DE112012000920B4

DE112012000920B4 - Drahterodierbearbeitungsvorrichtung und Steuervorrichtung

Info

Publication number: DE112012000920B4
Application number: DE112012000920.7T
Authority: DE
Inventors: c/o Mitsubishi Electric Corp. Sugie Hiroshi; c/o Mitsubishi Electric Corp Takeda Hiroyuki; c/o Mitsubishi Electric Corp. Nakagawa Takayuki
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2012-10-30
Filing date: 2012-10-30
Publication date: 2019-07-11
Anticipated expiration: 2032-10-31
Also published as: JPWO2014068681A1; CN104023891B; US9463520B2; WO2014068681A1; DE112012000920T5; JP5289643B1; CN104023891A; US20140116991A1

Abstract

Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1a), umfassend:eine erste Drahtführung (8a), die eine Drahtelektrode (12) an einer ersten Position haltert und die Drahtelektrode (12) zu einer Seite eines Werkstücks (14) liefert;eine zweite Drahtführung (8b), welche die Drahtelektrode (12) an einer zweiten Position gegenüberliegend zur ersten Position haltert und die von der Seite des Werkstücks (14) gelieferte Drahtelektrode (12) rückwickelt;eine erste Antriebseinheit (7a), welche eine Relativposition zwischen der Drahtelektrode (12) und dem Werkstück (14) durch Bewegen einer Position der ersten Drahtführung (8a) ändert;eine zweite Antriebseinheit (7b), welche eine Relativposition zwischen der Drahtelektrode (12) und dem Werkstück (14) durch Bewegen einer Position der zweiten Drahtführung (8b) ändert;eine erste Antriebssteuereinheit (6a), welche die erste Antriebseinheit (7a) basierend auf einer Bearbeitungsform eines Teils des zu bearbeitenden Werkstücks (14) steuert;eine zweite Antriebssteuereinheit (6b), welche die zweite Antriebseinheit (7b) basierend auf der Bearbeitungsform steuert;eine Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit (2), die eine Bearbeitungsbedingung, einschließlich einer Drahtspannung der sich zwischen der ersten Drahtführung (8a) und der zweiten Drahtführung (8b) erstreckenden Drahtelektrode (12), einstellt;eine Korrekturbetragsspeichereinheit (3), die vorab darin einen Positionskorrekturbetrag für die Drahtelektrode (12) entsprechend der Bearbeitungsbedingung, einschließlich der Drahtspannung, speichert;eine Korrekturbetragsleseeinheit (4), welche den Positionskorrekturbetrag für die Drahtelektrode (12) entsprechend der Bearbeitungsbedingung, einschließlich der Drahtspannung, aus der Korrekturbetragsspeichereinheit (3) ausliest; undeine Drahtpositionskorrektureinheit (5), welche die ersten und zweiten Antriebssteuereinheiten (6a, 6b) veranlasst, eine relative Distanz zwischen der Drahtelektrode (12) und dem Werkstück (14) zu korrigieren, basierend auf dem Positionskorrekturbetrag.

Description

Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Drahterodierbearbeitungsvorrichtung und eine Steuervorrichtung, welche einen Bearbeitungskonturenfehler durch Korrigieren von Verschiebung in der Position einer Drahtelektrode reduzieren.
Hintergrund
Wenn eine konventionelle Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung ein Werkstück unter Einsatz eines Drahts bearbeitet, liefert eine Drahtführung mit einer Düse ein Bearbeitungsfluid an den Draht. Diese Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung detektiert einen Verschiebungsbetrag des Drahts, der durch einen Druck des Bearbeitungsfluids verursacht wird, und bestimmt einen Positionskorrekturbetrag des Drahts, basierend auf dem detektierten Verschiebungsbetrag. Die Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung korrigiert dann eine relative Position zwischen dem Werkstück und dem Draht unter Verwendung des Positionskorrekturbetrags, wodurch ein Bearbeitungskonturenfehler korrigiert wird (siehe beispielsweise Patentliteratur 1).
US 2006/0102596 A1 offenbart eine Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung mit einer ersten Drahtführung, einer zweiten Drahtführung, einer ersten Antriebseinheit, einer zweiten Antriebseinheit, einer Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit, einer Korrekturbetragsspeichereinheit, einer Korrekturbetragsleseeinheit und einer Drahtpositionskorrektureinheit. Diese Vorrichtung ist in der Lage, einen Bearbeitungsfehler, der der eingestellten Haltungsneigung eines zu bearbeitenden Werkstücks zuzuschreiben ist, angemessen zu beseitigen. Die gesamte Offenbarung dieser Druckschrift richtet sich jedoch nur auf die Positionssteuerung für eine Drahtelektrode gemäß der eingestellten Lage des Werkstücks.
JP H02- 160 424 A offenbart eine Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung und beschäftigt sich mit der Einstellung der relativen Position zwischen einem Draht und einem Werkstück im Anschluss an die Entscheidung eines Bearbeitungsprogramms und mit dem Verbessern der Genauigkeit der Bearbeitung durch Suchen nach einer Korrekturbewegungsgröße eines Werkstücks und eines Düsenantriebstisches basierend auf einer erfassten Verschiebungsgröße und Korrigieren der Position einer Drahtelektrode gegenüber dem Werkstück entsprechend dieser Korrekturbewegungsgröße.
DE 693 06 610 T2 offenbart eine elektrische Drahterodiermaschine mit einer Drahtelektrodensammelvorrichtung zum Sammeln einer Drahtelektrode, die zuvor zur elektrischen Entladungsbearbeitung verwendet wurde, und einer Führung zum Führen der zuvor verwendeten Drahtelektrode zu der Drahtelektrodensammelvorrichtung. Die Führung und/oder die Auffangvorrichtung sind bzw. ist beweglich, so dass die Führung relativ zu der Auffangvorrichtung in mindestens zwei verschiedenen Richtungen bewegbar ist.
Zitateliste
Patentliteratur
Patentliteratur 1: Japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 2-160424
Zusammenfassung
Technisches Problem
Jedoch kann in der konventionellen Technologie, da eine Positionsverschiebung des Drahts, die durch elastische Deformation der Drahtführung abhängig von einer Drahtspannung verursacht wird, nicht berücksichtigt wird, der Bearbeitungskonturenfehler nicht mit hoher Genauigkeit korrigiert werden. Wenn Drahtspannungen differieren, beispielsweise zwischen Grobbearbeitung und Endbearbeitung, variieren Bearbeitungsabtragsbeträge während der Endbearbeitung entsprechend den Bearbeitungsrichtungen aufgrund eines Bearbeitungskonturenfehlers während der Grobbearbeitung. Daher wird auf einer Bearbeitungsoberfläche, wo der Bearbeitungsabtragsbetrag groß ist, eine Bearbeitungsgeschwindigkeit reduziert und die Bearbeitungsoberflächengenauigkeit nimmt ab.
Die vorliegende Erfindung ist im Hinblick auf diese Probleme gemacht worden und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung und eine Steuervorrichtung bereitzustellen, die eine hochgenaue Positionsfehlerkorrektur einer Drahtelektrode durchführen zu können.
Problemlösung
Die vorliegende Erfindung ist auf eine Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung gerichtet, welche die Aufgabe erfüllt. Die Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung beinhaltet eine erste Drahtführung, die eine Drahtelektrode an einer ersten Position haltert und die Drahtelektrode zu einer Seite eines Werkstücks liefert; eine zweite Drahtführung, welche die Drahtelektrode an einer zweiten Position gegenüberliegend zur ersten Position haltert und die aus der Seite des Werkstücks gelieferte Drahtelektrode rückwickelt; eine erste Antriebseinheit, welche eine Relativposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück durch Bewegen einer Position der ersten Drahtführung ändert; eine zweite Antriebseinheit, welche eine Relativposition zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück durch Bewegen einer Position der zweiten Drahtführung ändert; eine erste Antriebssteuereinheit, welche die erste Antriebseinheit basierend auf einer Bearbeitungsform eines Teils des zu bearbeitenden Werkstücks steuert; eine zweite Antriebssteuereinheit, welche die zweite Antriebseinheit basierend auf der Bearbeitungsform steuert; eine Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit, die eine Bearbeitungsbedingung, einschließlich einer Spannung der sich zwischen der ersten Drahtführung und der zweiten Drahtführung erstreckenden Drahtelektrode einstellt; eine Korrekturbetragsspeichereinheit, die vorab darin einen Positionskorrekturbetrag für die Drahtelektrode entsprechend der Bearbeitungsbedingung speichert; eine Korrekturbetragsleseeinheit, welche den Positionskorrekturbetrag für die Drahtelektrode entsprechend der Bearbeitungsbedingung aus der Korrekturbetragsspeichereinheit ausliest; und eine Drahtpositionskorrektureinheit, welche die ersten und zweiten Antriebssteuereinheiten veranlasst, eine relative Distanz zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück zu korrigieren, basierend auf dem Positionskorrekturbetrag.
Figurenliste
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine hochgenaue Positionsfehlerkorrektur einer Drahtelektrode durchgeführt werden.
Kurze Beschreibung von Zeichnungen

1 stellt eine Konfiguration einer Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform dar.
2 ist ein erläuterndes Diagramm von Positionen einer Drahtelektrode, die sich anhand der Bearbeitungsbedingungen ändern.
3 ist ein schematisches Diagramm zum Erläutern eines Einflusses einer Drahtpositionsverschiebung bei der Grobbearbeitung auf die Endbearbeitung.
4 ist ein erläuterndes Diagramm einer elastischen Deformation von Drahtführungen, die durch eine Drahtspannung und einen Bearbeitungsfluiddruck verursacht wird.
5 ist ein erläuterndes Diagramm eines Einflusses einer Bearbeitungsfluidreaktionskraft in einem Fall, bei dem Abstände zwischen Düsen von Drahtführungen und einem Werkstück größer als ein vorgegebener Wert sind.
6 ist ein erläuterndes Diagramm eines durch Deformation einer Drahtelektrode verursachten Bearbeitungsfehlers.
7 ist ein erläuterndes Diagramm zur elastischen Deformation eines Werkstücks, welche durch eine Bearbeitungsfluidreaktionskraft verursacht ist.
8-1 ist ein Beispiel von Ergebnissen einer Bearbeitungsformmessung eines Werkstücks.
8-2 ist ein Beispiel von Drahtpositionskorrekturbeträgen für entsprechende Bearbeitungsbedingungen.
9 ist ein erläuterndes Diagramm von Interpolationspunkten von Bearbeitungsbedingungen in einem Fall, bei dem ein Drahtpositionskorrekturbetrag tatsächlich an Punkten mit praktischen Maximal- und Minimalwerten der Bearbeitungsbedingungen gemessen wird.
10 ist ein erläuterndes Diagramm von Interpolationspunkten einer Bearbeitungsbedingung in einem Fall, bei dem ein Drahtpositionskorrekturbetrag tatsächlich an praktischen Zentrumswerten der Bearbeitungsbedingung gemessen wird.
11 ist ein erläuterndes Diagramm eines Verfahrens des Messens von Verschiebungsbeträgen von Drahtführungen.
12 ist ein erläuterndes Diagramm eines Verfahrens des Messens von Verschiebungsbeträgen von Drahtführungen und eines Verschiebungsbetrags eines Werkstücks.
13 stellt eine Konfiguration eine Drahterodier- Bearbeitungsvorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform dar.

Beschreibung von Ausführungsformen
Beispielhafte Ausführungsformen einer Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung werden unten im Detail unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen erläutert.
Erste Ausführungsform
1 stellt eine Konfiguration einer Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Eine Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1a führt elektrische Entladungsbearbeitung eines Werkstücks 14 durch, durch Anlegen einer Spannung zwischen einer Drahtelektrode 12 und dem Werkstück 14. Die Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1a gemäß der vorliegenden Ausführungsform korrigiert eine Relativposition zwischen dem Werkstück 14 und der Drahtelektrode 12 unter Berücksichtigung von Positionsverschiebung der Drahtelektrode 12, die durch elastische Deformation der Drahtführungen (einer oberen Drahtführung 8a und einer unteren Drahtführung 8b) abhängig von einer Drahtspannung verursacht wird.
