perpendicular to the reference plane 50.
  • FIG. 8B is a diagram illustrating an example of the wire position correction amount for each processing condition.
  • the wire electric discharge machine 1a processes the workpiece 14 under various processing conditions.
  • the reference surface 50 is processed under the processing conditions that allow the most accurate processing, and is used as a reference for comparison with other processing conditions.
  • the shape of the workpiece 14 is measured to grasp the machining contour error depending on the machining conditions.
  • the shape of the workpiece 14 is shown when machining is performed using the reference surface 50 and machining conditions (1) to (4).
  • the machining shape measurement result of the workpiece 14 is stored in the correction amount storage unit 3.
  • the wire position correction amount 51 in the Y-axis direction under the processing condition (1) is +2 ⁇ m.
  • the correction amount storage unit 3 stores +2 ⁇ m as the wire position correction amount 51 in the Y-axis direction.
  • the correction amount storage unit 3 comprehensively stores, for example, the wire position correction amount of the processing conditions actually used. If the number of combinations of machining conditions is too large, the wire position correction amount may be derived by interpolating between the machining conditions. Thus, appropriate wire position correction can be realized with a small number of measurement points and a small number of processing condition setting points.
  • the correction amount storage unit 3 stores the wire position correction amount shown in FIG. 8B
  • the actual measurement point is a point (machining condition) in which the workpiece position 14 is actually machined using the machining conditions, and the wire position correction amount is set by measuring the machining shape.
  • the interpolation point is a point (processing condition) in which the wire position correction amount is set by the interpolation process using the wire position correction amount acquired at the actual measurement point.
  • FIG. 9 is a diagram for explaining the interpolation points of the machining conditions when the practical maximum and minimum values of the machining conditions are used as the actual measurement points of the wire position correction amount.
  • the machining conditions are a combination of wire tension and machining fluid pressure
  • the X axis is wire tension
  • the Y axis is machining fluid pressure.
  • the actual measurement points when the workpiece 14 is machined under the machining conditions mainly including the practical maximum and minimum values of the wire tension and the practical maximum and minimum values of the working fluid pressure.
  • 61 (black circle) and interpolation point 62 (white circle) are shown.
  • the machining result is actually measured under the machining conditions of the actual measurement point 61, and the machining conditions of the interpolation point 62 is supplemented by interpolation such as linear interpolation. Since the cause of the position displacement of the wire electrode 12 is elastic deformation of the wire guide 8 due to at least one of the wire tension and the working fluid reaction force, it is considered that the amount of position displacement of the wire electrode 12 is linear.
  • the set value of the machining fluid pressure is adjusted by taking into account the distance between the nozzles 30a, 30b and the workpiece 14 (upper side distance Da, lower side distance Db). .
  • the set value of the machining fluid pressure is adjusted by creating a reference table or creating an approximate expression based on the actual measurement result of the machining fluid pressure.
  • FIG. 10 is a diagram for explaining the interpolation point of the machining condition when the practical center value of the machining condition is used as the actual measurement point of the wire position correction amount.
  • the machining conditions are a combination of wire tension and machining fluid pressure
  • the X axis is wire tension
  • the Y axis is machining fluid pressure.
  • the measured point 61 black circle
  • 62 (white circle) is shown.
  • the wire position correction amount to be stored in the correction amount storage unit 3 is determined from the processing shape measurement result of the workpiece 14 processed under various processing conditions. Wire position correction can be easily realized.
  • the desired wire position correction amount can be easily derived with a small number of measurements.
  • Embodiment 7 FIG. Next, a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
  • the position of the wire guide 8 being processed is measured in advance. Based on the measurement result, the wire position correction amount stored in the correction amount storage unit 3 is set.
  • FIG. 11 is a diagram for explaining a method of measuring the amount of displacement of the wire guide.
  • position measuring devices 16a and 16b for measuring the position (displacement amount) of the wire guide 8 are installed in the wire electric discharge machining apparatus 1a.
  • the position measuring devices 16a and 16b measure the position of the wire guide 8 being processed.
  • the position measuring device 16a measures the position of the upper wire guide 8a being processed
  • the position measuring device 16b measures the position of the lower wire guide 8b being processed.
  • the position measuring devices 16a and 16b measure the relative distance between the workpiece 14 and the wire guide 8, for example. Therefore, the position measuring devices 16a and 16b are arranged at a position where the relative distance between the workpiece 14 and the wire guide 8 can be measured, for example.
  • the position measuring devices 16a and 16b may be fixed to a frame (not shown) of the wire electric discharge machining apparatus 1a. In this case, the position measuring devices 16a and 16b measure the distance between the wire guide 8 and the gantry of the wire electric discharge machining apparatus 1a.
  • the wire position correction amount is set based on the measured position.
  • the displacement amount of the wire guide 8 being processed is measured under various processing conditions, and the wire position correction amount to be stored in the correction amount storage unit 3 is determined from the displacement amount measurement result. Therefore, highly accurate wire position correction can be realized.
  • Embodiment 8 FIG. Next, an eighth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
  • the wire position correction amount is derived by the method described in the sixth embodiment
  • the position of the wire guide 8 being processed and the displacement amount of the workpiece 14 are measured.
  • the wire position correction amount stored in the correction amount storage unit 3 is set.
  • FIG. 12 is a diagram for explaining a method of measuring the displacement amount of the wire guide and the displacement amount of the workpiece.
  • the position measuring device 16c is a device that measures the position (displacement amount) of the workpiece 14 with respect to the gantry of the wire electric discharge machining apparatus 1a.
  • the wire position correction amount is set based on the measured displacement amount of the workpiece 14. Thereby, the relative position between the wire electrode 12 and the workpiece 14 can be corrected with high accuracy.
  • the procedure for creating the wire position correction amount to be stored in the correction amount storage unit 3 from the processing shape measurement result of the workpiece 14 is the same as that in the sixth embodiment, and thus the description thereof is omitted.
  • the amount of displacement of the workpiece 14 being processed under various processing conditions is measured, and the wire position correction amount stored in the correction amount storage unit 3 from the displacement amount measurement result. Therefore, highly accurate wire position correction can be realized.
  • Embodiment 9 FIG. Next, a ninth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
  • the case where the wire position correction amount is stored using a numerical table (table format) as shown in FIG. 8B has been described, but in this embodiment, the correction amount storage unit 3 Instead, the wire position correction amount is generated by the correction amount determination unit 17 using the function shown in the following equation (1).
  • the configuration of the wire electric discharge machining apparatus 1b in FIG. 13 is the same as that in FIG. To do.
  • a coefficient is input to the correction amount determination unit 17.
  • Equation (1) shows only the correction value in the Y-axis direction, but the same applies to the X-axis direction.
  • the formula (1) is specifically represented by the following formula (2).
  • ⁇ Y g (T, P, L) (3)
  • equation (3) can be approximated by equation (4) below.
  • ⁇ Y (a ⁇ T) + (d ⁇ P / L 2 ) + e (4)
  • d and e are coefficients, which are identified from the measurement result of the machining shape.
  • the correction amount determining unit 17 corrects the wire position from the processing shape measurement result of the workpiece 14 processed under various processing conditions or the position of the wire electrode 13 being processed. Since the amount is determined, the wire position correction amount under the non-measured processing condition can be determined easily and with high accuracy from the wire position correction amount under the measured processing condition. Therefore, it is possible to determine the wire position correction amount with the required accuracy with a small number of measurements. In addition, there is an effect that the amount of memory required for the control device of the electric discharge machining apparatus can be saved.
  • the wire electric discharge machining apparatus and the control apparatus according to the present invention are suitable for wire electric discharge machining performed while correcting the position displacement of the wire electrode.
  • 1a, 1b wire electric discharge machining device 2 machining condition setting unit, 3 correction amount storage unit, 4 correction amount reading unit, 5 wire position correction unit, 6a, 6b drive control unit, 7a, 7b drive unit, 8a upper wire guide, 8b Lower wire guide, 9 Command generation unit, 10 Control device, 11 Power supply, 12 Wire electrode, 13 Work fluid, 14 Workpiece, 15 Power supply control unit, 16a to 16c Position measuring instrument, 17 Correction amount determination unit, 20 Processing Part, 30a, 30b nozzle, 61 actual measurement points, 62 interpolation points.

