WO2010131439A1 - 光学シート、発光装置および光学シートの製造方法 - Google Patents

光学シート、発光装置および光学シートの製造方法 Download PDF

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WO2010131439A1
WO2010131439A1 PCT/JP2010/003119 JP2010003119W WO2010131439A1 WO 2010131439 A1 WO2010131439 A1 WO 2010131439A1 JP 2010003119 W JP2010003119 W JP 2010003119W WO 2010131439 A1 WO2010131439 A1 WO 2010131439A1
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light
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minute regions
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PCT/JP2010/003119
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若林信一
西脇青児
鈴木正明
松崎純平
中村達也
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パナソニック株式会社
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/85Arrangements for extracting light from the devices
    • H10K50/858Arrangements for extracting light from the devices comprising refractive means, e.g. lenses
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0003Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being doped with fluorescent agents
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/02Diffusing elements; Afocal elements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
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    • H10K59/879Arrangements for extracting light from the devices comprising refractive means, e.g. lenses
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    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/16Two dimensionally sectional layer
    • Y10T428/162Transparent or translucent layer or section

Definitions

  • the present invention relates to a transparent optical sheet that is used with one surface being adjacent to a light emitter, a light emitting device, and a method for manufacturing the same.
  • FIG. 1 shows a cross-sectional configuration of a light-emitting device using a general organic electroluminescence element (organic EL element) and a state of light propagation.
  • An electrode 102, a light emitting layer 103, and a transparent electrode 104 are laminated on the substrate 101 in this order, and a transparent substrate 105 is placed on the transparent electrode 104.
  • a voltage between the electrode 102 and the transparent electrode 104 By applying a voltage between the electrode 102 and the transparent electrode 104, light is emitted at a point S inside the light-emitting layer 103, and this light is reflected directly or after being reflected by the electrode 102, and then passes through the transparent electrode 104 to form a transparent substrate.
  • the light enters the point P on the surface 105 at an angle ⁇ with respect to the surface normal to the surface, and is refracted and emitted to the air layer 106 side at this point.
  • FIGS. 2A and 2B are explanatory diagrams for explaining light extraction efficiency when it is assumed that the transparent substrate 105 has a multilayer structure in the light emitting device.
  • the refractive index of the light emitting layer 103 is n ′ k
  • the refractive index of the air layer 106 is n 0
  • the refractive indexes of a plurality of transparent layers interposed between the light emitting layer 103 and the air layer 106 are the light emitting layers.
  • FIG. 2B schematically shows the range of light that can be extracted from the light emitting layer 103.
  • the light that can be extracted is included in two pairs of cones 107 and 107 ′ having the light emitting point S as the apex, the apex angle as twice the critical angle ⁇ c, and the z axis along the surface normal of the refractive surface as the central axis. It is.
  • the actual extraction efficiency ⁇ is smaller than 1-cos ⁇ c because the transmittance within the critical angle does not become 100%.
  • the total efficiency of the light emitting element is a value obtained by multiplying the light emission efficiency of the light emitting layer by the extraction efficiency ⁇ .
  • Patent Document 1 discloses a substrate interface and an internal surface in an organic EL element for the purpose of suppressing total reflection on the surface of the transparent substrate when light is emitted from the transparent substrate to the atmosphere.
  • an invention is disclosed that is based on the principle of improving the light extraction efficiency by forming a diffraction grating on the reflection surface and changing the incident angle of the light with respect to the light extraction surface.
  • Patent Document 2 in order to provide a planar light emitting device with high light extraction efficiency, a plurality of transparent protrusions are formed on the surface of the transparent substrate in the organic EL element, and light at the interface between the transparent substrate and air is formed. It is described that reflection can be prevented.
  • the conventional light emitting device as described above has the following problems.
  • the light extraction efficiency ⁇ from the light-emitting layer 103 does not exceed 1-cos ⁇ c even at the maximum, and the light extraction is performed once the refractive index of the light-emitting layer 103 is determined.
  • diffracted light in which a predetermined amount of azimuth is uniformly shifted is generated for all light rays.
  • the light including such diffracted light has a distribution in light intensity depending on the azimuth, and a predetermined amount of shift width depends on the wavelength of the emitted light, so that there is a color imbalance depending on the azimuth.
  • the light emitting device disclosed in Patent Document 2 is intended to prevent reflection of light on the refracting surface, and the improvement of the light extraction efficiency by this structure is as small as about 20%.
  • the present invention has been made in view of such points, and the object of the present invention is to emit light incident on a transparent substrate having a critical angle or more to realize a significant improvement in light extraction efficiency and to reflect the light. It is an object to provide an optical sheet for a light-emitting device, a light-emitting device, and a method for manufacturing the same.
  • the first sheet of the present invention is a transparent sheet that is used with one surface adjacent to the light emitter, and the other surface has a maximum inscribed circle diameter of 0.2 ⁇ m or more and 1.5 ⁇ m or less.
  • one minute region ⁇ is adjacent and surrounded by another plurality of minute regions ⁇ , and the plurality of minute regions ⁇ are separated from the plurality of minute regions ⁇ . It consists of a plurality of minute regions ⁇ 1 randomly selected at a rate of 40% or more and 98% or less and a plurality of other minute regions ⁇ 2, and the minute region ⁇ 1 is a predetermined parallel to the other surface.
  • the minute region ⁇ 2 is recessed below the other surface with respect to the predetermined reference surface.
  • the depth is d / 2
  • the predetermined reference plane includes the minute region ⁇ 1 and the It is located at an intermediate position in the direction perpendicular to the other surface with respect to the minute region ⁇ 2
  • d is 0.2 ⁇ m or more and 1.4 ⁇ m or less
  • the plurality of minute regions ⁇ are located on the other surface.
  • the plurality of minute regions ⁇ are arranged in a first direction parallel to one side of the polygon in the plane of the other surface, and are perpendicular to the first direction.
  • the second sheet of the present invention is a transparent sheet that is used with one surface adjacent to the light emitter, and the other surface has a maximum inscribed circle diameter of 0.2 ⁇ m or more and 1.5 ⁇ m or less.
  • one minute region ⁇ is adjacent and surrounded by another plurality of minute regions ⁇ , and each of the plurality of minute regions ⁇ is on the other surface.
  • the predetermined reference plane is at a position intermediate between the minute area ⁇ at the highest position in the direction perpendicular to the other face and the minute area ⁇ at the lowest position;
  • the d is 0.2 ⁇ m or more and 1.4 ⁇ m or less,
  • the plurality of minute regions ⁇ are polygonal in the plane of the other surface, and the plurality of minute regions ⁇ are in a first direction parallel to one side of the polygon in the surface of the other surface.
  • the second direction is the direction that is arranged and orthogonal to the first direction
  • the positions of the plurality of minute regions adjacent to each other in the first direction coincide with each other and are adjacent to each other in the second direction.
  • the positions of the pair of matching micro regions in the first direction are shifted from each other.
  • the third sheet of the present invention is a transparent sheet that is used with one surface adjacent to the light emitter, and the other surface has a maximum inscribed circle diameter of 0.4 ⁇ m or more and 1.0 ⁇ m or less.
  • one minute region ⁇ is adjacent and surrounded by another plurality of minute regions ⁇
  • the plurality of minute regions ⁇ includes a plurality of minute regions ⁇ 1 and consists other plurality of minute regions [delta] 2 Prefecture, said minute regions [delta] 1 and the minute region [delta] 2, of the light incident perpendicular to the one surface, the light transmitted through the micro-region [delta] 1
  • a phase difference of 180 degrees between the light transmitted through the minute region ⁇ 2 and the plurality of minute regions ⁇ are polygonal in the plane of the other surface.
  • the region ⁇ is a first direction parallel to one side of the polygon in the plane of the other surface.
  • the direction orthogonal to the first direction is the second direction, the positions of the plurality of minute regions adjacent to each other in the first direction coincide with each other, and the second direction The positions of the pair of adjacent minute regions in the first direction are shifted from each other.
  • the minute regions ⁇ are polygonal and have congruent shapes.
  • the plurality of minute regions ⁇ are rectangular or square in the surface of the other surface, and the plurality of minute regions ⁇ are one side of the rectangle or square in the surface of the other surface.
  • the direction perpendicular to the first direction is the second direction
  • the positions in the second direction of the plurality of minute regions adjacent to each other in the first direction coincide with each other.
  • the positions of the pair of minute regions adjacent to each other in the second direction are shifted from each other in the first direction.
  • the first direction and the second direction are directions inclined from an edge of the sheet.
  • a first light emitting device of the present invention is a light emitting device comprising a light emitter and a transparent protective layer provided on the light emitting surface of the light emitter, and is adjacent to the light emitting surface of the protective layer.
  • the surface opposite to the surface is divided into a plurality of minute regions ⁇ having a maximum inscribed circle diameter of 0.2 ⁇ m or more and 1.5 ⁇ m or less, and one minute region ⁇ is divided into another plurality of regions.
  • the predetermined reference plane is then exist in the intermediate position in a direction perpendicular to the said other surface of the minute region [delta] 1 and the minute region [delta] 2, wherein
  • the light emitter emits light having a center wavelength of the emission spectrum of ⁇ , the refractive index of the protective layer is n 1 , and the refractive index of the medium with which the protective layer is in contact with the opposite surface is n 0 which is smaller than n 1.
  • the plurality of minute regions ⁇ are polygons in the plane of the other surface, Are arranged in a first direction parallel to one side of the polygon in the plane of the other surface, and the first direction is defined as a direction perpendicular to the first direction.
  • the positions of the plurality of minute regions adjacent to each other in the second direction coincide with each other and are adjacent to each other in the second direction.
  • Position of the first direction of the minute domains of is characterized in that are offset from each other.
  • a second light emitting device of the present invention is a light emitting device including a light emitter and a transparent protective layer provided on the light emitting surface of the light emitter, and is adjacent to the light emitting surface of the protective layer.
  • the surface opposite to the surface is divided into a plurality of minute regions ⁇ having a maximum inscribed circle diameter of 0.2 ⁇ m or more and 1.5 ⁇ m or less, and one minute region ⁇ is divided into another plurality of regions.
  • the minute regions ⁇ are adjacent and surrounded by the minute region ⁇ , and each of the plurality of minute regions ⁇ is a random height within a range of 0 to d / 2 with respect to a predetermined reference plane parallel to the other surface.
  • the predetermined reference plane is the highest in the direction perpendicular to the other plane, or positioned at a random depth within a range of 0 or more and d / 2 or less. Between the minute region ⁇ at the position and the minute region ⁇ at the lowest position. Located in the middle position, the luminous body emits light whose emission spectrum has a center wavelength ⁇ , the refractive index of the protective layer is n 1 , and the refractive index of the medium with which the protective layer is in contact with the opposite surface The rate is n 0 smaller than n 1 , ⁇ / 6 (n 1 ⁇ n 0 ) ⁇ d ⁇ / (n 1 ⁇ n 0 ), and the plurality of minute regions ⁇ are formed on the other surface.
  • the plurality of minute regions ⁇ are arranged in a first direction parallel to one side of the polygon in the plane of the other surface, and the direction perpendicular to the first direction is the first direction.
  • the positions of the plurality of minute regions adjacent to each other in the first direction coincide with each other, and the positions of the pair of minute regions adjacent to each other in the second direction are in the first direction. It is characterized by being offset from each other.
  • a third light emitting device of the present invention is a light emitting device including a light emitter and a transparent protective layer provided on the light emitting surface of the light emitter, and is adjacent to the light emitting surface of the protective layer.
  • the surface opposite to the surface is divided into a plurality of minute regions ⁇ having a maximum inscribed circle diameter of 0.4 ⁇ m or more and 1.0 ⁇ m or less, and one minute region ⁇ is divided into another plurality of regions.
  • the plurality of minute regions ⁇ Adjacent to and surrounded by the minute region ⁇ , and the plurality of minute regions ⁇ includes a plurality of minute regions ⁇ 1 and a plurality of other minute regions ⁇ 2, and the minute region ⁇ 1 and the minute region ⁇ 1
  • the region ⁇ 2 refers to light transmitted through the micro region ⁇ 1 and light transmitted through the micro region ⁇ 2 out of light perpendicularly incident on the surface of the protective layer adjacent to the light emitting surface from the light emitter.
  • a phase difference of 180 degrees is generated between the light and the other light
  • the plurality of minute regions ⁇ are arranged in a first direction parallel to one side of the polygon in the plane of the other surface, and the direction perpendicular to the first direction is the first direction.
  • the medium is air.
  • the medium is an airgel.
  • n 2 ⁇ n 1 ⁇ 0.1 when a refractive index of a portion where light of the light emitter is generated is n 2 .
  • the plurality of minute regions ⁇ are rectangular or square in the surface of the other surface, and the plurality of minute regions ⁇ are one side of the rectangle or square in the surface of the other surface.
  • the direction perpendicular to the first direction is the second direction
  • the positions in the second direction of the plurality of minute regions adjacent to each other in the first direction coincide with each other.
  • the positions of the pair of minute regions adjacent to each other in the second direction are shifted from each other in the first direction.
  • the sheet manufacturing method of the present invention is the first to third sheet manufacturing method of the present invention, in which an outer peripheral surface of a cylindrical mold is pressed against the sheet material, and the minute surface is applied to one surface of the sheet material.
  • the sheet is formed by forming unevenness corresponding to the region ⁇ , and the unevenness corresponding to the minute region ⁇ is centered on the rotation axis of the cylindrical die on the outer peripheral surface of the cylindrical mold. It is arranged in a spiral shape with an axis.
  • the sheet manufacturing method of the present invention is the first to third sheet manufacturing method of the present invention, wherein the outer peripheral surface of the cylindrical mold is pressed against the protective layer material and applied to one surface of the protective layer material.
  • Forming the protective layer by forming irregularities corresponding to the minute region ⁇ , and the surface of the protective layer opposite to the one surface is the light emitter side, and the protective layer is formed on the light emitter.
  • An irregularity corresponding to the minute region ⁇ is arranged in a spiral shape with the axis of the cylindrical mold as a central axis on the outer peripheral surface of the cylindrical mold. Has been.
  • FIG. (A) is a cross-sectional view of a light-emitting device provided with a diffraction grating having a periodic structure at the interface, and (b) is a view showing the upper surface of (a).
  • (A) is a figure which shows the cross section of the light-emitting device provided with the permite
  • (b) is a figure which shows the upper surface of (a).
  • (A)-(h) is a figure which shows typically the boundary condition of the field of the light in a refracting surface.
  • (A) is a diagram in which pinholes are arranged, and (b) is a diagram in which phase shifters are arranged. It is the figure which showed the transmittance
  • (A) to (d) is an explanatory view showing the viewing angle dependency of light emitted from the surface structure in the first embodiment. It is explanatory drawing which shows the incident angle dependence of the transmittance
  • (A) is explanatory drawing which shows the light extraction efficiency of the surface structure in 2nd Embodiment
  • (b) is explanatory drawing which shows the light extraction efficiency of the surface structure in 3rd Embodiment. It is explanatory drawing which shows the taking-out efficiency in 2nd Embodiment.
  • (A) to (e) is an explanatory view until the pattern of the surface structure in the fourth embodiment is determined.
  • (A)-(c) is a figure which shows the 1st surface structure of 7th Embodiment.
  • (A) is a figure which shows the cylindrical metal mold
  • (b) is a model which transfers the unevenness
  • FIG. (A) to (d) is an enlarged view of a part of the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31.
  • (A) is a figure for demonstrating the arrangement
  • (b) is the unevenness
  • (A)-(c) is a figure which shows the other example of arrangement
  • (A), (b) is explanatory drawing which shows the cross-sectional structure of the organic electroluminescent element in other embodiment, and the mode of light propagation. It is a pattern figure in which a surface structure makes a checker shape. It is explanatory drawing which shows the incident angle dependence of the transmittance
  • (A), (b) is a figure which adds the analysis result of the viewing angle dependence of the extraction light of the 1st time radiate
  • Patent Document 1 Prior to describing the embodiments of the present invention, the progress of the study up to the present invention will be described based on prior examples such as Patent Document 1 and Patent Document 2.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining the transmittance on the refractive surface (interface between the transparent layer surface and the air layer).
  • the transmittance of light that enters the refractive surface 107a of the transparent layer 107 from the inside of the transparent layer 107 with a refractive index of 1.5 along the paper surface at an angle ⁇ and is refracted to the air side (refractive index of 1.0) is the light transmittance.
  • the P-polarized light the vibration component whose electric field vector is parallel to the paper surface
  • S-polarized light shows the transmittance characteristic of the curve 108b.
  • the P-polarized light exhibits the transmittance 108A and the S-polarized light exhibits the transmittance 108B.
  • the value does not change to zero when the critical angle is exceeded, but the transmittance below the critical angle approaches 100% and approaches the shape of the step function at the critical angle.
  • FIG. 3 (b) the calculation was made with a structure in which 50 layers of 0.01 ⁇ m thick films having a refractive index of 0.01 to 1.0 with a deviation of 0.01 were stacked. As the gradient becomes gentler, the difference between the P-polarized light and the S-polarized light disappears, and in both cases, the graph of the transmittance with respect to the incident angle approaches the step function.
  • Patent Document 1 is taken as an example, and a light emitting device using an organic EL element having a diffraction grating 209 provided at the interface between the transparent substrate 205 and the transparent electrode 204 shown in FIG. It was.
  • an electrode 202, a light emitting layer 203, a transparent electrode 204, and a diffraction grating layer 209 are stacked in this order on a substrate 201, and a transparent substrate 205 is provided on the diffraction grating layer 209. .
  • the diffraction grating layer 209 has an irregular periodic structure with a pitch ⁇ in both the x and y directions with the transparent substrate 205, and the shape of the convex part is a square with a width w as shown in FIG.
  • the protrusions are arranged in a staggered pattern.
  • the transparent electrode 204 By applying a voltage between the electrode 202 and the transparent electrode 204, light is emitted at a point S inside the light emitting layer 203, and this light is reflected directly or after being reflected at the electrode 202, and then passes through the transparent electrode 204 to be a diffraction grating. Transmits through layer 209 and diffracts. For example, assuming that the light 210a emitted from the point S travels straight without being diffracted in the diffraction grating layer 209, the light 210a is incident on the refractive surface 205a of the transparent substrate 205 at an angle greater than the critical angle and totally reflected as in the light 210b. Actually, since the diffraction grating layer 209 diffracts, the incident angle with respect to the refracting surface 205a becomes smaller than the critical angle like the light 210c and can be transmitted.
  • the diffraction direction by the diffraction grating will be described with reference to FIG.
  • a diffraction grating having a pitch ⁇ is formed along the paper surface.
  • a circle 211 having a radius n A and a circle 212 having a radius n B are drawn on the paper surface with the point O as the center.
  • An orthogonal vector (vector from the perpendicular foot A to the point O) onto the refracting surface 207a of the incident vector 210i (a vector starting from the circumference of the circle 211 toward the point O at an angle ⁇ ) is 210I
  • the point O is A vector 210r having an end point on the circumference of the circle 212 as a start point is drawn so that the orthogonal projection vector 210R is the same as the vector 210I.
  • q is a diffraction order (integer).
  • the azimuth angle ⁇ angle formed with the refractive surface normal
  • n B ⁇ sin ⁇ n A ⁇ sin ⁇ (Formula 4)
  • a light ray 210b assumed not to be diffracted corresponds to a refracted light ray
  • the diffracted light ray 210c is displaced from the light ray 210b by q ⁇ / ⁇ to avoid total reflection on the refractive surface 205a. become. Therefore, since light that should be totally reflected can be extracted, it can be considered that an improvement in light extraction efficiency can be expected as compared with an organic EL light emitting device that does not have a diffraction grating layer.
  • a critical angle is formed on the refractive surface 205a of the transparent substrate 205 like the light 210B.
  • the light is incident at the following angle and refracted through the refracting surface 205a, it is actually diffracted by the diffraction grating layer 209, so that the incident angle with respect to the refracting surface 205a becomes larger than the critical angle like the light 210C.
  • the light enters the refracting surface 205a at an angle greater than the critical angle and is totally reflected.
  • diffracted light whose azimuth is uniformly shifted by q ⁇ / ⁇ is generated for all light rays.
  • the light including such diffracted light has a distribution in light intensity depending on the direction, and the shift width q ⁇ / ⁇ depends on the wavelength ⁇ of the emitted light, so there is a color imbalance depending on the direction in which the light is emitted. That is, light of different colors can be seen depending on the viewing direction, which is inconvenient as a light source for display applications.
  • Patent Document 2 a light emitting device using an organic EL element in which a protrusion 315 is provided on the surface of a transparent substrate 305 shown in FIG. 6 was studied.
  • an electrode 302, a light emitting layer 303, a transparent electrode 304, and a transparent substrate 305 are laminated in this order on a substrate 301, and a plurality of protrusions 315 are formed on a surface 305a of the transparent substrate 305.
  • the protrusions 315 have a quadrangular prism shape with a width w and a height h, and are arranged at random positions on the transparent substrate surface 305a as shown in FIG. 6B.
  • the size of w is in the range of 0.4 to 20 ⁇ m
  • the size of h is in the range of 0.4 to 10 ⁇ m
  • such protrusions 315 are formed with a density in the range of 5000 to 1000000 pieces / mm 2 .
  • the actual protrusion 315 can be processed to become thinner as it goes to the tip by side etching, and even if there is no side etching, the effective refractive index takes a value near the middle between the transparent substrate 305 and air.
  • the refractive index distribution can be changed gently. Therefore, since the distribution is close to the refractive index distribution shown in FIG. 3B, the projection 315 can partially prevent the reflection of light as indicated by 310e, and as a result, the light extraction efficiency can be improved. Can do. Even if the size of the protrusions 315 is set to be equal to or greater than the wavelength, the protrusions 315 are arranged at random, so that interference of the extracted light can be suppressed.
  • the inventors of the present application further studied how to reduce the amount of light totally reflected on the refracting surface and increase the amount of light that can be extracted.
  • FIG. 7 schematically shows boundary conditions of the light field on the refracting surface, and considers the case where light having a width w is incident on the refracting surface T.
