WO2011125097A1 - 天井を走行する搬送車のサイドバッファ及び搬送車システム - Google Patents

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WO2011125097A1
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restricting
article
side buffer
foup
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和田栄治
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ムラテックオートメーション株式会社
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to a side buffer of a transport vehicle that travels on a ceiling and a transport vehicle system.
  • a transport system for transporting a container containing a substrate between processing apparatuses is employed.
  • the transport system includes, for example, a rail suspended from the ceiling and a transport vehicle supported so as to be suspended from the rail.
  • a conveyance vehicle conveys FOUP (Front Opening Unified Pod) in which the board
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • the side buffer described in Patent Document 1 includes a fall prevention member 350 in order to prevent the FOUP from dropping from the mounting table 300 due to shaking caused by an earthquake or the like.
  • the shape of the fall prevention member 350 is a square U-shape.
  • the fall prevention member 350 includes a tilt restricting portion 350a, a connecting portion 350b, and a fixing portion 350c.
  • the tilt regulating part 350a, the connecting part 350b, and the fixing part 350c are integrally formed.
  • the fixing portion 350 c is a plate-like part and is screwed to the beam 360 of the mounting table 300.
  • the connecting portion 350b is a plate-like portion extending upward from the fixed portion 350c.
  • the tilt restricting part 350a is a plate-like part extending perpendicularly to the connecting part 350b. That is, the tilt restricting portion 350 a is disposed above the position where the article is placed on the placement table 300.
  • an article 500 is a FOUP and has a protrusion 510 at the bottom of the side surface.
  • a contact surface portion 510 a is provided on the upper surface of the protruding portion 510.
  • the abutting surface portion 510a abuts on the tilt restricting portion 350a. Therefore, the range of tilting of the article 500 placed on the placing table 300 is limited.
  • the tilt restriction part 350a is disposed above the portion of the mounting table 300 on which the article 500 is mounted. Therefore, the article cannot be moved in the vertical direction between the position above the tilt restricting portion 350a and the mounting table 300.
  • Patent Document 1 the article 500 is put in and out only from one side of the mounting table. This is because the edge of the lid of the FOUP protrudes from the side surface, and the lid of the FOUP comes into contact with the tilt restricting portion when it is taken in and out from the opposite side of the mounting table. Therefore, the technique described in Patent Document 1 cannot be applied to a transport vehicle system that takes in and out a FOUP whose lid projects from the side surface from both sides of the mounting table.
  • An object of the present invention is to increase the degree of freedom in the loading / unloading direction of an article in a side buffer having a fall prevention mechanism.
  • a side buffer according to an aspect of the present invention is a side buffer provided in a transport vehicle system including a transport vehicle that travels on a ceiling.
  • the side buffer includes a placement portion on which the article is placed, a suspension member that suspends the placement portion from the ceiling, a restriction position that regulates the inclination of the article in the placement portion, and the placement portion and the placement portion.
  • a restricting portion that can be moved to a retreat position that allows movement of the article between a position above and below the restricting portion, and a force from the article placed on the placing portion.
  • An article receiving portion disposed so as to be received, and a link portion that moves the restricting portion from the retracted position to the restricting position by force.
  • the restricting portion When the restricting portion is located at the restricting position, the inclination of the article is restricted, so that the article is prevented from falling.
  • the restricting portion when the restricting portion is located at the retracted position, the article is allowed to move between the placement portion and the position directly above the placement portion, so that the degree of freedom of the article transfer is increased.
  • the article can be placed on the placement unit from a position directly above the placement unit.
  • the link portion uses the force from the article to move the restricting portion from the retracted position to the restricting position, it is not necessary to use a special drive member.
  • the restricting unit may be disposed on both sides of the article in the traveling direction of the transport vehicle at the restricting position.
  • the article receiving portion is arranged such that when the article is placed on the placement portion, the vicinity of the end of the article in a direction that is horizontal and perpendicular to the traveling direction is placed on the article receiving portion. Also good.
  • the link portion moves the restricting portion from the retracted position to the restricting position. Therefore, the restricting portion can be moved from the retracted position to the restricting position by the operation of placing the article on the placing portion.
  • the side buffer may further include an urging portion that urges the restricting portion toward the retracted position. In this case, when the above-described force is removed, the restricting portion reliably moves to the retracted position.
  • the side buffer includes a first plate as a restricting portion, a second plate as an article receiving portion facing the first plate, and a third plate as a link portion connecting the first plate and the second plate. It may be.
  • the first plate, the second plate, and the third plate may be configured to form a U shape.
  • the regulating part, the article receiving part, and the link part may be integrally formed.
  • the side buffer may further include a rotating shaft, and the restricting portion may be provided to be rotatable about the rotating shaft.
  • Articles may have protrusions on the surface. Further, the restricting portion may be arranged to restrict the inclination of the article by restricting the movement range of the protrusion at the restricting position.
  • the side buffer may include a regulation unit, an article receiving unit, and a link unit as the first set. Further, the side buffer may include a further restricting portion, an article receiving portion, and a link portion as the second set.
  • the first set may be disposed on one side of the placement unit, and the second set may be disposed on the opposite side of the side on which the first set is disposed. In this case, since the inclination of the article is regulated by the regulating unit from both sides, the attitude of the article is more stably maintained even if the swing occurs.
  • a transport vehicle system is a transport vehicle that moves an article in the vertical direction between any of the above-described side buffers and a position that is higher than the restriction portion and directly above the placement portion. And comprising.
  • the restricting portion is movable between the restricting position and the retracted position, the degree of freedom in the direction of taking in and out the article is increased.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the side buffer taken along line AA in a state where the FOUP is detached from the side buffer.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the side buffer taken along the line AA in a state where the FOUP is placed on the side buffer. It is drawing which shows the motion of FOUP when FOUP is mounted in a side buffer. It is drawing which shows prevention of the fall of FOUP by a control member when FOUP tilts. It is sectional drawing which shows the fall prevention mechanism which concerns on other embodiment of this invention.
  • First embodiment 1-1 Configuration of FOUP With reference to FIG. 1, the configuration of a FOUP 6 transported by a transport vehicle system 1 described later will be described.
  • a pod main body 61 As shown in FIG. 1, a pod main body 61, a lid 62, an upper flange 63, a handle 64, and a lower flange 65 are provided.
  • the pod body 61 is a substantially rectangular parallelepiped container and can accommodate a semiconductor substrate.
  • the upper flange 63 is provided substantially at the center of the upper surface of the pod body 61.
  • the upper flange 63 includes a plate parallel to the upper surface of the pod main body 61 and a support portion that connects the plate and the pod main body 61 and protrudes upward from the pod main body 61.
  • the handle 64 has a shape that is long in one direction, and is provided on both of the two side surfaces facing each other in the pod body 61.
  • the “side surface” is a surface in contact with both the upper surface of the pod body 61 and the lid 62 among the surfaces of the pod body 61.
  • the handle 64 is disposed obliquely with respect to the lower side of the side surface.
  • the handle 64 has a longitudinal end portion of the handle 64 that is closer to the upper surface of the pod main body 61 and an end portion closer to the lid 62 than the upper end of the pod main body 61. Arranged to be far away.
  • the lower flange 65 is provided along the lower side (side between the side surface and the lower surface of the pod main body 61) on the same side surface as the handle 64 is provided.
  • the lower flange 65 protrudes in a direction substantially perpendicular to the side surface, that is, in a direction parallel to the lower surface of the pod body 61.
  • the carrier system 1 according to the present embodiment is applied to a semiconductor manufacturing system.
  • the transport vehicle system 1 transports the FOUP 6 between the plurality of processing devices 9.
  • the x-axis direction is the horizontal direction in FIG. 2
  • the y-axis direction is the vertical direction (that is, the vertical direction) in FIG. 2
  • the z-axis direction is the direction perpendicular to the plane of FIG.
  • the transport vehicle system 1 is a system that causes a plurality of transport vehicles 3 to travel on a predetermined route. As illustrated in FIG. 2, the transport vehicle system 1 includes a transport vehicle 3, a travel rail 30, and a support 31.
  • the traveling rail 30 is suspended from the ceiling 5 of the clean room by a support 31.
  • the traveling rail 30 includes a traveling rail body 32 and a power supply rail 33.
  • the traveling rail 30 is arranged such that its longitudinal direction is parallel to the z-axis.
  • the place where the transport vehicle system is provided is not limited to the clean room, and the traveling rail is suspended from the ceiling of the room even when the transport vehicle system is provided in a room other than the clean room.
