WO2008062537A1

WO2008062537A1 - Système de support de stockage de feuilles et boîtier à réticule utilisant celui-ci

Info

Publication number: WO2008062537A1
Application number: PCT/JP2006/323484
Authority: WO
Inventors: Tadao Iwaki; Toshiya Umeda
Original assignee: Miraial Co., Ltd.
Priority date: 2006-11-24
Filing date: 2006-11-24
Publication date: 2008-05-29
Also published as: EP2085325A1; US20100025277A1; JP4829978B2; EP2085325A4; JPWO2008062537A1

Description

明細書

薄板保管搬送システムおよびそれを用いたレチクルケース

技術分野

[0001] この発明は、内部の清浄状態を長時間保持できるように改良した薄板保管搬送システムおよびそれを用、たレチクルケースに関するものである。

背景技術

[0002] レクチルを収納する容器は一般に知られている。例えば、特許文献 1のようなレチクル搬送容器がある。このレチクル搬送容器は、レクチルを収納するポッドと、このポッドを塞、で気密にシールする扉およびシールとを備えた搬送容器である。

[0003] このレチクル搬送容器によって、内部を清浄な状態に保って、レクチルを搬送することができる。

特許文献 1 :特開 2006— 146079号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] ところで、前記レクチル搬送容器では、従前のレクチルに対しては何ら問題な！/、程度の十分な清浄度を保つことができ、レクチルを安全に搬送することができた。

[0005] ところが、要求されるレクチル搬送容器内の清浄度は年々高くなり、外部からのパーチクルなどの侵入を高度に隔離して、内部の清浄度を高度に保つ必要が生じてきた。これは、半導体ウェハ等の薄板を収納する収納容器においても同様である。

[0006] 本発明は、係る要請に応じてなされたもので、内部を高い清浄度に長時間保つことができる薄板保管搬送システムおよびそれを用いたレチクルケースを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0007] 本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、本発明の薄板保管搬送システムは、 1又は複数の薄板を収納する容器本体と、当該容器本体を覆って取り付けられる蓋体と、前記容器本体を当該蓋体で覆って閉じたときに内部に形成される収納空間を外部環境力気密に隔離するシールとを備えた薄板収納用圧力容器と、当該薄板収納用圧力容器の前記収納空間内に圧力を供給して当該収納空間内の圧力を外部の圧力よりも高、設定圧力にする圧力供給装置とを備えたことを特徴とする。

[0008] 前記構成により、レチクル等を収納する、前記薄板収納用圧力容器の収納空間を清浄に保ち、圧力供給装置で前記収納空間内の圧力を外部の圧力よりも高い設定圧力にすることで、収納空間内を高ヽ清浄度に長時間保つことができる。

[0009] また、本発明のレチクルケースは、レチクルを収納する受体と、当該受体を覆って取り付けられる蓋体と、前記受体を当該蓋体で覆って閉じたときに内部に形成される収納空間を外部環境力気密に隔離するシールとを備えてなる内側容器と、当該内側容器が収納される外側容器とからなるレチクルケースであって、前記内側容器の前記収納空間内に圧力を供給して当該収納空間内の圧力を前記外側容器内の圧力よりも高!ヽ設定圧力にする圧力供給装置を備えたことを特徴とする。

[0010] 前記構成により、レチクルを収納する、前記内側容器の収納空間を清浄に保ち、圧力供給装置で前記収納空間内の圧力を外部の圧力よりも高!、設定圧力にすることで、収納空間内を高い清浄度に長時間保つことができる。

発明の効果

[0011] 以上詳述したように、本発明の薄板収納容器によれば、次のような効果を奏する。

[0012] 長時間に亘つて外部環境よりも揚圧の一定圧力を保持することによって、外部からのパーチクルなどの侵入を高度に隔離することが可能になり、レチクル等の汚染を防止して、搬送時の安全性が向上する。

[0013] また、容器内部の圧力を高くすることによって、容器材質から発生するガス成分を低いレベルに押えることが可能であるため、収納物の物質汚染を少なくすることが可能となる。

[0014] さらにまた、容器内にケミカルフィルタを配することによって、容器から発生したり収納物によって持ち込まれたりした汚染物質を吸着して低いレベルに押えることが可能であるため、収納物の物質汚染をなくすることが可能となった。さらにまた、レチクルケースを二重にすることによって、より清浄な収納環境を実現することが可能となると同時に、例え外側容器が破損したとしても内側容器内部は清浄な状態に保つことが可能となり、収納物搬送時の信頼性と安全性を向上させることが可能となった。図面の簡単な説明