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Abstract

　上部ワイヤガイド（８ａ）の位置を移動させることによって、ワイヤ電極（１２）と被加工物（１４）との間の相対位置を変化させる駆動部（７ａ）と、下部ワイヤガイド（８ｂ）の位置を移動させることによって、ワイヤ電極（１２）と被加工物（１４）との間の相対位置を変化させる駆動部（７ｂ）と、被加工物（１４）に対して加工を行なう部分の加工形状に基づいて、駆動部（７ａ，７ｂ）を駆動する駆動制御部（６ａ，６ｂ）と、ワイヤ電極（１２）の張力を含む加工条件に対応する、ワイヤ電極（１２）への位置補正量を、予め記憶しておく補正量記憶部（３）と、加工条件に対応する位置補正量を補正量記憶部（３）から読み出す補正量読み出し部（４）と、読み出した位置補正量に基づいて、ワイヤ電極（１２）と被加工物（１４）との間の相対距離を、駆動制御部（６ａ，６ｂ）に補正させるワイヤ位置補正部（５）と、を備える。

Description

ワイヤ放電加工装置および制御装置
　本発明は、ワイヤ電極の位置変位を補正することによって加工輪郭誤差を低減するワイヤ放電加工装置および制御装置に関するものである。
　従来のワイヤ放電加工装置は、ワイヤを用いて被加工物を加工する際に、ノズルを備えたワイヤガイドが、ワイヤに対して加工液を送出している。このワイヤ放電加工装置は、加工液の圧力に起因するワイヤの変位量を検出し、検出した変位量からワイヤの位置補正量を決定している。そして、ワイヤ放電加工装置は、位置補正量を用いて被加工物とワイヤとの間の相対位置を補正し、これにより加工輪郭誤差を補正している（例えば、特許文献１参照）。
特開平２-１６０４２４号公報
　しかしながら、上記従来の技術では、ワイヤ張力に依存するワイヤガイドの弾性変形に起因するワイヤの位置変位が考慮されていないので、高精度な加工輪郭誤差を補正できないという問題があった。例えば、粗加工と仕上げ加工のようにワイヤ張力が異なる場合には、粗加工時の加工輪郭誤差のために、仕上げ加工時の加工除去量が加工方向に依存して変化してしまう。このため、加工除去量が大きくなる加工面では加工速度が低下するという問題と、加工面精度が劣化するという問題があった。
　本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ワイヤ電極の高精度な位置誤差補正が可能なワイヤ放電加工装置および制御装置を得ることを目的とする。
　上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、第１の位置でワイヤ電極を支持するとともに被加工物側に前記ワイヤ電極を送出する第１のワイヤガイドと、前記第１の位置に対向する第２の位置で前記ワイヤ電極を支持するとともに前記被加工物側から送られてくる前記ワイヤ電極を巻き取る第２のワイヤガイドと、前記第１のワイヤガイドの位置を移動させることによって、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対位置を変化させる第１の駆動部と、前記第２のワイヤガイドの位置を移動させることによって、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対位置を変化させる第２の駆動部と、前記被加工物に対して加工を行なう部分の加工形状に基づいて、前記第１の駆動部を制御する第１の駆動制御部と、前記加工形状に基づいて、前記第２の駆動部を制御する第２の駆動制御部と、前記第１のワイヤガイドと前記第２のワイヤガイドとの間に張架された前記ワイヤ電極の張力を含む加工条件を設定する加工条件設定部と、前記加工条件に対応する前記ワイヤ電極への位置補正量を予め記憶しておく補正量記憶部と、前記加工条件に対応する前記ワイヤ電極への位置補正量を前記補正量記憶部から読み出す補正量読み出し部と、前記位置補正量に基づいて、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対距離を、前記第１および第２の駆動制御部に補正させるワイヤ位置補正部と、を備えることを特徴とする。
　本発明によれば、ワイヤ電極の高精度な位置誤差補正が可能になるという効果を奏する。
図１は、実施の形態１に係るワイヤ放電加工装置の構成を示す図である。 図２は、加工条件に依存して変化するワイヤ電極の位置を説明するための図である。 図３は、粗加工時のワイヤ位置変位が仕上げ加工に及ぼす影響を説明するための模式図である。 図４は、ワイヤ張力および加工液圧力による、ワイヤガイドの弾性変形を説明するための図である。 図５は、ワイヤガイドのノズルと被加工物との間の距離が所定値よりも遠い場合の加工液反力の影響を説明するための図である。 図６は、ワイヤ電極の変形に起因する加工誤差を説明するための図である。 図７は、加工液反力に起因する被加工物の弾性変形を説明するための図である。 図８－１は、被加工物の加工形状計測結果例を示す図である。 図８－２は、加工条件毎のワイヤ位置補正量の一例を示す図である。 図９は、加工条件の実用上の最大値と最小値をワイヤ位置補正量の実測点とした場合の、加工条件の補間点を説明するための図である。 図１０は、加工条件の実用上の中心値をワイヤ位置補正量の実測点とした場合の、加工条件の補間点を説明するための図である。 図１１は、ワイヤガイドの変位量を計測する方法を説明するための図である。 図１２は、ワイヤガイドの変位量および被加工物の変位量を計測する方法を説明するための図である。 図１３は、実施の形態６に係るワイヤ放電加工装置の構成を示す図である。
　以下に、本発明の実施の形態に係るワイヤ放電加工装置および制御装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、これらの実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態１．
　図１は、実施の形態１に係るワイヤ放電加工装置の構成を示す図である。ワイヤ放電加工装置１ａは、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間に電圧を印加することによって被加工物１４を放電加工する装置である。本実施の形態のワイヤ放電加工装置１ａは、ワイヤ張力に依存するワイヤガイド（上部ワイヤガイド８ａ、下部ワイヤガイド８ｂ）の弾性変形に起因するワイヤ電極１２の位置変位を考慮して、被加工物１４とワイヤ電極１２との間の相対位置を補正する。
　ワイヤ放電加工装置１ａは、制御装置１０と、加工部２０と、を備えている。制御装置１０は、加工条件設定部２と、補正量記憶部３と、補正量読み出し部４と、ワイヤ位置補正部５と、駆動制御部６ａ，６ｂと、指令生成部９と、電源制御部１５と、を有している。また、加工部２０は、駆動部７ａ，７ｂと、上部ワイヤガイド８ａと、下部ワイヤガイド８ｂと、電源１１と、ワイヤ電極１２と、を有している。
　加工部２０では、被加工物（ワーク）１４への加工を行う位置の上部側に上部ワイヤガイド８ａが配置され、下部側に下部ワイヤガイド８ｂが配置されている。換言すると、被加工物（ワーク）１４を上下で挟むように、上部ワイヤガイド８ａと下部ワイヤガイド８ｂとが配置されている。
　上部ワイヤガイド８ａは、ワイヤ電極１２を上部側から支持するとともに、下部側にワイヤ電極１２を送出する。また、下部ワイヤガイド８ｂは、ワイヤ電極１２を下側から支持するとともに、ワイヤ電極１２を巻き取る。このように、ワイヤ電極１２は、上部ワイヤガイド８ａと下部ワイヤガイド８ｂとの間に長架される。そして、上部ワイヤガイド８ａから下部ワイヤガイド８ｂに向かって、ワイヤ電極１２が一定方向に送給される。
　電源１１は、ワイヤ電極１２および被加工物１４に接続されている。ワイヤ電極１２と被加工物１４との間には、電源１１によってパルス状電圧が印加され、この電圧の印加によって発生した放電によって被加工物１４が糸鋸状に加工される。
　上部ワイヤガイド８ａと下部ワイヤガイド８ｂに設置された各ノズル（後述するノズル３０ａ，３０ｂ）からは、ワイヤ電極１２に沿って、加工液１３が供給される。この加工液１３は、例えば、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間の絶縁状態を維持し、かつ被加工物１４への加工によって発生した加工除去物を排出し、かつ被加工物１４およびワイヤ電極１２を冷却するために供給される。
　駆動部７ａは、上部ワイヤガイド８ａを駆動させ、駆動部７ｂは、下部ワイヤガイド８ｂを駆動させる。駆動部７ａは、例えば、ワイヤ電極１２に垂直な平面内で上部ワイヤガイド８ａの位置を移動させる。また、駆動部７ｂは、例えば、ワイヤ電極１２に垂直な平面内で下部ワイヤガイド８ｂの位置を移動させる。駆動部７ａ，７ｂおよび電源１１は、制御装置１０によって制御される。
　制御装置１０の指令生成部９には、外部装置（図示せず）などから加工形状が入力される。指令生成部９は、入力された加工形状に基づいて、駆動制御部６ａ，６ｂおよび電源制御部１５に対する指令を生成する。指令生成部９に入力される加工形状は、被加工物１４に対して加工を行なう部分の形状である。なお、加工形状は、被加工物１４に加工を行うことによって形成される被加工物１４の加工後形状であってもよい。
　指令生成部９が駆動制御部６ａに対して生成する指令（上部駆動指令）は、駆動制御部６ａが駆動部７ａを制御するための指令であり、駆動部７ａが上部ワイヤガイド８ａを駆動するための指令である。
　また、指令生成部９が駆動制御部６ｂに対して生成する指令（下部駆動指令）は、駆動制御部６ｂが駆動部７ｂを制御するための指令であり、駆動部７ｂが下部ワイヤガイド８ｂを駆動するための指令である。
