WO2012014764A1 - 光学素子の製造方法、光学素子及び光アシスト磁気記録ヘッド並びに磁気記録装置 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to an optical element manufacturing method and an optical element having a minute optical surface, and more particularly to an optical element suitable for a recording head of an optically assisted magnetic recording apparatus and a manufacturing method of the optical element.
- the following methods are known as manufacturing methods of minute optical elements used in the fields of optical communication and optical information processing.
- a mirror groove is dug by dry etching, a surface treatment agent is applied to the wall surface and bottom surface of the mirror groove, and then a liquid curable resin is applied to the mirror groove from an inkjet nozzle.
- a liquid curable resin is applied to the mirror groove from an inkjet nozzle. It is known to supply a mirror support slope to form a reflective film on the slope after curing (see, for example, Patent Document 1).
- the manufacturing method of the optical path conversion mirror described in Patent Document 1 has a problem that the processing is complicated, the mass productivity is poor, and the cost is high, for example, a fine processing is required for forming the mirror groove.
- the present invention is a method for manufacturing a micro optical element that is easy to manufacture and rich in mass productivity by a simple process, a low cost micro optical element, and an optically assisted magnetic recording head having the optical element, It is another object of the present invention to provide a magnetic recording apparatus having the magneto-optical recording head.
- a surface made of a resin different from the base material is formed on one plane side of the plate-like or film-like base material, connected to the surface made of the resin, and made of the resin on at least one wall surface portion of the base material
- An optical element having a fillet shape is formed on one plane side of the plate-like or film-like base material, connected to the surface made of the resin, and made of the resin on at least one wall surface portion of the base material
- a light source an optical element according to any one of (5) to (7) that reflects a light beam from the light source, a waveguide that guides the light beam reflected by the optical element to a disk, and magnetic recording And an optically assisted magnetic recording head.
- a magnetic recording apparatus comprising: the optically assisted magnetic recording head according to (8); a support member that supports the optically assisted magnetic recording head; and a magnetic recording medium.
- the inventor of the present application places the base material on a flat surface in which the liquid resin is extended, so that the fillet shape of the liquid resin formed between the wall surface and the flat surface of the base material is an optical surface. It is an invention that was found to be usable as
- the present invention it is possible to provide a manufacturing method of a micro optical element that is easy to manufacture and rich in mass productivity by a simple process, and is a low cost micro optical element, and an optically assisted magnetic recording head having the optical element It is possible to provide a magnetic recording apparatus having the magneto-optical recording head.
- FIG. 1 is a schematic cross-sectional view in which an optical element according to an embodiment is applied to an optically assisted magnetic recording head.
- FIG. 6 is a perspective view illustrating a schematic configuration example of a magnetic recording apparatus including the optically assisted magnetic recording head illustrated in FIG. 5.
- FIG. 1 is a flowchart showing schematic steps of a method for manufacturing an optical element according to the present embodiment.
- 2 and 3 are schematic views showing schematic steps of the method of manufacturing an optical element according to the present embodiment.
- FIG. 2 and 3 are schematic views showing schematic steps of the method of manufacturing an optical element according to the present embodiment.
- a liquid curable resin is extended on a flat surface (step S101).
- a liquid resin 20 is dropped on a pedestal 15 having a flat surface such as a glass plate or a metal plate, and extended to a substantially uniform thickness.
- a substantially uniform thickness can be obtained by spin coating, coating, or the like.
- the curable resin includes a thermosetting type and an active energy ray curable type.
- the translucent resin include a thermosetting silicone resin, an epoxy resin, and an acrylic resin, and an active energy ray curable resin.
- an ultraviolet curable type is preferable from the viewpoints of handleability, irradiation device cost, and safety.
- the ultraviolet ray curable resin composition include an epoxy system by cationic polymerization, an acrylic system by radical polymerization, a polythiol / polyallyl system, and the like, preferably an epoxy system.
- the epoxy system a composition comprising a prepolymer containing two or more epoxy groups in one molecule and a cationic polymerization initiator is preferable.
- Examples of such a prepolymer include alicyclic polyepoxides and polybasic acids.