[0015] [図 1]本発明の実施形態に係る薄板保管搬送システムを示す平面断面図である。

[図 2]本発明の実施形態に係る薄板保管搬送システムを示す側面断面図である。

[図 3]本発明の実施形態に係る薄板保管搬送システムを示す平面図である。

[図 4]本発明の実施形態に係る薄板保管搬送システムを示す側面図である。

[図 5]給圧器及び調圧器の部分を示す要部拡大断面図である。

[図 6]給圧器及び調圧器の部分を示す要部拡大断面図である。

[図 7]給圧器及び調圧器の部分を示す要部拡大断面図である。

[図 8]給圧器及び調圧器の部分を示す要部拡大断面図である。

[図 9]給圧器及び調圧器の部分を示す要部拡大断面図である。

[図 10]給圧器及び調圧器の部分を示す要部拡大断面図である。

[図 11]ベースとカバーとの間のシールを示す要部拡大断面図である。

[図 12]ベースとカバーとの間のシールを示す要部拡大断面図である。

[図 13]シールの変形例を示す要部拡大断面図である。

[図 14]シールの変形例を示す要部拡大断面図である。

[図 15]シールの変形例を示す要部拡大断面図である。

[図 16]シールの変形例を示す要部拡大断面図である。

[図 17]開閉調圧弁での作動を示す模式図である。

[図 18]開閉調圧弁での作動を示す模式図である。

[図 19]レチクルケースを示す斜視図である。

[図 20]内側容器を外側容器から取り出し状態でレチクルケースを示す斜視図である。

[図 21]呼吸弁を示す要部拡大断面図である。

[図 22]ケミカルァブゾーバーを使用しない状態での VOC濃度の変化の一例を示すグラフである。

[図 23]ケミカルァブゾーバーを使用した場合としな、場合とでの違、を示すグラフである。

符号の説明

[0016] 1 薄板保管搬送システムレチクノレ

薄板収納用圧力容器圧力供給装置

ベース

カバー

ストッノ

給圧器

調圧器

シール

載置台部

シーノレ受

支持体

収納空間

通気孔

逆止弁

フィノレタ

逆止弁収納室フィルタ収納室弁座

インターフェイス嵌合咅 ^ 環状基部

リップ部

環状基部

上側リップ部

下側リップ部

凸条

環状基部

上側リップ部 39 凸条

41 圧力供給部

42 開閉調圧弁

43 与圧室

44 ガス導入インターフェイス

45

46 ロータリーノノレブ

49 弁開放ピン

51 レチクノレケース

52 内側容器

53外側容器

55 外受体

56 外蓋体

57 ケミカルァブゾーバー

59 呼吸弁

61 弁収納凹部

62 被嵌合管

65 嵌合管部

66 フィルタ収納部

67 開放管部

68 メンブレンフィルタ

発明を実施するための最良の形態

[0017] 以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。ここでは、まず薄板保管搬送システムを説明し、次いで、薄板保管搬送システムを用いたレチクルケースを説明する。

[0018] [第 1実施形態]

本実施形態に係る薄板保管搬送システム 1は、図 1〜4に示すように、内部を清浄に保った状態でレチクル 2を内部に収納して搬送する薄板収納用圧力容器 3と、この薄板収納用圧力容器 3内の圧力が外部の圧力よりも高い設定圧力になるように薄板収納用圧力容器 3内へ圧力を供給する圧力供給装置 4とから構成されている。

[0019] 薄板収納用圧力容器 3は、レチクル 2や半導体ウェハ (図示せず)等の薄板を 1又は複数、内部に収納して搬送するための容器である。本実施形態においては、前記薄板として 1枚のレチクル 2を収納する容器を例に説明する。この薄板収納用圧力容器 3は、ベース 6と、カノく一 7と、ストッノ 8と、給圧器 9と、調圧器 10と、シーノレ 11と力ら構成されている。なお、このときレチクル 2のパターン形成面側には、表面の汚染を防止するためのペリクルが取り付けられて、ても良、。

[0020] ベース 6は、 1又は複数の薄板を収納するための受体 (容器本体)である。ここでは、ベース 6に 1枚のレチクル 2を収納する。ベース 6は、ほぼ平板状の板材で構成されている。このベース 6の上面に、レチクル 2を載置する載置台部 13と、シール 11を支持するシール受 14とを備えて構成されて、る。

[0021] 載置台部 13は、レチクル 2の寸法よりも少し大きい程度の四角形の台座状に形成されている。この載置台部 13上には支持体 15が設けられている。この支持体 15は、レチクル 2を支持するための部材である。支持体 15は載置台部 13上に複数個設けられて、レチクル 2の周縁部をその下側力も複数箇所で支持する。ここでは、 4個の支持体 15が設けられて、レチクル 2の周縁部を 4箇所で支持している。支持体 15は、その先端部に傾斜面を備え、この傾斜面がレチクル 2の周縁の角部に当接して、最小の面積でレチクル 2を支持する。上記支持体 15としては、ポリエチレンエラストマやポリエステルエラストマ一などの弾性高分子材料で形成された板パネ状の支持部と、この支持部を保持固定する保持部とから構成する。

[0022] シール受 14は、シール 11が嵌合される環状溝である。このシール受 14は、前記べース 6の載置台部 13の周囲に環状に形成されている。シール受 14は、断面四角形溝状に形成され、後述するシール 11の環状基部が嵌合される。

[0023] カバー 7は、前記ベース 6を覆って取り付けられる蓋体である。カバー 7は、裏返した浅い皿状に形成されている。このカバー 7を前記ベース 6に取り付けられることで、これらカバー 7とベース 6との間に収納空間 17が形成される。カバー 7の天板の内側面には、前記載置台部 13の支持体 15と同様の支持体 18が設けられている。この支持体 18は、前記載置台部 13の各支持体 15にそれぞれ対向する位置に 4個設けられ、これら上側の支持体 18と下側の支持体 15とが互いに協働し合ってレチクル 2をその上下から挟み持つようになって!/、る。

[0024] ストッパ 8は、ベース 6とカバー 7を固定するための部材である。ベース 6にカバー 7 が被せられた状態で、ストッパ 8の両端部がベース 6とカバー 7の縁部にそれぞれ引つ掛かって互いに固定する。このストッパ 8は、単体の部材として構成してもよぐベース 6又はカバー 7に回動可能に取り付けても良い。

[0025] 前記ベース 6、カバー 7、ストツバ 8等の、薄板収納用圧力容器 3を構成する部材の材料としては、ポリカーボネート、 PBT、 PEEK, PBN、熱可塑性榭脂、銅、アルミ- ゥム、ステンレス鋼等を用いることができる。特にアルミニウムの場合は、表面を陽極酸化処理して、酸ィ匕膜をつけたものを用いてもよい。また、金属とプラスチックの複合材料で構成する場合もある。例えば、蓋体は金属、容器本体は合成樹脂を用いる場合等である。

