WO2010121701A1 - Aufnahmeeinrichtung zur aufnahme von halbleitersubstraten - Google Patents

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carrier
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Jürgen Burggraf
Stefan Pargfrieder
Daniel Burgstaller
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    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B25B11/005—Vacuum work holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices

Definitions

  • the invention relates to a receiving device according to claim 1.
  • a precise and positional fixation of semiconductor substrates is inevitable for a variety of processes in the semiconductor industry.
  • the usually very thin and susceptible semiconductor substrates are applied to a receiving device, a so-called chuck, and fixed there.
  • the technologies known for fixing semiconductor substrates on the chucks are not applicable, in particular, to extremely thin semiconductor substrates having a thickness of less than 100 ⁇ m, in particular less than 50 ⁇ m, and substrates having a topography.
  • a very frequently used type of fixation takes place with the aid of vacuum or negative pressure, wherein a planar semiconductor substrate is fixed on a flat, hardened surface into which vacuum paths are milled by means of vacuum or vacuum.
  • the semiconductor substrates along the vacuum paths can break or at least be damaged.
  • An even greater problem is the fixation of substrates with very high topography, the topography is generated for example by so-called bumps.
  • Bumps are spherical, conical or prismatic (cuboid) applied, conductive materials, which later serve for electrical contacting of other components.
  • the bumps may have a height of more than 500 microns, typically between 4-200 microns, usually between 10- 150 microns, and be distributed in a large variety over the entire substrate surface. It follows that a fixation of the semiconductor substrate with the known methods is not sufficiently possible.
  • Electrostatic fixing devices have the disadvantage that the build-up of electric fields is likely to damage the complex circuits on the semiconductor substrates.
  • the invention is based on the idea to improve a generic receiving device by providing a defined suction structure on a receiving side of the receiving device with simultaneous use of a soft surface material or material of the suction structure.
  • a compliant material on the surface contacting the semiconductor substrate, a gentle uptake of the semiconductor substrate, even in the presence of a topography on the semiconductor substrate, can be ensured.
  • the soft material at the same time has a suction structure sucking the semiconductor substrate, the disadvantages known from the prior art are avoided and a secure and gentle pick-up of thin and / or topographical semiconductor substrates is possible.
  • the distance between adjacent elevations of the suction structure should be less than 1: 7, in particular less than 1: 5, preferably less than 1: 3, more preferably less than 1: 2, in relation to the thickness of the semiconductor substrate. Analogously, this applies to the diameter of any topographies on the semiconductor substrate.
  • the distance between adjacent elevations of the suction structure is accordingly at most 7 times greater than the thickness of the semiconductor substrate and / or the diameter of individual topographies of the semiconductor substrate to be accommodated on the receiving device.
  • the suction structure extends over the entire receiving side.
  • the entire semiconductor substrate is accommodated in a gentle manner.
  • the suction structure has a Shore hardness of less than 90 Shore A.
  • a soft material with a Shore hardness of between 10 Shore A and 70 Shore A is optimal for the stable and, on the other hand, gentle retention of the semiconductor substrate, since in some cases high contact and / or transverse forces can act on the semiconductor substrate.
  • the semiconductor substrate does not float on the receptacle.
  • the combination of soft material and negative pressure also provides for a stable side guide or stable side fixation care.
  • the receiving body By making the receiving body of the soft material, the receiving body may be formed with the suction structure as a part.
  • the defined suction structure has one or more, in particular predominantly extending in the circumferential direction of the receiving body and / or the semiconductor substrate, web (s), a particularly defined negative pressure over the entire surface of the semiconductor substrate can be constructed.
  • a negligible negative pressure is already sufficient by the paths, which are oriented predominantly in the circumferential direction of the receiving body, in order to securely fix the semiconductor substrate.
  • the suction structure in particular in the cross-section of adjacent webs, is tooth-shaped.
  • at least one, in particular from elevations and depressions, existing web spirally, in particular from a center Z of the receiving body extends.