Die Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1a beinhaltet eine Steuervorrichtung 10 und eine Bearbeitungseinheit 20. Die Steuervorrichtung 10 beinhaltet eine Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2, eine Korrekturbetragsspeichereinheit 3, eine Korrekturbetragsleseeinheit 4, eine Drahtpositionskorrektureinheit 5, Antriebssteuereinheiten 6a und 6b, eine Befehlserzeugungseinheit 9 und eine Stromversorgungssteuereinheit 15. Die Bearbeitungseinheit 20 beinhaltet Antriebseinheiten 7a und 7b, die obere Drahtführung 8a, die untere Drahtführung 8b, eine Stromversorgung 11 und die Drahtelektrode 12.
In der Bearbeitungseinheit 20 ist die obere Drahtführung 8a auf der oberen Seite einer Position platziert, wo das Werkstück 14 bearbeitet wird und ist die untere Drahtführung 8b auf der unteren Seite derselben platziert. Mit anderen Worten sind die obere Drahtführung 8a und die untere Drahtführung 8b so lokalisiert, dass sie zwischen sich das Werkstück 14 in vertikaler Richtung einschließen (sandwichen).
Die obere Drahtführung 8a haltert die Drahtelektrode 12 von der oberen Seite und führt die Drahtelektrode 12 zur unteren Seite. Die unter Drahtführung 8b haltert die Drahtelektrode 12 von der unteren Seite und wickelt die Drahtelektrode 12 wieder auf. Auf diese Weise erstreckt sich die Drahtelektrode 12 zwischen der oberen Drahtführung 8a und der unteren Drahtführung 8b. Die Drahtelektrode 12 wird in einer fixen Richtung von der oberen Drahtführung 8a der unteren Drahtführung 8b zugeführt.
Die Stromversorgung 11 ist mit der Stromversorgung 11 und dem Werkstück 14 verbunden. Eine gepulste Spannung wird durch die Stromversorgung 11 zwischen der Drahtelektrode 12 und dem Werkstück 14 angelegt und das Werkstück 14 wird in einer Zickzackform bearbeitet, durch aus dieser Spannungsanlegung herrührender, elektrischer Entladung.
Ein Bearbeitungsfluid 13 wird längs der Drahtelektrode 12 aus Düsen (später erläuterte Düsen 30a und 30b), die auf der oberen Drahtführung 8a und der unteren Drahtführung 8b installiert sind, zugeführt. Dieses Bearbeitungsfluid 13 wird beispielsweise zugeführt, um einen Isolationszustand zwischen der Drahtelektrode 12 und dem Werkstück 14 aufrecht zu erhalten, um einen durch Bearbeitung des Werkstücks 14 erzeugten Bearbeitungsabtragteil zu eliminieren und das Werkstück 14 und die Drahtelektrode 12 zu kühlen.
Die Antriebseinheit 7a treibt die obere Drahtführung 8a an und die Antriebseinheit 7b treibt die untere Drahtführung 8b an. die Antriebseinheit 7a bewegt beispielsweise die Position der oberen Drahtführung 8a in einer Ebene rechtwinklig zur Drahtelektrode 12. Die Antriebseinheit 7b bewegt beispielsweise die Position der unteren Drahtführung 8b in einer Ebene rechtwinklig zur Drahtelektrode 12. Die Antriebseinheiten 7a und 7b und die Stromversorgung 11 werden durch die Steuervorrichtung 10 gesteuert.
Eine Bearbeitungsform wird aus einer externen Vorrichtung (nicht gezeigt) oder dergleichen an der Befehlserzeugungseinheit 9 der Steuervorrichtung 10 eingegeben. Die Befehlserzeugungseinheit 9 erzeugt Befehle für die Antriebssteuereinheiten 6a und 6b und die Stromversorgungssteuereinheit 15, basierend auf der eingegebenen Bearbeitungsform. Die Bearbeitungsform, die an der Befehlserzeugungseinheit 9 einzugeben ist, ist eine Form eines Teils des Werkstücks 14, an dem Bearbeitung durchgeführt wird. Die Bearbeitungsform kann eine Postbearbeitungsform des Werkstücks 14 sein, die durch Bearbeitung des Werkstücks 14 auszubilden ist.
Ein Befehl (ein Oberteil-Antriebsbefehl), der durch die Befehlserzeugungseinheit 9 für die Antriebssteuereinheit 6a erzeugt wird, ist ein Befehl für die Antriebssteuereinheit 6a, die Antriebseinheit 7a zu steuern und ist ein Befehl für die Antriebseinheit 7a, die obere Drahtführung 8a anzutreiben.
Ein durch die Befehlserzeugungseinheit 9 für die Antriebssteuereinheit 6b erzeugter Befehl (ein Unterpositions-Antriebsbefehl) ist ein Befehl für die Antriebssteuereinheit 6b, die Antriebseinheit 7b zu steuern, und ist ein Befehl für die Antriebseinheit 7b, die untere Drahtführung 8b anzutreiben.
Ein durch die Befehlserzeugungseinheit 9 für die Stromversorgungssteuereinheit 15 erzeugter Befehl (ein Stromversorgungsbefehl) ist ein Befehl für die Stromversorgungssteuereinheit 15, die Stromversorgung 11 zu steuern und ist ein Befehl für die Stromversorgung 11, die zwischen der Drahtelektrode 12 und dem Werkstück 14 angelegte Spannung zu steuern.
Die Antriebssteuereinheit 6a steuert die Antriebseinheit 7a, basierend auf dem Oberteil-Antriebsbefehl. Die Antriebssteuereinheit 6b steuert die Antriebseinheit 7b basierend auf dem Unterteil-Antriebsbefehl. Die Stromversorgungssteuereinheit 15 steuert die Stromversorgung 11, basierend auf dem Stromversorgungsbefehl. Mit den Steuerungen der Antriebseinheiten 7a und 7b durch die Antriebssteuereinheiten 6a und 6b treiben die Antriebseinheiten 7a und 7b jeweils die obere Drahtführung 8a und die untere Drahtführung 8b an. Entsprechend werden Relativpositionen der oberen Drahtführung 8a und der unteren Drahtführung 8b in Bezug auf das Werkstück 14 anhand des Oberteil-Antriebsbefehls und des Unterteil-Antriebsbefehls entsprechend der Bearbeitungsform gesteuert. Als Ergebnis wird das Werkstück 14 in eine Form entsprechend der Bearbeitungsform geschnitten und bearbeitet. Während der Bearbeitung steuert die Stromversorgungssteuereinheit 15 die Stromversorgung 11, um ein elektrisches Entladungsphänomen zwischen der Drahtelektrode 12 und der Werkstück 14 in einem angemessenen Zustand zu halten, entsprechend dem Stromversorgungsbefehl. In den nachfolgenden Erläuterungen werden die obere Drahtführung 8a und die untere Drahtführung 8b auch als Drahtführungen 8 bezeichnet.
Positionen der Drahtelektrode 12, die sich gemäß Bearbeitungsbedingungen ändern, werden hier erläutert. 2 ist ein erläuterndes Diagramm von Positionen der Drahtelektrode, die sich gemäß den Bearbeitungsbedingungen ändern. 2 ist eine Querschnittsansicht der Drahtführungen 8. Eine Drahtspannung wird zwischen einem Paar der oberen Drahtführung 8a und der unteren Drahtführung 8b angelegt, um die Drahtelektrode 12 linear zu halten.
Wie in 2 gezeigt, sind Beträge elastischer Deformation der Drahtführungen 8 groß, wenn die Drahtspannung groß ist. In 2 sind die obere Drahtführung 8a und die untere Drahtführung 8b in einem Fall, bei dem die Drahtführungen 8 elastisch deformiert sind (wenn die Drahtspannung groß ist) durch durchgezogene Linien gezeigt.
Wenn die Drahtspannung klein ist, sind die elastischen Deformationsbeträge der Drahtführungen 8 klein. In 2 sind die obere Drahtführung 8a und die untere Drahtführung 8b in einem Fall, bei dem die Drahtführungen 8 nicht elastisch deformiert sind, durch unterbrochene Linien gezeigt. Die Drahtelektrode 12 in dem Fall, wenn die Drahtführungen 8 elastisch deformiert sind, wird durch eine durchgezogene Linie gezeigt und die Drahtelektrode 12 in dem Fall, wenn die Drahtführungen 8 nicht elastisch deformiert sind, wird durch eine unterbrochene Linie gezeigt.
Wenn sich die elastischen Deformationsbeträge der Drahtführungen 8 ändern, wird die Drahtelektrode 12 zu einer Position gemäß den elastischen Deformationsbeträgen gezogen, weil die Drahtelektrode 12 durch die Drahtführungen 8 gehaltert ist. Wenn sich die Drahtspannung auf diese Weise ändert, ändert sich eine Position des durch die Drahtelektrode 12 geschnittenen Werkstücks 14 gemäß der Größe der Drahtspannung, was zu einem Fehler bei der Bearbeitungsposition führt.
3 ist ein schematisches Diagramm zum Erläutern eines Einflusses einer Drahtpositionsverschiebung während der Grobbearbeitung oder der Endbearbeitung. 3 ist eine Aufsicht des Werkstücks 14 (eine Querschnittsansicht der Drahtelektrode 12). Wenn beispielsweise das Innere (ein innerer Bereich 41) des Werkstücks 14 zu bearbeiten ist, wird das Werkstück 14 längs einer durch eine durchgezogene Linie gezeigten Grobbearbeitungslinie 31 grobbearbeitet und dann wird das Werkstück 14 längs der durch eine unterbrochene Linie gezeigten Endbearbeitungslinie 32 endbearbeitet. Dies trägt den inneren Bereich 41 vom Werkstück 14 ab und hinterlässt einen im Wesentlichen ringförmigen externen Bereich 42. In 3 ist eine Annäherungslinie an den inneren Bereich 41 des Werkstücks 14 nicht gezeigt.
Beispielsweise wird die Drahtspannung während der Grobbearbeitung niedriger eingestellt und wird während der Endbearbeitung höher eingestellt. Entsprechend unterscheiden sich die elastischen Deformationsbeträge der Drahtführungen 8 während der Grobbearbeitung und während der Endbearbeitung. Als Ergebnis wird eine Differenz bei den Positionen der Drahtelektrode 12 auf dem Werkstück 14 erzeugt.
Wie in 3 gezeigt, wenn eine Grobbearbeitung unter Verwendung einer Grobbearbeitungsbedingung ohne Positionskorrektur an der Drahtelektrode 12 durchgeführt wird, wird das Werkstück 14 mit einer Trajektorie längs der Grobbearbeitungslinie 31 bearbeitet. Jedoch unterscheiden sich elastische Deformationsbeträge der Drahtführungen 8 während der Endbearbeitung unter Verwendung einer Endbearbeitungsbedingung von jenen während der Grobbearbeitung. Entsprechend bearbeitet die Drahtelektrode 12 das Werkstück 14 mit einer Trajektorie längs der von der Grobbearbeitungslinie 31 verschobenen Endbearbeitungslinie 32. Zu dieser Zeit ist ein Abtragbetrag 21 des Werkstücks 14 größer, wenn die Endbearbeitung an einer Position des Werkstücks 14 durchgeführt wird, die auf der linken Seite von 3 gezeigt wird. Andererseits ist ein Abtragbetrag 22 des Werkstücks 14 kleiner, wenn die Endbearbeitung an einer Position des Werkstücks 14 durchgeführt wird, die auf der rechten Seite von 3 gezeigt ist. Daher, wenn die Grobbearbeitung mit keiner Positionskorrektur der Drahtelektrode 12 durchgeführt wird, ist die Bearbeitungsgenauigkeit der Bearbeitungsoberfläche reduziert und steigt die Bearbeitungszeit an einer Position (einer Bearbeitungsoberfläche) an, an der der Bearbeitungs-Abtragbetrag größer ist.