[0026] 給圧器 9は、圧力供給装置 4と接続されて設定圧力の気体を収納空間 17に供給するための装置である。この給圧器 9は、図 5〜図 10に示すように、通気孔 20と、逆止弁 21と、フィルタ 22と力も構成されている。

[0027] 通気孔 20は、カバー 7に設けられて前記収納空間 17内と外部とを連通する孔である。この通気孔 20には、逆止弁収納室 23と、フィルタ収納室 24とが設けられている。逆止弁収納室 23は、通気孔 20を逆止弁 21の平面形状と同じ形状に拡大して形成されている。なお、本実施形態では、逆止弁収納室 23は通気孔 20を逆止弁 21の平面形状と同じ形状に拡大して形成したが、逆止弁 21が逆止弁室 23内で自在に中心軸方向に移動可能であり、かつ通気孔 20を機密に閉じたり、通気孔 20からの流路を確保することができたりすればどのような平面形状であっても構わないことは言うまでもない。

[0028] この逆止弁収納室 23により、その内部に収納された逆止弁 21が、通気孔 20の中心軸方向に移動可能に支持される。逆止弁収納室 23は、その外側（図 5中の左側）の面が弁座 26となっている。この弁座 26に逆止弁 21が当接することで、通気孔 20 が封止されるようになつている。通気孔 20の外側端部には、インターフェイス嵌合部 2 7が形成されている。このインターフェイス嵌合部 27は、後述する圧力供給装置 4のガス導入インターフェイス及びガス導出インターフェイスが嵌合する管部である。インターフェイス嵌合部 27とガス導入インターフェイス及びガス導出インターフェイスとしては、公知の連結具を利用することができる。

[0029] 逆止弁 21は、その平面形状が逆止弁収納室 23の内側形状と相似形で僅かに小さい寸法に形成されている。これにより、逆止弁 21は、逆止弁収納室 23に収納された状態で、この逆止弁収納室 23内を自由に移動できるようになつている。これにより、逆止弁 21は、外部から前記収納空間 17内への気体の流れに対して前記逆止弁収納室 23で前記収納空間 17側へ移動してこの気体の流れを許容する。また、その逆の流れである、前記収納空間 17内から外部への気体の流れに対しては、前記逆止弁 21は前記逆止弁収納室 23で外部側へ移動して前記弁座 26に当接して、この気体の流れを阻止する。

[0030] フィルタ 22は、前記フィルタ収納室 24に装着されている。このフィルタ 22は、両側に位置するメンブレンフィルタ 28と、各メンブレンフィルタ 28の間に充填されるケミカルフィルタ 29とから構成されている。メンブレンフィルタ 28は、パーチクルなどの侵入を阻止する。ケミカルフィルタ 29は、揮発性有機化合物を除去する。

[0031] 以上の構成の給圧器 9は 1個又は 2個設けられる。具体的には、圧力供給装置 4が薄板収納用圧力容器 3に常時接続される場合は 2個の通気孔 20等が、圧力供給装置 4を薄板収納用圧力容器 3に取り付けずに、薄板収納用圧力容器 3内に圧力を供給するときだけ接続される場合は 1個の通気孔 20が設けられる。本実施形態では 2 個の通気孔 20等が設けられている。また、通気孔 20は、ベース 6側又はカバー 7側のいずれか一方又は両方に設けることができる。要求される機能に応じた位置及び個数だけ設ける。

[0032] 調圧器 10は、必要に応じて前記収納空間 17内の気体を外部に流出させて圧力を下げるための装置である。この調圧器 10は前記給圧器 9と同じ構成になっている。即ち、調圧器 10は、通気孔 20と、逆止弁 21と、フィルタ 22と力も構成されている。

[0033] シール 11は、ベース 6をカバー 7で覆って閉じたときに内部に形成される収納空間 17を外部環境力気密に隔離するための部材である。このシール 11としては種々の形状のものを使用することができる。このシール 11は、例えば図 11及び図 12に示すように、環状のシール受 14に嵌合する環状基部 31と、カバー 7の側壁の内面に密着するリップ部 32とから構成されている。環状基部 31は断面四角形状に形成され、シール受 14に密着するようになっている。リップ部 32は、この環状基部 31からカバー 7 の側壁の内面に延出して形成され、その先端側がカバー 7の側壁の内面に密着して前記収納空間 17を密封するようになっている。このリップ部 32は、自己の持つ弾力 f と、前記収納空間 17内の圧力 Pとで、カバー 7の側壁の内面に強く密着されて、前記収納空間 17内を密封する。

[0034] また、シール 11としては図 13から図 15に示す構成でもよい。このシール 11の場合は、環状のシール受 14に嵌合する環状基部 33と、カバー 7の側壁の内面に密着する上側リップ部 34と、ベース 6の上側面に密着する下側リップ部 35とから構成されている。環状基部 33は断面四角形状に形成され、シール受 14に接する 3面に密着性をよくする凸条 36が形成されている。これにより、環状基部をシール受 14に嵌合すると、 3つの凸条 36がシール受 14にそれぞれ接触して密に嵌合するようになつている。上側リップ部 34は、環状基部 33からカバー 7の側壁の内面に延出して形成され、その先端側がカバー 7の側壁の内面に密着して前記収納空間 17を密封するようになつている。下側リップ部 35は、環状基部 33からベース 6の上側面に延出して形成され、その先端側が前記収納空間 17内の圧力 Pによって押されてベース 6の上側面に密着して前記収納空間 17を密封するようになって、る。

