WO2006132078A1 - 貼付制御装置 - Google Patents

Description

明 細 書

貼付制御装置

技術分野

[0001] 本発明は、半導体ウェハ等の板状部材を貼り付ける装置に適用される貼付制御装 置、貼付制御方法に関する。

背景技術

[0002] この種の貼付制御装置としては、例えば、特許文献 1の構造のものが知られている 。同文献 1の貼付制御装置は、貼付テーブル (6)上の半導体基板 (W)に粘着フィル ム (Tf)を貼り付ける前に、 CCDカメラ（43)で粘着フィルム (Tf)の X方向位置ずれを 検出し、また CCDカメラ (44)で粘着フィルム (Tf)の角度ずれを検出し、その検出結 果に基づいて半導体基板 (W)の位置を修正するように制御している。尚、上記カツコ 内の符号は特許文献 1で用いられて ヽる符号である。以下も同様である。

[0003] し力しながら、上記のような従来の貼付制御装置にあっては、 CCDカメラ (43、 44) を用いる方式を採用しているため、装置全体が高価なものとなる。また、 CCDカメラ（ 43、 44)で粘着フィルム (Tf)の X方向位置ずれ及び角度ずれを検出する構成を採 つているので、そのずれの検出にあたり、 CCDカメラ（43、 44)で撮像した画像の解 析処理等も行なわなければならず、位置修正の制御が煩雑で複雑なものとなる。

[0004] 特許文献 1 :特開平 7— 195527号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] 本発明は前記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、簡単な制 御で安価に貼り付け制御を行なえる貼付制御装置、貼付制御方法を提供することで ある。

課題を解決するための手段

[0006] 前記目的を達成するために、本発明の貼付制御装置は、搬送手段が第 1の支持部 材に貼り付けられた板状部材を搬送する動作に同期して、保持ローラがその軸心回 りに回動することにより、前記板状部材に当接して当該板状部材を剥離保持し、剥離 の完了後に、剥離時とは逆方向に前記搬送手段が第 2の支持部材を搬送する動作 に同期して、前記保持ローラがその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することによ り、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記第 2の支持部材に貼り付ける装 置に適用される貼付制御装置であって、前記貼付制御装置は、前記保持ローラの外 周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板状部材の監視ポイント 進入と監視ポイント通過に応じて ON又は OFFの信号を出力する ONZOFFセンサ と、前記 ONZOFFセンサ力もの出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持され て 、る板状部材につ 、て保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向のずれ角 を補正する補正手段とを具備し、前記補正後に、前記貼り付け動作を開始することを 特徴とするものである。

[0007] 上記本発明の貼付制御装置において、前記第 1の支持部材はガラス板であり、前 記第 2の支持部材はリングフレームであって、前記板状部材は半導体ウェハであり、 前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクシヨンローラであり、接 着シートの非接着剤面を吸引し、当該接着シートの接着剤面が前記半導体ウェハに 当接することによってその接着力により当該半導体ウェハを保持し、前記ガラス板か ら剥離し、当該半導体ウェハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付 けるものでもよい。

[0008] 本発明の貼付制御装置は、搬送手段が被着体を搬送する動作に同期して保持口 ーラがその軸心回りに回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部 材を前記被着体に貼り付ける装置に適用される貼付制御装置であって、前記貼付制 御装置は、前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持され ている板状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じて ON又は OFFの信 号を出力する ONZOFFセンサと、前記 ONZOFFセンサからの出力信号に基づい て、前記保持ローラに保持されている板状部材について保持ローラ回転軸方向のず れ量および円弧方向のずれ角を補正する補正手段とを具備し、前記補正後に、前 記貼り付け動作を開始することを特徴とするものである。

[0009] 前記本発明の貼付制御装置において、前記被着体は、予め接着シートが貼り付け られたリングフレームであり、前記板状部材は半導体ウェハであって、前記保持ロー ラに保持されている前記半導体ウェハを前記接着シートを介して前記リングフレーム に貼り付けるようにしてもよい。

[0010] 本発明の貼付制御方法は、搬送手段が第 1の支持部材に貼り付けられた板状部材 を搬送する動作に同期して、保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記 板状部材に当接して当該板状部材を剥離保持し、剥離の完了後に、剥離時とは逆 方向に前記搬送手段が第 2の支持部材を搬送する動作に同期して、前記保持ローラ がその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することにより、前記保持ローラに保持さ れている板状部材を前記第 2の支持部材に貼り付ける装置に適用される貼付制御方 法であって、前記貼付制御方法は、前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前 記保持ローラに保持されている板状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応 じて ON又は OFFの信号を出力する ONZOFFセンサを用い、前記 ONZOFFセン サからの出力信号に基づ 、て、前記保持ローラに保持されて 、る板状部材につ 、て 保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向の中心のずれ角を補正し、前記補 正後に、前記貼り付け動作を開始することを特徴とする。

