WO2007058312A1 - 光デバイス - Google Patents

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WO2007058312A1
WO2007058312A1 PCT/JP2006/322993 JP2006322993W WO2007058312A1 WO 2007058312 A1 WO2007058312 A1 WO 2007058312A1 JP 2006322993 W JP2006322993 W JP 2006322993W WO 2007058312 A1 WO2007058312 A1 WO 2007058312A1
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WO
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optical
substrate
optical fiber
groove
optical device
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PCT/JP2006/322993
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Toshihiro Kuroda
Rei Yamamoto
Shigeyuki Yagi
Original Assignee
Hitachi Chemical Company, Ltd.
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Publication date
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    • G02B6/29368—Light guide comprising the filter, e.g. filter deposited on a fibre end

Definitions

  • the present invention relates to an optical device having a substrate and optical components such as an optical waveguide, an optical filter, and a lens mounted thereon.
  • optical devices such as optical waveguide components are generally cut by a dicing method or the like by laminating a plurality of optical device elements such as optical waveguides by laminating an optical waveguide layer on a substrate. And manufactured by being cut out into individual optical devices (for example, Patent Documents)
  • a disk-shaped blade is used for cutting the Do wafer.
  • FIG. 9 is a perspective view showing an example of an optical device that can be produced.
  • the optical device 200 includes a substrate 202 and an optical waveguide layer 204 stacked on the substrate 202.
  • the optical waveguide layer 204 has first side surfaces 206a and 206b to which the optical fiber F1 or the optical fiber array is joined, and a second side surface 208 to which the optical fiber F1 or the optical fiber one array is not joined. I will do it.
  • the substrate 202 has a side surface 216 on the same side as the second side surface 208 of the optical waveguide layer 204, and the second side surface 208 and the side surface 216 of the substrate 202 are located in the same plane. Yes.
  • the optical waveguide layer 204 is made of a polymer.
  • an optical filter F2 is provided at the center of the light propagation direction 210a of the optical waveguide layer 204.
  • the optical filter F2 is inserted into the optical filter installation groove 212 formed in the optical waveguide layer 204 and the substrate 202, and is filled in the gap 211 between the optical filter F2 and the optical filter installation groove 212. It is fixed with adhesive A2.
  • the optical filter adhesive A2 is a resin selected so that its refractive index is close to the refractive index of the core 204a of the optical waveguide layer 204, and the optical fiber adhesive A1 is its refractive index.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-281479
  • the optical fiber adhesive A1 may flow into the optical filter installation groove 212.
  • the width of the optical coupling layer 214b is 50 to 300 / ⁇ ⁇ , and the side surface 216 of the substrate 202 and the second side surface 108 of the optical waveguide layer 204 are finely divided by a dicing blade.
  • the gap 211 between the optical filter installation groove 212 and the optical filter F2 is 15 to 600 / ⁇ ⁇ .
  • the optical fiber adhesive A1 When the optical fiber adhesive A1 is dropped into the optical fiber bonding groove 214b, the optical fiber adhesive A1 spreads in the optical fiber single bonding groove 214b in the transverse direction 210b, and the side surfaces 208 and 216 have fine concave portions. Then, it reaches the optical filter installation groove 212 and enters it. In this case, since the refractive index of the optical fiber adhesive A1 is different from the refractive index of the optical filter adhesive A2, the reflected return light of the optical device 200 may increase. Similarly, when the optical filter adhesive A2 is dropped into the optical filter installation groove 212, the optical filter adhesive A2 may enter the optical fiber one-coupling groove 213b.
  • a first object of the present invention is to provide an optical device that can prevent clogging of a dicing blade when cutting from a wafer.
  • a second object of the present invention is to provide an optical device that can prevent unnecessary spread of the resin used in the optical device.
  • the present invention is an optical device having a substrate and an optical waveguide layer laminated on the substrate, wherein the optical waveguide layer is a first side surface to which an optical fiber or an optical fiber array is bonded.
  • a second side surface to which the optical fiber or the optical fiber array is not bonded, and the substrate has a side surface on the same side as the second side surface of the optical waveguide layer, At least a part of the side surface of 2 is located in a plane different from the side surface of the substrate, and an exposed portion of the substrate is formed between the second side surface of the optical waveguide layer and the side surface of the substrate.
  • the optical device configured as described above, at least a part of the second side surface of the optical waveguide layer is located in a plane different from the side surface of the substrate formed by cutting with the dicing blade, and the substrate is exposed. Since the portion is formed, the material constituting the optical waveguide layer does not come into contact with the dicing blade when it is cut. Therefore, it is possible to prevent the blade from being clogged with chips of such materials, for example, polymer.
  • the optical fiber adhesive (resin before curing) was dropped into the optical fiber bonding groove, the optical fiber adhesive spread across the optical fiber bonding groove in the transverse direction. Thereafter, the light flows into the exposed portion between the second side surface and the side surface of the substrate without passing through the second side surface of the optical waveguide layer and the side surface of the substrate. The exposed portion does not have the effect of moving the untreated resin away. Therefore, the optical fiber adhesive is prevented from entering the optical filter installation groove, and unnecessary spread of the grease is prevented. As a result, the second objective is also achieved. The same applies when the optical filter adhesive (resin before curing) is dripped into the groove for installing the optical filter.
  • the second side surface of the optical waveguide layer is substantially flat.
  • the second side surface of the optical waveguide layer has an uneven portion.
  • the second side surface of the optical waveguide layer can prevent the adhesive from moving, and the uneven portion functions as an adhesive dump.
  • the exposed portion of the substrate is preferably interrupted by the uneven portion. It is.
  • the substrate has a portion where the optical waveguide layer is not laminated on the first side surface, and has a concave portion for mounting an optical fiber in this portion.
  • the optical waveguide layer has a groove for installing an optical filter.
  • the optical device of the present invention preferably further includes an optical filter.
  • the optical waveguide layer is a polymer layer.
  • an optical device includes a substrate, an optical component mounted on the substrate, and a resin filling portion provided on the substrate and filled with a resin. Further, the optical device having the above-described features is characterized in that it further has a concave portion that communicates with the resin-filling part and stores the resin.
  • the resin when the resin is dripped onto the resin filling part provided on the substrate, the resin spreads to the resin filling part and then flows into the recess for storing the resin.
  • a recess does not have the function of moving the fat away, so that unnecessary spread of the fat can be prevented.
  • the optical component includes a lens or an optical waveguide optically coupled to the optical fiber, and an optical filter. And a second groove formed across the substrate for installing the optical filter, and the recess includes the first groove and the second groove. At least one end of the groove.
  • the resin (adhesive) before curing is dropped on the first groove
  • the resin spreads in the transverse direction in the first groove, and then the substrate It flows into the recess provided at the end of the first groove without passing through the side surface, or flows into the recess provided at the end of the second groove along the side surface of the substrate. Since the recess does not have the function of moving the non-cured resin away, the resin is prevented from entering the second groove, and as a result, unnecessary spread of the resin is prevented. .
  • the uncured resin (adhesive) is dropped into the second groove.
  • the optical component is optically coupled to the optical fiber.
  • the resin-filled portion is a first groove that crosses the substrate at the coupling portion with the optical fiber, and the concave portion is provided adjacent to at least a part of the first groove. It is done.
  • the optical component includes a lens or an optical waveguide optically coupled to the optical fiber, and an optical filter.
  • a second groove is formed across the substrate to place the filter, and the recess is provided adjacent to at least a portion of the second groove.
  • the resin filled in the gap between the groove for installing the optical filter and the optical filter once overflows from the groove. Swell on the board. If the resin is cured in this state, it may be incident on the resin that rises in the optical power filter emitted from the lens. While pressing, the grease in the gap continues to flow into the recess provided adjacent to at least a part of the groove, and the resin that has overflowed the groove force returns to the gap. This prevents unnecessary spread of the greaves.
  • the optical component is an optical waveguide
  • the resin (adhesive) before curing is dropped on the second groove, the resin spreads in the transverse direction in the second groove, or the second groove. After the force rises, it flows into the recess. Thereby, the unnecessary spread of rosin can be prevented.
  • the term “second groove” used in this embodiment is not used on the assumption that the first groove exists.
  • the optical device according to the present invention can prevent clogging of the die cinder blade when cutting from the wafer.
  • the optical device according to the present invention unnecessarily spreads the resin used in the optical device. Can be prevented.
  • FIG. 1 is a perspective view of an optical device according to a first embodiment of the present invention.
  • the optical device 1 is manufactured by cutting out from a wafer (not shown) having a substrate 2 and an optical waveguide layer 4 laminated thereon.
  • a wafer not shown
  • the optical device 1 in Figure 1 is manufactured by cutting out from a wafer (not shown) having a substrate 2 and an optical waveguide layer 4 laminated thereon.
  • the optical filter F2 mounted on the optical waveguide layer 4 is shown by a two-dot chain line.
  • the optical waveguide layer 4 is formed on a part of the substrate 2 and has a substantially rectangular shape.
  • the optical waveguide layer 4 has two first side surfaces 6a and 6b to which an optical fiber or an optical fiber array is joined, and an optical fiber. One or two optical fiber arrays that are not joined together.
  • the first side surfaces 6a and 6b extend in the transverse direction 10b with an interval in the light propagation direction 10a, and the second side surface 8 extends in the propagation direction 10a.
  • the optical waveguide layer 4 is divided into two parts by the optical filter F2.
