WO2013018567A1 - 光プラグの製造方法、光プラグ及び光コネクタ - Google Patents

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WO2013018567A1
WO2013018567A1 PCT/JP2012/068573 JP2012068573W WO2013018567A1 WO 2013018567 A1 WO2013018567 A1 WO 2013018567A1 JP 2012068573 W JP2012068573 W JP 2012068573W WO 2013018567 A1 WO2013018567 A1 WO 2013018567A1
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face
ferrule
core fiber
cores
polishing
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PCT/JP2012/068573
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Inventor
幸宏 尾関
利幸 今井
Original Assignee
コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社
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    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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    • G02B6/36—Mechanical coupling means
    • G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
    • G02B6/3807—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
    • G02B6/3833—Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture
    • G02B6/3863—Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture fabricated by using polishing techniques
    • G—PHYSICS
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    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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    • G02B6/40—Mechanical coupling means having fibre bundle mating means
    • G02B6/403—Mechanical coupling means having fibre bundle mating means of the ferrule type, connecting a pair of ferrules

Definitions

  • the present invention relates to an optical plug manufacturing method, an optical plug, and an optical connector.
  • an optical plug using an optical fiber is used to secure a light transmission path.
  • two optical fibers can be connected to form an optical transmission line.
  • optical fibers used for optical plugs include single-core fibers and multi-core fibers.
  • a single core fiber is an optical fiber in which one core is provided in a clad.
  • a multi-core fiber is an optical fiber in which a plurality of cores are provided in a clad (see Patent Documents 1 and 2).
  • the optical fiber is inserted into the ferrule.
  • connection loss When connecting optical plugs, if a gap is formed between optical fibers (end faces of cores), light loss may occur due to Fresnel reflection at the end faces of the core. Hereinafter, this optical loss may be referred to as “connection loss”.
  • a method called physical contact in which optical fibers (core end faces) are directly brought into close contact with each other can be used (see Patent Document 3).
  • the physical contact is performed by the following procedure, for example. First, the end surface of the single core fiber held by the ferrule is polished together with the ferrule end surface so as to be a convex spherical surface. Further, the end faces of the core are brought into contact with each other. Then, the single core fiber and the surrounding ferrule are elastically deformed by pressing the ferrule. By such a procedure, the end faces of the cores are connected without a gap.
  • FIG. 31 is a sectional view in the axial direction of the multi-core fiber MF1 (MF2) and the ferrule F1 (F2). Moreover, in FIG. 31, only the front-end
  • the present invention solves the above-described problems, and an object thereof is to provide an optical plug manufacturing method, an optical plug, and an optical connector capable of reducing the connection loss of light when connecting multi-core fibers. .
  • a multi-core fiber in which a plurality of cores are covered with a clad is used for an optical plug manufactured by the method according to claim 1.
  • the method for manufacturing an optical plug includes a polishing step.
  • the polishing step the end surface of the multicore fiber and the end surface of the ferrule into which the multicore fiber is inserted are polished by the first polishing member provided with the same number of holes as the plurality of cores.
  • the end faces of the plurality of cores are projected at least with respect to the end faces of the clad located on the outer side in the radial direction of the multi-core fiber.
  • an optical plug manufacturing method is the optical plug manufacturing method according to claim 1, wherein the polishing step includes a plurality of holes and a plurality of cores.
  • the end surface of the ferrule is moved by relatively moving the first polishing member, the end surface of the multicore fiber, and the end surface of the ferrule so that the end surface of the core moves within the range of the hole.
  • a step of polishing is included.
  • an optical plug manufacturing method is the optical plug manufacturing method according to the second aspect, and includes an application step and a peeling step.
  • a resist is applied to the end face of the multicore fiber and the end face of the ferrule in which the multicore fiber is inserted.
  • the peeling step the resist applied to the end face of the clad and the end face of the ferrule is peeled off.
  • the method is a method of manufacturing an optical plug according to any one of claims 1 to 3, and includes a curved surface forming step.
  • the curved surface forming step the end surface of the multi-core fiber and the end surface of the ferrule are polished by the second polishing member.
  • the entire end face of the multi-core fiber and the end face of the ferrule are formed in a curved shape.
  • the polishing process the curved surface formed in the curved surface forming process is polished.
  • a multi-core fiber in which a plurality of cores are covered with a clad is used for an optical plug manufactured by the method according to claim 5.
  • the method for manufacturing an optical plug includes a coating process and a peeling process.
  • a resist is applied to the end face of the multicore fiber and the end face of the ferrule in which the multicore fiber is inserted.
  • the peeling step the resist applied to the end face of the clad and the end face of the ferrule is peeled off.
  • blasting is performed on the end surfaces of the multicore fiber and ferrule that have been subjected to the coating process and the peeling process.
  • This step includes a step of projecting the end surfaces of each of the plurality of cores from at least the end surface of the clad positioned on the radially outer side of the multi-core fiber with respect to the end surfaces.
  • a multi-core fiber in which a plurality of cores are covered with a clad is used for an optical plug manufactured by the method according to claim 6.
  • the manufacturing method of the optical plug includes an application process, a peeling process, and an etching process.
  • a resist is applied to the end face of the multicore fiber and the end face of the ferrule in which the multicore fiber is inserted.
  • the peeling step the resist applied to the end face of the clad and the end face of the ferrule is peeled off.
  • the etching process the multi-core fiber and the ferrule subjected to the coating process and the peeling process are immersed in an etching solution and etched.
  • an optical plug manufacturing method is the optical plug manufacturing method according to the fifth or sixth aspect, and includes a curved surface forming step.
  • the curved surface forming step the end surface of the multi-core fiber and the end surface of the ferrule are polished by the second polishing member.
  • the entire end face of the multi-core fiber and the end face of the ferrule are formed in a curved shape.
  • a resist is applied to the curved surface formed in the curved surface forming process.
  • a multi-core fiber in which a plurality of cores are covered with a clad is used for an optical plug manufactured by the method according to claim 8.
  • the method for manufacturing an optical plug includes an etching process.
  • the etching process the multi-core fiber and the ferrule are immersed in an etching solution for etching.
  • the end faces of each of the plurality of cores protrude at least from the end faces of the clad positioned on the outer side in the radial direction of the multi-core fiber with respect to the end faces.
  • an optical plug manufacturing method according to claim 9 is the optical plug manufacturing method according to claim 8, which includes a curved surface forming step.
  • an optical plug according to claim 10 is manufactured by using the optical plug manufacturing method according to any one of claims 1 to 9.
  • the optical plug according to claim 10 is inserted from both the sleeves, and the plurality of cores are in contact with each other and connected.
  • FIG. 1 is a perspective view of the multi-core fiber 1. In FIG. 1, only the tip portion of the multi-core fiber 1 is shown.
  • the multi-core fiber 1 is made of a material having a high light transmittance such as quartz glass or plastic.
  • the core C k is a transmission path for transmitting light from a light source (not shown).
  • the core C k is made of a material in which germanium oxide (GeO 2 ) is added to, for example, quartz glass.
  • FIG. 1 shows a configuration having seven cores C 1 to C 7 , the number of cores in the core C k may be at least two.
  • the clad 2 is a member that covers the plurality of cores Ck .
  • Cladding 2 has a function to confine light from a light source (not shown) in the core C k.
  • the clad 2 has an end face 2a.
  • the end surface Ek of the core Ck and the end surface 2a of the clad 2 form the same surface (the end surface 1b of the multicore fiber 1).
  • the cladding 2 material a low refractive index material is used than the core C k material.
  • quartz glass is used as the material of the clad 2.
  • the refractive index of the core C k higher than the refractive index of the cladding 2
  • the light from the light source (not shown) is totally reflected at the interface between the core C k and the cladding 2. Therefore, light can be transmitted in the core Ck .
  • the core C k may be configured such that the refractive index increases as it goes radially outward. In such a configuration, light incident on the core Ck is transmitted while being refracted inside.
  • FIG. 2 is a sectional view of the optical plug 10 in the axial direction.
  • the optical plug 10 includes a multi-core fiber 1, a ferrule 11, a frame 12, and a hood 13.
  • the multi-core fiber 1 has a plurality of cores C k in the clad 2 as described above.
  • the multi-core fiber 1 is covered with a protective material 1a such as plastic.
  • the ferrule 11 is a cylindrical member for supporting the flexible multi-core fiber 1.
  • the ferrule 11 is formed of a material including, for example, glass (quartz glass or borosilicate glass), crystallized glass, stainless steel, zirconia (ZrO 2 ), and the like.
  • a cylindrical space portion 11a and a space portion 11b having a larger diameter than the space portion 11a are provided inside the ferrule 11.
  • the multi-core fiber 1 is inserted into the space portion 11a.
  • the protective material 1a is inserted into the space portion 11b. Further, the space portion 11a and the space portion 11b are connected by a taper surface 11c.
  • the multi-core fiber 1 is positioned with respect to the ferrule 11 by the front end surface of the protective material 1a abutting against the taper surface 11c.
  • the multi-core fiber 1 and the ferrule 11 are fixed with an adhesive or the like in a positioned state.
  • an end face 11 d is formed at the tip of the ferrule 11.
  • it forms a same plane end face 1b (the end surface 2a of the end face E k and the cladding 2 of the cores C k) and the end face 11d.
  • a flange portion 11 e is provided on the outer periphery of the ferrule 11. By positioning the flange portion 11 e against a part of the frame 12, the frame 12 is positioned with respect to the ferrule 11. The flange portion 11e and the frame 12 are fixed with an adhesive or the like in a positioned state.
  • the frame 12 is a member that covers the ferrule 11.
  • the frame 12 is formed with a fitting groove 12a to be fitted with an adapter 30 (described later).
  • the hood 13 is a member that covers the protective material 1 a protruding from the ferrule 11.
  • FIG. 3 is a flowchart showing the manufacturing procedure of the optical plug 10.
  • 4 to 7 are sectional views in the axial direction of members (multi-core fiber 1, ferrule 11, frame 12, and hood 13) constituting the optical plug 10.
  • FIG. 3 is a flowchart showing the manufacturing procedure of the optical plug 10.
  • the multi-core fiber 1 from which the protective material 1a is partially peeled is inserted into the ferrule 11 (S10, see FIG. 4). Positioning of the multi-core fiber 1 with respect to the ferrule 11 is performed when the tip surface of the protective material 1a abuts against the taper surface 11c (see FIG. 5). When the front end surface of the protective material 1a hits the taper surface 11c, the end surface 1b of the multi-core fiber 1 is in a state of protruding from the end surface 11d of the ferrule 11 (see FIG. 5). The multi-core fiber 1 and the ferrule 11 are fixed with an adhesive or the like in a positioned state.
  • the multi-core fiber 1 protruding from the end face 11d of the ferrule 11 is cut (S11, see FIG. 5). This cutting direction is the arrow direction in FIG.
  • the end surface 11d of the ferrule 11 and the end surface 1b of the multi-core fiber 1 form the same surface (see FIG. 6).
  • the frame 12 and the hood 13 are assembled to the ferrule 11 in which the multi-core fiber 1 is inserted (S12, see FIG. 7).
