WO2012176230A1 - スクリーン印刷装置 - Google Patents

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WO2012176230A1
WO2012176230A1 PCT/JP2011/003526 JP2011003526W WO2012176230A1 WO 2012176230 A1 WO2012176230 A1 WO 2012176230A1 JP 2011003526 W JP2011003526 W JP 2011003526W WO 2012176230 A1 WO2012176230 A1 WO 2012176230A1
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WO
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substrate
printing
unit
mask
printing apparatus
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PCT/JP2011/003526
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Inventor
利道 佐藤
Original Assignee
ヤマハ発動機株式会社
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Publication date
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    • B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00—Screen printers
    • B41F15/08—Machines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00—Screen printers
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B41F15/18—Supports for workpieces
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    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • H05K3/1233—Methods or means for supplying the conductive material and for forcing it through the screen or stencil
    • H—ELECTRICITY
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    • H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
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    • H05K2203/163—Monitoring a manufacturing process
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    • H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3485—Applying solder paste, slurry or powder

Definitions

  • the present invention relates to a screen printing apparatus that prints cream solder, conductive paste, or the like on a substrate such as a printed wiring board (PWB; Printed wiring board) as a pretreatment for mounting a component on the substrate.
  • a substrate such as a printed wiring board (PWB; Printed wiring board) as a pretreatment for mounting a component on the substrate.
  • PWB printed wiring board
  • the screen printing device is incorporated in the printed circuit board (PCB; Printed Circuit Board) manufacturing line, and printed on the substrate transported from the upstream side with conductive paste etc. and sent out to the downstream component mounting device is there.
  • PCB printed circuit board
  • this type of screen printing apparatus is configured to receive a substrate one by one in the printing unit, carry out a printing process, and deliver the printed substrate to the component mounting apparatus. It is done.
  • two printing units are provided in parallel in the apparatus, and printing is performed while separately receiving substrates from the upstream side to each printing unit, and separately on the downstream side.
  • the substrate carried onto the substrate table is fixed by a clamp device or the like below the mask which is at or near the printing execution position.
  • the substrate is subjected to image recognition to detect positional deviation, and the position of the substrate table is corrected when the substrate is mounted on the mask at the printing execution position.
  • the lower part of the mask is a space where the substrate rises because of heavy loading, and it is difficult to arrange the camera in a fixed manner.
  • the clamped substrate After loading the substrate onto the table, the clamped substrate is moved from the mask lower position to the camera position to pick up an image of the substrate, and after returning the substrate to the print execution position again, the substrate is overlaid on the mask and printed Are configured to perform.
  • a movable camera is provided, and the camera is temporarily interposed at a position between the substrate and the clamp clamped at the print execution position to pick up an image of the substrate, and after imaging, the camera Are retracted to the mask side position.
  • the substrate loading unit and the substrate unloading unit are offset in the direction (Y-axis direction) orthogonal to the substrate transfer direction (X-axis direction), and for supporting and fixing the substrate.
  • the stage is configured to move in the Y-axis direction, but since the two substrate transfer lines on the component mounting device side are arranged close to each other, the substrate unloading portions can be connected to each other so that they can be connected to each other. It is because it is necessary to make it close.
  • the substrate is received on the stage at the position (receiving position) corresponding to the substrate loading unit, and after printing, the stage is moved to the position (delivery position) corresponding to the substrate unloading unit to carry out the substrate unloading.
  • the unloading of the substrate it is impossible to receive the subsequent substrate on the stage, and this is also one of the impediments to improve the throughput.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a screen printing apparatus capable of improving the throughput.
  • the screen printing apparatus of the present invention is located between a substrate loading position and a substrate unloading position aligned in a specific direction, and performs printing on a substrate using a screen mask.
  • a transport holding unit that transports a substrate carried in from the substrate loading position to a print execution position where printing can be performed by the print execution unit, and holds the substrate during printing; and before printing by the print execution unit.
  • a substrate imaging unit for imaging the substrate held by the conveyance holding unit, the conveyance holding unit receives the substrate at a specific position closer to the substrate loading position than the printing execution position, and prints the substrate After holding in a state where printing by the execution unit becomes possible, the substrate imaging unit transports the printing execution position from the specific position in advance to the printing execution position from the specific position. In which are arranged on the imaging position capable of the substrate during transport of the substrate by the transporting holding means.
  • the substrate is held in advance in a specific position on the substrate loading position side of the printing execution position by the transport holding unit so that printing can be performed by the printing execution unit, and printing is performed from the specific position It is transported to the position. Then, the substrate is imaged by the substrate imaging means during conveyance of the substrate from the specific position to the printing execution position.
  • an independent process for imaging the substrate is unnecessary, and the transportation of the substrate to the printing execution position and the imaging of the substrate are performed in parallel.
  • a conventional device that requires an independent process for imaging the substrate, for example, once the substrate is carried in to the print execution position and fixed by the clamp device etc, the substrate is clamped at the imaging position on the print execution position side
  • the tact time can be effectively shortened as compared with an apparatus or the like for moving the substrate to image the substrate. Therefore, the throughput is improved to contribute to the improvement of the productivity of the printed circuit board.
  • FIG. 6 is a plan view showing a substrate support table incorporated in the screen printing apparatus and a drive mechanism thereof (plan view in a state where the printing execution unit etc. are removed from the screen printing apparatus).
  • FIG. 3 is sectional drawing (IV-IV sectional view taken on the line of FIG. 3) of the screen printing apparatus which shows the structure of a board
  • FIG. 4 ((a) is a non-clamping state of a board
  • FIG. 4 is a principal part enlarged view of the clamp unit in FIG. 4 ((a) is a non-clamping state of a board
  • FIG. 2 is a perspective view showing a print execution unit and the like incorporated in the screen printing apparatus. It is a top view which shows a printing execution part. It is a perspective view which shows the mask holding mechanism holding a screen mask. It is a plane schematic diagram of the said mask holding mechanism for demonstrating the rotation drive mechanism integrated in a mask holding mechanism and a Y-axis drive mechanism ((a) shows the state after mask rotation, (b) before mask rotation, respectively. ). It is a block diagram which shows the electric constitution of a screen printing apparatus. It is a plane schematic diagram explaining printing operation of the screen printing device based on control by a control device ((a), (b) shows printing operation in time series).
  • FIG. 1 and 2 show a first embodiment of the screen printing apparatus according to the present invention, wherein FIG. 1 is a plan view and FIG. 2 is a front view schematically showing the screen printing apparatus.
  • the screen printing apparatus 1 is to be incorporated into a printed circuit board (PCB) manufacturing line in a state in which a dual transport type component mounting apparatus M is connected downstream thereof.
  • the screen printing apparatus 1 (hereinafter referred to as the printing apparatus 1) includes two loaders L1 and L2 (referred to as a first loader L1 and a second loader L2) arranged in parallel and a dual transfer type 1 It is interposed between the component mounting apparatus M and the substrate, and printing is performed on the substrate W drawn out from the loaders L1 and L2 on the upstream side, and the substrate W is sent out to the component mounting apparatus M on the downstream side.
  • the transport direction of the substrate W in the manufacturing line is the X-axis direction
  • the direction perpendicular to the X-axis direction on the horizontal surface is the Y-axis direction
  • the phrase orthogonal to both the X and Y axes vertical
  • the printing apparatus 1 will be described with the direction (z) as the Z-axis direction.
  • the printing apparatus 1 is in a state where the two substrate support tables 10A and 10B for supporting the substrate W and the substrate support tables 10A and 10B are stopped at predetermined positions in the Y-axis direction on the base 2, respectively. It has two printing execution parts 20A and 20B which print individually to a substrate W supported by substrate support tables 10A and 10B.
  • the printing apparatus 1 is provided on the base 2 and at the end on one side in the X-axis direction (the end on the upstream side in the substrate transfer direction), two substrate loading units En1 and En2 (first substrate loading unit En1). While having a second substrate loading unit En2, the two substrate unloading units Ex1 and Ex2 (referred to as a first substrate unloading unit En1 and a second substrate unloading unit En2) corresponding to these are the other end (substrate transport direction)
  • the substrate W drawn out from the first loader L1 is carried into the apparatus from the first substrate loading unit En1 and printing is performed, and the substrate W after printing is
  • the substrate W delivered from the second loader L2 is carried in from the second substrate carry-in unit En2 into the device while carrying it out from the substrate carry-out unit Ex1 to the component mounting apparatus M, and printing is carried out. From the second substrate unloading unit Ex2 It is carried out to the mounting apparatus M.
  • the respective substrate carry-out portions Ex1 and Ex2 are offset to positions inside the respective substrate carry-in portions En1 and En2 in the Y-axis direction so as to correspond to the two substrate transfer lines of the component mounting device M.
  • reference symbols CL1, CL2, CM1, CM2 denote belt conveyor pairs mounted on the loaders L1, L2 and the component mounting apparatus M to constitute a substrate transfer line
  • the substrate W is a pair of these belt conveyors CL1, CL2, It is conveyed along CM1 and CM2 (hereinafter referred to as a conveyor pair CL1, CL2, CM1 and CM2).
  • the substrate loading units En1 and En2 and the substrate unloading units Ex1 and Ex2 indicate specific positions on the base 2, respectively, and the positions of the substrate loading units En1 and En2 and the substrate unloading units Ex1 and Ex2 are described. Is set by the control device 8 described later according to the loaders L1 and L2 disposed on the upstream side and the component mounting device M disposed on the downstream side. That is, in this embodiment, the positions of the substrate loading units En1 and En2 are the substrate loading positions of the present invention, and the positions of the substrate unloading units Ex1 and Ex2 are the same substrate unloading positions (the same applies to each embodiment described later) ).
  • the substrate support tables 10A and 10B (referred to as a first substrate support table 10A and a second substrate support table 10B, respectively, corresponding to the movable table of the present invention) are carried in from the loaders L1 and L2 at the substrate carry-in portions En1 and En2.
  • the substrate W is received and supported so that printing is possible, and the substrate W after printing is sent out to the component mounting apparatus M at the substrate unloading unit Ex1, Ex2.
  • the first substrate support table 10A is
  • the first substrate loading unit En1 receives the substrate W loaded from the loader L1 and supports the substrate W so that printing can be performed by the first print execution unit 20A, while the second substrate support table 10B is configured to receive the second substrate support table 10B.
  • the substrate loading unit En2 receives the substrate W carried in from the loader L2 and prints by the second print execution unit 20B So that it becomes to support the substrate W.
  • Each of the substrate support tables 10A and 10B has an elongated rectangular shape in a plan view and a substantially rectangular shape in the X-axis direction, and is configured to move individually in the Y-axis direction by a table drive mechanism.
  • the table drive mechanism is constituted by a screw feed mechanism. That is, the respective substrate support tables 10A and 10B are movably supported on a common fixed rail 3 provided on the base 2 and extending in the Y-axis direction, and the motor 4A is respectively provided via screw shafts 5A and 5B. , 4B are configured to be driven.
  • a receiving position at which the first substrate support table 10A can receive the substrate W carried in from the loader L1 in the first substrate carry in section En1 (shown in FIGS. 1 and 3) While the second substrate support table 10B moves from the loader L2 at the second substrate loading unit En2 while moving between the position W) and the delivery position where the substrate W can be delivered to the component mounting apparatus M at the first substrate unloading unit Ex1.
  • the receiving position (the position shown in FIG. 1 and FIG. 3) capable of receiving the carried-in substrate W and the delivering position capable of delivering the substrate W to the component mounting apparatus M at the second substrate outlet Ex2. It has become.
  • Each substrate support table 10A, 10B holds the conveyor pair 12 extending in the X-axis direction, the conveyor width variable mechanism, and the substrate W on the conveyor pair 12 in a state where printing by the print execution units 20A, 20B is possible.
  • a clamp unit 14, a clamp unit drive mechanism for moving the clamp unit 14 in the X-axis direction along the conveyor pair 12, a cleaning unit 18 for cleaning the screen mask 21 described later, and the like are provided.
  • the clamp unit 14 (substrate holding means) and the clamp unit drive mechanism (moving means) correspond to the conveyance holding means in the present invention, and the conveyor pair 12 and the conveyor width variable mechanism are the conveyance means in the present invention. Equivalent to.
  • the conveyor pair 12 comprises a belt conveyor, receives the substrate W carried in from the loaders L1 and L2 at the substrate carry-in units En1 and En2 at the carry-in end and transports the substrate W after printing to the substrate standby position P1. It is to convey from the printing execution position P2 to the unloading side end located at the substrate unloading part Ex1, Ex2.
  • the conveyor pair 12 transports the substrate W in the X-axis direction along with the movement of the belt in a state where both end portions of the substrate W in the Y-axis direction are supported by the belt 121 that circulates by driving the motor 120 (shown in FIG. 10). (See FIG. 5 (a)).
  • the conveyor width variable mechanism changes the distance between the two conveyors constituting the conveyor pair 12 (ie, the conveyor width) in accordance with the size of the substrate W.
  • This conveyor width variable mechanism comprises, for example, a screw feed mechanism. That is, the conveyor on one side of the two conveyors is a fixed conveyor fixed on the substrate support tables 10A and 10B via the support, and the conveyor on the other side contacts and separates from the conveyor on the one side.
  • the movable conveyor is movably supported by fixed rails on the substrate support tables 10A and 10B so as to be movable (movable in the Y-axis direction).
  • the distance between the two conveyors is changed by driving the other conveyor along the fixed rail via a screw shaft driven by a motor 123 (shown in FIG. 10). That is, the conveyor pair 12 is a variable-stroke conveyor that can change the distance according to the size of the substrate W.
  • the rear side of the conveyor pair 12 is a fixed conveyor and the front side is a movable conveyor.
  • the conveyor width variable mechanism is configured such that the spacing of the conveyors is changed based on the conveyors of
  • the conveyors 12 are such that the front side is a fixed conveyor, the rear side is a movable conveyor, and the conveyor spacing is changed based on the front side conveyor.
  • a variable width mechanism is configured. That is, if the entire printing apparatus 1 is used, the distance between the conveyors of the pair of conveyors 12 is changed based on the inside of the apparatus with respect to the substrate support tables 10A and 10B.
  • the clamp unit 14 has a base member 140 (shown in FIG. 4) supported so as to be movable in the X-axis direction along fixed rails 141 provided on the substrate support tables 10A and 10B. It has a backup mechanism which lifts and supports the substrate W from the conveyor pair 12 and a clamp mechanism which fixes the substrate W lifted by the backup mechanism.
  • the backup mechanism includes a plurality of backup pins 151 (hereinafter referred to as pins 151) in a predetermined arrangement, and ascends and descends on the base member 140 via a link mechanism or the like.
  • the drive table 152 includes a backup table 150 (referred to as a BU table 150) which can be supported, a motor 152 for driving, etc., and the drive of the motor 152 moves the BU table 150 to a predetermined retracted position and an operation position elevated from this position. It is configured to be displaced.
  • the retracted position is a position where the tip end position of the pin 151 is lower than the lower surface of the substrate W supported by the conveyor pair 12 (belt 121) (position shown in FIG. 5A).
  • the tip end position of the pin 151 is higher than the lower surface of the substrate W. Therefore, this backup mechanism lifts the substrate W from the conveyor pair 12 when the BU table 150 is placed in the operating position, as shown in FIG. 5 (b).
