WO2011013714A1 - 発光装置 - Google Patents

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WO2011013714A1
WO2011013714A1 PCT/JP2010/062724 JP2010062724W WO2011013714A1 WO 2011013714 A1 WO2011013714 A1 WO 2011013714A1 JP 2010062724 W JP2010062724 W JP 2010062724W WO 2011013714 A1 WO2011013714 A1 WO 2011013714A1
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layer
light emitting
electrode
organic
emitting device
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PCT/JP2010/062724
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Inventor
善伸 小野
Original Assignee
住友化学株式会社
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    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
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    • H—ELECTRICITY
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    • H10K59/80—Constructional details
    • H10K59/88—Dummy elements, i.e. elements having non-functional features

Definitions

  • the present invention relates to a light emitting device.
  • An organic electroluminescence element (hereinafter sometimes referred to as an organic EL element) includes a pair of electrodes composed of an anode and a cathode, and a light emitting layer provided between the electrodes. When a voltage is applied to the organic EL element, holes are injected from the anode and electrons are injected from the cathode, and the injected holes and electrons are combined in the light emitting layer to emit light.
  • An organic EL element has an advantage that a predetermined layer such as a light emitting layer provided between electrodes can be easily formed by a coating method.
  • the light emitting layer can be formed by forming a film of ink containing a material for forming the light emitting layer by a predetermined coating method and further solidifying the ink.
  • the nozzle printing method is a method in which ink is continuously applied by moving the nozzle while continuously discharging liquid columnar ink from the nozzle.
  • FIG. 4 is a plan view of a pattern coating substrate 1 conventionally used for forming an organic EL element.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the substrate 1 for pattern application as seen from the cutting plane line VV in FIG.
  • Organic EL elements are used as light sources for display devices, for example.
  • a plurality of organic EL elements are provided on the support substrate 3.
  • the support substrate 3 is provided with one electrode 4 of a pair of electrodes of the organic EL element, an insulating film 5 for electrically insulating each organic EL element, and the like.
  • a partition wall 2 is provided on the support substrate 3 for storing a coating solution at a predetermined position when an organic EL element is formed by a coating method.
  • the partition wall 2 is arranged in a stripe shape in an outer peripheral portion 2a surrounding a region where a plurality of organic EL elements are provided, and in a region surrounded by the outer peripheral portion 2a, and one end and the other end are respectively connected to the outer peripheral portion 2a.
  • a plurality of partitions 2b is provided in a stripe shape in an outer peripheral portion 2a surrounding a region where a plurality of organic EL elements are provided, and in a region surrounded by the outer peripheral portion 2a, and one end and the other end are respectively connected to the outer peripheral portion 2a.
  • Organic EL elements are arranged in a matrix in the display device. Specifically, it arrange
  • a light emitting layer is formed on such a substrate 1 for coating a pattern
  • the ink containing the material for forming the light emitting layer is ejected from the nozzle of the nozzle printing apparatus in a liquid column shape, and along the partition 2b.
  • the nozzles are scanned to selectively supply ink between the partition portions 2b.
  • a light emitting layer is formed by solidifying the supplied ink (see, for example, Patent Document 1).
  • FIGS. 6 and 7 are plan views of a conventional pattern coating substrate 1 after ink is supplied by the nozzle printing method, and the ink (electroluminescence layer: EL layer 35) is hatched.
  • the ink is supplied by so-called one-stroke writing without stopping the ink discharge, so that the ink is supplied in a region other than the region where the ink is to be supplied.
  • the ink is also applied on the outer peripheral portion 2 a of the partition wall 2. Since the ink applied on the outer peripheral portion 2a of the partition wall 2 spreads on the outer peripheral portion 2a, the ink (EL layer 35) applied to adjacent rows may come into contact with each other (see FIG. 7).
  • a backflow may occur between the partitions 2b. Then, for example, when the types of ink in adjacent rows are different, a problem of color mixing occurs. Moreover, the light-emitting layers at both ends in the longitudinal direction between the partition portions 2b may be thickened by the backflowed ink.
  • an object of the present invention is to prevent ink applied to areas other than the area where the ink is to be supplied from flowing back to the area where the ink is to be supplied and to mix the ink when the ink is selectively supplied by the application method. It is an object of the present invention to provide a light emitting device having a structure that can prevent this.
  • the light-emitting device includes a support substrate, a plurality of organic electroluminescence elements provided on the support substrate, and a partition that separates the plurality of organic electroluminescence elements, and the partition includes the plurality of partitions.
  • the organic electroluminescence element is arranged in a stripe shape so as to surround a region where the organic electroluminescence element is provided, and one end and the other end in the longitudinal direction are connected to the outer periphery, respectively, in a region surrounded by the outer periphery.
  • a plurality of partitions, and the organic electroluminescence element is disposed between the partitions adjacent to each other, and on the extension line in the longitudinal direction of the partition, A dent toward the support substrate is provided.
  • the bottom surface of the recess is preferably made of a material having a contact angle with anisole of less than 30 °.
  • the organic electroluminescence element has a pair of electrodes
  • the light emitting device includes a dummy electrode composed of the same member as one electrode disposed near the support substrate of the pair of electrodes, It may further be provided on the bottom surface of the recess, and the recess may be provided so as to reach the surface of the dummy electrode.
  • the one electrode and the dummy electrode can be formed by a coating method.
  • the one electrode may be configured by arranging a wire-like conductor having conductivity on a film body exhibiting optical transparency.
  • the light-emitting device further includes an insulating film that electrically insulates the plurality of organic electroluminescence elements, and a dummy insulating film formed of the same member as the insulating film.
  • the dummy insulating film is provided between the partition wall and the support substrate, the dummy insulating film is provided on a bottom surface of the recess, and the recess can be provided to reach the surface of the dummy insulating film. .
  • the ink applied to a region other than the region where the ink is to be supplied is prevented from flowing back to the region where the ink is to be supplied and the ink is mixed. It is possible to provide a light emitting device having a structure capable of preventing this.
  • FIG. 1 is a plan view of a light emitting device 11 of the present invention.
  • FIG. 2 is an end view of the light emitting device 11.
  • FIG. 3 is a plan view of the support substrate 21 in a state where ink is applied.
  • FIG. 4 is a plan view of a conventional pattern coating substrate 1 used for forming an organic EL element.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the substrate 1 for pattern application as seen from the cutting plane line VV in FIG.
  • FIG. 6 is a plan view of a conventional pattern coating substrate 1 after ink is supplied by the nozzle printing method.
  • FIG. 7 is a plan view of a conventional pattern coating substrate 1 after ink is supplied by the nozzle printing method.
  • FIG. 8 is a perspective view of the light emitting device 11.
  • FIG. 8 is a perspective view of the light emitting device 11.
  • FIG. 9 is a perspective view of the light emitting device 11 before the light emitting layer is formed.
  • FIG. 10 is a diagram for explaining a contact angle ⁇ of anisole applied on a substrate.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of the organic EL element 31.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view of the organic EL element 31.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view of the organic EL element 31.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view of the organic EL element 31.
  • FIG. 15 is a partial cross-sectional view of the organic EL element 31.
  • FIG. 16 is a partial cross-sectional view of the organic EL element 31.
  • FIG. 17 is a partial cross-sectional view of the organic EL element 31.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of the organic EL element 31.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view of the organic EL element 31.
  • FIG. 13 is a cross-sectional
  • FIG. 18 is a partial cross-sectional view of the organic EL element 31.
  • FIG. 19 is a perspective view of a conductive resin electrode.
  • FIG. 20 is a perspective view of the light emitting device 11 before the light emitting layer is formed.
  • FIG. 21 is a perspective view of the light emitting device 11 using a dummy insulating film.
  • FIG. 22 is a perspective view of the light emitting device 11 before forming the light emitting layer using the dummy insulating film.
  • FIG. 23 is a perspective view of the light-emitting device 11 using a recess having an opening.
  • FIG. 24 is a perspective view of the light-emitting device 11 before forming a light-emitting layer using a recess having an opening.
  • the light emitting device of the present invention includes a support substrate 21, a plurality of organic EL elements 31 provided on the support substrate 21, and a partition wall 41 that partitions the plurality of organic EL elements 31.
  • the partition wall 41 is disposed in a stripe shape in an outer peripheral portion 42 that is disposed so as to surround the region where the plurality of organic EL elements are provided, and one end and the other end are respectively disposed on the outer peripheral portion 42. It has the several partition part 43 connected.
  • the organic EL element is disposed between the partition portions 43 adjacent to each other. Then, on the extended line in the longitudinal direction Y of the partition part (stripe part) 43 of the outer peripheral part 42, that is, at one end and the other end of the partition part 43, recesses 44 directed toward the support substrate 21 are respectively provided.
  • FIG. 1 is a plan view of a light emitting device 11 according to the present invention
  • FIG. 2 is an end view of the light emitting device 11.
  • 2A shows an end portion of the light-emitting device 11 when the light-emitting device 11 shown in FIG. 1 is cut along a plane perpendicular to the row direction X (cross section taken along line II (A) -II (A) in FIG. 1).
  • 2B is an enlarged view of FIG. 2B, and FIG. 2B is an end surface obtained by cutting the light emitting device 11 shown in FIG.
  • FIG. 8 is a perspective view of the light emitting device partially disassembled from the light emitting device shown in FIG. 1, and FIG. 9 shows a state before the electroluminescence layer (EL layer) 35 is formed in the light emitting device shown in FIG. It is a perspective view of the light-emitting device.
  • EL layer electroluminescence layer
  • an active matrix drive type display device will be described as an example of the light emitting device 11 on which a plurality of organic EL elements are mounted.
  • the present invention is not limited to the active matrix driving method, and can be applied to, for example, a passive matrix driving method display device, and can also be applied to a predetermined light emitting device other than these display devices.
  • a plurality of organic EL elements 31 are provided in a matrix on the support substrate 21. Specifically, the plurality of organic EL elements 31 are arranged at regular intervals in the row direction X on the support substrate 21 and discretely arranged at regular intervals in the column direction Y. The row direction X and the column direction Y are directions perpendicular to each other and perpendicular to the thickness direction Z of the support substrate 21.
  • innumerable organic EL elements are provided in a normal display device, but FIG. 1 shows a light emitting device in which 20 organic EL elements are arranged in a matrix of 4 rows and 4 columns for easy understanding. Yes.
  • FIG. 2 shows only one of the pair of electrodes with respect to the organic EL element, and the other configuration is not shown.
  • the organic EL element 31 is not shown except for one electrode 32.
  • the other electrode 33 is provided on the light emitting layer of the organic EL element 31 so as to cover almost the entire surface of the substrate.
  • a partition wall 41 is further provided on the support substrate 21 to separate the organic EL element 31.
  • the partition wall 41 includes an outer peripheral portion 42 disposed so as to surround a region where the plurality of organic EL elements 31 are provided, and a plurality of partition portions 43 disposed in a stripe shape in the region surrounded by the outer peripheral portion 42. is doing.
  • the partition portion 43 is connected to the outer peripheral portion 42 at one end and the other end in the longitudinal direction.
  • the outer peripheral part 42 and the partition part 43 are integrally formed.
  • the outer peripheral portion 42 of the partition wall 41 constitutes a substantially rectangular frame.
  • the outer peripheral portion 42 only needs to have a shape surrounding a region where the plurality of organic EL elements 31 are provided, and may not be a substantially rectangular frame.
  • the plurality of partition portions 43 are arranged with their longitudinal directions aligned with the column direction Y, and are arranged with equal intervals in the row direction X, respectively.
  • the longitudinal direction of the partition part 43 and the row direction Y coincide, the longitudinal direction of the partition part 43 may be referred to as the row direction Y below.
  • This partition part 43 is provided in order to partition each organic EL element 31.
  • Each organic EL element 31 is provided between the partition parts 43 adjacent to each other.
  • the recess comprised by the partition part 43 provided in the end of the row direction X and the outer peripheral part 42, and the recess comprised by the partition part 43 provided in the other end of the row direction X, and the outer peripheral part 42 In this specification, it is included between the partition parts 43.
  • the organic EL elements 31 are arranged at equal intervals along the column direction Y between the partition portions 43.
  • a dent 44 toward the support substrate is provided.
  • the organic EL element 31 has a pair of electrodes, and the light emitting device 11 is configured by the same member as the one electrode 32 disposed near the support substrate 21 of the pair of electrodes 32. It is preferable that the dummy electrode 45 is further provided on the bottom surface of the recess 44, and the recess 44 is provided so as to reach the surface of the dummy electrode 45. It should be noted that a step toward the support substrate 21 may be formed at one end and the other end of the outer peripheral portion 42 in the column direction Y (partition portion longitudinal direction), and the recess 44 is not formed until the dummy electrode 45 is reached. Also good.
  • the recess 44 may be formed until reaching the support substrate 21.
  • the dummy electrodes 45 are provided so as to continue in the row direction X in FIG. 1, the dummy electrodes 45 may be provided discretely in the row direction X in the same manner as the one electrode 32.
  • the dummy electrode 45 is not limited to the same member as the one electrode 32, and may be formed of a member having lyophilicity.
  • the dummy electrode 45 may be formed of the same member as an insulating film described later.
  • FIG. 10 is a diagram showing a state of contact between the anisole AN contained in the ink and the bottom when the dummy electrode 45 is used as the bottom of the recess 44.
  • the bottom of the recess 44 preferably has a contact angle ⁇ with respect to anisole of less than 30 °.
  • the bottom of the recess 44 corresponds to the surface of the dummy electrode 45.
  • the main component of the solvent that dissolves the ink material forming the EL layer (organic layer) 35 is anisole, and the wettability of the contact surface of the anisole can be quantified using the contact angle ⁇ .
  • the contact angle ⁇ is an angle formed by a tangent along the outer surface of the anisole at the contact position between the electrode surface and the outermost portion of the anisole.
  • one electrode 32 of the pair of electrodes exhibiting conductivity is usually more lyophilic than the partition wall, when the dummy electrode 45 is formed of the same member as such a member, the lyophilic property is exhibited.
  • the dummy electrode 45 can be manufactured in the same process as the one electrode 32. Therefore, the dummy electrode 45 exhibiting lyophilicity can be manufactured without increasing the number of steps compared to the number of steps for forming a light emitting device without a dummy electrode.
  • the organic EL element includes a pair of electrodes and a light emitting layer provided between the electrodes.
  • One electrode 32 disposed on the support substrate 21 side of the pair of electrodes is provided for each organic EL element, and is equally spaced in the row direction X and equally spaced in the column direction Y on the support substrate 21. Each is arranged discretely.
  • one electrode 32 has a plate shape and is substantially rectangular in plan view.
  • an insulating film 24 having electrical insulation is provided as necessary.
  • the insulating film 24 has openings 28 through which the surface of one electrode 32 is exposed.
  • the insulating film 24 covers the peripheral edge of one electrode 32 and is continuously formed between the one electrode 32, and is provided in a lattice shape.
  • Organic EL elements that emit light independently of each other as so-called pixels are formed in regions where the openings 28 are formed.
  • the organic EL elements 31 are electrically insulated from each other by the insulating film 24.
  • the partition portion 43 constituting the above-described partition wall 41 is provided on the insulating film 24 in contact with the insulating film 24 formed in a lattice shape.
  • the organic EL element 31 is provided with a predetermined organic layer or inorganic layer as necessary in addition to the light emitting layer between the pair of electrodes.
  • the organic layer and the inorganic layer including these light emitting layers are provided between the respective partition portions 43 and are arranged as a continuous layer across a plurality of organic EL elements arranged at equal intervals along the column direction Y.
  • At least one of the organic layer and the inorganic layer provided between the pair of electrodes is formed by a nozzle printing method described later.
  • the other electrode of the pair of electrodes is formed so as to continue from one side in the thickness direction Z of the support substrate to the entire organic EL element. That is, the other electrode is provided as a common electrode.
