JP6081580B2 - 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 - Google Patents
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Description
従来の方法としては、たとえば、特許文献1には、多価アミンを含有する研磨液を用いて研磨した後、基板をアルカリ(pH8〜13)洗浄する方法が開示されている。また、特許文献2には、研磨後に、基板をアルカリ剤、アルドン酸類を含有するpH10以上のアルカリ洗浄剤で洗浄する方法が開示されている。
磁気ヘッドの浮上量(磁気ヘッドと媒体(磁気ディスク)表面との間隙)の大幅な低下(低浮上量化)が挙げられる。こうすることで、磁気ヘッドと媒体の磁性層との距離が近づくため、より小さい磁性粒子の信号も拾うことができるようになり、高記録密度化を達成することができる。近年、従来以上の低浮上量化を実現するために、DFH(Dynamic Flying Height)という機能が磁気ヘッドに搭載されている。これは、磁気ヘッドの記録再生素子部の近傍に極小のヒーター等の加熱部を設けて、記録再生素子部周辺のみを媒体表面方向に向けて突き出す機能である。今後、このDFH機能によって、磁気ヘッドの素子部と媒体表面との間隙は、2nm未満または1nm未満と極めて小さくなると見られている。このような状況下で、基板表面の平均粗さを極めて小さくしたところで、従来問題とならなかった極く小さな異物(例えば小さいもので主表面の面内方向の長さが10〜40nm程度)の付着等によって僅かに凸状となる程度の表面欠陥が存在すると、そのまま媒体表面においても凸状欠陥となるので、磁気ヘッドの衝突の危険性が高まる。
近年のHDDの大容量化の要求に伴う基板表面品質の向上の要求は今まで以上に厳しいものとなってきており、従来の改善手法によって基板表面品質の更なる向上を実現することには限界がある。なおここでアルカリ剤とは、水に溶解したときにアルカリ性を示す物質のことを言う。
また、洗浄に用いるアルカリ剤のアルカリ度だけでなく、OHイオンの対となっている陽イオンの種類によっても粗さ上昇量に大きな影響があることも見出した。さらに、有機アルカリ剤の種類や製品ロットによっても洗浄後の表面あれの程度が異なるのは、洗浄液中に存在するナトリウムイオンやカリウムイオンの量が異なる影響によるものであることを突き止めた。ここで、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)などの有機アルカリは、本来ナトリウムやカリウムのイオンをいずれも含まないものであるが、工業的な製造過程において、ナトリウムやカリウム等が不可避的に混入していると考えられ、これがガラス基板の表面荒れに関与していることを突き止めた。
すなわち、本発明は以下の構成を有する。
(構成1)
ガラス基板の洗浄処理を含む磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、前記洗浄処理は、グアニジンおよびイミダゾールの少なくとも一方を含有する洗浄液に前記ガラス基板を接触させる処理を含み、前記洗浄処理前に対する前記洗浄処理後のガラス基板主表面の表面粗さ(Ra)の増大量と、前記洗浄処理に用いる洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの合計の濃度との関係を予め求めておき、求めた前記関係に基づき、前記表面粗さ(Ra)の増大量が0.06nm以下となる前記洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの合計の濃度を決定し、前記洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの合計の濃度が前記決定した濃度以下となる条件で、主表面が鏡面研磨された前記ガラス基板の洗浄処理を行うことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
ガラス基板の洗浄処理を含む磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、前記ガラス基板はガラス成分中にナトリウムとカリウムの少なくとも一方の成分を含有し、グアニジンおよびイミダゾールの少なくとも一方を含有する洗浄液を用い、前記洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの総量が200ppm以上とならないように前記洗浄液の少なくとも一部を交換しながら、主表面が鏡面研磨された前記ガラス基板の洗浄処理を行うことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