  • the optical waveguide layer 4 includes a core 4a and a clad 4b, and an optical waveguide that is an optical device element is formed by the core 4a and the clad 4b.
  • the core 4a has a port 4c provided on one first side surface 6a and a port 4d provided on the other first side surface 6b, and light is transmitted between the port 4c and the port 4d. It is configured to propagate.
  • there is one port 4c on one side and two ports 4d on the other side and the optical waveguide constitutes a multiplexing / demultiplexing unit.
  • the optical waveguide layer 4 is preferably formed of a polymer.
  • the core 4a is crossed in the transverse direction 10b in order to install the optical filter F2 between the port 4c on one side and the port 4d on the other side.
  • An extending optical filter installation groove 12 is provided.
  • the optical filter adhesive A2 is used in the optical filter installation groove 12 to install the optical filter F2.
  • the optical filter adhesive A2 should be selected so that its refractive index is close to that of the core 4a.
  • the optical filter adhesive A2 is generally a resin. Accordingly, the gap 11 between the optical filter F2 and the optical filter installation groove 12 constitutes a resin filling part 11 to be filled with the resin.
  • the substrate 2 has extension portions 2a extended on both sides in the propagation direction of the optical waveguide layer 4.
  • the extension portion 2a has optical fiber mounting recesses 14a and 14b for mounting the optical fiber F1.
  • a V-shaped cross-section V-groove 14a for positioning the optical fiber F1 so as to align with the ports 4c and 4d, the V-groove 14a and the optical waveguide layer 4 are provided in the transverse direction.
  • An extending optical fiber coupling groove 14b is provided.
  • the optical fiber coupling groove 14b is located below the optical coupling portion between the optical waveguide layer 4 and the optical fiber F1, and is close to the optical waveguide layer 4.
  • an optical fiber one adhesive A1 is used to fix the optical fiber one F1 to the substrate 2.
  • the optical fiber adhesive A1 is preferably selected so that its refractive index is close to the refractive index of the core of the optical fiber F1.
  • the substrate 2 is preferably made of silicon. In FIG. 1, only the optical fiber F1 on one side is shown, and the optical fiber 1 on the other side is omitted.
  • the optical fiber adhesive A1 is generally a resin. Therefore, the gap 13 between the optical fiber F1 and the optical waveguide layer 4 and the optical fiber one coupling groove 14b in the vicinity thereof constitute a resin filling portion to be filled with the resin.
  • the substrate 2 has a side surface 16 on the same side as the second side surface 8 of the optical waveguide layer 4.
  • the side surface 16 of the substrate 2 and the second side surface 8 of the optical waveguide layer 4 are located in different planes, so that the second side surface 8 of the optical waveguide layer 4 and the side surface 16 of the substrate 2 are An upward exposed portion 18 is formed between the substrates to form a stepped portion 18 '.
  • the side surface 16 of the substrate 2 is a cut surface formed when the optical device 1 is cut in a cutting direction 10a from a wafer (not shown) by a dicing blade.
  • the side surface 16 has an upper edge 20 extending from the optical fiber coupling groove 14b to the optical filter installation groove 12.
  • the second side surface 8 of the optical waveguide layer 4 is substantially flat.
  • the boundary line 22 between the second side surface 8 and the exposed portion 18 of the substrate 2, that is, the inner edge 22 'of the stepped portion 18' is linear, and the optical filter mounting groove 14b is connected to the optical filter mounting groove 12b. It extends to.
  • the step portion 18 communicates with the resin filling parts 11 and 13, and is also a recess for storing the resin without filling the resin.
  • a V-groove 14a is formed on the substrate 2.
  • the core 4a is removed leaving only a necessary portion, and the clad 4b is further laminated thereon.
  • the clad 4b is removed so that the optical waveguide layer 4 remains.
  • the optical filter installation groove 12 and the optical fiber coupling groove 14b are formed by a dicing blade.
  • a wafer (not shown) is cut along dicing carriage lines extending in the propagation direction 10a and the transverse direction 10b to manufacture individual optical devices 1. Since the above steps may be performed using a method that has been used in the past, detailed description thereof will be omitted.
  • the optical fiber F1 is positioned in the V groove 14a and fixed to the substrate 2 with an optical fiber adhesive Al, for example, a thermosetting silicone resin.
  • the optical fiber adhesive A1 is filled in the V groove 14a and the optical fiber coupling groove 14b, and in the gap 13 between the optical fiber F1 and the core 4a of the optical waveguide layer 4.
  • the optical filter F2 is installed in the optical filter installation groove 12, and fixed to the optical filter installation groove 12 with an optical filter adhesive A2, for example, a cation curable silicone resin.
  • the optical filter adhesive A2 is filled in the gap 11 between the optical filter F2 and the core 4a of the optical waveguide.
  • step of filling the optical fiber adhesive A1 and the step of filling the optical filter adhesive A2 may be interchanged.
  • the opposing second side surfaces 8 of the adjacent optical devices 1 are formed such that the distance between them is larger than the width of the dicing blade. Therefore, when the dicing blade cuts the wafer along the dicing carriage line in the propagation direction 10a, the dicing blade does not come into contact with the clad 4b, so that no chips of the clad 4b are generated. As a result, clogging of the dicing blade can be prevented.
  • the optical fiber adhesive A1 (uncured resin) is dropped into the optical fiber one coupling groove 14b
  • the optical fiber adhesive A1 After the optical fiber coupling groove 14b spreads in the transverse direction 10b, the second side surface 8 and the side surface 16 of the substrate 2 do not travel along the second side surface 8 of the optical waveguide layer 4 and the side surface 16 of the substrate 2. It flows into the recess 18 between and the exposed portion 18. Exposed part 18 is used to transfer optical fiber adhesive A1 It has no action to move. Accordingly, the optical fiber adhesive A1 is prevented from entering the optical filter installation groove 14b, and unnecessary spread of the grease is prevented.
  • the refractive index of the optical fiber adhesive A1 and the refractive index of the optical filter adhesive A2 are selected according to the refractive index of the core of the optical fiber F1 and the refractive index of the core 4a of the optical waveguide layer 4, respectively.
  • the reflected return light of the optical device 50 is prevented from increasing beyond the design value.
  • the intensity R of the reflected return light at the optical filter F2 is expressed by the following equation (1).
  • i? 10 x log 10 ⁇ 1 ⁇ ⁇ 2 Equation (1)
  • nl is the refractive index of the adhesive
  • n2 is the refractive index of the core 54a of the optical waveguide, for example, 1. 525.
  • an optical filter adhesive A2 having a refractive index of 1.500 is interposed in the gap 11 between the core 4a and the optical filter F2.
  • the intensity R of the reflected return light at that time is 42 dB, which satisfies the condition of 40 dB or less, which is a demand in the field of optical devices.
  • the intensity R of the reflected return light becomes 33 dB, and the reflected return light Will increase.
  • FIG. 2 is a perspective view of an optical device according to the second embodiment of the present invention.
  • the second side surface 8 of the optical waveguide layer 4 has a concavo-convex portion constituted by a convex portion 8a and a concave portion 8b.
  • the optical device 1 has the same structure as that of the first embodiment. Therefore, the same reference numerals are given to the same components as those in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
  • the second side surface 8 has a convex portion 8a provided between the optical fiber one coupling groove 14b and the optical filter installation groove 12, and concave portions 8b arranged on both sides thereof. Yes.
  • the boundary line 22 between the second side surface 8 of the optical waveguide layer 4 and the exposed portion 18 of the substrate 2, i.e., the step 18 'or the inner edge 22' of the recess is directed toward the transverse direction 10b from the propagation direction 10a It is pointed and curved.
  • the convex portion 8a does not reach the side surface 16 of the substrate 2, and the convex portion 8a and the side surface 16 of the substrate 2 In between, there is an exposed portion 18 or step 18 ′ of the substrate 2.
  • the convex portion 8a is preferably closer to the optical filter installation groove 12 than to the optical fiber coupling groove 14b.
  • the method of manufacturing the optical device 50 according to the second embodiment and assembling the optical fiber F1 and the optical filter F2 into the optical device 50 are the same as those of the optical device 1 according to the first embodiment.
  • the convex portion 8a is formed. It acts as a dam and prevents the optical fiber adhesive A1 from flowing to the optical filter installation groove 12.
  • the convex portion 8a is closer to the groove for installing the optical filter, the allowable amount of the overflowing optical fiber adhesive A1 increases.
  • the refractive index of the optical fiber adhesive A1 and the refractive index of the optical filter adhesive A2 are selected in accordance with the refractive index of the core of the optical fiber F1 and the refractive index of the core 4a of the optical waveguide layer 4, respectively. In this case, the reflected return light of the optical device 50 is prevented from increasing beyond the design value.
  • FIG. 3 is a perspective view of an optical device according to the third embodiment of the present invention.
  • the second side surface 8 of the optical waveguide layer 4 has a concavo-convex portion constituted by a convex portion 8a ′ and a concave portion 8b ′. Except for this, it has the same structure as the optical device 1 of the first embodiment. Therefore, the same reference numerals are given to the same components as those in the first embodiment, and the description thereof is omitted.
  • the second side surface 8 has a convex portion 8a provided between the optical fiber one coupling groove 14b and the optical filter installation groove 12, and concave portions 8b 'disposed on both sides thereof. ing.
  • the boundary line 22 between the second side surface 8 of the optical waveguide layer 4 and the exposed portion 18 of the substrate 2, i.e., the step 18 'or the inner edge 22' of the recess is directed toward the transverse direction 10b from the propagation direction 10a. It is curved.