  • the support substrate 21 is prepared. Next, one electrode 32 disposed on the support substrate 21 side of the pair of electrodes constituting the organic EL element 31 is patterned.
  • One electrode 32 is preferably formed by a coating method because of the simplicity of the process. For example, it is preferable to form a conductive resin electrode, which will be described later, in which a conductive wire-like conductor is arranged on a film body exhibiting light transmittance. Details of the electrodes formed by the coating method will be described later.
  • a dummy electrode 45 made of the same member as the one electrode 32. Since the dummy electrode 45 is formed of the same member as the one electrode 32 in this way, the dummy electrode 45 can be formed in the same process as the one electrode 32, so that the dummy electrode can be formed without increasing the number of processes. 45 can be formed.
  • a conductive film made of an electrode material described later is formed on the entire surface of the support substrate 21 by, for example, a sputtering method or a vapor deposition method instead of the coating method, and the conductive film is patterned by photolithography to form the matrix electrode 32.
  • one electrode may be patterned on a predetermined base and transferred onto the support substrate.
  • the insulating film 24 is made of an inorganic material or an organic material. Examples of the inorganic material constituting the insulating film 24 include SiO 2 and SiN.
  • the insulating film 24 is formed by depositing an inorganic insulator on the entire surface of the substrate by a known method such as plasma CVD or sputtering, and patterning a thin film made of the deposited inorganic substance into a predetermined shape by photolithography. .
  • the opening 28 described above is drilled when patterning.
  • the width in the row direction X and the width in the column direction Y of the openings 28 are appropriately set according to the design such as resolution.
  • the width in the row direction X is usually 30 ⁇ m to 200 ⁇ m
  • the width in the column direction Y is usually 100 ⁇ m to 500 ⁇ m. It is.
  • the insulating film 24 made of an organic material may be formed using an acrylic resin-based, novolak resin-based, and / or polyimide resin-based positive or negative photosensitive material (photoresist).
  • photoresist a photoresist on the substrate, irradiating a predetermined region with light through a predetermined mask, and developing. The opening 28 described above is drilled when patterning.
  • a spin coater, a bar coater, a roll coater, a die coater, a gravure coater, a slit coater The method using such as can be mentioned.
  • a lattice-like insulating film 24 is formed when viewed from one side in the thickness direction of the support substrate 21.
  • the insulating film 24 is provided for insulation between the organic EL elements 31.
  • the film thickness of the insulating film 24 is set to a thickness that can ensure insulation between the organic EL elements 31, and is usually 0.1 ⁇ m to 1 ⁇ m, preferably 0.2 ⁇ m to 0.4 ⁇ m. Further, the insulating film 24 may not be provided depending on the electric resistance of the organic material described later.
  • the partition wall 41 is formed.
  • the partition wall 41 having the outer peripheral portion 42 and the partition portion 43 is formed by applying the above-described photoresist on the entire surface, irradiating a predetermined region with light through a predetermined mask, and further developing.
  • a plurality of openings extending in the column direction Y are formed in the photoresist layer, and one end of the column direction Y is left from both ends of the plurality of openings while leaving a predetermined width.
  • the outer peripheral part 42 and the partition part 43 are formed by removing the other. In this development, the surface of the dummy electrode 45 is exposed.
  • the photoresist can be applied by a method using a spin coater, bar coater, roll coater, die coater, gravure coater, slit coater or the like.
  • the partition portion 43 of the partition wall 41 is provided to insulate the organic EL elements 31 adjacent in the row direction X through the partition portion 43 and prevent color mixture between pixels adjacent in the row direction X. That is, when ink is supplied to the recess defined by the space between the partition portions 43, the partition portion 43 is provided to prevent the ink from overflowing into the recesses adjacent to each other in the row direction X beyond the partition portion 43. ing.
  • the height of the partition wall 41 is set from such a viewpoint, and is usually 0.5 ⁇ m to 1.5 ⁇ m, preferably 0.5 ⁇ m to 1.0 ⁇ m.
  • the width of the partition portion 43 in the row direction X is appropriately set depending on the design such as resolution, and is 2 ⁇ m to 50 ⁇ m, preferably 5 ⁇ m to 20 ⁇ m.
  • the interval between the adjacent partition portions 43 is appropriately set depending on the design such as resolution, and is usually 40 ⁇ m to 220 ⁇ m.
  • the partition walls 41 exhibit liquid repellency. Since the surface of the organic substance is fluorinated and lyophobic by performing plasma treatment in an atmosphere containing fluorine, the partition wall 41 can be lyophobic by plasma treatment in an atmosphere containing fluorine after the partition wall 41 is formed. For example, the surface of the partition wall 41 can be made liquid repellent by performing CF 4 plasma treatment. Note that the partition wall 41 may be provided with liquid repellency by a method different from the above-described method. For example, the partition wall 41 may be formed using a material in which a material exhibiting liquid repellency is mixed.
  • the insulating film 24 is formed of an organic material, the insulating film 24 is also lyophobic simultaneously by performing plasma treatment in a fluorine-containing atmosphere.
  • the organic EL element has various layer configurations.
  • an organic EL element having a configuration in which only a light emitting layer is provided between a pair of electrodes will be described.
  • a method for forming a light emitting layer by a coating method using a nozzle printing apparatus will be described.
  • a commercially available nozzle printing apparatus can be used, for example, NP-300G manufactured by Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. can be used.
  • ink containing a material for forming a light emitting layer is supplied between the partition portions 43.
  • the ink includes a light emitting material and a solvent described later.
  • Ink is supplied between the partition portions 43 by moving the nozzle arranged above the partition portions 43 to one side in the longitudinal direction in a state where the liquid columnar ink is ejected from the nozzles of the nozzle printing apparatus.
  • ink is applied by so-called one-stroke writing. That is, while discharging the liquid column-like ink from the nozzles, the following steps (1) to (4) are repeated in this order as scanning of the nozzles, whereby the inks can be sequentially supplied between the partition portions 43.
  • the nozzle disposed above the partition 43 is moved from one side in the column direction Y to the other side (down in FIG. 1), and (2) next to one side in the row direction X (right side in FIG. 1).
  • the nozzle is moved upward between the adjacent partition portions 43, and (3) the nozzle disposed further upward between the partition portions 43 is moved from the other in the column direction Y to one side (up in FIG. 1), (4 )
  • the nozzle is moved upward between the partition portions 43 adjacent to each other in the row direction X (right in FIG. 1).
  • FIG. 3 is a plan view of the support substrate 21 in a state where ink (EL layer 35) is applied, and the ink is hatched.
  • the ink is continuously applied without stopping the ink discharge, so that the ink is applied beyond the outer peripheral portion 42 of the partition wall 41. That is, the ink is applied to the region other than between the partition portions 43.
  • the ink (EL layer 35) is supplied to a region between a pair of coating lines TL parallel to the Y direction, and the width w of the coating line TL is equal to the width in the X direction of the slit, which is a partition opening region between the partition portions 43. equal.
  • the ink applied beyond the outer peripheral portion 42 of the partition wall 41 is the recess 44.
  • this outer peripheral part 42 functions as a partition which isolates between the partition parts 43 and the dent 44. Accordingly, it is possible to prevent the ink applied beyond the outer peripheral portion 42 of the partition wall 41 from flowing back between the partition portions 43.
  • the dummy electrode 45 is formed of the same member as the one electrode 32.
  • the material constituting one electrode 32 is usually lyophilic and has a contact angle with anisole of less than 30 °.
  • the dummy electrode 45 exhibiting such lyophilicity is exposed and provided. Accordingly, the ink applied beyond the outer peripheral portion 42 of the partition wall 41 spreads on the dummy electrode 45, and the ink once applied on the dummy electrode 45 is secured on the dummy electrode 45. It is possible to efficiently prevent the ink applied beyond the outer peripheral portion 42 from flowing back between the partition portions 43.
  • the thickness of the coating film formed by being supplied between the partition portions 43 and formed by coating. can be made uniform over the column direction Y.
  • the width L in the column direction Y of the outer peripheral portion where the one end and the other end of the partition portion 43 are connected to each other is wide, the ink spreads on the outer peripheral portion, and as a result, the ink applied on the outer peripheral portion It will flow backward between the partition parts 43. Therefore, in order to prevent wetting and spreading of the ink on the outer peripheral portion, the width L in the column direction Y of the outer peripheral portion to which one end and the other end of the partition portion 43 are respectively connected is preferably 200 ⁇ m or less, more preferably 100 ⁇ m or less.
  • a display panel for a monochrome display device In the case of a display panel for a monochrome display device, the problem of color mixing does not occur. However, for example, in the case of a display panel for a color display device, color mixing becomes a serious problem.
  • three types of ink each including an R light emitting material emitting red light, a G light emitting material emitting green light, and a B light emitting material emitting blue light are applied to each column. It is necessary to divide.
  • the ink containing the R light-emitting material, the ink containing the G light-emitting material, and the ink containing the B light-emitting material are applied between the partition portions 43 with an interval of two rows, respectively, so that the three types of ink are applied separately. ing.
  • each type of ink is applied between the partition portions 43 with a two-stroke interval, as described above.
  • the three types of ink applied on the outer peripheral portion 42 mix on the outer peripheral portion 42, and the mixed ink flows back between the partition portions 43, thereby mixing colors.
  • the outer peripheral portion 42 functions as a partition by providing the dent 44 in this embodiment. Therefore, the mixed ink can be prevented from flowing back between the partition portions 43, so that the problem of color mixing can be prevented.
  • the dummy electrodes 45 are provided so as to be continuous in the row direction X in FIG. 1, as shown in FIG. 20, the plurality of dummy electrodes 45 are discretely arranged along the row direction X as in the case of one electrode 32. When provided, ink is held on the dummy electrode 45 exhibiting lyophilicity. Note that FIG. 20 shows a state before the light emitting layer is formed so that the internal structure of the light emitting device 11 can be easily understood.
  • the dummy electrode 45 is provided on the surface of the support substrate 21. In this example, the dummy electrode 45 is provided for each opening region of the partition wall 41.
  • the light emitting device of FIG. 20 is the same as the above light emitting device except that the plurality of dummy electrodes 45 are separated.
  • the light emitting layer can be formed by heating at a predetermined temperature for a predetermined time in an atmosphere such as an air atmosphere, an inert gas atmosphere, and a vacuum atmosphere.
  • the other electrode is formed.
  • the other electrode is formed so as to continue from one side in the thickness direction Z of the support substrate to all organic EL elements, for example, by an evaporation method and / or a sputtering method using an electrode material described later.
  • FIG. 11 is a longitudinal sectional view of a single organic EL element 31.
  • the organic EL element 31 includes a lower electrode 32 formed on the support substrate 21, a light emitting layer 34 (EL layer 35) formed on the lower electrode 32, and an upper electrode 32 formed on the EL layer 35. I have.
  • a bias voltage is applied between the lower electrode 32 and the upper electrode 33, electrons and holes are injected from the respective electrodes into the EL layer 35, and the injected electrons and holes are combined in the light emitting layer 34.
  • the light emitting layer 34 emits light, and light is emitted in the thickness direction of the substrate 21. If at least one of the electrodes 32 and 33 is made of a transparent electrode, the emitted light is transmitted through the transparent electrode and output to the outside. When the lower electrode 32 and the support substrate 21 are transparent, the light from the light emitting layer 34 passes through these and is output to the outside.
  • a predetermined layer different from the light emitting layer 34 can be provided between the pair of electrodes. If these predetermined layers can be formed using a coating method, they may be formed by the above-described nozzle printing method using an ink containing a material for forming the predetermined layer, similarly to the light-emitting layer 34. Is preferred. Since the predetermined layer and the light emitting layer 34 contribute to light emission as a whole, the EL layer 35 is formed.
  • the lower electrode 32 is an anode
  • the upper electrode 33 is a cathode.
  • FIG. 12 is a longitudinal sectional view of the organic EL element 31, in which a layer X is interposed between the upper electrode 33 and the light emitting layer 34, and a layer Y is interposed between the lower electrode 32 and the light emitting layer 34. Is intervening.
  • Each of the layer X and the layer Y includes one type or a plurality of types of layers.
  • examples of the layer X provided between the cathode (electrode 33) and the light emitting layer 34 include an electron injection layer, an electron transport layer, and a hole blocking layer.
  • the layer X consists of a single layer, this is an electron transport layer.
  • FIG. 13 is a longitudinal sectional view of the organic EL element 31, in which the upper electrode 33 and the light emitting layer 34 are in direct contact, and the layer Y is interposed between the lower electrode 32 and the light emitting layer 34. Yes.
  • the layer Y is composed of one or more types of layers and is in contact with both the lower electrode 32 and the light emitting layer 34.
  • FIG. 14 is a longitudinal sectional view of the organic EL element 31, in which the lower electrode 32 and the light emitting layer 34 are in direct contact, and the layer X is interposed between the upper electrode 33 and the light emitting layer 34. Yes.
  • the layer X includes one or more types of layers and is in contact with both the upper electrode 33 and the light emitting layer 34.
  • FIG. 15 is a longitudinal sectional view of the organic EL element 31 and shows an example in which two layers X1 and X2 are interposed between the upper electrode 33 and the light emitting layer. That is, when both the electron injection layer X1 and the electron transport layer X2 are provided between the cathode (electrode 33) and the light emitting layer 34, the layer in contact with the cathode (electrode 33) is referred to as the electron injection layer X1, The layer excluding the electron injection layer X1 is referred to as an electron transport layer X2.
  • the electron injection layer X1 is a layer having a function of improving the efficiency of electron injection from the cathode.
  • the electron transport layer X2 is a layer having a function of improving electron injection from the cathode, the electron injection layer, or the electron transport layer closer to the cathode.
  • the hole blocking layer is a layer having a function of blocking hole transport. In the case where the electron injection layer and / or the electron transport layer have a function of blocking hole transport, these layers may also serve as the hole blocking layer.
  • the hole blocking layer has a function of blocking hole transport makes it possible, for example, to produce an element that allows only hole current to flow, and confirm the blocking effect by reducing the current value.
  • FIG. 16 is a longitudinal sectional view of the organic EL element 31 and shows an example in which two layers Y1 and Y2 are interposed between the lower electrode 32 and the light emitting layer. That is, examples of the layer Y provided between the anode (electrode 32) and the light emitting layer 34 include a hole injection layer, a hole transport layer, and an electron block layer. When only one layer is provided between the anode (electrode 32) and the light emitting layer 34, the layer is referred to as a hole injection layer.
  • the layer in contact with the anode (electrode 32) is the hole injection layer Y1.
  • the layer excluding this hole injection layer Y1 is called a hole transport layer Y2.
  • the hole injection layer Y1 is a layer having a function of improving the hole injection efficiency from the anode (electrode 32).
  • the hole transport layer Y2 is a layer having a function of improving hole injection from the anode (electrode 32), the hole injection layer Y1, or the hole transport layer closer to the anode.
  • the electron blocking layer is a layer having a function of blocking electron transport. In the case where the hole injection layer and / or the hole transport layer has a function of blocking electron transport, these layers may also serve as an electron blocking layer.
  • the electron blocking layer has a function of blocking electron transport makes it possible, for example, to produce an element that allows only electron current to flow, and confirm the blocking effect by reducing the current value.
  • the electron injection layer and the hole injection layer may be collectively referred to as a charge injection layer, and the electron transport layer and the hole transport layer may be collectively referred to as a charge transport layer.
  • An example of the layer structure that the organic EL element can take is shown below.
  • Anode / hole injection layer / light emitting layer / electron transport layer / cathode (configuration in which layer Y is a hole injection layer and layer X is an electron transport layer in FIG. 12) f) Anode / hole injection layer / light-emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode: (In FIG. 12, the structure of FIG. 16 is adopted as the layer Y with the layer X as the hole injection layer) d) Anode / hole transport layer / light-emitting layer / cathode: (configuration in which layer Y is a hole transport layer in FIG.