  • FIG. 7 From Maxwell's equation, the integration along path A that goes around the refractive surface T with respect to the electric field vector or magnetic field vector is zero. However, it is a precondition that there is no electric charge or light source in the peripheral circuit, and the intensity and phase of the electric field vector or magnetic field vector along the refracting surface T are continuous.
  • the width t orthogonal to the refracting surface can be made negligibly smaller than the width s along the refracting surface. Only the ingredients remain. From this relationship, it is required that the electric field vector or magnetic field vector is continuous across the refractive surface.
  • the Fresnel equation is derived using this continuity relationship, and the reflection, refraction law, total reflection phenomenon, etc. are completely solved by this equation.
  • the width t cannot be ignored when the light width w is reduced to several tens of times the wavelength or less.
  • the circular integral A is divided into B and C (see FIG. 7C)
  • the circular integral B is included in the luminous flux and becomes zero. Since the remaining circular integration C has zero electric field vector or magnetic field vector outside the luminous flux, only the integral value of the path PQ in the luminous flux remains (see FIG. 7D). Accordingly, the circulation integral C is not zero, and is equivalent to light emission in the calculation circuit.
  • the circular integrals C and C ′ are close to each other and the paths PQ and Q′P ′ are overlapped. The circular integration of 'is zero, and no light is emitted in the circuit.
  • the circular integration C is twice the integration in the path PQ. This is equivalent to the fact that light is emitted within the circuit. Therefore, light is generated near the boundary of the width even when not only narrow light but also light with different phases is arranged through a narrow width (this is a phenomenon that effectively behaves as light emission, not actual light emission). Yes, it is called the boundary diffraction effect because it resembles the phenomenon called boundary diffraction proposed by Young before the establishment of diffraction theory).
  • the inventors of the present application have studied the structure of the refracting surface for actually causing the phenomenon that light is transmitted even when the critical angle is exceeded, from the above consideration results.
  • pinhole light (white square ⁇ ) is provided by providing (a) pinholes on the boundary surface with air on the transparent substrate placed on the light emitter, and blocking the other portions. And (b) a case in which 180-degree phase shifters 18 are randomly arranged in a grid partitioned by a width w.
  • FIG. 10 is an experimental result showing the incident angle dependence of the first transmittance t in the incidence of P-polarized light.
  • a mask that transmits a portion with a phase of 0 ° and covers a portion with a phase of 180 ° with a light-shielding film (Cr film).
  • the experiment was conducted by substituting a random arrangement of light shielding films in the eyes and the same as the random arrangement of pinhole light.
  • the width w was 0.6, 0.8, 1.0, 2.0, and 5.0 ⁇ m. As shown in FIG.
  • the experimental apparatus is a semiconductor laser (wavelength 0.635 ⁇ m), triangular prism 58 (BK7), mask substrate 59 (synthetic quartz, refractive index 1.457, mask pattern formed on the back), condenser lens A system 50 and a photodetector 51, a triangular prism is closely attached to the surface of the mask substrate with a matching liquid 52 having a refractive index of 1.51 interposed therebetween, and laser light is incident while measuring the azimuth angle from the triangular prism side, and the back surface
  • the transmitted light leaking from the side is collected by the condenser lens system 50, and the transmitted light amount is measured by the photodetector 51.
  • the portion of the light-shielding film corresponding to 1 ⁇ 2 of the entire area is shielded, and the amount of transmitted light is 1 ⁇ 2 compared to that using a phase shifter. Is normalized by the amount of light incident on (a half of the total amount of light). The experimental result agrees well with the analysis result shown in FIG. 9, and it can be seen that a large transmittance exists even when the critical angle (43.34 degrees) is exceeded, and that the tendency becomes stronger as w becomes smaller.
  • FIG. 12 shows a cross-sectional configuration of the light emitting device using the organic EL element in the first embodiment and a state of light propagation.
  • An electrode 2, a light emitting layer 3, and a transparent electrode 4 are laminated in this order on the substrate 1, and a transparent substrate (transparent protective layer) 5 is formed on the transparent electrode 4.
  • the substrate 1, the electrode 2, the light emitting layer 3, and the transparent electrode 4 constitute a light emitter.
  • a surface structure 13 that is partitioned by minute regions and has fine irregularities is formed.
  • the refractive index of the six layers of air is n 0 and the refractive index of the transparent substrate 5 is n 1 .
  • the surface structure 13 exists on the surface of the transparent substrate 5, even if light is incident at an angle greater than the critical angle ⁇ c at the point Q, it is diffracted without being totally reflected and emitted to the air 6 layer side (first time) Light extraction).
  • the reflected component is incident on the point R on the surface structure 13 again after being reflected by the electrode 2, and a part thereof is emitted to the air layer side 6 ( The second light extraction), the rest is reflected.
  • the above process is repeated infinitely.
  • FIG. 13 shows two types of pattern diagrams of the surface structure 13 in the first embodiment.
  • the left is a top view
  • the right is an AA cross-sectional view of the top view.
  • the surface structure 13 shown in FIG. 13A divides the surface of the transparent substrate 5 into grids (square microregions ⁇ ) having a width w (referred to as a boundary width) without gaps, and each eye (microregion).
  • ⁇ ) is convex (13a (micro area ⁇ 1 ), gray eyes in the figure) or concave relative to this convexity (13b (micro area ⁇ 2 ), white eyes in the figure).
  • the ratio is randomly assigned in two dimensions with a ratio of 50%, and FIG.
  • the surface of the transparent substrate 5 is divided into square minute regions ⁇ having a width w without any gaps.
  • the minute regions ⁇ shown in FIG. 13A are arranged in a grid pattern, whereas in the minute region ⁇ shown in FIG. Have
  • the minute region ⁇ is orthogonal to the direction A and the direction A parallel to one side a of the square minute region ⁇ within the surface of the transparent substrate 5. They are arranged in the direction B.
  • the positions in the B direction of the two minute regions 13a and 13b ′ adjacent to the direction A coincide with each other.
  • the positions in the A direction of the two minute regions 13a and 13b adjacent to the direction B are shifted.
  • the surface structure 13 shown in FIG. 13 (a) is obtained by randomly assigning minute regions ⁇ in two dimensions, whereas the surface structure 13 shown in FIG. 13 (b) is configured with different rules. Yes.
  • the surface structure 13 shown in FIGS. 13A and 13B is obtained from a line segment in which a minute region ⁇ (width w ⁇ length w) is randomly arranged one-dimensionally.
  • a line segment having an appropriate length is cut out and arranged in a specific direction in the plane.
  • a line segment in which four minute regions ⁇ are arranged in one row is cut out, and these are arranged in the horizontal direction.
  • the length of the line segment may be arbitrary, and the length of the line segment need not be a multiple of w.
  • the randomly assigned micro regions ⁇ are arranged in the vertical direction, it is not necessary to define a rule for the arrangement in the horizontal direction.
  • the height of the protrusions forming the minute region ⁇ is d when viewed from the bottom of the recess. That is, one minute region ⁇ is adjacent to and surrounded by another plurality of minute regions ⁇ , and the minute region ⁇ 1 protrudes above the surface of the transparent substrate 5 from the minute region ⁇ 2 .
  • a reference plane parallel to the surface of the transparent substrate 5 is defined at an intermediate position between the micro area ⁇ 1 and the micro area ⁇ 2 in the direction perpendicular to the surface of the transparent substrate 5, the micro area ⁇ 1 is separated from the reference plane. It protrudes upward by d / 2, and the minute region ⁇ 2 is recessed downward by d / 2 from the reference plane.
  • a plurality of depressions exist on the boundary surface of the transparent substrate 5 with the air 6 and the upper surfaces of the portions other than the depressions exist on the same plane, and the depths of the depressions are substantially the same.
  • the first reference plane is divided into a plurality of minute regions ⁇ having the same area of 1.5 ⁇ 1.5 ⁇ m 2 or less, It can be said that the bottom surface of the recess has a shape in which two or more micro regions ⁇ are connected or has only one micro region ⁇ , and the recesses are randomly arranged on the first reference surface.
  • the first reference surface is a surface different from the reference surface.
  • the surface structure 13 is formed by producing a mold having irregularities by etching, transferring the shape to a sheet-like resin by pressing, and bonding the sheet to the transparent electrode 4 through the adhesive layer as a transparent substrate 5. You may do by the method. In this case, the transparent substrate 5 is an equal transparent sheet. Moreover, you may carry out by the method of forming an unevenness
  • the light that diffracts such a random pattern also has a random propagation direction. Therefore, unlike the light emitting device described in Patent Document 1, there is no distribution of light intensity depending on the direction, and there is no color imbalance due to the direction. Absent. In addition, light incident from the outside (air layer side) is reflected by the surface structure 13 on the surface of the transparent substrate 5, but since the reflected light is diffracted in a random direction, an image of the outside world is not reflected. Optical treatment such as an antireflection film is unnecessary, and the product cost can be kept low.
  • w 0.5 ⁇ m
  • w 0.5 ⁇ m
  • w 1.0 ⁇ m
  • FIG. 15A 0.450 ⁇ m
  • w 1.5 ⁇ m
  • a vector connecting the origin and a point on the curve represents the light intensity and the outgoing direction of the outgoing light
  • the length of the vector corresponds to the light intensity
  • the direction of the vector corresponds to the outgoing direction.
  • the vertical axis corresponds to the orientation of the surface normal axis
  • the horizontal axis corresponds to the orientation of the in-plane axis
  • the solid line represents the cross section along the x-axis or y-axis in FIG. 13B (0 degrees, 90 degrees).
  • FIG. 16 is an explanatory diagram showing the incident angle dependency of the transmittance t of the surface structure 13 in the first embodiment.
  • Light of a light amount 1 in the transparent substrate 5 is incident on the surface structure at an angle ⁇ (refracting surface normal).
  • FIG. 16 (a) shows how much light is incident at the first angle and emitted toward the air 6 at the first time.
  • FIG. 16B shows the dependence of the transmittance on the incident angle when the light is reflected by the surface structure 13, reflected by the electrode 2 and then incident on the surface structure 13 again, that is, the second time.
  • the height d 0.70 ⁇ m
  • the area ratio of the minute region ⁇ 1 (that is, the ratio of convexity) P 0.5
  • each of the minute regions ⁇ is the minute region ⁇ 1 or the minute region ⁇ 2 is P or 1-P, respectively.
  • two or more micro areas ⁇ 1 or micro areas ⁇ 2 may be adjacent to each other.
  • the boundary between the minute region [delta] 1 or small region [delta] 2 consecutive is not formed, the boundary is virtual.
  • the minute region ⁇ 1 or the minute region ⁇ 2 continues, so that only the boundary between these regions disappears, and the surface of the transparent substrate 5 is divided using the minute region ⁇ as a reference unit. It can be said.
  • FIG. 17 shows the experimental results showing the incident angle dependence of the transmittance t at the incidence of P-polarized light.
  • the extracted light quantity is proportional to the value obtained by multiplying the transmittance t shown in FIGS. 16A and 16B by sin ⁇ .
  • 18A and 18B are explanatory views showing the incident angle dependence of the extracted light quantity in the surface structure of the first embodiment.
  • the amount of light 1 emitted from one point in the transparent substrate 5 is incident on the surface structure at an angle ⁇ (angle formed with the refractive surface normal), and how much in the first time.
  • 18 (a) shows whether the light is emitted to the air layer 6 side
  • FIG. 18 (b) shows a case where the light is reflected once at the surface structure 13 and is incident on the surface structure 13 again after reflecting the electrode 2. The incident angle dependence of the amount of light extracted for the second time is shown.
  • the light extraction efficiency can be obtained by integrating the extracted light quantity with the incident angle ⁇ .
  • 19A and 19B are explanatory views showing the light extraction efficiency of the surface structure 13 in the first embodiment. Under the same conditions as in FIG. 16, the horizontal axis represents the boundary of the surface structure 13. Summarized with width w. In FIG.
  • the refractive index n 1 of the transparent substrate 5 and the refractive index n 0 of air 6 (however, the medium in contact with the transparent substrate 5 may not be air, and the refractive index n 0 of the medium is It only needs to be smaller than the refractive index n 1 of the transparent substrate 5.)
  • ⁇ / (n 1 ⁇ n 0 ) ⁇ d ⁇ ⁇ / 6 (n 1 ⁇ n 0 ) The condition is the recommended value of the step.
  • the first light extraction efficiency becomes maximum when the boundary width w is 0.4 to 2 ⁇ m, and becomes 0.27 (so-called (Expression 3) Asymptotically approaches the light extraction efficiency when the surface is a mirror surface.
  • the first and second light extraction efficiencies when the phase shifters for converting the phase of light by 180 degrees are placed in the minute region ⁇ 1 instead of the surface structure 13 on the curves 5d and 5D in FIG. 19B.
  • a phase difference occurs while the propagation light of the concave portion and the convex portion propagates a distance corresponding to the step, whereas in the phase shifter, a virtual phase difference is generated at a propagation distance of zero. Is something.
  • the first and second light extraction efficiencies gradually approach 0.27 and 0.00, respectively.
  • the convex portion acts as an optical waveguide.
  • the light extraction efficiency in the second round considering the light attenuation in the round trip is ⁇ ⁇ ⁇ 2 .
  • the light extraction is not limited to once and twice, but is repeated infinitely. If the relationship is assumed to be a geometric sequence, if the first time is ⁇ 1 and the second time is ⁇ ⁇ ⁇ 2 , the nth time is ⁇ 1 ⁇ ( ⁇ ⁇ ⁇ 2 / ⁇ 1 ) n ⁇ 1 . Therefore, the total light extraction up to the nth time is ... (Formula 6) Thus, asymptotically approaches ⁇ 1 / (1 ⁇ ⁇ ⁇ 2 / ⁇ 1 ) at infinite times.
  • the surface structure 13 in this embodiment is a single shape (d and w)
  • the light extraction efficiency close to the optimum value can be obtained for all wavelengths in the visible light.
  • a transparent adjustment layer for adjusting light transmittance in the reciprocation of light between the transparent substrate 5 and the electrode 2 may be placed on the transparent electrode 4.
  • the transparent substrate 5 is placed on the adjustment layer (that is, the organic EL element including the adjustment layer can be referred to as a light emitter), but the refractive index n 1 of the transparent substrate 5 is the refractive index n of the adjustment layer.
  • the refractive index n 1 of the transparent substrate 5 is the refractive index n of the adjustment layer.
  • FIG. 20 shows the state of light propagation at that time.
  • the light emitted from the point S inside the light emitting layer 3 having the refractive index n 2 is transmitted directly or after being reflected from the electrode 2 and then transmitted through the transparent electrode 4, and the adjusting layer 15 having the refractive index n 1 ′.
  • Refracts at a point P ′ on the boundary surface 15 a passes through the transparent substrate 5 having a refractive index n 1 , and exits to the air 6 side through the point P on the boundary surface between the transparent substrate 5 and the air 6.
  • n 1 ′ may be smaller than n 2 , but in this case, total reflection occurs between the transparent electrode 4 and the adjustment layer 15.
  • the surface structure 13 according to the present embodiment is formed on the boundary surface with the air 6 in the transparent substrate 5, even the light exceeding the critical angle can be extracted to the air 6 layer side.
  • total reflection also occurs at the boundary surface 15a due to the relationship of n 1 ′> n 1 .
  • the light is totally reflected when incident on the point Q ′ having an incident angle larger than that incident on the point P ′, and this light is repeatedly totally reflected between the electrodes 2 and cannot be extracted to the air 6 side.
  • the surface structure 13 ′ according to the present embodiment is also provided on the boundary surface between the adjustment layer 15 and the transparent substrate 5, so that incident light exceeding the critical angle on this surface can be obtained. It can be taken out to the air 6 side. That is, total reflection does not occur even when incident on the point Q ′ exceeding the critical angle due to the surface structure 13 ′, and the component reflected on this surface reflects the electrode 2 and then returns to the point R ′ on the surface structure 13 ′. And a part of the light can be emitted to the air 6 side through the surface structure 13, and the above process is repeated infinitely.
  • the structure of FIG. 21 has the complexity of forming the surface structures 13, 13 ′ having irregularities in a double manner, a material with a low refractive index can be used for the transparent substrate 5, and the range of selection of the material can be expanded. Has merit.
  • the light transmittance ⁇ in the reciprocation between the transparent substrate 5 and the electrode 2 is large from (Equation 6)
  • the light extraction efficiency increases.
  • the actual light-emitting layer 3 is surrounded by a plurality of transparent layers such as the adjustment layer 15 described above in addition to the electrode 2 and the transparent electrode 4, but the film design (the refractive index and thickness of the film including the light-emitting layer 3) Determination) should be performed so that the above-described light transmittance ⁇ is maximized.
  • the phase distribution of the reflection at the surface structure 13 is random, the overlapping of the reflected light is handled incoherently (intensity addition, not amplitude addition).
  • the influence of reflection on the surface of the transparent substrate 5 can be ignored, and can be treated virtually with a reflectance of 0% and a transmittance of 100%.
  • light is emitted from the transparent substrate 5, and the light is reciprocated in multiple layers through the multilayer film including the light emitting layer 3 to maximize the amount of complex light amplitude overlap that returns to the transparent substrate 5.
  • the refractive index and thickness of each film are determined.
  • a second embodiment will be described with reference to FIGS.
  • the second embodiment is different from the first embodiment only in the pattern of the surface structure 13, and all other configurations are the same as those of the first embodiment, and the description of the common configurations is omitted.
  • the light wavelength ⁇ 0.635 ⁇ m
  • the protrusion height d of the surface structure d 0.70 ⁇ m
  • the light extraction efficiency in the case of 0.8 and 0.9 (first time and second time) is shown.
  • the light extraction efficiency is further improved by setting the ratio P, which controls the area ratio of the unevenness, in the range of 0.4 to 0.8 centered on 0.6. Enhanced. It is considered that this is because the convex portion effectively acts as an optical waveguide in this range (the area ratio of the convex portion forming the waveguide is small when P ⁇ 0.2, and the convex portion when P ⁇ 0.8. Waveguide effect diminishes because they are too close together.)
  • the light extraction efficiency can be further increased by setting the ratio P in the range of 0.5 to 0.98 centering on 0.9. Accordingly, it is preferable to set the ratio P in the range of 0.4 to 0.98 in the total light extraction efficiency including the first time and the second time.
  • the light extraction efficiency higher than that of the first embodiment can be obtained by shifting the ratio P from 0.5.
  • there is no light intensity distribution or color imbalance depending on the orientation and a significant improvement in light extraction efficiency can be realized, and reflection of an external image can be suppressed.
  • a third embodiment will be described with reference to FIG.
  • the third embodiment is the same as the first and second embodiments except that the step structure of the surface structure 13 is different, and the description of the common configuration is omitted.
  • the third embodiment is a case where the amount of step between two adjacent microregions ⁇ 1 and ⁇ 2 of the surface structure in the first and second embodiments is made random.
  • the surface of the transparent substrate 5 is divided into grids (square microregions ⁇ ) having a width w (referred to as a boundary width) without any gaps, and a single reference plane is obtained.
  • an arbitrary height (or depth) between ⁇ d m / 2 and d m / 2 is randomly set based on a random function.
  • the transparent substrate 5 is located between the minute region ⁇ at the highest position and the minute region ⁇ at the lowest position.
  • a plane parallel to the surface. d m is the difference in height direction between the positions of the minute region ⁇ at the extreme low value of minute regions ⁇ in the highest position.
  • FIG. 22B is an explanatory diagram showing the light extraction efficiency of the surface structure in the present embodiment.
  • the level difference from the reference surface is random.
  • the light extraction efficiency for the first time is maximized when the boundary width w is 0.2 to 2 ⁇ m, and 0.27 (so-called (Equation 3)) when w is reduced or increased.
  • the range of the boundary width w needs to be 0.2 ⁇ m or more. Further, as discussed in FIGS. 14 and 15 of the first embodiment, the boundary width w is 1.5 ⁇ m or less because of the viewing angle dependency. preferable. In FIG.
  • 1.40 .mu.m can be said to be a measure of the upper limit of d m. These ranges are the same as the ranges of the first embodiment ( ⁇ / (n 1 ⁇ n 0 ) ⁇ d m ⁇ ⁇ / 6 (n 1 ⁇ n 0) ).
  • the light extraction efficiency higher than that in the first and second embodiments can be obtained by randomizing the amount of the step. Further, as in the first embodiment, there is no light intensity distribution or color imbalance depending on the orientation, and the reflection of an image of the outside world can be suppressed.
  • the amount of the step as a condition for randomly (1) 0 to the case of taking all the values up to the step amount d m, (2) 0 and the maximum step amount d m of the step of three or more stages, including When taking either of the two, there are two possible cases.
  • a mold for shape transfer for forming such a surface structure on the sheet surface has three exposure and etching steps (first: using a mask pattern having a boundary width w 1 in exposure, Etching at a depth of d m / 6, second time: changing the mask to a mask pattern with a boundary width w 2 by exposure, etching at a depth d m ⁇ 2/6, third time: changing the mask to a mask pattern with a boundary width w 3 by exposure It can be produced by etching with a depth d m ⁇ 3/6.
  • a fourth embodiment will be described with reference to FIG.
  • the fourth embodiment is different from the first embodiment only in the pattern of the surface structure, and all other configurations are the same as those in the first embodiment, and description of common configurations is omitted.
  • FIG. 24 shows a process until determining a surface structure pattern in the fourth embodiment.
  • the micro area ⁇ assigned to black is the micro area ⁇ 1
  • the micro area ⁇ assigned to white is the micro area ⁇ 2 .
  • FIG. 24B shows a ratio in which the surface of the transparent substrate 5 is divided into grids (square micro-region ⁇ ) having a width w 2 that is an integral multiple of w 1 , and each eye is black.
  • the micro area ⁇ assigned to black is the micro area ⁇ 1
  • the micro area ⁇ assigned to white is the micro area ⁇ 2 .
  • FIG. 24C the patterns of FIGS. 24A and 24B are superposed so that the grids are aligned, and the overlap of black ( ⁇ 1 ) and black ( ⁇ 1 ) is white, white ( The overlap between ⁇ 2 ) and white ( ⁇ 2 ) is generated by white, white ( ⁇ 2 ) and black ( ⁇ 1 ), or black ( ⁇ 1 ) and white ( ⁇ 2 ) are generated by the rule of black. Pattern.