  • the transport vehicle 3 is a suspended transport vehicle. As illustrated in FIG. 2, the transport vehicle 3 includes a base 34, a travel drive unit 35, a power reception unit 36, two covers 37, a lateral movement mechanism 39, a lift drive unit 40, and a lift platform 41.
  • the travel drive unit 35 is connected to the base 34 and can travel in the travel rail body 32.
  • the power receiving unit 36 can receive power from the power supply rail 33.
  • the two covers 37 are fixed to the base 34 so as to sandwich the FOUP 6 in the traveling direction of the transport vehicle 3 (longitudinal direction of the traveling rail 30).
  • the lateral movement mechanism 39 can move the lifting drive unit 40, the lifting platform 41 and the FOUP 6 in the x-axis direction.
  • the raising / lowering drive part 40 can raise / lower the raising / lowering base 41 along a y-axis direction with suspension members, such as a belt, a wire, or a rope.
  • the elevator 41 can chuck the upper flange 63 of the FOUP 6 with a hand, and can release the chuck.
  • Side buffer configuration (overall configuration) The configuration of the side buffer 2 will be described with reference to FIGS.
  • FIG. 5 the portion arranged in front of the cross section is drawn with a one-dot chain line.
  • the side buffer is a mechanism arranged in the vicinity of the traveling rail 30. In the side buffer 2, the FOUP 6 is temporarily placed.
  • the side buffer 2 includes a frame member 20, a beam 21, a support 22, and a fall prevention mechanism 29.
  • the beam 21 has a shape that is long in the z-axis direction. Two beams 21 are used as one set.
  • the first end of the column 22 (hanging member) is fixed to the beam 21 and the second end is fixed to the ceiling 5.
  • the column 22 suspends the beam 21 and other members fixed to the beam 21 from the ceiling 5.
  • the two support columns 22 are positioned in front of and behind the FOUP 6 and the bottom 23, respectively, so that they are drawn with an alternate long and short dash line for convenience of explanation.
  • the frame member 20 is supported by the beam 21.
  • the frame member 20 includes a bottom portion 23 (mounting portion), a horizontal panel 24, a front panel 251 and a rear panel 252.
  • the bottom 23 is a substantially X-shaped plate member.
  • the bottom 23 is fixed to the beam 21 with screws or the like.
  • the four horizontal panels 24 are arranged so that their surfaces are parallel to the z-axis. Two of the four horizontal panels 24 are arranged on the right edge of the bottom 23 (upper edge in FIG. 3) so as to be aligned in the z-axis direction. The remaining two horizontal panels 24 are arranged on the left edge of the bottom 23 (the lower edge in FIG. 3) so as to be aligned in the z-axis direction. As shown in FIG. 4, the horizontal panel 24 is provided so as to protrude upward from the bottom 23 (the positive direction of the y-axis).
  • the front panel 251 and the rear panel 252 are disposed so as to face each other in the z-axis direction.
  • the front panel 251 and the rear panel 252 are arranged perpendicular to the surface direction of the bottom 23. That is, the front panel 251 and the rear panel 252 are arranged in parallel to the xy plane. Both ends of the front panel 251 in the x-axis direction are respectively connected to the front end of the right front (upper left in FIG. 3) horizontal panel 24 and the front end of the left front (lower left in FIG. 3) horizontal panel 24. Both ends in the x-axis direction are connected to the rear end of the right rear lateral panel 24 (upper right in FIG.
  • the entire frame member 20 may be integrally formed of resin, or may be assembled from a plurality of members.
  • the configuration of the fall prevention mechanism 29 will be described with reference to FIGS.
  • the overturn prevention mechanism 29 is a mechanism for preventing the FOUP 6 from overturning even if the side buffer 2 is shaken.
  • the position of each member included in the fall prevention mechanism 29 is a position when the FOUP 6 is placed on the side buffer 2.
  • one fall prevention mechanism 29 is arranged in the vicinity of both ends of the bottom 23 in the z-axis direction.
  • the two fall prevention mechanisms 29 are arranged symmetrically with respect to an xy plane passing through the center of the bottom 23.
  • the fall prevention mechanism 29 includes a regulating member 290, a rotating shaft 295, and a spring 296.
  • the regulating member 290 can prevent the FOUP 6 from falling by regulating the inclination of the FOUP 6 accommodated in the side buffer 2.
  • the restricting member 290 includes a restricting portion 291 (first plate), an article receiving portion 292 (second plate), and a link portion 293 (third plate).
  • the restriction part 291, the article receiving part 292, and the link part 293 are substantially rectangular plate-like members.
  • the restricting portion 291 extends at a right angle from one side of the rectangle of the link portion 293. In the direction perpendicular to the surface direction of the link portion 293, the width of the restricting portion 291 is shorter than the width of the article receiving portion 292.
  • the angle formed by the surface direction of the restricting portion 291 and the surface direction of the link portion 293 is substantially a right angle.
  • the article receiving portion 292 has an elongated shape and is disposed so as to face the restricting portion 291 through the link portion 293.
  • the article receiving portion 292 is disposed so that its longitudinal direction is parallel to the x-axis via a rotation shaft 295 described later.
  • the length of the article receiving part 292 is the length of the FOUP 6 in the x-axis direction; the shape of the lower fringe 65 and the width in the z-axis direction; the distance between the restricting part 291 and the article receiving part 292; and the z-axis direction of the restricting part 291 It is set according to the width of the.
  • the relationship between the length of the article receiving portion 292 and the length of the FOUP 6 when incorporated in the side buffer 2 will be described later.
  • the link portion 293 extends from the end in the short direction of the article receiving portion 292 at right angles to the surface direction of the article receiving portion 292. That is, the link part 293 connects the restriction part 291 and the article receiving part 292.
  • the length of the restricting portion 291 and the length of the link portion 293 are shorter than the length of the article receiving portion 292.
  • the link part 293 and the restricting part 291 are not located at the center of the article receiving part 292 in the longitudinal direction of the article receiving part 292 but at a position closer to one end of the article receiving part 292 (see FIG.).
  • the shape, number, and position of the link part and the restriction part can be changed.
  • the magnitude relationship among the length of the restricting portion 291, the length of the link portion 293, and the length of the article receiving portion 292 can be changed.
  • the regulating member 290 is U-shaped and more specifically angular in a cross section (AA cross section) crossing the regulating portion 291 and the link portion 293 and parallel to the yz plane. It is U-shaped. As shown in FIG. 5, the restricting portion 291 and the article receiving portion 292 are portions facing each other in a U-shaped cross section. The link part 293 corresponds to a U-shaped bottom part. As described above, in this cross section, the width of the restricting portion 291 is shorter than the width of the article receiving portion 292 in the direction perpendicular to the surface direction of the link portion 293.
  • the regulating member 290 may be formed by bending a cross-sectional metal plate, may be formed by casting, or may be formed by a material such as resin.
  • the rotation shaft 295 is provided at the corner between the article receiving portion 292 and the link portion 293 of the regulating member 290 along the longitudinal direction of the article receiving portion 292. Both ends of the rotating shaft 295 are held in bearing holes (not shown) provided in the horizontal panel 24, respectively.
  • the bearing hole is provided in the lower part of the horizontal panel 24 (part close to the bottom part 23), in the vicinity of the front end and the vicinity of the rear end of the bottom part 23.
  • the rotation shaft 295 is disposed in parallel to the x axis.
  • the regulating member 290 is disposed on both sides of the bottom 23 in the z-axis direction so that the longitudinal direction thereof is parallel to the x-axis.
  • the restricting member 290 can rotate around the rotation shaft 295.
  • the restricting portion 291 can rotate around the rotation shaft 295.
  • one end in the longitudinal direction of the article receiving portion 292 is arranged in the vicinity of one end in the x-axis direction of the FOUP 6 in the state of being incorporated in the side buffer 2, and the other end of the article receiving portion 292 is The FOUP 6 is disposed in the vicinity of the other end.
  • both ends of the article receiving portion 292 in the x-axis direction are disposed on the inner side with respect to both ends of the FOUP 6 in the x-axis direction.
  • the end of the article receiving portion 292 in the x-axis direction may be at the same position or outside of the end of the FOUP 6 in the x-axis direction.
  • the spring 296 is provided in the vicinity of both ends of the rotating shaft 295. More specifically, the spring 296 is disposed closer to both ends of the rotation shaft 295 than the link part 293 and the article receiving part 292. The spring 296 is wound around the rotation shaft 295. The first end of the spring 296 contacts the bottom 23 and the other end is fixed to the regulating member 290.
  • the spring 296 biases the restricting member 290 in the direction in which the restricting member 290 opens (the direction in which the distance between the restricting portions 291 of the two restricting members 290 opens).
  • the front-side regulating member 290 receives a force for tilting the link portion 293 toward the front panel 251 from the spring 296.