[0035] また、シール 11として図 16に示す構成でもよい。このシール 11の場合は、環状のシール受 14に嵌合する環状基部 37と、カバー 7の側壁の内面に密着する上側リップ部 38とから構成されている。環状基部は断面四角形状に形成され、シール受 14の対向する壁面に接する 2面に密着性をよくする凸条 39が形成されている。これにより、環状基部 37をシール受 14に嵌合すると、 2つの凸条 39がシール受 14にそれぞれ接触して密に嵌合するようになつている。上側リップ部 38は、環状基部 37からカバー 7の側壁の内面に延出して形成され、その先端側がカバー 7の側壁の内面に密着して前記収納空間 17を密封するようになって、る。

[0036] 図 1の圧力供給装置 4は、上記構成の薄板収納用圧力容器 3の前記収納空間 17 内に圧力を供給して当該収納空間 17内の圧力を外部の圧力よりも高い設定圧力にするための装置である。この圧力供給装置 4によって前記薄板収納用圧力容器 3内が設定圧力に保たれて、外部力気体の流入を防止している。この設定圧力としては、 1. 1〜2気圧、望ましくは 1. 1〜1. 5気圧である。具体的には、外気圧よりも僅かに高い圧力に設定する。前記収納空間 17内の圧力が外気圧よりも僅かでも高ければ、収納空間 17内に外気が進入することはなぐパーチクルなどの侵入も防止できる。搬送経路が陸上だけの場合は、ほぼ全行程で 1気圧であるため、 1. 1気圧程度に設定する。海底トンネルを使用する場合は、その深さに応じて 1. 1〜1. 5気圧程度、具体的には海底トンネル中で最も気圧が高くなる値よりも僅かに高い気圧に設定する。飛行機を利用する場合、飛行中は気圧が低下するため、最も高い気圧は陸上の 1気圧となるため、 1. 1気圧に設定する。本来は外気圧よりも十分に高い圧力に設定することが望ましい。このため、 2気圧以上に設定することも考えられるが、薄板収納用圧力容器 3の強度との関係で、搬送中の外気圧で、最も高くなる気圧よりも僅かに高い圧力に設定する。薄板収納用圧力容器 3の強度が許す場合は、十分に高い気圧にしても良い。また、 1気圧により近い内部圧力で保持する方が、より長時間一定気圧を維持することが容易になる。内部気圧が 1〜1. 2気圧程度にすることによって、短時間であれば圧力ボンべを省略することが可能となる。

[0037] この圧力供給装置 4は図 17及び図 18に示すように、圧力供給部 41と、開閉調圧弁 42と、与圧室 43と、ガス導入インターフェイス 44(図 5参照)と、ガス導出インターフイス (図示せず)とから構成されている。圧力供給装置 4は外見上は図 1、 2に示すように、長尺の円筒状に形成され、カバー 7の内側に固定されている。ベース 6に固定される場合ちある。

[0038] 圧力供給部 41は、ある程度高い圧力（2気圧以上、通常は 5〜15気圧)を供給するための装置である。この圧力供給部 41は、本実施形態では圧力ボンベによって構成されている。これにより、圧力供給装置 4を薄板収納用圧力容器 3に組み込むことができ、圧力供給装置 4を薄板収納用圧力容器 3と共に搬送に供することができ、薄板収納用圧力容器 3をその搬送中、収納空間 17内を常時設定圧力に保つことができる。 [0039] 開閉調圧弁 42は、圧力供給部 41と薄板収納用圧力容器 3とを接続する接続管 45 に設けられて、この接続管 45を開閉すると共に圧力を調整するための弁である。この開閉調圧弁 42は、ロータリーバルブ 46で構成されている。このロータリーバルブ 46 を横にすると（図 17の状態にすると）、通路が塞がってしまい、閉状態になる。また、口一タリーバルブを縦にすると（図 18の状態にすると）、開状態になって、このロータリ一バルブの前後にそれぞれオリフィスができて、 2段階で減圧する。これにより、前記 5〜15気圧の気体を前記設定気圧（1. 1〜2気圧程度）に減圧する。

[0040] 与圧室 43は、圧力変動等による衝撃を緩衝するためのアキュムレータである。開閉調圧弁 42の切り換え等によって圧力変動や流速の乱れ等が生じた場合に、与圧室 43でその圧力変動や流速の乱れが吸収されて安定した状態で前記薄板収納用圧力容器 3の収納空間 17に圧力が供給される。この与圧室 43は、圧力変動や流速の乱れが大きい場合に設ける。図 5においては、与圧室 43は設けられていない。

[0041] ガス導入インターフェイス 44は、前記通気孔 20のインターフェイス嵌合部 27に嵌合するための連結具である。ガス導入インターフェイス 44は、与圧室 43の下流側端部に設けられる。図 5に示すように、開閉調圧弁 42の下流側端部にガス導入インタ一フェイス 44を設けることもできる。

[0042] 設けられる。このガス導入インターフェイス 44は、前記インターフェイス嵌合部 27と共に公知の連結具を利用することができる。

[0043] ガス導出インターフェイスは、前記調圧器 10側の通気孔 20のインターフェイス嵌合部 27に嵌合するための連結具である。このガス導入インターフェイス 44は、ガス導入インターフェイス 44と同じ構成を有し、前記インターフェイス嵌合部 27と共に公知の連結具を利用することができる。さらに、ガス導出インターフェイスには、その内部に弁開放ピン 49 (図 9、 10参照）が設けられている。この弁開放ピン 49は、ガス導出ィンターフェイス力 Sインターフェイス嵌合部 27に嵌合することで、通気孔 20内の逆止弁 21を押し開いて通気孔 20を開放し、ガス導出インターフェイス力インターフェイス嵌合部 27から抜き取られることで、通気孔 20内の逆止弁 21を元に戻して通気孔 20を閉じるようになつている。この弁開放ピン 49は、ガス導入インターフェイス 44に設けられる場合もある。 [0044] [使用方法]

