WO2012132454A1 - ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置 - Google Patents

ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置 Download PDF

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WO2012132454A1
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glass
glass ribbon
temperature
width direction
ribbon
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PCT/JP2012/002189
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哲郎 君嶋
公彦 中嶋
真嗣 山崎
Original Assignee
ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社
アヴァンストレート コリア インコーポレイテッド
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Priority to KR1020137013830A priority patent/KR101497251B1/ko
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    • C03B17/064—Forming glass sheets by the overflow downdraw fusion process; Isopipes therefor
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the present invention relates to a glass plate manufacturing method and a glass plate manufacturing apparatus.
  • the glass plate manufacturing method using the downdraw method first, in the forming step, molten glass overflows from the formed body to form a glass ribbon.
  • the glass ribbon is drawn downward while being held between the pair of conveying rollers, so that the glass ribbon is stretched to a desired thickness and the glass ribbon is not warped.
  • the glass ribbon is cooled so that it does not occur.
  • the glass ribbon is cut into a predetermined size and stacked on each other with an interleaf or the like interposed therebetween, or further conveyed and processed in the next process (for example, shape processing, chemical strengthening treatment by ion exchange). .
  • the peripheral speed of a cooling roller pair provided immediately below a formed body is pulled downward from a glass ribbon provided below the conveying roller pair. It is known that the warp of the glass plate is reduced by making it smaller than the peripheral speed of the pair of conveying rollers for this purpose (Patent Document 1). Further, in the plurality of transport roller pairs arranged below the molded body, the peripheral speed of the transport roller pair disposed below is made faster than the peripheral speed of the transport roller pair disposed above, thereby allowing the glass plate to It is known to reduce the warpage (Patent Document 2).
  • both end portions in the width direction of the glass ribbon in the slow cooling step are called “ears” or “ears”, and are cut from the glass ribbon and removed without being used as a glass substrate product.
  • the ear is 2 to 5 times thicker than a region (hereinafter also referred to as a center region in the width direction) that can be used as a product (glass substrate).
  • the thickness of the ear portion does not change so much even if the thickness of the product changes, the difference between the thickness of the central region in the width direction used as the product is thin. It gets bigger.
  • the plurality of conveyance roller pairs conveys the glass ribbon while sandwiching a portion on the inner side in the width direction from the ear portion.
  • the tension is applied in the width direction of the glass ribbon by cooling the ear portion immediately below the center region in the width direction of the glass ribbon immediately below the molded body.
  • the shaft of the transport roller is maintained at a temperature lower than that of the glass ribbon in order to prevent deformation at a high temperature, and the transport roller itself is also cooler than the temperature of the glass in contact.
  • region pinched by the conveyance roller pair is cooled earlier than the surrounding area.
  • an adjacent region region indicated by symbol S in FIG. 7 that is inward in the width direction and closer to the conveyance roller than the region sandwiched between the ears and the conveyance roller pair is also faster. To be cooled.
  • FIG. 7 shows the conventional glass plate manufacturing apparatus, and the other reference numerals in the figure are the same as the reference numerals of the elements described in the embodiments described later.
  • the peripheral speed of the transport roller provided below is made faster than the transport roller provided above, and the peripheral speed of the transport roller is sequentially increased from the upstream side to the downstream side in the transport direction. This is based on the idea of always applying tension to the glass ribbon in the transport direction by increasing the speed.
  • the peripheral speed of the downstream transport roller is simply increased with respect to the upstream, not only will the effect be produced, but for example, when a thin glass plate having a plate thickness of 0.5 mm or less is manufactured. For example, if a difference in peripheral speed as described in the embodiment [0045] is applied, the glass ribbon may be broken, which is very dangerous.
  • the present invention provides a glass that suppresses the occurrence of wave-like deformation in an adjacent region adjacent to a portion sandwiched by a plurality of conveyance rollers of a glass ribbon during cooling in a slow cooling furnace when manufacturing a glass plate. It aims at providing the manufacturing method of a board, and a glass plate manufacturing apparatus.
  • One embodiment of the present invention is a method for manufacturing a glass plate.
  • the manufacturing method is Melting process for melting glass raw material to make molten glass; Molding a molten glass using an overflow downdraw method to form a glass ribbon; The glass ribbon is pulled down while sandwiching a neighboring region adjacent in the width direction with respect to both ends of the glass ribbon in the width direction with a plurality of transport roller pairs provided in the transport direction of the glass ribbon. And a slow cooling step of performing slow cooling.
  • the forming step after forming the glass ribbon by laminating molten glass that overflows from the formed body and flows down the side wall of the formed body at the lower end of the formed body, the both ends in the width direction of the glass ribbon are formed.
  • the portion is cooled faster than the central portion in the width direction of the glass ribbon.
  • the glass ribbon is tensioned in the transport direction in the temperature region where the temperature of the glass ribbon is not less than the glass transition point and not more than the glass softening point so that plastic deformation does not occur in the glass ribbon.
  • the peripheral speed of the transport roller of the transport roller pair provided on the downstream side of the position where the temperature of the glass ribbon becomes the glass slow cooling point in the transport roller pair is set as the transport speed. It is preferable that the temperature of the glass ribbon of the pair of rollers is higher than the peripheral speed of the pair of transport rollers provided in a temperature region where the glass transition point is equal to or higher than the glass softening point.
  • the glass plate can have a thickness of 0.5 mm or less, for example.
  • the temperature of the adjacent region is a glass transition point so that plastic deformation does not occur in the adjacent region adjacent to the inner side in the width direction of the glass ribbon with respect to the portion held by the transport roller. It is preferable that the tension in the transport direction is applied to the glass ribbon in the temperature range that is not higher than the glass softening point.
  • the temperature of the adjacent region adjacent to the inner side in the width direction of the glass ribbon with respect to the portion of the transport roller pair sandwiched by the transport roller of the glass ribbon is a glass slow cooling point.
  • the peripheral speed of the transport roller pair of the transport roller pair provided on the downstream side of the position is provided in a temperature region in the transport roller pair in which the temperature of the adjacent region is not less than the glass transition point and not more than the glass softening point. It is preferable to make it faster than the peripheral speed of the conveyance rollers of the conveyance roller pair.
  • the manufacturing method of a glass plate includes the process in which the cooling rate of the said both ends is faster than the cooling rate of the center part of the width direction of the said glass ribbon.
  • At least the temperature of the central portion in the width direction of the glass ribbon is equal to the glass annealing point plus 150 ° C. so that tension acts in the transport direction of the glass ribbon in the central portion in the width direction of the glass ribbon.
  • the strain point is 200 ° C.
  • the temperature of the glass ribbon is controlled so that the temperature becomes uniform.
  • the temperature of the glass ribbon is controlled so that the temperature distribution becomes lower from the central portion toward the both end portions.
  • the temperature of the glass ribbon is controlled so that there is no temperature gradient between the both end portions in the width direction of the glass ribbon and the central portion in a temperature region where the temperature of the central portion of the glass ribbon becomes a glass strain point.
  • the temperature of the central portion of the glass ribbon in the width direction, in the region where the temperature of the central portion of the glass ribbon is less than the vicinity of the glass strain point so that the tension in the glass ribbon transport direction works, from the both end portions of the glass ribbon It is preferable to control the temperature of the glass ribbon so as to decrease toward the center.
  • the peripheral speed of the transport roller of the transport roller pair provided downstream of the position where the temperature of the glass ribbon becomes the glass slow cooling point in the transport roller pair it is preferable that the temperature of the glass ribbon is 0.03 to 2% faster than the peripheral speed of the transport roller of the transport roller pair provided in the temperature region where the glass transition point is not lower than the glass softening point.
  • the length of the glass plate in the width direction is, for example, 1000 mm or more.
  • the glass ribbon is drawn downward at a transport speed of 200 m / hour or more to cool slowly.
  • the manufacturing method of the glass plate of the other aspect of this invention is as follows. Melting process for melting glass raw material to make molten glass; Molding a molten glass using a downdraw method to form a glass ribbon; The glass ribbon is pulled down and gradually cooled while sandwiching a region adjacent in the width direction at both ends in the width direction of the glass ribbon with a plurality of pairs of transport rollers provided in the transport direction of the glass ribbon. And a slow cooling step of forming a glass ribbon having a thickness of 0.5 mm or less.
  • the circumferential speed of the conveyance roller of the conveyance roller pair provided in the temperature region which is as follows is made faster.
  • mode of this invention is a glass plate manufacturing apparatus.
  • the device is A molding apparatus for molding a glass ribbon from molten glass using a downdraw method; The glass ribbon having a thickness of 0.5 mm is drawn by slowly pulling the glass ribbon downward while sandwiching a neighboring region adjacent to the width direction at both ends in the width direction of the glass ribbon with a plurality of conveying roller pairs.
  • a slow cooling device for forming, The slow cooling device includes the plurality of conveyance roller pairs and a drive unit, One of the plurality of transport roller pairs is in a first temperature region where the temperature of the glass ribbon is not less than the glass transition point and not more than the softening point, and the other one of the plurality of transport roller pairs is the temperature of the glass ribbon.
  • the drive unit is configured such that the transport roller of the pair of transport rollers provided in the second temperature region is determined such that the peripheral speed of the transport roller provided in the first temperature region is higher than the peripheral speed of the transport roller provided in the first temperature region.
  • the conveyance roller is driven to rotate based on the peripheral speed.
  • the glass plate manufacturing method and glass plate manufacturing apparatus described above can effectively apply tension to the glass ribbon transported in the slow cooling furnace in the transport direction, and is sandwiched between the pair of glass ribbon transport rollers. It can suppress that a waveform deformation
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III in FIG. 2. It is a block diagram explaining the structure of the control system which controls the rotational drive of the conveyance roller pair of 1st Embodiment of this invention. It is a block diagram explaining the structure of the control system which controls the rotational drive of the conveyance roller pair of 2nd Embodiment of this invention. It is a block diagram explaining the structure of the control system which controls the rotational drive of the conveyance roller pair of 3rd Embodiment of this invention. It is a top view explaining the inside of the conventional glass plate manufacturing apparatus.
  • the center part of a glass ribbon means the center of the width direction of a glass ribbon among the widths of the width direction of a glass ribbon.
  • the central region of the glass ribbon refers to a range within 85% of the width from the center in the width direction of the glass ribbon in the width in the width direction of the glass ribbon.
  • the both ends of the glass ribbon refer to a range within 200 mm from the edge in the width direction of the glass ribbon.
  • the adjacent region in the width direction with respect to both ends of the glass ribbon in the width direction is the width within 20% of the width of the glass ribbon from the inner edge in the width direction of the both ends. An area included up to a certain range.
  • the adjacent area adjacent to the inner side in the width direction of the glass ribbon with respect to the portion sandwiched by the transport roller is within 6% of the width of the glass ribbon from the inner edge in the width direction of the portion sandwiched by the transport roller This is the area included in the range that is inside the width direction by the length of.
  • the temperature of the glass ribbon is a value converted from the ambient temperature around the glass ribbon when the glass ribbon has a temperature distribution.
  • the temperature of the glass ribbon ranges from ⁇ 25 to ⁇ 5 ° C. The temperature obtained by adding a specified temperature.
  • FIG. 1 is a figure explaining an example of the flow of the manufacturing method of the glass plate of this embodiment.
  • the glass plate manufacturing method includes a melting step (step S10), a clarification step (step S20), a stirring step (step S30), a forming step (step S40), a slow cooling step (step S50), It mainly includes a process (step S60) and a shape processing process (step S70).
  • step S10 in a melting furnace (not shown), the glass raw material is heated to a high temperature by indirect heating from above and direct heating by passing an electric current through the glass to produce molten glass.
  • the melting of the glass may be performed by other methods.
  • a clarification process is performed (step S20).
  • the defoaming of bubbles in the molten glass is promoted by increasing the temperature of the molten glass in a state where the molten glass is stored in a liquid tank (not shown), for example, compared with the heating in the melting step. . Thereby, the bubble content rate in the glass plate finally obtained can be reduced, and a yield can be improved.
  • the clarification step may be performed by other methods.
  • the bubbles in the molten glass may be removed using a clarifier.
  • the fining agent is not particularly limited, and for example, metal oxides such as tin oxide and iron oxide are used.
  • the clarification step in this case is performed by a redox reaction of a metal oxide whose valence fluctuates in the molten glass.
  • the metal oxide releases oxygen by a reduction reaction, and this oxygen becomes a gas, and bubbles in the molten glass grow and float on the liquid surface. Thereby, bubbles in the molten glass are defoamed.
  • a molding process is performed (step S40).
  • a downdraw method is used.
  • the down-draw method including overflow down-draw and slot down-draw is a known method using, for example, Japanese Patent No. 3586142 and the apparatus shown in FIGS.
  • the molding process of the overflow down draw method is a process of overflowing the molten glass from the molded body to flow down the side wall of the molded body, and further forming the glass ribbon by laminating the molten glass at the lower end of the molded body. It is.
  • the molding process in the downdraw method will be described later. Thereby, a sheet-like glass ribbon having a predetermined thickness and width is formed.
  • the temperature control of the glass ribbon for example, a cooling means such as a cooling roller, a cooling means such as an air cooling tube provided in the vicinity of both ends of the glass ribbon in the width direction, and a plurality of glass ribbons in the width direction and the transport direction are provided
  • a cooling means such as a cooling roller
  • a cooling means such as an air cooling tube provided in the vicinity of both ends of the glass ribbon in the width direction, and a plurality of glass ribbons in the width direction and the transport direction are provided
  • heating means such as a heater.
  • a slow cooling process is performed (step S50).
  • the glass ribbon formed into a sheet shape is cooled below the annealing point in the slow cooling furnace shown in FIGS. 2 and 3 by controlling the cooling rate so that distortion is not generated or reduced.
  • the adjacent regions adjacent to each other in the width direction at both ends in the width direction of the glass ribbon are sandwiched by a plurality of pairs of transport rollers provided in the transport direction of the glass ribbon. It is gradually cooled while being drawn downward at the peripheral speed of the roller.
  • a glass ribbon having a thickness of 0.5 mm or less is formed by slowly cooling the glass ribbon while transporting it at such a transport speed.
  • the strain generated in the glass ribbon is reduced by controlling so that the temperature gradient between the both ends in the width direction of the glass ribbon and the central portion in the width direction is eliminated.
  • the temperature profile of the glass ribbon is distributed in a single mountain in the width direction, and then the distribution of the single mountain gradually decreases as it progresses downstream in the conveyance direction.
  • a heater or the like can be controlled so that the distribution of the peaks is a straight linear distribution, that is, the temperature distribution in the width direction is constant. .
  • the cooling rate at the center in the width direction of the glass ribbon is higher than the cooling rate at both ends in the glass ribbon width direction.
  • the temperature profile may be made constant so that the temperature in the central portion in the width direction of the glass ribbon is the same in the temperature region near the strain point from the state where the temperature is higher than both ends.
  • the glass ribbon may be slowly cooled at a temperature at which the temperature of the glass ribbon is from the annealing point (strain point ⁇ 50 ° C.) as compared with other temperature ranges. Thereby, the thermal contraction rate of a glass ribbon can be reduced.
  • the temperature profile of the glass ribbon becomes a valley along the width direction, and the depth of the valley is downstream in the transport direction.
  • Control of a heater or the like may be performed so that the temperature of the center portion gradually increases, that is, the temperature of the central portion gradually becomes lower than that of both end portions.
  • the peripheral speed of the conveying roller is high from the viewpoint of improving the productivity of the glass plate.
  • the peripheral speed of the conveying roller is preferably higher than 150 m / hour, preferably 200 m / hour or more, for example, 220 m / hour or more, 240 m / hour or more, 250 m / hour or more, 270 m / hour. It may be at least 300 m / hour or more and 340 m / hour or more.
  • fever retained inside the part pinched by a conveyance roller pair becomes so small that the plate
  • 0.01 to 0.5 mm is more suitable for the present invention, for example, 0.01 to 0.4 mm is more suitable for the present invention, and 0.01 to 0.3 mm is further suitable. It is suitable for the present invention, and when it is from 0.01 to 0.25 mm, it is further suitable for the present invention.
  • the peripheral speed of the transport roller is not limited to the above, and for example, when the amount of molten glass flowing into a molded body described later on is less than 6 t, Even in the case where the amount flowing into the molded body per day is 6 t or more, it may be 200 m / hr or less depending on the size in the width direction of the glass to be produced.
  • the amount of molten glass that flows into the molded body per day may be 2 t or more, 6 t or more, 10 t or more, 16 t or more, or 20 t or more.
  • the quantity (MG amount) in which a molten glass is poured into a molded object on the 1st is large from a viewpoint of improving the productivity of a glass plate.
  • the peripheral speed of the transport roller of the pair of transport rollers provided downstream from the position where the temperature of the glass ribbon becomes the slow cooling point is the temperature at which the temperature of the glass ribbon is not lower than the glass transition point and not higher than the softening point. It is faster than the peripheral speed of the transport rollers of the transport roller pair provided in the region, for example, 0.03 to 2% faster.
  • a plate-making process is performed (step S60). Specifically, the glass ribbon produced
  • a physical means using a cutter or a laser may be used, or a chemical means such as etching may be used.
  • the method for producing a glass plate includes a cleaning step and an inspection step, but description of these steps is omitted.
  • the clarification step and the stirring step can be omitted.
  • FIG.2 and FIG.3 is a schematic block diagram of the glass plate manufacturing apparatus 1 which is 1st Embodiment of this invention.
  • the glass plate manufacturing apparatus 1 and the glass plate manufacturing method using the glass plate manufacturing apparatus 1 according to this embodiment include a glass substrate of a flat panel display such as a liquid crystal display device or an organic EL display device, and a display surface cover of a portable terminal. It is suitably applied to the production of glass. This is because liquid crystal display devices or organic EL display devices have recently been required to have high accuracy and high image quality, and the glass substrate used for them is required to have a wave form deformation of 0.2 mm or less. Because.
  • the glass plate manufacturing apparatus 1 manufactures the glass plate C from the molten glass A using the downdraw method.
  • the glass plate manufacturing apparatus 1 includes a furnace chamber 11, a first slow cooling furnace 12, a second slow cooling furnace 13, and a sampling chamber (not shown) that are partitioned by heat insulating plates 21, 22, and 23 arranged in three locations in the vertical direction.
  • the heat insulating plates 21 to 23 are plate members made of a heat insulating material such as ceramic fiber.
  • the heat insulating plates 21 to 23 are respectively formed with transport holes 16 so that a glass ribbon B, which will be described later, passes downward.
  • the heat insulating plates 21 to 23 are not shown in FIG. 2 except for two places in the horizontal direction in contact with the furnace wall 15 to be described later for ease of understanding. On the back side, the two horizontal portions are connected together. 2 and 3 show an example in which partitioning is performed at three locations by a heat insulating plate, but the number and installation positions of the heat insulating plates are not particularly limited, and one or more heat insulating plates may be provided. That's fine.
  • the slow cooling device 3 described later includes a plurality of heat insulating plates, It is preferable to partition into a plurality of spaces. In other words, it is sufficient that one or more annealing furnaces are provided, but three or more are more preferably provided.
  • the glass plate manufacturing apparatus 1 includes a forming device 2, a slow cooling device 3, and a plate-taking device 4.
  • the forming apparatus 2 is an apparatus for forming the glass ribbon B from the molten glass A using a downdraw method.
  • the forming apparatus 2 has a furnace chamber 11 surrounded by a furnace wall 15 assembled with refractory bricks, block-shaped electroformed column refractories, or the like.
  • a molded body 10 and a roller pair 17 are provided in the furnace chamber 11.
  • the molded body 10 includes a groove 10a opened upward (see FIG. 3), and the molten glass A flows in the groove 10a.
  • the molded body 10 is made of brick, for example.
  • a pair of rollers 17 are provided at positions corresponding to both ends (both ends in the width direction) in the width direction of the molten glass A fused at the lower end of the molded body 10. Transport toward.
  • the left-right direction in the paper surface in FIG. 2 and the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 2 and 3 is the transport direction of the glass ribbon B. 2 and 3
  • the molded body 10 and the roller pair 17 are installed without partitioning, but in order to facilitate the adjustment of the slow cooling condition (atmosphere temperature adjustment), a heat insulating plate is provided between them. May be provided for partitioning.