  • the convex portion 8a ′ reaches the side surface 16 of the substrate 2 and is located on the same surface as the side surface 16 of the substrate 2.
  • the exposed portion 18 and the step portion 18 'between the optical fiber single coupling groove 14b and the optical filter installation groove 12 are disconnected.
  • the length of the convex portion 8a ′ in the propagation direction is preferably as short as possible, but it needs to have a length that does not break when it is cut by the dicing blade.
  • the optical device 60 according to the third embodiment is manufactured, and the optical fiber F1 and the optical filter F2 are manufactured. Is assembled to the optical device 60 in the same manner as the optical device 1 of the first embodiment.
  • the convex portion 8a ' acts as a dam and prevents the optical fiber adhesive A1 from flowing to the optical filter groove 12.
  • the convex portion 8a ′ is on the same surface as the side surface 16 of the substrate 2, when the wafer is cut by the dicing blade, the dicing blade comes into contact with the clad 4b, but the propagation direction length of the convex portion 8a ′ is shortened. In this case, the dicing blade can be sufficiently prevented from being clogged.
  • FIG. 4 is a perspective view of an optical device according to the fourth embodiment of the present invention.
  • the optical device 70 according to the fourth embodiment of the present invention is the same as that of the first embodiment except that the position of the exposed portion 18 is lowered so that the side surface 16 of the substrate 2 is uneven. It has the same structure as optical device 1. Therefore, the same reference numerals are given to the same components as those in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
  • the side surface 16 of the substrate has a convex portion 16a provided between the optical fiber one coupling groove 14b and the optical filter installation groove 12, and an exposed portion 18 is disposed on both sides thereof, and a step portion or A recess 18 'is formed.
  • the inner edge 22 ′ of the stepped portion 18 ′ is curved from the propagation direction 10a toward the transverse direction 10b.
  • the step portion 18 ′ between the optical fiber one coupling groove 14b and the optical filter installation groove 12 is interrupted.
  • the exposed portion 18 is formed by RIE or the like after the cladding 4b is removed.
  • the optical device 1 is the same as that of the first embodiment.
  • FIG. 5 is a plan view of an optical device according to a fifth embodiment of the present invention
  • FIG. 6 is a front view of the optical device of FIG.
  • the optical device 90 is an alternative to the optical waveguide layer 4 of the first embodiment. Instead, use the three lenses 92a, 92b, 92c for the power ⁇ /! Optical fiber F1 and optical filter F2 are mounted on optical device 90 in Fig. 5!
  • the substrate 2 extends in the light propagation direction 10a, and lenses 92a, 92b, and 92c are disposed on the intermediate portion 2b of the substrate 2, for example, the cladding 4b of the optical waveguide 4 of the optical device 1 of the first embodiment. Are laminated with the same material.
  • the substrate 2 has an upper surface 2d extending in the light propagation direction 10a and the transverse direction 10b.
  • the lens 92a is disposed on one side of the intermediate portion 2b of the substrate 2, and the lenses 92b and 92c are placed on the other side.
  • the lenses 92a, 92b, and 92ci have optical axes 94a, 94b, and 94c, respectively.
  • the optical axis 94a and the optical axis 94b are coaxial, and extend obliquely and straightly at an intersection angle ⁇ with respect to the light propagation direction 10a.
  • the optical axis 94c obliquely intersects the optical axis 94a and the optical axis 94b, and extends obliquely and straightly at an intersection angle ⁇ with respect to the light propagation direction 10a.
  • the lens 92b is provided symmetrically with the lens 92a with respect to a point 94d where the optical axes 94a, 94b, and 94c intersect.
  • the lens 93c is provided symmetrically with the lens 92a with respect to a line 94e passing through the point 94d and extending in the transverse direction 10b.
  • the substrate 2 is provided with an optical filter installation groove 12 extending across the substrate 2 in the transverse direction 10b in order to install the optical filter F2.
  • the optical filter adhesive A2 is used in the optical filter installation groove 12 to install the optical filter F2.
  • the optical filter adhesive A2 is generally a resin. Accordingly, the gap 11 between the optical filter F2 and the optical filter installation groove 12 constitutes a resin filling part 11 to be filled with the resin.
  • the substrate 2 has an extended portion 2a extended on both sides with respect to the intermediate portion 2b, and the extended portion 2a has optical fiber mounting recesses 14a and 14b for mounting the optical fiber F1.
  • a V-shaped cross-section V-groove 14a for positioning the optical fiber F1 in alignment with the ports 4c, 4d, and an optical fiber provided at the end of the optical fiber F1 and extending in the transverse direction 10b
  • a single coupling groove 14b is located below the optical coupling portion (optical path) between the lenses 92a, 92b, 92c and the optical fiber F1, and is close to the lenses 92a, 92b, 92c.
  • An optical fiber adhesive A1 is used in the optical fiber coupling groove 14b in order to fix the optical fiber F1 to the substrate 2.
  • the fiber adhesive Al should be selected so that its refractive index is close to the refractive index of the core of the optical fiber Fl.
  • the substrate 2 is preferably made of silicon.
  • the optical fiber F1 on one side is arranged so that its optical axis FA is coaxial with the optical axis 94a of the lens 92a.
  • the lens 92a is a convex lens that includes the optical axis 94a and is symmetrical with respect to a plane perpendicular to the upper surface 2d, and is formed so that the focal point of the lens 92a is located at or near the tip of the optical fiber F1.
  • the four side surfaces 96 of the lens 92a are surfaces that are substantially perpendicular to the upper surface 2d of the substrate 2.
  • the optical fiber Fl on the other side, the lens 92b, and the lens 92c have the same structure as the optical fiber F 1 on the other side and the lens 92a, description thereof is omitted.
  • the optical fiber adhesive A1 is generally a resin.
  • the optical fiber one-coupling groove 14 b constitutes a resin filling part 13 to be filled with the resin. It is not preferable that the optical fiber adhesive Al is interposed between the optical fiber F1 and the lenses 92a, 92b, and 92c.
  • the end portions of the optical filter installation groove 12 and the optical fiber coupling groove 14b are in communication with the resin filler 11 or 13, so that the resin can be filled without filling the resin.
  • Recesses 96a and 96b for storing are formed.
  • the recesses 96a and 96b extend downward from the upper surface 2d of the substrate.
  • the recesses 96a and 96b are preferably provided between the optical filter installation groove 12 and the optical fiber coupling groove 14b.
  • the recesses 96a and 96b are preferably provided below or in the vicinity of the optical path so that excess grease does not enter the optical path of the optical device 90.
  • the optical device 90 when light enters one optical fiber F1 on one side, the light also spreads at the tip force of the optical fiber F1, enters the lens 92a, and becomes parallel light when emitted from the lens 92a. Become. The parallel light passes through the optical filter F2, enters the lens 92b, exits from the lens 92b, and then gathers at the tip of the optical fiber F1 on the other side, which is the focal point, and propagates to the optical fiber F1.
  • the lenses 92a, 92b, and 92c are formed instead of the optical waveguide 4.
  • the manufacturing method of the optical multiplexer / demultiplexer 1 according to the first embodiment is the same. Therefore, only different parts will be described, and description of common parts will be omitted.
  • lenses 92a, 92b, and 92c are formed in the intermediate portion 2b of the substrate 2.
  • a clad layer is formed by spin coating or the like.
  • the lens portion of the cladding layer cover is also removed by a process cage such as photolithography and reactive ion etching, and mechanical processing such as embossing to form the lenses 92a, 92b, and 92c in a desired form. .
  • the optical filter adhesive A2 (resin before curing) is dropped into the optical filter installation groove 12
  • the optical filter adhesive A2 crosses the optical filter installation groove 12 in the transverse direction 10b.
  • the air flows into the recess 96a provided at the end of the optical filter installation groove 12 without being transmitted along the side surface of the substrate 2, or the force is transmitted along the side surface of the substrate 2 to form the optical fiber coupling groove 14b.
  • It flows into the concave portion 96b provided at the end of the.
  • the recesses 96a and 96b have a function of moving the uncured resin far away, so that the optical filter adhesive A2 is prevented from entering the optical fiber coupling groove 14b. Unnecessary spread of greaves is prevented.
  • the optical fiber adhesive A1 (resin before curing) is dropped into the optical fiber bonding groove 14b.
  • the optical fiber adhesive A1 grey before curing
  • the optical fiber adhesive A1 rises from the optical fiber one coupling groove 14b. Then, it flows into Shijonawate 96b. As a result, the resin is prevented from intervening between the optical fiber F1 and the lenses 92a, 92b, 92c.
  • FIG. 7 is a plan view of an optical device according to a sixth embodiment of the present invention
  • FIG. 8 is a front view of the optical device of FIG.
  • the optical device 100 according to the sixth embodiment of the present invention is the same as the optical device 90 according to the fifth embodiment except that the positions of the recesses 96a and 96b are different. It has the structure of Accordingly, the same components as those in the fifth embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
  • the optical filter installation groove 12 is provided with a recess 102a at an end thereof and a recess 102b at an intermediate portion thereof.
  • the recesses 102a and 102b communicate with a gap (oil filling portion) 11 between the optical filter F2 and the optical filter installation groove 12 to store the grease without filling the grease. Extending downward from the upper surface 2d of the substrate.