In der vorliegenden Ausführungsform, wenn die Grobbearbeitung durchgeführt wird, wird das Werkstück 14 auf solche Weise bearbeitet, dass die Grobbearbeitungslinie 31 mit der Endbearbeitungslinie 32 abgeglichen wird, durch Korrigieren der Position der Drahtelektrode 12. Entsprechend der vorliegenden Ausführungsform werden die Positionen der Drahtelektrode 12 während der Grobbearbeitung und während der Endbearbeitung in Reaktion auf einen identischen Positionsbefehl abgeglichen. Dies macht die Abtragbeträge während der Endbearbeitung gleichförmig, unabhängig von der Bearbeitungsbedingung, was die Bearbeitungsgenauigkeit der Bearbeitungsoberfläche verbessert und die Bearbeitungsgeschwindigkeit erhöht.
Rückbezug nehmend auf 1 werden die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2, die Korrekturbetragsspeichereinheit 3, die Korrekturbetragsleseeinheit 4 und die Drahtpositionskorrektureinheit 5 erläutert. Die Korrekturbetragsspeichereinheit 3 ist ein Speicher, der darin Drahtpositionskorrekturbeträge gespeichert aufweist. Die Korrekturbetragsspeichereinheit 3 speichert vorab die Drahtpositionskorrekturbeträge für jeweilige Bearbeitungsbedingungen.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 stellt eine extern eingegebene Bearbeitungsbedingung in der Steuervorrichtung 10 ein. Die durch die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 eingestellte Bearbeitungsbedingung beinhaltet beispielsweise eine Drahtspannung. Die Bearbeitungsbedingung kann ein Typ von Bearbeitung wie etwa die Grobbearbeitung oder die Endbearbeitung sein. In diesem Fall wird eine Korrespondenzbeziehung zwischen Bearbeitungstypen und Bearbeitungsbedingungen vorab in der Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 registriert. Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 extrahiert eine Bearbeitungsbedingung entsprechend einem Bearbeitungstyp, basierend auf der registrierten Entsprechungsrelation und stellt die extrahierte Bearbeitungsbedingung in der Steuervorrichtung 10 ein.
Wenn das Bearbeiten des Werkstücks 14 durchzuführen ist, liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 die Bearbeitungsbedingung aus der Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 aus und liest die der Bearbeitungsbedingung entsprechenden Drahtpositionskorrekturbeträge aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 aus. Die Korrekturbetragsleseeinheit 4 sendet den gelesenen Drahtpositionskorrekturbetrag an die Drahtpositionskorrektureinheit 5.
Die Drahtpositionskorrektureinheit 5 korrigiert Steuerpositionen, die durch die Antriebssteuereinheiten 6a und 6b gesteuert sind, anhand des Drahtpositionskorrekturbetrags. Mit anderen Worten korrigiert die Drahtpositionskorrektureinheit 5 Steuerbefehle (Steuerpositionen), die aus den Antriebssteuereinheiten 6a und 6b an die Antriebseinheiten 7a und 7b ausgegeben werden, basierend auf dem Drahtpositionskorrekturbetrag. Entsprechend korrigieren die Antriebseinheiten 7a und 7b die Positionen der Drahtführungen 8 auf die basierend auf dem Drahtpositionskorrekturbetrag korrigierten Steuerpositionen.
Eine Positionskorrekturprozessprozedur für die Drahtelektrode 12 gemäß der ersten Ausführungsform wird als Nächstes erläutert. Die mit den Bearbeitungsbedingungen assoziierten Drahtpositionskorrekturbeträge werden in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gespeichert. Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 stellt eine extern eingegebene Bearbeitungsbedingung in der Steuervorrichtung 10 ein. Die Bearbeitungsform wird an der Befehlserzeugungseinheit 9 eingegeben. Die Befehlserzeugungseinheit 9 erzeugt Befehle für die Antriebssteuereinheiten 6a und 6b und die Stromversorgungssteuereinheit 15, basierend auf der eingegebenen Bearbeitungsform.
Die Stromversorgungssteuereinheit 15 steuert die Stromversorgung 11 basierend auf dem Stromversorgungsbefehl. Die Antriebssteuereinheit 6a steuert die Antriebseinheit 7a, basierend auf dem Oberteil-Antriebsbefehl und die Antriebssteuereinheit 6b steuert die Antriebseinheit 7b, basierend auf dem Unterteil-Antriebsbefehl.
Zu dieser Zeit liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 die Bearbeitungsbedingung aus der Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 und liest die der Bearbeitungsbedingung entsprechenden Drahtpositionskorrekturbeträge aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 aus. Die Korrekturbetragsleseeinheit 4 sendet den gelesenen Drahtpositionskorrekturbetrag an die Drahtpositionskorrektureinheit 5.
Die Drahtpositionskorrektureinheit 5 korrigiert die durch die Antriebssteuereinheiten 6a und 6b gesteuerten Steuerpositionen gemäß dem Drahtpositionskorrekturbetrag. Dies veranlasst die Antriebseinheiten 7a und 7b, die Positionen der Drahtführungen 8 auf die basierend auf dem Drahtpositionskorrekturbetrag korrigierten Steuerpositionen zu korrigieren. Als Ergebnis wird die Position der Drahtelektrode 12 auf eine Position entsprechend der Bearbeitungsbedingung korrigiert.
Während in der vorliegenden Ausführungsform der Fall erläutert wird, bei dem die obere Drahtführung 8a und die untere Drahtführung 8b angetrieben werden, reicht es aus, zumindest eine der oberen Drahtführung 8a, der unteren Drahtführung 8b und des Werkstücks 14 anzutreiben. Beispielsweise kann ein Effekt identisch zu dem, der in dem Fall erhalten wird, wenn die Positionen der oberen Drahtführung 8a und der unteren Drahtführung 8b gesteuert werden, durch Steuern einer Relativposition zwischen dem Werkstück 14 und der Drahtelektrode 12 und einer Verkippung der Drahtelektrode 12 erhalten werden.
Die Position der Drahtelektrode 12 kann korrigiert werden, indem die Endbearbeitungslinie 32 und die Grobbearbeitungslinie 31 korrigiert werden. Wenn beispielsweise die Endbearbeitung durchgeführt wird, kann die Position der Drahtelektrode 12 korrigiert werden, um die Endbearbeitungslinie 32 zu der Grobbearbeitungslinie 31 anzugleichen.
Während in der vorliegenden Ausführungsform der Fall, bei dem ein Paar von Drahtführungen 8 die obere Drahtführung 8a und die untere Drahtführung 8b sind, erläutert wird, kann das Paar von Drahtführungen 8 in irgendeiner Richtung platziert sein. Beispielsweise kann das Paar von Drahtführungen 8 horizontal platziert sein. In diesem Fall ist eine der Drahtführungen auf der rechten Seite platziert und ist die andere Drahtführung auf der linken Seite platziert. Auf diese Weise ist eine der Drahtführungen an einer ersten Position platziert und ist die andere Drahtführung an einer zweiten Position platziert, die gegenüberliegend der ersten Position ist, wobei das Werkstück 14 zwischen ihnen gesandwiched ist.
Wie oben beschrieben, kann gemäß der ersten Ausführungsform, da die Drahtpositionskorrektur gemäß der Bearbeitungsbedingung so, dass die Drahtspannung durchgeführt wird, die Relativposition zwischen der Drahtelektrode 12 und dem Werkstück 14, die sich abhängig von der Bearbeitungsbedingung ändert, korrigiert werden. Auf diese Weise kann eine hochgenaue Konturenbearbeitungsform, die nicht durch die Bearbeitungsbedingung beeinflusst wird, erhalten werden. Wenn sich beispielsweise die Bearbeitungsbedingung zwischen der Grobbearbeitung und der Endbearbeitung unterscheidet, können die Bearbeitungsabtragbeträge während der Endbearbeitung vereinheitlicht werden. Daher wird im Vergleich zu einem Fall, bei dem keine Positionskorrektur an der Drahtelektrode 12, basierend auf der Drahtspannung, durchgeführt wird, die Bearbeitungsgenauigkeit auf der Bearbeitungsoberfläche verbessert und die Bearbeitungszeit kann reduziert werden.
Zweite Ausführungsform
Eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird als Nächstes unter Bezugnahme auf 4 erläutert. Während die Drahtspannung als die Bearbeitungsbedingung in der ersten Ausführungsform berücksichtigt wird, wird in der zweiten Ausführungsform die Positionskorrektur an der Drahtelektrode 12 als auch eine Reaktionskraft (ein Bearbeitungsfluiddruck) des Bearbeitungsfluids 13 berücksichtigend durchgeführt.
4 ist ein erläuterndes Diagramm einer elastischen Deformation von Drahtführungen, die durch eine Drahtspannung und einen Bearbeitungsfluiddruck verursacht wird. 4 stellt im Querschnitt Positionen der Drahtführungen 8 und der Drahtelektrode 12 dar, die sich abhängig von der Drahtspannung und dem Bearbeitungsfluiddruck ändern (Druck des Bearbeitungsfluids).
Eine abwärtige Drahtspannung der Drahtelektrode 12 und aufwärtige Bearbeitungsreaktionskraft (eine Bearbeitungsfluiddruck) des Bearbeitungsfluids 13 werden an die obere Drahtführung 8a angelegt. 4 stellt die obere Drahtführung 8a in einem Fall dar, bei dem der Einfluss der Drahtspannung größer als derjenige der Bearbeitungsfluidreaktionskraft ist, und die obere Drahtführung 8a elastisch abwärts deformiert wird.
Ähnlich werden eine aufwärtige Drahtspannung der Drahtelektrode 12 und eine abwärtige Bearbeitungsfluidreaktionskraft des Bearbeitungsfluids 13 an die untere Drahtführung 8b angelegt. 4 stellt die untere Drahtführung 8b in einem Fall dar, bei dem der Einfluss der Bearbeitungsfluidreaktionskraft größer als derjenige der Drahtspannung ist und die untere Drahtführung 8b elastisch abwärts deformiert wird.
Der Betrag der elastischen Deformation zum Werkstück 14 hin ist größer, wenn die Drahtspannung größer ist, und der Betrag elastischer Deformation vom Werkstück 14 weg ist größer, wenn die Bearbeitungsfluidreaktionskraft größer ist. In 4 sind die elastisch deformierte obere Drahtführung 8a und untere Drahtführung 8b durch durchgezogene Linien gezeigt. Die obere Drahtführung 8a und die untere Drahtführung 8b ohne elastische Deformation sind durch unterbrochene Linien gezeigt. Die Drahtelektrode 12 in dem Fall, wenn die Drahtführungen 8 elastisch deformiert sind, wird durch eine durchgezogene Linie gezeigt, und die Drahtelektrode 12 in dem Fall, wenn die Drahtführungen 8 nicht elastisch deformiert sind, wird durch eine unterbrochene Linie gezeigt.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2, die Korrekturbetragsspeichereinheit 3 und die Korrekturbetragsleseeinheit 4 gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden hier erläutert. Für jede der Kombinationen der Drahtspannung und des Bearbeitungsfluiddrucks eingestellte Drahtpositionskorrekturbeträge (eine Entsprechungsrelation der Bearbeitungsbedingungen und der Drahtpositionskorrekturbeträge) werden vorab in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gemäß der vorliegenden Ausführungsform gespeichert. Zu dieser Zeit speichert die Korrekturbetragsspeichereinheit 3 darin einen Drahtpositionskorrekturbetrag zum Korrigieren einer Relativposition zwischen der oberen Drahtführung 8a und dem Werkstück 14 und einen Drahtpositionskorrekturbetrag zum Korrigieren einer Relativposition zwischen der unteren Drahtführung 8b und dem Werkstück 14 in Bezug auf jede Bearbeitungsbedingung. Der Drahtpositionskorrekturbetrag für die obere Drahtführung 8a und der Drahtpositionskorrekturbetrag für die untere Drahtführung 8b können auf denselben Wert eingestellt werden.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform stellt die Drahtspannung und den Bearbeitungsfluiddruck in der Steuervorrichtung 10 als die extern eingegebenen Bearbeitungsbedingungen ein. Wenn die Bearbeitung des Werkstücks 14 durchgeführt wird, liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Bearbeitungsbedingung (die Drahtspannung und den Bearbeitungsfluiddruck) aus der Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 aus und liest einen der Bearbeitungsbedingung entsprechenden der Drahtpositionskorrekturbeträge aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 aus.
