WO2011030593A1 - 電気光学変調器 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の半導体層と、第2の半導体層と、誘電体膜とを含み、
前記第1の半導体層と前記第2の半導体層とはそれぞれドープ処理されており、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層とは導電型が異なり、
前記第1の半導体層の一部が、前記第1の半導体層の他の部分よりもドープ濃度が高い第1の高ドープ部であり、
前記第2の半導体層の一部が、前記第2の半導体層の他の部分よりもドープ濃度が高い第2の高ドープ部であり、
前記第1の高ドープ部および前記第2の高ドープ部は、直接または他の部材を介して外部端子に接続可能であり、
前記第2の半導体層が前記誘電体膜を介して前記第1の半導体層上に積層されることによりリブ導波路が形成され、
前記第1の半導体層および前記第2の半導体層は、前記誘電体膜との接触面付近の領域において、前記外部端子からの電気信号による自由キャリアの蓄積、除去、または反転により、光信号電界領域の前記自由キャリア濃度が変調され、これにより光信号の位相変調が可能であり、
前記第1の半導体層と前記第2の半導体層の少なくとも一方が、前記第1の半導体層と前記誘電体膜と前記第2の半導体層との積層部分よりも広い幅を有し、前記第1の高ドープ部および前記第2の高ドープ部の少なくとも一方が、前記積層部分の外側に設けられていることを特徴とする。
第1のアームと、第2のアームと、光分岐路と、光結合路とを有し、
前記第1のアームと、前記第2のアームとは、それぞれ、前記本発明の電気光学変調器を含み、かつ、入力機能と出力機能とを有し、
前記光分岐路および前記光結合路は、リブ導波路を含み、
前記光分岐路は、前記第1のアームおよび前記第2のアームの入力側に結合し、前記光分岐路に入射した光信号を分岐させて前記第1のアームおよび第2のアームに入力可能であり、
前記第1のアームおよび第2のアームは、入力された前記光信号を位相変調させて出力することが可能であり、
前記光結合路は、前記第1のアームおよび前記第2のアームの出力側に結合し、前記第1のアームおよび第2のアームで位相変調されて出力された前記光信号を結合して位相干渉させ、光強度変調信号に変換可能であることを特徴とする。
さらに、第1の電極コンタクト層と、第2の電極コンタクト層とを含み、
前記第1の高ドープ部に前記第1の電極コンタクト層が接合され、
前記第2の高ドープ部に前記第2の電極コンタクト層が接合され、
前記第1の高ドープ部は、他の部材を介して外部端子に接続可能であり、前記他の部材が少なくとも前記第1の電極コンタクト層を含み、
前記第2の高ドープ部は、他の部材を介して外部端子に接続可能であり、前記他の部材が少なくとも前記第2の電極コンタクト層を含むことが好ましい。前記第1の電極コンタクト層および第2の電極コンタクト層により、前記外部端子と本発明の電気光学変調器との接続抵抗を小さくすることができる。
下記条件(A)および(B)の少なくとも一方の条件を満たすことが好ましい。下記の少なくとも一方の条件を満たすと、変調部の電極付加抵抗と、電極による光損失の両方とを同時に低減することが、より達成しやすい。この観点から、下記条件(A)と下記条件(B)の両方を満たすことがさらに好ましい。
(A) 前記第1の半導体層が、前記第1の半導体層と前記誘電体膜と前記第2の半導体層との積層部分から、前記積層方向および前記リブ導波路方向の双方と直交する方向の両方向に向かって突出しており、かつ、前記突出した部分の両方に前記第1の高ドープ部が設けられているという条件
(B) 前記第2の半導体層が、前記第1の半導体層と前記誘電体膜と前記第2の半導体層との積層部分から、前記積層方向および前記リブ導波路方向の双方と直交する方向の両方向に向かって突出しており、かつ、前記突出した部分の両方に前記第2の高ドープ部が設けられているという条件
なお、「リブ導波路方向」は、前記リブ導波路において光が導波される方向をいう。また、以下において、前記積層方向および前記リブ導波路方向の双方と直交する方向を、単に「左」「右」または「左右」ということがある。
図1の断面斜視図に、本発明の電気光学変調器の一実施形態を示す。この電気光学変調器は、SOI基板上にSIS接合(シリコン半導体-誘電体層-シリコン半導体接合)構造を形成した、自由キャリアプラズマ効果を用いた電気光学位相変調器である。なお、図1においては、図示の簡略化のため、断面部分以外は、詳細な構造の図示を省略している。以下の全ての断面斜視図においても同様である。
図3の断面斜視図に、本発明の電気光学変調器の別の一実施形態を示す。図示のとおり、この電気光学変調器は、nドープ多結晶シリコン9(第2の半導体層)が、前記積層部分の右側だけでなく左側からも突出している。nドープ多結晶シリコン9(第2の半導体層)の他の部分よりもドープ濃度が高いn+ドープ半導体シリコン10(第2の高ドープ部)は、前記突出部分の右端部だけでなく左端部にも形成されている。電極コンタクト層6(第2の電極コンタクト層)は、左右両端のn+ドープ半導体シリコン10(第2の高ドープ部)の上面に接合されている。これにより、高ドープ層(高ドープ部)による光損失をより低減すると共に、直列抵抗成分をさらに小さくし、RC時定数をさらに小さくすることが可能である。したがって、より低抵抗な電気接続が可能となる。前記以外の構造は、実施形態1の電気光学変調器(図1)と同じである。製造方法も特に制限されず、実施形態1の電気光学変調器(図1)に準じてよい。
