WO2013150813A1 - 撮像モジュール - Google Patents

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Definitions

  • the present invention relates to an imaging module including an imaging chip on which a light receiving portion of a solid-state imaging device is formed and a wiring board.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-192808 discloses an imaging module 110 in which a prism 150 is disposed on a light receiving unit 121 of a solid-state imaging device via a transparent member 140.
  • the bump 123 connected to the light receiving unit 121 via the internal wiring 124 and the connection electrode 122 is bonded to the bonding electrode 131 of the wiring board 130, thereby realizing a reduction in size.
  • the end face 130L of the wiring board 130 and the end face 120L of the imaging chip 120 are overlapped. For this reason, at the time of bonding, the positions of the bumps 123 and the bonding electrodes 131 located on the back surface of the wiring board 130 cannot be directly visually observed, so that accurate positioning may not be easy. Moreover, since heat is transferred to the periphery of the joint when performing thermal joining, it may not be easy to efficiently apply heat to the joint. For this reason, there existed a possibility that the reliability of a junction part might fall.
  • Embodiment of this invention aims at providing the imaging module with high reliability of the junction part of an imaging chip and a wiring board.
  • An imaging module includes an imaging chip in which a light receiving portion of an imaging element and a plurality of electrodes connected to the light receiving portion are formed on a main surface, and a flying lead joined to each of the plurality of electrodes. And a wiring board having.
  • a wiring board 30 and a prism 50 are bonded to the imaging chip 20.
  • a light receiving unit 21 of a solid-state imaging device and a plurality of electrodes 22 connected to the light receiving unit 21 via an internal wiring 24 are formed.
  • Each of the plurality of electrodes 22 is bonded to the flying lead 31 of the wiring board 30 via the bump 23.
  • the end surface 20 ⁇ / b> L on the rear end side of the imaging chip 20 and the end surface 30 ⁇ / b> L on the front end side of the wiring board 30 overlap each other.
  • the flying lead 31 is made of a conductor protruding from the end face 30L of the wiring board 30 by a predetermined amount, and is formed by removing an insulating layer covering the internal wiring of the wiring board 30. That is, the end face 30 ⁇ / b> L is an end face of the insulating layer of the wiring board 30.
  • the flying lead 31 is sealed with a sealing resin 35 together with the end face 30 ⁇ / b> L of the wiring board 30.
  • the prism 50 is an optical component that changes the direction of incident light so that incident light L from a direction parallel to the main surface 20SA of the imaging chip 20 enters the light receiving unit 21.
  • the prism 50 is bonded to the upper surface of the light receiving unit 21 via a transparent adhesive layer 40.
  • An imaging chip substrate is manufactured by forming a plurality of light receiving portions 21 and a plurality of electrodes 22 connected to the respective light receiving portions 21 by a known semiconductor process on the main surface 20SA of the silicon wafer. Then, the imaging chip substrate is cut to produce a plurality of imaging chips 20.
  • the adhesive layer 40 that joins the prism 50 to the light receiving portion 21 of the imaging chip is made of a transparent resin such as a UV curable resin or a thermosetting resin such as a silicone resin, an epoxy resin, or an acrylic resin. It is selected from the inside.
  • the electrical connection between the electrode 22 of the imaging chip 20 and the flying lead 31 of the wiring board 30 is performed by applying energy directly from above to the tip of the flying lead 31 while performing alignment.
  • the imaging module 10 is extremely small because it is disposed at the distal end of a small-diameter endoscope.
  • the prism 50 has a 1.0 mm square incident surface
  • the wiring board 30 has a major axis direction of 1.5 mm, a minor axis direction of 1.0 mm, and a thickness of 0.2 mm.
  • 50 ⁇ m square electrodes 22 are arranged with a space of 50 ⁇ m
  • the flying lead 31 has a width of 50 ⁇ m, a thickness of 20 ⁇ m, and a length of 200 ⁇ m.
