WO2008081873A1 - 位相回復法を用いたｘ線集光方法及びその装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 　波動光学理論に基づく位相回復法を利用し、実際の評価で使用する硬Ｘ線を用いてミラーにより集光された集光ビームの強度分布を用いることで、ミラー上の位相誤差分布、即ち、形状誤差を求めるＸ線波面計測法を提案し、それを利用してＸ線集光光学系を最適に調節する位相回復法を用いたＸ線集光方法及びその装置を提案する。 【解決手段】 　反射Ｘ線の波面を微調節可能な波面調節能を有するＸ線ミラーを備え、焦点近傍でのＸ線強度分布を測定し、Ｘ線ミラー近傍でのＸ線強度分布を測定し若しくは入射Ｘ線の既知のＸ線強度分布を用い、焦点近傍でのＸ線強度分布と反射面近傍でのＸ線強度分布から位相回復法を用いて反射面での複素振幅分布を算出し、この複素振幅分布からＸ線集光光学系の波面収差を算出し、この算出した波面収差を最小にするように波面調節能にてＸ線ミラーの反射面を制御する。
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