WO2010047115A1 - 屈曲振動片、屈曲振動子、及び圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
このため、屈曲振動片の矩形状断面に溝または貫通孔を形成し、振動子の収縮される面から伸張される面に発生する熱の移動を阻止して、熱弾性効果に起因するQ値変動の抑制を図っている(たとえば、特許文献1参照)。
また非特許文献1では、音叉型水晶振動子の一構造例について熱弾性方程式によるQ値の計算が行われている。その計算結果から、25℃におけるCI(クリスタルインピーダンス)値の約95%が熱弾性効果によるものであると報告されている。
以下、第1実施形態について、図1から図4を参照して説明する。
図1は、第1実施形態の水晶振動片10を示す概略斜視図である。図2は、図1に示した水晶振動片10を、Y軸中心に180°回転した方向から見た概略斜視図である。図3は、図1及び図2のY(+)方向に見たZ-X概略断面図であり、概略配線図である。図4は、屈曲振動片(水晶振動片)のQのf/fm依存性を表すグラフであり、屈曲振動部の断面形状の違いによる比較を示したグラフである。
なお、本願における第1及び第2の主面には、第1及び第2溝部の内面や底面を含まないものとする。
第1溝部15及び第2溝部16は、屈曲振動部1から基部2に跨って形成され、第1溝部15及び第2溝部16の一端は、基部2に配置されている。第1溝部15及び第2溝部16の他端は、基部2から屈曲振動部1の延長方向(図示Y(+)方向と逆の方向)の長さの半分から基部側に配置されている。
第1伸縮部17(第1面11)に収縮が生じるとき、第2伸縮部18(第2面12)及び第1溝部15に伸張が生じる。そして、第2溝部16には収縮が生じている。逆に、第1伸縮部17(第1面11)に伸張が生じるとき、第2伸縮部18(第2面12)及びに第1溝部15に収縮が生じる。そして、第2溝部16には伸張が生じている。このようにして、それぞれ対向して配置された第1面11及び第2面12は、屈曲振動により互い違いに伸張する及び収縮する。そして、収縮される面の温度は上昇し、伸張される面の温度は下降するため、第1面11と第2面12との間、つまり屈曲振動片の内部に温度差が発生する。この温度差を熱伝導(熱移動)により温度平衡させるまでの緩和時間τに反比例する緩和振動周波数foの緩和振動が発生する。ここで、緩和振動周波数foと緩和時間τとは、fo=1/(2πτ)で示される。なお、本願において「/」の記号は除算を表す。
fm=πk/(2ρCpa2) …(1)
ここで、πは円周率、kは振動部(屈曲振動部)の振動方向(屈曲振動方向)の熱伝導率、ρは振動部の質量密度、Cpは振動部(屈曲振動部)の熱容量、aは振動部(屈曲振動部)の振動方向(屈曲振動方向)の幅である。
式(1)の熱伝導率k、質量密度ρ、熱容量Cpに振動部の材料そのものの定数を入力した場合、求まる緩和振動周波数fmは振動部に第1溝部15及び第2溝部16を設けていない場合の屈曲振動部の緩和振動周波数となる。
第1溝部15の第1深さd1、及び第2溝部16の第2深さd2は、屈曲振動部1の第3面13と第4面14との間の距離tよりも小さい。つまり、第1溝部15及び第2溝部16は、第3面13と第4面14との間を貫通しない。たとえば図3(a)において、第1溝部15の第1深さd1、及び第2溝部16の第2深さd2は、共に0.9tとする。ここで、第1深さd1及び第2深さd2は距離tよりも小さく、第1深さd1と第2深さd2との和は距離tを超えていれば、共に0.9tであることに限らず、たとえばd1=0.9t、d2=0.4tの組合せであってもよく、d1=0.6tであり、d2=0.8tなどいずれの組合せであってもよい。第1深さd1及び第2深さd2が距離tよりも小さいことにより、第1溝部15及び第2溝部16が非貫通孔となるので、溝部を貫通孔とした場合に比して、屈曲振動部1の剛性を高めることができる。
