WO2011009917A2

WO2011009917A2 - Verfahren und vorrichtung zur reinigung von substraten an einem träger

Info

Publication number: WO2011009917A2
Application number: PCT/EP2010/060644
Authority: WO
Inventors: Sven Worm; Reinhard Huber
Original assignee: Gebr. Schmid Gmbh & Co.
Priority date: 2009-07-23
Filing date: 2010-07-22
Publication date: 2011-01-27
Also published as: KR20120036348A; WO2011009917A3; CN102612759B; US20120118329A1; DE102009035343A1; US8524008B2; TWI493607B; MY154124A; TW201117274A; CN102612759A; EP2457263A2; JP2012533898A

Abstract

Bei einer Vorrichtung und einem Verfahren zur Reinigung von Substraten an einem Träger, an dessen Unterseite die Substrate parallel zueinander mit geringem Abstand zueinander befestigt sind, weist der Träger in seinem Inneren mehrere parallel zueinander verlaufende Längskanäle auf. Durch das Zersägen der Wafer gehen sie mit Öffnungen in Zwischenräume zwischen den Substraten über. Durch eine Relativbewegung wird ein längliches Rohr, aus dem Reinigungsflüssigkeit ausgebracht wird, in einen der Längskanäle eingebracht, wobei die Relativbewegung im Wesentlichen durch Bewegen des Trägers erreicht wird.

Description

Beschreibung

Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Substraten an einem

Träger

Anwendungsgebiet und Stand der Technik

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reinigung von Substraten an einem Träger, insbesondere an einem Träger entsprechend der deutschen Patentanmeldung DE 102009023121 mit Anmeldetag vom 22. Mai 2009 derselben Anmelderin, sowie eine entsprechende Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.

Aus der vorgenannten DE 102009023121 ist es bekannt, dass mehrere flache Substrate wie beispielsweise Siliziumwafer für die Solarzellenherstellung an einem flachen länglichen Träger angeordnet sind und dabei festgeklebt sind. Der Träger weist in seinem Inneren mehrere Längskanäle auf, die parallel zueinander verlaufen und die an der Unterseite des Träger über Öffnungen in Zwischenräume zwischen den Substraten übergehen bzw. flüssigkeitsleitend damit verbunden sind. Um Reinigungsflüssigkeit in die Längskanäle einzubringen, so dass diese in die Zwischenräume austritt und damit die Zwischenräume spült und reinigt, können Flüssigkeitsanschlüsse direkt an die Öffnungen der Längskanäle angesetzt werden zum Einleiten von Reinigungsflüssigkeiten. Dies ergibt aber noch keine gute Reinigungswirkung.

Aufgabe und Lösung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein eingangs genanntes Verfahren sowie eine entsprechende Vorrichtung zu schaffen, mit denen Probleme des Standes der Technik vermieden werden können und insbesondere die Reinigungswirkung möglichst groß ist. Gelöst wird diese Aufgabe durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 8. Vorteilhafte sowie bevorzugte Ausgestaltungen des Erfindungsgegenstandes gehen auch aus den weiteren Ansprüchen hervor und werden im Folgenden näher erläutert. Dabei werden manche der Merkmale nur für das Verfahren oder nur für die Vorrichtung beschrieben. Sie sollen jedoch unabhängig davon sowohl für das Verfahren als auch für die Vorrichtung gelten können. Der Wortlaut der Ansprüche wird durch ausdrückliche Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass durch eine Relativbewegung ein längliches Rohr in mindestens einen der Längskanäle eingebracht wird, vorteilhaft in jeden der Längskanäle des Trägers ein Rohr. Die Relativbewegung findet dabei zwischen dem Träger und dem Rohr statt, es kann also ein Teil bewegt werden und das andere unbewegt bleiben. Aus dem Rohr wird dann Reinigungsflüssigkeit oder ein sonstiges Fluid ausgebracht, insbesondere aus seinem Endbereich, der in den Längskanal hineinreicht, in den Längskanal hinein. Vorteilhaft wird die Relativbewegung im Wesentlichen bzw. zumindest auch durch Bewegen des Trägers erreicht. Dies bedeutet also, dass sich im Endeffekt das Rohr im Längskanal des Trägers bewegt und somit auch der Ort, an dem die Reinigungsflüssigkeit aus dem Rohr austritt und sich somit quasi die Austrittsstelle von Reinigungsflüssigkeit innerhalb des Längskanals bewegt. Somit kann ein gezieltes Einbringen von Reinigungsflüssigkeit in den Längskanal und somit in die in der Nähe befindlichen Zwischenräume erfolgen, was zu einem gezielteren und somit besseren Reinigen der Zwischenräume führt. Der Vorteil des Bewegens zumindest des Trägers bei der Relativbewegung liegt darin, dass dieser ohnehin in einem Durchlaufverfahren durch eine entsprechende Anlage bewegt wird, insbesondere von Bearbeitungsstation zu Bearbeitungsstation. So können die hierfür verwendeten Bewegungsmittel, Transportbänder oder Rollenbahnen odgl. auch gleich für die Relativbewegung verwendet werden. Es kann vorgesehen sein, dass zu Beginn des Reinigungsvorgangs nach dem Einbringen der vorderen Rohre in die Längskanäle Reinigungsflüssigkeit durch die Rohre in die Längskanäle eingebracht wird, und zwar dann, wenn die Rohre erst ein kleines Stück in die Längskanäle hineinragen. Dies erfolgt vorteilhaft für einen Zeitraum von einigen Sekunden. Anschließend wird weiterhin Reinigungsflüssigkeit durch die Rohre in die Längskanäle eingebracht, während die Rohre mit einer Relativbewegung in den Längskanälen auf die andere Endöffnung zu fahren.