　また、指令生成部９が電源制御部１５に対して生成する指令（電源指令）は、電源制御部１５が電源１１を制御するための指令であり、電源１１がワイヤ電極１２と被加工物１４との間に与える電圧を制御するための指令である。
　駆動制御部６ａは、上部駆動指令に基づいて、駆動部７ａを制御する。駆動制御部６ｂは、下部駆動指令に基づいて、駆動部７ｂを制御する。電源制御部１５は、電源指令に基づいて、電源１１を制御する。駆動制御部６ａ，６ｂが、駆動部７ａ，７ｂを制御することによって、駆動部７ａ，７ｂが上部ワイヤガイド８ａと下部ワイヤガイド８ｂを駆動させる。これにより、上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂの被加工物１４に対する相対位置が、加工形状に対応する上部駆動指令および下部駆動指令に沿って制御される。この結果、加工形状に応じた形状に被加工物１４が切断加工される。また、加工中は、電源制御部１５が、ワイヤ電極１２と被加工物１４の間の放電現象が電源指令に応じた適切な状態に保たれるように、電源１１を制御する。なお、以下の説明では、上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂを、ワイヤガイド８という場合がある。
　ここで、加工条件に依存して変化するワイヤ電極１２の位置について説明する。図２は、加工条件に依存して変化するワイヤ電極の位置を説明するための図である。図２では、ワイヤガイド８の断面図を示している。上下一対の上部ワイヤガイド８ａと下部ワイヤガイド８ｂとの間には、ワイヤ電極１２を直線状に保つために、ワイヤ張力を作用させている。
　図２に示すように、ワイヤ張力が大きい場合には、ワイヤガイド８の弾性変形量が大きくなる。ここでは、弾性変形している場合（ワイヤ張力が大きい場合）の上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂを、それぞれ実線で図示している。
　ワイヤ張力が小さい場合には、ワイヤガイド８の弾性変形量が小さくなる。ここでは、弾性変形していない場合の上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂを、それぞれ破線で図示している。また、ワイヤガイド８が弾性変形している場合のワイヤ電極１２を実線で図示し、ワイヤガイド８が弾性変形していない場合のワイヤ電極１２を破線で図示している。
　ワイヤ電極１２は、ワイヤガイド８に支持されているので、ワイヤガイド８の弾性変形量が変化すると、弾性変形量の大きさに応じた位置に引っ張られる。このように、ワイヤ張力が変化すると、ワイヤ張力の大小に応じて、ワイヤ電極１２による被加工物１４の切断位置が変化し、加工位置に誤差が生じる。
　図３は、粗加工時のワイヤ位置変位が仕上げ加工に及ぼす影響を説明するための模式図である。図３では、被加工物１４の上面図（ワイヤ電極１２の断面図）を示している。例えば、被加工物１４の内側（内部領域４１）を加工する際には、実線で示す粗加工ライン３１に沿って被加工物１４を粗加工した後、破線で示す仕上げ加工ライン３２に沿って被加工物１４を仕上げ加工する。これにより、被加工物１４から内部領域４１が除去されて概略環状の外部領域４２が残される。なお、図３では、被加工物１４の内部領域４１までのアプローチラインの図示を省略している。
　例えば、粗加工時には、ワイヤ張力が低めに設定され、仕上げ加工時にはワイヤ張力が高めに設定される。そのため、粗加工と仕上げ加工とでは、ワイヤガイド８の弾性変形量に違いが生じ、その結果、被加工物１４上のワイヤ電極１２の位置に差が生じる。
　図３に示すように、ワイヤ電極１２の位置補正が無い状態で、粗加工条件を用いた粗加工を行うと、粗加工ライン３１に沿った軌跡で被加工物１４が加工される。ところが、仕上げ加工条件を用いた仕上げ加工時には、粗加工時と比べてワイヤガイド８の弾性変形量に違いが生じる。このため、ワイヤ電極１２は、粗加工ライン３１から位置ずれした仕上げ加工ライン３２に沿った軌跡で被加工物１４を加工してしまう。このとき、紙面の左側に示した被加工物１４の位置で仕上げ加工を行う際には、被加工物１４の除去量２１が多くなり、紙面の右側に示した位置で仕上げ加工を行う際には、被加工物１４の除去量２２が少なくなる。このため、ワイヤ電極１２の位置補正が無い状態で粗加工を行うと、加工除去量が大きな位置（加工面）では、加工面の加工精度が劣化し、加工時間が長くなるという問題が生じる。
　そこで、本実施の形態では、粗加工を実施する際に、ワイヤ電極１２の位置を補正することによって、粗加工ライン３１が仕上げ加工ライン３２と同じになるよう、被加工物１４を加工する。このように、本実施の形態では、同一の位置指令に対して粗加工時と仕上げ加工時とでワイヤ電極１２の位置を一致させる。これにより、仕上げ加工時の除去量が加工方向に寄らず均一化され、加工面の加工精度が向上するとともに、加工速度が向上する。
　ここで、図１に戻って、加工条件設定部２、補正量記憶部３、補正量読み出し部４、ワイヤ位置補正部５について説明する。補正量記憶部３は、ワイヤ位置補正量を記憶するメモリなどである。補正量記憶部３には、予め加工条件毎のワイヤ位置補正量を記憶させておく。
　加工条件設定部２は、外部入力される加工条件を制御装置１０に設定する。加工条件設定部２が設定する加工条件は、例えばワイヤ張力などを含んでいる。なお、加工条件は、粗加工または仕上げ加工などの加工の種類であってもよい。この場合、加工条件設定部２には、予め加工の種類と加工条件との対応関係を登録しておく。そして、加工条件設定部２は、登録しておいた対応関係に基づいて、加工の種類に対応する加工条件を抽出し、制御装置１０に設定する。
　補正量読み出し部４は、被加工物１４への加工を行なう際に、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。補正量読み出し部４は、読み出したワイヤ位置補正量をワイヤ位置補正部５に送る。
　ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量に従って、駆動制御部６ａ，６ｂが制御する制御位置を補正する。換言すると、ワイヤ位置補正部５は、駆動制御部６ａ，６ｂが駆動部７ａ，７ｂに出力する制御指示（制御位置）を、ワイヤ位置補正量で補正させる。これにより、駆動部７ａ，７ｂは、ワイヤ位置補正量で補正された制御位置にワイヤガイド８の位置を補正する。
　つぎに、ワイヤ電極１２の実施の形態１に係る位置補正処理手順について説明する。補正量記憶部３には、加工条件に対応付けされたワイヤ位置補正量を記憶させておく。また、加工条件設定部２は、外部入力される加工条件を制御装置１０に設定しておく。また、指令生成部９には、加工形状が入力される。指令生成部９は、入力された加工形状に基づいて、駆動制御部６ａ，６ｂおよび電源制御部１５に対する指令を生成する。
　電源制御部１５は、電源指令に基づいて、電源１１を制御する。また、駆動制御部６ａは、上部駆動指令に基づいて、駆動部７ａを制御し、駆動制御部６ｂは、下部駆動指令に基づいて、駆動部７ｂを制御する。
　このとき、補正量読み出し部４は、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。そして、補正量読み出し部４は、読み出したワイヤ位置補正量をワイヤ位置補正部５に送る。
　ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量に従って、駆動制御部６ａ，６ｂが制御する制御位置を補正する。これにより、駆動部７ａ，７ｂは、ワイヤ位置補正量で補正された制御位置にワイヤガイド８の位置を補正する。この結果、加工条件に応じた位置にワイヤ電極１２の位置が補正される。
　なお、本実施の形態では、上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂを駆動する場合について説明したが、上部ワイヤガイド８ａ、下部ワイヤガイド８ｂ、被加工物１４のうちの少なくとも２つを駆動すればよい。例えば、被加工物１４とワイヤ電極１２の相対位置、およびワイヤ電極１２の傾きを制御することでも、上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂの位置を制御する場合と同様な効果を得ることができる。
　また、仕上げ加工ライン３２および粗加工ライン３１の少なくとも一方を補正することにより、ワイヤ電極１２の位置を補正してもよい。例えば、仕上げ加工を実施する際に、仕上げ加工ライン３２が粗加工ライン３１と同じになるよう、ワイヤ電極１２の位置を補正してもよい。
　また、本実施の形態では、１対のワイヤガイド８が上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂである場合について説明したが、１対のワイヤガイド８は、何れの方向に配置してもよい。例えば、１対のワイヤガイド８を水平方向に配置してもよい。この場合、一方のワイヤガイドが右側に配置され、他方のワイヤガイドが左側に配置される。このように、一方のワイヤガイドは、第１の位置に配置され、他方のワイヤガイドは、被加工物１４を挟んで対向する第２の位置に配置される。
　このように、実施の形態１によれば、ワイヤ張力などの加工条件に応じたワイヤ位置補正を行っているので、加工条件に依存して変化するワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を補正することができる。これにより、加工条件に影響されない高精度な輪郭加工形状を得ることができる。例えば、粗加工と仕上げ加工とで加工条件が異なる場合には、仕上げ加工における加工除去量を一定にすることができる。したがって、ワイヤ張力に基づいたワイヤ電極１２への位置補正を行わない場合に比べて、加工面の加工精度が向上するとともに、加工時間を短縮させることが可能となる。