  • the width of the flying lead 31 is substantially the same as or smaller than the size (width) of the electrode 22, the main surface 20SA is visually observed from above. Can be confirmed. That is, for example, the joining position can be adjusted while viewing the video image of the digital microscope. And in order to apply energy in the state with the position of the electrode 22 and the flying lead 31, it can join to a predetermined position reliably.
  • the imaging module 10 has a high reliability of the joint and a high manufacturing yield.
  • the reliability of the joint is higher than the joining using a conductive resin or the like.
  • the flying leads 31 may be joined one by one, or a plurality of flying leads 31 may be joined simultaneously. In any case, since heat is locally applied only to the front end portion of the flying lead 31, there is no possibility of damage to the light receiving portion 21 that is a semiconductor circuit.
  • the bonding surface of the flying lead 31 and the surface of the bump 23 are made of gold (Au), ultrasonic bonding is also possible. In ultrasonic bonding, since there is almost no need for heating, there is no possibility that the light receiving unit 21 is particularly damaged.
  • a sealing material resin 35 is disposed as a sealing portion that covers and seals the flying lead 31.
  • the sealing resin 35 contributes to protection of the flying lead 31 made of a metal conductor and improvement in connection strength between the imaging chip 20 and the wiring board 30.
  • thermosetting epoxy resin is used as the sealing resin 35. That is, after an uncured liquid resin is disposed so as to cover the flying leads 31 by, for example, a dispensing method, a thermosetting process at, for example, 80 ° C. to 120 ° C. is performed.
  • the curing temperature is set to be equal to or higher than a temperature necessary for sufficient curing of the resin and lower than a temperature at which the light receiving unit 21 is damaged.
  • thermosetting temperature of the sealing resin 35 is low, there is no possibility that the light receiving portion 21 is damaged.
  • a thermal curing method, a UV curing method, a UV curing method + thermal curing method, a UV curing method + a moisture curing method, a room temperature curing method, or the like is used depending on the resin Either is acceptable.
  • the imaging module 10 for an endoscope is inserted into an arrangement hole of a distal end member of the endoscope and fixed with an adhesive.
  • the space between the imaging module 10 and the arrangement hole is sealed with a sealing resin.
  • a filler having a high thermal conductivity is mixed in the adhesive and the sealing resin.
  • silica, metal powder, alumina, aluminum nitride or the like is used as the filler, and a silicone or acrylic resin is used as the resin.
  • a system is used.
  • the endoscope 1 having the imaging module 10 with high reliability at the joint between the imaging chip 20 and the wiring board 30 has high reliability.
  • the imaging module 10A of the second embodiment will be described. Since the imaging module 10A is similar to the imaging module 10, the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • an electronic component 32 is surface-mounted on the wiring board 30 of the imaging module 10A.
  • the sealing resin 35 is formed by a curing process of a liquid resin disposed between the prism 50 and the electronic component 32.
  • the electronic component 32 is disposed near the light receiving unit 21 for the primary processing of the imaging signal from the light receiving unit 21, for example.
  • the viscosity of the liquid resin if the viscosity of the liquid resin is high, a hollow portion tends to be formed on the lower surface side of the flying lead 31. On the other hand, when the viscosity of the liquid resin is low, the liquid resin tends to flow out, so that the thickness of the sealing resin 35 on the flying lead 31 tends to be thin.
  • the planar view shape of the electronic component 32 is substantially rectangular, it is preferable to arrange the electronic component 32 so that the major axis direction thereof is parallel to the end face 30L of the wiring board 30. Then, the side surface of the electronic component 32 becomes a wall and prevents the liquid resin from flowing out. That is, the liquid resin stays between the prism 50 and the electronic component 32. For this reason, it is easy to form the sealing resin 35 having a sufficient thickness also on the flying lead 31. In other words, the electronic component 32 can be provided with an additional function other than signal processing by using a predetermined arrangement.
  • the electronic component 32 for example, a chip-type capacitor can be preferably used.
