WO2012042750A1 - 情報記録媒体用ガラス基板、その製造方法、情報記録媒体、及びハードディスク装置 - Google Patents

情報記録媒体用ガラス基板、その製造方法、情報記録媒体、及びハードディスク装置 Download PDF

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WO2012042750A1
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WO
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information recording
recording medium
glass substrate
polishing
cleaning step
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PCT/JP2011/004942
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English (en)
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Inventor
葉月 中江
Original Assignee
コニカミノルタオプト株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • G11B5/8404—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers manufacturing base layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C19/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by mechanical means
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0075—Cleaning of glass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D2111/00—Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
    • C11D2111/10—Objects to be cleaned
    • C11D2111/14—Hard surfaces
    • C11D2111/18—Glass; Plastics

Definitions

  • the present invention relates to a glass substrate for an information recording medium, a manufacturing method thereof, an information recording medium, and a hard disk device.
  • An information recording medium mounted on a hard disk device has a recording layer made of a magnetic material for recording information formed on the surface of a glass or aluminum substrate, and a head provided in the hard disk device has the recording layer Is read and written by rotating at a relatively high speed with a flying height of several nanometers. For this reason, for example, if there is a deposit on the surface of the information recording medium, the deposit and the head may collide.
  • Patent Document 1 discloses a method of manufacturing a glass substrate for an information recording medium in which the amount of cerium remaining on the surface of the glass substrate is cleaned so as to be a predetermined amount or less in the manufacturing process.
  • the recording density of glass substrates used in hard disk devices has been improving year by year, and the flying height of the head of the hard disk device tends to be further reduced accordingly. Therefore, as described in Patent Document 1, even if the amount of cerium is set to a predetermined amount or less, for example, if sulfate ion contamination exists, the head may collide.
  • An object of the present invention is to reduce the amount of sulfate ion contamination on a glass substrate to a certain level or less, and when mounted on a hard disk device, the glass substrate for an information recording medium is less likely to cause the head to collide with sulfate ion contamination.
  • a method, an information recording medium, and a hard disk device are provided.
  • the glass substrate for an information recording medium includes a polishing step for polishing a sheet glass material and an intermediate cleaning step for cleaning, and at least one of the polishing step and the intermediate cleaning step.
  • the amount of contamination is 50 ng / cm 2 or less.
  • the manufacturing method of the glass substrate for information recording media which concerns on 1 aspect of this invention includes the grinding
  • sulfates are only a few nanometers in size, it is difficult to detect these sulfates by the analytical methods studied so far. For example, TXRF and SEM-EDX cannot be detected because the sulfate to be measured is too small.
  • sulfate ions are composed of sulfur and oxygen as elements. However, these instruments cannot detect the sulfate ions because they are detected as sulfur and oxygen. The same applies to ICP-MS (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer).
  • sulfate Since most of the sulfate is water-soluble, it is removed to some extent when wet cleaning is performed, but sulfate ions remain on the substrate in a wet state, that is, a wet substrate. In this case, it is possible to reduce sulfate ions by greatly increasing the amount and number of rinses, but a large-scale facility is required and the production efficiency is greatly deteriorated. In particular, in recent years, pure water or ultrapure water is used, but since ultrapure water does not conduct electricity, the substrate is easily charged (ions are likely to be present), and sulfate ions are formed on the substrate. It tends to exist. As a result, it is estimated that sulfate is generated on the substrate.
  • the glass substrate for an information recording medium includes a polishing step for polishing a sheet glass material and an intermediate cleaning step for cleaning, and at least one of the polishing step and the intermediate cleaning step.
  • the amount of contamination is 50 ng / cm 2 or less.
  • FIG. 1 is a perspective view of a glass substrate for an information recording medium of the present invention
  • FIG. 2 is a perspective view of a part of the information recording medium of an embodiment provided with the glass substrate for an information recording medium of the present invention
  • FIG. 3 is a plan view of a hard disk device provided with an information recording medium.
  • the information recording medium glass substrate 10 includes, for example, (1) a first lapping step, (2) an end shape step (a coring step for forming a hole, a chamfer for forming chamfers at an outer peripheral end and an inner peripheral end). Ring step (chamfer forming step)), (3) end polishing step (outer peripheral end and inner peripheral end), (4) second lapping step, (5) first polishing step, and (6) first intermediate cleaning step. (7) The second polishing step, (8) the second intermediate cleaning step, and (9) the final cleaning step. Note that the order of the above steps can be changed as appropriate.
  • the information recording medium glass substrate 10 is formed of a disk-shaped one having a circular through hole 11 at the center, for example, a 3.5-inch disk ( ⁇ 89 mm), 2 It is manufactured as having a predetermined shape such as a 5-inch type disk ( ⁇ 65 mm). As notebook computers become more popular, 2.5-inch discs are increasing.
  • the surface of a plate-shaped glass raw material is lapped (grinded) to form a glass base material, and this glass base material is cut to cut out a glass substrate.
  • Various plate glass materials can be used as the plate glass material.
  • it can be manufactured using a known method such as a press method, a float method, a downdraw method, a redraw method, or a fusion method using molten glass as a material.
  • a press method is used, a sheet glass material can be manufactured at low cost.
  • the material of the plate glass material for example, amorphous glass or glass ceramics (crystallized glass) can be used.
  • aluminosilicate glass soda lime glass, borosilicate glass, or the like
  • amorphous glass can be chemically strengthened
  • an aluminosilicate glass can be preferably used in that a glass substrate for a magnetic disk excellent in flatness of the main surface and substrate strength can be supplied.
  • the molten aluminosilicate glass can be formed into a disk shape by direct pressing using an upper mold and a lower mold to obtain an amorphous sheet glass material.
  • the aluminosilicate glass include SiO 2 : 58 wt% to 75 wt%, Al 2 O 3 : 5 wt% to 23 wt%, Li 2 O: 3 wt% to 10 wt%, Na 2 O: 4 wt% to Glass containing 13% by weight as a main component can be used.
  • both main surfaces of the plate glass are lapped to form a disk-shaped glass base material.
  • the lapping process is performed using alumina-based loose abrasive grains by a double-sided lapping apparatus using a planetary gear mechanism, for example. Specifically, the lapping platen is pressed from above and below on both sides of the plate glass, and the grinding liquid containing free abrasive grains is supplied onto the main surface of the plate glass material, and these are moved relative to each other for lapping. I do. By this lapping process, a glass base material having a flat main surface can be obtained.
  • end shape processing step for example, a cylindrical diamond drill is used to form an inner hole in the center of the plate-like glass material to form an annular shape (coring). . Thereafter, the inner peripheral end face and the outer peripheral end face are ground by, for example, a diamond grindstone and subjected to predetermined chamfering (chambering).
  • Second Lapping Step a second lapping process is performed on both main surfaces of the obtained annular sheet glass material in the same manner as in the first lapping step.
  • the fine irregularities formed on the main surface in the previous cutting step and end surface polishing step can be removed in advance, and the subsequent polishing step for the main surface can be shortened. Can be completed in time.
  • the outer peripheral end surface and the inner peripheral end surface of the glass substrate are mirror-polished by, for example, a brush polishing method.
  • a brush polishing method it can carry out using the slurry (free abrasive grain) containing a cerium oxide abrasive grain, for example as an abrasive grain.
  • the glass sheet material after the end face polishing process is washed with water.
  • the end surface of the sheet glass material can be processed into a mirror surface state in which the occurrence of precipitation of sodium or potassium can be reduced.
  • the first polishing step is mainly intended to remove scratches and distortions remaining on the main surface in the lapping step described above.
  • the main surface can be polished using a hard resin polisher by a double-side polishing apparatus having a planetary gear mechanism, for example.
  • the abrasive for example, cerium oxide abrasive grains can be used.
  • First intermediate cleaning step The first intermediate cleaning step is performed for cleaning the sheet glass material after the first polishing step and dropping the abrasive used in the first polishing step.
  • the plate-like glass material that has finished one polishing step is sequentially immersed in each washing tank of neutral detergent, pure water, and IPA (isopropyl alcohol) and washed.