実施の形態２．
　つぎに、図４を用いてこの発明の実施の形態２について説明する。実施の形態１では、加工条件としてワイヤ張力を考慮したが、実施の形態２では、加工液１３の反力（加工液圧力）をさらに考慮して、ワイヤ電極１２の位置補正を行う。
　図４は、ワイヤ張力および加工液圧力による、ワイヤガイドの弾性変形を説明するための図である。図４では、ワイヤ張力および加工液圧力（加工液の圧力）に依存して変化するワイヤガイド８およびワイヤ電極１２の位置を断面図で示している。
　上部ワイヤガイド８ａには、ワイヤ電極１２による下向きのワイヤ張力と、加工液１３による上向きの加工反力（加工液圧力）が作用する。図４に示す上部ワイヤガイド８ａは、ワイヤ張力の影響の方が、加工液反力による影響よりも大きい場合であり、上部ワイヤガイド８ａが下向きに弾性変形する例を示している。
　同様に、下部ワイヤガイド８ｂには、ワイヤ電極１２による上向きのワイヤ張力と、加工液１３による下向きの加工液反力が作用する。図４に示す下部ワイヤガイド８ｂは、加工液反力の影響の方が、ワイヤ張力による影響よりも大きい場合であり、下部ワイヤガイド８ｂが下向きに弾性変形する例を示している。
　ワイヤ張力が大きい場合には、被加工物１４側への弾性変形量が大きくなり、加工液反力が大きい場合には、被加工物１４とは反対側への弾性変形量が大きくなる。ここでは、弾性変形している場合の上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂを、それぞれ実線で図示している。また、弾性変形していない場合の上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂを、それぞれ破線で図示している。また、ワイヤガイド８が弾性変形している場合のワイヤ電極１２を実線で図示し、ワイヤガイド８が弾性変形していない場合のワイヤ電極１２を破線で図示している。
　ここで、本実施の形態の加工条件設定部２、補正量記憶部３、補正量読み出し部４について説明する。本実施の形態の補正量記憶部３は、予めワイヤ張力と加工液圧力との組み合わせ毎に設定されたワイヤ位置補正量（加工条件とワイヤ位置補正量の対応関係）を記憶しておく。このとき、補正量記憶部３は、上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量と、下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量と、を加工条件毎に記憶しておく。なお、上部ワイヤガイド８ａ用のワイヤ位置補正量と、下部ワイヤガイド８ｂ用のワイヤ位置補正量と、を同じ値としてもよい。
　また、本実施の形態の加工条件設定部２は、外部入力される加工条件として、ワイヤ張力および加工液圧力を制御装置１０に設定する。また、本実施の形態の補正量読み出し部４は、被加工物１４への加工を行なう際に、加工条件設定部２から加工条件（ワイヤ張力および加工液圧力）を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。
　つぎに、ワイヤ電極１２の実施の形態２に係る位置補正処理手順について説明する。なお、実施の形態１で説明した処理と同様の処理については、その説明を省略する。補正量記憶部３には、加工条件（ワイヤ張力およびと加工液圧力との組）に対応付けされたワイヤ位置補正量を記憶させておく。加工液圧力が上部ワイヤガイド８ａ側と下部ワイヤガイド８ｂ側とで異なる場合があるので、加工条件としては、上部ワイヤガイド８ａ側用の加工条件と、下部ワイヤガイド８ｂ側用の加工条件と、を補正量記憶部３に記憶させておく。
　また、加工条件設定部２は、ワイヤ張力および加工液圧力を加工条件として制御装置１０に設定する。また、指令生成部９には、加工形状が入力される。指令生成部９は、入力された加工形状に基づいて、駆動制御部６ａ，６ｂおよび電源制御部１５に対する指令を生成する。
　電源制御部１５は、電源指令に基づいて、電源１１を制御する。また、駆動制御部６ａは、上部駆動指令に基づいて、駆動部７ａを制御し、駆動制御部６ｂは、下部駆動指令に基づいて、駆動部７ｂを制御する。このとき、補正量読み出し部４は、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。具体的には、補正量読み出し部４は、加工条件（ワイヤ張力と、加工液圧力と、の組み合わせ）に対応した上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量（例えば、ワイヤ位置補正量ΔＸ１，ΔＹ１）を、補正量記憶部３から読み出す。
　同様に、補正量読み出し部４は、加工条件に対応した下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量（例えば、ワイヤ位置補正量ΔＸ２，ΔＹ２）を、補正量記憶部３から読み出す。
　そして、補正量読み出し部４は、読み出した各ワイヤ位置補正量をワイヤ位置補正部５に送る。ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量ΔＸ１，ΔＹ１に従って駆動制御部６ａの制御量を補正する。これにより、駆動部７ａを介して、上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との相対位置が補正される。
　同様に、ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量ΔＸ２，ΔＹ２に従って駆動制御部６ｂの制御量を補正する。これにより、駆動部７ｂを介して、下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との相対位置が補正される。
　このように、ワイヤ放電加工装置１ａは、上部ワイヤガイド８ａ側用の加工条件を用いて上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との相対位置を補正する。また、ワイヤ放電加工装置１ａは、下部ワイヤガイド８ｂ側用の加工条件を用いて下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との相対位置を補正する。
　このように、実施の形態２によれば、加工条件がワイヤ張力および加工液圧力を含んでいるので、ワイヤ張力および加工液圧力の双方に依存して変化するワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を補正することができる。したがって、加工条件に影響されない高精度な輪郭加工形状を得ることができる。
実施の形態３．
　つぎに、図５を用いてこの発明の実施の形態３について説明する。実施の形態２では、加工条件としてワイヤ張力および加工液圧力を考慮したが、実施の形態３では、ワイヤガイド８のノズル（加工液ノズル）と被加工物１４との間の距離をさらに考慮して、ワイヤ電極１２の位置補正を行う。
　図５は、ワイヤガイドのノズルと被加工物との間の距離が所定値よりも遠い場合の加工液反力の影響を説明するための図である。上部ワイヤガイド８ａの先端部（被加工物１４側）には、加工液１３を送出するノズル（第１のノズル）３０ａが配置されている。また、下部ワイヤガイド８ｂの先端部（被加工物１４側）には、加工液１３を送出するノズル（第２のノズル）３０ｂが配置されている。
　ここでは、図５のノズル３０ｂと被加工物１４との間の距離（以下、下部側距離Ｄｂという）が、図４の下部側距離Ｄｂよりも長い場合について説明する。この場合、図４の下部ワイヤガイド８ｂの場合に比べて、図５の下部ワイヤガイド８ｂの方が加工液反力の影響が小さくなる。
　したがって、ワイヤ張力と加工液圧力が同じであっても、下部側距離Ｄｂに応じて、下部ワイヤガイド８ｂの弾性変形量に違いが生じる。同様に、ワイヤ張力と加工液圧力が同じであっても、上部ワイヤガイド８ａのノズル３０ａと被加工物１４との間の距離（以下、上部側距離Ｄａという）に応じて、上部ワイヤガイド８ａの弾性変形量に違いが生じる。そこで、本実施の形態では、加工条件に、下部側距離Ｄｂと、上部側距離Ｄａと、を加えてワイヤ電極１２の位置補正を実施する。
　ここで、本実施の形態の加工条件設定部２、補正量記憶部３、補正量読み出し部４について説明する。補正量記憶部３は、上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量と、下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量と、を加工条件毎に記憶しておく。具体的には、補正量記憶部３は、予めワイヤ張力と加工液圧力と下部側距離Ｄｂとの組み合わせ毎に設定されたワイヤ位置補正量（加工条件とワイヤ位置補正量の対応関係）を記憶しておく。また、補正量記憶部３は、予めワイヤ張力と加工液圧力と上部側距離Ｄａとの組み合わせ毎に設定されたワイヤ位置補正量（加工条件とワイヤ位置補正量の対応関係）を記憶しておく。
　また、本実施の形態の加工条件設定部２は、外部入力される加工条件として、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂを制御装置１０に設定する。また、補正量読み出し部４は、被加工物１４への加工を行なう際に、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。