  • Two or more pairs of rollers 17 may be installed in the transport direction.
  • the slow cooling device 3 cools the glass ribbon B while pulling it downward while holding the glass ribbon B between the plurality of conveying roller pairs 18 and 19.
  • the slow cooling device 3 has a first slow cooling furnace 12 and a second slow cooling furnace 13 provided adjacent to the lower part of the furnace chamber 11.
  • the first slow cooling furnace 12 and the second slow cooling furnace 13 are surrounded by the furnace wall 15 that also constitutes the furnace chamber 11.
  • the slow cooling device 3 is provided with heating means that are arranged in the first slow cooling furnace 12 and the second slow cooling furnace 13 along the conveying direction of the glass ribbon B and are automatically controlled by a computer to be described later.
  • the heating means is not particularly limited, and for example, an electric heater is used.
  • the ambient temperature around the glass ribbon B in the first slow cooling furnace 12 and the second slow cooling furnace 13 is the width of the glass ribbon B so that the glass ribbon B is not warped or distorted by being heated by the heating means.
  • the temperature is controlled so that the temperature distribution in the direction and the conveyance direction has a distribution as described later.
  • the glass ribbon B becomes the softening point SP sequentially from the conveyance direction upstream side of the glass ribbon B by heating with a heating means, respectively, glass transition A point that becomes the point Tg, a point that becomes the slow cooling point AP, and a point that becomes the strain point StP are generated.
  • the softening point SP indicates a temperature at which the glass has a viscosity of 10 7.6 dPa ⁇ s. Further, the annealing point AP, the viscosity of the glass indicates the temperature of 10 13 dPa ⁇ s.
  • the strain point StP indicates a temperature at which the viscosity of the glass is 10 14.5 dPa ⁇ s. 2 and 3, the position of the glass ribbon B at which the temperature of the glass ribbon B becomes the temperature of these points SP, Tg, AP, and StP is determined by extending the broken lead lines in the horizontal direction. It is represented by the point where it intersects with ribbon B.
  • the conveyance roller pairs 18 and 19 are provided with three conveyance roller pairs 18 arranged in the conveyance direction of the glass ribbon B in the first slow cooling furnace 12. In the second slow cooling furnace 13, four transport roller pairs 19 arranged in the transport direction of the glass ribbon B are provided.
  • the two most upstream conveying roller pairs 18 are disposed in the temperature region D (first temperature region) of the glass ribbon B that is not less than the glass transition point Tg and not more than the softening point SP.
  • the third and fourth transport roller pairs 18 from the upstream side are arranged in the temperature region of the glass ribbon B that is higher than the slow cooling point AP and lower than the glass transition point Tg.
  • the fifth to seventh transport roller pairs 19 from the upstream side are arranged in the temperature region E (second temperature region) of the glass ribbon B that is below the annealing point AP.
  • the softening point SP may be in the furnace chamber 11. Information about the temperature region of the glass ribbon B that is in the temperature region D, the temperature region E, or higher than the slow cooling point AP and less than the glass transition point Tg will be described later.
  • the positions of the points SP, Tg, AP, StP are estimated based on the ambient temperature around the glass ribbon B obtained by the measurement of the temperature sensor 34, and the positions of the estimated points SP, Tg, AP, StP are estimated. Determined from.
  • the slow cooling device 3 includes a detection control unit 30 and a drive unit 32 (see FIG. 4).
  • the conveyance roller pairs 18 and 19 convey the glass ribbon B by drawing the glass ribbon B downward.
  • Each conveyance roller pair 18 has four conveyance rollers 18a arranged on both sides of the glass ribbon B so as to sandwich a neighboring region adjacent to both ends in the width direction of the glass ribbon B, and the same side with respect to the glass ribbon B. It has two drive shafts 18b disposed on both sides of the glass ribbon B, which couples two conveying rollers 18a.
  • Each conveyance roller pair 19 has four conveyance rollers 19a arranged on both sides of the glass ribbon B so as to sandwich a neighboring region adjacent to both ends in the width direction of the glass ribbon B, and the same side with respect to the glass ribbon B.
  • the conveyance roller pairs 18 and 19 are not limited to those described above.
  • the conveyance rollers of each roller pair are not connected to each other on the same surface side with respect to the glass ribbon B by the drive shaft, and the both ends in the width direction of the glass ribbon B are the same as the rollers of the roller pair 17. It may be arranged independently in the part.
  • the temperature of the center part of the width direction of a glass ribbon is slow so that a tensile stress may work in the conveyance direction of the glass ribbon B.
  • the cooling rate at the center in the width direction of the glass ribbon B is It is also possible to control the temperature so that it is faster than the cooling rate.
  • the both ends (ear part) of the width direction of the glass ribbon B are lower than the temperature of a center part, and the temperature of a center part is The temperature of the glass ribbon B is controlled so as to be uniform. Further, the temperature in the width direction of the glass ribbon B in the region where the temperature in the center portion in the width direction of the glass ribbon B is greater than the strain point below the softening point so that the tensile stress in the transport direction acts on the center portion in the width direction of the glass ribbon B. The temperature of the glass ribbon B is controlled so that the distribution becomes lower from the center toward both ends.
  • the temperature of the glass ribbon B is adjusted so that there is no temperature gradient between both ends (ears) in the width direction of the glass ribbon and the center. Control. Thereby, the tensile stress of a conveyance direction is applied to the center part of the width direction of the glass ribbon B.
  • both end portions in the width direction of the glass ribbon B (ear The temperature of the glass ribbon B can be controlled so as to decrease from the portion) toward the center in the width direction of the glass ribbon B.
  • the slow cooling step includes a first cooling step of cooling at the first average cooling rate until the temperature of the central portion in the width direction of the glass ribbon B reaches the slow cooling point, and the width direction of the glass ribbon B.
  • the first average cooling rate is 5.0 ° C./second or more
  • the first average cooling rate is faster than the third average cooling rate
  • the third average cooling rate is the second average cooling rate.
  • the average cooling rate is, in descending order, the first average cooling rate, the third average cooling rate, and the second average cooling rate.
  • the cooling rate in the conveyance direction of the glass ribbon B affects the thermal shrinkage of the glass plate to be manufactured.
  • the cooling rate by setting the cooling rate as described above, it is possible to obtain a glass plate having a suitable heat shrinkage rate while improving the production amount of the glass plate.
  • the atmosphere around the glass ribbon B is set so that the glass ribbon B has the temperature described above.
  • the temperature is controlled by the heating means.
  • the detection control unit 30 includes a temperature sensor 34 arranged corresponding to the pair of conveyance rollers 18 and 19 and a computer (not shown) that functions as a peripheral speed determination unit 38.
  • FIG. 4 is a block diagram illustrating the configuration of a control system that controls the rotational driving of the transport roller pairs 18 and 19.
  • Each temperature sensor 34 is connected to a peripheral speed determining unit 38.
  • the peripheral speed determining unit 38 is connected to drive the pair of conveying rollers 18 and 19 via the driving unit 32. Details of the detection control unit 30 will be described later.
  • the drive unit 32 rotationally drives the transport rollers 18a and 19a based on the peripheral speeds of the transport rollers 18a and 19a stored in the storage unit 36 described later.
  • the drive unit 32 has a motor (not shown) provided corresponding to each of the conveyance roller pairs 18 and 19.
  • the motor may not be provided corresponding to each conveyance roller pair 18, 19, and the number thereof may be smaller than the number of each conveyance roller pair 18, 19, for example.
  • the driving force from the motor is transmitted to the transport rollers 18a and 19a via, for example, a universal joint.
  • the temperature sensor 34 detects the atmospheric temperature at the arrangement position in the first slow cooling furnace 12 and the second slow cooling furnace 13, respectively.
  • the peripheral speed determining unit 38 determines the peripheral speeds of the plurality of transport rollers 18a and 19a based on the thickness of the glass plate to be manufactured.
  • the peripheral speeds of the transport rollers 18a and 19a are preferably glass ribbons so that all the transport rollers 19a provided in the temperature region E are faster than all the transport rollers 18a provided in the temperature region D.
  • the conveying roller 19a provided downstream is determined to be faster than the position where the temperature of B becomes the strain point StP. That is, in the slow cooling process, in the temperature region where the temperature of the glass ribbon B is not less than the glass transition point and not more than the softening point so that the glass ribbon B does not undergo corrugated plastic deformation,
  • the plurality of transport rollers 18a and 19a are controlled so as to apply tension.
  • the peripheral speed determination unit 38 first refers to the softening point SP, glass transition point Tg, annealing point AP, and strain point StP of the glass ribbon B stored in the storage unit 36 to be described later, and the temperature sensor 34. The positions of these points SP, Tg, AP, and StP in the slow cooling furnaces 12 and 13 are estimated based on the atmospheric temperature detected by the above. Next, the peripheral speed determination unit 38 increases the peripheral speed of the three transport rollers 19 a provided in the temperature region E as compared with the peripheral speed of the two transport rollers 18 a provided in the temperature region D.
  • the upper limit of the ratio of the fast peripheral speed to the slow peripheral speed is preferably 1.02, for example, from the viewpoint of suppressing cracking of the glass ribbon B, and prevents plastic deformation.
  • the lower limit of the ratio is preferably set to 1.0003. That is, the peripheral speed of the three transport rollers 19a in the temperature region E is preferably 0.03 to 2% faster than the peripheral speed of the two transport rollers 18a in the temperature region D, and 0.05 to 1 0.7% faster, more preferably 0.1-1.5% faster, more preferably 0.2-1.0% faster, and more preferably 0.3-0.8% faster.
  • the peripheral speed of the transport rollers 18a and 19a that is higher than the slow cooling point AP and less than the glass transition point Tg, and the peripheral speed of the transport roller 18a when the transport roller 18a is further located on the upstream side of the temperature region D are
  • the peripheral speed of the conveying roller 18a in the temperature region D may be the same or different, and is particularly preferably different. If they are different, the transport roller 18a on the upstream side from the temperature region D, the transport roller 18a in the temperature region D, and the transport roller 19a that is higher than the slow cooling point AP and less than the glass transition point Tg, in that order, are faster. Is preferred.
  • the peripheral speed of the most upstream transport roller 18a and the peripheral speed of the second transport roller 18a from the upstream side may be the same or different, and are preferably different. If they are different, it is preferable that the circumferential speed of the second conveying roller 18a from the upstream side is faster than the circumferential speed of the most upstream conveying roller 18a.
  • the peripheral speeds of the three transport rollers 19a from the downstream side may be all the same, partly the same or all different, and particularly preferably all different. When all are different, it is preferable that the peripheral speed of the transport roller 19a on the most downstream side is the fastest and the peripheral speed of the third transport roller 19a from the downstream side is the slowest.
  • the temperature of the adjacent region is equal to or higher than the glass transition point Tg so that a wave-shaped plastic deformation does not occur in the adjacent region adjacent to the inner side in the width direction of the glass ribbon B with respect to the portion sandwiched by the transport rollers 18a and 19a. It is preferable to apply a tensile stress in the transport direction to the glass ribbon B in a temperature range that is equal to or lower than the softening point SP.
  • the temperature of the adjacent region adjacent to the inner side in the width direction of the glass ribbon with respect to the portion sandwiched by the transport roller of the glass ribbon is downstream of the position where the glass annealing point AP is set.
  • the peripheral speed of the transport roller pair of the provided transport roller pair is set so that the temperature of the adjacent roller of the transport roller pairs 18 and 19 is equal to or lower than the glass transition point Tg and the softening point SP. It is preferable to make it faster than the peripheral speed of the conveying roller 18a in terms of exerting tensile stress.
  • the peripheral speeds of the transport rollers 18a and 19a are determined so that the transport roller 19a provided in the temperature region E is faster than the transport roller 18a provided in the temperature region D, and rotated accordingly.
  • the driving it is possible to prevent the deformation of the wave shape generated in the inner region in the width direction of the transport rollers 18a and 19a, which can effectively apply tension in the transport direction of the glass ribbon B.
  • the peripheral speed determination unit 38 includes a storage unit 36.
  • the storage unit 36 stores the peripheral speeds of the plurality of transport rollers 18a and 19a determined as described above.
  • the storage unit 36 stores the softening point SP, the glass transition point Tg, the annealing point AP, and the strain point StP of the glass ribbon B for each glass composition.
  • the computer uses heating means in the slow cooling furnaces 12 and 13 so that the atmospheric temperature in the slow cooling furnaces 12 and 13 is maintained within a predetermined temperature range based on the ambient temperature detected by the temperature sensor 34. Automatic control.
  • the predetermined temperature range of the first slow cooling furnace 12 is set to, for example, 500 to 800 degrees.
  • the predetermined temperature range of the second slow cooling furnace 13 is set to 200 to 500 degrees, for example.
  • the sampling apparatus 4 has a sampling chamber (not shown) arranged on the downstream side of the second slow cooling furnace 13.
  • the glass ribbon B is cut at regular intervals, and the glass plate C is sampled.
  • the thickness of the glass plate C is 0.5 mm or less, for example.
  • the size of the glass plate C is not particularly limited, and for example, the length in the width direction is 500 to 3500 mm ⁇ the length in the longitudinal direction is 500 to 3500 mm.
  • the length in the width direction of the glass plate C may be 1000 mm or more, 1500 mm or more, 2000 mm or more, 2500 mm or more
  • the length in the longitudinal direction may be 1000 mm or more, 1500 mm or more, 2000 mm or more, 2500 mm or more.
  • the larger the glass plate C is the larger the distance from the conveyance roller at the center in the width direction of the glass ribbon B and the outer wall of the slow cooling furnace, so that the glass ribbon B is near the conveyance roller and in the width direction. There is a tendency that a temperature difference is likely to occur between adjacent regions which are regions of the inner glass ribbon B.
  • the length in the width direction of the glass plate C is 1000 mm or more
  • the shape of the glass ribbon B in the vicinity of the transport roller and the inner side in the width direction tends to be easily deformed. Become prominent.
  • the effect of this invention becomes so useful that the length of the width direction of the glass plate C is 1500 mm or more, 2000 mm or more, 2500 mm or more.
  • the glass plate manufacturing apparatus 1 further includes an input unit (not shown) that receives an operator's input operation, and this input unit receives the peripheral speed or rotational speed of the transport rollers 18a and 19a input by the operator.
  • the storage unit 36 may not store the softening point SP, the glass transition point Tg, the annealing point AP, the strain point StP, and the like of the glass ribbon B.
  • the softening point SP and glass transition of the glass ribbon B may be determined by an operator.
  • the input unit may be directly connected to the drive unit, and the peripheral speed or rotation speed of the transport roller may be directly input to the drive unit.
  • the glass plate manufacturing apparatus 1 configured as described above, in the temperature region where the temperature of the glass ribbon B is not less than the glass transition point Tg and not more than the glass softening point SP, a tensile stress is applied to the glass ribbon B in the transport direction.
  • the peripheral speed of the conveying roller 19a of the conveying roller pair 19 provided in the temperature region where the temperature of the glass ribbon B is equal to or lower than the glass annealing point AP is such that the temperature of the glass ribbon B is equal to or higher than the glass transition point Tg.
  • the rotational driving of the transport rollers 18a and 19a is controlled so as to be faster than the peripheral speed of the transport roller 18a provided in the temperature region D that is equal to or lower than the softening point SP.
  • the above-described generation is performed. Due to the compressive stress, plastic deformation (waveform deformation) easily occurs in the adjacent region of the glass ribbon in the vicinity of the transport rollers 18a and 18b and in the width direction, and the flatness of the glass plate is deteriorated. More specifically, for example, when temperature control of the glass ribbon is performed so that a tensile stress (tension) in the conveyance direction is applied to the central portion in the width direction of the glass ribbon B, compression is applied to the adjacent region, and waves are applied to the adjacent region. The plastic deformation with the shape tends to occur.
  • the problem of such plastic deformation is that the difference between the thickness of the both ends of the glass ribbon B in the width direction and the thickness of the adjacent region is likely to be large, and the thickness is 0.5 mm or less that is easy to deform even with small stress due to the thin thickness. It becomes remarkable when manufacturing the glass plate of this. That is, when only the manufacturing method of Patent Document 1 described above is used, when a glass plate having a thickness of 0.5 mm or less is manufactured, the adjacent region that is the inner region in the width direction of the transport roller is more easily deformed, and the glass plate This will worsen the flatness.
  • the peripheral speed of the transport roller provided below is higher than that of the transport roller provided above.
  • 0049] is considered to be premised on a relatively thick glass with a thickness of about 0.7 to 1 mm, and the peripheral speed of the transport roller is increased in order from the upstream side to the downstream side in the transport direction. This is based on the idea that tension is always applied to the glass ribbon in the transport direction.
  • plastic deformation occurs in the adjacent region of the glass ribbon as a phenomenon in a limited temperature region of the glass ribbon, and it is necessary to provide a peripheral speed difference between the conveyance rollers in an appropriate temperature region. It is.
  • tension is applied to the glass ribbon B in the transport direction in a temperature region where the temperature of the glass ribbon B is not less than the glass transition point Tg and not more than the glass softening point SP. For this reason, it can suppress that a waveform deformation
  • the pair of transport rollers 19 provided in a temperature region where the temperature of the glass ribbon B is equal to or lower than the glass annealing point AP.
  • the transport rollers 18a, 19a are set so that the peripheral speed of the transport roller 19a is faster than the peripheral speed of the transport roller 18a provided in the temperature region D where the temperature of the glass ribbon B is not less than the glass transition point Tg and not more than the softening point SP. Rotational drive of is controlled.
  • the plurality of transport roller pairs 18 and 19 may be provided at least in the temperature region D and the temperature region E. Further, the number of the plurality of transport roller pairs is not particularly limited as long as it is at least two. Note that the positions of the softening point SP, the glass transition point Tg, the annealing point AP, and the strain point StP, and the number of transport roller pairs located in each region formed with these points as boundaries are not particularly limited.
  • FIG. 5 is a block diagram illustrating the configuration of a control system that controls the rotational drive of the transport roller pairs 18 and 19.
  • elements indicated by the same reference numerals as those referred to in the first embodiment are the same as the elements described in the first embodiment.
  • the detection unit 47 is connected to the temperature sensor 44.
  • the temperature sensor 44 detects the temperatures of the transport rollers 18a and 19a.
  • detecting the temperatures of the transport rollers 18a and 19a includes calculating the temperatures of the transport rollers 18a and 19a.
  • the temperature difference data stored in the storage unit 46 at the atmospheric temperature detected by each temperature sensor 44 is referred to, and the temperatures of the transport rollers 18a and 19a are calculated.
  • the detection unit 47 calculates the thermal expansion amount of the transport rollers 18a and 19a as a change in diameter, as will be described later.
  • the storage unit 46 of the peripheral speed determination unit 48 stores temperature difference data.
  • the temperature difference data includes data on the difference between the atmospheric temperature of the slow cooling furnaces 12 and 13 and the temperature (surface temperature) of the transport rollers 18a and 19a at each atmospheric temperature, which is measured in advance when the slow cooling furnaces 12 and 13 are installed.
  • the temperature difference data is stored differently depending on the structure of the slow cooling furnaces 12 and 13.
  • the storage unit 46 further stores thermal expansion coefficients (hereinafter also referred to as roller thermal expansion coefficients) of the transport rollers 18a and 19a.
  • the roller thermal expansion coefficient is determined from the material of the transport rollers 18a and 19a.
  • the storage unit 46 also includes a rotational speed of each of the transport rollers 18a and 19a determined by the peripheral speed determination unit 48, a reference peripheral speed distribution set between the plurality of transport roller pairs 18 and 19, and each transport roller.
  • a reference value of the diameters 18a and 19a is further stored.
  • the reference value of the diameter of each of the transport rollers 18a and 19a is a diameter at the time of a new article at normal temperature (for example, 25 degrees).
  • the storage unit 46 has conditions for achieving a reference peripheral velocity distribution (the temperature of the transport roller, the temperature of the glass ribbon B, the thermal expansion coefficient of the glass ribbon, the thickness, the width of the glass ribbon B, the glass ribbon B Memory).