  • the optical fiber single coupling groove 14b is provided with a recess 104a at an end thereof, and is provided with a recess 104b at an intermediate portion thereof.
  • the recesses 104a and 104b extend downward from the upper surface 2d of the substrate in order to collect the grease flowing out from the optical fiber single coupling groove.
  • the recesses 102a, 102b, 104a, 104b are preferably provided below or in the vicinity of the optical path so that excess grease does not enter the optical path of the optical device 100.
  • the method of manufacturing the optical device 100 according to the sixth embodiment and assembling the optical fiber F1 and the optical filter F2 into the optical device 100 is the same as the optical device 90 according to the fifth embodiment.
  • the optical filter adhesive A1 filled in the gap 11 between the optical filter installation groove 12 and the optical filter F2 for installing the optical filter F2 is once used in the optical filter. It overflows from the installation groove 12 to the upper surface 2d of the board 2 and rises on the board 2 (see A2 'in FIG. 8). In this state, when the optical filter adhesive A2 is cured, the light power emitted from the lens 92a is incident on the raised optical filter adhesive A2 ′ which is not reached by the optical filter F2. However, the optical filter adhesive A2 in the gap 11 continues to flow into the recesses 102a and 102b, and the optical filter adhesive A2 'overflowing from the optical filter installation groove 12 is in the gap 11. Return to. Thereby, the unnecessary spread of rosin is prevented.
  • the optical fiber adhesive A1 (uncured grease) is dropped onto the optical fiber one coupling groove 14b, the optical fiber one adhesive A1 rises from the optical fiber one coupling groove 14b. Then, it flows into the recess 104a or 104b. This prevents resin from interposing between the optical fiber F1 and the lenses 92a, 92b, 92c.
  • the optical devices 90 and 100 are the optical fiber F1 and the optical filter F. 2 is mounted, but an optical device before mounting one or both of them is also included in the present invention.
  • the boundary line 22 and the inner edge 22 ′ of the stepped portion 18 ′ are curved in the transverse direction 10b from the propagation direction 10a, but the direction is changed at an arbitrary angle. You may change it.
  • the exposed portions are provided on both sides of the convex portions 8a, 8a ′, 16a, but may be provided on only one of them.
  • the optical fiber F1 is mounted on the optical device 1, but the optical fiber array may be mounted by omitting the extension 2a of the substrate 2.
  • the recesses 96a and 96b are provided at the ends of the optical filter installation groove 12 and the optical fiber coupling groove 14, but if the spread of the grease can be prevented, the recess 96a 96b may be located between the optical filter installation groove 12 and the optical fiber coupling groove 14.
  • FIG. 1 is a perspective view of an optical device according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view of an optical device according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a perspective view of an optical device according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a perspective view of an optical device according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a perspective view of an optical device according to a fifth embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a front view of an optical device according to a fifth embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a perspective view of an optical device according to a sixth embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a front view of an optical device according to a sixth embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a perspective view of a conventional optical device.
  • Gap (resin filled part) 12 Optical filter installation groove 13 Gap (resin filled part) 14a V groove

Abstract

　ウエハからの切断時、ダイシングブレードの目詰まりを防止することができる光デバイスを提供する。また、光デバイスに使用される樹脂の不必要な広がりを防止することができる光デバイスを提供する。 　本発明は、基板(2)と、基板(2)の上に積層された光導波路層(4)とを有する光デバイス(1)に関する。光導波路層(4)は、光ファイバー又は光ファイバーアレイ(F1)が接合される第１の側面(6a,6b)と、光ファイバー及び光ファイバーアレイが接合されない第２の側面(8)とを有する。また、基板(2)は、光導波路層(4)の第２の側面(8)と同じ側にある側面(16)を有する。光導波路層(4)の第２の側面(8)の少なくとも一部は、基板(2)の側面(16)と異なる面内に位置し、光導波路層(4)の第２の側面(8)と基板(2)の側面(16)との間に基板の露出部分(18)が形成される。

Description

明 細 書
光デバイス
技術分野
[0001] 本発明は、基板とその上に搭載された光導波路、光フィルタ、レンズ等の光部品と を有する光デバイスに関する。
背景技術
[0002] 従来の光導波路部品等の光デバイスは、一般に、基板の上に光導波路層を積層さ せることによって、光導波路等の光デバイス要素を多数配列したウェハを、ダイシン グ法等により切断して個々の光デバイスに切り出されて製造される（例えば特許文献
D oウェハの切断には、典型的には、円盤状のブレードが使用される。