[0011] 上記本発明の貼付制御方法において、前記第 1の支持部材はガラス板であり、前 記第 2の支持部材はリングフレームであって、前記板状部材は半導体ウェハであり、 前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクシヨンローラであり、接 着シートの非接着剤面を吸引し、当該接着シートの接着剤面が前記半導体ウェハに 当接することによってその接着力により前記半導体ウェハを保持し、前記ガラス板か ら剥離し、当該半導体ウェハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付 けるものとしてよい。

[0012] 本発明の貼付制御方法は、搬送手段が被着体を搬送する動作に同期して保持口 ーラがその軸心回りに回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部 材を前記被着体に貼り付ける装置に適用される貼付制御方法であって、前記貼付制 御方法は、前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持され ている板状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じて ON又は OFFの信 号を出力する ONZOFFセンサを用い、前記 ONZOFFセンサ力 の出力信号に 基づいて、前記保持ローラに保持されている板状部材について保持ローラ回転軸方 向のずれ量および円弧方向の中心のずれ角を補正し、前記補正後に、前記貼り付 け動作を開始することを特徴とするものである。

[0013] 上記本発明の貼付制御方法において、前記被着体は、予め接着シートが貼り付け られたリングフレームであり、前記板状部材は半導体ウェハであって、前記保持ロー ラに保持されている前記半導体ウェハを前記接着シートを介して前記リングフレーム に貼り付けるものとしてよい。

発明の効果

[0014] 本発明にあっては、 ONZOFFセンサ力 の出力信号に基づいて、保持ローラに 保持されて 、る板状部材につ 、て保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向 の中心のずれ角を補正する構成を採用したので、 CCDカメラを用いる方式のように 画像の解析処理等も必要とせず、簡単な制御で安価に貼り付け制御を行なえる画像 処理装置を提供しうる。

発明を実施するための最良の形態

[0015] 以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しなが ら詳細に説明する。

[0016] 図 1は本発明を適用した転写装置の平面図、図 2は図 1の転写装置に設けられて V、る保持ローラ付近の右側面図である。

[0017] 図 1の転写装置 1は、図 2のようにガラス板 G (第 1の支持部材）に貼り付けられた半 導体ウェハ (板状部材) W (以後、単に「ウェハ W」と称す)を剥離してリングフレーム（ 第 2の支持部材) Fに貼り付ける転写装置である。

[0018] 転写装置 1は保持ローラとしてのサクシヨンローラ 2を備えている。サクシヨンローラ 2 はその軸心が X軸と平行となるように回転可能に支持されている。また、サクシヨン口 ーラ 2は、そのローラ外周面に微小な多数の吸引口（図示省略）が開口する構造にな つていて、その吸引力でダイシングテープ T2 (接着シート）を吸引保持する。その際、 ダイシングテープ Τ2の非接着剤面がサクシヨンローラ 2外周面に貼り付き、ダイシン グテープ Τ2の接着剤面 T2—1は表に露出した状態でウェハ Wを保持する構成とな つている。

[0019] また、前記サクシヨンローラ 2は、プーリ 5とベルト 6とを介してサクシヨンローラ駆動用 サーボモータ 7により回転駆動される。このようなサクシヨンローラ駆動系 5、 6、 7およ びサクシヨンローラ 2は、図 2に示されるようにフレーム F1を介して昇降手段 XIによつ て、ダイシングテープ T2を吸引保持する位置と、ウェハ Wを剥離又は貼り付ける位 置とで Z軸方向に上下動可能に構成されている。尚、前記サクシヨンローラ 2は、具体 的には図 9に示したように、サクシヨンローラ 2外周面全体のうち、ウェハ Wの外径より 少し小さな面積エリア 2Aに多数の吸引口を有し、その面積エリア 2Aでダイシングテ ープ T2を吸引吸着する構造になって 、る。