ガラス基板の洗浄処理を含む磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、前記洗浄処理は、グアニジンおよびイミダゾールの少なくとも一方を含有する洗浄液に前記ガラス基板を接触させる処理を含み、前記洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの総量を200ppm未満に抑えながら前記洗浄処理を行うことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
前記ガラス基板はガラス成分中にナトリウムとカリウムの少なくとも一方の成分を含有することを特徴とする構成1乃至3のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
(構成5)
前記洗浄液は、さらに界面活性剤、キレート剤、及び分散剤のうち少なくとも1つの物質を含有し、前記洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの総量を200ppm未満に抑えながら前記洗浄処理を行うことを特徴とする構成1乃至4のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
前記洗浄処理後のガラス基板主表面の表面粗さ(Ra)と、前記洗浄処理直前のガラス基板主表面の表面粗さ(Ra)との差が、0.06nm以内であることを特徴とする構成2乃至5のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
(構成7)
前記洗浄処理直前のガラス基板主表面の表面粗さ(Ra)が、0.13nm以下であることを特徴とする構成1乃至6のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
前記洗浄液のpHが10以上であることを特徴とする構成1乃至7のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
(構成9)
前記洗浄処理は、研磨砥粒を用いて前記ガラス基板の主表面を研磨する研磨工程のうち最終研磨工程の後に行う洗浄処理であることを特徴とする構成1乃至8のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
(構成10)
前記最終研磨に用いられる研磨液はアルカリ性であることを特徴とする請求項9に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
(構成11)
構成1乃至10のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法により製造された磁気ディスク用ガラス基板上に、少なくとも磁気記録層を形成することを特徴とする磁気ディスクの製造方法。
磁気ディスク用ガラス基板は、通常、粗研削工程(粗ラッピング工程)、形状加工工程、精研削工程(精ラッピング工程)、端面研磨工程、主表面研磨工程(第1研磨工程、第2研磨工程)、化学強化工程、等を経て製造される。
この磁気ディスク用ガラス基板の製造は、まず、溶融ガラスからダイレクトプレスにより円盤状のガラス基板(ガラスディスク)を成型する。なお、このようなダイレクトプレス以外に、ダウンドロー法やフロート法で製造された板ガラスから所定の大きさに切り出してガラス基板を得てもよい。次に、この成型したガラス基板に寸法精度及び形状精度を向上させるための研削(ラッピング)を行う。この研削工程は、通常両面ラッピング装置を用い、ダイヤモンド等の硬質砥粒を用いてガラス基板主表面の研削を行う。こうしてガラス基板主表面を研削することにより、所定の板厚、平坦度に加工するとともに、所定の表面粗さを得る。
また、コロイダルシリカの研磨砥粒を含有するアルカリ性域に調整された研磨液を用いてガラス基板の主表面を研磨する研磨工程の後に行う洗浄処理に本発明の洗浄処理を適用するとより好適である。ガラス基板に対して酸性で研磨を行う場合、酸によるリーチング作用によってガラス基板表面から一部の元素が抜けるため、その後アルカリ性の洗浄を実施するときにエッチング作用に局所的なムラが発生しやすくなり洗浄後のガラス基板表面の荒れが大きくなってしまう。このような現象はアルカリ性に調整した条件で研磨した場合には比較的発生しにくい。したがって、研磨工程の後に強アルカリ性の洗浄液を用いてガラス基板の洗浄処理を行う場合、アルカリ性条件で研磨するほうが酸性研磨のときよりも表面粗さを相対的に低くすることができるので好ましい。アルカリ性条件で研磨する際の研磨液のpHは、洗浄液のpHとの差を小さくする観点から10以上であることが好ましく、11以上であるとさらに好ましい。また、扱い易さの観点から13以下とすることが好ましい。