[0003] 図 9は、カゝかる光デバイスの一例を示す斜視図である。光デバイス 200は、基板 20 2と、基板 202の上に積層された光導波路層 204とを有している。光導波路層 204は 、光ファイバ一 F1又は光ファイバ一アレイが接合される第 1の側面 206a、 206bと、 光ファイバ一 F1又は光ファイバ一アレイが接合されな 、第 2の側面 208とを有して ヽ る。また、基板 202は、光導波路層 204の第 2の側面 208と同じ側にある側面 216を 有しており、第 2の側面 208と基板 202の側面 216とは、同一面内に位置している。 光導波路層 204は、ポリマで形成されている。
[0004] また、光導波路層 204の光の伝搬方向 210aの中央部に、光フィルタ F2が設けらる 。光フィルタ F2は、光導波路層 204及び基板 202に形成された光フィルタ設置用溝 212に挿入され、光フィルタ F2と光フィルタ設置用溝 212との間の隙間 211に充填さ れた光フィルタ用接着剤 A2によって固定されている。更に、光ファイバ一 F1と光導 波路層 204との間の隙間 213、及び、光ファイバ一 F1の端部において基板 202を横 断方向 210bに横切る光ファイバ一結合用溝 214bには、光ファイバ一用接着剤 A1 が充填されている。光フィルタ用接着剤 A2は、その屈折率が光導波路層 204のコア 204aの屈折率と近 ヽ値になるように選択された榭脂であり、光ファイバ一用接着剤 A 1は、その屈折率が光ファイバ一 F1のコアの屈折率と近い値になるように選択された 榭脂である。 [0005] 特許文献 1 :特開 2001— 281479号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0006] 図 9に示す形態の光デバイス 200をウェハ力 ダイシングブレードによって切出しを 行った場合、光導波路層 204を構成する材料の切粉がダイシングブレードに付着し 、ダイシングブレードが目詰まり起こし易いという問題があった。この問題は、特に光 導波路層 204がポリマで形成されている場合に顕著であった。
[0007] また、硬化前の光ファイバ一用接着剤 A1を光ファイバ一結合用溝 214bに滴下し たとき、光ファイバ一用接着剤 A1が光フィルタ設置用溝 212まで流れ込むことがある o詳糸田に ίま、光ファイノく一結合用溝 214bの幅 ίま、 50〜300 /ζ πιであり、基板 202の 側面 216と光導波路層 204の第 2の側面 108には、ダイシングブレードによって細か い凹凸が形成され、光フィルタ設置用溝 212と光フィルタ F2との間の隙間 211は、 1 5〜600 /ζ πιである。これらの溝 214b、凹部、及び隙間 211は、硬化前の榭脂 (接着 剤)を溝等に沿って遠くに移動させる作用を有している。光ファイバ一用接着剤 A1を 光ファイバ一結合用溝 214bに滴下すると、光ファイバ一用接着剤 A1は光ファイバ 一結合用溝 214bを横断方向 210bに広がると共に、側面 208、 216の細かい凹部を 伝って、光フィルタ設置用溝 212に達し、それに入り込む。この場合、光ファイバ一用 接着剤 A1の屈折率は光フィルタ用接着剤 A2の屈折率と異なるので、光デバイス 20 0の反射戻り光が増大するおそれがある。同様に、光フィルタ用接着剤 A2を光フィル タ設置用溝 212に滴下したとき、光フィルタ用接着剤 A2が光ファイバ一結合用溝 21 4bに入り込むこともある。
[0008] そこで、本発明の第 1の目的は、ウェハからの切断時、ダイシングブレードの目詰ま りを防止することができる光デバイスを提供することにある。
[0009] また、本発明の第 2の目的は、光デバイスに使用される榭脂の不必要な広がりを防 止することができる光デバイスを提供することにある。
課題を解決するための手段
[0010] 上記問題点を解決するために、光導波路層を構成する材料をダイシング加工ライ ン力 退避させることにより、ダイシングブレードの目詰まりを防止することができた。 すなわち、本発明は、基板と、基板の上に積層された光導波路層とを有する光デバ イスであって、光導波路層は、光ファイバ一又は光ファイバ一アレイが接合される第 1 の側面と、光ファイバ一又は光ファイバ一アレイが接合されな 、第 2の側面とを有し、 基板は、光導波路層の第 2の側面と同じ側にある側面を有し、光導波路層の第 2の 側面の少なくとも一部は、基板の側面と異なる面内に位置し、光導波路層の第 2の側 面と基板の側面との間に基板の露出部分が形成されることを特徴としている。
[0011] このように構成された光デバイスでは、光導波路層の第 2の側面の少なくとも一部が 、ダイシングブレードによる切断によって形成される基板の側面と異なる面内に位置 して、基板の露出部分を形成しているので、ダイシングブレードによる切断の際、光 導波路層を構成している材料に接触することがない。従って、かかる材料、例えば、 ポリマ等の切粉によるブレードの目詰まりを防止することができる。
[0012] また、光ファイバ一用接着剤 (硬化前の榭脂)を光ファイバ一結合用溝に滴下したと き、光ファイバ一用接着剤は光ファイバ一結合用溝を横断方向に広がった後、光導 波路層の第 2の側面及び基板の側面を伝わらずに、第 2の側面と基板の側面との間 の露出部分に流れ込む。露出部分は、硬化前の榭脂を遠くに移動させる作用を有し ていない。従って、光ファイバ一用接着剤が、光フィルタ設置用溝に入り込むことが 防止され、榭脂の不必要な広がりが防止される。カゝくして、上記第 2の目的も達成さ れる。光フィルタ用接着剤 (硬化前の榭脂)を光フィルタ設置用溝粗に滴下したときも 同様である。
[0013] 本発明の光デバイスにおいて、好ましくは、光導波路層の第 2の側面がほぼ平らで ある。
[0014] また、本発明の光デバイスにおいて、好ましくは、光導波路層の第 2の側面が凹凸 部を有する。
[0015] このように構成された光デバイスでは、例えば、光ファイバ一又は光ファイバーァレ ィを搭載する際に使用する接着剤が露出部分の上を流れても、光導波路層の第 2の 側面の凹凸部により接着剤の移動を阻止することができ、凹凸部は、接着剤用のダ ムとして機能する。
[0016] また、この光デバイスにおいて、好ましくは、凹凸部により、基板の露出部分が途切 れる。
[0017] また、本発明の光デバイスにおいて、好ましくは、基板は、第 1の側面の側に光導 波路層を積層していない部分を有し、この部分に光ファイバ一搭載用凹部を有する。 また、本発明の光デバイスにおいて、好ましくは、光導波路層に、光フィルタ設置用 溝を有する。
また、本発明の光デバイスにおいて、好ましくは、更に、光フィルタを有する。
また、本発明の光デバイスにおいて、好ましくは、光導波路層がポリマ層である。
[0018] また、上記第 2の目的を達成するために、本発明による光デバイスは、基板と、基板 に搭載される光部品と、基板に設けられ且つ樹脂が充填される榭脂充填部と、を有 する光デバイスにおいて、更に、榭脂充填部と連通し榭脂を溜めるための凹部を有 することを特徴としている。
[0019] このように構成された光デバイスでは、基板に設けられた榭脂充填部に榭脂を滴下 すると、榭脂が樹脂充填部に広がり、次いで、榭脂を溜めるための凹部に流れ込む。 かかる凹部は、榭脂を遠くに移動させる作用を有していないので、榭脂の不必要な 広がりを防止することができる。
[0020] 本発明の光デバイスにおいて、好ましくは、光部品は、光ファイバ一と光学的に結 合されるレンズ又は光導波路と、光フィルタと、を有し、榭脂充填部は、光ファイバ一 との結合部において基板を横切る第 1の溝と、光フィルタを設置するために基板を横 切って形成された第 2の溝と、を有し、凹部は、第 1の溝と第 2の溝の少なくとも一方 の端部に設けられる。
[0021] このように構成された光デバイスでは、硬化前の榭脂 (接着剤）を第 1の溝に滴下し たとき、榭脂は第 1の溝を横断方向に広がった後、基板の側面を伝わらずに、第 1の 溝の端部に設けられた凹部に流れ込み、又は、基板の側面を伝わって力 第 2の溝 の端部に設けられた凹部に流れ込む。凹部は、硬化前の榭脂を遠くに移動させる作 用を有していないので、榭脂が第 2の溝に入り込むことが防止され、その結果、榭脂 の不必要な広がりが防止される。硬化前の榭脂 (接着剤)を第 2の溝に滴下したときも 同様である。
[0022] 本発明の光デバイスにおいて、好ましくは、光部品は、光ファイバ一と光学的に結 合されるレンズ又は光導波路であり、榭脂充填部は、光ファイバ一との結合部におい て基板を横切る第 1の溝であり、凹部は、第 1の溝の少なくとも一部分に隣接して設け られる。
[0023] このように構成された光デバイスでは、硬化前の榭脂 (接着剤）を第 1の溝に滴下し たとき、榭脂は第 1の溝を横断方向に広がるとき、又は、第 1の溝力も盛り上がった後 、凹部に流れ込む。それにより、光部品がレンズの場合、光ファイバ一とレンズとの間 に榭脂が介在することを防止することができる。また、光部品が光導波路の場合、榭 脂の不必要な広がりを防止することができる。なお、この実施形態で使用した用語「 第 1の溝」は、第 2の溝があることを前提として使用しているわけではない。
[0024] また、本発明の光デバイスにおいて、好ましくは、光部品は、光ファイバ一と光学的 に結合されるレンズ又は光導波路と、光フィルタと、を有し、榭脂充填部は、光フィル タを設置するために基板を横切って形成された第 2の溝を有し、凹部は、第 2の溝の 少なくとも一部分に隣接して設けられる。
[0025] このように構成された光デバイスでは、光部品がレンズの場合、光フィルタを設置す るための溝と光フィルタとの間の隙間に充填された榭脂は、いったん、溝からあふれ 、基板の上に盛り上がる。この状態で榭脂が硬化すると、レンズから出射された光力 光フィルタではなぐ盛り上がった樹脂に入射することがある。し力しながら、隙間内の 榭脂は、引続いて溝の少なくとも一部分に隣接して設けられた凹部に流れ込み、溝 力もあふれていた樹脂が隙間内に戻る。それにより、榭脂の不必要な広がりが防止さ れる。また、光部品が光導波路の場合、硬化前の榭脂 (接着剤)を第 2の溝に滴下し たとき、榭脂は第 2の溝を横断方向に広がるとき、又は、第 2の溝力も盛り上がった後 、凹部に流れ込む。それにより、榭脂の不必要な広がりを防止することができる。なお 、この実施形態で使用した用語「第 2の溝」は、第 1の溝があることを前提として使用し ているわけではない。
