WO2009084321A1 - エレクトレットコンデンサマイクロホン - Google Patents

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WO2009084321A1
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sound hole
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diaphragm
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Inventor
Toshiro Izuchi
Kensuke Nakanishi
Tsuyoshi Baba
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Hosiden Corporation
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    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00Electrostatic transducers
    • H04R19/01Electrostatic transducers characterised by the use of electrets
    • H04R19/016Electrostatic transducers characterised by the use of electrets for microphones
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R31/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor
    • H04R31/006Interconnection of transducer parts
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2499/00Aspects covered by H04R or H04S not otherwise provided for in their subgroups
    • H04R2499/10General applications
    • H04R2499/11Transducers incorporated or for use in hand-held devices, e.g. mobile phones, PDA's, camera's

Definitions

  • heat countermeasure when implementing a reflow mounting process, it is necessary to take a heat countermeasure.
  • hot air generated in the reflow mounting process enters the inside of the capsule through a sound hole provided on the top surface of the capsule, or heat from the heated capsule causes internal heat (for example, a diaphragm, an electret layer). ).
  • the components housed inside the capsule may be adversely affected by heat.
  • the cooling air for cooling the capsule enters the inside of the capsule from the sound hole provided on the top surface of the capsule, the air may adversely affect the components inside the capsule.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and its purpose is suitable for suction conveyance when performing reflow mounting and the like, and measures against the hot air and cooling air described above that may cause problems in the reflow mounting process.
  • an ECM provided with measures against heat transfer from the capsule to the internal components.
  • the cap member is provided between the capsule and the capacitor portion, even if the capsule becomes high temperature, the temperature is relaxed by the cap member and is difficult to be transmitted to the capacitor portion. Therefore, it can suppress that the capacitor
  • the influence of heat on the electret layer included in the capacitor unit can be suppressed, it is possible to suppress a decrease in the polarization state of the electret layer due to heat.
  • the hot air or cooling air during the reflow mounting process passes through the part where the channel is narrowed by the capsule opening and the part where the channel is narrowed by the sound hole of the cap member, and then into the capacitor part. To reach. Therefore, it is possible to prevent the capacitor portion from being damaged by hot air or cooling air during the reflow mounting process. For example, the occurrence of slack in the diaphragm due to hot air and cooling air can be suppressed.
  • the second characteristic configuration of the electret condenser microphone according to the present invention is that the sound hole is an arc-shaped slit surrounding the suction portion.
  • the sound hole having an opening with a predetermined area can be provided as close as possible to the center of the capsule, so that the sound collecting performance can be improved. Furthermore, by making the sound hole into a slit shape, the opening width is smaller than that of a circular or square sound hole having the same opening area, and hot air, cooling air, dust, water droplets, etc. enter the capsule. It becomes difficult. For this reason, durability and reliability of the electret condenser microphone can be improved.
  • the sound hole is formed in the second region protruding outward, the sound wave from the outside can be satisfactorily taken into the capsule from the sound hole.
  • a fifth characteristic configuration of the electret condenser microphone according to the present invention is that the sound hole is formed at a boundary between the first region and the second region.
  • the ECM 100 is configured by accommodating various components inside a capsule 7 composed of a cylindrical side member 7b and a top member 7a. Inside the capsule 7, a cap member 6, a back electrode plate 5, a spacer ring 4, a diaphragm 3, a gate ring 2, and a substrate 1 are accommodated in this order from the top surface member 7 a side. Then, the end of the side member 7 b of the capsule 7 caulks the substrate 1 into the capsule 7, so that the various components described above are fixed inside the capsule 7.
  • the capsule 7 is formed using a conductive member such as metal. In this embodiment, an example in which the capsule 7 has a cylindrical shape will be described. However, the capsule 7 may be formed in a rectangular tube shape.
  • the diaphragm 3 includes a diaphragm 3b that vibrates in response to sound waves and a diaphragm ring 3a that holds the periphery of the diaphragm 3b.
  • An insulating spacer ring 4 is provided between the back electrode plate 5 and the diaphragm 3.
