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Hintergrund der Erfindung
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Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Parametereinstellverfahren zum Einstellen der Vibrationsisoliereigenschaften einer Vibrationsisoliervorrichtung mit einer Steuervorrichtung und auf eine Steuervorrichtung für eine Vorrichtung, die einen beweglichen Abschnitt aufweist, der auf einer Achse, die an der Vibrationsisoliervorrichtung vorgesehen ist, durch einen Servomotor angetrieben wird.
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Beschreibung des Standes der Technik
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Eine herkömmliche Technologie wurde beschrieben zum Ändern von Parameterwerten einer Vibrationsisoliervorrichtung, um die Vibrationsisoliereigenschaften einzustellen (vgl. beispielsweise japanische Patentoffenlegungsschrift
JP 2014 -
043946 A ).
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Zusammenfassung der Erfindung
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Bei der herkömmlichen Technologie werden aber die Parameter in einer Weise eingestellt, um die in der Vibrationsisoliervorrichtung detektierte Vibration zu verhindern. Daher ist es nicht möglich, die Vibration in einer Vorrichtung, die an der Vibrationsisoliervorrichtung vorgesehen ist, in ausreichendem Maße zu verhindern.
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Die vorliegende Erfindung zielt auf die Lösung dieses Problems, und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Parametereinstellverfahren und eine Steuervorrichtung vorzuschlagen, die Vibrationen in einer Vorrichtung, die an einer Vibrationsisoliervorrichtung vorgesehen ist, vermeiden kann.
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Ein erster Aspekt der vorliegenden Erfindung besteht in einem Verfahren zum Einstellen eines Parameters zum Anpassen der Vibrationsisoliereigenschaften einer Vibrationsisoliervorrichtung, das durch eine Steuervorrichtung durchgeführt wird, wobei eine Vorrichtung, die wenigstens eine Achse und einen durch einen Servomotor auf der Achse angetriebenen beweglichen Abschnitt aufweist, an der Vibrationsisoliervorrichtung vorgesehen ist, wobei die Steuervorrichtung die Vorrichtung steuert, und wobei die Steuervorrichtung eine Speichereinheit aufweist, die dazu ausgestaltet ist, mehrere Gruppen (Sets) von Kandidatenwerten von Parametern zum Einstellen der Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung zu speichern, wobei jede der Gruppen von Kandidatenwerten Kandidatenwerte für jeweilige Parametertypen aufweist, wobei das Parametereinstellverfahren einen Servomotorsteuerschritt zum Steuern des Servomotors zur Positionierung des beweglichen Abschnitts an einer Befehlsposition, und einen Parameterwertveränderungsschritt aufweist, um dann, wenn die Größe einer Abweichung, die in einer Differenz zwischen der Befehlsposition und einer tatsächlichen Position des beweglichen Abschnitts besteht, größer oder gleich einem vorgeschriebenen Wert während der Betätigung der Vibrationsisoliervorrichtung ist, eine nicht ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten von den mehreren Gruppen von Kandidatenwerten auszuwählen und die Werte der jeweiligen Parametertypen der Vibrationsisoliervorrichtung auf die ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten zu ändern, und dann, wenn die Größe der Abweichung kleiner ist als der vorgeschriebene Wert, die Werte der jeweiligen Typen der Parameter nicht zu ändern, wobei der Parameterwerteinstellschritt nach der Beendigung des Parameterwerteinstellschritts solange wiederholt wird, bis die Größe der Abweichung kleiner wird als der vorbeschriebene Wert.
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Ein zweiter Aspekt der vorliegenden Erfindung besteht in einer Steuervorrichtung für eine Vorrichtung, die wenigstens eine Achse, die an einer Vibrationsisoliervorrichtung vorgesehen ist, und einen beweglichen Abschnitt aufweist, der durch einen Servomotor auf der Achse angetrieben wird, wobei die Steuervorrichtung eine Speichereinheit aufweist, die dazu ausgestaltet ist, mehrere Gruppen von Kandidatenwerten von Parametern zur Einstellung der Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung zu speichern, wobei jede der Gruppen der Kandidatenwerte Kandidatenwerte für jeweilige Parametertypen enthält, einen Servomotorsteuerabschnitt, der dazu ausgestaltet ist, den Servomotor so zu steuern, dass er den beweglichen Abschnitt an einer Befehlsposition positioniert, und einen Parameterwerteinstellabschnitt, der dazu ausgestaltet ist, dann, wenn die Größe einer Abweichung, die in einer Differenz zwischen der Befehlsposition und einer tatsächlichen Position des beweglichen Abschnitts besteht, größer oder gleich einem vorgeschriebenen Wert während der Betätigung der Vibrationsisoliervorrichtung ist, eine nicht ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten aus den mehreren Gruppen von Kandidatenwerten auszuwählen und die Werte der jeweiligen Parametertypen der Vibrationsisoliervorrichtung zu der ausgewählten Gruppe von Kandidatenwerten zu ändern, und dann wenn die Größe der Abweichung kleiner ist als der vorgeschriebene Wert, die Werte der jeweiligen Parametertypen nicht zu ändern, wobei der Parameterwerteinstellabschnitt dazu ausgestaltet ist, die Änderung der Werte der jeweiligen Parametertypen zu wiederholen, bis die Größe der Abweichung kleiner wird als der vorgeschriebene Wert.
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Mit der vorliegenden Erfindung ist es möglich, Vibrationen in der Vorrichtung, die an der Vibrationsisoliervorrichtung vorgesehen ist, zu vermeiden.
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Die obigen und weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich noch deutlicher aus der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen, in denen eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beispielhaft dargestellt ist.
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Figurenliste
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- 1 ist eine schematische Ansicht einer Präzisionsbearbeitungsmaschine, die auf einem aktiven Dämpfer vorgesehen ist,
- 2 ist ein Steuerblockdiagramm der Präzisionsbearbeitungsmaschine, des aktiven Dämpfers und einer numerischen Steuerung,
- 3 ist ein Fließbild, das den Ablauf eines Parameterwerteinstellprozesses zeigt,
- 4 ist eine schematische Ansicht der Präzisionsmessvorrichtung, die auf den aktiven Dämpfer geladen ist, und
- 5 ist ein Steuerblockdiagramm der Präzisionsmessvorrichtung, des aktiven Dämpfers und der numerischen Steuerung.
