WO2008143228A1 - Appareil d'examen de surface d'extrémité de tranche - Google Patents

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Takashi Watanabe
Naoshi Sakaguchi
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Abstract

Des systèmes optiques d'éclairage de deux types sont disposés pour éclairer une tranche. Le système optique d'un type est un système d'épi-éclairage bien connu, qui éclaire une tranche (1) par réflexion de la lumière d'éclairage générée par un système optique d'éclairage (6) par un demi-miroir, polarisation de la lumière réfléchie et passage de la lumière polarisée à travers une partie d'un système optique d'imagerie (4). Le système optique de l'autre type est un système optique d'éclairage diffusé (7), qui est disposé pour être tourné vers une surface d'extrémité de la tranche (1) et réalise un éclairage diffusé vers la tranche (1) dans une direction diagonale. Le système optique d'éclairage diffusé (7) est, par exemple, une source de lumière de surface dans laquelle une plaque de diffusion (12) est disposée sur la surface d'un substrat sur lequel de nombreuses DEL (11) sont disposées, et est configuré pour éclairer une section en biseau (3) à partir d'une région large à divers angles. Une section périphérique externe de surface de tranche (2) et la section en biseau de surface (3) peuvent être éclairées en même temps à l'aide des deux types de systèmes d'éclairage en même temps, et des défauts qui sont présents sur la section périphérique externe de surface de tranche (2) et sur la section de biseau de tranche (3) peuvent être détectés en même temps.
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