以上の構成の薄板保管搬送システム 1は、圧力供給装置 4を薄板収納用圧力容器 3に取り付けて搬送する場合と、圧力供給装置 4を薄板収納用圧力容器 3に取り付けな、で搬送する場合とがある。

[0045] 圧力供給装置 4を薄板収納用圧力容器 3に取り付けて搬送する場合は、図 1に示すように、圧力供給装置 4を薄板収納用圧力容器 3のカバー 7の内側に取り付けた状態で、給圧器 9をから収納空間 17内へ設定圧力の気体を供給して、収納空間 17内を常時設定圧力になるように保つ。

[0046] 圧力供給部 41内で 5〜15気圧の圧力が開閉調圧弁 42で設定圧力（例えば 1. 1 気圧）に減圧されて、与圧室 43及びガス導入インターフェイス 44とインターフェイス嵌合部 27で連結された給圧器 9を介して、設定圧力が収納空間 17内に及び、この収納空間 17内を設定圧力に保つ。

[0047] これにより、薄板収納用圧力容器 3内のレチクル 2を常に清浄な状態に保って目的地まで搬送する。搬送途中で、気圧の変動があっても、前記設定圧力を、気圧の変動の幅を考慮した値に設定しているため、薄板収納用圧力容器 3内のレチクル 2を常に清浄な状態に保つ。

[0048] このとき、給圧器 9及び調圧器 10は次のように動作する。

[0049] 薄板収納用圧力容器 3の内部の圧力が外部の圧力よりも高い場合は、図 6に示すように、給圧器 9の 2つの逆止弁 21と、調圧器 10の 1つの逆止弁 21が全て弁座 26に押し付けられて閉じ、収納空間 17内を密封する。

[0050] 収納空間 17内が圧力供給装置 4の圧力よりも低くなると、図 7に示すように、圧力供給装置 4が接続された給圧器 9の逆止弁 21は開き、圧力供給装置 4の設定圧力が収納空間 17に及んで収納空間 17の内圧を設定圧力まで高める。このとき、給圧器 9 のもう一方の逆止弁 21と調圧器 10の逆止弁 21は開くことはなぐ収納空間 17内を密封している。

[0051] これにより、収納空間 17内を常に外部の圧力よりも高く維持することができ、薄板収納用圧力容器 3内のレチクル 2を常に清浄な状態に保って目的地まで搬送する。

[0052] 一方、圧力供給装置 4を薄板収納用圧力容器 3に取り付けて搬送しない場合は、予め収納空間 17内を設定圧力して、その圧力を保った状態で薄板収納用圧力容器

3を目的まで搬送する。

[0053] また、新たなレチクル 2を収納して搬送する場合は、次のように行う。

[0054] ベース 6の支持体 15にレチクル 2を設置してカバー 7を閉じ、ベース 6とカバー 7をストッパ 8で結合する。

[0055] 給圧器 9及び調圧器 10には予め逆止弁 21とフィルタ 22とを取り付けておく。

[0056] 給圧器 9のインターフェイス嵌合部 27に外部のガス供給装置のガス導入インターフェイス 44を接続して、弁開放ピン 49を通気孔 20内へ挿入して逆止弁 21を押し開き、圧力供給装置 4と収納空間 17とを連通させる。

[0057] 同時に、調圧器 10のインターフェイス嵌合部 27にガス導入インターフェイス 44を接続して、弁開放ピン 49を通気孔 20内へ挿入して逆止弁 21を押し開き、収納空間 17 を外部に開放する。

[0058] この状態でガス (乾燥空気、乾燥窒素、乾燥アルゴンなど)を導入しながら、調圧器 10から収納空間 17内のガスを排気して、収納空間 17内のガスを置換する。

[0059] 所定の時間置換したら、ガス導出インターフェイスの弁開放ピン 49を抜いて逆止弁 21を作用させる。これにより、薄板収納用圧力容器 3の収納空間 17内の圧力が設定圧力になるまで上昇する。収納空間 17内の圧力が設定圧力になったら、ガス導入ィンターフェイス 44の弁開放ピン 49を抜、て、ガス導入インターフェイス 44を取り外す

[0060] 次いで、圧力供給装置 4の開閉調圧弁 42を開けて、収納空間 17内を設定圧力に維持する。この状態で、薄板収納用圧力容器 3の内部を清浄に保ったまま薄板収納用圧力容器 3を目的地に搬送する。

[0061] 圧力供給装置 4を薄板収納用圧力容器 3に取り付けない場合は、前記ガス導入ィンターフェイス 44から薄板収納用圧力容器 3内にガスを供給することで薄板収納用圧力容器 3内を設定圧力にした状態でガス導入インターフェイス 44を取り外す。これにより、薄板収納用圧力容器 3内は設定圧力になり、徐々に圧力が下がっていく。し力しこの場合、ベース 6とカバー 7との隙間は、設定圧力で押圧されたシール 11のリップ部 32で密封されるため、輸送に必要な時間（数日程度）を遙かに超える数百時間というレベルで、薄板収納用圧力容器 3内の圧力を外部の圧力よりも高く維持することができる。

[0062] [効果]

以上のように、内部にレチクル 2を収納した薄板収納用圧力容器 3をその搬送中、薄板収納用圧力容器 3内の圧力を外部の圧力よりも、常に高い状態に維持することができるため、レチクル 2の収納された収納空間 17内を高い清浄度に長時間保つことができ、レチクル 2の搬送時の安全性を向上させることができる。

