WO2012145961A1 - 玻璃基板台车搬运系统 - Google Patents

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WO2012145961A1
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陈招睦
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TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
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Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3214—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicle

Definitions

  • the present invention relates to the field of liquid crystal display manufacturing, and in particular to a glass substrate trolley handling system.
  • the glass substrate requires a special transportation processing system for processing.
  • the transportation of the glass substrate requires a transportation processing system.
  • the transportation processing system includes a device inlet module 96, an inlet rotation module 99, a vacuum sputtering machine 97, an outlet temporary storage module 90, an outlet return module 98, and a transport module. 94.
  • a cassette module 91 and a bridge module 92 are also included.
  • FIG. 2 it is a schematic diagram of the abnormal trolley transportation process of the transportation processing system. Before the abnormal trolley returns from the equipment exit module 93 to the cassette module 91, it also needs to pass through the equipment inlet module 96, the vacuum sputtering machine 97, the exit return module 98, and the bridge module 92, and the abnormal trolley needs to return.
  • the process of the cassette module 91 requires a complete expedition of the various modules of the transport processing system, one cycle.
  • the device inlet module 96 is configured to combine and assemble the substrate before the process with the trolley.
  • the inlet rotation module 99 is used to turn the trolley to the correct direction and feed it into the device for processing.
  • the vacuum sputtering machine 97 is used for ITO (Indium Tm Oxides) coating process.
  • the exit temporary storage module 90 is a temporary storage area for the completed trolley.
  • the exit return module 98 is used in the rotary trolley to the transport module 94.
  • the transport module 94 is used to transport the trolley to the equipment exit module 93.
  • the device exit module 93 is configured to separate the processed substrate from the trolley and carry the device out.
  • the inlet return module 95 is used in a rotary trolley to equipment entry module 96.
  • the cassette module 91 is used for accommodating an empty trolley or as a storage space for an abnormal trolley.
  • the bridge module 92 is connected to the cassette module 91 for transferring a normal or abnormal trolley.
  • the related glass substrate transportation technology can be referred to the glass waste material handling system of the liquid crystal display disclosed in Chinese Patent Application No. 200510007600.1, which is issued on Jul. 27, 2005.
  • the technical problem to be solved by the present invention is to provide a glass substrate trolley handling system, which can greatly reduce the cost of empty vehicle handling, production loss, and the possibility of coating on the back side of the substrate, and reduce the amount of nano-indium-tin metal oxide film coating of the heater. And extend the life of the part.
  • a technical solution used in the embodiments of the present invention is: providing a glass substrate trolley handling system, comprising: a device exit module, a cassette module, a bridge module, and an abnormal trolley return module.
  • a rotating module and a device entry module the abnormal trolley return module includes a first operating mechanism for receiving an abnormal trolley from the device exit module, and a second moving the abnormal trolley to the bridge module An operating mechanism;
  • the bridge module includes a third operating mechanism for receiving an abnormal trolley from the abnormal trolley return module, and a fourth operating mechanism for moving the abnormal trolley to the cassette module;
  • the group adjusts the abnormal trolley to the correct direction before the bridge module moves the abnormal trolley to the cassette module;
  • the device inlet module receives the normal trolley from the equipment exit module.
  • the abnormal trolley return module includes: a device entrance module that moves a normal trolley stored at a predetermined position into the glass substrate trolley transport system when receiving an abnormal trolley from the equipment exit module, An abnormal trolley exchange unit that performs a handling task in place of the abnormal trolley.
  • the bridge module comprises a bridge track unit, and the card module and the abnormal trolley exchange unit transfer the abnormal trolley or the normal trolley through the bridge track unit.
  • the system includes: an inlet return module, a vacuum sputtering module, and an outlet return module; the inlet return module is disposed between the device exit module and the device inlet module; the vacuum sputtering The module is disposed between the device inlet module and the bridge module; the outlet return module is disposed between the vacuum sputtering module and the bridge module.
  • the system includes: an inlet rotation module, and the inlet rotation module is disposed between the device inlet module and the vacuum sputtering module.
  • the system further includes: an exit temporary storage module, wherein the outlet temporary storage module is disposed in a vacuum splash Between the plating module and the outlet return module.
  • the system further includes: a transport module, wherein the transport module is disposed between the exit return module and the bridge module.
  • the abnormal trolley exchange unit further includes a fifth operating mechanism disposed between the inlet return module and the bridge module for temporarily storing the normal or abnormal trolley.