  • Anode / hole transport layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode (configuration in which layer Y is a hole transport layer and layer Y is an electron injection layer in FIG. 12)
  • Anode / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / cathode (configuration in which layer Y is a hole transport layer and layer X is an electron transport layer in FIG. 12)
  • Anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / cathode (configuration in which layer Y in FIG. 13 has the structure of hole injection layer Y1 / hole transport layer Y2 shown in FIG. 16) i) Anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode: (in FIG. 12, layer Y has the structure of hole injection layer Y1 / hole transport layer Y2 shown in FIG. 16, layer X is an electron injection layer) j) Anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / cathode: (in FIG.
  • layer Y has the structure of hole injection layer Y1 / hole transport layer Y2 shown in FIG. 16, layer X is an electron transport layer)
  • Anode / light-emitting layer / electron injection layer / cathode: (configuration in which layer X is an electron injection layer in FIG.
  • Anode / light-emitting layer / electron transport layer / cathode (configuration in which layer X is an electron transport layer in FIG. 14) n) Anode / light-emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode: (in FIG. 14, layer X has the structure of electron transport layer X2 / electron injection layer X1 shown in FIG. 15)
  • the symbol “/” indicates that the layers sandwiching the symbol “/” are stacked adjacent to each other. same as below.
  • the organic EL device of the present embodiment may have two or more light emitting layers, and the organic EL device having two light emitting layers is any one of the layer configurations of a) to n) above.
  • the organic EL device having two light emitting layers is any one of the layer configurations of a) to n) above.
  • the layer configuration shown in the following o) can be obtained.
  • a plurality of stacked bodies A are interposed between the electrodes 32 and 32, and a charge injection layer Z is interposed between the stacked bodies A.
  • (repeating unit B) x represents a laminate in which the repeating unit B is laminated in x stages.
  • the stacked body B (repeating unit B) is interposed between the electrodes 32 and 32 by a number x, and adjacent to the outermost one of the stacked bodies B, the stacked body A is positioned, and the electrode 32 is adjacent to the laminate A.
  • the charge injection layer (Z) is a layer that generates holes and electrons by applying an electric field.
  • the charge injection layer include a thin film made of vanadium oxide, indium tin oxide (IndiumInTin Oxide: abbreviation ITO), molybdenum oxide, or the like.
  • an anode is usually arranged on the substrate side, but a cathode may be arranged on the substrate side.
  • the order of the layers to be laminated, the number of layers, and the thickness of each layer can be appropriately set in consideration of the light emission efficiency and the element lifetime.
  • ⁇ Support substrate> As the support substrate, one that does not change in the process of manufacturing the organic EL element is preferably used. For example, glass, plastic, a polymer film, a silicon substrate, and a laminate of these are used. A drive substrate on which a circuit for driving the organic EL element is formed may be used as the support substrate. For example, a TFT (Thin Film Transistor) substrate may be provided as the support substrate.
  • TFT Thin Film Transistor
  • Electrode 32 In the case of an organic EL element having a configuration in which light emitted from the light emitting layer (34) is emitted outside the element through the anode (electrode 32), an electrode having optical transparency is used for the anode, thereby exhibiting optical transparency.
  • a thin film hereinafter sometimes referred to as a “conductive resin electrode” configured by arranging a conductive wire-like conductor on the film body can be used as an electrode.
  • FIG. 19 is a perspective view of the lower electrode 32 (or the upper electrode 33) made of a conductive resin electrode.
  • a conductive resin electrode can be formed by, for example, a coating method.
  • the film body M one having a high light transmittance in the visible light region is preferably used, and is configured to include a resin, an inorganic polymer, an inorganic-organic hybrid compound, or the like.
  • a resin having conductivity is preferably used.
  • the electrical resistance can be lowered by using the conductive film body M.
  • the film thickness of the electrode is appropriately set depending on the electrical resistance and the visible light transmittance, and is, for example, 0.02 to 2 ⁇ m, preferably 0.02 to 1 ⁇ m.
  • the diameter of the wire-like conductor W is preferably smaller, for example, 400 nm or less, preferably 200 nm or less, and more preferably 100 nm or less.
  • the wire-like conductor arranged in the film body diffracts or scatters the light passing through the electrode, so that the haze value (HazeHFactor) is increased and the light transmittance is decreased, but the wavelength of visible light or
  • the wire-like conductor W having a diameter smaller than the wavelength of visible light the haze value with respect to visible light can be suppressed to a low level and the decrease in light transmittance can be suppressed.
  • the diameter is preferably 10 nm or more.
  • One or a plurality of wire-like conductors W arranged in the film main body M may be used, and a network structure is preferably formed in the film main body.
  • a network structure is preferably formed in the film main body.
  • the volume resistivity of the conductive resin electrode (electrode 32) can be lowered by the wire-like conductor W forming the network structure.
  • the wire-like conductor W may be, for example, a curved shape or a needle shape.
  • An electrode having a low volume resistivity can be realized by forming a network structure by contacting curved and / or needle-shaped conductors with each other.
  • wire conductor W As the material of the wire-like conductor W, a metal having low resistance is preferably used, and examples thereof include Ag, Au, Cu, Al, and alloys thereof.
  • the wire-like conductor W can be obtained by, for example, a method by NRJana, L. Gearheart and CJMurphy (Chm. Commun., 2001, p617-p618), C. Ducamp-Sanguesa, R. Herrera-Urbina, and M. Figlarz, etc. It can be produced by the method (J. Solid State Chem., Vol. 100, 1992, p272-p280).
  • wire-like conductor W for example, a silver nanoparticle whose surface is protected with an amino group-containing polymer dispersant (manufactured by IC Japan, trade name “Solsperse 24000SC”).
  • a wire (major axis average length 1 ⁇ m, minor axis average length 10 nm) can be used.
  • the type of resin is appropriately selected according to the characteristics required for the electrode, such as refractive index, light transmittance, and electrical resistance.
  • the amount of the wire-like conductor W dispersed is affected by the electrical resistance, haze value, translucency, etc. of the electrode, and therefore is appropriately set according to the characteristics required for the conductive resin electrode.
  • the conductive resin electrode is obtained by coating a film of a dispersion in which a conductive wire-like conductor W is dispersed in a dispersion medium by a predetermined coating method, and further curing the film.
  • the dispersion is prepared by dispersing wire-like conductor W and resin in a dispersion medium.
  • the dispersion medium may be any material that can dissolve or disperse the resin, for example, a chlorine solvent such as chloroform, methylene chloride, dichloroethane, an ether solvent such as tetrahydrofuran, an aromatic hydrocarbon solvent such as toluene and xylene, Examples include ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone, and ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate, and ethyl cellosolve acetate.
  • the resin examples include low density or high density polyethylene, ethylene-propylene copolymer, ethylene-butene copolymer, ethylene-hexene copolymer, ethylene-octene copolymer, ethylene-norbornene copolymer, Polyolefin resins such as ethylene-dimethano-octahydronaphthalene copolymer, polypropylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-methyl methacrylate copolymer, ionomer resin; polyesters such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate Nylon-6, nylon-6,6, metaxylenediamine-adipic acid condensation polymer; amide resin such as polymethylmethacrylamide; acrylic resin such as polymethylmethacrylate; Styrene-acrylonitrile resins such as Tylene, styrene-acrylonitrile copolymer, sty
  • a resin having conductivity is preferably used, and examples of the resin having conductivity include polyaniline and polythiophene derivatives.
  • a poly (ethylenedioxythiophene) / polystyrene sulfonic acid solution having a refractive index of 1.7 (trade name “BaytronP” manufactured by Starck Co., Ltd.) can be used.
  • the refractive index of the conductive resin electrode is mainly determined by the refractive index of the film body made of resin or the like.
  • the refractive index of the film body is mainly determined by the type of resin to be used. Therefore, a conductive resin electrode having an intended refractive index can be easily formed by selecting the resin to be used.
  • the difference in refractive index between the one electrode and the support substrate is preferably smaller.
  • the absolute value of the difference is preferably less than 0.4. 1.8 or less is preferable. Since the refractive index of the conductive resin electrode can be set to a desired value by appropriately selecting the type of resin used for the film body, the relationship of the refractive index with the support substrate is set within the above range. be able to.
  • a dispersion liquid in which a wire-like conductor is dispersed in a photosensitive material and a photocurable monomer used for a photosensitive photoresist an electrode having a predetermined pattern shape can be easily formed by a coating method and photolithography.
  • a dispersion liquid in which a wire-like conductor is dispersed in a photosensitive material and a photocurable monomer used for a photosensitive photoresist an electrode having a predetermined pattern shape can be easily formed by a coating method and photolithography. can do.
  • trimethylolpropane triacrylate manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name “NK Ester-TMPT”
  • polymerization initiator trade name “IRGACURE 907” produced by Nippon Ciba-Geigy Inc.
  • a dipping method As a method for applying a dispersion in which a wire-like conductor is dispersed, a dipping method, a coating method using a bar coater, a coating method using a spin coater, a doctor blade method, a spray coating method, a screen mesh printing method, Examples include brushing, spraying, roll coating, and the like.
  • a coating film when using a thermosetting resin or a photocurable resin, after apply
  • ITO is used for the electrode showing light transmittance.
  • the refractive index of ITO is about 2, the refractive index of the glass substrate is about 1.5, and the refractive index of the portion in contact with ITO (for example, the light emitting layer) is about 1.7.
  • an ITO having a high refractive index is sandwiched between a glass substrate having a low refractive index and the light emitting layer. Therefore, a part of the light emitted from the light emitting layer is reflected by the ITO by total reflection or the like, and the light may not be efficiently emitted to the outside.
  • a conductive resin electrode having a low refractive index as described above, reflection at the electrode can be suppressed, and light can be efficiently emitted to the outside.
  • a thin film of metal oxide, metal sulfide, metal or the like having high electrical conductivity can be used as the anode.
  • a thin film made of indium oxide, zinc oxide, tin oxide, ITO, indium zinc oxide (Indium Zinc Oxide: abbreviation IZO), gold, platinum, silver, copper, or the like is used.
  • ITO Indium Zinc Oxide
  • a thin film made of IZO or tin oxide is preferably used.
  • Examples of a method for producing the anode include a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, and a plating method.
  • an organic transparent conductive film such as polyaniline or a derivative thereof, polythiophene or a derivative thereof may be used as the anode.
  • a material that reflects light may be used for the anode, and the material is preferably a metal, metal oxide, or metal sulfide having a work function of 3.0 eV or more.
  • the film thickness of the anode can be appropriately selected in consideration of light transmittance and electric conductivity, and is, for example, 10 nm to 10 ⁇ m, preferably 20 nm to 1 ⁇ m, and more preferably 50 nm to 500 nm. .
  • ⁇ Hole injection layer As the hole injection material constituting the hole injection layer, oxides such as vanadium oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, and aluminum oxide, phenylamine type, starburst type amine type, phthalocyanine type, amorphous carbon, polyaniline, And polythiophene derivatives.
  • oxides such as vanadium oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, and aluminum oxide, phenylamine type, starburst type amine type, phthalocyanine type, amorphous carbon, polyaniline, And polythiophene derivatives.
  • Examples of the method for forming the hole injection layer include film formation from a solution containing a hole injection material.
  • the solvent used for film formation from a solution is not particularly limited as long as it dissolves the hole injection material.
  • Chlorine solvents such as chloroform, methylene chloride, dichloroethane, ether solvents such as tetrahydrofuran, toluene, xylene And aromatic hydrocarbon solvents such as acetone, ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone, ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate and ethyl cellosolve acetate, and water.
  • a film forming method from a solution As a film forming method from a solution, a nozzle printing method, a spin coating method, a casting method, a micro gravure coating method, a gravure coating method, a bar coating method, a roll coating method, a wire bar coating method, a dip coating method, a spray coating method, Application methods such as a screen printing method, a flexographic printing method, an offset printing method, and an ink jet printing method can be given, and the nozzle printing method described above is preferably used in this embodiment.
  • the film thickness of the hole injection layer is appropriately set based on the element design, and is, for example, 1 nm to 1 ⁇ m, preferably 2 nm to 500 nm, and more preferably 5 nm to 200 nm.
  • ⁇ Hole transport layer> As the hole transport material constituting the hole transport layer, polyvinylcarbazole or a derivative thereof, polysilane or a derivative thereof, a polysiloxane derivative having an aromatic amine in a side chain or a main chain, a pyrazoline derivative, an arylamine derivative, a stilbene derivative, Triphenyldiamine derivative, polyaniline or derivative thereof, polythiophene or derivative thereof, polyarylamine or derivative thereof, polypyrrole or derivative thereof, poly (p-phenylene vinylene) or derivative thereof, or poly (2,5-thienylene vinylene) or Examples thereof include derivatives thereof.
  • hole transport materials include polyvinyl carbazole or derivatives thereof, polysilane or derivatives thereof, polysiloxane derivatives having aromatic amine compound groups in the side chain or main chain, polyaniline or derivatives thereof, polythiophene or derivatives thereof, poly Preferred is a polymeric hole transport material such as arylamine or a derivative thereof, poly (p-phenylene vinylene) or a derivative thereof, or poly (2,5-thienylene vinylene) or a derivative thereof, more preferably polyvinyl carbazole or a derivative thereof. , Polysilane or a derivative thereof, and a polysiloxane derivative having an aromatic amine in the side chain or main chain. In the case of a low-molecular hole transport material, it is preferably used by being dispersed in a polymer binder.
  • the method for forming the hole transport layer is not particularly limited, but in the case of a low molecular hole transport material, film formation from a mixed solution containing a polymer binder and a hole transport material can be exemplified.
  • molecular hole transport materials include film formation from a solution containing a hole transport material.
  • the solvent used for film formation from a solution is not particularly limited as long as it can dissolve a hole transport material.
  • Chlorine solvents such as chloroform, methylene chloride, dichloroethane, ether solvents such as tetrahydrofuran, toluene, xylene And aromatic hydrocarbon solvents such as acetone, ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone, and ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate, and ethyl cellosolve acetate.
  • the same coating method as the above-described film forming method of the hole injection layer can be exemplified, and the nozzle printing method described above is preferably used in the present embodiment.
  • polystyrene examples include vinyl chloride and polysiloxane.
  • the film thickness of the hole transport layer is appropriately set based on the element design, and is, for example, 1 nm to 1 ⁇ m, preferably 2 nm to 500 nm, and more preferably 5 nm to 200 nm.
  • the light emitting layer is usually formed of an organic substance that mainly emits fluorescence and / or phosphorescence, or an organic substance and a dopant that assists the organic substance.
  • the dopant is added, for example, in order to improve the luminous efficiency and change the emission wavelength.
  • the organic substance may be a low molecular compound or a high molecular compound, and the light emitting layer preferably contains a high molecular compound having a polystyrene-equivalent number average molecular weight of 10 3 to 10 8 .
  • Examples of the light emitting material constituting the light emitting layer include the following dye materials, metal complex materials, polymer materials, and dopant materials.
  • dye-based materials include cyclopentamine derivatives, tetraphenylbutadiene derivative compounds, triphenylamine derivatives, oxadiazole derivatives, pyrazoloquinoline derivatives, distyrylbenzene derivatives, distyrylarylene derivatives, pyrrole derivatives, thiophene ring compounds. Pyridine ring compounds, perinone derivatives, perylene derivatives, oligothiophene derivatives, oxadiazole dimers, pyrazoline dimers, quinacridone derivatives, coumarin derivatives, and the like.