  • the frame 12 and the hood 13 are passed through the multicore fiber 1 in advance before the steps S10 and S11.
  • the frame 12 and the hood 13 are moved and assembled to the tips of the multicore fiber 1 and the ferrule 11. It is preferable.
  • polishing the end faces (end face 1b of multicore fiber 1 and end face 11d of ferrule 11) (S13)
  • optical plug 10 as shown in FIG. 2 is completed (S14). Details of the polishing will be described later.
  • the polishing (S13) may be the reverse of S12.
  • FIG. 8 is a top view of the polishing member 20 used in the present embodiment.
  • 9 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
  • FIG. 10 is a flowchart showing the procedure of the polishing (S13) shown in FIG.
  • FIGS. 11 to 14 are enlarged views showing cross sections of the multi-core fiber 1 and the ferrule 11 in the axial direction. Note that the curvatures of the end face 1b of the multicore fiber 1 and the end face 11d of the ferrule 11 in FIGS. 12 to 14 are exaggerated for easy understanding of the contents of the embodiment.
  • the polishing member 20 includes a polishing table 21, an elastic plate 22 disposed on the polishing table 21, and a sheet-like polishing film 23 disposed on the elastic plate 22.
  • the polishing surface 23 a is a surface for polishing the multi-core fiber 1 and the ferrule 11.
  • the number of holes H k is equal to the number of cores in the plurality of cores C k . In the present embodiment, seven holes H 1 to H 7 are provided for the seven cores C 1 to C 7 .
  • the center position of each hole in the hole H k is formed so as to substantially coincide with the center position of each core C k of the multi-core fiber 1, and the diameter of each hole H k is the diameter of each core C k. It is formed larger than (shown by a broken line in FIG. 8).
  • the polishing film 23 is made of, for example, diamond.
  • the polishing member 20 in the present embodiment is an example of a “first polishing member”.
  • the polishing table 21 may be configured to be movable.
  • the end face 1b of the multi-core fiber 1 and the end face 11d of the ferrule 11 are both polished by the polishing member 20 ′, so that the entire end face is formed into a curved shape (S131; see FIGS. 11 and 12).
  • a polishing member 20 ′ including a polishing table 21 ′, an elastic plate 22 ′ disposed on the polishing table 21 ′, and a sheet-like polishing film 23 ′ disposed on the elastic plate 22 ′.
  • the polishing film 23 ', the hole H k as the polishing film 23 is not formed.
  • the end surface 1b of the multi-core fiber 1 and the end surface 11d of the ferrule 11 are pressed against the polishing member 20 ′.
  • the polishing slurry s is added to the pressed portion by the dropping device SA.
  • polishing is performed by rotating the multi-core fiber 1 about the axis of the multi-core fiber 1 (broken line in FIG. 11).
  • the process of S131 in the present embodiment is an example of a “curved surface forming process”. Further, the polishing member 20 ′ in this embodiment is an example of a “second polishing member”. In addition, the process of S131 is not an essential process.
  • the ferrule 11 in which the multi-core fiber 1 is inserted is then placed in the polishing member 20 (S132). .
  • the ferrule 11 is disposed so that the end faces E k of the plurality of cores C k and the plurality of hole portions H k on the curved surface face each other one to one.
  • the end surface 1b of the multicore fiber 1 and the end surface of the ferrule 11 with respect to the polishing member 20 so that the hole portions H 1 to H 7 face the cores C 1 to C 7 in a one-to-one relationship. 11d is arranged.
  • the process of S132 in the present embodiment is an example of an “arrangement process”.
  • a method of inputting light to the multi-core fiber 1 and detecting light below the polishing member 20 through the hole Hk of the polishing member 20. Can be taken.
  • this method when light from all the cores Ck is detected, it can be determined that the arrangement is appropriate.
  • the polishing table 21 and the elastic plate 22 are made of a material that can transmit light.
  • the vibration member gives a piezo vibration by (not shown) (arrow direction in FIG. 13), the end faces E of the core C k k polishing is performed so as to move within range of each hole H k.
  • the other portion the end face 2a of the end surface 11d and the cladding 2 of the ferrule 11
  • a plurality of cores C k respective end faces E k can also protrude from the end face 2a of the cladding 2 (see Fig. 14).
  • S132 and S133 in this embodiment are an example of a “polishing process”.
  • the polishing in S133 can also be performed by moving the polishing member 20 after fixing the multi-core fiber and the ferrule 11. That is, in polishing in S133, the end face 11d of the abrasive member 20 and the multi-core fiber 1 of the end face 1b and the ferrule 11 may be relatively moved in the movement range of the diameter of each hole H k.
  • the shape of the end face of the optical plug 10 after polishing is not limited to the shape of the above embodiment.
  • the shape of ' 3 may be lower. That is, it is only necessary that the end face of each of the plurality of cores protrudes from the end face of the clad positioned at least on the outer side in the radial direction of the multi-core fiber with respect to the end face.
  • FIG. 16 is a cross-sectional view of the optical plug 10 in the axial direction.
  • FIG. 17 is an enlarged view showing a cross section of the multi-core fiber 1 and the ferrule 11 in the axial direction. Note that the curvatures of the end face 1b of the multicore fiber 1 and the end face 11d of the ferrule 11 in FIG. 17 are exaggerated for easy understanding of the contents of the embodiment.
  • the optical plugs 10 are connected to each other through an adapter 30.
  • the adapter 30 includes a fitting portion 30a and a sleeve 30b.
  • the fitting part 30 a is a part that is fitted into the fitting groove 12 a formed in the ferrule 11.
  • the optical plug 10 is positioned with respect to the adapter 30 by fitting the fitting groove 12a into the fitting portion 30a.
  • the sleeve 30b is a cylindrical member into which the ferrule 11 is inserted.
  • the end faces 1b of the multi-core fiber 1 and the end faces 11d of the ferrule 11 are connected, and the axes of the ferrules 11 are aligned (multi-core fibers 1 to each other). Alignment).
  • each core C is rotated by rotating one optical plug 10 with respect to the other optical plug. Alignment is performed so that k touches each other.
  • the optical connector 100 is formed by connecting the optical plugs 10 through the adapter 30. Note that by fitting groove 12a is fitted to the fitting portion 30a, it is preferable that the core C k among the multi-core fiber 1 of both of the optical plug 10 is adapted to abut while being pressed.
  • the connection between the optical plugs 10 is as shown in FIG. That is, the end face E k between the protruding cores C k are connected in a state of being in close contact.
  • a multi-core fiber 1 in which a plurality of cores C k are covered with a clad 2 is used.
  • the manufacturing method of the optical plug 10 according to the present embodiment includes a polishing step. Polished by polishing in the step, the polishing member 20 the number of holes H k end surface 11d of equal to cores of a plurality of cores C k multicore fiber first end face 1b and the multi-core fiber ferrule 11 1 is inserted is provided Is done.
  • each of the end faces E k of the plurality of cores C k protrudes from the end face 2 a of the clad 2 positioned at least on the radially outer side of the multi-core fiber 1 with respect to the end faces E k .
  • the polishing process has an arrangement process.
  • each end face E k of the plurality of holes H k respectively and a plurality of cores C k is to face a one-to-one
  • the end face 1b of the multi-core fiber 1 is placed against the polishing member 20.
  • the polishing member 20 relatively moving the end face 11d of the multi-core fiber 1 of the end face 1b and the ferrule 11 By doing so, the end face 11d of the ferrule 11 is polished.
  • each of the end faces E k of the plurality of cores C k protrudes from the end face 2 a of the clad 2 positioned at least on the radially outer side of the multi-core fiber 1 with respect to the end faces E k .
  • polishing using a polishing member 20 which number is equal to the plurality of cores C k of the hole H k are provided, also protrude from the plurality of cores C k respective end faces the end face 2a of E k cladding 2 be able to. Therefore, it is possible to connect in a state of being in close contact with the end face E k between the protruding cores C k. That is, the cores Ck can be reliably connected to each other. Therefore, it is possible to reduce the light connection loss when connecting the optical plugs.
  • the method for manufacturing the optical plug 10 according to the present embodiment may include a curved surface forming step.
  • the end surface 1b of the multicore fiber 1 and the end surface 11d of the ferrule 11 are polished by the polishing member 20 ', so that the entire end surface 1b of the multicore fiber 1 and the end surface 11d of the ferrule 11 are formed into a curved surface.
  • the curved surface formed in the curved surface forming step is polished by using the polishing member 20 so that each of the end surfaces E k of the plurality of cores C k has at least the end surface E k of the multi-core fiber 1. It protrudes beyond the end face 2a of the clad 2 located outside in the radial direction.
  • a curved surface forming step for forming the end surface 1b of the multi-core fiber 1 and the end surface 11d of the ferrule 11 into a curved surface is added in advance, and the curved surface is polished by the polishing member 20 after the step, whereby each of the plurality of cores C k. the end face E k can reduce the time required for polishing when also protrude from the end face 2a of the clad 2, it is possible to improve the mass productivity of.
  • FIG. 18 is a flowchart showing the manufacturing procedure of the optical plug 10. Note that detailed description of the same configuration and operation as in the first embodiment may be omitted.
  • the multi-core fiber 1 from which the protective material 1a is partially peeled is inserted into the ferrule 11 (S20).
  • the multi-core fiber 1 protruding from the end face 11d of the ferrule 11 is cut (S21).
  • the frame 12 and the hood 13 are assembled to the ferrule 11 in which the multi-core fiber 1 is inserted (S22).
  • the resist R is applied to and peeled from the end face 1b of the multi-core fiber 1 and the end face 11d of the ferrule 11 (S23). Then, the end faces (end face 1b of multi-core fiber 1 and end face 11d of ferrule 11) are polished (S24), thereby completing optical plug 10 (S25, see FIG. 2). Details of application / peeling and polishing of the resist R will be described later. In addition, application
  • FIG. 19 is a flowchart showing application / peeling of the resist R.
  • 20 to 22 are sectional views of the multi-core fiber 1 and the ferrule 11 in the axial direction.
  • a negative resist R (acrylic or epoxy) having UV (Ultra Violet) curing characteristics will be described.
  • a resist R is applied to the end face 1b of the multi-core fiber 1 and the end face 11d of the ferrule 11 (S231).
  • the resist R is coated on the entire end face E k of at least a plurality of cores C k.
  • the step of applying a resist (S231) in this embodiment is an example of the “application step”.
  • UV (Ultra Violet) light source UV irradiation is performed from the (not shown) the resist R through a plurality of cores C k (S232. See arrows in FIG. 21).
  • the resist R applied to is not cured.
  • the resist R is removed by applying a resist remover RA to the portion where the resist R is applied (S233, see FIG. 22).
  • a resist remover RA since the use of the resist R in the negative, the resist R in the UV irradiated portion (the end face E k of the plurality of cores C k), solubility resist stripper RA decreases.
  • the resist stripper RA is applied, the remaining only the resist R which is applied to the end face E k of the plurality of cores C k was applied to the other (the end surface 11d of the end face 2a and the ferrule 11 of the cladding 2)
  • the resist R is stripped (the dotted line in FIG. 22 shows the stripped resist R).