  • the plate-like glass material after the first polishing step is washed with sulfuric acid water, and then sequentially immersed in each washing bath of neutral detergent, pure water, and IPA as described above. You may make it do.
  • neutral detergent, pure water, and IPA washing tanks By washing with sulfuric acid before washing in neutral detergent, pure water, and IPA washing tanks, the abrasive used in the first polishing step can be easily removed.
  • the second polishing step is intended to finish the main surface into a mirror surface, and in this embodiment, is performed after the first intermediate cleaning step.
  • the main surface can be mirror-polished using a soft foamed resin polisher by a double-side polishing apparatus having a planetary gear mechanism, for example.
  • polishing process can be used as an abrasive
  • the slurry (polishing liquid) is polished at a predetermined pH.
  • polishing is performed by adding an additive containing sulfuric acid and sulfate to the slurry. This is for controlling the pH of the slurry constant during the polishing process.
  • the adjustment of pH is not limited to the above additives, and acids or alkalis and salts thereof can be appropriately used.
  • Second intermediate cleaning step The second intermediate cleaning step is performed for cleaning the sheet glass material after the second polishing step and removing the abrasive used in the second polishing step. 2
  • the plate-like glass material that has finished the polishing step is sequentially immersed in each washing tank of neutral detergent, pure water, and IPA (isopropyl alcohol) and washed.
  • Final cleaning step The final cleaning step is performed for removing sulfate ion contamination on the surface of the sheet glass material.
  • cleaning is performed with an alkaline detergent, and rinsing is performed with functional water in which CO 2 is contained in ultrapure water.
  • cleaning with an alkaline detergent is performed, and rinsing with functional water in which ultra pure water contains CO 2 is performed a plurality of times.
  • washing at 950 kHz with an alkaline detergent pH 11, temperature 60 ° C.
  • rinsing with functional water containing ultra pure water containing CO 2 and washing again at 2000 kHz with the above alkaline detergent.
  • drying is performed with IPA vapor.
  • the amount of sulfate ion (SO 4 2 ⁇ ) contamination remaining on the surface of the glass substrate for information recording medium obtained after the final cleaning step of the present invention is 50 ng / cm 2 or less. Further, the sulfate ion (SO 4 2 ⁇ ) contamination amount is preferably 25 ng / cm 2 or less.
  • the information recording medium 1 is either the first surface 21a (main surface) or the second surface 21b (main surface) of the glass substrate 10 for information recording medium obtained as described above.
  • an adhesion layer, a soft magnetic layer, a pre-underlayer, an underlayer, a nonmagnetic granular layer, a first magnetic recording layer, a second magnetic recording layer, an auxiliary recording layer, and a protective layer is formed by sequentially laminating the lubricating layer, and the information recording medium (magnetic recording medium) is obtained.
  • the recording layer 12 is shown only on the first surface 21a of the information recording medium 1, and the recording layer 12 on the second surface 21b is omitted.
  • a film forming apparatus that performs evacuation on both surfaces of the glass substrate 10 for information recording medium is sequentially formed from an adhesion layer to an auxiliary recording layer in an Ar atmosphere by a DC magnetron sputtering method.
  • the adhesion layer is, for example, CrTi.
  • a Ru spacer layer is interposed between the first soft magnetic layer and the second soft magnetic layer made of FeCoTaZr.
  • the composition of the pre-underlayer is a NiW alloy having an fcc structure.
  • the underlayer is a second underlayer (Ru) formed under high pressure Ar on the first underlayer (Ru) under low pressure Ar.
  • the composition of the nonmagnetic granular layer is nonmagnetic CoCr—SiO 2 .
  • the composition of the first magnetic recording layer is CoCrPt—Cr 2 O 3 and the composition of the second magnetic recording layer is CoCrPt—SiO 2 —TiO 2 .
  • the composition of the auxiliary recording layer is CoCrPtB.
  • the medium protective layer is formed using C 2 H 4 by a CVD method, and is formed by performing nitriding treatment in which nitrogen is introduced into the surface in the same chamber.
  • the lubricating layer is formed using PFPE by a dip coating method.
  • FIG. 3 is a plan view of the hard disk device 100 according to an embodiment of the present invention with the top cover removed
  • FIG. 4 is an enlarged perspective view of a main part of the lamp of the hard disk device 100
  • FIG. It is sectional drawing of the state with which the medium was mounted
  • the hard disk device 100 of this embodiment includes an information recording medium 1 and a disk device main body 101.
  • the information recording medium 1 is composed of two sheets having the same configuration as described above as shown in FIG.
  • the information recording medium 1 is mounted on the disk device main body 101 so as to be fixed to a rotating shaft 130 of the disk device main body 101 described later. The fixing of the information recording medium 1 will be described later.
  • the disk apparatus main body 101 includes a casing 110, a plurality of suspensions 112 having a magnetic head 111 (shown in FIG. 4) on the distal end side, and an arm 113 that supports the base end side of each suspension 112, A ramp 120 for holding the magnetic head 111 in a predetermined position when not in operation, a rotating shaft 130 rotatably disposed in the casing 110, and a fixing member for fixing the information recording medium 1 to the rotating shaft 130 are provided. ing.
  • the casing 110 includes a rectangular parallelepiped casing body 110a having an upper surface opening, and a casing body 110a that closes the opening of the casing body 110a from the upper side and a top cover (not shown) that has substantially the same shape.
  • the arm 113 is pivotally attached to the casing body 110a around a pivot 114 provided in the casing body 110a, and is a voice coil motor (see FIG. (Not shown).
  • the suspensions 112 are disposed so that the magnetic heads 111 face each other, and include a lift tab 112 a at the tip.
  • the dynamic flying height control unit incorporates a heater in the magnetic head 111 and supplies power to the heater when reading / writing information from / to the information recording medium 1.
  • the ABS surface facing the information recording medium 1 is raised so that the distance between the magnetic head 111 and the information recording medium 1 is reduced.
  • the ramp 120 is disposed on the outer peripheral side of the information recording medium 1 and on the front end side of the suspension 112.
  • the lamp 120 has two grooves 123 (only one is shown in FIG. 4) for inserting the information recording medium 1 on the tip side, and slides on both upper and lower sides of each groove 123.
  • Part 121 and a holding part 122 extending from the sliding part 121 to the outer peripheral side of the information recording medium 1.
  • the sliding part 121 slides the lift tab 112a of the suspension 112, and gradually from the top surface (first surface 21a in this embodiment) or the bottom surface (second surface 21b) of the information recording medium 1 toward the holding part 122 side from the tip. The distance is gradually increased.
  • the holding unit 122 holds the lift tab 112 a that has been slid from the sliding unit 121, so that the magnetic head 111 is separated from the outer periphery of the information recording medium 1 by a predetermined distance to the outer peripheral side via the suspension 112. Hold.
  • the base 120 of the lamp 120 configured in this way is fixed to the casing body 12 by fixing means such as bolts. Further, in this fixed state, a part of the outer peripheral edge of the information recording medium 1 enters the groove 123 and the tip of the sliding portion 121 is separated from the upper surface and the lower surface of the information recording medium 1 by a predetermined distance.
  • the information recording medium 1 is disposed in a non-contact manner so as to overlap a part of the outer peripheral edge on the upper surface and the lower surface of the information recording medium 1 in the axial direction (thickness direction).
  • the rotating shaft 130 includes a columnar insertion portion 131 and a first placement portion 132 that is disposed below the insertion portion 131 and has a diameter larger than the outer diameter of the insertion portion 131. Yes.
  • the insertion portion 131 has an outer diameter that is approximately the same as that of the through hole 11 of the information recording medium 1 so that the through hole 11 of the information recording medium 1 is fitted therein. Further, the upper surface of the insertion portion 131 constitutes a main body attachment portion 133 to which a clamp main body 144 in a clamp member 143 described later is attached.
  • the first placement unit 132 places the information recording medium 1 that is passed through the tip of the two information recording media 1 passed through the insertion unit 131 and disposed on the lower side.
  • the fixing member includes a mounting portion 141 for mounting the information recording medium 1 and a clamp member 143 for holding the information recording medium 1 mounted on the mounting portion 141.
