JPWO2016207941A1 - 内視鏡用撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1を用いて、本発明の実施形態の内視鏡用撮像装置(以下、「撮像装置」ともいう。)10を有する内視鏡2を含む内視鏡システム1について説明する。
フライングリード31の先端部はバンプ23を介して外部電極22と超音波接合されている。このため、バンプ23は超音波接合のときの超音波の振動方向に対して平行方向に潰れており、フライングリード31の先端部の上面には振動方向に平行な多数のスジ(超音波痕)が形成されている。
複数の受光部21と、それぞれの受光部21と接続された複数の外部電極22および複数のバンプ23と、が、公知の半導体プロセスを用いて、シリコンウエハ等の半導体基板の第1の主面に形成される。受光部21はCCD(Charge Coupled Device)、CMOS(Complementary Metal−Oxide Semiconductor)などである。シリコンウエハには、受光部21だけでなく信号処理回路などの半導体回路が形成されていてもよい。なお、300mmφのシリコンウエハの厚さは、例えば、775μmである。
シリコンウエハが切断されることで、それぞれに受光部21等が形成された複数の撮像素子20が作製される。撮像素子20は底面の外寸が例えば1mm×1.5mm、すなわち底面積が1.5mm2と超小型である。なお、受光部21は形成されたシリコンウエハの第1の主面は、切断されると、撮像素子20の受光面20SAとなる。
撮像素子20は、厚さが例えば775μmと厚い。挿入部3の細径化のために、撮像素子20は、厚さが、例えば、20μm以上150μm以下に加工される。
撮像素子20は、裏面20SBのソーマーク(溝)の方向に直交する方向の表面粗さRz(JIS B 060:十点平均粗さ、測定長0.2mm)が、0.5μm以上10μm以下になるように裏面側から研削加工される。表面粗さRzは、1μm以上5μm以下であることがより好ましい。なお、表面粗さRmax(JIS B 060:最大高さ、測定長0.2mm)は、1μm以上30μm以下が好ましい。
別途、配線板30が作製される。配線板30は、例えばポリイミド等の絶縁性樹脂を基体とし、導体配線、例えば、銅配線を有する。そして、端部の絶縁性樹脂が選択的に除去されることで、先端から突出した銅配線がフライングリード31となっている。
図14に示すように、超音波接合装置60は、固定ステージである受け治具(アンビル)40と、超音波振動する圧子ツール(ホーン)50とを含む。圧子ツール50は、超音波振動子(不図示)と機械的に結合しており、例えばV方向に40kHz、振幅2μmで振動する。
次に実施形態の変形例の撮像装置10A〜10Iおよび撮像装置10A〜10Iの製造方法について説明する。変形例の撮像装置10A〜10I等は、実施形態の撮像装置10等と類似し、同じ機能を有しているので、同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
変形例1の撮像装置10Aでは、撮像素子20Aは、研削加工機として、スルーフィールド(クリープフィード)型加工機を用いて薄層化される。
図17に示す変形例2の撮像装置10Bの撮像素子20Bでは、ソーマーク20TBは、超音波印加方向(Y方向)に対して傾斜している。そして、裏面20SBの全領域において傾斜角θは45度超である。
図18に示す変形例3の撮像装置10Cの撮像素子20Cでは、ソーマーク20TCは、略楕円形である。このため、ソーマーク20TCは超音波印加方向(Y方向)に対して傾斜角が45度以下の領域がある。しかし、ソーマーク20TCは超音波印加方向(Y方向)に対して45度超傾斜している領域(ハッチングで表示した領域)があるため、滑り止め効果を奏する。
図19に示す変形例4の撮像装置10Dの撮像素子20Dでは、ソーマーク20TDは、中心から放射状に円弧が広がっている。
図21に示す変形例6の撮像装置10Fの撮像素子20Fでは、ソーマーク20TFは、略直線上であるが、それぞれのソーマーク20TFは、ランダムである。
図22に示す変形例7の撮像装置10Gの撮像素子20Gでは、裏面40SBにランダムに微少な凹凸パターン20TGがある。凹凸パターンTGは例えばエッチング痕であるが、微少な溝と見なすことができる。
図23に示す変形例8の撮像装置10Hの製造方法で用いられる超音波接合装置60Hは受け治具40Hが、実施形態の超音波接合装置60と異なる。
図24に示す変形例9の撮像装置10Iの撮像素子20Iでは、配線板30Iの端部電極31Iは、裏面30SBに配設された電極パッドである。
2…内視鏡
10、10A〜10I…内視鏡用撮像装置
20…撮像素子
20SA…受光面
20SB…裏面
20T…溝
21…受光部
22…外部電極
23…バンプ
30…配線板
31…フライングリード
40…受け治具
50…圧子ツール
60…超音波接合装置
80…研削加工機
81…保持盤
81T…溝
82…研削盤
Claims (8)
- 受光面の端部に外部電極が列設されている撮像素子と、
前記外部電極と超音波接合されている端部電極を有する配線板と、を具備する内視鏡用撮像装置であって、
前記撮像素子の前記受光面と対向する裏面に複数の溝が形成されており、前記複数の溝が、超音波接合のときの超音波の振動方向に対して傾斜していることを特徴とする内視鏡用撮像装置。 - 前記振動方向が、前記外部電極の列設方向であることを特徴とする請求項1に記載の内視鏡用撮像装置。
- 前記複数の溝が、研削加工によるソーマークであることを特徴とする請求項2に記載の内視鏡用撮像装置。
- 前記複数の溝が、前記振動方向に対して45度超傾斜していることを特徴とする請求項3に記載の内視鏡用撮像装置。
- 前記振動方向に直交する方向の前記撮像素子の前記裏面の表面粗さRzが、0.5μm以上10μm以下であることを特徴とする請求項4に記載の内視鏡用撮像装置。
- 受光面の端部に外部電極が列設されている底面積が0.25mm2以上4mm2以下の撮像素子と、
前記外部電極と超音波接合されている端部電極を有する配線板と、を具備する内視鏡用撮像装置であって、
前記撮像素子の前記受光面と対向する裏面に研削加工によるソーマークが形成されており、前記ソーマークが、前記裏面の全領域において、前記外部電極の列設方向に対して80度以上100度以下傾斜しており、前記外部電極の列設方向に直交する方向の前記裏面の表面粗さRzが、0.5μm以上10μm以下であることを特徴とする内視鏡用撮像装置。 - 受光面の端部に外部電極が列設されている撮像素子と、前記外部電極のそれぞれと超音波接合されている端部電極を有する配線板と、を具備する内視鏡用撮像装置の製造方法であって、
半導体基板の第1の主面に複数の受光部を形成する工程と、
前記半導体基板を切断し複数の撮像素子を作製する工程と、
形成されるソーマークの方向が前記撮像素子の短軸方向に対して傾斜した方向になるように、前記複数の撮像素子を研削加工機に再配置する工程と、
前記複数の撮像素子の前記受光面と対向する裏面を研削加工し、超音波接合するときの超音波の振動方向に対して傾斜しているソーマークを形成する工程と、
超音波接合装置の受け治具に載置された前記撮像素子の外部電極と、前記配線板の端部電極とを超音波接合する工程と、を具備することを特徴とする内視鏡用撮像装置の製造方法。 - 前記受け治具表面に複数の溝が形成されており、
前記受け治具の前記表面の表面粗さと、前記撮像素子の前記裏面の表面粗さとが、同じであることを特徴とする請求項7に記載の内視鏡用撮像装置の製造方法。
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