Eine Positionskorrekturprozessprozedur für die Drahtelektrode 12 gemäß der zweiten Ausführungsform wird als Nächstes erläutert. Erläuterungen von Prozessen, die zu jenen identisch sind, die in der ersten Ausführungsform erläutert sind, werden weggelassen. Die mit den Bearbeitungsbedingungen (Mengen von Drahtspannung und Bearbeitungsfluiddruck) assoziierten Drahtpositionskorrekturbeträge werden in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gespeichert. Weil sich die Bearbeitungsfluiddrücke auf der Seite der oberen Drahtführung 8a und auf der Seite der unteren Drahtführung 8b unterscheiden können, werden die Bearbeitungsbedingungen für die obere Drahtführung 8a und die Bearbeitungsbedingungen für die untere Drahtführung 8b als die Bearbeitungsbedingungen in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gespeichert.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 stellt die Drahtspannung und den Bearbeitungsfluiddruck als die Bearbeitungsbedingung in der Steuervorrichtung 10 ein. Eine Bearbeitungsform wird an der Befehlserzeugungseinheit 9 eingegeben. Die Befehlserzeugungseinheit 9 erzeugt Befehle für die Antriebssteuereinheiten 6a und 6b und die Stromversorgungssteuereinheit 15, basierend auf der eingegebenen Bearbeitungsform.
Die Stromversorgungssteuereinheit 15 steuert die Stromversorgung 11, basierend auf einem Stromversorgungsbefehl. Die Antriebssteuereinheit 6a steuert die Antriebseinheit 7a, basierend auf einem Oberteil-Antriebsbefehl und die Antriebssteuereinheit 6b steuert die Antriebseinheit 7b, basierend auf einem Unterteil Antriebsbefehl. Zu dieser Zeit liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 die Bearbeitungsbedingungen aus der Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 aus und liest die Drahtpositionskorrekturbeträge entsprechend der Bearbeitungsbedingung aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 aus. Spezifisch liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 einen Drahtpositionskorrekturbetrag (beispielsweise einen Drahtpositionskorrekturbetrag ΔX1, ΔY1) zum Korrigieren der Relativposition zwischen der oberen Drahtführung 8a und dem Werkstück 14 entsprechend der Bearbeitungsbedingung (einer Kombination der Drahtspannung und des Bearbeitungsfluiddrucks) aus.
Ähnlich liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 einen Drahtpositionskorrekturbetrag (beispielsweise einen Drahtpositionskorrekturbetrag ΔX1, ΔY2) zum Korrigieren der Relativposition zwischen der unteren Drahtführung 8b und dem Werkstück 14 entsprechend der Bearbeitungsbedingung aus.
Die Korrekturbetragsleseeinheit 4 sendet die gelesenen Drahtpositionskorrekturbeträge an die Drahtpositionskorrektureinheit 5. Die Drahtpositionskorrektureinheit 5 korrigiert den Steuerbetrag der Antriebssteuereinheit 6a anhand des Drahtpositionskorrekturbetrags ΔX1, ΔY1. Dies veranlasst die Antriebseinheit 7a, die Relativposition zwischen der oberen Drahtführung 8a und dem Werkstück 14 zu korrigieren.
Ähnlich korrigiert die Drahtpositionskorrektureinheit 5 den Steuerbetrag der Antriebssteuereinheit 6b anhand des Drahtpositionskorrekturbetrags ΔX2, ΔY2. Entsprechend wird die Relativposition zwischen der unteren Drahtführung 8b und dem Werkstück 14 über die Antriebseinheit 7b korrigiert.
Auf diese Weise korrigiert die Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1a die Relativposition zwischen der oberen Drahtführung 8a und dem Werkstück 14 unter Verwendung der Bearbeitungsbedingung für die oberen Drahtführung 8a. Die Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1a korrigiert auch die Relativposition zwischen der unteren Drahtführung 8b und dem Werkstück 14 unter Verwendung der Bearbeitungsbedingung für die untere Drahtführung 8b.
Wie oben beschrieben, kann gemäß der zweiten Ausführungsform, da die Bearbeitungsbedingung die Drahtspannung und den Bearbeitungsfluiddruck beinhaltet, die Relativposition zwischen der Drahtelektrode 12 und dem Werkstück 14, die sich abhängig sowohl von der Drahtspannung als auch dem Bearbeitungsfluiddruck ändert, korrigiert werden. Daher kann eine hochgenaue Konturenbearbeitungsform, die nicht durch die Bearbeitungsbedingung beeinflusst wird, erhalten werden.
Dritte Ausführungsform
Eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird als Nächstes unter Bezugnahme auf 5 erläutert. Während in der zweiten Ausführungsform die Drahtspannung und der Bearbeitungsfluiddruck als die Bearbeitungsbedingung berücksichtigt werden, wird in der dritten Ausführungsform die Positionskorrektur der Drahtelektrode 12 auch unter Berücksichtigung der Distanz zwischen Düsen (Bearbeitungsfluiddüsen) der Drahtführungen 8 und des Werkstücks 14 durchgeführt.
5 ist ein erläuterndes Diagramm eines Einflusses einer Bearbeitungsfluidreaktionskraft in einem Fall, bei dem Distanzen zwischen Düsen von Drahtführungen und einem Werkstück größer als ein vorgegebener Wert sind. Die Düse (erste Düse) 30a zum Zuführen des Bearbeitungsfluids 13 ist an einem Ende (auf der Seite des Werkstücks 14) der oberen Drahtführung 8a lokalisiert. Die Düse (zweite Düse) 30b zum Zuführen des Bearbeitungsfluids 13 ist an einem Ende (auf der Seite des Werkstücks 14) der unteren Drahtführung 8b lokalisiert.
Ein Fall, bei dem eine Distanz (nachfolgend „Niederseitendistanz Db“) zwischen der Düsen 30 und dem Werkstück 14 in 5 nicht länger ist als in 14, wird unten erläutert. In diesem Fall wird die unter Drahtführung 8b in 5 einem kleineren Einfluss der Bearbeitungsfluidreaktionskraft unterworfen als die untere Drahtführung 8b.
Daher, selbst wenn dieselbe Drahtspannung und derselbe Bearbeitungsfluiddruck angelegt werden, unterscheidet sich der elastische Deformationsbetrag der unteren Drahtführung 8b gemäß der unteren Seitendistanz Db. Ähnlich, selbst wenn dieselbe Drahtspannung und derselbe Bearbeitungsfluiddruck angelegt werden, unterscheidet sich der elastische Deformationsbetrag der oberen Drahtführung 8a gemäß einer Distanz (nachfolgend „Oberseitendistanz Da“) zwischen der Düsen 30a der oberen Drahtführung 8a und dem Werkstück 14. In der vorliegenden Ausführungsform wird die Positionskorrektur der Drahtelektrode 12 durch Addieren der Unterseitendistanz Db und der Oberseitendistanz Da zur Bearbeitungsbedingung durchgeführt.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2, die Korrekturbetragsspeichereinheit 3 und die Korrekturbetragsleseeinheit 4 gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden hier erläutert. Die Korrekturbetragsspeichereinheit 3 speichert in Bezug auf die entsprechenden Bearbeitungsbedingungen Drahtpositionskorrekturbeträge zum Korrigieren der Relativposition zwischen der oberen Drahtführung 8a und dem Werkstück 14 und Drahtpositionskorrekturbeträge zum Korrigieren der Relativposition zwischen der unteren Drahtführung 8b und dem Werkstück 14. Spezifisch speichert die Korrekturbetragsspeichereinheit 3 vorab Drahtpositionskorrekturbeträge (eine Korrespondenzbeziehung zwischen den Bearbeitungsbedingungen und den Drahtpositionskorrekturbeträgen), die für jede Kombination von Drahtspannung, Bearbeitungsfluiddruck und Unterseitendistanz Db eingestellt sind. Die Korrekturbetragsspeichereinheit 3 speichert vorab Drahtpositionskorrekturbeträge (eine Korrespondenzbeziehung zwischen den Bearbeitungsbedingungen und den Drahtpositionskorrekturbeträgen), die für jede Kombination der Drahtspannung, des Bearbeitungsfluiddrucks und der Oberseitendistanz Da eingestellt sind.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform stellt die Drahtspannung, den Bearbeitungsfluiddruck, die Oberseitendistanz Da und die Unterseitendistanz Db in der Steuervorrichtung 10 als die extern eingegebene Bearbeitungsbedingung ein. Die Korrekturbetragsleseeinheit 4 liest die Bearbeitungsbedingung aus der Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 und liest einen der Drahtpositionskorrekturbeträge entsprechend der Bearbeitungsbedingung aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3, wenn die Bearbeitung des Werkstücks 14 durchgeführt wird.
Eine Positionskorrekturprozessprozedur für die Drahtelektrode 12 gemäß der dritten Ausführungsform wird als Nächstes erläutert. In der vorliegenden Ausführungsform werden Erläuterungen von Prozessen, die identisch mit jenen sind, die in den ersten und zweiten Ausführungsformen erläutert worden sind, weggelassen. Die mit den Bearbeitungsbedingungen assoziierten Drahtpositionskorrekturbeträge werden in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gespeichert. Die in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gespeicherten Drahtpositionskorrekturbeträge sind Drahtpositionskorrekturbeträge für die Düse 30a und Drahtpositionskorrekturbeträge für die Düse 30b. Jeder der Drahtpositionskorrekturbeträge für die Düse 30a ist mit einem Satz der Drahtspannung, des Bearbeitungsfluiddrucks und der Oberseitendistanz Da assoziiert. Jeder der Drahtpositionskorrekturbeträge für die Düse 30b ist mit einem Satz der Drahtspannung, des Bearbeitungsfluiddrucks und der Unterseitendistanz Db assoziiert.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 stellt die Drahtspannung, den Bearbeitungsfluiddruck, die Oberseitendistanz Da und die Unterseitendistanz Db als die Bearbeitungsbedingung in der Steuervorrichtung 10 ein. Eine Bearbeitungsform wird an der Befehlserzeugungseinheit 9 eingegeben. Die Befehlserzeugungseinheit 9 erzeugt Befehle für die Antriebssteuereinheiten 6a und 6b und die Stromversorgungssteuereinheit 15, basierend auf der eingegebenen Bearbeitungsform.
Die Stromversorgungssteuereinheit 15 steuert die Stromversorgung 11 auf Basis des Stromversorgungsbefehls. Die Antriebssteuereinheit 6a, steuert die Antriebseinheit 7a auf Basis eines Oberteil-Antriebsbefehls 6A auf Basis eines Oberteil-Antriebsbefehls und die Antriebssteuereinheit 6b steuert die Antriebseinheit 7b auf Basis eines Unterteil-Antriebsbefehls. Zu dieser Zeit liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 die Bearbeitungsbedingung aus der Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 aus und liest einen der Drahtpositionskorrekturbeträge entsprechend der Bearbeitungsbedingung aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 aus. Spezifisch liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 den Drahtpositionskorrekturbetrag zum Korrigieren der Relativposition zwischen der unteren Drahtführung 8b und dem Werkstück 14 entsprechend der Bearbeitungsbedingung (einer Kombination der Drahtspannung, des Bearbeitungsfluiddrucks und der Unterseitendistanz Db) aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 aus.
Ähnlich liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 einen Drahtpositionskorrekturbetrag zum Korrigieren der Relativposition zwischen der oberen Drahtführung 8a und dem Werkstück 14 entsprechend der Bearbeitungsbedingung (einer Kombination der Drahtspannung, des Bearbeitungsfluiddrucks und der Oberseitendistanz Da) aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 aus.