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Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
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{Erste Ausführungsform}
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[Gesamtkonfiguration]
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1 ist eine schematische Ansicht einer Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 (einer Vorrichtung), die auf einem aktiven Dämpfer 10 angeordnet ist. Die Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 ist eine Bearbeitungsmaschine, die ein Werkstück 14 mit einer Präzision von 100 nm oder weniger bearbeitet. Die Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 umfasst eine Spindel 16, an der das Werkstück 14 in einer anbringbaren/lösbaren Weise befestigt ist, und einen Werkzeughalter 20, an dem ein Werkzeug 18 in einer anbringbaren/lösbaren Weise befestigt ist.
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Die Spindel 16 wird durch einen beweglichen X-Achsen-Abschnitt 22 getragen. Der bewegliche X-Achsen-Abschnitt 22 wird durch einen X-Achsen-Servomotor 21 in Richtung einer X-Achse entlang einer X-Achsen-Führung 26 angetrieben, die auf einer Basisplattform 24 fixiert ist. Ein Fluidlager ist zwischen der X-Achsen-Führung 26 und dem beweglichen X-Achsen-Abschnitt 22 vorgesehen, so dass zwischen der X-Achsen-Führung 26 und dem beweglichen X-Achsen-Abschnitt 22 lediglich eine geringe Reibung vorliegt. Die Spindel 16 umfasst ein Vakuumspannfutter 28, und das Werkstück 14 wird durch das Vakuumspannfutter 28 an der Spindel 16 fixiert. Die Spindel 16 wird durch einen R-Achsen-Servomotor 29in einer Drehrichtung angetrieben, die auf der R-Achse zentriert ist. Zwischen dem beweglichen X-Achsen-Abschnitt 22 und der Spindel 16 ist ein Fluidlager vorgesehen, so dass es zwischen dem beweglichen X-Achsen-Abschnitt 22 und der Spindel 16 nur eine geringe Reibung gibt.
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Der Werkzeughalter 20 wird durch einen beweglichen Z-Achsen-Abschnitt 30 gehalten. Der bewegliche Z-Achsen-Abschnitt 30 wird durch einen Z-Achsen-Servomotor 36 in Richtung einer Z-Achse entlang einer Z-Achsen-Führung 34 angetrieben, die auf der Basisplattform 24 fixiert ist. Zwischen der Z-Achsen-Führung 34 und dem beweglichen Z-Achsen-Abschnitt 30 ist ein Fluidlager vorgesehen, so dass es zwischen der Z-Achsen-Führung 34 und dem beweglichen Z-Achsen-Abschnitt 30 nur eine geringe Reibung gibt.
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Der aktive Dämpfer 10 ist eine Vibrationsisoliervorrichtung und verringert die Vibrationen, die von einer Bodenfläche 36 auf die Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 übertragen werden.
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2 ist ein Steuerblockdiagramm der Präzisionsbearbeitungsmaschine 12, des aktiven Dämpfers 10 und einer numerischen Steuerung (numerische Steuervorrichtung) (nachfolgend als CNC bezeichnet) 38.
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Die Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 umfasst zusätzlich zu den oben beschriebenen Aufbauelementen eine lineare X-Achsen-Skala 40, eine lineare Z-Achsen-Skala 42 und einen R-Achsen-Encoder (Geber) 44. Die lineare X-Achsen-Skala 40 ist eine Vorrichtung, die die Position des beweglichen X-Achsen-Abschnitts 22 auf der X-Achsen-Führung 26 detektiert. Die lineare Z-Achsen-Skala 42 ist eine Vorrichtung, die die Position des beweglichen Z-Achsen-Abschnitts 30 auf der Z-Achsen-Führung 34 detektiert. Der R-Achsen-Encoder 44 ist eine Vorrichtung, die die Drehposition der Spindel 16 um die R-Achse detektiert. Die Auflösung der linearen X-Achsen-Skala 40 und der linearen Z-Achsen-Skala 42 ist kleiner oder gleich 10 nm, und die Auflösung des R-Achsen-Encoders 40 ist kleiner oder gleich etwa 1/10.000°.
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Der aktive Dämpfer 10 umfasst eine untere Vibrationserfassungseinheit 54, eine obere Vibrationserfassungseinheit 56 und eine Vibrationsisoliersteuervorrichtung 58. Die untere Vibrationserfassungseinheit 54 ist eine Vorrichtung, die Vibrationen spürt, die von der Bodenfläche 36 auf den aktiven Dämpfer 10 übertragen werden. Die obere Vibrationserfassungseinheit 56 ist eine Vorrichtung, die Vibrationen spürt, die von dem aktiven Dämpfer 10 auf die Basisplattform 24 übertragen werden. Die Vibrationsisoliersteuervorrichtung 58 ist eine Vorrichtung, die eine Vibrationsisoliersteuerung des aktiven Dämpfers 10 durchführt.
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Die CNC 38 ist eine Vorrichtung, die eine numerische Steuerung der Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 gemäß einem Bearbeitungsprogramm durchführt. Die CNC 38 ist in verdrahteter oder drahtloser Weise kommunizierend an die Vibrationsisoliersteuervorrichtung 58 des aktiven Dämpfers 10 angeschlossen. Die CNC 38 umfasst einen Servomotorsteuerabschnitt 46, einen Parameterwerteinstellabschnitt 48, eine Speichereinheit 50 und eine Benachrichtigungseinheit 52.
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Der Servomotorsteuerabschnitt 46 steuert den X-Achsen-Servomotor 21, um den beweglichen X-Achsen-Abschnitt 22 an einer Befehlsposition auf der X-Achsen-Führung 26 zu positionieren. Außerdem steuert der Servomotorsteuerabschnitt 46 den Z-Achsen-Servomotor 32, um den beweglichen Z-Achsen-Abschnitt 30 an einer Befehlsposition auf der Z-Achsen-Führung 34 zu positionieren. Noch weiter steuert der Servomotorsteuerabschnitt 46 den R-Achsen-Servomotor 29, um die Spindel 16 an einer Befehlsposition um die R-Achse zu positionieren. Der X-Achsen-Servomotor 21, der Z-Achsen-Servomotor 32 und der R-Achsen-Servomotor 29 umfassen jeweils einen Servoverstärker, der den Servomotor antreibt.