  • the inner wall of the capsule 7 is coated with an insulating material 7c for the purpose of preventing a short circuit with various components to be accommodated.
  • the insulating material 7c is preferably a material having high heat resistance such as ceramic.
  • the diaphragm 3 is electrically connected to a circuit pattern (not shown) on the substrate 1 through the conductive gate ring 2.
  • the fixed electrode 5 b of the back electrode plate 5 is electrically connected to the capsule 7 via the cap member 6, and is electrically connected to the circuit pattern on the substrate 1 via the capsule 7.
  • An IC element 9 that is electrically connected to the circuit pattern is provided on the substrate 1.
  • the capsule 7 has an opening 8 in its top surface member 7a.
  • a plate-like cap member 6 is provided between the above-described capacitor portion C and the top surface member 7 a of the capsule 7.
  • a portion of the cap member 6 exposed through the opening 8 is provided with a sound hole 6a for introducing a sound wave into the capacitor portion C.
  • FIG. 3 is a view showing a state in which the cap member 6 is accommodated in the capsule 7, and FIG. 4 is a cross-sectional perspective view of the cap member 6.
  • the cap member 6 is composed of a first region 6b in the peripheral portion and a second region 6c formed so that a central portion surrounded by the first region 6b protrudes outward.
  • the second region 6c in the central portion of the cap member 6 functions as a suction portion V that can be sucked by a suction-type transport device.
  • This suction part V should just be more than the nozzle area of the suction nozzle of a conveying apparatus. Thereby, the contact state of the suction nozzle end surface with respect to the suction part V is stabilized.
  • the position of the sound hole 6 a is arranged so as not to overlap the hole 5 c of the back electrode plate 5. Therefore, even if a foreign object enters from the sound hole 6 a, the foreign object is blocked by the back electrode plate 5. That is, foreign matter can be prevented from entering the diaphragm 3 through the hole 5 c of the back electrode plate 5. Further, wind from the outside of the capsule 7 (hot air or cooling air in the reflow mounting process) is not directly applied to the vibrating membrane 3b.