  • the electronic component 32 may have a width (major axis dimension) substantially equal to the width of the sealing resin 35 (arrangement width of the plurality of electrodes 22). In the case of an electronic component having a small width, it is possible to prevent the liquid resin from flowing out by arranging a plurality of the electronic components connected together.
  • the imaging module 10A has the effect of the imaging module 10 and can reliably seal the flying lead 31 with the sealing resin 35, so that the reliability of the joint is higher.
  • the imaging module 10B of the third embodiment will be described. Since the imaging module 10B is similar to the imaging module 10 and the like, the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the end surface 20L of the imaging chip 20 and the end surface 30L of the wiring board 30 do not overlap.
  • the liquid resin spreads also on the back surface side of the flying lead 31 from the gap between the end surface 20L and the end surface 30L that do not overlap. For this reason, it is difficult to form a cavity on the back side of the flying lead 31.
  • the imaging module 10 ⁇ / b> B has the effects of the imaging module 10 and the like, and is more easily sealed with the sealing resin 35. Further, the strength of the flying lead 31 can be reinforced by the sealing resin 35.
  • an imaging module 10C according to the fourth embodiment will be described. Since the imaging module 10C is similar to the imaging module 10 and the like, the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the end face 20L of the imaging chip 20 and the end face 30L of the wiring board 30 do not overlap with each other, and the flying lead 31 is bent.
  • the imaging module 10C has the effects of the imaging module 10 and the like, and not only has a high bonding strength, but also has a high degree of design freedom and various structures.
  • an imaging module 10D of the fifth embodiment will be described. Since the imaging module 10D is similar to the imaging module 10 and the like, the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • electrodes 22D1 and 22D2 having different distances from the end face 20L are formed on the main surface of the imaging chip 20D, and the wiring board 30D has flying leads 31D1, 31D2.
