WO2013153604A1 - 電子銃装置 - Google Patents
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Definitions
- the other pole piece has a pair of plate-like members made of a magnetic material, and the pair of plate-like members are arranged in a state of being spaced apart from each other in the horizontal direction. And the other pole piece further deflects the electron beam that has come out of the case by a magnetic field formed between the pair of plate-like members to form a pair of permanent magnets for forming the magnetic field.
- a magnet is located in the gap, and one of the pair of permanent magnets is in contact with one plate member of the pair of plate members, and the other permanent magnet is It is even more desirable that it is in contact with the other plate-like member.
- the other pole piece that is, the pole piece extending in the horizontal direction toward the accommodating portion at the upper position of the accommodating portion, in deflecting the electron beam toward the vapor deposition material in the accommodating portion,
- the magnetic field applied to the electron beam can be appropriately formed.
- the other pole piece has a pair of plate-like members made of a magnetic material, and the pair of plate-like members are arranged in a state of being spaced apart from each other in the horizontal direction.
- the other pole piece further deflects the electron beam that has come out of the case by a magnetic field formed between the pair of plate-like members, and an electromagnet for forming the magnetic field
- the electromagnet may be located in the gap, and may be in contact with both the pair of plate-like members.
- the pole piece extending in the horizontal direction toward the housing portion at the upper position of the housing portion is formed in the housing portion in the same manner as the case in which the pair of permanent magnets or at least one permanent magnet is provided.
- the first pole piece 11 is constituted by a pair of plate-like members 11a and 11b made of a ferromagnetic material as shown in FIG. In the inner space of 10, it is arrange
- Each of the pair of plate-like members 11a and 11b constituting the first pole piece 11 is arranged in a horizontal direction with a gap therebetween as shown in FIG. 2, and via a yoke material (not shown) made of a ferromagnetic material. It is in contact with a permanent magnet (not shown). As a result, a magnetic field for deflecting the electron beam EB is formed between the plate-like members 11a and 11b.
- the pole piece extending in the horizontal direction toward the crucible 3 at a position above the crucible 3, that is, the third pole piece 13 is provided, so that the vapor deposition material in the crucible 3 is provided. It is possible to adjust the irradiation position of the electron beam EB to a desired position. Further, since the third pole piece 13 is provided, the electron beam EB is incident on the opening surface of the crucible 3 substantially perpendicularly. As a result, the shape of the melting mark of the vapor deposition material in the crucible 3 becomes an ideal shape of the melting mark, that is, a shape in which the center portion of the surface of the vapor deposition material is irradiated substantially uniformly as shown in FIG. In such a state, the vapor deposition material in the crucible 3 is appropriately heated and evaporated, so that it can be effectively used as a film forming material.
- the shunt rod 16 is configured to be movable in a direction that intersects the direction in which the pair of permanent magnets 14a and 14b are arranged in the horizontal direction, specifically, the direction indicated by the arrow in FIG. Yes.
- the shunt rod 16 can be slid in the direction of the arrow in FIG. 3 so as to slide relative to the permanent magnets 14a and 14b between the pair of permanent magnets 14a and 14b.
- the shunt rod 16 may be moved while a person holds the shunt rod 16 or a driving mechanism (not shown) having an operation unit such as a handle operated by a hand is provided.
- the above-described drive mechanism may move the shunt rod 16 by a distance corresponding to the operation amount.