[0020] サクシヨンローラ 2の下方には搬送テーブル (搬送手段） 8が設けられて 、る。この搬 送テーブル 8は、 Y軸テーブル 801と X軸テーブル 802の 2段重ね構造であって、力 つ、 Y軸方向すなわちサクシヨンローラ 2の外周接線方向への移動と、 X軸方向すな わちサクシヨンローラ 2の外周接線方向と直交する方向への移動が可能に構成され ている。この搬送テーブル 8は、 Y軸方向への移動により、サクシヨンローラ 2前方のス タンバイ位置 S1とサクシヨンローラ 2の下面を通過してサクシヨンローラ 2後方の作業 エリア S2間とで進退可能となっている。尚、 Y軸方向への搬送テーブル 8の移動は Y 軸レール 803と Y軸スライダ 804並びに図示しない Y軸方向単軸ロボットを介して行 なわれ、また X軸方向への搬送テーブル 8の移動は X軸レール 805と X軸スライダ 80 6並びに X軸方向単軸ロボット 807を介して行なわれる。

[0021] 搬送テーブル 8のスタンバイ位置 S1前方には多関節ロボット 9が設けられている。

多関節ロボット 9は、その最先端の関節より先のアーム部分力 ウェハ吸着用アーム 9 01とリングフレーム吸着用アーム 902によって構成されており、この多関節ロボット 9 の作業内容は以下の通りである。

[0022] (1)ウェハ吸着用アーム 901により、 Z軸方向へ移動可能な昇降テーブル 10上の ウェハカセット 11内から図示しな 、紫外線硬化型の両面粘着テープを介して、ガラス 板 Gに貼り付けられたウェハ W (以後、「ガラス板 G付きウェハ W」と称す)を取り出し てァライメント装置 12のァライメントテーブル 120上にセットする。

(2)ウェハ吸着用アーム 901により、ァライメント完了後のガラス板 G付きウェハ Wを ァライメント装置 12から取り出して紫外線照射装置 13の搬送テーブル 130上にセット する。 (3)ウェハ吸着用アーム 901により、紫外線照射後のガラス板 G付きウェハ Wを紫 外線照射装置 13から取り出して搬送テーブル 8上にセットする。

(4)リングフレーム吸着用アーム 902により、リングフレーム Fにマウント済みウェハ Wを昇降テーブル 14上のウェハカセット 15内に移送し装填する。

[0023] 前記ァライメント装置 12では、ァライメントテーブル 120上にガラス板 G付きウェハ Wがセットされると、ウェハ Wのオリエンテーションフラットまたは Vノッチ等をカメラ 12 1で検出し、ガラス板 G付きウェハ Wを適正な姿勢に修正し、その中心位置を検出す る。

[0024] 前記紫外線照射装置 13においては、同装置内の搬送テーブル 130上にガラス板 G付きウェハ Wがセットされ、紫外線ランプ 131の下方を通過することにより、ガラス板 Gを透過してガラス板 Gとウェハ Wとの間の前記両面粘着テープに紫外線が照射さ れ、両面粘着テープの粘着力が低下される。

[0025] また、転写装置 1にはカツタ刃 16が設けられている。このカツタ刃 16は、ガラス板 G 力 ウェハ Wを剥離する際の剥離の切っ掛けを形成する手段として設けたものであり 、移動する搬送テーブル 8と干渉しな 、ように上方から吊り下げられる形式で上下動 可能に設置されている。

[0026] 前記サクシヨンローラ 2の後方斜め上部にはダイシングテープ繰出し装置 17が設け られている。このダイシングテープ繰出し装置 17は、ドライブローラ 170の回転駆動 により、ダイシングテープ原反ロール Rからピールプレート 171の方向に向かって掛 け回わされたダイシングテープ原反 Tをピールプレート方向へ走行させ、ピールプレ ート 171での鋭角な折り曲げにより、ダイシングテープ T2を剥離シート T1から剥離し てサクシヨンローラ 2へ供給する構成になっている。尚、ダイシングテープ剥離済みの 剥離シート T1はロール状に巻き取られて回収される。また、前記ダイシングテープ T 2は、ウェハ Wより大径に形成されて、剥離シート T1上に接着剤層（図示省略)を介 して仮着されて 、るものである。

[0027] サクシヨンローラ 2後方の作業エリア S2では、搬送テーブル 8へのリングフレーム F のセット作業と、搬送テーブル 8からのガラス板 Gの取り除き作業とが同時並列的に 行なわれる。これらの作業を行なう手段として、作業エリア S2にはリングフレーム吸着 パッド 180とガラス板吸着パッド 181を有する搬送ロボット 18が設けられている。搬送 ロボット 18は、 X軸方向へ移動可能な X軸スライダ 182を有する単軸ロボットからなり 、 X軸スライダ 182の左右両側に上下用シリンダ 183、 184を具備する構造になって いる。図 1中左側の上下用シリンダ 183はリングフレーム吸着パッド 180を Z軸方向に 上下動させる手段であり、また、同図中右側の上下用シリンダ 184はガラス板吸着パ ッド 181を Z軸方向に上下動させる手段である。以上の構造力もなる搬送ロボット 18 の作業内容は以下の通りである。