[0063] また、圧力供給装置 4を薄板収納用圧力容器 3に連結した状態で、搬送や保管すると、さらに長時間収納空間 17内を設定圧力に支持することができ、レチクル 2の搬送、保管時の安全性を向上させることができる。

[0064] [レチクルケース]

次に、レチクルケースについて説明する。

[0065] このレチクルケースは、前記薄板保管搬送システム 1をそのまま使用して構成されるケースである。レチクルケース 51は、図 19及び図 20に示すように、内側容器 52と、外側容器 53とから構成されている。

[0066] 内側容器 52は、上記薄板保管搬送システム 1の薄板収納用圧力容器 3をそのまま用いる。このため、内側容器 52は、レチクル 2を収納する受体 (ベース 6)と、当該受体を覆って取り付けられる蓋体 (カバー 7)と、前記受体を当該蓋体で覆って閉じたときに内部に形成される収納空間 17を外部環境力も気密に隔離するシール 11とを備えて構成されている。内側容器 52の外側には圧力供給装置 4が設けられている。上記薄板保管搬送システム 1の薄板収納用圧力容器 3では、圧力供給装置 4を内部に収納したが、ここでは、圧力供給装置 4を内側容器 52の外側に設けた。この圧力供給装置 4によって、内側容器 52の収納空間 17内に圧力が供給されて、収納空間 17 内の圧力を前記外側容器 53内の圧力よりも高い設定圧力に保たれる。なお、レチクル 2としては、その表面に何も設けない場合と、ペリクルを有する場合がある。

[0067] 外側容器 53は、前記内側容器 52を内部に収納する容器である。外側容器 53は、外受体 55と外蓋体 56とから構成さてヽる。

[0068] 外受体 55は、浅い皿状に形成されている。この外受体 55の周囲の壁板の少なくとも上部は、前記薄板収納用圧力容器 3のシール受 14が形成できる広さに拡大して形成され、前記薄板収納用圧力容器 3のシール受 14と同様のシール受 (図示せず)が設けられている。外受体 55の壁板の内側面には、ケミカルァブゾーバー 57が設けられている。このケミカルァブゾーバー 57は、内側容器 52や、外側容器 53から発生することがある揮発性有機化合物 (揮発性を有し、大気中で気体状となる有機化合物の総称 (VOC)であり、トルエン、キシレン、酢酸ェチルなど多種多様な物質）を吸収して除去する吸収剤である。このケミカルァブゾーバー 57による VOC濃度の変化の一例を図 22及び図 23のグラフに示す。図 22は、ケミカルァブゾーバーを使用せずに同一のレチクルケースを 3回実験した例である。 200時間後の VOC濃度の変化を見ると、初期値の 10倍近い値になっている。これに対して図 23はケミカルァブゾーバー 57を使用した実験例である。この実験結果力分力るように、ケミカルァブゾーバー 5 7を使用しない場合には 200時間後に VOC濃度が初期値の 10倍近い値になっているのに対して、ケミカルァブゾーバー 57を使用した場合は、初期値の 2Z3程度に減少している。このように、ケミカルァブゾーバー 57は VOC濃度の低減に効果が高いため、レチクルケースに使用する。

[0069] ケミカルァブゾーバー 57は、吸着面積を大きくして吸着効率を高くするために長方形の薄板状に形成されている。外受体 55の一辺の壁板の内側面のほぼ全面を覆う寸法に設定されている。なお、このケミカルァブゾーバー 57は、外受体 55の一辺の壁板の内側面のほぼ全面に設ける場合以外に、一部に設けてもよい。また、ケミカルァブゾーバー 57は、内側容器 52にだけ設けても良い。外側容器 53と内側容器 52の収納空間 17内との両方に設けて、外側容器 53内の空間と内側容器 52内の空間の両側から揮発性有機化合物を吸着するようにしても良ヽ。

[0070] 外受体 55の底面には、内側容器 52を支持固定するための内側容器固定部 (図示せず)が設けられている。この内側容器固定部としては、内側容器 52の外形に合わせた凹みを設けた弾性部材 (弾性及び帯電性を有する合成樹脂等)を外受体 55に装着する等によって構成されている。フック等の固定手段を設けて、固定してもよい。公知の固定手段を用いることができる。この固定手段は、導電性を有する材料または非帯電性の材料で構成される。 [0071] 外蓋体 56は、前記外受体 55と同様の形状を有している。具体的には、裏返した浅い皿状に形成され、外受体 55の上側に取り付けられる。外蓋体 56の周囲の壁板の下部は、前記シール受 14の外周に嵌り合って、その内側面にシールが密着される。外蓋体 56の壁板には呼吸弁 59が設けられている。この呼吸弁 59は、図 21に示すように、弁収納凹部 61の被嵌合管 62に嵌合して取り付けられる。呼吸弁 59は具体的には、嵌合管部 65と、フィルタ収納部 66と、開放管部 67とから構成されている。嵌合管部 65は、前記弁収納凹部 61の被嵌合管 62に嵌合する部分である。この嵌合管部 65が前記被嵌合管 62に嵌合することで、外側容器 53の内側と外側とが後述するメンブレンフィルタ 68を介して連通される。フィルタ収納部 66は、メンブレンフィルタ 6 8を収納して支持する部分である。フィルタ収納部 66は、薄い円盤状に形成され、その内部に薄い円盤状のメンブレンフィルタ 68が受納されている。開放管部 67は、前記弁収納凹部 61の被嵌合管 62から、メンブレンフィルタ 68を介して外部まで連通する連通路を形成する部分である。以上のように構成された呼吸弁 59によって、内圧が高くなつたら内部の気体の通過を許容し、外圧が高くなつたら外部の気体の通過を許容して、外側容器 53の内圧と外圧との差を解消している。特に、内側容器 52の内圧がこの内側容器 52の外側の圧力（外側容器 53の内圧)よりも低くなつてパーチクルなどが内側容器 52の内部に侵入するのを防止するため、外側容器 53の内圧の異常上昇を抑える必要がある。このために、呼吸弁 59によって外側容器 53の内圧を外圧と同じになるように調整して外側容器 53の内圧の異常上昇を抑える。呼吸弁 59 は、この調整機能を図るために必要な場合は、 2個以上設けられる場合もある。