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Der Parameterwerteinstellabschnitt 48 ändert die Werte verschiedener Parameter zum Einstellen der Vibrationsisoliereigenschaften des aktiven Dämpfers 10. Durch Ändern der Werte der verschiedenen Parameter ist es möglich, die Vibrationsisoliereigenschaften des aktiven Dämpfers 10 anzupassen. Indem die Werte der verschiedenen Parameter entsprechend einer Änderung des Zustands der Bodenfläche 36, auf der der aktive Dämpfer 10 installiert ist, einer Änderung des Gewichts oder des Schwerpunkts der Präzisionsbearbeitungsmaschine 12, die auf dem aktiven Dämpfer 10 angeordnet ist, oder einer Änderung der Vibrationsumgebungsbedingungen einstellt, werden die Vibrationsisoliereigenschaften des aktiven Dämpfers 10 angepasst. Die verschiedenen Parameter zum Einstellen der Vibrationsisoliereigenschaften sind beispielsweise Aufstiegspositionszielwerte, Einstellwerte für die Regelverstärkung und Filter und dergleichen.
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Die Speichereinheit 50 ist ein nicht vorübergehendes, greifbares, computerlesbares Speichermedium, das N Gruppen (N ist eine natürliche Zahl größer oder gleich 2: N ≥ 2) von Kandidatenwerten speichert, wobei jede Gruppe von Kandidatenwerten einen Kandidatenwert für jeden Parametertyp enthält (d.h. jede Gruppe enthält die Kandidatenwerte der jeweiligen Parametertypen).
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Die Benachrichtigungseinheit 52 ist eine Audiovorrichtung, die Töne ausgibt, eine Anzeigevorrichtung, die Bilder, Zeichen und dergleichen ausgibt, oder sowohl eine Audiovorrichtung als auch eine Anzeigevorrichtung. Die Benachrichtigungseinheit 52 gibt eine Benachrichtigung an eine Bedienperson der Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 entsprechend einem Befehl des Parameterwerteinstellabschnitts 58 aus.
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Der Servomotorsteuerabschnitt 46 und der Parameterwerteinstellabschnitt 48 werden realisiert, indem ein Prozessor, beispielsweise eine CPU eines Computers, ein Programm ausführt, das in einem nicht vorrübergehenden, greifbaren, computerlesbaren Speichermedium gespeichert ist.
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[Parametereinstellprozess]
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3 ist ein Fließbild, das den Ablauf des Parameterwerteinstellprozesses zeigt, der durch die CNC 38 durchgeführt wird. Der Parameterwerteinstellprozess wird durchgeführt, wenn eine Änderung des Zustands der Bodenfläche 36, auf der der aktive Dämpfer 10 installiert ist, eine Änderung des Gewichts oder des Schwerpunkts der Präzisionsbearbeitungsmaschine 12, die auf dem aktiven Dämpfer 10 platziert ist, oder eine Änderung der Umgebungsvibrationsbedingungen auftritt. Die Bedienperson der Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 kann einen Eingabeabschnitt oder dergleichen (in der Zeichnung nicht dargestellt) betätigen, um der CNC 38 zu befehlen, den Parametereinstellprozess auszuführen.
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Der Parametereinstellprozess wird gemäß der Vibration des beweglichen X-Achsen-Abschnitts 22 relativ zu der X-Achsen-Führung 26, der Vibration des beweglichen Z-Achsen-Abschnitts 30 relativ zu der Z-Achsen-Führung 34 und der Vibration der Spindel 16 relativ zu der R-Achse eingestellt. Um aber die nachfolgende Beschreibung zu vereinfachen, wird eine Beschreibung anhand eines Beispiels gegeben, bei dem der Parameterwerteinstellprozess entsprechend der Vibration des beweglichen X-Achsen-Abschnitts 22 relativ zu der X-Achsen-Führung 26 durchgeführt wird. Außerdem werden verschiedene Parameterwerte für einen aktiven Dämpfer 10 in einem Zustand während der Werksauslieferung eingestellt.
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In Schritt S1 ersetzt der Parameterwerteinstellabschnitt 48 „1“ für die Variable n, und der Prozess geht weiter zu Schritt S2.
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In Schritt S2 befiehlt der Parameterwerteinstellabschnitt 48 der Vibrationsisoliersteuervorrichtung 58 des aktiven Dämpfers 10, den aktiven Dämpfer 10 dazu zu veranlassen, zu arbeiten, und der Prozess geht weiter zu Schritt S3.
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In Schritt S3 befiehlt der Parameterwerteinstellabschnitt 48 dem Servomotorsteuerabschnitt 46, den X-Achsen-Servomotor 21 so zu steuern, dass der bewegliche X-Achsen-Abschnitt 22 an einer Befehlsposition auf der X-Achsen-Führung 26 angehalten wird, und der Prozess geht weiter zu Schritt S4. Diese Steuerung des X-Achsen-Servomotors 21 geht weiter bis der Parameterwerteinstellprozess endet.
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In Schritt S4 beurteilt der Parameterwerteinstellabschnitt 48, ob die Größe einer Abweichung, d. h. der Differenz zwischen der tatsächlichen Position und der Befehlsposition des beweglichen X-Achsen-Abschnitts 22 auf der X-Achsen-Führung 26, größer oder gleich einem vorgeschriebenen Wert ist oder nicht (d. h. , ob die Abweichung ≥ dem vorgeschriebenen Wert). Der Prozess geht weiter zu Schritt S5, wenn die Größe dieser Abweichung größer oder gleich dem vorgeschriebenen Wert ist, und der Parametereinstellprozess endet, wenn die Größe der Abweichung kleiner ist als der vorgeschriebene Wert.
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In Schritt S5 beurteilt der Parameterwerteinstellabschnitt 48, ob die Variable n kleiner oder gleich N ist. Wenn die Variable n kleiner oder gleich N ist, d. h. wenn es unter den N Gruppen von Kandidatenwerten, die in der Speichereinheit 50 gespeichert sind, eine nicht ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten gibt, geht der Prozess weiter zu Schritt S6. Wenn andererseits die Variable n größer ist als N, d. h. wenn es unter den N Gruppen von Kandidatenwerten, die in der Speichereinheit 50 gespeichert sind, keine nicht ausgewählten Gruppen von Kandidatenwerten gibt, geht der Prozess weiter zu Schritt S8.