  • the mounting unit 141 includes a first mounting unit 132 of the rotating shaft 130 and a second mounting unit 142 on which the upper information recording medium 1 passed through the insertion unit 131 is mounted.
  • the second mounting portion 142 is configured by a ring-shaped member having a predetermined thickness disposed between the information recording media 1.
  • the clamp member 143 includes a circular flat clamp body 144 and an elastic ring-shaped pressing piece 145 provided on the entire outer periphery of the clamp body 144.
  • the pressing piece 145 has an annular pressing portion 145 a formed on the entire circumference so as to protrude downward from the clamp body 144.
  • the clamp member 143 configured as described above has the clamp main body 144 in a state where the information recording medium 1 is placed on each of the first placement unit 132 and the second placement unit 142. It is attached to the main body attaching portion 133 of the rotating shaft 130 via a bolt member 146.
  • the pressing portion 145a presses the peripheral portion of the through hole 11 of the information recording medium 1 on the upper side from the upper side. Then, by the pressing force, the lower information recording medium 1 is sandwiched between the first mounting portion 132 and the second mounting portion 142, and the upper information recording medium 1 is held between the second mounting portion 142 and the pressing portion. 145a, and thereby the information recording medium 1 is fixed to the rotating shaft 130.
  • Example 1 The plate glass material is subjected to the above-described first lapping step, end shape processing step, end face polishing step, second lapping step, and first polishing step, and the first polishing step is finished in the subsequent first intermediate cleaning step.
  • the plate-like glass material was washed by sequentially immersing it in each washing bath of neutral detergent, pure water, and IPA vapor.
  • the pH of the slurry was set to 1 and polishing was performed by adding an additive containing sulfuric acid and sulfate to the slurry.
  • functional water was washed with an alkaline detergent (pH 11; temperature 60 ° C.) at 950 kHz, and ultrapure water contained CO 2 (electric resistivity 0.1 to 0.2 M ⁇ ⁇ cm).
  • an alkaline detergent pH 11; temperature 60 ° C.
  • ultrapure water contained CO 2 (electric resistivity 0.1 to 0.2 M ⁇ ⁇ cm).
  • washing was performed again at 2000 kHz with the above alkaline detergent.
  • a rinsing process at 2000 kHz with functional water containing CO 2 in ultrapure water was performed three times, followed by drying with an IPA vapor drying apparatus to produce a glass substrate for an information recording medium of Example 1. .
  • Example 2 As the final cleaning step, the rinsing step at 2000 kHz in Example 1 was increased to five times to produce the glass substrate for information recording medium of Example 2. Others in Example 2 were manufactured under the same conditions as in Example 1.
  • Example 3 As the final cleaning process, the final cleaning process of Example 2 was repeated twice to produce the glass substrate for information recording medium of Example 3. Others in Example 3 were manufactured under the same conditions as in Example 2.
  • Example 4 In the first intermediate cleaning step, the plate-like glass material that had finished the first polishing step was washed with a 10% by weight aqueous solution of sulfuric acid, and then immersed in each washing bath of neutral detergent, pure water, and IPA for washing.
  • Example 4 the pH of the slurry was set to 4, and the slurry was polished by adding an additive containing citric acid and citrate without containing sulfuric acid and sulfuric acid. A glass substrate for a recording medium was produced. Others in Example 4 were manufactured under the same conditions as in Example 1.
  • Comparative Example 1 In the final cleaning method of Example 1, the rinsing step was performed with ultrapure water not containing CO 2 . Comparative Example 1 was manufactured by changing the rinse process at 2000 kHz to one time.
  • Comparative Example 2 In the final cleaning method of Example 1, all ultrasonic cleaning with an alkaline detergent and ultrapure water was performed at 80 kHz. Further, to produce a comparative example 2 by performing using not containing CO 2 as ultrapure water.
  • the amount of sulfate ion contamination was measured, and a recording layer 12 was formed on each to record information.
  • the medium 1 is mounted on a hard disk device, and the glide evaluation in that case is performed, which will be described below.
  • substrate which measured the amount of ion contamination in each Example and comparative example which are described below extracted from the board
  • the amount of sulfate ion contamination was measured by immersing the glass substrates of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2 in 20 mL of ultrapure water (80 ° C.) having an electrical resistivity of 18.2 M ⁇ ⁇ cm and allowing to stand for 30 minutes. did. At this time, stirring is not performed. During the operation, the lid of the container was closed, and further, the operation was performed in a class 100 (FED-STD-209D, US Federal Standard) room. After 30 minutes, the extract was measured by ion chromatography. By carrying out at 80 ° C., a partially soluble salt which is partially present can be dissolved. Note that ICS-2100 manufactured by Dionex Co., Ltd. was used for the measurement.
  • the orientation of the magnetic particles by sputtering is uniform, and the magnetic layer capable of high density storage Formation was possible.
  • the glide evaluation was performed on 10 glass substrates of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2 using the hard disk device 100.
  • the glide evaluation process is a process for inspecting whether or not there is a protrusion on the surface of the information recording medium 1. That is, when the magnetic head 111 flying and traveling on the information recording medium 1 records / reproduces information on / from the information recording medium 1, the height of the information recording medium 1 on the surface of the information recording medium 1 is greater than the distance from the magnetic head 111. If there are protrusions, the magnetic head 111 may come into contact with the protrusions, which may damage the magnetic head 111 or cause a defect in the information recording medium 1.
  • the above-mentioned hard disk device 100 with a flying height of the magnetic head of 1 nm is used, and the magnetic head 111 is not damaged among the 10 glass substrates of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2,
  • the information recording medium 1 with no defects is 8-10, ⁇ , 5-7, ⁇ , 3-4, ⁇ , and less than ⁇ . It was judged.
  • Example 1 to 4 were better than those of Comparative Examples 1 and 2. Moreover, the thing of Example 3 and 4 whose sulfate ion contamination amount is 10 ng / cm ⁇ 2 > or less was much better.
  • sulfuric acid is used in the first intermediate cleaning process or sulfuric acid is used in the second polishing process in the manufacturing process of the information recording medium glass substrate.
  • sulfuric acid may be used in the first intermediate cleaning step, and sulfuric acid may be used in the second polishing step, which can be changed as appropriate.
  • the manufacturing process of the glass substrate for information recording medium does not include the chemical strengthening process, but may include the chemical strengthening process and can be changed as appropriate.
  • the hard disk device 100 includes the dynamic flying height control unit.
  • the hard disk device 100 is not limited to this type, and may not include the dynamic flying height control unit, for example. Can be changed as appropriate.
  • the glass substrate for an information recording medium includes a polishing step for polishing a plate glass material and an intermediate cleaning step for cleaning, and in at least one of the polishing step and the intermediate cleaning step A glass substrate for information recording medium obtained by a production method using sulfuric acid, and sulfate ions (SO 4 2 ⁇ remaining on the surface of the glass substrate for information recording medium obtained in the final washing step after the intermediate washing step) )
  • the amount of contamination is 50 ng / cm 2 or less.
  • the amount of sulfate ion contamination remaining on the information recording medium glass substrate is 50 ng / cm 2 or less, the amount of sulfate produced on the information recording medium glass substrate can be reduced. Therefore, when an information recording medium having a glass substrate for information recording medium is mounted on a hard disk device, the magnetic head of the hard disk device collides with sulfate existing in the information recording medium, and the magnetic head is damaged, or the information recording medium The medium can be made less likely to be defective.
  • the amount of sulfate ion (SO 4 2 ⁇ ) contamination remaining on the surface of the glass substrate for information recording medium obtained in the final cleaning step is 10 ng / cm 2 or less. It is comprised as follows.
  • the amount of sulfate ion contamination remaining on the information recording medium glass substrate is 10 ng / cm 2 or less, the amount of sulfate produced on the information recording medium glass substrate can be further reduced. it can.
  • An information recording medium includes the above-described glass substrate for an information recording medium, and a recording layer for recording information on a surface of the glass substrate for the information recording medium. .