  • the clamp mechanism includes a pair of clamp members 160 disposed above the conveyor pair 12 and extending parallel to each other in the X-axis direction, an arm member 161 to which these clamp members 160 are assembled, and an actuator for driving the clamp members, for example And a two-way type air cylinder 162.
  • One of the two clamp members 160 (on the left side in FIG. 4 and FIG. 5A) is assembled so as to be displaceable in the Y-axis direction with respect to the arm member 161, and driven by the air cylinder 162. It is displaced to the retracted position shown in the figure and the advanced position shown in FIG. 5 (b). That is, as shown in FIG. 5B, the clamp mechanism displaces the clamp member 160 on one side from the retracted position to the forward position, whereby the substrate W lifted by the backup mechanism is clamped on the other side. And clamp in the Y-axis direction.
  • this printing apparatus 1 printing is performed such that the screen mask 21 described later is overlaid on the substrate W in a state of being lifted from the conveyor pair 12 by the clamp unit 14 and clamped to the clamp member 160. Therefore, the clamp unit 14 releases the substrate upward from the conveyor pair 12 and holds the substrate in a state where printing by the print execution units 20A and 20B is possible.
  • Each arm member 161 of the clamping mechanism is formed to hold the conveyor pair 12 from the outside (outside in the Y-axis direction), and then slides to the fixed rail 122 in the X-axis direction assembled to each conveyor pair 12 It is linked possible.
  • each arm member 161 is configured to be coupled to and guided by the conveyor pair 12 (fixed rail 122), thereby moving the clamp unit 14 in the X-axis direction by the clamp unit drive mechanism.
  • the relative position between the conveyor pair 12 and each clamp member 160 in the Y-axis direction is held constant.
  • one of the arm members 161, specifically, the arm member 161 (the right arm member in FIG. 4) connected to the fixed conveyor of the conveyor pair 12 is fixed to the base member 140,
  • the arm member 161 (the arm member on the left side in FIG. 4) connected to the movable conveyor is supported displaceably in the Y-axis direction along a fixed rail 164 provided on the base member 140. Therefore, when the distance between the pair of conveyors 12 is changed, the arm member 161 on one side moves integrally with the movable conveyor in the Y-axis direction, whereby the distance between the two clamp members 160 is automatically adjusted. That is, the distance between both clamp members 160 is automatically changed to a distance capable of clamping the substrate W transported after changing the distance between the conveyor pair 12.
  • each of the clamp members 160 is configured to be driven to be mounted on the movable conveyor side among them, whereby the substrate W is clamped based on the fixed conveyor side. ing. Accordingly, in the clamp unit 14 of the first substrate support table 10A, the substrate W is clamped on the basis of the device rear side, and in the clamp unit 14 of the second substrate support table 10B, the substrate W is clamped on the basis of the device front side.
  • the clamp unit drive mechanism is constituted by a screw feed mechanism. That is, the base member 140 of the clamp unit 14 is movably supported on a fixed rail 141 provided on the base 2 and extending in the X-axis direction, and is driven by the motor 144 through the screw shaft 142. It is configured.
  • a standby space for the substrate W is provided on the substrate loading unit En1 and En2 side, and this position is the substrate standby position P1 (the specific position of the present invention And the predetermined position downstream of this is the print execution position P2, and the clamp unit 14 sets the conveyor pair between the substrate standby position P1 and the print execution position P2 based on motor control by the control device 8, which will be described later. 12 and the fixed rail 141.
  • the drive of the BU table 150 and the clamp member 160 is controlled by the controller 8 in association with the movement of the clamp unit 14.
  • the substrate W is lifted from the conveyor pair 12 and clamped by the clamp member 160 so that the substrate W can be printed by the print execution units 20A and 20B.
  • the substrate W is conveyed to the printing execution position P2 along with the movement of the clamping unit 14, and after printing, the substrate W is received from the clamping unit 14 on the conveyor pair 12 by releasing the holding state of the substrate W at the printing execution position P2. It is supposed to be delivered.
  • the state in which the substrate W is held by the clamp unit 14 (the state in which the substrate W is lifted from the conveyor pair 12 and clamped by the clamp member 160) is simply referred to as a clamp state, and the hold is released. This state is called a clamp release state.
  • FIG. 2, FIG. 4 and FIG. 5 show only the clamp unit 14 of the first substrate support table 10A
  • the configuration of the second substrate support table 10B is also basic except that the substrate W is clamped at the apparatus front side reference. Are common to the first substrate support table 10A.
  • the cleaning unit 18 includes a cleaning head including a pad that can be in sliding contact with the lower surface of the screen mask 21 described later and a suction nozzle that suctions the screen mask 21 under negative pressure through this pad.
  • the cleaning head is brought into sliding contact with the lower surface of the screen mask 21 to remove the paste accumulated on the lower surface of the mask and in the pattern holes.
  • the cleaning head is configured to be able to move up and down with respect to the substrate support tables 10A and 10B, and is disposed at an operating position that can be in sliding contact with the screen mask 21 only during cleaning. It is configured to be deployed.
  • Reference numeral 15 in FIGS. 1 to 3 denotes a stopper mechanism included in the conveyor pair 12, and the substrate W held on the conveyor pair 12 at the substrate loading units En1 and En2 is transported to the substrate standby position. It is for stopping at P1 and waiting at that position.
  • the stopper mechanism 15 has a stopper shaft which is driven to move back and forth by an actuator such as an air cylinder, for example, and advances the stopper shaft into the transport path of the substrate W by the conveyor pair 12 to restrict the movement of the substrate W It is configured to be switchable between an operation state and a stop state where the stopper shaft is retracted out of the transport path to allow movement of the substrate W.
  • the substrate W carried into the substrate standby position P1 is caused to stand by at the substrate standby position P1 until the substrate W is lifted from the conveyor pair 12.
  • reference numeral 16 in the figure is a mask recognition camera mounted on the clamp unit 14.
  • the mask recognition camera 16 is a camera provided with a CCD area sensor or the like, and in order to recognize the relative position between the screen mask 21 and the substrate W described later, a mark such as a mark or a symbol written on the lower surface of the screen mask The image is taken from.
  • the print execution units 20A and 20B are provided at positions above the print execution position P2 in the substrate support tables 10A and 10B disposed above the substrate support tables 10A and 10B, and more specifically, at the receiving positions.
  • a second print execution unit 20B is provided.
  • FIG. 6 is a perspective view showing only the print execution units 20A and 20B extracted from the printing apparatus 1.
  • the print execution units 20A and 20B are arranged in the Y axis direction, and are provided in the Y axis direction with a mask holding mechanism for holding the mask 21 and a squeegee unit 40 arranged in the X axis direction. And a squeegee drive mechanism for moving the squeegee unit 40 in the Y-axis direction.
  • the respective mechanisms and the like constituting the print execution units 20A and 20B are respectively formed in a portal shape and assembled to a pair of device frames 6 disposed on the base 2 at predetermined intervals in the X-axis direction.
  • the pair of apparatus frames 6 moves from the substrate standby position P1 to the printing execution position P2 on the second substrate supporting table 10B, and the substrate W moves from the substrate standby position P1 to the printing execution position P2 on the first substrate support table 10A.
  • the substrate W which moves from the print execution position P2 to the substrate unloading portion Ex on the substrate support tables 10A and 10B located at the delivery position is formed so as to straddle in the Y-axis direction.
  • the screen mask 21 (hereinafter, abbreviated as mask 21) is detachably attached and the rectangular mask fixing member 22 and the mask fixing member 22 are moved up and down.
  • the mask fixing member 22 has a rectangular shape in which an opening 22a for printing is formed at the center, and the mask 21 assembled to the frame in advance is the frame. It is fixed to the mask fixing member 22 so as to close the opening 22a.
  • Each drive mechanism of the mask fixing member 22 has the following configuration.
  • Each apparatus frame 6 is provided with a fixed rail 25 extending in the Y-axis direction, and a mask support member 24 for movably supporting the mask fixing member 22 is movably supported by these fixed rails 25.
  • the mask support member 24 has a U-shape in a plan view including a pair of Y-axis plate portions 24 a extending along the fixed rail 25 and an X-axis plate portion 24 b connecting the one ends thereof.
  • the Y-axis plate portion 24a is connected to the sliders 26a to 26c mounted on the fixed rails 25 so as to be movable in the Y-axis direction.
  • a pair of guide shafts 251 extending in the Z-axis direction penetrates through each Y-axis plate portion 24 a of the mask support member 24. And the connecting member 252 is fixed to the upper end.
  • a pair of pulley integrated nuts 256 is rotatably assembled on each Y axis plate portion 24 a of the mask support member 24 at a position between the two guide shafts 251 so as to be fixed in the Z axial direction.
  • a screw shaft 254 is screwed in the Z-axis direction with respect to 256, and both ends of the screw shaft 254 are fixed and supported by the mask fixing member 22 and the connecting member 252.
  • a motor 260 is fixed to the mask support member 24 and a drive pulley (not shown) is mounted on the output shaft of the motor 260.
  • the drive pulley and a plurality of idle pulleys 257 assembled to the mask support member 24 are provided.
  • a drive belt 258 is mounted over the pulley integrated nut 256.
  • the mask support member 24 is connected to the sliders 26a to 26c attached to the fixed rails 25 as described above, but in detail, displacement of the mask support member 24 around the Z axis is permitted with a specific position as a fulcrum
  • the Y axis plate portions 24a are connected to the sliders 26a to 26c via the link members 28a to 28c.
  • FIG. 9A is a view schematically showing the mask support member 24 and the like in order to facilitate understanding of the structure. As shown in this figure, the mask support member 24 is connected to the slider 26b via a pin 29 at an intermediate position on the Y-axis plate portion 24a on one side (the left side in the same figure).
  • a nut member 33 is fixed to the slider 26b in the middle of the three sliders 26a to 26c respectively connected to the Y-axis plate portions 24a of the mask support member 24, and these nut members 33 are fixed in the Y-axis direction.
  • An extending screw shaft 32 is screwed and inserted, and the screw shaft 32 is integrated with an output shaft of a motor 30 fixed to the device frame 6.
  • the mask support member 24 moves in the Y-axis direction while maintaining the same state, for example, as shown in FIG.
  • the mask support member 24 pivots around the Z axis with the pin 29 as a fulcrum.
  • the squeegee unit 40 is disposed above the mask holding mechanism.
  • the squeegee unit 40 expands a paste such as cream solder or conductive paste while rolling (kneading) on the mask 21, and changes the inclination direction and the inclination angle of the single squeegee 42 and the squeegee 42 with respect to the mask 21.
  • the squeegee angle variable mechanism (not shown) for raising and lowering the squeegee 42 between the printing operation height position where the squeegee 42 is in sliding contact with the mask 21 and the retracted position above this position (the position shown in FIGS. 2 and 6) And an outer squeegee lifting mechanism and the like.
  • a squeegee drive mechanism for driving the squeegee unit 40 in the Y-axis direction is constituted by a screw feed mechanism. That is, as shown in FIGS. 6 and 7, the squeegee units 40 of the print execution units 20A and 20B are movably supported on a common fixed rail 44 provided in the device frame 6 and extending in the Y-axis direction. It is configured to be driven independently of each other by the motors 46A and 46B via the screw shafts 47A and 47B, respectively.
  • Reference numerals 50A and 50B in FIG. 6 denote substrate recognition cameras (corresponding to the substrate imaging means of the present invention), and the substrates W supported on the substrate support tables 10A and 10B and the print execution units 20A and 20B. In order to recognize the relative position between them, markers such as a plurality of marks and symbols on the substrate W are imaged from the upper side.
  • These substrate recognition cameras 50A and 50B (referred to as a first substrate recognition camera 50A and a second substrate recognition camera 50B) are cameras provided with a CCD area sensor etc. similarly to the mask recognition camera 16 and are fixed to the apparatus frame 6 There is.
  • the first substrate recognition camera 50A is the side position of the first print execution unit 20A.
  • the second substrate recognition camera 50B is fixed to the side position of the second print execution unit 20B.
  • the first substrate recognition camera 50A moves in the X axis direction from the substrate standby position P1 to the printing execution position P2 on the first substrate support table 10A which moves in the Y axis direction by returning from the sending position to the receiving position.
  • a plurality of markers of the holding substrate W moving in both directions in the X-axis direction and Y-axis direction with respect to the first substrate recognition camera 50A of the clamp unit 14 can be imaged, and for the second substrate recognition camera 50B
  • the printing apparatus 1 includes a control device 8 (corresponding to control means of the present invention) having a CPU or the like as a component.
  • the control device 8 includes a main control unit 81 that centrally controls the operation of the entire printing apparatus 1, a storage unit 82 that stores various processing programs and various data, a substrate support table 10A, 10B and a drive control unit 83 for controlling the drive of the print execution units 20A and 20B, and an image processing unit 84 for performing predetermined image processing on the image data from each of the recognition cameras 16, 50A and 50B.
  • the control unit 81 and the like are connected via the bus so as to be able to exchange signals with each other.
  • the main control unit 81 executes a series of printing operations by the substrate support tables 10A and 10B and the print execution units 20A and 20B based on a print execution program or the like given from an external host computer, ie, a substrate W to be printed. Adjustment of the conveyor pair 12 in each of the substrate support tables 10A and 10B corresponding to each, reception of the substrate W carried in from the loaders L1 and L2 in the substrate carry-in units En1 and En2, printing processing by the print execution units 20A and 20B and substrates The printing operation over the unloading of the substrate W to the component mounting device M in the unloading units Ex1 and Ex2 is integrally controlled.
  • the main control unit 81 determines the positions of the substrate loading units En1 and En2 and the substrate unloading units En1 and En2 based on the printing execution program.
  • the setting including the setting of (1) is performed, and the series of printing operations are controlled based on the positions of the substrate loading units En1 and En2 and the substrate unloading unit En1En2 determined by the initial setting.
  • the host computer controls the integrated production line of the printed circuit board in which the printing apparatus 1 is incorporated, and the apparatuses incorporated in the production line including the printing apparatus 1 (loaders L1 and L2 and component mounting All the devices M etc. are connected online so as to be able to mutually communicate with this host computer, and the printing execution program and various data are given from this host computer to each device such as the printing device 1 concerned.
  • FIG. 11 the printing operation of the printing apparatus 1 based on the control of the control device 8 will be described with reference to FIGS. 11 and 12.
  • FIG. 11 the printing operation of the printing apparatus 1 based on the control of the control device 8 will be described with reference to FIGS. 11 and 12.
  • FIG. 11A schematically shows a state at a specific point in time of the printing operation which is continuously performed in the printing apparatus 1, and the substrate support tables 10A and 10B and the printing execution units 20A and 20B at this point in time.
  • the states are as follows.
  • the first substrate support table 10A is disposed at the receiving position on the first substrate loading unit En1 side.
  • the first substrate support table 10A is placed at the print execution position P2 while the preceding substrate W is held by the clamp unit 14 and is in a standby state after the subsequent substrate is carried to the substrate standby position P1.
  • Printing by the print execution unit 20A is performed on the preceding substrate W.
  • the substrate W at the print execution position P2 is supported by the clamp unit 14 in a state of being lifted from the conveyor pair 12 as shown in FIG. 5 (b).
  • the second substrate support table 10B is arranged at the delivery position on the second substrate loading unit Ex2 side.