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In Schritt S6 wählt der Parameterwerteinstellabschnitt 48 von den N Gruppen von Kandidatenwerten, die in der Speichereinheit 50 gespeichert sind, eine nicht ausgewählte Gruppe aus und ändert die Werte der verschiedenen Parameter auf die Kandidatenwerte der ausgewählten Gruppe. Dann geht der Prozess weiter zu Schritt S7.
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In Schritt S7 erhöht der Parameterwerteinstellabschnitt 48 die Variable n um 1, und der Prozess geht zu Schritt S4.
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In Schritt S8 wählt der Parameterwerteinstellabschnitt 48 die Gruppe von Kandidatenwerten aus, die die kleinste Abweichung von den N Gruppen von Kandidatenwerten hat, die in der Vergangenheit ausgewählt wurden, und ändert die Werte der verschiedenen Parameter auf die Kandidatenwerte der ausgewählten Gruppe. Dann geht der Prozess weiter zu Schritt S9.
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In Schritt S9 steuert der Parameterwerteinstellabschnitt 48 die Benachrichtigungseinheit 52, um die Bedienperson darüber zu benachrichtigen, dass die Einstellung der Vibrationsisoliereigenschaften des aktiven Dämpfers 10 nicht optimal ist und beendet den Parameterwerteinstellprozess.
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[Operative Wirkung]
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Da es bei der Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 nur eine geringe Reibung zwischen der X-Achsen-Führung 26 und dem beweglichen X-Achsen-Abschnitt 22 gibt, ist es notwendig, den beweglichen X-Achsen-Abschnitt 22 ständig mit dem X-Achsen-Servomotor 21 anzutreiben, um den beweglichen X-Achsen-Abschnitt 22 an der Befehlsposition auf der X-Achsen-Führung 26 anzuhalten. Auch wenn die Vibrationsisoliereigenschaften des aktiven Dämpfers 10 in einer Weise eingestellt werden, dass die Vibration der Basisplattform 24 verringert wird, gibt es daher Fälle, bei denen die Vibration des beweglichen X-Achsen-Abschnitts 22 relativ zu der X-Achsen-Führung 26 nicht in ausreichendem Maße reduziert werden kann. Da die Vibrationsisoliersteuervorrichtung 58 des aktiven Dämpfers 10 herkömmlicherweise die Informationen von der linearen X-Achsen-Skala 40 der Präzisionsverarbeitungsmaschine 12 nicht erhalten hat, war es nicht möglich, die Vibrationsisoliereigenschaften in einer Weise einzustellen, dass eine ausreichende Verringerung der Vibration des beweglichen X-Achsen-Abschnitts 22 relativ zu der X-Achsen-Führung 26 erreicht wurde.
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Daher hat die Bedienperson der Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 bisher die Werte der verschiedenen Parameter manuell eingestellt. Da es aber viele verschiedene Parametertypen gibt, war ein erheblicher Zeitaufwand und Erfahrung notwendig, um die Vibrationsisoliereigenschaften passend einzustellen. Es gibt auch eine Idee, einen Personalcomputer (PC) vorzusehen, der sowohl mit der Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 als auch dem aktiven Dämpfer 10 kommuniziert, und diesen Personalcomputer die verschiedene Parameterwerte einstellen zu lassen, um den Aufwand für die Bedienperson der Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 zu verringern. Es besteht aber das Problem, dass die Vorbereitung eines PCs für den Parametereinstellprozess, der unregelmäßig durchgeführt wird, die Kosten erhöht.
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Daher wird bei der vorliegenden Ausführungsform der Parameterwerteinstellprozess durch die CNC 38 durchgeführt, die die Präzisionsverarbeitungsmaschine 12 steuert. Bei der vorliegenden Ausführungsform ist die CNC 38 in kommunizierender Weise mit der Vibrationsisoliersteuervorrichtung 58 des aktiven Dämpfers 10 verbunden, um den Parameterwerteinstellprozess durchzuführen. Außerdem weist bei der vorliegenden Ausführungsform die CNC 38 den Parameterwerteinstellabschnitt 48 auf. Wenn die Größe der Abweichung, d.h. der Differenz zwischen der tatsächlichen Position und der Befehlsposition des beweglichen X-Achsen-Abschnitts 22 auf der X-Achsen-Führung 26, während des Betriebs des aktiven Dämpfers 10 größer oder gleich dem vorbeschriebenen Wert ist, wählt der Parameterwerteinstellabschnitt 48 von den N Gruppen der Kandidatenwerte, die in der Speichereinheit 50 gespeichert sind, eine nicht ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten aus und ändert die Werte der verschiedenen Parameter auf die ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten. Wenn die Größe der Abweichung, d. h. der Differenz zwischen der tatsächlichen Position und der Befehlsposition des beweglichen X-Achsen-Abschnitts 22 auf der X-Achsen-Führung 26, während des Betriebs des aktiven Dämpfers 10 kleiner ist als der vorgeschriebene Wert, ändert der Parameterwerteinstellabschnitt 48 außerdem die Werte der verschiedenen Parameter nicht. Auf diese Weise können die Vibrationsisoliereigenschaften des aktiven Dämpfers 10 in einer Weise eingestellt werden, in der die Vibration des beweglichen X-Achsen-Abschnitts 22 relativ zu der X-Achsen-Führung 26 in ausreichendem Maße reduziert wird. Auch wenn bei der vorliegenden Ausführungsform die Größe der Abweichung, d. h. der Differenz zwischen der tatsächlichen Position und der Befehlsposition des beweglichen X-Achsen-Abschnitts 22 auf der X-Achsen-Führung 26, während der Operation des aktiven Dämpfers größer oder gleich dem vorgeschriebenen Wert ist, wählt außerdem der Parameterwerteinstellabschnitt 48, wenn es von den N Gruppen von Kandidatenwerten, die in der Speichereinheit 50 gespeichert sind, keine nicht ausgewählten Gruppen von Kandidatenwerten gibt, die Gruppe von Kandidatenwerten mit der kleinsten Abweichung aus den N Gruppen von Kandidatenwerten aus, die in der Vergangenheit ausgewählt wurden, und ändert die Werte der verschiedenen Parameter auf die ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten. Auch wenn die Vibrationsisoliereigenschaften des aktiven Dämpfers 10 nicht optimiert werden können, können auf diese Weise die Vibrationsisoliereigenschaften des aktiven Dämpfers 10 immer noch in einer Weise angepasst werden, dass die Vibration des beweglichen X-Achsen-Abschnitts 22 relativ zu der X-Achsen-Führung 26 soweit wie möglich reduziert wird.