  • the magnetic head of the hard disk device when mounted on a hard disk device, the magnetic head of the hard disk device is less likely to collide with sulfate present in the information recording medium, the magnetic head is damaged, or the information recording medium It can be made less likely to cause defects.
  • a hard disk device includes the above-described information recording medium.
  • the magnetic head and the sulfate existing in the information recording medium are less likely to collide, and the magnetic head is less likely to be damaged or the information recording medium is less likely to be defective.
  • the method for producing a glass substrate for an information recording medium includes a polishing step for polishing a sheet glass material and an intermediate cleaning step for cleaning, and at least one of the polishing step and the intermediate cleaning step
  • the method of manufacturing a glass substrate for information recording medium using sulfuric acid in the step wherein the manufacturing method includes a final cleaning step as a final step, and is present on the surface of the glass substrate for information recording medium in the final cleaning step.
  • This is a manufacturing method characterized by washing so that the amount of sulfate ion (SO 4 2 ⁇ ) contamination is 50 ng / cm 2 or less.
  • the remaining sulfate ion contamination is cleaned so as to be 50 ng / cm 2 or less, so that the sulfate produced on the glass substrate for information recording medium can be reduced, and information recording can be performed.
  • the magnetic head of the hard disk device collides with a sulfate existing in the information recording medium and the magnetic head is damaged, or the information recording medium is defective.
  • a glass substrate for an information recording medium that is less likely to occur can be obtained.
  • the amount of sulfate ion (SO 4 2 ⁇ ) contamination remaining on the surface of the glass substrate for information recording medium obtained in the final cleaning step is 10 ng. / Cm 2 or less.
  • the remaining sulfate ion contamination is cleaned so as to be 10 ng / cm 2 or less, so that the sulfate generated on the information recording medium glass substrate can be further reduced. it can.
  • the polishing step includes a first polishing step for performing rough polishing, and a second polishing step for performing final polishing after the first polishing step.
  • the intermediate cleaning step includes a first intermediate cleaning step of cleaning the sheet glass material using sulfuric acid after the first polishing step, and the second polishing step includes the first intermediate cleaning step. It is performed after this.
  • the abrasive used in the first polishing step can be efficiently dropped.
  • sulfuric acid used in the first intermediate cleaning step can be removed during polishing, and the sulfate ions remaining on the plate-like glass substrate after the second polishing step are reduced. it can. Therefore, it is possible to further reduce sulfate ion contamination on the glass material in the final cleaning step.
  • the glass base plate containing cerium oxide in the composition when the glass base plate containing cerium oxide in the composition is precisely polished, it is possible to prevent the number of times that the silica-based abrasive can be used as a polishing material from being limited. A glass substrate for an information recording medium with good flatness can be obtained.

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Abstract

本発明は、ガラス基板上の硫酸イオンコンタミネーション量を一定以下のものにし、ハードディスク装置に装着した場合にヘッドが硫酸イオンコンタミネーションに衝突するおそれの少ない情報記録媒体用ガラス基板、その製造方法、情報記録媒体、及びハードディスク装置の提供を目的とする。本発明の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法は、最終洗浄工程にて得られる情報記録媒体用ガラス基板１０の表面に残存する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量を５０ｎｇ／ｃｍ２以下になるように洗浄する。

Description

情報記録媒体用ガラス基板、その製造方法、情報記録媒体、及びハードディスク装置
　本発明は、情報記録媒体用ガラス基板、その製造方法、情報記録媒体、及びハードディスク装置に関するものである。
