JP4793725B2 - 蒸着用電子銃 - Google Patents
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Description
a.横設された1対のL字状の強磁性体からなるポールピース21a,21b
b.ポールピース21a,21bと触接して配設された、強磁性体からなる板状の回路形成部材22a,22b
c.回路形成部材22a,22bと触接して配設された、本体部10内より射出された電子ビームの軌道を微調整するための強磁性体からなる片支持屋根状のビーム軌道調整部材23a,23b
d.上記bおよびcの各構成要素の形状に対応した平面形状であって、図1(a)の上部カバー13とは異なる平面形状の非磁性体からなる上部カバー24
である。
11a,11b ポールピース
12a,12b 回路形成部材
13 上部カバー
14 開口
15a,15b 回路形成部材
21a,21b ポールピース
22a,22b 回路形成部材
23a,23b ビーム軌道調整部材
24 上部カバー
25 開口
30 本体部
31a,31b ポールピース
32 上部カバー
33 開口
34 フィラメント
41a,41b ポールピース
100 ルツボ
EB 電子ビーム
RE 反射電子
Claims (1)
- 単一の電子銃の本体部(10)を用い、前記本体部の内部より射出される電子ビーム(EB)を偏向するための立設されるポールピース(11a,11b)とその関連部材(12a,12b,13)、および前記本体部の内部より射出される電子ビームを偏向するための横設されるポールピース(21a,21b)とその関連部材(22a,22b,23a,23b,24)のうちのいずれの一方も前記本体部の上部に装着可能な蒸着用電子銃。
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JP2006244959A JP4793725B2 (ja) | 2006-09-11 | 2006-09-11 | 蒸着用電子銃 |
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