Vorteilhaft reicht ein Rohr bis mindestens in einen Mittelbereich des Längskanals des Trägers. Dies bedeutet also, dass entweder ein Rohr während des Ablaufs der Relativbewegung die gesamte Länge des Längskanals durchfährt und somit ein Rohr für dessen Reinigung ausreicht. Alternativ und bevorzugt werden jedoch zwei Gruppen von Rohren vorgesehen, nämlich ein vorderes Rohr und ein hinteres Rohr, die an den zwei gegenüberliegenden Enden des Längskanals in diesen hineingreifen und dann jeweils nur während der Relativbewegung etwas über den Mittelbereich hinaus reichen. Der Vorteil einer solchen Anordnung liegt darin, dass bei Verwendung von nur einem einzigen Rohr die andere Endöffnung des Längskanals eigentlich verschlossen werden müsste, damit dort nicht zuviel Reinigungsflüssigkeit wirkungslos austritt. Des weiteren ergibt es sozusagen eine verdoppelte Reinigungswirkung, da eben zwei Rohre die Reinigungsflüssigkeit in den Längskanal und somit in die Zwischenräume einbringen.

Das Einbringen der Rohre in die Längskanäle kann so abfolgen, dass jeweils eine Gruppe von nebeneinander liegenden Rohren, insbesondere so viele Rohre wie Längskanäle, an einer Rohrhalterung odgl. befestigt sind und in die Bewegungsbahn des Trägers hinein bewegt bzw. eingeschwenkt werden können, so dass diese unter Umständen auch nach Entfemen der Rohre durchgehend weiterbewegt werden kann. Das Einschwenken der Rohre in die Bewegungsbahn des Trägers erfolgt vorteilhaft derart, dass die Längsmittelachsen der Rohre mit den Längsmittelachsen der Längskanäle fluchten und so in den Träger einfahren können. Ist die vorbeschriebene Aufteilung in vordere Rohre und hintere Rohre vorgesehen, so wird der Träger zuerst maximal weit auf die vorderen Rohre aufgefahren. Dann werden die hinteren Rohre an ihrer Rohrhalterung in die Bewegungsbahn geschwenkt, sodass sie ebenfalls mit den Längskanälen fluchten. Dann kann der Träger wieder zurückbewegt werden und dabei fahren die hinteren Rohre ebenfalls in die Längskanäle ein. Der Abstand der vorderen Rohre zu den hinteren Rohren sollte nicht allzu groß sein, beispielsweise einige Zentimeter bzw. etwa 10% bis 30% der Länge der Rohre. Wenn dann sämtliche Rohre in die Längskanäle des Trägers eingeführt werden, wird der Träger langsam hin- und herbewegt, während Reinigungsflüssigkeit aus den Rohren austritt zum Reinigen der Zwischenräume. Dabei stehen vorteilhaft die Rohre fest bzw. sind unbewegt, so dass sich beim hauptsächlichen Reinigen nur der Träger bewegt.