  • a glass substrate trolley handling system comprising: a device exit module, a cassette module, a bridge module, and an abnormal trolley return mode
  • the abnormal trolley return module includes a first operating mechanism that receives an abnormal trolley from the equipment exit module, and a second operating mechanism that moves the abnormal trolley to the bridge module; the bridge module A third operating mechanism for receiving an abnormal trolley from the abnormal trolley return module, and a fourth operating mechanism for moving the abnormal trolley to the cassette module.
  • the bridge module includes: a rotation module that adjusts the abnormal trolley to the correct direction before the bridge module moves the abnormal trolley to the cassette module.
  • the system includes: a device entry module that receives a normal trolley from a device exit module.
  • the abnormal trolley return module includes: a device entrance module that moves a normal trolley stored at a predetermined position into the glass substrate trolley transport system when receiving an abnormal trolley from the equipment exit module, An abnormal trolley exchange unit that performs a handling task in place of the abnormal trolley.
  • the bridge module comprises a bridge track unit, and the card module and the abnormal trolley exchange unit transfer the abnormal trolley or the normal trolley through the bridge track unit.
  • the system includes: an inlet return module, a vacuum sputtering module, and an outlet return module; the inlet return module is disposed between the device exit module and the device inlet module; the vacuum sputtering The module is disposed between the device inlet module and the bridge module; the outlet return module is disposed between the vacuum sputtering module and the bridge module.
  • the system includes: an inlet rotation module, and the inlet rotation module is disposed between the device inlet module and the vacuum sputtering module.
  • the system further includes: an exit temporary storage module, wherein the outlet temporary storage module is disposed between the vacuum sputtering module and the outlet return module.
  • the system further includes: a transport module, wherein the transport module is disposed between the exit return module and the bridge module.
  • the abnormal trolley exchange unit further includes a fifth operating mechanism disposed between the inlet return module and the bridge module for temporarily storing a normal or abnormal trolley.
  • the invention has the beneficial effects that: different from the prior art, the abnormal trolley empty vehicle must also enter the vacuum sputtering module for vacuum sputtering: high production cost, low monthly output, coating on the back side of the substrate and increasing the burden on the heater, and In the case of reducing the life of the component, the present invention returns the abnormal trolley directly to the cassette module through the device exit module, the cassette module, the bridge module and the abnormal trolley return module before the abnormal trolley enters the pipeline again. It can reduce the cost of empty car handling, reduce production loss, reduce the possibility of coating on the back side of the substrate, reduce the amount of nano-indium-tin oxide film coating of the heater, and increase the life of parts.
  • FIG. 1 is a schematic structural view of an embodiment of a prior art glass substrate trolley handling system.
  • FIG. 2 is a flow chart showing the abnormal trolley transportation of the prior art glass substrate trolley transport system.
  • FIG 3 is a schematic view showing the structure of a first embodiment of a glass substrate trolley handling system of the present invention.
  • FIG. 4 is a schematic view showing the structure of a second embodiment of the glass substrate trolley handling system of the present invention.
  • Figure 5 is a schematic view showing the structure of a third embodiment of the glass substrate trolley handling system of the present invention.
  • Fig. 6 is a schematic view showing the carriage of the third embodiment of the glass substrate trolley transport system of the present invention.
  • Embodiments of the present invention include: a cassette module 1, a bridge module 2, a device exit module 3, and an abnormal trolley return module 4.
  • the abnormal trolley return module 4 includes a first operating mechanism (not shown) for receiving an abnormal trolley from the equipment exit module 3, and a second operating mechanism for moving the abnormal trolley to the bridge module 2 (not shown).
  • the bridge module 2 includes a third operating mechanism (not shown) for receiving an abnormal trolley from the abnormal trolley return module 4, and a fourth operating mechanism for moving the abnormal trolley to the cassette module 1. (not shown).
  • the normal trolley starts from the cassette module 1 and is transferred to the bridge module 2 to
  • the equipment exit module 3 is returned to the equipment exit module 3 after being transferred, coated, and transported.
  • the abnormal trolley can be returned to the module 4 via the abnormal trolley after the equipment exit module 3 unloads the substrate, and then directly returned to the cassette module via the bridge module 2. 1 , without having to go through the transfer, After the coating and the transfer are recovered in the cassette module 1, the cost of empty transportation, the production loss, the possibility of coating on the back side of the substrate, the burden on the heater cover, and the life of the heater cover can be greatly reduced.
  • FIG. 4 is a schematic structural view of a second embodiment of the glass substrate trolley handling system of the present invention.