  • the pattern shown in FIG. 24C has the same generation rule as that of FIG. 24A, and the pattern of the surface structure in which black is convex and white is relatively concave is introduced in the first embodiment. It is the same as what you are doing.
  • the patterns of FIG. 24D and FIG. 24B are overlaid so that the grids are aligned, and the overlap of black ( ⁇ 1 ) and black ( ⁇ 1 ) is white and white ( The overlap between ⁇ 2 ) and white ( ⁇ 2 ) is generated by white, white ( ⁇ 2 ) and black ( ⁇ 1 ), or black ( ⁇ 1 ) and white ( ⁇ 2 ) are generated by the rule of black. Pattern.
  • the black and white area ratio is 1: 1, and the minimum size of the black mark and the white mark is the same, but the feature is similar to the pattern of FIG. There is a difference in the appearance ratio of.
  • the characteristics of the first and second light extraction efficiencies ( ⁇ 1 , ⁇ 2 ) calculated in the above are added as curves 27b and 27B.
  • the ratio P governing the area ratio of the unevenness in the first light extraction is 0.4, centered at 0.6, in spite of the uneven distribution of the pattern different from the first embodiment.
  • the light extraction efficiency can be further increased by setting in the range of ⁇ 0.8.
  • the total including the first time and the second time is set.
  • the light extraction efficiency can be increased.
  • the surface structure formation conditions are slightly changed from those in the first embodiment.
  • the light extraction efficiency is slightly deteriorated as compared with the first embodiment, but it is still shown in FIGS.
  • the light extraction efficiency greater than that of the conventional light emitting device shown in FIG. 3A can be realized, and, as in the first embodiment, there is no light intensity distribution or color imbalance depending on the orientation, and the light extraction efficiency is greatly increased. Improvements can be realized, and the reflection of external images can be suppressed.
  • the fourth embodiment has a merit that the error margin can be widened and the processing is easy, because the shape constraint condition on the surface structure is looser than the first embodiment.
  • the fifth embodiment is a combination of the fourth embodiment and the third embodiment.
  • each region is described by being distinguished by color.
  • the surface of the transparent substrate 5 is divided into grid eyes (square microregions ⁇ ) having a width w1, and the ratio that each eye is black is P 1 and the ratio is white.
  • 1-P 1 is randomly assigned to black and white, and a region (small region ⁇ 2 ) to which white is assigned is engraved by a method such as etching by a depth of d 1 (> 0).
  • the area to which black is assigned is the minute area ⁇ 1 .
  • the surface of the transparent substrate 5 is divided into grids of squares w 2 having a width w 2 (square microregions ⁇ ), and the ratio that each eye is blue is P 2 , and the ratio that red is 1-P 2.
  • blue and red are assigned at random, and the red assigned region (small region ⁇ 2 ) is engraved by a method such as etching by a depth of d 2 (> 0).
  • the region assigned with blue is the minute region ⁇ 1 .
  • the overlap of black and blue is the height d 1 + d 2 and the overlap of white and blue is the reference surface.
  • the height d 2 or the overlap of black and red can be the height d 1 . Accordingly, since the step can take four values between 0 and d 1 + d 2 a (0, d 1, d 2 , d 1 + d 2) at random, the same effect as the third embodiment is obtained .
  • the ratio P 2 corresponds to the deeper side of the engraving width (actually, the ratio P 2 side is 2, the ratio The P 1 side is related to the average depth with a weight of 1), and has the same meaning as the ratio P 2 of the fourth embodiment that determines the area ratio of unevenness, that is, the average level of depth.
  • the ratio P 1 is related to the appearance ratio of the fine structure (width w 1 ), it has a similar meaning to the ratio P 1 of the fourth embodiment.
  • the surface of the transparent substrate 5 is divided into grids of squares of width w 3 (square minute areas ⁇ ), and the ratio that each eye is green is P 3 , and the ratio that yellow is 1-P 3.
  • Green and yellow are assigned to the region, and the region (small region ⁇ 2 ) assigned with yellow is engraved by a method such as etching by a depth of d 3 (> 0).
  • the region assigned with green is the minute region ⁇ 1 .
  • the overlap of black, blue and green with respect to this reference surface is the height d 1 + d 2 + d 3
  • the overlap of white, blue and green is at height d 2 + d 3
  • the overlap of black, blue and yellow is at height d 1 + d 2
  • the overlap of black, red and green is at height d 1 + d 3
  • black and the red and yellow overlap of the height d 1 the overlap of white and blue and yellow in the height d 2
  • the overlap of white and red and green can be is the height d 3.
  • the height has eight values from 0 to d 1 + d 2 + d 3 (0, d 1 , d 2 , d 3 , d 1 + d 2 , d 2 + d 3 , d 3 + d 1 , d 1 Since + d 2 + d 3 ) can be taken randomly, the same effect as in the third embodiment can be obtained.
  • phase shifter can be formed of multilayer films having different refractive indexes, for example. That is, the phase of transmitted light can be adjusted by multiple reflection of the multilayer film, and a 180 degree region and a 0 degree region can be formed randomly by changing the structure (film thickness and number of layers) of the multilayer film. The same effect can be obtained even if the polarization of light transmitted through the two regions is changed using a polarizer.
  • the polarized light of the transmitted light corresponding to the 180-degree region is P-polarized or clockwise circularly polarized light
  • the polarized light of the transmitted light corresponding to the 0-degree region is S-polarized light or circularly polarized light counterclockwise.
  • this can be realized by using a half-wave plate whose orientation is 90 degrees different.
  • the uneven structure of the interface having a difference in refractive index as in the first embodiment can be said to be one form of the phase shifter because the phase of transmitted light changes between the unevenness.
  • FIGS. 9 and 19B The incident angle dependency of the transmittance t and the light extraction efficiency of the surface structure 13 in this embodiment are already shown in FIGS. 9 and 19B (curves 5d and 5D), and only the first light extraction efficiency is obtained. However, it is possible to exceed the light extraction efficiency when w is a mirror surface within the range of 0.4 ⁇ m to 1 ⁇ m.
  • FIG. 19B also shows the result of setting the phase difference to 90 degrees, and the first and second light extraction efficiencies are represented by curves 5d ′ and 5D ′, respectively. Since both are deteriorated from those having a phase difference of 180 degrees (curves 5d, 5D), it is understood that the optimum value of the phase difference is 180 degrees.
  • the light extraction efficiency higher than that of the conventional example can be obtained by forming the surface structure 13 with the phase shifter. Further, as in the first embodiment, there is no light intensity distribution or color imbalance depending on the orientation, and the reflection of an image of the outside world can be suppressed.
  • a seventh embodiment will be described with reference to FIG.
  • the seventh embodiment is different from the first embodiment only in the pattern of the surface structure, and all other configurations are the same as those of the first embodiment, and description of common configurations is omitted.
  • FIG. 25A shows a pattern diagram of the first surface structure 23 in the present embodiment.
  • the surface of the transparent substrate 5 has a line segment (a line segment along the y ′ direction) in which minute regions ⁇ are randomly arranged in a one-dimensional direction perpendicular to the y ′ direction. In a single direction).
  • each minute region ⁇ is a regular triangle (small region ⁇ ) having a side length w
  • each minute region ⁇ is convex (gray eyes 23a (small Area ⁇ 1 )) or concave (white eyes 23b (small area ⁇ 2 ) in the figure), each having a ratio of 50% within the line segment and randomly assigned convex and concave is there.
  • w is 2.55 ⁇ m or less.
  • the size of a figure is that the diameter of the largest circle inscribed in the figure is 0.2 ⁇ m or more and 1.5 ⁇ m or less.
  • the positions in the direction x ′ of the plurality of minute regions ⁇ adjacent to the direction y ′ coincide with each other.
  • the positions in the direction y ′ of the plurality of minute regions ⁇ adjacent in the direction x ′ also coincide with each other.
  • the positions in the direction x ′ of the plurality of minute regions ⁇ adjacent to the direction y ′ coincide with each other.
  • the positions in the direction y ′ of the plurality of minute regions ⁇ adjacent in the direction x ′ are shifted from each other.
  • the pattern shape of the surface structure 23 is different from that of the first embodiment, the same principle as that of the first embodiment acts, and the same effect is obtained.
  • the shape is not limited to an equilateral triangle, and any polygon may be used as long as the same figure can be divided without gaps.
  • the surface structures 13 and 23 in the actual processed body are not strictly squares or equilateral triangles, and the corners are rounded or the corners are rounded next to the minute region. Needless to say, the corners of the minute region are deformed accordingly, but the characteristics are not deteriorated and the same effect can be obtained. Further, even when the seventh embodiment is applied to the second to sixth embodiments, the same effects as those of the second to sixth embodiments can be obtained.
  • the eighth embodiment will be described with reference to FIGS.
  • the eighth embodiment is a method for forming a random pattern shape of a sheet.
  • FIG. 26A is a view showing a cylindrical mold used in the present embodiment.
  • the cylindrical mold 31 shown in FIG. 26A is used for so-called roll-to-roll type transfer.
  • the cylindrical mold 31 rotates around the central axis 30.
  • Concavities and convexities (a white region 31 a and a black region 31 b) for forming the minute region ⁇ are formed on the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31.
  • a sheet 31c shown in FIGS. 26B and 26C) made of resin or the like pressed against the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31, the surface structure of the cylindrical mold 31 is changed. It is transferred to a sheet-like resin.
  • FIGS. 27A to 27D are views showing a part of the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31 in an enlarged manner.
  • FIG. 27A shows a one-dimensional arrangement (tape-like line segment) of the minute region ⁇ formed on the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31.
  • minute regions ⁇ having both width and length are arranged one-dimensionally.
  • the micro area ⁇ is classified into a micro area ⁇ 1 (gray area 33a in the figure) and a micro area ⁇ 2 (white area 33b in the figure).
  • the micro area ⁇ 1 and the micro area ⁇ 2 are one-dimensional. Are randomly arranged.
  • the gray region 33 a represents a convex portion on the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31, and the white region 33 b represents a concave portion on the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31.
  • the concave portion and the convex portion may be reversed.
  • FIG. 28A is a view for explaining the arrangement direction of the minute region ⁇ formed on the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31.
  • FIG. 28A As shown in FIG. 28A, on the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31, a line-shaped transfer pattern (shown in FIG. 27A) of the minute region ⁇ is spirally arranged. That is, the line-shaped transfer pattern is continuously formed in a single stroke on the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31.
  • the direction in which the transfer pattern is arranged is along a direction y ′ inclined by a minute angle ⁇ from a direction y perpendicular to the rotation axis 30. Since the direction in which the transfer pattern is arranged is inclined by the minute angle ⁇ , the line-shaped transfer pattern can be arranged so as to draw one spiral.
  • the minute region ⁇ has a polygonal planar shape such as a square or a triangle.
  • two of the four sides of the minute region ⁇ are in a direction y ′ inclined by a minute angle ⁇ from the direction y perpendicular to the rotation axis 30.
  • the remaining two sides are along a direction x ′ (a direction perpendicular to the direction y ′) inclined by a minute angle ⁇ from a direction x parallel to the rotation axis 30.
  • the minute region ⁇ when the planar shape of the minute region ⁇ has a polygonal planar shape such as a triangle, the minute region ⁇ is arranged so that one side thereof is along the direction y ′. In these cases, the positions in the direction x ′ of the plurality of minute regions ⁇ adjacent to the direction y ′ coincide with each other. On the other hand, the positions in the direction y ′ of the plurality of minute regions ⁇ adjacent to the direction x ′ may coincide with each other (FIGS. 25A, 25B, and 27B), and are shifted from each other. It is also possible (FIG. 25 (c) and FIGS. 27 (c) and (d)).
  • FIG. 28 (b) is a view showing the sheet 32 in which the uneven shape of the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31 shown in FIG. 28 (a) is reflected.
  • minute regions ⁇ are randomly arranged on the surface of the sheet 32 from a direction y parallel to the long side of the sheet 32 toward a direction y ′ inclined by a minute angle ⁇ . Yes.
  • the planar shape of the minute region ⁇ is square or rectangular, two of the four sides of the minute region ⁇ are along the direction y ′, and the remaining two sides are from the direction x parallel to the short side of the sheet 32.
  • the direction x ′ inclined by the minute angle ⁇ is
  • the minute region ⁇ when the planar shape of the minute region ⁇ has a polygonal planar shape such as a triangle, the minute region ⁇ is arranged so that one side thereof is along the direction y ′. However, the minute region ⁇ is formed in the direction as shown in FIG. 28B because the long side of the sheet 32 is aligned with the direction perpendicular to the rotation axis of the cylindrical die 31. Is the case of rotating.
  • seat 32 is not arrange
  • the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31 shown in FIG. 28 (a) and the sheet 32 shown in FIG. 28 (b) do not show a pattern on the entire surface, but only a part of the pattern.
  • a pattern be formed on the entire outer peripheral surface of the cylindrical mold 31.
  • the transfer pattern is formed on the sheet 32 by the width of the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31.
  • a transfer pattern can be formed on the entire sheet 32.
  • a sheet having a large area and a highly accurate pattern can be easily formed.
  • the viewing angle dependency of the light extracted from the sheet 32 is small, so that the dependency of the light extraction efficiency on the in-plane direction can be reduced.
  • 26 (b) and 26 (c) are diagrams schematically showing a method of transferring irregularities on the surface of the cylindrical mold 31 to the sheet 31c by a roll-to-roll method.
  • the sheet 31c for example, a multilayer sheet in which a UV curable resin is coated on a plastic substrate is used.
  • the sheet 31c is sandwiched between the cylindrical mold 31 and another roller 31d, and the cylindrical mold 31 is rotated in this state.
  • another roller 31d rotates in a direction opposite to the rotation of the cylindrical mold 31, and the sheet 31c is taken in between the cylindrical mold 31 and the roller 31d.
  • the UV curable resin is cured by irradiating with UV light, and the uneven pattern on the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31 is transferred to the surface of the sheet 31c that is in contact with the cylindrical mold 31.
  • the distance between the sheet material roll on the feeding side and the winding side roll, the rotation speed, and the like are adjusted so that the pressure on the sheet 31c is applied.
  • the cylindrical mold 31 is rotated in a state where one surface of the multilayer sheet 31c in which the UV curable resin is coated on the plastic substrate is pressed against the cylindrical mold 31.
  • the pattern of the cylindrical mold 31 may be transferred while moving the sheet 31c, or the pattern of the cylindrical mold 31 may be transferred while moving the cylindrical mold 31.
  • the UV curable resin is cured by irradiating the UV light, and thereby the uneven pattern on the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31 is transferred to the surface of the sheet 31c that is in contact with the cylindrical mold 31.
  • the line-shaped transfer pattern of the minute region ⁇ uses a roll-to-roll method using a cylindrical mold arranged in a spiral shape, and thus such discontinuity between the patterns does not occur. .
  • FIGS. 29A to 29C are diagrams showing other arrangement examples of the minute regions ⁇ on the outer peripheral surface of the cylindrical mold.
  • square microregions ⁇ (width w ⁇ length w) are arranged in two rows in the width direction.
  • a minute area ⁇ 1 (white area 34b in the figure) and a minute area ⁇ 2 (gray area 34a in the figure) are randomly arranged one-dimensionally.
  • a transfer pattern as shown in FIG. 29A may be arranged in a spiral shape.
  • the minute regions ⁇ may be formed so as to be shifted by two rows.
  • the positions in the direction y ′ of the area 34W and the area 34X are the same, The positions in the direction y ′ of the area 34Y and the area 34Z also coincide.
  • the positions of the region 34X and the region 34Y in the direction y ′ are shifted from each other.
  • a similar relationship is also established in the minute region ⁇ other than the regions 34W, 34X, 34Y, and 34Z.
  • a transfer pattern in which three or more rows of minute regions ⁇ are arranged may be spirally arranged. Also in this case, the positions in the y ′ direction are shifted from each other for every three or more micro regions ⁇ .
  • the minute region ⁇ is arranged in a spiral shape, the displacement of the minute region ⁇ is usually every certain row. Therefore, when the minute region ⁇ of the present embodiment is, for example, a region of m rows and n columns, the positions of the n ⁇ 1 column regions in the y ′ direction coincide, and the positions of only the remaining one column in the y ′ direction are the same. Cases that deviate from other areas are unlikely to occur.
  • a pattern of each minute region ⁇ is formed by performing cutting using a cutting tool (for example, a circular arc of diamond) smaller than the minute region ⁇ on the surface of the cylindrical mold. By rotating and moving the mold, cutting can be advanced one after another to produce the entire pattern.
  • a resist pattern is formed by applying a resist to the entire outer peripheral surface of the cylindrical mold 31 and performing beam exposure while rotating and moving the mold. Thereafter, etching is performed using the resist as a mask to form an uneven pattern on the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31.
  • a resist is applied to the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31 by an ink jet method to form a resist pattern. Thereafter, etching is performed using the resist as a mask to form an uneven pattern on the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31.
  • die 31 does not need to be the same height with respect to the reference plane in an outer peripheral surface, The convex part of several height is mixed in the one cylindrical metal mold
  • FIG. Also good.
  • die 31 does not need to be the same hollow depth with respect to the reference plane in an outer peripheral surface, and the recessed part of several depth may be mixed in the one cylindrical metal mold
  • the arrangement of the minute regions ⁇ 1 and ⁇ 2 in a preset specific angle direction (y ′ direction in which the minute regions ⁇ 1 and ⁇ 2 are randomly arranged one-dimensionally on the outer peripheral surface of the cylindrical mold 31).
  • the rules for the arrangement of the minute regions ⁇ 1 and ⁇ 2 in the x ′ direction do not matter. Even if there is a shift in the position in the y ′ direction of the minute region ⁇ adjacent in the x ′ direction as in the patterns shown in FIGS. 27C and 27D, the pattern shown in FIG. Even if there is no deviation, it is the same.
  • the minute regions ⁇ having a random arrangement are spirally arranged, so that the minute region ⁇ 1 in the x ′ direction is arranged.
  • ⁇ 2 arrangement is also random.
  • the above-described embodiments are examples of the present invention, and the present invention is not limited to these examples.
  • the cross-sectional shape perpendicular to the surface of the convex portion of the surface structure is not limited to the rectangular shape, but may be a trapezoid or a cone shape, and the slope of the convex portion may be a curve.
  • the transparent substrate 5 on which the surface structure 13 is formed is formed to be as thin as several ⁇ m, and a protective substrate of about 0.2 mm to 0.5 mm with an air layer interposed therebetween.
  • the structure covered with 14 can be considered. Total reflection does not occur on the front surface 14a and the back surface 14b of the protective substrate, but AR coating is necessary.
  • a transparent material having a low refractive index such as airgel may be used on the surface structure 13 instead of the air layer.
  • the surface structure 13 is formed on only one surface, but a similar structure can be formed on both surfaces of the transparent substrate 5. Further, a general diffraction grating 13 ′ may be disposed between the surface structure 13 and the light emitting point S. At this time, as shown in FIG. 30 (b), the transparent substrate 5 is formed into a film shape, the surface structure 13 is formed on the front surface, the diffraction grating 13 ′ and the surface structure 13 ′′ of another specification are formed on the back surface, and the adhesive layer 21 is formed on the light emitter side.
  • the material of the adhesive layer 21 is determined from the refractive index of the light emitting layer 3. If it is selected so that it is smaller by 0.1 or more, total reflection on the respect surface of the adhesive layer 21 and the light emitting layer 3 hardly occurs, and the refractive surface between the adhesive layer 21 and the transparent substrate 5 and transparent Total reflection occurring on the refractive surface between the substrate 5 and the air 6 can be avoided by the surface structure 13 ′′ (or the diffraction grating 13 ′) and the surface structure 13, respectively.
  • the depth of the concave portion or the height of the convex portion of the diffraction grating 13 ′ or the surface structure 13 ′′ is preferably a condition that a phase difference is generated by ⁇ between the transmitted light in the concave portion and the transmitted light in the convex portion.
  • the conditions may be such that the depth of the concave and the height of the convex are small.
  • FIG. 31 shows a pattern diagram in which the surface structure forms a checkered pattern (checker shape).
  • the surface structure divides the surface of the transparent substrate 5 into squares having a length w of one side, the gray squares 13a and the white squares 13b form a checker pattern, gray is convex, and white is relatively Concave shape.
  • the first and second light extraction efficiencies of the surface structure having the checker shape and the surface structure having the staggered lattice (the side surrounded by the quadrangle is concave) shown in FIG. It is added to FIG. 19B (d 0.70 ⁇ m, curves 5e, 5f, 5E, 5F, respectively).
  • both the checker pattern and the zigzag pattern show undulating characteristics as w changes. This is also a problem specific to the periodic pattern, and is related to the distribution of light intensity depending on the orientation.
  • FIG. 34 (a) and 34 (b) show the results of analyzing the viewing angle dependence of the first extracted light emitted from the surface structure of the checker pattern.
  • Step d 0.7 ⁇ m
  • boundary width w 0.5 ⁇ m
  • the boundary diffraction effect occurs when the discontinuous part of the light phase is separated by a certain distance or more, in order to maximize this effect, the appearance ratio of the discontinuous part of the phase within the limited area is set. It is necessary to maximize it. If the refractive surface is divided into innumerable minute regions and the phase becomes discontinuous at the boundaries between the minute regions, the aforementioned appearance ratio is maximized under two conditions. The first condition is that the area of each minute region is as uniform as possible, and the second condition is that a phase difference exists between adjacent minute regions. That is, if there is a small area having a larger area than others, dividing the large area increases the boundary of phase discontinuity.
  • the boundary increases.
  • the area of each micro area is aligned as much as possible, and at least the area of each micro area is 0.5 to 1.5 times the reference area (the maximum of the circles inscribed in the micro area) If the diameter of the material falls within the range of 0.7 to 1.3 times the standard diameter, the appearance ratio of the boundary line between the microregions is maximized.