  • the peripheral speed determining unit 48 includes a plurality of transport roller pairs 18 and 19 when the relative speed between the peripheral speeds of the transport rollers 18 a and 19 a and the transport speed of the glass ribbon B is constant between the transport roller pairs 18 and 19.
  • Set the peripheral speed ratio peripheral speed distribution.
  • the peripheral speed of the transport roller 19a of the transport roller pair 19 provided in the temperature region E is higher than the peripheral speed of the transport roller 18a of the transport roller pair 18 provided in the temperature region D. Is set.
  • the peripheral speed determining unit 48 maintains the magnitude relationship of the peripheral speeds of the transport rollers 18a and 19a in the temperature regions D and E determined in the first embodiment, and the transport rollers 18a and 18a calculated by the detection unit 47 are maintained. Based on the change of the diameter of 19a, the rotational speed of each conveyance roller 18a, 19a is determined so that the peripheral speed ratio between the some conveyance roller pair 18,19 may be maintained.
  • the peripheral speeds of the transport rollers 18a and 19a may be calculated by an operator instead of the peripheral speed determining unit 48.
  • the glass plate manufacturing apparatus 1 further includes an input unit similar to that described in the first embodiment.
  • the storage unit 46 does not store temperature difference data, roller thermal expansion coefficient, peripheral speed distribution, reference values of the diameters of the respective transport rollers 18a and 19a, conditions for achieving the reference peripheral speed distribution, and the like.
  • it is calculated by the operator based on temperature difference data, roller thermal expansion coefficient, peripheral speed distribution, reference value of the diameter of each of the transport rollers 18a and 19a, conditions for achieving the reference peripheral speed distribution, and the like. What is necessary is just to memorize
  • the peripheral speed ratio between the plurality of transport roller pairs 18 and 19 is, for example, that of the most upstream transport roller 18a in order from the immediately downstream transport roller 18a with the peripheral speed of the most upstream transport roller 18a as a reference.
  • the peripheral speed is set to increase by 0.1% of the peripheral speed.
  • the peripheral speed of the most downstream side conveyance roller 19a is 100.6% of the most upstream side conveyance roller 18a.
  • the peripheral speed set from the peripheral speed ratio is set using the peripheral speed of the transport roller 18a on the most upstream side.
  • the peripheral speed ratio set as a reference in this way is the peripheral speed ratio when the conventional glass ribbon B is gradually cooled without causing problems of scratches or shape deformation.
  • the reference peripheral speed distribution is stored and held in the peripheral speed determining section 48 together with conditions such as the temperature, thermal expansion coefficient, thickness, width, and glass flow rate of the glass ribbon B. As will be described later, this peripheral speed ratio is set by correcting the reference peripheral speed distribution when conditions of slow cooling such as the temperature of the glass ribbon B change.
  • the peripheral speed determination unit 48 corrects and sets the reference peripheral speed ratio according to the temperature, thermal expansion coefficient, thickness, glass flow rate, and the like of the glass ribbon B. Specifically, the reference temperature in each of the transport roller pairs 18 and 19 is set as the condition at that time in the peripheral speed ratio set as the reference peripheral speed distribution. Therefore, when the current temperature of the glass ribbon B changes with respect to this reference temperature, for example, when the temperature T 1 changes to T 2 , the difference in thermal expansion coefficient between the temperature difference between T 2 and T 1 is calculated. The peripheral speed determining unit 48 corrects the peripheral speed ratio set as the reference peripheral speed distribution. This is because the conveyance speed of the glass ribbon B changes depending on the coefficient of thermal expansion determined by the temperature of the glass ribbon B and the coefficient of thermal expansion.
  • the peripheral speed ratio may be more generally corrected using the difference in the thermal expansion coefficient in consideration of the thermal expansion coefficient and the temperature of the glass ribbon B.
  • Such a peripheral speed ratio is corrected and set by changes in conditions such as the thickness, width, and glass flow rate of the glass ribbon B in addition to the temperature dependency of the glass ribbon B and the thermal expansion coefficient. Therefore, the conditions for the reference peripheral speed ratio such as the temperature of the glass ribbon B, the temperature-dependent characteristics of the thermal expansion coefficient, the thickness, the width, and the glass flow rate are stored and held in advance in the peripheral speed determination unit 48.
  • the glass thermal expansion coefficient is determined from the composition of the molten glass.
  • the peripheral speeds of the respective transport roller pairs on the downstream side are calculated on the basis of the current peripheral speed of the transport roller pair on the most upstream side.
  • the peripheral speed ratio in accordance with the change in the state including the temperature of the glass ribbon B, it is possible to determine a more appropriate rotational speed of the transport rollers 18a and 19a.
  • the peripheral speed determining unit 48 determines the rotational speed of each of the transport rollers 18a and 19a according to the following formula based on the calculated peripheral speed of each of the transport rollers 18a and 19a.
  • Rotational speed peripheral speed / (diameter of thermally expanded conveying roller ⁇ ⁇ )
  • the ambient temperature detected at the arrangement position of each of the conveying roller pairs 18 and 19 in the slow cooling furnaces 12 and 13 changes with respect to the temperature of the conveying roller pairs 18 and 19 at the reference peripheral speed ratio described above.
  • the rotational speeds of the transport rollers 18a and 19a are determined so as to maintain the above-described peripheral speed ratio.
  • the detection unit 47 detects the roller thermal expansion coefficient at the temperature of the conveyance rollers 18a and 19a and the conveyance roller 18a and 19a with respect to the conveyance rollers 18a and 19a detected by the temperature sensor 44.
  • the peripheral speed determination unit 48 calculates a new rotational speed from the amount of change in the diameter of the transport roller 18a calculated by the detection unit 47 according to the following formula, assuming that the amount of change in the peripheral speed is 1, and the transport roller 18a, The rotational speed of 19a is changed.
  • New rotation speed (peripheral speed + change amount of peripheral speed) / ((change diameter of transport roller + change amount of transport roller diameter) ⁇ ⁇ )
  • the rotation speed determined by the peripheral speed determination unit 48 is sent to the drive unit 32, and the rotation of the transport rollers 18a and 19a is controlled.
  • the peripheral speed ratio is not limited to that described above.
  • the peripheral speed determination unit 48 may calculate specific peripheral speeds of the transport rollers 18a and 19a as the peripheral speed distribution instead of the peripheral speed ratio.
  • the reference peripheral speed distribution and the corrected peripheral speed are also set as specific speed values.
  • the peripheral speed distribution in addition to adjusting the rotational speed so as to have a set peripheral speed distribution according to the temperature of the diameter of the conveying roller, the peripheral speed distribution becomes a reference peripheral speed distribution according to the temperature of the glass ribbon. Correct and set.
  • the reference peripheral velocity distribution need not be corrected in accordance with the current temperature of the glass ribbon.
  • the rotational speed of each of the transport rollers 18a and 19a is controlled so as to compensate for the change in consideration of the change in the state that occurs in the transport rollers 18a and 19a. Therefore, it is possible to suppress the difference in the relative speed between the peripheral speeds of the transport rollers 18a and 19a and the transport speed of the glass ribbon B in the plurality of transport roller pairs 18 and 19 with higher accuracy. . Thereby, the slip between the glass ribbon B and the conveyance rollers 18a and 19a can be prevented, and the quality of the glass plate surface can be improved.
  • the peripheral speed distribution of the plurality of pairs of conveying rollers 18 and 19 used for conveying the glass ribbon B is corrected and set according to the temperature of the glass ribbon B, the glass ribbon B is excessive and the glass ribbon B is deformed. In addition, the glass ribbon B can be prevented from being pulled and broken by being faster than necessary. Such an effect is more conspicuous in the production of a thin glass sheet having a thickness of 0.5 mm or less that has a high glass conveyance speed and is easily deformed because the strength of the glass ribbon B is small.
  • the temperature of the glass ribbon B and the temperatures of the transport rollers 18a and 19a change as described above.
  • the correction amount is small, and the distribution of the set reference peripheral speed ratio is not greatly changed. That is, it does not change that the peripheral speed of the transport roller of the pair of transport rollers provided in the temperature region E is faster than the peripheral speed of the transport roller of the pair of transport rollers provided in the temperature region D.
  • the temperature sensor detects the ambient temperature in the slow cooling furnaces 12 and 13 and calculates the transport roller temperature using this, but the transport roller temperature may be directly measured.
  • a thermometer for continuously measuring the temperature of the conveyance roller may be used as the conveyance roller state detection unit.
  • FIG. 6 is a block diagram illustrating the configuration of a control system that controls the rotational drive of the conveying roller pairs 18 and 19.
  • the detection unit 57 is connected to the distance measurement sensor 54.
  • a plurality of distance measuring sensors 54 are provided corresponding to the respective transport roller pairs 18 and 19.
  • the distance measurement sensor 54 detects the drive shaft interval.
  • the drive shaft spacing is such that the drive shafts 18b and 19b connect the conveying rollers 18a and 19a on the same side with respect to the glass ribbon B, and the drive shaft 18b disposed opposite to the drive shafts 18b and 19b. , 19b.
  • the pair of transport rollers 18 and 19 sandwich the glass ribbon B in a state where the pair of transport rollers 18a and 19a are urged to each other.
  • the amount of wear of each of the transport rollers 18a and 19a is determined based on the fact that the amount of change from the new roller radius of the roller radius calculated according to the following equation is caused by the wear of the transport rollers 18a and 19a. Is detected.
  • the peripheral speed determination unit 58 of the detection control unit 50 is a peripheral speed ratio of the peripheral speeds of the transport rollers 18a and 19a caused by the change in the radius of the transport rollers 18a and 19a due to the detected wear of the transport rollers 18a and 19a.
  • the rotational speeds of the transport rollers 18a and 19a are determined so as to compensate for the deviation from the above.
  • the change in the radius calculated based on the wear state is used as the diameter change of the transport rollers 18a and 19a.
  • the wear roller 18a and 19a used in the second embodiment use this wear state. It can also be applied together with the temperature of 19a. In this case, the diameters of the transport rollers 18a and 19a vary with the amount of wear and also with thermal expansion.
  • the rotational speeds of the transport rollers 18a and 19a can be calculated so that the peripheral speeds of the transport rollers 18a and 19a changed with the change in diameter are maintained at the peripheral speed ratio. Furthermore, in addition to changes in the diameters of the transport rollers 18a and 19a, a change in the transport speed of the glass ribbon B that changes according to the temperature of the glass ribbon B due to the thermal expansion of the glass ribbon B as a state of the glass ribbon B is integrated and applied. You can also
  • the distance measuring sensor 54 replaces the distance between the drive shafts 18b, 19b of the transport roller pair 18, 19 with the origin of the drive shafts 18b, 19b of the transport roller pair 18, 19 It may be configured to detect the amount of wear by reading the deviation from the position.
  • the origin position is a center position where the drive shafts 18b and 19b are located when the transport rollers 18a and 19a are new, and is stored in the storage unit 56.
  • the amount of wear of the transport rollers 18a and 19a is detected using the deviation of the drive shafts 18b and 19b from the origin position of the pair of transport rollers 18 and 19, and the roller diameter of the transport rollers thus worn can be calculated.
  • the diameters of the transport rollers 18a and 19a are not limited to being calculated by the detection unit 57, and may be calculated by an operator based on the amount of wear, for example. In this case, based on the diameters of the transport rollers 18a and 19a calculated by the operator and input to the peripheral speed determination unit 58, the peripheral speed determination unit 58 calculates the rotation speeds of the transport rollers 18a and 19a.
  • the rotational speeds of the transport rollers 18a and 19a may be further calculated based on the diameters of the transport rollers 18a and 19a calculated by the operator, and the calculation result may be input to the peripheral speed determination unit 58.
  • the rotational speed calculated or input by the peripheral speed determining unit 58 is determined by the peripheral speed determining unit 58 and transmitted to the drive unit 32.
  • the wear amount and the origin position of the transport rollers 18 a and 19 a may be calculated by the operator, and the calculated values may be stored in the storage unit 56.
  • the rotation speeds of the transport rollers 18a and 19a are determined so as to compensate for the diameter changes of the transport rollers 18a and 19a generated in the respective rollers of the transport roller pair 18 and 19.
  • the rotational speed of each roller of the roller pair 17 may be determined so as to compensate for a change in the diameter of each roller of the roller pair 17 used as the cooling roller pair in the molding process.
  • each roller of the roller pair 17 detects the state of each roller of the roller pair 17 using a detection unit such as the above-described conveyance roller state detection units 47 and 57, and the roller pair based on the detection result.
  • the rotational speed of each roller of the roller pair 17 is determined so as to compensate for the change in the diameter of each of the 17 rollers.
  • the peripheral speed of each roller of the roller pair 17 is set to an appropriate value so that the thickness distribution of the glass plate and the unevenness of the glass surface are minimized. Distribution and unevenness of the glass surface will be deteriorated. That is, when the peripheral speed of the roller pair 17 changes, the amount of the glass ribbon B stretched between the lower end of the formed body and the roller pair 17 and the glass ribbon performed between the roller pair 17 and the conveying roller pair 18.
  • the temperature distribution in the width direction of the glass ribbon B between the lower end of the formed body and the roller pair 17 and the width of the glass ribbon between the roller pair 17 and the conveying roller pairs 18 and 19 are changed.
  • the thickness distribution in the width direction of the manufactured glass plate and the size of the irregularities on the glass surface change because the shape of the temperature distribution in the direction is different.
  • the rotational speed of each roller of the roller pair 17 is determined so as to compensate for a change in the diameter of each roller of the roller pair 17.
  • the rotational speed may be determined so as to compensate for a change in the diameter of each roller of at least one of the rollers of the conveying roller pair 18, 19 and the roller pair 17. In other words, it is not necessary to determine the rotation speed of the roller so as to compensate for the change in the diameter of the cooling roller or the conveyance roller, and it is not necessary to perform it for all rollers (cooling roller, conveyance roller), You may go.
  • the glass ribbon B has a low viscosity and is less likely to slip.
  • slip is likely to occur in the glass ribbon B having the softening point SP or less. For this reason, it is preferable to determine the rotation speed of the conveyance roller so as to compensate for a change in the diameter of the conveyance roller provided in the region where the central portion of the glass ribbon B is equal to or lower than the softening point SP.
  • the central portion of the glass ribbon B is compensated for a change in the diameter of the conveyance roller provided in a temperature region in which the temperature of the glass ribbon B is not less than the glass transition point Tg and not more than the softening point SP.
  • the rotation speed of the conveying roller it is preferable to determine the rotation speed of the conveying roller so as to compensate for a change in the diameter of the conveying roller provided in a temperature region in which at least the temperature of the central portion of the glass ribbon B is not less than the glass transition point Tg and not more than the softening point SP.
  • the diameter of the conveyance roller provided in the temperature region where the temperature of the central portion of the glass ribbon B is not less than the glass transition point Tg and not more than the softening point SP is likely to change, the diameter change of the conveyance roller provided in this region is compensated. It is preferable to determine the rotation speed of the transport roller so that it does.
  • the glass temperature is higher than the softening point SP, the compressive stress acting on the glass is instantly relieved, so that the glass ribbon B is less likely to be wave-shaped plastically deformed.
  • the glass temperature is lower than the glass transition point Tg, since the viscosity of the glass ribbon B is sufficiently increased, the corrugated plastic deformation hardly occurs.
  • the upstream roller tends to change in roller diameter due to wear or thermal expansion. That is, it is preferable to determine the rotation speed of the conveyance roller so as to compensate for a change in the diameter of the conveyance roller provided at least in the temperature region where the temperature is not less than the glass transition point Tg and not more than the softening point SP.
  • the conveyance roller state detection unit 57 of the glass plate manufacturing apparatus shows changes in the diameters of the conveyance rollers 18a and 19a calculated based on the number of days of use of the conveyance rollers 18a and 19a.
  • a device that counts the diameter change of the transport rollers 18a and 19a may be used.
  • the device that counts the diameter change sends the usage days of the transport rollers 18 a and 19 a to the peripheral speed determination unit 58.
  • the peripheral speed determining unit 58 as a past replacement record for each of the transport rollers 18a and 19a, stored in the storage unit 56 of the peripheral speed determining unit 58, shows the amount of wear from the new roller diameter when the roller roller has been replaced in the past.
  • the amount of wear per day is calculated based on these and the number of days until replacement.
  • the new roller diameter stored in the storage unit 56 is referred to, and the roller diameter is calculated according to the following equation.
  • the product of the amount of wear per day ⁇ the number of days of use corresponds to the amount of wear of the transport rollers 18a and 19a, as shown in the following formula using the number of days of use sent from the device for counting the diameter change. Detected.
  • roller diameter new diameter-(amount of wear per day x number of days used)
  • the peripheral speed determination unit 58 stores past replacement results and roller diameters when new, for each of the transport rollers 18a and 19a.
  • the amount of wear per day can be calculated by an operator and stored in the storage unit 56.
  • the diameter change of the transport rollers 18a and 19a due to the wear amount may be calculated by the operator and transmitted to the detection control unit 50 or the drive unit 32. Further, the wear amount of the roller diameter when it was replaced in the past and the number of days used until the replacement may be calculated by the operator, and the calculated value may be stored in the storage unit 56.
  • the second embodiment and the modified example of the third embodiment can be combined.
  • the deviation from the peripheral speed ratio can be compensated more accurately than when the second embodiment or the third embodiment is applied alone. it can.
  • the problem of plastic deformation is likely to occur when both ends (ear portions) in the width direction of the glass ribbon are rapidly cooled by the roller pair 17.
  • the glass liquid phase temperature is as high as 1050 ° C. to 1250 ° C.
  • the adjacent region when both ends (ears) in the width direction of the glass ribbon are rapidly cooled by the roller pair 17 and the center position of the glass ribbon B
  • the production method of the present invention that hardly causes plastic deformation is suitable for production of a glass plate using glass having a liquidus temperature of 1100 ° C. to 1250 ° C. Production of a glass plate using a glass having a liquidus temperature of 1150 ° C.
  • a glass plate for a flat panel display such as a liquid crystal display or an organic EL display having a small liquidus viscosity of 150,000 dPa ⁇ s or less is in a state where devitrification is likely to occur during the molding process. For this reason, it is necessary to raise the temperature of the molten glass at the time of a shaping
  • the present invention is suitable for the production of a glass plate using a glass having a liquidus viscosity of 150,000 dPa ⁇ s or less, and the production method of the present invention is more suitable for the production of a glass plate using 35,000 to 150,000 dPa glass.
  • the production method of the present invention is more suitable for the production of a glass plate using glass of 50,000 to 100,000 dPa ⁇ s, and the production method of the present invention is more suitable for the production of a glass plate of glass using 50,000 to 80,000 dPa ⁇ s. .
  • the production method of the present invention is suitable for producing a glass plate using glass having a thermal expansion coefficient (100 to 300 ° C.) [ ⁇ 10 ⁇ 7 ° C.] of 30 or more.
  • a thermal expansion coefficient 100 to 300 ° C.
  • thermal shock and thermal shrinkage tend to increase in the heat treatment process during the production of the flat panel display.
  • the production method of the present invention is suitable for producing a glass plate having a thermal expansion coefficient (100 to 300 ° C.) [ ⁇ 10 ⁇ 7 ° C.] of less than 30 to 40, and the thermal expansion coefficient is less than 32 to 40
  • the production method of the present invention is more suitable for the production of glass plates, and the production method of the present invention is more suitable for the production of glass plates of 34 to 40.
  • the glass substrate for liquid crystal displays is mentioned suitably, for example.
  • the following glass composition is illustrated as a glass composition of the glass substrate for liquid crystal displays. 50 to 70% by mass of SiO 2 B 2 O 3 0-15% by mass, Al 2 O 3 5 to 25% by mass, MgO 0-10% by mass, CaO 0-20% by mass, SrO 0-20% by mass, BaO 0-10% by mass, RO 5-20% by mass (provided that R is all components contained in the glass plate selected from Mg, Ca, Sr and Ba, and is at least one). It is preferable to contain.
  • non-alkali glass glass containing substantially no alkali component
  • a small amount of an alkali component may be included.