Die Korrekturbetragsleseeinheit 4 sendet die gelesenen Drahtpositionskorrekturbeträge an die Drahtpositionskorrektureinheit 5. Die Drahtpositionskorrektureinheit 5 korrigiert den Steuerbetrag der Antriebssteuereinheit 6b anhand des Drahtpositionskorrekturbetrags. Auf diese Weise korrigiert die Antriebseinheit 7b die Relativposition zwischen der unteren Drahtführung 8b und dem Werkstück 14.
Ähnlich korrigiert die Drahtpositionskorrektureinheit 5 den Steuerbetrag der Antriebssteuereinheit 6a anhand des Drahtpositionskorrekturbetrags. Entsprechend wird die Relativposition zwischen der oberen Drahtführung 8a und dem Werkstück 14 über die Antriebseinheit 7a korrigiert.
Wie oben beschrieben, beinhaltet gemäß der dritten Ausführungsform die Bearbeitungsbedingung die Drahtspannung, den Bearbeitungsfluiddruck, die Oberseitendistanz Da und die Unterseitendistanz Db und daher kann die Relativposition zwischen der Drahtelektrode 12 und dem Werkstück 14, die sich abhängig von der Drahtspannung, dem Bearbeitungsfluiddruck, der Oberseitendistanz Da und der Unterseitendistanz Db ändert, korrigiert werden. Daher kann eine hochgenaue Konturenbearbeitungsform, welche nicht durch die Bearbeitungsbedingung beeinflusst wird, ermittelt werden.
Vierte Ausführungsform
Eine vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unter Bezugnahme auf 6 erläutert. Während die Drahtspannung, der Bearbeitungsfluiddruck, die Oberseitendistanz Da und die Unterseitendistanz Db als die Bearbeitungsbedingung in der dritten Ausführungsform berücksichtigt werden, wird in der vierten Ausführungsform die Positionskorrektur der Drahtelektrode 12 unter Berücksichtigung auch der Deformation der Drahtelektrode 12 selbst durchgeführt.
6 ist ein erläuterndes Diagramm eines durch Deformation einer Drahtelektrode verursachten Bearbeitungsfehlers. Zusätzlich zur elastischen Deformation der Drahtführungen 8 aufgrund der Drahtspannung und der Bearbeitungsfluidreaktionskraft verformt sich die Drahtelektrode 12 abhängig von der Bearbeitungsbedingung. Dies ändert die Relativposition zwischen der Drahtelektrode 12 und dem Werkstück 14.
Die Drahtelektrode 12 deformiert leichter, wenn ihre Steifheit, die sich von den Drahtnaturalien abhängig ändert, niedriger ist. Die Drahtelektrode 12 deformiert leichter, wenn der Durchmesser der Drahtelektrode 12 kleiner ist. Weiterhin deformiert die Drahtelektrode 12 leichter, wenn die Distanz zwischen der Drahtführung 8a und der Drahtführung 8b länger ist.
In der vorliegenden Ausführungsform sind die Steifheit und der Durchmesser der Drahtelektrode 12 und die Distanz (nachfolgend „Zwischenführungsdistanz Dc“) zwischen dem Paar von Drahtführungen 8a und 8b in der Bearbeitungsbedingung zusätzlich zur Drahtspannung, dem Bearbeitungsfluiddruck, der Oberseitendistanz Da und der Unterseitendistanz Db beinhaltet. Die Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1a führt dann die Positionskorrektur der Drahtelektrode 12 unter Berücksichtigung der Deformation der Drahtelektrode 12 durch.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2, die Korrekturbetragsspeichereinheit 3 und die Korrekturbetragsleseeinheit 4 gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden hier erläutert. Drahtpositionskorrekturbeträge, die alle für jede Kombination von Drahtspannung, Bearbeitungsfluiddruck, der oberen Drahtführung 8a oder der Unterseitendistanz Db, der Steifheit (einer Drahtsteifheit) der Drahtelektrode 12, dem Durchmesser (einem Drahtdurchmesser) der Drahtelektrode 12, der Zwischenführungsdistanz Dc eingestellt sind, werden vorab in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gemäß der vorliegenden Ausführungsform gespeichert.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform stellt die Drahtspannung, den Bearbeitungsfluiddruck, die Oberseitendistanz Da, die Unterseitendistanz Db, die Steifheit der Drahtelektrode 12, den Durchmesser der Drahtelektrode 12 und die Zwischenführungsdistanz Dc in der Steuervorrichtung 10 als extern eingegebenen Bearbeitungsbedingung ein. Die Korrekturbetragsleseeinheit 4 liest die Bearbeitungsbedingung aus der Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 und liest einen der Drahtpositionskorrekturbeträge entsprechend der Bearbeitungsbedingung aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3, wenn die Bearbeitung des Werkstücks 14 durchgeführt wird.
Eine Positionskorrekturprozessprozedur für die Drahtelektrode 12 gemäß der Vierten Ausführungsform wird als Nächstes erläutert. Weil ein die obere Drahtführung 8a verwendender Positionskorrekturprozess und ein die untere Drahtführung 8b verwendender Positionskorrekturprozess gleich sind, wird unten der die obere Drahtführung 8a verwendende Positionskorrekturprozess erläutert. Erläuterungen von Prozessen, die mit jenen, die in den ersten und dritten Ausführungsformen erläutert sind, identisch sind, werden weggelassen.
Die mit den Bearbeitungsbedingungen assoziierten Drahtpositionskorrekturbeträge werden in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gespeichert. Drahtpositionskorrekturbeträge aus der Düse 30a werden mit Sätzen der Drahtspannung, des Bearbeitungsfluiddrucks, der Oberseitendistanz Da, der Steifheit der Drahtelektrode 12, dem Durchmesser der Drahtelektrode 12 bzw. der Zwischenführungsdistanz Dc assoziiert.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 stellt die Drahtspannung, den Bearbeitungsfluiddruck, die Oberseitendistanz Da, die Steifheit der Drahtelektrode 12, den Durchmesser der Drahtelektrode 12 und die Zwischenführungsdistanz Dc in der Steuervorrichtung 10 als die Bearbeitungsbedingung ein. Wenn die Antriebssteuereinheit 6b die Antriebseinheit 7b steuert, basierend auf einem Untererteilantriebsbefehl, liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 die Bearbeitungsbedingung aus der Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 aus und liest einen der Drahtpositionskorrekturbeträge entsprechend der Bearbeitungsbedingung aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 aus. Spezifisch liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 einen Drahtpositionskorrekturbetrag zum Korrigieren der Relativposition zwischen der oberen Drahtführung 8a und dem Werkstück 14 entsprechend der Bearbeitungsbedingung (einer Kombination der Drahtspannung, des Bearbeitungsfluiddrucks, der Oberseitendistanz Da, der Steifheit der Drahtelektrode 12, des Durchmessers der Drahtelektrode 12 und der Zwischenführungsdistanz) aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 aus.
Dann korrigiert die Drahtpositionskorrektureinheit 5 den Steuerbetrag der Antriebssteuereinheit 6b gemäß dem Drahtpositionskorrekturbetrag. Entsprechend wird die Relativposition zwischen der oberen Drahtführung 8a und dem Werkstück 14 über die Antriebseinheit 7a korrigiert.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 kann statt der Steifheit der Drahtelektrode 12 das Material der Drahtelektrode 12 einstellen. In diesem Fall wird die Steifheit (wie etwa elastisches Modul) der mit dem Material der Drahtelektrode 12 assoziierten Drahtelektrode 12 in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gespeichert. Die Korrekturbetragsleseeinheit 4 extrahiert die Steifheit der Drahtelektrode 12, basierend auf der Assoziierung in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3. Auch in diesem Fall kann ein zu jenem identischer Effekt, der in dem Fall erlangt wird, bei dem die Steifheit der Drahtelektrode 12 in der Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 eingestellt wird, erhalten werden.
Die Form, die Steifheit und das Material der Drahtführungen 8 und die Form, die Steifheit und das Material der Düsen 30a und 30b können weiter als Bearbeitungsbedingung hinzugefügt werden. In diesem Fall kann die Genauigkeit der Bearbeitungskontur weiter verbessert werden, indem die Positionskorrektur der Drahtelektrode 12 unter Berücksichtigung der Deformation der Drahtführungen 8 oder Deformation der Düse 30a oder 30b durchgeführt wird.
Wie oben beschrieben, beinhaltet gemäß der vierten Ausführungsform die Bearbeitungsbedingung die Drahtspannung, den Bearbeitungsfluiddruck, die Oberseitendistanz Da, die Unterseitendistanz Db, die Steifheit der Drahtelektrode 12, den Durchmesser der Drahtelektrode 12 und die Zwischenführungsdistanz Dc. Daher kann die Relativposition zwischen der Drahtelektrode 12 und dem Werkstück 14, die sich abhängig von der Drahtspannung, dem Bearbeitungsfluiddruck, der Oberseitendistanz Da, der Unterseitendistanz Db, der Steifheit der Drahtelektrode 12, dem Durchmesser der Drahtelektrode 12 und der Zwischenführungsdistanz Dc ändert, korrigiert werden. Daher kann eine hochgenaue Konturenbearbeitungsform, welche nicht durch die Bearbeitungsbedingung beeinflusst ist, erhalten werden.
Fünfte Ausführungsform
Eine fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird als Nächstes unter Bezugnahme auf 7 erläutert. Während in der vierten Ausführungsform die Drahtspannung, der Bearbeitungsfluiddruck, die Oberseitendistanz Da, die Unterseitendistanz Db, die Steifheit der Drahtelektrode 12, der Durchmesser der Drahtelektrode 12 und die Zwischenführungsdistanz Dc als Bearbeitungsbedingung berücksichtigt werden, wird die Positionskorrektur der Drahtelektrode 12 in der fünften Ausführungsform auch unter Berücksichtigung eines elastischen Deformationsbetrags des Werkstücks 14 durchgeführt, die durch den Bearbeitungsfluiddruck verursacht wird.
7 ist ein erläuterndes Diagramm elastischer Deformation eines Werkstücks, die durch eine Bearbeitungsfluidreaktionskraft verursacht wird. Zusätzlich zur elastischen Deformation der Drahtführungen 8 aufgrund der Drahtspannung und der Bearbeitungsfluidreaktionskraft ist das Werkstück 14 durch die Bearbeitungsfluidreaktionskraft elastisch deformiert. Dies ändert die Relativposition zwischen der Drahtelektrode 12 und dem Werkstück 14.
In der vorliegenden Ausführungsform werden die Form (wie etwa Länge ab einem Haltepunkt bis zu einem Bearbeitungspunkt und die Blattdicke) und die Steifheit des Werkstücks 14 in die Bearbeitungsbedingung zusätzlich zur Drahtspannung, dem Bearbeitungsfluiddruck, der Oberseitendistanz Da, der Unterseitendistanz Db, der Steifheit der Drahtelektrode 12, dem Durchmesser der Drahtelektrode 12 und der Zwischenführungsdistanz Dc eingeschlossen. Die Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1a führt Positionskorrektur der Drahtelektrode 12 unter Berücksichtigung der Form und Steifheit des Werkstücks 14 durch.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2, die Korrekturbetragsspeichereinheit 3 und die Korrekturbetragsleseeinheit 4 gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden erläutert. Drahtpositionskorrekturbeträge, die alle für jede ? Kombination von Drahtspannung, Bearbeitungsfluiddruck, der oberen Drahtführung 8a oder Unterseitendistanz Db, der Steifheit der Drahtelektrode 12, dem Durchmesser der Drahtelektrode 12, der Interführungsdistanz? Dc und der Form/Steifheitsinformation (Form und Steifheit) des Werkstücks 14 eingestellt werden, werden vorab in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gemäß der vorliegenden Ausführungsform gespeichert.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform stellt die Drahtspannung, den Bearbeitungsfluiddruck, die Oberseitendistanz Da, die Unterseitendistanz Db, die Steifheit der Drahtelektrode 12, den Durchmesser der Drahtelektrode 12, die Zwischenführungsdistanz Dc und die Form/Steifheitsinformation in der Steuervorrichtung 10 als extern eingegebene Bearbeitungsbedingung ein. Die Korrekturbetragsleseeinheit 4 liest die Bearbeitungsbedingung aus der Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 und liest einen der Drahtpositionskorrekturbeträge entsprechend der Bearbeitungsbedingung aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3, wenn die Bearbeitung des Werkstücks 14 durchgeführt wird.