発明の効果
[0026] 以上説明した通り、本発明による光デバイスは、ウェハからの切断時、ダイシンダブ レードの目詰まりを防止することができる。
[0027] また、本発明による光デバイスは、光デバイスに使用される榭脂の不必要な広がり を防止することができる。
発明を実施するための最良の形態
[0028] まず、図 1を参照して、本発明による光デバイスの第 1の実施形態を説明する。図 1 は、本発明の第 1の実施形態による光デバイスの斜視図である。
図 1に示すように、光デバイス 1は、基板 2とその上に積層された光導波路層 4を有 するウェハ（図示せず)から切り出して製造されたものである。図 1の光デバイス 1には
、光ファイバ一 F1が搭載され、光導波路層 4に搭載される光フィルター F2が二点鎖 線で示されている。
[0029] 光導波路層 4は、基板 2の一部に形成され、概ね矩形形状をなし、光ファイバ一又 は光ファイバ一アレイが接合される 2つの第 1の側面 6a、 6bと、光ファイバ一又は光 ファイバーアレイが接合されない 2つの第 2の側面 8とを有している。第 1の側面 6a、 6 bは、光の伝搬方向 10aに間隔をおいて横断方向 10bに延びており、第 2の側面 8は 、伝搬方向 10aに延びている。本実施形態では、光導波路層 4は、光フィルタ F2によ つて、 2つの部分に分けられている。
[0030] また、光導波路層 4は、コア 4a及びクラッド 4bを有し、コア 4a及びクラッド 4bによつ て、光デバイス要素である光導波路が形成されている。コア 4aは、一方の第 1の側面 6aに設けられたポート 4cと、他方の第 1の側面 6bに設けられたポート 4dとを有し、ポ ート 4cとポート 4dとの間を光が伝搬するように構成されている。本実施形態では、一 方の側のポート 4cは 1つであり、他方の側のポート 4dは 2つであり、光導波路は、合 分波部を構成している。光導波路層 4は、ポリマで形成されることが好ましい。
[0031] また、光導波路層 4及び基板 2には、一方の側のポート 4cと他方の側のポート 4dと の間に、光フィルタ F2を設置するためにコア 4aを横断方向 10bに横切って延びる光 フィルタ設置用溝 12が設けられている。光フィルタ設置用溝 12には、光フィルタ F2 を設置するために光フィルタ用接着剤 A2が使用される。光フィルタ用接着剤 A2は、 その屈折率がコア 4aの屈折率と近 、値になるように選択されるのがよ 、。
[0032] 光フィルタ用接着剤 A2は、一般的には、榭脂である。従って、光フィルタ F2と光フ ィルタ設置用溝 12との間の隙間 11は、榭脂を充填すべき榭脂充填部 11を構成する [0033] 基板 2は、光導波路層 4の伝搬方向両側に延長された延長部 2aを有し、延長部 2a は、光ファイバ一 F1を搭載するための光ファイバ一搭載用凹部 14a、 14bを有してい る。本実施形態では、光ファイバ一 F1をポート 4c、 4dと整列するように位置決めする ための V字形断面の V溝 14aと、 V溝 14aと光導波路層 4との間に設けられ且つ横断 方向に延びる光ファイバ一結合用溝 14bとが設けられて 、る。この光ファイバ一結合 用溝 14bは、光導波路層 4と光ファイバ一 F1との光学的な結合部の下方に位置し、 光導波路層 4と近接している。光ファイバ一結合用溝 14bには、光ファイバ一 F1を基 板 2に固定するために光ファイバ一用接着剤 A1が使用される。光ファイバ一用接着 剤 A1は、その屈折率が光ファイバ一 F1のコアの屈折率と近い値になるように選択さ れるのがよい。基板 2は、シリコンで形成されることが好ましい。なお、図 1では、一方 の側の光ファイバ一 F1だけを示し、他方の側の光ファイバ一を省略して 、る。
[0034] 光ファイバ一用接着剤 A1は、一般的には、榭脂である。従って、光ファイバ一 F1と 光導波路層 4との間の隙間 13及びその近傍の光ファイバ一結合用溝 14bは、榭脂を 充填すべき榭脂充填部を構成する。
[0035] また、基板 2は、光導波路層 4の第 2の側面 8と同じ側にある側面 16を有している。
基板 2の側面 16と光導波路層 4の第 2の側面 8とは、異なる面内に位置しており、そ れにより、光導波路層 4の第 2の側面 8と基板 2の側面 16との間に基板の上向きの露 出部分 18が形成され、段部 18'を構成している。基板 2の側面 16は、光デバイス 1を ウエノ、（図示せず)からダイシングブレードによって切断方向 10aに切断したときに形 成された切断面である。側面 16は、光ファイバ一結合用溝 14bから光フィルタ設置用 溝 12まで延びる上縁 20を有している。また、光導波路層 4の第 2の側面 8は、ほぼ平 らである。第 2の側面 8と基板 2の露出部分 18との間の境界線 22即ち段部 18 'の内 縁 22'は、直線状であり、光ファイバ一結合用溝 14bから光フィルタ設置用溝 12まで 延びている。
[0036] 後述するように、段部 18'は、榭脂充填部 11、 13と連通しており、榭脂を充填する ことなしに榭脂を溜めるための凹部でもある。
[0037] 次に、本発明の第 1の実施形態である光デバイス 1を製造し、光ファイバ一 F1及び 光フィルタ F2を光デバイス 1に組立てる方法の一例を説明する。 最初、基板 2に V溝 14aを形成する。次いで、基板 2の全面にクラッド 4b及びコア 4a を積層させたあと、必要な部分だけを残してコア 4aを除去し、その上に更にクラッド 4 bを積層させる。次いで、光導波路層 4を残すように、クラッド 4bを除去する。次いで、 光フィルタ設置用溝 12及び光ファイバ一結合用溝 14bをダイシングブレードによって 形成する。最後に、ダイシングブレードを用いて、ウェハ（図示せず)を伝搬方向 10a 及び横断方向 10bに延びるダイシングカ卩エラインに沿って切断し、個々の光デバイ ス 1を製造する。以上の工程は、従来力も行われている方法を用いればよいので、そ の詳細な説明を省略する。
[0038] 次に、光ファイバ一 F1を V溝 14aに位置決めし、光ファイバ一用接着剤 Al、例え ば、熱硬化型シリコーン榭脂によって基板 2に固定する。光ファイバ一用接着剤 A1 は、 V溝 14a及び光ファイバ一結合用溝 14bに充填されると共に、光ファイバ一 F1と 光導波路層 4のコア 4aとの間の隙間 13に充填される。
[0039] 最後に、光フィルタ F2を、光フィルタ設置用溝 12に設置し、光フィルタ用接着剤 A 2、例えば、カチオン硬化型シリコーン榭脂によって、光フィルタ設置用溝 12に固定 する。光フィルター用接着剤 A2は、光フィルター F2と光導波路のコア 4aとの間の隙 間 11に充填される。
[0040] なお、光ファイバ一用接着剤 A1を充填する工程と、光フィルタ用接着剤 A2を充填 する工程とを入れ替えてもよ ヽ。
[0041] 上述した光デバイス 1の構造によれば、隣接した光デバイス 1の対向する第 2の側 面 8は、その間の距離がダイシングブレードの幅よりも大きくなるように形成される。従 つて、ダイシングブレードが伝搬方向 10aのダイシングカ卩エラインに沿ってウェハを切 断するとき、ダイシングブレードがクラッド 4bに接触しないので、クラッド 4bの切粉が 生じない。その結果、ダイシングブレードの目詰まりを防止することができる。
[0042] また、第 1の実施形態の光デバイス 1では、光ファイバ一用接着剤 A1 (硬化前の榭 脂）を光ファイバ一結合用溝 14bに滴下したとき、光ファイバ一用接着剤 A1は光ファ ィバー結合用溝 14bを横断方向 10bに広がった後、光導波路層 4の第 2の側面 8及 び基板 2の側面 16を伝わらずに、第 2の側面 8と基板 2の側面 16との間の凹部 18， 即ち露出部分 18に流れ込む。露出部分 18は、光ファイバ一用接着剤 A1を遠くに移 動させる作用を有していない。従って、光ファイバ一用接着剤 A1が、光フィルタ設置 用溝 14bに入り込むことが防止され、榭脂の不必要な広がりが防止される。特に、光 ファイバー用接着剤 A1の屈折率及び光フィルタ用接着剤 A2の屈折率がそれぞれ、 光ファイバ一 F1のコアの屈折率及び光導波路層 4のコア 4aの屈折率に合わせて選 択されている場合、光デバイス 50の反射戻り光が設計値よりも増大することが防止さ れる。
[0043] 詳細には、光フィルター F2のところにおける反射戻り光の強さ Rは、次の式（1)で 表される。 i? = 10 x log10 ^1~η2 … 式 （1 ) この式（1)で、 nlは、接着剤の屈折率であり、 n2は、光導波路のコア 54aの屈折率、 例えば、 1. 525である。設計上、コア 4aと光フィルター F2との間の隙間 11には、屈 折率 1. 500を有する光フィルター用接着剤 A2が介在する。そのときの反射戻り光の 強さ Rは、 42dBとなり、光デバイスの分野の要望である 40dB以下の条件を満た している。しかしながら、コア 4aと光フィルター F2との間の隙間 11に、屈折率 1. 455 を有する光ファイバ一用接着剤 A1が介在すると、反射戻り光の強さ Rは、 33dBと なり、反射戻り光が増大してしまう。
[0044] 次に、図 2を参照して、本発明による光デバイスの第 2の実施形態を説明する。図 2 は、本発明の第 2の実施形態による光デバイスの斜視図である。
図 2に示すように、本発明の第 2の実施形態である光デバイス 50は、光導波路層 4 の第 2の側面 8が、凸部 8aと凹部 8bにより構成される凹凸部を有すること以外、第 1 の実施形態の光デバイス 1と同様の構造を有している。従って、第 1の実施形態と同 様の構成要素に同じ参照番号を付し、それらの説明を省略する。
[0045] 第 2の側面 8は、光ファイバ一結合用溝 14bから光フィルタ設置用溝 12との間に設 けられた凸部 8aと、その両側に配置された凹部 8bとを有している。それにより、光導 波路層 4の第 2の側面 8と基板 2の露出部分 18との間の境界線 22即ち段部 18'又は 凹部の内縁 22'は、伝搬方向 10aから横断方向 10bに向力つて差し向けられ、湾曲 している。凸部 8aは、基板 2の側面 16まで達しておらず、凸部 8aと基板 2の側面 16と の間には、基板 2の露出部分 18即ち段部 18'が存在している。凸部 8aは、光フアイ バー結合用溝 14bよりも光フィルタ設置用溝 12に近いことが好ましい。