  • the inclination of the regulating member 290 relative to the bottom 23 (relative to the zx plane) is limited by the front panel 251.
  • the article receiving portion 292 of the regulating member 290 is disposed at a position where the article receiving portion 292 is pushed down by the FOUP 6, that is, a position where the force from the FOUP 6 is received.
  • the rear side (right side in FIG. 5) restricting member 290 receives a force to tilt the link portion 293 toward the rear panel 252 from the spring 296.
  • the inclination of the regulating member 290 relative to the bottom 23 is limited by the rear panel 252.
  • the article receiving portion 292 of the regulating member 290 is disposed at a position where the article receiving portion 292 is pushed down by the FOUP 6, that is, a position where the force from the FOUP 6 is received.
  • the article receiving portion 292 is disposed closer to the center of the bottom portion 23 in the z-axis direction than the link portion 293 by the rotation shaft 295 and the front panel 251. That is, the restricting member 290 is disposed such that the concave portion in the U-shaped cross section faces the inside of the frame member 20 in the z-axis direction.
  • the restricting portion 291 is arranged at the retracted position by being biased by the spring 296 (FIG. 5).
  • the “retracted position” is a position that deviates from the orbit of the FOUP 6 in the placement operation, in other words, a position that cannot be pushed down by the FOUP 6 during the placement operation, and in other words, a force from the FOUP 6 during the placement operation. This position is not received (FIG. 5).
  • the article receiving unit 292 receives force from the FOUP 6 when the FOUP 6 is placed on the side buffer 2.
  • the link unit 293 moves the regulating unit 291 by transmitting this force to the regulating unit 291.
  • the FOUP 6 is placed on the article receiving portion 292, so that the article receiving portion 292 receives a downward force (negative direction of the y axis). Since the regulating member 290 can rotate around the rotation shaft 295, the article receiving portion 292 moves downward by this force. Since the link portion 293 is connected to the article receiving portion 292, the link portion 293 also rotates around the rotation shaft 295. Since the link part 293 is also connected to the restricting part 291, the restricting part 291 also rotates around the rotation shaft 295.
  • the restricting portion 291 moves from the retracted position to the restricting position (FIG. 6). That is, the link part 293 moves the restricting part 291 from the retracted position to the restricting position by the force received by the article receiving part 292. Details of the movement of the restricting portion 291 will be described later with reference to FIG.
  • the transport vehicle 3 transports the FOUP 6 to another processing device 9 by loading articles from the processing device 9 and moving on the traveling rail 30 in accordance with a command from a host controller.
  • the processing apparatus 9 includes a load port 91 and an entrance / exit 92.
  • the FOUP 6 is placed on the load port 91 of the processing apparatus 9 that is the destination by the transport vehicle 3.
  • the substrate in the FOUP 6 is taken out by the robot and processed by the processing device 9.
  • the substrate is returned to the FOUP 6.
  • the transport vehicle 3 transports the FOUP 6 to the next destination.
  • the FOUP 6 may be placed on the side buffer 2 by the transport vehicle 3. When the FOUP 6 is placed on the side buffer 2, the timing of loading into the processing device 9 is adjusted.
  • FIGS. 2 and 5 to 7 Placement on Side Buffer Placement of the FOUP 6 on the side buffer 2 will be described with reference to FIGS. 2 and 5 to 7.
  • the FOUP 6 is drawn with a two-dot chain line, and the portion arranged in front of the cross section is drawn with a one-dot chain line.
  • the FOUP 6 placed on the side buffer 2 is drawn with a solid line, and the FOUP 6 removed from the side buffer 2 is drawn with a dotted line.
  • members such as the front panel 251 and the rear panel 252 are not shown.
  • the two restricting members 290 are opened by being biased by the spring 296 (the restricting portions 291 of the two restricting members 290). The distance between them is large).
  • the tip of the article receiving portion 292 is disposed at a position higher than the bottom portion 23 in the region where the FOUP 6 is placed.
  • the restricting unit 291 is at a retracted position that is out of the region where the FOUP 6 is placed, and allows the FOUP 6 to move between the bottom 23 and a position directly above the bottom 23.
  • the FOUP 6 is placed on the side buffer 2 by being lowered from above the regulating member 290 in the vertical direction. Specifically, the FOUP 6 is moved to above the bottom 23 and the restricting portion 291 by being moved in the x-axis direction by the lateral movement mechanism 39 while being held on the lifting platform 41 (horizontal shift operation). . Next, the FOUP 6 is lowered in the vertical direction by the elevating drive unit 40 (lowering operation). The moving direction of the FOUP 6 is also represented by arrows D1 and D2 in FIG.
  • the article receiving portion 292 is pushed down by the descending FOUP 6.
  • the regulating member 290 rotates around the rotation shaft 295. That is, when the link portion 293 transmits the force received by the article receiving portion 292 to the restricting portion 291, the restricting portion 291 of the restricting member 290 on the front side (left side in FIG. 6) rotates clockwise in FIG.
  • the restricting portion 291 of the restricting member 290 (on the right side in FIG. 6) rotates counterclockwise in FIG.
  • the article receiving portion 292 is pushed down to the same height as the bottom 23 by the FOUP 6 (FIG. 6).
  • the link portion 293 stands up so as to be parallel to the y-axis.
  • the restricting portion 291 moves to the restricting position.
  • the “regulatory position” is directly above the lower flange 65 of the FOUP 6.
  • the regulating member 290 is in a closed state (a state where the distance between the regulating portions 291 of the two regulating members 290 is small).
  • the lower flange 65 is sandwiched between the restricting portion 291 and the article receiving portion 292 in the y-axis direction.
  • the regulation member 290 can prevent the FOUP 6 from falling. This is because the position of the restricting portion 291 hardly changes even when the FOUP 6 is tilted. That is, even if the FOUP 6 is tilted, the restricting portion 291 can limit the movement range of the lower flange 65. As a result, the inclination of the FOUP 6 with respect to the side buffer 2 is limited.
  • the reason why the position of the restricting portion 291 hardly changes even when the FOUP 6 is tilted will be described. Since the restricting member 290 is arranged so that the FOUP 6 is placed on the article receiving portion 292, the movement range of the article receiving portion 292 (the rotation angle of the restricting member 290) is limited by the weight of the FOUP 6 even if the FOUP 6 is inclined. Is done.
  • the movement range of the article receiving portion 292 is limited. Therefore, the movement range of the restriction portion 291 is also restricted, and as a result, the movement of the lower flange 65 is restricted. In other words, the restricting portion 291 is provided so that the restricting position can be maintained even when the FOUP 6 is tilted.
  • the fall prevention mechanism 29 does not hinder the placement and removal of the FOUP 6 from the side buffer 2 in the vertical direction. That is, it is possible to effectively prevent the FOUP 6 from overturning and to smoothly put the FOUP 6 in and out of the side buffer 2.
  • the FOUP 6 can be taken in and out not only in the D1 direction of FIG. 2 but also in the D2 direction. That is, the FOUP 6 can be taken in and out of the side buffer 2 from both the positive and negative directions of the x axis. The reason that the entry / exit from these two directions is possible is because the restriction unit 291 moves to the retracted position, so that the entry / exit of the FOUP 6 is not hindered.
  • the rails are arranged on both sides of the side buffer 2 in the x-axis direction.
  • the FOUP 6 is taken in and out of the side buffer 2 from both the left and right in FIG.
  • the FOUP 6 placed from the D1 direction may be taken out from the D2 direction, or the FOUP 6 placed from the D2 direction may be taken out from the D1 direction.
  • the side buffer 2 it is not necessary to increase the height of the horizontal panel 24, the front panel 251, and the rear panel 252 in order to prevent the FOUP 6 from falling by providing the regulating member 290. Therefore, the lifting distance when the FOUP 6 is put in and out of the side buffer 2 can be shortened. Therefore, the operation time of the transport vehicle 3 that performs transfer is shortened.
  • the regulating member 290 can take the first posture shown in FIG. 5 and the second posture shown in FIG. 6 by rotating around the rotation shaft 295.
  • the restricting member 290 opens outward in the z-axis direction, and the restricting portion 291 is in the retracted position. Therefore, the restriction part 291 does not become an obstacle when the FOUP 6 is placed on the bottom part 23.
  • the restricting member 290 is closed inward in the z-axis direction, and the restricting portion 291 is in the restricting position. Therefore, even when the FOUP 6 is inclined with respect to the side buffer 2 as shown in FIG. 8, the inclination of the FOUP 6 is limited.