  • the flying lead 31D1 having a length L1 is connected to the electrode 22D1 having a long distance from the end face 20L
  • the flying lead 31D2 having a length L2 is connected to the electrode 22D2 having a short distance from the end face 20L.
  • Electrodes 22D1 and 22D2 and flying leads 31D1 and 31D2 are alternately arranged.
  • the imaging module 10C has the effects of the imaging module 10 and the like, and is easy to manufacture because of the wide interval between the joints.

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Abstract

撮像モジュール１０は、撮像素子の受光部２１と受光部２１と接続された複数の電極２２とが主面に形成された撮像チップ２０と、複数の電極２２のそれぞれと接合されたフライングリード３１を有する配線板３０と、を具備する。

Description

撮像モジュール
　本発明は、固体撮像素子の受光部が形成された撮像チップと配線板とを具備する撮像モジュールに関する。
　特開２０１１－１９２８０８号公報には、固体撮像素子の受光部１２１に透明部材１４０を介してプリズム１５０を配設した撮像モジュール１１０が開示されている。そして、内部配線１２４および接続電極１２２を介して受光部１２１と接続されたバンプ１２３を、配線板１３０の接合電極１３１と接合することで、小型化を実現している。
　配線板１３０の端面１３０Ｌと、撮像チップ１２０の端面１２０Ｌとは、オーバーラップしている。このため、接合のときに、配線板１３０の裏面に位置するバンプ１２３および接合電極１３１の位置を直接、目視することはできないため、正確な位置決めが容易ではないことがあった。また、熱接合するときに熱が接合部の周囲に伝熱されるため、効率的に接合部に熱を印加することが容易ではないことがあった。このため、接合部の信頼性が低下するおそれがあった。
　なお、上記公報には、フライングリードを有する配線板は積極的に除外する旨が記載されている。
　本発明の実施形態は、撮像チップと配線板との接合部の信頼性が高い撮像モジュールを提供することを目的とする。
　本発明の実施形態の撮像モジュールは、撮像素子の受光部と前記受光部と接続された複数の電極とが主面に形成された撮像チップと、前記複数の電極のそれぞれと接合されたフライングリードを有する配線板と、を具備する。
従来の撮像モジュールの構成を示す断面図である。 第１実施形態の撮像モジュールの構成を示す断面図である。 第１実施形態の撮像モジュールの分解・組み立てを示す斜視図である。 第２実施形態の撮像モジュールの構成を示す断面図である。 第３実施形態の撮像モジュールの構成を示す断面図である。 第４実施形態の撮像モジュールの構成を示す断面図である。 第５実施形態の撮像モジュールの上面を示す平面図である。
＜第１実施形態＞
　図２および図３に示すように、実施形態の撮像モジュール１０は、撮像チップ２０に、配線板３０とプリズム５０とが接合されている。撮像チップ２０の主面２０ＳＡには、固体撮像素子の受光部２１と、受光部２１と内部配線２４を介して接続された複数の電極２２と、が形成されている。そして、複数の電極２２のそれぞれは、バンプ２３を介して、配線板３０のフライングリード３１と接合されている。なお、撮像モジュール１０では、撮像チップ２０の後端側の端面２０Ｌと配線板３０の先端側の端面３０Ｌとは、オーバーラップしている。
　フライングリード３１は、配線板３０の端面３０Ｌから所定量、突出した導体からなり、配線板３０の内部配線を覆う絶縁層を除去することで形成される。すなわち、端面３０Ｌは配線板３０の絶縁層の端面である。フライングリード３１は配線板３０の端面３０Ｌとともに、封止樹脂３５により封止されている。
　プリズム５０は、撮像チップ２０の主面２０ＳＡと平行方向からの入射光Ｌが受光部２１に入射するように、入射光の方向を変える光学部品である。プリズム５０は、透明な接着層４０を介して受光部２１の上面に接合されている。
　次に、撮像モジュール１０の製造方法を説明する。
　シリコンウエハの主面２０ＳＡに、公知の半導体プロセスにより、複数の受光部２１と、それぞれの受光部２１と接続された複数の電極２２、が形成されることで、撮像チップ基板が作製される。そして、撮像チップ基板が切断され、複数の撮像チップ２０が作製される。