  • the glass substrate trolley handling system further includes: an inlet return module 5, an equipment inlet module 6, and a vacuum sputtering module 7, The exit return module 8, the inlet rotary module 9, the exit temporary storage module 10, and the transport module 11.
  • the inlet return module 5 is disposed between the device exit module 3 and the device inlet module 6 for transferring the normal trolley to the device inlet module 6.
  • the inlet return module 5 can also be used to receive an abnormal trolley and transfer the abnormal trolley to the abnormal trolley return module 4, but is not limited thereto. According to the actual situation, the inlet return module 5 of the embodiment can be integrated with the device outlet module 3.
  • the device inlet module 6 is disposed between the inlet return module 5 and the vacuum sputtering module 7 and is configured to receive the glass substrate of the device exit module 3 and then rotate through the inlet return module 5 Normal trolley and used to ship glass substrates.
  • the vacuum sputtering module 7 is disposed between the device inlet module 6 and the bridge module 2, and is configured to receive a normal trolley moved by the device inlet module 6 and a glass substrate shipped to the normal trolley. Coating treatment is carried out.
  • the outlet return module 8 is disposed between the vacuum sputtering module 7 and the bridge module 2 for receiving a normal trolley loaded with a glass substrate coated with the vacuum sputtering module 7.
  • the inlet rotation module 9 is further disposed between the device inlet module 6 and the vacuum sputtering module 7, and the inlet rotation module 9 is used to move the device inlet module 6 to the normal glass substrate. After the trolley is rotated to the correct direction, it is sent to the vacuum sputtering module 7.
  • the outlet temporary storage module 10 is further disposed between the vacuum sputtering module 7 and the outlet return module 8 , and the outlet temporary storage module 10 is configured to receive and temporarily store the vacuum sputtering module 7 .
  • the normal trolley is further disposed between the vacuum sputtering module 7 and the outlet return module 8 , and the outlet temporary storage module 10 is configured to receive and temporarily store the vacuum sputtering module 7 .
  • the normal trolley is further disposed between the vacuum sputtering module 7 and the outlet return module 8 , and the outlet temporary storage module 10 is configured to receive and temporarily store the vacuum sputtering module 7 .
  • the transport module 11 is disposed between the exit return module 8 and the bridge module 2 for transporting the normal trolley to the equipment exit module 3 from the exit return module 8.
  • the bridge module 2 further includes: a rotation module 21.
  • the rotating module 21 is specifically configured to: adjust the abnormal trolley to the correct direction before the bridge module 2 moves the abnormal trolley to the cassette module 1 to ensure that the direction of the abnormal trolley storage is the same.
  • the rotary module 21 can be further configured to adjust the normal trolley that is temporarily stored in the abnormal trolley return module 4 to the correct direction.
  • the rotating module 21 and the bridge module 2 can be integrated into one.
  • the bridge module 2 includes a bridge track unit 210.
  • the bridge module 2 recovers the abnormal trolley to the cassette module 1 and the normal trolley to the abnormal trolley return module 4 through the bridge rail unit 210.
  • the bridge track unit 210 to the bridge module 2
  • the abnormal trolley in the abnormal trolley return module 4 can be automatically transferred to the cassette module 1.
  • the abnormal trolley return module 4 further includes: an abnormal trolley exchange unit (not shown), wherein the abnormal trolley exchange unit further includes an inlet return module 5 and a bridge A fifth operating mechanism (not shown) for temporarily storing the normal or abnormal trolley between the modules 2.
  • the abnormal trolley exchange unit is configured to replace the received abnormal trolley with a normal trolley stored at a predetermined position when receiving the abnormal trolley from the equipment exit module 3, so that the normal trolley continues in the system. Perform the transfer task. For example, the normal trolley of the fifth operating mechanism is moved to the equipment entrance module 6 via the entrance return module 5, and the abnormal trolley is replaced to continue the carrying task.
  • the fifth operating mechanism may also receive and temporarily store an abnormal trolley from the first operating mechanism in the abnormal trolley return module 4.
  • the abnormal trolley exchange unit can be used to replace the abnormal trolley with the normal trolley to ensure smooth operation of the production line without causing idleness.
  • FIG. 6 there is shown a schematic view of the carriage handling of the third embodiment of the glass substrate trolley handling system of the present invention. It consists of two phases:
  • Stage 1 Remove the abnormal trolley. After being judged by the engineer, detected by the equipment, or determined to be an abnormal trolley by other rules, the abnormal trolley is transported to the inlet return module 5 after the equipment exit module 3 is removed, and then rotated through the inlet return module 5 The fifth operating mechanism transported to the abnormal trolley return module 4 is temporarily stored, and then the abnormal trolley passes through the abnormal trolley exchange unit, and finally returns to the cassette module 1 by the bridge module 2.