  • a spiral path can easily be realized on the production side and, on the other hand, a maximum distance from the center of the receiving device to the circumference of the receiving device is realized so that an optimum course of the negative pressure applied to the web is ensured.
  • any electrostatic charges can be avoided, for example by grounding the receiving device.
  • the receiving side forms a receiving plane A and side walls of the recesses to the receiving plane A, in particular at an angle, are angled, in particular in between 30 ° and 85 °, preferably between 50 ° and 70 °, lying angles W1 / W2.
  • the angle W l applies to a first side wall of the recess and the angle W2 for a second side wall of the recess.
  • the suction structure is designed to receive topographies of the semiconductor substrate by the elasticity and geometry of the suction structure.
  • Fig. 1 a micrograph of a on a
  • Fig. 2 a schematic representation of the invention
  • Fig. 3 a schematic section of the inventive
  • Suction structure made of soft material.
  • FIG. 1 shows a detail of a semiconductor substrate 4 with a topography 5, namely individual bumps 5b, which are arranged distributed on the surface of the semiconductor substrate 4.
  • FIG. 2 shows a receiving device consisting of a carrier 1 and a receiving body 3 fixed on the carrier 1.
  • the carrier 1 can serve, for example, for receiving by a robot arm or a process station and is therefore preferably made of rigid material, in particular metal.
  • the carrier 1 advantageously has a greater base area than the receiving body 3.
  • the receiving body 3 is formed with respect to the carrier 1 of a softer material.
  • the soft material may be, for example, Viton, silicone, rubber, NBR (nitrile rubbers), neoprenes, etc.
  • the semiconductor substrate 4 with its topography 5 can be accommodated.
  • the semiconductor substrate 4 may also be connected to the topography 5 directed upward, so away from the receiving side 7, recorded.
  • the receiving body 3 is penetrated by a vacuum channel 2, which extends further through the support 1 to a vacuum device, not shown, for applying a vacuum to a suction end 8 arranged on the receiving side 7.
  • a plurality of vacuum channels 2 can be arranged distributed over the receiving body 3. It is advantageous if the distance B 1 from the center Z to the suction end 8 is greater than the distance B2 from the suction end 8 to a circumference 9 of the suction end 8 Receiving body 3. Particularly advantageous is a ratio B 1: B2 of 1, 5: 1 to 3: 1, preferably 2: 1.
  • the suction end 8 is arranged in a recess 10 of the suction structure 6 and the depressions 10 are the suction structure 6 forming elevations
  • the elevations 1 1 are tooth-like in the present case, wherein the recesses 10 and elevations 1 1 are formed by a spiral beginning in the center Z 12.
  • the bumps 5b are receivable.
  • FIG. 3 shows an enlarged detail of the receiving body 3.
  • Side walls S 1, S 2 of the depressions 10 are opposite one through the Receiving side 7 of the receiving body 3 formed receiving plane A angled, namely equiangularly with the identical in the exemplary embodiment angles W l, W2 between the side walls S l, S2 and the receiving plane A.
  • the angle Wl, W2 are between 30 ° and 85 °, preferably between 40 ° and 75 °.
  • the elevations 1 1 pointed in FIG. 3 may be rounded off in an advantageous embodiment of the invention.
  • a particular advantage of the invention is also that with one and the same recording device different semiconductor substrates, especially in diameter different semiconductor substrates 4 can be safely and gently recorded.
  • Semiconductor substrates 4 which have substantially the same outer contour and / or the same outer circumference and / or the same diameter as the receiving body 3 are received in a particularly secure and gentle manner.

Abstract

Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme von flächigen Halbleitersubstraten mit einem Träger, einem auf dem Träger fixierten oder fixierbaren Aufnahmekörper mit einer vom Träger abgewandten Aufnahmeseite und mindestens einem den Aufnahmekörper durchsetzenden Unterdruckkanal mit einem Saugende an der Aufnahmeseite, wobei die Aufnahmeseite eine definierte Saugstruktur aus weichem Material aufweist.