Bezüglich der Rohrhalterungen ist zu sagen, dass sämtliche daran angebrachten Rohre, also beispielsweise die Gruppe der vorderen Rohre und die Gruppe der hinteren Rohre, mit einem einzigen Flüssigkeitsan- schluss verbunden sind. Dies vereinfacht deren Anschluss und Ansteuerung.

Falls gewünscht wird, dass beispielsweise an den mittleren Rohren mehr oder weniger Reinigungsflüssigkeit ausgebracht werden soll, so kann deren spezifischer Durchlassquerschnitt verändert werden. Dies kann entweder am Anschluss des Rohres sein, in seinem Verlauf oder an den Öffnungen des Rohres zum Austritt der Reinigungsflüssigkeit. Für die Rohrhalterung der hinteren Rohre bzw. derjenigen Rohre, die zuletzt in die Längskanäle eingebracht werden, kann neben einer reinen Schwenkmöglichkeit in einer Ebene senkrecht zur Bewegungsrichtung des Trägers eine gewisse Bewegbarkeit entlang dieser Richtung vorgesehen sein. Dann braucht der Träger nicht soweit auf die vorderen Rohre aufgefahren zu werden, bzw. diese müssen nicht so lang sein, dass sie bis kurz vor die anderen Endöffnungen reichen.

Die Öffnungen der Rohre sind vorteilhaft in deren Endbereichen gelegen und gehen nach unten bzw. sind nach unten ausgerichtet. In einer einfachen Ausgestaltung reicht es, wenn in die Rohre, die vorteilhaft einen runden Querschnitt aufweisen, Ausnehmungen eingebracht werden. Diese Ausnehmungen können entweder längliche Schlitze oder längliche Öffnungen sein, beispielsweise mit einer Länge von 1 cm bis 7 cm. Alternativ können mehrere Öffnungen vorgesehen sein, vorteilhaft wiederum als einfache Löcher. Jede dieser Öffnungen kann eine Größe von wenigen Millimetern aufweisen. Aufwendige Düsenformen odgl. werden für die Rohre nicht unbedingt benötigt, wenngleich sie vorstellbar sind, da die Reinigungsflüssigkeit im Wesentlichen einfach nur austreten muss, um dann die Zwischenräume zwischen den Substraten an den Trägern zu spülen bzw. zu reinigen.

Einerseits ist es möglich, dass auch an den Stirnseiten der Rohre Reinigungsflüssigkeit austritt, insbesondere um eine Reinigungswirkung in dem Bereich zwischen den vorderen und hinteren Rohren zu erreichen. Andererseits ist es vorteilhaft, wenn die stirnseitigen Enden der Rohre verschlossen sind, so dass die ausgebrachte Reinigungsflüssigkeit gezielt bereits nach unten in Richtung auf die Zwischenräume zu ausgebracht wird. Dies verringert den Gesamtverbrauch an Reinigungsflüssigkeit bzw. erhöht die gezielte Reinigungswirkung. Diese und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombination bei einer Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Die Unterteilung der Anmeldung in einzelne Abschnitte sowie Zwischenüberschriften beschränken die unter diesen gemachten Aussagen nicht in ihrer Allgemeingültigkeit.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen schematisch dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine seitliche Schnittdarstellung eines Trägers mit Substraten an seiner Unterseite und Längskanälen, in die von beiden Seiten Rohre eingeführt sind,

Fig. 2 eine Draufsicht auf die Darstellung aus Fig. 1 mit Rohren an einer Halterung an der rechten Seite des Trägers und

Fig. 3 eine Vergrößerung durch ein längliches Rohr an einem Träger mit mehreren Auslässen an seinem Ende.