  • the leading substrate W after printing is sent out from the print execution position P2 to the discharge side end by the conveyor pair 12, and is sent out to the component mounting apparatus M at the second substrate discharge unit Ex2 and waiting for the substrate
  • the subsequent substrate W at position P1 is in a state of being clamped by the clamp unit 14.
  • the first substrate support table 10A starts moving from the receiving position toward the sending position.
  • the clamped state of the substrate W by the clamp unit 14 is released, and the preceding printed substrate W is delivered onto the conveyor pair 12, and this clamp unit 14 is moved from the print execution position P2 to the substrate standby position P1.
  • the subsequent substrate W waiting at the substrate standby position P1 is clamped by the clamp unit 14 (FIG. 11 (b)).
  • the substrate W is lifted from the conveyor pair 12 (belt 121) by raising the BU table 150 from the retracted position to the operation position, and clamps in this state
  • the substrate W is clamped by the pair of clamp members 160 as the member 160 is displaced from the retracted position to the advanced position.
  • the clamping of the substrate W by the clamping unit 14 is performed, for example, by the time when the first substrate support table 10A reaches the delivery position in this embodiment.
  • the conveyor pair 12 is stopped, and the first substrate support table 10A moves from the delivery position toward the receiving position in the Y-axis direction and synchronized therewith Then, the clamp unit 14 is moved in the X-axis direction from the substrate standby position P1 toward the print execution position P2. At this time, a plurality of markers written on the substrate W sequentially pass through the lower position of the first substrate recognition camera 50A, and the mask recognition camera 16 passes the lower position of the markers written on the lower surface of the mask 21.
  • the first substrate support table 10A and the clamp unit 14 are controlled.
  • the positions of the substrate W and the mask 21 are recognized as images, and based on the image recognition result of the substrate W and the mask 21, the positional deviation between the substrate W and the mask 21 when the substrate W is disposed at the printing execution position P2. Further, correction values (.DELTA.X, .DELTA.Y, .DELTA.R) in the X-axis, Y-axis and R-axis (about Z-axis) directions corresponding to the positional deviation are obtained.
  • Such recognition processing and calculation of the correction value are performed by the control device 8 based on an image captured by the substrate recognition camera 50 and the mask recognition camera 16.
  • the clamp unit 14 is controlled so that the substrate W is disposed at the print execution position P2 on the first substrate support table 10A when the first substrate support table 10A reaches the receiving position, for example, in the present embodiment. Ru.
  • the first substrate support table 10A reaches the receiving position as shown in FIG. 12 (b)
  • printing on the substrate W is performed by the first print execution unit 20A, and during that time, the conveyor pair 12 is driven.
  • the subsequent substrate W is received on the first substrate support table 10A at the first substrate loading unit En1 and arranged at the substrate standby position P1.
  • the substrate W at the printing execution position P2 is clamped by the clamp unit 14 in a state of being lifted from the conveyor pair 12, the substrate W at the printing execution position P2 is displaced as the subsequent substrate W is received. There is nothing to do.
  • the mask support member 24 is lowered from the retracted position to the stacking height position, whereby the mask 21 is overlaid on the substrate W.
  • the position of the substrate W on the substrate support table 10A by the motor 144 is X-axis based on the correction value (.DELTA.X, .DELTA.Y, .DELTA.R).
  • the position correction of the mask 21 in the Y-axis direction by the two motors 30 and the position correction of the correction value ⁇ R of the R-axis direction are performed by the two motors 30 respectively.
  • the mask 21 is properly mounted on the substrate W.
  • the squeegee 42 moves from the retracted position to the printing operation height position, and then the entire squeegee unit 40 including the squeegee 42 is the Y axis. Printing is performed on the substrate W by moving in the direction.
  • the second substrate support table 10B is also shown in FIGS. 11B, 12A, and 12B.
  • the second substrate loading unit En2 receives the substrate W
  • the printing of the substrate W and the second substrate discharge unit Ex2 of the substrate W have a fixed time difference from the first substrate support table 10A. Movement of the substrate W to the discharge side end on the conveyor pair 12 to be the side, movement of the second substrate support table 10B to the delivery position in the Y-axis direction, delivery to the component mounting apparatus M at the second substrate delivery unit Ex2. Is done.
  • the printing of the substrate W is alternately performed in each of the print execution units 20A and 20B while being carried out to the component mounting apparatus M.
  • the substrate support tables 10A and 10B are reset to the receiving position.
  • the subsequent substrate W is disposed at the print execution position P2, and the subsequent substrate W (sign) by the substrate recognition camera 50A, 50B in the process of resetting the substrate support tables 10A, 10B from the sending position to the receiving position in this way
  • the image recognition of the mask 21 and the image recognition of the mask 21 by the mask recognition camera 16 are performed, so that the printing by the print execution units 20A and 20B is started immediately after the substrate support tables 10A and 10B are reset to the receiving position. Therefore, according to the printing apparatus 1, printing of the subsequent substrate W is started at an early timing after printing of the leading substrate W is finished, as compared with the conventional apparatus as described in Patent Document 2 described in the background art. Is possible.
  • FIG. 13 is a process chart comparing the operation of the printing apparatus 1 ((a) in FIG. 13) with the operation ((b) in FIG. 13) of the conventional apparatus.
  • the preceding substrate is printed, the substrate support table (stage) is moved to the unloading position, the substrate is unloaded, the substrate support table is moved to the substrate receiving position, and the subsequent substrate is loaded. While the subsequent substrate clamp and substrate / mask recognition are sequentially performed, in the printing apparatus 1, as shown in FIG. 6A, the substrate support table of the subsequent substrate W is printed during printing of the leading substrate W.
  • this printing device 1 the time from the end of printing of the leading substrate W to the start of printing of the following substrate W can be significantly shortened compared to the conventional device, and as a result, the throughput is improved and the printed circuit is improved. It can contribute to the improvement of board productivity.
  • the substrate recognition cameras 50A and 50B are fixed to the apparatus frame 6 by using the points that the substrate support tables 10A and 10B move in the Y-axis direction and the clamp unit 14 moves in the X-axis direction.
  • the imaging of the substrate W (marker) is performed at the same time, and the mask recognition camera 16 is moved two-dimensionally to image the mask 21 (marker) by mounting the mask recognition camera 16 on the clamp unit 14 . That is, in the printing apparatus 1, a dedicated drive mechanism for moving the substrate recognition cameras 50A and 50B and the mask recognition camera 16 is not necessary. Therefore, the image recognition of the substrate W and the mask 21 is performed with a rational configuration. It also has the advantage of being able to
  • the transport of the substrate W from the substrate loading units En1 and En2 (loading side end) to the substrate standby position P1 and the printing execution position P2 to the substrate unloading portion Ex1 and Ex2 (loading side end) Conveying of the substrate W to the substrate W is performed by the common conveyor pair 12.
  • a conveyor pair for transporting the substrate W to Ex2 may be provided independently.
  • FIG. 14 schematically shows a screen printing apparatus 1A according to the second embodiment (hereinafter, abbreviated to the printing apparatus 1A) in a plan view.
  • the printing apparatus 1A according to the second embodiment is to be incorporated into a printed circuit board (PCB) manufacturing line in a state in which the single conveyance type component mounting apparatus M is connected downstream, and is the first embodiment in the following points.
  • the configuration is different from that of the printing apparatus 1 of the embodiment.
  • the printing apparatus 1A is interposed between one loader L and one single-conveying type component mounting apparatus M, and the substrate drawn out from the upstream loader L Perform printing on W and send to the downstream component mounting device M.
  • the substrate loading unit, the substrate unloading unit, the substrate support table, and the print performing unit are all one, and the substrate loading unit En receives the substrate W loaded from the loader L into the substrate support table 10 After printing on the substrate W, the substrate W after printing is sent out from the substrate support table 10 to the component mounting apparatus M at the substrate unloading unit Ex.
  • the substrate carry-out portion Ex is not offset in the Y-axis direction with respect to the substrate carry-in portion En, but the substrate support table 10 can be moved in the Y-axis direction as in the first embodiment.
  • the substrate recognition camera 50 is also one, and the substrate recognition camera 50 is connected to the camera drive mechanism 52 and is movable in the Y-axis direction.
  • the camera drive mechanism is constituted by, for example, a screw feed mechanism. That is, the substrate recognition camera 50 is movably supported by a fixed rail assembled to the apparatus frame 6, and is driven by a motor through a screw shaft.
  • the electrical configuration of the printing apparatus 1A is substantially the same as that of the first embodiment (see FIG. 10) except that the substrate support table and the printing unit are one.
  • the printing execution unit 20 is performed on the substrate W disposed at the printing execution position P2 in a state where the substrate W is disposed at the printing execution position P2 and the substrate standby position P1. Printing is carried out.
  • the clamp state of the clamp unit 14 is released, and the printed preceding substrate W is delivered to the conveyor pair 12, whereby the substrate W is transported by the conveyor pair 12 to the substrate unloading portion Ex from the printing execution position P2.
  • the clamp unit 14 while being delivered to the component mounting apparatus M, the clamp unit 14 after releasing the clamp moves to the substrate standby position P1 and clamps the subsequent substrate W in standby after stop (FIG. 15A).
  • the conveyor pair 12 is driven in synchronization with the unclamping of the printed preceding substrate W, but the waiting mechanism is maintained by the stopper mechanism 15 for the succeeding substrate W, so that the following operation by the clamping unit 14 is performed. Clamping of the substrate W is stably performed.
  • positioning of the mask 21 and the substrate W positions the substrate support table 10 at a predetermined reference position, that is, reception of the substrate W from the loader L in the substrate loading unit En and component mounting device in the substrate unloading unit Ex.
  • the substrate support table 10 is arranged at a position where it can move the substrate W to M in the Y-axis direction, the substrate support table is printed before printing and before the clamp release of the preceding substrate W. 10 is reset to the reference position.
  • the substrate W is transported from the substrate standby position P1 to the print execution position P2 by the movement of the clamp unit 14, and the substrate on the substrate support table 10 in the substrate loading unit En. W is accepted (FIG. 15 (b)).
  • substrate recognition camera 50 moves to Y-axis direction
  • substrate W is imaged by the said board
  • substrate support table 10 moves to Y-axis direction.
  • the marker is imaged and recognized by the mask recognition camera 16, and correction values ( ⁇ X, ⁇ Y, ⁇ R) are obtained based on the image recognition results of the substrate W and the mask 21.
  • the position on the marker as the clamp unit 14 moves.
  • the markers are sequentially imaged by the substrate recognition camera 50.
  • the substrate support table 10 moved in the axial direction is moved in the Y-axis direction so as to return to the original position.
  • the substrate support table 10 is rotatable about a Z-axis (R-axis direction) passing through the central portion of the mask 21 by a predetermined angle, and is rotated by a correction value ⁇ R.
  • the substrate W is held by the clamp unit 14 on the rotating substrate support table 10, and the correction value ⁇ Y1 of the substrate support table 10 in the Y-axis direction and the correction value ⁇ X1 of the movement direction of the clamp unit 14 with respect to the substrate support table 10 Are respectively calculated based on the correction value ⁇ R, the correction value ⁇ X and the correction value ⁇ Y.
  • the clamp unit 14 is moved by the correction value ⁇ X1 based on these calculated values, and the substrate support table is moved in the Y-axis direction by the correction value ⁇ Y1. Thereafter, the substrate support table 10 which can be moved up and down with respect to the base 2 is lifted, and the substrate W is loaded on the mask 21 from below.
  • printing on the substrate W is performed by the first print execution unit 20A.
  • the printing operation of the substrate W by the printing execution unit 20 is the same as that of the printing device 1 of the first embodiment, and is omitted here.
  • the substrate W can be printed by the print execution unit 20 in advance by the clamp unit 14 at the substrate standby position P1 on the upstream side of the print execution position P2.
  • the substrate recognition camera 50 picks up an image of the substrate W (sign)
  • the mask recognition camera 16 picks up the mask 21 (sign) while the substrate W is being transported from the substrate standby position P1 to the printing execution position P2. Since the substrate is once arranged at the print execution position, the substrate is moved to the imaging position on the side of the print execution position to pick up an image of the substrate, or the substrate is moved to the print execution position, and then moved.
  • the clamp unit 14 After printing, the clamp unit 14 returns to the substrate standby position P1 while feeding the preceding printed substrate W to the component mounting apparatus M at the substrate delivery unit Ex, and holds the subsequent substrate W to execute printing.
  • printing of the subsequent substrate W is started in a short time as compared with the case where the subsequent substrate is received from the loader L in the substrate loading unit from the time when the printed substrate W is completely fed out in the substrate unloading unit. Tact time can be shortened also in this respect.
  • a conventional screen printing apparatus of this type in which a single conveyance type component mounting apparatus or the like is disposed downstream (for example, described in Patent Document 1 of the background art)
  • the throughput can be improved as compared with the conventional device), which can contribute to the improvement of the productivity of the printed circuit board.
  • FIG. 16A schematically shows a screen printing apparatus 1B according to the third embodiment (hereinafter, abbreviated as the printing apparatus 1B) in a plan view.
  • the printing apparatus 1B according to the third embodiment is a modification of the printing apparatus 1A (see FIG. 14 etc.) according to the second embodiment described above, and differs in configuration from the printing apparatus 1A according to the second embodiment in the following points. . That is, the printing apparatus 1B moves the inspection camera 60 for inspecting the printing state of the substrate W after printing to a position which is on the side of the printing execution position P2, and X which moves the inspection camera 60 secondarily.
  • a printing apparatus with an inspection function provided with a camera driving mechanism 62 composed of a Y-robot.
  • the substrate support table 10 is movable only in the Y-axis direction in the same manner as the substrate support table 10A according to the first embodiment, and the configuration of the print execution unit 20 around the mask (not shown) is the mask 21 according to the first embodiment.
  • the mask is movable in the X-axis direction, the R-axis direction, and the Z-axis direction. For this reason, similarly to the mask recognition camera 16 and the substrate recognition camera 50 according to the second embodiment, the mask (marker) is imaged by the mask recognition camera 16 and the substrate W (marker) is imaged by the substrate recognition camera 50.
  • the position of the substrate support table 10 is moved by the correction value ⁇ Y and the position of the mask is moved by the correction value ⁇ X, as in the first embodiment, by the correction values ( ⁇ X, ⁇ Y, ⁇ R) obtained based on the result. And is rotated by the correction value ⁇ R. Through this, the mask is placed on the substrate W from above.
  • the printing apparatus 1B Most of the printing operation by this printing apparatus 1B is common to the printing apparatus 1A of the second embodiment, but with this printing apparatus 1B, after printing is completed, as shown in FIG. Moves to the inspection execution position on the side of the printing execution unit 20, and after the imaging of the printing portion by the inspection camera 60 is performed here, the substrate support table 10 returns to the reference position and carries out the printed preceding substrate W. It is supposed to be. Accordingly, the electrical configuration (control device 8) of the printing apparatus 1B is also substantially the same as that of the printing apparatus 1A of the second embodiment.
  • the printing apparatus 1B of the third embodiment while the printing of the substrate W is efficiently performed, the inspection of the substrate W is further performed in the printing apparatus 1B, and the inspection is carried out to the component mounting apparatus M. It becomes possible. Therefore, it is possible to prevent in advance the inconvenience that the substrate W in which the printing failure has occurred is directly sent to the component mounting apparatus M, and there is an advantage that the functionality of the printing apparatus 1B can be enhanced.