  • the regulating member 290 When the FOUP 6 is pulled upward by the transport vehicle 3, the regulating member 290 is shifted from the second posture to the first posture by the spring 296 due to the FOUP 6 being separated from the article receiving portion 292. Therefore, the regulation unit 291 does not interfere with the FOUP 6 that is being lifted. As described above, the restricting member 290 limits the inclination of the FOUP 6 but does not limit the vertical movement of the FOUP 6.
  • Second Embodiment A side buffer according to a second embodiment will be described with reference to FIG.
  • the side buffer according to the second embodiment has the same configuration as the side buffer 2 of the first embodiment, except that a weight 297 is provided as an urging portion instead of the spring 296. Therefore, description and illustration of the members that have already been described are omitted.
  • the side buffer falling prevention mechanism 298 includes a weight 297.
  • the weight 297 is fixed to the outer surface of the U-shaped bottom of the regulating member 290. That is, the weight 297 is fixed to the outer surface of the link portion 293.
  • the weight 297 may be formed integrally with the regulating member 290.
  • the front regulating member 290 is inclined to the front panel 251 by the weight 297, and the rear regulating member 290 is moved by the weight 297 to the rear panel 252. Lean to.
  • the restricting portion 291 is disposed at the retracted position. That is, the center of gravity of the fall prevention mechanism 298 (the regulating member 290 and the weight 297) is set so that the regulating member 290 is biased to the retracted position.
  • the FOUP when the FOUP is placed on the side buffer, the FOUP is lowered from directly above the side buffer. As a result, the article receiving portion 292 is pushed down to the FOUP 6.
  • the restricting member 290 rotates about the rotation shaft 295, the restricting portion 291 moves to the restricting position.
  • the restricting portion 291, the article receiving portion 292, and the link portion 293 are integrally included in the restricting member 290.
  • the restricting portion 291, the article receiving portion 292, and the link portion 293 may be separate members that can be separated from each other.
  • the front panel 251 and the rear panel 252 limit the movement of the restricting portion 291 when the FOUP 6 is not placed.
  • other members that restrict the movement of the restricting portion 291 may be provided, or other members that restrict the force of the spring 296 (biasing portion) may be provided.
  • the regulating member 290 and the rotating shaft 295 are separate members. However, the regulating member 290 and the rotating shaft 295 may be integrally formed. Further, when the restricting portion 291 is a member that can be separated from the article receiving portion 292 and the link portion 293, the rotating shaft 265 may be attached to the restricting portion 291, and the restricting portion 291 and the rotating shaft 265 are integrated. It may be formed.
  • the bottom of the FOUP 6 is mainly supported by the bottom 23 of the frame member 20.
  • the bottom 23 of the frame member 20 may be omitted if the size and strength of the article receiver 292 are appropriately set so that the article receiver 292 can support the bottom of the article. That is, the article receiving unit may also serve as the placement unit.
  • the control part 291 is arrange
  • the article receiver 292 is arranged so that the vicinity of both ends of the FOUP 6 in the x-axis direction (second direction) is placed on the article receiver 292.
  • the x axis is orthogonal to the z axis.
  • the configuration of these embodiments is as follows: “When the regulating part is located on both sides of the article in the first direction and the article is placed on the placing part, the article receiving part intersects the first direction. It is only an example of a configuration in which “the vicinity of the end of the article in two directions is arranged on the article receiving part”. That is, the second direction need not be orthogonal to the first direction.