Detaillierte Beschreibung der Ausführungsbeispiele

In Fig. 1 ist im seitlichen Schnitt dargestellt, wie an einem grundsätzlich bekannten Träger 1 1 an dessen Unterseite 12 eine Vielzahl von Substraten 14 hängen. Diese sind durch das Zersägen von Siliziumblöcken entstanden. Dies ist dem Fachmann allgemein bekannt und braucht deswegen nicht näher erläutert zu werden. Der Träger 11 samt Substraten 14 wird auf nicht näher dargestellte Art und Weise entlang der durch den Doppelpfeil veranschaulichten Bewegungsrichtung B transportiert, beispielsweise von links nach rechts. Dazu kann er beispielsweise in einer Trägervorrichtung eingespannt sein, wie sie aus der DE 102008053596 A1 bekannt ist. Dieser Träger wiederum wird auf einer Rollenbahn odgl. liegend transportiert. Wie aus der genannten DE 102009023121 bekannt ist, sind Längskanäle 16 im Träger 1 1 vorhanden, die beim Zersägen der Silizium-Blöcke in die Substrate 14 von der Unterseite 12 her angesägt werden und so durch die Öffnungen eine Verbindung zwischen Längskanälen 16 und Zwischenräumen zwischen den Substraten 14 entsteht. Zur Reinigung der Substrate 14 bzw. vor allem zum Herausspülen von Sägerückständen aus deren Zwischenräumen kann nun Flüssigkeit, insbesondere Wasser oder Reinigungsflüssigkeit, in die Längskanäle 16 eingebracht werden, vorteilhaft von den Enden her. Diese Flüssigkeit strömt dann aus den Längskanälen 16 durch die angesägten Öffnungen zwischen die Substrate 14 für die genannte gewünschte Reinigungswirkung.

Für eine gezieltere Reinigungswirkung, insbesondere damit die Flüssigkeit aus den Längskanälen 16 nicht über deren gesamte Länge unkontrollierbar nach unten in die Substrate 14 austritt, sind erfindungsgemäß die länglichen Rohre 18a und 18b vorgesehen. Diese sind etwas kleiner als der Querschnitt der Längskanäle 16 und weisen nahe einem Endbereich nach unten gerichtete Öffnungen 19a und 19b auf. Diese Öffnungen 19 sind in Fig. 1 als längliche Schlitze ausgebildet, und somit als relativ große Öffnungen. Sie bewirken, dass Flüssigkeit aus den Rohren 18 über die Länge der Öffnungen 19 nach unten austritt und somit in diesem Bereich erheblich mehr Flüssigkeit zum Reinigen der Substrate 14 verwendet werden kann als über die gesamte Länge der Längskanäle. Es kann also ein konzentriertes bzw. zielgerichtetes Ausbringen von Reinigungsflüssigkeit erfolgen und somit ein zielgerichteteres und kon- zentrierteres Reinigen der Zwischenräume bzw. der Substrate 14. Aus der Abwandlung gemäß Fig. 3 wird deutlich, dass bei dem Rohr 18' nahe seinem Endbereich mehrere Öffnungen 19' vorgesehen sind. Dadurch kann ein noch zielgerichteteres Ausbringen von Flüssigkeit erfolgen, insbesondere mit höherem Druck. So dringt die Flüssigkeit nicht nur durch ihre Gewichtskraft in Fig. 1 in die Zwischenräume zwischen den Substraten 14 zur Reinigung ein, sondern mit hoher Geschwindigkeit für ein noch besseres Reinigungsverhalten.

Für den Fachmann ist klar, dass hier eine Vielzahl an Möglichkeiten zur Abwandlung der Ausgestaltung der Öffnungen 19 besteht, beispielsweise auch eine Mischung aus eher kleinen Löchern, beispielsweise quadratisch oder rund, sowie Längs- oder Querschlitzen. Es wird als günstig angesehen, wenn sämtliche Öffnungen im Wesentlichen nach unten zu ausgerichtet sind, also direkt auf die Substrate 14 zu bzw. die Öffnungen, die durch das Einsägen der Unterseite 12 des Trägers 1 1 entstanden sind. Schließlich ist es auch noch möglich, in der Stirnseite des Endbereichs des Rohrs 18 eine Austrittsöffnung vorzusehen.

Aus der Draufsicht in Fig. 2 ist zu ersehen, dass die rechten Rohre 18b an einer Rohrhalterung 21 b befestigt sind. Die Rohrhalterung 21 b ist nach Art eines Armes ausgebildet, und zwar schwenkbar um eine Drehachse 22b. Ein Antrieb ist hier nicht dargestellt, ist jedoch leicht zu realisieren. Die Drehachse 22b verläuft parallel zur Bewegungsrichtung B des Trägers 1 1.