図5の断面斜視図に、本発明の電気光学変調器のさらに別の一実施形態を示す。図示のとおり、この電気光学変調器は、pドープ半導体シリコン8(第一の半導体層)の前記凹部の表面が曲面および曲線を含む。すなわち、前記凹部は、曲率を含む(曲率が形成されている)形状である。これにより、さらに低電圧での光変調が可能となると共に、キャリア変調領域と光フィールドとの重なりがより大きくなり、いっそう高効率な光変調が可能となる。前記以外の構造は、実施形態1の電気光学変調器(図1)と同じである。製造方法も特に制限されず、実施形態1の電気光学変調器(図1)に準じてよい。
図6の断面斜視図に、本発明の電気光学変調器のさらに別の一実施形態を示す。図示のとおり、この電気光学変調器は、nドープ多結晶シリコン9(第2の半導体層)が、前記積層部分の右側だけでなく左側からも突出している。nドープ多結晶シリコン9(第2の半導体層)の他の部分よりもドープ濃度が高いn+ドープ半導体シリコン10(第2の高ドープ部)は、前記突出部分の右端部だけでなく左端部にも形成されている。電極コンタクト層6(第2の電極コンタクト層)は、左右両端のn+ドープ半導体シリコン10(第2の高ドープ部)の上面に接合されている。これにより、高ドープ層(高ドープ部)による光損失をより低減すると共に、直列抵抗成分をさらに小さくし、RC時定数をさらに小さくすることが可能である。したがって、より低抵抗な電気接続が可能となる。前記以外の構造は、実施形態3の電気光学変調器(図5)と同じである。製造方法も特に制限されず、前記各実施形態の電気光学変調器に準じてよい。
図7の断面斜視図に、本発明の電気光学変調器のさらに別の一実施形態を示す。図示のとおり、この電気光学変調器は、pドープ半導体シリコン8(第1の半導体層)と誘電体膜11とnドープ多結晶シリコン9(第2の半導体層)との積層部分(SIS接合部分)において、pドープ半導体シリコン8(第1の半導体層)が、それ以外の部分に対し突出した部分(凸部)を有することにより、凹凸形状が形成されている。誘電体膜11およびnドープ多結晶シリコン9(第2の半導体層)は、前記pドープ半導体シリコン8(第1の半導体層)の凸部の上面および側面の全体、および前記凸部の下端近傍のpドープ半導体シリコン8表面を覆っている。前記以外の構造は、実施形態1の電気光学変調器(図1)と同じである。前記第1の半導体層と前記誘電体膜と前記第2の半導体層との積層部分の凹凸形状が図7のような形状であっても、図1の構造と同様、キャリア密度が変調される領域と光フィールドとのオーバーラップがさらに改善され、変調効率が一層向上するという効果がある。図7の電気光学変調器の製造方法も特に制限されず、実施形態1の電気光学変調器(図1)に準じてよい。なお、図7において、nドープ多結晶シリコン9(第2の半導体層)のリブ導波路部分9-1とリブ導波路以外の部分9-2とは、図1と同様、一体に形成されているが、その形成工程はそれぞれ別でもよい。また、リブ導波路部分9-1とリブ導波路以外の部分9-2とは、別工程で形成する場合であっても、材質(組成)は同一でも良い。
図8の断面斜視図に、本発明の電気光学変調器のさらに別の一実施形態を示す。図示のとおり、この電気光学変調器は、nドープ多結晶シリコン9(第2の半導体層)が、前記積層部分の右側だけでなく左側からも突出している。nドープ多結晶シリコン9(第2の半導体層)の他の部分よりもドープ濃度が高いn+ドープ半導体シリコン10(第2の高ドープ部)は、前記突出部分の右端部だけでなく左端部にも形成されている。電極コンタクト層6(第2の電極コンタクト層)は、左右両端のn+ドープ半導体シリコン10(第2の高ドープ部)の上面に接合されている。これにより、高ドープ層(高ドープ部)による光損失をより低減すると共に、直列抵抗成分をさらに小さくし、RC時定数をさらに小さくすることが可能である。したがって、より低抵抗な電気接続が可能となる。前記以外の構造は、実施形態5の電気光学変調器(図7)と同じである。製造方法も特に制限されず、前記各実施形態の電気光学変調器に準じてよい。
図17の平面図に、本発明のマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器の構造の一例を模式的に示す。図示のとおり、このマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器は、本発明のシリコン・ベース電気光学変調器をそれぞれ含む第1のアーム14および第2のアーム15が平行に配置されている。第1のアーム14および第2のアーム15には、それぞれ、電気光学変調器駆動用電極パッド16が設けられている。第1のアーム14および第2のアーム15には、これに入力側で結合する光分岐路(光分岐構造)17と、出力側で結合する光結合路(光結合構造あるいは光合波構造)18が接続されている。これにより、前記第1のアームおよび第2のアームで光信号の位相変調が行われ、前記光結合路により位相干渉が行われることにより、光強度変調信号に変換される。