例えば図3は、ガラス基板の研磨工程に用いることができる遊星歯車方式の両面研磨装置の概略構成を示す縦断面図である。図3に示す両面研磨装置は、太陽歯車2と、その外方に同心円状に配置される内歯歯車3と、太陽歯車2及び内歯歯車3に噛み合い、太陽歯車2や内歯歯車3の回転に応じて公転及び自転するキャリア4と、このキャリア4に保持された被研磨加工物1を挟持可能な研磨パッド7がそれぞれ貼着された上定盤5及び下定盤6と、上定盤5と下定盤6との間に研磨液を供給する研磨液供給部(図示せず)とを備えている。
上記グアニジンは、アルカリ度が高く(例えばKOHと同等)、ガラスに対するエッチング作用による異物除去効果が大きいにもかかわらず、洗浄後の基板表面の粗さ上昇が少ない。従って、アルカリ洗浄剤としてグアニジンを含む洗浄液によりガラス基板を洗浄することにより、洗浄後のガラス基板における低粗さ(高平滑性)を実現でき、また良好な洗浄性も得られ、高清浄度を達成することができる。
また、洗浄液を循環使用する場合で、ガラス基板からの溶出によって洗浄液中のNaイオンやKイオンが増加する場合は、アルカリ金属イオンを捕捉するキレート剤等を添加することが有効である。
上記イミダゾールについても、アルカリ度が高く(例えばKOHと同等)、ガラスに対するエッチング作用による異物除去効果が大きいにもかかわらず、洗浄後の基板表面の粗さ上昇が少ない。従って、アルカリ洗浄剤としてイミダゾールを含む洗浄液によりガラス基板を洗浄することにより、洗浄後のガラス基板における低粗さ(高平滑性)を実現でき、また良好な洗浄性も得られ、高清浄度を達成することができる。
すなわち、カリウムイオンやナトリウムイオンの場合、ガラス基板表面のOH基(外部シラノール基やシロキサン結合(O−Si−O結合)が加水分解されて生じた内部シラノール基)に結合すると、結合部分のエッチングレートを選択的に高めるために、ガラス基板表面においてエッチングレートのムラが発生し、粗さ上昇に繋がると考えられるが、上記の有機アルカリ剤の場合はガラス表面のOH基と結合してもエッチングレートの上昇が起きないと考えられる。また、上記の有機アルカリ剤が先にOH基と結合していることで、後からNaイオンやKイオンが結合することを抑制する効果もあると考えられる。これにより、洗浄液中に含まれるナトリウムイオン及びカリウムイオンの含有量を抑制しながら洗浄処理を行うことにより、洗浄後の基板表面の粗さ上昇を抑えることが可能である。従って、洗浄後のガラス基板における超低粗さ(高平滑性)を実現でき、また良好な洗浄性も得られ、高清浄度を達成することができる。
なお、本発明において、上記グアニジンと上記イミダゾールを併用することは差し支えない。
洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの含有量の抑制ないしは制御の方法としては、洗浄開始時や洗浄中の所定のタイミングにおいて洗浄液をサンプリングするなどして、洗浄液中のこれらのイオンの含有量を測定し、所定値を超え得る場合には、上記イオンを捕捉するキレート剤等の添加、水希釈、洗浄液交換等の手段によってこれらのイオンの含有量を低下させることで調整可能である。また、ガラス基板中にNaやKを含む場合、洗浄時間やバッチ数(洗浄処理回数)と洗浄液中のNaイオンとKイオンの濃度との関係を予め把握しておき、把握した関係に基づいてNaイオンとKイオンの含有量を調整する処理を行ってもよい。
なお、洗浄液中におけるNaイオンやKイオンの含有量は、洗浄槽からサンプリングした洗浄液を用いて、例えばイオンクロマトグラフィー法やICP法によって調べることができる。
また、ここでppmとは、質量ppm(質量比を100万分率で表したもの)である。
本発明に好ましく使用できる界面活性剤としては、例えばアルキル硫酸エステルナトリウム、脂肪酸ナトリウム、アルキルアリールスルホン酸塩等のアニオン界面活性剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレン誘導体等のノニオン界面活性剤が挙げられる。また、キレート剤としては、例えばEDTAなどのアミノカルボン酸、クエン酸などの有機酸やそれらの塩などが挙げられる。さらに、分散剤としては、例えばリン酸塩、硫酸塩、高分子分散剤などが挙げられる。