  • the control unit 8 causes the clamping unit 14 (conveyance holding means) to print the leading substrate W after the printing is completed.
  • the clamp unit 14 After being delivered to the transport means, the clamp unit 14 is moved to the substrate standby position P1 (specific position) to hold the subsequent substrate W, and the clamp unit 14 is controlled to transport the subsequent substrate W to the print execution position P2.
  • the subsequent substrate W arrives at the substrate standby position P1 by the time the clamp unit 14 arrives at the substrate standby position P1, and the subsequent substrate W is transported by the clamp unit 14 and printed.
  • the conveyor pair 12 is controlled such that the preceding substrate W is transported downstream of the print execution position 20 before reaching the execution position P2.
  • the conveyance operation of the leading substrate W for which printing has been completed to the substrate unloading unit Ex, EX1 and Ex2 and the conveyance operation of the following substrate W on standby from the substrate standby position P1 to the printing execution position P2 are performed in parallel. Therefore, the tact time can be further shortened.
  • the screen printing apparatuses 1, 1A and 1B described above are exemplifications of preferable embodiments of the screen printing apparatus according to the present invention, and the specific configuration thereof can be appropriately changed without departing from the scope of the present invention is there.
  • a specific support structure of the substrate W in the substrate support table 10, 10A, 10B, etc., a specific holding structure of the mask 21 in the print execution units 20, 20A, 20B, etc., a specific structure of the squeegee unit 40, etc. Is not necessarily limited to the screen printing apparatus 1, 1A, 1B of the above embodiment, and can be changed as appropriate.
  • the specific position on the base 2 is set as the substrate loading unit En1 or En2 and the substrate unloading unit En1 or En2 based on the printing execution program.
  • a loading conveyor capable of receiving the substrate W from the loaders L1 and L2 is installed on the upstream side of the base 2, and the loading conveyor is designated as a substrate loading unit En1 or En2 while the component mounting is performed downstream.
  • An unloading conveyor capable of delivering a substrate may be installed in the apparatus M, and the unloading conveyor may be used as the substrate unloading units En1 and En2. The same applies to the other screen printing apparatuses 1A and 1B described above.
  • a screen printing apparatus is a printing execution unit located between a substrate loading position and a substrate unloading position aligned in a specific direction and performing screen printing on a substrate using a screen mask; Transport holding means for transporting the substrate carried in from the substrate carry-in position to the printing execution position where printing by the printing execution unit is possible and holding the substrate during printing, and before the printing by the printing execution unit A substrate image pickup means for picking up an image of the substrate held by the holding means; the transfer holding means receives the substrate at a specific position closer to the substrate carry-in position than the print execution position; Is held in a state that enables printing by the user, and the sheet is conveyed in advance from the specific position to the print execution position, and the substrate imaging unit is moved from the specific position to the print execution position In which are arranged on the imaging position capable of the substrate during transport of the substrate by the transporting holding means.
  • the substrate is held in advance in a specific position on the substrate loading position side of the printing execution position by the transport holding unit so that printing can be performed by the printing execution unit, and printing is performed from the specific position It is transported to the position. Then, the substrate is imaged by the substrate imaging means during conveyance of the substrate from the specific position to the printing execution position.
  • an independent process for imaging the substrate is unnecessary, and the transportation of the substrate to the printing execution position and the imaging of the substrate are performed in parallel.
  • a conventional device that requires an independent process for imaging the substrate, for example, once the substrate is carried in to the print execution position and fixed by the clamp device etc, the substrate is clamped at the imaging position on the print execution position side
  • the tact time can be effectively shortened as compared with an apparatus or the like for moving the substrate to image the substrate. Therefore, it is possible to improve the throughput and to contribute to the improvement of the printed circuit board productivity.
  • a standby space for holding a subsequent substrate on the substrate loading position side with respect to the printing execution position is provided, and the position is set as the specific position, separately from the transport holding means,
  • the transfer holding means is controlled to transfer the subsequent substrate to the printing execution position, while the transfer holding means reaches the specific position after delivery of the preceding substrate.
  • the preceding substrate is conveyed to the downstream side of the printing execution position by the time when the subsequent substrate arrives at the specific position and the subsequent substrate is conveyed by the conveyance holding means and arrives at the printing execution position until Control means for controlling the transfer means.
  • the operation for transporting the preceding substrate after printing to the substrate unloading unit and the operation for transporting the waiting subsequent substrate from the specific position to the printing execution position are performed in parallel, and thus the tact is further performed. It is possible to shorten the time.
  • the above-described operation can be enjoyed even in the case where the substrate loading position and the substrate unloading position are offset in the direction orthogonal to the specific direction.
  • a subject is achieved by the following composition. That is, the transport holding means and the transport means are mounted, and a receiving position where the substrate carried in from the substrate loading position can be received and a sending position where the substrate after printing can be sent out from the substrate unloading position And a movable table provided movably in a direction orthogonal to the specific direction, and a predetermined position on the movable table on the substrate loading position side is the specific position and A predetermined position is set as the print execution position, and the print execution unit is located at a position where printing can be performed on a substrate disposed at the print execution position with the movable table disposed at the reception position.
  • control means further controls the movable table, and after printing of the preceding substrate is completed, the movable table is moved from the receiving position to the receiving position. Feeding the substrate unloading position the leading substrate from the movable table is moved to the unloading position by the conveyance of the preceding substrate by the transfer means, moving the movable table in the receiving position after the delivery.
  • the substrate carried in from the substrate carry-in position is received on the movable table disposed at the receiving position, and the printing execution unit is held in a state held by the transport holding unit mounted on the movable table. Printing is carried out. After printing, the movable table is placed at the delivery position, whereby the printed substrate is delivered to the substrate delivery unit.
  • control means causes the subsequent substrate held by the transport holding means to be the printing execution position when the movable table reaches the receiving position after the preceding substrate is fed to the substrate unloading position.
  • the substrate imaging unit may be provided so as to be movable in a direction orthogonal to the conveyance direction of the subsequent substrate by the conveyance holding unit.