Description

Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme von Halbleitersubstraten
B e s c h r e i b u n g
Die Erfindung betrifft eine Aufnahmeeinrichtung gemäß Anspruch 1.
Eine präzise und positionstreue Fixierung von Halbleitersubstraten ist für eine Vielzahl von Prozessen in der Halbleiterindustrie unumgänglich. Zur Handhabung solcher Halbleitersubstrate werden die meist sehr dünnen und anfälligen Halbleitersubstrate auf eine Aufnahmeeinrichtung, einen sogenannten Chuck, aufgebracht und dort fixiert. Die für die Fixierung von Halbleitersubstraten auf den Chucks bekannten Technologien sind insbesondere bei extrem dünnen Halbleitersubstraten mit einer Dicke von weniger als 100 μm, insbesondere weniger als 50 μm sowie bei Substraten mit einer Topographie nicht anwendbar.
Eine sehr häufig verwendete Art der Fixierung erfolgt mit Hilfe von Vakuum beziehungsweise Unterdruck, wobei ein planes Halbleitersubstrat auf einer planen, gehärteten Oberfläche, in welche Vakuumbahnen gefräst sind, durch Unterdruck beziehungsweise Vakuum fixiert wird. Bei besonders dünnen Halbleitersubstraten können die Halbleitersubstrate entlang der Vakuumbahnen brechen oder zumindest beschädigt werden. Ein noch größeres Problem stellt die Fixierung von Substraten mit sehr hoher Topographie dar, wobei die Topographie beispielsweise durch sogenannte Bumps erzeugt wird. Bumps sind kugel-, kegel- oder prismenförmig (quader) aufgetragene, leitende Materialien, die später zur elektrischen Kontaktierung von weiteren Bauteilen dienen. Die Bumps können eine Höhe von mehr als 500 μm, typischerweise zwischen 4-200 μm, meist zwischen 10- 150 μm, aufweisen und in einer großen Vielzahl über die gesamte Substratfläche verteilt sein. Daraus folgt, dass eine Fixierung des Halbleitersubstrats mit den bekannten Verfahren nicht in ausreichendem Maße möglich ist.
Eine weitere Möglichkeit besteht in einer elektrostatischen Fixierung. Elektrostatische Fixiervorrichtungen haben jedoch den Nachteil, dass durch den Aufbau von elektrischen Feldern eine Beschädigung der komplexen Schaltungen auf den Halbleitersubstraten wahrscheinlich ist.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Aufnahmeeinrichtung zu schaffen, mit der dünne Halbleitersubstrate sowie Halbleitersubstrate mit einer Topographie sicher und auf schonende Art und Weise aufgenommen und fixiert werden können.
Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben. In den Rahmen der Erfindung fallen auch sämtliche Kombinationen aus zumindest zwei von in der Beschreibung, den Ansprüchen und/oder den Figuren angegebenen Merkmalen. Bei angegebenen Wertebereichen sollen auch innerhalb der genannten Grenzen liegende Werte als Grenzwerte offenbart und in beliebiger Kombination beanspruchbar sein.
Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, eine gattungsgemäße Aufnahmeeinrichtung durch Vorsehen einer definierten Saugstruktur auf einer Aufnahmeseite der Aufnahmeeinrichtung bei gleichzeitiger Verwendung eines weichen Oberflächenmaterials beziehungsweise Materials der Saugstruktur zu verbessern. Durch Vorsehen eines nachgiebigen Materials an der das Halbleitersubstrat kontaktierenden Oberfläche kann eine schonende Aufnahme des Halbleitersubstrats, auch bei Vorhandensein von einer Topographie auf dem Halbleitersubstrat, gewährleistet werden. Indem das weiche Material gleichzeitig eine das Halbleitersubstrat ansaugende Saugstruktur aufweist, werden die aus dem Stand der Technik bekannten Nachteile vermieden und eine sichere und schonende Aufnahme von dünnen und/oder mit einer Topographie versehenen Halbleitersubstraten ist möglich.