  • the configuration of the capacitor unit C can be changed as appropriate.
  • the configuration in which the back electrode plate 5 is on the cap member 6 side in the capacitor unit C accommodated in the capsule 7 has been described, but conversely, the diaphragm 3 is the cap member 6. It may be modified to the configuration on the side.
  • the back electrode plate 5 includes the electret layer.
  • the diaphragm may include the electret layer.
  • the suction nozzle of the transport device comes into contact with the position away from the suction portion V, the suction nozzle does not seal the sound hole 6a, and the diaphragm 3 and the back electrode plate 5 inside the capsule 7 are damaged. Can be prevented.
  • the present invention can be used for ECM compatible with reflow mounting technology.

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Abstract

 エレクトレットコンデンサマイクロホン100が、天面部材7aに開口部8を有する導電性のカプセル7、カプセル7の内部に収容される、振動板3と、振動板3の表面の何れか一方に対向して設置される背極板5と、振動板3若しくは背極板5に備えたエレクトレット層5aとで形成されるコンデンサ部C、及び、コンデンサ部Cとカプセル7の天面部材7aとの間に設けられ、開口部8を通して露出される部分に音孔6aを有するキャップ部材6、を備え、キャップ部材6は、吸引式の搬送装置により吸引可能な吸引部Vを中央部分に有し、吸引部Vの周囲に沿って音孔6aが設けられている。

Description

エレクトレットコンデンサマイクロホン
 本発明は、カプセルの内部に、振動板と、その振動板の表面の何れか一方に対向して設置される背極板と、振動板若しくは背極板に備えたエレクトレット層とで形成されるコンデンサ部を備えるエレクトレットコンデンサマイクロホン(以下、「ECM」と略称する)に関する。
  ECMは、携帯電話、PDA、デジタルカメラ等の幅広い電子機器に適用されている。ECMは、微小な部品であるため、各種機器に対する取り付けに際しては、表面実装技術が用いられる。例えば、配線基板にはんだを塗付しECMを配設した後、基板を加熱してはんだ付けするリフロー実装方法が用いられる。リフロー実装工程においては、ECMの配線基板への取り付け速度を高めるため、吸引式の搬送装置を用いてECMを配線基板上に搬送することがある。
 従来のECMは、筐体であるカプセルの天面の中央に音孔を備えているものが多い。このため、吸引式の搬送装置を用いる場合には、内部の振動板等を損傷させないように音孔以外の箇所を吸引して、配線基板の所定の位置へ搬送する。
実用新案登録第2548543号公報(第1図)
 リフロー実装工程において従来のECMを搬送する場合、重心から変位した音孔以外の箇所を吸引して搬送することになるため、所定の姿勢を維持したまま搬送することが困難な場合がある。例えば、搬送装置が天面の縁近傍に当接する場合には、ECMの姿勢が傾き易くなり落下することがある。一方、これらの問題を解決するために、搬送装置の吸引力を大きくすると、カプセルの天面が変形する等の不都合が生じることとなり改善の余地があった。
 また、リフロー実装工程を実施する場合には、熱対策を講じる必要もある。例えば、リフロー実装工程において発生する熱風がカプセルの天面に設けられた音孔からカプセル内部に侵入することや、熱を帯びたカプセルから、その熱が内部の部品(例えば、振動板、エレクトレット層)に伝わることなどがある。その場合、カプセル内部に収容された部品が熱によって悪影響を被る可能性もある。加えて、カプセルを冷却する際の冷却風がカプセルの天面に設けられた音孔からカプセル内部に侵入することで、その風によってカプセル内部の部品に悪影響が及ぼされる可能性もある。例えば、熱風及び冷却風によって振動板に弛みが生じたり、熱によるエレクトレット層の分極状態の低下といった悪影響が生じ得る。