  • Metal complex materials examples include Al, Zn, Be, etc. as a central metal, or rare earth metals such as Tb, Eu, Dy, etc., and oxadiazole, thiadiazole, phenylpyridine, phenylbenzimidazole, as a ligand, Examples include metal complexes having a quinoline structure, such as metal complexes having light emission from triplet excited states such as iridium complexes and platinum complexes, aluminum quinolinol complexes, benzoquinolinol beryllium complexes, benzoxazolyl zinc complexes, benzoates. Examples include a thiazole zinc complex, an azomethyl zinc complex, a porphyrin zinc complex, and a europium complex.
  • Polymer material As polymer materials, polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, polyparaphenylene derivatives, polysilane derivatives, polyacetylene derivatives, polyfluorene derivatives, polyvinylcarbazole derivatives, the above dye materials and metal complex light emitting materials are polymerized. The thing etc. can be mentioned.
  • materials that emit blue light include distyrylarylene derivatives, oxadiazole derivatives, and polymers thereof, polyvinylcarbazole derivatives, polyparaphenylene derivatives, polyfluorene derivatives, and the like.
  • polymer materials such as polyvinyl carbazole derivatives, polyparaphenylene derivatives, and polyfluorene derivatives are preferred.
  • examples of materials that emit green light include quinacridone derivatives, coumarin derivatives, and polymers thereof, polyparaphenylene vinylene derivatives, polyfluorene derivatives, and the like. Of these, polymer materials such as polyparaphenylene vinylene derivatives and polyfluorene derivatives are preferred.
  • examples of materials that emit red light include coumarin derivatives, thiophene ring compounds, and polymers thereof, polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, and polyfluorene derivatives.
  • polymer materials such as polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, and polyfluorene derivatives are preferable.
  • Dopant material examples include perylene derivatives, coumarin derivatives, rubrene derivatives, quinacridone derivatives, squalium derivatives, porphyrin derivatives, styryl dyes, tetracene derivatives, pyrazolone derivatives, decacyclene, phenoxazone, and the like. Note that the thickness of such a light emitting layer is usually about 2 nm to 200 nm.
  • a method for forming the light emitting layer a method of applying a solution containing a light emitting material, a vacuum deposition method, a transfer method, or the like can be used.
  • the solvent used for film formation from a solution include the same solvents as those used for forming a hole transport layer from the above solution.
  • a spin coating method, a casting method, a micro gravure coating method, a gravure coating method, a bar coating method, a roll coating method, a wire bar coating method, a dip coating method, a slit coating method, a capillary Coating methods such as coating methods, spray coating methods and nozzle printing methods, as well as gravure printing methods, screen printing methods, flexographic printing methods, offset printing methods, reverse printing methods, ink jet printing methods, etc.
  • the nozzle printing method described above is preferably used.
  • Electrode transport material constituting the electron transport layer
  • known materials can be used, such as oxadiazole derivatives, anthraquinodimethane or derivatives thereof, benzoquinone or derivatives thereof, naphthoquinone or derivatives thereof, anthraquinones or derivatives thereof, tetracyanoanthra Quinodimethane or derivatives thereof, fluorenone derivatives, diphenyldicyanoethylene or derivatives thereof, diphenoquinone derivatives, or metal complexes of 8-hydroxyquinoline or derivatives thereof, polyquinoline or derivatives thereof, polyquinoxaline or derivatives thereof, polyfluorene or derivatives thereof, etc. Can be mentioned.
  • oxadiazole derivatives as an electron transport material, oxadiazole derivatives, benzoquinone or derivatives thereof, anthraquinones or derivatives thereof, or metal complexes of 8-hydroxyquinoline or derivatives thereof, polyquinoline or derivatives thereof, polyquinoxaline or derivatives thereof, polyfluorene or Derivatives thereof are preferred, and 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, benzoquinone, anthraquinone, tris (8-quinolinol) aluminum, and polyquinoline are more preferred. .
  • the method for forming the electron transport layer there are no particular restrictions on the method for forming the electron transport layer, but for low molecular weight electron transport materials, vacuum deposition from powder or film formation from a solution or a molten state can be exemplified.
  • the material include film formation from a solution or a molten state.
  • a polymer binder may be used in combination.
  • the method for forming the electron transport layer from the solution include the same film formation method as the method for forming the hole transport layer from the above-described solution. In this embodiment, the above-described nozzle printing method is preferably used. Used.
  • the film thickness of the electron transport layer varies depending on the material used, and is set appropriately so that the drive voltage and the light emission efficiency become appropriate values. At least a thickness that does not cause pinholes is required, and it is too thick. In such a case, the driving voltage of the element increases, which is not preferable. Accordingly, the thickness of the electron transport layer is, for example, 1 nm to 1 ⁇ m, preferably 2 nm to 500 nm, and more preferably 5 nm to 200 nm.
  • an optimal material is appropriately selected according to the type of the light emitting layer, and an alloy containing at least one of alkali metal, alkaline earth metal, alkali metal and alkaline earth metal, alkali A metal or alkaline earth metal oxide, halide, carbonate, or a mixture of these substances can be given.
  • alkali metals, alkali metal oxides, halides, and carbonates include lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, lithium oxide, lithium fluoride, sodium oxide, sodium fluoride, potassium oxide, potassium fluoride , Rubidium oxide, rubidium fluoride, cesium oxide, cesium fluoride, lithium carbonate, and the like.
  • alkaline earth metals, alkaline earth metal oxides, halides and carbonates include magnesium, calcium, barium, strontium, magnesium oxide, magnesium fluoride, calcium oxide, calcium fluoride, barium oxide, Examples thereof include barium fluoride, strontium oxide, strontium fluoride, and magnesium carbonate.
  • the electron injection layer may be composed of a laminate in which two or more layers are laminated, and examples thereof include LiF / Ca.
  • the electron injection layer is formed by vapor deposition, sputtering, printing, or the like.
  • the thickness of the electron injection layer is preferably about 1 nm to 1 ⁇ m.
  • a material for the cathode As a material for the cathode, a material having a small work function, easy electron injection into the light emitting layer, and high electrical conductivity is preferable. Moreover, in the organic EL element which takes out light from the anode side, since the light from the light emitting layer is reflected to the anode side by the cathode, a material having a high visible light reflectance is preferable as the cathode material.
  • an alkali metal, an alkaline earth metal, a transition metal, a group 13 metal of the periodic table, or the like can be used.
  • cathode material examples include lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, beryllium, magnesium, calcium, strontium, barium, aluminum, scandium, vanadium, zinc, yttrium, indium, cerium, samarium, europium, terbium, ytterbium, and the like.
  • An alloy, graphite, or a graphite intercalation compound is used.
  • alloys include magnesium-silver alloys, magnesium-indium alloys, magnesium-aluminum alloys, indium-silver alloys, lithium-aluminum alloys, lithium-magnesium alloys, lithium-indium alloys, calcium-aluminum alloys, and the like. it can.
  • a conductive resin electrode that can be formed by the coating method described in the section of the anode, or a transparent conductive electrode made of a conductive metal oxide, a conductive organic substance, or the like can be used.
  • the conductive metal oxide include indium oxide, zinc oxide, tin oxide, ITO, and IZO
  • examples of the conductive organic substance include polyaniline or a derivative thereof, polythiophene or a derivative thereof, and the like.
  • the cathode may be composed of a laminate in which two or more layers are laminated. In some cases, the electron injection layer is used as a cathode.
  • the electrode 33 constituting the cathode may include a film body M and a conductor W that is a plurality of nanowires dispersed in the film body M, as shown in FIG.