Der Abstand zwischen benachbarten Erhebungen der Saugstruktur sollte dabei im Verhältnis zur Dicke des Halbleitersubstrats kleiner 1 :7, insbesondere kleiner 1 :5, bevorzugt kleiner 1 :3, noch bevorzugter kleiner 1 :2 sein. Analog gilt dies für Durchmesser etwaiger Topographien auf dem Halbleitersubstrat. Der Abstand zwischen benachbarten Erhebungen der Saugstruktur ist demnach maximal 7-fach im Vergleich zur Dicke des Halbleitersubstrats und/oder zum Durchmesser einzelner Topographien des auf der Aufnahmeeinrichtung aufzunehmenden Halbleitersubstrats. In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass sich die Saugstruktur über die gesamte Aufnahmeseite erstreckt. Somit ist das gesamte Halbleitersubstrats auf schonende Art und Weise aufnehmbar. Weiterhin ist mit Vorteil vorgesehen, dass die Saugstruktur eine Shorehärte von weniger als 90 Shore-A aufweist. Optimal für die einerseits stabile und andererseits schonende Halterung des Halbleitersubstrats ist ein weiches Material mit einer Shorehärte zwischen 10 Shore-A und 70 Shore-A, da auf das Halbleitersubstrat zum Teil hohe Auflage- und/oder Querkräfte wirken können. Außerdem ist es für eine hochgenaue Positionierung des Halbleitersubstrats erforderlich, dass das Halbleitersubstrat auf der Aufnahmeeinrichtung nicht schwimmt. Es hat sich jedoch überraschend herausgestellt, dass die Kombination aus weichem Material und Unterdruck auch für eine stabile Seitenführung beziehungsweise stabile Seitenfixierung Sorge trägt.
Indem der Aufnahmekörper aus dem weichen Material besteht, kann der Aufnahmekörper mit der Saugstruktur als ein Teil gebildet sein.
Soweit die definierte Saugstruktur eine oder mehrere, insbesondere überwiegend in Umfangsrichtung des Aufnahmekörpers und/oder des Halbleitersubstrats verlaufende, Bahn(en) aufweist, lässt sich ein besonders definierter Unterdruck über die gesamte Fläche des Halbleitersubstrats aufbauen. Außerdem reicht durch die überwiegend in Umfangsrichtung des Aufnahmekörpers ausgerichteten Bahnen bereits ein geringfügiger Unterdruck aus, um das Halbleitersubstrat sicher zu fixieren.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die Saugstruktur, insbesondere im Querschnitt benachbarter Bahnen, zahnartig ausgebildet ist. Mit Vorteil ist weiterhin vorgesehen, dass mindestens eine, insbesondere aus Erhebungen und Vertiefungen bestehende, Bahn spiralförmig, insbesondere von einem Zentrum Z des Aufnahmekörpers aus, verläuft. Eine spiralförmige Bahn lässt sich herstellungstechnisch einerseits leicht verwirklichen und andererseits wird ein maximaler Weg vom Zentrum der Aufnahmeeinrichtung bis zum Umfang der Aufnahmeeinrichtung verwirklicht, so dass ein optimaler Verlauf des an der Bahn anliegenden Unterdrucks gewährleistet ist.
Indem das weiche Material elektrisch leitend ausgebildet ist, können etwaige elektrostatische Aufladungen vermieden werden, beispielsweise durch Erdung der Aufnahmeeinrichtung.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die Aufnahmeseite eine Aufnahmeebene A bildet und Seitenwände der Vertiefungen zur Aufnahmeebene A, insbesondere gleichwinkelig, angewinkelt sind, insbesondere in zwischen 30° und 85°, vorzugsweise zwischen 50° und 70°, liegenden Winkeln W 1/W2. Der Winkel W l gilt für eine erste Seitenwand der Vertiefung und der Winkel W2 für eine zweite Seitenwand der Vertiefung.