　ハードディスク装置に搭載された情報記録媒体は、ガラス製若しくはアルミニウム製の基板の表面に、情報を記録する磁性体からなる記録層が製膜されており、ハードディスク装置に設けられたヘッドがその記録層を数ｎｍの浮上量で相対的に高速回転して読み書きを行っている。そのため、例えば情報記録媒体の表面に付着物が存在すると付着物とヘッドとが衝突してしまう場合が起こり得る。
　従って、情報記録媒体の表面の付着物をできるだけ少なくなるようにしておく必要があり、そのため、従来から、情報記録媒体の表面の付着物を少なくするような試みがなされている。例えば特許文献１には、製造工程において、ガラス基板の表面に残留するセリウムの量を所定の量以下になるように洗浄する情報記録媒体用ガラス基板の製造方法が開示されている。
　ハードディスク装置に用いられるガラス基板は、年々記録密度が向上しており、それに伴ってハードディスク装置のヘッドの上記浮上量が更に低下する傾向にある。したがって、特許文献１に記載のように、セリウムの量を所定の量以下にしても、例えば硫酸イオンコンタミネーションが存在するとヘッドが衝突してしまうおそれがある。
特開２００９－１９３６０８号公報
　本発明の目的は、ガラス基板上の硫酸イオンコンタミネーション量を一定以下のものにし、ハードディスク装置に装着した場合にヘッドが硫酸イオンコンタミネーションに衝突するおそれの少ない情報記録媒体用ガラス基板、その製造方法、情報記録媒体、及びハードディスク装置を提供することである。
　すなわち、本発明の一態様に係る情報記録媒体用ガラス基板は、板状ガラス素材を研磨する研磨工程と洗浄する中間洗浄工程とを含むとともに、それらの研磨工程と中間洗浄工程との少なくとも一方の工程において硫酸を用いる製造方法によって得られた情報記録媒体用ガラス基板であって、前記中間洗浄工程後の最終洗浄工程にて得られる情報記録媒体用ガラス基板の表面に残存する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量が５０ｎｇ／ｃｍ２以下であることを特徴とする。
　また、本発明の一態様に係る情報記録媒体用ガラス基板の製造方法は、板状ガラス素材を研磨する研磨工程と洗浄する中間洗浄工程とを含むとともに、それらの研磨工程と中間洗浄工程との少なくとも一方の工程で硫酸を用いる情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、前記製造方法は、最終工程として最終洗浄工程を含み、その最終洗浄工程で、情報記録媒体用ガラス基板の表面に残存する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量を５０ｎｇ／ｃｍ２以下になるように洗浄することを特徴とする。
　上記並びにその他の本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な記載と添付図面から明らかになるであろう。
本発明の一実施形態の情報記録媒体用ガラス基板の斜視図である。 本発明の情報記録媒体用ガラス基板を備えた一実施形態の情報記録媒体の一部を断面にした斜視図である。 本発明の情報記録媒体を備えた一実施形態のハードディスク装置のトップカバーを外した状態の平面図である。 ハードディスク装置のランプの要部拡大斜視図である。 ハードディスク装置に装着した状態の情報記録媒体の断面図である。 実施例１～４、比較例１及び２それぞれの硫酸イオンコンタミネーション量、グライド評価を表した図表である。
　近年は情報記録媒体の耐久性が求められ、耐久性が良好なガラス基板が主流となっているが、ガラスは硬度が硬いため物理的な処理が行いにくい。そのため加工や中間洗浄の製造工程において硫酸などの強酸を利用する場合も多い。そのため、その製造工程で使用した硫酸から硫酸イオンが発生し、様々な物質と塩を生成する。この硫酸塩は、ほとんどの場合単体として存在せずに水和物として存在し、硫酸塩及びその水和物の種類によるが、その大きさは１つの塩で１ｎｍ程度のものもあり、複数の塩が存在するとハードディスク装置に装着した場合にヘッドが衝突するおそれがある。上記のように硫酸塩の大きさは数ｎｍしかないため、これまで検討されてきた分析方法ではこれらの硫酸塩は検出され難い。たとえばＴＸＲＦやＳＥＭ－ＥＤＸでは、測定する硫酸塩の大きさが小さすぎるため検出できない。特に硫酸イオンは元素として硫黄と酸素から成るが、これらの測定機では硫黄および酸素として検出されるため、硫酸イオンという特定ができない。ＩＣＰ－ＭＳ（誘導結合プラズマ質量分析装置）でも同様である。今回、ヘッドとディスクとの距離が２ｎｍ以下の動的浮上量制御部を有するハードディスク装置に搭載するガラス基板を製造するにあたり、ＴＸＲＦもしくはＳＥＭ－ＥＤＸでＣｅ元素やＦｅ元素などの金属元素を取り除いたことを確認したガラス基板をハードディスク装置に搭載した場合でも、ヘッドがディスク上の異物と衝突してしまうことが確認された。
　硫酸塩は、ほとんどが水溶性であるため、ウェット洗浄を行うとある程度は除去されるが、ウェットな状態つまり基板が濡れている状態では基板上に硫酸イオンが残存してしまう。この場合に、リンスの量や回数を大幅に増やすことにより硫酸イオンを減らすことが可能であるが、大規模な施設が必要とされ、また生産効率は大幅に悪くなる。特に、近年は純水、或いは、超純水が使用されるが、超純水は電気を通さないため、基板上が帯電しやすくなり（イオンが存在し易くなり）、基板上に硫酸イオンが存在し易くなる。その結果、基板上に硫酸塩が生成されてしまうと推測される。
　本発明の実施形態に係る情報記録媒体用ガラス基板は、板状ガラス素材を研磨する研磨工程と洗浄する中間洗浄工程とを含むとともに、それらの研磨工程と中間洗浄工程との少なくとも一方の工程において硫酸を用いる製造方法によって得られた情報記録媒体用ガラス基板であって、前記中間洗浄工程後の最終洗浄工程にて得られる情報記録媒体用ガラス基板の表面に残存する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量が５０ｎｇ／ｃｍ２以下であることを特徴とする。
　以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の情報記録媒体用ガラス基板の斜視図、図２は、本発明の情報記録媒体用ガラス基板を備えた一実施形態の情報記録媒体の一部を断面にした斜視図、図３は、情報記録媒体を備えたハードディスク装置の平面図である。
　情報記録媒体用ガラス基板１０は、例えば、（１）第１ラッピング工程、（２）端部形状工程（穴部を形成するコアリング工程、外周端部及び内周端部に面取りを形成するチャンファリング工程（面取り形成工程））、（３）端面研磨工程（外周端部及び内周端部）、（４）第２ラッピング工程、（５）第１研磨工程、（６）第１中間洗浄工程、（７）第２研磨工程、（８）第２中間洗浄工程、（９）最終洗浄工程を経て製造される。なお、上記工程は適宜順序を入れ替えることも可能である。
　この情報記録媒体用ガラス基板１０は、図１に示すように、中心部に円形状の貫通孔１１を有する円盤状のものから構成されており、例えば３．５インチ型ディスク（φ８９ｍｍ）、２．５インチ型ディスク（φ６５ｍｍ）などの所定の形状を有するものとして製造される。ノートパソコンの普及が増えるにつれ２．５インチ型ディスクが増えている。
　（１）第１ラッピング工程
　まず、板状ガラス素材の表面をラッピング（研削）加工してガラス母材とし、このガラス母材を切断してガラス基板を切り出す。板状ガラス素材としては、様々な板状ガラス素材を用いることができる。例えば、溶融ガラスを材料として、プレス法やフロート法、ダウンドロー法、リドロー法、フュージョン法など、公知の製造方法を用いて製造することができる。これらのうち、プレス法を用いれば、板状ガラス素材を廉価に製造することができる。板状ガラス素材の材質としては、例えばアモルファスガラスやガラスセラミクス（結晶化ガラス）を利用できる。また、板状ガラス素材の材料としては、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラス等を用いることができる。特にアモルファスガラスは、化学強化を施すことができる。また主表面の平坦性及び基板強度において優れた磁気ディスク用ガラス基板を供給することができるという点で、アルミノシリケートガラスを好ましく用いることができる。
　そして、溶融させたアルミノシリケートガラスを上型、下型を用いたダイレクトプレスによりディスク形状に成形し、アモルファスの板状ガラス素材を得ることができる。アルミノシリケートガラスとして、例えばＳｉＯ２：５８重量％～７５重量％、Ａｌ２Ｏ３：５重量％～２３重量％、Ｌｉ２Ｏ：３重量％～１０重量％、Ｎａ２Ｏ：４重量％～１３重量％を主成分として含有するガラスを用いることができる。
　次に、この板状ガラスの両主表面をラッピング加工し、ディスク状のガラス母材とする。ラッピング加工は、例えば遊星歯車機構を利用した両面ラッピング装置により、アルミナ系遊離砥粒を用いて行う。具体的には、板状ガラスの両面に上下からラップ定盤を押圧させ、遊離砥粒を含む研削液を板状ガラス素材の主表面上に供給し、これらを相対的に移動させてラッピング加工を行う。このラッピング加工により、平坦な主表面を有するガラス母材を得ることができる。
　（２）端部形状加工工程
　端部形状加工工程は、例えば円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、この板状ガラス素材の中心部に内孔を形成し、円環状のものとする（コアリング）。その後、内周端面及び外周端面を、例えばダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施す（チャンファリング）。