- Examples of the cationic polymerization initiator include aromatic onium salts.
- the surface of the flat surface on which the resin of the base 15 extends is formed so that it can be easily peeled off when the curable resin is cured.
- a releasable coating layer may be provided on the flat surface.
- the plate-like or film-like substrate 30 is placed in the region of the liquid resin 20 (step S102).
- the base material 30 is preferably lifted by suction or the like and is gently placed in the region of the liquid resin 20 from above.
- the material of the substrate 30 is glass or resin, and a plate or film is preferably used, but is not limited thereto.
- the thickness of the substrate 30 is arbitrary, but is preferably about 1/50 (mm) to 1/2 (mm).
- the AA cross section shown in FIG. 2C is provided between the wall surface of the base material 30 and the flat surface of the pedestal 15.
- the fillet shape F is formed by the liquid curable resin 20.
- This fillet shape F differs depending on the material properties such as the material of the base material 30, the angle of the wall surface with respect to the flat surface, the surface roughness of the wall surface, the amount of the resin 20, the viscosity, and the surface tension. That is, the desired fillet shape F can be stably obtained by selecting the resin 20 and changing the material of the base material 30, the angle of the wall surface, the surface roughness, etc., and determining these conditions in advance through experiments. it can.
- the substrate 30 may be pressed after the substrate 30 is placed.
- the liquid curable resin is cured (step S103).
- the resin is an ultraviolet curable resin, it is irradiated with ultraviolet light, when it is a thermosetting resin, it is left in a high temperature environment for a predetermined time, and when it is an electron beam curable resin, it is cured by irradiation with a predetermined electron beam. Can be made.
- step S104 When the curing of the resin is completed, the cured resin 25 and the base material 30 are integrally peeled off from the flat surface of the base 15 as shown in FIG. 3A (step S104).
- the excess resin portion is deleted (step S105), and a reflective film is formed on the concave surface portion on the fillet shape F as shown in the cross-sectional view along the line BB in FIG. Is formed (step S106).
- the reflective film can be formed by vapor deposition of gold, silver, aluminum, or the like, or plating after forming a predetermined underlayer, but is not limited thereto.
- step S107 the optical element 40 in which the reflecting surface R is formed on the fillet shape F is completed by cutting into strips along the broken line shown in FIG. 3D (step S107). That is, by the series of steps described above, a large number of minute optical elements having the same shape can be manufactured at a time.
- a base material is placed on a flat surface in which a resin is extended, and a fillet shape is formed between the wall surface of the base material and the flat surface. Is formed and cured, and the fillet shape is used as an optical element, which does not require complicated processing, can be easily manufactured by a simple process, and can be a low-cost mass-productive manufacturing method. . Further, by cutting into strips, it becomes possible to obtain a minute optical element with reduced cost per one.
- the fillet shape formed by this manufacturing method varies depending on the material characteristics such as the material of the base material, the angle of the wall surface with respect to the flat surface, the surface roughness of the wall surface, the amount of resin, the viscosity, and the surface tension. Therefore, the degree of freedom of selection of these conditions is large, and there is an effect that an arbitrary desired shape can be easily obtained by selecting as appropriate.
- steps S104 to S106 are not limited to this order, and may be interchanged. Further, in the above-described flow, the example in which the cured resin 25 and the base material 30 are separated from the pedestal 15 has been described. However, the present invention is not limited to this, and the step S104 is omitted, and the pedestal 15, the cured resin 25 and The structure which manufactures the base material 30 integrally as an optical element may be sufficient.
- FIG. 4 is a perspective view showing the optical element 40 according to the present embodiment.
- a layered surface 25p of the cured resin 25 is formed on one plane side of the strip-shaped substrate 30, and the substrate 30 is connected to this surface.
- a fillet shape F made of the cured resin 25 is formed on the wall portion 30h.
- a reflective surface R is formed on the concave surface portion of the fillet shape F.
- the concave surface portion on which the reflection surface R is formed has a cylindrical shape having no curvature in the X direction in the drawing and having a curvature in the Z direction in the drawing. For this reason, it functions as a one-dimensional condensing element having power for converging the light beam in the YZ plane shown in the figure.