  • the first to seventh embodiments comply with this condition. Even if the division into the minute regions can be maximized, the effect is reduced if the phases are aligned between the adjacent minute regions.
  • the fourth and fifth embodiments comply with this condition. That is, in the light emitting device of the above embodiment, the extraction efficiency is improved by the effect of maximizing the boundary diffraction effect rather than the effect of antireflection as in the light emitting device described in Patent Document 2.
  • the surface shape in the first to eighth embodiments is different from the surface state such as frosted glass or roughened surface and the surface state shown in the light emitting device described in Patent Document 2.
  • the surface is divided into grid eyes (or polygonal eyes) having a width w, and convex and concave portions are assigned to each eye in a ratio of 1: 1.
  • the surface state such as frosted glass or roughened surface does not have an inherent width w, and the shape of the micro area is indefinite, and the ratio of the total area of the convex part to the total area of the concave part is also 1: 1. It's not a relationship.
  • the ratio between the convex and concave portions is shifted from 50%, and the ratio of the total area of the concave portions to the total area of the convex portions is out of 1: 1, but the inherent width w still exists,
  • the ratio of the total area to the total area of the protrusions is also a predetermined value, which is completely different from a completely random pattern.
  • the step is different for each grid (or polygonal) defined by the width w.
  • the surface shape in the above embodiment is not a completely random pattern but a random pattern according to a certain rule.
  • FIG. 33A eight cards 17 having a width w are randomly arranged on a table 16 having a width 4w. That is, the total area of the eight cards 17 is 1 ⁇ 2 of the area of the table 16. However, it is assumed that the card 17 does not protrude from the table 16.
  • FIG. 33 (b) the cards 17 are arranged to allow overlapping.
  • FIG. 33C the cards 17 are arranged without allowing overlapping.
  • FIG. 33B the total area of the cards becomes smaller than 1 ⁇ 2 of the table area by the amount of overlapping of the cards 17. It has already been shown by the curves 27a and 27A in FIG.
  • the generation principle of the random pattern used in the above embodiment is different from that in FIG.
  • the area ratio is maintained at a certain ratio, and a scale smaller than the width w such as the minute interval j does not occur.
  • the surface shape in the above embodiment is not a completely random pattern, but a random pattern according to a rule for maximizing light extraction efficiency.
  • the phenomenon caused by the surface shape in the first to eighth embodiments is one of diffraction phenomena.
  • a light beam that is virtually refracted with respect to a flat reference surface that averages the surface shape is defined as 0th-order diffracted light (not appearing in the case of total reflection), and this light is used as a reference for orientation.
  • 0th-order diffracted light not appearing in the case of total reflection
  • higher-order diffracted light is generated in the shifted direction.
  • the propagation direction of the diffracted light other than the 0th order is random.
  • frosted glass and surface roughening are not diffraction phenomenon but one of refraction phenomena.
  • the direction of the surface normal is random on the refracted surface, and the refraction direction is also random. is there. That is, the surface shape in the first to seventh embodiments is formed on a parallel plate, and when viewed through, the outline of the opposite image can be clearly seen. This means that 0th-order diffracted light always exists in the light that is diffracted and separated by the surface shape, and this light maintains the contour of the image on the opposite side. On the other hand, in the case of frosted glass or surface roughening, there is no light corresponding to the 0th-order diffracted light, and the outline of the image on the opposite side becomes blurred when viewed through.
  • Patent Document 2 interprets the word “obedient” as Snell's law (the law of refraction) without the expression of “diffraction” because there is only the expression “obediently radiated into the air” by the protrusions on the surface. In that sense, it can be understood that it falls into the same category as frosted glass and surface roughening, and can be said to be different from the present invention.
  • the feature of the technique disclosed in Patent Document 2 is that a plurality of transparent protrusions are arranged completely randomly on the transparent insulating substrate, and the protrusion and the recess have the same shape as in the present application.
  • the existence ratio of the convex part and the concave part is a specific ratio as one or more aggregates of minute regions.
  • the structure in which the concave portion and the convex portion are interchanged or the structure in which the height and depth of the minute region are interchanged is substantially the same as the original structure, but the light emitting device described in Patent Document 2 Not so.
  • Patent Document 2 describes the remarkable effect as in the above embodiment. Absent.
  • protrusions having a number of 5000 to 10 6 pieces / mm 2 per unit area and a width of 0.4 to 20 ⁇ m are given in a completely random arrangement.
  • the phase of light is shifted in a concavo-convex shape.
  • the phase shift can be realized in a shape other than the uneven shape.
  • the thickness of the multilayer film and the refractive index condition can be changed in the region corresponding to the concave portion and the region corresponding to the convex portion. Even in this case, it is needless to say that the same effect as the above embodiment can be obtained.
  • the first to eighth embodiments are not independently established, but a part of each may be combined to form a new example.
  • the organic electroluminescence element has been described as an example. However, the present invention can be applied to any element that emits light in a medium having a refractive index larger than 1.
  • the medium from which the light emitting device emits light is not limited to air.
  • the surface structure of the above embodiment can be applied when the refractive index of the transparent substrate is larger than the refractive index of the medium with which the transparent substrate is in contact, particularly 0.1 or more.
  • the light-emitting device according to the present invention is useful as a display, a light source, and the like because it greatly improves the light extraction efficiency and also has good viewing angle characteristics of the emitted light.

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Abstract

 発光体に隣接している透明基板5表面を、その面内の特定方向に傾いた概ね幅wの複数の線分によって区切られており、その線分は内接する最大の円の直径が0.2μm以上1.5μm以下の微小領域で線分の長さ方向に分割されており、各微小領域は透明基板5表面上で凸又は凹の形状をなし、凸か凹かの比率がそれぞれP、1-Pであり、Pは0.4から0.98の範囲にある透明基板5表面の表面構造13を有している。

Description

光学シート、発光装置および光学シートの製造方法
 本発明は、一方の面を発光体に隣接させて用いられる透明な光学シート、発光装置およびその製造方法に関する。
 従来の技術として、例えば特許文献1、2に開示されている技術がある。
 図1は、一般的な有機エレクトロルミネセンス素子(有機EL素子)を用いた発光装置の断面構成と光の伝搬の様子を示している。基板101の上に電極102、発光層103、透明電極104がこの順に積層され、透明電極104の上には透明基板105が載せられている。電極102、透明電極104の間に電圧を印加することで、発光層103の内部の点Sで発光し、この光は直接、もしくは電極102において反射した後、透明電極104を透過し、透明基板105の表面上の点Pに表面の面法線に対して角度θで入射し、この点において屈折して空気層106側に出射する。
 透明基板105の屈折率をn’1とすると、入射角θが臨界角θc=sin-1(1/n’1)より大きくなった時、全反射が発生する。例えば、θc以上の角度で透明基板105の表面上の点Qに入射する光は全反射し、空気層106側に出射することはない。
 図2(a),(b)は上記発光装置において透明基板105が多層構造を有していると仮定した場合における光取り出し効率を説明する説明図である。図2(a)において、発光層103の屈折率をn’k、空気層106の屈折率をn0、発光層103と空気層106の間に介在する複数の透明層の屈折率を発光層103に近い側からn’k-1、n’k-2、…、n’1とし、発光層3内の点Sから発光する光の伝搬方位(屈折面の面法線となす角)をθ’k、各屈折面での屈折角を順にθ’k-1、θ’k-2、…、θ’1、θ0とすると、スネルの法則より次式が成り立つ。
 n’k×sinθ’k=n’k-1×sinθ’k-1=…=n’1×sinθ’1=n0×si
nθ0 (式1)
 従って、次式が成り立つ。
 sinθ’k=sinθ0×n0/n’k (式2)
 結局、(式2)は発光層103が空気層106に直接接触する場合のスネルの法則に他ならず、間に介在する透明層の屈折率には関係せずに、θ’k≧θc=sin-1(n0/n’k)で全反射が発生することを表している。
 図2(b)は、発光層103から取り出せる光の範囲を模式的に示したものである。取り出せる光は、発光点Sを頂点、臨界角θcの2倍を頂角とし、屈折面の面法線に沿ったz軸を中心軸とする2対の円錐体107、107’の内部に含まれる。点Sからの発光が、全方位に等強度の光を放射するものとし、屈折面での透過率が臨界角以内の入射角で100%とすれば、発光層103からの取り出し効率ηは、球面108の表面積に対する、円錐体107、107’により球面108を切り取った面積の比に等しく、次式で与えられる。
 η=1-cosθc (式3)
 なお、実際の取り出し効率ηは臨界角以内の透過率が100%とはならないので、1-cosθcよりも小さくなる。また、発光素子としての全効率は、発光層の発光効率を上記取り出し効率ηに乗じた値となる。
 上記のメカニズムに対して、特許文献1には、有機EL素子において、透明基板から大気へと光が出ていくときの透明基板表面での全反射を抑制する目的で、基板界面や内部の面あるいは反射面に回折格子を形成し、光取り出し面に対する光の入射角を変化させることにより光の取り出し効率を向上させるという原理に基づくものと記載されている発明が開示されている。
 また、特許文献2には、光の取り出し効率のよい平面発光装置を提供するため、有機EL素子において透明基板の表面に透明の突起物を複数形成して透明基板と空気との界面における光の反射を防止することができると記載されている。
特開平11-283751号公報 特開2005-276581号公報
 しかしながら、上述のような従来の発光装置において以下の問題があった。
 図1に示す従来の有機EL素子を用いた発光装置では、発光層103からの光取り出し効率ηが最大でも1-cosθcを超えることがなく、発光層103の屈折率が決まれば、光取り出し効率の最大値が一義的に制限されていた。例えば、(式2)に於いてn0=1.0、n’k=1.457とすると、臨界角θc=sin-1(n0/n’k)=43.34度であり、光取り出し効率の最大値は1-cosθc=0.273程度と小さく、n’k=1.70では0.191程度まで下がる。
 また、特許文献1に開示された技術では、確かに全反射になるべき光を取り出すことができるが、その逆もある。すなわち、回折格子層が無いと仮定したときに発光層内の点から出射した光が、透明基板の屈折面(出射面)において臨界角より小さい角度で入射して透過、屈折する場合があるが、回折格子層がありそこで回折するときは、屈折面に対する入射角が臨界角を超え、全反射する場合がある。従って、特許文献1に開示された技術は光取り出し効率の向上を保証するものではない。さらに特許文献1に開示された技術では、全ての光線に一律に所定量の方位がシフトした回折光が発生する。このような回折光を含んだ光は、方位によって光強度に分布があり、所定量のシフト幅が出射光の波長に依存することから、方位による色のアンバランスが存在する。
 また、特許文献1に開示された発光装置では、外界(空気層側)から入射する光は透明基板の表面を規則的に反射し、発光層から取り出される光にとって外乱(いわゆる映り込み)となるため、透明基板の表面には反射防止膜等の光学処理が必要であり、製品コストを押し上げていた。
 一方、特許文献2に開示された発光装置は屈折面における光の反射防止を目的にしたもので、この構造による光取り出し効率の改善は1、2割程度と小さいものに収まる。
 本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、臨界角以上の透明基板への入射光も出射させて光取り出し効率の大幅な向上を実現するとともに、映り込みを防ぎ、方位による光強度の分布や色のアンバランスの発生も抑える発光装置用の光学シート、発光装置およびその製造方法を提供することにある。
 本発明の第1のシートは、一方の面を発光体に隣接させて用いられる透明なシートであって、他方の面は、内接する最大の円の直径が0.2μm以上1.5μm以下の複数の微小領域δに分割されているとともに、一つの前記微小領域δは別の複数の前記微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、前記複数の微小領域δは、前記複数の微小領域δからランダムに40%以上98%以下の割合で選ばれた複数の微小領域δ1と、それ以外の複数の微小領域δ2とからなり、前記微小領域δ1は、前記他方の面に平行な所定の基準面に対して前記他方の面上方へ突出していてその高さはd/2であり、前記微小領域δ2は、前記所定の基準面に対して前記他方の面下方へ窪んでいてその深さはd/2であり、前記所定の基準面は、前記微小領域δ1と前記微小領域δ2との前記他方の面に垂直な方向における中間の位置に存しており、前記dは0.2μm以上1.4μm以下であり、前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において多角形であり、前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記多角形の一辺と平行な第1方向に配列され、前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とする。
 本発明の第2のシートは、一方の面を発光体に隣接させて用いられる透明なシートであって、他方の面は、内接する最大の円の直径が0.2μm以上1.5μm以下の複数の微小領域δに分割されているとともに、一つの前記微小領域δは別の複数の前記微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、前記複数の微小領域δのそれぞれは、前記他方の面に平行な所定の基準面に対して0以上d/2以下の範囲内のランダムな高さで上方に位置している、あるいは0以上d/2以下の範囲内のランダムな深さで下方に位置しており、前記所定の基準面は、前記他方の面に垂直な方向における最も高い位置に存する前記微小領域δと最も低い位置に存する前記微小領域δとの中間の位置に存しており、前記dは0.2μm以上1.4μm以下であり、前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において多角形であり、前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記多角形の一辺と平行な第1方向に配列され、前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とする。
 本発明の第3のシートは、一方の面を発光体に隣接させて用いられる透明なシートであって、他方の面は、内接する最大の円の直径が0.4μm以上1.0μm以下の複数の微小領域δに分割されているとともに、一つの前記微小領域δは別の複数の前記微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、前記複数の微小領域δは、複数の微小領域δ1と、それ以外の複数の微小領域δ2とからなり、前記微小領域δ1と前記微小領域δ2とは、前記一方の面に垂直に入射した光のうち、前記微小領域δ1を透過した光と、前記微小領域δ2を透過した光との間に、180度の位相差を生じさせ、前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において多角形であり、前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記多角形の一辺と平行な第1方向に配列され、前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とする。