Eine Positionskorrekturprozessprozedur für die Drahtelektrode 12 gemäß der vierten Ausführungsform wird als Nächstes erläutert. Weil ein Positionskorrekturprozess, der die obere Drahtführung 8a verwendet, und ein Positionskorrekturprozess, der die untere Drahtführung 8b verwendet, gleich sind, wird unten der Positionskorrekturprozess unter Verwendung der oberen Drahtführung 8a erläutert. Erläuterungen von Prozessen, die identisch zu jenen, die in den ersten bis dritten Ausführungsformen erläutert sind, sind, werden weggelassen.
Die mit den Bearbeitungsbedingungen assoziierten Drahtpositionskorrekturbeträge werden in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gespeichert. Jeder der Drahtpositionskorrekturbeträge für die Düse 30a ist mit einem Satz der Drahtspannung, des Bearbeitungsfluiddrucks, der Oberseitendistanz Da, der Steifheit der Drahtelektrode 12, dem Durchmesser der Drahtelektrode 12, der Zwischenführungsdistanz Dc und der Form/Steifheitsinformation assoziiert.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 stellt die Drahtspannung, den Bearbeitungsfluiddruck, die Oberseitendistanz Da, die Steifheit der Drahtelektrode 12, den Durchmesser der Drahtelektrode 12, die Zwischenführungsdistanz Dc und die Form/Steifheitsinformation in der Steuervorrichtung 10 als die Bearbeitungsbedingung ein. Wenn die Antriebssteuereinheit 6b die Antriebseinheit 7b gemäß einem Unterteil-Antriebsbefehl steuert, liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 die Bearbeitungsbedingung aus der Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 aus und liest einen der Drahtpositionskorrekturbeträge entsprechend der Bearbeitungsbedingung aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 aus. Spezifisch liest die Korrekturbetragsleseeinheit 4 einen Drahtpositionskorrekturbetrag zum Korrigieren der Relativposition zwischen der oberen Drahtführung 8a und dem Werkstück 14 entsprechend der Bearbeitungsbedingung (einer Kombination von Drahtspannung, Bearbeitungsfluiddruck, Oberseitendistanz Da, Steifheit der Drahtelektrode 12, Durchmesser der Drahtelektrode 12, Zwischenführungsdistanz Dc und Form/Steifheitsinformation) aus der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 aus.
Die Drahtpositionskorrektureinheit 5 korrigiert den Steuerbetrag der Antriebssteuereinheit 6b anhand des Drahtpositionskorrekturbetrags. Entsprechend wird die Relativposition zwischen der oberen Drahtführung 8a und dem Werkstück 14 über die Antriebseinheit 7a korrigiert.
Die Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit 2 kann anstelle der Steifheit des Werkstücks 14 das Material des Werkstücks 14 einstellen. Mit anderen Worten kann die Form und das Material des Werkstücks 14 als Form/Steifheitsinformation eingestellt werden. In diesem Fall wird die Steifheit (wie etwa elastisches Modul) des Werkstücks 14, die mit dem Material des Werkstücks 14 assoziiert ist, in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gespeichert. Die Korrekturbetragsleseeinheit 4 liest die Steifheit des Werkstücks 14, basierend auf der Assoziierung in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 und dem Material in der Form/Steifheitsinformation aus. Auch in diesem Fall kann ein identischer Effekt zu demjenigen in dem Fall, bei dem die Form und Steifheit des Werkstücks 14 als die Form/Steifheitsinformationen eingestellt werden, erhalten werden.
Weil sich die Form des Werkstücks 14 mit dem Fortschreiten der Bearbeitung ändert, kann die Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1a mehrere Arten von Form/Steifheitsinformationen entsprechend dem Fortschritt der Bearbeitung verwenden. Die Größe oder das Gewicht des Werkstücks 14 können der Form/Steifheitsinformation hinzugefügt werden.
Wie oben beschrieben, können gemäß der fünften Ausführungsform, weil die Bearbeitungsbedingung die Drahtspannung, den Bearbeitungsfluiddruck, die Oberseitendistanz Da, die Unterseitendistanz Db, die Steifheit der Drahtelektrode 12, den Durchmesser der Drahtelektrode 12, die Interführungsdistanz Dc und die Form/Steifheitsinformationen beinhaltet, die Relativposition zwischen der Drahtelektrode 12 und dem Werkstück 14, die sich abhängig von der Drahtspannung, dem Bearbeitungsfluiddruck, der Oberseitendistanz Da, der Unterseitendistanz Db, der Steifheit der Drahtelektrode 12, dem Durchmesser der Drahtelektrode 12, und der Form/Steifheitsinformation ändert, korrigiert werden. Daher kann eine hochgenaue Konturenbearbeitungsform, die nicht durch die Bearbeitungsbedingung beeinflusst ist, erhalten werden.
Sechste Ausführungsform
Eine sechste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird als Nächstes unter Bezugnahme auf die 8-1 bis 10 beschrieben. In der sechsten Ausführungsform werden die in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 zu speichernden Drahtpositionskorrekturbeträge basierend auf Bearbeitungsformmessergebnissen (Formen nach Bearbeitung) des Werkstücks 14, das bearbeitet wird, unter verschiedenen Bearbeitungsbedingungen bestimmt.
Es wird zuerst ein Verfahren zum Einstellen des Drahtpositionskorrekturbetrags, basierend auf der Bearbeitungsformmessung des Werkstücks 14 erläutert. 8-1 ist ein Beispiel von Ergebnissen einer Bearbeitungsformmessung eines Werkstücks. 8-1 ist eine Aufsicht auf das Werkstück 14 nach Bearbeitung. In 8-1 ist die X-Achsen-Richtung dieselbe Richtung wie eine Referenzoberfläche 50 und ist die Y-Achsen-Richtung eine Richtung rechtwinklig zur Referenzoberfläche 50. 8-2 ist ein Beispiel von Drahtpositionskorrekturbeträgen für entsprechende Bearbeitungsbedingungen.
Die Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1a bearbeitet das Werkstück 14 bei verschiedenen Bearbeitungsbedingungen. Zu dieser Zeit wird die Referenzoberfläche 50 in einer Bearbeitungsbedingung bearbeitet, welche die genaueste Bearbeitung erzielt, um eine Vergleichszielreferenz zu anderen Bearbeitungsbedingungen zu erhalten. Durch das sequentielle Durchführen der Bearbeitung in mehreren Bearbeitungsbedingungen kann ein Einfluss eines Bearbeitungsformfehlers aufgrund anderer Faktoren, wie etwa einem Installationsfehler des Werkstücks 14, verhindert werden.
Nach Abschluss der Bearbeitung wird die Form des Werkstücks 14 gemessen, um einen Bearbeitungskonturfehler zu erfahren, der von der Bearbeitungsbedingung abhängt. Im in 8-1 gezeigten Beispiel werden Formen des Werkstücks 14, die erhalten werden, wenn die Bearbeitung unter Verwendung der Referenzoberfläche 50 und der Bearbeitungsbedingungen (1) bis (4) durchgeführt wird, gezeigt. Messergebnisse der Bearbeitungsform des Werkstücks 14 werden in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gespeichert.
Wenn beispielsweise eine Bearbeitungsoberfläche (eine Oberfläche nach Abschluss der Bearbeitung) unter der Bearbeitungsbedingung (1) bei -2 Mikrometer in Bezug auf die Referenzoberfläche 50 liegt, ist ein Drahtpositionskorrekturbetrag 51 in der Y-Achsen-Richtung unter der Bearbeitungsbedingung (1) +2 Mikrometer. In diesem Fall wird +2 Mikrometer in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 als der Drahtpositionskorrekturbetrag 51 in der Y-Achsen- Richtung gespeichert. Auf diese Weise wird während der Bearbeitung nach der Korrektur die Bearbeitung mit Korrektur der Drahtposition um +2 Mikrometer in der Y-Achsen-Richtung durchgeführt. Als Ergebnis kann die Bearbeitungsoberfläche unter der Bearbeitungsbedingung (1) zur Referenzoberfläche 50 ausgerichtet werden.
In der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 werden beispielsweise die Drahtpositionskorrekturbeträge unter den tatsächlich verwendeten Bearbeitungsbedingungen übermäßig gespeichert. Wenn es zu viele Kombinationen von Bearbeitungsbedingungen gibt, können die Drahtpositionskorrekturbeträge durch Interpolation von Bearbeitungsbedingungen abgeleitet werden. Auf diese Weise können angemessene Drahtpositionskorrekturen mit weniger Messpunkten und weniger Bearbeitungsbedingungseinstellpunkten realisiert werden.
Wenn beispielsweise die in 8-2 gezeigten Drahtpositionskorrekturbeträge in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 gespeichert werden und wenn die Drahtspannung = 10 und der Bearbeitungsfluiddruck =3, kann der Drahtpositionskorrekturbetrag bei (2 + 0) / 2 = 1 durch Interpolation zwischen Bearbeitungsbedingungen (1) und (2) eingestellt werden.
Ähnlich, wenn die Drahtspannung = 9 und der Bearbeitungsfluiddruck = 2, kann der Drahtpositionskorrekturbetrag bei (0 + 1,5) / 2 = 0,75 durch Interpolation zwischen den Bearbeitungsbedingungen (2) und (4) eingestellt werden. Weiterhin, wenn die Drahtspannung = 9 und der Bearbeitungsfluiddruck = 3, wird der Drahtpositionskorrekturbetrag bei (2 + 0 - 3 + 1,5) / 4 = 0,125 durch Interpolation der Bearbeitungsbedingungen (1), (2), (3) und (4) eingestellt.
Zusätzliche Interpolation zwischen den Bearbeitungsbedingungen kann unter Verwendung der durch Interpolation abgeleiteten Drahtpositionskorrekturbeträge durchgeführt werden. Wenn beispielsweise die Drahtspannung = 10 und der Bearbeitungsfluiddruck = 3,5, wird der Drahtpositionskorrekturbetrag unter Verwendung des durch Interpolation zwischen den Bearbeitungsbedingungen (1) und (2) ermittelten Drahtpositionskorrekturbetrags und des Drahtpositionskorrekturbetrags der Bearbeitungsbedingung (1) abgeleitet. In diesem Fall kann der Drahtpositionskorrekturbetrag auf (1 + 2) / 2 = 1,5 gesetzt werden.
Die 9 und 10 sind erläuternde Diagramme von tatsächlichen Messpunkten und Interpolationspunkten des Drahtpositionskorrekturbetrags (einer Bearbeitungsbedingung). Die tatsächlichen Messpunkte sind Punkte (Bearbeitungsbedingungen), bei denen die Drahtpositionskorrekturbeträge durch tatsächliche Bearbeitung des Werkstücks 14 unter Verwendung von Bearbeitungsbedingungen und Messen der Bearbeitungsform eingestellt werden. Die Interpolationspunkte sind Punkte (Bearbeitungsbedingungen), an denen die Drahtpositionskorrekturbeträge durch den Interpolationsprozess unter Verwendung der Drahtpositionskorrekturbeträge, welche bei den tatsächlichen Messpunkten ermittelt werden, eingestellt werden.