- FIG. 5 is a schematic cross-sectional view in which the optical element according to the present embodiment is applied to an optically assisted magnetic recording head.
- An optically assisted magnetic recording head 3 shown in FIG. 5 is a minute optical recording head that uses light for information recording on the disk 2 and has a light source unit 9A, a slider 10, and a function as a one-dimensional condensing element.
- the optical element 40 etc. which concern on embodiment are provided.
- the light source unit 9A has a semiconductor laser.
- the light source unit 9A may be a combination of a semiconductor laser and an optical element such as an optical fiber, an optical waveguide, or a collimating lens.
- the slider 10 is composed of a substrate, and a magnetic reproducing unit 8C, an optical assist unit 8A, and a magnetic recording unit 8B are stacked inside the substrate in order from the inflow side to the outflow side of the recording portion of the disk 2 (in the direction of arrow mC). It is formed in a state.
- the light assist portion 8A has a planar waveguide, and the planar waveguide has a light condensing function for spot-heating the recording portion of the disk 2 with near-infrared laser light.
- the optical element 40 is disposed such that the reflection surface R bends the laser light emitted from the light source unit 9A and guides it to the light assist unit 8A. At this time, the laser beam is guided to the light assist unit 8A by the reflecting surface R while converging the light beam in the YZ plane shown in the drawing.
- the optical element 40 shown in FIG. 4 is bonded and fixed to the light source unit 9A.
- the present invention is not limited to this.
- the pedestal 15, the cured resin 25, and the base material 30 are integrally formed as the optical element 40, the pedestal 15 and the slider 10 may be bonded and fixed.
- an optically assisted magnetic recording head can be formed at a low cost.
- FIG. 6 is a perspective view showing a schematic configuration example of the magnetic recording apparatus 1 including the optically assisted magnetic recording head 3 shown in FIG.