図4において、三角のマーカーは図3(a)の断面形状の場合、黒塗りの四角のマーカーは屈曲振動部の第1及び第2の主面に溝部を設けることで屈曲振動部の断面形状を「H」にした所謂H型の場合、白抜きの菱形のマーカーは屈曲振動部の何れの主面にも溝部を設けていない所謂平板の場合のプロットである。また、太い実線は三角マーカーの値の近似直線、破線は四角マーカー間の補間直線、一点鎖線は菱形マーカー間の補間直線である。
屈曲振動部の断面形状を図3(a)のようにし、f/fmを0.09より大きい値とすることで、H型の場合よりも高いQ値の屈曲振動片を実現することが、図4から明らかとなった。さらにf/fmを0.25より大きい値とすることで、H型と平板のいずれの場合よりも高いQ値の屈曲振動片を実現することができる。f/fmを1より大きくすれば、H型と平板のいずれよりも格段に高いQ値となる。
この屈曲振動に伴い、第1面11及び第2面12、ならびに第1溝部15及び第2溝部16に接する基部2にも、それぞれ第1伸縮部17ならびに第2伸縮部18と同様に、伸張ならびに収縮が図示Y方向に生じる。
また、固定電極5及び固定電極6は、水晶振動片10を収納するパッケージ(図示省略)などに固定するためにも用いられる。
図3(b)及び図3(c)は、図3(a)に示した第1溝部15及び第2溝部16に関する第1実施形態の変形例を示す図である。ここで、図3(b)及び図3(c)に示した励振電極3,4の配置及び配線は、図3(a)に示した励振電極3,4の配置及び配線と同様である。
以下、第2実施形態について、図5から図7を参照して説明する。
図5は、第2実施形態の水晶振動片20を示す概略斜視図である。図6及び図7は、図5のY(+)方向に見たZ-X概略断面図であり、概略配線図である。
そして、励振電極3と励振電極4との間に、交流電流が流れる。これにより、水晶振動片20の屈曲振動部1は、図5に示すように、実線矢印及び2点鎖線矢印で示す屈曲振動をする。
図6(b)は、図6(a)に示す第1溝部15及び第2溝部16に関する第2実施形態の変形例である。図6(b)が図6(a)と相違する点は、図6(b)で、右側に図示された他方の屈曲振動部1の第1溝部15及び第2溝部16の配置である。つまり、第1の主面である第3面13に形成されている第1溝部15は、第1面11に対向して配置され、第2の主面である第4面14に形成されている第2溝部16は、第2面12に対向して配置されている。
左側に図示された一方の屈曲振動部1、基部2、及びそれぞれ2対の励振電極3,4は、図6(a)と同様に配置され、配線されている。そして、図6(a)と同様に、励振電極3と励振電極4との間に、交流電流が流れる。これにより、屈曲振動部1は、図5において実線矢印及び2点鎖線矢印で示す屈曲振動をする。
図7は、図6(a)に示す励振電極3,4の配置に関する第2実施形態の変形例を示す図である。
図7が図6(a)と相違する点は、2個の屈曲振動部1及び基部2に対してそれぞれ1対の励振電極3,4を配置している点である。
図7(b)に示すように、励振電極3は、左側に図示された一方の屈曲振動部1の第1溝部15、及び右側に図示された他方の屈曲振動部1の第2溝部16に配置されている。そして、励振電極4は、左側に図示された一方の屈曲振動部1の第2溝部16、及び右側に図示された他方の屈曲振動部1の第1溝部15に配置されている。
図7(c)に示すように、励振電極3は、左側に図示された一方の屈曲振動部1の第2溝部16、及び右側に図示された他方の屈曲振動部1の第1溝部15に配置されている。そして、励振電極4は、左側に図示された一方の屈曲振動部1の第1面11、及び右側に図示された他方の屈曲振動部1の第2面12に配置されている。
図8は、図6及び図7に示す励振電極3,4の配置、ならびに屈曲振動部1及び基部2の形状に関する第2実施形態の変形例を示す図である。