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Wenn bei der vorliegenden Ausführungsform die Gruppe von Kandidatenwerten mit der kleinsten Abweichung von den N Gruppen von Kandidatenwerten, die in der Vergangenheit ausgewählt wurden, ausgewählt wird und die Werte der verschiedenen Parameter auf die ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten geändert werden, steuert der Parameterwerteinstellabschnitt 48 die Benachrichtigungseinheit 52 so, dass sie eine Benachrichtigung für die Bedienperson der Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 ausgibt. Die Bedienperson kann aufmerksam gemacht werden, dass die Vibrationsisoliereigenschaften des aktiven Dämpfers 10 nicht optimal sind.
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{Zweite Ausführungsform}
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4 ist eine schematische Ansicht einer Präzisionsmessvorrichtung 60, die auf dem aktiven Dämpfer 10 platziert ist.
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Die Präzisionsmessvorrichtung 60 ist eine Vorrichtung, die die Form des Werkstücks 14 dreidimensional mit einer Präzision von 10 nm oder weniger misst. Die Präzisionsmessvorrichtung 60 umfasst einen Drehtisch 62, auf dem das Werkstück 14 in einer anbringbaren/lösbaren Weise fixiert ist, und einen Sensor 64, der das Werkstück 14 während der dreidimensionalen Messung berührt.
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Der Drehtisch 62 wird durch die Basisplattform 24 getragen. Der Drehtisch 62 umfasst einen Vakuumspannfutter 66, und das Werkstück 14 wird mit dem Vakuumspannfutter 22 an dem Drehtisch 62 fixiert. Der Drehtisch 62 wird durch einen Q-Achsen-Servomotor 68 in einer auf einer Q-Achse zentrierten Drehrichtung angetrieben. Zwischen der Basisplattform 24 und dem Drehtisch 62 ist ein Fluidlager vorgesehen, so dass es zwischen der Basisplattform 24 und dem Drehtisch 62 nur eine geringe Reibung gibt.
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Der Sensor 64 wird durch einen beweglichen Y-Achsen-Abschnitt 70, eine Y-Achsen-Führung 72, einen beweglichen Z-Achsen-Abschnitt 74 und eine Z-Achsen-Führung 76 getragen. Der bewegliche Y-Achsen-Abschnitt 76 wird durch einen Y-Achsen-Servomotor 78 entlang der an der Basisplattform 24 fixierten Y-Achsen-Führung 76 in der Y-Achsen-Richtung angetrieben. Der bewegliche Z-Achsen-Abschnitt 74 wird durch einen Z-Achsen-Servomotor 80 entlang der an dem beweglichen Y-Achsen-Abschnitt 70 fixierten Z-Achsen-Führung 76 in der Z-Achsen-Richtung angetrieben. Der Sensor 64 ist an dem beweglichen Z-Achsen-Abschnitt 74 fixiert. Zwischen der Y-Achsen-Führung 72 und dem beweglichen Y-Achsen-Abschnitt 70 ist ein Fluidlager vorgesehen, so dass es zwischen der Y-Achsen-Führung 72 und dem beweglichen Y-Achsen-Abschnitt 70 nur eine geringe Reibung gibt. Zwischen der Z-Achsen-Führung 76 und dem beweglichen Z-Achsen-Abschnitt 74 ist ein Fluidlager vorgesehen, so dass es zwischen der Z-Achse-Führung 76 und dem beweglichen Z-Achsen-Abschnitt 74 nur eine geringe Reibung gibt.
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Der aktive Dämpfer 10 ist eine Vibrationsisoliervorrichtung und verringert Vibrationen, die von der Bodenfläche 36 auf die Präzisionsmessvorrichtung 60 übertragen werden.
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5 ist ein Steuerblockdiagramm der Präzisionsmessvorrichtung 60, des aktiven Dämpfers 10 und einer Messsteuervorrichtung 82.
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Die Präzisionsmessvorrichtung 60 umfasst zusätzlich zu den oben beschriebenen Aufbauelementen eine lineare Y-Achsen-Skala 84, eine lineare Z-Achsen-Skala 86 und einen Q-Achsen-Encoder (Geber) 88. Die lineare Y-Achsenskala 84 ist eine Vorrichtung, die die Position des beweglichen Y-Achsen-Abschnitts 70 auf der Y-Achsen-Führung 72 detektiert. Die lineare Z-Achsen-Skala 86 ist eine Vorrichtung, die die Position des beweglichen Z-Achsen-Abschnitts 74 auf der Z-Achsen-Führung 76 detektiert. Der Q-Achsen-Encoder 88 ist eine Vorrichtung, die die Drehposition des Drehtischs 62 um die Q-Achse detektiert. Die Auflösungen der linearen Y-Achsen-Skala 84 und der linearen Z-Achsen-Skala 86 sind kleiner oder gleich 10 nm, und die Auflösung des Q-Achsen-Encoders 88 ist kleiner oder gleich 1/10.000°.
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Der hier verwendete aktive Dämpfer 10 ist der gleiche wie der aktive Dämpfer 10 bei der ersten Ausführungsform. Die Messsteuervorrichtung 82 umfasst den Servomotorsteuerabschnitt 46, den Parameterwerteinstellabschnitt 48, die Speichereinheit 50 und die Benachrichtigungseinheit 52 in der gleichen Weise wie die CNC 38 der ersten Ausführungsform.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform stellt die Messsteuervorrichtung 82 die Werte der verschiedenen Parameter ein, indem ein Prozess durchgeführt wird, der dem Parameterwerteinstellprozess der ersten Ausführungsform ähnlich ist.