- a magnetic recording apparatus 1 shown in FIG. 6 includes a recording disk (magnetic recording medium) 2, a suspension 4 that is rotatable about a support shaft 5 in an arrow mA direction (tracking direction), and is attached to the suspension 4.
- a housing 7 is provided with the tracking actuator 6, the optically assisted magnetic recording head 3 attached to the tip of the suspension 4, and a motor (not shown) that rotates the disk 2 in the arrow mB direction.
- the optically assisted magnetic recording head 3 is configured to be relatively movable while flying over the disk 2 (the disk 2 moves in the direction of arrow mC in FIG. 5).
- an optically assisted magnetic recording apparatus can be formed at low cost.
- the present invention is suitable for an optical element manufacturing method, an optical element, an optically assisted magnetic recording head, and a magnetic recording apparatus having a minute optical surface.
- Magnetic recording device Disk (magnetic recording medium) DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 Optical assist magnetic recording head 4 Suspension 5 Support shaft 6 Actuator 7 Case 8A Optical assist part 8B Magnetic recording part 8C Magnetic reproduction part 9A Light source part 10 Slider 15 Base 20 Resin (liquid) 25 Resin (after curing) 30 base material 30h wall surface part (base material) 40 Optical element F Fillet shape R Reflective surface
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Abstract
簡便な工程により製造が容易で量産性に富んだ微小な光学素子の製造方法及び、低コストの微小な光学素子を提供する。 平坦面上に液状の樹脂を延在させる工程と、樹脂が延在された平坦面上に板状又はフィルム状の基材を載置し、基材の壁面と平坦面との間に樹脂によるフィレット形状を形成させる工程と、樹脂を硬化させる工程と、を有する光学素子の製造方法とする。
Description
本発明は微少な光学面を有する光学素子の製造方法及び光学素子に関し、特に光アシスト式の磁気記録装置の記録ヘッドに好適な光学素子及び該光学素子の製造方法に関するものである。
従来より、光学素子の製造法としては、金型による成形や研磨による方法が知られている。
一方、光通信、光情報処理の分野において用いられる微小な光学素子の製造法として以下のようなものが知られている。例えば、微小な反射面を有する光路変換ミラーの製造法として、ドライエッチングでミラー溝を掘り込み、ミラー溝の壁面及び底面に表面処理剤を塗布した後、ミラー溝にインクジェットノズルより液状硬化樹脂を供給してミラー支持体斜面を形成し、硬化後に該斜面に反射膜を形成するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、上記特許文献１に記載の光路変換ミラーの製造法は、ミラー溝の形成に微細加工を必要とするなど、加工が複雑で量産性に乏しく、高コストとなる問題がある。