　撮像チップの受光部２１に、プリズム５０を接合する接着層４０は、透明樹脂、例えば、シリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂、またはアクリル系樹脂等の、ＵＶ硬化型樹脂または熱硬化型樹脂等の、中から選択される。
　撮像チップ２０の電極２２と、配線板３０のフライングリード３１との電気的接合は、位置合わせを行いながら、フライングリード３１の先端部に上から直接、エネルギーを印加することで行われる。
　撮像モジュール１０は、細径の内視鏡の先端部に配設されるために、極めて小さい。例えば、プリズム５０は入射面が１．０ｍｍ角であり、配線板３０は長軸方向が１．５ｍｍ、短軸方向が１．０ｍｍ、厚さが０．２ｍｍである。そして、例えば、５０μｍ角の電極２２が５０μｍのスペースを介して列設されており、フライングリード３１は幅５０μｍ、厚さ２０μｍ、長さ２００μｍである。
　このため、正確な位置合わせが不可欠であるが、撮像モジュール１０では、フライングリード３１の幅が電極２２の大きさ（幅）と略同じ、又は、小さいため、上面から目視しながら主面２０ＳＡ上の接合位置を確認することができる。すなわち、例えば、デジタルマイクロスコープのビデオ画像を見ながら、接合位置を調整することができる。そして、電極２２とフライングリード３１との位置があった状態で、エネルギーを印加するために、確実に所定の位置に接合できる。
　このため、撮像モジュール１０は、接合部の信頼性が高く、かつ、製造歩留まりが高い。また、エネルギーを印加しての接合であるため、導電性樹脂等を用いた接合に比べて接合部の信頼性が高い。
　例えば、熱接合の場合には、１００℃から４００℃に加熱されるのヒートツールが、フライングリード３１の先端部に押圧される。ヒートツールの仕様によって、フライングリード３１を１本ずつ接合してもよいし、複数本のフライングリード３１を同時に接合してもよい。いずれの場合も、熱はフライングリード３１の先端部だけに局所的に印加されるために、半導体回路である受光部２１に損傷が発生するおそれがない。
　また、フライングリード３１の接合面およびバンプ２３の表面が、金（Ａｕ）からなる場合には超音波接合も可能である。超音波接合では加熱の必要が殆どないため、特に受光部２１に損傷が発生するおそれがない。
　フライングリード３１を接合した後に、フライングリード３１を被覆し封止する封止部としての封止材樹脂３５が配設される。封止樹脂３５は、金属導体からなるフライングリード３１の保護および撮像チップ２０と配線板３０との接続強度向上に寄与する。
　封止樹脂３５としては、例えば、熱硬化型のエポキシ樹脂を用いる。すなわち、未硬化の液体状樹脂が、例えばディスペンス法により、フライングリード３１を覆うように配設された後に、例えば８０℃～１２０℃での熱硬化処理が行われる。硬化温度は、樹脂の十分な硬化に必要な温度以上かつ受光部２１に損傷が発生する温度未満に設定される。
　ここで、封止樹脂３５の熱硬化温度は低いため、受光部２１に損傷が発生するおそれはない。なお、硬化方法は、所望の特性を満足すれば、樹脂に応じて、熱硬化法、ＵＶ硬化法、ＵＶ硬化法＋熱硬化法、ＵＶ硬化法＋湿気硬化法、または、常温硬化法等のいずれでもよい。
　内視鏡用の撮像モジュール１０は、内視鏡の先端部材の配設穴に挿入され接着剤で固定される。撮像モジュール１０と配設穴との間の空間は封止樹脂で封止される。接着剤および封止樹脂には、熱伝導率の高いフィラーが混合されていることが好ましい、例えばフィラーとしては、シリカ、金属粉、アルミナ、窒化アルミなどを用い、樹脂としては、シリコーン系またはアクリル系などを用いる。
　撮像チップ２０と配線板３０との接合部の信頼性が高い撮像モジュール１０を有する内視鏡１は信頼性が高い。
＜第２実施形態＞
　次に第２実施形態の撮像モジュール１０Ａについて説明する。撮像モジュール１０Ａは撮像モジュール１０と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
　図４に示すように、撮像モジュール１０Ａの配線板３０には、電子部品３２が表面実装されている。そして、封止樹脂３５は、プリズム５０と電子部品３２との間に配設された液体状樹脂の硬化処理により形成されている。
　電子部品３２は、例えば、受光部２１からの撮像信号の１次処理のために受光部２１の近くに配置される。
　ここで、液体状樹脂の粘度が高いと、フライングリード３１の下面側に空洞部ができやすい。一方、液体状樹脂の粘度が低いと流れ出しやすいため、フライングリード３１の上部の封止樹脂３５の厚さが薄くなりやすい。
　このため、電子部品３２の平面視形状が略長方形の場合には、電子部品３２を配線板３０の端面３０Ｌに対して長軸方向が平行になるように配置することが好ましい。すると、電子部品３２の側面が壁となり、液体状樹脂が流れ出すのを防止する。すなわち、液体状樹脂が、プリズム５０と電子部品３２との間に滞留する。このため、フライングリード３１の上部にも十分な厚さの封止樹脂３５を形成することが容易である。すなわち、所定の配置とすることで、電子部品３２に信号処理以外の付加機能を付与することができる。