  • the resist stripper RA for example, an organic acid chemical solution containing alkylbenzene sulfonic acid or the like as a component is used.
  • the step of stripping the resist (S233) in the present embodiment is an example of a “stripping step”.
  • the outline of the polishing process in the present embodiment is as follows.
  • the object to be polished is a multi-core fiber 1 in which a resist R is applied to the end faces E k of a plurality of cores C k and the resist R applied to the other end faces (end face 2a of the clad 2 and end face 11d of the ferrule 11) is peeled off. And ferrule 11 (see FIG. 22).
  • the polishing member the polishing member 20 that is the “first polishing member” used in the first embodiment described above and provided with the same number of holes H k as the plurality of cores C k is used.
  • the polishing method is the same as that in the first embodiment.
  • the end faces E k of the plurality of cores C k protrude from the end face 2 a of the cladding 2.
  • step S24 is good also as powder blasting. That is, as shown in FIG. 23, the resist R is applied to the end faces E k of the plurality of cores C k , and the resist R applied to the other ends (the end face 2a of the clad 2 and the end face 11d of the ferrule 11) is peeled off. Powder blasting is performed on the multi-core fiber 1 and the ferrule 11 in the state. By this step, each of the end faces E k of the plurality of cores C k protrudes beyond the end face 2 a of the clad 2.
  • Powder blasting means that fine abrasive grains called a blasting material accelerated by a carrier gas such as compressed air are ejected from a nozzle NZ and collided with the surface of the work piece at high speed and high density to make the fine surface of the work piece fine.
  • a carrier gas such as compressed air
  • the “surface of the workpiece” refers to the multi-core fiber 1 and the ferrule 11 in which the resist R is applied only to the end surface E k of the core C k .
  • fine powder such as silica, alumina, zirconia, silicon carbide or the like is used.
  • the resist R remaining coated on the end surface E k of the core C k for example after removal with acetone or ethanol, it is washed with pure like.
  • the same optical plug 10 as that of the first embodiment can be manufactured (S25, see FIG. 2).
  • the manufacturing method of the optical plug 10 according to the present embodiment includes a coating process and a peeling process.
  • a resist R is applied to the end surface 1b of the multicore fiber 1 and the end surface 11d of the ferrule 11 into which the multicore fiber 1 is inserted.
  • the stripping step the resist R applied to the end surface 2a of the clad 2 and the end surface 11d of the ferrule 11 is stripped.
  • the polishing step is used after the peeling step, the polishing member 20 having the same number of holes H k as the plurality of cores C k used in the first embodiment is used. Polished in the same way as the form.
  • a plurality of cores C k respective end faces E k from the end face 2a of the cladding 2 Can also protrude. Therefore, it is possible to connect in a state of being in close contact with the end face E k between the protruding cores C k. That is, the cores Ck can be reliably connected to each other. Therefore, it is possible to reduce the light connection loss when connecting the optical plugs.
  • FIG. 24 is a flowchart showing a manufacturing procedure of the optical plug 10. Note that detailed description of the same configurations and operations as those of the first and second embodiments may be omitted.
  • the multi-core fiber 1 from which the protective material 1a is partially peeled is inserted into the ferrule 11 (S30).
  • the multi-core fiber 1 protruding from the end surface 11d of the ferrule 11 is cut (S31).
  • the frame 12 and the hood 13 are assembled to the ferrule 11 in which the multi-core fiber 1 is inserted (S32).
  • resist is applied to and peeled from the end face 1b of the multi-core fiber 1 and the end face 11d of the ferrule 11 (S33). Then, the end faces (the end face 1b of the multicore fiber 1 and the end face 11d of the ferrule 11) are etched (S34), thereby completing the optical plug 10 (S35). Details of the etching will be described later.
  • S34 in the present embodiment is an example of an “etching step”.
  • FIG. 25 is a flowchart showing an etching procedure.
  • 26 to 28 are enlarged views showing cross sections in the axial direction of the multicore fiber 1 and the ferrule 11. Note that the curvatures of the end surface 1b of the multicore fiber 1 and the end surface 11d of the ferrule 11 in FIGS. 26 to 28 are exaggerated for easy understanding of the contents of the embodiment.
  • the entire end surface is formed into a curved surface, and the multi-core fiber 1 and ferrule 11 in which the resist R is applied only to the end surface E k of the core C k are etched. Will be described.
  • the curved surface forming step for forming the entire end surface into a curved surface is the same process as S131 in the first embodiment, and thus detailed description thereof is omitted.
  • the curved surface forming step in the present embodiment is desirably performed before the step of applying and peeling the resist in S33.
  • the core C k and the clad 2 in this embodiment are made of quartz glass (a material having a refractive index higher than that of the clad 2 is added to the core C k ).
  • the ferrule 11 of the present embodiment is made of, for example, a material obtained by adding germanium oxide (GeO 2 ) to quartz glass or a nickel chromium alloy that is a metal ferrule.
  • the etching solution ET buffered hydrofluoric acid ((BHF) is used as the etching solution ET.
  • BHF buffered hydrofluoric acid
  • BHF is an aqueous solution of hydrofluoric acid (HF) and ammonium fluoride (NH 4 F)
  • the material of the ferrule 11 and the type of the etching solution ET are merely examples.
  • the clad 2 made of quartz glass reacts with the etching solution ET and advances corrosion.
  • the core C k since the end face E k is protected by the resist R, the core C k hardly reacts with buffed hydrofluoric acid (BHF).
  • the ferrule 11 is also difficult to react with buffed hydrofluoric acid (BHF) because germanium oxide (GeO 2 ) is added. That is, the core C k and the ferrule 11 are less likely to corrode than the clad 2.
  • the resist R is removed with acetone or ethanol (S342), and cleaning with pure water or the like is performed (S343).
  • an optical plug 10 such a plurality of cores C k respective end surfaces Ek is protruded from the end face 2a of the cladding 2 as shown in FIG. 28 (S35).
  • the end surface 2 a of the clad 2 is lower than the end surface 11 d of the ferrule 11.
  • germanium oxide (GeO 2 ) germanium oxide
  • BHF buffed hydrofluoric acid
  • wet etching using an etching solution has been described.
  • dry etching using argon (Ar) gas or the like can also be used.
  • the optical plug 10 uses a multi-core fiber 1 in which a plurality of cores C k are covered with a clad 2.
  • the method for manufacturing the optical plug 10 according to the present embodiment includes a coating process, a peeling process, and an etching process.
  • a resist R is applied to the end surface 1b of the multicore fiber 1 and the end surface 11d of the ferrule 11 into which the multicore fiber 1 is inserted.
  • the resist R applied to the end surface 2a of the clad 2 and the end surface 11d of the ferrule 11 is stripped.
  • the multi-core fiber 1 and the ferrule 11 subjected to the coating process and the peeling process are immersed in the etching solution ET to perform etching.
  • the end faces E k of the plurality of cores C k protrude beyond the end faces 2 a of the clad 2 positioned at least on the outer side in the radial direction of the multicore fiber 1 with respect to the end faces E k .
  • the end surfaces E k of the plurality of cores C k can be protruded from the end surface 2 a of the cladding 2 by etching. Therefore, it is possible to connect in a state of being in close contact with the end face E k between the protruding cores C k. That is, the cores Ck can be reliably connected to each other. Therefore, it is possible to reduce the connection loss of light when connecting the optical plugs.
  • the method for manufacturing the optical plug 10 according to the present embodiment may include a curved surface forming step.
  • the curved surface forming step the end surface 1b of the multicore fiber 1 and the end surface 11d of the ferrule 11 are polished by the polishing member 20 ′, so that the entire end surface 1b of the multicore fiber 1 and the end surface 11d of the ferrule 11 are formed in a curved shape.
  • the resist R is applied to the curved surface formed in the curved surface forming process.
  • FIG. 29 is a flowchart showing a manufacturing procedure of the optical plug 10. Note that detailed description of the same configurations and operations as those of the first to third embodiments may be omitted.
  • the multi-core fiber 1 from which the protective material 1a is partially peeled is inserted into the ferrule 11 (S40).
  • the multi-core fiber 1 protruding from the end face 11d of the ferrule 11 is cut (S41).
  • the frame 12 and the hood 13 are assembled to the ferrule 11 in which the multi-core fiber 1 is inserted (S42).
  • the optical plug 10 is completed (S44) by etching the end faces (the end face 1b of the multicore fiber 1 and the end face 11d of the ferrule 11) (S43). Details of the etching will be described later. Etching may be performed at any timing as long as it is after S40. S43 in the present embodiment is an example of an “etching step”.
  • FIG. 30 is a flowchart showing an etching procedure.
  • etching is performed on the multi-core fiber 1 and the ferrule 11 (see FIG. 12) in which the entire end surface is formed in a curved shape.
  • the curved surface forming step for forming the entire end surface into a curved surface is a process similar to S131 in the first embodiment, and thus detailed description thereof is omitted.
  • the core C k in this embodiment is formed of a material in which germanium oxide (GeO 2 ) is added to quartz glass.
  • the clad 2 is made of quartz glass.
  • the ferrule 11 is formed of the same material as that of the third embodiment.
  • buffered hydrofluoric acid (BHF) is used as the etching solution ET.
  • BHF buffered hydrofluoric acid
  • HF hydrofluoric acid
  • the resistance of the photoresist is improved by the buffering effect of BHF.
  • the types of the core C k , the clad 2, the ferrule 11, and the etching solution ET are merely examples.
  • the tip portions of the multi-core fiber 1 and the ferrule 11 are immersed in the etching solution ET (S431).
  • the clad 2 made of only quartz glass reacts with the etching solution ET and the dissolution proceeds.
  • germanium oxide (GeO 2 ) is added to the core C k , it hardly reacts with BHF.
  • germanium oxide (GeO 2 ) is also added to the ferrule 11, it is difficult to react with BHF. That is, dissolution of the core C k and the ferrule 11 is difficult to proceed as compared with the clad 2.
  • additional polishing may be performed after etching.
  • additional polishing it is possible to perform additional polishing so that a predetermined level difference is obtained by performing an etching process larger than a predetermined level at the time of etching and flattening as a whole by finish polishing.
  • the fiber end face after the etching process may be finely roughened, or the upper surface shape of the core protrusion may not be smooth. In such a case, you may add the process of finishing a core upper surface shape smoothly by additional grinding
  • the optical plug 10 uses a multi-core fiber 1 in which a plurality of cores C k are covered with a clad 2.
  • the manufacturing method of the optical plug 10 according to the present embodiment includes an etching process. In the etching process, the multi-core fiber 1 and the ferrule 11 are immersed in the etching solution ET and etching is performed. By this step, the end faces E k of the plurality of cores C k protrude beyond the end faces 2 a of the clad 2 positioned at least on the outer side in the radial direction of the multicore fiber 1 with respect to the end faces E k .