  • R ′ 2 O is more than 0.05% by mass and 2.0% by mass or less, more preferably R ′ 2 O is more than 0.1% by mass and 2.0% by mass or less (provided that R ′ is Li, Na And all components contained in the glass plate selected from K and K, which are at least one kind).
  • a glass ribbon was manufactured according to the following method using a conventional glass plate manufacturing apparatus and the glass plate manufacturing apparatus of the present embodiment, and the wavy deformation generated in the glass ribbon was measured. .
  • the glass plate manufacturing apparatus is the glass plate manufacturing apparatus 1 by the downdraw method shown in FIG.3 and FIG.4, and the glass used the aluminosilicate glass containing the component shown below. SiO 2 60% by mass Al 2 O 3 19.5 mass% B 2 O 3 10% by mass CaO 5% by mass SrO 5% by mass SnO 2 0.5% by mass
  • the peripheral speed determining unit 38 provided the temperature of the glass ribbon B conveyed in the slow cooling furnace in the temperature region D where the glass transition point Tg or more and the softening point SP or less.
  • the peripheral speed of the transport roller 19a provided in the temperature region E downstream of the position where the temperature of the glass ribbon B becomes the annealing point AP is 0.6% faster than the peripheral speed of the transport roller 18a.
  • the peripheral speed of the transport roller 19a is determined, and the rotational drive of each of the transport rollers 18a and 19a is controlled based on the determined peripheral speed, so that the width is 0.5 mm and the length in the width direction is 2000 mm ⁇ the length in the length direction is 2500 mm.
  • a glass substrate for liquid crystal display was prepared.
  • Example 2 the peripheral speed of each of the transport rollers 18a and 19a is determined so as to maintain the peripheral speed distribution, and based on the determined peripheral speed of the transport roller, the transport roller 18a is determined. , 19a except that the glass substrate for liquid crystal display with a thickness of 0.5 mm was manufactured under the same conditions as in Example 1.
  • the peripheral speed determining unit 38 provided the temperature of the glass ribbon B conveyed in the slow cooling furnace in the temperature region D in which the glass transition point Tg or more and the softening point SP or less.
  • the peripheral speed of the transport roller 19a provided in the temperature region E downstream of the position where the temperature of the glass ribbon B becomes the annealing point AP is 0.6% faster than the peripheral speed of the transport roller 18a.
  • the peripheral speed of the transport roller 19a is determined, and the rotational drive of each of the transport rollers 18a and 19a is controlled based on the determined peripheral speed, and is 0.7 mm thick and has a width direction length of 2000 mm ⁇ a length direction length of 2500 mm.
  • a glass substrate for liquid crystal display was prepared.
  • Comparative Example 1 a 0.5 mm thick glass substrate for a liquid crystal display was produced under the same conditions as in Example 1 except that the peripheral speeds of all the transport rollers 18a and 19a were the same. Further, as Comparative Example 2, a 0.7 mm thick glass substrate for a liquid crystal display was produced under the same conditions as in Example 3 except that the peripheral speeds of all the transport rollers 18a and 19a were the same. With respect to the glass substrates for liquid crystal displays of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2 thus obtained, a wave shape deformation (unevenness in the plate thickness direction) generated in an adjacent region of the glass substrate for liquid crystal displays was obtained using a thickness gauge. Measured.
  • Example 1 the wave shape deformation (the height of the unevenness) was 0.05 mm or less.
  • Example 2 the waveform deformation was 0.04 mm or less.
  • Example 3 the waveform deformation was 0.05 mm.
  • Comparative Example 1 the waveform deformation was 0.4 mm.
  • Comparative Example 2 the waveform deformation was 0.25 mm.
  • the glass substrate for a liquid crystal display having a thickness of 0.5 mm and a thickness of 0.7 mm
  • the wave shape was assumed to satisfy the surface quality if it was within 0.2 mm in the thickness direction.
  • the glass substrate for a liquid crystal display of Comparative Example 1 obtained using a conventional manufacturing apparatus had a step due to deformation of the wave shape of 0.4 mm, and did not satisfy the above surface quality.
  • the glass substrate for a liquid crystal display of Comparative Example 2 obtained using a conventional manufacturing apparatus had a step due to deformation of the wave shape of 0.25 mm, and did not satisfy the above surface quality.
  • the glass substrates for liquid crystal displays of Examples 1 to 3 obtained using the manufacturing apparatus 1 of the present embodiment have a step difference of 0.05 mm or less due to the deformation of the wave shape, and satisfy the above-described surface quality. It was.
  • the height of the corrugated irregularities of Example 1 was improved to 1/8.
  • the height of the corrugated irregularities of Example 2 was improved to 1/10.
  • the height of the corrugated irregularities of Example 3 was improved to 1/5.

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Abstract

　ガラス板の製造方法は、熔解工程と、オーバーフローダウンドロー法を用いた成形工程と、ガラスリボンの徐冷工程とを有する。ガラスリボンの徐冷工程では、ガラスリボンの幅方向の両端部に対してこの幅方向に隣接する近傍領域を、ガラスリボンの搬送方向に設けられた複数の搬送ローラ対で挟持しつつ、ガラスリボンを下方向に引き抜いて徐冷を行う。成形工程では、ガラスリボンを形成した後に、ガラスリボンの幅方向の両端部をガラスリボンの幅方向の中央部よりも速く冷却する。徐冷工程では、ガラスリボンに塑性変形が生じないように、ガラスリボンの温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる温度領域において、ガラスリボンに対して搬送方向に張力を働かせる。

Description

ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置
　本発明は、ガラス板の製造方法及びガラス板製造装置に関する。
　ダウンドロー法を用いたガラス板の製造方法では、まず、成形工程において、成形体から溶融ガラスがオーバーフローしてガラスリボンが形成される。そして、続く徐冷工程において、ガラスリボンが、搬送ローラ対で狭持されつつ下方向に引き込まれることで、所望の厚さに引き伸ばされ、内部に歪が発生しないように、またガラスリボンが反らないように、ガラスリボンの冷却が行われる。その後、ガラスリボンは、所定の寸法に切断され、合紙等を挟んでお互いに積載され、又は、さらに搬送され次工程において処理（例えば、形状加工、イオン交換による化学強化処理）が施される。
　従来のダウンドロー法を用いたガラス板の製造方法として、成形体の直下に設けられた冷却ローラ対の周速度を、この搬送ローラ対よりも下方に設けられた、ガラスリボンを下方向に引っ張るための搬送ローラ対の周速度よりも小さくすることで、ガラス板の反りを低減することが知られている（特許文献１）。
　また、成形体の下方に配された複数の搬送ローラ対において、上方に配置された搬送ローラ対の周速度よりも、下方に設置された搬送ローラ対の周速度を速くすることで、ガラス板の反りを低減することが知られている（特許文献２）。
特開平１０－２９１８２６号公報 特開平１０－２９１８２７号公報
　ところで、徐冷工程におけるガラスリボンの幅方向の両端部は「耳」若しくは「耳部」と言われ、ガラス基板製品として利用されずに、ガラスリボンから切断され、除去される。通常、この耳部は、製品（ガラス基板）として利用できる領域（以下、幅方向中央領域ともいう）と比べ、厚さが２～５倍厚くなっている。ここで、耳部の厚さは、製品の板厚が変化してもそれほど変わらないので、製品として利用される幅方向中央領域の厚さとの差は、製造しようとする製品の厚さが薄いほど大きくなる。なお、複数の搬送ローラ対は、耳部よりも幅方向内側の部分を挟持して、ガラスリボンの搬送を行う。
　特許文献１の製造方法では、成形体の直下において、耳部をガラスリボンの幅方向中央領域よりも早く冷却することで、ガラスリボンの幅方向に張力を働かせている。ここで、搬送ローラのシャフトは、高温で変形するのを防ぐために、ガラスリボンに比べると低い温度に維持されており、搬送ローラそのものも、接触するガラスの温度よりは低温である。このため、搬送ローラ対に挟持される領域のガラスは、その周辺領域よりも早く冷却される。また、ガラスリボンの板厚が薄い場合、耳部や搬送ローラ対に狭持される領域よりも幅方向内側であって搬送ローラ近傍の隣接領域（図７中符号Ｓで示す領域）も、早く冷却される。これは、当該隣接領域が、耳部と比べ厚さが極めて小さいため、耳部よりも保有熱量が小さく、また、ガラスリボンの幅方向中央部と比べ搬送ローラや徐冷炉の外壁に近く、冷却されやすいためである。なお、図７は、従来のガラス板製造装置を示し、図中の他の参照符号は、後述する実施形態で説明する各要素の符号と同じである。
　特許文献２の製造方法では、下方に設けられた搬送ローラの周速度を上方に設けられた搬送ローラよりも速くするものであり、搬送方向の上流側から下流側にかけて搬送ローラの周速度を順に速くしていくことで、ガラスリボンに対し搬送方向に常に張力を加えるという考え方に基づいている。
　しかしながら、特許文献２のように単に上流に対し、下流の搬送ローラの周速度を速くしても、効果が出ないばかりか、例えば板厚が０．５ｍｍ以下などの薄いガラス板を製造する場合に、例えば、実施例［００４５］に記載されるような周速度差をつけると、ガラスリボンが割れてしまう虞があり、非常に危険である。
　そこで、本発明は、ガラス板を製造する際に、徐冷炉内での冷却時に、ガラスリボンの複数の搬送ローラで狭持される部分に隣接する隣接領域に波形状の変形が生じるのを抑えるガラス板の製造方法及びガラス板製造装置を提供することを目的とする。
　本発明の一態様は、ガラス板の製造方法である。
　当該製造方法は、
　ガラス原料を熔解して溶融ガラスをつくる熔解工程と、
　溶融ガラスを、オーバーフローダウンドロー法を用いて成形し、ガラスリボンを形成する成形工程と、
　前記ガラスリボンの幅方向の両端部に対して前記幅方向に隣接する近傍領域を、前記ガラスリボンの搬送方向に設けられた複数の搬送ローラ対で挟持しつつ、前記ガラスリボンを下方向に引き抜いて徐冷を行う徐冷工程と、を有する。
　前記成形工程では、成形体からオーバーフローさせて前記成形体の側壁を流下する熔融ガラスを、前記成形体の下端で張り合わせることで前記ガラスリボンを形成した後に、前記ガラスリボンの幅方向の前記両端部を前記ガラスリボンの幅方向の中央部よりも速く冷却する。
　前記徐冷工程では、前記ガラスリボンに塑性変形が生じないように、前記ガラスリボンの温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる温度領域において、前記ガラスリボンに対して前記搬送方向に張力を働かせる。
　その際、前記徐冷工程では、前記搬送ローラ対のうち、前記ガラスリボンの温度がガラス徐冷点となる位置よりも下流側に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度を、前記搬送ローラ対のうち、前記ガラスリボンの温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる温度領域に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度よりも速くする、ことが好ましい。
　前記ガラス板は、例えば、板厚０．５ｍｍ以下とするこができる。
　また、前記徐冷工程では、前記搬送ローラで狭持される部分に対して前記ガラスリボンの幅方向内側に隣接する隣接領域に塑性変形が生じないように、前記隣接領域の温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる温度領域において、前記ガラスリボンに対して搬送方向の張力を働かせる、ことが好ましい。
　さらに、前記徐冷工程では、前記搬送ローラ対のうち、前記ガラスリボンの搬送ローラで狭持される部分に対して前記ガラスリボンの幅方向内側に隣接する隣接領域の温度がガラス徐冷点となる位置よりも下流側に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度を、前記搬送ローラ対のうち、前記隣接領域の温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる温度領域に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度よりも速くする、ことが好ましい。
　また、前記成形体の下端で前記熔融ガラスを張り合わせてガラスリボンを形成した後に、前記ガラスリボンの幅方向の前記両端部の粘度をηとしたときｌｏｇη＝９以上となるまで前記両端部が冷却され、かつ、前記両端部の冷却速度が前記ガラスリボンの幅方向の中央部の冷却速度よりも速い工程をガラス板の製造方法が含む、ことが好ましい。
　前記徐冷工程では、
　前記ガラスリボンの幅方向の中央部において、ガラスリボンの搬送方向に張力が働くように、少なくとも、前記ガラスリボンの幅方向の中央部の温度がガラス徐冷点に１５０℃を足した温度からガラス歪点から２００℃引いた温度となる温度領域において、
　前記ガラスリボンの幅方向の中央部の冷却速度が前記幅方向の両端部の冷却速度よりも速くなるように温度制御する、ことが好ましい。
　また、前記ガラスリボンの温度の制御を、以下のように行うことが好ましい。
　前記ガラスリボンの幅方向の中央部の温度がガラス軟化点以上の領域において、前記ガラスリボンの幅方向の両端部が前記両端部に挟まれた中央部の温度より低く、且つ、前記中央部の温度が均一になるように前記ガラスリボンの温度を制御する。
　前記ガラスリボンの幅方向の中央部において、ガラスリボン搬送方向の張力が働くように前記ガラスリボンの前記中央部の温度がガラス軟化点未満ガラス歪点以上の領域において、前記ガラスリボンの幅方向の温度分布が前記中央部から前記両端部に向かって低くなるように前記ガラスリボンの温度を制御する。
　前記ガラスリボンの前記中央部の温度がガラス歪点となる温度領域において、前記ガラスリボンの幅方向の前記両端部と前記中央部との温度勾配がなくなるよう前記ガラスリボンの温度を制御する。
　さらに、前記ガラスリボンの幅方向の中央部において、ガラスリボン搬送方向の張力が働くように前記ガラスリボンの前記中央部の温度がガラス歪点近傍未満の領域において、前記ガラスリボンの前記両端部から前記中央部に向かって低くなるように前記ガラスリボンの温度を制御する、ことが好ましい。
　前記徐冷工程では、前記搬送ローラ対のうち、前記ガラスリボンの温度がガラス徐冷点となる位置よりも下流側に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度を、前記ガラスローラ対のうち、前記ガラスリボンの温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる温度領域に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度よりも０．０３～２％速くする、ことが好ましい。