  • the internal electrode structure of the cathode in this case is the same as that of the anode.
  • the film thickness of the cathode is appropriately set in consideration of electric conductivity and durability, and is, for example, 10 nm to 10 ⁇ m, preferably 20 nm to 1 ⁇ m, and more preferably 50 nm to 500 nm.
  • the dummy insulating film 24 ⁇ / b> D configured by the same member as the insulating film 24 is used instead of the dummy electrode 45. May be provided.
  • FIG. 21 is a perspective view of the light emitting device 11 using a dummy insulating film
  • FIG. 22 is a perspective view of the light emitting device 11 before forming a light emitting layer using a dummy insulating film. That is, the dummy insulating film 24D is provided on the bottom surface (the surface of the support substrate 21) of the recess 44, and the recess 44 is provided so as to reach the surface of the dummy insulating film 24D. In this embodiment, the bottom of the recess 44 corresponds to the surface of the dummy insulating film 24D.
  • a dummy insulating film 24D is used in place of the dummy electrode 45, and other configurations are the light emitting devices shown in FIGS. Identical to the device.
  • a dummy insulating film 24D having the same shape (rectangular shape) is provided instead of the dummy electrode 45 at the position of the dummy electrode 45.
  • the dummy insulating film 24D is manufactured in the same process as the insulating film 24.
  • the insulating films 24D and 24 may be continuous.
  • the dummy insulating film may be provided in a portion where the dummy electrode of the above-described embodiment is provided.
  • the dummy insulating film may be formed integrally with the insulating film.
  • the insulating film may be extended to the portion where the dummy electrode is formed in the above-described embodiment, and the insulating film extended to the portion where the dummy electrode is provided may be used as the dummy insulating film.
  • the dummy insulating film is preferably formed in the same process as the insulating film forming process. Since the dummy insulating film is formed of the same member as the insulating film in this way, the dummy insulating film can be formed in the same process as the insulating film, so the dummy insulating film is formed without increasing the number of processes. be able to.
  • the insulating film and the dummy insulating film are preferably more lyophilic than the partition.
  • the bottom of the recess is preferably made of a material having a contact angle with respect to anisole of less than 30 °
  • the dummy insulating film serving as the bottom of the recess is made of a material with a contact angle with respect to anisole of less than 30 °. Is preferred. Therefore, among the materials exemplified as the insulating film, it is necessary to form the insulating film using a material that exhibits lyophilicity.
  • the material of the insulating film and the dummy insulating film an oxide such as SiO 2, oxynitride and SiN and the like, preferably oxides and nitric oxide, such as SiO 2, a high SiO 2 lyophilic property is more preferable.
  • Examples of the method for producing the cathode include a vacuum deposition method, a sputtering method, and a laminating method in which a metal thin film is thermocompression bonded.
  • FIG. 23 is a perspective view of the light emitting device 11 using a recess having an opening
  • FIG. 24 is a perspective view of the light emitting device 11 before forming a light emitting layer using a recess having an opening. 23 and 24 differs from the above-described embodiment only in that the shape of the recess 44 is a recess having a rectangular opening, and other configurations are the light emission shown in FIGS. Identical to the device.
  • the light-emitting device described above can be suitably used for a display device, and can also be applied to, for example, a backlight of a liquid crystal display device, a lighting device, a light source of a scanner, and the like.

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Abstract

　この発光装置は、支持基板と、支持基板上に設けられる複数の有機ＥＬ素子と、複数の有機ＥＬ素子を区分けする隔壁とを備える発光装置であって、隔壁は、複数の有機ＥＬ素子が設けられる領域を囲むように配置される外周部と、外周部に囲まれる領域においてストライプ状に配置され、長手方向の一端および他端がそれぞれ外周部に連結されている複数本の仕切り部とを有しており、有機ＥＬ素子は、互いに隣り合う仕切り部間に配置されており、外周部の、仕切り部の長手方向の延長線上には、支持基板に向かう凹みが設けられている。

Description

発光装置
　本発明は発光装置に関する。
　有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子ということがある。）は、陽極および陰極からなる一対の電極と、該電極間に設けられる発光層とを含んで構成される。この有機ＥＬ素子に電圧を印加すると、陽極から正孔が注入されるとともに陰極から電子が注入され、注入された正孔と電子とが発光層において結合し、発光する。
　有機ＥＬ素子には、電極間に設けられる発光層などの所定の層を塗布法よって簡易に形成できるという利点がある。例えば発光層を形成する材料を含むインキ(ink)を所定の塗布法によって成膜し、さらにこれを固化することによって発光層を形成することができる。
　塗布法としては、タクトタイム（tact time）が短いことやノズルの目詰まりが少ないことなどから、ノズルプリンティング法が検討されている。ノズルプリンティング法は、液柱状のインキをノズルから連続的に吐出させながらこのノズルを移動させることによって、インキを連続的に塗布する方法である。
　ノズルプリンティング法によって発光層を形成する方法について図４，図５を参照して説明する。図４は有機ＥＬ素子を形成するために従来用いられているパターン塗布用の基板１の平面図である。図５は、図４の切断面線Ｖ－Ｖから見たパターン塗布用の基板１の断面図である。
　有機ＥＬ素子は例えば表示装置の光源として用いられる。表示装置では複数の有機ＥＬ素子が支持基板３上に設けられる。
　図４，図５に示すように支持基板３には有機ＥＬ素子の一対の電極のうちの一方の電極４や、各有機ＥＬ素子を電気的に絶縁する絶縁膜５などが設けられている。さらに支持基板３上には、有機ＥＬ素子を塗布法によって形成する際に塗布液を所定の位置に収容するための隔壁２が設けられている。この隔壁２は、複数の有機ＥＬ素子が設けられる領域を囲む外周部２ａと、外周部２ａによって囲まれる領域内においてストライプ状に配置され、一端および他端がそれぞれ外周部２ａに連結されている複数本の仕切り部２ｂとを有する。
　有機ＥＬ素子は表示装置においてマトリクス状に配置される。具体的には互いに隣り合う各仕切り部２ｂ間に配置され、各仕切り部２ｂ間において仕切り部２ｂの長手方向に沿って離散的に配置される。
　このようなパターン塗布用の基板１に発光層を形成する際には、まずノズルプリンティング装置のノズルから、発光層を形成する材料を含むインキを液柱状に吐出しながら、仕切り部２ｂ間に沿ってノズルを走査し、仕切り部２ｂ間にインキを選択的に供給する。次に、供給されたインキを固化することによって発光層が形成される（例えば特許文献１参照）。
特開２００２－７５６４０号公報
　図６，図７はノズルプリンティング法によりインキを供給した後の従来のパターン塗布用の基板１の平面図であり、インキ（エレクトロルミネッセンス層：ＥＬ層３５）にはハッチングを施している。ノズルプリンティング法ではインキの吐出を止めることなく、いわゆる一筆書きでインキを供給するので、インキを供給すべき領域以外にもインキが供給される。具体的には図６，図７では隔壁２の外周部２ａ上にもインキが塗布される。隔壁２の外周部２ａ上に塗布されたインキは外周部２ａ上で濡れ拡がるため、隣り合う列に塗布されたインキ（ＥＬ層３５）同士が接触することがあり(図７参照)、さらにこれが仕切り部２ｂ間に逆流することがある。そうすると例えば隣り合う列のインキの種類が異なる場合には混色の問題が生じる。また逆流したインキによって、仕切り部２ｂ間の長手方向の両端部の発光層が厚膜化することがある。
　従って本発明の目的は塗布法によってインキを選択的に供給する際に、インキを供給すべき領域以外に塗布されたインキが、インキを供給すべき領域に逆流することを防ぐとともにインキが混合することを防ぐことのできる構造の発光装置を提供することである。
　本発光装置は、支持基板と、前記支持基板上に設けられる複数の有機エレクトロルミネッセンス素子と、前記複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を区分けする隔壁とを備える発光装置であって、前記隔壁は、前記複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が設けられる領域を囲むように配置される外周部と、前記外周部に囲まれる領域においてストライプ状に配置され、長手方向の一端および他端がそれぞれ前記外周部に連結されている複数本の仕切り部とを有しており、前記有機エレクトロルミネッセンス素子は、互いに隣り合う仕切り部間に配置されており、前記外周部の、前記仕切り部の長手方向の延長線上には、前記支持基板に向かう凹みが設けられている。
　また、前記凹みの底面は、アニソールに対する接触角が３０°未満である材料からなることが好ましい。
　また、前記有機エレクトロルミネッセンス素子は一対の電極を有し、該発光装置は、前記一対の電極のうちの前記支持基板寄りに配置される一方の電極と同じ部材によって構成されるダミー電極を、前記凹みの底面上にさらに有し、前記凹みが前記ダミー電極表面まで達するように設けられていることができる。
　前記一方の電極および前記ダミー電極は塗布法によって形成されることができる。
　また、前記一方の電極が、光透過性を示す膜本体に、導電性を有するワイヤ状の導電体が配置されて構成されていることができる。
　また、本発光装置は、前記複数の有機エレクトロルミネッセンス素子をそれぞれ電気的に絶縁する絶縁膜と、該絶縁膜と同じ部材によって構成されるダミー絶縁膜とをさらに有し、前記絶縁膜は、前記隔壁と前記支持基板との間に設けられており、前記ダミー絶縁膜は、前記凹みの底面上に設けられており、前記凹みが前記ダミー絶縁膜表面まで達するように設けられていることができる。
　本発明によれば、塗布法によってインキを選択的に供給する際に、インキを供給すべき領域以外に塗布されたインキが、インキを供給すべき領域に逆流することを防ぐとともにインキが混合することを防ぐことのできる構造の発光装置を提供することができる。
図１は、本発明の発光装置１１の平面図である。 図２は、発光装置１１の端面図である。 図３は、インキを塗布した状態の支持基板２１の平面図である。 図４は、有機ＥＬ素子を形成するために用いられている従来のパターン塗布用の基板１の平面図である。 図５は、図４の切断面線Ｖ－Ｖから見たパターン塗布用の基板１の断面図である。 図６は、ノズルプリンティング法によりインキを供給した後の従来のパターン塗布用の基板１の平面図である。 図７は、ノズルプリンティング法によりインキを供給した後の従来のパターン塗布用の基板１の平面図である。 図８は、発光装置１１の斜視図である。 図９は、発光層形成前の発光装置１１の斜視図である。 図１０は、基材上に塗布されたアニソールの接触角θについて説明するための図である。 図１１は、有機ＥＬ素子３１の断面図である。 図１２は、有機ＥＬ素子３１の断面図である。 図１３は、有機ＥＬ素子３１の断面図である。 図１４は、有機ＥＬ素子３１の断面図である。 図１５は、有機ＥＬ素子３１の部分断面図である。 図１６は、有機ＥＬ素子３１の部分断面図である。 図１７は、有機ＥＬ素子３１の部分断面図である。 図１８は、有機ＥＬ素子３１の部分断面図である。 図１９は、導電性樹脂電極の斜視図である。 図２０は、発光層形成前の発光装置１１の斜視図である。 図２１は、ダミー絶縁膜を用いた発光装置１１の斜視図である。 図２２は、ダミー絶縁膜を用いた発光層形成前の発光装置１１の斜視図である。 図２３は、開口を有する凹部を用いた発光装置１１の斜視図である。 図２４は、開口を有する凹部を用いた発光層形成前の発光装置１１の斜視図である。
　本発明の発光装置は、支持基板２１と、支持基板２１上に設けられる複数の有機ＥＬ素子３１と、複数の有機ＥＬ素子３１を区分けする隔壁４１とを備える。
　隔壁４１は、前記複数の有機ＥＬ素子が設けられる領域を囲むように配置される外周部４２と、外周部４２により囲まれる領域においてストライプ状に配置され、一端および他端がそれぞれ外周部４２に連結されている複数本の仕切り部４３とを有している。また有機ＥＬ素子は、互いに隣り合う仕切り部４３間に配置されている。そして外周部４２の、仕切り部（ストライプ部）４３の長手方向Ｙの延長線上には、すなわち、仕切り部４３の一端および他端には、支持基板２１に向かう凹み４４がそれぞれ設けられている。
　＜発光装置の構成＞
　まず発光装置の構成について図１，図２を参照して説明する。図１は本発明の発光装置１１の平面図であり、図２は発光装置１１の端面図である。図２（Ａ）は図１に示す発光装置１１を行方向Ｘに垂直な平面で切断（図１のＩＩ（Ａ）－ＩＩ（Ａ）矢印線断面）したときの、発光装置１１の端部の端面を拡大して示しており、図２（Ｂ）は図１に示す発光装置１１を列方向Ｙに垂直な平面で切断した端面（図１のＩＩ（Ｂ）－ＩＩ（Ｂ）矢印線断面）を示している。但し、図２においては下側の電極３２を除いて、有機ＥＬ素子の記載は省略してある。また、図８は、図１に示した発光装置を一部分解して示す発光装置の斜視図であり、図９は、図８に示す発光装置において、エレクトロルミネッセンス層（ＥＬ層）３５の形成前の発光装置の斜視図である。
　以下では複数の有機ＥＬ素子が搭載された発光装置１１の一例として、アクティブマトリクス駆動方式の表示装置について説明する。なお本発明はアクティブマトリクス駆動方式に限らす、例えばパッシブマトリクス駆動方式の表示装置にも適用可能であり、これら表示装置以外の所定の発光装置にも適用可能である。
　支持基板２１上において複数の有機ＥＬ素子３１はマトリクス状に設けられる。複数の有機ＥＬ素子３１は、具体的には支持基板２１上において行方向Ｘに等間隔をあけるとともに、列方向Ｙに等間隔をあけてそれぞれが離散的に配置される。行方向Ｘおよび列方向Ｙは、互いに垂直な方向であるとともに、支持基板２１の厚み方向Ｚに垂直な方向である。なお通常の表示装置には無数の有機ＥＬ素子が設けられるが、図１では理解を容易にするために２０個の有機ＥＬ素子が４行４列のマトリクス状に配列された発光装置を示している。また図２では有機ＥＬ素子に関しては、一対の電極のうちの一方の電極のみを示しており、その他の構成については図示していない。すなわち、断面構成を示す図２（Ａ）及び図２（Ｂ）では、一方の電極３２を除いて有機ＥＬ素子３１は図示していない。また、図１において、有機ＥＬ素子３１の発光層上には基板のほぼ全面を覆うように他方の電極３３が設けられている。