[0072] 外側容器 53を構成する上記外受体 55及び外蓋体 56は、帯電防止高分子材料で形成され、静電気によるパーチクルなどの吸着を防止している。さらに、これら内側容器 52と外側容器 53とは上記内側容器固定部によって導通して、静電気によるパーチクルなどの吸着を防止して、る。

[0073] 外受体 55と外蓋体 56とは固定手段 (図示せず)で互いに固定される。この固定手段としては、前記薄板保管搬送システム 1のストツバ 8と同様の部材を用いることができる。また、他の構造の固定手段を用いてもよい。

[0074] [動作] 以上のように構成されたレチクルケースは、次のようにして使用される。

[0075] 内側容器 52については、上記薄板保管搬送システム 1の使用態様と同様である。

内部にレチクル 2を収納して収納空間 17内を設定圧力に調整する等の処置を施す。

[0076] 次いで、外側容器 53の外蓋体 56を外受体 55から取り外して外側容器 53の内部を開放する。

[0077] 次いで、内側容器 52を外側容器 53の外受体 55の内側容器固定部に装着して固定し、外蓋体 56を取り付けて外受体 55と外蓋体 56とを互いに固定する。

[0078] この作業は、清浄な雰囲気中で行われて、外側容器 53内が清浄状態に保たれる。

[0079] または、前記薄板保管搬送システム 1の給圧器 9と調圧器 10を外側容器 53にも設けて、外部の圧力供給装置 (図示せず)力ゝらの清浄ガスで外側容器 53内を入れ替える。

[0080] この状態で目的地まで搬送し、外側容器 53の外蓋体 56を外受体 55から取り外して、内側容器 52を外側容器 53から取り出す。

[0081] そして、内側容器 52を上記薄板保管搬送システム 1の場合と同様に処理する。

[0082] [効果]

以上のように、レチクル 2の搬送に際して、内側容器 52で清浄な状態を確保すると共に、さらに外側容器 53で内側容器 52の雰囲気をも清浄な状態に確保することができるため、レチクル 2の搬送時の安全性を向上させることができる。

産業上の利用可能性

[0083] 前記実施形態では、圧力供給装置 4として、圧力ボンべを備えた装置を例に説明したが、圧力供給装置 4が薄板収納用圧力容器 3と共に搬送されない場合は、圧力供給装置 4を圧力ポンプを備えた装置等の大型の装置として構成しても良い。

[0084] また、圧力供給装置 4が薄板収納用圧力容器 3と共に搬送されな、場合は、この圧力供給装置を、薄板収納用圧力容器用ラックに設けてもよい。薄板収納用圧力容器用ラックは、薄板収納用圧力容器 3を複数枚並べて収納して保管する棚部材である。この場合は、各薄板収納用圧力容器 3が収納される薄板収納用圧力容器用ラックの位置であって、通気孔 20のインターフェイス嵌合部 27に対向する位置に、ガス導入インターフェイス及びガス導出インターフェイスが位置するように、圧力供給装置を配設する。これにより、薄板収納用圧力容器を薄板収納用圧力容器用ラックに収納することで、自動的に薄板収納用圧力容器内の圧力が設定圧力に調整されることができる。

[0085] 前記実施形態では、圧力供給装置 4を薄板収納用圧力容器 3に 1個だけ設けたが、 2個以上設けてもよい。薄板収納用圧力容器 3の大きさ、圧力供給装置 4の能力等を考慮して圧力供給装置 4の個数を設定する。

[0086] 前記実施形態では、レチクル 2を 1枚だけ収納できる薄板保管搬送システム 1及びレチクルケース 51を例に説明したが、多数の半導体ウェハを収納する薄板収納容器の場合でも本発明を適用することができる。この場合も、前記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。

Claims

請求の範囲

[1] 1又は複数の薄板を収納する容器本体と、当該容器本体を覆って取り付けられる蓋体と、前記容器本体を当該蓋体で覆って閉じたときに内部に形成される収納空間を外部環境力気密に隔離するシールとを備えた薄板収納用圧力容器と、

当該薄板収納用圧力容器の前記収納空間内に圧力を供給して当該収納空間内の圧力を外部の圧力よりも高、設定圧力にする圧力供給装置と

を備えたことを特徴とする薄板保管搬送システム。

[2] 請求項 1に記載の薄板保管搬送システムにお、て、

前記圧力供給装置が、圧力ボンべを備えて構成され、前記薄板収納用圧力容器に組み込まれたことを特徴とする薄板保管搬送システム。

[3] 請求項 1に記載の薄板保管搬送システムにお、て、

前記薄板収納用圧力容器を保管する圧力容器用ラックと、

当該圧力容器用ラックに前記薄板収納用圧力容器を装着することで当該薄板収納用圧力容器と前記圧力容器用ラック側に設けられた前記圧力供給装置とを互いに連結される連結器と