　（３）第２ラッピング工程
　次に、得られた円環状の板状ガラス素材の両主表面について、第１ラッピング工程と同様に、第２ラッピング加工を行う。この第２ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程で主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができる。
　（４）端面研磨工程
　次に、ガラス基板の外周端面及び内周端面を、例えばブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行う。その際、研磨砥粒として、例えば酸化セリウム砥粒を含むスラリー（遊離砥粒）を用いて行うことができる。
　その後、端面研磨工程を終えた板状ガラス素材を水洗浄する。この端面研磨工程により、板状ガラス素材の端面は、ナトリウムやカリウムの析出の発生を低減できる鏡面状態に加工できる。
　（５）第１研磨工程
　第１研磨工程は、前述のラッピング工程において主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とするものである。この第１研磨工程は、例えば遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行うことができる。また、研磨剤として、例えば酸化セリウム砥粒を用いることができる。
　（６）第１中間洗浄工程
　第１中間洗浄工程は、第１研磨工程の後の板状ガラス素材を洗浄して第１研磨工程で使用した研磨剤を落とす等のために行うもので、第１研磨工程を終えた板状ガラス素材を、中性洗剤、純水、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄する。
　また、第１中間洗浄工程は、第１研磨工程後の板状ガラス素材を、硫酸水で洗浄した後、上記のように中性洗剤、純水、ＩＰＡの各洗浄槽に順次浸漬して洗浄するようにしてもよい。中性洗剤、純水、ＩＰＡの各洗浄槽で洗浄する前に、硫酸水で洗浄することにより、第１研磨工程で使用した研磨剤を落とし易くできる。
　（７）第２研磨工程
　第２研磨工程は、主表面を鏡面状に仕上げることを目的とし、この実施形態では、上記第１中間洗浄工程の後に行う。この第２研磨工程は、例えば遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、軟質発泡樹脂ポリッシャを用いて、主表面の鏡面研磨を行うことができる。また、研磨剤として、例えば第１研磨工程で用いた酸化セリウム砥粒よりも微細なコロイダルシリカ砥粒（平均粒子径２０ｎｍ）を用いたスラリーを使用できる。
　そして、上記スラリー（研磨液）のｐＨを所定に設定して研磨を行う。このとき、上記スラリーに硫酸及び硫酸塩を含む添加剤を加えて研磨を行う。これは、研磨工程中にスラリーのｐＨを一定にコントロールするためである。ｐＨの調整は前記添加剤に限らず、酸またはアルカリ及びそれらの塩を適宜用いることができる。
　（８）第２中間洗浄工程
　第２中間洗浄工程は、第２研磨工程の後の板状ガラス素材を洗浄して第２研磨工程で使用した研磨剤を落とす等のために行うもので、第２研磨工程を終えた板状ガラス素材を、中性洗剤、純水、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄する。
　（９）最終洗浄工程
　最終洗浄工程は、板状ガラス素材の表面に硫酸イオンコンタミネーションを除去する等のためにおこなうものである。この最終洗浄工程は、アルカリ性洗剤で洗浄を行い、超純水にＣＯ２を含有させた機能水によるリンスを行う。好ましくは、アルカリ性洗剤での洗浄を行い、超純水にＣＯ２を含有させた機能水によるリンスを複数回、行う。
　より詳しくは、例えばアルカリ性洗剤（ｐＨ１１、温度６０℃）で９５０ｋＨｚでの洗浄を行い、超純水にＣＯ２を含有させた機能水によるリンスを行い、更に、再度上記アルカリ性洗剤で２０００ｋＨｚでの洗浄行い、超純水にＣＯ２を含有させた機能水によるリンス工程（２０００ｋＨｚ）を１回または複数回、行った後、ＩＰＡベーパーにて乾燥を行う。
　後述する実施例により、本発明の前記最終洗浄工程後に得られる情報記録媒体用ガラス基板の表面に残存する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量は５０ｎｇ／ｃｍ２以下である。また、前記硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量は２５ｎｇ／ｃｍ２以下であることが好ましい。
　前記硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量は５０ｎｇ／ｃｍ２より多いと磁気ヘッドの損傷が発生し、その結果、情報記録媒体に欠陥が発生する。
　次に、情報記録媒体について説明する。情報記録媒体１は、図２に示すように、上記のようにして得られた情報記録媒体用ガラス基板１０の第１面２１ａ（主表面）と第２面２１ｂ（主表面）との何れか一方の面（この実施形態では、両面）に、付着層、軟磁性層、前下地層、下地層、非磁性グラニュラ層、第１磁気記録層、第２磁気記録層、補助記録層、保護層及び潤滑層を順次積層することによって記録層１２（磁気層）が形成されて情報記録媒体（磁気記録媒体）とされる。なお、図２では、記録層１２を情報記録媒体１の第１面２１ａにだけ表し、第２面２１ｂの記録層１２を省略している。
　具体的には、例えば情報記録媒体用ガラス基板１０の両面に、真空引きを行った成膜装置を用いて、ＤＣマグネトロンスパッタリング法にてＡｒ雰囲気中で、付着層から補助記録層まで順次成膜を行う。付着層は、例えばＣｒＴｉとする。軟磁性層は、ＦｅＣｏＴａＺｒからなる第１軟磁性層及び第２軟磁性層の間にＲｕスペーサ層が介在しているものとする。前下地層の組成はｆｃｃ構造のＮｉＷ合金とする。下地層は、低圧Ａｒ下でされた第１下地層（Ｒｕ）上に、高圧Ａｒ下で成膜した第２下地層（Ｒｕ）とする。非磁性グラニュラ層の組成は非磁性のＣｏＣｒ－ＳｉＯ２とする。第１磁気記録層の組成は、ＣｏＣｒＰｔ－Ｃｒ２Ｏ３とし、第２磁気記録層の組成は、ＣｏＣｒＰｔ－ＳｉＯ２－ＴｉＯ２とする。補助記録層の組成はＣｏＣｒＰｔＢとする。媒体保護層はＣＶＤ法によりＣ２Ｈ４を用いて成膜し、同一チャンバ内で、表面に窒素を導入する窒化処理を行うことにより形成する。潤滑層はディップコート法によりＰＦＰＥを用いて形成する。
　次に、この情報記録媒体１を装着したハードディスク装置１００について説明する。図３は、本発明の一実施形態のハードディスク装置１００のトップカバーを外した状態の平面図、図４は、ハードディスク装置１００のランプの要部拡大斜視図、図５は、回転軸に情報記録媒体を装着した状態の断面図である。
　この実施形態のハードディスク装置１００は、情報記録媒体１と、ディスク装置本体１０１とを備えている。情報記録媒体１は、この実施形態では、図５に示すように上記のものと同構成を採る２枚から構成されている。
　そして、情報記録媒体１は、後述のディスク装置本体１０１の回転軸１３０に固定されるようにしてディスク装置本体１０１に装着されている。情報記録媒体１の固定については後述する。
　ディスク装置本体１０１は、図３に示すようにケーシング１１０と、先端側に磁気ヘッド１１１（図４に図示）を有する複数のサスペンション１１２と、サスペンション１１２それぞれの基端側を支持したアーム１１３と、磁気ヘッド１１１を非動作時に所定位置で保持するためのランプ１２０と、ケーシング１１０内に回転可能に配設された回転軸１３０と、情報記録媒体１を回転軸１３０に固定する固定部材とを備えている。
　ケーシング１１０は、上面開口の直方体状のケーシング本体１１０ａと、ケーシング本体１１０ａの開口を上方側から閉鎖するケーシング本体１１０ａと略同形状の図示しないトップカバーとから構成されている。
　アーム１１３は、ケーシング本体１１０ａ内に設けられたピボット１１４を軸にしてケーシング本体１１０ａに対して回動可能に取り付けられ、ピボット１１４を挟んでサスペンション１１２と反対側に設けられたボイスコイルモータ（図示せず）によって回転駆動されるようになっている。
　サスペンション１１２は、それぞれ、図４に示すように磁気ヘッド１１１同士が対向するように配設されているとともに、先端に、リフトタブ１１２ａを備えている。
　また、この実施形態では、情報を情報記録媒体１に読み書きする際に、磁気ヘッド１１１における記録再生動作を行うヘッド素子のみを情報記録媒体１に近接させることによっていわゆるＡＢＳ面（ａｉｒ　ｂｅａｒｉｎｇ　ｓｕｒｆａｃｅ、空気ベアリング面）と情報記録媒体１間の距離を低減する動的浮上量制御部（ｄｙｎａｍｉｃ　ｆｌｙｉｎｇ　ｈｅｉｇｈｔ制御技術、ＤＦＨ制御技術）が設けられている。
　この動的浮上量制御部は、この実施形態では図示しないが、磁気ヘッド１１１にヒータを組み込んで情報を情報記録媒体１に読み書きする際にそのヒータに電力を供給することによって、磁気ヘッド１１１の情報記録媒体１に対向するＡＢＳ面を隆起させ、磁気ヘッド１１１と情報記録媒体１との間の距離を低減するように構成されている。