  • the end faces E k of the plurality of cores C k can be protruded from the end face 2 a of the clad 2 by etching. Therefore, it is possible to connect in a state of being in close contact with the end face E k between the protruding cores C k. That is, the cores Ck can be reliably connected to each other. Therefore, it is possible to reduce the light connection loss when connecting the optical plugs.
  • the method for manufacturing the optical plug 10 according to the present embodiment may include a curved surface forming step.
  • the curved surface forming step the end surface 1b of the multicore fiber 1 and the end surface 11d of the ferrule 11 are polished by the polishing member 20 ', so that the entire end surface 1b of the multicore fiber 1 and the end surface 11d of the ferrule 11 are formed in a curved shape.
  • the curved surface formed in the curved surface forming process is etched.
  • a curved surface forming step is performed in which the end surface 1b of the multi-core fiber 1 and the end surface 11d of the ferrule 11 are formed in a curved surface, and the curved surface is etched after the step.
  • This step can reduce the time a plurality of cores C k respective end surfaces E k to etching for also protrude from the end face 2a of the clad 2, it is possible to improve mass productivity.

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Abstract

マルチコアファイバを用いた光プラグにおける光の接続損失の低減を図ることができる技術を提供する。光プラグの製造方法は、複数のコアがクラッドで覆われたマルチコアファイバを用いる。光プラグの製造方法は、研磨工程を含む。研磨工程は、マルチコアファイバの端面及びマルチコアファイバが挿入されたフェルールの端面を複数のコアと等しい数の孔部が設けられた第１研磨部材で研磨することにより、複数のコアそれぞれの端面を、少なくとも当該端面に対しマルチコアファイバの径方向の外側に位置するクラッドの端面よりも突出させる。

Description

光プラグの製造方法、光プラグ及び光コネクタ
　この発明は、光プラグの製造方法、光プラグ及び光コネクタに関する。
　光通信等において、光の伝送路を確保するために、光ファイバを利用した光プラグが用いられる。アダプタを介して光プラグ同士を接続することにより、２つの光ファイバを連結し、光の伝送路を形成することができる。
　光プラグに利用される光ファイバの種類としては、シングルコアファイバやマルチコアファイバがある。シングルコアファイバは、クラッド内に一つのコアが設けられた光ファイバである。一方、マルチコアファイバは、クラッド内に複数のコアが設けられた光ファイバである（特許文献１、２参照）。なお、光プラグ内において、光ファイバはフェルールに挿入されている。
　光プラグ同士を接続する際、光ファイバ同士（コアの端面同士）に隙間が形成されると、コアの端面でのフレネル反射等による光の損失が生じる場合がある。なお、以下においてこの光の損失を「接続損失」と記載する場合がある。
　このような接続損失を低減させるために、光ファイバ同士（コアの端面同士）を直接に密着させるフィジカルコンタクト（Ｐｈｙｓｉｃａｌ　Ｃｏｎｔａｃｔ）という手法を用いることができる（特許文献３参照）。フィジカルコンタクトは、たとえば以下の手順で行われる。まず、フェルールに保持されたシングルコアファイバの端面をフェルール端面と共に、凸球面となるように研磨する。さらにコアの端面同士を接触させる。そして、フェルールを押圧することにより、シングルコアファイバとその周囲のフェルールを弾性変形させる。このような手順によりコアの端面同士が隙間なく接続される。
特開平１０－１０４４４３号公報 特開平８－１１９６５６号公報 特公平５－３９４４５号公報
　ここで、マルチコアファイバを利用した光プラグ同士をフィジカルコンタクトにより接続する場合について、図３１を参照して説明する。図３１は、マルチコアファイバＭＦ１（ＭＦ２）及びフェルールＦ１（Ｆ２）の軸方向の断面図である。また、図３１では、マルチコアファイバＭＦ１（ＭＦ２）及びフェルールＦ１（Ｆ２）の先端部のみを拡大して示している。
　図３１に示すように、従来の方法で研磨されたマルチコアファイバＭＦ１及びＭＦ２の端面同士を接続した場合、マルチコアファイバＭＦ１の端面（凸球面）の頂点に位置するコアＣｃ１の端面と、マルチコアファイバＭＦ２の端面（凸球面）の頂点に位置するコアＣｃ２の端面とは、密着された状態で接続できる。従って、コアＣｃ１－コアＣｃ２間では接続損失が生じ難い。
　しかし、コアＣｃの端面同士を接続した状態において、コアＣｃ１の周辺のコアＣａ１とコアＣｃ２の周辺のコアＣａ２との間には隙間Ｓが形成される。すなわち、コアＣａの端面同士を密着させることができないため、接続が不十分となる。従って、コアＣａ１－コアＣａ２間には接続損失が生じやすいという問題がある。なお、図３１の破線矢印は、接続損失が生じていることを示している。また、図３１の凸球面の曲率等は、上記問題点を理解し易くするために誇張して記載されている。
　この発明は上記の問題点を解決するものであり、マルチコアファイバの接続時における光の接続損失の低減を図ることができる光プラグの製造方法、光プラグ及び光コネクタを提供することを目的とする。
　上記課題を解決するために、請求項１記載の方法により製造される光プラグには、複数のコアがクラッドで覆われたマルチコアファイバが用いられる。光プラグの製造方法は、研磨工程を含む。研磨工程においては、複数のコアと等しい数の孔部が設けられた第１研磨部材により、マルチコアファイバの端面及びマルチコアファイバが挿入されたフェルールの端面が研磨される。この研磨工程により、複数のコアそれぞれの端面が、少なくとも当該端面に対しマルチコアファイバの径方向の外側に位置するクラッドの端面よりも突出される。
　また、上記課題を解決するために、請求項２記載の光プラグの製造方法は、請求項１記載の光プラグの製造方法であって、その研磨工程には、複数の孔部と複数のコアの端面とが一対一に対向するよう、第１研磨部材に対してマルチコアファイバの端面を配置する配置工程が含まれる。また、その研磨工程には、コアの端面が孔部の範囲内で移動するよう、第１研磨部材と、マルチコアファイバの端面及びフェルールの端面とを相対的に移動させることにより、フェルールの端面が研磨される工程が含まれる。この研磨する工程により、複数のコアそれぞれの端面が、少なくとも当該端面に対しマルチコアファイバの径方向の外側に位置するクラッドの端面よりも突出される。
　また、上記課題を解決するために、請求項３記載の光プラグの製造方法は、請求項２記載の光プラグの製造方法であって、塗布工程と、剥離工程を含む。塗布工程においては、マルチコアファイバの端面及びマルチコアファイバが挿入されたフェルールの端面にレジストが塗布される。剥離工程においては、クラッドの端面及びフェルールの端面に塗布されたレジストが剥離される。研磨工程においては、第１研磨部材により、レジストが剥離されたクラッドの端面及びレジストが剥離されたフェルールの端面が研磨され　また、上記課題を解決するために、請求項４記載の光プラグの製造方法は、請求項１から３のいずれかに記載の光プラグの製造方法であって、曲面形成工程を含む。曲面形成工程においては、第２研磨部材によりマルチコアファイバの端面及びフェルールの端面が研磨される。この工程により、マルチコアファイバの端面及びフェルールの端面の全体が曲面状に形成される。研磨工程においては、曲面形成工程で形成された曲面が研磨される。この工程により、複数のコアそれぞれの端面が、少なくとも当該端面に対しマルチコアファイバの径方向の外側に位置するクラッドの端面よりも突出される。
　また、上記課題を解決するために、請求項５記載の方法により製造される光プラグには、複数のコアがクラッドで覆われたマルチコアファイバが用いられる。光プラグの製造方法は、塗布工程と、剥離工程とを含む。塗布工程においては、マルチコアファイバの端面及びマルチコアファイバが挿入されたフェルールの端面にレジストが塗布される。剥離工程においては、クラッドの端面及びフェルールの端面に塗布されたレジストが剥離される。また、光プラグの製造方法においては、塗布工程及び剥離工程がなされたマルチコアファイバ及びフェルールの端面に対し、ブラスト加工を行う。この工程により、複数のコアそれぞれの端面を、少なくとも当該端面に対しマルチコアファイバの径方向の外側に位置するクラッドの端面よりも突出させる工程を含む。
　また、上記課題を解決するために、請求項６記載の方法により製造される光プラグには、複数のコアがクラッドで覆われたマルチコアファイバが用いられる。光プラグの製造方法は、塗布工程と、剥離工程と、エッチング工程と、を含む。塗布工程においては、マルチコアファイバの端面及びマルチコアファイバが挿入されたフェルールの端面にレジストが塗布される。剥離工程においては、クラッドの端面及びフェルールの端面に塗布されたレジストが剥離される。エッチング工程においては、塗布工程及び剥離工程がなされたマルチコアファイバ及びフェルールが、エッチング溶液に浸されてエッチングが行われる。この工程により、複数のコアそれぞれの端面が、少なくとも当該端面に対しマルチコアファイバの径方向の外側に位置するクラッドの端面よりも突出される。
　また、上記課題を解決するために、請求項７記載の光プラグの製造方法は、請求項５又は６記載の光プラグの製造方法であって、曲面形成工程を含む。曲面形成工程においては、第２研磨部材により、マルチコアファイバの端面及びフェルールの端面が研磨される。この工程により、マルチコアファイバの端面及びフェルールの端面の全体が曲面状に形成される。塗布工程においては、曲面形成工程で形成された曲面にレジストが塗布される。
　また、上記課題を解決するために、請求項８記載の方法により製造される光プラグには、複数のコアがクラッドで覆われたマルチコアファイバが用いられる。光プラグの製造方法は、エッチング工程を含む。エッチング工程においては、マルチコアファイバ及びフェルールがエッチング溶液に浸されてエッチングが行われる。この工程により、複数のコアそれぞれの端面が、少なくとも当該端面に対しマルチコアファイバの径方向の外側に位置するクラッドの端面よりも突出される。
　また、上記課題を解決するために、請求項９記載の光プラグの製造方法は、請求項８記載の光プラグの製造方法であって、曲面形成工程を含む。曲面形成工程においては、第２研磨部材により、マルチコアファイバの端面及びフェルールの端面が研磨することにより、マルチコアファイバの端面及びフェルールの端面の全体を曲面状に形成される。エッチング工程においては、曲面形成工程で形成された曲面がエッチングされる。