ここで示す第1面11を含む面は、第1面11及び第1面11が延長した面を示し、第3面13が延長した面と交差するまでの面を示す。逆に、第3面13を含む面は、第3面13及び第3面13が延長した面を示し、第1面11が延長した面と交差するまでの面を示す。また、第2面12を含む面は、第2面12及び第2面12が延長した面を示し、第4面14が延長した面と交差するまでの面を示す。逆に、第4面14を含む面は、第4面14及び第4面14が延長した面を示し、第2面12が延長した面と交差するまでの面を示す。
変形例3においては、図6及び図7に示したように、第3面13に第1溝部15、及び第4面14に第2溝部16がそれぞれ形成されていると、なお好ましい。
図9は、図6に示す水晶振動片20の第1溝部15及び第2溝部16の形状に関する第2実施形態の変形例を示す図である。
図9(a)及び図9(b)に示す第1溝部15及び第2溝部16は、図6(a)及び図6(b)で矩形状に示したのに対し、三角形状に形成されている。ここで、図9(a)と図9(b)とが相違する点は、図6(a)と図6(b)とが相違する点と同様であり、右側に図示された他方の屈曲振動部1の第1溝部15及び第2溝部16の配置である。
図10は、図5に示す基部2及び連結部29の形状、ならびに固定電極5,6の配置に関する第2実施形態の変形例を示す図である。
図10(b)に示す水晶振動片20Bは、図5に示す連結部29から延長して形成された固定部29Bを2個備えている、2個の固定部29Bの間に、2個の水晶振動片10が配置されて、繋がれている。
以下、第3実施形態について、図11及び図12を参照して説明する。
図11は、第3実施形態の水晶振動片30を示す概略斜視図である。図12は、図11のY(+)方向から見たZ-X概略断面図である。以下、振動部である屈曲振動部1、励振電極3,4、及び基部2は、図3(a)で示した形状を例に挙げて説明する。
図12(b)は、図7(b)に示した2個の屈曲振動部1、励振電極3,4、及び基部2をそれぞれ反時計回りに90°回転した配置である。また、図7(b)に示した2個の屈曲振動部1、励振電極3,4、及び基部2をそれぞれ時計回りに90°回転した配置である。
図12(c)は、図12(a)の左側に図示された一方の屈曲振動部1、励振電極3,4、及び基部2と、図12(b)の右側に図示された他方の屈曲振動部1、励振電極3,4、及び基部2とを備えた配置である。
図12(d)は、図7(c)に示した2個の屈曲振動部1、励振電極3,4、及び基部2のうち、左側に図示された一方の屈曲振動部1、励振電極3,4、及び基部2を、反時計回りに90°回転した配置であり、右側に図示された他方の屈曲振動部1、励振電極3,4、及び基部2を、時計回りに90°回転した配置である。
以下、第4実施形態について、図13及び図14を参照して説明する。
図13は、第4実施形態の水晶振動片40を示す概略斜視図である。図14は、図13のY(+)方向から見たZ-X概略断面図であり、概略配線図である。
水晶振動片40が、第3実施形態の水晶振動片30と相違する点は、振動部である屈曲振動部1、励振電極3,4、及び基部2を3個備える点である。このため、同一の符号を付与し、構成の説明を省略する。以下、屈曲振動部1、励振電極3,4、及び基部2は、図3(a)で示した形状及び配置を例に挙げて説明する。
図14(b)は、図12(d)に示した配置の屈曲振動部1、励振電極3,4、及び基部2を、3個備えた配置である。
図14(c)は、図12(b)に示した配置の屈曲振動部1、励振電極3,4、及び基部2を、3個備えた配置である。
図15(a)に示す水晶振動片40は、図14(a)に示した配置の3個の屈曲振動部1及び基部2のうち、中央の屈曲振動部1及び基部2を180°回転させた配置である。
図15(b)に示す水晶振動片40は、図14(a)に示した配置の3個の屈曲振動部1及び基部2のうち、中央及び右側の屈曲振動部1及び基部2をそれぞれ180°回転させた配置である。