  • the article receiving portion does not have to be arranged so that both ends of the article are placed on the article receiving portion, and may be arranged so that only the vicinity of one end of the article is placed.
  • the present invention is applicable to a mounting table and a transport vehicle system.

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Abstract

　サイドバッファ２は、ＦＯＵＰ６が載置される底部２３と、規制部２９１と、物品受け部２９２と、リンク部２９３とを有している。規制部２９１は、規制位置と退避位置とに移動可能である。規制位置では、規制部２９１は、底部２３におけるＦＯＵＰ６の傾きを規制する。退避位置では、規制部２９１は、底部２３と底部２３の真上の位置との間でＦＯＵＰ６の移動を許容する。物品受け部２９２は、底部２３に載置されたＦＯＵＰ６から力を受けるように配置される。リンク部２９３は、その力によって規制部２９１を退避位置から規制位置に移動させる。

Description

天井を走行する搬送車のサイドバッファ及び搬送車システム
　本発明は、天井を走行する搬送車のサイドバッファ及び搬送車システムに関する。
　半導体の製造工場には、基板が収納された容器を処理装置間で搬送するための搬送システムが採用されている。
　搬送システムは、例えば、天井から吊り下げられたレールと、レールから吊り下げられるように支持された搬送車とを備えている。搬送車は、基板が収納されたＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）を搬送する。
　さらに、レールの近傍には、処理装置にＦＯＵＰを搬送するタイミングを調整可能とするために、サイドバッファが設けられている（例えば、特許文献１を参照）。
　以下、特許文献１のサイドバッファについて説明する。なお、以下の特許文献１の技術についての説明において、部材名に付された符号は特許文献１における符号であって、本願の図面に記載された符号とは無関係である。
　特許文献１に記載のサイドバッファは、地震等による揺れで載置台３００からＦＯＵＰが落下するのを防止するために、転倒防止部材３５０を有している。
　転倒防止部材３５０の形状は、角ばったＵ字である。転倒防止部材３５０は、傾動規制部３５０ａ、繋ぎ部３５０ｂ及び固定部３５０ｃから構成されている。傾動規制部３５０ａ、繋ぎ部３５０ｂ及び固定部３５０ｃは、一体に形成されている。固定部３５０ｃは、板状の部位であり、載置台３００の梁３６０にねじ止めされている。繋ぎ部３５０ｂは、固定部３５０ｃから上方に延びる板状の部位である。傾動規制部３５０ａは、繋ぎ部３５０ｂに対して垂直に延びている板状の部位である。つまり、傾動規制部３５０ａは、載置台３００において物品が載置される位置の上方に、配置される。
　特許文献１において、物品５００は、ＦＯＵＰであって、側面部の最下部に突起部５１０を有している。突起部５１０の上面には、当接面部５１０ａが設けられている。物品５００は、載置台３００に載置されるとき、搬送車３によって載置台３００へ向けて略水平方向に移動される。この移動動作において、高さ方向における物品５００の当接面部５１０ａの位置は、高さ方向における傾動規制部３５０ａの位置より低い。物品５００は、この移動動作によって載置台３００の上方まで移送された後に下降されて、載置台３００に載置される。
　物品５００が載置台３００に載置された状態で傾くと、当接面部５１０ａが傾動規制部３５０ａに当接する。よって、載置台３００に載置されている物品５００の傾動の範囲が制限される。
特開２００９－１９６７４８号公報
　上述の載置台３００では、傾動規制部３５０ａが、載置台３００において物品５００が載置される部分の上方に配置されている。よって、傾動規制部３５０ａより上方の位置と載置台３００との間で物品を上下方向に移動させることができない。
　また、特許文献１における搬送システムでは、物品５００は載置台の片側のみから出し入れされるようになっている。なぜなら、ＦＯＵＰの蓋の縁は、側面から突出しており、載置台の反対側から出し入れすると、傾動規制部にＦＯＵＰの蓋が接触するからである。よって、特許文献１に記載の技術は、側面から蓋が突出しているＦＯＵＰを、載置台の両側から出し入れする搬送車システムには、適用されることができない。
　本発明の課題は、転倒防止機構を有するサイドバッファにおける物品の出し入れ方向の自由度を高めることにある。
　以下に手段として説明する複数の態様は、必要に応じて任意に組合せ可能である。
　本発明の一見地に係るサイドバッファは、天井を走行する搬送車を備える搬送車システムに設けられるサイドバッファである。このサイドバッファは、物品が載置される載置部と、載置部を天井から吊り下げる吊り下げ部材と、載置部における物品の傾きを規制する規制位置と、載置部と載置部の真上であって規制部の上方の位置と下方の位置との間での物品の移動を許容する退避位置とに移動可能な規制部と、載置部に載置された物品から力を受けるように配置される物品受け部と、力によって規制部を退避位置から規制位置に移動させるリンク部と、を備える。
　規制部が規制位置に位置するときは、物品の傾きが規制されるので、物品の転倒が妨げられる。一方で、規制部が退避位置に位置するときは、載置部と載置部の真上の位置との間での物品の移動が許容されるので、物品の移載の自由度が高くなる。例えば、物品を載置部の真上の位置から載置部に載置することができる。
　また、リンク部が規制部を退避位置から規制位置に移動させるために物品からの力を用いているので、特別な駆動部材を用いる必要がない。
　規制部は、規制位置において、前記搬送車の進行方向において物品の両側に配置されてもよい。また、物品受け部は、物品が載置部に載置されているときに、水平かつ前記進行方向に垂直な方向における物品の端部近傍が前記物品受け部の上に載るように配置されてもよい。
　この場合、物品が物品受け部に載ることで、リンク部が規制部を退避位置から規制位置に移動させる。したがって、物品を載置部に載せる動作によって、規制部を退避位置から規制位置に移動させることができる。
　サイドバッファは、規制部を退避位置に向けて付勢する付勢部をさらに備えていてもよい。この場合、上述の力が除かれたときには、規制部は退避位置に確実に移動する。
　サイドバッファは、規制部としての第１プレートと、第１プレートに対向する物品受け部としての第２プレートと、第１プレートと第２プレートとを繋ぐリンク部としての第３プレートとを有していてもよい。
　第１プレート、第２プレート及び第３プレートは、Ｕ字形状を形成するように構成されていてもよい。
　規制部、物品受け部、及びリンク部は、一体に形成されていてもよい。
　サイドバッファは回転軸をさらに備えてもよく、規制部は回転軸を中心に回転可能に設けられていてもよい。
　物品は表面に突起を備えていてもよい。また、規制部は、規制位置において突起の移動範囲を規制することで、物品の傾きを規制するように配置されてもよい。
　サイドバッファは、規制部、物品受け部及びリンク部を第１組として備えてもよい。また、サイドバッファは、更なる規制部、物品受け部及びリンク部を第２組として備えてもよい。第１組は載置部の片側に配置され、第２組は第１組が配置された側の逆側に配置されてもよい。この場合、物品は両側から規制部によって傾きを規制されるので、揺れが生じても、物品の姿勢がより安定的に維持される。
　本発明の他の見地に係る搬送車システムは、上述したサイドバッファのいずれかと、載置部と載置部の真上で規制部より高い位置との間で物品を上下方向に移動させる搬送車と、を備える。
　本発明に係るサイドバッファにおいては、規制部が規制位置と退避位置とで移動可能であるので、物品の出し入れ方向の自由度が高くなる。
本発明の実施の一形態に係るＦＯＵＰの外観を示す斜視図である。 本発明の実施の一形態に係る搬送車システムの概要を示す正面図である。 図２の搬送車システムに含まれるサイドバッファの平面図である。 サイドバッファの正面図である。 ＦＯＵＰがサイドバッファから外れている状態における、サイドバッファのＡ－Ａ矢視断面図である。 ＦＯＵＰがサイドバッファに載置されている状態における、サイドバッファのＡ－Ａ矢視断面図である。 ＦＯＵＰがサイドバッファに載置されるときのＦＯＵＰの動きを示す図面である。 ＦＯＵＰが傾いたときの規制部材によるＦＯＵＰの転倒防止を示す図面である。 本発明の他の実施形態に係る転倒防止機構を示す断面図である。
　１．第１実施形態
　１－１．ＦＯＵＰの構成
　図１を参照しながら、後述の搬送車システム１で搬送されるＦＯＵＰ６の構成を説明する。
　図１に示されるように、ポッド（ｐｏｄ）本体６１、蓋６２、上部フランジ（ｆｌａｎｇｅ）６３、ハンドル６４、及び下部フランジ６５を備える。
　ポッド本体６１は、略直方体の容器であって、内部に半導体基板を収納可能である。
　上部フランジ６３は、ポッド本体６１の上面の略中央に設けられる。上部フランジ６３は、ポッド本体６１の上面に平行なプレートと、そのプレートとポッド本体６１とを繋ぐと共にポッド本体６１から上方向に突出する支持部とから構成されている。
　ハンドル６４は一方向に長い形状であって、ポッド本体６１において向かい合う２つの側面の両方に設けられる。「側面」とは、ポッド本体６１の面のうち、ポッド本体６１の上面及び蓋６２の両方に接する面である。ハンドル６４は、側面の下辺に対して斜めに配置される。具体的には、ハンドル６４は、ハンドル６４の長手方向端部のうち蓋６２に近い方の端部がポッド本体６１の上面に近くなるように、かつ他方の端部がポッド本体６１の上面から遠くなるように、配置される。