　つぎに、ワイヤ電極１２の実施の形態３に係る位置補正処理手順について説明する。なお、実施の形態１，２で説明した処理と同様の処理については、その説明を省略する。補正量記憶部３には、加工条件に対応付けされたワイヤ位置補正量を記憶させておく。補正量記憶部３が記憶しておくワイヤ位置補正量は、ノズル３０ａ用のワイヤ位置補正量とノズル３０ｂ用のワイヤ位置補正量である。ノズル３０ａ用のワイヤ位置補正量は、ワイヤ張力と、加工液圧力と、上部側距離Ｄａとの組に対応付けされている。また、ノズル３０ｂ用のワイヤ位置補正量は、ワイヤ張力と、加工液圧力と、下部側距離Ｄｂとの組に対応付けされている。
　また、加工条件設定部２は、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂを加工条件として制御装置１０に設定する。また、指令生成部９には、加工形状が入力される。指令生成部９は、入力された加工形状に基づいて、駆動制御部６ａ，６ｂおよび電源制御部１５に対する指令を生成する。
　電源制御部１５は、電源指令に基づいて、電源１１を制御する。また、駆動制御部６ａは、上部駆動指令に基づいて、駆動部７ａを制御し、駆動制御部６ｂは、下部駆動指令に基づいて、駆動部７ｂを制御する。このとき、補正量読み出し部４は、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。具体的には、補正量読み出し部４は、加工条件（ワイヤ張力と、加工液圧力と、下部側距離Ｄｂとの組合せ）に対応した下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量を、補正量記憶部３から読み出す。
　同様に、補正量読み出し部４は、加工条件（ワイヤ張力と、加工液圧力と、上部側距離Ｄａとの組合せ）に対応した上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量を、補正量記憶部３から読み出す。
　そして、補正量読み出し部４は、読み出した各ワイヤ位置補正量をワイヤ位置補正部５に送る。ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量に従って駆動制御部６ｂの制御量を補正する。これにより、駆動部７ｂを介して、下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との相対位置が補正される。
　同様に、ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量に従って駆動制御部６ａの制御量を補正する。これにより、駆動部７ａを介して、上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との相対位置が補正される。
　このように、実施の形態３によれば、加工条件がワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂを含んでいるので、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂに依存して変化するワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を補正することができる。したがって、加工条件に影響されない高精度な輪郭加工形状を得ることができる。
実施の形態４．
　つぎに、図６を用いてこの発明の実施の形態４について説明する。実施の形態３では、加工条件としてワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂを考慮したが、実施の形態４では、ワイヤ電極１２自身の変形をさらに考慮して、ワイヤ電極１２の位置補正を行う。
　図６は、ワイヤ電極の変形に起因する加工誤差を説明するための図である。ワイヤ張力および加工液反力によってワイヤガイド８が弾性変形することに加えて、加工条件に依存してワイヤ電極１２が変形する。このため、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置が変化する。
　ワイヤ電極１２は、ワイヤ材質に依存して変化する剛性が低いほど変形しやすい。また、ワイヤ電極１２の直径が細いほど変形しやすい。更に、ワイヤガイド８ａとワイヤガイド８ｂとの間の距離が長いほど変形しやすい。
　そこで、本実施の形態では、加工条件として、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂの他に、ワイヤ電極１２の剛性と径、並びに、一対のワイヤガイド８ａとワイヤガイド８ｂの間の距離（以下、ガイド間距離Ｄｃという）を加える。そして、ワイヤ放電加工装置１ａは、ワイヤ電極１２の変形を考慮してワイヤ電極１２の位置補正を実施する。
　ここで、本実施の形態の加工条件設定部２、補正量記憶部３、補正量読み出し部４について説明する。本実施の形態の補正量記憶部３は、予めワイヤ張力と、加工液圧力と、上部ワイヤガイド８ａまたは下部側距離Ｄｂと、ワイヤ電極１２の剛性（ワイヤ剛性）と、ワイヤ電極１２の径（ワイヤ径）と、ガイド間距離Ｄｃと、の組み合わせ毎に設定されたワイヤ位置補正量を記憶しておく。
　また、本実施の形態の加工条件設定部２は、外部入力される加工条件として、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径およびガイド間距離Ｄｃを制御装置１０に設定する。また、補正量読み出し部４は、被加工物１４への加工を行なう際に、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。
　つぎに、ワイヤ電極１２の実施の形態４に係る位置補正処理手順について説明する。なお、上部ワイヤガイド８ａを用いた位置補正処理と下部ワイヤガイド８ｂを用いた位置補正処理とは、同様であるので、ここでは上部ワイヤガイド８ａを用いた位置補正処理について説明する。また、実施の形態１～３で説明した処理と同様の処理については、その説明を省略する。
　補正量記憶部３には、加工条件に対応付けされたワイヤ位置補正量を記憶させておく。ノズル３０ａ用のワイヤ位置補正量は、ワイヤ張力と、加工液圧力と、上部側距離Ｄａと、ワイヤ電極１２の剛性と、ワイヤ電極１２の径と、ガイド間距離Ｄｃとの組に対応付けされている。
　また、加工条件設定部２は、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、および、ガイド間距離Ｄｃを加工条件として制御装置１０に設定する。駆動制御部６ｂが、下部駆動指令に基づいて、駆動部７ｂを制御する際には、補正量読み出し部４は、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。具体的には、補正量読み出し部４は、加工条件（ワイヤ張力と、加工液圧力と、上部側距離Ｄａと、ワイヤ電極１２の剛性と、ワイヤ電極１２の径と、ガイド間距離との組合せ）に対応した上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量を、補正量記憶部３から読み出す。
　そして、ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量に従って駆動制御部６ｂの制御量を補正する。これにより、駆動部７ａを介して、上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との相対位置が補正される。
　なお、加工条件設定部２では、ワイヤ電極１２の剛性の代わりにワイヤ電極１２の材質を設定してもよい。この場合、補正量記憶部３には、ワイヤ電極１２の材質に対応付けてワイヤ電極１２の剛性（弾性係数など）を記憶させておく。そして、補正量読み出し部４が、補正量記憶部３内の対応付けに基づいて、ワイヤ電極１２の剛性を抽出する。この場合であっても、加工条件設定部２においてワイヤ電極１２の剛性を設定した場合と同様な効果を得ることができる。
　さらに、加工条件として、ワイヤガイド８の形状、剛性、材質、ノズル３０ａ，３０ｂの形状、剛性、材質などを加えてもよい。この場合、ワイヤガイド８の変形またはノズル３０ａ，３０ｂの変形を考慮したワイヤ電極１２の位置補正を行うことによって、さらに加工輪郭精度の向上を図ることができる。
　このように、実施の形態４によれば、加工条件がワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、および、ガイド間距離Ｄｃを含んでいるので、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、および、ガイド間距離Ｄｃに依存して変化するワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を補正することができる。したがって、加工条件に影響されない高精度な輪郭加工形状を得ることができる。
実施の形態５．
　つぎに、図７を用いてこの発明の実施の形態５について説明する。実施の形態４では、加工条件としてワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、および、ガイド間距離Ｄｃを考慮したが、実施の形態５では、加工液圧力に起因する被加工物１４の弾性変形量をさらに考慮して、ワイヤ電極１２の位置補正を行う。
　図７は、加工液反力に起因する被加工物の弾性変形を説明するための図である。ワイヤ張力および加工液反力によってワイヤガイド８が弾性変形することに加えて、加工液反力によって被加工物１４が弾性変形する。このため、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置が変化する。