[0046] 第 2の実施形態である光デバイス 50を製造し、光ファイバ一 F1及び光フィルタ F2 を光デバイス 50に組立てる方法は、第 1の実施形態である光デバイス 1と同様である
[0047] 第 2の実施形態の光デバイス 50では、光ファイバ一用接着剤 A1が光ファイバ一結 合用溝 14bからあふれて露出部分 18に沿って流れ出した場合であっても、凸部 8a がダムの作用を果たし、光ファイバ一用接着剤 A1が光フィルタ設置用溝 12まで流れ ることを防止する。凸部 8aが光フィルタ設置用溝に近いほうが、あふれた光ファイバ 一用接着剤 A1の許容量が多くなる。特に、光ファイバ一用接着剤 A1の屈折率及び 光フィルタ用接着剤 A2の屈折率がそれぞれ、光ファイバ一 F1のコアの屈折率及び 光導波路層 4のコア 4aの屈折率に合わせて選択されて 、る場合、光デバイス 50の 反射戻り光が設計値よりも増大することが防止される。
[0048] 次に、図 3を参照して、本発明による光デバイスの第 3の実施形態を説明する。図 3 は、本発明の第 3の実施形態による光デバイスの斜視図である。
図 3に示すように、本発明の第 3の実施形態である光デバイス 60は、光導波路層 4 の第 2の側面 8が、凸部 8a'と凹部 8b'により構成される凹凸部を有していること以外 、第 1の実施形態の光デバイス 1と同様の構造を有している。従って、第 1の実施形 態と同様の構成要素に同じ参照番号を付し、それらの説明を省略する。
[0049] 第 2の側面 8は、光ファイバ一結合用溝 14bから光フィルタ設置用溝 12との間に設 けられた凸部 8aと、その両側に配置された凹部 8b'とを有している。それにより、光導 波路層 4の第 2の側面 8と基板 2の露出部分 18との間の境界線 22即ち段部 18'又は 凹部の内縁 22'は、伝搬方向 10aから横断方向 10bに向力つて湾曲している。凸部 8a'は、基板 2の側面 16まで達し、基板 2の側面 16と同じ面に位置する。光ファイバ 一結合用溝 14bから光フィルタ設置用溝 12との間の露出部分 18及び段部 18'が途 切れている。凸部 8a'の伝搬方向長さは、できるだけ短いことが好ましいが、ダイシン グブレードによって切断されたときに壊れない強度を有する長さが必要である。
[0050] 第 3の実施形態である光デバイス 60を製造し、光ファイバ一 F1及び光フィルタ F2 を光デバイス 60に組立てる方法は、第 1の実施形態である光デバイス 1と同様である
[0051] 第 3の実施形態の光デバイス 60では、光ファイバ一用接着剤 A1が光ファイバ一結 合用溝 14bからあふれて露出部分 18に沿って流れ出した場合であっても、凸部 8a' がダムの作用を果たし、光ファイバ一用接着剤 A1が光フィルタ設置用溝 12まで流れ ることを防止する。また、凸部 8a'が基板 2の側面 16と同じ面にあるので、ウェハをダ イシングブレードによって切断するとき、ダイシングブレードがクラッド 4bに接触するが 、凸部 8a'の伝搬方向長さが短ければ、十分、ダイシングブレードの目詰まりを防止 することができる。
[0052] 次に、図 4を参照して、本発明による光デバイスの第 4の実施形態を説明する。図 4 は、本発明の第 4の実施形態による光デバイスの斜視図である。
図 4に示すように、本発明の第 4の実施形態である光デバイス 70は、基板 2の側面 16に凹凸ができるように露出部分 18の位置を下げたこと以外、第 1の実施形態の光 デバイス 1と同様の構造を有している。従って、第 1の実施形態と同様の構成要素に 同じ参照番号を付し、それらの説明を省略する。
[0053] 基板の側面 16は、光ファイバ一結合用溝 14bから光フィルタ設置用溝 12との間に 設けられた凸部 16aを有し、その両側に露出部分 18が配置され、段部又は凹部 18' が構成されている。それにより、段部 18'の内縁 22'は、伝搬方向 10aから横断方向 10bに向かって湾曲している。また、光ファイバ一結合用溝 14bと光フィルタ設置用 溝 12との間の段部 18'が途切れている。
[0054] 第 4の実施形態である光デバイス 70を製造し、光ファイバ一 F1及び光フィルタ F2 を光デバイス 70に組立てる方法は、クラッド 4bを除去した後に露出部分 18を RIE等 により形成すること以外、第 1の実施形態である光デバイス 1と同様である。
[0055] 次に、図 5及び図 6を参照して、本発明による光デバイスの第 5の実施形態を説明 する。第 5の実施形態は、本発明の第 2の目的を達成できる実施形態である。図 5は 、本発明の第 5の実施形態による光デバイスの平面図であり、図 6は、図 5の光デバイ スの正面図である。
[0056] 図 5及び図 6に示すように、光デバイス 90は、第 1の実施形態の光導波路層 4の代 わりに 3つのレンズ 92a、 92b、 92c力 ^用!/、られて!/、る。図 5の光デノ イス 90に ίま、光 ファイバー F1及び光フィルター F2が搭載されて!、る。
[0057] 基板 2は、光伝搬方向 10aに延び、基板 2の中間部 2bの上には、レンズ 92a、 92b 、 92cが、例えば第 1の実施形態の光デバイス 1の光導波路 4のクラッド 4bと同じ材料 で積層される。基板 2は、光伝搬方向 10a及び横断方向 10bに延びる上面 2dを有し ている。
[0058] レンズ 92aは、基板 2の中間部 2bの一方の側に配置され、レンズ 92b、 92cは、そ の他方の則【こ酉己置されて ヽる。レンズ 92a、 92b, 92ciまそれぞれ光軸 94a、 94b、 9 4cを有している。光軸 94aと光軸 94bとは、同軸であり、光伝搬方向 10aに対して交 差角度 Θで斜めに真直ぐに延びている。光軸 94cは、光軸 94a及び光軸 94bに対し て斜めに交差し、且つ、光伝搬方向 10aに対して交差角度 Θで斜めに真直ぐに延び ている。レンズ 92bは、光軸 94a、 94b、 94cが交差する点 94dに対して、レンズ 92a と点対称に設けられている。また、レンズ 93cは、点 94dを通り横断方向 10bに延びる 線 94eに対して、レンズ 92aと線対称に設けられて 、る。
[0059] また、基板 2には、光フィルタ F2を設置するために基板 2を横断方向 10bに横切つ て延びる光フィルタ設置用溝 12が設けられている。光フィルタ設置用溝 12には、光 フィルタ F2を設置するために光フィルタ用接着剤 A2が使用される。
[0060] 光フィルタ用接着剤 A2は、一般的には、榭脂である。従って、光フィルタ F2と光フ ィルタ設置用溝 12との間の隙間 11は、榭脂を充填すべき榭脂充填部 11を構成する
[0061] 基板 2は、中間部 2bに対して両側に延長された延長部 2aを有し、延長部 2aは、光 ファイバー F1を搭載するための光ファイバ一搭載用凹部 14a、 14bを有している。本 実施形態では、光ファイバ一 F1をポート 4c、 4dと整列するように位置決めするため の V字形断面の V溝 14aと、光ファイバ一 F1の端部に設けられ且つ横断方向 10bに 延びる光ファイバ一結合用溝 14bとが設けられて 、る。この光ファイバ一結合用溝 14 bは、レンズ 92a、 92b、 92cと光ファイバ一 F1との光学的な結合部（光路）の下方に 位置し、レンズ 92a、 92b、 92cと近接している。光ファイバ一結合用溝 14bには、光 ファイバー F1を基板 2に固定するために光ファイバ一用接着剤 A1が使用される。光 ファイバー用接着剤 Alは、その屈折率が光ファイバ一 Flのコアの屈折率と近い値 になるように選択されるのがよい。基板 2は、シリコンで形成されることが好ましい。
[0062] 一方の側の光ファイバ一 F1は、その光軸 FAがレンズ 92aの光軸 94aと同軸になる ように配置されている。レンズ 92aは、光軸 94aを含み且つ上面 2dと垂直な平面に対 して対称な凸レンズであり、レンズ 92aの焦点が光ファイバ一 F1の先端又はその近 傍に位置するように形成されている。本実施形態では、レンズ 92aの 4つの側面 96は 、基板 2の上面 2dとほぼ垂直な面である。
[0063] 他方の側の光ファイバ一 Fl、レンズ 92b、レンズ 92cは、一方の側の光ファイバ一 F 1、レンズ 92aと同様の構造を有しているので、それらの説明を省略する。
[0064] 光ファイバ一用接着剤 A1は、一般的には、榭脂である。光ファイバ一結合用溝 14 bは、榭脂を充填すべき榭脂充填部 13を構成する。光ファイバ一 F1とレンズ 92a、 9 2b、 92cとの間に光ファイバ一接着剤 Alが介在することは好ましくない。
[0065] また、光フィルタ設置用溝 12及び光ファイバ一結合用溝 14bの端部には、榭脂充 填部 11又は 13と連通しており、榭脂を充填することなしに榭脂を溜めるための凹部 9 6a、 96bが形成されている。凹部 96a、 96bは、基板の上面 2dから下方に延びてい る。凹部 96a、 96bは、光フィルタ設置用溝 12と光ファイバ一結合用溝 14bとの間に 設けられることが好ましい。凹部 96a、 96bは、余分な榭脂が光デバイス 90の光路に 入り込まな 、ように、光路の下方又はその近傍に設けられることが好ま U、。
[0066] 光デバイス 90において、一方の側の光ファイバ一 F1に光を入射すると、光は、光フ アイバー F1の先端力も広がってレンズ 92aに入射し、レンズ 92aから出射するときに 平行光になる。この平行光は、光フィルタ F2を透過して、レンズ 92bに入射し、レンズ 92bから出射した後、焦点である他方の側の光ファイバ一 F1の先端に集まり、光ファ ィバー F1に伝搬する。
[0067] 第 5の実施形態である光デバイス 90を製造し、光ファイバ一 F1及び光フィルタ F2 を光デバイス 90に組立てる方法は、光導波路 4の代わりにレンズ 92a、 92b、 92cを 形成すること以外、第 1の実施形態である光合分波器 1の製造方法と同様である。従 つて、異なる部分だけを説明し、共通する部分の説明を省略する。