  • the imaging area is expanded by moving the substrate imaging means in the same direction, and the degree of freedom of the imaging position on the substrate is increased.
  • the transport holding means includes a substrate holding member for holding a substrate and a moving means for moving the substrate holding member between the specific position and the printing execution position, and the screen holding member includes the screen mask.
  • a mask imaging means for imaging may be mounted.
  • the mask recognition camera can pick up an image of the mask while conveying the substrate from the specific position to the print execution position. Further, a rational configuration is achieved in which the substrate holding member is also used as a means for moving the mask recognition camera.
  • the screen printing apparatus relates to the recognition of the substrate prior to the printing operation, and shortens the tact time by simultaneously transporting the substrate to the printing execution position and imaging the substrate. And is useful in the field of manufacturing component mounting boards.

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Abstract

　スクリーン印刷装置は、印刷実行部２０と、基板搬入部Ｅｎと、基板搬出部Ｅｘと、基板搬入部Ｅｎから基板待機位置Ｐ１に搬入された基板Ｗを印刷実行位置Ｐ２に搬送して保持する搬送保持手段と、基板を撮像する基板認識カメラ５０とを備える。搬送保持手段は、クランプユニット１４とその駆動機構とを含み、クランプユニット１４により基板待機位置Ｐ１において事前に印刷実行部２０による印刷が可能となる状態に基板Ｗを保持した上で印刷実行位置Ｐ２に搬送するように構成されており、基板認識カメラ５０は、クランプユニット１４により保持されて基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２へ搬送される基板Ｗをその搬送途中で撮像可能となるように設けられている。

Description

スクリーン印刷装置
　本発明は、プリント配線板（PWB；Printed wiring board）等の基板に部品を実装するための前処理として当該基板にクリーム半田や導電性ペースト等を印刷するスクリーン印刷装置に関するものである。
　スクリーン印刷装置は、プリント回路板（PCB；Printed Circuit Board）の製造ラインに組み込まれ、上流側から搬送されてくる基板に導電性ペースト等の印刷を施して下流側の部品実装装置に送り出すものである。
　この種のスクリーン印刷装置は、例えば特許文献１に開示されるように、印刷部に対して一枚ずつ基板を受け入れて印刷処理を実施し、印刷後の基板を部品実装装置に送り出すように構成されている。また、近年では、例えば特許文献２に開示されるように、装置内に２つの印刷部を並列に備え、上流側から各印刷部に個別に基板を受け入れつつ印刷を施して個別に下流側に送り出すものも開発されている。これは、１つの装置内に２つの基板搬送ラインをもち、かつ各搬送ラインで部品実装を同時進行（並行）させる所謂デュアル搬送型の部品実装装置が用いられるようになったことによるもので、これらのスクリーン印刷装置と部品実装装置とを連結することで印刷および部品実装の効率化を図ることが狙いである。
　ところで、スクリーン印刷装置では、基板とスクリーンマスクとの重装ずれを防止するために、印刷実行位置あるいはその近傍となるマスク下方において基板テーブル上に搬入した基板をクランプ装置等により固定した後、この基板を画像認識して位置ずれを検出し、基板を印刷実行位置においてマスクへ重装する際に基板テーブルの位置を補正するように構成されている。この場合、マスク下方は重装のため基板が上昇するスペースであり、固定的にカメラを配置することが困難なため、例えば特許文献１のものは、マスクの側方位置にカメラを備え、基板テーブル上に基板を搬入した後、クランプされた基板をマスク下方位置からカメラ位置まで移動させて基板を撮像し、再度印刷実行位置に基板を戻した後、当該基板をマスクに重装して印刷を実施するように構成されている。また、特許文献２のものでは、移動可能なカメラを備え、このカメラを印刷実行位置においてクランプされた基板とマスクとの間の位置に一時的に介在させて基板を撮像し、撮像後はカメラをマスク側方位置に退避させるように構成されている。
　しかし、何れも基板を搬入した後、基板やカメラをマスク下方位置とマスク側方位置との間で移動させるため基板認識に比較的時間を要する。従って、これが印刷機におけるスループット向上（タクトタイムの短縮化）の阻害要因の一つとなっている。
　また、特許文献２のスクリーン印刷装置では、基板搬入部と基板搬出部とが基板搬送方向（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｙ軸方向）にオフセットされており、基板を支持固定するためのステージがＹ軸方向に移動するように構成されているが、これは、部品実装装置側の２つの基板搬送ラインが近接配置されているため、これらに連結可能となるように基板搬出部同士を近接させる必要があるためである。
　しかしながら、この装置では、基板搬入部に対応する位置（受取位置）でステージ上に基板を受取り、印刷後、ステージを基板搬出部に対応する位置（送出位置）に移動させて基板搬出を行うため、基板の搬出中はステージ上に後続基板を受け入れることが不可能であり、従って、この点もスループット向上の一つの阻害要因となっている。
特許２６８２１４５号公報 特開２００９－７０８６７号公報
　本発明は、このような事情に鑑みて成されたものであり、スループットを向上させることができるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。
　この目的を達成するために、本発明のスクリーン印刷装置は、特定方向に並ぶ基板搬入位置と基板搬出位置との間に位置し、スクリーンマスクを用いて基板にスクリーン印刷を実施する印刷実行部と、前記基板搬入位置から搬入される基板を前記印刷実行部による印刷が可能となる印刷実行位置に搬送して当該基板の印刷中に保持する搬送保持手段と、前記印刷実行部による印刷前に、前記搬送保持手段に保持されている基板を撮像する基板撮像手段と、を備え、前記搬送保持手段は、前記印刷実行位置よりも基板搬入位置側の特定位置で基板を受け取り、この基板を前記印刷実行部による印刷が可能となる状態に保持した上で事前に当該特定位置から前記印刷実行位置に搬送し、前記基板撮像手段は、前記特定位置から前記印刷実行位置への前記搬送保持手段による基板の搬送途中に当該基板を撮像可能な位置に配置されているものである。
　このスクリーン印刷装置では、基板は、印刷実行位置よりも基板搬入位置側の特定位置で事前に搬送保持手段によって印刷実行部による印刷が可能となる状態に保持された上で当該特定位置から印刷実行位置に搬送される。そして、この前記特定位置から印刷実行位置への基板の搬送中に当該基板が基板撮像手段により撮像される。このようなスクリーン印刷装置によれば、基板を撮像するための独立した工程は不要であり、印刷実行位置への基板の搬送と基板の撮像とが並行して行われる。そのため、基板を撮像するための独立した工程が必要な従来装置、例えば一旦印刷実行位置へ基板を搬入しクランプ装置等により固定した後、当該基板を印刷実行位置側方の撮像位置にクランプ装置等とともに移動させて基板を撮像する装置等と比較するとタクトタイムを効果的に短縮することが可能となる。従って、スループットを向上させてプリント回路板の生産性向上に寄与する。
本発明に係るスクリーン印刷装置の第１実施形態を示す平面図である。 スクリーン印刷装置を示す正面図である。 スクリーン印刷装置に組み込まれる基板支持テーブル及びその駆動機構等を示す平面図（スクリーン印刷装置から印刷実行部等を除いた状態の平面図）である。 基板支持テーブルの構成を示すスクリーン印刷装置の断面図（図３のIV－IV線断面図）である。 図４におけるクランプユニットの要部拡大図である（（ａ）は基板の非クランプ状態、（ｂ）は基板クランプ状態）。 スクリーン印刷装置に組み込まれる印刷実行部等を示す斜視図である。 印刷実行部を示す平面図である。 スクリーンマスクを保持するマスク保持機構を示す斜視図である。 マスク保持機構に組み込まれる回転駆動機構およびＹ軸駆動機構を説明するための当該マスク保持機構の平面模式図である（（ａ）はマスク回転前、（ｂ）はマスク回転後の状態をそれぞれ示す）。 スクリーン印刷装置の電気的な構成を示すブロック図である。 制御装置による制御に基づくスクリーン印刷装置の印刷動作を説明する平面模式図である（（ａ）、（ｂ）は印刷動作を時系列的に示している）。 制御装置による制御に基づくスクリーン印刷装置の印刷動作を説明する平面模式図である（（ａ）、（ｂ）は印刷動作を時系列的に示している）。 本発明に係るスクリーン印刷装置の動作（図（ａ））と従来装置の動作（図（ｂ））とを比較した工程図である。 本発明に係るスクリーン印刷装置の第２実施形態を示す平面模式図である。 制御装置による制御に基づく第２実施形態に係るスクリーン印刷装置の印刷動作を説明する平面模式図である（（ａ）～（ｃ）は印刷動作を時系列的に示している）。 本発明に係るスクリーン印刷装置の第３実施形態を示す平面模式図である（（ａ）、（ｂ）は印刷動作を時系列的に示している）。
　以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の形態について詳述する。
　図１および図２は、本発明に係るスクリーン印刷装置の第１実施形態を示しており、図１は平面図で、図２は正面図でそれぞれスクリーン印刷装置を概略的に示している。
　このスクリーン印刷装置１は、その下流側にデュアル搬送型の部品実装装置Ｍを連結した状態でプリント回路板（PCB）の製造ラインに組み込まれるものである。図示の例では、スクリーン印刷装置１（以下、印刷装置１と略す）は、並列に配置された２台のローダＬ１、Ｌ２（第１ローダＬ１、第２ローダＬ２という）とデュアル搬送型の１台の部品実装装置Ｍとの間に介設されており、上流側の各ローダＬ１、Ｌ２から繰り出されてくる基板Ｗに印刷を実施して下流側の部品実装装置Ｍに送り出す。
　なお、以下の説明では、製造ラインにおける基板Ｗの搬送方向をＸ軸方向、水平面上でＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、これらＸ軸、Ｙ軸の両方向に直交する方句（鉛直方向）をＺ軸方向として印刷装置１の説明を行う。
　印刷装置１は、その基台２上に、基板Ｗを支持するための２つの基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂと、これら基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢをＹ軸方向それぞれ所定位置に停止した状態で、当該基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持された基板Ｗに個別に印刷を実施する２つの印刷実行部２０Ａ、２０Ｂと、を備えている。
　印刷装置１は、前記基台２上であってＸ軸方向における一方側の端部（基板搬送方向における上流側の端部）に２つの基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２（第１基板搬入部Ｅｎ１、第２基板搬入部Ｅｎ２という）を有する一方、これらに対応する２つの基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２（第１基板搬出部Ｅｎ１、第２基板搬出部Ｅｎ２という）を他方側の端部（基板搬送方向における下流側の端部）に有しており、第１ローダＬ１から繰り出される基板Ｗを第１基板搬入部Ｅｎ１から装置内に搬入して印刷を実施し、当該印刷後の基板Ｗを第１基板搬出部Ｅｘ１から部品実装装置Ｍに搬出する一方で、第２ローダＬ２から繰り出される基板Ｗを第２基板搬入部Ｅｎ２から装置内に搬入して印刷を実施し、当該印刷後の基板Ｗを第２基板搬出部Ｅｘ２から部品実装装置Ｍに搬出する。
　各基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２は、部品実装装置Ｍの２つの基板搬送ラインに対応するようにＹ軸方向において各基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２よりも内側の位置にオフセットされている。同図中、符号ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＭ１、ＣＭ２はそれぞれローダＬ１、Ｌ２および部品実装装置Ｍに搭載されて基板搬送ラインを構成するベルトコンベヤ対であり、基板Ｗはこれらベルトコンベヤ対ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＭ１、ＣＭ２（以下、コンベヤ対ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＭ１，ＣＭ２と略す）に沿って搬送される。
　なお、前記基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２及び基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２は、それぞれ基台２上の特定の位置を指すものであり、これらの基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２及び基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２の位置は、上流側に配置される各ローダＬ１、Ｌ２及び下流側に配置される部品実装装置Ｍに応じて後述する制御装置８により設定される。つまり、当実施形態では基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２の位置が本発明の基板搬入位置であり、基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２の位置が同基板搬出位置である（後述する各実施形態についても同じである）。
　基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ（第１基板支持テーブル１０Ａ、第２基板支持テーブル１０Ｂという；それぞれ本発明の可動テーブルに相当する）は、前記基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２においてローダＬ１，Ｌ２から搬入される基板Ｗを受け取って印刷が可能となるように支持するとともに印刷後の基板Ｗを基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２において部品実装装置Ｍへ送り出すものであり、これらのうち第１基板支持テーブル１０Ａは、第１基板搬入部Ｅｎ１においてローダＬ１から搬入されてくる基板Ｗを受け取って第１印刷実行部２０Ａにより印刷が可能となるように基板Ｗを支持し、他方、第２基板支持テーブル１０Ｂは、第２基板搬入部Ｅｎ２においてローダＬ２から搬入されてくる基板Ｗを受け取って第２印刷実行部２０Ｂにより印刷が可能となるように基板Ｗを支持する。
　各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、図３に示すように、Ｘ軸方向に細長の平面視略長方形の形状を有しており、テーブル駆動機構により個別にＹ軸方向に移動するように構成されている。テーブル駆動機構は、ねじ送り機構により構成されている。すなわち、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、基台２上に設けられたＹ軸方向に延びる共通の固定レール３上に移動自在に支持されており、それぞれねじ軸５Ａ、５Ｂを介してモータ４Ａ、４Ｂにより駆動されるように構成されている。そして、後記制御装置８によるモータ制御に基づき、第１基板支持テーブル１０Ａが、第１基板搬入部Ｅｎ１においてローダＬ１から搬入されてくる基板Ｗを受け取り可能な受取位置（図１、図３に示す位置）と基板Ｗを第１基板搬出部Ｅｘ１において部品実装装置Ｍへ送り出し可能な送出位置との間で移動する一方で、第２基板支持テーブル１０Ｂが、第２基板搬入部Ｅｎ２においてローダＬ２から搬入されてくる基板Ｗを受け取り可能な受取位置（図１、図３に示す位置）と基板Ｗを第２基板搬出部Ｅｘ２において部品実装装置Ｍへ送り出し可能な送出位置との間で移動するようになっている。
　各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、Ｘ軸方向に延びるコンベヤ対１２と、コンベヤ幅可変機構と、前記コンベヤ対１２上の基板Ｗを印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる印刷が可能となる状態に保持するクランプユニット１４と、このクランプユニット１４をコンベヤ対１２に沿ってＸ軸方向に移動させるためのクランプユニット駆動機構と、後記スクリーンマスク２１を清掃するためのクリーニングユニット１８等とを備える。当実施形態では、前記クランプユニット１４（基板保持手段）およびクランプユニット駆動機構（移動手段）が本発明における搬送保持手段に相当し、前記コンベヤ対１２及びコンベヤ幅可変機構が本発明における搬送手段に相当する。
　上記コンベヤ対１２は、ベルトコンベヤからなり、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２においてローダＬ１，Ｌ２から搬入される基板Ｗを搬入側端部で受け取り後記基板待機位置Ｐ１まで搬送するとともに印刷後の基板Ｗを後記印刷実行位置Ｐ２から基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２に位置する搬出側端部へ搬送するものである。