[0028] (1) リングフレーム吸着パッド 180により、リングフレームストツ力 19からリングフレ ーム Fを取り出して搬送テーブル 8上にセットする。

(2) ガラス板吸着パッド 181により、搬送テーブル 8上にあるウェハ剥離済みのガ ラス板 Gをガラスストツ力テーブル 20へ移動する。

[0029] サクシヨンローラ 2の外周面と所定の間隔を隔てて対向する位置には、一対の ON ZOFFセンサ 21、 22が設けられている。これら一対の ONZOFFセンサ 21、 22は、 図 3に示したように、搬送テーブル 8上のウェハ Wの中心線 C 1を基準にウェハ Wの 直径より短い配置間隔 Dで、左右等間隔に並列に配置されている。また、この両 ON ZOFFセンサ 21、 22は、作業エリア S2側力 サクシヨンローラ 2外周面をポイントで 監視し（図 2参照）、サクシヨンローラ 2に保持されているウェハ Wの監視ポイント進入 と監視ポイント通過に応じて ON又は OFFの信号を出力する。具体的には、サクショ ンローラ 2に保持されているウェハ Wが監視ポイントに進入すると ON信号を出力し、 監視ポイントを当該ウェハ Wが通過すると OFF信号を出力する。また、 ONZOFFセ ンサ 21、 22からの出力信号（ON信号、 OFF信号）は、パーソナルコンピュータ等か らなる図 2に示す制御装置 23に入力される。

[0030] 制御装置 23は、ウェハの剥離力も貼付までの一連の動作を制御する装置 (剥離お よび貼付制御装置)であって、サクシヨンローラ駆動用サーボモータ 7に対し回転指 令信号を出力したり、搬送テーブル 8に対し移動指令信号を出力したりする等、本転 写装置の各種構成機器に指令信号を出力する機能を有するほか、図 12のようにパ ルスカウント機能、弦長演算機能、ずれ量演算機能、補正機能 (補正手段)を有して いる。 [0031] 前記制御装置 23のパルスカウント機能は、一対のセンサ 21、 22ごとに、各センサ の出力信号が ON信号力 OFF信号になるまでのサクシヨンローラ駆動用サーボモ ータ 7の回転パルスをカウントする機能である。

[0032] 前記制御装置 23の弦長演算機能は、前記回転パルスのカウント値分に相当する サクシヨンローラ 2の回転角度を求め、その回転角度を基に、図 3に示すようにサクシ ヨンローラ 2に保持されているウェハ Wの弦の長さ a、 bを算出する機能である。尚、図 3中の aは図中左側のセンサ 21からの出力信号に基づき算出される弦の長さ、図 3中 の bは図中右側のセンサ 22からの出力信号に基づき算出される弦の長さである。

[0033] 前記制御装置 23のずれ量演算機能は、下記の式（1)、 (2)に基づき図 3中の Aと B の長さを算出し、式（3)によって前記 A、 Bの差の半分をウェハ Wの中心線 C2の X軸 方向ずれ量 Cと特定して記憶する機能である。尚、下記の式（1)、（2)の rはウェハ W の半径であり、ウェハ Wの半径が変わればそれに応じて式内の rの値も適宜変更され る。

[0034] A= (r²- (a/2) ²) ^1/2 …ひ）

B= (r²- (b/2) ²) ^1/2 …

C= (A-B) /2 - -- (3)

また、ウェハ Wの X軸方向ずれ量 Cは、 ONZOFFセンサ 21、 22の配置間隔 Dを 用いて下記の式 (4)でも算出することもできる。

C = D— A 又は C = D— B - -- (4)

[0035] 前記制御装置 23のずれ量演算機能は、更に図 4に示すように aZ2または bZ2と いう計算式より、ウエノ、 Wの中心位置が、サクシヨンローラ 2の円弧方向に、貼付中心 力もどれだけずれている力 (以下「中心ずれ角 0」という）を特定して記憶するという機 能も含んでいる。ここで、貼付中心とは、剥離したウェハ Wをリングフレーム Fへ貼り付 ける際の基準位置であり、当該貼付中心が前記リングフレーム Fの中心と合致するよ うに貼り付ける所定の位置を意味する。本実施形態では、 Y軸と平行な位置を貼付 中心と設定しているため、 aZ2または bZ2で算出されたウェハ Wの中心が Y軸から サクシヨンローラ 2の円弧方向にどれだけずれているかが中心ずれの角 Θとなる。中 心ずれ角 Θはサクシヨンローラ駆動用サーボモータ 7の回転パルス数に換算して記 憶されるものとする。