Dabei ist es von besonderem Vorteil, wenn die Saugstruktur Topographien des Halbleitersubstrats durch die Elastizität und Geometrie der Saugstruktur aufnehmend ausgebildet ist.
Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnungen; diese zeigen in: Fig. 1 : eine mikroskopische Aufnahme einer auf einem
Halbleitersubstrat 4 aufgebrachten Topographie 5 und
Fig. 2 : eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen
Aufnahmeeinrichtung und
Fig. 3 : einen schematischen Ausschnitt aus der erfindungsgemäßen
Saugstruktur aus weichem Material.
In den Figuren sind gleiche Bauteile und Bauteile mit der gleichen Funktion mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet.
Figur 1 zeigt einen Ausschnitt eines Halbleitersubstrats 4 mit einer Topographie 5, nämlich einzelnen Bumps 5b, die auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats 4 verteilt angeordnet sind.
In Figur 2 ist eine Aufnahmeeinrichtung bestehend aus einem Träger 1 und einem auf dem Träger 1 fixierten Aufnahmekörper 3 dargestellt. Der Träger 1 kann beispielsweise zur Aufnahme durch einen Roboterarm oder eine Prozessstation dienen und ist daher vorzugsweise aus starrem Material, insbesondere Metall, gebildet. Der Träger 1 weist mit Vorteil eine größere Grundfläche als der Aufnahmekörper 3 auf. Der Aufnahmekörper 3 ist gegenüber dem Träger 1 aus einem weicheren Material gebildet. Das weiche Material kann beispielsweise Viton, Silikon, Gummi, NBR (Nitrilkautschuke), Neoprene etc. sein.
Auf einer vom Träger 1 abgewandten Aufnahmeseite 7 des Aufnahmekörpers 3 ist das Halbleitersubstrat 4 mit seiner Topographie 5 aufnehmbar. Das Halbleitersubstrat 4 kann auch mit der Topographie 5 nach oben gerichtet, also von der Aufnahmeseite 7 weg, aufgenommen werden.
Der Aufnahmekörper 3 ist von einem Unterdruckkanal 2 durchsetzt, der sich weiter durch den Träger 1 bis zu einer nicht dargestellten Vakuumeinrichtung zum Anlegen eines Vakuums an einem auf der Aufnahmeseite 7 angeordneten Saugende 8 erstreckt. Erfindungsgemäß können mehrere Unterdruckkanäle 2 verteilt über den Aufnahmekörper 3 angeordnet sein. Von Vorteil ist eine Anordnung des Unterdruckkanals 2 beziehungsweise des Saugendes 8 außerhalb eines Zentrums Z des Aufnahmekörpers 3. Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Abstand B l vom Zentrum Z zum Saugende 8 größer ist als der Abstand B2 vom Saugende 8 zu einem Umfang 9 des Aufnahmekörpers 3. Besonders vorteilhaft ist ein Verhältnis B 1 :B2 von 1 ,5 : 1 bis 3 : 1 , vorzugsweise 2: 1.
Das Saugende 8 ist in einer Vertiefung 10 der Saugstruktur 6 angeordnet und den Vertiefungen 10 sind die Saugstruktur 6 ausbildende Erhebungen
1 1 benachbart. Die Erhebungen 1 1 sind im vorliegenden Fall zahnartig, wobei die Vertiefungen 10 und Erhebungen 1 1 durch eine im Zentrum Z beginnende spiralförmige Bahn 12 gebildet sind. Die spiralförmige Bahn
12 bildet die definierte Saugstruktur 6 und durch die Spiralstruktur wird ein hoher Strömungswiderstand vom Zentrum Z zum Umfang 9 erreicht, der für ein stabiles Ansaugen des Halbleitersubstrats 4 an dem Aufnahmekörper 3 Sorge trägt.
In den Vertiefungen 10 der Bahn 12 sind die Bumps 5b aufnehmbar.