　コンベヤ対１２は、モータ１２０（図１０に示す）の駆動により周回移動するベルト１２１により基板ＷのＹ軸方向の両端部分を支持した状態で当該ベルトの移動に伴い基板ＷをＸ軸方向に搬送する（図５（ａ）参照）。コンベヤ幅可変機構は、コンベヤ対１２を構成する２つのコンベヤの間隔（すなわちコンベヤ幅）を基板Ｗのサイズに応じて変更するものである。このコンベヤ幅可変機構は、例えはねじ送り機構からなる。すなわち、上記２つのコンベヤのうち一方側のコンベヤは、支柱を介して基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に固定される固定コンベヤとされ、他方側のコンベヤは、上記一方側のコンベヤに対して接離可能（Ｙ軸方向に移動可能）となるように基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上の固定レールに移動可能に支持される可動コンベヤとされる。そして、モータ１２３（図１０に示す）により駆動されるねじ軸を介して他方側のコンベヤが前記固定レールに沿って駆動されることにより前記２つのコンベヤの間隔が変更される。つまり、このコンベヤ対１２は、基板Ｗのサイズに応じて間隔を変更可能な可変ストローク型コンベヤである。
　なお、当実施形態では、装置前側（図１、図３の下側）に位置する第１基板支持テーブル１０Ａについては、コンベヤ対１２のうち後側が固定コンベヤ、前側が可動コンベヤとされ、後側のコンベヤを基準としてコンベヤの間隔が変更されるようにコンベヤ幅可変機構が構成される。他方、装置後側に位置する第２基板支持テーブル１０Ｂについては、コンベヤ対１２のうち前側が固定コンベヤ、後側が可動コンベヤとされ、前側のコンベヤを基準としてコンベヤの間隔が変更されるようにコンベヤ幅可変機構が構成されている。つまり、印刷装置１の全体とすれば、両基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、装置内側を基準して各コンベヤ対１２のコンベヤの間隔が変更されるものである。
　上記クランプユニット１４は、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に設けられた固定レール１４１に沿ってＸ軸方向に移動可能に支持されるベース部材１４０（図４に示す）を有し、このベース部材１４０上にコンベヤ対１２から基板Ｗを持ち上げて支持するバックアップ機構と、このバックアップ機構により持ち上げられた基板Ｗを固定するクランプ機構とを備える。
　図４および図５（ａ）に示すように、バックアップ機構は、所定配列の複数本のバックアップピン１５１（以下、ピン１５１と略す）を備えかつリンク機構等を介して上記ベース部材１４０上に昇降可能に支持されるバックアップテーブル１５０（ＢＵテーブル１５０という）と駆動用のモータ１５２等とを含み、このモータ１５２の駆動により、ＢＵテーブル１５０が所定の退避位置とこの位置から上昇した作動位置とに変位するように構成されている。ここで、退避位置は、ピン１５１の先端位置がコンベヤ対１２（ベルト１２１）に支持された基板Ｗの下面より低くなる位置（図５（ａ）に示す位置）であり、作動位置は、同基板Ｗの下面よりピン１５１の先端位置が高くなる位置である。従って、このバックアップ機構は、図５（ｂ）に示すように、ＢＵテーブル１５０が作動位置に配置されたときに基板Ｗをコンベヤ対１２から持ち上げる。
　クランプ機構は、コンベヤ対１２の上方位置に配置されてＸ軸方向に互いに平行に延びる一対のクランプ部材１６０と、これらクランプ部材１６０が組付けられるアーム部材１６１と、クランプ部材駆動用のアクチュエータ、例えば二方向型のエアシリンダ１６２とを含む。両クランプ部材１６０のうち一方側（図４、図５（ａ）では左側）のものは、アーム部材１６１に対してＹ軸方向に変位可能に組付けられており、前記エアシリンダ１６２の駆動により同図に示す退避位置と図５（ｂ）に示す前進位置とに変位する。つまり、クランプ機構は、同図（ｂ）に示すように、一方側のクランプ部材１６０が退避位置から前進位置に変位することにより、前記バックアップ機構により持ち上げられた基板Ｗを他方側のクランプ部材１６０と共にＹ軸方向に挟み込んでクランプする。
　なお、この印刷装置１では、このようにクランプユニット１４によりコンベヤ対１２から持ち上げられてクランプ部材１６０にクランプされた状態の基板Ｗに対して後記スクリーンマスク２１を重装して印刷を行うようになっており、従って、クランプユニット１４は、前記印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる印刷が可能となる状態に基板をコンベヤ対１２から上方に遊離させて保持するものである。
　クランプ機構の各アーム部材１６１は、コンベヤ対１２を外側（Ｙ軸方向における外側）から抱え込むように形成された上で、それぞれ各コンベヤ対１２に組付けられたＸ軸方向の固定レール１２２にスライド可能に連結されている。このように各アーム部材１６１がコンベヤ対１２（固定レール１２２）に連結されて案内されるように構成されることで、クランプユニット駆動機構によりクランプユニット１４をＸ軸方向に移動させるようにしながらもコンベヤ対１２と各クランプ部材１６０とのＹ軸方向の相対位置が一定に保持される。
　また、各アーム部材１６１のうち一方側、具体的にはコンベヤ対１２のうち固定コンベヤに連結される側のアーム部材１６１（図４では右側のアーム部材）はベース部材１４０に固定され、他方、可動コンベヤに連結される側のアーム部材１６１（図４では左側のアーム部材）はベース部材１４０上に設けられた固定レール１６４に沿ってＹ軸方向に変位可能に支持されている。従って、コンベヤ対１２の間隔が変更されると、可動コンベヤと一体に一方側のアーム部材１６１がＹ軸方向に移動し、これにより両クランプ部材１６０の間隔が自動調整される。つまり、コンベヤ対１２の間隔変更後に搬送される基板Ｗをクランプ可能な間隔に両クランプ部材１６０の間隔が自動的に変更される。なお、上記各クランプ部材１６０は、それらのうち可動コンベヤ側に組付けられるものが駆動されるように構成されており、この構成により基板Ｗは、固定コンベヤ側を基準としてクランプされるようになっている。従って、第１基板支持テーブル１０Ａのクランプユニット１４では、装置後側を基準に基板Ｗがクランプされ、第２基板支持テーブル１０Ｂのクランプユニット１４では、装置前側を基準として基板Ｗがクランプされる。
　クランプユニット駆動機構は、ねじ送り機構により構成されている。すなわち、クランプユニット１４の前記ベース部材１４０は、基台２上に設けられたＸ軸方向に延びる固定レール１４１上に移動自在に支持され、ねじ軸１４２を介してモータ１４４により駆動されるように構成されている。
　ここで、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、図３に示すように、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２側に基板Ｗの待機スペースが設けられてこの位置が基板待機位置Ｐ１（本発明の特定位置に相当する）、これよりも下流側の所定位置が印刷実行位置Ｐ２とされ、後記制御装置８によるモータ制御に基づき前記クランプユニット１４がこれら基板待機位置Ｐ１と印刷実行位置Ｐ２との間をコンベヤ対１２および固定レール１４１に沿って移動するようになっている。そして、このクランプユニット１４の移動に関連付けられて前記ＢＵテーブル１５０およびクランプ部材１６０の駆動が制御装置８により制御される。すなわち、クランプユニット１４の基板待機位置Ｐ１への移動後、基板Ｗがコンベヤ対１２から持ち上げられてクランプ部材１６０によりクランプされて基板Ｗが印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる印刷が可能となる状態で、クランプユニット１４の移動に伴い前記印刷実行位置Ｐ２に搬送され、印刷後は、前記印刷実行位置Ｐ２において基板Ｗの保持状態が解除されることによりクランプユニット１４からコンベヤ対１２上に基板Ｗが受け渡されるようになっている。なお、以下の説明では、便宜上、上記のようにクランプユニット１４により基板Ｗを保持した状態（コンベヤ対１２から持ち上げられてクランプ部材１６０によりクランプされた状態）を単にクランプ状態といい、保持が解除された状態をクランプ解除状態という。
　図２、図４および図５では、第１基板支持テーブル１０Ａのクランプユニット１４のみ示しているが、基板Ｗを装置前側基準でクランプする点を除き、第２基板支持テーブル１０Ｂの構成も基本的には第１基板支持テーブル１０Ａと共通している。
　クリーニングユニット１８は、詳細図を省略しているが、後述するスクリーンマスク２１の下面に摺接可能なパッドおよびこのパッドを介してスクリーンマスク２１を負圧吸引する吸引ノズル等を含むクリーニングヘッドを備えており、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢがＹ軸方向に移動する際に、このクリーニングヘッドをスクリーンマスク２１の下面に摺接させることで当該マスク下面やパターン孔内に溜まったペーストを除去する。
　クリーニングヘッドは、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに対して昇降可能に構成されており、清掃時のみスクリーンマスク２１に摺接可能な作動位置に配置され、それ以外はこの作動位置から下降した退避位置に配置されるように構成されている。
　なお、図１～図３中の符号１５は、前記コンベヤ対１２が具備するストッパ機構であり、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２においてコンベヤ対１２上に受け入れられて搬送される基板Ｗを上記基板待機位置Ｐ１で停止させ、その位置に待機させるためのものである。このストッパ機構１５は、例えばエアシリンダ等のアクチュエータにより進退駆動されるストッパ軸を有しており、コンベヤ対１２による基板Ｗの搬送路中に前記ストッパ軸を進出させて基板Ｗの移動を規制する作動状態と、搬送路外にストッパ軸を退避させて基板Ｗの移動を許容する停止状態とに切り換え可能に構成されている。これにより、基板待機位置Ｐ１へ搬入された基板Ｗを、当該基板Ｗがコンベヤ対１２から持ち上げられるまでの間、当該基板待機位置Ｐ１に待機させる。
　また、同図中の符号１６は、クランプユニット１４に搭載されるマスク認識カメラである。このマスク認識カメラ１６は、ＣＣＤエリアセンサ等を備えたカメラであり、後記スクリーンマスク２１と基板Ｗとの相対位置を認識するためにスクリーンマスク下面に記されるマークや記号等の標識を下側から撮像するものである。
　上記基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの上方、詳しくはそれぞれ受取位置に配置された基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂにおける上記印刷実行位置Ｐ２の上方位置には印刷実行部２０Ａ、２０Ｂ（第１印刷実行部２０Ａ、第２印刷実行部２０Ｂという）が設けられている。
　図６は、印刷装置１から印刷実行部２０Ａ、２０Ｂのみを抽出して示した斜視図である。各印刷実行部２０Ａ、２０Ｂは、Ｙ軸方向に併設され、それぞれマスク２１を保持するためのマスク保持機構と、Ｘ軸方向に配設されるスキージユニット４０と、Ｙ軸方向に配設され、このスキージユニット４０をＹ軸方向に移動させるスキージ駆動機構等とを含む。印刷実行部２０Ａ、２０Ｂを構成する各機構等は、それぞれ門型に形成されかつ基台２上にＸ軸方向に所定間隔を隔てて設置された一対の装置フレーム６に組付けられている。これら一対の装置フレーム６は、第１基板支持テーブル１０Ａ上において基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２へ移動する基板Ｗ、第２基板支持テーブル１０Ｂ上において基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２へ移動する基板Ｗ、および送出位置に位置する基板支持テーブル１０Ａ，１０Ｂ上おいて印刷実行位置Ｐ２から基板搬出部Ｅｘへ移動する基板をＹ軸方向に跨ぐように形成されている。
　各マスク保持機構は、図６～図８に示すように、スクリーンマスク２１（以下、マスク２１と略す）が着脱可能に組付けられ矩形のマスク固定部材２２と、このマスク固定部材２２を昇降させるための昇降駆動機構と、同固定部材２２を昇降駆動機構ごとＺ軸回りに回転させる回転駆動機構と、同固定部材２２を昇降駆動機構ごとＹ軸方向に移動させるためのＹ軸駆動機構とを含む。
　マスク固定部材２２は、図７および図８に示すように、中央に印刷用の開口部２２ａが形成された矩形形状を有しており、予め枠体に組付けられたマスク２１が当該枠体と共に前記開口部２２ａを塞ぐようにこのマスク固定部材２２に固定されるようになっている。
　マスク固定部材２２の上記各駆動機構は次のような構成を有する。
　各装置フレーム６には、Ｙ軸方向に延びる固定レール２５が設けられ、マスク固定部材２２を昇降可能に支持するためのマスク支持部材２４がこれら固定レール２５に移動自在に支持されている。具体的には、マスク支持部材２４は、固定レール２５に沿って延びる一対のＹ軸プレート部２４ａとそれらの一端部同士を繋ぐＸ軸プレート部２４ｂとからなる平面視コ字型の形状を有しており、前記各固定レール２５に装着されたスライダ２６ａ～２６ｃに対して各Ｙ軸プレート部２４ａが連結されることによりＹ軸方向に移動可能となっている。
　図８に示すように、マスク支持部材２４の各Ｙ軸プレート部２４ａには、Ｚ軸方向に延びる一対のガイド軸２５１が貫通しており、これらガイド軸２５１の下端部に前記マスク固定部材２２が固定されるとともに上端部に連結部材２５２が固定されている。マスク支持部材２４の各Ｙ軸プレート部２４ａには、両ガイド軸２５１の間の位置に一対のプーリ一体型ナット２５６が回転自在且つＺ軸方向固定に組付けられており、これらプーリ一体型ナット２５６に対してそれぞれねじ軸２５４がＺ軸方向に螺合挿入されるとともにこのねじ軸２５４の両端が前記マスク固定部材２２および連結部材２５２に固定支持されている。また、前記マスク支持部材２４にモータ２６０が固定され、このモータ２６０の出力軸に図外の駆動プーリが装着され、この駆動プーリと、マスク支持部材２４に組付けられた複数のアイドルプーリ２５７と、上記プーリ一体型ナット２５６とに亘って駆動ベルト２５８が装着される。
　この構成により、モータ２６０が駆動すると、その回転が駆動ベルト２５８を介して前記プーリ一体型ナット２５６に伝動されて当該プーリ一体型ナット２５６が回転し、この回転に伴いねじ軸２５４がその軸方向に移動する結果、図８中に矢印で示すように、このねじ軸２５４に固定された前記マスク固定部材２２がガイド軸２５１によって案内されつつ上下方向（Ｚ軸方向）に移動する。そして、印刷時には、後記制御装置８によるモータ２６０の制御により、マスク２１が、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持された基板Ｗ、詳しくはコンベヤ対１２から持ち上げられた状態で上記クランプユニット１４によりクランプされた状態の基板Ｗに重なる重装高さ位置（図８中の二点鎖線に示す位置）とこの高さ位置よりも上方の退避位置（同図中の実線に示す位置）とに変位するようになっている。
　マスク支持部材２４は、上記の通り各固定レール２５に装着されたスライダ２６ａ～２６ｃに連結されているが、詳しくは、特定位置を支点としてマスク支持部材２４のＺ軸回りの変位が許容されるようにリンク部材２８ａ～２８ｃを介して各Ｙ軸プレート部２４ａがスライダ２６ａ～２６ｃに連結されている。図９（ａ）は、その構造の理解を容易にするためにマスク支持部材２４等を模式的に示した図である。この図に示すように、マスク支持部材２４は、一方側（同図では左側）のＹ軸プレート部２４ａにおける中間位置がピン２９を介してスライダ２６ｂに連結された上で、この一方側のＹ軸プレート部２４ａにおけるＹ軸方向両端の位置とスライダ２６ａ、２６ｃとがそれぞれ両端ピン連結のリンク部材２８ａ、２８ｃを介して連結されている。また、マスク支持部材２４の他方側のＹ軸プレート部２４ａにおけるＹ軸方向両端および中間の三箇所とスライダ２６ａ～２６ｃとが同様にそれぞれ両端ピン連結のリンク部材２８ａ～２８ｃを介して連結されている。
　そして、マスク支持部材２４の各Ｙ軸プレート部２４ａにそれぞれ連結された３つのスライダ２６ａ～２６ｃのうち真ん中のスライダ２６ｂにそれぞれナット部材３３が固定され、これらナット部材３３に対してＹ軸方向に延びるねじ軸３２が螺合挿入されるとともにこれらねじ軸３２が装置フレーム６に固定されたモータ３０の出力軸と一体化されている。
　この構成により、各モータ３０が同方向に等速度で駆動されるとマスク支持部材２４がそのままの状態を保ちつつＹ軸方向に移動する一方で、例えば図９（ｂ）に示すように何れか一方のモータ３０だけが駆動されると、上記ピン２９を支点としてマスク支持部材２４がＺ軸回りに回動する。
　上記印刷実行部２０Ａ、２０Ｂにおいてそれぞれ、上記スキージユニット４０は、上記マスク保持機構の上方に配置されている。このスキージユニット４０は、クリーム半田、導電ペースト等のペーストをマスク２１上でローリング（混練）しながら拡張するもので、単一のスキージ４２と、マスク２１に対するスキージ４２の傾き方向および傾き角度を変更するための図外のスキージ角度可変機構と、スキージ４２をこれがマスク２１に摺接する印刷作業高さ位置とこの位置よりも上方の退避位置（図２、図６に示す位置）とに昇降させる図外のスキージ昇降機構等とを含む。
　スキージユニット４０をＹ軸方向に駆動するスキージ駆動機構は、ねじ送り機構により構成されている。すなわち、図６および図７に示すように、各印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの各スキージユニット４０は、装置フレーム６に設けられたＹ軸方向に延びる共通の固定レール４４上に移動自在に支持されており、それぞれねじ軸４７Ａ、４７Ｂを介してモータ４６Ａ、４６Ｂにより互いに独立して駆動されるように構成されている。
　なお、図６中の符号５０Ａ、５０Ｂは基板認識カメラ（本発明の基板撮像手段に相当する）であり、上記各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に支持される基板Ｗと印刷実行部２０Ａ、２０Ｂとの相対位置を認識するために基板Ｗの複数のマークや記号等の標識を上側から撮像するものである。これら基板認識カメラ５０Ａ、５０Ｂ（第１基板認識カメラ５０Ａ、第２基板認識カメラ５０Ｂという）は、上記マスク認識カメラ１６と同様にＣＣＤエリアセンサ等を備えたカメラであり装置フレーム６に固定されている。具体的には、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２側（コンベア対１２の搬入側端部の側）に位置する装置フレーム６のうち、第１基板認識カメラ５０Ａが第１印刷実行部２０Ａの側方位置に、第２基板認識カメラ５０Ｂが第２印刷実行部２０Ｂの側方位置にそれぞれ固定されている。これにより第１基板認識カメラ５０Ａについては、送出位置から受取位置に戻ることによりＹ軸方向に移動する第１基板支持テーブル１０Ａ上において基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２にＸ軸方向に移動するクランプユニット１４の、第１基板認識カメラ５０Ａに対してＸ軸方向Ｙ軸方向の両方向に移動する保持基板Ｗの複数の標識を撮像可能となっており、第２基板認識カメラ５０Ｂについては、送出位置から受取位置に戻ることによりＹ軸方向に移動する第２基板支持テーブル１０Ｂ上において基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２にＸ軸方向に移動するクランプユニット１４の、第２基板認識カメラ５０Ｂに対してＸ軸方向Ｙ軸方向の両方向に移動する保持基板Ｗの複数の標識を撮像可能となっている。