Eine Zuführung von Flüssigkeit zu den Rohren 18b erfolgt über einen Flüssigkeitsanschluss 24b an der Rohrhalterung 21 b mit einer Flüssigkeitsleitung 26. Dabei kann vorgesehen sein, dass die Drehachse 22 durch den Flüssigkeitsanschluss 24b verläuft und somit, wenn der Flüssigkeitsanschluss 24b drehbar ausgebildet ist, eine ausreichende Beweglichkeit bzw. Drehbarkeit der Rohrhalterung 21 b ohne großen Aufwand gegeben ist. Die linken Rohre 18a gemäß Fig. 1 sind vorteilhaft an einer ähnlich oder spiegelbildlich dazu ausgebildeten Rohrhalterung 21a vorgesehen. Aus der Draufsicht aus Fig. 2 ist auch zu erkennen, dass der Träger 11 fünf Längskanäle 16 aufweist und links und rechts jeweils gleich viele und somit fünf Rohre 18a und 18b vorgesehen sind. Dann kann durch jeden der Längskanäle 16 gleichzeitig Flüssigkeit zum Reinigen eingebracht werden.

Um den Reinigungsvorgang zu beginnen kann vorgesehen sein, dass die linke Rohrhalterung 21a mit den Rohren 18a so hochgeklappt ist bzw. aus der Bewegungsrichtung B des Trägers 11 samt Substraten 14 und der möglichen Trägervorrichtung geschwenkt ist, dass sie dessen Bewegung nicht behindern. Die rechte Rohrhalterung 21 b mit den Rohren 18b kann bereits in die in Fig. 1 dargestellte Stellung geschwenkt werden, so dass sozusagen der Träger 11 mit seinen Längskanälen 16 auf die Rohre 18b auffahren kann. Dann kann die linke Rohrhalterung 21a so an den Träger 1 1 heranbewegt werden, dass ihre Rohre 18a von links in die Längskanäle 16 eingreifen, wie dargestellt ist. Dies ist beispielsweise gemäß Fig. 1 keine reine Schwenkbewegung um eine Schwenkachse parallel zur Bewegungsrichtung B, sondern eine Schwenk- und Verschiebebewegung. Der Vorteil liegt dann dabei darin, dass letztlich durch diese etwas kompliziertere Bewegung die Endbereiche der Rohre 18a und 18b relativ nahe beieinander sind. So wird erreicht, dass bei einem anschließenden Hin- und Herbewegen des Träger 11 samt Substraten 14 entsprechend der Bewegungsrichtung B sämtliche Längsbereiche der Längskanäle 16 mit Reinigungsflüssigkeit aus den Rohren 18 beaufschlagt werden.

Alternativ müssten, sollten die linken Rohre 18a durch eine reine Schwenkbewegung wie auch die rechten Rohre 18b, an den Träger 1 1 herangeführt werden können, die Rohre erheblich länger sein, so dass ein Rohr 18 nahezu so lang ist wie ein Längskanal, damit bei voll aufgefahrenem Träger 11 bzw. bis an die Rohrhalterung herangefahrenen Träger 11 die anderen Rohre herangeschwenkt werden können und keinen allzu großen Abstand von den bereits eingeführten Rohren haben.

Angesichts der Darstellung in den Figuren wird klar, dass es zwar besonders vorteilhaft ist, wenn von beiden Seiten des Trägers 11 Rohre 18a und 18b in die Längskanäle 16 eingreifen. Dadurch wird sozusagen die Reinigungswirkung verdoppelt. Es wird jedoch auch als ausreichend angesehen, beispielsweise nur die rechten Rohre 18b vorzusehen, die dann natürlich entsprechend länger sein müssen, so dass sie mit ihren Öffnungen 19b die gesamten Längskanäle 16 abfahren können.