　前記ガラス板の幅方向の長さは、例えば１０００ｍｍ以上である。
　前記徐冷工程は、２００ｍ／時以上の搬送速度で前記ガラスリボンを下方向に引き抜いて徐冷する、ことが好ましい。
　本発明の他の態様のガラス板の製造方法は、
　ガラス原料を熔解して溶融ガラスをつくる熔解工程と、
　溶融ガラスをダウンドロー法を用いて成形し、ガラスリボンを形成する成形工程と、
　前記ガラスリボンの幅方向の両端部に幅方向に隣接する近傍領域を、前記ガラスリボンの搬送方向に設けられた複数の搬送ローラ対で挟持しつつ、前記ガラスリボンを下方向に引き抜いて徐冷を行い、板厚０．５ｍｍ以下のガラスリボンを形成する徐冷工程と、を有する。
　前記徐冷工程では、前記ガラスリボンの温度が徐冷点となる位置よりも下流側に設けられた前記搬送ローラ対の搬送ローラの周速度を、前記ガラスリボンの温度がガラス転移点以上軟化点以下となる温度領域に設けられた前記搬送ローラ対の前記搬送ローラの周速度よりも速くする。
　さらに、本発明の他の一態様は、ガラス板製造装置である。
　当該装置は、
　ダウンドロー法を用いて溶融ガラスからガラスリボンを成形する成形装置と、
　前記ガラスリボンの幅方向の両端部に幅方向に隣接する近傍領域を複数の搬送ローラ対で挟持しつつ、前記ガラスリボンを下方向に引き抜いて徐冷し、板厚０．５ｍｍの前記ガラスリボンを形成する徐冷装置と、を有し、
　前記徐冷装置は、前記複数の搬送ローラ対と、駆動部とを含み、
　前記複数の搬送ローラ対の１つは、前記ガラスリボンの温度がガラス転移点以上軟化点以下となる第１温度領域に、前記複数の搬送ローラ対の他の１つは、前記ガラスリボンの温度がガラス徐冷点以下となる第２温度領域に設けられて前記ガラスリボンを下方向に引き込むことで前記ガラスリボンを搬送し、
　前記駆動部は、前記第２温度領域に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度が、前記第１温度領域に設けられた搬送ローラの周速度よりも速くなるように決定された搬送ローラの周速度に基づいて、前記搬送ローラを回転駆動させる。
　上述のガラス板の製造方法及びガラス板製造装置は、徐冷炉内を搬送されるガラスリボンに対し搬送方向に効果的に張力を働かせることができ、ガラスリボンの搬送ローラ対に狭持される部分に隣接する隣接領域に波形状の変形が生じるのを抑えることができる。
本実施形態のガラス板の製造方法のフローの一例を示す図である。 本発明の第１実施形態のガラス板製造装置の内部を説明する平面図である。 図２のＩＩＩ線矢視断面図である。 本発明の第１実施形態の搬送ローラ対の回転駆動を制御する制御系の構成を説明するブロック図である。 本発明の第２実施形態の搬送ローラ対の回転駆動を制御する制御系の構成を説明するブロック図である。 本発明の第３実施形態の搬送ローラ対の回転駆動を制御する制御系の構成を説明するブロック図である。 従来のガラス板製造装置の内部を説明する平面図である。
　以下、本発明のガラス板の製造方法及びガラス板製造装置について詳細に説明する。
　また、本明細書における下記語句は、以下のように定める。
　ガラスリボンの中央部とは、ガラスリボンの幅方向の幅のうちガラスリボンの幅方向の中心をいう。
　ガラスリボンの中央領域とは、ガラスリボンの幅方向の幅のうちガラスリボンの幅方向の中心から幅の８５％以内の範囲をいう。
　ガラスリボンの両端部とは、ガラスリボンの幅方向の縁から２００ｍｍ以内の範囲をいう。
　ガラスリボンの幅方向の両端部に対して幅方向に隣接する近傍領域とは、上記両端部の幅方向内側の縁から、ガラスリボンの幅の２０％以内の長さ分、幅方向内側に入った範囲までに含まれる領域をいう。
　搬送ローラで狭持される部分に対してガラスリボンの幅方向内側に隣接する隣接領域とは、搬送ローラで狭持される部分の幅方向の内側の縁から、ガラスリボンの幅の６％以内の長さ分、幅方向内側に入った範囲までに含まれる領域をいう。
　ガラスリボンの温度とは、後述するように、ガラスリボンに温度分布がある場合、ガラスリボンの周りの雰囲気温度から換算される値であり、例えば、雰囲気温度に－２５～－５℃の範囲で定められた温度を加算した温度をいう。
（ガラス板の製造方法）
　図１は、本実施形態のガラス板の製造方法のフローの一例を説明する図である。ガラス板の製造方法は、熔解工程（ステップＳ１０）と、清澄工程（ステップＳ２０）と、攪拌工程（ステップＳ３０）と、成形工程（ステップＳ４０）と、徐冷工程（ステップＳ５０）と、採板工程（ステップＳ６０）と、形状加工工程（ステップＳ７０）と、を主に有する。
　熔解工程（ステップＳ１０）では、図示されない熔解炉で、ガラス原料が、その上方からの間接加熱と、ガラス中に電流を流すことによる直接加熱とにより高温に加熱されて、溶融ガラスが作られる。ガラスの熔解は、これ以外の方法で行われてもよい。
　次に、清澄工程が行われる（ステップＳ２０）。清澄工程では、溶融ガラスが図示されない液槽に貯留された状態で、例えば、熔解工程での加熱時よりも溶融ガラスの温度を上昇させることで、溶融ガラス中の気泡の脱泡が促進される。これにより、最終的に得られるガラス板中の気泡含有率を低減することができ、歩留まりを向上させることができる。
　清澄工程は、他の方法によって行われてよく、例えば、溶融ガラスが液槽に貯留された状態で、溶融ガラス中の気泡が清澄剤を用いて取り除かれてもよい。清澄剤としては、特に制限されず、例えば、酸化スズ、酸化鉄等の金属酸化物が用いられる。この場合の清澄工程は、具体的には、溶融ガラス中で価数変動する金属酸化物の酸化還元反応によって行われる。高温時の溶融ガラスにおいて、金属酸化物は還元反応により酸素を放出し、この酸素がガスとなって、溶融ガラス中の気泡を成長させて液面に浮上させる。これにより、溶融ガラス中の気泡は脱泡される。あるいは、酸素ガスの気泡は、溶融ガラス中の他の気泡中のガスを取り込んで成長し、溶融ガラスの液面に浮上する。これにより、溶融ガラス中の気泡は脱泡される。さらに、金属酸化物は、溶融ガラスの温度が低下すると、酸化反応により溶融ガラス中に残存した酸素を吸収し、溶融ガラス中の気泡を減少させる。
　次に、攪拌工程が行われる（ステップＳ３０）。攪拌工程では、ガラスの化学的および熱的均一性を保つために、攪拌装置により、溶融ガラスが機械的に攪拌される。これによって、脈理等のガラスの不均一性を抑制することができる。
　次に、成形工程が行われる（ステップＳ４０）。成形工程では、ダウンドロー法が用いられる。オーバーフローダウンドローやスロットダウンドロー等を含むダウンドロー法は、例えば特許第３５８６１４２号公報や図２及び図３に示された装置を用いた公知の方法である。例えば、オーバーフローダウンドロー法の成型工程は、成形体から溶融ガラスをオーバーフローさせて成形体の側壁を流下させ、さらに、この熔融ガラスを、成形体の下端で張り合わせることでガラスリボンを形成する工程である。ダウンドロー法における成形工程については、後述する。これにより、所定の厚さ、幅を有するシート状のガラスリボンが成形される。成形方法としては、ダウンドロー法の中でも、オーバーフローダウンドローが最も好ましいが、スロットダウンドローでもよい。
　成形工程では、形成されたガラスリボンの耳部（幅方向の両端部）を冷却する。より詳細には、両端部に向かって張力を加えながらガラスリボンの耳部（幅方向の両端部）の粘度についてｌｏｇη＝９以上となるまでガラスリボンの耳部（幅方向の両端部）を冷却することができる。このとき、ガラスリボンの耳部（幅方向の両端部）の冷却速度は、ガラスリボンの幅方向の中央部の冷却速度よりも速い。なお、ガラスリボンの温度制御は、例えば、冷却ローラ、ガラスリボンの幅方向の両端部の近傍に設けられた風冷管などの冷却手段や、ガラスリボンの幅方向及び搬送方向に複数設けられたヒータなどの加熱手段を制御することにより実現することができる。
　次に、徐冷工程が行われる（ステップＳ５０）。徐冷工程では、シート状に成形されたガラスリボンは、歪みが発生しない又は低減するように冷却速度を制御して、図２及び図３に示す徐冷炉にて徐冷点以下に冷却される。具体的には、ガラスリボンの幅方向の両端部に幅方向に隣接する近傍領域が、ガラスリボンの搬送方向に少なくとも２つ設けられた複数の搬送ローラ対で挟持されつつ、例えば、下記の搬送ローラの周速度にて下方向に引き抜かれながら徐冷される。このような搬送速度でガラスリボンを搬送しつつ徐冷することにより、例えば板厚０．５ｍｍ以下のガラスリボンが形成される。ガラスリボンの温度が歪点の近傍になるときに、ガラスリボンの幅方向の両端部と幅方向の中央部との温度勾配がなくなるよう制御することで、ガラスリボンに発生する歪を低減することができる。
　より詳細には、徐冷工程では、ガラスリボンの温度プロファイルを幅方向で一山の分布とし、その後一山の分布が搬送方向下流側に進むにつれて徐々に小さくなるように、ガラスリボンの周りに配置されるヒータ等の制御を行ってもよい。その際、ガラスリボンの歪点近傍の温度領域において、一山の分布が平坦な直線状の分布、すなわち幅方向の温度分布が一定となるように、図示されないヒータ等の制御を行うことができる。言い換えると、ガラスリボンの徐冷点に１５０℃を足した温度から歪点までの温度領域において、ガラスリボンの幅方向における中央部の冷却速度を、ガラスリボン幅方向の両端部の冷却速度よりも速くし、ガラスリボンの幅方向における中央部の温度が両端部よりも高い状態から歪点近傍の温度領域で同じになるように、温度プロファイルが一定になるようにしてもよい。
　さらに、ガラスリボンの温度が徐冷点から（歪点－５０℃）となる温度において、他の温度域に比べてゆっくりガラスリボンを徐冷してもよい。これにより、ガラスリボンの熱収縮率を低減することができる。
　さらに、ガラスリボンの温度が、歪点から、歪点から２００℃引いた温度になる温度領域において、ガラスリボンの温度プロファイルを幅方向に沿って谷になり、その谷の深さが搬送方向下流側に進むにつれて大きくなるように、すなわち、中央部の温度が両端部に比べて次第に低くなるように、図示されないヒータ等の制御を行ってもよい。このように、温度プロファイルにおいて徐々に谷を深くすることで、ガラスエッジに常にコンプレッションが加えることができるので、ガラスリボンが割れてしまうことを抑制できる。
　ここで、搬送ローラの周速度は、ガラス板の生産性を向上させる観点からは、速いことが好ましい。具体的に、搬送ローラの周速度は、１５０ｍ／時よりも速いことが好ましく、２００ｍ／時以上であることが好ましく、例えば、２２０ｍ／時以上、２４０ｍ／時以上、２５０ｍ／時以上、２７０ｍ／時以上、３００ｍ／時以上、３４０ｍ／時以上であってもよい。また、ガラスリボンの板厚は、薄いほど搬送ローラ対で挟持される部分の内側の保有熱が小さくなるので、０．５ｍｍ以下であるとより本発明に好適となり、例えば、０．４ｍｍ以下であるとさらに本発明に好適となり、０．３ｍｍ以下であるとさらに本発明に好適となり、０．２５ｍｍ以下であるとさらに本発明に好適となる。言い換えると、０．０１～０．５ｍｍであるとより本発明に好適となり、例えば、０．０１～０．４ｍｍであるとさらに本発明に好適となり、０．０１～０．３ｍｍであるとさらに本発明に好適となり、０．０１～０．２５ｍｍであるとさらに本発明に好適となる。なお、搬送ローラの周速度は、上記のものに限定されるものではなく、例えば、溶融ガラスが１日に後述する成形体に流入される量が６ｔ未満である場合は、あるいは、溶融ガラスが１日に成形体に流入される量が６ｔ以上である場合であっても製造するガラスの幅方向の大きさによっては、２００ｍ／時以下となることもある。溶融ガラスが１日に成形体に流入される量は、２ｔ以上であってもよく、６ｔ以上、１０ｔ以上、１６ｔ以上、２０ｔ以上であってもよい。なお、溶融ガラスが１日に成形体に流入される量（ＭＧ量）は、ガラス板の生産性を向上させる観点から、多いほど好ましい。
　徐冷工程では、ガラスリボンの温度が徐冷点となる位置よりも下流側に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度を、ガラスリボンの温度がガラス転移点以上軟化点以下となる温度領域に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度よりも速く、例えば、０．０３～２％速くする。
　徐冷工程の後、採板工程が行われる（ステップＳ６０）。具体的に、連続的に生成されるガラスリボンは一定の長さ毎に切断され、ガラス板が採板される。
　この後、形状加工工程が行われる（ステップＳ７０）。形状加工工程では、所定のガラス板のサイズや形状に切り出す他、ガラス端面の研削・研磨が行われる。形状加工は、カッターやレーザを用いた物理的手段を用いても、エッチングなどの化学的手段を用いてもよい。
　ガラス板の製造方法は、この他に、洗浄工程及び検査工程を有するが、これらの工程の説明は省略する。なお、清澄工程及び攪拌工程はそれぞれ省略できる。
（ガラス板製造装置）
　図２及び図３は、本発明の第１実施形態であるガラス板製造装置１の概略構成図である。本実施形態のガラス板製造装置１およびガラス板製造装置１を用いたガラス板の製造方法は、液晶表示装置あるいは有機ＥＬ表示装置等のフラットパネルディスプレイのガラス基板や携帯端末器の表示面のカバーガラスの製造に好適に適用される。これは、液晶表示装置あるいは有機ＥＬ表示装置等は近年、高精度、高画質が要求されており、それに使用されるガラス基板には波形状変形が０．２ｍｍ以下であることが要求されているためである。また、カバーガラスは、装置の表示面などに適用されることから、それに使用されるガラス基板には極めて高い平滑性が要求されているためである。
　ガラス板製造装置１は、ダウンドロー法を用いて溶融ガラスＡからガラス板Ｃを製造する。ガラス板製造装置１は、上下方向の３箇所に配された断熱板２１，２２，２３によって間仕切りされてなる、炉室１１、第１の徐冷炉１２、第２の徐冷炉１３、図示しない採板室を有している。断熱板２１～２３は、セラミックファイバ等の断熱材からなる板状部材である。断熱板２１～２３には、後述するガラスリボンＢが下方に向かって通過するように、それぞれ搬送孔１６が形成されている。断熱板２１～２３はそれぞれ、図２において、理解の容易さのため、後述する炉壁１５に接する水平方向の２個所を除いて図示を省略しているが、ガラスリボンＢに対し紙面前面側及び背面側において、水平方向の２個所同士は一体に繋がっている。なお、図２及び図３では、断熱板により３箇所で間仕切りがされている例が示されているが、断熱板の個数及び設置位置は特に限定されず、断熱板は１以上設けられていればよい。なお、断熱板の数が多いほど、独立して雰囲気温度を制御できる空間が多くなり、徐冷条件の調整が容易になるので、後述する徐冷装置３には、断熱板が複数設けられ、複数の空間に間仕切りされていることが好ましい。言い換えると、徐冷炉は１以上設けられていてればよいが、３以上設けられていることがさらに好ましい。
　ガラス板製造装置１は、成形装置２と、徐冷装置３、採板装置４とを有する。
　成形装置２は、溶融ガラスＡからダウンドロー法を用いてガラスリボンＢを成形する装置である。成形装置２は、耐火物レンガやブロック状の電鋳柱耐火物等により組み立てられた炉壁１５で囲まれた炉室１１を有している。炉室１１内には、成形体１０と、ローラ対１７とが設けられている。成形体１０は、上方に向かって開放された溝１０ａを含み（図３参照）、溝１０ａ内を溶融ガラスＡが流れる。成形体１０は、例えば煉瓦により構成されている。ローラ対１７は、成形体１０の下端で融合した溶融ガラスＡの幅方向両側の端部（幅方向の両端部）に対応する位置にそれぞれ１対設けられ、溶融ガラスＡを狭持し下方に向けて搬送する。なお、図２中紙面内の左右方向及び図３中の紙面に垂直方向が、ガラスリボンＢの幅方向である。図２及び図３中紙面内の上下方向が、ガラスリボンＢの搬送方向である。なお、図２及び図３では、成形体１０とローラ対１７が、間仕切りされずに設置されているが、徐冷条件の調整（雰囲気温度調整）を容易にするため、これらの間に断熱板を設けて間仕切りしてもよい。また、ローラ対１７は、搬送方向に２対以上設置されても良い。
（徐冷装置）
　徐冷装置３は、ガラスリボンＢを複数の搬送ローラ対１８，１９で挟持しつつ下方に向けて引き抜きながら徐冷する。徐冷装置３は、炉室１１の下方に隣接して設けられた第１の徐冷炉１２及び第２の徐冷炉１３を有している。第１の徐冷炉１２及び第２の徐冷炉１３は、炉室１１をも構成する上述の炉壁１５で囲まれてなる。徐冷装置３は、第１の徐冷炉１２及び第２の徐冷炉１３内に、ガラスリボンＢの搬送方向に沿って配された、後述するコンピュータに自動制御される加熱手段が設けられている。加熱手段は、特に制限されず、例えば電気ヒータが用いられる。第１の徐冷炉１２及び第２の徐冷炉１３内のガラスリボンＢの周りの雰囲気温度は、加熱手段で加熱されることにより、ガラスリボンＢに反りや歪が発生しないように、ガラスリボンＢの幅方向及び搬送方向の温度分布が後述するような分布を持つように温度制御されている。第１の徐冷炉１２及び第２の徐冷炉１３内には、加熱手段で加熱されることにより、ガラスリボンＢの搬送方向上流側から順に、ガラスリボンＢがそれぞれ、軟化点ＳＰとなる点、ガラス転移点Ｔｇとなる点、徐冷点ＡＰとなる点、歪点ＳｔＰとなる点が生じる。軟化点ＳＰとは、ガラスの粘度が１０７．６ｄＰａ・ｓの温度を示す。また、徐冷点ＡＰとは、ガラスの粘度が１０１３ｄＰａ・ｓの温度を示している。歪点ＳｔＰとは、ガラスの粘度が１０１４．５ｄＰａ・ｓの温度を示している。なお、図２及び図３において、ガラスリボンＢの温度がこれらの点ＳＰ，Ｔｇ，ＡＰ，ＳｔＰの温度となるガラスリボンＢの位置は、破線の各引き出し線を水平方向に延長したときにガラスリボンＢと交わる点で表される。なお、徐冷炉１２，１３内の搬送ローラ対１８，１９の設置数に制約は無く、少なくとも１以上設けられていればよい。
　搬送ローラ対１８，１９は、第１の徐冷炉１２内には、ガラスリボンＢの搬送方向に配された３つの搬送ローラ対１８が設けられている。第２の徐冷炉１３内には、ガラスリボンＢの搬送方向に配された４つの搬送ローラ対１９が設けられている。本実施形態では、最上流側の２つの搬送ローラ対１８は、ガラス転移点Ｔｇ以上軟化点ＳＰ以下のガラスリボンＢの温度領域Ｄ（第１温度領域）に配されている。上流側から３番目及び４番目の搬送ローラ対１８は、徐冷点ＡＰより高くガラス転移点Ｔｇ未満となるガラスリボンＢの温度領域に配されている。上流側から５～７番目の搬送ローラ対１９は、徐冷点ＡＰ以下となるガラスリボンＢの温度領域Ｅ（第２温度領域）に配されている。なお、軟化点ＳＰは、炉室１１内にあってもよい。搬送ローラ対１８，１９が、温度領域Ｄにあるか、温度領域Ｅにあるか、あるいは、徐冷点ＡＰより高くガラス転移点Ｔｇ未満となるガラスリボンＢの温度領域等の情報は、後述するように、温度センサ３４の計測によって得られたガラスリボンＢの周りの雰囲気温度に基づいて点ＳＰ，Ｔｇ，ＡＰ，ＳｔＰの位置を推定し、この推定した点ＳＰ，Ｔｇ，ＡＰ，ＳｔＰの位置から決定される。
　さらに、徐冷装置３は、検出制御部３０と、駆動部３２とを有している（図４参照）。
　搬送ローラ対１８，１９は、ガラスリボンＢを下方に向かって引き込むことでガラスリボンＢを搬送する。各搬送ローラ対１８は、ガラスリボンＢの幅方向の両端部に隣接する近傍領域を狭持するようガラスリボンＢの両側に配された４つの搬送ローラ１８ａと、ガラスリボンＢに対し同じ側にある２つの搬送ローラ１８ａを連結する、ガラスリボンＢの両側に配された２本の駆動用シャフト１８ｂとを有している。各搬送ローラ対１９は、ガラスリボンＢの幅方向の両端部に隣接する近傍領域を狭持するようガラスリボンＢの両側に配された４つの搬送ローラ１９ａと、ガラスリボンＢに対し同じ側にある２つの搬送ローラ１９ａを連結する、ガラスリボンＢの両側に配された２本の駆動用シャフト１９ｂとを有している。なお、搬送ローラ対１８，１９は、上述のものに限定されない。例えば、各ローラ対の搬送ローラは、ガラスリボンＢに対し同じ面側にあるもの同士が、駆動用シャフトによって連結されずに、ローラ対１７のローラと同様に、ガラスリボンＢの幅方向の両端部に独立して配置されたものであっても良い。
　成形装置２の炉室１１、第１の徐冷炉１２、及び第２の徐冷炉１３内のガラスリボンＢの周りの雰囲気温度は、具体的に、ガラスリボンＢが以下の温度分布を持つように温度制御されてもよい。
　すなわち、成形体の下端で熔融ガラスＡを張り合わせてガラスリボンＢを形成した後に、ガラスリボンＢの幅方向の両端部（耳部）の粘度をηとしたときｌｏｇη＝９以上、好ましくはｌｏｇη＝９以上１４．５以下となるまで両端部が冷却され、かつ、両端部の冷却速度がガラスリボンＢの幅方向の中央部の冷却速度よりも速くなるように、温度制御される。
　あるいは、第１の徐冷炉１２及び第２の徐冷炉１３内で行われる徐冷工程では、ガラスリボンＢの搬送方向に引っ張り応力が働くように、少なくとも、ガラスリボンの幅方向の中央部の温度が徐冷点に１５０℃を足した温度から歪点から２００℃引いた温度となる温度領域において、ガラスリボンＢの幅方向の中央部の冷却速度が、ガラスリボンＢの幅方向の両端部（耳部）の冷却速度よりも速くなるように温度制御することもできる。これにより、徐冷工程では、ガラスリボンＢの幅方向の中央部で、常に搬送方向に引っ張り応力をかけることができる。
　あるいは、ガラスリボンＢの幅方向の中央部の温度がガラス軟化点以上の領域において、ガラスリボンＢの幅方向の両端部（耳部）が中央部の温度より低く、且つ、中央部の温度が均一になるようにガラスリボンＢの温度を制御する。さらに、ガラスリボンＢの幅方向中央部に搬送方向の引っ張り応力が働くようにガラスリボンＢの幅方向の中央部の温度が軟化点未満歪点以上の領域において、ガラスリボンＢの幅方向の温度分布が中央部から両端部に向かって低くなるようにガラスリボンＢの温度を制御する。さらに、ガラスリボンＢの幅方向の中央部の温度が歪点となる温度領域において、ガラスリボンの幅方向の両端部（耳部）と中央部との温度勾配がなくなるようガラスリボンＢの温度を制御する。これにより、ガラスリボンＢの幅方向の中央部には、搬送方向の引っ張り応力がかかる。