　そこで、本実施の形態では、加工条件として、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、および、ガイド間距離Ｄｃの他に、被加工物１４の形状（支持点から加工点までの長さおよび板厚など）および剛性を加える。そして、ワイヤ放電加工装置１ａは、被加工物１４の形状および剛性を考慮してワイヤ電極１２の位置補正を実施する。
　ここで、本実施の形態の加工条件設定部２、補正量記憶部３、補正量読み出し部４について説明する。本実施の形態の補正量記憶部３は、予めワイヤ張力と、加工液圧力と、上部ワイヤガイド８ａまたは下部側距離Ｄｂと、ワイヤ電極１２の剛性と、ワイヤ電極１２の径と、ガイド間距離Ｄｃと、被加工物１４の形状／剛性情報（形状および剛性）と、の組み合わせ毎に設定されたワイヤ位置補正量を記憶しておく。
　また、本実施の形態の加工条件設定部２は、外部入力される加工条件として、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、ガイド間距離Ｄｃおよび形状／剛性情報を制御装置１０に設定する。また、補正量読み出し部４は、被加工物１４への加工を行なう際に、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。
　つぎに、ワイヤ電極１２の実施の形態４に係る位置補正処理手順について説明する。なお、上部ワイヤガイド８ａを用いた位置補正処理と下部ワイヤガイド８ｂを用いた位置補正処理とは、同様であるので、ここでは上部ワイヤガイド８ａを用いた位置補正処理について説明する。また、実施の形態１～３で説明した処理と同様の処理については、その説明を省略する。
　補正量記憶部３には、加工条件に対応付けされたワイヤ位置補正量を記憶させておく。ノズル３０ａ用のワイヤ位置補正量は、ワイヤ張力と、加工液圧力と、上部側距離Ｄａと、ワイヤ電極１２の剛性と、ワイヤ電極１２の径と、ガイド間距離Ｄｃと、形状／剛性情報との組に対応付けされている。
　また、加工条件設定部２は、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、ガイド間距離Ｄｃおよび形状／剛性情報を加工条件として制御装置１０に設定する。駆動制御部６ｂが、下部駆動指令に基づいて、駆動部７ｂを制御する際には、補正量読み出し部４は、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。具体的には、補正量読み出し部４は、加工条件（ワイヤ張力と、加工液圧力と、上部側距離Ｄａと、ワイヤ電極１２の剛性と、ワイヤ電極１２の径と、ガイド間距離Ｄｃと、形状／剛性情報との組合せ）に対応した上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量を、補正量記憶部３から読み出す。
　そして、ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量に従って駆動制御部６ｂの制御量を補正する。これにより、駆動部７ａを介して、上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との相対位置が補正される。
　なお、加工条件設定部２では、被加工物１４の剛性の代わりに被加工物１４の材質を設定してもよい。換言すると、形状／剛性情報に被加工物１４の形状および材質を設定してもよい。この場合、補正量記憶部３には、被加工物１４の材質に対応付けて被加工物１４の剛性（弾性係数など）を記憶させておく。そして、補正量読み出し部４が、補正量記憶部３内の対応付けと、形状／剛性情報内の材質と、に基づいて、被加工物１４の剛性を抽出する。この場合であっても、形状／剛性情報に被加工物１４の形状および剛性を設定した場合と同様な効果を得ることができる。
　また、被加工物１４の形状は加工の進行とともに変化するので、ワイヤ放電加工装置１ａは、加工の進行に応じた形状／剛性情報を複数用いてもよい。また、形状／剛性情報に被加工物１４の大きさ、重さなどを加えてもよい。
　このように、実施の形態５によれば、加工条件がワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、ガイド間距離Ｄｃ、形状／剛性情報を含んでいるので、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、および形状／剛性情報に依存して変化するワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を補正することができる。したがって、加工条件に影響されない高精度な輪郭加工形状を得ることができる。
実施の形態６．
　つぎに、図８－１～図１０を用いてこの発明の実施の形態６について説明する。実施の形態６では、種々の加工条件で加工した被加工物１４の加工形状計測結果（加工後の形状）から、補正量記憶部３に記憶させるワイヤ位置補正量を決定する。
　まず、被加工物１４の加工形状計測に基づく、ワイヤ位置補正量の設定方法を説明する。図８－１は、被加工物の加工形状計測結果例を示す図である。図８－１では、加工後の被加工物１４の上面図を示している。図８－１では、Ｘ軸方向が基準面５０と同じ方向であり、Ｙ軸方向が基準面５０に垂直な方向である。図８－２は、加工条件毎のワイヤ位置補正量の一例を示す図である。
　ワイヤ放電加工装置１ａは、種々の加工条件で被加工物１４を加工する。その際、最も高精度な加工が可能な加工条件で基準面５０を加工し、他の加工条件との比較対象基準とする。複数の加工条件での加工を連続して実施することで、被加工物１４の設置誤差など、他の要因による加工形状誤差の影響が混入することを防止できる。
　加工完了後に被加工物１４の形状を計測して、加工条件に依存する加工輪郭誤差を把握しておく。図８－１の例では、基準面５０と加工条件（１）から（４）までを用いた加工を実施した場合の被加工物１４の形状を示している。被加工物１４の加工形状計測結果は、補正量記憶部３に記憶させる。
　例えば、加工条件（１）による加工面（加工完了後の面）が基準面５０に対して－２μｍであれば、加工条件（１）におけるＹ軸方向のワイヤ位置補正量５１は、＋２μｍとなる。この場合、補正量記憶部３は、Ｙ軸方向のワイヤ位置補正量５１として、＋２μｍを記憶しておく。これにより、補正後の加工時には、ワイヤ位置をＹ軸方向に＋２μｍ補正して加工される。この結果、加工条件（１）の加工面を基準面５０に合わせることができる。
　補正量記憶部３は、例えば、実際に使用する加工条件のワイヤ位置補正量を網羅的に記憶する。なお、加工条件の組合せ数が多くなりすぎる場合は、加工条件の間を補間してワイヤ位置補正量を導出してもよい。これにより、少ない計測点数、少ない加工条件設定点数で、適切なワイヤ位置補正を実現することができる。
　例えば、補正量記憶部３が、図８－２に示すワイヤ位置補正量を記憶している場合、ワイヤ張力＝１０で、加工液圧力＝３の場合には、加工条件（１）と加工条件（２）を補間した（２＋０）／２＝１をワイヤ位置補正量とすればよい。
　同様に、ワイヤ張力＝９、加工液圧力＝２の場合には、加工条件（２）と加工条件（４）を補間した（０＋１．５）／２＝０．７５をワイヤ位置補正量とすればよい。更に、ワイヤ張力＝９、加工液圧力＝３の場合には、加工条件（１）（２）（３）（４）を補間した（２＋０－３＋１．５）／４＝０．１２５をワイヤ位置補正量とする。
　なお、補間によって導出したワイヤ位置補正量を用いて、さらに加工条件間を補間してもよい。例えば、ワイヤ張力＝１０で、加工液圧力＝３．５の場合には、加工条件（１）と加工条件（２）を補間したワイヤ位置補正量と、加工条件（１）のワイヤ位置補正量と、を用いて、ワイヤ位置補正量を導出する。この場合、（１＋２）／２＝１．５をワイヤ位置補正量とすればよい。
　図９および図１０は、ワイヤ位置補正量（加工条件）の実測点と補間点を説明するための図である。実測点は、加工条件を用いて実際に被加工物１４を加工し、加工形状を計測することによってワイヤ位置補正量を設定した点（加工条件）である。また、補間点は、実測点で取得したワイヤ位置補正量を用いた補間処理によって、ワイヤ位置補正量を設定した点（加工条件）である。
　図９は、加工条件の実用上の最大値と最小値をワイヤ位置補正量の実測点とした場合の、加工条件の補間点を説明するための図である。図９では、加工条件をワイヤ張力と加工液圧力との組み合わせとしており、Ｘ軸がワイヤ張力であり、Ｙ軸が加工液圧力である。図９では、ワイヤ張力の実用上の最大値および最小値と、加工液圧力の実用上の最大値および最小値と、を主とする加工条件で被加工物１４を加工した場合の、実測点６１（黒丸）および補間点６２（白丸）を示している。
　このように、本実施の形態では、実測点６１の加工条件で加工結果を実測し、補間点６２の加工条件は線形補間などの補間で補う。ワイヤ電極１２の位置変位の原因が、ワイヤ張力と加工液反力の少なくとも一方によるワイヤガイド８の弾性変形であるので、ワイヤ電極１２の位置変位量には線形性が成り立つものと考えられる。
　ここで、加工液圧力については、ノズル３０ａ，３０ｂと被加工物１４との間の距離（上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ）を考慮することによって、加工液圧力の設定値の調整を行なう。例えば、加工液圧力の実測結果に基づいて、参照テーブルを作成するか、近似式を作成することによって加工液圧力の設定値を調整する。以上により、少ない計測点（実測点６１）数で、実際に使用する加工条件に対応したワイヤ位置補正量を導出することが可能となる。したがって、ワイヤ位置補正量を導出する際に、実際に被加工物１４へ加工する回数を減らすことができる。