Claims

Patentansprüche

1. Verfahren zur Reinigung von Substraten an einem Träger, wobei die Substrate parallel zueinander mit geringem Abstand zueinander mit Stirnseiten an der Unterseite eines flachen länglichen Trägers befestigt sind durch Festkleben, wobei der Träger in seinem Inneren mehrere parallel zueinander verlaufende Längskanäle aufweist, die an der Unterseite des Trägers in die Zwischenräume zwischen den Substraten übergehen, wobei durch eine Relativbewegung ein längliches Rohr in mindestens einen der Längskanäle eingebracht wird, wobei aus dem Rohr Reinigungsflüssigkeit oder ein sonstiges Fluid ausgebracht wird, wobei die Relativbewegung im Wesentlichen durch Bewegen des Trägers erreicht wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das längliche Rohr bis mindestens in einen Mittelbereich des Trägers in den Längskanal eingebracht wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Rohre in entsprechender Ausrichtung in eine Durchlaufbahn des Trägers durch eine Durchlauf-Behandlungsanlage eingebracht werden und durch Bewegen des Trägers in ihn einfahren, wobei vorzugsweise zu Beginn des Reinigungsverfahrens der Träger maximal weit auf die Rohre auffährt und dann an der anderen Seite entsprechende weitere Rohre heranbewegt werden und so positioniert werden, dass sie den erstgenannten Rohren gegenüberliegen und bis kurz vor dem Träger reichen, und anschließend der Träger relativ zu den Rohren hin- und herbewegt wird, wobei die Rohre dann fest stehen bzw. unbewegt sind, während gleichzeitig Reinigungsflüssigkeit ausgebracht wird.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Einbringen der vorderen Rohre in die Längskanäle Reinigungsflüssigkeit durch die Rohre in die Längskanäle eingebracht wird, vorzugsweise für einen Zeitraum von einigen Sekunden, und anschließend weiterhin Reinigungsflüssigkeit durch die Rohre eingebracht wird und mit einer Relativbewegung die Rohre in den Längskanälen auf die andere Endöffnung zu entlangfahren.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Rohre in sämtliche Längskanäle des Trägers eingebracht werden, vorzugsweise von beiden Seiten aus in die Längskanäle.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rohre über ihre Längserstreckung gesehen im Wesentlichen geschlossen sind mit mindestens einer Austrittsöffnung nahe an ihrem Ende, wobei vorzugsweise mindestens eine Austrittsöffnung nahe dem Ende nur nach unten in Richtung auf die Substrate zu geöffnet ist, insbesondere alle Austrittsöffnungen.

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils die Rohre an einer Seite mit einer gemeinsamen Fluidzuleitung verbunden sind und gemeinsam mit Fluid bzw. Reinigungsflüssigkeit beaufschlagt werden.

8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie mehrere längliche Rohre aufweist, die in zwei Gruppen als vordere Rohre und als hintere Rohre jeweils nebeneinander vorgesehen sind, wobei die vorderen Rohre an einer vorderen Rohrhalterung angeordnet sind und mit einer Reinigungsflüssigkeits-Versorgung flüssigkeitsleitend verbunden sind, wobei mit Abstand zu den vorderen Rohren diesen gegenüberliegend eine hintere Rohrhalte- rung vorgesehen ist mit den hinteren Rohren, die insbesondere zumindest teilweise in Flucht mit den vorderen Rohren bewegbar sind, wobei mindestens der vordere Rohrhalter oder der hintere Rohrhalter bewegbar bzw. in eine Transportbahn des Trägers schwenkbar sind.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass genauso viele vordere Rohre wie hintere Rohre vorgesehen sind, insbesondere vier bis zwölf Rohre, und diese jeweils in einer Position zum Einbringen in die Längskanäle des Trägers miteinander fluchten.

10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die vorderen Rohre einen Abstand zu den hinteren Rohren aufweisen von mindestens einem Drittel ihrer Länge.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass beide Rohrhalterungen bewegbar sind, insbesondere schwenkbar sind zwischen einer Ruheposition, in der sie vollständig entfernt sind aus der Bahn des Trägers mit den Substraten daran, und einer Arbeitsposition, in der sie derart in die Bahn des Trägers geschwenkt sind, dass ihre Längsmittelachsen mit den Längmittelachsen der Längskanäle im Träger fluchten.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Rohr im Endbereich Öffnungen aufweist, insbesondere nach unten gehende Öffnungen, vorzugsweise über einen Bereich von maximal 10 cm.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungen jeweils eine Länge von wenigen Millimetern aufweisen und insbesondere zum Ende des Rohrs hin jeweils etwas länger sind.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Rohr im Endbereich eine einzige längliche Öffnung nach unten aufweist, die vorzugsweise eine Länge zwischen 1 cm und 7 cm aufweist.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die stirnseitigen Enden der Rohre verschlossen sind.