　下部フランジ６５は、ハンドル６４が設けられたのと同じ側面の下辺（ポッド本体６１の側面と下面とに挟まれる辺）に沿って設けられる。下部フランジ６５は、側面に対して略垂直な方向に、つまりポッド本体６１の下面と平行な方向に突出する。
　１－２．搬送車システムの構成
　図２を参照しながら、搬送車システムの構成について説明する。
　本実施形態に係る搬送車システム１は、半導体の製造システムに適用されている。搬送車システム１は、複数の処理装置９間でＦＯＵＰ６を搬送する。
　１‐３．搬送車システムの構成
　図２を参照しながら、搬送車システム１の構成について説明する。なお、以下では、ｘ軸方向は図２の水平方向、ｙ軸方向は図２の縦方向（つまり鉛直方向）、ｚ軸方向は図２の紙面に垂直な方向である。
　搬送車システム１は、定められた経路上に複数の搬送車３を走行させるシステムである。図２に示されるように、搬送車システム１は、搬送車３、走行レール３０、及び支柱３１を備える。
　図２に示されるように、走行レール３０は、支柱３１によってクリーンルームの天井５から吊り下げられている。走行レール３０は、走行レール本体３２と給電レール３３とから構成されている。走行レール３０は、その長手方向がｚ軸に平行に配置される。搬送車システムが設けられる場所はクリーンルームに限定されず、走行レールは、搬送車システムがクリーンルーム以外の他の部屋に設けられる場合も、その部屋の天井から吊り下げられる。
　搬送車３は、懸吊式の搬送車である。搬送車３は、図２に示されるように、ベース３４、走行駆動部３５、受電部３６、２つのカバー３７、横移動機構３９、昇降駆動部４０、及び昇降台４１を有する。走行駆動部３５は、ベース３４に接続され、走行レール本体３２内を走行することができる。受電部３６は、給電レール３３から受電することができる。２つのカバー３７は、搬送車３の進行方向（走行レール３０の長手方向）において、ＦＯＵＰ６を挟むように、ベース３４に固定される。
　横移動機構３９は、昇降駆動部４０、昇降台４１及びＦＯＵＰ６を、ｘ軸方向に移動させることができる。昇降駆動部４０は、ベルト、ワイヤ、又はロープなどの吊部材で昇降台４１をｙ軸方向に沿って昇降させることができる。昇降台４１は、ＦＯＵＰ６の上部フランジ６３をハンドによりチャックすることができ、またそのチャックを解除することができる。
　１－４．サイドバッファの構成
（全体の構成）
　図２～図５を参照しながら、サイドバッファ２の構成について説明する。なお、図５において、断面より手前に配置された部分は一点鎖線で描かれる。
　サイドバッファは、走行レール３０の近傍に配置された機構である。サイドバッファ２は、ＦＯＵＰ６が仮置きされるようになっている。
　図２～図５に示されるように、サイドバッファ２は、枠部材２０、梁２１、支柱２２、及び転倒防止機構２９を備える。
　梁２１は、ｚ軸方向に長い形状である。梁２１は、２本で１組として使用される。
　支柱２２（吊り下げ部材）は、第１端が梁２１に固定され、第２端が天井５に固定される。こうして、支柱２２は梁２１及び梁２１に固定された他の部材を天井５から吊り下げている。なお、図２において、２本の支柱２２は、ＦＯＵＰ６及び底部２３よりも手前及び奥にそれぞれ位置するので、説明の便宜上、一点鎖線で描かれる。
　枠部材２０は、梁２１に支持されている。枠部材２０は、底部２３（載置部）、横パネル２４、前パネル２５１、後パネル２５２を備える。
　図３に示されるように、底部２３は、略Ｘ字状の板状部材である。底部２３は梁２１にネジ等によって固定される。
　図３に示されるように、４つの横パネル２４は、それらの面がｚ軸に平行になるように配置される。４つの横パネル２４のうちの２つは、底部２３の右縁（図３の上側の縁）に、ｚ軸方向に並ぶように配置される。残り２つの横パネル２４は、底部２３の左縁（図３の下側の縁）において、ｚ軸方向に並ぶように配置される。図４に示されるように、横パネル２４は、底部２３から上方向（ｙ軸の正方向）に突出するように設けられる。
　図３に示されるように、前パネル２５１と後パネル２５２とは、ｚ軸方向において対向するように配置される。図５に示されるように、前パネル２５１及び後パネル２５２は、底部２３の面方向に垂直に配置される。つまり、前パネル２５１及び後パネル２５２は、ｘ-ｙ平面に平行に配置される。前パネル２５１のｘ軸方向における両端は、右前（図３の左上）の横パネル２４の前端と左前（図３の左下）の横パネル２４の前端とにそれぞれ接続されており、後パネル２５２のｘ軸方向における両端は、右後側の横パネル２４（図３の右上）の後端と左後側の横パネル２４（図３の右下）の後端とにそれぞれ接続されている。
　このような配置によって、前パネル２５１と底部２３との間及び後パネル２５２と底部２３との間には、間隙が存在する。後述の規制部材２９０は、この間隙内に配置される。
　枠部材２０は、全体が樹脂で一体として形成されていてもよいし、複数の部材から組み立てられていてもよい。
　（転倒防止機構の構成）
　図３～図５を参照しながら、転倒防止機構２９の構成について説明する。転倒防止機構２９は、サイドバッファ２が揺れても、ＦＯＵＰ６の転倒を防止するための機構である。なお、図３において、転倒防止機構２９に含まれる各部材の位置は、ＦＯＵＰ６がサイドバッファ２に載置されたときの位置である。
　図３～図５に示されるように、転倒防止機構２９は、ｚ軸方向における底部２３の両端近傍に、それぞれ１つずつ配置される。２つの転倒防止機構２９は、底部２３の中心を通るｘ－ｙ平面に対して、対称に配置される。転倒防止機構２９は、規制部材２９０、回転軸２９５、及びバネ２９６を備える。
　規制部材２９０は、サイドバッファ２に収容されたＦＯＵＰ６の傾きを規制することで、ＦＯＵＰ６の転倒を防止することができる。規制部材２９０は、規制部２９１（第１プレート）、物品受け部２９２（第２プレート）、及びリンク部２９３（第３プレート）を備える。
　規制部２９１、物品受け部２９２、及びリンク部２９３は、略矩形の板状部材である。規制部２９１は、リンク部２９３の矩形の一辺から直角に延びる。リンク部２９３の面方向に垂直な方向において、規制部２９１の幅は、物品受け部２９２の幅よりも短い。
規制部２９１の面方向とリンク部２９３の面方向との成す角度は略直角である。
　物品受け部２９２は、細長い形状であり、リンク部２９３を介して、規制部２９１と対向するように配置される。物品受け部２９２は、後述の回転軸２９５を介して、その長手方向がｘ軸に平行になるように配置される。物品受け部２９２の長さは、ＦＯＵＰ６のｘ軸方向における長さ；下部フリンジ６５の形状及びｚ軸方向の幅；規制部２９１と物品受け部２９２との距離；並びに規制部２９１のｚ軸方向の幅等に応じて設定される。サイドバッファ２に組み込まれたときの物品受け部２９２の長さとＦＯＵＰ６の長さとの関係については、後述する。
　リンク部２９３は、物品受け部２９２の短手方向における端から、物品受け部２９２の面方向に直角に延びる。つまり、リンク部２９３は、規制部２９１と物品受け部２９２とを連結する。
　物品受け部２９２の長手方向において、規制部２９１の長さ及びリンク部２９３の長さは、物品受け部２９２の長さよりも短い。リンク部２９３および規制部２９１は、物品受け部２９２の長手方向において物品受け部２９２の中心ではなく、物品受け部２９２の一方の端部寄りに（図）位置に配置されている。ただし、リンク部および規制部の形状、数および位置は、変更可能である。ただし、規制部２９１の長さ、リンク部２９３の長さ、及び物品受け部２９２の長さの大小関係は、変更可能である。
　図５に示されるように、規制部２９１およびリンク部２９３を横切りｙ－ｚ平面に平行な断面（Ａ－Ａ断面）において、規制部材２９０はＵ字形状であり、さらに具体的には角張ったＵ字形状である。図５に示されるように、規制部２９１及び物品受け部２９２は、Ｕ字形の断面において互いに向かい合う部分である。リンク部２９３は、Ｕ字形状の底部分に該当する。上述したように、この断面において、リンク部２９３の面方向に垂直な方向において、規制部２９１の幅は、物品受け部２９２の幅よりも短い。
　規制部材２９０は、断面金属板が折り曲げられることで形成されていてもよいし、鋳造で形成されていてもよいし、樹脂等の材料によって形成されていてもよい。
　回転軸２９５は、規制部材２９０の物品受け部２９２とリンク部２９３との間の角に、物品受け部２９２の長手方向に沿って設けられる。回転軸２９５の両端は、それぞれ横パネル２４に設けられた軸受孔（図示せず）に保持される。軸受孔は、横パネル２４の下部（底部２３に近い部位）であって、底部２３の前端の近傍及び後端の近傍に、設けられる。こうして、回転軸２９５は、ｘ軸に平行に配置される。言い換えると、規制部材２９０は、ｚ軸方向において底部２３の両側に、その長手方向がｘ軸に平行になるように配置される。規制部材２９０は、回転軸２９５を中心に回転可能である。この回転によって、規制部２９１は回転軸２９５を中心に回転することができる。
　図７に示されるように、サイドバッファ２に組み込まれた状態で、物品受け部２９２の長手方向の一端は、ＦＯＵＰ６のｘ軸方向における一端の近傍に配置され、物品受け部２９２の他端は、ＦＯＵＰ６の他端の近傍に配置される。また、図７では、物品受け部２９２のｘ軸方向における両端は、ＦＯＵＰ６のｘ軸方向における両端に対して内側に配置される。ただし、別の実施形態として、物品受け部２９２のｘ軸方向における端は、ＦＯＵＰ６のｘ軸方向における端と同じ位置又は外側にあってもよい。