  • the process can reduce the path of the abnormal trolley returning to the cassette module 1, greatly reducing the cost of empty carriage handling, production loss, and the possibility of coating on the back side of the substrate, reducing the burden on the heater cover, and increasing the life of the heater cover. .
  • Stage 2 Supplement the normal trolley.
  • the first mode of replenishing the normal trolley when the abnormal trolley is transported to the fifth operating mechanism in the abnormal trolley exchange unit, the abnormal trolley exchange unit also carries the normal trolley to the entrance returning mode at the same time.
  • the normal trolley is rotated and transferred to the equipment inlet module 6 through the inlet return module 5.
  • the normal trolley can be immediately replenished into the glass substrate trolley handling system to prevent production from occurring, and the number of normal trolleys in the equipment can be maintained, and the variation of production can be reduced. To ensure product quality.
  • the second mode of supplementing the normal trolley when the fifth operating mechanism of the abnormal trolley exchange unit does not have a normal trolley, the glass substrate trolley transport system supplements one when the bridge module 2 waits or is in an idle state.
  • One or more normal trolleys are stored in the fifth operating mechanism.

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

玻璃基板台车搬运系统
【技术领域】
本发明涉及液晶显示器制造领域， 特别是涉及一种玻璃基板台车搬运系统。
【背景技术】
现有技术液晶显示器中， 其玻璃基板需要专门的运输处理系统进行处理， 比如在基板背面镀膜工艺系统中， 玻璃基板的运输需要一套运输处理系统来实 现。
如图 1所示， 所述运输处理系统包括循环依次连接的设备入口模组 96、 入 口旋转模组 99、 真空溅镀机 97、 出口暂存模组 90、 出口返回模组 98、 搬送模 组 94、 设备出口模组 93以及入口返回模组 95。 此外， 还包括卡匣模組 91和桥 接模组 92。 如图 2所示， 是所述运输处理系统异常台车搬运流程示意图。 异常 台车从设备出口模组 93返回到卡匣模组 91之前，还需要经过设备入口模组 96、 真空溅镀机 97、 出口返回模组 98以及桥接模组 92， 异常台车要实现返回到卡 匣模组 91的过程， 需要完整地经历运输处理系统各个模块， 循环一周。