　さらに、ガラスリボンＢの幅方向中央部に搬送方向の張力が働くようにガラスリボンＢの幅方向の中央部の温度が歪点近傍未満の領域において、ガラスリボンＢの幅方向の両端部（耳部）からガラスリボンＢの幅方向の中央部に向かって低くなるようにガラスリボンＢの温度を制御することもできる。これにより、ガラスリボンＢの幅方向の中央部の歪点近傍未満の領域では、ガラスリボンＢの幅方向の中央部で、常に搬送方向に引っ張り応力をかけることができる。
　さらに、徐冷工程は、ガラスリボンＢの幅方向の中央部の温度が、徐冷点になるまで、第１の平均冷却速度で冷却する第１の冷却工程と、ガラスリボンＢの幅方向の中央部の温度が、徐冷点から歪点－５０℃になるまで、第２の平均冷却速度で冷却する第２の冷却工程と、ガラスリボンの中央部の温度が、歪点－５０℃から歪点－２００℃になるまで、第３の平均冷却速度で冷却する第３の冷却工程と、を含むこともできる。この場合、第１の平均冷却速度は、５．０℃／秒以上であり、第１の平均冷却速度は、第３の平均冷却速度より速く、第３の平均冷却速度は、第２の平均冷却速度より速い。すなわち、平均冷却速度は、高い順番に、第１の平均冷却速度、第３の平均冷却速度、第２の平均冷却速度となっている。ガラスリボンＢの搬送方向の冷却速度は、製造されるガラス板の熱収縮に影響を与える。しかし、上述のように冷却速度を設定することにより、ガラス板の製造量を向上させつつ、好適な熱収縮率を有するガラス板を得ることができる。
　このように、成形工程、徐冷工程を行う炉室１１、第１の徐冷炉１２、及び第２の徐冷炉１３内では、ガラスリボンＢが上述した温度を有するように、ガラスリボンＢの周りの雰囲気温度が加熱手段で制御される。
　検出制御部３０は、図４に示すように、搬送ローラ対１８，１９に対応して配された温度センサ３４と、周速度決定部３８として機能する図示されないコンピュータとを備える。図４は、搬送ローラ対１８，１９の回転駆動を制御する制御系の構成を説明するブロック図である。各温度センサ３４は、周速度決定部３８に接続されている。また、周速度決定部３８は、駆動部３２を介して搬送ローラ対１８，１９を駆動するように接続されている。検出制御部３０の詳細は、後述する。
　駆動部３２は、後述する記憶部３６に記憶された搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度に基づいて、搬送ローラ１８ａ，１９ａを回転駆動させる。駆動部３２は、各搬送ローラ対１８，１９に対応して設けられた、図示されないモータを有している。なお、モータは、各搬送ローラ対１８，１９に対応して設けられていなくてもよく、その数は、例えば、各搬送ローラ対１８，１９の数より少なくてもよい。この場合、複数の搬送ローラ１８ａ，１９ａが１台のモータで駆動されるように、各搬送ローラ１８ａ，１９ａ間で速度比を変更できるギアを備えたものを用いることができる。この場合、モータからの駆動力は、例えば、ユニバーサルジョイントなどを介して搬送ローラ１８ａ，１９ａに伝達される。
（検出制御部）
　ここで、検出制御部３０について、より詳細に説明する。
　温度センサ３４は、第１の徐冷炉１２及び第２の徐冷炉１３内での配置位置における雰囲気温度をそれぞれ検出する。
　周速度決定部３８は、複数の搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度を、製造するガラス板の厚さなどに基づいて決定する。そして、搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度は、温度領域Ｄに設けられた全ての搬送ローラ１８ａよりも、温度領域Ｅに設けられた全ての搬送ローラ１９ａの方が速くなるよう、好ましくはガラスリボンＢの温度が歪点ＳｔＰとなる位置よりも下流に設けられた搬送ローラ１９ａの方が速くなるよう決定される。すなわち、徐冷工程では、ガラスリボンＢに波形状の塑性変形が生じないように、ガラスリボンＢの温度がガラス転移点以上軟化点以下となる温度領域において、ガラスリボンＢに対して搬送方向に張力を働かせるように、複数の搬送ローラ１８ａ，１９ａが制御される。
　具体的に、周速度決定部３８は、まず、後述する記憶部３６に記憶されたガラスリボンＢの軟化点ＳＰ、ガラス転移点Ｔｇ、徐冷点ＡＰ、歪点ＳｔＰを参照し、温度センサ３４により検出された雰囲気温度に基づいて、徐冷炉１２，１３内でのこれらの点ＳＰ，Ｔｇ，ＡＰ，ＳｔＰの位置を推定する。次いで、周速度決定部３８は、温度領域Ｅに設けられた３本の搬送ローラ１９ａの周速度を、温度領域Ｄに設けられた２本の搬送ローラ１８ａの周速度と比べて速くする。この周速度の差異を比でいうと、遅い周速度に対する速い周速度の比の上限は、例えば、ガラスリボンＢの割れを抑える観点から、１．０２とすることが好ましく、塑性変形を防止する効果を十分に得る観点から、上記比の下限を１．０００３とすることが好ましい。すなわち、温度領域Ｅの３本の搬送ローラ１９ａの周速度は、温度領域Ｄの２本の搬送ローラ１８ａの周速度に対して、０．０３～２％速いことが好ましく、０．０５～１．７％速いことがより好ましく、０．１～１．５％速いことがさらに好ましく、０．２～１．０％速いことが一層好ましく、０．３～０．８％速いことが好ましい。
　このとき、徐冷点ＡＰより高くガラス転移点Ｔｇ未満の搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度、及び温度領域Ｄの上流側外側にさらに搬送ローラ１８ａが位置する場合のその搬送ローラ１８ａの周速度は、温度領域Ｄの搬送ローラ１８ａの周速度と、同一又は異なってよく、特に異なっているのが好ましい。異なる場合は、温度領域Ｄより上流側の搬送ローラ１８ａ、温度領域Ｄの搬送ローラ１８ａ、徐冷点ＡＰより高くガラス転移点Ｔｇ未満の搬送ローラ１９ａの順に、下流側にある搬送ローラほど速いことが好ましい。
　温度領域Ｄにおいて、最も上流側の搬送ローラ１８ａの周速度と、上流側から２番目の搬送ローラ１８ａの周速度は、同一又は異なってよく、特に異なっているのが好ましい。異なる場合は、上流側から２番目の搬送ローラ１８ａの周速度が、最も上流側の搬送ローラ１８ａの周速度より速いことが好ましい。また、温度領域Ｅにおいて、下流側から３つの搬送ローラ１９ａの周速度は、全て同一、一部同一又は全て異なってよく、特に全て異なっているのが好ましい。全て異なる場合は、最も下流側の搬送ローラ１９ａの周速度が最も速く、下流側から３番目の搬送ローラ１９ａの周速度が最も遅いことが好ましい。
　また、搬送ローラ１８ａ，１９ａで狭持される部分に対してガラスリボンＢの幅方向内側に隣接する隣接領域に波形状の塑性変形が生じないように、隣接領域の温度がガラス転移点Ｔｇ以上軟化点ＳＰ以下となる温度領域において、ガラスリボンＢに対して搬送方向の引っ張り応力を働かせることが好ましい。
　搬送ローラ対１８，１９のうち、ガラスリボンの搬送ローラで狭持される部分に対してガラスリボンの幅方向内側に隣接する隣接領域の温度がガラス徐冷点ＡＰとなる位置よりも下流側に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度を、搬送ローラ対１８，１９のうち、隣接領域の温度がガラス転移点Ｔｇ以上軟化点ＳＰ以下となる温度領域に設けられた搬送ローラ対１８の搬送ローラ１８ａの周速度よりも速くすることが、引っ張り応力を働かせる点で好ましい。
　このように、搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度を、温度領域Ｄに設けられた搬送ローラ１８ａよりも、温度領域Ｅに設けられた搬送ローラ１９ａの方が速くなるように決定され、これに従って回転駆動が制御されることで、ガラスリボンＢの搬送方向に効果的に張力を働かせることができる、搬送ローラ１８ａ，１９ａの幅方向内側の領域に発生する波形状の変形を防止することができる。
　周速度決定部３８は、記憶部３６を有している。記憶部３６は、上述のように決定された複数の搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度を記憶する。記憶部３６は、ガラスリボンＢの軟化点ＳＰ、ガラス転移点Ｔｇ、徐冷点ＡＰ、歪点ＳｔＰを、ガラスの組成ごとに記憶する。
　また、図示されないコンピュータは、温度センサ３４で検出された雰囲気温度に基づいて、徐冷炉１２，１３内の雰囲気温度がそれぞれ所定の温度範囲内で維持されるよう、徐冷炉１２，１３内の加熱手段を自動制御する。第１の徐冷炉１２の所定の温度範囲は、例えば、５００～８００度に設定されている。第２の徐冷炉１３の所定の温度範囲は、例えば、２００～５００度に設定されている。
　採板装置４は、第２の徐冷炉１３の下流側に配された図示しない採板室を有している。採板室では、ガラスリボンＢが一定の長さ毎に切断され、ガラス板Ｃが採板される。ガラス板Ｃの厚さは、例えば、０．５ｍｍ以下である。また、ガラス板Ｃの大きさは、特に限定されず、例えば、幅方向長さ５００～３５００ｍｍ×長手方向長さ５００～３５００ｍｍである。また、例えば、ガラス板Ｃの幅方向長さは１０００ｍｍ以上、１５００ｍｍ以上、２０００ｍｍ以上、２５００ｍｍ以上であってもよく、長手方向長さは１０００ｍｍ以上、１５００ｍｍ以上、２０００ｍｍ以上、２５００ｍｍ以上であってもよい。ガラス板Ｃが大型化するほど、ガラスリボンＢにおいて幅方向の中央部の搬送ローラや徐冷炉の外壁からの距離が大きくなるため、ガラスリボンＢの幅方向の中央部と搬送ローラ近傍でかつ幅方向内側のガラスリボンＢの領域である隣接領域との間に温度差が生じやすい傾向にある。そのため、ガラス板Ｃの幅方向長さが１０００ｍｍ以上である場合には、搬送ローラ近傍でかつ幅方向内側のガラスリボンＢの領域に波形状変形が生じやすくなる傾向にあり、本発明の効果が顕著となる。なお、ガラス板Ｃの幅方向長さは１５００ｍｍ以上、２０００ｍｍ以上、２５００ｍｍ以上であるほど本発明の効果が有用となる。
　なお、搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度は、周速度決定部３８に代えて、オペレータによって決定されてもよい。この場合、ガラス板製造装置１は、オペレータの入力操作を受け付ける図示しない入力部をさらに有し、この入力部は、オペレータが入力する搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度あるいは回転速度などを受け付ける。記憶部３６は、ガラスリボンＢの軟化点ＳＰ、ガラス転移点Ｔｇ、徐冷点ＡＰ、歪点ＳｔＰなどを記憶するものでなくてもよく、オペレータにより、ガラスリボンＢの軟化点ＳＰ、ガラス転移点Ｔｇ、徐冷点ＡＰ、歪点ＳｔＰなどに基づいて決定され、入力された搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度あるいは回転速度を記憶し、これらの情報を駆動部に伝達するものであればよい。なお、入力部は、駆動部に直接接続され、搬送ローラの周速度あるいは回転速度は駆動部に直接入力されるものであってもよい。
　以上のように構成されたガラス板製造装置１によれば、ガラスリボンＢの温度がガラス転移点Ｔｇ以上ガラス軟化点ＳＰ以下となる温度領域において、ガラスリボンＢに対して搬送方向に引っ張り応力を働かせる。より具体的には、ガラスリボンＢの温度がガラス徐冷点ＡＰ以下となる温度領域に設けられた搬送ローラ対１９の搬送ローラ１９ａの周速度が、ガラスリボンＢの温度がガラス転移点Ｔｇ以上軟化点ＳＰ以下となる温度領域Ｄに設けられた搬送ローラ１８ａの周速度よりも速くなるように、搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転駆動が制御される。したがって、徐冷炉１２，１３内を搬送されるガラスリボンＢに対し搬送方向に効果的に張力を働かせることができる。このため、搬送ローラ１８ａ，１９ａで狭持される部分に対してガラスリボンＢの幅方向内側に隣接する隣接領域に波形状の変形が生じるのを抑え、ガラス板の平坦度の悪化を防ぐことができる。この効果は、ガラスリボンＢの幅方向の両端部と幅方向中央部との厚みの差が大きくなり易く、小さな応力でも変形し易い板厚０．５ｍｍ以下のガラス板を製造する場合でも奏され、発生する反り、割れの発生を低減できる。
　この点をより具体的に説明する。
　従来のように、図７に示す搬送ローラ対１８，１９に挟持される領域が冷却されてガラスが収縮する場合、図７において符号Ｓで示す領域（隣接領域）には、圧縮応力が働く。この時、搬送ローラの近傍でかつ搬送ローラより幅方向内側の隣接領域のガラス温度が軟化点（粘度ηがｌｏｇη＝７．６５となる温度）より高温である場合には、搬送ローラ対１８，１９に狭持される領域よりも幅方向内側であって搬送ローラ近傍の領域である隣接領域に働く圧縮応力が瞬時に緩和されるため、波形状の塑性変形は生じ難い。他方、同じ隣接領域のガラス温度がガラス転移点よりも低温である場合には、粘度が十分に上昇しているため、波形状の塑性変形は生じ難い。
　これに対し、搬送ローラの近傍でかつ搬送ローラより幅方向内側の隣接領域のガラス温度がガラス軟化点よりは低温であり、かつガラス転移点よりも高温である場合には、上述の生成された圧縮応力により、搬送ローラ１８ａ，１８ｂの近傍でかつ幅方向内側のガラスリボンの隣接領域に塑性変形（波形状の変形）が生じ易く、ガラス板の平坦度が悪化する。より具体的には、例えば、ガラスリボンＢの幅方向の中央部に搬送方向の引っ張り応力（テンション）がかかるようにガラスリボンの温度制御を行うと、隣接領域にコンプレッションが加わり、隣接領域に波形状をなした塑性変形が生じ易くなる。
　なお、常にガラスリボンＢの幅方向の中央部の冷却速度が最も早くなるように温度制御を行うと、ガラスリボンＢの幅方向の中央部に搬送方向の引っ張り応力（テンション）が常にかかる。このため、ガラスリボンＢの幅方向の中央部を含むガラスリボンの中央領域には上記隣接領域と比較して塑性変形が生じ難い。
　成形体の直下からガラスリボンＢの幅方向の両端部（耳部）を急冷することで、上述のような上記隣接領域で波形状の塑性変形の問題が顕著になる。また、ガラスリボンＢの幅方向の中央部に搬送方向の引っ張り応力が常にかかるように、ガラスリボンＢの温度制御を行うことで、上記隣接領域の塑性変形の問題が顕著となる。つまり、上述したようなガラスリボンＢの幅方向の中央部に搬送方向の引っ張り応力が常にかかるような温度制御を行う場合には、塑性変形を抑制する本発明の製造方法の効果は顕著となる。
　このような塑性変形の問題は、ガラスリボンＢの幅方向の両端部と上記隣接領域の厚みとの差が大きくなり易く、かつ厚みが薄いことで小さな応力でも変形し易い板厚０．５ｍｍ以下のガラス板を製造する場合に顕著になる。すなわち、上述した特許文献１の製造方法だけを用いると、板厚０．５ｍｍ以下のガラス板を製造した場合、搬送ローラの幅方向内側の領域である上記隣接領域がより変形しやすく、ガラス板の平坦度をより悪化させてしまう。
　一方、上述した特許文献２の製造方法では、下方に設けられた搬送ローラの周速度を上方に設けられた搬送ローラよりも速くするものであるが、特許文献２の段落番号［００４５］～［００４９］の記載からも、板厚０．７～１ｍｍ程度の比較的厚いガラスを前提としていると考えられ、また、搬送方向の上流側から下流側にかけて搬送ローラの周速度を順に速くしていくことで、ガラスリボンに対し搬送方向に常に張力を加えるという考え方に基づいている。
　しかしながら、ガラスリボンの上記隣接領域に塑性変形が生じるのは、上述の通り、限られたガラスリボンの温度領域における現象であり、適切な温度領域の搬送ローラ間で周速度差をつけることが必要である。このため、特許文献２のように単に上流に対し、下流の搬送ローラの周速度を速くしても、効果が出ないばかりか、ガラスリボンに塑性変形が生じたり、板厚が０．５ｍｍ以下のガラス板を製造する場合に、例えば、実施例［００４５］に記載されるような周速度差をつけると、ガラスリボンが割れるおそれがある。
　これに対して、本実施形態は、ガラスリボンＢの温度がガラス転移点Ｔｇ以上ガラス軟化点ＳＰ以下となる温度領域において、ガラスリボンＢに対して搬送方向に張力を働かせる。このため、ガラスリボンＢの隣接領域に波形状の変形が生じるのを抑え、ガラス板の平坦度の悪化を防ぐことができる。また、板厚が０．５ｍｍ以下のガラス板を製造する場合においても、ガラスリボンが割れることはない。
　本実施形態では、具体的に、ガラスリボンＢに対して搬送方向に引っ張り応力を働かせるために、ガラスリボンＢの温度がガラス徐冷点ＡＰ以下となる温度領域に設けられた搬送ローラ対１９の搬送ローラ１９ａの周速度が、ガラスリボンＢの温度がガラス転移点Ｔｇ以上軟化点ＳＰ以下となる温度領域Ｄに設けられた搬送ローラ１８ａの周速度よりも速くなるように、搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転駆動が制御される。
　なお、複数の搬送ローラ対１８，１９は、少なくとも温度領域Ｄと温度領域Ｅとに設けられていればよい。また、複数の搬送ローラ対の数は、少なくとも２あればよく、特に制限されない。なお、軟化点ＳＰ、ガラス転移点Ｔｇ、徐冷点ＡＰ、歪点ＳｔＰの位置、及びこれら各点を境界として形成される各領域に位置する搬送ローラ対の数は、特に制限されない。
（第２実施形態）
　次に、本発明の第２実施形態であるガラス板製造装置について説明する。
　ここでは、上述の第１実施形態との相違に注目して説明する。
　第２実施形態では、検出制御部４０のコンピュータは、周速度決定部４８として機能するほか、図５に示すように、搬送ローラ状態検出部（以下、単に検出部ともいう）４７のうち温度センサ４４を除く部分としてさらに機能する。図５は、搬送ローラ対１８，１９の回転駆動を制御する制御系の構成を説明するブロック図である。図５において、第１実施形態で参照した符号と同じ符号で示す要素は、第１実施形態で説明した要素と同じである。検出部４７は、温度センサ４４と接続されている。温度センサ４４は、搬送ローラ１８ａ，１９ａの温度を検出する。ここで、搬送ローラ１８ａ，１９ａの温度を検出することには、搬送ローラ１８ａ，１９ａの温度を算出することも含まれる。この場合は、各温度センサ４４により検出された雰囲気温度における、記憶部４６に記憶された温度差データが参照されて、搬送ローラ１８ａ，１９ａの温度が算出される。検出部４７は、検出された搬送ローラ１８ａ，１９ａの温度に基づいて、後述するように、搬送ローラ１８ａ，１９ａの熱膨張量を直径の変化として算出する。
　周速度決定部４８の記憶部４６は、温度差データを記憶する。温度差データは、徐冷炉１２，１３の設置時に予め測定された、徐冷炉１２，１３の雰囲気温度と各雰囲気温度での搬送ローラ１８ａ，１９ａの温度（表面温度）との差のデータを含む。温度差データは、徐冷炉１２，１３の構造によって異なって記憶される。記憶部４６には、搬送ローラ１８ａ，１９ａの熱膨張係数（以下、ローラ熱膨張係数ともいう）がさらに記憶されている。ローラ熱膨張係数は、搬送ローラ１８ａ，１９ａの材質から決定される。
　記憶部４６には、また、周速度決定部４８で決定された各搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転速度、複数の搬送ローラ対１８，１９間で設定された基準となる周速度分布、各搬送ローラ１８ａ，１９ａの直径の基準値がさらに記憶される。各搬送ローラ１８ａ，１９ａの直径の基準値は、それぞれ常温（例えば、２５度）での新品時の直径である。また、記憶部４６は、基準となる周速度分布を達成するときの条件（搬送ローラの温度、ガラスリボンＢの温度、ガラスリボンの熱膨張係数、ガラスリボンＢの厚さ、幅、ガラスリボンの流量等）を記憶する。
　周速度決定部４８は、複数の搬送ローラ対１８，１９間で搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度とガラスリボンＢの搬送速度との相対速度が一定であるときの複数の搬送ローラ対１８，１９間の周速度比（周速度分布）を設定する。この周速度比では、温度領域Ｅに設けられた搬送ローラ対１９の搬送ローラ１９ａの周速度が、温度領域Ｄに設けられた搬送ローラ対１８の搬送ローラ１８ａの周速度よりも速くなるように設定されている。次いで、周速度決定部４８は、第１実施形態で決定した温度領域Ｄ，Ｅにおける搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度の大小関係を維持した状態で、検出部４７により算出された搬送ローラ１８ａ，１９ａの直径の変化に基づいて、複数の搬送ローラ対１８，１９間の周速度比を保つように各搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転速度を決定する。
　なお、搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度は、周速度決定部４８に代えて、オペレータによって算出されてもよい。この場合、ガラス板製造装置１は、第１実施形態で説明したのと同様の入力部をさらに有する。記憶部４６は、温度差データ、ローラ熱膨張係数、周速度分布、各搬送ローラ１８ａ，１９ａの直径の基準値、基準となる周速度分布を達成するときの条件などを記憶するものでなくてもよく、オペレータにより、温度差データ、ローラ熱膨張係数、周速度分布、各搬送ローラ１８ａ，１９ａの直径の基準値、基準となる周速度分布を達成するときの条件などに基づいて算出され、入力された搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度を記憶するものであればよい。
（（周速度比の設定））
　複数の搬送ローラ対１８，１９間の周速度比は、例えば、最上流側の搬送ローラ１８ａの周速度を基準として、その直ぐ下流側の搬送ローラ１８ａから順に、最上流側の搬送ローラ１８ａの周速度の０．１％ずつ周速度が速くなるよう設定される。本実施形態で、最下流側の搬送ローラ１９ａの周速度は、最上流側の搬送ローラ１８ａの１００．６％である。このような周速度比に従って複数の搬送ローラ対１８，１９が制御されることで、ガラスリボンＢが搬送ローラ対１８，１９の上方で変形することなく、かつ、ガラスリボンＢの表面に微細なキズが生じるのを抑えることができる。この場合、周速度比から設定される周速度は、最上流側の搬送ローラ１８ａの周速度を用いて値が設定される。このように基準として設定される周速度比は、従来ガラスリボンＢがキズや形状変形の問題が生じることなく徐冷されたときの周速度比である。この基準となる周速度分布は、ガラスリボンＢの温度、熱膨張係数、厚み、幅、ガラス流量等の条件とともに、周速度決定部４８に記憶保持されている。この周速度比は、後述するように、ガラスリボンＢの温度が変化するなどの徐冷時の条件が変化する場合に、基準となる周速度分布が修正されて設定される。