[0068] V溝 14aを形成した後、基板 2の中間部 2bにレンズ 92a、 92b、 92cを形成する。具 体的には、レンズ 92a、 92b、 92cをフッ素化ポリイミド等の高分子材料で形成する場 合には、スピン塗布ゃ铸型などによりクラッド層を形成する。次いで、フォトリソグラフィ 、反応性イオンエッチングなどのプロセスカ卩ェや、型押し等の機械加工により、クラッ ド層カもレンズ部分を除去して、所望の形態のレンズ 92a、 92b、 92cを形成する。
[0069] 光デバイス 90では、光フィルタ用接着剤 A2 (硬化前の榭脂）を光フィルタ設置用溝 12に滴下したとき、光フィルタ用接着剤 A2は光フィルタ設置用溝 12を横断方向 10b に広がった後、基板 2の側面を伝わらずに、光フィルタ設置用溝 12の端部に設けら れた凹部 96aに流れ込み、又は、基板 2の側面を伝わって力も光ファイバ一結合用 溝 14bの端部に設けられた凹部 96bに流れ込む。凹部 96a、 96bは、硬化前の榭脂 を遠くに移動させる作用を有して 、な 、ので、光フィルタ用接着剤 A2が光ファイバ一 結合用溝 14bに入り込むことが防止され、その結果、榭脂の不必要な広がりが防止さ れる。光ファイバ一用接着剤 A1 (硬化前の榭脂）を光ファイバ一結合用溝 14bに滴 下したときも同様である。
[0070] また、光ファイバ一用接着剤 A1 (硬化前の榭脂)を光ファイバ一結合用溝 14bに滴 下したとき、光ファイバ一用接着剤 A1が光ファイバ一結合用溝 14bから盛り上がるが 、その後、四咅 96bに流れ込む。それにより、光ファイノ一 F1とレンズ 92a、 92b、 92 cとの間に樹脂が介在することが防止される。
[0071] 次に、図 7及び図 8を参照して、本発明による光デバイスの第 6の実施形態を説明 する。第 6の実施形態は、本発明の第 2の目的を達成できる実施形態である。図 7は 、本発明の第 6の実施形態による光デバイスの平面図であり、図 8は、図 7の光デバイ スの正面図である。
[0072] 図 7及び 8に示すように、本発明の第 6の実施形態である光デバイス 100は、凹部 9 6a、 96bの位置が異なること以外、第 5の実施形態の光デバイス 90と同様の構造を 有している。従って、第 5の実施形態と同様の構成要素に同じ参照番号を付し、それ らの説明を省略する。
[0073] 光フィルタ設置用溝 12は、その端部に凹部 102aが設けられ、その中間部に凹部 1 02bが設けられている。凹部 102a、 102bは、光フィルタ F2と光フィルタ設置用溝 12 との間の隙間 (榭脂充填部） 11と連通しており、榭脂を充填することなしに榭脂を溜 めるために基板の上面 2dから下方に延びて 、る。
[0074] また、光ファイバ一結合用溝 14bは、その端部に凹部 104aが設けられ、その中間 部に凹部 104bが設けられている。凹部 104a、 104bは、光ファイバ一結合用溝から 流れ出た榭脂を溜めるために基板の上面 2dから下方に延びている。
[0075] 凹部 102a、 102b, 104a, 104bは、余分な榭脂が光デバイス 100の光路に入り込 まな 、ように、光路の下方又はその近傍に設けられることが好ま 、。
[0076] 第 6の実施形態である光デバイス 100を製造し、光ファイバ一 F1及び光フィルタ F2 を光デバイス 100に組立てる方法は、第 5の実施形態である光デバイス 90と同様で ある。
[0077] 光デバイス 100では、光フィルタ F2を設置するための光フィルタ設置用溝 12と光フ ィルタ F2との間の隙間 11に充填された光フィルタ用接着剤 A1は、いったん、光フィ ルタ設置用溝 12から基板 2の上面 2dにあふれ、基板 2の上に盛り上がる（図 8の A2' 参照)。この状態で光フィルタ用接着剤 A2が硬化すると、レンズ 92aから出射された 光力 光フィルタ F2ではなぐ盛り上がった光フィルタ用接着剤 A2'に入射する。し 力しながら、隙間 11内の光フィルタ用接着剤 A2は、引続いて凹部 102a、 102bに流 れ込み、光フィルタ設置用溝 12からあふれていた光フィルタ用接着剤 A2'は隙間 11 内に戻る。それにより、榭脂の不必要な広がりが防止される。
[0078] また、光ファイバ一用接着剤 A1 (硬化前の榭脂)を光ファイバ一結合用溝 14bに滴 下したとき、光ファイバ一用接着剤 A1が光ファイバ一結合用溝 14bから盛り上がるが 、その後、凹部 104a又は 104bに流れ込む。それにより、光ファイバ一 F1とレンズ 92 a、 92b、 92cとの間に樹脂が介在することが防止される。
[0079] 以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、以上の実施の形態に限定され ることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、 それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは 、うまでもな 、。
上記実施形態では、光デバイス 1、 50、 60、 70を、ウエノ、から切り出した直後のも のとして説明した力 それに光ファイバ一 F1及び Z又は光フィルタ F2等を搭載した ものも、本発明の光デバイスに含まれる。
また、上記実施形態では、光デバイス 90、 100は光ファイバ一 F1及び光フィルタ F 2を搭載しているが、それらの一方又は両方を搭載する前の光デバイスも本発明に 含まれる。
また、上記第 2〜第 4の実施形態において、境界線 22及び段部 18 'の内縁 22'は 、伝搬方向 10aから横断方向 10bに向力つて湾曲しているが、任意の角度で方向を 変えてもよい。
また、上記第 2〜第 4の実施形態において、凸部 8a、 8a'、 16aの両側に露出部分 が設けられたが、その一方だけに設けられて 、てもよ 、。
また、上記実施形態では、光ファイバ一 F1を光デバイス 1に搭載したが、基板 2の 延長部 2aを省略することにより、光ファイバ一アレイを搭載してもよい。
また、上記第 5の実施形態では、凹部 96a、 96bを光フィルタ設置用溝 12と光フアイ バー結合用溝 14の端部に設けたけれども、榭脂の広がりを防止することができれば 、凹部 96a、 96bが光フィルタ設置用溝 12と光ファイバ一結合用溝 14の中間に位置 していてもよい。
図面の簡単な説明
[0080] [図 1]本発明の第 1の実施形態による光デバイスの斜視図である。
[図 2]本発明の第 2の実施形態による光デバイスの斜視図である。
[図 3]本発明の第 3の実施形態による光デバイスの斜視図である。
[図 4]本発明の第 4の実施形態による光デバイスの斜視図である。
[図 5]本発明の第 5の実施形態による光デバイスの斜視図である。
[図 6]本発明の第 5の実施形態による光デバイスの正面図である。
[図 7]本発明の第 6の実施形態による光デバイスの斜視図である。
[図 8]本発明の第 6実施形態による光デバイスの正面図である。
[図 9]従来の光デバイスの斜視図である。
符号の説明
[0081] 1、 50、 60、 70、 光デバイス
2 基板
2a 延長部
4 光導波路層 6a, 6b 第 1の側面 8 第 2の側面
8a、 8a '凸部
8b 凹部
11 隙間 (樹脂充填部） 12 光フィルタ設置用溝 13 隙間 (樹脂充填部） 14a V溝
14b光ファイバ一結合用溝
16 基板の側面
18 露出部分
18 ' 段部（凹部）
22 境界線
F1 光フィルタ
F2 光ファイバ
90 100 光デバイス
92 &、 92b、 92c レンズ
96a, 96b 凹部
102a, 102b 凹部
104a, 104b 凹部

Claims

請求の範囲
[1] 基板と、該基板の上に積層された光導波路層とを有する光デバイスであって、 前記光導波路層は、光ファイバ一又は光ファイバ一アレイが接合される第 1の側面 と、光ファイバ一又は光ファイバ一アレイが接合されな 、第 2の側面とを有し、 前記基板は、前記光導波路層の第 2の側面と同じ側にある側面を有し、 前記光導波路層の第 2の側面の少なくとも一部は、前記基板の側面と異なる面内 に位置し、前記光導波路層の第 2の側面と前記基板の側面との間に基板の露出部 分が形成されることを特徴とする光デバイス。
[2] 前記光導波路層の第 2の側面がほぼ平らであることを特徴とする請求項 1に記載の 光デバイス。
[3] 前記光導波路層の第 2の側面が凹凸部を有することを特徴とする請求項 1に記載 の光デバイス。
[4] 前記凹凸部により、前記基板の露出部分が途切れることを特徴とする請求項 3に記 載の光デバイス。
[5] 前記基板は、前記第 1の側面の側に光導波路層を積層していない部分を有し、こ の部分に光ファイバ一搭載用凹部を有することを特徴とする請求項 1〜4の 、ずれか
1項に記載の光デバイス。
[6] 前記光導波路層に、光フィルタ設置用溝を有することを特徴とする請求項 1〜5の いずれか 1項に記載の光デバイス。
[7] 更に、光フィルタを有することを特徴とする請求項 1〜5のいずれか 1項に記載の光 デバイス。
[8] 前記光導波路層がポリマ層であることを特徴とする請求項 1〜7のいずれか 1項に 記載の光デバイス。
[9] 基板と、基板に搭載される光部品と、基板に設けられ且つ樹脂が充填される榭脂 充填部と、を有する光デバイスにおいて、
更に、榭脂充填部と連通し榭脂を溜めるための凹部を有することを特徴とする光デ バイス。
[10] 前記光部品は、光ファイバ一と光学的に結合されるレンズ又は光導波路と、光フィ ルタと、を有し、
前記榭脂充填部は、光ファイバ一との結合部において基板を横切る第 1の溝と、光 フィルタを設置するために基板を横切って形成された第 2の溝と、を有し、
前記凹部は、第 1の溝と第 2の溝の少なくとも一方の端部に設けられることを特徴と する請求項 9に記載の光デバイス。
[11] 前記光部品は、光ファイバ一と光学的に結合されるレンズ又は光導波路であり、 前記榭脂充填部は、光ファイバ一との結合部において基板を横切る第 1の溝であり 前記凹部は、第 1の溝の少なくとも一部分に隣接して設けられることを特徴とする請 求項 9に記載の光デバイス。
[12] 前記光部品は、光ファイバ一と光学的に結合されるレンズ又は光導波路と、光フィ ルタと、を有し、
前記榭脂充填部は、光フィルタを設置するために基板を横切って形成された第 2の 溝を有し、
前記凹部は、前記第 2の溝の少なくとも一部分に隣接して設けられることを特徴とす る請求項 9に記載の光デバイス。
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