 しかしながら、従来のECMではリフロー実装工程において問題となり得る上述の熱風及び冷却風やカプセルから内部部品への熱伝達に対する対策が十分ではなかった。
 本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、リフロー実装等を行う際の吸引搬送に適し、及び、リフロー実装工程において問題となり得る上述の熱風及び冷却風への対策やカプセルから内部部品への熱伝達への対策が施されたECMを提供する点にある。
 上記目的を達成するための本発明に係るエレクトレットコンデンサマイクロホンの第一特徴構成は、天面部材に開口部を有する導電性のカプセル、
 前記カプセルの内部に収容される、振動板と、前記振動板の表面の何れか一方に対向して設置される背極板と、前記振動板若しくは前記背極板に備えたエレクトレット層とで形成されるコンデンサ部、及び、
 前記コンデンサ部と前記カプセルの前記天面部材との間に設けられ、前記開口部を通して露出される部分に音孔を有するキャップ部材、を備え、
 前記キャップ部材は、吸引式の搬送装置により吸引可能な吸引部を中央部分に有し、前記吸引部の周囲に沿って前記音孔を設けた点にある。
 上記特徴構成によれば、カプセルとコンデンサ部との間にキャップ部材が設けられているので、カプセルが高温になったとしても、その温度がキャップ部材で緩和されてコンデンサ部に伝わり難くなる。よって、カプセルに収容されたコンデンサ部が、熱により劣化することを抑制できる。特に、コンデンサ部が備えるエレクトレット層に対する熱の影響を抑制できるので、熱によるエレクトレット層の分極状態の低下を抑制できる。
 加えて、リフロー実装工程時の熱風や冷却風は、カプセルの開口部によって流路が狭められた部分、及び、キャップ部材の音孔によって流路が狭められた部分を通った後でコンデンサ部に到達する。よって、リフロー実装工程時の熱風や冷却風によってコンデンサ部が損傷を受けないようにできる。例えば、熱風及び冷却風によって振動板に弛みが生じることを抑制できる。
 また、吸引部がエレクトレットコンデンサマイクロホンのカプセルの天面部材の中央に備えられているため、上記吸引式の搬送装置の吸引ノズルをエレクトレットコンデンサマイクロホンの重心とほぼ一致する天面の中央に合わせて吸引することができる。このため、搬送時のエレクトレットコンデンサマイクロホンの姿勢が変化し難くなり、吸引を確実に行える。更に、吸引時に吸引箇所に掛かるモーメントが小さくなるため、吸引式の搬送装置の吸引力を小さくでき、天面の変形を抑制することができる。また更に、音孔がカプセルの天面部材に設けられている吸引部に存在しないため、吸引式の搬送装置の吸引ノズルがカプセル内の振動板や背極板等を吸引により損傷させることなく安全に搬送することができる。
 従って、リフロー実装等を行う際の吸引搬送に適し、及び、リフロー実装工程において問題となり得る上述の熱風及び冷却風やカプセルから内部部品への熱伝達に対する対策が施されたエレクトレットコンデンサマイクロホンを提供できる。
 本発明に係るエレクトレットコンデンサマイクロホンの第二特徴構成は、前記音孔を、前記吸引部の周囲を囲む円弧状のスリットとした点にある。
 上記特徴構成によれば、所定の面積の開口を有する音孔をカプセルの中央になるべく近い位置に設けることができるため、集音性能を向上させることができる。
 更に、音孔をスリット形状とすることで、同じ開口面積を有する円型や角型の音孔に比べて、開口幅が小さくなり、カプセル内へ熱風及び冷却風や粉塵、水滴等が侵入しにくくなる。このため、エレクトレットコンデンサマイクロホンの耐久性や信頼性を向上させることができる。
 本発明に係るエレクトレットコンデンサマイクロホンの第三特徴構成は、前記キャップが、周辺部分の第1領域と、当該第1領域に囲まれる中央部分が外側に突出するように形成した第2領域とで構成されており、
 前記吸引部を前記第2領域に形成した点にある。
 上記特徴構成によれば、キャップ部材とカプセル内部に備えられているコンデンサ部との間に空間が形成される。その結果、キャップ部材が熱せられたとしても、その熱がコンデンサ部に伝わり難くなる。
 本発明に係るエレクトレットコンデンサマイクロホンの第四特徴構成は、前記第2領域に前記音孔が形成される点にある。
 上記特徴構成によれば、外側に突出した第2領域に音孔が形成されるので、外部からの音波をその音孔からカプセル内部に良好に取り込むことができる。
 本発明に係るエレクトレットコンデンサマイクロホンの第五特徴構成は、前記第1領域と前記第2領域との境界に、前記音孔が形成される点にある。