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Abstract
Description
また、本発明の他の目的は、上記のポールピースを備えた構成であっても、収容部から発生する蒸着粒子が当該ポールピースに付着することに起因して生じる不具合を抑制することが可能な電子銃装置を提供することである。
以上のように、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースを、上下方向においてカバーの非切り欠き部と重ねて配置すれば、上記のポールピースが、切り欠き部の下に位置する収容部、すなわち、電子ビームが照射された蒸着材料を収容する収容部から水平方向に離間するようになる。これにより、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースに蒸着粒子が付着し難くなり、蒸着粒子が上記のポールピースに付着することに起因して生じる不具合を抑制することが可能となる。
収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースに対して仮に蒸着粒子が付着したとしても、上記のポールピースがカバーの非切り欠き部の下に配置することにより、当該付着物の飛散を効果的に防止することが可能になる。
以上の構成により、他のポールピース、すなわち、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースは、収容部内の蒸着材料に向かうように電子ビームを偏向する上で、電子ビームに印加する磁界を適切に形成することが可能になる。
上記の調整部材が設けられることにより、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが形成する磁界の強度を調整することができ、例えば、当該磁界の初期調整や経時変化に伴って要する再調整を適切に行うことが可能になる。
なお、磁界の強度調整は、上記の調整部材を水平方向において一対の永久磁石が並ぶ方向と交差する方向に移動させて一対の永久磁石間の透磁率を変えることによって行われる。このように上記の構成であれば、調整部材のスライド移動を通じて磁界の強度を容易に調整することができる。
以上の構成では、上述した一対の永久磁石が設けられているケースと同様、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが収容部内の蒸着材料に向かうように電子ビームを偏向する上で、電子ビームに印加する磁界を適切に形成することが可能になる。
以上の構成であれば、少なくとも1個以上の永久磁石を水平移動させることにより、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが形成する磁界の強度を容易に調整することができる。
以上の構成であれば、板状部材間に少なくとも1個以上の永久磁石が設けられているケースにおいて、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが形成する磁界の強度を容易に調整することができる。
以上の構成では、上述した一対の永久磁石や少なくとも1個以上の永久磁石が設けられているケースと同様、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが収容部内の蒸着材料に向かうように電子ビームを偏向する上で、電子ビームに印加する磁界を適切に形成することが可能になる。
以上の構成であれば、板状部材間に電磁石が設けられているケースにおいて、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが形成する磁界の強度を容易に調整することができる。
請求項2に係る電子銃装置によれば、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースに蒸着粒子が付着し難くなり、蒸着粒子が上記のポールピースに付着することに起因して生じる不具合を抑制することが可能となる。
請求項3に係る電子銃装置によれば、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースを、電子ビームが当たらない位置に配置させることにより、電子ビームが照射される位置にある収容部から発生した蒸着粒子が付着してしまうのをより効果的に抑制することができる。
請求項4に係る電子銃装置によれば、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが、収容部内の蒸着材料に向かうように電子ビームを偏向する上で、電子ビームに印加する磁界を適切に形成することができる。
請求項5に係る電子銃装置によれば、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが形成する磁界の強度について、初期調整や経時変化に伴って要する再調整を適切に行うことができる。なお、調整部材のスライド移動を通じて磁界強度を容易に調整することができる。
請求項6に係る電子銃装置によれば、請求項4に係る電子銃装置と同様、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが収容部内の蒸着材料に向かうように電子ビームを偏向する上で、電子ビームに印加する磁界を適切に形成することが可能になる。
請求項7に係る電子銃装置によれば、少なくとも1個以上の永久磁石を水平移動させることにより、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが形成する磁界の強度を容易に調整することができる。
請求項8に係る電子銃装置によれば、板状部材間に少なくとも1個以上の永久磁石が設けられているケースにおいて、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが形成する磁界の強度を容易に調整することができる。
請求項9に係る電子銃装置によれば、請求項4や6に係る電子銃装置と同様、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが収容部内の蒸着材料に向かうように電子ビームを偏向する上で、電子ビームに印加する磁界を適切に形成することが可能になる。