 ある実施形態において、前記微小領域δは多角形且つそれぞれ合同な形状である。
 ある実施形態において、前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において長方形または正方形であり、前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記長方形または正方形の一辺と平行な第1方向に配列され、前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれている。
 ある実施形態において、前記第1方向および前記第2方向は、シートの縁から傾いた方向であることを特徴とする。
 本発明の第1の発光装置は、発光体と、前記発光体の発光面の上に設けられた透明な保護層とを備えた発光装置であって、前記保護層の前記発光面に隣接している面とは反対側の面は、内接する最大の円の直径が0.2μm以上1.5μm以下の複数の微小領域δに分割されているとともに、一つの前記微小領域δは別の複数の前記微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、前記複数の微小領域δは、前記複数の微小領域δからランダムに40%以上98%以下の割合で選ばれた複数の微小領域δ1と、それ以外の複数の微小領域δ2とからなり、前記微小領域δ1は、前記他方の面に平行な所定の基準面に対して前記他方の面上方へ突出していてその高さはd/2であり、前記微小領域δ2は、前記所定の基準面に対して前記他方の面下方へ窪んでいてその深さはd/2であり、前記所定の基準面は、前記微小領域δ1と前記微小領域δ2との前記他方の面に垂直な方向における中間の位置に存しており、前記発光体は発光スペクトルの中心波長がλである光を発し、前記保護層の屈折率がn1、前記保護層が前記反対側の面において接する媒質の屈折率がn1よりも小さいn0であり、λ/6(n1-n0)<d<λ/(n1-n0)であり、前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において多角形であり、前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記多角形の一辺と平行な第1方向に配列され、前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とする。
 本発明の第2の発光装置は、発光体と、前記発光体の発光面の上に設けられた透明な保護層とを備えた発光装置であって、前記保護層の前記発光面に隣接している面とは反対側の面は、内接する最大の円の直径が0.2μm以上1.5μm以下の複数の微小領域δに分割されているとともに、一つの前記微小領域δは別の複数の前記微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、前記複数の微小領域δのそれぞれは、前記他方の面に平行な所定の基準面に対して0以上d/2以下の範囲内のランダムな高さで上方に位置している、あるいは0以上d/2以下の範囲内のランダムな深さで下方に位置しており、前記所定の基準面は、前記他方の面に垂直な方向における最も高い位置に存する前記微小領域δと最も低い位置に存する前記微小領域δとの中間の位置に存しており、前記発光体は発光スペクトルの中心波長がλである光を発し、前記保護層の屈折率がn1、前記保護層が前記反対側の面において接する媒質の屈折率がn1よりも小さいn0であり、λ/6(n1-n0)<d<λ/(n1-n0)であり、前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において多角形であり、前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記多角形の一辺と平行な第1方向に配列され、前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とする。
 本発明の第3の発光装置は、発光体と、前記発光体の発光面の上に設けられた透明な保護層とを備えた発光装置であって、前記保護層の前記発光面に隣接している面とは反対側の面は、内接する最大の円の直径が0.4μm以上1.0μm以下の複数の微小領域δに分割されているとともに、一つの前記微小領域δは別の複数の前記微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、前記複数の微小領域δは、複数の微小領域δ1と、それ以外の複数の微小領域δ2とからなり、前記微小領域δ1と前記微小領域δ2とは、前記保護層の前記発光面に隣接している面に前記発光体から垂直に入射した光のうち、前記微小領域δ1を透過した光と、前記微小領域δ2を透過した光との間に、180度の位相差を生じさせ、前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において多角形であり、前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記多角形の一辺と平行な第1方向に配列され、前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とする。
 ある実施形態において、前記媒質は空気である。
 ある実施形態において、前記媒質はエアロゲルである。
 ある実施形態において、前記発光体の光が生じる部分の屈折率がn2であるとき、n2-n1<0.1であることを特徴とする。
 ある実施形態において、前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において長方形または正方形であり、前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記長方形または正方形の一辺と平行な第1方向に配列され、前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とする。
 本発明のシートの製造方法は、本発明の第1から第3のシートの製造方法であって、円筒状の金型の外周面をシート材に押し付けて前記シート材における一方の面に前記微小領域δに対応する凹凸を形成することによって前記シートを形成し、前記円筒状の金型の外周面には、前記微小領域δに対応する凹凸が、前記円筒状の金型の回転軸を中心軸とする螺旋状に配置されている。
 本発明のシートの製造方法は、本発明の第1から第3のシートの製造方法であって、円筒状の金型の外周面を保護層材に押し付けて前記保護層材における一方の面に前記微小領域δに対応する凹凸を形成することによって前記保護層を形成する工程と、前記保護層における前記一方の面と反対側の面を前記発光体側にして、前記保護層を前記発光体の発光面上に配置させる工程とを含み、前記円筒状の金型の外周面には、前記微小領域δに対応する凹凸が、前記円筒状の金型の軸を中心軸とする螺旋状に配置されている。
 以上より、臨界角を超えた光の取り出しを繰り返し行えるため、光取り出し効率の大幅な改善が可能となる。さらに、ランダムな構造での回折になるため、回折方位に規則性が無くなり、映り込みや方位による光強度の分布や色のアンバランスの発生を抑えることが可能である。また、簡単な構成で、大面積、かつ高精度なパターンを有するシートおよび発光装置を提供することが可能となる。
有機エレクトロルミネセンス素子の断面構成と光の伝搬の様子を示す説明図である。 (a)は多層構造の透明基板を、(b)は取り出し可能な光の範囲を説明する図である。 (a)は屈折率のステップ状の変化を、(b)は屈折率のなだらかな変化を、(c)は屈折面における入射角と透過率との関係を、(d)は屈折面を示す図である。 (a)は周期的構造を有した回折格子を界面に備えた発光装置の断面を、(b)は(a)の上面を示す図である。 回折格子による回折方位を説明する説明図である。 (a)はランダムに配置された突起を表面に備えた発光装置の断面を、(b)は(a)の上面を示す図である。 (a)から(h)は、屈折面に於ける光の場の境界条件を模式的に示す図である。 (a)はピンホールを、(b)は位相シフターを配置した図である。 180度位相シフターがランダムに配置された屈折面の入射角に対する透過率を示した図である。 180度位相シフターがランダムに配置された屈折面の入射角に対する透過率を示す実験説明図である。 入射角に対する透過率を測定するための実験装置の構成図である。 第1の実施形態に於ける有機エレクトロルミネセンス素子の断面構成と光の伝搬の様子を示す図である。 (a)、(b)は第1の実施形態に於ける表面構造の一部拡大図であり、(c)はより広い範囲におけるパターン図である。 (a)から(d)は、第1の実施形態における表面構造から出射する光の視野角依存性を示す説明図である。 (a)から(d)は、第1の実施形態における表面構造から出射する光の視野角依存性を示す説明図である。 第1の実施形態に於ける表面構造の透過率tの入射角依存性を示す説明図であって、(a)は1回目の透過率の入射角依存性を示す説明図であり、(b)は2回目の透過率の入射角依存性を示す説明図である。 第1の実施形態に於ける表面構造の透過率tの入射角依存性を示す実験説明図である。 第1の実施形態の表面構造における取り出し光量の入射角依存性を示す説明図であって、(a)は1回目の取り出し光量の入射角依存性を示す説明図であり、(b)は2回目の取り出し光量の入射角依存性を示す説明図である。 (a)、(b)は第1の実施形態に於ける表面構造の光取り出し効率を示す説明図である。 調整層を有する発光装置の断面を示した図である。 調整層との境界にも表面構造を設けた発光装置の断面を示した図である。 (a)は第2の実施形態に於ける表面構造の光取り出し効率を示す説明図、(b)は第3の実施形態に於ける表面構造の光取り出し効率を示す説明図である。 第2の実施形態における取り出し効率を示す説明図である。 (a)から(e)は第4の実施形態に於ける表面構造のパターンを決定するまでの説明図である。 (a)から(c)は第7の実施形態の第1の表面構造を示す図である。 (a)は、本実施形態に用いる円筒金型を示す図であり、(b)、(c)は、ロールトゥロール方式によってシート31cに円筒金型31の表面の凹凸を転写する方法を模式的に示す図である。 (a)から(d)は、円筒金型31の外周面の一部分を拡大して示す図である。 (a)は、円筒金型31の外周面に形成された微小領域δの配置方向を説明するための図であり、(b)は、(a)に示す円筒金型31の外周面の凹凸形状が反映されたシート32を示す図である。 (a)から(c)は、円筒金型の外周面における微小領域δの他の配置例を示す図である。 (a)、(b)はその他の実施形態に於ける有機エレクトロルミネセンス素子の断面構成と光の伝搬の様子を示す説明図である。 表面構造がチェッカー形状をなすパターン図である。 図31に示した表面構造の透過率tの入射角依存性を示す説明図である。 (a)から(c)は突起物のランダムな配置の仕方を説明する説明図である。 (a),(b)は、チェッカーパターンの表面構造から出射する1回目の取り出し光の視野角依存性の解析結果を付記する図である。
 本願発明の実施形態を説明する前に、特許文献1や特許文献2等の先行例を踏まえて、本願発明に至るまでの検討経過を説明する。
 図3は屈折面(透明層表面と空気層との界面)での透過率を説明する説明図である。屈折率1.5の透明層107の内部から紙面方向に沿って透明層107の屈折面107aに角度θで入射し、空気側(屈折率1.0)に屈折する光の透過率は光の偏光状態に関係する。通常は、屈折面107a近傍での面法線に沿った屈折率分布が図3(a)に示すようなステップ状であるので、P偏光(電界ベクトルが紙面に平行な振動成分)は曲線108a、S偏光(電界ベクトルが紙面に直交する振動成分)は曲線108bの透過率特性を示す。いずれも入射角が臨界角(=41.8度)以下での振る舞いは異なるが、臨界角を超えるとゼロになる。
 一方、透明層107の表層部分を多層構造として屈折率分布が図3(b)に示すようなテーパ状になると仮定すると、P偏光は曲線108A、S偏光は曲線108Bの透過率特性を示す。いずれも臨界角を超えるとゼロになることは変わらないが、臨界角以下での透過率が100%に近づき、臨界角を境にしたステップ関数の形状に近づく。図3(b)では屈折率が1.5から1.0まで0.01の偏差をなす厚さ0.01μmの膜を50層重ねた構造として計算したが、厚さ方向の屈折率変化の勾配が緩やかな程、P偏光、S偏光の差がなくなり、いずれも入射角に対する透過率のグラフがステップ関数に近づく結果が得られる。
 全反射しないようにするためには、屈折面に入射する光の入射角を臨界角以下にする工夫が必要である。そのような工夫の一つとして、特許文献1を例にとり、図4に示す、透明基板205と透明電極204との界面に回折格子209を設けた有機EL素子を用いた発光装置の検討を行った。
 図4(a)に示すように基板201の上に電極202、発光層203、透明電極204、回折格子層209をこの順に積層し、回折格子層209の上には透明基板205を設けている。回折格子層209は透明基板205との間でx方向、y方向ともピッチΛの凹凸周期構造をなし、凸部の形状は図4(b)に示すような幅wの正方形であって、この凸部を千鳥格子状に並べている。電極202、透明電極204の間に電圧を印加することで、発光層203の内部の点Sで発光し、この光は直接、もしくは電極202において反射した後、透明電極204を透過し、回折格子層209を透過し、回折する。例えば、点Sを出射する光210aが回折格子層209において回折せず直進すると仮定すると、光210bのように透明基板205の屈折面205aに臨界角以上の角度で入射して全反射するが、実際には回折格子層209において回折するので、光210cのように屈折面205aに対する入射角が臨界角よりも小さくなり、これを透過できる。
 上記の回折格子による回折方位を図5に従って説明する。屈折率nAの透明層207の内部から紙面方向に沿って透明層207の屈折面207a上の点Oに角度θで入射し、屈折率nBの透明層206側に回折する波長λの光を考える。屈折面207aには紙面に沿ってピッチΛをなす回折格子が形成されている。紙面上に点Oを中心にする半径nAの円211と半径nBの円212を描く。入射ベクトル210i(円211の円周上を始点として角度θで点Oに向かうベクトル)の屈折面207aへの正射影ベクトル(垂線の足Aから点Oに向かうベクトル)を210Iとし、点Oを始点として円212の円周上に終点をもつベクトル210rを、その正射影ベクトル210Rがベクトル210Iと同一になるように描く。垂線の足Cを始点として、大きさqλ/Λのベクトル(格子ベクトル)を考える。ただし、qは回折次数(整数)である。図ではq=1の場合のベクトル210Dを描いており、その終点Bを垂線の足とし、点Oを始点として円212の円周上に終点をもつベクトル210dを描く。作図の仕方から、ベクトル210rの方位角φ(屈折面法線となす角)は次式で与えられる。
 nB×sinφ=nA×sinθ (式4)
 これはスネルの法則そのものである。一方、回折光線の方位を与えるベクトル210dの方位角φ’(屈折面法線となす角)は次式で与えられる。
 nB×sinφ’=nA×sinθ-qλ/Λ (式5)
 ただし、図5の場合の角φ’はz軸(点Oを通る屈折面法線)を跨いでいるのでマイナスで定義される。
 すなわち、回折光線は屈折光線からqλ/Λの分だけ方位がずれることになる。図4において、回折しないと仮定した光線210bは屈折光線に相当し、回折する光線210cは光線210bからqλ/Λの分だけ方位がずれることで、屈折面205aでの全反射を免れていることになる。従って、全反射になるべき光を取り出すことができるので、回折格子層を持たない有機EL発光装置に比べ、光取り出し効率の向上が見込めるようにも考えられる。
 しかしながら、図4(a)において点Sを出射する光210Aを考えた場合、光210Aが回折格子層209において回折せず直進すると仮定すると光210Bのように透明基板205の屈折面205aに臨界角以下の角度で入射して屈折面205aを屈折して透過していくが、実際には回折格子層209において回折するので、光210Cのように屈折面205aに対する入射角が臨界角よりも大きくなり屈折面205aに臨界角以上の角度で入射して全反射してしまう。このように、回折格子層209を設けても光取り出し効率の向上は必ずしも保証されるわけではない。
 また、図4に示す有機EL素子を用いた発光装置では、全ての光線に関して一律にqλ/Λの分だけ方位がシフトした回折光が発生する。このような回折光を含んだ光は方位によって光強度に分布があり、シフト幅qλ/Λが出射光の波長λに依存するため、光が出射する方位によって色のアンバランスが存在する。即ち、見る方向によって異なる色の光が見えることになり、ディスプレイ用途にはもちろん、光源としても不都合である。
 次に特許文献2を例にとり、図6に示す、透明基板305の表面に突起物315を設けた有機EL素子を用いた発光装置について検討を行った。図6(a)に示すように基板301の上に電極302、発光層303、透明電極304、透明基板305をこの順に積層し、透明基板305の表面305aに複数の突起物315を形成している。突起物315は幅w、高さhの四角柱形状のものを図6(b)に示すように透明基板表面305a上でランダムな位置に配置している。wの大きさは0.4~20μm、hの大きさは0.4~10μmの範囲にあり、このような突起物315を5000~1000000個/mm2の範囲の密度で形成している。電極302、透明電極304の間に電圧を印加することで、発光層303の内部の点Sで発光し、この光310dは直接、もしくは電極302を反射した後、透明電極304を透過し、その一部が突起物315を通じて310fのように外界に取り出される。実際の突起物315はサイドエッチングにより先端に行くほど細くなるよう加工できるし、サイドエッチングが無くても実効的な屈折率が透明基板305と空気との中間付近の値を取るので、等価的に屈折率分布を緩やかに変化させられる。従って図3(b)に示す屈折率分布に近い分布となるため、突起物315により310eで示されるような光の反射を一部防止することができ、結果として光の取り出し効率を向上させることができる。また突起物315のサイズを波長以上に設定しても、突起物315がランダムに並んでいるので取り出された光の干渉を抑えることができる。
 しかしながら、図6に示す構造の発光装置は、突起物の効果が特許文献2の中で主張されている反射防止にあるとすると、図3(c)の曲線108a,108bと曲線108A,108Bとの比較からわかるように、透過率の向上は臨界角以下の光によるものに限られ、光の取り出し効率の改善は1,2割程度に止まり、大きな改善は見込めない。
 以上のような検討を行い、これらに基づいて本願発明者らは屈折面での全反射される光量を減らし、取り出せる光量を如何にして増すかについてさらに検討を重ねていった。さらなる検討の手始めとして屈折面での光の境界条件を検討した。
 図7は屈折面に於ける光の場の境界条件を模式的に示しており、幅wの光が屈折面Tに入射する場合を考えている。マックスウェルの方程式から、電界ベクトル又は磁界ベクトルに関して、屈折面Tを挟んで周回する経路Aに沿った積分はゼロである。ただし周回路内部に電荷や光源がなく、屈折面Tに沿った電界ベクトルまたは磁界ベクトルの強度、位相が連続していることが前提条件である。
 図7(a)のように幅wが十分大きい場合には、屈折面に直交する幅tを屈折面に沿った幅sに比べ無視できるほど小さくでき、周回積分の内、屈折面に沿った成分しか残らない。この関係から、屈折面を挟んで電界ベクトル又は磁界ベクトルが連続することが求められる。この連続性の関係を利用して導出されるのがフレネルの式であり、この式により反射、屈折の法則や全反射の現象等が完全に解き明かされる。
 図7(b)のように、光の幅wが波長の数十倍以下まで小さくなると幅tは無視できなくなる。この時、周回積分AをBとCに分割すると(図7(c)参照)、このうち周回積分Bは光束内に含まれるのでゼロになる。残った周回積分Cは光束外での電界ベクトル又は磁界ベクトルがゼロなので、光束内にある経路PQの積分値だけが残る(図7(d)参照)。従って周回積分Cはゼロではなくなり、計算上周回路内で光が発光することと等価になる。さらに、光の幅wが波長の1/10程度まで小さくなると、図7(e)に示すように、周回積分CとC’が近接し経路PQとQ’P’が重なるので、CとC’を合わせた周回積分がゼロになり、周回路内で光が発光することはなくなる。
 一方、図7(f)のように、πだけ位相差がある光が屈折面に沿って並ぶ場合、これらの光束をまたがる周回積分Aを考える。この場合も光の幅wが波長の数十倍以下まで小さくなると幅tは無視できなくなる。この時、周回積分AをBとCとB’に分割すると(図7(g)参照)、このうち周回積分B、B’は光束内に含まれるのでゼロになる。残った周回積分Cは屈折面に沿った成分が無視でき、2つの光束の境界に沿った経路PQとQ’P’の積分値だけが残る(図7(h)参照)。光束の位相がπの場の経路Q’P’での積分は光束の位相が0の場の経路P’Q’での積分に等しいので、周回積分Cは経路PQでの積分の2倍の大きさになり、計算上周回路内で光が発光することと等価になる。従って、幅の狭い光だけでなく狭い幅を介して位相が異なる光が並ぶ場合でも幅の境界付近で光が発生する(実際に発光するのではなく、実効的に発光と同じ振る舞いする現象であり、回折理論の成立前にヤングが提唱した境界回折という現象に似ているので境界回折効果と呼ぶ)。
 屈折面Tにおいてどのような入射条件であろうとも屈折面上で発光があると、その光は屈折面を挟んだ両方の媒質内に伝搬する。すなわち、臨界角以上の入射光であっても、計算上屈折面で発光が生じるようにすれば全反射しないで透過光が現れると考えられる。そこで、本願発明者らはこのような考察結果から、臨界角を超えても光が透過する現象を実際に生じさせるための屈折面の構造を以下のように検討した。
 境界回折効果が強く出る例として図8に示すように、発光体に載せられた透明基板の空気との境界面に(a)ピンホールを設けそれ以外は遮光してピンホール光(白い四角形□内のみに光が存在)としたものと、(b)幅wで仕切られた碁盤の目に180度の位相シフター18をランダムに配置したものとを取り上げた。なお最初はピンホールで検討を行ったが、ピンホールでは現実的な光の取り出しがほとんどできないので、ピンホールと同じ光取り出し特性を示すと考えたランダム配置の位相シフターも検討した。
 図9は図8で示した構造での、屈折面における透過率tの入射角依存性を示す説明図であり、光の波長を0.635μmとし、屈折率1.457の透明基板内で光量1の光が空気との境界面に角θ(屈折面法線となす角)で入射し、1回目でどれだけが空気側に出射するかを幅wをパラメータ(w=0.1、0.2、0.4、0.6、0.8、1.0、2.0、4.0、20.0μm)にして示している(ピンホール光も180度位相シフターも全く同じ特性を示すので180度位相シフターのもので代用する)。図7(a)の条件に近いw=20μmの特性は、臨界角(43.34度)を超えると透過率がほぼゼロになる。wが0.4~1.0μmまで小さくなると、図7(d)、(h)で説明した境界回折効果により、臨界角を超えても大きな透過率が存在する。更にwを小さくすると(w=0.1,0.2μm)、図7(e)で説明した様に、あらゆる入射角で透過率が0に近づいてくる。なお、図9はヘルムホルツの波動方程式(いわゆるスカラー波動方程式)に基づく解析結果なので、P偏光とS偏光の差は現れていない。
 図10は、P偏光入射に於ける1回目の透過率tの入射角依存性を示す実験結果である。微細な位相シフター18の作製は実際には困難であるので、位相0度の部分を透過させ、位相180度の部分を遮光膜(Cr膜)で覆ったマスク(いわゆる幅wで仕切られた碁盤の目に遮光膜をランダムに配置したもので、ピンホール光をランダムに配置したものと同じ)で代用し、実験を行った。実際に作製したマスクパターンでは幅wが0.6、0.8、1.0、2.0、5.0μmであった。実験装置は図11に示すように、半導体レーザー(波長0.635μm)、三角プリズム58(BK7)、マスク基板59(合成石英、屈折率は1.457、裏面にマスクパターン形成)、集光レンズ系50、光検出器51からなり、屈折率1.51のマッチング液52を挟んで三角プリズムをマスク基板の表面に密着させ、三角プリズム側から方位角を計測しながらレーザー光を入射し、裏面側から漏れ出る透過光を集光レンズ系50で集め、光検出器51で透過光量を測定する。マスクの場合、全体の1/2の面積に相当する遮光膜の部分が遮光され、透過光量が位相シフターを用いたものに比べ1/2となるので、透過率tとしては遮光膜のない部分に入射する光量(全体の1/2の光量)で規格化する。実験結果は図9で示した解析結果と良く一致し、臨界角(43.34度)を超えても大きな透過率が存在し、wが小さいほどその傾向が強まることが分かる。
 このような結果に基づいて、本願発明者らはさらに検討を進め、全反射を防いで光の取り出し効率を飛躍的に向上させる今までにない発光装置に想到するに至った。
 以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の図面においては、説明の簡潔化のため、実質的に同一の機能を有する構成要素を同一の参照符号で示す。
 (第1の実施形態)
 第1の実施形態を図12から図19、図27に基づいて説明する。
 図12は第1の実施形態に於ける有機EL素子を用いた発光装置の断面構成と光の伝搬の様子を示している。基板1の上に電極2、発光層3、透明電極4がこの順に積層され、透明電極4の上には透明基板(透明な保護層)5が構成されている。基板1、電極2、発光層3、透明電極4が発光体を構成している。透明基板5の表面には微小領域によって区画化され微細な凹凸を有する表面構造13が形成されている。
 電極2、透明電極4の間に電圧を印加することで、発光層3の内部の点Sで発光し、この光は直接、もしくは電極2を反射した後、透明電極4を透過し、透明基板5表面の表面構造13上の点Pに、表面の面法線に対して角度θで入射し、この点において表面構造13によって回折して空気6層側に出射する。