　支持基板２１上にはさらに有機ＥＬ素子３１を区分けする隔壁４１が設けられている。隔壁４１は、複数の有機ＥＬ素子３１が設けられる領域を囲むように配置される外周部４２と、この外周部４２に囲まれる領域においてストライプ状に配置される複数本の仕切り部４３とを有している。仕切り部４３は、長手方向の一端および他端がそれぞれ外周部４２に連結されている。外周部４２と仕切り部４３とは一体に形成されている。
　本実施形態では隔壁４１の外周部４２は略矩形状の枠体を構成する。なお外周部４２は複数の有機ＥＬ素子３１が設けられる領域を囲む形状であればよく、略矩形状の枠体でなくともよい。
　複数の仕切り部４３は、本実施形態では列方向Ｙに長手方向を一致させてそれぞれ配置され、それぞれが行方向Ｘに等間隔をあけて配置される。本実施形態では仕切り部４３の長手方向と列方向Ｙとが一致するため、以下では仕切り部４３の長手方向を列方向Ｙということがある。この仕切り部４３は各有機ＥＬ素子３１を区分けするために設けられる。
　各有機ＥＬ素子３１は互いに隣り合う仕切り部４３間に設けられる。なお行方向Ｘの一端に設けられる仕切り部４３と外周部４２とにより構成される凹所、及び行方向Ｘの他端に設けられる仕切り部４３と外周部４２とにより構成される凹所も、本明細書では仕切り部４３間に含まれる。本実施形態では各有機ＥＬ素子３１は各仕切り部４３間において、列方向Ｙに沿って等間隔をあけて配置される。
　前記外周部４２の列方向Ｙ（仕切り部長手方向）の一端および他端には、前記支持基板に向かう凹み４４が設けられている。
　有機ＥＬ素子３１は後述するように一対の電極を有しており、発光装置１１は、一対の電極３２のうちの前記支持基板２１寄りに配置される一方の電極３２と同じ部材によって構成されるダミー電極４５を、前記凹み４４の底面上にさらに有し、且つ前記凹み４４が前記ダミー電極４５表面にまで達するように設けられていることが好ましい。なお外周部４２の列方向Ｙ（仕切り部長手方向）の一端および他端には、支持基板２１に向かう段差が形成されていればよく、凹み４４がダミー電極４５に達するまで形成されていなくてもよい。またダミー電極４５が設けられていない形態では、凹み４４は支持基板２１に達するまで形成されていてもよい。なおダミー電極４５は図１では行方向Ｘに連なるように設けているが、一方の電極３２と同様に、行方向Ｘに離散的に設けてもよい。またダミー電極４５は、一方の電極３２と同一の部材に限らずに、親液性を示す部材によって構成されていればよく、例えば後述する絶縁膜と同一の部材によって形成してもよい。
　凹み４４の底部は、この底部に塗られたインキが仕切り部４３間に逆流することを防ぐために、底部においてインキが濡れ拡がることが好ましく、そのためには凹み４４の底部は、隔壁よりも親液性を示すことが好ましい。図１０は、凹み４４の底部としてダミー電極４５を用いた場合に、インキに含まれるアニソールＡＮと底部との接触の様子を示す図である。具体的には、凹み４４の底部は、アニソールに対する接触角θが３０°未満であることが好ましい。ダミー電極４５を設け、かつ凹み４４が前記ダミー電極４５表面まで達するように設けられている場合には、凹み４４の底部はダミー電極４５の表面に相当する。ＥＬ層（有機層）３５を形成するインキ材料を溶解する溶媒の主要成分は、アニソールであり、接触角θを用いて、アニソールの接触面の濡れ性を数値化することができる。この接触角θが小さいほど濡れ性が高いことになる。接触角θは、図１０に示すように、電極表面とアニソールの最も外側部分との接触位置におけるアニソールの外表面に沿った接線との成す角度である。 
　導電性を示す一対の電極のうちの一方の電極３２は通常隔壁よりも親液性を示すため、このような部材と同一の部材でダミー電極４５を形成する場合には、親液性を示すダミー電極４５を一方の電極３２と同一の工程で作製することができる。そのためダミー電極を設けない発光装置を形成するための工程数よりも工程数が増加することなく親液性を示すダミー電極４５を作製することができる。
　有機ＥＬ素子は一対の電極と該電極間に設けられる発光層とを含んで構成される。一対の電極のうちの支持基板２１側に配置される一方の電極３２は有機ＥＬ素子ごとに設けられ、支持基板２１上において行方向Ｘに等間隔をあけるとともに、列方向Ｙに等間隔をあけてそれぞれが離散的に配置される。本実施形態では一方の電極３２は板状であり、平面視で略矩形状である。
　一方の電極３２が形成された支持基板２１上には電気絶縁性を有する絶縁膜２４が必要に応じて設けられる。この絶縁膜２４には、一方の電極３２の表面がそれぞれ露出する開口２８が穿設されている。絶縁膜２４は、一方の電極３２の周縁部を覆うとともに、一方の電極３２間にわたって連続して形成されており、格子状に設けられている。各開口２８が形成されている領域に、いわゆる画素として互いに独立して発光する有機ＥＬ素子がそれぞれ形成される。この絶縁膜２４によって有機ＥＬ素子３１は互いに電気的に絶縁されている。前述の隔壁４１を構成する仕切り部４３は、格子状に形成される絶縁膜２４に接して、この絶縁膜２４上に設けられる。
　有機ＥＬ素子３１は一対の電極間に発光層以外にも必要に応じて所定の有機層や無機層が設けられる。これら発光層を含む有機層および無機層は、各仕切り部４３間に設けられ、列方向Ｙに沿って等間隔をあけて配置される複数の有機ＥＬ素子にまたがって、一枚の連なる層として設けられる。一対の電極間に設けられる有機層および無機層のうちの少なくとも一層は後述するノズルプリンティング法によって形成される。
　一対の電極のうちの他方の電極は、本実施形態では支持基板の厚み方向Ｚの一方から全有機ＥＬ素子にわたって連なるように形成される。すなわち共通の電極として他方の電極は設けられる。
　＜発光装置の製造方法＞
　次に発光装置１１の製造方法について説明する。
　まず支持基板２１を用意する。次に有機ＥＬ素子３１を構成する一対の電極のうちの支持基板２１側に配置される一方の電極３２をパターン形成する。
　一方の電極３２は工程の簡易さから塗布法によって形成することが好ましい。例えば光透過性を示す膜本体に、導電性を有するワイヤ状の導電体が配置されて構成される、後述の導電性樹脂電極を形成することが好ましい。塗布法によって形成される電極の詳細については後述する。なお一方の電極３２を形成する際に、この一方の電極３２と同一の部材からなるダミー電極４５を同時に形成することが好ましい。このようにダミー電極４５を一方の電極３２と同一の部材によって構成することにより、一方の電極３２と同一の工程でダミー電極４５を形成することができるため、工程数を増加させることなくダミー電極４５を形成することができる。
　なお塗布法ではなく、例えばスパッタリング法や蒸着法により、後述する電極材料からなる導電膜を支持基板２１全面に形成し、さらにフォトリソグラフィーによって導電膜をパターニングすることによってマトリクス状の電極３２を形成してもよく、また所定の基台上に一方の電極をパターン形成しておき、これを支持基板上に転写してもよい。
　次に絶縁膜２４を形成する。絶縁膜２４は無機物または有機物から構成される。絶縁膜２４を構成する無機物としては、例えばＳｉＯ2およびＳｉＮなどが挙げられる。絶縁膜２４は、プラズマＣＶＤ法やスパッタ法等の公知の方法により無機絶縁物を基板の全面に堆積させ、さらに堆積した無機物から成る薄膜をフォトリソグラフィーによって所定の形状にパターニングすることによって形成される。パターニングする際に前述した開口２８が穿設される。開口２８の行方向Ｘの幅、および列方向Ｙの幅は、それぞれ解像度などの設計によって適宜設定され、行方向Ｘの幅は通常３０μｍ～２００μｍであり、列方向Ｙの幅は通常１００μｍ～５００μｍである。
　またアクリル樹脂系、ノボラック樹脂系、及び／又は、ポリイミド樹脂系のポジ型またはネガ型の感光性材料（フォトレジスト）を用いて有機物から成る絶縁膜２４を形成してもよい。例えばフォトレジストを基板上に塗布し、所定のマスクを介して所定の領域に光を照射し、現像することによって、所定の形状にパターニングされた絶縁膜２４を得ることができる。パターニングする際に前述した開口２８が穿設される。フォトレジストを塗布する方法としては、スピンコーター（spin coater）、バーコーター(bar coater)、ロールコーター(roll coater)、ダイコーター(die coater)、グラビアコーター(gravure coater)、スリットコーター(slit coater)などを用いた方法を挙げることができる。
　このようにパターニングすることによって、支持基板２１の厚み方向の一方から見て、格子状の絶縁膜２４が形成される。絶縁膜２４は、各有機ＥＬ素子３１間の絶縁を図るために設けられる。絶縁膜２４の膜厚は、各有機ＥＬ素子３１間の絶縁を確保可能な厚さに設定され、通常０．１μｍ～１μｍであり、好ましくは０．２μｍ～０．４μｍである。また後述する有機材料の電気抵抗の大きさによっては絶縁膜２４を設けなくてもよい。
　次に隔壁４１を形成する。例えば前述したフォトレジストを全面に塗布し、所定のマスクを介して所定の領域に光を照射し、さらに現像することによって、外周部４２および仕切り部４３を有する隔壁４１が形成される。本実施形態では現像において、フォトレジストから成る層に、列方向Ｙに延伸する複数本の開口が穿設されるとともに、該複数本の開口の両端から所定の幅を残して列方向Ｙの一方および他方を除去することにより、外周部４２および仕切り部４３が形成される。この現像においてダミー電極４５の表面が露出する。このように外周部４２および仕切り部４３が同一工程で一体的に形成されるため、その高さは同じである。フォトレジストの塗布は、スピンコーター、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、グラビアコーター、スリットコーター等を用いた方法により行うことができる。隔壁４１の仕切り部４３は、仕切り部４３を介して行方向Ｘに隣り合う有機ＥＬ素子３１間の絶縁を図るとともに、行方向Ｘに隣り合う画素間の混色を防止するために設けられる。すなわち仕切り部４３間により規定される凹所にインキが供給された際にこのインキが仕切り部４３を越えて行方向Ｘに隣り合う凹所に溢れ出ることを防ぐためにこの仕切り部４３は設けられている。隔壁４１の高さはこのような観点から設定され、通常０．５μｍ～１．５μｍであり、好ましくは０．５μｍ～１．０μｍである。また仕切り部４３の行方向Ｘの幅は、解像度などの設計によって適宜設定され、２μｍ～５０μｍであり、好ましくは５μｍ～２０μｍである。また隣り合う仕切り部４３間の間隔は、解像度などの設計によって適宜設定され、通常４０μｍ～２２０μｍである。
　仕切り部４３間に供給されたインキを隔壁間に収容するために、隔壁４１は通常、撥液性を示すことが好ましい。有機物は、フッ素を含有する雰囲気においてプラズマ処理を行うことによって表面がフッ素化し、撥液化するので、隔壁４１形成後にフッ素を含有する雰囲気においてプラズマ処理することによって隔壁４１を撥液化することができる。例えばＣＦ4プラズマ処理を行うことによって隔壁４１の表面を撥液化することができる。なお前述した方法とは異なる方法によって隔壁４１に撥液性を付与してもよく、例えば撥液性を示す材料を混合した材料を用いて隔壁４１を形成してもよく、また隔壁４１表面に撥液性を示す物質を被覆する工程を隔壁４１形成後に設けてもよい。なお絶縁膜２４を有機物によって形成した場合には、フッ素含有雰囲気においてプラズマ処理を行うことによって、該絶縁膜２４も同時に撥液化される。
　次に一対の電極間に設けられる所定の有機層または無機層を形成する。有機ＥＬ素子は後述するように種々の層構成を有するが、以下では一対の電極間に発光層のみが設けられる構成の有機ＥＬ素子について説明する。
　本実施形態ではノズルプリンティング装置を用いて発光層を塗布法によって形成する方法について説明する。ノズルプリンティング装置としては市販のものを用いることができ、例えば大日本スクリーン製造社製のNP-300Gを用いることができる。
　まずノズルプリンティング装置を使って、発光層を形成する材料を含むインキを仕切り部４３間に供給する。インキは後述する発光材料と溶媒とを含む。ノズルプリンティング装置のノズルから液柱状のインキを吐出させた状態で、仕切り部４３間の上方に配置されたノズルを長手方向の一方に移動させることによって、仕切り部４３間にインキが供給される。ノズルプリンティング法では、いわゆる一筆書きでインキを塗布していく。すなわち液柱状のインキをノズルから吐出させながら、ノズルの走査として以下の（１）～（４）の工程をこの順で繰返すことによって、各仕切り部４３間にインキを順次供給することができる。（１）まず仕切り部４３間上方に配置されるノズルを、列方向Ｙの一方から他方（図１では下）に移動させ、（２）次に行方向Ｘの一方（図１では右）に隣り合う仕切り部４３間の上方にノズルを移動させて、（３）さらに仕切り部４３間上方に配置されるノズルを、列方向Ｙの他方から一方（図１では上）に移動させ、（４）そして行方向Ｘの一方（図１では右）に隣り合う仕切り部４３間の上方にノズルを移動させる。
　図３はインキ（ＥＬ層３５）を塗布した状態の支持基板２１の平面図であり、インキにはハッチングを施している。ノズルプリンティング法ではインキの吐出を止めることなく連続的にインキを塗布するため、隔壁４１の外周部４２を越えてインキが塗布される。すなわち仕切り部４３間以外の領域にもインキが塗布される。インキ（ＥＬ層３５）は、Ｙ方向に平行な一対の塗布ラインＴＬ間の領域に供給され、この塗布ラインＴＬの幅ｗは、仕切り部４３間の隔壁開口領域であるスリットのＸ方向幅に等しい。本実施形態では外周部４２の列方向Ｙ（仕切り部長手方向）の一端および他端に凹み４４が形成されているため、隔壁４１の外周部４２を越えて塗布されたインキが、この凹み４４に供給される。そしてこの外周部４２は、仕切り部４３間と凹み４４とを隔離する仕切りとして機能する。これによって隔壁４１の外周部４２を越えて塗布されたインキが、仕切り部４３間に逆流することを防ぐことができる。
　特に本実施形態ではダミー電極４５が一方の電極３２と同一部材で構成される。一方の電極３２を構成する材料は通常親液性を示し、アニソールに対する接触角が３０°未満である。本実施形態ではこのような親液性を示すダミー電極４５が露出して設けられている。したがって隔壁４１の外周部４２を越えて塗布されたインキはダミー電極４５上で濡れ拡がることになり、一度ダミー電極４５上に塗布されたインキは、ダミー電極４５上に確保されるため、隔壁４１の外周部４２を越えて塗布されたインキが、仕切り部４３間に逆流することを効率的に防ぐことができる。
　このように隔壁４１の外周部４２を越えて塗布されたインキが仕切り部４３間に逆流することを防ぐことができるため、仕切り部４３間に供給されて塗布成膜された塗布膜の膜厚を、列方向Ｙにわたって均一にすることができる。
　なお仕切り部４３の長手方向の一端および他端がそれぞれ連結する外周部の列方向Ｙの幅Ｌが広ければ、この外周部上でインキが濡れ拡がり、結果として外周部上に塗布されたインキが仕切り部４３間に逆流してしまうことになる。そのためこの外周部上でのインキの濡れ拡がりを防ぐためにも、仕切り部４３の長手方向の一端および他端がそれぞれ連結する外周部の列方向Ｙの幅Ｌは、２００μｍ以下が好ましく、さらに好ましくは１００μｍ以下である。
　なおモノクロ表示装置用の表示パネルであれば、混色の問題は生じないが、例えばカラー表示装置用の表示パネルであれば、混色が重大な問題となる。例えばカラー表示装置用の表示パネルであれば、赤色で発光するＲ発光材料と、緑色で発光するＧ発光材料と、青色で発光するＢ発光材料とをそれぞれ含む３種類のインキを列毎に塗り分ける必要がある。具体的にはＲ発光材料を含むインキ、Ｇ発光材料を含むインキ、Ｂ発光材料を含むインキをそれぞれ２列の間隔をあけてそれぞれ仕切り部４３間に塗布することによって３種類のインキを塗り分けている。ノズルプリンティング法を用いた場合には、各種類のインキはそれぞれ前述した一筆書きで２列の間隔をあけて仕切り部４３間に塗布する。凹み４４を設けていない従来の基板を用いた場合、外周部４２上に塗布された３種類のインキが外周部４２上で混ざり合うとともに、混ざったインキが仕切り部４３間に逆流するために混色が生じうるが（例えば図６，図７参照）、本実施形態では、インキが濡れ拡がることによって、凹み４４においてインキが混ざり合ったとしても、凹み４４を設けることによって外周部４２が仕切りとして機能するため、混ざり合ったインキが仕切り部４３間に逆流することを防ぐことができるので、混色の問題を防ぐことができる。
　なおダミー電極４５は図１では行方向Ｘに連なるように設けているが、図２０に示すように、一方の電極３２と同様に、複数のダミー電極４５を行方向Ｘに沿って離散的に設けた場合、親液性を示すダミー電極４５上にインキが保持される。なお、図２０では、発光装置１１の内部構造が分かりやすいように、発光層の形成前の状態を示している。ダミー電極４５は、支持基板２１の表面上に設けられており、本例では、隔壁４１の開口領域毎に設けられている。図２０の発光装置は、複数のダミー電極４５が離間している点を除いて、前述の発光装置と同一である。
　インキを塗布後、大気雰囲気、不活性ガス雰囲気および真空雰囲気などの雰囲気において所定の温度で所定の時間加熱することによって、発光層を形成することができる。
　発光層を形成した後、例えば他方の電極を形成する。本実施形態では他方の電極は、後述する電極材料を用いて蒸着法および／又はスパッタリング法などによって、例えば支持基板の厚み方向Ｚの一方から全有機ＥＬ素子にわたって連なるように形成される。
　図１１は、単一の有機ＥＬ素子３１の縦断面図である。
　有機ＥＬ素子３１は、支持基板２１上に形成された下部電極３２と、下部電極３２上に形成された発光層３４（ＥＬ層３５）と、ＥＬ層３５上に形成された上部電極３２とを備えている。下部電極３２と上部電極３３との間にバイアス電圧をかけると、それぞれの電極から電子及び正孔がＥＬ層３５内に注入され、注入された電子と正孔が発光層３４で結合することで、発光層３４が発光し、基板２１の厚み方向に光が出射される。電極３２及び３３の少なくとも一方を透明電極で作製すれば、透明電極を出射光が透過し、外部に出力される。下部電極３２及び支持基板２１が透明である場合には、発光層３４からの光は、これらを透過して外部に出力される。
　以上の説明では一対の電極３２，３３間に発光層３４のみが設けられる形態について説明したが、一対の電極間には、発光層３４とは異なる所定の層を設けることができる。これら所定の層は、塗布法を用いて形成することが可能であれば、発光層３４と同様に、所定の層を形成する材料を含むインキを用いて、前述したノズルプリンティング法によって形成することが好ましい。上記所定の層及び発光層３４は、全体として発光に寄与しているので、ＥＬ層３５を構成している。また、一例として下側の電極３２を陽極とし、上側の電極３３を陰極とする。
　図１２は、有機ＥＬ素子３１の縦断面図であり、上部電極３３と発光層３４との間には層Ｘが介在しており、下部電極３２と発光層３４との間には、層Ｙが介在している。層Ｘ及び層Ｙは、それぞれ１種類又は複数種類の層からなる。
　上部電極３３を陰極とすると、陰極（電極３３）と発光層３４との間に設けられる層Ｘとしては、電子注入層、電子輸送層、正孔ブロック層などを挙げることができる。層Ｘが単一の層からなる場合、これを電子輸送層とする。
　図１３は、有機ＥＬ素子３１の縦断面図であり、上部電極３３と発光層３４とが直接、接触しており、下部電極３２と発光層３４との間には、層Ｙが介在している。層Ｙは、１種類又は複数種類の層からなり、下部電極３２と発光層３４の双方に接触している。
　図１４は、有機ＥＬ素子３１の縦断面図であり、下部電極３２と発光層３４とが直接、接触しており、上部電極３３と発光層３４との間には、層Ｘが介在している。層Ｘは、１種類又は複数種類の層からなり、上部電極３３と発光層３４の双方に接触している。