この印刷装置１は、ＣＰＵ等を構成要素とする制御装置８（本発明の制御手段に相当する）を備えている。この制御装置８は、図１０に示すように、印刷装置１全体の動作を統括的にコントロールする主制御部８１と、各種処理プログラムや各種データを記憶する記憶部８２と、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂや印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの駆動を制御する駆動制御部８３と、前記各認識カメラ１６、５０Ａ、５０Ｂからの画像データに所定の画像処理を施す画像処理部８４と、を備え、これら主制御部８１等がバスを介して互いに信号のやり取りが可能となるように接続されている。そして、主制御部８１は、外部のホストコンピュータから与えられる印刷実行プログラム等に基づき、前記基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂや印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる一連の印刷動作、すなわち、印刷対象である基板Ｗに対応した各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂにおけるコンベヤ対１２の間隔調整、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２におけるローダＬ１，Ｌ２から搬入されてくる基板Ｗの受け取り、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる印刷処理および基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２における部品実装装置Ｍへの基板Ｗの搬出にわたる印刷動作を統括的に制御する。
　ホストコンピュータから印刷装置１に与えられる前記印刷実行プログラムには、印刷装置１への連結時の各ローダＬ１、Ｌ２のコンベヤ対ＣＬ１、ＣＬ２の位置および部品実装装置Ｍのコンベヤ対ＣＭ１、ＣＭ２の位置に関するデータおよび印刷対象である基板Ｗのサイズ（寸法）に関するデータが組み込まれており、主制御部８１は、この印刷実行プログラムに基づき前記基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２及び基板搬出部Ｅｎ１、Ｅｎ２の位置の設定を含む初期設定を行い、この初期設定で定めた基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２及び基板搬出部Ｅｎ１Ｅｎ２の位置に基づいて上記一連の印刷動作を制御する。
　なお、ホストコンピュータは、印刷装置１が組み込まれるプリント回路板の製造ラインを統括的に制御するものであり、当該印刷装置１を含め、この製造ラインに組み込まれる装置（ローダＬ１、Ｌ２及び部品実装装置Ｍなど）は全てこのホストコンピュータに対して相互通信可能となるようにオンラインで接続されており、このホストコンピュータから当該印刷装置１等の各装置に対して前記印刷実行プログラムや各種データが与えられる。
　次に、この制御装置８の制御に基づく印刷装置１の印刷動作について図１１および図１２を参照しつつ説明する。
　図１１（ａ）は、印刷装置１において連続的に行われている印刷動作の特定時点の状態を模式的に示しており、この時点の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂおよび印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの状態は以下の通りである。
　第１基板支持テーブル１０Ａは、第１基板搬入部Ｅｎ１側の受取位置に配置されている。この第１基板支持テーブル１０Ａは、先行する基板Ｗがクランプユニット１４に保持された状態で印刷実行位置Ｐ２に配置されるとともに後続の基板が基板待機位置Ｐ１に搬入されて待機した状態にあり、先行する基板Ｗに対しては印刷実行部２０Ａによる印刷が実施されている。なお、印刷実行位置Ｐ２の基板Ｗは、図５（ｂ）に示すように、コンベヤ対１２から持ち上げられた状態でクランプユニット１４により支持されている。
　一方、第２基板支持テーブル１０Ｂは、第２基板搬入部Ｅｘ２側の送出位置に配置されている。この第２基板支持テーブル１０Ｂは、コンベヤ対１２により印刷後の先行基板Ｗが印刷実行位置Ｐ２から搬出側端部へ送り出され、第２基板搬出部Ｅｘ２において部品実装装置Ｍに送り出されるとともに基板待機位置Ｐ１にある後続の基板Ｗがクランプユニット１４によりクランプされた状態にある。
　このような図１１（ａ）に示す状態において、第１基板支持テーブル１０Ａ上の先行基板Ｗの印刷が終了すると、この第１基板支持テーブル１０Ａが受取位置から送出位置に向かって移動を開始するとともにクランプユニット１４による基板Ｗのクランプ状態が解除されて先行する印刷済みの基板Ｗがコンベヤ対１２上に受け渡され、このクランプユニット１４が印刷実行位置Ｐ２から基板待機位置Ｐ１に移動することにより当該基板待機位置Ｐ１に待機中の後続基板Ｗがクランプユニット１４によりクランプされる（図１１（ｂ））。具体的には、クランプユニット１４が基板待機位置Ｐ１に移動した後、ＢＵテーブル１５０が退避位置から作動位置に上昇することにより基板Ｗがコンベヤ対１２（ベルト１２１）から持ち上げられ、この状態でクランプ部材１６０が退避位置から前進位置に変位することにより基板Ｗが一対のクランプ部材１６０によりクランプされる。なお、クランプユニット１４による基板Ｗのクランプは、例えば、当実施形態では第１基板支持テーブル１０Ａが送出位置に到達する時点までに行われる。
　第１基板支持テーブル１０Ａが送出位置に到達すると、コンベヤ対１２が駆動され、これにより印刷済みの先行基板Ｗが第１基板搬出部Ｅｘ１において第１基板支持テーブル１０Ａから部品実装装置Ｍに送り出される（図１２（ａ））。
　印刷済みの先行基板Ｗが第１基板支持テーブル１０Ａから送り出されると、コンベヤ対１２が停止され、第１基板支持テーブル１０Ａが送出位置から受取位置に向かってＹ軸方向に移動するとともにこれに同期してクランプユニット１４が基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２に向かってＸ軸方向に移動する。この際、基板Ｗ上に記された複数の標識が第１基板認識カメラ５０Ａの下方位置を順次経由し、かつ、マスク認識カメラ１６がマスク２１下面に記される標識の下方位置を経由するように第１基板支持テーブル１０Ａおよびクランプユニット１４が制御される。これにより、基板Ｗおよびマスク２１の位置が画像認識され、これら基板Ｗおよびマスク２１の画像認識結果に基づき、印刷実行位置Ｐ２に基板Ｗを配置したときの当該基板Ｗとマスク２１との位置ずれが求められ、さらにこの位置ずれに応じたＸ軸、Ｙ軸およびＲ軸（Ｚ軸回り）方向の補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）が求められる。このような認識処理および補正値の演算は、基板認識カメラ５０およびマスク認識カメラ１６による撮像画像に基づき上記制御装置８により行われる。なお、クランプユニット１４は、例えば当実施形態では第１基板支持テーブル１０Ａが受取位置に到達する時点で第１基板支持テーブル１０Ａ上の印刷実行位置Ｐ２に基板Ｗが配置されているように制御される。
　そして、図１２（ｂ）に示すように第１基板支持テーブル１０Ａが受取位置に到達すると、第１印刷実行部２０Ａにより基板Ｗへの印刷が実施されるとともに、その間に、コンベヤ対１２の駆動により第１基板搬入部Ｅｎ１において後続の基板Ｗが第１基板支持テーブル１０Ａ上に受け入れられて基板待機位置Ｐ１に配置される。この際、印刷実行位置Ｐ２の基板Ｗはコンベヤ対１２から持ち上げられた状態でクランプユニット１４によりクランプされているため、後続の基板Ｗの受け入れに伴い印刷実行位置Ｐ２の基板Ｗが位置ずれを起こすことはない。
　第１印刷実行部２０Ａによる基板Ｗの印刷では、まず、マスク支持部材２４が退避位置から重装高さ位置に下降し、これによりマスク２１が基板Ｗに重装される。この際、第１基板支持テーブル１０Ａが第１受取位置に配置された状態で、上記補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）に基づきモータ１４４により基板支持テーブル１０Ａ上における基板Ｗの位置が、Ｘ軸方向に補正値ΔＸ分だけ補正され、２つのモータ３０によりマスク２１のＹ軸方向の補正値ΔＹ分の位置補正とＲ軸方向の補正値ΔＲ分の位置補正が、それぞれ実施されることにより、マスク２１が基板Ｗに対して適正に重装される。
　そして、印刷実行位置Ｐ２に配置された基板Ｗへのマスク２１の重装が完了すると、スキージ４２が退避位置から印刷作業高さ位置に移動した後、スキージ４２を含むスキージユニット４０全体がＹ軸方向に移動することによって基板Ｗに印刷が実施される。
　以上、第１基板支持テーブル１０Ａについて図１１（ａ）の状態からの動作について説明したが、第２基板支持テーブル１０Ｂについても、図１１（ｂ）、図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、第１基板支持テーブル１０Ａと一定の時間差をもって当該第１基板支持テーブル１０Ａと同様に第２基板搬入部Ｅｎ２において基板Ｗの受け入れ、基板Ｗの印刷および基板Ｗの第２基板搬出部Ｅｘ２側となるコンベア対１２上の搬出側端部への基板Ｗの移動、第２基板支持テーブル１０ＢのＹ軸方向の送出位置への移動、第２基板搬出部Ｅｘ２における部品実装装置Ｍへの送り出しが行われる。これにより各印刷実行部２０Ａ、２０Ｂにおいて基板Ｗの印刷が交互に行われつつ部品実装装置Ｍに搬出されることとなる。
　以上のように、この印刷装置１では、送出位置において印刷済みの先行基板Ｗを基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂから部品実装装置Ｍに送り出した後、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが受取位置にリセットされる時点で後続基板Ｗが印刷実行位置Ｐ２に配置されており、このように送出位置から受取位置に基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂがリセットされる過程で基板認識カメラ５０Ａ，５０Ｂによる後続基板Ｗ（標識）の画像認識およびマスク認識カメラ１６によるマスク２１の画像認識が行われることで、受取位置に基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂがリセットされた時点から直ちに印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる印刷が開始される。そのため、上記印刷装置１によれば、背景技術で説明した特許文献２に記載されるような従来装置に比べると、先行基板Ｗの印刷終了後、後続基板Ｗの印刷を早いタイミングで開始することが可能となる。
　図１３は、印刷装置１の動作（同図（ａ））と上記従来装置の動作（同図（ｂ））とを比較した工程図である。同図（ｂ）に示すように、従来装置では、先行基板の印刷、搬出位置への基板支持テーブル（ステージ）の移動、基板搬出、基板受取位置への基板支持テーブルの移動、後続基板の搬入、後続基板のクランプおよび基板・マスク認識が順番に行われるのに対して、上記印刷装置１では、同図（ａ）に示すように、先行基板Ｗの印刷中に後続基板Ｗの基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂへの搬入が行われ、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが送出位置に移動して先行基板Ｗを搬出して受取位置にリセットされるまでの間に、後続基板Ｗがクランプされ、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上で基板Ｗが基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２への移動が開始され、この移動中に基板Ｗ・マスク２１の画像認識が行われた上で、印刷実行位置Ｐ２に当該後続基板Ｗが配置される。すなわち、上記印刷装置１によれば、同図（ｂ）中、波括弧で括った工程内でほぼ後続基板Ｗの印刷準備が完了することとなる。従って、この印刷装置１によれば、先行基板Ｗの印刷終了から後続基板Ｗの印刷開始までの時間を従来装置に比べて大幅に短縮することができ、その結果、スループットを向上させてプリント回路板の生産性向上に寄与することができる。
　また、この印刷装置１では、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢがＹ軸方向に、クランプユニット１４がＸ軸方向にそれぞれ移動する点を利用し、基板認識カメラ５０Ａ、５０Ｂを装置フレーム６に固定した状態で基板Ｗ（標識）の撮像を行うとともに、マスク認識カメラ１６をクランプユニット１４に搭載することにより二次元的にマスク認識カメラ１６を移動させてマスク２１（標識）を撮像するようになっている。つまり、この印刷装置１では、基板認識カメラ５０Ａ、５０Ｂやマスク認識カメラ１６を移動させるための専用の駆動機構は不要であり、従って、合理的な構成で基板Ｗやマスク２１の画像認識を行うことができるという利点もある。
　なお、上記印刷装置１では、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２（搬入側端部）から基板待機位置Ｐ１への基板Ｗの搬送、および印刷実行位置Ｐ２から基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２（搬出側端部）への基板Ｗの搬送が共通のコンベヤ対１２で行われるが、勿論、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２から基板待機位置Ｐ１へ基板Ｗを搬送するコンベヤ対と、印刷実行位置Ｐ２から基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２へ基板Ｗを搬送するコンベヤ対とを別個独立に設けるようにしてもよい。
　次に、本発明に係るスクリーン印刷装置の第２実施形態について図１４及び図１５を参照しつつ説明する。
　図１４は第２実施形態に係るスクリーン印刷装置１Ａ（以下、印刷装置１Ａと略す）を平面図で模式的に示している。この第２実施形態に係る印刷装置１Ａは、下流側にシングル搬送型の部品実装装置Ｍを連結した状態でプリント回路板（PCB）の製造ラインに組み込まれるもので、次の点で第１実施形態の印刷装置１と構成が相違している。なお、図示の例では、印刷装置１Ａは、１台のローダＬとシングル搬送型の１台の部品実装装置Ｍとの間に介設されており、上流側のローダＬから繰り出されてくる基板Ｗに印刷を実施して下流側の部品実装装置Ｍに送り出す。
　この印刷装置１Ａでは、基板搬入部、基板搬出部、基板支持テーブルおよび印刷実行部は共に一つであり、基板搬入部ＥｎにおいてローダＬから搬入される基板Ｗを基板支持テーブル１０に受け入れ、当該基板Ｗに印刷を実施した後、印刷後の基板Ｗを基板搬出部Ｅｘにおいて基板支持テーブル１０から部品実装装置Ｍに送り出す。なお、この印刷装置１Ａでは、基板搬入部Ｅｎに対して基板搬出部ＥｘがＹ軸方向にオフセットされた構成ではないが、基板支持テーブル１０は第１実施形態と同様にＹ軸方向に移動可能に設けられている。
　また、この印刷装置１Ａでは基板認識カメラ５０も一つであり、この基板認識カメラ５０は、カメラ駆動機構５２に連結されておりＹ軸方向に移動可能となっている。カメラ駆動機構は、詳しく図示していないが、例えばねじ送り機構により構成されている。すなわち、基板認識カメラ５０は、装置フレーム６に組付けられた固定レールに移動可能に支持されており、ねじ軸を解してモータにより駆動されるようになっている。
　なお、この印刷装置１Ａの電気的な構成は、基板支持テーブルおよび印刷実行部が一つである点を除き、第１実施形態（図１０参照）とほぼ同等である。
　この印刷装置１Ａでは、同図に示すように、印刷実行位置Ｐ２および基板待機位置Ｐ１にそれぞれ基板Ｗが配置された状態で印刷実行位置Ｐ２に配置されている基板Ｗに対して印刷実行部２０により印刷が実施される。
　印刷が終了すると、クランプユニット１４のクランプ状態が解除されて印刷済みの先行基板Ｗがコンベヤ対１２に受け渡され、これにより当該基板Ｗがコンベヤ対１２により印刷実行位置Ｐ２から基板搬出部Ｅｘを経て部品実装装置Ｍに送り出される一方で、クランプ解除後のクランプユニット１４が基板待機位置Ｐ１に移動し、停止後待機中の後続基板Ｗをクランプする（図１５（ａ））。この際、印刷済みの先行基板Ｗのクランプ解除に同期してコンベヤ対１２が駆動されるが、後続の基板Ｗについてはストッパ機構１５により待機状態が維持されるため、これによりクランプユニット１４による後続基板Ｗのクランプが安定的に行われる。
　なお、基板Ｗの印刷中、マスク２１と基板Ｗとの位置決めにより基板支持テーブル１０が所定の基準位置、つまり基板搬入部ＥｎにおけるローダＬからの基板Ｗの受け入れおよび基板搬出部Ｅｘにおける部品実装装置Ｍへの基板Ｗの送り出しが可能となる位置に対して基板支持テーブル１０がＹ軸方向に移動した位置に配置されていた場合には、印刷後、先行基板Ｗのクランプ解除前に基板支持テーブル１０が基準位置にリセットされる。
　クランプユニット１４による後続基板Ｗのクランプが完了すると、クランプユニット１４の移動により当該基板Ｗが基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２に搬送されるとともに、基板搬入部Ｅｎにおいて基板支持テーブル１０上に基板Ｗが受け入れられる（図１５（ｂ））。この際、基板認識カメラ５０がＹ軸方向に移動することにより基板Ｗ上の標識が当該基板認識カメラ５０により撮像されるとともに、基板支持テーブル１０がＹ軸方向に移動することによりマスク２１下面の標識が前記マスク認識カメラ１６により撮像、認識され、これら基板Ｗおよびマスク２１の画像認識結果に基づき補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）が求められる。例えば基板Ｗの対角線上の角部にそれぞれ標識が記されている場合には、図１５（ｂ）（ｃ）に示すように、クランプユニット１４（基板Ｗ）の移動に伴い当該標識上の位置に基板認識カメラ５０が移動することにより、当該標識が基板認識カメラ５０により順次撮像される。