　また、上記課題を解決するために、請求項１０記載の光プラグは、請求項１から９のいずれかに記載の光プラグの製造方法を用いて製造される。
　また、上記課題を解決するために、請求項１１記載の光コネクタは、請求項１０に記載の光プラグがスリーブの双方から挿入され、複数のコアがそれぞれ当接して接続される。
　本発明によれば、マルチコアファイバを用いた光プラグの接続時における光の接続損失の低減を図ることができる。
実施形態に共通のマルチコアファイバを示す図である。 実施形態に共通の光プラグを示す図である。 第１実施形態に係る光プラグの製造手順を示すフローチャートである。 図３のフローチャートの説明を補足する図である。 図３のフローチャートの説明を補足する図である。 図３のフローチャートの説明を補足する図である。 図３のフローチャートの説明を補足する図である。 第１実施形態に係る研磨部材を示す図である。 第１実施形態に係る研磨部材を示す図である。 第１実施形態に係る光プラグの研磨手順を示すフローチャートである。 図１０のフローチャートの説明を補足する図である。 図１０のフローチャートの説明を補足する図である。 図１０のフローチャートの説明を補足する図である。 図１０のフローチャートの説明を補足する図である。 光プラグの端面の変形例を示す図である。 第１実施形態に係る光プラグ同士の接続状態を示す図である。 第１実施形態に係る光プラグ同士の接続状態を示す図である。 第２実施形態に係る光プラグの製造手順を示すフローチャートである。 第２実施形態に係るレジストの塗布・剥離手順を示すフローチャートである。 図１９のフローチャートの説明を補足する図である。 図１９のフローチャートの説明を補足する図である。 図１９のフローチャートの説明を補足する図である。 図１９のフローチャートの説明を補足する図である。 第３実施形態に係る光プラグの製造手順を示すフローチャートである。 第３実施形態に係るエッチング手順を示すフローチャートである。 図２５のフローチャートの説明を補足する図である。 図２５のフローチャートの説明を補足する図である。 図２５のフローチャートの説明を補足する図である。 第４実施形態に係る光プラグの製造手順を示すフローチャートである。 第４実施形態に係るエッチング手順を示すフローチャートである。 マルチコアファイバを利用した光プラグ同士をフィジカルコンタクトで接続した状態を示す図である。
［マルチコアファイバの構成］
　図１を参照して、マルチコアファイバ１の構成について説明する。マルチコアファイバ１は、一般に可撓性を有する長尺の円柱部材である。図１は、マルチコアファイバ１の斜視図である。図１では、マルチコアファイバ１の先端部分のみを示している。
　マルチコアファイバ１は、たとえば石英ガラスやプラスチック等、光の透過性が高い素材により形成されている。マルチコアファイバ１は、複数のコアＣｋ（ｋ＝１～ｎ）と、クラッド２を含んで構成されている。
　コアＣｋは、光源（図示なし）からの光を伝送する伝送路である。コアＣｋはそれぞれ端面Ｅｋ（ｋ＝１～ｎ）を有する。端面Ｅｋからは、光源（図示なし）で発せられた光が出射される。クラッド２よりも屈折率を高めるために、コアＣｋは、たとえば石英ガラスに酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ２）が添加された素材により形成されている。なお、図１では７つのコアＣ１～Ｃ７を有する構成を示したが、コアＣｋにおけるコア数は少なくとも２つ以上であればよい。
　クラッド２は、複数のコアＣｋを覆う部材である。クラッド２は、光源（図示なし）からの光をコアＣｋ内に閉じ込める役割を有する。クラッド２は端面２ａを有する。コアＣｋの端面Ｅｋ及びクラッド２の端面２ａは同一面（マルチコアファイバ１の端面１ｂ）を形成している。クラッド２の素材としては、コアＣｋの素材よりも屈折率が低い素材が用いられる。たとえば、コアＣｋの素材が石英ガラスと酸化ゲルマニウムからなる場合には、クラッド２の素材としては石英ガラスを用いる。このように、コアＣｋの屈折率をクラッド２の屈折率よりも高くすることで、光源（図示なし）からの光をコアＣｋとクラッド２の境界面で全反射させる。よって、コアＣｋ内に光を伝送させることができる。なお、コアＣｋは、それぞれ径方向外側へゆくに従い屈折率が高くなるように構成されてもよい。このような構成においては、コアＣｋ内に入射した光が内部で屈折しながら伝送される。
［光プラグの構成］
　次に、図２を参照して、光プラグ１０の構成例を説明する。図２は、光プラグ１０の軸方向の断面図である。
　本実施形態に係る光プラグ１０は、マルチコアファイバ１、フェルール１１、フレーム１２、フード１３を含んで構成されている。
　マルチコアファイバ１は、上述のようにクラッド２内に複数のコアＣｋを有している。また、マルチコアファイバ１は、プラスチック等の保護材１ａで覆われている。
　フェルール１１は、可撓性のあるマルチコアファイバ１を支持するための円筒形状の部材である。フェルール１１は、たとえばガラス（石英ガラスやホウケイ酸ガラス）、結晶化ガラス、ステンレス、ジルコニア（ＺｒＯ２）等を含む素材で形成されている。
　フェルール１１の内部には、円筒形状の空間部１１ａと、空間部１１ａよりも径が大きい空間部１１ｂとが設けられている。空間部１１ａには、マルチコアファイバ１が挿入される。空間部１１ｂには、保護材１ａが挿入される。また、空間部１１ａと空間部１１ｂはテ―パ面１１ｃにより連結されている。テ―パ面１１ｃに保護材１ａの先端面が突き当たることにより、フェルール１１に対してマルチコアファイバ１の位置決めがなされている。マルチコアファイバ１とフェルール１１とは、位置決めされた状態で接着剤等により固定される。
　また、フェルール１１の先端には端面１１ｄが形成されている。光プラグ１０において、端面１ｂ（コアＣｋの端面Ｅｋ及びクラッド２の端面２ａ）と端面１１ｄとは同一面を形成している。
　更に、フェルール１１の外周には、フランジ部１１ｅが設けられている。フランジ部１１ｅがフレーム１２の一部と突き当たることにより、フェルール１１に対するフレーム１２の位置決めがなされている。フランジ部１１ｅとフレーム１２とは、位置決めされた状態で接着剤等により固定される。
　フレーム１２は、フェルール１１を覆う部材である。フレーム１２は、アダプタ３０（後述）と嵌合される嵌合溝１２ａが形成されている。フード１３は、フェルール１１から突出する保護材１ａを覆う部材である。
＜第１実施形態＞
［光プラグの製造方法について］
　図３から図７を参照して、第１実施形態に係る光プラグ１０の製造方法の概略を説明する。図３は光プラグ１０の製造手順を示すフローチャートである。図４から図７は、光プラグ１０を構成する部材（マルチコアファイバ１、フェルール１１、フレーム１２及びフード１３）の軸方向の断面図である。
　まず、保護材１ａを一部剥離したマルチコアファイバ１をフェルール１１に挿入する（Ｓ１０。図４参照）。保護材１ａの先端面がテ―パ面１１ｃに突き当たることにより、フェルール１１に対するマルチコアファイバ１の位置決めがなされる（図５参照）。保護材１ａの先端面がテ―パ面１１ｃに突き当たると、マルチコアファイバ１の端面１ｂは、フェルール１１の端面１１ｄから突出した状態となる（図５参照）。マルチコアファイバ１及びフェルール１１は、位置決めがなされた状態で接着剤等により固定される。
　Ｓ１０の状態で、フェルール１１の端面１１ｄから突出したマルチコアファイバ１を切断する（Ｓ１１。図５参照）。この切断方向は、図５の矢印方向である。マルチコアファイバ１の突出部分を切断することにより、フェルール１１の端面１１ｄとマルチコアファイバ１の端面１ｂは、同一面を形成する（図６参照）。
　その後、マルチコアファイバ１が挿入されたフェルール１１に対し、フレーム１２及びフード１３を組み付ける（Ｓ１２。図７参照）。なお、フレーム１２及びフード１３は、予めＳ１０、Ｓ１１の工程前にマルチコアファイバ１に通されており、ステップＳ１０、Ｓ１１の工程の後、マルチコアファイバ１及びフェルール１１の先端部に移動させて組み付けられることが好ましい。
　そして、端面（マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄ）が研磨されることにより（Ｓ１３）、図２に示すような光プラグ１０が完成する（Ｓ１４）。研磨の詳細については後述する。なお、研磨（Ｓ１３）は、Ｓ１２と逆であってもよい。
［研磨について］
　図８から図１４を参照して、Ｓ１３の研磨について詳述する。図８は、本実施形態で用いられる研磨部材２０の上面図である。図９は、図８のＡ－Ａ断面図である。図１０は図３に示す研磨（Ｓ１３）の手順を示すフローチャートである。図１１から図１４は、マルチコアファイバ１及びフェルール１１の軸方向の断面を示す拡大図である。なお、図１２から図１４におけるマルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄの曲率は、実施形態の内容を理解し易くするために誇張して記載されている。
　まず、図８及び図９を参照して、研磨部材２０について詳述する。研磨部材２０は、研磨台２１、研磨台２１上に配置される弾性板２２、弾性板２２上に配置されるシート状の研磨フィルム２３を含んで構成される。研磨フィルム２３には、研磨面２３ａと、孔部Ｈｋ（ｋ＝１～ｎ）とが設けられている。研磨面２３ａは、マルチコアファイバ１やフェルール１１の研磨を行うための面である。孔部Ｈｋは、複数のコアＣｋにおけるコア数と等しい数だけ設けられている。本実施形態では、７つのコアＣ１～Ｃ７に対して７つの孔部Ｈ１～Ｈ７が設けられている。孔部Ｈｋにおける孔それぞれの中心位置は、マルチコアファイバ１のコアＣｋそれぞれのコアの中心位置と略一致するよう形成されており、かつ孔部Ｈｋそれぞれの径はコアＣｋそれぞれの径（図８に破線で示す）よりも大きく形成されている。また、研磨フィルム２３は、たとえばダイヤモンドにより形成されている。本実施形態における研磨部材２０は、「第１研磨部材」の一例である。
　コアＣｋの端面Ｅｋそれぞれが孔部Ｈｋそれぞれの範囲内で移動されるよう、研磨部材２０とマルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄとを相対的に移動させる。このように移動させることにより、孔部Ｈｋそれぞれに対向する位置に配置された端面Ｅｋそれぞれは研磨されず、それ以外の部分が研磨される。なお、「それ以外の部分」とは、フェルール１１の端面１１ｄ及びクラッド２の端面２ａである。このような研磨を行う場合には、各孔部Ｈｋ内で各コアＣｋが移動できる領域が確保されていなければならない。このため、上述のように各孔部Ｈｋの径は各コアＣｋの径よりも大きく形成されている。なお、研磨部材２０とマルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄとを相対的に移動させるために、研磨台２１を移動可能に構成してもよい。
　次に、図１０から図１４を参照して、研磨部材２０を用いた研磨工程について詳述する。
　まず、研磨部材２０´によりマルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄが共に研磨されることにより、端面全体が曲面状に形成される（Ｓ１３１。図１１及び図１２参照）。
　具体的には、研磨工程において、研磨台２１´、研磨台２１´上に配置される弾性板２２´、弾性板２２´上に配置されるシート状の研磨フィルム２３´を含む研磨部材２０´が用いられる。なお、研磨フィルム２３´には、研磨フィルム２３のような孔部Ｈｋは形成されない。この研磨部材２０´に対し、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄが押し当てられる。そして、押し当てられた部分に対し、滴下装置ＳＡにより研磨スラリーｓが添加される。この添加により、マルチコアファイバ１の軸（図１１の破線）を中心としてマルチコアファイバ１を回転させることにより研磨が行われる。このように研磨することで、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄの全体を曲面状に形成することができる（図１２参照）。本実施形態におけるＳ１３１の工程は、「曲面形成工程」の一例である。また、本実施形態における研磨部材２０´は、「第２研磨部材」の一例である。なお、Ｓ１３１の工程は、必須の工程ではない。