其中， 所述设备入口模组 96用于将制程前的基板与台车结合、 组立。 所述 入口旋转模组 99用于将台车转至正确方向并送入设备进行处理。 所述真空溅镀 机 97用于进行 ITO ( Indium Tm Oxides,纳米铟锡金属氧化物） 镀膜制程处理。 所述出口暂存模組 90 是制程完成的台车暂时存放区域。 所述出口返回模组 98 用于回转台车至搬送模组 94 中。 所述搬送模组 94用于搬运台车至设备出口模 组 93。 所述设备出口模组 93用于将制程后的基板从台车上分离， 并搬出设备。 所述入口返回模组 95用于回转台车至设备入口模组 96中。 所述卡匣模组 91用 于收纳空台车或作为异常台车的存放空间。 所述桥接模组 92连接卡匣模组 91 , 用于转移正常或异常台车。
上述运输处理系统中， 异常台车由于不能继续搬运基板， 必须要作为空台 车进入真空溅镀机 97后再传到卡匣模组 91回收， 此项作法会有以下 4 项缺点 产生：
1 )浪费空车搬运所造成的纳米铟锡金属氧化物镀膜线的生产成本 （Cost Up Issue );
2 ) 由于进行空车搬运， 因此减少月产量 （ Capacity Loss Issue ); 3 ) 空车进入真空溅镀机可能造成基板背面镀膜 ( Product Damage Issue )；
4 )增加加热器遮盖板（ Heater Cover )的负担，减少加热器遮盖板的寿命（ Cost Up Issue )。
相关的玻璃基板运输技术可参阅 2005年 7月 27 日公开的中国发明专利申 请第 200510007600.1号所揭示的液晶显示器的玻璃废材搬运系统。
【发明内容】
本发明主要解决的技术问题是提供一种玻璃基板台车搬运系统， 能够大幅 降低空车搬运的成本、 生产损失以及基板背面镀膜可能性、 减少加热器的纳米 铟锡金属氧化物膜披覆量， 并延长零件寿命。
为解决上述技术问题， 本发明实施例釆用的一个技术方案是： 提供一种玻 璃基板台车搬运系统， 包括： 设备出口模组、 卡匣模组、 桥接模组、 异常台车 返回模组、 旋转模组以及设备入口模组； 所述异常台车返回模组包括接收来自 设备出口模组的异常台车的第一操作机构、 以及将所述异常台车移至桥接模组 的第二操作机构； 所述桥接模组包括接收来自异常台车返回模组的异常台车的 第三操作机构、 以及将所述异常台车移至卡匣模组的第四操作机构； 所述旋转 模组在桥接模组将异常台车移至卡匣模组之前将异常台车调整至正确方向； 所 述设备入口模组接收来自设备出口模组的正常台车。
其中， 所述异常台车返回模组包括： 在接收来自设备出口模组的异常台车 时、 将存放在预定位置的正常台车移入所述玻璃基板台车搬运系统中的设备入 口模组、 替代所述异常台车执行搬运任务的异常台车交换单元。
其中， 所述桥接模组包括桥接轨道单元， 所述卡匣模组与异常台车交换单 元通过桥接轨道单元转移异常台车或正常台车。
其中， 所述系统包括： 入口返回模组、 真空溅镀模组、 出口返回模组； 所 述入口返回模组设置于所述设备出口模组与设备入口模组之间； 所述真空溅镀 模组设置于所述设备入口模组与桥接模组之间； 所述出口返回模组设置于所述 真空溅镀模组与桥接模组之间。
其中， 所述系统包括： 入口旋转模組， 所述入口旋转模组设置于设备入口 模组与真空溅镀模组之间。
其中， 所述系统还包括： 出口暂存模组， 所述出口暂存模组设置于真空溅 镀模组与出口返回模组之间。
其中， 所述系统还包括： 搬送模组， 所述搬送模组设置于出口返回模组与 桥接模组之间。
其中， 所述异常台车交换单元还包括设置于入口返回模组与桥接模组之间 用于暂存正常或异常台车的第五操作机构。
为解决上述技术问题， 本发明实施例釆用的另一个技术方案是： 提供一种 玻璃基板台车搬运系统， 包括： 设备出口模组、 卡匣模组、 桥接模组以及异常 台车返回模组； 所述异常台车返回模组包括接收来自设备出口模组的异常台车 的第一操作机构、 以及将所述异常台车移至桥接模组的第二操作机构； 所述桥 接模组包括接收来自异常台车返回模组的异常台车的第三操作机构、 以及将所 述异常台车移至卡匣模组的第四操作机构。
其中， 所述桥接模组包括： 在桥接模组将异常台车移至卡匣模组之前将异 常台车调整至正确方向的旋转模组。
其中， 所述系统包括： 接收来自设备出口模组的正常台车的设备入口模组。 其中， 所述异常台车返回模组包括： 在接收来自设备出口模组的异常台车 时、 将存放在预定位置的正常台车移入所述玻璃基板台车搬运系统中的设备入 口模组、 替代所述异常台车执行搬运任务的异常台车交换单元。