すなわち、本発明によれば、アルカリ洗浄による基板表面の粗さ上昇を抑えることが可能である。
このような実施の形態によれば、洗浄によるガラス基板表面の粗さ増大量が所定値以下となるように洗浄処理を行うことができる。
このような実施の形態によれば、洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの総量を200ppm未満に抑えることができるので、ガラス基板表面の粗さ上昇を抑えることが可能となる。
また、本発明において表面粗さ(例えば、最大粗さRmax、算術平均粗さRa)は、原子間力顕微鏡(AFM)を用いて1μm×1μmの範囲を512×512ピクセルの解像度で測定したときに得られる表面形状の表面粗さとすることが実用上好ましい。
本発明によって得られる磁気ディスク用ガラス基板を用いることにより、信頼性の高い磁気ディスクを得ることができる。
以下の(1)粗ラッピング工程(粗研削工程)、(2)形状加工工程、(3)精ラッピング工程(精研削工程)、(4)端面研磨工程、(5)主表面第1研磨工程、(6)化学強化工程、(7)主表面第2研磨工程、(8)洗浄処理、を経て磁気ディスク用ガラス基板を製造した。
まず、溶融ガラスから上型、下型、胴型を用いたダイレクトプレスにより直径66mmφ、厚さ1.0mmの円盤状のアモルファスのアルミノシリゲートガラスからなるガラス基板を得た。なお、このようなダイレクトプレス以外に、ダウンドロー法やフロート法で製造された板ガラスから所定の大きさに切り出してガラス基板を得てもよい。このアルミノシリケートガラスとしては、SiO2:58〜75重量%、Al2O3:5〜23重量%、Li2O:3〜10重量%、Na2O:4〜13重量%を含有するガラスを使用した。
次に、円筒状の砥石を用いてガラス基板の中央部分に孔を空けた後、外周端面および内周端面に所定の面取り加工を施した。なお、一般に、2.5インチ型HDD(ハードディスクドライブ)では、外径が65mmの磁気ディスクを用いる。
この精ラッピング工程は、上記と同様に両面ラッピング装置を用いて行なった。具体的には、ダイヤモンド砥粒を樹脂で固定したペレットが貼り付けられた上下定盤の間に、キャリアにより保持したガラス基板を密着させて行なった。
次いで、ブラシ研磨により、ガラス基板を回転させながらガラス基板の端面(内周、外周)の表面を研磨した。
次に、第1研磨工程を前述の図3に示す両面研磨装置を用いて行なった。両面研磨装置においては、研磨パッド7が貼り付けられた上下研磨定盤5,6の間にキャリア4により保持したガラス基板を密着させ、このキャリア4を太陽歯車2と内歯歯車3とに噛合させ、上記ガラス基板を上下定盤5,6によって挟圧する。その後、研磨パッドとガラス基板の研磨面との間に研磨液を供給して回転させることによって、ガラス基板が定盤5,6上で自転しながら公転して両面を同時に研磨加工するものである。具体的には、ポリシャとして硬質ポリシャ(硬質発泡ウレタン)を用い、第1研磨工程を実施した。研磨液としては、酸化セリウム(平均粒径(50%径)1μm)を研磨剤として水に10重量%分散した研磨液を使用した。ガラス基板表面にかかる荷重は100g/cm2、研磨時間は15分とした。
上記第1研磨工程を終えたガラス基板を、洗浄し、乾燥した。
次に、上記洗浄を終えたガラス基板に化学強化を施した。化学強化は硝酸カリウムと硝酸ナトリウムの混合した化学強化液を用意し、この化学強化溶液を加熱して溶融し、上記洗浄・乾燥済みのガラス基板を浸漬して化学強化処理を行なった。化学強化を終えたガラス基板を洗浄し、乾燥した。
次いで上記の第1研磨工程で使用したものと同じ両面研磨装置を用い、ポリシャを軟質ポリシャ(スウェード)の研磨パッド(アスカーC硬度で72の発泡ポリウレタン)に替えて第2研磨工程を実施した。この第2研磨工程は、上述した第1研磨工程で得られた平坦な表面を維持しつつ、例えばガラス基板主表面の表面粗さをRmaxで2nm程度以下の平滑な鏡面に仕上げるための鏡面研磨加工である。研磨液としては、コロイダルシリカ(平均粒径(50%径)15nm)を研磨剤として10重量%分散した水中に、硫酸を添加して酸性(pH=2)に調整されたものを使用した。なお、荷重は100g/cm2、研磨時間は10分とした。
なおここで、研磨後の表面粗さRaを調べるために、同じロットから1枚の基板を抜き取って水洗浄のみを1200秒間行い、乾燥後、AFMにて上記条件で測定したところ、Raは0.15nmであった。ただし、基板表面にはコロイダルシリカの粒子が大量に付着しており製品としては不合格のレベルであった。