　Ｓ１３１において、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄが曲面状に形成されると、その次に、研磨部材２０に対してマルチコアファイバ１が挿入されたフェルール１１が配置される（Ｓ１３２）。このとき、当該曲面における複数のコアＣｋの端面Ｅｋと複数の孔部Ｈｋとが一対一に対向するように、フェルール１１が配置される。本実施形態では、コアＣ１～コアＣ７に対し、孔部Ｈ１～孔部Ｈ７が一対一に対向するように、研磨部材２０に対し、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄが配置される。本実施形態におけるＳ１３２の工程は、「配置工程」の一例である。
　なお、配置が適切になされているかどうかを判断するために、たとえば、マルチコアファイバ１に光を入力し、研磨部材２０の孔部Ｈｋを介して研磨部材２０の下側で光を検出する方法を採ることができる。この方法において、全てのコアＣｋからの光が検出された場合には、適切な配置であると判断することが可能である。この場合、研磨台２１及び弾性板２２は光を透過できるような素材により形成されていることが望ましい。
　Ｓ１３２の状態で、研磨部材２０に対してマルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄは、振動されて研磨される（Ｓ１３３。図１３参照）。
　具体的には、保持部材（図示なし）に保持されたマルチコアファイバ１及びフェルール１１に対し、振動部材（図示なし）によりピエゾ振動（図１３の矢印方向）を与え、コアＣｋの各端面Ｅｋが各孔部Ｈｋの範囲内で移動されるように研磨が行われる。これにより、孔部Ｈｋに対向する位置に配置されたコアＣｋの端面Ｅｋは研磨されず、それ以外の部分（フェルール１１の端面１１ｄ及びクラッド２の端面２ａ）が研磨される。よって、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋを、クラッド２の端面２ａよりも突出させることができる（図１４参照）。なお、端面全体を均一に研磨するためには、ピエゾ振動の方向を適宜変更することが望ましい。本実施形態におけるＳ１３２及びＳ１３３は、「研磨工程」の一例である。
　なお、Ｓ１３３における研磨は、マルチコアファイバ及びフェルール１１を固定した上で、研磨部材２０を移動させることによっても可能である。すなわち、Ｓ１３３における研磨においては、研磨部材２０とマルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄとを各孔部Ｈｋの直径以下の移動範囲で相対的に移動させてもよい。
　また、コアＣｋ同士を確実に接続することができれば、研磨後の光プラグ１０の端面形状は上記実施形態の形状に限られない。
　たとえば、図１５に示すように、中央のコアＣ´１の端面Ｅ´１周辺に位置するクラッド２´の端面２ａ´よりも周辺のコアＣ´２及びＣ´３の端面Ｅ´２及びＥ´３の方が低くなっている形状であってもよい。すなわち、複数のコアそれぞれの端面は、少なくとも当該端面に対しマルチコアファイバの径方向の外側に位置するクラッドの端面よりも突出されていればよい。
［光プラグ同士の接続について］
　次に、図１６及び図１７を参照して、Ｓ１４で形成された光プラグ１０同士の接続について詳述する。図１６は、光プラグ１０の軸方向の断面図である。図１７は、マルチコアファイバ１及びフェルール１１の軸方向の断面を示す拡大図である。なお、図１７におけるマルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄの曲率は、実施形態の内容を理解し易くするために誇張して記載されている。
　図１６に示すように、光プラグ１０同士は、アダプタ３０を介して接続される。アダプタ３０は、嵌合部３０ａと、スリーブ３０ｂとを含んで構成されている。
　嵌合部３０ａは、フェルール１１に形成された嵌合溝１２ａに嵌合される部位である。嵌合部３０ａに嵌合溝１２ａが嵌合されることにより、アダプタ３０に対して光プラグ１０が位置決めされる。
　スリーブ３０ｂは、フェルール１１が挿入される円筒形状の部材である。２つの光プラグ１０それぞれのフェルール１１がスリーブ３０ｂに挿入されることにより、マルチコアファイバ１の端面１ｂ同士及びフェルール１１の端面１１ｄ同士が接続され、かつ、フェルール１１同士の軸合わせ（マルチコアファイバ１同士の軸合わせ）が可能となる。軸合わせがなされた状態において、コアＣｋのずれ（マルチコアファイバ１の周方向のずれ）がある場合には、一方の光プラグ１０を他方の光プラグに対して回転させることによりそれぞれのコアＣｋ同士が当接するように位置合わせを行う。アダプタ３０を介して光プラグ１０同士を接続することにより光コネクタ１００が形成される。なお、嵌合部３０ａに嵌合溝１２ａが嵌合されることにより、双方の光プラグ１０のマルチコアファイバ１のコアＣｋ同士が押圧されつつ当接するよう構成されていることが好ましい。
　光コネクタ１００が形成された際、光プラグ１０同士の接続は、図１７に示すようになっている。すなわち、突出したコアＣｋの端面Ｅｋ同士が密着された状態で接続されている。
　一方、コアＣｋ周辺のクラッド２の端面２ａ同士は当該コアＣｋの端面Ｅｋよりも凹んだ位置にあるため接触し難い。つまり、コアＣｋ同士の接続を邪魔するおそれを防止している。従って、コアＣｋ同士を確実に接続することが可能なため、接続損失を低減させることができる。なお、コアＣｋ同士を確実に接続することができれば、クラッド２の端面２ａ同士やフェルール１１の端面１１ｄ同士が当接されていてもよい。なお、図１０に示すＳ１３１の工程を省略した場合、コアＣｋ周辺のクラッド２の端面２ａが凹んだ状態で、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋは略等しい高さに形成されるため、同様に、突出したコアＣｋの端面Ｅｋ同士を密着させた状態で接続させることができる。
［作用・効果］
　本実施形態の作用及び効果について説明する。
　本実施形態に係る光プラグ１０には、複数のコアＣｋがクラッド２で覆われたマルチコアファイバ１が用いられる。本実施形態に係る光プラグ１０の製造方法は、研磨工程を含む。研磨工程においては、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びマルチコアファイバ１が挿入されたフェルール１１の端面１１ｄが複数のコアＣｋのコア数と等しい数の孔部Ｈｋが設けられた研磨部材２０によって研磨される。この工程により、複数のコアＣｋの端面Ｅｋそれぞれが、少なくとも当該端面Ｅｋに対しマルチコアファイバ１の径方向の外側に位置するクラッド２の端面２ａよりも突出される。
　また、研磨工程は、配置工程を有する。配置工程においては、複数の孔部Ｈｋそれぞれと複数のコアＣｋの端面Ｅｋそれぞれとが一対一に対向するよう、研磨部材２０に対してマルチコアファイバ１の端面１ｂが配置される。研磨工程においては、コアＣｋの端面Ｅｋそれぞれが孔部Ｈｋそれぞれの範囲内で移動するよう、研磨部材２０と、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄとを相対的に移動させることにより、フェルール１１の端面１１ｄが研磨される。この工程により、複数のコアＣｋの端面Ｅｋそれぞれが、少なくとも当該端面Ｅｋに対しマルチコアファイバ１の径方向の外側に位置するクラッド２の端面２ａよりも突出される。
　このように、複数のコアＣｋと等しい数の孔部Ｈｋが設けられた研磨部材２０を用いた研磨により、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋをクラッド２の端面２ａよりも突出させることができる。よって、突出したコアＣｋの端面Ｅｋ同士を密着させた状態で接続することができるようになる。つまり、コアＣｋ同士を確実に接続させることが可能となる。従って、光プラグ同士を接続する際の光の接続損失を低減させることができる。
　また、本実施形態に係る光プラグ１０の製造方法は、曲面形成工程を含んでいてもよい。曲面形成工程においては、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄを研磨部材２０´で研磨することにより、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄの全体が曲面状に形成される。研磨工程においては、曲面形成工程で形成された曲面に対し、研磨部材２０を用いて研磨することにより、複数のコアＣｋの端面Ｅｋそれぞれが、少なくとも当該端面Ｅｋに対しマルチコアファイバ１の径方向の外側に位置するクラッド２の端面２ａよりも突出される。
　このように、予めマルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄを曲面に形成する曲面形成工程を加え、該工程後、その曲面を研磨部材２０で研磨することにより、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋをクラッド２の端面２ａよりも突出させる際の研磨にかかる時間を短縮することができ、量産性を向上させることができる。
＜第２実施形態＞
［光プラグの製造方法について］
　図１８を参照して、第２実施形態に係る光プラグ１０の製造方法の概略を説明する。図１８は光プラグ１０の製造手順を示すフローチャートである。なお、第１実施形態と同様の構成や動作については、詳細な説明を省略する場合がある。
　まず、保護材１ａを一部剥離したマルチコアファイバ１がフェルール１１に挿入される（Ｓ２０）。Ｓ２０の状態で、フェルール１１の端面１１ｄから突出したマルチコアファイバ１が切断される（Ｓ２１）。その後、マルチコアファイバ１が挿入されたフェルール１１に対し、フレーム１２及びフード１３が組み付けられる（Ｓ２２）。
　ここで、本実施形態では、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄに対して、レジストＲの塗布・剥離が行われる（Ｓ２３）。そして、端面（マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄ）が研磨されることにより（Ｓ２４）、光プラグ１０が完成する（Ｓ２５、図２参照）。レジストＲの塗布・剥離及び研磨の詳細については後述する。なお、レジストＲの塗布・剥離（Ｓ２３）は、Ｓ２２と逆であってもよい。本実施形態におけるＳ２４は、「研磨工程」の一例である。
［レジストの塗布工程及び剥離工程について］
　図１９から図２２を参照して、レジストＲの塗布・剥離の一例について説明する。図１９はレジストＲの塗布・剥離を示すフローチャートである。図２０から図２２は、マルチコアファイバ１及びフェルール１１の軸方向の断面図である。本実施形態では、ＵＶ（Ｕｌｔｒａ　Ｖｉｏｌｅｔ）硬化特性を有するネガ型レジストＲ（アクリル系或いはエポキシ系）を用いて説明する。
　まず、図２０に示すように、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄに対してレジストＲが塗布される（Ｓ２３１）。この際、少なくとも複数のコアＣｋの端面Ｅｋ全体にレジストＲが塗布されることが望ましい。本実施形態におけるレジストを塗布する工程（Ｓ２３１）は、「塗布工程」の一例である。
　次に、ＵＶ（Ｕｌｔｒａ　Ｖｉｏｌｅｔ）光源（図示なし）から複数のコアＣｋを通じてレジストＲに対してＵＶ照射が行われる（Ｓ２３２。図２１の矢印参照）。このようなＵＶ照射により、塗布されたレジストＲのうち、複数のコアＣｋの端面Ｅｋに塗布されたレジストＲのみが硬化され、それ以外（クラッド２の端面２ａ及びフェルール１１の端面１１ｄ）に塗布されたレジストＲは硬化されない。