本願発明は上記問題に鑑み、簡便な工程により製造が容易で量産性に富んだ微小な光学素子の製造方法、低コストの微小な光学素子、及び、当該光学素子を有する光アシスト磁気記録ヘッド、並びに、当該光磁気記録ヘッドを有する磁気記録装置を提供することを目的とするものである。
上記の目的は、下記の構成により達成される。
（１）平坦面上に液状の樹脂を延在させる工程と、前記樹脂が延在された平坦面上に板状又はフィルム状の基材を載置し、前記基材の壁面と前記平坦面との間に前記樹脂によるフィレット形状を形成させる工程と、前記樹脂を硬化させる工程と、を有することを特徴とする光学素子の製造方法。
（２）前記樹脂を硬化させる工程の後、前記フィレット形状の凹面部に反射膜を形成する工程、を有することを特徴とする前記（１）に記載の光学素子の製造方法。
（３）前記フィレット形状の凹面部に反射膜を形成する工程の後、前記基材を短冊状に切断する工程、を有することを特徴とする前記（２）に記載の光学素子の製造方法。
（４）板状又はフィルム状の基材の一方の平面側に、前記基材とは異なる樹脂による面が形成され、前記樹脂による面に繋がって前記基材の少なくとも一壁面部に前記樹脂によるフィレット形状が形成されていることを特徴とする光学素子。
（５）前記フィレット形状の凹面部に反射膜が形成され、該凹面部を反射面として用いることを特徴とする前記（４）に記載の光学素子。
（６）前記凹面部はシリンドリカル形状であることを特徴とする前記（４）又は（５）に記載の光学素子。
（７）前記樹脂が、紫外線硬化型樹脂、熱硬化型樹脂、電子線硬化型樹脂のいずれかであることを特徴とする前記（４）から（６）のいずれかに記載の光学素子。
（８）光源と、前記光源からの光束を反射させる前記（５）から（７）のいずれかに記載の光学素子と、前記光学素子により反射された光束をディスクに導く導波路と、磁気記録部と、を有することを特徴とする光アシスト磁気記録ヘッド。
（９）前記（８）に記載の光アシスト磁気記録ヘッドと、該光アシスト磁気記録ヘッドを支持する支持部材と、磁気記録媒体と、を有することを特徴とする磁気記録装置。
すなわち、本願発明者は、液状の樹脂を延在させた平坦面上に基材を載置することで、基材の壁面と平坦面との間に形成される液状樹脂のフィレット形状が光学面として利用できることを見いだし、なした発明である。
本発明によれば、簡便な工程により製造が容易で量産性に富んだ微小な光学素子の製造方法の提供が可能となり、低コストの微小な光学素子、当該光学素子を有する光アシスト磁気記録ヘッド、当該光磁気記録ヘッドを有する磁気記録装置を提供することが可能となる。
以下、実施の形態により本発明を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１は、本実施の形態に係る光学素子の製造方法の概略工程を示すフローチャートである。図２及び図３は、本実施の形態に係る光学素子の製造方法の概略工程を示す模式図である。以下、図１の光学素子の製造方法のフローに従い、図２、図３を用いて説明する。
本実施の形態に係る光学素子の製造方法は、まず、平坦面に液状の硬化性の樹脂を延在させる（ステップＳ１０１）。この工程は、図２Ａに示すように、ガラス板あるいは金属板等の平坦面を有する台座１５上に液状の樹脂２０を滴下し、略均等な厚みに延在させる。スピンコート、塗布等により略均等な厚みとすることができる。
硬化性の樹脂としては、熱硬化型、活性エネルギー線硬化型が有り、透光性樹脂として熱硬化型のシリコーン系樹脂やエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂が挙げられ、また活性エネルギー線硬化型樹脂として紫外線硬化型、電子線硬化型を用いることが出来るが、取扱性や照射装置のコスト、安全性の面から活性エネルギー線硬化型樹脂としては紫外線硬化型が好ましい。紫外線線硬化性樹脂組成物としては、カチオン重合によるエポキシ系、ラジカル重合によるアクリル系、ポリチオール／ポリアリル系などが挙げられ、好ましくはエポキシ系である。エポキシ系としては、エポキシ基を１分子内に２個以上含むプレポリマーとカチオン重合開始剤からなる組成物が好ましく、このようなプレポリマーの例としては、脂環式ポリエポキシド類、多塩基酸のポリグリシジルエステル類、多価アルコールのポリグリシジルエーテル類、芳香族ポリオールのポリグリシジルエーテル類、芳香族ポリオールのポリグリシジルエーテルの水素添加化合物類、ポリオキシアルキレングリコールのポリグリシジルエーテル類、ウレタンポリエポキシ化合物類、エポキシ化ポリブタジエン類等が挙げられる。カチオン重合開始剤としては、芳香族オニウム塩等が有る。
また、台座１５の樹脂を延在させる平坦面の表面は、硬化性の樹脂が硬化した際に容易に剥がすことができるように形成されている。平坦面の表面に、例えば離型性のコーティング層を付与してもよい。
