JP2007243995A - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1音叉腕と第2音叉腕を形成した後に、各音叉腕に溝が形成され、その後に、音叉型水晶振動子の周波数が調整されるので、高精度で、安価な超小型の音叉型水晶振動子を実現することができる。
【選択図】図1
Description
本発明の水晶振動子の製造方法の第3の態様は、第1音叉腕と第2音叉腕の各々の上下面に形成された溝の側面と、第1音叉腕と第2音叉腕の側面に電極を配置する工程の後に、かつ、音叉型水晶振動子の周波数を調整する工程の前に、音叉型水晶振動子を収納するケース内に収納する工程と前記ケースと蓋を接合する工程とを備えている第1の態様に記載の水晶振動子の製造方法である。
に、具体的に述べると、溝幅W2と音叉腕幅Wとの比(W2/W)が0.35〜0.85となるように形成される。このように形成することにより、音叉腕の中立線37と中立線38を基点とする慣性モーメントが大きくなる。即ち、電気機械変換効率が良くなるので、等価直列抵抗R1の小さい、Q値の高い、しかも容量比の小さい音叉型屈曲水晶振動子を得ることができる。
(1)音叉腕の中立線を挟んで溝を設けることにより、電界が垂直に働く。その結果、電気機械変換効率が良くなるので、等価直列抵抗R1の小さい、品質係数Q値の高い音叉型屈曲水晶振動子とそれを収納した水晶ユニットと水晶発振器とそれを搭載した携帯機器が得られる。
(2)等価直列抵抗R1の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子が搭載されるので、超小型の水晶ユニットが高品質で実現できる。
(3)音叉型屈曲水晶振動子の音叉寸法と溝との関係を示すことにより、2次高調波振動を抑えた基本波モードで振動する、しかも、等価直列抵抗R1の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子を得ることができるので、超小型の水晶ユニットと水晶発振器が高品質で得られ、その水晶発振器を携帯機器に搭載するので、信頼性の高い携帯機器が実現できる。
6,24,45,90,104,116,148,156 音叉基部
7,59,106 固定部
W2 溝幅,W 音叉腕の全幅
W1,W3 音叉腕の部分幅
l1 溝の長さ
l2 音叉基部の長さ
t 振動子の厚み,
t1 溝の厚み
Claims (3)
- 音叉基部と、その音叉基部に接続された少なくとも第1音叉腕と第2音叉腕とを備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型水晶振動子の製造方法で、第1音叉腕と第2音叉腕の各々は、上下面と対抗する側面とを有し、第1音叉腕と第2音叉腕の各々の一端部は音叉基部に接続され、他端部は自由である音叉型水晶振動子で、第1音叉腕と第2音叉腕の各々の上下面に溝を有する音叉型水晶振動子の製造方法であって、
水晶ウエハの上下面に金属膜を形成する工程と、
水晶ウエハの上下面に形成された金属膜の上にレジストを塗布する工程と、
音叉基部と、その音叉基部に接続された第1音叉腕と第2音叉腕を備えた音叉形状をエッチングにより水晶ウエハに形成する工程と、
第1音叉腕と第2音叉腕の各々の上下面に溝を形成する工程と、
第1音叉腕と第2音叉腕の各々の上下面に形成された溝の側面と、第1音叉腕と第2音叉腕の側面に電極を配置する工程と、
音叉型水晶振動子の周波数を調整する工程と、を少なくとも有し、これらの工程は前記工程の順に行われることを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 第1音叉腕と第2音叉腕の各々の上下面に形成された溝の側面と、第1音叉腕と第2音叉腕の側面に電極を配置する工程の後に、かつ、音叉型水晶振動子の周波数を調整する工程の前に、音叉型水晶振動子を収納するケース内に収納する工程を備え、音叉型水晶振動子の周波数を調整する工程の後に、前記ケースと蓋を接合する工程を備えていることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子の製造方法。
- 第1音叉腕と第2音叉腕の各々の上下面に形成された溝の側面と、第1音叉腕と第2音叉腕の側面に電極を配置する工程の後に、かつ、音叉型水晶振動子の周波数を調整する工程の前に、音叉型水晶振動子を収納するケース内に収納する工程と前記ケースと蓋を接合する工程とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子の製造方法。
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