　周速度決定部４８は、ガラスリボンＢの温度、熱膨張係数、厚み、ガラス流量等によって、基準の周速度比を修正して設定する。
　具体的には、基準の周速度分布として設定される周速度比には、そのときの条件として各搬送ローラ対１８，１９における基準となる温度が設定されている。したがって、この基準となる温度に対して現在のガラスリボンＢの温度が変化した場合、例えば、温度Ｔ1がＴ2に変化した場合、Ｔ2とＴ1の温度差における熱膨張率の差を用いて、周速度決定部４８は基準の周速度分布として設定されている周速度比を修正する。ガラスリボンＢの搬送速度は、ガラスリボンＢの温度と熱膨張係数によって定まる熱膨張率によって変化するからである。この場合、ガラスリボンＢの種類によって熱膨張係数は異なるので、ガラスリボンＢの熱膨張係数と温度を考慮した熱膨張率の違いを用いてより一般的に周速度比を修正してもよい。このような周速度比は、ガラスリボンＢの温度および熱膨張係数の温度依存性のほかに、ガラスリボンＢの厚み、幅、ガラス流量等の条件の変化によっても修正されて設定される。したがって、ガラスリボンＢの温度、熱膨張係数の温度依存性の特性、厚み、幅、ガラス流量等の基準の周速度比における条件は、周速度決定部４８に予め記憶保持されている。ガラス熱膨張係数は、溶融ガラスの組成から決定される。設定された周速度比から、最上流側の搬送ローラ対の現在の周速度を基準として、下流側の各搬送ローラ対の周速度が算出される。
　このように、周速度比をガラスリボンＢの温度を含む状態の変化に応じて修正することにより、より適切な搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転速度を決定できる。
（（搬送ローラの回転速度の決定））
　周速度決定部４８は、算出したあるいはオペレータにより入力された各搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度に基づいて、下記式に従って各搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転速度を決定する。
        回転速度＝周速度／（熱膨張した搬送ローラの直径×π）
　ここで、徐冷炉１２，１３内の各搬送ローラ対１８，１９の配置位置において検出された雰囲気温度が、上述した基準となる周速度比における搬送ローラ対１８，１９の温度に対して変化していた場合は、上述の周速度比を保つように、搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転速度を決定する。
　具体的に、検出部４７は、温度センサ４４により検知された温度が変化していた搬送ローラ１８ａ，１９ａについて、搬送ローラ１８ａ，１９ａの温度におけるローラ熱膨張係数と、各搬送ローラ１８ａ，１９ａの直径の基準値とを参照し、下記式に従ってこの搬送ローラ１８ａの膨張量（直径の変化量）を算出する。
        ｄＤ＝β・Ｄ・ΔＴ
　ｄＤ：膨張量
　β：熱膨張係数
　Ｄ：搬送ローラの直径の基準値
　ΔＴ：基準の周速度比において設定される搬送ローラの温度との温度差
　周速度決定部４８は、検出部４７により算出された搬送ローラ１８ａの直径の変化量から、下記式に従い、周速度の変化量が１であるとして新たな回転速度を算出し、搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転速度を変更する。
        新たな回転速度＝（周速度＋周速度の変化量）／（（搬送ローラの直径＋搬送ローラの直径の変化量）×π）
　周速度決定部４８により決定された回転速度は駆動部３２に送られ、搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転が制御される。
　周速度比は、上述のものに制限されない。また、周速度決定部４８は、周速度分布として、周速度比に代えて、各搬送ローラ１８ａ，１９ａの具体的な周速度を算出してもよい。この場合、基準となる周速度分布および修正後の周速度も具体的な速度の値として設定される。
　第２実施形態では、搬送ローラの直径の温度に応じて、設定された周速度分布に成るように回転速度を調整する他、周速度分布をガラスリボンの温度に応じて基準となる周速度分布を修正して設定する。しかし、基準となる周速度分布をガラスリボンの現在の温度に応じて修正しなくてもよい。しかし、表面品質に優れたガラス板を製造する点で、基準となる周速度分布をガラスリボンの現在の温度に応じて修正することが好ましい。
　第２実施形態によれば、第１実施形態の効果に加え、搬送ローラ１８ａ，１９ａに生じる状態の変化を考慮し、その変化を補償するように、各搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転速度が制御されるので、各搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度とガラスリボンＢの搬送速度との相対速度が、複数の搬送ローラ対１８，１９において差が生じるのを、より高い精度で抑制することができる。これにより、ガラスリボンＢと搬送ローラ１８ａ，１９ａとの間でのスリップを防ぎ、ガラス板表面の品質を向上させることができる。
　また、ガラスリボンＢを搬送するために用いる複数の搬送ローラ対１８，１９の周速度分布をガラスリボンＢの温度に応じて修正して設定するので、ガラスリボンＢが余り、ガラスリボンＢが変形してしまうのを防ぐことができ、また、必要以上に速くなることで、ガラスリボンＢが引っ張られ、ガラスリボンＢが割れるのを防ぐことができる。このような効果は、ガラスの搬送速度が速く、且つ、ガラスリボンＢの強度が小さくて変形し易い厚さ０．５ｍｍ以下の薄板ガラスの製造において、より顕著である。
　第１実施形態で説明したように徐冷炉１２，１３内の雰囲気温度が制御されても上述したようにガラスリボンＢの温度や搬送ローラ１８ａ，１９ａの温度は変化する。しかし、この変化は比較的小さいため、上述した基準となる周速度比が温度に応じて修正されても、その修正量は小さく、設定された基準となる周速度比の分布を大きく変えない。すなわち、温度領域Ｅに設けられた前記搬送ローラ対の搬送ローラの周速度が、温度領域Ｄに設けられた搬送ローラ対の前記搬送ローラの周速度よりも速いことは変化しない。
　上述の例では、温度センサにおいて、徐冷炉１２，１３内の雰囲気温度が検出され、これを用いて搬送ローラ温度が算出されたが、搬送ローラ温度は直接測定されてもよい。そのために、例えば、搬送ローラ状態検出部として、搬送ローラの温度を連続的に測定するための温度計が用いられてよい。
（第３実施形態）
　次に、本発明の第３実施形態であるガラス板製造装置について説明する。
　ここでは、上述の第１及び第２実施形態との相違に注目して説明する。
　第２実施形態では、搬送ローラ状態検出部４７として、搬送ローラ１８ａ，１９ａの温度を検出する温度センサ４４及びコンピュータが用いられたが、ここでは、図６に示すように、搬送ローラ状態検出部（以下、単に検出部ともいう）５７として、搬送ローラ１８ａ，１９ａの磨耗量を検出するための距離測定センサ５４及び図示しないコンピュータが用いられる。なお、図６は、搬送ローラ対１８，１９の回転駆動を制御する制御系の構成を説明するブロック図である。図６において、第１及び第２実施形態で参照した符号と同じ符号で示す要素は、第１及び第２実施形態で説明した要素と同じである。検出部５７は、距離測定センサ５４と接続されている。
　距離測定センサ５４は、各搬送ローラ対１８，１９に対応して複数設けられている。距離測定センサ５４は、駆動用シャフト間隔を検出する。駆動用シャフト間隔は、ガラスリボンＢに対し同じ側にある搬送ローラ１８ａ，１９ａ同士を連結する駆動用シャフト１８ｂ，１９ｂと、この駆動用シャフト１８ｂ，１９ｂと対向して配された駆動用シャフト１８ｂ，１９ｂとの距離をいう。搬送ローラ対１８，１９は、対の搬送ローラ１８ａ，１９ａ間が互いに付勢された状態でガラスリボンＢを挟む。したがって、各搬送ローラ１８ａ，１９ａの磨耗量は、下記式に従って算出されるローラ半径の新品時のローラ半径からの変化量が、搬送ローラ１８ａ，１９ａの磨耗に起因して生じたとして検出部５７により検出される。この式では、ガラスリボンＢの厚みは、各搬送ローラ１８ａ，１９ａの位置において一定であるため、駆動用シャフト１８ｂ，１９ｂ同士の間隔を測定することで、ローラ半径が算出される。
        ローラ半径＝（駆動用シャフト間隔－ガラスリボン厚み）／２
　検出制御部５０の周速度決定部５８は、検出された搬送ローラ１８ａ，１９ａの磨耗に起因する搬送ローラ１８ａ，１９ａの半径の変化により生じた、搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度の周速度比からのずれを補償するように搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転速度を決定する。
　なお、第３実施形態では、搬送ローラ１８ａ，１９ａの径変化として、磨耗の状態に基いて算出された半径の変化を用いるが、この磨耗の状態を第２実施形態で用いた搬送ローラ１８ａ，１９ａの温度とともに統合して適用することもできる。この場合、搬送ローラ１８ａ，１９ａの径は、磨耗量によって変化すると共に、熱膨張により変化する。この径を用いて、径の変化に伴って変化した搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度が周速度比に維持されるように、搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転速度を算出することができる。
　さらに、搬送ローラ１８ａ，１９ａの径変化に加え、ガラスリボンの状態として、ガラスリボンＢの熱膨張に起因しガラスリボンＢの温度に応じて変化するガラスリボンＢの搬送速度変化を統合して適用することもできる。
　以上の第３実施形態のガラス板製造装置によれば、搬送ローラ１８ａ，１９ａの磨耗による径変化による搬送ローラの周速度の周速度比からのずれを補償することができる。
　なお、このガラス板製造装置において、距離測定センサ５４は、搬送ローラ対１８，１９の駆動用シャフト１８ｂ，１９ｂ同士の距離に代えて、搬送ローラ対１８，１９の駆動用シャフト１８ｂ，１９ｂの原点位置からのずれを読み取って、磨耗量を検出するように構成されてもよい。原点位置は、搬送ローラ１８ａ，１９ａの新品時に駆動用シャフト１８ｂ，１９ｂが位置する中心位置であり、記憶部５６において記憶される。搬送ローラ対１８，１９の駆動用シャフト１８ｂ，１９ｂの原点位置からのずれを用いて、搬送ローラ１８ａ，１９ａの磨耗量を検出し、これによって磨耗した搬送ローラのローラ径は算出され得る。なお、搬送ローラ１８ａ，１９ａの径は、検出部５７が算出することに限定されず、例えば、磨耗量に基づいてオペレータが算出してもよい。この場合、オペレータにより算出され、周速度決定部５８に入力された搬送ローラ１８ａ，１９ａの径に基づいて、周速度決定部５８により搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転速度が算出される。あるいは、オペレータが算出した搬送ローラ１８ａ，１９ａの径に基づいてさらに搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転速度を算出し、この算出結果を周速度決定部５８に入力してもよい。周速度決定部５８において算出されあるいは入力された回転速度は、周速度決定部５８により決定され、駆動部３２に伝達される。また、搬送ローラ１８ａ，１９ａの磨耗量、原点位置は、オペレータが算出してもよく、算出された値は記憶部５６に記憶されてよい。
　なお、第２実施形態、第３実施形態では、搬送ローラ対１８，１９の各ローラに生じる搬送ローラ１８ａ，１９ａの径変化を補償するように、搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転速度が決定されるが、搬送ローラ１８ａ，１９ａの他に、成形工程で冷却ローラ対として用いるローラ対１７の各ローラの径変化を補償するように、ローラ対１７の各ローラの回転速度が決定されてもよい。この場合、ローラ対１７の各ローラは、上述した搬送ローラ状態検出部４７，５７のような検出部を用いて、ローラ対１７の各ローラの状態を検出して、検出結果に基づいてローラ対１７の各ローラの径変化を補償するように、ローラ対１７の各ローラの回転速度が決定される。
　一般に、ローラ対１７の各ローラの周速度は、ガラス板の厚み分布やガラス表面の凹凸が最も小さくなるように適切な値に設定しているので、その値からずれることは、ガラス板の厚み分布やガラス表面の凹凸を悪化させることになる。
　すなわち、ローラ対１７の周速度が変化すると、成形体の下端からローラ対１７の間で行われるガラスリボンＢの引伸ばしの量と、ローラ対１７から搬送ローラ対１８の間で行われるガラスリボンＢの引伸ばしの量が変ることにより、（成形体の下端～ローラ対１７間でのガラスリボンＢの幅方向の温度分布と、ローラ対１７～搬送ローラ対１８，１９でのガラスリボンの幅方向の温度分布の形態が異なるため）製造されたガラス板の幅方向の厚み分布やガラス表面の凹凸の大きさが変化してしまう。このため、ローラ対１７の各ローラの径変化を補償するように、ローラ対１７の各ローラの回転速度が決定されることが好ましい。
　また、搬送ローラ対１８，１９及びローラ対１７の各ローラの少なくともいずれか１つの各ローラについて各ローラの径変化を補償するように回転速度を決定してもよい。
　すなわち、冷却ローラや搬送ローラの径変化を補償するようにローラの回転速度を決定することは、全てのローラ（冷却ローラ、搬送ローラ）で行われる必要はなく、効果的なローラのみに対して行ってもよい。
　例えば、ガラスリボンＢの幅方向の中央部が軟化点（粘度ηがｌｏｇη＝７．６５となる温度）以下の領域に設けられた搬送ローラの径変化を補償するように搬送ローラの回転速度を決定し、搬送ローラを回転駆動させることで、ガラスリボンＢのスリップなどを抑制することができ、ガラスリボンＢの表面に傷が発生することを抑制できる。
　ガラスが軟化点ＳＰ以上であるとガラスリボンＢは粘度が低く、スリップは生じ難い。他方、軟化点ＳＰ以下のガラスリボンＢではスリップが生じやすくなる。このため、ガラスリボンＢの中央部が軟化点ＳＰ以下の領域に設けられた搬送ローラの径変化を補償するように搬送ローラの回転速度を決定することが好ましい。
　また、上述した徐冷工程の中で、少なくともガラスリボンＢの中央部の温度がガラス転移点Ｔｇ以上軟化点ＳＰ以下となる温度領域に設けた搬送ローラの径変化を補償するように搬送ローラの回転速度を決定することで、ガラスリボンＢの塑性変形の抑制効果は大きくなる。したがって、少なくともガラスリボンＢの中央部の温度がガラス転移点Ｔｇ以上軟化点ＳＰ以下となる温度領域に設けた搬送ローラの径変化を補償するように搬送ローラの回転速度を決定することが好ましい。
　また、ガラスリボンＢの中央部の温度がガラス転移点Ｔｇ以上軟化点ＳＰ以下となる温度領域に設けた搬送ローラは、径変化が生じやいため、この領域に設けた搬送ローラの径変化を補償するように搬送ローラの回転速度を決定することが好ましい。
　ガラス温度が軟化点ＳＰより高温である場合には、ガラスに働く圧縮応力が瞬時に緩和されるため、ガラスリボンＢに波形状の塑性変形は生じ難い。他方、ガラス温度がガラス転移点Ｔｇよりも低温である場合には、ガラスリボンＢの粘度が十分に上昇しているため、波形状の塑性変形は生じ難い。
　また、上流側の搬送ローラほど磨耗や熱膨張によるローラ径変化が生じやすい。つまり、少なくとも温度がガラス転移点Ｔｇ以上軟化点ＳＰ以下となる温度領域に設けた搬送ローラの径変化を補償するように搬送ローラの回転速度を決定することが好ましい。
（変形例）
　第３実施形態のガラス板製造装置の搬送ローラ状態検出部５７には、距離測定センサ５４の代わりに、搬送ローラ１８ａ，１９ａの使用日数に基づいて算出される搬送ローラ１８ａ，１９ａ直径の変化を搬送ローラ１８ａ，１９ａの径変化としてカウントする装置が用いられてもよい。例えば、この径変化をカウントする装置は、搬送ローラ１８ａ，１９ａの使用日数を周速度決定部５８に送る。周速度決定部５８は、周速度決定部５８の記憶部５６に記憶された、各搬送ローラ１８ａ，１９ａについて過去の交換実績として、過去に交換した時のローラ直径のその新品時からの磨耗量と交換までの使用日数とを参照し、これらに基づいて１日あたりの磨耗量を算出する。次いで、記憶部５６に記憶された新品時のローラ直径が参照され、下記式に従ってローラ直径が算出される。このとき、上記径変化をカウントする装置から送られた使用日数を用いて下記式に示すように、１日当りの磨耗量×使用日数の積が、搬送ローラ１８ａ，１９ａの磨耗量に相当するとして検出される。
        ローラ直径＝新品時の直径－（１日当りの磨耗量×使用日数）
　周速度決定部５８は、記憶部５６において、各搬送ローラ１８ａ，１９ａについて過去の交換実績、新品時のローラ直径を記憶する。
　この変形例によれば、より簡単な方法で、搬送ローラ１８ａ，１９ａの直径の変化により生じた搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度の周速度比からのずれを補償することができる。なお、１日あたりの磨耗量は、オペレータが算出して記憶部５６に記憶させることもできる。また、上記磨耗量による搬送ローラ１８ａ，１９ａの直径変化も、オペレータが算出して、検出制御部５０あるいは駆動部３２に伝達されるようにしてもよい。さらに、過去に交換した時のローラ直径のその新品時からの磨耗量、交換までの使用日数は、オペレータによって算出されてもよく、算出された値は記憶部５６に記憶されてよい。
　なお、第２実施形態と、第３実施形態の変形例は組み合わせることもできる。第２実施形態と、第３実施形態の変形例を組み合わせることで、第２実施形態又は第３実施形態を単独で適用する場合に比べ、より精度よく周速度比からのずれを補償することができる。
　また、上記塑性変形の問題は、ガラスリボンの幅方向の両端部（耳部）をローラ対１７で急冷することで生じやすくなる。ガラスの液相温度が１０５０℃～１２５０℃と高温である場合、ガラスリボンの幅方向の両端部（耳部）をローラ対１７で急冷するときの上記隣接領域と、ガラスリボンＢの中心位置との間で温度低下量の差が大きく、塑性変形の問題が生じ易い。このため、塑性変形を生じさせにくい本発明の製造方法は、液相温度が１１００℃～１２５０℃のガラスを用いたガラス板の製造に好適である。液相温度が１１５０℃～１２５０℃のガラスを用いたガラス板の製造が本発明により好適であり、液相温度が１１８０℃～１２５０℃のガラスを用いたガラス板の製造がさらに好適であり、液相温度が１２００℃～１２５０℃のガラスを用いたガラス板の製造が特に好適である。
　液相粘度が１５００００ｄＰａ・ｓ以下と小さい液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ用ガラス板は、成形工程時に失透が生じやすい状態にある。このため、成形工程時の溶融ガラスの温度を高温にする必要があり、上記塑性変形の問題が顕著となる。このため、液相粘度が１５００００ｄＰａ・ｓ以下のガラスを用いたガラス板の製造に本発明が好適となり、３５０００～１５００００ｄＰａのガラスを用いたガラス板の製造に本発明の製造方法がより好適となる。５００００～１０００００ｄＰａ・ｓのガラスを用いたガラス板の製造に本発明の製造方法がさらに好適となり、５００００～８００００ｄＰａ・ｓを用いたガラスのガラス板の製造に本発明の製造方法が一層好適となる。
　また、上記塑性変形は、ガラスの熱膨張係数が大きいガラスほど、急激な温度変化による膨張差によって生じやすい。このため、熱膨張係数（１００～３００℃）[×１０-7℃]が、３０以上のガラスを用いたガラス板の製造に本発明の製造方法が好適となる。ただし、本発明の製造方法をフラットパネルディスプレイ用ガラス板に適用する場合、熱膨張係数が大きすぎると、フラットパネルディスプレイ製造時の熱処理工程において、熱衝撃や熱収縮量が増大する傾向があるため、例えば、フラットパネルディスプレイ用ガラス板などには好ましくない。以上のことから、熱膨張係数（１００～３００℃）[×１０-7℃]が３０～４０未満のガラス板の製造に本発明の製造方法が好適であり、熱膨張係数が３２～４０未満のガラス板の製造に本発明の製造方法がより好適であり、３４以上～４０未満のガラス板の製造に本発明の製造方法がより好適である。
（ガラス板の組成）
　本実施形態のガラス板製造方法及びガラス板製造装置で製造されるガラス板は、例えば液晶ディスプレイ用ガラス基板が好適に挙げられる。
　液晶ディスプレイ用ガラス基板のガラス組成は、以下のガラス組成が例示される。
ＳｉＯ2　５０～７０質量％、
Ｂ2Ｏ3　０～１５質量％、
Ａｌ2Ｏ3　５～２５質量％、
ＭｇＯ　０～１０質量％、
ＣａＯ　０～２０質量％、
ＳｒＯ　０～２０質量％、
ＢａＯ　０～１０質量％、
ＲＯ　５～２０質量％ (但し、ＲはＭｇ、Ｃａ，Ｓｒ及びＢａから選ばれる、ガラス板に含有される全成分であって、少なくとも1種である)、
を含有することが好ましい。
　さらに、液晶ディスプレイ用ガラス基板に形成されるＴＦＴ（Thin Film Transistor）の破壊を抑制する観点からは、無アルカリガラス（アルカリ成分を実質的に含まないガラス）であることが好ましい。他方、溶融ガラスの熔解性及び清澄性を向上させるために、あえてアルカリ成分を微量含有させるようにしてもよい。この場合、Ｒ’2Ｏ　０．０５質量％を超え２．０質量％以下、より好ましくはＲ’2Ｏ　０．１質量％を超え２．０質量％以下(但し、Ｒ’はＬｉ、Ｎａ及びＫから選ばれる、ガラス板に含有される全成分であって、少なくとも1種である)を含むことが好ましい。