次に、上記第2研磨工程を終えたガラス基板の洗浄処理を実施した。具体的には、純水にアルカリ洗浄剤としてグアニジンを0.3モル/リットルの濃度となるように添加した洗浄液(pH12.6))を収容した洗浄槽(液温:常温)中に600秒間浸漬させ、80kHzの超音波をかけつつ洗浄した。なお、洗浄液は循環使用した。
このとき、グアニジンには、NaイオンとKイオンのいずれも含まない(検出限界以下)ものを用いた。なお、この洗浄液をサンプリングしてイオンクロマトグラフィー法を用いてNaイオンとKイオンの濃度を調べたところ、いずれも検出されなかった。
その後、ガラス基板を別の洗浄槽(純水、常温)に浸漬させ、80kHz、300秒間の超音波洗浄を行い、乾燥した。
また、同じ条件で得られた別の100枚のガラス基板に対して異物欠陥の評価を実施した。得られたガラス基板の主表面をレーザー式の表面検査装置にて観察し、検出された表面欠陥をSEM及び原子間力顕微鏡(AFM)で分析した。そして、異物欠陥(異物付着による凸状欠陥)のカウント数を表2に示した。なお、上記カウント数は製造したガラス基板100枚の平均値である。なお、表面検査装置の測定条件として、波長405nm、パワー80mW、スポット径6μmのレーザ光を主表面に照射することにより、主表面方向の長さが10〜40nm程度の極微小な欠陥も観察可能である。
上記サンプル1では、アルカリ洗浄による基板表面粗さの上昇を0.06nm以下に抑えられた基板表面を有する磁気ディスク用ガラス基板が得られた。
また、洗浄液にアルカリ剤としてテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(以下、「TMAH」と略記する。)を添加し、その添加量を種々変更し、表1に示す洗浄液中のアルカリ金属イオン濃度とした洗浄液を用いたこと以外は、上記サンプル1と同様にして、サンプル7〜10のガラス基板を作製した。
また、洗浄液に従来の無機アルカリ剤であるKOHまたはNAOHを添加した洗浄液を用いたこと以外は、上記サンプル1と同様にして、サンプル11,12のガラス基板を作製した。
なお、上記のサンプル1〜18では、洗浄液中のアルカリ金属イオン濃度は、NaイオンまたはKイオンで調整した。所定のアルカリ金属イオン濃度をNaイオンとKイオンの混合で調整した場合においても、以下の表1および表2とほぼ同じ結果が得られたので、NaイオンとKイオンの混合比率には依存しない。
1.本発明のグアニジンを含有する洗浄液を適用する実施例によれば、洗浄処理後の基板表面粗さの上昇を抑制することができる。また、グアニジンの他に上記の界面活性剤を添加しても、洗浄処理後の粗さ上昇量は変らないが、洗浄性は向上する。
2.これに対して、従来のKOHやNaOHを用いて洗浄した場合、良好な洗浄性は得られるものの、洗浄処理後の基板表面粗さの上昇が大きい。また、TMAHを添加すると、グアニジンよりも粗さ上昇量が若干大きくなるだけでなく、異物欠陥カウント数も若干増加する。
なお、上記サンプル11(KOH)とサンプル12(NaOH)における異物カウント数は、それぞれ775、796であった。この結果はグアニジンと同等ではあるが、上記のとおり洗浄処理後の粗さ上昇が大きいため、洗浄による粗さ上昇と洗浄性を両立することができない。
3.また、アルカリ剤としてTMAHよりもグアニジンを用いた方が表面粗さの増加量を低減できるので好ましい。グアニジンには上述のとおり、ガラス基板表面のシラノール基に吸着してNaイオンやKイオンが当該シラノール基に近づくことを抑制する効果があると考えられるので、TMAHよりも粗さ増加を抑制する効果が高いと考えられる。
グアニジンが有利な点について、さらに確認した。サンプル1とサンプル7の条件で20バッチ分の連続洗浄試験を行い、20バッチ目のガラス基板についてΔRaを比較したところ、いずれも1バッチ目と比較するとΔRaは増加したが、20バッチ目においてはグアニジンを使用した方がΔRaが小さかった。1バッチ目の結果(表1)においての比較では両者はほぼ同等であったことから、グアニジンの作用により粗さの増加が抑制されたものと考えられる。
また、主表面第2研磨工程において、研磨液の液性をアルカリ性(pH=12)とした他はサンプル1と同じ条件でガラス基板を作製したところ、ΔRaはサンプル1の場合の70%となり、低減した。このことから、本発明の洗浄処理を行う前の研磨処理に用いる研磨液の液性は、酸性よりもアルカリ性のほうが好ましいことが確認された。
また、洗浄液にアルカリ剤としてテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(以下、「TMAH」と略記する。)を添加し、その添加量を種々変更し、表3に示す洗浄液中のアルカリ金属イオン濃度とした洗浄液を用いたこと以外は、上記サンプル101と同様にして、サンプル107〜110のガラス基板を作製した。