其中， 所述桥接模组包括桥接轨道单元， 所述卡匣模组与异常台车交换单 元通过桥接轨道单元转移异常台车或正常台车。
其中， 所述系统包括： 入口返回模组、 真空溅镀模组、 出口返回模组； 所 述入口返回模组设置于所述设备出口模组与设备入口模组之间； 所述真空溅镀 模组设置于所述设备入口模组与桥接模组之间； 所述出口返回模组设置于所述 真空溅镀模组与桥接模组之间。
其中， 所述系统包括： 入口旋转模組， 所述入口旋转模组设置于设备入口 模组与真空溅镀模组之间。
其中， 所述系统还包括： 出口暂存模组， 所述出口暂存模组设置于真空溅 镀模组与出口返回模组之间。
其中， 所述系统还包括： 搬送模组， 所述搬送模组设置于出口返回模组与 桥接模组之间。
其中， 所述异常台车交换单元还包括设置于入口返回模组与桥接模组之间 用于暂存正常或异常台车的第五操作机构。 本发明的有益效果是： 区别于现有技术异常台车空车也必须进入真空溅镀 模组进行真空溅镀而造成： 生产成本高、 月产量少、 基板背面镀膜和增加加热 器负担， 并减少零件寿命的情况， 本发明在异常台车再次进入流水线之前， 通 过设备出口模组、 卡匣模组、 桥接模组以及异常台车返回模组， 将异常台车直 接返回卡匣模组， 能够减少空车搬运的成本、 降低生产损失、 降低基板背面镀 膜可能性、 减少加热器的纳米铟锡金属氧化物膜披覆量， 并能够增加零件寿命。
【附图说明】
图 1是现有技术玻璃基板台车搬运系统实施例的结构示意图。
图 2是现有技术玻璃基板台车搬运系统异常台车搬运流程图。
图 3是本发明玻璃基板台车搬运系统第一实施例的结构示意图。
图 4是本发明玻璃基板台车搬运系统第二实施例的结构示意图。
图 5是本发明玻璃基板台车搬运系统第三实施例的结构示意图。
图 6是本发明玻璃基板台车搬运系统第三实施例的台车搬运示意图。
【具体实施方式】
下面结合附图和实施例对发明进行详细说明。
参阅图 3 , 是本发明玻璃基板台车搬运系统第一实施例的结构示意图。 本发 明实施例包括： 卡匣模组 1、 桥接模组 2、 设备出口模组 3以及异常台车返回模 组 4。
所述异常台车返回模组 4 包括接收来自设备出口模组 3的异常台车的第一 操作机构 （图未示）、 以及将所述异常台车移至桥接模组 2的第二操作机构 （图 未示）。
所述桥接模组 2 包括接收来自异常台车返回模组 4的异常台车的第三操作 机构（图未示）、以及将所述异常台车移至卡匣模组 1的第四操作机构（图未示）。
本发明实施例， 通过设置卡匣模组 1、 桥接模组 2、 设备出口模组 3及异常 台车返回模组 4 , 正常台车从卡匣模组 1 出发， 经桥接模组 2转移到设备出口模 组 3 , 再经转移、 镀膜、 搬送， 重新回到设备出口模組 3。 当在一系列的台车中 发现异常台车时， 该异常台车在设备出口模组 3 卸载基板之后， 可以经异常台 车返回模组 4 , 再经桥接模组 2直接返回卡匣模组 1 , 而不必空车再经过转移、 镀膜、 搬送之后才回收到卡匣模组 1 中， 从而能够大幅降低空车搬运的成本、 生产损失以及基板背面镀膜可能性、 减少加热器遮盖板的负担， 增加加热器遮 盖板的寿命。
在严格实施管理的过程中， 甚至可以朝着空车搬运的成本零化、 生产损失 零化方向取得实质成效。
请参阅图 4 , 是本发明玻璃基板台车搬运系统第二实施例的结构示意图。 与 本发明玻璃基板台车搬运系统第一实施例的区别仅在于， 本发明实施例玻璃基 板台车搬运系统还包括： 入口返回模组 5、 设备入口模组 6、 真空溅镀模组 7、 出口返回模组 8、 入口旋转模组 9、 出口暂存模组 10以及搬送模组 11。
所述入口返回模组 5设置于设备出口模组 3与设备入口模组 6之间， 用于 将正常台车回转搬运至设备入口模组 6。 同时， 所述入口返回模组 5还能够用于 接收异常台车， 并将所述异常台车回转搬运至异常台车返回模组 4， 但也并不仅 限于此。 根据实际情况， 本实施例的入口返回模组 5可以与设备出口模组 3集 成一体。
所述设备入口模組 6设置于入口返回模组 5与真空溅镀模组 7之间， 用于 接收所述设备出口模组 3 中卸下玻璃基板后经入口返回模组 5回转移动过来的 正常台车， 并用于装运玻璃基板。
所述真空溅镀模组 7设置于设备入口模组 6与桥接模组 2之间， 用于接收 由设备入口模组 6移动过来的正常台车， 并对所述正常台车装运的玻璃基板进 行镀膜处理。
所述出口返回模组 8设置于真空溅镀模组 7与桥接模组 2之间， 用于接收 装运有经过真空溅镀模组 7镀膜的玻璃基板的正常台车。