（実施例）
　本発明の効果を調べるために、従来のガラス板製造装置と本実施形態のガラス板製造装置とを用いて、それぞれ下記方法に従ってガラスリボンを製造して、ガラスリボンに生じる波状の変形を測定した。なお、用いたガラス板製造装置は、いずれも、図３及び図４に示すダウンドロー法によるガラス板製造装置１であり、ガラスは下記に示す成分を含有するアルミノシリケートガラスを用いた。
　ＳｉＯ２　６０質量％
　Ａｌ２Ｏ３　１９．５質量％
　Ｂ２Ｏ３　１０質量％
　ＣａＯ　５質量％
　ＳｒＯ　５質量％
　ＳｎＯ２　０．５質量％
　実施例１として、上述の第１実施形態に従って、周速度決定部３８により、徐冷炉内を搬送されるガラスリボンＢの温度がガラス転移点Ｔｇ以上軟化点ＳＰ以下となる温度領域Ｄに設けられた搬送ローラ１８ａの周速度よりも、ガラスリボンＢの温度が徐冷点ＡＰとなる位置よりも下流の温度領域Ｅに設けられた搬送ローラ１９ａの周速度の方が０．６％速くなるように搬送ローラ１９ａの周速度を決定し、決定後の周速度に基づいて各搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転駆動を制御して、０．５ｍｍ厚で幅方向長さ２０００ｍｍ×長手方向長さ２５００ｍｍの大きさの液晶ディスプレイ用ガラス基板を作製した。
　また、実施例２として、上述の第２実施形態に従って、周速度分布を保つように各搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度を決定し、決定された搬送ローラの周速度に基づいて、搬送ローラ１８ａ，１９ａを回転駆動させた点を除いて、実施例１と同様の条件で、０．５ｍｍ厚の液晶ディスプレイ用ガラス基板を作製した。
　実施例３として、上述の第１実施形態に従って、周速度決定部３８により、徐冷炉内を搬送されるガラスリボンＢの温度がガラス転移点Ｔｇ以上軟化点ＳＰ以下となる温度領域Ｄに設けられた搬送ローラ１８ａの周速度よりも、ガラスリボンＢの温度が徐冷点ＡＰとなる位置よりも下流の温度領域Ｅに設けられた搬送ローラ１９ａの周速度の方が０．６％速くなるように搬送ローラ１９ａの周速度を決定し、決定後の周速度に基づいて各搬送ローラ１８ａ，１９ａの回転駆動を制御して、０．７ｍｍ厚で幅方向長さ２０００ｍｍ×長手方向長さ２５００ｍｍの大きさの液晶ディスプレイ用ガラス基板を作製した。
　比較例１として、全ての搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度を同じにした点を除いて、実施例１と同様の条件で、０．５ｍｍ厚の液晶ディスプレイ用ガラス基板を作製した。
　また、比較例２として、全ての搬送ローラ１８ａ，１９ａの周速度を同じにした点を除いて、実施例３と同様の条件で、０．７ｍｍ厚の液晶ディスプレイ用ガラス基板を作製した。
　得られた実施例１～３、比較例１～２の液晶ディスプレイ用ガラス基板について、液晶ディスプレイ用ガラス基板の隣接領域に生じた波形状の変形（板厚方向の凹凸）をシックネスゲージを用いて計測した。この結果、実施例１では、波形状の変形（凹凸の高さ）は０．０５ｍｍ以下であった。実施例２では、波形状の変形は０．０４ｍｍ以下であった。実施例３では、波形状の変形が０．０５ｍｍであった。比較例１では、波形状の変形が０．４ｍｍであった。比較例２では、波形状の変形が０．２５ｍｍであった。
　なお、波形状の変形は、厚み０．５ｍｍおよび厚み０．７ｍｍの液晶ディスプレイ用ガラス基板においては、厚み方向に０．２ｍｍ以内のものを表面品質を満たしているとした。
　従来の製造装置を用いて得られた比較例１の液晶ディスプレイ用ガラス基板は、波形状の変形による段差が０．４ｍｍであり、上述の表面品質を満たさなかった。従来の製造装置を用いて得られた比較例２の液晶ディスプレイ用ガラス基板は、波形状の変形による段差が０．２５ｍｍであり、上述の表面品質を満たさなかった。
　これに対し、本実施形態の製造装置１を用いて得られた実施例１～３の液晶ディスプレイ用ガラス基板は、波形状の変形による段差が０．０５ｍｍ以下であり、上述の表面品質を満たしていた。実施例１の波形状の凹凸の高さは１／８に改善された。実施例２の波形状の凹凸の高さは、１／１０に改善された。実施例３の波形状の凹凸の高さは、１／５に改善された。
　以上、本発明のガラス板の製造方法及びガラス板製造装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんのことである。
１　ガラス板製造装置
２　成形装置
３　徐冷装置
１８，１９　搬送ローラ対
１８ａ，１９ａ　搬送ローラ
３０，４０，５０　検出制御部
３２　駆動部
３４，４４　温度センサ
４７，５７　搬送ローラ状態検出部
３８，４８，５８　周速度決定部
５４　距離測定センサ
Ａ　溶融ガラス
Ｂ　ガラスリボン
Ｃ　ガラス板
Ｄ　ガラスリボンの温度がガラス転移点以上軟化点以下となる温度領域
Ｅ　ガラスリボンの温度が徐冷点以下となる温度領域
ＳＰ　軟化点
Ｔｇ　ガラス転移点
ＡＰ　徐冷点
Ｓ１０　熔解工程
Ｓ４０　成形工程
Ｓ５０　徐冷工程

Claims (14)

  1. 　ガラス原料を熔解して溶融ガラスをつくる熔解工程と、
    　溶融ガラスを、オーバーフローダウンドロー法を用いて成形し、ガラスリボンを形成する成形工程と、
    　前記ガラスリボンの幅方向の両端部に対して前記幅方向に隣接する近傍領域を、前記ガラスリボンの搬送方向に設けられた複数の搬送ローラ対で挟持しつつ、前記ガラスリボンを下方向に引き抜いて徐冷を行う徐冷工程と、を有し、
    　前記成形工程では、成形体からオーバーフローさせて前記成形体の側壁を流下する溶融ガラスを、前記成形体の下端で張り合わせることで前記ガラスリボンを形成した後に、前記ガラスリボンの幅方向の前記両端部を前記ガラスリボンの幅方向の中央部よりも速く冷却し、
    　前記徐冷工程では、前記ガラスリボンに塑性変形が生じないように、前記ガラスリボンの温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる温度領域において、前記ガラスリボンに対して前記搬送方向に張力を働かせる、ことを特徴とするガラス板の製造方法。
  2. 　前記徐冷工程では、前記搬送ローラ対のうち、前記ガラスリボンの温度がガラス徐冷点となる位置よりも下流側に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度を、前記搬送ローラ対のうち、前記ガラスリボンの温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる温度領域に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度よりも速くする、請求項１に記載のガラス板の製造方法。
  3. 　前記ガラス板は、板厚０．５ｍｍ以下である、請求項１または２に記載のガラス板の製造方法。
  4. 　前記徐冷工程では、前記搬送ローラで狭持される部分に対して前記ガラスリボンの幅方向内側に隣接する隣接領域に塑性変形が生じないように、前記隣接領域の温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる温度領域において、前記ガラスリボンに対して搬送方向の張力を働かせる、請求項１～３のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  5. 　前記徐冷工程では、前記搬送ローラ対のうち、前記ガラスリボンの搬送ローラで狭持される部分に対して前記ガラスリボンの幅方向内側に隣接する隣接領域の温度がガラス徐冷点となる位置よりも下流側に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度を、前記搬送ローラ対のうち、前記隣接領域の温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる温度領域に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度よりも速くする、請求項１～４のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  6. 　前記成形体の下端で前記熔融ガラスを張り合わせてガラスリボンを形成した後に、前記ガラスリボンの幅方向の前記両端部の粘度をηとしたときｌｏｇη＝９以上となるまで前記両端部が冷却され、かつ、前記両端部の冷却速度が前記ガラスリボンの幅方向の中央部の冷却速度よりも速い工程を含む、請求項１～５のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  7. 　前記徐冷工程では、
    　前記ガラスリボンの幅方向の中央部において、ガラスリボンの搬送方向に張力が働くように、
    　少なくとも、前記ガラスリボンの幅方向の中央部の温度がガラス徐冷点に１５０℃を足した温度からガラス歪点から２００℃引いた温度となる温度領域において、
    　前記ガラスリボンの幅方向の中央部の冷却速度が前記幅方向の両端部の冷却速度よりも速くなるように温度制御する、請求項１～６のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  8. 　前記ガラスリボンの幅方向の中央部の温度がガラス軟化点以上の領域において、前記ガラスリボンの幅方向の両端部が前記両端部に挟まれた中央部の温度より低く、且つ、前記中央部の温度が均一になるように前記ガラスリボンの温度を制御し、
    　前記ガラスリボンの幅方向の中央部において、ガラスリボン搬送方向の張力が働くように前記ガラスリボンの前記中央部の温度がガラス軟化点未満ガラス歪点以上の領域において、前記ガラスリボンの幅方向の温度分布が前記中央部から前記両端部に向かって低くなるように前記ガラスリボンの温度を制御し、
    　前記ガラスリボンの前記中央部の温度がガラス歪点となる温度領域において、前記ガラスリボンの幅方向の前記両端部と前記中央部との温度勾配がなくなるよう前記ガラスリボンの温度を制御する、請求項１～７のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  9. 　前記ガラスリボンの幅方向の中央部において、ガラスリボン搬送方向の張力が働くように前記ガラスリボンの前記中央部の温度がガラス歪点近傍未満の領域において、前記ガラスリボンの前記両端部から前記中央部に向かって低くなるように前記ガラスリボンの温度を制御する、請求項１～８のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  10. 　前記徐冷工程では、前記搬送ローラ対のうち、前記ガラスリボンの温度がガラス徐冷点となる位置よりも下流側に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度を、前記ガラスローラ対のうち、前記ガラスリボンの温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる温度領域に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度よりも０．０３～２％速くする、請求項１～９のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  11. 　前記ガラス板の幅方向の長さが、１０００ｍｍ以上である、請求項１～１０のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  12. 　前記徐冷工程は、２００ｍ／時以上の搬送速度で前記ガラスリボンを下方向に引き抜いて徐冷する、請求項１～１１のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
  13. 　ガラス原料を熔解して溶融ガラスをつくる熔解工程と、
    　溶融ガラスを、オーバーフローダウンドロー法を用いて成形し、ガラスリボンを形成する成形工程と、
    　前記ガラスリボンの幅方向の両端部に対して前記幅方向に隣接する近傍領域を、前記ガラスリボンの搬送方向に設けられた複数の搬送ローラ対で挟持しつつ、前記ガラスリボンを下方向に引き抜いて徐冷を行い、板厚０．５ｍｍ以下のガラスリボンを形成する徐冷工程と、を有し、
    　前記成形工程では、成形体からオーバーフローさせて前記成形体の側壁を流下する熔融ガラスを、前記成形体の下端で張り合わせることでガラスリボンを形成し、
    　前記徐冷工程では、前記搬送ローラ対のうち、前記ガラスリボンの温度が徐冷点となる位置よりも下流側に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度を、前記搬送ローラ対のうち、前記ガラスリボンの温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる温度領域に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度よりも速くする、ことを特徴とするガラス板の製造方法。
  14. 　ダウンドロー法を用いて溶融ガラスからガラスリボンを成形する成形装置と、
    　前記ガラスリボンの幅方向の両端部に対して前記幅方向に隣接する近傍領域を複数の搬送ローラ対で挟持しつつ、前記ガラスリボンを下方向に引き抜いて徐冷し、板厚０．５ｍｍ以下の前記ガラスリボンを形成する徐冷装置と、を有し、
    　前記徐冷装置は、前記複数の搬送ローラ対と、駆動部とを含み、
    　前記複数の搬送ローラ対の１つは、前記ガラスリボンの温度がガラス転移点以上ガラス軟化点以下となる第１温度領域に、前記複数の搬送ローラ対の他の１つは、前記ガラスリボンの温度がガラス徐冷点以下となる第２温度領域に設けられて、前記ガラスリボンを下方向に引き込むことで前記ガラスリボンを搬送し、
    　前記駆動部は、前記第２温度領域に設けられた搬送ローラ対の搬送ローラの周速度が、
    前記第１温度領域に設けられた搬送ローラの周速度よりも速くなるように前記搬送ローラ
    を回転駆動させる、ことを特徴とするガラス板製造装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016104256A1 (ja) * 2014-12-22 2016-06-30 日本電気硝子株式会社 ガラスリボンの製造装置及びガラスリボンの製造方法
CN113165936A (zh) * 2018-12-18 2021-07-23 日本电气硝子株式会社 玻璃板的制造方法

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101972254B1 (ko) * 2015-03-30 2019-04-24 아반스트레이트 가부시키가이샤 유리 기판의 제조 방법
JP6514588B2 (ja) * 2015-06-30 2019-05-15 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス基板の製造方法
CN105776823A (zh) * 2016-01-25 2016-07-20 徐林波 平板玻璃夹带成型方法
JP6299784B2 (ja) * 2016-02-17 2018-03-28 旭硝子株式会社 ガラス板、及びガラス板の製造方法
JP6708970B2 (ja) * 2016-12-15 2020-06-10 日本電気硝子株式会社 ガラス物品の製造方法
KR102139863B1 (ko) * 2017-09-29 2020-07-31 아반스트레이트 가부시키가이샤 유리판의 제조 방법
KR20190038349A (ko) 2017-09-29 2019-04-08 아반스트레이트 가부시키가이샤 유리판의 제조 방법 및 유리판의 제조 장치
KR102136931B1 (ko) * 2017-09-29 2020-07-23 아반스트레이트 가부시키가이샤 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판 제조 장치
KR102179884B1 (ko) * 2017-12-26 2020-11-18 아반스트레이트 가부시키가이샤 유리 기판의 제조 방법, 및 유리 기판 제조 장치
WO2019242673A1 (en) 2018-06-21 2019-12-26 Schott Glass Technologies (Suzhou) Co., Ltd. Chemically toughened glass article having no optical orange skin and method for producing same
JP7413379B2 (ja) * 2018-11-21 2024-01-15 ショット アクチエンゲゼルシャフト 薄型ガラスおよび薄型ガラスリボンを製造するための方法および装置
CN111176165B (zh) * 2019-12-30 2021-01-26 彩虹显示器件股份有限公司 一种基板玻璃牵引辊自动调节系统及方法
CN112759241B (zh) * 2021-01-29 2024-02-23 彩虹显示器件股份有限公司 一种玻璃应力控制方法
CN113277719B (zh) * 2021-04-30 2022-08-30 彩虹（合肥）液晶玻璃有限公司 一种平板玻璃板高控制装置
CN113880405A (zh) * 2021-09-24 2022-01-04 彩虹（合肥）液晶玻璃有限公司 一种液晶基板玻璃成型用自校正牵引辊轮结构

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10291827A (ja) * 1997-04-16 1998-11-04 Hoya Corp ガラス板の製造方法及び製造装置
JPH10291826A (ja) * 1997-04-16 1998-11-04 Hoya Corp ガラス板の製造方法及び製造装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05124827A (ja) * 1991-10-31 1993-05-21 Hoya Corp ガラス板の製造装置及び製造方法
JP3586142B2 (ja) * 1999-07-22 2004-11-10 エヌエッチ・テクノグラス株式会社 ガラス板の製造方法、ガラス板の製造装置、及び液晶デバイス
KR100524842B1 (ko) * 2002-09-25 2005-10-28 삼성코닝정밀유리 주식회사 낮은 잔류응력을 갖는 평판 유리의 제조방법
WO2005055284A2 (en) * 2003-11-28 2005-06-16 Corning Incorporated Method of fabricating low-warp flat glass
JP4753067B2 (ja) * 2005-08-18 2011-08-17 日本電気硝子株式会社 板ガラスの成形方法
US20070062219A1 (en) * 2005-09-22 2007-03-22 Blevins John D Methods of fabricating flat glass with low levels of warp
JP5076443B2 (ja) * 2006-10-24 2012-11-21 日本電気硝子株式会社 ガラスリボンの製造装置及びその製造方法
US8627684B2 (en) * 2007-10-29 2014-01-14 Corning Incorporated Pull roll apparatus and method for controlling glass sheet tension
JP5428288B2 (ja) * 2007-12-25 2014-02-26 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法及び製造設備
US8037716B2 (en) * 2009-02-27 2011-10-18 Corning Incorporated Thermal control of the bead portion of a glass ribbon
JP5611572B2 (ja) * 2009-05-18 2014-10-22 コーニング インコーポレイテッド 応力制御領域
JP5375385B2 (ja) * 2009-07-13 2013-12-25 日本電気硝子株式会社 ガラス基板の製造方法
JP5669006B2 (ja) * 2010-10-19 2015-02-12 日本電気硝子株式会社 帯状ガラスフィルム製造方法及び帯状ガラスフィルム製造装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10291827A (ja) * 1997-04-16 1998-11-04 Hoya Corp ガラス板の製造方法及び製造装置
JPH10291826A (ja) * 1997-04-16 1998-11-04 Hoya Corp ガラス板の製造方法及び製造装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016104256A1 (ja) * 2014-12-22 2016-06-30 日本電気硝子株式会社 ガラスリボンの製造装置及びガラスリボンの製造方法
JP2016117623A (ja) * 2014-12-22 2016-06-30 日本電気硝子株式会社 ガラスリボンの製造装置及びガラスリボンの製造方法
CN106573817A (zh) * 2014-12-22 2017-04-19 日本电气硝子株式会社 玻璃带的制造装置以及玻璃带的制造方法
CN113165936A (zh) * 2018-12-18 2021-07-23 日本电气硝子株式会社 玻璃板的制造方法
CN113165936B (zh) * 2018-12-18 2022-12-02 日本电气硝子株式会社 玻璃板的制造方法

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