　図１０は、加工条件の実用上の中心値をワイヤ位置補正量の実測点とした場合の、加工条件の補間点を説明するための図である。図１０では、図９と同様に、加工条件をワイヤ張力と加工液圧力との組み合わせとしており、Ｘ軸がワイヤ張力であり、Ｙ軸が加工液圧力である。図１０では、ワイヤ張力の実用上の中心値と、加工液圧力の実用上の中心と、を主とする加工条件で被加工物１４を加工した場合の、実測点６１（黒丸）および補間点６２（白丸）を示している。
　この場合であっても、図９の場合と同様に、少ない計測点（実測点６１）数で、実際に使用する加工条件に対応したワイヤ位置補正量を導出することが可能となる。したがって、実際に被加工物１４へ加工する回数を減らすことができる。
　このように、実施の形態６によれば、種々の加工条件で加工した被加工物１４の加工形状計測結果から、補正量記憶部３に記憶させるワイヤ位置補正量を決定するので、高精度なワイヤ位置補正を容易に実現することが可能となる。
　また、計測した加工条件におけるワイヤ位置補正量から、線形補間によって、計測しない加工条件におけるワイヤ位置補正量を推定するので、少ない計測回数で容易に所望のワイヤ位置補正量を導出することができる。
実施の形態７．
　つぎに、図１１を用いてこの発明の実施の形態７について説明する。実施の形態７では、実施の形態６で説明した方法によってワイヤ位置補正量を導出する際に、加工中のワイヤガイド８の位置を計測しておく。そして、計測結果に基づいて、補正量記憶部３で記憶しておくワイヤ位置補正量を設定する。
　図１１は、ワイヤガイドの変位量を計測する方法を説明するための図である。本実施の形態では、ワイヤ放電加工装置１ａに、ワイヤガイド８の位置（変位量）を計測する位置計測器１６ａ，１６ｂを設置しておく。そして、種々の加工条件を用いてワイヤ位置補正量を導出する際に、位置計測器１６ａ，１６ｂが、加工中のワイヤガイド８の位置を計測する。具体的には、位置計測器１６ａが加工中の上部ワイヤガイド８ａの位置を計測し、位置計測器１６ｂが加工中の下部ワイヤガイド８ｂの位置を計測する。
　位置計測器１６ａ，１６ｂは、例えば、被加工物１４とワイヤガイド８との間の相対距離を計測する。したがって、位置計測器１６ａ，１６ｂは、例えば、被加工物１４とワイヤガイド８の間の相対距離を計測できる位置に配置される。この配置が困難な場合は、ワイヤ放電加工装置１ａの架台（図示せず）に位置計測器１６ａ，１６ｂを固定してもよい。この場合、位置計測器１６ａ，１６ｂは、ワイヤガイド８とワイヤ放電加工装置１ａの架台との間の距離を計測する。位置計測器１６ａ，１６ｂによってワイヤガイド８の位置が計測されると、計測した位置に基づいて、ワイヤ位置補正量を設定する。
　このように、実施の形態７によれば、種々の加工条件で加工中のワイヤガイド８の変位量を計測し、この変位量計測結果から、補正量記憶部３に記憶させるワイヤ位置補正量を決定するので、高精度なワイヤ位置補正を実現することが可能となる。
実施の形態８．
　つぎに、図１２を用いてこの発明の実施の形態８について説明する。実施の形態８では、実施の形態６で説明した方法によってワイヤ位置補正量を導出する際に、加工中のワイヤガイド８の位置および被加工物１４の変位量を計測しておく。そして、計測結果に基づいて、補正量記憶部３で記憶しておくワイヤ位置補正量を設定する。
　図１２は、ワイヤガイドの変位量および被加工物の変位量を計測する方法を説明するための図である。位置計測器１６ｃは、ワイヤ放電加工装置１ａの架台に対する被加工物１４の位置（変位量）を計測する装置である。
　位置計測器１６ｃによって被加工物１４の位置が計測されると、計測された被加工物１４の変位量に基づいて、ワイヤ位置補正量を設定する。これにより、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を高精度に補正可能となる。なお、被加工物１４の加工形状計測結果から、補正量記憶部３に記憶させるワイヤ位置補正量を作成する手順は実施の形態６と同様であるので、その説明を省略する。
　このように、実施の形態８によれば、種々の加工条件で加工中の被加工物１４の変位量を計測し、この変位量計測結果から、補正量記憶部３に記憶させるワイヤ位置補正量を決定するので、高精度なワイヤ位置補正を実現することが可能となる。
実施の形態９．
　つぎに、図１３を用いてこの実施の発明の形態９について説明する。実施の形態５では、図８－２に示したような数値テーブル（表形式）を用いてワイヤ位置補正量を記憶しておく場合について説明したが、この実施の形態では、補正量記憶部３の代わりに、以下の式（１）に示す関数を用いて補正量決定部１７でワイヤ位置補正量を生成する。なお、図１３のワイヤ放電加工装置１ｂの構成は、補正量記憶部３が補正量決定部１７に代わること以外は実施の形態１の図１と同じであるため、他の部分の説明は省略する。補正量決定部１７へは、係数が入力される。
　ΔＹ＝ｆ（Ｔ、Ｐ）・・・（１）
　ここで、ΔＹは、ワイヤ位置補正量、ｆ（）は関数、Ｔはワイヤ張力、Ｐは加工液圧力を示す。式（１）ではＹ軸方向の補正値のみを示しているが、Ｘ軸方向についても同様である。式（１）は具体的には、以下の式（２）で表される。
　ΔＹ＝（ａ×Ｔ）＋（ｂ×Ｐ）＋ｃ・・・（２）
　ここで、ａ、ｂ、ｃは係数であり、加工形状の計測結果から同定する。また、ノズル３０ａ，３０ｂと被加工物１４との間の距離である上部側距離Ｄａまたは下部側距離Ｄｂを考慮する場合、式（１）は以下の式（３）となる。式（３）では、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂを、Ｌで示している。
　ΔＹ＝ｇ（Ｔ、Ｐ、Ｌ）・・・（３）
　具体的には、式（３）は、以下の式（４）で近似できる。
　ΔＹ＝（ａ×Ｔ）＋（ｄ×Ｐ／Ｌ2）＋ｅ・・・（４）
　ここで、ｄ、ｅは係数であり、加工形状の計測結果から同定する。
　このように、実施の形態９によれば、種々の加工条件で加工した被加工物１４の加工形状計測結果、あるいは、加工中のワイヤ電極１３の位置から、補正量決定部１７によってワイヤ位置補正量を決定するので、計測した加工条件におけるワイヤ位置補正量から、計測しない加工条件におけるワイヤ位置補正量を簡便、かつ、高精度に決定することができる。そのため、少ない計測回数で必要な精度のワイヤ位置補正量を決定することができる。また、放電加工装置の制御装置に必要となるメモリ量を節約することができるという効果も奏する。
　以上のように、本発明に係るワイヤ放電加工装置および制御装置は、ワイヤ電極の位置変位を補正しながら行うワイヤ放電加工に適している。
　１ａ，１ｂ　ワイヤ放電加工装置、２　加工条件設定部、３　補正量記憶部、４　補正量読み出し部、５　ワイヤ位置補正部、６ａ，６ｂ　駆動制御部、７ａ，７ｂ　駆動部、８ａ　上部ワイヤガイド、８ｂ　下部ワイヤガイド、９　指令生成部、１０　制御装置、１１　電源、１２　ワイヤ電極、１３　加工液、１４　被加工物、１５　電源制御部、１６ａ～１６ｃ　位置計測器、１７　補正量決定部、２０　加工部、３０ａ，３０ｂ　ノズル、６１　実測点、６２　補間点。

Claims (9)

  1. 　第１の位置でワイヤ電極を支持するとともに被加工物側に前記ワイヤ電極を送出する第１のワイヤガイドと、
    　前記第１の位置に対向する第２の位置で前記ワイヤ電極を支持するとともに前記被加工物側から送られてくる前記ワイヤ電極を巻き取る第２のワイヤガイドと、
    　前記第１のワイヤガイドの位置を移動させることによって、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対位置を変化させる第１の駆動部と、
    　前記第２のワイヤガイドの位置を移動させることによって、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対位置を変化させる第２の駆動部と、
    　前記被加工物に対して加工を行なう部分の加工形状に基づいて、前記第１の駆動部を制御する第１の駆動制御部と、
    　前記加工形状に基づいて、前記第２の駆動部を制御する第２の駆動制御部と、
    　前記第１のワイヤガイドと前記第２のワイヤガイドとの間に張架された前記ワイヤ電極の張力を含む加工条件を設定する加工条件設定部と、
    　前記加工条件に対応する前記ワイヤ電極への位置補正量を予め記憶しておく補正量記憶部と、
    　前記加工条件に対応する前記ワイヤ電極への位置補正量を前記補正量記憶部から読み出す補正量読み出し部と、
    　前記位置補正量に基づいて、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対距離を、前記第１および第２の駆動制御部に補正させるワイヤ位置補正部と、
    　を備えることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
  2. 　前記第１のワイヤガイドは、前記被加工物に加工液を供給する第１のノズルを有し、
    　前記第２のワイヤガイドは、前記被加工物に加工液を供給する第２のノズルを有し、
    　前記加工条件は、前記第１のノズルから供給される加工液の圧力と、前記第２のノズルから供給される加工液の圧力と、をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工装置。