 空気6層の屈折率をn0、透明基板5の屈折率をn1とすると、入射角θが臨界角θc=sin-1(n0/n1)より大きくなった時に全反射が発生するはずである。しかし、透明基板5表面に表面構造13があるため、点Qには臨界角θc以上の角度で光が入射しても全反射することなく回折し、空気6層側に出射する(1回目の光取り出し)。なお、点Qでは光の一部が反射するがその反射する成分は、電極2を反射した後、再び表面構造13上の点Rに入射し、その一部が空気層側6に出射し(2回目の光取り出し)、残りは反射する。以上の過程を無限に繰り返す。
 ここで表面構造13がない従来の有機EL素子を用いた発光装置を考えると、臨界角以上の角度で透明基板と空気層との界面に透明基板側から入射した光は全反射し、それが電極で反射しても再び透明基板と空気層との界面においては再び臨界角以上で入射するので、2回目以降の光の取り出しは起こらず、この点で本実施形態とは異なっている。
 以下に本実施形態の特徴である表面構造13について詳しく説明をする。
 図13は第1の実施形態に於ける表面構造13のパターン図を2種類示している。図13(a)及び(b)の左が上面図であり、右は上面図のA-A断面図である。図13(a)に示す表面構造13は透明基板5の表面を幅w(境界幅と呼ぶ)の碁盤の目(正方形の微小領域δ)に隙間無く分割し、一つ一つの目(微小領域δ)が凸(図中の13a(微小領域δ1)、灰色の目)であるか、この凸に対して相対的に凹(図中の13b(微小領域δ2)、白の目)であるかを、比率を各50%として2次元内にランダムに割り当てたもので、図13(c)にw=0.4μmの場合の例を示している(黒が凸、白が凹に対応)。一方、図13(b)に示す表面構造13では、図13(a)と同様に、透明基板5の表面を、幅wの正方形の微小領域δが隙間無く分割している。ただし、図13(a)に示す微小領域δが碁盤の目状に配列されているのに対して、図13(b)に示す微小領域δでは、碁盤の目が1列ごとにずれた配置を有する。
 具体的には、図13(b)に示すように、微小領域δは、透明基板5の表面の面内において、正方形の微小領域δの一辺aと平行な方向Aと、方向Aと直交する方向Bとに配列されている。方向Aに隣合う2つの微小領域13a、13b´のB方向の位置(それぞれの微小領域13a、13b´においてA方向に沿った辺のB方向の位置)は一致している。これに対して、方向Bに隣合う2つの微小領域13a、13bのA方向の位置(それぞれの微小領域13a、13bにおいてB方向に沿った辺のA方向の位置)はずれている。
 図13(a)に示す表面構造13が微小領域δを2次元内にランダムに割り当てたものであるのに対して、図13(b)に示す表面構造13は、異なったルールで構成されている。図13(a)、(b)に示す表面構造13は、図27(a)に示すように、微小領域δ(幅w×長さw)が1次元的にランダムに配置されている線分から、適当な長さの線分を切り出し、それを面内の特定方向に並べて配置させたものである。例えば、図27(c)、(d)に示すパターンでは、4つの微小領域δが1列に配列された線分を切り出し、これらが横方向に並べて配置されている。線分の長さは任意で良く、線分の長さがwの倍数である必要はない。縦方向はランダムに割り当てられた微小領域δが並ぶが、横方向の並べ方については特にルールを定める必要はない。
 つまり、シート面内における特定方向の微小領域の配置のみがランダムに割り当てられ、それとは直交する方向(横方向)の並べ方やルールは問題にしない。このようなパターンでも横方向のランダム性は維持されることになる。つまり、図13(a)、(b)で示されるシートのパターンは一見異なって見えるが、最小単位w以下の位置ズレが生じても微小領域δの凹凸形状から求められるトータルの境界数はほとんど変化せず、得られる光学特性も同様である。
 なお、図13(b)で示されるシートのパターンは、微小領域が横方向に一直線状に配列されないため、図13(a)で示されるシートのパターンに比べて、微小領域の配置に対してランダム性が向上する。
 図13(a)、(b)において、微小領域δを構成する凸の突出高さは凹の底部から見てdである。即ち一つの微小領域δは別の複数の微小領域δによって隣接されているとともに囲繞されており、微小領域δ1は微小領域δ2よりも透明基板5の表面の上方へ突き出している。ここで微小領域δ1と微小領域δ2との、透明基板5の表面に垂直な方向に関する中間の位置に、透明基板5表面に平行な基準面を定めると、微小領域δ1は基準面からd/2だけ上方に突き出しており、微小領域δ2は基準面からd/2だけ下方に窪んでいる。あるいは、透明基板5の空気6との境界面には複数の窪み(白の部分)が存していて窪み以外の部分の上面は同一面上に存しており、窪みの深さはそれぞれ実質的に同じdであってこの窪みの底面を第1基準面とすると、第1基準面は1.5×1.5μm2以下の同じ面積を有した複数の微小領域δに分割されており、窪みの底面は微小領域δが2つ以上接続した形状若しくは微小領域δが1つのみである形状であり、窪みは第1基準面にランダムに配置されている、ともいえる。なお、第1基準面は、上記の基準面とは別の面である。
 表面構造13の形成はエッチングで凹凸の形成された金型を作製し、この形状をプレスによりシート状の樹脂に転写し、このシートを透明基板5として接着層を介して透明電極4に貼り合わせるという方法で行ってもよい。この場合は透明基板5イコール透明なシートである。また、シートの表面あるいは保護層として形成された透明基板5の表面に直接にエッチングなどによって凹凸を形成する方法で行っても構わない。
 このようなランダムパターンを回折する光はその伝搬方位もランダムになるので、特許文献1に記載された発光装置のような、方位による光強度の分布が存在せず、方位による色のアンバランスもない。また、外界(空気層側)から入射する光は透明基板5表面の表面構造13において反射するが、この反射光はランダムな方位に回折するため、外界の像が映り込むことにはならず、反射防止膜等の光学処理は不要であり、製品コストを低く抑えられる。図14および図15は第1の実施形態における表面構造から出射する1回目の取り出し光の視野角依存性の解析結果を示す説明図であり、段差d=0.7μmとし、波長λと境界幅wをパラメータにして示している。図14(a)はλ=0.450μm、w=0.5μm、図14(b)はλ=0.635μm、w=0.5μm、図14(c)はλ=0.450μm、w=1.0μm、図14(d)はλ=0.635μm、w=1.0μm、図15(a)はλ=0.450μm、w=1.5μm、図15(b)はλ=0.635μm、w=1.5μm、図15(c)はλ=0.450μm、w=2.0μm、図15(d)はλ=0.635μm、w=2.0μmの条件である。原点と曲線上の点を結ぶベクトルが出射光の光強度と出射方位を表しており、ベクトルの長さが光強度、ベクトルの方位が出射方位に対応する。縦軸は面法線軸の方位、横軸は面内軸の方位に対応し、実線は面内軸が図13(b)に於けるx軸又はy軸に沿った断面(0度、90度の経度方位)、破線は面内軸がy=x又はy=-xの直線に沿った断面(45度、135度の経度方位)での特性である(90度方位の結果は0度方位、135度方位の結果は45度方位と一致するので省略する)。境界幅w=0.5、1.0μmでは実線、破線とも偏角(緯度)に対しなめらかな変動(即ち視差に伴う強度差が少ないこと)を示し、かつ両者が一致する。wを大きくし、w=2.0μmになると面法線方向の近傍での偏角に対する強度変動が大きくなり、λ=0.450μmでは実線、破線間の乖離も大きくなる。w=1.5μmは強度変動が出始めるぎりぎりの条件である。従って、面法線方向の光強度が強く、偏角(緯度)に対する変動が緩やかで、経度方向の光強度差が少ない視野角依存性は境界幅wが1.5μm以下の条件で得られることが分かる。
 図16は第1の実施形態に於ける表面構造13の透過率tの入射角依存性を示す説明図であり、透明基板5内で光量1の光が表面構造に角θ(屈折面法線となす角)で入射し、1回目でどれだけが空気6側に出射するかを図16(a)に示している。図16(b)は表面構造13で反射し、電極2を反射した後、再び表面構造13に入射する場合、すなわち2回目に於ける透過率の入射角依存性を示している。何れの図も、透明基板5の屈折率n1=1.457、空気6の屈折率n0=1.0、光の波長λ=0.635μm、微小領域δ1の微小領域δ2に対する突出高さd=0.70μm、微小領域δ1の面積比率(即ち凸である比率)P=0.5とし、表面構造の幅wをパラメータ(w=0.1,0.2,0.4,0.6,0.8,1.0,2.0,4.0μm)にしている。なお、突出高さd=0.70μmは垂直入射に於いて凹部での透過光と凸部での透過光にπだけ位相差が発生する条件(d=λ/2(n1-n0))に相当する。
 微小領域δのそれぞれが微小領域δ1または微小領域δ2である確率は、それぞれPまたは1-Pである。このため、微小領域δにおいて、微小領域δ1または微小領域δ2が2以上連続して隣接し存在し得る。この場合、連続する微小領域δ1または微小領域δ2間に境界は形成されておらず、境界は仮想的である。しかし、この場合でも、微小領域δ1または微小領域δ2が連続することにより、これらの領域の境界がなくなっただけであり、透明基板5の表面は微小領域δを基準単位として分割されていると言える。
 図16(a)は、w=0.1、0.2μmでの結果が異なる以外は180度位相シフターに於ける結果(図9)に近く、臨界角を超えても大きな透過率が存在する。図17はP偏光入射に於ける透過率tの入射角依存性を示す実験結果である。実際に電子線ビーム法により石英基板上に深さd=0.70μm、境界幅w=0.4μmの凹凸のランダムパターンを形成し、図11に示した測定装置を用いて実験を行った。実験結果は図16(a)で示した解析結果と良く一致し、臨界角(43.34度)を超えても大きな透過率が存在することが分かる。本実施形態の前に説明したように、屈折面においてどのような入射条件であろうとも屈折面上で等価的な発光(いわゆる境界回折効果)があると、その光は屈折面を挟んだ両方の媒質内に伝搬する。図16で示したような臨界角を超えても光が透過する現象は、この屈折面上で等価的な発光が生じる条件にしていることから説明できる。
 点発光により光は透明基板5内で球面波となって均一に拡散すると仮定すると、発光方位角θ(前述の入射角θに一致)からθ+dθの間にある光量の総和はsinθdθに比例する。従って、取り出し光量は図16(a)、(b)で示した透過率tにsinθを掛けた値に比例する。図18(a)、(b)は第1の実施形態の表面構造における取り出し光量の入射角依存性を示す説明図である。すなわち、透明基板5内の1点(実際には発光層内の点)で発光する光量1の光が表面構造に角θ(屈折面法線となす角)で入射し、1回目でどれだけが空気層6側に出射するかを図18(a)に示し、図18(b)は表面構造13において1回反射し、電極2を反射した後、再び表面構造13に入射する場合、すなわち2回目の取り出し光量の入射角依存性を示している。
 取り出し光量を入射角θで積分すると光取り出し効率が得られる。図19(a)、(b)は第1の実施形態に於ける表面構造13の光取り出し効率を示す説明図であり、図16におけるものと同じ条件の下、横軸に表面構造13の境界幅wをおいてまとめている。図19(a)において、表面構造13の突出高さd=0.70μmに加え、d=0.1、0.30、0.50、1.40μmの場合の光取り出し効率(1回目の光取り出し効率η1)、更には透明電極4での吸収や電極2での反射損など、往復における光減衰は無いとして、表面構造13で反射し、電極2を反射した後、再び表面構造13に入射する場合の光取り出し効率(2回目の光取り出し効率η2)も示している。曲線5a、5Aはそれぞれd=0.70μmでの1回目、及び2回目の光取り出し効率、曲線5b、5Bはそれぞれd=0.50μmでの1回目、及び2回目の光取り出し効率、曲線5c、5Cはそれぞれd=0.30μmでの1回目、及び2回目の光取り出し効率である。曲線5g、5Gはd=0.10μmでの1回目及び2回目の光取り出し効率であり、他の深さに比べ光取り出し効率が小さくなることから突出高さdは0.20μm以上は必要である。また曲線5hに示すように、可視光波長の倍以上(d≧1.4μm)になると、幅wが1.5μm以下の領域で1回目の効率が大きく劣化するので、突出高さdは1.4μm以下が好ましい。従って、dの推奨値は0.2~1.4μmの範囲にある。もっと一般的に言えば、透明基板5の屈折率n1、空気6の屈折率n0(ただし、透明基板5が接している媒質は空気でなくてもよく、その媒質の屈折率n0が透明基板5の屈折率n1よりも小さくなりさえすればよい。)、光のスペクトルの中心波長λとして、λ/(n1-n0)≧d≧λ/6(n1-n0)の条件が段差の推奨値である。
 d≦0.70μmの場合、1回目の光取り出し効率はいずれも境界幅wが0.4~2μmで極大になり、wを小さく、又は大きくしていくと0.27(いわゆる(式3)で与えられる値で表面が鏡面とした場合の光取り出し効率)に漸近する。2回目の光取り出し効率はいずれもw=0.10から2.0μmの間で極大値をなしwを大きくしていくと0.00に漸近し(図19の範囲では現れていない)、w≦0.10μmではwが小さくなるに従って0.00に収束する。
 参考として図19(b)の曲線5d、5Dに、表面構造13ではなく、微小領域δ1に光の位相を180度変換させる位相シフターを置いた場合の1回目、及び2回目の光取り出し効率を示す。本実施形態の表面構造13では凹部と凸部の伝搬光がその段差分だけの距離を伝搬する間に位相差が発生するのに対し、位相シフターでは伝搬距離ゼロで位相差が発生する仮想的なものである。位相シフターの場合、境界幅wを大きくしていくと1回目、2回目の光取り出し効率がそれぞれ0.27、0.00に漸近していくことは表面構造13と同じであるが、0.3μm以下に小さくしていくと、2回目のみならず1回目の光取り出し効率もゼロになる(この理由はすでに図7(e)で説明した)。本実施形態の表面構造13が境界幅0.4μm以下の条件で位相シフターよりも高い光取り出し効率が得られる理由の一つは、凸部が光導波路として作用していることが考えられる。
 透明基板5から見た、透明基板5の表面と電極2との間の往復における光透過率をτとすると、往復における光減衰を考慮した2回目の光取り出し効率はτ×η2になる。光取り出しは1回、2回にとどまらず無限に繰り返され、その関係が等比数列と仮定して1回目がη1、2回目がτ×η2であれば、n回目はη1×(τ×η2 /η1n-1と予想できる。従って、n回目までの光取り出しの合計は
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
                                 ・・・(式6)
となり、無限回ではη1/(1-τ×η2 /η1)に漸近する。
 図19(a)において曲線5a,5A(d=0.70μm)で見てみると、w=0.60μmの時、η1=0.318、η2=0.093であり、τ=0.88とすると、0.428の光取り出し効率が得られる。w=1.00μmの時には、η1=0.319、η2=0.102であり、0.444の光取り出し効率が得られる。一方、図1、図3(a)に示される従来の発光装置は、η1=0.274、η2=0であり、2回目以降は全てゼロとなり、合計で0.274である。従って、w=0.60μm条件では、本実施形態の発光装置は図3(a)に示される発光装置の1.56倍、w=1.00の条件では1.62倍の光取り出し効率を実現できることが分かる。このように、wを0.2μmよりも大きくすることで(一般的に表現すれば、微小領域δに内接する円の最大のものの直径を0.2μm以上とすることで)光取り出し効率の大幅な向上を実現できる。
 次に本実施形態に於ける表面構造13の光取り出し効率が波長にどのように依存するかを考察する。
 図19(a)の曲線5a’、5A’、5h’、5H’は、波長0.45μmの条件での、d=0.70、1.40μmに対する1回目、及び2回目の光取り出し効率を示している。これらの特性は波長0.635μmでの結果とほぼ一致するので、可視光内の波長差に伴う取り出し効率の変化を小さくできることが分かる。
 このように、本実施形態における表面構造13は単一の形状(dとw)であっても可視光内の全波長に対して最適値に近い光取り出し効率が得られるので、この構造をディスプレイ装置の表示面に用いる場合、RGBの3種類の画素に対して個別に形状を変える必要がなく、構成や組立時の調整を大幅に簡素化できる。
 また、有機EL素子では透明電極4の上に、透明基板5と電極2との間の光の往復における光透過率を調整するための透明な調整層が置かれることがある。この場合、透明基板5は調整層の上に載せられる(即ち調整層まで含んだ有機EL素子を発光体と言うことができる)が、透明基板5の屈折率n1が調整層の屈折率n1’よりも小さくなる場合、透明基板5と調整層との間に全反射が発生する境界面が存在し、特にn1’-n1>0.1の場合にはその影響が無視できなくなる。図20はその時の光の伝搬の様子を示している。
 図20に於いて、屈折率n2の発光層3の内部の点Sで発光する光は直接、もしくは電極2を反射した後、透明電極4を透過し、屈折率n1’の調整層15を透過し、境界面15a上の点P’において屈折して、屈折率n1の透明基板5を透過し、透明基板5と空気6との境界面上の点Pを経て空気6側に出射する。ここではn1’≧n2>n1>1.0である。なお、n1’はn2よりも小さくても構わないが、この場合は透明電極4と調整層15との間で全反射が発生する。透明基板5において空気6との境界面には本実施形態に係る表面構造13が形成されているので、臨界角を超えた光でも空気6層側に取り出すことが出来る。しかし、n1’>n1の関係から境界面15aでも全反射が発生する。すなわち、点P’への入射より入射角の大きい点Q’への入射では全反射し、この光は電極2との間で全反射を繰り返し、空気6側に取り出すことは出来ない。
 このような場合、図21に示すように、調整層15と透明基板5との境界面にも本実施形態に係る表面構造13’を設けることでこの面での臨界角を超えた入射光を空気6側に取り出すことが出来る。すなわち、表面構造13’により臨界角を超えた点Q’への入射でも全反射は発生せず、この面で反射する成分は電極2を反射した後、再び表面構造13’上の点R’に入射し、その一部が表面構造13を経て空気6側に出射でき、以上の過程を無限に繰り返す。図21の構成は、凹凸を有する表面構造13,13’を2重に形成する複雑さはあるが、透明基板5に屈折率の低い材料を用いることが出来、材料の選択の幅を広げられるメリットを有する。
 なお、(式6)より透明基板5と電極2との間の往復における光透過率τが大きければ、光取り出し効率は増大する。実際の発光層3は電極2や透明電極4以外に、上述した調整層15等の複数の透明層等に取り囲まれるが、それらの膜設計(発光層3を含めた膜の屈折率や厚みの決定)は、前述の光透過率τが最大になるように行うべきである。この時、表面構造13での反射は位相の分布がランダムになるので、反射光の重ね合わせはインコヒーレントな扱い(振幅加算でなく強度加算)になる。すなわち透明基板5表面の反射影響は無視でき、仮想的に反射率0%、透過率100%として扱える。この条件で透明基板5から光を発光させ、この光を発光層3を含む多層膜を多重に往復させ、透明基板5に戻ってくる複素光振幅の重ね合わせ光量を最大にすることを条件にして、各膜の屈折率や厚みが決定される。
 (第2の実施形態)
 第2の実施形態を図22、図23に基づいて説明する。なお第2の実施形態は表面構造13のパターンが第1の実施形態と違うだけで、他の構成は全て第1の実施形態と同じであり、共通の構成についてはその説明を省略する。
 第2の実施形態は表面構造の凸である比率Pと凹である比率1-Pを0.5に固定するのではなく、P=0.4~0.98としたものである。即ち、微小領域δ1(上方へ突出している領域)が40~98%存在し、微小領域δ2(窪み)が60~2%存在している。
 図22(a)は本実施形態に於ける表面構造の光取り出し効率を示す説明図であり、透明基板5の屈折率n1=1.457、空気6の屈折率n0=1.0、光の波長λ=0.635μm、表面構造の突出高さd=0.70μmとし、横軸に表面構造の境界幅wをおいて、比率P=0.2,0.4,0.6,0.8、0.9の場合の光取り出し効率(1回目、及び2回目)を示している。曲線6a、6b、6c、6d、6e及び6A、6B、6C、6D、6EはそれぞれP=0.2,0.4,0.6,0.8、0.9での光取り出し効率である。図23の曲線27a、27Aは上記の条件で境界幅w=1.0μmとし、凸である比率Pを横軸にして光取り出し効率(1回目、及び2回目)をプロットしている。
 図22(a)より、1回目の光取り出し効率ではwの全ての領域で比率P=0.2の特性が最小となり、w≦2μmではP=0.6の特性が最大値を与える。2回目の光取り出し効率ではw≦4μmの範囲でP=0.9の特性が最も大きく、P=0.2の特性が最小となる。
 図23の曲線27aより、1回目の光取り出しでは凹凸の面積比率を支配する比率Pを0.6を中心とする0.4~0.8の範囲に設定することで、光取り出し効率をより高められる。これはこの範囲で凸部が光導波路として効果的に作用するためであると考えられる(P≦0.2では導波路を形成する凸部の面積比が少なく、P≧0.8では凸部同士が近づきすぎて導波効果が薄まる)。一方、図23の曲線27Aより、2回目の光取り出しでは比率Pを0.9を中心とする0.5~0.98の範囲に設定することで、光取り出し効率をより高められる。従って、1回目、2回目を含めたトータルの光取り出し効率では比率Pを0.4~0.98の範囲に設定することが好ましい。
 このように、本実施形態では比率Pを0.5からずらすことで、第1の実施形態よりも高い光取り出し効率が得られる。また、第1の実施形態と同様に、方位による光強度の分布や色のアンバランスがない上、光取り出し効率の大幅な向上を実現でき、外界の像の映り込みも抑えられる等の効果を有する。
 (第3の実施形態)
 第3の実施形態を図22(b)に基づいて説明する。なお第3の実施形態は表面構造13の段差条件が違うだけで、他の構成は全て第1、第2の実施形態と同じであり、共通の構成についてはその説明を省略する。
 第3の実施形態は第1、第2の実施形態に於ける表面構造の隣接する2つの微小領域δ1,δ2間の段差の量をランダムにした場合である。ランダムにする方法としては、図13(a)において、透明基板5の表面を幅w(境界幅と呼ぶ)の碁盤の目(正方形の微小領域δ)に隙間無く分割し、単一の基準面に対し一つ一つの目に-dm/2からdm/2までの間の任意の高さ(または深さ)をランダム関数に基づきランダムに設定したものである。単一の基準面としては、透明基板5の表面の面法線に平行な方向において、最も高い位置に存する微小領域δと最も低い位置に存する微小領域δとの中間に存する、透明基板5の表面に平行な面である。dmは最も高い位置にある微小領域δと最も低い値にある微小領域δとの高さ方向の位置の差である。
 図22(b)は本実施形態に於ける表面構造の光取り出し効率を示す説明図であり、透明基板5の屈折率n1=1.457、空気6の屈折率n0=1.0、光の波長λ=0.635μmとし、横軸に表面構造の境界幅(微小領域δの幅)wをおいて、最大段差dm=1.4,0.9,0.7、0.3μmの場合の1回目の光取り出し効率η1、2回目の光取り出し効率η2を示している。計算の都合から基準面からの段差量のランダム性として、dm=1.4μmでは-0.7μmから0.7μmまでの0.467μmステップで4種類の段差、dm=0.9μmでは-0.45μmから0.45μmまでの0.3μmステップで4種類の段差、dm=0.7μmでは-0.35μmから0.35μmまでの0.233μmステップの4種類の段差、dm=0.3μmでは-0.15μmから0.15μmまでの0.1μmステップの4種類の段差をそれぞれランダムに選択する条件(出現確率がそれぞれ25%の条件)で行った。なお、各ステップの出現確率は均等である必要はなく、例えば低い(深い)位置のステップの出現確率を小さく、高い(浅い)位置のステップの出現確率を大きくしてもよい。
 曲線6i、6Iはそれぞれdm=1.4μmでの1回目、及び2回目の光取り出し効率、曲線6h、6Hはそれぞれdm=0.9μmでの1回目、及び2回目の光取り出し効率、曲線6g、6Gはそれぞれdm=0.7μmでの1回目、及び2回目の光取り出し効率、曲線6f、6Fはそれぞれdm=0.3μmでの1回目、及び2回目の光取り出し効率である。第1実施例と同様に、1回目の光取り出し効率はいずれも境界幅wが0.2~2μmで極大になり、wを小さく、又は大きくしていくと0.27(いわゆる(式3)で与えられる値で表面が鏡面とした場合の光取り出し効率)に漸近する。2回目の光取り出し効率はw≦0.20μmではwが小さくなるに従って0.00に収束し、図では現れないがwを8μmより大きくしていくと0.00に漸近する。従って、境界幅wの範囲は0.2μm以上の大きさである必要があり、更に第1実施例の図14、図15で議論したように、視野角依存性の関係から1.5μm以下が好ましい。図22(b)において、dm=0.7μm、境界幅w=0.6μmの条件で計算した1回目、2回目の光取り出し効率(η1、η2)は0.331、0.141となる。従って、dm=0.7μmで得られる特性は第1の実施形態で得られる特性(曲線5A)や第2の実施形態で得られる特性(曲線6B,6C)に比べ、2回目の光取り出し効率が向上している。これは凸部の先端が不揃いになることで、パターンのランダム性が増し、表面構造を反射する光の伝搬方位のランダム性も増して反射光の拡散性が高まり、2回目の光取り出しでも1回目に近い状態(全方位に均一な光強度の状態)で光が入射できるためと考えられる。
 なおw≧0.4μmの範囲でdm=0.70μmに比べてdm=0.30μmの一回目における特性が劣化していることから、dmはdm≧0.2~0.3μmであることが好ましい(この範囲は第1の実施形態と同じである)。また、dm=1.40μmはw≧1.0μmの範囲でdm=0.70μmに比べ一回目の特性が微改善するが、dmが大きすぎると加工が困難になるうえ、w≧1.5μmの条件で視野角特性が劣化するので(図14、15参照)、1.40μmがdmの上限の目安といえる。これらの範囲は第1の実施形態の範囲(λ/(n1-n0)≧dm≧λ/6(n1-n0))と同じである。