9 ist ein erläuterndes Diagramm von Interpolationspunkten von Bearbeitungsbedingungen in einem Fall, bei dem ein Drahtpositionskorrekturbetrag tatsächlich an Punkten mit praktischen Maximal- und Minimalwerten der Bearbeitungsbedingungen gemessen wird. In 9 ist die Bearbeitungsbedingung eine Kombination der Drahtspannung und des Bearbeitungsfluiddrucks, in welchem die Drahtspannung auf der X-Achse gezeigt wird und der Bearbeitungsfluiddruck auf der Y-Achse gezeigt wird. In 9 sind tatsächliche Messpunkte 61 (schwarze Punkte) und Interpolationspunkte 62 (weiße Punkte) in einem Fall, bei dem das Werkstück 14 unter den Bearbeitungsbedingungen bearbeitet wird, die prinzipiell praktische Maximal- und Minimalwerte der Drahtspannung und praktische Maximal- und Minimalwerte des Bearbeitungsfluiddrucks beinhalten, gezeigt.
Wie oben beschrieben, werden in der vorliegenden Ausführungsform Bearbeitungsergebnisse unter den Bearbeitungsbedingungen an den tatsächlichen Messpunkten 61 gemessen und werden die Bearbeitungsbedingungen an den Interpolationspunkten 62 durch lineare Interpolation oder dergleichen interpoliert. Weil ein Faktor der Positionsverschiebung der Drahtelektrode 12 eine elastische Deformation der Drahtführungen 8 aufgrund der Drahtspannung und/oder der Bearbeitungsfluidreaktionskraft ist, wird angenommen, dass der Positionsverschiebungsbetrag der Drahtelektrode 12 Linearität aufweist.
Bezüglich dem Bearbeitungsfluiddruck wird eine Justierung an den Einstellwerten des Bearbeitungsfluiddrucks unter Berücksichtigung der Distanzen (der Oberseitendistanz Da und der Unterseitendistanz Db) Zwischen den Düsen 30a und 30b und dem Werkstück 14 durchgeführt. Beispielsweise wird der Einstellwert des Bearbeitungsfluiddrucks durch Erzeugen einer Referenztabelle oder einem angenäherten Ausdruck justiert, basierend auf den tatsächlichen Messergebnissen des Bearbeitungsfluiddrucks. Dies ermöglicht die Ableitung der Drahtpositionskorrekturbeträge entsprechend den tatsächlich verwendeten Bearbeitungsbedingungen mit weniger Messpunkten (den tatsächlichen Messpunkten 61). Daher ist es möglich, die Anzahl von Malen von tatsächlicher Bearbeitung des Werkstücks 14 während der Ableitung der Drahtpositionskorrekturbeträge zu reduzieren.
10 ist ein erläuterndes Diagramm von Interpolationspunkten einer Bearbeitungsbedingung in einem Fall, bei dem ein Drahtpositionskorrekturbetrag tatsächlich bei praktischen Zentralwerten der Bearbeitungsbedingung gemessen wird. In 10 ist die Bearbeitungsbedingung eine Kombination der Drahtspannung und des Bearbeitungsfluiddrucks, wie in 9, in welchem die Drahtspannung auf der X-Achse gezeigt ist und der Bearbeitungsfluiddruck auf der Y-Achse gezeigt ist. In 10 sind die tatsächlichen Messpunkte 61 (schwarze Punkte) und die Interpolationspunkte 62 (weiße Punkte) in einem Fall, in dem das Werkstück 14 unter den Bearbeitungsbedingungen bearbeitet wird, die prinzipiell einen praktischen Zentralwert der Drahtspannung und ein praktisches Zentrum des Bearbeitungsfluiddrucks beinhalten, gezeigt.
Auch in diesem Fall können die Drahtpositionskorrekturbeträge entsprechend den tatsächlich verwendeten Bearbeitungsbedingungen mit weniger Messpunkten (den tatsächlichen Messpunkten 61) als in dem Fall abgeleitet werden, der in 9 gezeigt wird. Weiterhin kann die Anzahl von Malen der tatsächlichen Bearbeitung des Werkstücks 14 reduziert werden.
Wie oben beschrieben, werden gemäß der sechsten Ausführungsform die Drahtpositionskorrekturbeträge, die in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 zu speichern sind, basierend auf den Bearbeitungsform-Messergebnissen des Werkstücks 14 bestimmt, die unter verschiedenen Bearbeitungsbedingungen bearbeitet werden. Daher kann eine hochgenaue Drahtpositionskorrektur leicht realisiert werden.
Weiterhin, weil die Drahtpositionskorrekturbeträge unter den Bearbeitungsbedingungen, die nicht gemessen werden, aus den Drahtpositionskorrekturbeträgen unter den gemessenen Bearbeitungsbedingungen durch lineare Interpolation abgeschätzt werden, können gewünschten Drahtpositionskorrekturbeträge leicht mit weniger Malen von Messungen abgeleitet werden.
Siebte Ausführungsform
Eine siebte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird als Nächstes unter Bezugnahme auf 11 erläutert. In der siebten Ausführungsform werden Positionen der Drahtführungen 8 während der Bearbeitung gemessen, während die Drahtpositionskorrekturbeträge durch das Verfahren, wie es in der sechsten Ausführungsform erläutert worden ist, abgeleitet werden. Die in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 zu speichernden Drahtpositionskorrekturbeträge werden basierend auf den Messergebnissen eingestellt.
11 ist ein erläuterndes Diagramm eines Verfahrens des Messens von Verschiebungsbeträgen von Drahtführungen. In der vorliegenden Ausführungsform werden Positionsmesser 16a und 16b, welche die Positionen (Verschiebungsbeträge) der Drahtführungen 8 messen, in der Drahterodierbearbeitungsvorrichtung 1a installiert. Während die Drahtpositionskorrekturbeträge unter Verwendung verschiedener Bearbeitungsbedingungen abgeleitet werden, messen die Positionsmesser 16a und 16b die Positionen der Drahtführungen 8 während der Bearbeitung. Spezifisch misst der Positionsmesser 16a die Position der oberen Drahtführung 8a während der Bearbeitung und misst der Positionsmesser 16b die Position der unteren Drahtführung 8b während der Bearbeitung.
Die Positionsmesser 16a und 16b messen beispielsweise relative Distanzen zwischen dem Werkstück 14 und den Drahtführungen 8. Daher werden die Positionsmesser 16a und 16b beispielsweise an Positionen platziert, wo die Relativdistanzen zwischen dem Werkstück 14 und den Drahtführungen 8 gemessen werden können. Wenn diese Platzierung schwierig ist, können die Positionsmesser 16a und 16b an einer Befestigung (nicht gezeigt) der Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1a fixiert werden. In diesem Fall messen die Positionsmesser 16a und 16b Distanzen zwischen den Drahtführungen 8 und der Befestigung der Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1a. Wenn die Positionen der Drahtführungen 8 durch die Positionsmesser 16a und 16b gemessen werden, wird der Drahtpositionskorrekturbetrag basierend auf den gemessenen Positionen eingestellt.
Wie oben beschrieben, werden gemäß der siebten Ausführungsform die Verschiebungsbeträge der Drahtführungen 8 während der Bearbeitung unter verschiedenen Bearbeitungsbedingungen gemessen und werden die Drahtpositionskorrekturbeträge, die in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 zu speichern sind, basierend auf den Messergebnissen der Verschiebungsbeträge bestimmt. Daher kann eine hochgenaue Drahtpositionskorrektur realisiert werden.
Achte Ausführungsform
Eine achte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird als Nächstes unter Bezugnahme auf 12 erläutert. In der achten Ausführungsform, während die Drahtpositionskorrekturbeträge durch das in der sechsten Ausführungsform erläuterte Verfahren abgeleitet werden, werden Positionen der Drahtführungen 8 und des Verschiebungsbetrags des Werkstücks 14 während der Bearbeitung gemessen. Die in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 zu speichernden Drahtpositionskorrekturbeträge werden basierend auf den Messergebnissen eingestellt.
12 ist ein erläuterndes Diagramm eines Verfahrens des Messens von Verschiebungsbeträgen von Drahtführungen und eines Verschiebungsbetrags eines Werkstücks. Ein Positionsmesser 16c ist eine Vorrichtung, welche die Position (den Verschiebungsbetrag) des Werkstücks 14 in Bezug auf die Befestigung der Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1a misst.
Wenn die Position des Werkstücks 14 durch den Positionsmesser 16c gemessen wird, wird der Drahtpositionskorrekturbetrag basierend auf dem gemessenen Verschiebungsbetrag des Werkstücks 14 eingestellt. Entsprechend kann die Relativposition zwischen der Drahtelektrode 12 und dem Werkstück 14 mit hoher Genauigkeit korrigiert werden. Eine Prozedur zum Erzeugen der in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 zu speichernden Drahtpositionskorrekturbeträge basierend auf den Messergebnissen der Bearbeitungsform des Werkstücks 14 ist identisch zu derjenigen der sechsten Ausführungsform und somit werden Erläuterungen derselben weggelassen.
Wie oben beschrieben, wird gemäß der achten Ausführungsform der Verschiebungsbetrag des Werkstücks 14 während der Bearbeitung unter verschiedenen Bearbeitungsbedingungen gemessen und werden die Drahtpositionskorrekturbeträge, die in der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 zu Speichern sind, basierend auf Messergebnissen des Verschiebungsbetrags bestimmt. Daher kann eine hochgenaue Drahtpositionskorrektur realisiert werden.
Neunte Ausführungsform
Eine neunte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird als Nächstes unter Bezugnahme auf 13 erläutert. Während in der fünften Ausführungsform der Fall, bei dem die Drahtpositionskorrekturbeträge unter Verwendung einer numerischen Tabelle gespeichert werden (einer Tabellenform), wie in 8-2 gezeigt, erläutert wird, werden in der vorliegenden Ausführungsform die Drahtpositionskorrekturbeträge durch eine Korrekturbetragsbestimmungseinheit 17 unter Verwendung einer durch den nachfolgenden Ausdruck 1 repräsentierten Funktion anstelle der Korrekturbetragsspeichereinheit 3 erzeugt. Eine Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung 1b, die in 13 gezeigt ist, weist dieselbe Konfiguration wie diejenige gemäß der ersten in 1 gezeigten Ausführungsform auf, außer dass die Korrekturbetragsspeichereinheit 3 durch die Korrekturbetragsbestimmungseinheit 17 ersetzt ist, und somit werden Erläuterungen anderer Komponenten weggelassen. Koeffizienten werden in der Korrekturbetragsbestimmungseinheit 17 eingegeben. $Δ Y = f (T, P)$
In diesem Ausdruck bezeichnet ΔY den Drahtpositionskorrekturbetrag, bezeichnet f() eine Funktion, bezeichnet T die Drahtspannung und bezeichnet P den Bearbeitungsfluiddruck. Während nur der Korrekturwert in der Y-Achsen-Richtung im Ausdruck (1) gezeigt ist, gilt dasselbe für die X-Achsen-Richtung. Spezifisch wird der Ausdruck (1) durch den nachfolgenden Ausdruck (2) repräsentiert. $Δ Y = (a \times T) + (b \times P) + c$
In diesem Ausdruck sind a, b und c Koeffizienten und werden aus Messergebnissen der Bearbeitungsform identifiziert. Wenn die Oberseitendistanz Da oder die Unterseitendistanz Db als die Distanz zwischen der Düse 30a oder 30b und dem Werkstück 14 berücksichtigt wird, wird der Ausdruck (1) zum nachfolgenden Ausdruck (3). Im Ausdruck (3) werden die Oberseitendistanz Da und die Unterseitendistanz Db durch L bezeichnet. $Δ Y = g (T, P; L)$
Spezifisch kann der Ausdruck (3) durch den nachfolgenden Ausdruck (4) angenähert werden. $Δ Y = (a \times T) + (d \times {P/L}^{2}) + e$
Im Ausdruck (4) sind d und e Koeffizienten und werden aus Messergebnissen der Bearbeitungsform identifiziert.