[0036] 前記制御装置 23の補正機能は、上記 X軸方向ずれ量を補正する機能と、前記中 心ずれ角を補正する機能とに大別される。これらの補正機能は以下のようなものであ る。

[0037] X軸方向ずれ量の補正機能は、ガラス板 Gからのウェハ Wの剥離時に X軸方向ず れが生じた場合、その X軸方向ずれ量をなくして転写するため、 X軸方向ずれ量 Cを 算出してその分だけ移動するように X軸方向単軸ロボット 807に指令し、搬送テープ ル 8を移動させ、補正して貼り付けるものである。 X軸方向にずれが生じたままダイシ ングテープ T2を介してリングフレーム Fにウェハ Wが貼り付けられてしまうと、後で行 なわれるウェハ Wのダイシング作業に支障が生じる力 本実施形態では X軸方向ず れ量を補正するため、かかる支障は生じない。

[0038] 中心ずれ角の補正機能は、上記同様に、ガラス板 Gからのウェハ Wの剥離時にサ クシヨンローラ 2の所定位置 (本実施形態では、 Y軸と平行な位置）とウェハ Wとの中 心にずれが生じた場合、そのずれをなくして転写するため、中心ずれ角 Θを算出し て補正するものである。つまり、リングフレーム Fへの貼付後のウェハ Wの Y軸方向へ のずれ量を補正する。この補正は、中心ずれ角 Θを考慮に入れて、リングフレーム F への貼付開始位置を前後させるものである。また、サクシヨンローラ 2が貼付動作に入 る前に、ウェハ Wの中心を Y軸と平行となるように中心ずれ角 Θを進角または退角さ せてからリングフレーム Fに貼り付けるようにしてもよい。中心ずれ角 0を無視してゥェ ハ Wの貼り付けが行なわれると、リングフレーム Fとウェハ Wの中心位置に Y軸方向 のずれが生じ、後で行なわれるウェハ Wのダイシング作業に支障が生じるが、本実施 形態ではリングフレーム Fに貼付後 Y軸方向への補正を行なうため、かかる支障は生 じない。

[0039] 次に、前記の如く構成された図 1の転写装置の動作について、図 1乃至図 8を用い て説明する。

[0040] <ガラス板付きウェハのァライメント >

図 1の転写装置 1においては、最初に、図 1に示すウェハカセット 11からガラス板 G 付きウェハ Wが取り出されァライメント装置 12内に移送され、同装置 12で当該ウェハ wのァライメントが行なわれる。

[0041] <紫外線照射 >

前記ァライメントが終了すると、ガラス板 G付きウェハ Wが紫外線照射装置 13内に 移送され、同装置 13内でガラス板 Gとウェハ Wとの間の紫外線硬化型の両面粘着テ ープに紫外線が照射される。これにより当該両面粘着テープの粘着力が低下し、ゥ ェハ Wが簡単に剥離可能な状態になる。

[0042] <剥離の切っ掛け形成 >

また、ウェハ Wの剥離準備の一環として、剥離の切っ掛けを形成する動作も行なわ れる。すなわち、紫外線照射が完了すると、ガラス板 G付きウェハ Wはスタンバイ位置 S 1にある搬送テーブル 8上に吸着セットされる。この状態でカツタ刃 16が図示しな ヽ 移動機構によってガラス板 G付きウェハ Wの外周面側から、ウェハ Wと紫外線硬化 型の両面粘着テープとの間に刃先が入り込み、剥離の切っ掛けとなる切り込みが形 成される（詳しくは特願 2004— 237332号参照)。

[0043] <ダイシングテープのセット >

さらに、ウェハ Wの剥離準備の一環として、サクシヨンローラ 2にダイシングテープ T 2をセットする動作も行なわれる。すなわち、サクシヨンローラ 2が図 2のようにダイシン グテープ T2を吸引保持する位置で同図矢印ィの方向に所定の回転角回転し、この 回転動作に同期してダイシングテープ繰出し装置 17からサクシヨンローラ 2の外周面 にダイシングテープ T2がー枚繰出される。このとき、サクシヨンローラの吸引力でダイ シングテープ T2がその外周面に吸引されて保持される。尚、サクシヨンローラ 2外周 面に当接するのはダイシングテープ T2の非接着面であり、ダイシングテープ T2の接 着剤面 T2—1は表に露出することとなる。