 上記特徴構成によれば、音孔がキャップ部材の上記第1領域及び上記第2領域に対して所定の角度を有して形成されるため、より一層、熱風及び冷却風や粉塵、水滴等などがカプセル内に侵入しにくい構造となる。この結果、エレクトレットコンデンサマイクロホンの耐久性・信頼性をより向上させることができる。
 更に、搬送装置の吸引ノズルが吸引部から外れた位置に当接した場合でも、吸引ノズルが当該音孔を密封することはなく、カプセル内部の振動板や背極板が損傷するのを防止することができる。
は、エレクトレットコンデンサマイクロホンの分解斜視図を示す図である。 は、エレクトレットコンデンサマイクロホンの断面図を示す図である。 は、キャップ部材がカプセルの内部に収容された状態を示す図を示す図である。 は、キャップ部材の断面斜視図(1)を示す図である。 は、キャップ部材の断面斜視図(2)を示す図である。 は、別実施形態のキャップ部材の断面図を示す図である。
  以下に図面を参照して本発明のエレクトレットコンデンサマイクロホン(以下、「ECM」と略称する)の構成について説明する。図1はECM100の分解斜視図であり、図2はECM100の断面図である。
 図1及び図2に示すように、ECM100は、円筒状の側面部材7bと天面部材7aとで構成されるカプセル7の内部に各種部品を収容して構成されている。カプセル7の内部には、その天面部材7aの側から順に、キャップ部材6、背極板5、スペーサリング4、振動板3、ゲートリング2及び基板1が収容されている。そして、カプセル7の側面部材7bの端部が、基板1をカプセル7内部へとかしめることで、上述した各種部品がカプセル7の内部で固定される。カプセル7は金属などの導電性部材を用いて形成される。
 本実施形態では、カプセル7が円筒形状である例について説明するが、カプセル7を角筒形状に形成してもよい。
 本実施形態では、背極板5とスペーサリング4と振動板3とでコンデンサ部Cが構成され、そのコンデンサ部Cによってカプセル7の内部に侵入した音波が検出される。背極板5は、固定電極5bと、振動板3と対向する側の固定電極5bの表面に設けられたエレクトレット層5aとで構成される。このように、エレクトレット層5を設けたことで背極板5は定電位に維持される。背極板5及びエレクトレット層5aには複数の孔部5cが形成されており、カプセル7の内部に侵入した音波はその孔部5cを通って振動板3に到達できる。
 振動板3は、音波を受けて振動する振動膜3bと、その振動膜3bの周囲を保持する振動膜リング3aとで構成される。背極板5と振動板3との間には、絶縁性のスペーサリング4が設けられている。また、カプセル7の内側壁には、収容される各種部品との短絡を防止する目的で絶縁材料7cがコーティングされている。カプセル7の内部に収容される各種部品の熱による損傷を防止するためには、この絶縁材料7cは、セラミックなどの高い耐熱性を有する材料であることが好ましい。
 振動板3は、導電性のゲートリング2を介して基板1上の回路パターン(図示せず)と電気的に接続される。背極板5の固定電極5bは、キャップ部材6を介してカプセル7と電気的に接続され、そのカプセル7を介して基板1上の回路パターンと電気的に接続される。また、基板1上には、上記回路パターンと電気的に接続されるIC素子9が設けられる。
 以上のように構成することで、音波を受けて振動膜3bが振動すると、その振動膜3bの変位がコンデンサ部C(背極板5及び振動板3)の静電容量の変化として上記IC素子9に伝達される。つまり、ECM100において、音波が電気信号に変換される。
 カプセル7は、その天面部材7aに開口部8を有する。上述したコンデンサ部Cとカプセル7の天面部材7aとの間には、板状のキャップ部材6が設けられている。キャップ部材6の、上記開口部8を通して露出される部分には、コンデンサ部Cへ音波を導入するための音孔6aが設けられている。
 図3は、キャップ部材6がカプセル7の内部に収容された状態を示す図であり、図4は、キャップ部材6の断面斜視図である。図示するように、キャップ部材6は、周辺部分の第1領域6bと、その第1領域6bに囲まれる中央部分が外側に突出するように形成した第2領域6cとで構成されている。キャップ部材6の中央部分の第2領域6cは、吸引式の搬送装置により吸引可能な吸引部Vとして機能する。この吸引部Vは、搬送装置の吸引ノズルのノズル面積以上あればよい。これにより、吸引部Vに対する吸引ノズル端面の当接状態が安定する。
 また、第2領域6cの中心を吸引することで、ECM100を水平姿勢で搬送する場合には、ちょうど重心の上方位置を保持することとなる。このため、搬送時のECM100の姿勢の変化を抑制しECM100が落下し難くなる。この結果、搬送装置の吸引力を小さく設定することができ、カプセル7の変形を防止したり、小型の搬送装置を適用したりすることが可能となる。
 更に、キャップ部材6とカプセル7の内部に備えられているコンデンサ部Cとの間に空間が形成されることで、キャップ部材6が熱せられたとしても、その熱がコンデンサ部Cに伝わり難くなる。