 この様に、第3の実施形態は段差の量をランダムにすることで、第1、第2の実施形態よりも高い光取り出し効率が得られる。また、第1の実施形態と同様に、方位による光強度の分布や色のアンバランスがない上、外界の像の映り込みも抑えられる等の効果を有する。
 なお、段差の量をランダムにする条件として、(1)0から最大段差量dmまでの全ての値をとる場合、(2)0と最大段差量dmを含めて3段以上の段差の内のいずれかをとる場合、の2つが考えられる。このうち(2)の一例として、0、dm/3、dm×2/3、dmの4種類の段差を取る場合を考えると、このような表面構造をシート表面に形成するための形状転写用の金型は、2回の露光、エッチング工程(1回目:露光で境界幅w1のマスクパターンを用い、深さdm/3のエッチング、2回目:露光でマスクを境界幅w2のマスクパターンに変えて深さdm×2/3のエッチング)で作製することができる。このとき、不連続な境界線の出現頻度を最大にするには、w2=w1が条件となる。
 さらに、0,dm/6,dm×2/6,dm×3/6,dm×4/6,dm×5/6,dmの7種類の高さ(段差)を取る場合を考えると、このような表面構造をシート表面に形成するための形状転写用の金型は、3回の露光、エッチング工程(1回目:露光で境界幅w1のマスクパターンを用い、深さdm/6のエッチング、2回目:露光でマスクを境界幅w2のマスクパターンに変えて深さdm×2/6のエッチング、3回目:露光でマスクを境界幅w3のマスクパターンに変えて深さdm×3/6のエッチング)によって作製することができる。このとき、不連続な境界線の出現頻度を最大にするには、w1=w2=w3が条件となる。
 (第4の実施形態)
 第4の実施形態を図24に基づいて説明する。なお第4の実施形態は表面構造のパターンが第1の実施形態と違うだけで、他の構成は全て第1の実施形態と同じであり、共通の構成についてはその説明を省略する。
 図24は第4の実施形態に於ける表面構造のパターンを決定するまでの過程を示している。図24(a)は、透明基板5の表面を幅w1の碁盤の目(正方形の微小領域α)に分割し、一つ一つの目が黒であるか白であるかの比率を各50%として白と黒とをランダムに割り当てたもので、図ではw1=1μmの場合の例を示している(w1の最適値はもっと小さいところにあるが、図として見にくくなるのでこの値で説明する)。黒に割り当てられた微小領域αは微小領域α1であり、白に割り当てられた微小領域αは微小領域α2である。
 図24(b)は、透明基板5の表面をw1の整数倍の大きさの幅w2の碁盤の目(正方形の微小領域β)に分割し、一つ一つの目が黒である比率をP2、白である比率を1-P2とし、P2=0.5として白と黒とをランダムに割り当てたもので、図ではw2=2μmの場合の例を示している。黒に割り当てられた微小領域βは微小領域β1であり、白に割り当てられた微小領域βは微小領域β2である。
 図24(c)は、図24(a)、図24(b)のパターンを碁盤の目が揃うように重ね合わせ、黒(α1)と黒(β1)の重なりは白に、白(α2)と白(β2)の重なりは白に、白(α2)と黒(β1)、又は黒(α1)と白(β2)の重なりは黒にするというルールで生成されたパターンである。図24(c)は結果として図24(a)のパターンと生成ルールが等しくなり、黒を凸とし、それに対して相対的に白は凹となる表面構造のパターンは第1の実施形態で紹介しているものと同じである。
 一方、図24(d)は、透明基板5の表面を幅w1の碁盤の目(正方形の微小領域α)に分割し、一つ一つの目が黒である比率をP1、白であるかの比率を1-P1としてランダムに割り当てたもので、図ではw1=1μm、P1=0.1の場合の例を示している。図24(a)と同様に、黒が微小領域α1、白が微小領域α2である。
 図24(e)は、図24(d)、図24(b)のパターンを碁盤の目が揃うように重ね合わせ、黒(α1)と黒(β1)の重なりは白に、白(α2)と白(β2)の重なりは白に、白(α2)と黒(β1)、又は黒(α1)と白(β2)の重なりは黒にするというルールで生成されたパターンである。図24(e)は黒、白の面積比率が1:1であり、黒マーク、白マークの最小サイズが同じになるなど、図24(c)のパターンと似た特徴をなすが、最小サイズの出現比率が低い点で違いがある。最終的な黒と白の比率(凹凸の面積比率)は比率P1、P2で決まり、黒の比率P(凸となる比率)はP=P1+P2-2P12で与えられる。
 図23に、表面構造の凸部分の突出高さd=0.70μm、w1=0.2μm、w2=1μm、P1=0.1の条件で、凸となる比率Pを横軸にして計算した1回目、2回目の光取り出し効率(η1、η2)の特性を曲線27b,27Bとして付記する。
 図23の曲線27bより、第1実施例とは異なったパターンの凹凸分布にも関わらず、1回目の光取り出しでは凹凸の面積比率を支配する比率Pを0.6を中心とする0.4~0.8の範囲に設定することで、光取り出し効率をより高められる。一方、曲線27Bより2回目の光取り出しでは比率Pを0.5~0.9の範囲(P1=0.1に設定しているので曲線27b、27Bは0.1以下、0.9以上をプロットできない)に設定することで、光取り出し効率をより高められる。従って、第1実施例と同様に比率P1、P2を組み合わせ最終的な凸となる比率Pを0.5~0.98の範囲に設定することで、1回目、2回目を含めたトータルの光取り出し効率を高めることができる。なお、図23の曲線27c,27Cはw1=0.1μm、P1=0.1の条件、曲線27d,27Dはw1=0.1μm、P1=0.2の条件の1回目、2回目の光取り出し効率の特性である。w1を0.2μmより小さくすることで効率が大きく劣化するので、w1は0.2μm以上の大きさである必要がある。また、w1の上限値は第1実施例の図14、図15で議論したように、視野角依存性の関係から1.5μm以下が好ましい。
 第4の実施形態は表面構造の形成条件を第1の実施形態とは若干変更したものであり、条件によっては光取り出し効率は第1の実施形態よりも若干劣化するが、依然として図1,図3(a)に示す従来の発光装置よりも大きな光取り出し効率を実現でき、第1の実施形態と同様に、方位による光強度の分布や色のアンバランスがない上、光取り出し効率の大幅な向上を実現でき、外界の像の映り込みも抑えられる等の効果を有する。また第4の実施形態は、第1の実施形態に比べ、表面構造に関する形状の制約条件が緩いため、誤差マージンが広く取れ、加工のしやすさにメリットがある。例えば、第1の実施形態の条件では、凹部と凹部、又は凸部と凸部の間隔が近接するため、微細な凹凸形状を加工することは困難であるが、第4の実施形態では微細な凹部、又は凸部の出現比率が低いので(図24の(c)と(e)を参照)、凹部と凹部、又は凸部と凸部の間隔が実効的に広がって加工の難易度のハードルは低くなる。なお、第2の実施形態に第4の実施形態を適用したものでも、第2の実施形態と同様の効果が得られることは言うまでもない。
 (第5の実施形態)
 第4の実施形態と第3の実施形態を組み合わせたものが、第5の実施形態である。本実施形態では、領域の設定をわかりやすくするために各領域を色で区別して説明する。第5の実施形態では、まず、透明基板5の表面を幅w1の碁盤の目(正方形の微小領域α)に分割し、一つ一つの目が黒である比率をP1、白である比率を1-P1としてランダムに黒と白とに割り当て、白を割り当てられた領域(微小領域α2)をd1(>0)の深さだけエッチング等の方法で彫り込む。なお黒を割り当てられた領域が微小領域α1である。
 次に、透明基板5の表面を幅w2の碁盤の目(正方形の微小領域β)に分割し、一つ一つの目が青である比率をP2、赤である比率を1-P2としてランダムに青と赤と割り当て、赤を割り当てられた領域(微小領域β2)をd2(>0)の深さだけエッチング等の方法で彫り込む。なお、青を割り当てられた領域が微小領域β1である。ただし幅w2は幅w1の整数倍であり(w2=w1が最も好ましい)、それぞれの碁盤の目は境界線が揃うように重ね合わされている。
 このようにすることで、白と赤の重なっている部分の面を基準面としたときに、この基準面に対し黒と青の重なりは高さd1+d2に、白と青の重なりは高さd2に、又は黒と赤の重なりは高さd1にすることができる。従って、段差は0からd1+d2までの間の4種類の値(0、d1、d2、d1+d2)をランダムに取り得るので、第3の実施形態と同じ効果が得られる。
 しかもd1=dm×1/3、d2=dm×2/3と設定すれば、微細な構造で作製が困難な幅w1のパターンは深さを浅くできるので加工のしやすさにメリットがある。d1=dm×1/3、d2=dm×2/3の場合、比率P2はこれが彫り込み幅の深い側に対応しているので(実際には比率P2の側が2、比率P1の側が1の重みで平均深さに関係する)、凹凸の面積比率、すなわち深さの平均レベルを決定する第4の実施形態の比率P2と似た意味合いを持つ。一方、比率P1は微細な構造(幅w1)の出現比率に関係するので、第4の実施形態の比率P1と似た意味合いを持つ。
 なお、上述の実施例は2種類の露光、エッチング工程の組み合わせであったが、3種類の露光、エッチング工程を組み合わせると、8種類の値からランダムな高さをとることができる。この場合は上述した2つのエッチング工程に以下の工程を加える。すなわち透明基板5の表面を幅w3の碁盤の目(正方形の微小領域γ)に分割し、一つ一つの目が緑である比率をP3、黄色である比率を1-P3としてランダムに緑と黄色と割り当て、黄色を割り当てられた領域(微小領域γ2)をd3(>0)の深さだけエッチング等の方法で彫り込む。なお緑を割り当てられた領域が微小領域γ1である。ただし幅w3は幅w2の整数倍であり(w3=w2が最も好ましい)、それぞれの碁盤の目は境界線が揃うように重ね合わされている。
 このようにすることで、白と赤と黄色の重なっている部分の面を基準面としたときに、この基準面に対し黒と青と緑の重なりは高さd1+d2+d3に、白と青と緑の重なりは高さd2+d3に、黒と青と黄色の重なりは高さd1+d2に、黒と赤と緑の重なりは高さd1+d3に、黒と赤と黄色の重なりは高さd1に、白と青と黄色の重なりは高さd2に、白と赤と緑の重なりは高さd3にすることができる。従って、高さは0からd1+d2+d3までの間の8種類の値(0、d1、d2、d3、d1+d2、d2+d3、d3+d1、d1+d2+d3)をランダムに取り得るので、第3の実施形態と同じ効果が得られる。
 しかもd1=dm×1/6、d2=dm×2/6、d3=dm×3/6と設定すれば、微細な構造で作製が困難な幅w1やw2のパターンは深さを浅くできるので加工のしやすさにメリットがある。d1=dm×1/6、d2=dm×2/6、d3=dm×3/6の場合、比率P2やP3は彫り込み幅の深い側に対応しているので(実際には比率P3の側が3、比率P2の側が2、比率P1の側が1の重みで平均深さに関係する)、P2、P3は凹凸の面積比率、すなわち深さの平均レベルを決定する第4の実施形態の比率P2と似た意味合いを持つ。一方、比率P1は微細な構造(幅w1)の出現比率に関係するので、第4の実施形態の比率P1と似た意味合いを持つ。
 (第6の実施形態)
 第6の実施形態を図12に基づいて説明する。なお第6の実施形態は表面構造13のパターンが第1の実施形態と違うだけで、他の構成は全て第1の実施形態と同じであり、共通の構成についてはその説明を省略する。
 第6の実施形態は第1の実施形態に於ける表面構造の隣接する2つの微小領域δ1,δ2を位相シフターで構成したものである。位相シフターは、例えば屈折率の異なる多層膜で形成できる。すなわち多層膜の多重反射により、透過光の位相を調整でき、多層膜の構造(膜厚や層数)を変えることで180度の領域と0度の領域をランダムに形成できる。また、偏光子を用いて2つの領域を透過する光の偏光を変えても同じ効果が得られる。この時、180度領域に対応する透過光の偏光はP偏光、又は右回りの円偏光、0度領域に対応する透過光の偏光はS偏光、又は左回りの円偏光となるような偏光子になるが、方位の90度異なる1/2波長板を用いれば実現できる。なお、第1実施例の様な、屈折率に差がある界面の凹凸構造も透過光の位相が凹凸間で変化するので位相シフターの一つの形態と言える。
 本実施形態に於ける表面構造13の透過率tの入射角依存性、及び光取り出し効率は既に図9、図19(b)(曲線5d、5D)に示され、1回目の光取り出し効率だけでもwを0.4μm以上1μm以下の範囲で表面を鏡面とした場合の光取り出し効率を超えることができる。図19(b)には、位相差を90度にした結果も示しており、1回目、2回目の光取り出し効率がそれぞれ曲線5d’、5D’で表される。いずれも、位相差180度のもの(曲線5d、5D)より劣化するので、位相差の最適値は180度であることが分かる。
 この様に、第6の実施形態は表面構造13を位相シフターで構成することで、従来例よりも高い光取り出し効率が得られる。また、第1の実施形態と同様に、方位による光強度の分布や色のアンバランスがない上、外界の像の映り込みも抑えられる等の効果を有する。
 (第7の実施形態)
 第7の実施形態を図25に基づいて説明する。なお第7の実施形態は表面構造のパターンが第1の実施形態と違うだけで、他の構成は全て第1の実施形態と同じであり、共通の構成についてはその説明を省略する。
 図25(a)は本実施形態に於ける第1の表面構造23のパターン図を示している。図25(a)に示すように、透明基板5の表面は、1次元に微小領域δがランダム配置された線分(y´方向に沿った線分)がx´方向(y´方向と垂直な方向)に複数本敷き詰められた構成を有する。本実施形態の表面構造23は、それぞれの微小領域δが、一辺の長さwの正三角形(微小領域δ)であって、それぞれの微小領域δが凸(図中の灰色の目23a(微小領域δ1))であるか、凹(図中の白色の目23b(微小領域δ2))であるかの比率を線分内で各50%として凸と凹とをランダムに割り当てたものである。wは2.55μm以下である。なお、一般的に表現すれば、図形の大きさはその図形に内接する円の最大のものの直径が0.2μm以上1.5μm以下であることが条件となる。
 図25(a)、(b)では、方向y´に隣合う複数の微小領域δの方向x´の位置は互いに一致している。かつ、方向x´に隣り合う複数の微小領域δの方向y´の位置も互いに一致している。図25(c)では、方向y´に隣合う複数の微小領域δの方向x´の位置は互いに一致している。それに対して、方向x´に隣り合う複数の微小領域δの方向y´の位置は互いにずれている。
 第7の実施形態は表面構造23のパターン形状が第1の実施形態とは異なるだけで、第1の実施形態と同じ原理が作用し、同一の効果が得られる。また、正三角形に限らず、同じ図形で隙間無く面分割が出来るのであれば、任意の多角形であってもよい。
 なお、第1から第7の実施形態では、実際の加工体での表面構造13,23が厳密には正方形や正三角形にはならず角の部分が丸まったり角が丸まった微小領域の隣の微小領域の角がその分変形したりするが、特性の劣化はなく同一の効果が得られることは言うまでもない。また、第2~第6の実施形態に第7の実施形態を適用したものでも、第2~第6の実施形態と同様の効果が得られる。
 (第8の実施形態)
 第8の実施形態を図26から図29に基づいて説明する。第8の実施形態は、シートのランダムパターン形状を形成する方法である。
 (円筒金型の説明)
 図26(a)は、本実施形態に用いる円筒金型を示す図である。図26(a)に示す円筒金型31は、いわゆるロールトゥロール方式の転写に用いられる。円筒金型31は中心軸30を中心に回転する。円筒金型31の外周面には、微小領域δを形成するための凹凸(白色の領域31a、黒色の領域31b)が形成されている。円筒金型31の外周面に樹脂等からなるシート31c(図26(b)、(c)に示す)を押し付けた状態で円筒金型31を回転させることによって、円筒金型31の表面構造がシート状の樹脂に転写される。
 図27(a)から(d)は、円筒金型31の外周面の一部分を拡大して示す図である。図27(a)は、円筒金型31の外周面に形成される微小領域δの1次元的な配置(テープ状の線分)を示している。図27(a)に示すように、円筒金型31には、幅および長さが共にwの微小領域δが、1次元的に配列されている。微小領域δは、微小領域δ1(図中の灰色の領域33a)および微小領域δ2(図中の白の領域33b)に区別され、微小領域δ1および微小領域δ2は、1次元的にランダムに配置されている。灰色の領域33aは円筒金型31の外周面における凸部を表し、白色の領域33bは円筒金型31の外周面における凹部を表している。凹部と凸部とが逆になっていてもよい。
 図28(a)は、円筒金型31の外周面に形成された微小領域δの配置方向を説明するための図である。図28(a)に示すように、円筒金型31の外周面には、微小領域δの線分状の転写パターン(図27(a)に示す)が、螺旋状に配置されている。すなわち、線分状の転写パターンは、円筒金型31の外周面において、一筆書き状に連続的に形成されている。転写パターンが配置される方向は、回転軸30に対して垂直な方向yから微小角度θだけ傾いた方向y´に沿っている。転写パターンが配置される方向が微小角度θだけ傾いていることにより、線分状の転写パターンが1本の螺旋を描くように配置することができる。
 前述したように、微小領域δは、四角形や三角形といった多角形の平面形状を有する。微小領域δが正方形または矩形の平面形状を有する場合には、微小領域δの4辺のうちの2辺は、回転軸30に対して垂直な方向yから微小角度θだけ傾いた方向y´に沿い、残りの2辺は、回転軸30に平行な方向xから微小角度θだけ傾いた方向x´(方向y´と垂直な方向)に沿う。一方、微小領域δの平面形状が三角形などの多角形の平面形状を有する場合には、微小領域δのうちの一辺が方向y´に沿うように配列される。これらの場合、方向y´に隣合う複数の微小領域δの方向x´の位置は互いに一致している。一方、方向x´に隣り合う複数の微小領域δの方向y´の位置は互いに一致していてもよいし(図25(a)、(b)および図27(b))、互いにずれていてもよい(図25(c)および図27(c)、(d))。
 なお、作製精度等の関係で、円筒金型31の外周面における微小領域δ同士の間に隙間が空いた場合や微小領域δ同士に重なりが生じた場合であっても、全体としてランダムパターンは生成されているため、シート形成に大きな問題は生じない。
 図28(b)は、図28(a)に示す円筒金型31の外周面の凹凸形状が反映されたシート32を示す図である。図28(b)に示すように、シート32の表面には、シート32の長辺と平行な方向yから微小角度θだけ傾いた方向y´に向かって、微小領域δがランダムに配列されている。微小領域δの平面形状が正方形または矩形の場合には、微小領域δの4辺のうちの2辺は方向y´に沿い、残りの2辺は、シート32の短辺と平行な方向xから微小角度θだけ傾いた方向x´に沿う。一方、微小領域δの平面形状が三角形などの多角形の平面形状を有する場合には、微小領域δのうちの一辺が方向y´に沿うように配列される。ただし、図28(b)に示すような方向に微小領域δが形成されるのは、シート32の長辺を、円筒金型31の回転軸に対して垂直な方向に合わせて円筒金型31を回転させた場合である。このようにシート32を配置させなかった場合には、シート32において微小領域δの配列は異なる方向に向かう。本実施形態のシート32のうち第1から第7の実施形態のシートと同じ構成については、ここでは説明を省略する。
 なお、図28(a)に示す円筒金型31の外周面および図28(b)に示すシート32には全面にパターンが示されておらず、一部のみにパターンが示されているが、当然ながら、円筒金型31の外周面全体にパターンが形成されていることが好ましい。円筒金型31の外周面全体にパターンが形成されている場合には、円筒金型31の外周面の幅の分だけシート32に転写パターンが形成される。例えば、円筒金型31の幅とシート32の幅とが同じ場合には、シート32の全体に転写パターンを形成することができる。
 本実施形態の製造方法によると、大面積、かつ高精度なパターンを有するシートを簡便に形成することができる。本実施形態の製造方法によって得られるシート32では、シート32から取り出される光の視野角依存性が少ないため、光取り出し効率の面内方位依存性を少なくすることができる。
 図26(b)、(c)は、ロールトゥロール方式によってシート31cに円筒金型31の表面の凹凸を転写する方法を模式的に示す図である。本実施形態では、シート31cとして、例えば、プラスチック基材上にUV硬化性樹脂を塗工した多層からなるシートを用いる。図26(b)に示す方式では、シート31cを円筒金型31ともう一つのローラー31dとの間に挟み、この状態で円筒金型31を回転させる。円筒金型31の回転に伴って、もう一つのローラー31dが円筒金型31の回転とは逆方向に回転し、シート31cが円筒金型31とローラー31dとの間に取り込まれていく。このとき、UV光を照射することでUV硬化性樹脂が硬化し、シート31cのうち円筒金型31に接する方の表面には、円筒金型31の外周面における凹凸のパターンが転写される。
 一方、図26(c)に示す方式を用いる場合には、例えば、送り側のシート材原反ロールと巻き取り側ロールとの距離や回転速度等を調整し、シート31cにある圧力が加わるようにすること等によってプラスチック基材上にUV硬化性樹脂を塗工した多層からなるシート31cの一方の面を円筒金型31に押し付けた状態で、円筒金型31を回転させる。シート31cを移動させながら円筒金型31のパターンを転写してもよいし、円筒金型31を移動させながら円筒金型31のパターンを転写してもよい。このとき、UV光を照射することでUV硬化性樹脂が硬化し、これにより、シート31cのうち円筒金型31に接する方の表面に、円筒金型31の外周面における凹凸のパターンが転写される。
 例えばステップアンドリピート方式を用いた場合には、金型のつなぎ目の位置ズレが生じることによってパターン間の不連続が発生しやすい。しかしながら、本実施形態では微小領域δの線分状の転写パターンが、螺旋状に配置されている円筒金型によるロールトゥロール方式を用いているため、このようなパターン間の不連続は発生しない。
 図29(a)から(c)は、円筒金型の外周面における微小領域δの他の配置例を示す図である。図29(a)では、正方形の微小領域δ(幅w×長さw)が、幅方向に2列配置されている。このパターンにおけるそれぞれの1列の線分では、微小領域δ1(図中の白い領域34b)および微小領域δ2(図中の灰色の領域34a)が一次元的にランダムに配置されている。
 円筒金型31の外周面では、図29(a)に示すような転写パターンが、螺旋状に配置されていてもよい。この場合、図29(b)、(c)に示すように、微小領域δが2列単位でずれて形成されていてもよい。図29(b)、(c)において、x´方向に隣接して配置される領域34W、34X、34Y、34Zのうち、領域34Wと領域34Xとの方向y´における位置は一致しており、領域34Yと領域34Zとの方向y´における位置も一致している。しかしながら、領域34Xと領域34Yとの方向y´における位置は、互いにずれている。同様の関係が、領域34W、34X、34Y、34Z以外の微小領域δにおいても成立する。また、円筒金型31の外周面では、3列以上の微小領域δが配置された転写パターンが螺旋状に配置されていてもよい。この場合も、3列以上の微小領域δごとに、y´方向における位置は互いにずれている。
 ただし、微小領域δは螺旋状に配置されているため、通常、微小領域δの位置のずれは、ある一定の列ごととなる。そのため、本実施形態の微小領域δが例えばm行n列の領域である場合に、n-1列の領域のy´方向における位置が一致し、残りの1列のみのy´方向における位置が他の領域からずれるようなケースは発生しにくい。
 (円筒金型の製法の説明)
 円筒金型31の外周面の凹凸パターンを形成する方法としては、例えば以下(1)から(3)に示す方法がある。
(1)円筒金型表面に対して微小領域δよりも小さいバイト(例えばダイヤモンドの円弧状)を用いた切削加工を施すことによって、一つ一つの微小領域δのパターンを形成する。金型を回転および移動させることによって次々に切削を進め、全体のパターンを作製することができる。
(2)円筒金型31の外周面全体にレジスト塗布し、金型を回転および移動させながらビーム露光を行うことによって、レジストによるパターンを形成する。その後、そのレジストをマスクにしてエッチングを行うことによって、円筒金型31の外周面に凹凸パターンを形成する。
(3)円筒金型31を回転および移動させながら、円筒金型31の外周面にインクジェット方式でレジストを塗布し、レジストによるパターンを形成する。その後、そのレジストをマスクにエッチングを行うことによって、円筒金型31の外周面に凹凸パターンを形成する。
 なお、円筒金型31の外周面における凸部は、外周面における基準面に対して同じ高さである必要はなく、1つの円筒金型31に複数の高さの凸部が混在していてもよい。また、円筒金型31の凹部は、外周面における基準面に対して同じ窪み深さである必要はなく、1つの円筒金型31に複数の深さの凹部が混在していてもよい。
 本実施形態では、あらかじめ設定した特定角度方向(円筒金型31の外周面において微小領域δ1、δ2が1次元的にランダムに配置するy´方向)の微小領域δ1、δ2の配置がランダムであれば、x´方向の微小領域δ1、δ2の配置のルールは問題とならない。これは、図27(c)、(d)に示すパターンのように、x´方向に隣り合う微小領域δのy´方向の位置にずれがあっても、図27(b)に示すパターンのようにずれがなくても、同様である。図27(b)から(d)、図29(b)、(c)に示すパターンでは、ランダムな配置を有する微小領域δが螺旋状に配置されることにより、x´方向の微小領域δ1、δ2の配置もランダムになっている。
 (その他の実施形態)