　電子部品３２としては、例えばチップ型のコンデンサを好ましく用いることができる。電子部品３２は、その幅（長軸寸法）が、封止樹脂３５の幅（複数の電極２２の配置幅）と略同等であればよい。幅が小さい電子部品の場合には、複数個を連接して配設することで、液体状樹脂が流れ出すのを防止できる。
　撮像モジュール１０Ａは、撮像モジュール１０の効果を有し、さらに封止樹脂３５によるフライングリード３１の確実な封止が可能であるため、接合部の信頼性がより高い。
＜第３実施形態＞
　次に第３実施形態の撮像モジュール１０Ｂについて説明する。撮像モジュール１０Ｂは撮像モジュール１０等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
　図５に示すように、撮像モジュール１０Ｂでは、撮像チップ２０の端面２０Ｌと配線板３０の端面３０Ｌとが重なり合っていない。このため、撮像モジュール１０Ｂでは、液体状樹脂を塗布したときに、オーバーラップしていない端面２０Ｌと端面３０Ｌとの隙間からフライングリード３１の裏面側にも液体状樹脂がいきわたる。このため、フライングリード３１の裏面側に空洞部ができにくい。
　撮像モジュール１０Ｂは、撮像モジュール１０等が有する効果を有し、さらに、封止樹脂３５による、より確実な封止が容易である。また、フライングリード３１の強度を、封止樹脂３５により補強することができる。
＜第４実施形態＞
　次に第４実施形態の撮像モジュール１０Ｃについて説明する。撮像モジュール１０Ｃは撮像モジュール１０等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
　図６に示すように、撮像モジュール１０Ｃでは、撮像チップ２０の端面２０Ｌと配線板３０の端面３０Ｌとが、重なり合っておらず、かつ、フライングリード３１が、折り曲げられている。
　撮像モジュール１０Ｃは、撮像モジュール１０等が有する効果を有し、さらに接合強度が高いだけでなく、設計の自由度が高く様々な構造が可能である。
＜第５実施形態＞
　次に第５実施形態の撮像モジュール１０Ｄについて説明する。撮像モジュール１０Ｄは撮像モジュール１０等と類似しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
　図７に示すように、撮像モジュール１０Ｄでは、撮像チップ２０Ｄに、端面２０Ｌからの距離が異なる電極２２Ｄ１、２２Ｄ２が主面に形成されており、配線板３０Ｄが、長さが異なるフライングリード３１Ｄ１、３１Ｄ２を有する。
　すなわち、長さがＬ１のフライングリード３１Ｄ１は、端面２０Ｌからの距離が長い電極２２Ｄ１と接続されており、長さがＬ２フライングリード３１Ｄ２は、端面２０Ｌからの距離が短い電極２２Ｄ２と接続されている。そして、電極２２Ｄ１、２２Ｄ２およびフライングリード３１Ｄ１、３１Ｄ２が、交互に配置されている。
　撮像モジュール１０Ｃは、撮像モジュール１０等が有する効果を有し、さらに接合部の間隔が広いために、製造が容易である。
　本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等ができる。
　本出願は、２０１２年４月５日に日本国に出願された特願２０１２－０８６７２３号を優先権主張の基礎として出願するものであり、上記の開示内容は、本願明細書、請求の範囲、図面に引用されたものとする。

Claims (8)

  1. 　撮像素子の受光部と、前記受光部と接続された複数の電極と、が主面に形成された撮像チップと、
    　前記複数の電極のそれぞれと接合されたフライングリードを有する配線板と、を具備することを特徴とする撮像モジュール。
  2. 　前記フライングリードの先端部に上から局所的にエネルギーを印加することにより、前記フライングリードが前記電極と接合されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像モジュール。
  3. 　前記フライングリードを封止する封止部を具備することを特徴とする請求項２に記載の撮像モジュール。
  4. 　前記主面と平行方向からの入射光が前記受光部に入射するように、前記入射光の方向を変える光学部品を具備することを特徴とする請求項３に記載の撮像モジュール。
  5. 　前記配線板に電子部品が表面実装されており、
    　前記封止部が、前記光学部品と前記電子部品との間に配設された液体状樹脂の硬化により形成されていることを特徴とする請求項４に記載の撮像モジュール。
  6. 　前記撮像チップの端面と前記配線板の端面とが、重なり合っていないことを特徴とする請求項５に記載の撮像モジュール。
  7. 　前記フライングリードが折り曲げられていることを特徴とする請求項６に記載の撮像モジュール。
  8. 　前記撮像チップに端面からの距離が異なる電極が主面に形成されており、
    　前記配線板が、長さが異なるフライングリードを有することを特徴とする請求項４に記載の撮像モジュール。
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