JP5343251B2 - X線ナノビーム強度分布の精密測定方法及びその装置 - Google Patents
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Description
emission machining)であり、加工面に沿って微粒子を混合した超純水の高剪断流を形成し、一種の化学反応によって微粒子が表面原子と結合し、微粒子の移動とともに表面原子が除去される加工原理である。また、形状測定技術とは、MSI(Microstitching
Interferometry)とRADSI(Relative Angle Determinable Stitching Interferometry)であり、小面積を高精度に形状測定可能な干渉計の部分形状データをつなぎ合わせて全体形状を得るという測定原理で、X線ミラーの形状を全空間波長領域でPV値:1nm以下の測定再現性をもって高精度に計測することが可能である。これらの技術を用いて、2nm(PV値)の精度を持つX線集光ミラーを作製し、SPring-8の硬X線をSub-30nmレベルの回折限界集光に成功している。
2 スリット
3 X線ミラー
4 ナイフエッジ
5 スリット
6 X線検出器
7 移動ステージ
8 イオンチャンバー
10 エッジ部材
11 ベース
12 Pt層
13 ナイフエッジ
14、14A,14B,14C,14D ナイフエッジ
100 入射X線
101 スリット
102 イオンチャンバー
103 X線ミラー
104 Auワイヤー
105 スリット
106 X線検出器
Claims (9)
- X線ビームを横切るようにナイフエッジを走査するとともに、該ナイフエッジの背後でX線源に対して幾何学的暗部となる位置に配置したX線検出器でX線強度を測定する暗視野計測法を用い、X線ビームの断面におけるX線強度分布を測定するX線ナノビーム強度分布の精密測定方法であって、前記ナイフエッジは、それを透過するX線の位相を進める作用を有する重金属で長手方向に厚さを連続的又は段階的に変化させて作製するとともに、透過X線と該ナイフエッジの先端で回折した回折X線とが強め合う範囲の位相シフトが得られる厚さ位置でX線ビームを横切るように設定し、回折X線と透過X線とが重ね合わさったX線をX線検出器で測定することを特徴とするX線ナノビーム強度分布の精密測定方法。
- 前記ナイフエッジは、長手方向に厚さを1μmから5μmに連続的又は段階的に変化させた形状であり、それを透過するX線の透過率が80%〜20%の範囲で、位相シフトが0.3λ〜0.7λ(λはX線の波長)になる厚さ位置でX線ビームを横切るように設定し、前記ナイフエッジの先端で回折して該ナイフエッジの背後に回り込んだ回折X線と、ナイフエッジを透過して位相が進んだ透過X線とが重ね合わさったX線をX線検出器で測定する請求項1記載のX線ナノビーム強度分布の精密測定方法。
- 前記ナイフエッジの材料がPt又はAuである請求項1又は2記載のX線ナノビーム強度分布の精密測定方法。
- 前記ナイフエッジの先端部は断面形状が長方形であり、該ナイフエッジの先端面の傾斜角が1mrad以下である請求項1〜3何れかに記載のX線ナノビーム強度分布の精密測定方法。
- 前記ナイフエッジの先端部は断面形状が長方形であり、該ナイフエッジの先端面とX線ビームの光軸とのなす角度を1mrad以下に設定する請求項1〜4何れかに記載のX線ナノビーム強度分布の精密測定方法。
- 前記ナイフエッジを作り込んだエッジ部材を、該ナイフエッジがX線ビームを横切る方向と、該ナイフエッジの長手方向に沿った方向とに走査する請求項1〜5何れかに記載のX線ナノビーム強度分布の精密測定方法。
- 長手方向に厚さを連続的又は段階的に変化させているとともに、先端部の断面形状が長方形であり、X線ビームの光軸に対して先端面の傾斜角が1mrad以下になるように配置するナイフエッジを作り込んだエッジ部材と、該エッジ部材を保持して該ナイフエッジがX線ビームを横切る方向と該ナイフエッジの長手方向に沿った方向とに走査する高精度な移動ステージと、前記ナイフエッジの背後でX線源に対して幾何学的暗部となる位置に配置したX線検出器とよりなり、前記ナイフエッジは、それを透過するX線の位相を進める作用を有する重金属で作製するとともに、透過X線と該ナイフエッジの先端で回折した回折X線とが強め合う範囲の位相シフトが得られる厚さ位置でX線ビームを横切るように設定し、回折X線と透過X線とが重ね合わさったX線を前記X線検出器で測定することを特徴とするX線ナノビーム強度分布の精密測定装置。
- 前記ナイフエッジは、長手方向に厚さを1μmから5μmに連続的又は段階的に変化させた形状であり、それを透過するX線の透過率が80%〜20%の範囲で、位相シフトが0.3λ〜0.7λ(λはX線の波長)になる厚さ位置でX線ビームを横切るように設定し、前記ナイフエッジの先端で回折して該ナイフエッジの背後に回り込んだ回折X線と、ナイフエッジを透過して位相が進んだ透過X線とが重ね合わさったX線をX線検出器で測定する請求項7記載のX線ナノビーム強度分布の精密測定装置。
- 前記X線検出器の前に、X線源に対して幾何学的暗部となる位置に開口を位置させたスリットを配置してなる請求項7又は8記載のX線ナノビーム強度分布の精密測定装置。
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