　ランプ１２０は、図３、図４に示すように、情報記録媒体１の外周側であって、サスペンション１１２の先端側に配設されている。また、ランプ１２０は、先端側に、情報記録媒体１を挿入する２つの溝１２３（図４では、１つだけ表している）を備えているとともに、その溝１２３それぞれの上下両側それぞれに摺動部１２１と、摺動部１２１から情報記録媒体１の外周側に延ばされた保持部１２２とを備えている。
　摺動部１２１は、サスペンション１１２のリフトタブ１１２ａを摺動させ、先端から保持部１２２側に漸次情報記録媒体１の上面（この実施形態では、第１面２１ａ）または下面（第２面２１ｂ）からの距離が漸次大きくなる傾斜状に形成されている。
　保持部１２２は、上記摺動部１２１から摺動してきたリフトタブ１１２ａを保持することにより、磁気ヘッド１１１を、情報記録媒体１の外周から所定距離だけ外周側に離間した位置にサスペンション１１２を介して保持する。
　このように構成されたランプ１２０は、その基端側がケーシング本体１２にボルト等の固定手段によって固定されている。また、この固定状態で、溝１２３に情報記録媒体１の外周縁の一部が入り込んで摺動部１２１の先端が、情報記録媒体１の上面、下面それぞれから所定の距離を隔てているとともに、情報記録媒体１の上面及び下面における外周縁の一部と軸方向（厚さ方向）に重なるように非接触に配設されている。
　回転軸１３０は、図５に示すように円柱状の挿入部１３１と、挿入部１３１の下方側に配設され挿入部１３１の外径よりも径大な第１載置部１３２とを備えている。
　挿入部１３１は、その外径が情報記録媒体１の貫通孔１１と同程度の大きさに形成され、情報記録媒体１の貫通孔１１が嵌まり込むようになっている。また、この挿入部１３１の上面は、後述のクランプ部材１４３におけるクランプ本体１４４を取り付ける本体取付部１３３をなしている。
　第１載置部１３２は、挿入部１３１に通された２枚の情報記録媒体１の内の先に通されて下方側に配設される情報記録媒体１を載置する。
　固定部材は、情報記録媒体１を載置する載置部１４１と、載置部１４１に載置された情報記録媒体１を挟持するためのクランプ部材１４３とを備えている。
　載置部１４１は、上記回転軸１３０の第１載置部１３２と、挿入部１３１に通された上方側の情報記録媒体１を載置する第２載置部１４２とから構成されている。第２載置部１４２は、情報記録媒体１の間に配設された所定厚さのリング状部材から構成されている。
　クランプ部材１４３は、円形平板状のクランプ本体１４４と、クランプ本体１４４の外周側の全周に設けられた弾性を有するリング状の押圧片１４５とを備えている。押圧片１４５は、クランプ本体１４４から下方に突出するようにして全周に形成された環状の押圧部１４５ａを有する。
　このように構成されたクランプ部材１４３は、図５に示すように第１載置部１３２と第２載置部１４２とのそれぞれに情報記録媒体１が載置された状態で、クランプ本体１４４が回転軸１３０の本体取付部１３３にボルト部材１４６を介して取り付けられる。
　その取り付けに際して、押圧部１４５ａが上方側の情報記録媒体１の貫通孔１１の周縁部を上方側から押圧する。そして、その押圧力によって、下方側の情報記録媒体１を第１載置部１３２と第２載置部１４２とで挟持し、上方側の情報記録媒体１を第２載置部１４２と押圧部１４５ａとで挟持し、これにより、情報記録媒体１を回転軸１３０に固定する。
　（実施例）
　以下に、具体的に実施例を挙げて、本発明を更に詳しく説明する。
　実施例１
　板状ガラス素材に、上述した第１ラッピング工程、端部形状加工工程、端面研磨工程、第２ラッピング工程、第１研磨工程を施し、その後の第１中間洗浄工程では、第１研磨工程を終えた板状ガラス素材を、中性洗剤、純水、ＩＰＡベーパーの各洗浄槽に順次浸漬して洗浄した。
　また、第２研磨工程では、スラリーのｐＨを１に設定し、スラリーに硫酸及び硫酸塩を含む添加剤を加えて研磨を行った。また、最終洗浄工程では、アルカリ性洗剤（ｐＨ１１・温度６０℃）で９５０ｋＨｚでの洗浄を行い、超純水にＣＯ２を含有させた（電気抵抗率０．１～０．２ＭΩ・ｃｍ）機能水によるリンス工程（９５０ｋＨｚ）を行った後、再度上記アルカリ性洗剤で２０００ｋＨｚでの洗浄を行った。その後、超純水にＣＯ２を含有させた機能水による２０００ｋＨｚでのリンス工程を３回、行った後、ＩＰＡベーパー乾燥装置により乾燥を行い、実施例１の情報記録媒体用ガラス基板を製造した。
　実施例２
　最終洗浄工程として、実施例１における上記２０００ｋＨｚでのリンス工程を５回に増やして行って、実施例２の情報記録媒体用ガラス基板を製造した。実施例２におけるその他は、実施例１と同じ条件で製造した。
　実施例３
　最終洗浄工程として、上記実施例２の最終洗浄工程を２度、繰り返し行って、実施例３の情報記録媒体用ガラス基板を製造した。実施例３におけるその他は、実施例２と同じ条件で製造した。
　実施例４
　第１中間洗浄工程で、第１研磨工程を終えた板状ガラス素材を、硫酸１０重量％水溶液で洗浄後、中性洗剤、純水、ＩＰＡの各洗浄槽に順次浸漬して洗浄した。
　また、第２研磨工程において、スラリーのｐＨを４に設定し、上記スラリーに、硫酸及び硫酸は含まずクエン酸及びクエン酸塩を含む添加剤を加えて研磨を行って、実施例４の情報記録媒体用ガラス基板を製造した。実施例４におけるその他は、実施例１と同じ条件で製造した。
　比較例１
　実施例１の最終洗浄方法において、ＣＯ２を含まない超純水によりリンス工程を行った。２０００ｋＨｚでのリンス工程を１回に変更して行なうことによって比較例１を製造した。
　比較例２
　実施例１の最終洗浄方法において、アルカリ性洗剤及び超純水による超音波洗浄を全て８０ｋＨｚで行った。また、超純水としてＣＯ２を含まないものを用いて行うことによって比較例２を製造した。
　次に、以上のように製造した各実施例１～４、比較例１及び２の情報記録媒体用ガラス基板について、硫酸イオンコンタミネーション量を測定するとともに、それぞれに記録層１２を形成し情報記録媒体１にしてハードディスク装置に搭載し、その場合のグライド評価を行ったので、以下に説明する。
　なお、以下で述べる各実施例および比較例でイオンコンタミネーション量の測定を行った基板は同一加工で加工した基板から抜き取り、測定を行った。工程の製造は一般的に複数枚を一括して行っており、同一加工で製造した基板のイオンコンタミネーション量は各基板ともおおよそ同量であるため、ハードディスク装置に搭載する基板のコンタミネーション量を推測することができる。
　硫酸イオンコンタミネーション量の測定は、各実施例１～４、比較例１及び２のガラス基板を電気抵抗率１８．２ＭΩ・ｃｍの超純水（８０℃）２０ｍＬに浸漬させ、３０分間静置した。この時撹拌などは行わない。また、作業中は容器の蓋を閉め、さらにクラス１００（ＦＥＤ－ＳＴＤ－２０９Ｄ、アメリカ連邦規格）の部屋で作業を行った。３０分経過後抽出液をイオンクロマトグラフで測定した。８０℃で行うことにより一部存在する難溶性の塩も溶解させることができる。なお、測定にはダイオネクス社製ＩＣＳ－２１００を用いた。
　その結果を、図６に示す。図６に示すように実施例１～４のものは、比較例１及び２のものに較べて硫酸イオンコンタミネーション量が少なかった。また、実施例３及び４のものは、硫酸イオンコンタミネーション量が１０ｎｇ／ｃｍ２以下であった。
　また、実施例１～４のものの硫酸イオンコンタミネーション量が少なかった結果として、記録層１２（磁性層）を形成するに際し、スパッタリングによる磁性粒子の配向が揃い、高密度記憶が可能な磁性層の形成が可能であった。
　グライド評価は、上記ハードディスク装置１００を用い、実施例１～４、比較例１及び２のガラス基板それぞれ１０枚について行った。グライド評価工程とは、情報記録媒体１の表面に突起物が無いか否かを検査する工程である。すなわち、情報記録媒体１上を浮上走行する磁気ヘッド１１１が情報記録媒体１に対して情報を記録・再生する際に、情報記録媒体１の面上に磁気ヘッド１１１との間隔以上の高さを有する突起があると、この突起に磁気ヘッド１１１が接触することによって、磁気ヘッド１１１が損傷したり、情報記録媒体１に欠陥が発生したりすることがある。この実施形態では、磁気ヘッドの浮上量を１ｎｍとした上記ハードディスク装置１００を用い、実施例１～４、比較例１及び２のガラス基板それぞれの１０枚の内、磁気ヘッド１１１が損傷せず、かつ情報記録媒体１に欠陥が生じなかったものが８～１０枚のものを◎、５～７枚のものを○、また、３～４枚のものを△とし、それ以下のものを×と判断した。
　その結果を、図６に示した。図６に示すように、実施例１～４のものは、比較例１及び２のものに較べ、良好であった。また、硫酸イオンコンタミネーション量が１０ｎｇ／ｃｍ２以下の実施例３及び４のものは、より一層、良好であった。
　なお、上記実施形態では、情報記録媒体用ガラス基板の製造工程では、第１中間洗浄工程で硫酸を用い、または、第２研磨工程で硫酸を用いているが、この形態のものに限らず、例えば第１中間洗浄工程で硫酸を用いるとともに、第２研磨工程で硫酸を用いてもよく、適宜変更できる。
　また、上記実施形態では、情報記録媒体用ガラス基板の製造工程は、化学強化工程を含まないものとされているが、化学強化工程を含むようにしてもよく、適宜変更できる。
　また、上記実施形態では、ハードディスク装置１００は、動的浮上量制御部を備えたものとされているが、この形態のものに限らず、例えば動的浮上量制御部を備えていないものでもよく、適宜変更できる。