　最後に、レジストＲを塗布した部分にレジスト剥離剤ＲＡが塗布されることにより、レジストＲの剥離が行われる（Ｓ２３３。図２２参照）。本実施形態では、ネガ型のレジストＲを用いられるため、ＵＶ照射された部分（複数のコアＣｋの端面Ｅｋ）のレジストＲでは、レジスト剥離剤ＲＡに対する溶解性が低下する。よって、レジスト剥離剤ＲＡが塗布された場合、複数のコアＣｋの端面Ｅｋに塗布されたレジストＲのみが残り、それ以外（クラッド２の端面２ａ及びフェルール１１の端面１１ｄ）に塗布されたレジストＲは剥離される（図２２の点線は剥離されたレジストＲを示す）。レジスト剥離剤ＲＡとしては、たとえばアルキルベンゼンスルホン酸等を成分とする有機酸系の薬液が使用される。本実施形態におけるレジストを剥離する工程（Ｓ２３３）は、「剥離工程」の一例である。
［研磨について］
　次に、Ｓ２４の研磨について詳述する。本実施形態における研磨工程の概要は、次の通りである。研磨対象は、複数のコアＣｋの端面ＥｋにレジストＲが塗布され、それ以外（クラッド２の端面２ａ及びフェルール１１の端面１１ｄ）に塗布されたレジストＲが剥離された状態のマルチコアファイバ１及びフェルール１１（図２２参照）である。研磨部材としては、上述の第１実施形態で用いた、複数のコアＣｋと等しい数の孔部Ｈｋが設けられた「第１研磨部材」である研磨部材２０が用いられる。研磨方法は、上記第１実施形態と同様である。本実施形態における研磨工程の結果、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋがクラッド２の端面２ａよりも突出される。
　また、図１８、図１９に示す研磨（Ｓ２４）の工程に代えて、該ステップＳ２４をパウダーブラスト加工としてもよい。すなわち、図２３に示すように、複数のコアＣｋの端面ＥｋにレジストＲが塗布され、それ以外（クラッド２の端面２ａ及びフェルール１１の端面１１ｄ）に塗布されたレジストＲが剥離された状態のマルチコアファイバ１及びフェルール１１に対し、パウダーブラスト加工が行われる。この工程により、複数のコアＣｋの端面Ｅｋそれぞれをクラッド２の端面２ａよりも突出される。なお、パウダーブラスト加工とは、圧縮空気等のキャリアガスにより加速されたブラスト材と呼ばれる微細砥粒をノズルＮＺから噴出させ、被加工物表面に高速かつ高密度で衝突させ被加工物表面の微細な加工を行うものである。なお、「被加工物表面」とは、本願では、上記コアＣｋの端面ＥｋにのみレジストＲが塗布された状態のマルチコアファイバ１及びフェルール１１である。ブラスト材には、シリカ、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素等の微細粉末が用いられる。
　研磨又はパウダーブラスト加工の後、コアＣｋの端面Ｅｋに塗布された残留するレジストＲを、たとえばアセトン若しくはエタノールで除去した後、純粋等で洗浄される。この工程により第１実施形態と同様の光プラグ１０を製造することができる（Ｓ２５、図２参照）。
　なお、本実施形態においても、第１実施形態と同様の曲面形成工程（Ｓ１３１）を行うことが望ましい。その場合、レジストＲの塗布・剥離は、曲面形成工程の後に行われる。
［作用・効果］
　本実施形態の作用及び効果について説明する。
　本実施形態に係る光プラグ１０の製造方法は、塗布工程と、剥離工程とを含む。塗布工程においては、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びマルチコアファイバ１が挿入されたフェルール１１の端面１１ｄにレジストＲが塗布される。剥離工程においては、クラッド２の端面２ａ及びフェルール１１の端面１１ｄに塗布されたレジストＲが剥離される。剥離工程の後、研磨工程を用いる場合には、上記第１実施形態で用いた、複数のコアＣｋと等しい数の孔部Ｈｋが設けられた研磨部材２０が用いられて上記第１実施形態と同様に研磨される。この場合には、コアＣｋの端面Ｅｋ上のみにレジストＲが突出しているため、孔部Ｈｋに突出したレジストＲを挿入させることにより、複数のコアＣｋの端面Ｅｋそれぞれと孔部Ｈｋそれぞれとを一対一に対向させる配置工程が極めて容易になる。また、剥離工程の後、パウダーブラスト工程を用いる場合には、第１実施形態における配置工程が不要になり量産性を向上させることができる。
　このように、コアＣｋそれぞれの端面ＥｋにのみレジストＲを塗布した状態で、研磨又はパウダーブラスト加工を行うことによっても、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋをクラッド２の端面２ａよりも突出させることができる。よって、突出したコアＣｋの端面Ｅｋ同士を密着させた状態で接続することができるようになる。つまり、コアＣｋ同士を確実に接続させることが可能となる。従って、光プラグ同士を接続する際の光の接続損失を低減させることができる。
＜第３実施形態＞
［光プラグの製造方法について］
　図２４を参照して、第３実施形態に係る光プラグ１０の製造方法の概略を説明する。図２４は光プラグ１０の製造手順を示すフローチャートである。なお、第１実施形態及び第２実施形態と同様の構成や動作については、詳細な説明を省略する場合がある。
　まず、保護材１ａを一部剥離したマルチコアファイバ１をフェルール１１に挿入する（Ｓ３０）。Ｓ３０の状態で、フェルール１１の端面１１ｄから突出したマルチコアファイバ１が切断される（Ｓ３１）。その後、マルチコアファイバ１が挿入されたフェルール１１に対し、フレーム１２及びフード１３が組み付けられる（Ｓ３２）。
　ここで、本実施形態では、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄに対して、レジストの塗布・剥離が行われる（Ｓ３３）。そして、端面（マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄ）がエッチングされることにより（Ｓ３４）、光プラグ１０が完成する（Ｓ３５）。エッチングの詳細については後述する。本実施形態におけるＳ３４は、「エッチング工程」の一例である。
［エッチングについて］
　図２５から図２８を参照して、Ｓ３４のエッチングについて詳述する。図２５はエッチングの手順を示すフローチャートである。図２６から図２８は、マルチコアファイバ１及びフェルール１１の軸方向の断面を示す拡大図である。なお、図２６から図２８におけるマルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄの曲率は、実施形態の内容を理解し易くするために誇張して記載されている。
　本実施形態では、図２６に示すような、端面全体が曲面状に形成され、且つコアＣｋの端面ＥｋのみにレジストＲが塗布されたマルチコアファイバ１及びフェルール１１に対してエッチングを行う例について説明する。
　端面全体を曲面状に形成する曲面形成工程は、第１実施形態におけるＳ１３１と同様の処理であるため詳細な説明を省略する。また、コアＣｋの端面ＥｋのみにレジストＲを塗布・剥離する工程（Ｓ３３）は、第２実施形態におけるＳ２３（Ｓ２３１～Ｓ２３３）と同様の処理であるため詳細な説明を省略する。本実施形態における曲面形成工程は、Ｓ３３のレジストを塗布・剥離する工程の前に実行されることが望ましい。
　本実施形態におけるコアＣｋ及びクラッド２は、石英ガラスにより形成されている（コアＣｋにはクラッド２よりも屈折率が高くなるような素材が添加されている）。本実施形態のフェルール１１は、たとえば、石英ガラスに対し、酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ２）が添加された材料又は金属フェルールであるニッケルクロム合金により形成されている。また、エッチング溶液ＥＴとしてはバファードフッ酸（（Ｂｕｆｆｅｒｅｄ　Ｈｙｄｒｏｇｅｎ　Ｆｌｕｏｒｉｄｅ：ＢＨＦ）を用いる。ＢＨＦは、フッ酸（ＨＦ）及びフッ化アンモニウム（ＮＨ４Ｆ）の水溶液である。なお、コアＣｋ、クラッド２及びフェルール１１の素材及びエッチング溶液ＥＴの種類はあくまでも一例である。
　まず、図２７に示すように、コアＣｋの端面ＥｋのみにレジストＲが塗布されたマルチコアファイバ１及びフェルール１１の先端部分がエッチング溶液ＥＴに浸される（Ｓ３４１）。その際、石英ガラスからなるクラッド２は、エッチング溶液ＥＴと反応し腐食が進む。一方、コアＣｋは、端面ＥｋがレジストＲにより保護されているため、バファードフッ酸（ＢＨＦ）と反応し難い。同様に、フェルール１１も、酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ２）が添加されているため、バファードフッ酸（ＢＨＦ）と反応し難い。すなわち、コアＣｋ及びフェルール１１は、クラッド２に比べ腐食が進み難い。
　このように、バファードフッ酸（ＢＨＦ）を用いてエッチングが行われた後、レジストＲがアセトン若しくはエタノールにより除去され（Ｓ３４２）、純水等により洗浄が行われる（Ｓ３４３）。その結果、図２８に示すような、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋがクラッド２の端面２ａよりも突出された光プラグ１０を得ることができる（Ｓ３５）。更に、この場合には、クラッド２の端面２ａはフェルール１１の端面１１ｄよりも低くなっている。
　なお、コアＣｋに酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ２）を添加することにより、クラッド２よりも屈折率を高めつつ、バファードフッ酸（ＢＨＦ）に対して更に反応し難くすることができる。また、本実施形態では、エッチング溶液を使用するウエットエッチングの例について説明したが、アルゴン（Ａｒ）ガス等を用いたドライエッチングを用いることもできる。
［作用・効果］
　本実施形態の作用及び効果について説明する。
　本実施形態に係る光プラグ１０は、複数のコアＣｋがクラッド２で覆われたマルチコアファイバ１を用いる。本実施形態に係る光プラグ１０の製造方法は、塗布工程と、剥離工程と、エッチング工程とを含む。塗布工程においては、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びマルチコアファイバ１が挿入されたフェルール１１の端面１１ｄにレジストＲが塗布される。剥離工程においては、クラッド２の端面２ａ及びフェルール１１の端面１１ｄに塗布されたレジストＲが剥離される。エッチング工程においては、塗布工程及び剥離工程がなされたマルチコアファイバ１及びフェルール１１がエッチング溶液ＥＴに浸されてエッチングが行われる。この工程により、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋが、少なくとも端面Ｅｋに対しマルチコアファイバ１の径方向の外側に位置するクラッド２の端面２ａよりも突出される。
　このように、エッチングにより、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋをクラッド２の端面２ａよりも突出させることができる。よって、突出したコアＣｋの端面Ｅｋ同士を密着させた状態で接続することができるようになる。つまり、コアＣｋ同士を確実に接続させることが可能となる。従って、光プラグ同士を接続する際の光の接続損失の低減させることができる。
　また、本実施形態に係る光プラグ１０の製造方法は、曲面形成工程を含んでいてもよい。曲面形成工程においては、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄが研磨部材２０´により研磨されることにより、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄの全体が曲面状に形成される。塗布工程においては、曲面形成工程で形成された曲面にレジストＲの塗布が行われる。