　図１５は、有機ＥＬ素子３１の縦断面図であり、上部電極３３と発光層３４との間に、２つの層Ｘ１及びＸ２が介在している例を示している。すなわち、陰極（電極３３）と発光層３４との間に電子注入層Ｘ１と電子輸送層Ｘ２との両方の層が設けられる場合、陰極（電極３３）に接する層を電子注入層Ｘ１といい、この電子注入層Ｘ１を除く層を電子輸送層Ｘ２という。
　電子注入層Ｘ１は、陰極からの電子注入効率を改善する機能を有する層である。電子輸送層Ｘ２は、陰極、電子注入層または陰極により近い電子輸送層からの電子注入を改善する機能を有する層である。正孔ブロック層は、正孔の輸送を堰き止める機能を有する層である。なお電子注入層、及び／又は電子輸送層が正孔の輸送を堰き止める機能を有する場合には、これらの層が正孔ブロック層を兼ねることがある。
　正孔ブロック層が正孔の輸送を堰き止める機能を有することは、例えばホール電流のみを流す素子を作製し、その電流値の減少で堰き止める効果を確認することが可能である。
　図１６は、有機ＥＬ素子３１の縦断面図であり、下部電極３２と発光層３４との間に、２つの層Ｙ１及びＹ２が介在している例を示している。すなわち、陽極（電極３２）と発光層３４との間に設けられる層Ｙとしては、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層などを挙げることができる。陽極（電極３２）と発光層３４との間に、一層のみが設けられる場合には、該層を正孔注入層という。陽極（電極３２）と発光層３４との間に、正孔注入層Ｙ１と正孔輸送層Ｙ２との両方の層が設けられる場合、陽極（電極３２）に接する層を正孔注入層Ｙ１といい、この正孔注入層Ｙ１を除く層を正孔輸送層Ｙ２という。
　正孔注入層Ｙ１は、陽極（電極３２）からの正孔注入効率を改善する機能を有する層である。正孔輸送層Ｙ２は、陽極（電極３２）、正孔注入層Ｙ１または陽極により近い正孔輸送層からの正孔注入を改善する機能を有する層である。電子ブロック層は、電子の輸送を堰き止める機能を有する層である。なお正孔注入層、及び／又は正孔輸送層が電子の輸送を堰き止める機能を有する場合には、これらの層が電子ブロック層を兼ねることがある。
　電子ブロック層が電子の輸送を堰き止める機能を有することは、例えば、電子電流のみを流す素子を作製し、その電流値の減少で堰き止める効果を確認することが可能である。
　なお、電子注入層および正孔注入層を総称して電荷注入層と言う場合があり、電子輸送層および正孔輸送層を総称して電荷輸送層と言う場合がある。
　有機ＥＬ素子のとりうる層構成の一例を以下に示す。
ａ）陽極／発光層／陰極：（図１１に示す構成）
ｂ）陽極／正孔注入層／発光層／陰極：（図１３において、層Ｙを正孔注入層とした構成）
ｃ）陽極／正孔注入層／発光層／電子注入層／陰極：(図１２において層Ｙを正孔注入層とし、層Ｘを電子注入層とした構成)
ｅ）陽極／正孔注入層／発光層／電子輸送層／陰極：(図１２において層Ｙを正孔注入層とし、層Ｘを電子輸送層とした構成)
ｆ）陽極／正孔注入層／発光層／電子輸送層／電子注入層／陰極：(図１２において、層Ｘを正孔注入層とし、層Ｙとして図１６の構造を採用した構成)
ｄ）陽極／正孔輸送層／発光層／陰極：（図１３において層Ｙを正孔輸送層とした構成）
ｅ）陽極／正孔輸送層／発光層／電子注入層／陰極：(図１２において層Ｙを正孔輸送層とし、層Ｙを電子注入層とした構成)
ｆ）陽極／正孔輸送層／発光層／電子輸送層／陰極：(図１２において層Ｙを正孔輸送層とし、層Ｘを電子輸送層とした構成)
ｇ）陽極／正孔輸送層／発光層／電子輸送層／電子注入層／陰極：(図１２において層Ｙを正孔輸送層とし、層Ｘを図１５に示す電子輸送層Ｘ２／電子注入層Ｘ１構造とした構成)
ｈ）陽極／正孔注入層／正孔輸送層／発光層／陰極：（図１３において層Ｙを、図１６に示す正孔注入層Ｙ１／正孔輸送層Ｙ２構造とした構成）
ｉ）陽極／正孔注入層／正孔輸送層／発光層／電子注入層／陰極：(図１２において、層Ｙを図１６に示す正孔注入層Ｙ１／正孔輸送層Ｙ２構造とし、層Ｘを電子注入層とした構成)
ｊ）陽極／正孔注入層／正孔輸送層／発光層／電子輸送層／陰極：(図１２において、層Ｙを図１６に示す正孔注入層Ｙ１／正孔輸送層Ｙ２構造とし、層Ｘを電子輸送層とした構成)
ｋ）陽極／正孔注入層／正孔輸送層／発光層／電子輸送層／電子注入層／陰極：(図１２において、層Ｙを図１６に示す正孔注入層Ｙ１／正孔輸送層Ｙ２構造とし、層Ｘを図１５に示す電子輸送層Ｘ２／電子注入層Ｘ１構造とした構成)
ｌ）陽極／発光層／電子注入層／陰極：(図１４において、層Ｘを電子注入層とした構成)
ｍ）陽極／発光層／電子輸送層／陰極：(図１４において、層Ｘを電子輸送層とした構成)
ｎ）陽極／発光層／電子輸送層／電子注入層／陰極：(図１４において、層Ｘを図１５に示す電子輸送層Ｘ２／電子注入層Ｘ１構造とした構成)
　なお、記号「／」は、記号「／」を挟む各層が隣接して積層されていることを示す。以下同じ。
　本実施形態の有機ＥＬ素子は、２層以上の発光層を有していてもよく、２層の発光層を有する有機ＥＬ素子としては、上記ａ）～ｎ）の層構成のうちのいずれか１つにおいて、陽極と陰極とに挟持された積層体を「繰り返し単位Ａ」とすると、図１７に示すように、以下のｏ）に示す層構成とすることができる。
ｏ）陽極／（繰り返し単位Ａ）／電荷注入層Ｚ／（繰り返し単位Ａ）／陰極
　すなわち、図１７では、電極３２，３２間に、積層体Ａ（繰り返し単位Ａ）が、複数介在しており、積層体Ａ間には電荷注入層Ｚが介在している。
　また、３層以上の発光層を有する有機ＥＬ素子としては、「（繰り返し単位Ａ）／電荷注入層Ｚ」を「繰り返し単位Ｂ」とすると、図１８に示すように、以下のｐ）に示す層構成とすることができる。
ｐ）陽極／（繰り返し単位Ｂ）ｘ／（繰り返し単位Ａ）／陰極
　なお記号「ｘ」は、２以上の整数を表し、（繰り返し単位Ｂ）ｘは、繰り返し単位Ｂがｘ段積層された積層体を表す。
　すなわち、図１８では、電極３２，３２間に、積層体Ｂ（繰り返し単位Ｂ）が、数ｘだけ介在しており、複数の積層体Ｂの最も外側に位置するものに隣接して、積層体Ａが位置しており、積層体Ａには電極３２が隣接している。
　ここで、電荷注入層（Ｚ）とは電界を印加することにより、正孔と電子を発生する層である。電荷注入層としては、例えば酸化バナジウム、インジウムスズ酸化物（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ：略称ＩＴＯ）、酸化モリブデンなどから成る薄膜を挙げることができる。
　有機ＥＬ素子は、通常基板側に陽極が配置されるが、基板側に陰極を配置するようにしてもよい。積層する層の順序、層数、および各層の厚さについては、発光効率や素子寿命を勘案して適宜設定することができる。
　次に、有機ＥＬ素子を構成する各層の材料および形成方法について、より具体的に説明する。
　＜支持基板＞
　支持基板は、有機ＥＬ素子を製造する工程において変化しないものが好適に用いられ、例えばガラス、プラスチック、高分子フィルム、およびシリコン基板、並びにこれらを積層したものなどが用いられる。なお有機ＥＬ素子を駆動する回路が形成された駆動基板を支持基板として用いてもよく、例えばＴＦＴ（Thin Film Transistor）基板を支持基板として設けてもよい。
　＜陽極＞
　発光層(３４)から放射される光が陽極（電極３２）を通って素子外に出射する構成の有機ＥＬ素子の場合、陽極には光透過性を示す電極が用いられ、光透過性を示す膜本体に、導電性を有するワイヤ状の導電体が配置されて構成される薄膜（以下、「導電性樹脂電極」ということがある）を電極として用いることができる。
　図１９は、導電性樹脂電極からなる下部電極３２（又は上部電極３３）の斜視図である。このような導電性樹脂電極は例えば塗布法によって形成することができる。膜本体Ｍは、可視光領域の光の透過率が高いものが好適に用いられ、樹脂や無機ポリマー、無機－有機ハイブリッド化合物などを含んで構成される。膜本体Ｍとしては、導電性を有する樹脂が好適に用いられる。このようにワイヤ状の導電体Ｗに加えて、導電性を有する膜本体Ｍを用いることによって、電気抵抗を下げることができる。電極の膜厚は、電気抵抗および可視光の透過率などによって適宜設定され、例えば、０.０２μｍ～２μｍであり、好ましくは０．０２～１μｍであるである。
　ワイヤ状の導電体Ｗの径は、小さい方が好ましく、例えば４００ｎｍ以下であり、２００ｎｍ以下であることが好ましく、１００ｎｍ以下であることがさらに好ましい。膜本体に配置されるワイヤ状の導電体は、当該電極を通る光を回折または散乱するので、ヘイズ値（Haze Factor）を高めるとともに、光の透過率を低下させるが、可視光の波長程度または可視光の波長よりも小さい径のワイヤ状の導電体Ｗを用いることによって、可視光に対するヘイズ値を低く抑えるとともに、光の透過率の低下を抑制することができる。またワイヤ状の導電体の径は、小さすぎると抵抗が高くなるので、その径は１０ｎｍ以上が好ましい。
　膜本体Ｍ中に配置されるワイヤ状の導電体Ｗは、１本でも複数本でもよく、膜本体中において網目構造を形成していることが好ましい。例えば膜本体Ｍ中において、１つまたは複数のワイヤ状の導電体Ｗは、膜本体の全体にわたって複雑に絡み合って配置され、網目構造を形成していることが好ましい。例えば１本のワイヤ状の導電体Ｗが複雑に絡み合ったり、複数本のワイヤ状の導電体Ｗが互いに接触し合って配置されたりする構造が、２次元的または３次元的に広がって網目構造を形成していればよい。この網目構造を形成するワイヤ状の導電体Ｗによって導電性樹脂電極（電極３２）の体積抵抗率を下げることができる。
　ワイヤ状の導電体Ｗは、例えば曲線状でも、針状でもよい。曲線状及び／又は針状の導電体が互いに接触し合って網目構造を形成することによって、体積抵抗率の低い電極を実現することができる。
　（ワイヤ状の導電体）
　ワイヤ状の導電体Ｗの材料としては、抵抗の低い金属が好適に用いられ、例えば、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｌおよびこれらの合金などを挙げることができる。ワイヤ状の導電体Ｗは、例えばN.R.Jana, L.Gearheart and C.J.Murphyによる方法（Chm.Commun.,2001, p617-p618）や、C.Ducamp-Sanguesa, R.Herrera-Urbina, and M.Figlarz等による方法（J. Solid State Chem.,Vol.100, 1992, p272～p280）によって製造することができる。ワイヤ状の導電体Ｗとして、例えばアミノ基含有高分子系分散剤（アイ・シー・アイ・ジャパン（Ｉ．Ｉ．Ｃ　ＪＡＰＡＮ）社製、商品名「ソルスパース２４０００ＳＣ」）で表面を保護した銀ナノワイヤー（長軸平均長さ１μｍ、短軸平均長さ１０ｎｍ）を用いることができる。
　光透過性を示す膜本体Ｍに、導電性を有するワイヤ状の導電体Ｗが配置されて構成される薄膜を形成する方法としては、例えばワイヤ状の導電体Ｗを樹脂に練り込むことによって、ワイヤ状の導電体Ｗを樹脂（膜本体Ｍ）に分散させる方法、ワイヤ状の導電体Ｗと、樹脂とを分散媒に分散させた分散液を所定の塗布法によって成膜化する方法、およびワイヤ状の導電体Ｗを樹脂から成る膜の表面にコーティングし、導電体Ｗを膜中に分散させる方法などを挙げることができる。なお分散液には必要に応じて界面活性剤や酸化防止剤などの各種添加剤を加えてもよい。樹脂の種類は、屈折率、透光率および電気抵抗などの電極に求められる特性に応じて適宜選ばれる。
　またワイヤ状の導電体Ｗを分散させる量は、電極の電気抵抗、ヘイズ値および透光率などに影響するので、導電性樹脂電極に求められる特性に応じて適宜設定される。
　導電性樹脂電極は、導電性を有するワイヤ状の導電体Ｗを分散媒に分散させた分散液を、所定の塗布法によって塗布成膜し、この膜をさらに硬化することによって得られる。
　分散液は、ワイヤ状の導電体Ｗと樹脂とを分散媒に分散させることによって調製される。この分散媒としては、たとえば樹脂を溶解または分散するものであればよく、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン等の塩素系溶媒、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチルセルソルブアセテート等のエステル系溶媒を挙げることができる。
　また、この樹脂としては例えば低密度または高密度のポリエチレン、エチレン－プロピレン共重合体、エチレン－ブテン共重合体、エチレン－ヘキセン共重合体、エチレン－オクテン共重合体、エチレン－ノルボルネン共重合体、エチレン－ジメタノ－オクタヒドロナフタレン共重合体、ポリプロピレン、エチレン－酢酸ビニル共重合体、エチレン－メチルメタクリレート共重合体、アイオノマー樹脂などのポリオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂；ナイロン－６、ナイロン－６，６、メタキシレンジアミン－アジピン酸縮重合体；ポリメチルメタクリルイミドなどのアミド系樹脂；ポリメチルメタクリレートなどのアクリル系樹脂；ポリスチレン、スチレン－アクリロニトリル共重合体、スチレン－アクリロニトリル－ブタジエン共重合体、ポリアクリロニトリルなどのスチレン－アクリロニトリル系樹脂；トリ酢酸セルロース、ジ酢酸セルロースなどの疎水化セルロース系樹脂；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレンなどのハロゲン含有樹脂；ポリビニルアルコール、エチレン－ビニルアルコール共重合体、セルロース誘導体などの水素結合性樹脂；ポリカーボネート樹脂、ポリサルホン樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリフェニレンオキシド樹脂、ポリメチレンオキシド樹脂、ポリアリレート樹脂、液晶樹脂などのエンジニアリングプラスチック系樹脂などが挙げられる。
　また、この樹脂としては導電性を有する樹脂が好適に用いられ、導電性を有する樹脂としては例えばポリアニリン、ポリチオフェンの誘導体などが挙げられる。例えば屈折率が１．７のポリ（エチレンジオキシチオフェン）／ポリスチレンスルホン酸の溶液（スタルク社製、商品名「ＢａｙｔｒｏｎＰ」）を用いることができる。
　導電性樹脂電極の屈折率は、樹脂などによって構成される膜本体の屈折率によって主に決まる。この膜本体の屈折率は例えば、用いる樹脂の種類によって主に決まるので、用いる樹脂を選択することによって、意図する屈折率を示す導電性樹脂電極を容易に形成することができる。例えば一方の電極が支持基板に接して設けられる場合、一方の電極と支持基板との屈折率差は小さい方が好ましく、例えば差の絶対値は０．４未満が好ましく、屈折率の数値としては１．８以下が好ましい。導電性樹脂電極の屈折率は、膜本体に用いる樹脂の種類を適宜選択することによって所期の値に設定することができるため、支持基板との屈折率の関係を上述の範囲内に設定することができる。
　なお感光性フォトレジストに用いられる感光性材料および光硬化性モノマーに、ワイヤ状の導電体を分散させた分散液を用いれば、塗布法およびフォトリソグラフィーによって所定のパターン形状を有する電極を容易に形成することができる。例えばトリメチロールプロパントリアクリレート（新中村化学社製、商品名「ＮＫエステル－ＴＭＰＴ」）および重合開始剤（日本チバ・ガイギー社製、商品名「イルガキュア(IRGACURE)９０７」）などを用いることができる。
　ワイヤ状の導電体を分散した分散液の塗布方法としては、ディッピング(dipping)法、バーコータによるコーティング法、スピンコーターによるコーティング法、ドクターブレード（doctor blade）法、噴霧塗布法、スクリーンメッシュ印刷法、刷毛塗り、吹き付け、ロールコーティングなどを挙げることができる。なお熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂を用いる場合には、分散液を塗布した後に、加熱または光照射によって塗膜を硬化させることができる。
　通常光透過性を示す電極にはＩＴＯが使われている。ＩＴＯの屈折率は、２程度であり、ガラス基板の屈折率は、１．５程度であり、ＩＴＯに接する部分（たとえば発光層）の屈折率は、１．７程度なので、電極としてＩＴＯを用いた場合には、屈折率の低いガラス基板と発光層との間に、屈折率の高いＩＴＯが挟まれた構造を有することになる。そのため発光層から放射される光の一部が全反射などによってＩＴＯで反射され、光を効率的に外に出射させることができないことがある。しかしながら上述のような屈折率の低い導電性樹脂電極を用いることによって、電極での反射を抑制することができ、光を効率的に外に出射させることができる。
　なお上述した導電性樹脂電極以外にも、電気伝導度の高い金属酸化物、金属硫化物および金属などの薄膜を陽極として用いることができる。具体的には、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、ＩＴＯ、インジウム亜鉛酸化物（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ：略称ＩＺＯ）、金、白金、銀、および銅などから成る薄膜が用いられ、これらの中でもＩＴＯ、ＩＺＯ、または酸化スズから成る薄膜が好適に用いられる。陽極の作製方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、メッキ法などを挙げることができる。また、該陽極として、ポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体などの有機の透明導電膜を用いてもよい。
　陽極には、光を反射する材料を用いてもよく、該材料としては、仕事関数３．０ｅＶ以上の金属、金属酸化物、金属硫化物が好ましい。
　陽極の膜厚は、光の透過性と電気伝導度とを考慮して、適宜選択することができ、例えば１０ｎｍ～１０μｍであり、好ましくは２０ｎｍ～１μｍであり、さらに好ましくは５０ｎｍ～５００ｎｍである。
　＜正孔注入層＞
　正孔注入層を構成する正孔注入材料としては、酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、および酸化アルミニウムなどの酸化物や、フェニルアミン系、スターバースト型アミン系、フタロシアニン系、アモルファスカーボン、ポリアニリン、およびポリチオフェン誘導体などを挙げることができる。
　正孔注入層の成膜方法としては、例えば正孔注入材料を含む溶液からの成膜を挙げることができる。溶液からの成膜に用いられる溶媒としては、正孔注入材料を溶解させるものであれば特に制限はなく、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタンなどの塩素系溶媒、テトラヒドロフランなどのエーテル系溶媒、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶媒、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチルセルソルブアセテートなどのエステル系溶媒、および水を挙げることができる。
　溶液からの成膜方法としては、ノズルプリンティング法、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、インキジェットプリント法などの塗布法を挙げることができ、本実施形態では前述したノズルプリンティング法が好適に用いられる。
　正孔注入層の膜厚は、素子設計に基づいて適宜最適な値が設定され、例えば１ｎｍ～１μｍであり、好ましくは２ｎｍ～５００ｎｍであり、さらに好ましくは５ｎｍ～２００ｎｍである。
　＜正孔輸送層＞
　正孔輸送層を構成する正孔輸送材料としては、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、ポリシラン若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン誘導体、ピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体、ポリアニリン若しくはその誘導体、ポリチオフェン若しくはその誘導体、ポリアリールアミン若しくはその誘導体、ポリピロール若しくはその誘導体、ポリ（ｐ－フェニレンビニレン）若しくはその誘導体、又はポリ（２，５－チエニレンビニレン）若しくはその誘導体などを挙げることができる。