次いで、図２Ｂに示すように、板状又はフィルム状の基材３０を、液状の樹脂２０の領域内に載置する（ステップＳ１０２）。基材３０は、不図示であるが吸引等により持ち上げられて、上方から液状の樹脂２０の領域内に静かに載置されることが好ましい。
基材３０の材質は、ガラスもしくは樹脂であって、板状又はフィルム状のものが好ましく用いられるが、これに限るものでない。また、基材３０の厚みは任意であるが、１／５０（ｍｍ）～１／２（ｍｍ）程度が好ましい。
ステップＳ１０２において、基材３０を、液状の硬化性の樹脂２０の領域内に載置すると、基材３０の壁面と台座１５の平坦面との間には、図２Ｃに示すＡ－Ａ断面図のように、液状の硬化性の樹脂２０によるフィレット形状Ｆが形成される。
このフィレット形状Ｆは、基材３０の材料、壁面の平坦面に対する角度、壁面の表面粗さ、樹脂２０の量や、粘性、表面張力等の材料特性により異なる。すなわち、樹脂２０の選択及び基材３０の材料、壁面の角度、表面粗さ等を変化させ、予め実験によりこれらの条件を決めておくことで、所望のフィレット形状Ｆを安定して得ることができる。
また、この工程では、基材３０を載置した後、基材３０を押圧してもよい。
次いで、図２Ｂに示す状態で、液状の硬化性の樹脂を硬化させる（ステップＳ１０３）。樹脂が紫外線硬化型樹脂の場合には紫外光の照射、熱硬化型樹脂の場合には高温環境内に所定時間放置、電子線硬化型樹脂の場合には所定の電子線の照射を行って硬化させることができる。
樹脂の硬化が終わると、図３Ａに示すように硬化した樹脂２５及び基材３０を一体的に台座１５の平坦面から剥がして分離する（ステップＳ１０４）。
次いで、図３Ｂに示すように、余剰の樹脂部分を削除（ステップＳ１０５）し、図３Ｃに示すＢ－Ｂ断面図のように、フィレット形状Ｆ上の凹面部に反射膜を形成し反射面Ｒを形成する（ステップＳ１０６）。反射膜は、金、銀、アルミニウム等の蒸着や、所定の下地層を形成した後、メッキ等で形成することができるが、これに限るものでない。
次いで、図３Ｄに示す破線に沿って短冊状に切断（ステップＳ１０７）することで、フィレット形状Ｆ上に反射面Ｒが形成された光学素子４０が完成する。すなわち、上述の一連の工程により、多数の同一形状の微少な光学素子を、一度に製造することができる。
以上説明したように、本実施の形態に係る光学素子の製造方法は、樹脂を延在させた平坦面に基材を載置し、基材の壁面と平坦面との間に樹脂によるフィレット形状を形成させて硬化させ、該フィレット形状を光学素子とするものであり、複雑な加工を要せず、簡便な工程により製造が容易で低コストの量産性に富んだ製造方法とすることができる。また、短冊状に切断することで１つあたりのコストを低下させた微小な光学素子を得ることが可能となる。
更に、上述のように、本製造方法によって形成されるフィレット形状は、基材の材料、壁面の平坦面に対する角度、壁面の表面粗さ、樹脂の量、粘性、表面張力等の材料特性により異なることから、これら条件選択の自由度が大きく、適宜選択することで任意の所望の形状を容易に得ることができるようになる効果も有している。
なお、上述のフローのうち、ステップＳ１０４～ステップＳ１０６については、この順序に限るものでなく、入れ替えてもよい。また、上述のフローでは、台座１５から硬化した樹脂２５及び基材３０を分離する例で説明したが、これに限るものでなく、ステップＳ１０４の工程を省略し、台座１５、硬化した樹脂２５及び基材３０を一体で光学素子として製造するような構成でもよい。
図４は、本実施の形態に係る光学素子４０を示す斜視図である。
上述のような製造方法によって製造された光学素子４０は、短冊状の基材３０の一方の平面側に硬化した樹脂２５による層状の面２５ｐが形成されると共に、この面に繋がって基材３０の壁面部３０ｈに硬化した樹脂２５によるフィレット形状Ｆが形成される。このフィレット形状Ｆの凹面部には反射面Ｒが形成されている。また、反射面Ｒの形成された凹面部は、図示Ｘ方向には曲率を有さず、図示Ｚ方向には曲率を有するシリンドリカル状となっている。このため、図示ＹＺ面内では光束を収束させるパワーを有した一次元集光素子として機能する。
図５は、本実施の形態に係る光学素子を光アシスト磁気記録ヘッドに適用した概略断面図である。
図５に示す、光アシスト磁気記録ヘッド３は、ディスク２に対する情報記録に光を利用する微小光記録ヘッドであって、光源部９Ａ、スライダ１０、１次元集光素子としての機能を有した本実施の形態に係る光学素子４０等を備えている。
光源部９Ａは半導体レーザを有する。光源部９Ａは半導体レーザと、光ファイバ、光導波路、コリメートレンズ等の光学素子との組み合わせであってもよい。
スライダ１０は基板で構成されており、ディスク２の被記録部分の流入側から流出側にかけて順に（矢印ｍＣ方向）、磁気再生部８Ｃ、光アシスト部８Ａ及び磁気記録部８Ｂが、基板内部に積層状態で形成されている。