また、洗浄液に従来の無機アルカリ剤であるKOHまたはNAOHを添加した洗浄液を用いたこと以外は、上記サンプル101と同様にして、サンプル111,112のガラス基板を作製した。
1.本発明のイミダゾールを含有する洗浄液を適用する実施例によれば、洗浄処理後の基板表面粗さの上昇を抑制することができる。また、イミダゾールの他に上記の界面活性剤を添加しても、洗浄処理後の粗さ上昇量は変らないが、洗浄性は向上する。
2.これに対して、従来のKOHやNaOHを用いて洗浄した場合、良好な洗浄性は得られるものの、洗浄処理後の基板表面粗さの上昇が大きい。また、TMAHを添加すると、グアニジンよりも粗さ上昇量が若干大きくなるだけでなく、異物欠陥カウント数も若干増加する。
上記サンプル1およびサンプル101で得られた磁気ディスク用ガラス基板に以下の成膜工程を施して、垂直磁気記録用磁気ディスクを得た。
すなわち、上記ガラス基板上に、CrTi系合金薄膜からなる付着層、CoTaZr合金薄膜からなる軟磁性層、NiWからなるシード層、Ru薄膜からなる下地層、CoCrPt系合金からなる垂直磁気記録層、カーボン保護層、潤滑層を順次成膜した。保護層は、磁気記録層が磁気ヘッドとの接触によって劣化することを防止するためのもので、水素化カーボンからなり、耐磨耗性が得られる。また、潤滑層は、アルコール変性パーフルオロポリエーテルの液体潤滑剤をディップ法により形成した。
得られた磁気ディスクについて、DFHヘッドを備えたHDDに組み込み、80℃かつ80%RHの高温高湿環境下においてDFH機能を作動させつつ1ヶ月間のロードアンロード耐久性試験を行ったところ、特に障害も無く、良好な結果が得られた。
2 太陽歯車
3 内歯歯車
4 キャリア
5 上定盤
6 下定盤
7 研磨パッド
11 基板の主表面
12,13 基板の端面
Claims (9)
- ガラス基板の洗浄処理を含む磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、
前記洗浄処理は、グアニジンおよびイミダゾールの少なくとも一方を含有する洗浄液に前記ガラス基板を接触させる処理を含み、
前記洗浄処理前に対する前記洗浄処理後のガラス基板主表面の表面粗さ(Ra)の増大量と、前記洗浄処理に用いる洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの合計の濃度との関係を予め求めておき、
求めた前記関係に基づき、前記表面粗さ(Ra)の増大量が0.06nm以下となる前記洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの合計の濃度を決定し、
前記洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの合計の濃度が前記決定した濃度以下となる条件で、主表面が鏡面研磨された前記ガラス基板の洗浄処理を行うことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - ガラス基板の洗浄処理を含む磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、
前記ガラス基板はガラス成分中にナトリウムとカリウムの少なくとも一方の成分を含有し、
グアニジンおよびイミダゾールの少なくとも一方を含有する洗浄液を用い、
前記洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの総量が200ppm以上とならないように前記洗浄液の少なくとも一部を交換しながら、主表面が鏡面研磨された前記ガラス基板の洗浄処理を行うことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - ガラス基板の洗浄処理を含む磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、
前記洗浄処理は、グアニジンおよびイミダゾールの少なくとも一方を含有する洗浄液に前記ガラス基板を接触させる処理を含み、
前記洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの総量を200ppm未満に抑えながら前記洗浄処理を行うことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 前記ガラス基板はガラス成分中にナトリウムとカリウムの少なくとも一方の成分を含有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記洗浄液は、さらに界面活性剤、キレート剤、及び分散剤のうち少なくとも1つの物質を含有し、