　これらの中で正孔輸送材料としては、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、ポリシラン若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミン化合物基を有するポリシロキサン誘導体、ポリアニリン若しくはその誘導体、ポリチオフェン若しくはその誘導体、ポリアリールアミン若しくはその誘導体、ポリ（ｐ－フェニレンビニレン）若しくはその誘導体、又はポリ（２，５－チエニレンビニレン）若しくはその誘導体などの高分子正孔輸送材料が好ましく、さらに好ましくはポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、ポリシラン若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン誘導体である。低分子の正孔輸送材料の場合には、高分子バインダーに分散させて用いることが好ましい。
　正孔輸送層の成膜方法としては、特に制限はないが、低分子の正孔輸送材料では、高分子バインダーと正孔輸送材料とを含む混合液からの成膜を挙げることができ、高分子の正孔輸送材料では、正孔輸送材料を含む溶液からの成膜を挙げることができる。
　溶液からの成膜に用いられる溶媒としては、正孔輸送材料を溶解させるものであれば特に制限はなく、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタンなどの塩素系溶媒、テトラヒドロフランなどのエーテル系溶媒、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶媒、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチルセルソルブアセテートなどのエステル系溶媒などを挙げることができる。
　溶液からの成膜方法としては、前述した正孔注入層の成膜法と同様の塗布法を挙げることができ、本実施形態では前述したノズルプリンティング法が好適に用いられる。
　混合する高分子バインダーとしては、電荷輸送を極度に阻害しないものが好ましく、また可視光に対する吸収の弱いものが好適に用いられ、例えばポリカーボネート、ポリアクリレート、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリシロキサンなどを挙げることができる。
　正孔輸送層の膜厚は、素子設計に基づいて適宜最適な値が設定され、例えば１ｎｍ～１μｍであり、好ましくは２ｎｍ～５００ｎｍであり、さらに好ましくは５ｎｍ～２００ｎｍである。
　＜発光層＞
　発光層は、通常、主として蛍光及び／又はりん光を発光する有機物、または該有機物とこれを補助するドーパントとから形成される。ドーパントは、例えば発光効率の向上や、発光波長を変化させるために加えられる。なお有機物は、低分子化合物でも高分子化合物でもよく、発光層は、ポリスチレン換算の数平均分子量が１０3～１０8である高分子化合物を含むことが好ましい。発光層を構成する発光材料としては、例えば以下の色素系材料、金属錯体系材料、高分子系材料、ドーパント材料を挙げることができる。
　（色素系材料）
　色素系材料としては、例えば、シクロペンダミン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体化合物、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、ピロール誘導体、チオフェン環化合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマー、キナクリドン誘導体、クマリン誘導体などを挙げることができる。
　（金属錯体系材料）
　金属錯体系材料としては、例えば中心金属に、Ａｌ、Ｚｎ、Ｂｅなど、またはＴｂ、Ｅｕ、Ｄｙなどの希土類金属を有し、配位子にオキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造などを有する金属錯体を挙げることができ、例えばイリジウム錯体、白金錯体などの三重項励起状態からの発光を有する金属錯体、アルミキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾリル亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロピウム錯体などを挙げることができる。
　（高分子系材料）
　高分子系材料としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、上記色素系材料や金属錯体系発光材料を高分子化したものなどを挙げることができる。
　上記発光性材料のうち、青色に発光する材料としては、ジスチリルアリーレン誘導体、オキサジアゾール誘導体、およびそれらの重合体、ポリビニルカルバゾール誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体などを挙げることができる。なかでも高分子材料のポリビニルカルバゾール誘導体、ポリパラフェニレン誘導体やポリフルオレン誘導体などが好ましい。
　また、緑色に発光する材料としては、キナクリドン誘導体、クマリン誘導体、およびそれらの重合体、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体などを挙げることができる。なかでも高分子材料のポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体などが好ましい。
　また、赤色に発光する材料としては、クマリン誘導体、チオフェン環化合物、およびそれらの重合体、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリフルオレン誘導体などを挙げることができる。なかでも高分子材料のポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリフルオレン誘導体などが好ましい。
　（ドーパント材料）
　ドーパント材料としては、例えばペリレン誘導体、クマリン誘導体、ルブレン誘導体、キナクリドン誘導体、スクアリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、スチリル系色素、テトラセン誘導体、ピラゾロン誘導体、デカシクレン、フェノキサゾンなどを挙げることができる。なお、このような発光層の厚さは、通常約２ｎｍ～２００ｎｍである。
　＜発光層の成膜方法＞
　発光層の成膜方法としては、発光材料を含む溶液を塗布する方法、真空蒸着法、転写法などを用いることができる。溶液からの成膜に用いる溶媒としては、前述の溶液から正孔輸送層を成膜する際に用いられる溶媒と同様の溶媒を挙げることができる。
　発光材料を含む溶液を塗布する方法としては、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スリットコート法、キャピラリーコート法、スプレーコート法およびノズルプリンティング法などのコート法、並びにグラビア印刷法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、反転印刷法、インキジェットプリント法などの塗布法を挙げることができ、本実施形態では前述したノズルプリンティング法が好適に用いられる。
　＜電子輸送層＞
　電子輸送層を構成する電子輸送材料としては、公知のものを使用でき、オキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタン若しくはその誘導体、ベンゾキノン若しくはその誘導体、ナフトキノン若しくはその誘導体、アントラキノン若しくはその誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタン若しくはその誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレン若しくはその誘導体、ジフェノキノン誘導体、又は８－ヒドロキシキノリン若しくはその誘導体の金属錯体、ポリキノリン若しくはその誘導体、ポリキノキサリン若しくはその誘導体、ポリフルオレン若しくはその誘導体などを挙げることができる。
　これらのうち電子輸送材料としては、オキサジアゾール誘導体、ベンゾキノン若しくはその誘導体、アントラキノン若しくはその誘導体、又は８－ヒドロキシキノリン若しくはその誘導体の金属錯体、ポリキノリン若しくはその誘導体、ポリキノキサリン若しくはその誘導体、ポリフルオレン若しくはその誘導体が好ましく、２－（４－ビフェニリル）－５－（４－ｔ－ブチルフェニル）－１，３，４－オキサジアゾール、ベンゾキノン、アントラキノン、トリス（８－キノリノール）アルミニウム、ポリキノリンがさらに好ましい。
　電子輸送層の成膜法としては特に制限はないが、低分子の電子輸送材料では、粉末からの真空蒸着法、または溶液若しくは溶融状態からの成膜を挙げることができ、高分子の電子輸送材料では溶液または溶融状態からの成膜を挙げることができる。なお溶液または溶融状態からの成膜する場合には、高分子バインダーを併用してもよい。溶液から電子輸送層を成膜する方法としては、前述の溶液から正孔輸送層を成膜する方法と同様の成膜法を挙げることができ、本実施形態では前述したノズルプリンティング法が好適に用いられる。
　電子輸送層の膜厚は、用いる材料によって最適値が異なり、駆動電圧と発光効率が適度な値となるように適宜設定され、少なくともピンホールが発しないような厚さが必要であり、あまり厚いと、素子の駆動電圧が高くなり好ましくない。従って該電子輸送層の膜厚としては、例えば１ｎｍ～１μｍであり、好ましくは２ｎｍ～５００ｎｍであり、さらに好ましくは５ｎｍ～２００ｎｍである。
　＜電子注入層＞
　電子注入層を構成する材料としては、発光層の種類に応じて最適な材料が適宜選択され、アルカリ金属、アルカリ土類金属、アルカリ金属およびアルカリ土類金属のうちの１種類以上含む合金、アルカリ金属若しくはアルカリ土類金属の酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩、またはこれらの物質の混合物などを挙げることができる。アルカリ金属、アルカリ金属の酸化物、ハロゲン化物、および炭酸塩の例としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、酸化リチウム、フッ化リチウム、酸化ナトリウム、フッ化ナトリウム、酸化カリウム、フッ化カリウム、酸化ルビジウム、フッ化ルビジウム、酸化セシウム、フッ化セシウム、炭酸リチウムなどを挙げることができる。また、アルカリ土類金属、アルカリ土類金属の酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩の例としては、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ストロンチウム、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、酸化カルシウム、フッ化カルシウム、酸化バリウム、フッ化バリウム、酸化ストロンチウム、フッ化ストロンチウム、炭酸マグネシウムなどを挙げることができる。電子注入層は、２層以上を積層した積層体で構成されてもよく、例えばＬｉＦ／Ｃａなどを挙げることができる。電子注入層は、蒸着法、スパッタリング法、印刷法などにより形成される。電子注入層の膜厚としては、１ｎｍ～１μｍ程度が好ましい。
　＜陰極＞
　陰極の材料としては、仕事関数の小さく、発光層への電子注入が容易で、電気伝導度の高い材料が好ましい。また陽極側から光を取出す有機ＥＬ素子では、発光層からの光を陰極で陽極側に反射するために、陰極の材料としては可視光反射率の高い材料が好ましい。陰極には、例えばアルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属および周期表１３族金属などを用いることができる。陰極の材料としては、例えばリチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、アルミニウム、スカンジウム、バナジウム、亜鉛、イットリウム、インジウム、セリウム、サマリウム、ユーロピウム、テルビウム、イッテルビウムなどの金属、前記金属のうちの２種以上の合金、前記金属のうちの１種以上と、金、銀、白金、銅、マンガン、チタン、コバルト、ニッケル、タングステン、錫のうちの１種以上との合金、またはグラファイト若しくはグラファイト層間化合物などが用いられる。合金の例としては、マグネシウム－銀合金、マグネシウム－インジウム合金、マグネシウム－アルミニウム合金、インジウム－銀合金、リチウム－アルミニウム合金、リチウム－マグネシウム合金、リチウム－インジウム合金、カルシウム－アルミニウム合金などを挙げることができる。
　また陰極（電極３３）としては、陽極の項で説明した塗布法により形成可能な導電性樹脂電極や、導電性金属酸化物および導電性有機物などから成る透明導電性電極を用いることができる。具体的には導電性金属酸化物として酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、ＩＴＯ、およびＩＺＯを挙げることができ、導電性有機物としてポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体などを挙げることができる。なお、陰極は、２層以上を積層した積層体で構成されていてもよい。なお、電子注入層が陰極として用いられる場合もある。
　なお、陰極を構成する電極３３が、図１９において示したように、膜本体Ｍと、膜本体Ｍ内に分散された複数のナノワイヤーである導電体Ｗを備えるものであってもよい。この場合の陰極の電極内部構造は、陽極の場合と同一である。
　陰極の膜厚は、電気伝導度や耐久性を考慮して適宜設定され、例えば１０ｎｍ～１０μｍであり、好ましくは２０ｎｍ～１μｍであり、さらに好ましくは５０ｎｍ～５００ｎｍである。
　以上ではダミー電極を設ける形態を説明したが、他の実施の形態では、図２１及び図２２に示すように、ダミー電極４５に換えて、絶縁膜２４と同じ部材によって構成されるダミー絶縁膜２４Ｄを設けてもよい。
　図２１は、ダミー絶縁膜を用いた発光装置１１の斜視図であり、図２２は、ダミー絶縁膜を用いた発光層形成前の発光装置１１の斜視図である。すなわち前記ダミー絶縁膜２４Ｄは、凹み４４の底面（支持基板２１の表面）上に設けられており、凹み４４がダミー絶縁膜２４Ｄの表面まで達するように設けられている。この実施形態では凹み４４の底部はダミー絶縁膜２４Ｄの表面に相当する。なお、図２１及び図２２の発光装置は、ダミー電極４５の代わりにダミー絶縁膜２４Ｄを用いている点のみが上述の実施形態と異なり、他の構成は、図８及び図９に示した発光装置と同一である。本実施形態では、ダミー電極４５の位置に、これと同一形状（長方形）のダミー絶縁膜２４Ｄが代わりに設けられているが、ダミー絶縁膜２４Ｄは、絶縁膜２４と同一工程において製造され、これらの絶縁膜２４Ｄ、２４は連続していてもよい。
　ダミー絶縁膜は、前述の実施形態のダミー電極が設けられる部位に設けられてもよい。なおダミー絶縁膜は絶縁膜と一体に形成されていてもよい。すなわち前述の実施の形態におけるダミー電極が形成されている部位にまで絶縁膜が延伸して設けられ、ダミー電極が設けられている部位に延伸した絶縁膜を、ダミー絶縁膜としてもよい。
　ダミー絶縁膜は、絶縁膜の形成工程と同一の工程において形成することが好ましい。このようにダミー絶縁膜を絶縁膜と同一の部材によって構成することにより、絶縁膜と同一の工程でダミー絶縁膜を形成することができるため、工程数を増加させることなくダミー絶縁膜を形成することができる。
　ダミー電極の換わりとしてダミー絶縁膜を設ける場合、絶縁膜およびダミー絶縁膜は、隔壁よりも親液性を示すことが好ましい。具体的には凹みの底部は、アニソールに対する接触角が３０°未満である材料からなることが好ましく、凹みの底部となるダミー絶縁膜は、アニソールに対する接触角が３０°未満である材料からなることが好ましい。したがって絶縁膜の材料として例示したもののうちで、絶縁膜が親液性を示すような材料を用いて絶縁膜を形成することが必要である。絶縁膜およびダミー絶縁膜の材料としては、ＳｉＯ2などの酸化物、酸化窒化物およびＳｉＮがあげられ、ＳｉＯ2などの酸化物および酸化窒が好ましく、親液性の高いＳｉＯ2がより好ましい。
　陰極の作製方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、また金属薄膜を熱圧着するラミネート法などを挙げることができる。
　なお、上述の凹み４４は、図２３及び図２４に示すように、周囲が隔壁材料(レジスト)によって囲まれた開口を有する凹部からなることとしてもよい。図２３は、開口を有する凹部を用いた発光装置１１の斜視図であり、図２４は、開口を有する凹部を用いた発光層形成前の発光装置１１の斜視図である。なお、図２３及び図２４の発光装置は、凹み４４の形状が、長方形の開口を有する凹部である点のみが上述の実施形態と異なり、他の構成は、図８及び図９に示した発光装置と同一である。
　以上説明した発光装置は、表示装置に好適に用いることができ、さらには例えば液晶表示装置のバックライト、照明装置、スキャナの光源などにも適用することができる。
　１　　基板
　２　　隔壁
　２ａ　　外周部
　２ｂ　　仕切り部
　３　　支持基板
　４　　一方の電極
　５　　絶縁膜
　１１　　発光装置
　２１　　支持基板
　２４　　絶縁膜
　２８　　開口
　３１　　有機ＥＬ素子
　３２　　一方の電極
　４１　　隔壁
　４２　　外周部
　４３　　仕切り部
　４４　　凹み
　４５　　ダミー電極

Claims (6)

  1. 　支持基板と、
    　前記支持基板上に設けられる複数の有機エレクトロルミネッセンス素子と、
    　前記複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を区分けする隔壁とを備える発光装置であって、
    　前記隔壁は、前記複数の有機エレクトロルミネッセンス素子が設けられる領域を囲むように配置される外周部と、前記外周部に囲まれる領域においてストライプ状に配置され、長手方向の一端および他端がそれぞれ前記外周部に連結されている複数本の仕切り部とを有しており、
    　前記有機エレクトロルミネッセンス素子は、互いに隣り合う仕切り部間に配置されており、
    　前記外周部の、前記仕切り部の長手方向の延長線上には、前記支持基板に向かう凹みが設けられている発光装置。
  2. 　前記凹みの底面は、アニソールに対する接触角が３０°未満である材料からなる請求項１記載の発光装置。
  3. 　前記有機エレクトロルミネッセンス素子は一対の電極を有し、
    　該発光装置は、前記一対の電極のうちの前記支持基板寄りに配置される一方の電極と同じ部材によって構成されるダミー電極を、前記凹みの底面上にさらに有し、
    　前記凹みが前記ダミー電極表面まで達するように設けられている請求項１記載の発光装置。
  4. 　前記一方の電極および前記ダミー電極は塗布法によって形成されてなる、請求項３記載の発光装置。
  5. 　前記一方の電極が、光透過性を示す膜本体に、導電性を有するワイヤ状の導電体が配置されて構成されている請求項３に記載の発光装置。
  6. 　前記複数の有機エレクトロルミネッセンス素子をそれぞれ電気的に絶縁する絶縁膜と、該絶縁膜と同じ部材によって構成されるダミー絶縁膜とをさらに有し、
    　前記絶縁膜は、前記隔壁と前記支持基板との間に設けられており、
    　前記ダミー絶縁膜は、前記凹みの底面上に設けられており、
    　前記凹みが前記ダミー絶縁膜表面まで達するように設けられている請求項１記載の発光装置。
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