　本明細書は、上記のように様々な態様の技術を開示しているが、そのうち主な技術を以下に纏める。
　本発明の一態様に係る情報記録媒体用ガラス基板は、板状ガラス素材を研磨する研磨工程と洗浄する中間洗浄工程とを含むとともに、それらの研磨工程と中間洗浄工程との少なくとも一方の工程において硫酸を用いる製造方法によって得られた情報記録媒体用ガラス基板であって、前記中間洗浄工程後の最終洗浄工程にて得られる情報記録媒体用ガラス基板の表面に残存する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量が５０ｎｇ／ｃｍ２以下であることを特徴とする。
　この構成によれば、情報記録媒体用ガラス基板に残存する硫酸イオンコンタミネーション量が５０ｎｇ／ｃｍ２以下になっているため、情報記録媒体用ガラス基板に生成される硫酸塩を少なくできる。従って、情報記録媒体用ガラス基板を有する情報記録媒体をハードディスク装置に搭載した場合に、ハードディスク装置の磁気ヘッドが情報記録媒体に存在する硫酸塩と衝突して磁気ヘッドが損傷し、或いは、情報記録媒体に欠陥が生じるおそれの少ないものにできる。
　本発明の一態様に係る情報記録媒体は、前記最終洗浄工程にて得られる情報記録媒体用ガラス基板の表面に残存する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量が１０ｎｇ／ｃｍ２以下になるように構成されていることを特徴とする。
　この構成によれば、情報記録媒体用ガラス基板に残存する硫酸イオンコンタミネーション量が１０ｎｇ／ｃｍ２以下になっているため、情報記録媒体用ガラス基板に生成される硫酸塩をさらに少なくすることができる。
　本発明の一態様に係る情報記録媒体は、上記の情報記録媒体用ガラス基板と、その情報記録媒体用ガラス基板の表面に、情報を記録する記録層とを有していることを特徴とする。
　この構成によれば、ハードディスク装置に搭載した場合に、ハードディスク装置の磁気ヘッドが情報記録媒体に存在する硫酸塩と衝突するおそれの少ないものにでき、磁気ヘッドが損傷し、或いは、情報記録媒体に欠陥が生じるおそれの少ないものにできる。
　本発明の一態様に係るハードディスク装置は、上述の情報記録媒体を備えていることを特徴とする。
　この構成によれば、磁気ヘッドと情報記録媒体に存在する硫酸塩とが衝突するおそれの少ないものにでき、磁気ヘッドが損傷し、あるいは、情報記録媒体に欠陥が生じるおそれの少ないものにできる。
　本発明の一態様に係る情報記録媒体用ガラス基板の製造方法は、板状ガラス素材を研磨する研磨工程と洗浄する中間洗浄工程とを含むとともに、それらの研磨工程と中間洗浄工程との少なくとも一方の工程で硫酸を用いる情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、前記製造方法は、最終工程として最終洗浄工程を含み、その最終洗浄工程で、情報記録媒体用ガラス基板の表面に存在する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量が５０ｎｇ／ｃｍ２以下になるように洗浄することを特徴とする製造方法である。
　この構成によれば、最終洗浄工程で、残存する硫酸イオンコンタミネーション量が５０ｎｇ／ｃｍ２以下になるように洗浄するため、情報記録媒体用ガラス基板に生成される硫酸塩を少なくでき、情報記録媒体用ガラス基板を有する情報記録媒体をハードディスク装置に搭載した場合に、ハードディスク装置の磁気ヘッドが情報記録媒体に存在する硫酸塩と衝突して磁気ヘッドが損傷し、或いは、情報記録媒体に欠陥が生じるおそれの少ない情報記録媒体用ガラス基板を得ることができる。
　本発明の一態様に係る情報記録媒体用ガラス基板の製造方法は、前記最終洗浄工程にて得られる情報記録媒体用ガラス基板の表面に残存する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量が１０ｎｇ／ｃｍ２以下になるように洗浄することを特徴とする。
　この構成によれば、最終洗浄工程で、残存する硫酸イオンコンタミネーション量が１０ｎｇ／ｃｍ２以下になるように洗浄するため、情報記録媒体用ガラス基板に生成される硫酸塩をさらに少なくすることができる。
　他の一態様では、上述の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法において、前記研磨工程は、粗研磨を行う第１研磨工程と、前記第１研磨工程後に仕上げ研磨を行う第２研磨工程とを含み、前記中間洗浄工程は、前記第１研磨工程の後に、硫酸を用いて前記板状ガラス素材の洗浄を行う第１中間洗浄工程を含み、前記第２研磨工程は、前記第１中間洗浄工程の後に行うことを特徴とする。
　この構成によれば、第１研磨工程の後に第１中間洗浄工程で硫酸を用いて板状ガラス素材の洗浄を行うため、第１研磨工程で用いた研磨材を効率的に落とすことができる。また、第２研磨工程を、その第１中間洗浄工程の後に行うため、研磨に際して第１中間洗浄工程で使用した硫酸を除去でき、第２研磨工程後に板状ガラス基板に残存する硫酸イオンを少なくできる。従って、最終洗浄工程でのガラス素材上の硫酸イオンコンタミネーションをより減らすことができる。
　この出願は、２０１０年９月３０日に出願された日本国特許出願特願２０１０－２２１１６２を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。
　本発明を表現するために、上述において図面を参照しながら実施形態を通して本発明を適切且つ十分に説明したが、当業者であれば上述の実施形態を変更および／または改良することは容易に為し得ることであると認識すべきである。したがって、当業者が実施する変更形態または改良形態が、請求の範囲に記載された請求項の権利範囲を離脱するレベルのものでない限り、当該変更形態または当該改良形態は、当該請求項の権利範囲に包括されると解釈される。
　本発明によれば、酸化セリウムを組成に含むガラス素板を精密研磨加工する際に、シリカ系砥粒を研磨材として循環使用するにあたり、循環使用できる回数が制限されることを防ぎ、しかも、平坦度の良好な情報記録媒体用ガラス基板を得ることができる。
　１　　情報記録媒体
　１０　　情報記録媒体用ガラス基板
　１００　　ハードディスク装置
 

Claims (7)

  1. 　板状ガラス素材を研磨する研磨工程と洗浄する中間洗浄工程とを含むとともに、それらの研磨工程と中間洗浄工程との少なくとも一方の工程において硫酸を用いる製造方法によって得られた情報記録媒体用ガラス基板であって、
    　前記中間洗浄工程後の最終洗浄工程にて得られる情報記録媒体用ガラス基板の表面に残存する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量が５０ｎｇ／ｃｍ２以下であることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板。
  2. 　前記最終洗浄工程にて得られる情報記録媒体用ガラス基板の表面に残存する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量が１０ｎｇ／ｃｍ２以下であることを特徴とする請求項１に記載の情報記録媒体用ガラス基板。
  3. 　請求項１または２に記載の情報記録媒体用ガラス基板と、その情報記録媒体用ガラス基板の表面に、情報を記録する記録層とを有していることを特徴とする情報記録媒体。
  4. 　請求項３に記載の情報記録媒体を備えていることを特徴とするハードディスク装置。
  5. 　板状ガラス素材を研磨する研磨工程と洗浄する中間洗浄工程とを含むとともに、それらの研磨工程と中間洗浄工程との少なくとも一方の工程で硫酸を用いる情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、
    　前記製造方法は、最終工程として最終洗浄工程を含み、その最終洗浄工程で、情報記録媒体用ガラス基板の表面に残存する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量を５０ｎｇ／ｃｍ２以下になるように洗浄することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
  6. 　前記最終洗浄工程で、情報記録媒体用ガラス基板の表面に残存する硫酸イオン（ＳＯ４ ２－）コンタミネーション量が１０ｎｇ／ｃｍ２以下になるように洗浄することを特徴とする請求項５に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
  7. 　前記研磨工程は、粗研磨を行う第１研磨工程と、前記第１研磨工程後に仕上げ研磨を行う第２研磨工程とを含み、
    　前記中間洗浄工程は、前記第１研磨工程の後に、硫酸を用いて前記板状ガラス素材の洗浄を行う第１中間洗浄工程を含み、
    　前記第２研磨工程は、前記第１中間洗浄工程の後に行うことを特徴とする請求項５または６記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
     
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