 上述の実施形態は本発明の例示であって、本発明はこれらの例に限定されない。以上の実施形態において、表面構造の凸部分の表面に垂直な断面形状は矩形形状に限らず、台形や円錐形状となってもよく、凸部分の斜面が曲線になってもよい。
 また、透明基板5の厚さが大きい場合、光の出射位置は光取り出しの回数が増すごとに発光点Sの位置から離れてくる。この場合、ディスプレイ用のELの様に300μm程度の画素ごとに区切られた構成では、光が隣の画素に紛れ込み、画質の劣化につながる。従って、図30(a)に示すように、表面構造13の形成された透明基板5は数μm程度に薄く構成し、その上に空気層を挟んで0.2mmから0.5mm程度の保護基板14で覆う構成が考えられる。保護基板の表面14a、裏面14bでは全反射は発生しないが、ARコートの必要はある。このとき表面構造13の上には空気層の代わりにエアロゲル等の低屈折率で透明な材料を用いてもよく、このとき一体構成になるため装置としての安定性が高い。
 さらに、以上の実施形態では、一つの面だけに表面構造13を形成したが、透明基板5の両面に同じような構造を形成することができる。また表面構造13と発光点Sの間に一般の回折格子13’を配置してもよい。この時図30(b)に示すように、透明基板5をフィルム形状にし、表面に表面構造13、裏面に回折格子13’や別仕様の表面構造13”を形成し、発光体側に接着層21を介して接着させる構造が考えられる。透明基板5の屈折率が小さく、発光層3との屈折率差が0.1以上ある場合には、接着層21の材料を発光層3の屈折率より0.1だけ小さいかそれ以上になるように選ぶと接着層21と発光層3との恭敬面での全反射はほとんど生じないとともに、接着層21と透明基板5の間の屈折面、及び透明基板5と空気6の間の屈折面で発生する全反射を、それぞれ表面構造13”(又は回折格子13’)、及び表面構造13で回避できる。なお、回折格子13’や表面構造13”の凹部の深さまたは凸部の高さは凹部での透過光と凸部での透過光にπだけ位相差が発生する条件が好ましいが、これよりも凹の深さや凸の高さが小さい条件であってもよい。
 なお参考として、図31に表面構造が市松模様(チェッカー形状)をなすパターン図を示している。図31において、表面構造は透明基板5の表面を一辺の長さwの正方形に分割し、灰色の正方形13aと白の正方形13bがチェッカーパターンを形成し、灰色が凸となり、相対的に白が凹の形状をなす。
 図32は図19(a)におけるものと同じ条件の下で、凹凸の段差d=0.70μmとして図31に示した表面構造の透過率tの入射角依存性を示す説明図であり、透明基板5内で光量1の光が表面構造に角θ(屈折面法線となす角)で入射し、1回目でどれだけが空気6側に出射するかを幅wをパラメータ(w=0.1、0.2、0.4、1.0、2.0、4.0μm)にして示している。図32をランダムパターンの特性である図16(a)と比べると、w=0.1、0.2μm(いわゆる回折光が発生しないナノ構造の領域)の曲線を除いて細かいうねりが存在することが分かる。これはチェッカーパターンによる回折で空気層側に回折光が発生したり消滅したりするためで、方位によって光強度に分布があることを示しており、周期パターン固有の問題である。
 このチェッカー形状をなす表面構造と図4(b)で示した千鳥格子(四角形で囲まれた部分が凹となる側)をなす表面構造との、1回目、及び2回目の光取り出し効率を図19(b)に付記している(d=0.70μm、それぞれ曲線5e、5f、5E、5F)。千鳥パターンの2回目の光取り出し効率が大きくなるのは図23で紹介した現象と同じで、千鳥パターンでは凸となる比率P=0.75となるためである。ランダムパターンの特性に比べ、チェッカーパターン、千鳥パターンともwの変化に伴いうねった特性を示すが、これも周期パターン固有の問題であり、方位による光強度の分布と関係している。
 図34(a),(b)に、チェッカーパターンの表面構造から出射する1回目の取り出し光の視野角依存性の解析結果を付記している。段差d=0.7μm、境界幅w=0.5μmとし、図34(a)はλ=0.450μm、図34(b)はλ=0.635μmの条件である。実線(0度、90度の経度方位)、破線(45度、135度の経度方位)とも偏角に対する変動が大きく、両者の乖離も大きいうえ、波長によって形状が大きく変化することが分かる。方位による光強度の分布や色のアンバランスが発生することは、特許文献1に記載された発光装置同様、周期パターンに於ける致命的な欠点である。これらの課題は第1から8の実施形態では全て克服出来ている。
 境界回折効果は光の位相の不連続な部分を一定間隔以上隔てた場合に発生するので、この効果を極大化させるためには、限られた面積内で位相の不連続な部分の出現比率を極大化させることが必要になる。屈折面を無数の微小領域で分割し、微小領域同士の境界で位相が不連続になるとすると、2つの条件により前述の出現比率の極大化がなされる。一つ目の条件は各微小領域の面積が出来るだけ一つに揃うこと、2つ目の条件は隣り合う微小領域間にも位相差が存在することである。すなわち、微小領域の内に他のものより大きい面積のものがあれば、この大きな面積を分割した方が位相不連続の境界が増える。反対に微小領域の内に他のものより小さい面積のものがあるとすれば、これは他のものより大きい面積のものが存在することになり、この大きな面積を分割した方が位相不連続の境界が増える。この延長線として、各微小領域の面積が出来るだけ一つに揃い、少なくとも各微小領域の面積がある基準面積に対し0.5~1.5倍の範囲(微小領域に内接する円のうち最大のものの直径が、基準になる直径に対し0.7~1.3倍の範囲)に入ることが微小領域間の境界線の出現比率を極大化することになる。第1から第7の実施形態はこの条件に従っている。また微小領域への分割を極大化することができても、隣り合う微小領域同士で位相が揃えば効果が薄くなる。従って隣り合う微小領域間にも位相差の存在、すなわちランダムな位相の割り当てが必要であり、第4や第5の実施形態等はこの条件に従っている。すなわち、上記の実施形態の発光装置は、特許文献2に記載されている発光装置のような反射防止による効果ではなく境界回折効果を極大化させた効果によって取り出し効率の向上が実現されている。
 なお、第1から8の実施形態に於ける表面形状は磨りガラスや面粗し等の表面状態や特許文献2に記載された発光装置で示された表面状態とは異なる。第1や第4、第7の実施形態では、表面を幅wの碁盤の目(又は多角形の目)に分割し、一つ一つの目に凸と凹を1:1の比率で割り当てたもので、このパターンには固有の幅wというスケールと固有の微小領域の形状とが存在し、凸部の総面積と凹部の総面積の比率も1:1の関係に収まっている。これに対し、磨りガラスや面粗し等の表面状態は固有の幅wが存在せず微小領域の形状は不定形であり、凸部の総面積と凹部の総面積の比率も1:1の関係になる訳ではない。第2の実施形態では、凸と凹の比率を50%からずらし、凹部の総面積と凸部の総面積の比率が1:1から外れるが、依然として固有の幅wが存在しており、凹部の総面積と凸部の総面積の比率も所定の値であり完全にランダムなパターンとは一線を画する。第3や第5の実施形態でも固有の幅wが存在し、この幅wで定義される碁盤の目(又は多角形の目)ごとに段差が異なっている。このように、上記実施形態に於ける表面形状は、完全にランダムなパターンではなく、ある規則に沿ったランダムパターンと言える。
 完全にランダムなパターンとの違いをもう少し考察してみる。図33(a)に示すように、幅4wのテーブル16の上に幅wのカード17を8枚ランダムに並べる。即ち8枚のカード17の総面積はテーブル16の面積の1/2である。ただし、カード17はテーブル16をはみ出さないとする。図33(b)はカード17の重なりを許して配列している。図33(c)はカード17の重なりを許さずに配列している。図33(b)ではカード17が重なった分だけ、カードの面積総和がテーブル面積の1/2より小さくなる。面積比がある比率から乖離すると光取り出し効率は劣化することは既に図23の曲線27a,27Aで示されている。図33(c)では面積比1/2を維持するものの、カード間にwよりも小さい微小な隙間jが発生し、これは図33(b)でも同じである。微小な隙間jが発生しその頻度が大きくなると、jを新たな境界幅と見ることができ、図22からわかるようにj<0.2μmの条件で光取り出し効率が大きく劣化する。また、図23で示されているように、微少な凹凸構造の比率P1が増大することで(曲線27a,27c,27dの順でw1=0.1μmの構造の比率P1が0.0,0.1,0.2と増大している)、トータルの凸となる比率が同じでも1回目、2回目の光取り出し効率がともに劣化している。このように完全にランダムなパターンだけでは、光取り出し効率を最大にする条件とはなり得ない。
 上記の実施形態で用いたランダムパターンの生成原理は図33のものとは異なる。上記の実施形態では面積比はある比率に保たれ微小間隔j等の、幅wより小さいスケールは発生することはない。このように、上記実施形態に於ける表面形状は、完全なランダムなパターンではなく、光取り出し効率を極大化するための規則に沿ったランダムパターンと言える。
 また、第1から8の実施形態に於ける表面形状が引き起こす現象は回折現象の一つである。図5で示したように、回折現象では表面形状を平均する平坦な基準面に対し仮想的に屈折する光線を0次回折光(全反射の場合には表れない)とし、この光を方位の基準としてシフトした方位に高次の回折光が発生する。本願のようなランダムな表面形状では0次以外の回折光の伝播方位がランダムになる。これに対し磨りガラスや面粗しは回折現象ではなく屈折現象の一つであり、デコボコした屈折面においてその面法線の方位がランダムになることで屈折の方位もランダムになっているだけである。すなわち、平行平板の上に第1から7の実施形態に於ける表面形状を形成し、透かして見ると反対側の像の輪郭がはっきりと見える。これは表面形状で回折分離する光の中に0次回折光が必ず存在し、この光が反対側の像の輪郭を維持させている。これに対し、磨りガラスや面粗しでは0次回折光に相当する光が存在せず、透かして見ると反対側の像の輪郭がぼやけたものになる。特許文献2では表面の突起物により光が「素直に空気中に放射される」の表現があるだけで回折という表現が無く、「素直」という言葉をスネルの法則(屈折の法則)に従うと解釈でき、その意味では磨りガラスや面粗しと同じ部類に入ると理解でき、本願発明とは別のものであると言うことができる。
 ちなみに、特許文献2に開示された技術の特徴は、透明絶縁基板の上に複数の透明な突起物を完全にランダムに配置することにあり、本願のように凸部と凹部とを同じ形状の微小領域の一つ以上の集合体として且つ凸部と凹部の存在比率を特定の割合にするという特徴は記載も示唆もされていない。例えば第1の実施形態において、凹部と凸部とを入れ替えた構造または微小領域の高さと深さとを入れ替えた構造は元の構造とほぼ同じ構造になるが、特許文献2に記載された発光装置ではそうはならない。このような例示的な実施形態の特徴により顕著な光取り出し効果を奏することは本願発明者らが初めて見出したものであり、特許文献2には上記実施形態のような顕著な効果は記載されていない。特許文献2に記載された発光装置では単位面積当たり5000~106個/mm2の数で幅0.4~20μmの突起物が完全なランダムな配置で与えられており、形式的には上記実施形態の発光装置の一部がこの発光装置の中に含有される形にはなるが、突起物とそれ以外の部分との形状の関係および存在比率の関係、さらにはそのような関係が存在して初めて奏される効果が記載も示唆もない以上、実質的には上記の実施形態は特許文献2に開示された技術には含まれず、特許文献2に開示された発明と本願発明とは全く別のものであると言うことができる。
 なお、第1から6、8の実施形態では凹凸形状で光の位相をシフトさせた。位相のシフトは凹凸形状以外でも実現でき、例えば凹部に対応した領域と凸部に対応した領域で多層膜の厚みや屈折率条件を変えることでも可能である。この場合でも、上記実施形態と同じ効果が得られることは言うまでもない。また、第1から8の実施形態はそれぞれ独立して成り立つのではなく、それぞれの一部を組み合わせて、新たな実施例とすることも考えられる。また、第1から8の実施形態では有機エレクトロルミネセンス素子を例にとって説明したが、屈折率が1より大きい媒質内で発光する素子であれば全てに適用できる。例えば、LEDや導光板などへの適用も可能である。さらに、発光装置が光を出射する媒質は空気に限定されない。上記実施形態の表面構造は、透明基板の屈折率が、透明基板が接している媒質の屈折率より大きい、特に0.1以上大きい場合に適用できる。
 以上説明したように、本発明に係る発光装置は、光の取り出し効率を大幅に向上させる上、出射光の視野角特性も良好なので、ディスプレイや光源等として有用である。
 1  基板
 2  電極
 3  発光層
 4  透明電極
 5  透明基板
 6  空気
 13 表面構造
 30 回転軸
 31 円筒金型
 31a、31b 領域
 31c シート
 31d ローラー
 32 シート
 33a、33b 領域
 34a、34b 領域
 34w、34x、34y、34z 領域
 S  発光点

Claims (15)

  1.  一方の面を発光体に隣接させて用いられる透明なシートであって、
     他方の面は、内接する最大の円の直径が0.2μm以上1.5μm以下の複数の微小領域δに分割されているとともに、一つの前記微小領域δは別の複数の前記微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、
     前記複数の微小領域δは、前記複数の微小領域δからランダムに40%以上98%以下の割合で選ばれた複数の微小領域δ1と、それ以外の複数の微小領域δ2とからなり、
     前記微小領域δ1は、前記他方の面に平行な所定の基準面に対して前記他方の面上方へ突出していてその高さはd/2であり、
     前記微小領域δ2は、前記所定の基準面に対して前記他方の面下方へ窪んでいてその深さはd/2であり、
     前記所定の基準面は、前記微小領域δ1と前記微小領域δ2との前記他方の面に垂直な方向における中間の位置に存しており、
     前記dは0.2μm以上1.4μm以下であり、
     前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において多角形であり、
     前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記多角形の一辺と平行な第1方向に配列され、
     前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、
     前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とするシート。
  2.  一方の面を発光体に隣接させて用いられる透明なシートであって、
     他方の面は、内接する最大の円の直径が0.2μm以上1.5μm以下の複数の微小領域δに分割されているとともに、一つの前記微小領域δは別の複数の前記微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、
     前記複数の微小領域δのそれぞれは、前記他方の面に平行な所定の基準面に対して0以上d/2以下の範囲内のランダムな高さで上方に位置している、あるいは0以上d/2以下の範囲内のランダムな深さで下方に位置しており、
     前記所定の基準面は、前記他方の面に垂直な方向における最も高い位置に存する前記微小領域δと最も低い位置に存する前記微小領域δとの中間の位置に存しており、
     前記dは0.2μm以上1.4μm以下であり、
     前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において多角形であり、
     前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記多角形の一辺と平行な第1方向に配列され、
     前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、
     前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とするシート。
  3.  一方の面を発光体に隣接させて用いられる透明なシートであって、
     他方の面は、内接する最大の円の直径が0.4μm以上1.0μm以下の複数の微小領域δに分割されているとともに、一つの前記微小領域δは別の複数の前記微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、
     前記複数の微小領域δは、複数の微小領域δ1と、それ以外の複数の微小領域δ2とからなり、
     前記微小領域δ1と前記微小領域δ2とは、前記一方の面に垂直に入射した光のうち、前記微小領域δ1を透過した光と、前記微小領域δ2を透過した光との間に、180度の位相差を生じさせ、
     前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において多角形であり、
     前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記多角形の一辺と平行な第1方向に配列され、
     前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、
     前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とするシート。
  4.  請求項1から3のいずれか一つに記載されているシートであって、前記微小領域δは多角形且つそれぞれ合同な形状であることを特徴とするシート。
  5.  請求項1から3のいずれか一つに記載のシートであって、
     前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において長方形または正方形であり、
     前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記長方形または正方形の一辺と平行な第1方向に配列され、
     前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、
     前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とするシート。
  6.  請求項5に記載のシートであって、
     前記第1方向および前記第2方向は、シートの縁から傾いた方向であることを特徴とするシート。
  7.  発光体と、前記発光体の発光面の上に設けられた透明な保護層とを備えた発光装置であって、
     前記保護層の前記発光面に隣接している面とは反対側の面は、内接する最大の円の直径が0.2μm以上1.5μm以下の複数の微小領域δに分割されているとともに、一つの前記微小領域δは別の複数の前記微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、
     前記複数の微小領域δは、前記複数の微小領域δからランダムに40%以上98%以下の割合で選ばれた複数の微小領域δ1と、それ以外の複数の微小領域δ2とからなり、
     前記微小領域δ1は、前記他方の面に平行な所定の基準面に対して前記他方の面上方へ突出していてその高さはd/2であり、
     前記微小領域δ2は、前記所定の基準面に対して前記他方の面下方へ窪んでいてその深さはd/2であり、
     前記所定の基準面は、前記微小領域δ1と前記微小領域δ2との前記他方の面に垂直な方向における中間の位置に存しており、
     前記発光体は発光スペクトルの中心波長がλである光を発し、前記保護層の屈折率がn1、前記保護層が前記反対側の面において接する媒質の屈折率がn1よりも小さいn0であり、λ/6(n1-n0)<d<λ/(n1-n0)であり、
     前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において多角形であり、
     前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記多角形の一辺と平行な第1方向に配列され、
     前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、
     前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とする発光装置。
  8.  発光体と、前記発光体の発光面の上に設けられた透明な保護層とを備えた発光装置であって、
     前記保護層の前記発光面に隣接している面とは反対側の面は、内接する最大の円の直径が0.2μm以上1.5μm以下の複数の微小領域δに分割されているとともに、一つの前記微小領域δは別の複数の前記微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、
     前記複数の微小領域δのそれぞれは、前記他方の面に平行な所定の基準面に対して0以上d/2以下の範囲内のランダムな高さで上方に位置している、あるいは0以上d/2以下の範囲内のランダムな深さで下方に位置しており、
     前記所定の基準面は、前記他方の面に垂直な方向における最も高い位置に存する前記微小領域δと最も低い位置に存する前記微小領域δとの中間の位置に存しており、
     前記発光体は発光スペクトルの中心波長がλである光を発し、
     前記保護層の屈折率がn1、前記保護層が前記反対側の面において接する媒質の屈折率がn1よりも小さいn0であり、λ/6(n1-n0)<d<λ/(n1-n0)であり、
     前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において多角形であり、
     前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記多角形の一辺と平行な第1方向に配列され、
     前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、
     前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とする発光装置。
  9.  発光体と、前記発光体の発光面の上に設けられた透明な保護層とを備えた発光装置であって、
     前記保護層の前記発光面に隣接している面とは反対側の面は、内接する最大の円の直径が0.4μm以上1.0μm以下の複数の微小領域δに分割されているとともに、一つの前記微小領域δは別の複数の前記微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、
     前記複数の微小領域δは、複数の微小領域δ1と、それ以外の複数の微小領域δ2とからなり、
     前記微小領域δ1と前記微小領域δ2とは、前記保護層の前記発光面に隣接している面に前記発光体から垂直に入射した光のうち、前記微小領域δ1を透過した光と、前記微小領域δ2を透過した光との間に、180度の位相差を生じさせ、
     前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において多角形であり、
     前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記多角形の一辺と平行な第1方向に配列され、
     前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、
     前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とする発光装置。
  10.  請求項7または8に記載されている発光装置であって、前記媒質は空気であることを特徴とする発光装置。
  11.  請求項7または8に記載されている発光装置であって、前記媒質はエアロゲルであることを特徴とする発光装置。
  12.  請求項7、8、10および11のいずれか一つに記載されている発光装置であって、前記発光体の光が生じる部分の屈折率がn2であるとき、n2-n1<0.1であることを特徴とする発光装置。
  13.  請求項7から12のいずれか一つに記載の発光装置であって、
     前記複数の微小領域δは、上記他方の面の面内において長方形または正方形であり、
     前記複数の微小領域δは、前記他方の面の面内において、前記長方形または正方形の一辺と平行な第1方向に配列され、
     前記第1方向と直交する方向を第2方向としたとき、
     前記第1方向に互いに隣り合う前記複数の微小領域の前記第2方向の位置は互いに一致し、前記第2方向に隣り合う一対の微小領域の前記第1方向の位置は互いにずれていることを特徴とする発光装置。
  14.  請求項1から6のいずれか一つに記載されているシートの製造方法であって、
     円筒状の金型の外周面をシート材に押し付けて前記シート材における一方の面に前記微小領域δに対応する凹凸を形成することによって前記シートを形成し、
     前記円筒状の金型の外周面には、前記微小領域δに対応する凹凸が、前記円筒状の金型の回転軸を中心軸とする螺旋状に配置されている、シートの製造方法。
  15.  請求項7から12のいずれか一つに記載されている発光装置の製造方法であって、
     円筒状の金型の外周面を保護層材に押し付けて前記保護層材における一方の面に前記微小領域δに対応する凹凸を形成することによって前記保護層を形成する工程と、
     前記保護層における前記一方の面と反対側の面を前記発光体側にして、前記保護層を前記発光体の発光面上に配置させる工程とを含み、
     前記円筒状の金型の外周面には、前記微小領域δに対応する凹凸が、前記円筒状の金型の軸を中心軸とする螺旋状に配置されている、発光装置の製造方法。
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