図15(a)及び図15(b)に示す水晶振動片40は、励振電極3,4を図示省略したが、図14(a)から図14(c)に示した励振電極3,4が配置されている。
以下、第5実施形態の圧電振動子として水晶振動子を一例に挙げて説明する。
図16及び図17に示すように、水晶振動子80は、パッケージ31内に水晶振動片20を収納している。具体的には、水晶振動子80は、図17に示すように、第1基板34と、この第1基板34に積層された第2基板35と第3基板36とを含むパッケージ31内に水晶振動片20を収納している。
図17に示すように、電極部32は、パッケージ31の底面に露出した少なくとも2個の実装端子41と図示しない導電パターンにより接続されている。この電極部32と実装端子41とを接続するための導電パターンは、パッケージ31の形成時に利用されるキャスタレーション(図示せず)の表面に形成して、パッケージ31の外面を引き回してもよいし、あるいは第1基板34と第2基板35とを貫通する導電スルーホールなどにより接続してもよい。
以下、第6実施形態の圧電デバイスとして水晶発振器を一例に挙げて説明する。
Claims (7)
- 基部と、前記基部から延長する振動部とを備え、
前記振動部が、互いに対向する第1及び第2の主面と、
前記第1の主面に形成された第1溝部と、
前記第2の主面に形成された第2溝部と、を有し、
前記第1の主面の法線方向からの平面視において、前記第1溝部と前記第2溝部が、前記延長の方向と直交する方向に配列されており、
前記第1溝部の第1深さ及び前記第2溝部の第2深さは、前記第1の主面と前記第2の主面との間の前記法線方向の距離よりも小さく、
且つ、前記第1深さと前記第2深さの和は、前記距離よりも大きいことを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1に記載の屈曲振動片であって、
前記振動部は、前記第1の主面と前記第2の主面とを連結する、且つ、互いに対向する第3及び第4の主面を有しており、
前記振動部の屈曲振動によって、前記第3の主面が伸張する場合は前記第4の主面は収縮し、前記第3の主面が収縮する場合は前記第4の主面は伸張する関係にあることを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1に記載の屈曲振動片であって、
前記第1溝部及び前記第2溝部は、前記振動部から前記基部に跨って形成されていることを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の屈曲振動片であって、
前記振動部の屈曲振動周波数をf、円周率をπ、前記振動部に用いた材料の振動方向の熱伝導率をk、前記振動部に用いた材料の質量密度をρ、前記振動部に用いた材料の熱容量をCp、前記振動部の振動方向の幅をaとし、fm=πk/(2ρCpa2)としたとき、0.09<f/fmであること特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の屈曲振動片であって、
前記第1溝部及び前記第2溝部は、前記基部から前記屈曲振動部の延長方向の長さの半分から基部側に配置されていることを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1に記載の屈曲振動片を用いた屈曲振動子であって、
前記屈曲振動片と、
前記屈曲振動片とを収納するパッケージとを備え、
前記パッケージ内に前記屈曲振動片が気密に封止されたことを特徴とする屈曲振動子。 - 請求項1に記載の屈曲振動片を用いた圧電デバイスであって、
前記屈曲振動片と、
前記屈曲振動子を駆動させるICチップと、
前記屈曲振動片及び前記ICチップを収納するパッケージとを備え、
前記パッケージ内に前記屈曲振動片及び前記ICチップが気密に封止されたことを特徴とする圧電デバイス。
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