在设备入口模组 6与真空溅镀模组 7之间进一步设置有所述入口旋转模组 9 , 所述入口旋转模组 9用于将设备入口模组 6移动过来的装有玻璃基板的正常 台车旋转至正确方向后， 再送入所述真空溅镀模组 7。
设置于在真空溅镀模组 7与出口返回模组 8之间进一步设置有所述出口暂 存模组 10 ,所述出口暂存模组 10用于接收并暂存来自真空溅镀模组 7的正常台 车。
所述搬送模组 11设置于出口返回模组 8与桥接模组 2之间用于从出口返回 模组 8搬运正常台车至设备出口模组 3。
参阅图 5 , 是本发明玻璃基板台车搬运系统第三实施例的结构示意图。 所述 桥接模组 2还包括： 旋转模组 21。 所述旋转模组 21具体用于： 在桥接模组 2将 异常台车移至卡匣模组 1 之前将异常台车调整至正确方向， 确保异常台车存放 的方向一致。 在其他实施例中， 旋转模组 21可进一步用于将移送到异常台车返 回模组 4临时存放的正常台车调整至正确方向。本实施例通过增加旋转模组 21 , 确保正常台车或异常台车都能够方向一致性地存放于卡匣模组 1 中， 避免以后 投玻璃基板时因为方向错误而导致的玻璃基板破裂。 当然， 旋转模组 21和桥接 模组 2可以集成于一体。
所述桥接模组 2包括桥接轨道单元 210。所述桥接模组 2通过桥接轨道单元 210将异常台车回收到卡匣模組 1以及将正常台车移至异常台车返回模组 4。 在 本实施例中， 通过在桥接模组 2上增加桥接轨道单元 210 , 可以自动地将所述异 常台车返回模组 4中的异常台车转移至卡匣模组 1。
在本发明另一实施例中， 所述异常台车返回模组 4还包括： 异常台车交换 单元（图未示）， 所述异常台车交换单元还包括设置于入口返回模组 5与桥接模 组 2之间用于暂存正常或异常台车的第五操作机构 （图未示）。 所述异常台车交 换单元用于在接收到来自设备出口模组 3 的异常台车时， 将存放在预定位置的 正常台车替换掉接收到的异常台车， 使正常台车在系统中继续执行搬送任务。 例如， 将所述第五操作机构的正常台车经入口返回模组 5移至设备入口模组 6 , 替换该异常台车继续执行搬送任务。 所述第五操作机构还可以接收并暂存来自 所述异常台车返回模组 4 中的第一操作机构中的异常台车。 本实施例利用异常 台车交换单元， 能够用正常台车替换异常台车， 保证生产线运作流畅， 不会导 致空闲。
参阅图 6 , 是本发明玻璃基板台车搬运系统第三实施例的台车搬运示意图。 包括两个阶段：
阶段一： 移走异常台车。 经工程师判定、 设备检测或经其它规则判定为异 常台车的， 所述异常台车在设备出口模组 3 卸下玻璃基板后被搬运至入口返回 模组 5 ,再经由入口返回模组 5回转搬运至异常台车返回模组 4中的第五操作机 构暂存， 然后所述异常台车经所述异常台车交换单元， 最后由桥接模组 2, 返回 至卡匣模组 1。 所述流程能够减短异常台车返回卡匣模组 1的路径， 大幅降低空 车搬运的成本、 生产损失以及基板背面镀膜可能性、 减少加热器遮盖板的负担， 增加热器遮盖板的寿命。
阶段二： 补充正常台车。 补充正常台车又包括两种方式： 补充正常台车的第一方式： 当异常台车被搬运到所述异常台车交换单元中 的第五操作机构时， 同时间所述异常台车交换单元也会搬运正常台车到入口返 回模组 5中，并通过所述入口返回模组 5将正常台车回转搬送至设备入口模组 6 中。 通过所述方法， 当出现异常台车时， 可以立刻补充正常台车到玻璃基板台 车搬运系统中衔接生产， 不让生产环节出现断层， 还可维持设备内正常台车的 数量， 减少生产变异， 确保产品质量。
补充正常台车的第二方式： 当所述异常台车交换单元的第五操作机构没有 正常台车时， 玻璃基板台车搬运系统会在所述桥接模组 2等待或者空闲状态时， 补充一部或多部正常台车到所述第五操作机构中存放。 通过所述方法， 确保缩 短正常台车和异常台车交换的时间。 同时， 当出现异常台车时， 可以在回收异 常台车的同时立刻将存放在第五操作机构中的正常台车补充到玻璃基板台车搬 运系统中， 衔接各个生产环节， 不让生产环节出现断层， 还可维持设备内正常 台车的数量， 减少生产变异， 确保产品质量。
以上所述仅为本发明的实施例， 并非因此限制本发明的专利范围， 凡是利 用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换， 或直接或间接运 用在其他相关的技术领域， 均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims