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{Andere Ausführungsformen}
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Bei den ersten und zweiten Ausführungsformen wird der Parameterwerteinstellprozess in einem Zustand durchgeführt, wenn die beweglichen Abschnitte (die Spindel 16, der bewegliche X-Achsen-Abschnitt 22, der bewegliche Z-Achsen-Abschnitt 30, der Drehtisch 62, der bewegliche Y-Achsen-Abschnitt 70 und der bewegliche Z-Achsen-Abschnitt 74) durch den Servomotorsteuerabschnitt 46 an den Befehlspositionen angehalten werden. Stattdessen kann der Parameterwerteinstellprozess in einem Zustand durchgeführt werden, in dem die beweglichen Abschnitte so gesteuert werden, dass sie sich bewegen. In einem Fall, wenn die beweglichen Abschnitte so gesteuert werden, dass sie sich auch bewegen, sollten die Werte der verschiedenen Parameter so eingestellt werden, dass die Abweichungen zwischen den Befehlspositionen und den tatsächlichen Positionen relativ zu den jeweiligen Achsen der beweglichen Abschnitte kleiner sind als die vorgeschriebenen Werte. Wenn die Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 und/ oder die Präzisionsmessvorrichtung 60 das Werkstück 14 bearbeiten und/oder vermessen, bewegen sich die beweglichen Abschnitte. Durch Durchführen des Parameterwerteinstellprozesses in einem Zustand, wenn die beweglichen Abschnitte so gesteuert werden, dass sie sich bewegen, können daher die Vibrationsisoliereigenschaften des aktiven Dämpfers 10 in einer Weise eingestellt werden, dass die Vibration der beweglichen Abschnitte relativ zu den Achsen während der Bearbeitung und/oder Messung weiter reduziert wird.
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In einem Fall, wenn der bewegliche Z-Achsen-Abschnitt 74 sich auf den mehreren linearen Achsen der Y-Achsen-Führung 72 und der Z-Achsen-Führung 76 bewegt, so wie bei der Präzisionsmessvorrichtung 60 der zweiten Ausführungsform, kann außerdem die Differenz zwischen der resultierenden Position, die durch Überlagerung der Befehlspositionen auf den jeweiligen linearen Achsen erhalten wird, und der resultierenden Position, die durch Überlagerung der tatsächlichen Positionen des beweglichen Z-AchsenAbschnitts74 auf den jeweiligen linearen Achsen erhalten wird, als die Abweichung verwendet werden.
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Außerdem kann bei der Präzisionsbearbeitungsmaschine 12 gemäß der ersten Ausführungsform der Parameterwerteinstellprozess durchgeführt werden, wenn der bewegliche X-Achsen-Abschnitt 22 und der bewegliche Z-Achsen-Abschnitt 30 innerhalb eines Bereichs positioniert sind, in dem sich der bewegliche X-Achsen-Abschnitt 22 und der bewegliche Z-Achsen-Abschnitt 34 während der Bearbeitung des Werkstücks 14 auf der X-Achsen-Führung 26 und der Z-Achsen-Führung 34 bewegen. Beispielsweise wird für die Positionssteuerung des beweglichen X-Achsen-Abschnitts 22 und des beweglichen Z-Achsen-Abschnitts 30 ein hoher Grad an Positionspräzision während der Bearbeitung des Werkstücks 14 angestrebt. Ein solch hoher Grad an Positionspräzision ist während des Austauschs des Werkstücks 14 oder des Werkzeugs 18 jedoch nicht notwendig. Wenn der bewegliche X-Achsen-Abschnitt 22 und der bewegliche Z-Achsen-Abschnitt 30 innerhalb eines Bereichs positioniert sind, in dem sich der bewegliche X-Achsen-Abschnitt 22 und der bewegliche Z-Achsen-Abschnitt 30 während der Bearbeitung des Werkstücks 14 auf der X-Achsen-Führung 26 und der Z-Achsen-Führung 34 bewegen, wird der Parameterwerteinstellprozess durchgeführt. Dadurch ist es möglich, die Vibrationen während der Bearbeitung des Werkstücks 14 weiter zu reduzieren.
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Außerdem können die Vibrationen, die durch die untere Vibrationserfassungseinheit 54 und die obere Vibrationserfassungseinheit 56 erfasst werden, dazu verwendet werden, die Angemessenheit der Vibrationsumgebung an einer Stelle zu bewerten, an der der aktive Dämpfer 10 installiert ist, oder die Angemessenheit der Vibrationsisoliereigenschaften des aktiven Dämpfers 10 zu bewerten. Des Weiteren können die Vibrationen, die durch die untere Vibrationserfassungseinheit 54 und die obere Vibrationserfassungseinheit 56 erfasst werden, und die Vibrationen jedes beweglichen Abschnitts relativ zu der zugeordneten Achse in Kombination verwendet werden, um die Angemessenheit der Vibrationsumgebung an einer Stelle zu bewerten, an der der aktive Dämpfer 10 installiert ist, oder um die Angemessenheit der Vibrationsisoliereigenschaften des aktiven Dämpfers 10 zu bewerten.
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{Technische Konzepte, die sich aus den Ausführungsformen ergeben}
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Nachfolgend erfolgt eine Beschreibung von technischen Konzepten, die sich aus den oben beschriebenen Ausführungsformen ableiten lassen.
