WO2011104011A3 - Röntgenröhre sowie system zur herstellung von röntgenbildern für die zahnmedizinische oder kieferorthopädische diagnostik - Google Patents

Röntgenröhre sowie system zur herstellung von röntgenbildern für die zahnmedizinische oder kieferorthopädische diagnostik Download PDF

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Eine Röntgenröhre umfasst eine Elektronenkanone (40) zur Erzeugung eines Elektronenstrahls (60), ein Target (72) und einen Targethalter (74), der aus einem Haltermaterial besteht, das eine kleinere Ordnungszahl als das Targetmaterial hat. Das Target (72) hat zumindest in einer Richtung senkrecht zur Einfallsrichtung eine Breite von weniger als 250 μm, vorzugsweise von weniger als 50 μm. Die Röntgenröhre umfasst ferner einen Brennfleckdetektor (86, 87, 88, 90, 92, 99), um den Ort des Brennflecks zu messen. Der Brennfleckdetektor weist hierzu eine Detektoreinrichtung (86, 87, 88, 90, 92, 99) zum Detektieren von Röntgenstrahlung und/oder von Sekundärelektronen und/oder von Rückstreuelektronen auf, die beim Auftreffen des Elektronenstrahls auf dem Target (72) und/oder dem Targethalter (74) abgestrahlt werden. Eine Steuereinheit (91) ist dazu eingerichtet, die Ablenkeinrichtung (66) derart in Abhängigkeit von dem Ort des Brennflecks anzusteuern, dass der Elektronenstrahl (60) auf das Target (72) auftrifft. Der Elektronenstrahl (60) wird dabei zunächst scannerartig über das Target (72) und den Targethalter (74) geführt, wodurch ein rasterelektronenmikroskopisches Bild des Targets (72) erhalten wird.
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