[0044] <ウェハの剥離 >

上記の剥離準備が完了すると、ガラス板 G付きウェハ Wからウェハ Wを剥離する動 作が行なわれる。すなわち、図 5のようにスタンバイ位置 S1にある搬送テーブル 8が ガラス板 G付きウェハ Wをサクシヨンローラ 2の方向に搬送する。搬送テーブル 8が所 定位置に達したことを図示しな 、センサが検知して、昇降手段 XIによってサクシヨン ローラ 2が下降し、搬送テーブル 8の搬送と同期してサクシヨンローラ 2が図 5中矢印ィ で示す方向に回転し、ダイシングテープ T2の接着剤面 T2— 1でウェハ Wを徐々に 剥離し保持する。つまり、ここではダイシングテープ T2の接着剤面 T2—1がウェハ W に当接することによってその接着力により当該ウェハ Wを保持する。剥離が完了し、 所定角度回転した位置でサクシヨンローラ 2の回転は停止し、昇降手段 XIによって サクシヨンローラ 2は上昇して待機する。このときの状態を示したものが図 6である。

[0045] <リングフレームのセット >

以上のようにしてウェハ Wの剥離が完了すると、ウェハ Wをリングフレーム Fに貼り 付ける準備に入る。すなわち、図 7に示したように、搬送テーブル 8が作業エリア S2ま で更に前進し、搬送ロボット 18が搬送テーブル 8上力ものガラス板 Gの除去と、リング フレーム Fのセットとを同時に行なう。

[0046] くウェハのァライメント >

また、ウェハ Wの貼付準備の一環として、サクシヨンローラ 2に保持されているゥェ ハ Wについてァライメントが行なわれる。このァライメントは前述の通り、ウェハ Wの X 軸方向ずれ量と、ウェハ Wの中心ずれ角 Θを特定するものである。

[0047] <ウェハの貼付 >

上記のァライメントが完了すると、その後、ダイシングテープ T2を介してウェハ Wを リングフレーム Fに貼り付ける動作が行なわれる。すなわち、図 8に示したように作業 エリア S2にある搬送テーブル 8がリングフレーム Fを前記剥離時とは逆の方向に搬送 する。この搬送の動作に同期してサクシヨンローラ 2が前記剥離時とは逆の方向（図 中矢印ハで示す方向）に回転する。これらの動作により、サクシヨンローラ 2に保持さ れているウェハ Wがダイシングテープ T2を介してリングフレーム Fに貼り付けられて いく。尚、この貼り付けに際して、前記ウェハのァライメントで特定されたウェハ Wの X 軸方向のずれ量と、ウェハ Wの中心ずれ角 Θの補正が行われる。すなわち、 X軸方 向単軸ロボット 807によって X軸方向のズレ量が補正され、昇降手段 XIの下降によ る貼付け開始位置を前後させることによって Y軸方向のズレ量が補正される。これに より、リングフレーム F内に正確にウェハ Wが貼り付けられることとなる。この貼付の動 作はサクシヨンローラ 2の回転角度に応じて進行し、リングフレーム Fにウェハ Wが貼 り付けマウントされ、所定角進んだ位置で、サクシヨンローラ 2の回転は停止し、昇降 手段 XIが上昇し、初期位置に復帰する。その後、次の転写のため前述したダイシン グテープのセット動作が行なわれる。

[0048] リングフレーム Fにマウントされたウェハ Wはリングフレーム Fとともにウェハカセット 1 5内に収容される。以上で一枚のウェハ Wについての剥離力 貼付という一連の転 写動作が完結する。

[0049] 図 10は本発明を適用した他の転写装置の説明図である。同図の転写装置 1は、剥 離シート (第 1の支持部材) Kに貼り付けられた粘着ラベル (板状部材) Lを剥離してラ ベル貼付対象物 (第 2の支持部材) Mに貼り付ける装置である。この装置の基本的な 構成は図 1の転写装置と同様なため、それと同一部材には同一の符号を付し、その 詳細説明は省略する。図 10の転写装置が図 1の転写装置と異なるところは以下の点 である。

[0050] すなわち、図 10の転写装置においては、サクシヨンローラ 2外周面そのもので剥離 シート K付き粘着ラベル L力も粘着ラベル Lを剥離し、保持するようになっている。尚、 剥離シート K付き粘着ラベル Lは、その粘着剤層（図示省略)を介して剥離シート Kに 仮着されたものである。