を備えたことを特徴とする薄板保管搬送システム。

[4] 請求項 1に記載の薄板保管搬送システムにお、て、

前記容器本体または蓋体の一方又は両方に設けられて前記収納空間内と外部とを連通する通気孔と、

当該通気孔に設けられ、外部から前記収納空間内への気体の流れを許容すると同時にその逆の流れを阻止する逆止弁とをさらに備えたことを特徴とする薄板保管搬送システム。

[5] 請求項 4に記載の薄板保管搬送システムにお、て、

前記通気孔にケミカルフィルタを備えたことを特徴とする薄板保管搬送システム。

[6] 請求項 4に記載の薄板保管搬送システムにお、て、

前記逆止弁が、外部からの操作による開放できる機構を備えたことを特徴とする薄板保管搬送システム。

[7] 請求項 6に記載の薄板保管搬送システムにお、て、前記通気孔が 2つ以上設けられると共に、当該複数の通気孔のうち少なくとも 2つは、前記圧力供給装置に設けられたガス導入インターフェイス及びガス導出インターフェイスに接続可能に設けられ、

前記圧力供給装置が前記通気孔の逆止弁を開閉制御する開閉機構を備えたことを特徴とする薄板保管搬送システム。

[8] 請求項 1に記載の薄板保管搬送システムにお、て、

上記シールは、少なくとも 1つのリップを有すると共に、前記容器本体または蓋体に形成されているシール受に面する部分に、少なくとも 1つの凸条を有することを特徴とする薄板保管搬送システム。

[9] 請求項 1に記載の薄板保管搬送システムにお、て、

圧力供給装置による設定圧力が 1. 1気圧以上で 2気圧未満であることを特徴とする薄板保管搬送システム。

[10] 請求項 1に記載の薄板収納用圧力容器にお!、て、

前記収納空間内に、ケミカルァブゾーバーを設けたことを特徴とする薄板収納用圧力容器。

[11] レチクルを収納する受体と、当該受体を覆って取り付けられる蓋体と、前記受体を当該蓋体で覆って閉じたときに内部に形成される収納空間を外部環境力気密に隔離するシールとを備えてなる内側容器と、

当該内側容器が収納される外側容器とからなるレチクルケースであって、前記内側容器の前記収納空間内に圧力を供給して当該収納空間内の圧力を前記外側容器内の圧力よりも高！ヽ設定圧力にする圧力供給装置を備えたことを特徴とするレチクルケース。

[12] 請求項 11に記載のレチクルケースにぉヽて、

前記内側容器の前記受体および前記蓋体の各々の内面に、前記収納空間内に収納される前記レチクルを挟持するための複数の支持体を備えたことを特徴とするレチクノレケース。

[13] 請求項 11に記載のレチクルケースにぉヽて、

前記外側容器が、外受体と外蓋体とからなり、当該外受体を前記外蓋体で閉じたときに、この外側容器内を環境力も気密に隔離するシールと、

前記内側容器を支持固定するための内側容器固定部と、

内部にメンブレンフィルタを備えて当該メンブレンフィルタを介して外部環境と連通する少なくとも 1つの呼吸弁と、

前記外受体を前記外蓋体で閉じたときにこれらを結合する外結合部とを備えたことを特徴とするレチクルケース。

[14] 請求項 11に記載のレチクルケースにお!ヽて、

前記圧力供給装置が、前記外側容器内に取り付けられたことを特徴とするレチクルケース。

[15] 請求項 11に記載のレチクルケースにぉヽて、

前記内側容器と外側容器とが帯電防止高分子材料で形成され、これら内側容器と外側容器との間が導通されていることを特徴とするレチクルケース。

[16] 請求項 11に記載のレチクルケースにお!ヽて、

前記圧力供給装置が、圧力ボンべを備えて構成され、前記薄板収納用圧力容器に組み込まれたことを特徴とするレチクルケース。

[17] 請求項 11に記載のレチクルケースにぉヽて、

前記薄板収納用圧力容器を保管する圧力容器用ラックと、

を備えたことを特徴とするレチクノレケース。

[18] 請求項 11に記載のレチクルケースにお!ヽて、

当該通気孔に設けられ、外部から前記収納空間内への気体の流れを許容すると同時にその逆の流れを阻止する逆止弁とをさらに備えたことを特徴とするレチクルケ一ス。

[19] 請求項 18に記載のレチクルケースにおいて、前記通気孔にケミカルフィルタを備えたことを特徴とするレチクルケース。

[20] 請求項 18に記載のレチクルケースにおいて、

前記逆止弁が、外部からの操作による開放できる機構を備えたことを特徴とするレチタノレケース。

[21] 請求項 20に記載のレチクルケースにおいて、

前記通気孔が 2つ以上設けられると共に、当該複数の通気孔のうち少なくとも 2つは、前記圧力供給装置に設けられたガス導入インターフェイス及びガス導出インターフェイスに接続可能に設けられ、

前記圧力供給装置が前記通気孔の逆止弁を開閉制御する開閉機構を備えたことを特徴とするレチクルケース。

[22] 請求項 11に記載のレチクルケースにぉヽて、

上記シールは、少なくとも 1つのリップを有すると共に、前記容器本体または蓋体に形成されているシール受に面する部分に、少なくとも 1つの凸条を有することを特徴とするレチクルケース。

[23] 請求項 11に記載のレチクルケースにぉヽて、

圧力供給装置による設定圧力が 1. 1気圧以上で 2気圧未満であることを特徴とするレチクルケース。

[24] 請求項 11に記載のレチクルケースにお!ヽて、

前記収納空間内に、ケミカルァブゾーバーを設けたことを特徴とするレチクルケ一ス。