  3. 　前記加工条件は、前記被加工物と前記第１のノズルとの間の距離と、前記被加工物と前記第２のノズルとの間の距離と、をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載のワイヤ放電加工装置。
  4. 　前記加工条件は、前記ワイヤ電極の剛性、前記ワイヤ電極の径、および前記第１のワイヤガイドと前記第２のワイヤガイドとの間の距離を、さらに含むことを特徴とする請求項２または３に記載のワイヤ放電加工装置。
  5. 　前記加工条件は、前記被加工物の剛性および前記被加工物の形状を、さらに含むことを特徴とする請求項２～４のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工装置。
  6. 　前記位置補正量は、複数種類の加工条件で加工された前記被加工物の加工後の形状を計測することによって、決定されることを特徴とする請求項１～５のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工装置。
  7. 　前記位置補正量は、複数種類の加工条件で加工している間に計測された前記第１および第２のワイヤガイドの変位量に基づいて決定されることを特徴とする請求項１～５のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工装置。
  8. 　前記位置補正量は、複数種類の加工条件で加工している間に計測された前記被加工物の変位量を用いて決定されることを特徴とする請求項５に記載のワイヤ放電加工装置。
  9. 　第１の位置でワイヤ電極を支持するとともに被加工物側に前記ワイヤ電極を送出する第１のワイヤガイドに対し、前記第１のワイヤガイドの位置を移動させることによって、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対位置を変化させる第１の駆動部を、前記被加工物に対して加工を行なう部分の加工形状に基づいて、制御する第１の駆動制御部と、
    　前記第１の位置に対向する第２の位置で前記ワイヤ電極を支持するとともに前記被加工物側から送られてくる前記ワイヤ電極を巻き取る第２のワイヤガイドに対し、前記第２のワイヤガイドの位置を移動させることによって、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対位置を変化させる第２の駆動部を、前記加工形状に基づいて、制御する第２の駆動制御部と、
    　前記第１のワイヤガイドと前記第２のワイヤガイドとの間に張架された前記ワイヤ電極の張力を含む加工条件を設定する加工条件設定部と、
    　前記加工条件に対応する前記ワイヤ電極への位置補正量を予め記憶しておく補正量記憶部と、
    　前記加工条件に対応する前記ワイヤ電極への位置補正量を前記補正量記憶部から読み出す補正量読み出し部と、
    　前記位置補正量に基づいて、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対距離を、前記第１および第２の駆動制御部に補正させるワイヤ位置補正部と、
    　を備えることを特徴とする制御装置。 
     
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DE112012000920.7T DE112012000920B4 (de) 2012-10-30 2012-10-30 Drahterodierbearbeitungsvorrichtung und Steuervorrichtung

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016104507A (ja) * 2014-11-19 2016-06-09 ファナック株式会社 上下面独立コーナ形状補正機能を有するワイヤ放電加工機
US10307847B2 (en) 2014-11-19 2019-06-04 Fanuc Corporation Wire electric discharge machine having corner shape correcting function

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5638053B2 (ja) 2012-11-13 2014-12-10 ファナック株式会社 ワイヤ放電加工機の制御装置、ワイヤ放電加工機およびワイヤ放電加工方法
JP5657715B2 (ja) * 2013-01-11 2015-01-21 ファナック株式会社 ワイヤ電極位置補正機能を有するワイヤ放電加工機
FR3041892B1 (fr) * 2015-10-02 2018-03-23 Thermocompact Procede et dispositif d'identification de fil d'electroerosion sur bobine, et application aux usinages par machine d'electroerosion a fil
JP6469045B2 (ja) * 2016-07-13 2019-02-13 ファナック株式会社 ワイヤ放電加工機
JP7384566B2 (ja) * 2019-04-05 2023-11-21 ファナック株式会社 制御装置、演算装置および制御方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1988003074A1 (en) * 1986-10-24 1988-05-05 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Electric discharge apparatus
JPH10263933A (ja) * 1997-03-24 1998-10-06 Hitachi Seiko Ltd ワイヤ放電加工方法およびワイヤ放電加工装置
JP2004351571A (ja) * 2003-05-29 2004-12-16 Fanuc Ltd ノズル隙間調整方法
JP2009136999A (ja) * 2007-12-04 2009-06-25 Ind Technol Res Inst 変形補償装置を具えたワイヤカット放電加工機

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4703143A (en) * 1984-12-25 1987-10-27 Amada Company, Limited Wire EDM method for preventing wire lagging during machining of an angular corner and workpiece position control
JPH02160424A (ja) * 1988-12-15 1990-06-20 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置のワイヤ電極の位置補正方法
JPH0355127A (ja) 1989-07-19 1991-03-08 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置およびワイヤ電極位置補正装置
JP2734277B2 (ja) 1992-03-06 1998-03-30 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置
JP3552753B2 (ja) 1994-08-08 2004-08-11 ファナック株式会社 ワイヤ直角度制御方法
JP2006159396A (ja) 2004-11-15 2006-06-22 Fanuc Ltd ワイヤ放電加工機及びワイヤ放電加工方法
JP4472558B2 (ja) * 2005-03-03 2010-06-02 株式会社ソディック ワイヤカット放電加工方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1988003074A1 (en) * 1986-10-24 1988-05-05 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Electric discharge apparatus
JPH10263933A (ja) * 1997-03-24 1998-10-06 Hitachi Seiko Ltd ワイヤ放電加工方法およびワイヤ放電加工装置
JP2004351571A (ja) * 2003-05-29 2004-12-16 Fanuc Ltd ノズル隙間調整方法
JP2009136999A (ja) * 2007-12-04 2009-06-25 Ind Technol Res Inst 変形補償装置を具えたワイヤカット放電加工機

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016104507A (ja) * 2014-11-19 2016-06-09 ファナック株式会社 上下面独立コーナ形状補正機能を有するワイヤ放電加工機
US10307847B2 (en) 2014-11-19 2019-06-04 Fanuc Corporation Wire electric discharge machine having corner shape correcting function

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