 第2領域6cとしての上記吸引部Vの周囲には、円弧状でスリット形状を有する音孔6aを設けている。音孔6aの開口幅は、従来からある円型音孔6aの直径などに比べて狭く形成してある。これにより、カプセル7の内部への熱風及び冷却風や粉塵、水滴等の侵入を効果的に防止できる。具体的には、キャップ部材6の第2領域6cに形成される音孔6aは、キャップ部材6に溝を形成することで、円弧状のスリット形状にされている。或いは、図5に示すように、キャップ部材6を押し曲げることによって、音孔6aを円弧状のスリット形状にしてもよい。
 本実施形態のECM100では、図2に示すように、音孔6aの位置は、背極板5の孔部5cとは重ならないように配置されている。よって、異物が音孔6aから侵入したとしても、その異物は背極板5によって阻止される。つまり、異物が背極板5の孔部5cを通って振動板3の方にまで侵入することを阻止できる。更に、カプセル7の外部からの風(リフロー実装工程での熱風や冷却風)が振動膜3bに直接当たらないようになっている。加えて、コンデンサ部C(背極板5)とカプセル7の天面部材7aとの間にはキャップ部材6が介装されているので、カプセル7の温度が上昇したとしても、コンデンサ部Cに伝わる熱はキャップ部材6によって緩和される。
 以上の結果、コンデンサ部Cが熱による悪影響を被ることが防止される。具体的には、コンデンサ部Cが備えるエレクトレット層5aに対する熱の影響を抑制できるので、熱によるエレクトレット層5aの分極状態の低下を抑制できる。また、熱風及び冷却風によって振動板3bに弛みが生じることを抑制できる。
<別実施形態>
<1>
 上記コンデンサ部Cの構成は適宜変更可能である。例えば、上記実施形態では、カプセル7に収容されているコンデンサ部Cにおいて、背極板5がキャップ部材6の側にある構成について説明したが、それとは逆に、振動板3がキャップ部材6の側にある構成に改変してもよい。また、上記実施形態では、背極板5がエレクトレット層を備える例について説明したが、振動板がエレクトレット層を備えるように構成してもよい。
<2>
 上記実施形態では、音孔6aが円弧状のスリット形状である例について説明したが、音孔6aの形状は適宜変更可能である。例えば、複数個の微小な円孔や角孔が円弧状に連続して配設された形態の音孔6aを形成してもよい。このような音孔であっても、円弧状でスリット形状を有する音孔とほぼ同様の機能を発揮する。
 また、上述した複数個の微小な円孔や角孔が環状に連続して配設された形態の音孔6aを形成してもよい。或いは、音孔6aの形状を、中心から放射状に広がる円弧状又は曲線状又は直線状又は折れ線状のスリットとしてもよい。
<3>
 上記実施形態において、音孔の形成位置を変更してもよい。例えば、図6に示すキャップ部材の断面図のように、音孔6aを第1領域と第2領域との境界に形成してもよい。このように、音孔6aがキャップ部材6の上記第1領域6b及び上記第2領域6cに対して所定の角度を有して形成されるため、音孔6aが上記第1領域6b及び上記第2領域6cに備えられる場合に比べて、より一層、熱風及び冷却風や粉塵、水滴等がカプセル7内に侵入しにくい構造となる。この結果、ECM100の耐久性・信頼性をより向上させることができる。
 さらに、搬送装置の吸引ノズルが吸引部Vから外れた位置に当接した場合でも、吸引ノズルが音孔6aを密封することはなく、カプセル7の内部の振動板3や背極板5が損傷するのを防止できる。
  本発明は、リフロー実装技術に対応したECMに利用できる。

Claims (5)

  1.  天面部材に開口部を有する導電性のカプセル、
     前記カプセルの内部に収容される、振動板と、前記振動板の表面の何れか一方に対向して設置される背極板と、前記振動板若しくは前記背極板に備えたエレクトレット層とで形成されるコンデンサ部、及び、
     前記コンデンサ部と前記カプセルの前記天面部材との間に設けられ、前記開口部を通して露出される部分に音孔を有するキャップ部材、を備え、
     前記キャップ部材は、吸引式の搬送装置により吸引可能な吸引部を中央部分に有し、前記吸引部の周囲に沿って前記音孔が設けられているエレクトレットコンデンサマイクロホン。
  2.  前記音孔は、前記吸引部の周囲を囲む円弧状のスリットである請求項1記載のエレクトレットコンデンサマイクロホン。
  3.  前記キャップ部材は、周辺部分の第1領域と、当該第1領域に囲まれる中央部分が外側に突出するように形成した第2領域とで構成されており、
     前記吸引部が前記第2領域に形成されている請求項1又は2記載のエレクトレットコンデンサマイクロホン。
  4.  前記第2領域に前記音孔が形成される請求項3記載のエレクトレットコンデンサマイクロホン。
  5.  前記第1領域と前記第2領域との境界に、前記音孔が形成される請求項3記載のエレクトレットコンデンサマイクロホン。
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