[0051] 図 10の転写装置において、上記のような剥離シート K付き粘着ラベル L力も粘着ラ ベル Lを剥離する動作や、その剥離した粘着ラベル Lをラベル貼付対象物 Mに貼り 付ける動作については、図 1の転写装置と基本的に同様である力 これらの動作を以 下に簡単に説明する。

[0052] 剥離の動作は、搬送テーブル 8が剥離シート K付き粘着ラベル Lを搬送し、所定の 位置でサクシヨンローラが下降し、搬送テーブル 8の搬送と同期してサクシヨンローラ 2 がその軸心回りに回動し、所定角度回転した位置で停止することにより、ラベル Lを 剥離し保持するものである。

[0053] 貼付の動作は、剥離時とは逆方向に前記搬送テーブル 8がラベル貼付対象物 Mを 搬送し、所定の位置でサクシヨンローラが下降し、搬送テーブル 8の搬送と同期して サクシヨンローラ 2がその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することにより、そのサ クシヨンローラ 2に保持されている粘着ラベル Lがラベル貼付対象物 Mに貼り付けら れるものである。 [0054] 図 11は図 10の転写装置で採用したサクシヨンローラの説明図であり、このサクショ ンローラ 2は、サクシヨンローラ 2外周面全体のうち、粘着ラベル Lの外形より少し小さ な面積エリア 2Aに多数の吸引口が開口し、その面積エリア 2Aで粘着ラベル Lを吸 引吸着する構造になっている。また、図 11のサクシヨンローラ 2においては、前記面 積エリア 2A内の小面積部分 2A— 1を他の部分とは別個独立の吸引系とすることに より、粘着ラベル Lの剥がし始めに十分な吸引力が当該粘着ラベル Lに作用しうる構 成を採っている。

[0055] 図 1の転写装置では、ダイシングテープ T2を貼り付けていないリングフレーム Fが 搬送テーブル 8により搬送される構成を採用した力 これに代えて、図 13のように予 めダイシングテープ T2が貼り付けられているリングフレーム Fを搬送テーブル 8が搬 送する構成も採用できる。この場合、搬送ロボット 18がリングフレーム Fを搬送テープ ル 8にセットする前段で、ダイシングテープ貼付装置によってそのリングフレーム Fに ダイシングテープ T2を貼り付け、接着剤面 T2—1が上面となる状態で、リングフレー ム Fが搬送テーブル 8上にセットされるようにし、また、サクシヨンローラ 2によるウェハ Wの保持は、図 10に示す粘着ラベル Lと同様に、図 13のようにサクシヨンローラ 2外 周面そのもので直接ウエノ、 Wを保持するように構成すればよい。そして、そのように 保持されたウェハ Wは、図 1の転写装置と類似の動作、すなわち搬送テーブル 8がダ イシングテープ T2付きリングフレーム Fを搬送する動作に同期してサクシヨンローラ 2 がその軸心回りに回動することにより、保持されているウェハ W力 ダイシングテープ T2を介してリングフレーム Fに貼り付けられる。

図面の簡単な説明

[0056] [図 1]本発明を適用した転写装置の平面図。

[図 2]図 1の転写装置に設けられているサクシヨンローラ付近の右側面図。

[図 3]図 1の転写装置における X軸方向ずれ量の補正の説明図。

[図 4]図 1の転写装置における中心ずれ角の補正の説明図。

[図 5]図 1の転写装置の動作説明図。

[図 6]図 1の転写装置の動作説明図。

[図 7]図 1の転写装置の動作説明図。 [図 8]図 1の転写装置の動作説明図。

[図 9]図 1の転写装置で採用したサクシヨンローラの説明図。

[図 10]本発明を適用した他の転写装置の説明図。

[図 11]図 10の転写装置で採用したサクシヨンローラの説明図。

[図 12]制御装置のブロック図。

[図 13]本発明を適用した他の転写装置の説明図。

符号の説明

1 転写装置

2 サクシヨンローラ (保持ローラ）

8 搬送テーブル (搬送手段）

21、 22 ONZOFFセンサ

23 制御装置

F リングフレーム (第 2の支持部材）

G ガラス板 (第 1の支持部材）

K 剥離シート (第 1の支持部材）

L 粘着ラベル (板状部材）

M ラベル貼付対象物 (第 2の支持部材）

T2 ダイシングテープ (接着シート）

T2- 1 ダイシングテープの接着剤面

W ウェハ (板状部材）

Claims

請求の範囲

[1] 搬送手段が第 1の支持部材に貼り付けられた板状部材を搬送する動作に同期して

、保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記板状部材に当接して当該板 状部材を剥離保持し、剥離の完了後に、剥離時とは逆方向に前記搬送手段が第 2 の支持部材を搬送する動作に同期して、前記保持ローラがその軸心回りに剥離時と は逆方向に回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記第 2の支持部材に貼り付ける装置に適用される貼付制御装置であって、