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Ein Verfahren zum Einstellen eines Parameters zum Anpassen von Vibrationsisoliereigenschaften einer Vibrationsisoliervorrichtung (10), das durch eine Steuervorrichtung (38, 82) durchgeführt wird, wobei eine Vorrichtung (12, 60) mit wenigstens einer Achse und einem beweglichen Abschnitt, der auf der Achse durch einen Servomotor (21, 29, 32, 68, 78, 80) angetrieben wird, auf der Vibrationsisoliervorrichtung angeordnet ist, wobei die Steuervorrichtung die Vorrichtung steuert und wobei die Steuervorrichtung eine Speichereinheit (50) aufweist, die dazu ausgestaltet ist, mehrere Gruppen von Kandidatenwerten von Parametern zum Einstellen der Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung zu speichern, wobei jede der Gruppen von Kandidatenwerten Kandidatenwerte jeweiliger Parametertypen enthält, wobei das Parametereinstellverfahren einen Servomotorsteuerschritt zum Steuern des Servomotors zum Positionieren des beweglichen Abschnitts an einer Befehlsposition aufweist, und einen Parameterwertänderungsschritt um dann, wenn die Größe einer Abweichung, d. h. einer Differenz zwischen der Befehlsposition und einer tatsächlichen Position des beweglichen Abschnitts, größer oder gleich einem vorgeschriebenen Wert während der Betätigung der Vibrationsisoliervorrichtung ist, eine nicht ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten aus den mehreren Gruppen von Kandidatenwerten auszuwählen und die Werte der jeweiligen Parametertypen der Vibrationsisoliervorrichtung auf die ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten zu ändern, und dann, wenn die Größe der Abweichung kleiner ist als der vorgeschriebene Wert, die Werte der jeweiligen Parametertypen nicht zu ändern, wobei nach dem Abschluss des Parameterwerteinstellschritts der Parameterwerteinstellschritt wiederholt wird, bis die Größe der Abweichung kleiner wird als der vorgeschriebene Wert. Auf diese Weise können die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung so eingestellt werden, dass es möglich ist, die Vibrationen des beweglichen Abschnitts relativ zu der Achse in ausreichendem Maße zu reduzieren.
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Bei dem Parametereinstellverfahren umfasst der Parameterwerteinstellschritt dann, wenn die Größe der Abweichung größer oder gleich dem beschriebenen Wert ist und es keine nicht ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten gibt, das Ändern der Werte der jeweiligen Parametertypen der Vibrationsisoliervorrichtung auf die Gruppe von Kandidatenwerten, für welche die Abweichung am geringsten ist. Auch wenn die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung nicht optimiert werden können, können auf diese Weise die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung immer noch in einer Weise angepasst werden, dass die Vibration des beweglichen Abschnitts relativ zu der Achse so weit wie möglich reduziert wird.
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Das Parametereinstellverfahren umfasst außerdem einen Benachrichtigungsschritt zur Ausgabe einer Benachrichtigung, wenn die Größe der Abweichung größer oder gleich dem vorgeschriebenen Wert ist und es keine nicht ausgewählten Gruppen von Kandidatenwerten gibt. Auf diese Weise kann die Bedienperson der Vorrichtung darauf aufmerksam gemacht werden, dass die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung nicht optimal sind.
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Bei dem Parametereinstellverfahren ist die Achse eine lineare Achse, auf der der bewegliche Abschnitt in einer Richtung angetrieben wird, in der sich die Achse erstreckt, oder eine Drehachse, um welche der bewegliche Abschnitt in einer Drehrichtung angetrieben wird, wobei die Achse im Zentrum liegt. Die Präzision der Abweichung ist kleiner oder gleich 10 nm oder kleiner oder gleich 1/10.000°. Auf diese Weise ist es möglich, die Vibration bei einer Vorrichtung, wie einer Präzisionsbearbeitungsmaschine oder auch einer Präzisionsmessvorrichtung, in ausreichendem Maße zu reduzieren.
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Bei dem Parametereinstellverfahren ist die Vorrichtung eine Bearbeitungsmaschine, die ein Werkstück (14) bearbeitet, und die Abweichung ist eine Differenz zwischen der Befehlsposition und der tatsächlichen Position, wenn der bewegliche Abschnitt innerhalb eines Bereichs positioniert ist, in dem der bewegliche Abschnitt sich auf der Achse bewegt, während die Bearbeitungsmaschine das Werkstück bearbeitet. Auf diese Weise können die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung in einer Weise angepasst werden, dass die Vibrationen des beweglichen Abschnitts relativ zu der Achse während der Bearbeitung mit der Bearbeitungsmaschine reduziert werden.
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Bei dem Parametereinstellverfahren ist die Achse eine lineare Achse, auf der der bewegliche Abschnitt in einer Richtung angetrieben wird, in der sich die Achse erstreckt, und die Abweichung ist eine Differenz zwischen der Befehlsposition und der tatsächlichen Position, wenn der Servomotor so gesteuert wird, dass er den beweglichen Abschnitt an der Befehlsposition innerhalb eines Bereichs der linearen Achse anhält. Auf diese Weise können die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung in einer Weise eingestellt werden, dass die Vibrationen des beweglichen Abschnitts relativ zu der Achse mit Hilfe der Abweichung mit hoher Präzision in ausreichendem Maße reduziert werden.
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Bei dem Parametereinstellverfahren ist die Achse eine lineare Achse, auf der der bewegliche Abschnitt in einer Richtung angetrieben wird, in der sich die Achse erstreckt, der bewegliche Abschnitt wird auf mehreren linearen Achsen angetrieben, und die Abweichung ist eine Differenz zwischen der Befehlsposition und der tatsächlichen Position auf jeder der linearen Achsen, wenn der Servomotor so gesteuert wird, dass er den beweglichen Abschnitt auf jeder der linearen Achsen zu der Befehlsposition bewegt. Auf diese Weise können die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung in einer Weise eingestellt werden, dass die Vibrationen des beweglichen Abschnitts relativ zu der Achse reduziert werden, wenn sich der bewegliche Abschnitt bewegt.
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Bei dem Parametereinstellverfahren ist die Achse eine lineare Achse, auf der der bewegliche Abschnitt in einer Richtung angetrieben wird, in der sich die Achse erstreckt, der bewegliche Abschnitt wird auf mehreren linearen Achsen angetrieben, und die Abweichung ist eine Differenz zwischen einer resultierenden Position, die durch Überlagerung der tatsächlichen Positionen auf den jeweiligen linearen Achsen erhalten wird, und einer resultierenden Position, die durch Überlagerung der Befehlspositionen auf den jeweiligen linearen Achsen erhalten wird, wenn der Servomotor so gesteuert wird, dass er den beweglichen Abschnitt auf jeder der linearen Achsen zu der Befehlsposition bewegt. Auf diese Weise können die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung so eingestellt werden, dass die Vibration des beweglichen Abschnitts relativ zu der Achse reduziert wird, wenn sich der bewegliche Abschnitt bewegt.