2 埋め込み酸化層
3 支持基板
4 p+ドープ半導体シリコン
5 n+ドープ半導体シリコン
6 電極コンタクト層
7 酸化物クラッド
8 pドープ半導体シリコン
9 nドープ多結晶シリコン
9-1 nドープ多結晶シリコン(リブ導波路部分)
9-2 nドープ多結晶シリコン(リブ導波路以外の部分)
10 n+ドープ多結晶シリコン
11 誘電体層
12 コンタクトホール
13 ビア配線
14 第1のアーム
15 第2のアーム
16 電気光学変調器駆動用電極パッド
17 光分岐路(光分岐構造)
18 光結合路(光合波構造)
100 リブ導波路
Claims (22)
- 第1の半導体層と、第2の半導体層と、誘電体膜とを含み、
前記第1の半導体層と前記第2の半導体層とはそれぞれドープ処理されており、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層とは導電型が異なり、
前記第1の半導体層の一部が、前記第1の半導体層の他の部分よりもドープ濃度が高い第1の高ドープ部であり、
前記第2の半導体層の一部が、前記第2の半導体層の他の部分よりもドープ濃度が高い第2の高ドープ部であり、
前記第1の高ドープ部および前記第2の高ドープ部は、直接または他の部材を介して外部端子に接続可能であり、
前記第2の半導体層が前記誘電体膜を介して前記第1の半導体層上に積層されることによりリブ導波路が形成され、
前記第1の半導体層および前記第2の半導体層は、前記誘電体膜との接触面付近の領域において、前記外部端子からの電気信号による自由キャリアの蓄積、除去、または反転により、光信号電界領域の前記自由キャリア濃度が変調され、これにより光信号の位相変調が可能であり、
前記第1の半導体層と前記第2の半導体層の少なくとも一方が、前記第1の半導体層と前記誘電体膜と前記第2の半導体層との積層部分よりも広い幅を有し、前記第1の高ドープ部および前記第2の高ドープ部の少なくとも一方が、前記積層部分の外側に設けられていることを特徴とする電気光学変調器。 - さらに、第1の電極コンタクト層と、第2の電極コンタクト層とを含み、
前記第1の高ドープ部に前記第1の電極コンタクト層が接合され、
前記第2の高ドープ部に前記第2の電極コンタクト層が接合され、
前記第1の高ドープ部は、他の部材を介して外部端子に接続可能であり、前記他の部材が少なくとも前記第1の電極コンタクト層を含み、
前記第2の高ドープ部は、他の部材を介して外部端子に接続可能であり、前記他の部材が少なくとも前記第2の電極コンタクト層を含むことを特徴とする請求項1記載の電気光学変調器。 - 前記第1の半導体層および前記第2の半導体層が、シリコンから形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の電気光学変調器。
- 前記第1の半導体層において、前記誘電体膜および前記第2の半導体層が積層される部分が凹凸形状であり、前記誘電体膜および前記第2の半導体層が前記凹凸形状に嵌合するように積層されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電気光学変調器。
- 前記第1の半導体層の前記凹凸形状が、曲率を有する形状であることを特徴とする請求項4記載の電気光学変調器。
- 前記第2の半導体層における前記自由キャリアが蓄積、除去、または反転される領域の厚みW(nm)に対し、前記第1の半導体層の前記凹凸形状における凸部の最大幅、および、前記第1の半導体層の凹部に埋め込まれた部分における前記第2の半導体層の最大幅の少なくとも一方が2W(nm)以下であることを特徴とする請求項4または5記載の電気光学変調器。
- 前記電気光学変調器において光信号電界が感じる実効屈折率neff、光信号波長λ(nm)に対し、前記第1の半導体の前記凹凸形状における凸部の高さまたは前記第1の半導体層の凹部に埋め込まれた部分における前記第2の半導体層の深さ(埋め込み部分の長さ)がλ/neff(nm)以下であることを特徴とする請求項4から6のいずれか一項に記載の電気光学変調器。
- 前記第2の半導体層において、前記リブ導波路部分の上方に形成された部分の実効屈折率が、前記リブ導波路の実効屈折率と比較して10%以上小さいことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の電気光学変調器。
- 前記第2の半導体層が、多結晶半導体層であることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の電気光学変調器。
- 前記自由キャリアが蓄積、除去、または反転される領域内に、光信号電界がピーク強度を示す領域が存在することを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の電気光学変調器。