前記貼付制御装置は、

前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板 状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じて ON又は OFFの信号を出力 する ONZOFFセンサと、

前記 ONZOFFセンサ力 の出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されて V、る板状部材につ 、て保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向のずれ角を 補正する補正手段とを具備し、

前記補正後に、前記貼り付け動作を開始すること

を特徴とする貼付制御装置。

[2] 前記第 1の支持部材はガラス板であり、

前記第 2の支持部材はリングフレームであって、

前記板状部材は半導体ウェハであり、

前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクシヨンローラであり、 接着シートの非接着剤面を吸引し、当該接着シートの接着剤面が前記半導体ウェハ に当接することによってその接着力により当該半導体ウェハを保持し、前記ガラス板 から剥離し、

当該半導体ウェハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付けること を特徴とする請求項 1に記載の貼付制御装置。

[3] 搬送手段が被着体を搬送する動作に同期して保持ローラがその軸心回りに回動す ることにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記被着体に貼り付ける 装置に適用される貼付制御装置であって、 前記貼付制御装置は、

前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板 状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じて ON又は OFFの信号を出力 する ONZOFFセンサと、

前記 ONZOFFセンサ力 の出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されて

V、る板状部材につ 、て保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向のずれ角を 補正する補正手段とを具備し、

前記補正後に、前記貼り付け動作を開始すること

を特徴とする貼付制御装置。

[4] 前記被着体は、予め接着シートが貼り付けられたリングフレームであり、

前記板状部材は半導体ウェハであって、

前記保持ローラに保持されている前記半導体ウェハを前記接着シートを介して前 記リングフレームに貼り付けること

を特徴とする請求項 3に記載の貼付制御装置。

[5] 搬送手段が第 1の支持部材に貼り付けられた板状部材を搬送する動作に同期して 、保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記板状部材に当接して当該板 状部材を剥離保持し、剥離の完了後に、剥離時とは逆方向に前記搬送手段が第 2 の支持部材を搬送する動作に同期して、前記保持ローラがその軸心回りに剥離時と は逆方向に回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記第 2の支持部材に貼り付ける装置に適用される貼付制御方法であって、

前記貼付制御方法は、

前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板 状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じて ON又は OFFの信号を出力 する ONZOFFセンサを用い、

前記 ONZOFFセンサ力 の出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されて

V、る板状部材につ 、て保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向のずれ角を 補正し、

前記補正後に、前記貼り付け動作を開始すること を特徴とする貼付制御方法。

[6] 前記第 1の支持部材はガラス板であり、

前記第 2の支持部材はリングフレームであって、

前記板状部材は半導体ウェハであり、

前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクシヨンローラであり、 接着シートの非接着剤面を吸引し、当該接着シートの接着剤面が前記半導体ウェハ に当接することによってその接着力により前記半導体ウェハを保持し、前記ガラス板 から剥離し、

当該半導体ウェハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付けること を特徴とする請求項 5に記載の貼付制御方法。

[7] 搬送手段が被着体を搬送する動作に同期して保持ローラがその軸心回りに回動す ることにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記被着体に貼り付ける 装置に適用される貼付制御方法であって、

前記貼付制御方法は、

前記保持ローラの外周面をポイントで監視し、前記保持ローラに保持されている板 状部材の監視ポイント進入と監視ポイント通過に応じて ON又は OFFの信号を出力 する ONZOFFセンサを用い、

前記 ONZOFFセンサ力 の出力信号に基づいて、前記保持ローラに保持されて V、る板状部材につ 、て保持ローラ回転軸方向のずれ量および円弧方向のずれ角を 補正し、

前記補正後に、前記貼り付け動作を開始すること

を特徴とする貼付制御方法。

[8] 前記被着体は、予め接着シートが貼り付けられたリングフレームであり、

前記板状部材は半導体ウェハであって、

前記保持ローラに保持されている前記半導体ウェハを前記接着シートを介して前 記リングフレームに貼り付けること

を特徴とする請求項 7に記載の貼付制御方法。