　そして、クランプユニット１４に保持された基板Ｗが印刷実行位置Ｐ２に到達すると、基台２に対して連結固定された不図示のフレームに脱着可能に装着されたマスク２１下面の標識のため、Ｙ軸方向へ移動した基板支持テーブル１０を元の位置に戻すべくＹ軸方向へ移動する。基板支持テーブル１０はマスク２１の中央部を通るＺ軸回り（Ｒ軸方向）に所定角回動可能とされており、補正値ΔＲだけ回動される。基板Ｗはこの回動する基板支持テーブル１０上においてクランプユニット１４により保持されており、基板支持テーブル１０のＹ軸方向の補正値ΔＹ１とクランプユニット１４の基板支持テーブル１０に対する移動方向の補正値ΔＸ１が、それぞれ補正値ΔＲ、補正値ΔＸおよび補正値ΔＹに基づき算出される。これらの算出値に基づき補正値ΔＸ１だけクランプユニット１４を移動し、補正値ΔＹ１だけ基板支持テーブルがＹ軸方向に移動する。その後、基台２に対して昇降可能とされた基板支持テーブル１０が上昇して基板Ｗがマスク２１に下方より重装される。こうして第１印刷実行部２０Ａにより基板Ｗへの印刷が実施される。この印刷実行部２０による基板Ｗの印刷動作は、第１実施形態の印刷装置１と同様でありここでは省略する。
　以上のような第２実施形態の印刷装置１Ａによれば、印刷実行位置Ｐ２よりも上流側の基板待機位置Ｐ１でクランプユニット１４により基板Ｗを事前に印刷実行部２０による印刷が可能となる状態に保持し、基板Ｗを基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２に搬送する途中で基板認識カメラ５０により当該基板Ｗ（標識）を撮像するとともにマスク認識カメラ１６によりマスク２１（標識）を撮像するように構成されているので、一旦印刷実行位置へ基板を配置した後、当該基板を印刷実行位置側方の撮像位置に移動させて基板を撮像し、あるいは印刷実行位置へ基板を配置した後、移動カメラを作動させて基板やマスクを撮像する場合（背景技術の特許文献１、２に記載された従来装置）に比べると効率的に基板Ｗの印刷を行うことができる。すなわち、上記のように一旦印刷実行位置へ基板を配置した後に基板やマスクを撮像する場合には、印刷実行位置への基板の搬送工程とは別に基板の撮像工程等が必要となるが、印刷装置１Ａによれば印刷実行位置Ｐ２への基板Ｗの搬送と基板Ｗの撮像等を並行して行うため、その分、タクトタイムを短縮することができる。
　しかも、印刷後は、先行する印刷済みの基板Ｗを基板搬出部Ｅｘにおいて部品実装装置Ｍへ送り出している間にクランプユニット１４が基板待機位置Ｐ１に戻って後続の基板Ｗを保持して印刷実行位置Ｐ２に搬送するため、印刷済みの基板Ｗを基板搬出部において完全に送り出した時点から後続の基板を基板搬入部においてローダＬから受け入れる場合に比べると、短時間で後続基板Ｗの印刷を開始することができ、この点でもタクトタイムを短縮することができる。
　従って、この第２実施形態の印刷装置１Ａによれば、下流側にシングル搬送型の部品実装装置等が配置される従来のこの種のスクリーン印刷装置（例えば背景技術の特許文献１に記載された従来装置）に比べてスループットを向上させることができ、これによりプリント回路板の生産性向上に寄与することができる。
　次に、本発明に係るスクリーン印刷装置の第３実施形態について図１６を参照しつつ説明する。
　図１６（ａ）は第３実施形態に係るスクリーン印刷装置１Ｂ（以下、印刷装置１Ｂと略す）を平面図で模式的に示している。この第３実施形態に係る印刷装置１Ｂは、上述した第２実施形態の印刷装置１Ａ（図１４等参照）の変形であり、次の点で第２実施形態の印刷装置１Ａと構成が相違する。すなわち、この印刷装置１Ｂは、印刷実行位置Ｐ２の側方となる位置に、印刷後の基板Ｗの印刷状態を検査するための検査カメラ６０と、この検査カメラ６０を二次的に移動させるＸ－Ｙロボットからなるカメラ駆動機構６２とを備えた検査機能付き印刷装置である。
　なお、基板支持テーブル１０は第１実施形態に係る基板支持テーブル１０Ａと同様Ｙ軸方向にのみ移動可能とされ、印刷実行部２０の不図示のマスク回りの構成が第１実施形態に係るマスク２１と同様とされ、マスクはＸ軸方向、Ｒ軸方向およびＺ軸方向に移動可能とされる。このため、第２実施形態に係るマスク認識カメラ１６および基板認識カメラ５０と同様に、マスク認識カメラ１６によるマスク（標識）の撮像がされ、基板認識カメラ５０による基板Ｗ（標識）の撮像がされ、その結果に基づき求められる補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）により、第１実施形態と同様に、基板支持テーブル１０の位置が補正値ΔＹだけ移動され、マスクの位置が補正値ΔＸだけ移動されるとともに、補正値ΔＲだけ回動される。これを経て基板Ｗにマスクが上方より重装される。
　この印刷装置１Ｂによる印刷動作の大部分は第２実施形態の印刷装置１Ａと共通するが、この印刷装置１Ｂでは、印刷終了後、図１６（ｂ）に示すように、一旦、基板支持テーブル１０が印刷実行部２０側方の検査実行位置に移動し、ここで検査カメラ６０による印刷箇所の撮像が行われた後、基板支持テーブル１０が基準位置に戻って印刷済みの先行基板Ｗを搬出するようになっている。従って、この印刷装置１Ｂの電気的な構成（制御装置８）も、第２実施形態の印刷装置１Ａのものとほぼ同等である。
　このような第３実施形態の印刷装置１Ｂによれば、基板Ｗの印刷を効率的に実施しながら、さらに当該印刷装置１Ｂ内で基板Ｗの検査を行った上で部品実装装置Ｍに搬出することが可能となる。そのため、印刷不良が生じた基板Ｗがそのまま部品実装装置Ｍに送り込まれるといった不都合を未然に回避することが可能となり、印刷装置１Ｂの機能性を高めることができるという利点がある。
　以上のような第１～第３の実施形態の印刷装置１、１Ａ，１Ｂによれば、制御装置８により、クランプユニット１４（搬送保持手段）が印刷終了後の先行基板Ｗをコンベヤ対１２（搬送手段）に受け渡した後、基板待機位置Ｐ１（特定位置）に移動して後続基板Ｗを保持し、この後続基板Ｗを印刷実行位置Ｐ２に搬送するように当該クランプユニット１４を制御する一方で、前記先行基板Ｗの受け渡し後、前記クランプユニット１４が基板待機位置Ｐ１に到着するまでに当該基板待機位置Ｐ１に前記後続基板Ｗが到着するとともに当該後続基板Ｗがクランプユニット１４により搬送されて印刷実行位置Ｐ２に到着するまでに先行基板Ｗが印刷実行位置２０よりも下流側に搬送されているようにコンベヤ対１２が制御される。つまり、印刷が終了した先行基板Ｗの基板搬出部Ｅｘ、ＥＸ１、Ｅｘ２への搬送と待機中の後続基板Ｗの基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２への搬送動作が並行して行われる。そのため、さらにタクトタイムを短縮することが可能となる。
　ところで、上述したスクリーン印刷装置１、１Ａ、１Ｂは、本発明に係るスクリーン印刷装置の好ましい実施形態の例示であって、その具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、基板支持テーブル１０、１０Ａ、１０Ｂ等における基板Ｗの具体的な支持構造、印刷実行部２０、２０Ａ、２０Ｂ等における具体的なマスク２１の保持構造、あるいはスキージユニット４０の具体的な構造等は必ずしも上記実施形態のスクリーン印刷装置１、１Ａ、１Ｂのものに限定されるものではなく適宜変更可能である。
　また、上述した第１実施形態のスクリーン印刷装置１は、印刷実行プログラムに基づき基台２上の特定の位置を基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２及び基板搬出部Ｅｎ１、Ｅｎ２と設定しているが、例えば基台２上の上流側に、ローダＬ１、Ｌ２からの基板Ｗを受け取り可能な搬入用コンベヤを設置して、当該搬入用コンベヤを基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２とする一方、下流側に、部品実装装置Ｍに基板を送り出し可能な搬出用コンベアを設置して、当該搬出用コンベアを基板搬出部Ｅｎ１、Ｅｎ２としてもよい。上述した他のスクリーン印刷装置１Ａ、１Ｂについても同様である。
　以上説明した本発明をまとめると以下の通りである。
　すなわち、本発明の一の局面によるスクリーン印刷装置は、特定方向に並ぶ基板搬入位置と基板搬出位置との間に位置し、スクリーンマスクを用いて基板にスクリーン印刷を実施する印刷実行部と、前記基板搬入位置から搬入される基板を前記印刷実行部による印刷が可能となる印刷実行位置に搬送して当該基板の印刷中に保持する搬送保持手段と、前記印刷実行部による印刷前に、前記搬送保持手段に保持されている基板を撮像する基板撮像手段と、を備え、前記搬送保持手段は、前記印刷実行位置よりも基板搬入位置側の特定位置で基板を受け取り、この基板を前記印刷実行部による印刷が可能となる状態に保持した上で事前に当該特定位置から前記印刷実行位置に搬送し、前記基板撮像手段は、前記特定位置から前記印刷実行位置への前記搬送保持手段による基板の搬送途中に当該基板を撮像可能な位置に配置されているものである。
　このスクリーン印刷装置では、基板は、印刷実行位置よりも基板搬入位置側の特定位置で事前に搬送保持手段によって印刷実行部による印刷が可能となる状態に保持された上で当該特定位置から印刷実行位置に搬送される。そして、この前記特定位置から印刷実行位置への基板の搬送中に当該基板が基板撮像手段により撮像される。このようなスクリーン印刷装置によれば、基板を撮像するための独立した工程は不要であり、印刷実行位置への基板の搬送と基板の撮像とが並行して行われる。そのため、基板を撮像するための独立した工程が必要な従来装置、例えば一旦印刷実行位置へ基板を搬入しクランプ装置等により固定した後、当該基板を印刷実行位置側方の撮像位置にクランプ装置等とともに移動させて基板を撮像する装置等と比較するとタクトタイムを効果的に短縮することが可能となる。従って、スループットを向上させてプリント回路板の生産性向上に寄与することができる。
　より具体的には、前記印刷実行位置よりも前記基板搬入位置側に後続基板を待機させるための待機スペースが設けられてその位置が前記特定位置とされており、前記搬送保持手段とは別に、前記基板搬入位置から搬入される基板を前記特定位置まで搬送して待機させるとともに、前記搬送保持手段から印刷後の基板を受け取り前記基板搬出位置に搬送する搬送手段と、前記搬送保持手段および前記搬送手段を制御する制御手段と、をさらに備え、この制御手段が、前記搬送保持手段が印刷終了後の先行基板を前記搬送手段に受け渡した後、前記特定位置に移動して後続基板を保持し、この後続基板を前記印刷実行位置に搬送するように当該搬送保持手段を制御する一方で、前記先行基板の受け渡し後、前記搬送保持手段が前記特定位置に到着するまでに当該特定位置に前記後続基板が到着するとともに当該後続基板が前記搬送保持手段により搬送されて前記印刷実行位置に到着するまでに前記先行基板が前記印刷実行位置よりも下流側に搬送されているように前記搬送手段を制御するものである。
　このスクリーン印刷装置によれば、印刷が終了した先行基板の基板搬出部への搬送と待機中の後続基板を特定位置から印刷実行位置に搬送するための動作が並行して行われるため、さらにタクトタイムを短縮することが可能となる。
　なお、スクリーン印刷装置では、前記基板搬入位置と前記基板搬出位置とが前記特定方向と直交する方向にオフセットされているものについても、上記作用を享受できるのが望ましい。このような課題は、以下の構成により達成される。すなわち、前記搬送保持手段および前記搬送手段が搭載され、かつ、前記基板搬入位置から搬入される基板の受け取りが可能となる受取位置と印刷後の基板を前記基板搬出位置から送り出し可能となる送出位置とに亘って前記特定方向と直交する方向に移動可能に設けられる可動テーブルをさらに備え、この可動テーブル上の前記基板搬入位置側の所定位置が前記特定位置とされるとともに前記基板搬出位置側の所定位置が前記印刷実行位置とされており、前記印刷実行部は、前記可動テーブルが前記受取位置に配置された状態で前記印刷実行位置に配置される基板に対して印刷が可能となる位置に配置されており、前記制御手段は、前記可動テーブルをさらに制御し、前記先行基板の印刷終了後、前記可動テーブルを前記受取位置から前記送出位置に移動させるとともに前記搬送手段による前記先行基板の搬送により当該先行基板を前記可動テーブルから前記基板搬出位置に送り出し、この送り出し後に前記可動テーブルを前記受取位置に移動させる。
　このスクリーン印刷装置では、基板搬入位置から搬入される基板は、受取位置に配置された可動テーブル上に受け入れられ、この可動テーブル上に搭載される前記搬送保持手段により保持された状態で印刷実行部により印刷が実施される。印刷後は、可動テーブルが送出位置に配置されることにより印刷済みの基板が基板搬出部に送り出される。
　この構成において、前記制御手段は、前記基板搬出位置への前記先行基板の送り出し後、前記可動デーブルが前記受取位置に到達する時点で前記搬送保持手段に保持された前記後続基板が前記印刷実行位置に配置されているように前記可動テーブルおよび前記搬送保持手段を制御する。
　この構成によれば、可動テーブルを送出位置から受取位置にリセットした後、直ちに印刷実行部による基板の印刷を開始することが可能となるため、タクトタイムを短縮する上で有利となる。
　なお、上記各スクリーン印刷装置において、前記基板撮像手段は、前記搬送保持手段による後続基板の搬送方向と直交する方向に移動可能に設けられていてもよい。
　この構成によれば、基板撮像手段が同方向に移動することにより撮像領域が拡大され、基板上における撮像位置の自由度が高まる。
　また、前記搬送保持手段は、基板を保持する基板保持部材と当該基板保持部材を前記特定位置と前記印刷実行位置との間で移動させる移動手段と含み、前記基板保持部材に、前記スクリーンマスクを撮像するマスク撮像手段が搭載されているものであってもよい。
　この構成によれば前記特定位置から印刷実行位置に基板を搬送する途中でマスク認識カメラによりマスクを撮像することが可能となる。また、マスク認識カメラを移動させるための手段として基板保持部材を兼用した合理的な構成が達成される。
　以上のように、本発明に係るスクリーン印刷装置は、印刷作業に先立つ基板の認識に関し、印刷実行位置への基板の搬送と基板の撮像とを並行して実施することによりタクトタイムを短縮するものであり、部品実装基板の製造分野において有用なものである。

Claims (6)

  1. 　特定方向に並ぶ基板搬入位置と基板搬出位置との間に位置し、スクリーンマスクを用いて基板にスクリーン印刷を実施する印刷実行部と、
    　前記基板搬入位置から搬入される基板を前記印刷実行部による印刷が可能となる印刷実行位置に搬送して当該基板の印刷中に保持する搬送保持手段と、
    　前記印刷実行部による印刷前に、前記搬送保持手段に保持されている基板を撮像する基板撮像手段と、を備え、
    　前記搬送保持手段は、前記印刷実行位置よりも基板搬入位置側の特定位置で基板を受け取り、この基板を前記印刷実行部による印刷が可能となる状態に保持した上で事前に当該特定位置から前記印刷実行位置に搬送し、
    　前記基板撮像手段は、前記特定位置から前記印刷実行位置への前記搬送保持手段による基板の搬送途中に当該基板を撮像可能な位置に配置されている、ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
  2. 　請求項１に記載のスクリーン印刷装置において、
    　前記印刷実行位置よりも前記基板搬入位置側に後続基板を待機させるための待機スペースが設けられてその位置が前記特定位置とされており、
    　前記搬送保持手段とは別に、前記基板搬入位置から搬入される基板を前記特定位置まで搬送して待機させるとともに、前記搬送保持手段から印刷後の基板を受け取り前記基板搬出位置に搬送する搬送手段と、
    　前記搬送保持手段および前記搬送手段を制御する制御手段と、をさらに備え
    　この制御手段は、前記搬送保持手段が印刷終了後の先行基板を前記搬送手段に受け渡した後、前記特定位置に移動して後続基板を保持し、この後続基板を前記印刷実行位置に搬送するように当該搬送保持手段を制御する一方で、前記先行基板の受け渡し後、前記搬送保持手段が前記特定位置に到着するまでに当該特定位置に前記後続基板が到着するとともに当該後続基板が前記搬送保持手段により搬送されて前記印刷実行位置に到着するまでに前記先行基板が前記印刷実行位置よりも下流側に搬送されているように前記搬送手段を制御することを特徴とするスクリーン印刷装置。
  3. 　請求項２に記載のスクリーン印刷装置において、
    　前記基板搬入位置と前記基板搬出位置とが前記特定方向と直交する方向にオフセットされているものであり、
    　前記搬送保持手段および前記搬送手段が搭載され、かつ、前記基板搬入位置から搬入される基板の受け取りが可能となる受取位置と印刷後の基板を前記基板搬出位置から送り出し可能となる送出位置とに亘って前記特定方向と直交する方向に移動可能に設けられる可動テーブルをさらに備え、この可動テーブル上の前記基板搬入位置側の所定位置が前記特定位置とされるとともに前記基板搬出位置側の所定位置が前記印刷実行位置とされており、
    　前記印刷実行部は、前記可動テーブルが前記受取位置に配置された状態で前記印刷実行位置に配置される基板に対して印刷が可能となる位置に配置されており、
    　前記制御手段は、前記可動テーブルをさらに制御し、前記先行基板の印刷終了後、前記可動テーブルを前記受取位置から前記送出位置に移動させるとともに前記搬送手段による前記先行基板の搬送により当該先行基板を前記可動テーブルから前記基板搬出位置に送り出し、この送り出し後に前記可動テーブルを前記受取位置に移動させることを特徴とするスクリーン印刷装置。
  4. 　請求項３に記載のスクリーン印刷装置において、
    　前記制御手段は、前記基板搬出位置への前記先行基板の送り出し後、前記可動デーブルが前記受取位置に到達する時点で前記搬送保持手段に保持された前記後続基板が前記印刷実行位置に配置されているように前記可動テーブルおよび前記搬送保持手段を制御することを特徴とするスクリーン印刷装置。
  5. 　請求項１乃至４の何れか一項に記載のスクリーン印刷装置において、
    　前記基板撮像手段は、前記搬送保持手段による後続基板の搬送方向と直交する方向に移動可能に設けられていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
  6. 　請求項１乃至５の何れか一項に記載のスクリーン印刷装置において、
    　前記搬送保持手段は、基板を保持する基板保持部材と当該基板保持部材を前記特定位置と前記印刷実行位置との間で移動させる移動手段と含み、
    　前記基板保持部材に、前記スクリーンマスクを撮像するマスク撮像手段が搭載されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
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