- 前記第1の半導体層および第2の半導体層の少なくとも一方が、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、歪シリコン、単結晶シリコン、およびSixGe1-x(0≦X<1)からなる群から選択される少なくとも一つの半導体層から形成されていることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の電気光学変調器。
- 下記条件(A)および(B)の少なくとも一方の条件を満たすことを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の電気光学変調器。
(A) 前記第1の半導体層が、前記第1の半導体層と前記誘電体膜と前記第2の半導体層との積層部分から、前記積層方向および前記リブ導波路方向の双方と直交する方向の両方向に向かって突出しており、かつ、前記突出した部分の両方に前記第1の高ドープ部が設けられているという条件
(B) 前記第2の半導体層が、前記第1の半導体層と前記誘電体膜と前記第2の半導体層との積層部分から、前記積層方向および前記リブ導波路方向の双方と直交する方向の両方向に向かって突出しており、かつ、前記突出した部分の両方に前記第2の高ドープ部が設けられているという条件 - 前記条件(A)と前記条件(B)の両方を満たすことを特徴とする請求項12記載の電気光学変調器。
- 前記第1の高ドープ部および第2の高ドープ部の少なくとも1つに電気変調信号を入力することで、前記電気変調信号を光変調信号に変換可能であることを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の電気光学変調器。
- 第1のアームと、第2のアームと、光分岐路と、光結合路とを有し、
前記第1のアームと、前記第2のアームとは、それぞれ、請求項1から14のいずれか一項に記載の電気光学変調器を含み、かつ、入力機能と出力機能とを有し、
前記光分岐路および前記光結合路は、リブ型導波路を含み、
前記光分岐路は、前記第1のアームおよび前記第2のアームの入力側に結合し、前記光分岐路に入射した光信号を分岐させて前記第1のアームおよび第2のアームに入力可能であり、
前記第1のアームおよび第2のアームは、入力された前記光信号を位相変調させて出力することが可能であり、
前記光結合路は、前記第1のアームおよび前記第2のアームの出力側に結合し、前記第1のアームおよび第2のアームで位相変調されて出力された前記光信号を結合して位相干渉させ、光強度変調信号に変換可能であることを特徴とするマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器。 - 前記光分岐路および前記光結合路において、前記リブ型導波路がSi(シリコン)導波路であることを特徴とする請求項15記載のマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器。
- 前記光分岐路および前記光結合路のリブ型導波路において、光信号電界が感じる実効屈折率が、前記第1のアームおよび前記第2のアームにおいて位相変調部を行う部位の前記実効屈折率に対して95~105%の範囲であることを特徴とする請求項15または16記載のマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器。
- 前記第1のアームと前記第2のアームとの長さが異なることを特徴とする請求項15から17のいずれか一項に記載のマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器。
- 前記光分岐路が、前記第1のアームおよび前記第2のアームに対して異なる強度の信号を入力可能であることを特徴とする請求項15から18のいずれか一項に記載のマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器。
- 請求項15から19のいずれか一項に記載のマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器を複数含むことを特徴とするマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器集積構造。
- 請求項15から19のいずれか一項に記載のマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器が複数、並列に配置されていることを特徴とする請求項20記載のマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器集積構造。
- 請求項15から19のいずれか一項に記載のマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器が複数、直列に配置されていることを特徴とする請求項20または21記載のマッハ・ツェンダー干渉計型光強度変調器集積構造。
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