　図３～図５に示されるように、バネ２９６は、回転軸２９５の両端近傍に設けられる。より具体的には、バネ２９６は、リンク部２９３及び物品受け部２９２よりも、回転軸２９５の両端の近くに配置される。バネ２９６は、回転軸２９５に巻きつけられる。バネ２９６の第１端は底部２３に当接し、他端は規制部材２９０に固定される。
　バネ２９６は、規制部材２９０を、規制部材２９０が開く方向（２つの規制部材２９０の規制部２９１間の距離が開く方向）に付勢する。
　つまり、前側の規制部材２９０は、バネ２９６から、リンク部２９３を前パネル２５１向かって倒す力を受ける。ただし、底部２３に対する（ｚ－ｘ平面に対する）この規制部材２９０の傾きは、前パネル２５１によって制限される。その結果、この規制部材２９０の物品受け部２９２は、ＦＯＵＰ６に押し下げられる位置、すなわちＦＯＵＰ６からの力を受ける位置に配置される。
　また、後側（図５における右側）の規制部材２９０は、バネ２９６から、リンク部２９３を後パネル２５２に向かって倒す力を受ける。ただし、底部２３に対するこの規制部材２９０の傾きは、後パネル２５２によって制限される。その結果、この規制部材２９０の物品受け部２９２は、ＦＯＵＰ６に押し下げられる位置、すなわちＦＯＵＰ６からの力を受ける位置に配置される。
　言い換えると、図５に示されるように、回転軸２９５及び前パネル２５１によって、物品受け部２９２は、リンク部２９３よりもｚ軸方向において底部２３の中心の近くに配置される。すなわち、規制部材２９０は、そのＵ字形断面における凹部がｚ軸方向において枠部材２０の内側を向くように、配置される。
　ＦＯＵＰ６がサイドバッファ２に載置されていないとき、規制部２９１は、バネ２９６に付勢されることで、退避位置に配置される（図５）。後述するように、ＦＯＵＰ６は、サイドバッファ２に載置されるとき、昇降駆動部４０の載置動作によって、鉛直方向（ｙ軸方向）に沿って規制部材２９０よりも上から底部２３まで下ろされる。“退避位置”とは、載置動作におけるＦＯＵＰ６の軌道から外れた位置であり、言い換えると載置動作中のＦＯＵＰ６に押し下げられない位置であり、さらに言い換えると載置動作中のＦＯＵＰ６からの力を受けない位置である（図５）。
　後述するように、物品受け部２９２は、ＦＯＵＰ６がサイドバッファ２に載置されたとき、ＦＯＵＰ６から力を受ける。リンク部２９３はこの力を規制部２９１に伝えることで、規制部２９１を移動させる。具体的には、物品受け部２９２上にＦＯＵＰ６が載せられることで、物品受け部２９２は下向き（ｙ軸の負方向）の力を受ける。規制部材２９０が回転軸２９５を中心に回転可能なので、この力によって、物品受け部２９２は下向きに移動する。リンク部２９３は物品受け部２９２に接続されているので、リンク部２９３も回転軸２９５を中心に回転する。リンク部２９３は規制部２９１にも接続されているので、規制部２９１も、回転軸２９５を中心に回転する。こうして規制部２９１は退避位置から規制位置に移動する（図６）。つまり、リンク部２９３は、物品受け部２９２が受けた力によって、規制部２９１を退避位置から規制位置へ移動させる。規制部２９１の移動の詳細については、図６を参照して後述する。
　１－５．搬送車システム１の動作
　図２を参照して、搬送車システム１の動作について説明する。
　搬送車システム１において、搬送車３は、上位のコントローラからの指令に従って、処理装置９から物品を積み込み、さらに走行レール３０上を移動することで、他の処理装置９までＦＯＵＰ６を搬送する。
　図２に示されるように、処理装置９は、ロードポート９１と、出入口９２とを備える。
　ＦＯＵＰ６は、搬送車３によって、目的地である処理装置９のロードポート９１に載置される。ＦＯＵＰ６内の基板は、ロボットにより取り出されて、処理装置９によって処理される。処理が完了すると、基板はＦＯＵＰ６に戻される。搬送車３は、ＦＯＵＰ６を次の目的地へと搬送する。
　ＦＯＵＰ６は、搬送車３によって、サイドバッファ２に載置されてもよい。ＦＯＵＰ６がサイドバッファ２に載置されることで、処理装置９への搬入のタイミングが調整される。
　１－６．サイドバッファへの載置
　図２、図５～図７を参照して、サイドバッファ２へのＦＯＵＰ６の載置について説明する。図６では、図５と同様に、ＦＯＵＰ６は２点鎖線で描かれ、断面より手前に配置された部分は一点鎖線で描かれる。図７において、サイドバッファ２に載置されたＦＯＵＰ６は実線で、サイドバッファ２から外れたＦＯＵＰ６は点線で描かれる。また、図７においては、前パネル２５１及び後パネル２５２等の部材の図示は省略されている。
　図５に示されるように、ＦＯＵＰ６がサイドバッファ２に載置されていないとき、バネ２９６により付勢されることで、２つの規制部材２９０は開いた状態（２つの規制部材２９０の規制部２９１間の距離が大きい状態）となっている。この状態で、物品受け部２９２の先端が、ＦＯＵＰ６の載置される領域において底部２３より高い位置に配置されている。さらに、この状態で、規制部２９１は、ＦＯＵＰ６が載置される領域から外れた退避位置にあり、底部２３と底部２３の真上の位置との間でのＦＯＵＰ６の移動を許容している。
　図７に示されるように、ＦＯＵＰ６は、規制部材２９０より上から鉛直方向に降下されることで、サイドバッファ２に載置される。具体的には、ＦＯＵＰ６は、昇降台４１に保持された状態で、横移動機構３９によってｘ軸方向に移動されることで、底部２３及び規制部２９１の上方まで移動される（水平転位動作）。次に、ＦＯＵＰ６は、昇降駆動部４０によって鉛直方向に降下される（降下動作）。ＦＯＵＰ６の移動方向は、図２に矢印Ｄ１及びＤ２でも表されている。
　図６に示されるように、物品受け部２９２は、降下するＦＯＵＰ６によって押し下げられる。物品受け部２９２が押し下げられることで、回転軸２９５を中心として規制部材２９０が回転する。つまり、物品受け部２９２が受けた力をリンク部２９３が規制部２９１に伝えることで、前側（図６の左側）の規制部材２９０の規制部２９１は図６における時計回りに回転し、後側（図６の右側）の規制部材２９０の規制部２９１は図６における反時計回りに回転する。
　最終的に、物品受け部２９２は、ＦＯＵＰ６によって、底部２３と同じ高さまで押し下げられる（図６）。これによってリンク部２９３はｙ軸に平行になるように起立する。また、規制部２９１は、規制位置に移動する。“規制位置”とは、ＦＯＵＰ６の下部フランジ６５の真上である。こうして、規制部材２９０は閉じた状態（２つの規制部材２９０の規制部２９１間の距離が小さい状態）となる。下部フランジ６５は、ｙ軸方向において、規制部２９１と物品受け部２９２との間に挟まれる。
　１－７．転倒防止機能
　地震等によってＦＯＵＰ６が傾いた場合の規制部材２９０の機能について、図８を参照しながら説明する。図８では、揺れてサイドバッファ２に対して傾くＦＯＵＰ６が点線で描かれている。また、規制部材２９０以外のサイドバッファ２の部材の図示は省略されている。
　図８に示されるように、ＦＯＵＰ６が左右に（ｘ－ｙ平面方向に）傾いても、規制部材２９０によって、ＦＯＵＰ６の転倒は防止可能である。なぜなら、ＦＯＵＰ６が傾いても規制部２９１の位置はほとんど変化しないからである。つまり、ＦＯＵＰ６が傾いても、規制部２９１は下部フランジ６５の移動範囲を制限することができる。その結果、ＦＯＵＰ６のサイドバッファ２に対する傾きが制限される。
　次に、ＦＯＵＰ６が傾いても規制部２９１の位置がほとんど変化しない理由を説明する。規制部材２９０は、ＦＯＵＰ６が物品受け部２９２の上に載るように配置されているので、ＦＯＵＰ６が傾いても物品受け部２９２の移動範囲（規制部材２９０の回転角度）はＦＯＵＰ６の重さによって制限される。
　このように、ＦＯＵＰ６が傾いても、物品受け部２９２の移動範囲が制限されるので、規制部２９１の移動範囲も制限され、その結果、下部フランジ６５の移動が規制される。
　言い換えると、規制部２９１は、ＦＯＵＰ６が傾いても規制位置を維持できるように設けられる。より具体的には、規制部２９１と物品受け部２９２との距離；ｘ軸方向における下部フランジ６５に対する規制部２９１の端部の位置；ｘ軸方向における物品受け部２９２の長さ；並びに、ｘ軸方向におけるＦＯＵＰ６の端部に対する物品受け部２９２の端部の位置；等の要素が、ＦＯＵＰ６が傾いたときに規制部２９１が下部フランジ６５に当接するように、つまりＦＯＵＰ６が傾いたとき、ＦＯＵＰ６によって制限される規制部２９１の可動範囲の上限において、下部フランジ６５が規制部２９１に当接するように、設定される。
　１－８．サイドバッファからのＦＯＵＰの移動
　サイドバッファ２から搬送車３によって他の場所へ移動されるとき、ＦＯＵＰ６は、昇降台４１に保持され、昇降駆動部４０によって鉛直方向に沿って上へと移動される（図５、図７）。そして、ＦＯＵＰ６は、横移動機構３９によって、２つのカバー３７の間に収容される。その後、ＦＯＵＰ６は、搬送車３によって次の目的地へと搬送される。
　このように、転倒防止機構２９は、サイドバッファ２からの鉛直方向へのＦＯＵＰ６の載置及び取り出しを妨げない。すなわち、ＦＯＵＰ６の転倒が効果的に防止されると共に、サイドバッファ２に対する円滑なＦＯＵＰ６の出し入れが可能となる。
　また、ＦＯＵＰ６は、図２のＤ１方向だけでなく、Ｄ２方向にも出し入れ可能である。つまり、サイドバッファ２に対して、ｘ軸の正負両方向からのＦＯＵＰ６の出し入れが可能である。このような２方向からの出し入れが可能なのは、規制部２９１が退避位置に移動することによって、ＦＯＵＰ６の出し入れを妨げないからである。
　２方向からの出し入れは、例えば、ｘ軸方向においてサイドバッファ２の両側にレールを配置することで実現される。このようにレールを配置することで、サイドバッファ２に対して、図２の左右両方から搬送車３によってＦＯＵＰ６が出し入れされる。