Figur 3 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt des Aufnahmekörpers 3. Seitenwände S l , S2 der Vertiefungen 10 sind gegenüber einer durch die Aufnahmeseite 7 des Aufnahmekörpers 3 gebildeten Aufnahmeebene A angewinkelt, und zwar gleichwinklig mit den im Ausführungsbeispiel identischen Winkeln W l , W2 zwischen den Seitenwänden S l , S2 und der Aufnahmeebene A. Die Winkel Wl , W2 liegen zwischen 30° und 85°, vorzugsweise zwischen 40° und 75°.
Die in Figur 3 spitz dargestellten Erhebungen 1 1 können in einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung abgerundet sein.
Ein besonderer Vorteil der Erfindung liegt außerdem darin, dass mit ein und derselben Aufnahmeeinrichtung verschiedene Halbleitersubstrate, insbesondere auch im Durchmesser verschiedene Halbleitersubstrate 4 sicher und schonend aufgenommen werden können.
Besonders sicher und schonend werden Halbleitersubstrate 4 aufgenommen, die im Wesentlichen dieselbe Außenkontur und/oder denselben Außenumfang und/oder denselben Durchmesser wie der Aufnahmekörper 3 aufweisen.
Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme von Halbleitersubstraten Bezugszeichenliste
1 Träger
2 Unterdruckkanal
3 Aufnahmekörper
4 Halbleiter Substrat
5 Topographie
5b Bumps
6 Saugstruktur
7 Aufnahmeseite
8 Saugende
9 Umfang
10 Vertiefungen
11 Erhebungen
12 Bahn
S1/S2 Seitenwände
Z Zentrum
A Aufnahmeebene
Wl Winkel
W2 Winkel
Bl Abstand
B2 Abstand

Claims

Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme von HalbleitersubstratenPatentansprüche
1. Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme von flächigen Halbleitersubstraten (4) mit einem Träger (1), einem auf dem Träger (1) fixierten oder fixierbaren Aufnahmekörper (3) mit einer vom Träger (1) abgewandten Aufnahmeseite (7) und mindestens einem den Aufnahmekörper (3) durchsetzenden Unterdruckkanal (2) mit einem Saugende an der Aufnahmeseite (7), wobei die Aufnahmeseite (7) eine definierte Saugstruktur (6) aus weichem Material aufweist.
2. Aufnahmeeinrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass sich die Saugstruktur (6) über die gesamte Aufnahmeseite (7) erstreckt.
3. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugstruktur (6) eine Shore-Härte von weniger als 90 Shore-A aufweist.
4. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Aufnahmekörper (3) aus dem weichen Material besteht.
5. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die definierte Saugstruktur (6) eine oder mehrere, insbesondere überwiegend in Umfangsrichtung des Aufnahmekörpers (3) und/oder des Halbleitersubstrates verlaufende, Bahn(en) ( 12) aufweist.
6. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Saugstruktur (6), insbesondere im Querschnitt benachbarter Bahnen ( 12), zahnartig ausgebildet ist.
7. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine aus Erhebungen ( 1 1 ) und Vertiefungen ( 10) bestehende Bahn ( 12) spiralförmig, insbesondere von einem Zentrum (Z) des Aufnahmekörpers (3) aus, verläuft.
8. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das weiche Material elektrisch leitend ausgebildet ist.
9. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmeseite (7) eine Aufnahmeebene A bildet und Seitenwände (S 1 /S2) der Vertiefungen ( 10) zur Aufnahmeebene A, insbesondere gleichwinklig, angewinkelt sind, insbesondere in zwischen 30° und 85°, vorzugsweise zwischen 40° und 75°, liegenden Winkeln W 1 /W2.
10. Aufnahmeeinrichtung nach Anspruch 9 dadurch gekennzeichnet, dass die Saugstruktur (6) Topographien (5) des Halbleitersubstrats (4) aufnehmend ausgebildet ist.
PCT/EP2010/002052 2009-04-22 2010-03-31 Aufnahmeeinrichtung zur aufnahme von halbleitersubstraten WO2010121701A1 (de)

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