前記洗浄液中のナトリウムイオンとカリウムイオンの総量を200ppm未満に抑えながら前記洗浄処理を行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 前記洗浄処理後のガラス基板主表面の表面粗さ(Ra)と、前記洗浄処理直前のガラス基板主表面の表面粗さ(Ra)との差が、0.06nm以内であることを特徴とする請求項2乃至5のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記洗浄処理は、研磨砥粒を用いて前記ガラス基板の主表面を研磨する研磨工程のうち最終研磨工程の後に行う洗浄処理であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記最終研磨に用いられる研磨液はアルカリ性であることを特徴とする請求項7に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 請求項1乃至8のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法により製造された磁気ディスク用ガラス基板上に、少なくとも磁気記録層を形成することを特徴とする磁気ディスクの製造方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10226799A (ja) * | 1996-12-10 | 1998-08-25 | Nitto Denko Corp | 半導体装置成形用金型洗浄剤組成物およびそれを用いた金型クリーニング方法 |
JP2004101849A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-04-02 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 洗浄剤組成物 |
JP2008114418A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-22 | Towa Corp | 電子部品の樹脂封止金型 |
JP2009280802A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-12-03 | Sanyo Chem Ind Ltd | 磁気ディスク基板用洗浄剤 |
JP2011068882A (ja) * | 2009-08-27 | 2011-04-07 | Sanyo Chem Ind Ltd | 磁気ディスク基板用洗浄剤 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5720499B2 (ja) * | 2010-10-26 | 2015-05-20 | 旭硝子株式会社 | 基板用ガラスおよびガラス基板 |
-
2014
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JPH10226799A (ja) * | 1996-12-10 | 1998-08-25 | Nitto Denko Corp | 半導体装置成形用金型洗浄剤組成物およびそれを用いた金型クリーニング方法 |
JP2004101849A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-04-02 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 洗浄剤組成物 |
JP2008114418A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-22 | Towa Corp | 電子部品の樹脂封止金型 |
JP2009280802A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-12-03 | Sanyo Chem Ind Ltd | 磁気ディスク基板用洗浄剤 |
JP2011068882A (ja) * | 2009-08-27 | 2011-04-07 | Sanyo Chem Ind Ltd | 磁気ディスク基板用洗浄剤 |
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