Wie oben beschrieben, werden gemäß der neunten Ausführungsform die Drahtpositionskorrekturbeträge durch die Korrekturbetragsbestimmungseinheit 17 basierend auf den Messergebnissen der Bearbeitungsform des Werkstücks 14, das unter verschiedenen Bearbeitungsbedingungen bearbeitet wird, oder der Position der Bearbeitungsfluid 13 während der Bearbeitung bestimmt. Daher können die Drahtpositionskorrekturbeträge unter Bearbeitungsbedingungen, die nicht gemessen werden, leicht und genau aus den Drahtpositionskorrekturbeträgen unter gemessenen Bearbeitungsbedingungen bestimmt werden. Entsprechend können die Drahtpositionskorrekturbeträge mit notwendiger Genauigkeit mit weniger Messvorgängen bestimmt werden. Weiterhin kann ein für die Steuervorrichtung der elektrischen Entladungsbearbeitungsvorrichtung erforderlicher Speicherbetrag reduziert werden.
Industrielle Anwendbarkeit
Wie oben beschrieben, sind die Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung und die Steuervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung für Drahterodierbearbeitung unter Korrektur des Versatzes in der Position einer Drahtelektrode geeignet.
Bezugszeichenliste
1a, 1b Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung, 2 Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit, 3 Korrekturbetragsspeichereinheit, 4 Korrekturbetragsleseeinheit, 5 Drahtpositionskorrektureinheit, 6a, 6b Antriebssteuereinheit, 7a, 7b Antriebseinheit, 8a obere Drahtführung, 8b untere Drahtführung, 9 Befehlserzeugungseinheit, 10 Steuervorrichtung, 11 Stromversorgung, 12 Drahtelektrode, 13 Bearbeitungsfluid, 14 Werkstück, 15 Stromversorgungssteuereinheit, 16a bis 16c Positionsmesser, 17 Korrekturbetragsbestimmungseinheit, 20 Bearbeitungseinheit, 30a, 30b Düse, 61 tatsächlicher Messpunkt, 62 Interpolationspunkt

Claims

Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1a), umfassend: eine erste Drahtführung (8a), die eine Drahtelektrode (12) an einer ersten Position haltert und die Drahtelektrode (12) zu einer Seite eines Werkstücks (14) liefert; eine zweite Drahtführung (8b), welche die Drahtelektrode (12) an einer zweiten Position gegenüberliegend zur ersten Position haltert und die von der Seite des Werkstücks (14) gelieferte Drahtelektrode (12) rückwickelt; eine erste Antriebseinheit (7a), welche eine Relativposition zwischen der Drahtelektrode (12) und dem Werkstück (14) durch Bewegen einer Position der ersten Drahtführung (8a) ändert; eine zweite Antriebseinheit (7b), welche eine Relativposition zwischen der Drahtelektrode (12) und dem Werkstück (14) durch Bewegen einer Position der zweiten Drahtführung (8b) ändert; eine erste Antriebssteuereinheit (6a), welche die erste Antriebseinheit (7a) basierend auf einer Bearbeitungsform eines Teils des zu bearbeitenden Werkstücks (14) steuert; eine zweite Antriebssteuereinheit (6b), welche die zweite Antriebseinheit (7b) basierend auf der Bearbeitungsform steuert; eine Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit (2), die eine Bearbeitungsbedingung, einschließlich einer Drahtspannung der sich zwischen der ersten Drahtführung (8a) und der zweiten Drahtführung (8b) erstreckenden Drahtelektrode (12), einstellt; eine Korrekturbetragsspeichereinheit (3), die vorab darin einen Positionskorrekturbetrag für die Drahtelektrode (12) entsprechend der Bearbeitungsbedingung, einschließlich der Drahtspannung, speichert; eine Korrekturbetragsleseeinheit (4), welche den Positionskorrekturbetrag für die Drahtelektrode (12) entsprechend der Bearbeitungsbedingung, einschließlich der Drahtspannung, aus der Korrekturbetragsspeichereinheit (3) ausliest; und eine Drahtpositionskorrektureinheit (5), welche die ersten und zweiten Antriebssteuereinheiten (6a, 6b) veranlasst, eine relative Distanz zwischen der Drahtelektrode (12) und dem Werkstück (14) zu korrigieren, basierend auf dem Positionskorrekturbetrag.
Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1a) gemäß Anspruch 1, wobei: die erste Drahtführung (8a) eine erste Düse (30a) beinhaltet, die ein Bearbeitungsfluid (13) dem Werkstück (14) zuführt; die zweite Drahtführung (8b) eine zweite Düse (30b) beinhaltet, die das Bearbeitungsfluid dem Werkstück (14) zuführt; und die Bearbeitungsbedingung weiter einen Druck des aus der ersten Düse (30a) zugeführten Bearbeitungsfluids und einen Druck des aus der zweiten Düse (30b) zugeführten Bearbeitungsfluids beinhaltet.
Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1a) gemäß Anspruch 2, wobei die Bearbeitungsbedingung weiter eine Distanz zwischen dem Werkstück (14) und der ersten Düse (30a) und eine Distanz zwischen dem Werkstück (14) und der zweiten Düse (30b) beinhaltet.
Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1a) gemäß Anspruch 2 oder 3, wobei die Bearbeitungsbedingung weiter eine Steifheit der Drahtelektrode (12), einen Durchmesser der Drahtelektrode (12) und eine Distanz zwischen der ersten Drahtführung (8a) und der zweiten Drahtführung (8b) beinhaltet.
Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1a) gemäß einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die Bearbeitungsbedingung weiter eine Steifheit des Werkstücks (14) und eine Form des Werkstücks (14) beinhaltet.
Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1b), umfassend: eine erste Drahtführung (8a), die eine Drahtelektrode (12) an einer ersten Position haltert und die Drahtelektrode (12) zu einer Seite eines Werkstücks (14) liefert; eine zweite Drahtführung (8b), welche die Drahtelektrode (12) an einer zweiten Position gegenüberliegend zur ersten Position haltert und die von der Seite des Werkstücks (14) gelieferte Drahtelektrode (12) rückwickelt; eine erste Antriebseinheit (7a), welche eine Relativposition zwischen der Drahtelektrode (12) und dem Werkstück (14) durch Bewegen einer Position der ersten Drahtführung (8a) ändert; eine zweite Antriebseinheit (7b), welche eine Relativposition zwischen der Drahtelektrode (12) und dem Werkstück (14) durch Bewegen einer Position der zweiten Drahtführung (8b) ändert; eine erste Antriebssteuereinheit (6a), welche die erste Antriebseinheit (7a) basierend auf einer Bearbeitungsform eines Teils des zu bearbeitenden Werkstücks (14) steuert; eine zweite Antriebssteuereinheit (6b), welche die zweite Antriebseinheit (7b) basierend auf der Bearbeitungsform steuert; eine Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit (2), die eine Bearbeitungsbedingung, einschließlich einer Drahtspannung der sich zwischen der ersten Drahtführung (8a) und der zweiten Drahtführung (8b) erstreckenden Drahtelektrode (12), einstellt; eine Korrekturbetragsbestimmungseinheit (17), welche einen Positionskorrekturbetrag für die Drahtelektrode (12) entsprechend der Bearbeitungsbedingung, einschließlich der Drahtspannung, bestimmt; eine Korrekturbetragsleseeinheit (4), welche den Positionskorrekturbetrag für die Drahtelektrode (12) entsprechend der Bearbeitungsbedingung, einschließlich der Drahtspannung, aus der Korrekturbetragsbestimmungseinheit (17) ausliest; und eine Drahtpositionskorrektureinheit (5), welche die ersten und zweiten Antriebssteuereinheiten (6a, 6b) veranlasst, eine relative Distanz zwischen der Drahtelektrode (12) und dem Werkstück (14) zu korrigieren, basierend auf dem Positionskorrekturbetrag.
Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1b) gemäß Anspruch 6, wobei: die erste Drahtführung (8a) eine erste Düse (30a) beinhaltet, die ein Bearbeitungsfluid (13) dem Werkstück (14) zuführt; die zweite Drahtführung (8b) eine zweite Düse (30b) beinhaltet, die das Bearbeitungsfluid dem Werkstück (14) zuführt; und die Bearbeitungsbedingung weiter einen Druck des aus der ersten Düse (30a) zugeführten Bearbeitungsfluids und einen Druck des aus der zweiten Düse (30b) zugeführten Bearbeitungsfluids beinhaltet.
Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1b) nach Anspruch 7, wobei die Bearbeitungsbedingung weiter eine Distanz zwischen dem Werkstück (14) und der ersten Düse (30a) und eine Distanz zwischen dem Werkstück (14) und der zweiten Düse (30b) beinhaltet.
Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1b) nach Anspruch 7 oder 8, wobei die Bearbeitungsbedingung weiter eine Steifheit der Drahtelektrode (12), einen Durchmesser der Drahtelektrode (12) und eine Distanz zwischen der ersten Drahtführung (8a) und der zweiten Drahtführung (8b) beinhaltet.
Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1b) nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei die Bearbeitungsbedingung weiter eine Steifheit des Werkstücks (14) und eine Form des Werkstücks (14) beinhaltet.
Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1b) gemäß einem der Ansprüche 6 bis 10, wobei die Korrekturbetragsbestimmungseinheit (17) den Positionskorrekturbetrag durch Messen einer Postbearbeitungsform des unter mehreren Arten von Bearbeitungsbedingungen bearbeiteten Werkstücks (14) bestimmt.
Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1b) gemäß einem der Ansprüche 6 bis 10, wobei die Korrekturbetragsbestimmungseinheit (17) den Positionskorrekturbetrag basierend auf Verschiebungsbeträgen der ersten und zweiten Drahtführungen (8a, 8b), die während der Bearbeitung unter verschiedenen Arten von Bearbeitungsbedingungen gemessen werden, bestimmt.
Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung (1b) gemäß Anspruch 10, wobei die Korrekturbetragsbestimmungseinheit (17) den Positionskorrekturbetrag unter Verwendung eines Verschiebungsbetrags des Werkstücks (14), der während der Bearbeitung unter mehreren Arten von Bearbeitungsbedingungen gemessen wird, bestimmt.
Steuervorrichtung (10), umfassend: eine erste Antriebssteuereinheit (6a), die eine erste Antriebseinheit (7a) basierend auf einer Bearbeitungsform eines Teils eines zu bearbeitenden Werkstücks (14) steuert, wobei die erste Antriebseinheit (7a) eine Relativposition zwischen einer Drahtelektrode (12) und dem Werkstück (14) durch Bewegen einer Position einer ersten Drahtführung (8a) ändert, welche die Drahtelektrode (12) an einer ersten Position unterstützt und die Drahtelektrode (12) auf einer Seite des Werkstücks (14) zuführt; eine zweite Antriebssteuereinheit (6b), die eine zweite Antriebseinheit (7b) basierend auf der Bearbeitungsform steuert, wobei die zweite Antriebseinheit (7b) eine Relativposition zwischen der Drahtelektrode (12) und dem Werkstück (14) durch Bewegen einer Position einer zweiten Drahtführung (8b) ändert, welche die Drahtelektrode (12) an einer zweiten Position gegenüberliegend der ersten Position unterstützt und die von der Seite des Werkstücks (14) zugeführte Drahtelektrode (12) wieder aufwickelt; eine Bearbeitungsbedingungs-Einstelleinheit (2), die eine Bearbeitungsbedingung einschließlich einer Drahtspannung der sich zwischen der ersten Drahtführung (8a) und der zweiten Drahtführung (8b) erstreckenden Drahtelektrode (12) einstellt; eine Korrekturbetragsspeichereinheit (3), die vorab darin einen Positionskorrekturbetrag für die Drahtelektrode (12) entsprechend der Bearbeitungsbedingung, einschließlich der Drahtspannung, speichert; eine Korrekturbetragsleseeinheit (4), welche den Positionskorrekturbetrag für die Drahtelektrode (12) entsprechend der Bearbeitungsbedingung, einschließlich der Drahtspannung, aus der Korrekturbetragsspeichereinheit (3) ausliest; und eine Drahtpositionskorrektureinheit (5), welche die erste und zweite Antriebssteuereinheit (6a, 6b) veranlasst, eine Relativdistanz zwischen der Drahtelektrode (12) und dem Werkstück (14) basierend auf dem Positionskorrekturbetrag zu korrigieren.