权 利 要 求
1. 一种玻璃基板台车搬运系统， 其特征在于， 包括：
设备出口模组、 卡匣模组、 桥接模组、 异常台车返回模组、 旋转模组以及 设备入口模组；
所述异常台车返回模组包括接收来自设备出口模组的异常台车的第一操作 机构、 以及将所述异常台车移至桥接模组的第二操作机构；
所述桥接模组包括接收来自异常台车返回模组的异常台车的第三操作机 构、 以及将所述异常台车移至卡匣模组的第四操作机构；
所述旋转模组在桥接模组将异常台车移至卡匣模组之前将异常台车调整至 正确方向；
所述设备入口模组接收来自设备出口模组的正常台车。
2.根据权利要求 1所述的系统，其特征在于， 所述异常台车返回模组包括： 在接收来自设备出口模组的异常台车时、 将存放在预定位置的正常台车移 入所述玻璃基板台车搬运系统中的设备入口模组、 替代所述异常台车执行搬运 任务的异常台车交换单元。
3.根据权利要求 2所述的系统， 其特征在于， 所述桥接模组包括桥接轨道 单元， 所述卡匣模组与异常台车交换单元通过桥接轨道单元转移异常台车或正 常台车。
4.根据权利要求 2所述的系统， 其特征在于， 所述系统包括：
入口返回模组、 真空溅镀模组、 出口返回模组；
所述入口返回模组设置于所述设备出口模组与设备入口模组之间； 所述真空溅镀模组设置于所述设备入口模组与桥接模组之间；
所述出口返回模组设置于所述真空溅镀模组与桥接模组之间。
5.根据权利要求 4所述的系统， 其特征在于， 所述系统包括：
入口旋转模组， 所述入口旋转模组设置于设备入口模组与真空溅镀模组之 间。
6.根据权利要求 5所述的系统， 其特征在于， 所述系统还包括：
出口暂存模组， 所述出口暂存模组设置于真空溅镀模组与出口返回模组之 间。
7.根据权利要求 6所述的系统， 其特征在于， 所述系统还包括： 搬送模组， 所述搬送模组设置于出口返回模组与桥接模组之间。
8.根据权利要求 4所述的系统， 其特征在于， 所述异常台车交换单元还包 括设置于入口返回模组与桥接模组之间用于暂存正常或异常台车的第五操作机 构。
9. 一种玻璃基板台车搬运系统， 其特征在于， 包括：
设备出口模组、 卡匣模组、 桥接模组以及异常台车返回模组；
所述异常台车返回模组包括接收来自设备出口模组的异常台车的第一操作 机构、 以及将所述异常台车移至桥接模组的第二操作机构；
所述桥接模组包括接收来自异常台车返回模组的异常台车的第三操作机 构、 以及将所述异常台车移至卡匣模组的第四操作机构。
10. 根据权利要求 9所述的系统， 其特征在于， 所述桥接模组包括： 在桥接模组将异常台车移至卡匣模组之前将异常台车调整至正确方向的旋 转模组。
11. 根据权利要求 9所述的系统， 其特征在于， 所述系统包括：
接收来自设备出口模组的正常台车的设备入口模组。
12. 根据权利要求 11所述的系统， 其特征在于， 所述异常台车返回模组包 括：
在接收来自设备出口模组的异常台车时、 将存放在预定位置的正常台车移 入所述玻璃基板台车搬运系统中的设备入口模组、 替代所述异常台车执行搬运 任务的异常台车交换单元。
13. 根据权利要求 12所述的系统， 其特征在于， 所述桥接模组包括桥接轨 道单元， 所述卡匣模组与异常台车交换单元通过桥接轨道单元转移异常台车或 正常台车。
14. 根据权利要求 12所述的系统， 其特征在于， 所述系统包括： 入口返回模组、 真空溅镀模组、 出口返回模组；
所述入口返回模组设置于所述设备出口模组与设备入口模组之间； 所述真空溅镀模组设置于所述设备入口模组与桥接模组之间；
所述出口返回模组设置于所述真空溅镀模组与桥接模组之间。
15. 根据权利要求 14所述的系统， 其特征在于， 所述系统包括： 入口旋转模组， 所述入口旋转模組设置于设备入口模组与真空溅镀模组之 间。
16. 根据权利要求 15所述的系统， 其特征在于， 所述系统还包括： 出口暂存模组， 所述出口暂存模组设置于真空溅镀模组与出口返回模组之 间。
17. 根据权利要求 16所述的系统， 其特征在于， 所述系统还包括： 搬送模组， 所述搬送模组设置于出口返回模组与桥接模组之间。
18. 根据权利要求 14所述的系统， 其特征在于， 所述异常台车交换单元还 包括设置于入口返回模组与桥接模组之间用于暂存正常或异常台车的第五操作 机构。
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