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Eine Steuervorrichtung (38, 82) für eine Vorrichtung (12, 60) mit wenigstens einer Achse, die an einer Vibrationsisoliervorrichtung (10) vorgesehen ist, und einem beweglichen Abschnitt, der auf der Achse durch einen Servomotor (21, 29, 32, 68, 78, 80) angetrieben wird, wobei die Steuervorrichtung eine Speichereinheit (50) aufweist, die dazu ausgestaltet ist, mehrere Gruppen von Kandidatenwerten von Parametern zum Einstellen von Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung zu speichern, wobei jede der Gruppen von Kandidatenwerten Kandidatenwerte für jeweilige Parametertypen enthält, einen Servomotorsteuerabschnitt (46), der dazu ausgestaltet ist, den Servomotor so zu steuern, dass er den beweglichen Abschnitt an einer Befehlsposition positioniert, und einen Parameterwerteinstellabschnitt (48), der dazu ausgestaltet ist, dann, wenn die Größe einer Abweichung, d. h. eine Differenz zwischen der Befehlsposition und einer tatsächlichen Position des beweglichen Abschnitts, größer oder gleich einem vorgeschriebenen Wert während der Betätigung der Vibrationsisoliervorrichtung ist, eine nicht ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten aus den mehreren Gruppen von Kandidatenwerten auszuwählen und die Werte der jeweiligen Parametertypen der Vibrationsisoliervorrichtung auf die ausgewählte Gruppe von Kandidatenwerten zu ändern, und dann, wenn die Größe der Abweichung kleiner ist als der vorgeschriebene Wert, die Werte der jeweiligen Parametertypen nicht zu ändern, wobei der Parameterwerteinstellabschnitt dazu ausgestaltet ist, die Änderung der Werte der jeweiligen Parametertypen zu wiederholen, bis die Größe der Abweichung kleiner wird als der vorgeschriebene Wert. Auf diese Weise können die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung so eingestellt werden, dass die Vibration des beweglichen Abschnitts relativ zu der Achse in ausreichendem Maße reduziert wird.
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Wenn bei der Steuervorrichtung die Größe der Abweichung größer oder gleich dem vorgeschriebenen Wert ist und es keine nicht ausgewählten Gruppen von Kandidatenwerten gibt, ändert der Parameterwerteinstellabschnitt die Werte der jeweiligen Parametertypen der Vibrationsisoliervorrichtung auf die Gruppe von Kandidatenwerten, für welche die Abweichung am kleinsten ist. Auch wenn die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung nicht optimiert werden können, können auf diese Weise die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung immer noch in einer Weise angepasst werden, dass die Vibration des beweglichen Abschnitts relativ zu der Achse so weit wie möglich reduziert wird.
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Die Steuervorrichtung umfasst außerdem eine Benachrichtigungseinheit (52), die dazu ausgestaltet ist, eine Benachrichtigung auszugeben, wenn die Größe der Abweichung größer oder gleich dem vorgeschriebenen Wert ist und es keine nicht ausgewählten Gruppen von Kandidatenwerten gibt. Auf diese Weise kann die Bedienperson der Vorrichtung darauf aufmerksam gemacht werden, dass die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung nicht optimal sind.
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Bei der Steuervorrichtung ist die Achse eine lineare Achse, auf der der bewegliche Abschnitt in einer Richtung angetrieben wird, in der sich die Achse erstreckt, oder eine Drehachse, um welche der bewegliche Abschnitt in einer Drehrichtung angetrieben wird, wobei die Achse im Zentrum liegt, und die Präzision der Abweichung ist kleiner oder gleich 10 nm, oder kleiner oder gleich 1/10.000°. Auf diese Weise ist es möglich, die Vibration auch für eine Vorrichtung, wie eine Präzisionsbearbeitungsmaschine oder eine Präzisionsmessmaschine, in ausreichendem Maße zu reduzieren.
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Bei der Steuervorrichtung ist die Vorrichtung eine Bearbeitungsmaschine, die ein Werkstück (14) bearbeitet, und die Abweichung ist eine Differenz zwischen der Befehlsposition und der tatsächlichen Position, wenn der bewegliche Abschnitt innerhalb eines Bereichs positioniert ist, an dem sich der bewegliche Abschnitt auf der Achse bewegt, während die Bearbeitungsmaschine das Werkstück bearbeitet. Auf diese Weise können die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung so angepasst werden, dass die Vibration des beweglichen Abschnitts relativ zu der Achse während der Bearbeitung durch die Bearbeitungsmaschine verringert wird.
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Bei der Steuervorrichtung ist die Achse eine lineare Achse, auf der der bewegliche Abschnitt in einer Richtung angetrieben wird, in der sich die Achse erstreckt, und die Abweichung ist eine Differenz zwischen der Befehlsposition und der tatsächlichen Position, wenn der Servomotor so gesteuert wird, dass er den beweglichen Abschnitt an der Befehlsposition innerhalb eines Bereichs der linearen Achse anhält. Auf diese Weise können die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung so angepasst werden, dass die Vibrationen des beweglichen Abschnitts relativ zu der Achse mit Hilfe einer Abweichung mit hoher Präzision in ausreichendem Maße reduziert werden können.
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Bei der Steuervorrichtung ist die Achse eine lineare Achse, auf der der bewegliche Abschnitt in einer Richtung angetrieben wird, in der sich die Achse erstreckt, der bewegliche Abschnitt wird auf mehreren linearen Achsen angetrieben, und die Abweichung ist eine Differenz zwischen einer resultierenden Position, die durch Überlagerung der tatsächlichen Positionen auf den jeweiligen linearen Achsen erhalten wird, und einer resultierenden Position, die durch Überlagerung der Befehlspositionen auf den jeweiligen linearen Achsen erhalten wird, wenn der Servomotor so gesteuert wird, dass er den beweglichen Abschnitt auf jeder der linearen Achsen zu der Befehlsposition bewegt. Auf diese Weise können die Vibrationsisoliereigenschaften der Vibrationsisoliervorrichtung so angepasst werden, dass die Vibrationen des beweglichen Abschnitts relativ zu der Achse reduziert werden, wenn sich der bewegliche Abschnitt bewegt.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- JP 2014 [0002]
- JP 043946 A [0002]