請求項10に係る電子銃装置によれば、板状部材間に電磁石が設けられているケースにおいて、収容部の上方位置で収容部に向かって水平方向に延出したポールピースが形成する磁界の強度を容易に調整することができる。
図10は、本実施形態において電子ビームEBをるつぼ3内の蒸着材料に照射したときの溶け跡を示す図である。同図に示すケースは、蒸着材料としてZrO2を用いており、図中のハッチングを掛けた部分が溶け跡に相当する部分である。
なお、ハース4については、銅などの熱伝導性の高い金属で形成され、不図示の水冷装置により直接的または間接的に冷却されている。
以上のように、図11に示すケースでは、横長の永久磁石17を水平移動させたり、調整部材18を永久磁石17に接触させたりすることにより、第3のポールピース13が形成する磁界の強度を容易に調整することができる。
2 電子銃装置本体
3 るつぼ
4 ハース
5 ハースカバー
5a 切り欠き部
5b 非切り欠き部
6 ハース駆動機構
7 電子ビーム出射機構
8 フィラメント
9 スキャンコイル
10 ケース
10a 開口
11 第1のポールピース
11a,11b 板状部材
12 第2のポールピース
12a,12b 板状部材
13 第3のポールピース
13a,13b 板状部材
14a,14b 永久磁石
15a,15b ヨーク材
16 シャント棒
17 永久磁石
18 調整部材
19 電磁石
101a,101b ポールピース
102 電子銃本体部
103 るつぼ
104 ケース
104a 開口
201a,201b,201c,201d ポールピース
202 電子銃本体部
203 るつぼ
204 ケース
EB 電子ビーム
S 空隙
Claims (10)
- 蒸着材料を収容する収容部と、
該収容部内の前記蒸着材料を加熱蒸発するために電子ビームを出射する電子ビーム出射機構と、
該電子ビーム出射機構を内部に収容するケースと、
該ケースに固定された状態で、前記電子ビーム出射機構から出射された前記電子ビームを前記収容部内の前記蒸着材料に向かうように偏向するポールピースと、
前記収容部内の前記蒸着材料に対する前記電子ビームの照射位置を調整するために、前記ポールピースが偏向した後に、前記ケース外へ出てきた前記電子ビームを更に偏向する他のポールピースと、を備え、
該他のポールピースは、前記収容部の上方位置に配置された状態で前記収容部に向かって水平方向に延出しているとともに、前記ケース外に位置し、かつ、前記ケースから分離していることを特徴とする電子銃装置。 - 前記収容部の上方位置に配置され、前記収容部を露出させるために切り欠かれた切り欠き部を有し、該切り欠き部以外の非切り欠き部にて、前記収容部を覆うカバーと、を更に備え、
前記他のポールピースは、前記カバーの前記非切り欠き部と上下方向において重なる位置に配置されており、前記切り欠き部の下に位置する前記収容部内の前記蒸着材料に向かうように、前記ケース外へ出てきた前記電子ビームを偏向することを特徴とする請求項1に記載の電子銃装置。 - 前記他のポールピースは、前記カバーの前記非切り欠き部の下に位置するように前記カバーに固定されていることを特徴とする請求項2に記載の電子銃装置。
- 前記他のポールピースは、磁性体からなる一対の板状部材を有し、
該一対の板状部材は、水平方向において隙間を隔てて並んだ状態で配置されており、
前記他のポールピースは、前記一対の板状部材の間に形成される磁界により、前記ケース外へ出てきた前記電子ビームを更に偏向し、
前記磁界を形成するための一対の永久磁石が前記隙間内に位置しており、該一対の永久磁石のうち、一方の永久磁石は、前記一対の板状部材のうち、一方の板状部材に当接しており、他方の永久磁石は、他方の板状部材に当接していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電子銃装置。 - 前記一対の永久磁石の間に、前記磁界の強度を調整するための調整部材が配置されており、
該調整部材が、水平方向において前記一対の永久磁石が並ぶ方向と交差する方向に移動することにより、前記一対の永久磁石間の透磁率が変わって前記磁界の強度が調整されることを特徴とする請求項4に記載の電子銃装置。 - 前記他のポールピースは、磁性体からなる一対の板状部材を有し、
該一対の板状部材は、水平方向において隙間を隔てて並んだ状態で配置されており、
前記他のポールピースは、前記一対の板状部材の間に形成される磁界により、前記ケース外へ出てきた前記電子ビームを更に偏向し、
前記磁界を形成するための少なくとも1個以上の永久磁石が前記隙間内に位置しており、該少なくとも1個以上の永久磁石は、前記一対の板状部材の双方に当接していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電子銃装置。 - 前記少なくとも1個以上の永久磁石が、水平方向において前記一対の板状部材が並ぶ方向と交差する方向に移動することにより、前記磁界の強度が調整されることを特徴とする請求項6に記載の電子銃装置。
- 前記少なくとも1個以上の永久磁石に接触することにより前記磁界の強度を調整するための調整部材が更に設けられていることを特徴とする請求項6又は7に記載の電子銃装置。
- 前記他のポールピースは、磁性体からなる一対の板状部材を有し、
該一対の板状部材は、水平方向において隙間を隔てて並んだ状態で配置されており、
前記他のポールピースは、前記一対の板状部材の間に形成される磁界により、前記ケース外へ出てきた前記電子ビームを更に偏向し、
前記磁界を形成するための電磁石が前記隙間内に位置しており、該電磁石は、前記一対の板状部材の双方に当接していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電子銃装置。 - 前記電磁石の巻線に流れる電流の大きさを変更することにより、前記磁界の強度が調整されることを特徴とする請求項9に記載の電子銃装置。
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NENP | Non-entry into the national phase |
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