　このように、予めマルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄを曲面に形成する曲面形成工程を加え、該工程後、コアＣｋの端面ＥｋにレジストＲが塗布された状態でエッチングが行われる。これらの工程により、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋをクラッド２の端面２ａよりも突出させる際のエッチングにかかる時間を短縮することができ、量産性を向上させることができる。
＜第４実施形態＞
［光プラグの製造方法について］
　図２９を参照して、第４実施形態に係る光プラグ１０の製造方法の概略を説明する。図２９は光プラグ１０の製造手順を示すフローチャートである。なお、第１実施形態から第３実施形態と同様の構成や動作については、詳細な説明を省略する場合がある。
　まず、保護材１ａを一部剥離したマルチコアファイバ１がフェルール１１に挿入される（Ｓ４０）。Ｓ４０の状態で、フェルール１１の端面１１ｄから突出したマルチコアファイバ１が切断される（Ｓ４１）。その後、マルチコアファイバ１が挿入されたフェルール１１に対し、フレーム１２及びフード１３が組み付けられる（Ｓ４２）。
　ここで、本実施形態では、端面（マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄ）をエッチングすることにより（Ｓ４３）、光プラグ１０が完成する（Ｓ４４）。エッチングの詳細については後述する。なお、エッチングは、Ｓ４０以降であればどのタイミングで行われてもよい。本実施形態におけるＳ４３は、「エッチング工程」の一例である。
［エッチングについて］
　図３０を参照して、Ｓ４３のエッチングについて詳述する。図３０はエッチングの手順を示すフローチャートである。
　本実施形態では、端面全体が曲面状に形成されたマルチコアファイバ１及びフェルール１１（図１２参照）に対してエッチングを行う例について説明する。なお、端面全体を曲面状に形成する曲面形成工程は、第１実施形態におけるＳ１３１と同様の処理であるため詳細な説明を省略する。
　本実施形態におけるコアＣｋは、石英ガラスに対し、酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ２）が添加された素材により形成されている。クラッド２は、石英ガラスにより形成されている。フェルール１１は、第３実施形態と同様の材料で形成されている。また、エッチング溶液ＥＴとしてはバッファードフッ酸（ＢＨＦ）を用いる。ＢＨＦは、フッ酸（ＨＦ）に比べエッチングの速度が遅い。このＢＨＦの緩衝効果によりフォトレジストの耐性が向上する。なお、コアＣｋ、クラッド２及びフェルール１１の素材及びエッチング溶液ＥＴの種類はあくまでも一例である。
　第３実施形態と同様、マルチコアファイバ１及びフェルール１１の先端部分をエッチング溶液ＥＴに浸す（Ｓ４３１）。その際、石英ガラスのみからなるクラッド２は、エッチング溶液ＥＴと反応し溶解が進む。一方、コアＣｋには、酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ２）が添加されているため、ＢＨＦと反応し難い。同様に、フェルール１１にも酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ２）が添加されているため、ＢＨＦと反応し難い。すなわち、コアＣｋ及びフェルール１１は、クラッド２に比べ溶解が進み難い。
　このようにＢＨＦを用いてエッチングが行われた後、純水等により洗浄が行われる（Ｓ４３２）。その結果、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋがクラッド２の端面２ａよりも突出した光プラグ１０を得ることができる（Ｓ４４）。
　なお、エッチング後に追加研磨を行ってもよい。たとえば、エッチング時に所定の段差より大きめにエッチング処理しておき、仕上げ研磨で全体的に平坦化することで所定の段差となるように追加研磨することができる。また、エッチング処理後のファイバ端面は微細に荒れている場合や、コアの突き出しの上面形状が滑らかでない場合がある。このような場合に、必要に応じて、追加研磨でコア上面形状を滑らかに仕上げる工程を加えてもよい。
［作用・効果］
　本実施形態の作用及び効果について説明する。
　本実施形態に係る光プラグ１０は、複数のコアＣｋがクラッド２で覆われたマルチコアファイバ１を用いる。本実施形態に係る光プラグ１０の製造方法は、エッチング工程を含む。エッチング工程においては、マルチコアファイバ１及びフェルール１１がエッチング溶液ＥＴに浸されてエッチングが行われる。この工程により、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋが、少なくとも端面Ｅｋに対しマルチコアファイバ１の径方向の外側に位置するクラッド２の端面２ａよりも突出される。
　このように、レジストを用いない場合であっても、エッチングにより複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋをクラッド２の端面２ａよりも突出させることができる。よって、突出したコアＣｋの端面Ｅｋ同士を密着させた状態で接続することができるようになる。つまり、コアＣｋ同士を確実に接続させることが可能となる。従って、光プラグ同士を接続する際の光の接続損失を低減させることができる。
　また、本実施形態に係る光プラグ１０の製造方法は、曲面形成工程を含んでいてもよい。曲面形成工程においては、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄを研磨部材２０´で研磨することにより、マルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄの全体が曲面状に形成される。エッチング工程においては、曲面形成工程で形成された曲面がエッチングされる。
　このように、予めマルチコアファイバ１の端面１ｂ及びフェルール１１の端面１１ｄを曲面に形成する曲面形成工程を加え、該工程後、当該曲面に対してエッチングが行われる。この工程により、複数のコアＣｋそれぞれの端面Ｅｋをクラッド２の端面２ａよりも突出させる際のエッチングにかかる時間を短縮することができ、量産性を向上させることができる。
　１　マルチコアファイバ
　１ｂ　先端面
　２　クラッド
　２ａ　端面
　１０　光プラグ
　１１　フェルール
　１１ａ、１１ｂ　空間部
　１１ｃ　テ―パ面
　１１ｄ　端面
　１１ｅ　フランジ部
　１２　フレーム
　１２ａ　嵌合溝
　１３　フード
　２０、２０´　研磨部材
　２１、２１´　研磨台
　２２、２２´　弾性板
　２３、２３´　研磨フィルム
　３０　アダプタ
　３０ａ　嵌合部
　３０ｂ　スリーブ
　１００　光コネクタ
　Ｃｋ　コア
　Ｅｋ　端面

Claims (11)

  1. 　複数のコアがクラッドで覆われたマルチコアファイバを用いた光プラグの製造方法であって、
    　前記マルチコアファイバの端面及び前記マルチコアファイバが挿入されたフェルールの端面を前記複数のコアと等しい数の孔部が設けられた第１研磨部材で研磨することにより、前記複数のコアそれぞれの端面を、少なくとも当該端面に対し前記マルチコアファイバの径方向の外側に位置する前記クラッドの端面よりも突出させる研磨工程を含むことを特徴とする光プラグの製造方法。
  2. 　前記研磨工程は、
    　前記複数の孔部と前記複数のコアの端面とが一対一に対向するよう、前記第１研磨部材に対して前記マルチコアファイバの端面を配置する配置工程と、
    　前記コアの端面が前記孔部の範囲内で移動するよう、前記第１研磨部材と、前記マルチコアファイバの端面及び前記フェルールの端面とを相対的に移動させ、前記フェルールの端面を研磨することにより、前記複数のコアそれぞれの端面を、少なくとも当該端面に対し前記マルチコアファイバの径方向の外側に位置する前記クラッドの端面よりも突出させる工程と、
    　を含むことを特徴とする請求項１記載の光プラグの製造方法。
  3. 　前記マルチコアファイバの端面及び前記マルチコアファイバが挿入されたフェルールの端面にレジストを塗布する塗布工程と、
    　前記クラッドの端面及び前記フェルールの端面に塗布された前記レジストを剥離する剥離工程とを含み、
    　前記研磨工程は、前記レジストが剥離された前記クラッドの端面及び前記レジストが剥離された前記フェルールの端面を前記第１研磨部材で研磨することを特徴とする請求項２記載の光プラグの製造方法。
  4. 　前記マルチコアファイバの端面及び前記フェルールの端面を第２研磨部材で研磨することにより、前記マルチコアファイバの端面及び前記フェルールの端面の全体を曲面状に形成する曲面形成工程を含み、
    　前記研磨工程は、前記曲面形成工程で形成された曲面を研磨することにより、前記複数のコアそれぞれの端面を、少なくとも当該端面に対し前記マルチコアファイバの径方向の外側に位置する前記クラッドの端面よりも突出させる工程を含むことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光プラグの製造方法。
  5. 　複数のコアがクラッドで覆われたマルチコアファイバを用いた光プラグの製造方法であって、
    　前記マルチコアファイバの端面及び前記マルチコアファイバが挿入されたフェルールの端面にレジストを塗布する塗布工程と、
    　前記クラッドの端面及び前記フェルールの端面に塗布された前記レジストを剥離する剥離工程とを含み、
    　前記塗布工程及び前記剥離工程がなされた前記マルチコアファイバ及び前記フェルールの端面に対しブラスト加工を行うことにより、前記複数のコアそれぞれの端面を、少なくとも当該端面に対し前記マルチコアファイバの径方向の外側に位置する前記クラッドの端面よりも突出させる工程を含むことを特徴とする光プラグの製造方法。
  6. 　複数のコアがクラッドで覆われたマルチコアファイバを用いた光プラグの製造方法であって、
    　前記マルチコアファイバの端面及び前記マルチコアファイバが挿入されたフェルールの端面にレジストを塗布する塗布工程と、
    　前記クラッドの端面及び前記フェルールの端面に塗布された前記レジストを剥離する剥離工程と、
    　前記塗布工程及び前記剥離工程がなされた前記マルチコアファイバ及び前記フェルールを、エッチング溶液に浸してエッチングを行うことにより、前記複数のコアそれぞれの端面を、少なくとも当該端面に対し前記マルチコアファイバの径方向の外側に位置する前記クラッドの端面よりも突出させるエッチング工程と、
    　を含むことを特徴とする光プラグの製造方法。
  7. 　前記マルチコアファイバの端面及び前記フェルールの端面を第２研磨部材で研磨することにより、前記マルチコアファイバの端面及び前記フェルールの端面の全体を曲面状に形成する曲面形成工程を含み、
    　前記塗布工程は、前記曲面形成工程で形成された曲面に前記レジストの塗布を行うことを特徴とする請求項５又は６記載の光プラグの製造方法。
  8. 　複数のコアがクラッドで覆われたマルチコアファイバを用いた光プラグの製造方法であって、
    　前記マルチコアファイバ及び前記フェルールをエッチング溶液に浸してエッチングを行うことにより、前記複数のコアそれぞれの端面を、少なくとも当該端面に対し前記マルチコアファイバの径方向の外側に位置する前記クラッドの端面よりも突出させるエッチング工程を含むことを特徴とする光プラグの製造方法。
  9. 　前記マルチコアファイバの端面及び前記フェルールの端面を第２研磨部材で研磨することにより、前記マルチコアファイバの端面及び前記フェルールの端面の全体を曲面状に形成する曲面形成工程を含み、
    　前記エッチング工程は、前記曲面形成工程で形成された曲面をエッチングすることを特徴とする請求項８記載の光プラグの製造方法。
  10. 　請求項１から９のいずれかに記載の光プラグの製造方法を用いて製造されたことを特徴とする光プラグ。
  11. 　請求項１０に記載の光プラグがスリーブの双方から挿入され、
    　前記複数のコアがそれぞれ当接して接続されていることを特徴とする光コネクタ。
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