光アシスト部８Ａは平面導波路を有しており、その平面導波路はディスク２の被記録部分を近赤外レーザ光でスポット加熱するための集光機能を有している。
光学素子４０は、反射面Ｒが光源部９Ａから出射されるレーザ光を折り曲げ、光アシスト部８Ａへ導くように配置される。このとき、反射面Ｒによりレーザ光は図示ＹＺ面内では光束を収束させられながら光アシスト部８Ａへ導かれるようになっている。
なお、図５では、図４に示す光学素子４０を光源部９Ａに接着固定したものを示しているが、これに限るものでない。例えば、上述の台座１５、硬化した樹脂２５及び基材３０を一体で光学素子４０として形成した場合、台座１５とスライダ１０を接着固定してもよい。
本実施の形態に係る低コストの微小な光学素子４０を用いることにより、光アシスト磁気記録ヘッドを低コストで形成することができる。
図６は、図５に示す光アシスト磁気記録ヘッド３を備えた磁気記録装置１の概略構成例を示す斜視図である。
図６に示す磁気記録装置１は、記録用のディスク（磁気記録媒体）２と、支軸５を支点として矢印ｍＡ方向（トラッキング方向）に回転可能に設けられたサスペンション４と、サスペンション４に取り付けられたトラッキング用のアクチュエータ６と、サスペンション４の先端部に取り付けられた光アシスト磁気記録ヘッド３と、ディスク２を矢印ｍＢ方向に回転させるモータ（不図示）と、を筐体７内に備えており、光アシスト磁気記録ヘッド３がディスク２上で浮上しながら相対的に移動しうるように構成されている（図５中の矢印ｍＣ方向にディスク２が移動する）ものである。
本実施の形態に係る光アシスト磁気記録ヘッドを用いることにより、光アシスト式の磁気記録装置を低コストで形成することができる。
なお、明細書、請求の範囲、図面および要約を含む２０１０年７月２６日に出願された日本特許出願Ｎｏ．２０１０－１６６８８０号の全ての開示は、そのまま本出願の一部に組み込まれる。
以上のように、本発明は、微少な光学面を有する光学素子の製造方法、光学素子及び光アシスト磁気記録ヘッド並びに磁気記録装置に適している。
１ 磁気記録装置
２ ディスク（磁気記録媒体）
３ 光アシスト磁気記録ヘッド
４ サスペンション
５ 支軸
６ アクチュエータ
７ 筐体
８Ａ 光アシスト部
８Ｂ 磁気記録部
８Ｃ 磁気再生部
９Ａ 光源部
１０ スライダ
１５ 台座
２０ 樹脂（液状）
２５ 樹脂（硬化後）
３０ 基材
３０ｈ 壁面部（基材）
４０ 光学素子
Ｆ フィレット形状
Ｒ 反射面
２ ディスク（磁気記録媒体）
３ 光アシスト磁気記録ヘッド
４ サスペンション
５ 支軸
６ アクチュエータ
７ 筐体
８Ａ 光アシスト部
８Ｂ 磁気記録部
８Ｃ 磁気再生部
９Ａ 光源部
１０ スライダ
１５ 台座
２０ 樹脂（液状）
２５ 樹脂（硬化後）
３０ 基材
３０ｈ 壁面部（基材）
４０ 光学素子
Ｆ フィレット形状
Ｒ 反射面
Claims (9)
- 平坦面上に液状の樹脂を延在させる工程と、
前記樹脂が延在された平坦面上に板状又はフィルム状の基材を載置し、前記基材の壁面と前記平坦面との間に前記樹脂によるフィレット形状を形成させる工程と、
前記樹脂を硬化させる工程と、を有することを特徴とする光学素子の製造方法。 - 前記樹脂を硬化させる工程の後、
前記フィレット形状の凹面部に反射膜を形成する工程、を有することを特徴とする請求項１に記載の光学素子の製造方法。 - 前記フィレット形状の凹面部に反射膜を形成する工程の後、
前記基材を短冊状に切断する工程、を有することを特徴とする請求項２に記載の光学素子の製造方法。 - 板状又はフィルム状の基材の一方の平面側に、前記基材とは異なる樹脂による面が形成され、前記樹脂による面に繋がって前記基材の少なくとも一壁面部に前記樹脂によるフィレット形状が形成されていることを特徴とする光学素子。
- 前記フィレット形状の凹面部に反射膜が形成され、該凹面部を反射面として用いることを特徴とする請求項４に記載の光学素子。
- 前記凹面部はシリンドリカル形状であることを特徴とする請求項４又は５に記載の光学素子。
- 前記樹脂が、紫外線硬化型樹脂、熱硬化型樹脂、電子線硬化型樹脂のいずれかであることを特徴とする請求項４から６のいずれか一項に記載の光学素子。
- 光源と、
前記光源からの光束を反射させる請求項５から７のいずれか一項に記載の光学素子と、
前記光学素子により反射された光束をディスクに導く導波路と、
磁気記録部と、を有することを特徴とする光アシスト磁気記録ヘッド。 - 請求項８に記載の光アシスト磁気記録ヘッドと、
該光アシスト磁気記録ヘッドを支持する支持部材と、
磁気記録媒体と、を有することを特徴とする磁気記録装置。
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