　なお、Ｄ１方向から載置されたＦＯＵＰ６がＤ２方向から取り出されてもよいし、Ｄ２方向から載置されたＦＯＵＰ６がＤ１方向から取り出されてもよい。
　また、サイドバッファ２によれば、規制部材２９０を備えることで、ＦＯＵＰ６の転倒防止のために横パネル２４、前パネル２５１、及び後パネル２５２の高さを高くする必要がない。そのため、サイドバッファ２にＦＯＵＰ６を出し入れするときの昇降距離を短くできる。よって、移載を行う搬送車３の動作時間が短くなる。
　以上に述べたように、規制部材２９０は、回転軸２９５を中心に回転することによって図５に示される第１姿勢と図６に示される第２姿勢とを取り得る。第１姿勢では、規制部材２９０はｚ軸方向において外側に開いており、規制部２９１は退避位置にある。そのため、規制部２９１は、ＦＯＵＰ６を底部２３に載置するときの障害とならない。さらに、第２姿勢では、規制部材２９０はｚ軸方向内側に閉じており、規制部２９１は規制位置にある。そのため、ＦＯＵＰ６がサイドバッファ２に対して図８に示されるように傾いた場合でもＦＯＵＰ６の傾きを制限する。なお、搬送車３によってＦＯＵＰ６が上方に引き上げられると、ＦＯＵＰ６が物品受け部２９２から離れることで、規制部材２９０はバネ２９６によって第２姿勢から第１姿勢に移行する。そのため、引き上げられていくＦＯＵＰ６に対して規制部２９１が干渉することはない。以上より、規制部材２９０は、ＦＯＵＰ６の傾きに対しては制限を加えるが、ＦＯＵＰ６の上下方向の移動に対しては制限を加えない。
　２．第２実施形態
　図９を参照しながら、第２実施形態に係るサイドバッファについて説明する。第２実施形態に係るサイドバッファは、付勢部としてバネ２９６に代えて錘２９７を備える以外は、第１実施形態のサイドバッファ２と同じ構成を有する。よって、既に説明された部材についての説明及び図示は省略される。
　図９に示されるように、本実施形態に係るサイドバッファの転倒防止機構２９８は、錘２９７を備える。錘２９７は、規制部材２９０のＵ字形状の底の外面に固定される。つまり、錘２９７は、リンク部２９３の外面に固定される。錘２９７は、規制部材２９０と一体として形成されていてもよい。
　図９に示されるように、ＦＯＵＰがサイドバッファに載置されていないとき、前側の規制部材２９０は、錘２９７によって前パネル２５１へ傾き、後側の規制部材２９０は、錘２９７によって後パネル２５２へ傾く。こうして、規制部２９１は退避位置に配置される。すなわち、転倒防止機構２９８（規制部材２９０及び錘２９７）の重心は、規制部材２９０が退避位置に付勢されるように設定されている。
　第１実施形態で説明したように、ＦＯＵＰがサイドバッファに載置されるときは、ＦＯＵＰはサイドバッファの真上から下方に降ろされる。その結果、物品受け部２９２がＦＯＵＰ６に押し下げられる。規制部材２９０が回転軸２９５を中心に回転することで、規制部２９１は規制位置に移動する。
　３．他の実施形態
　以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　（１）第１及び第２実施形態においては、規制部２９１、物品受け部２９２、及びリンク部２９３は、規制部材２９０に一体として含まれる。ただし、規制部２９１、物品受け部２９２、及びリンク部２９３は、それぞれ分離可能な個別の部材であってもよい。
　（２）第１及び第２実施形態では、前パネル２５１及び後パネル２５２が、ＦＯＵＰ６が載置されていないときの規制部２９１の移動を制限する。ただし、規制部２９１の移動を制限するこれら以外の部材が設けられもよいし、バネ２９６（付勢部）の力を制限する他の部材が設けられてもよい。
　（３）第１及び第２実施形態において、規制部材２９０と回転軸２９５とは別の部材である。ただし、規制部材２９０と回転軸２９５とが一体として形成されていてもよい。また、規制部２９１が物品受け部２９２及びリンク部２９３と分離可能な部材である場合、規制部２９１に回転軸２６５が取り付けられていてもよいし、規制部２９１と回転軸２６５とが一体として形成されていてもよい。
　（４）第１及び第２実施形態において、物品であるＦＯＵＰ６がサイドバッファ２に載置されているとき、ＦＯＵＰ６の底は、主に枠部材２０の底部２３によって支えられる。ただし、物品受け部２９２の大きさ及び強度が適切に設定されることで、物品受け部２９２が物品の底部を支えることができれば、枠部材２０の底部２３は省略されてもよい。つまり、物品受け部が載置部を兼ねていてもよい。
　（５）第１及び第２実施形態において、規制部２９１は、ｚ軸方向（第１位置）においてＦＯＵＰ６の両端に当接するように配置される。また、物品受け部２９２は、ｘ軸方向（第２方向）におけるＦＯＵＰ６の両端の近傍が物品受け部２９２の上に載るように、配置される。ｘ軸はｚ軸に直交する。
　ただし、これらの実施形態の構成は、“規制部が第１方向において物品の両側に位置し、物品が載置部に載置されているときに、物品受け部が第１方向に交差する第２方向における物品の端部近傍が物品受け部の上に載るように配置される”という構成の一例に過ぎない。すなわち、第２方向は第１方向に直交する必要はない。また、物品受け部は、物品受け部上に物品の両端が載るように配置される必要はなく、物品の片端近傍のみが載るように配置されてもよい。
　以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態および変形例は必要に応じて任意に組合せ可能である。
　本発明は、載置台および搬送車システムに適用可能である。
１　　　搬送車システム
２　　サイドバッファ
２０　　枠部材
２１　　梁
２２　　支柱（吊り下げ部材）
２３　　底部（載置部）
２４　　横パネル
２５１　　前パネル
２５２　　後パネル
２９、２９８　　転倒防止機構
２９０　　規制部材
２９１　　規制部
２９２　　物品受け部
２９３　　リンク部
２９５　　回転軸
２９６　　バネ（付勢部）
２９７　　錘（付勢部）
３　　　搬送車
３０　　走行レール
３１　　支柱
３２　　走行レール本体      
３３　　給電レール
３４　　ベース
３５　　走行駆動部
３５　　走行駆動部
３６　　受電部
３７　　カバー
３９　　横移動機構（第１移動部）
４０　　昇降駆動部（第２移動部）
４１　　昇降台
５　　　天井
６　　　ＦＯＵＰ（物品）
６１　　ポッド本体
６２　　蓋
６３　　上部フランジ
６４　　ハンドル
６５　　下部フランジ
９　　　処理装置

Claims (13)

  1. 　天井を走行する搬送車を備える搬送車システムに設けられるサイドバッファであって、
    　物品が載置される載置部と、
    　前記載置部を天井から吊り下げる吊り下げ部材と、
    　前記載置部における物品の傾きを規制する規制位置と、前記載置部と前記載置部の真上であって規制部の上方の位置と下方の位置との間での前記物品の移動を許容する退避位置とに移動可能な規制部と、
    　前記載置部に載置された物品から力を受けるように配置される物品受け部と、
    　前記力によって前記規制部を前記退避位置から前記規制位置に移動させるリンク部と、
    を備えるサイドバッファ。
  2. 　前記規制部は、前記規制位置において、前記搬送車の進行方向において前記物品の両側に配置され、
    　前記物品受け部は、前記物品が前記載置部に載置されているときに、水平かつ前記進行方向に垂直な方向における前記物品の端部近傍が前記物品受け部の上に載るように配置される
    請求項１に記載のサイドバッファ。
  3. 　前記規制部を前記退避位置に向けて付勢する付勢部をさらに備える
    請求項１に記載のサイドバッファ。
  4. 　前記規制部としての第１プレートと、前記第１プレートに対向する前記物品受け部としての第２プレートと、前記第１プレートと第２プレートとを繋ぐ前記リンク部としての第３プレートとを備える
    請求項１に記載のサイドバッファ。
  5. 　前記第１プレート、前記第２プレート、及び前記第３プレートは、Ｕ字形状を構成するように構成される
    請求項４に記載のサイドバッファ。
  6. 　前記規制部、前記物品受け部、及び前記リンク部は、一体として形成されている
    請求項１に記載のサイドバッファ。
  7. 　回転軸をさらに備え、
    　前記規制部は、前記回転軸を中心に回転可能に設けられる
    請求項１に記載のサイドバッファ。
  8. 　前記物品は表面に突起を備え、
    　前記規制部は、前記規制位置において、前記突起の移動範囲を規制することで前記物品の傾きを規制するように配置される
    請求項１に記載のサイドバッファ。
  9. 　前記規制部、物品受け部及びリンク部を第１組として備え、
    　更なる規制部、物品受け部及びリンク部を第２組として備え、
    　前記第１組は前記載置部の片側に配置され、前記第２組は前記第１組が配置された側の逆側に配置される
    請求項１に記載のサイドバッファ。
  10. 　前記規制部を前記退避位置に向けて付勢する付勢部をさらに備える
    請求項６に記載のサイドバッファ。
  11. 　回転軸をさらに備え、
    　前記規制部は、前記回転軸を中心に回転可能に設けられる
    請求項６に記載のサイドバッファ。
  12. 　回転軸をさらに備え、
    　前記規制部は、前記回転軸を中心に回転可能に設けられる
    請求項１０に記載のサイドバッファ。
  13. 　請求項１に記載のサイドバッファと、
    　天井を走行し、前記載置部と前記載置部の真上で前記規制部より高い位置との間で前記物品を移動させる搬送車と、
    を備える搬送車システム。
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