WO2006064836A1 - 排ガスの処理方法及び装置 - Google Patents

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Keisuke Takayanagi
Tomoyuki Suzuki
Hidenori Ikeno
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Definitions

  • the present invention relates to a method and apparatus for treating exhaust gas, and more particularly to a method and apparatus for removing a predetermined substance accompanying an exhaust gas, particularly an odor substance.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-48331 discloses a bag filter type dust collector.
  • a bag filter and a fixed bed type adsorption tower for containing an adsorbent are provided on the exhaust gas path of the incinerator in order from the upstream side.
  • a filter aid is deposited on the surface of the filter medium included in the bag filter on the exhaust gas inflow side. The filter media must not be washed while the bag filter type dust collector is in operation.
  • Such a conventional bag filter type dust collector causes inconvenience when applied to, for example, a laser processing machine.
  • exhaust gas generated when a resin is processed by a laser processing machine is accompanied by an odorous substance, and the odorous substance is a substance in a vapor phase, a gas phase, or both, and therefore has high adhesion.
  • the bag filter cannot sufficiently collect such odorous substances, and a highly adherent odorous substance adheres to the bag filter (for example, a vapor phase odorous substance). Will cause clogging at an early stage. Therefore, an exhaust gas treatment device that prevents early clogging of the bag filter is desired.
  • an exhaust gas treatment apparatus for treating exhaust gas generated from an exhaust gas generation source.
  • Means for guiding the exhaust gas from the exhaust gas source
  • Activated carbon adsorbing means formed in layers from a number of granular activated carbon so that odorous substances accompanying the exhaust gas are adsorbed when the guided exhaust gas passes through;
  • a bag filter for collecting a predetermined substance accompanying the exhaust gas that has passed through the activated carbon adsorbing means.
  • the substrate of the odor substance accompanying the exhaust gas may be either one or both of a gas phase and a vapor phase.
  • the predetermined substances collected by the bag filter include dust and harmful chemical substances.
  • the exhaust gas generation source includes a laser processing machine, a semiconductor manufacturing apparatus, an LCD manufacturing apparatus, and the like.
  • the apparatus of the present invention can be applied to the treatment of exhaust gas generated when a resin, rubber, IC substrate or the like is processed by a laser processing machine.
  • the activated carbon adsorbing means formed in a layer shape may form a cylinder defined by the outer wall.
  • the guiding means for guiding the exhaust gas has a flow rate of 3 to 12 m per minute from the outside to the inside of the outer wall of the cylinder, and the contact time with the granular activated carbon 0.3 to 1. Passing in 0 seconds is preferred.
  • a processing method is given. This method
  • the exhaust gas is passed through the outer wall at a flow rate of 3 to 12 m per minute with a contact time with the granular activated carbon of 0.3 to 1.0 seconds, thereby converting the odorous substance into the granular activated carbon. Adsorbing to the particles.
  • an exhaust gas treatment apparatus that removes odorous substances associated therewith from exhaust gas generated from an exhaust gas generation source.
  • This device Exhaust gas generation source power Guiding means for guiding exhaust gas,
  • a cylindrical deodorizing filter in which a layer made of a large number of granular activated carbons is formed into a cylindrical shape, and the guiding means guides the exhaust gas from the outside to the inside of the cylinder,
  • the enclosed granular activated charcoal is allowed to pass through for 3 to 12 meters per minute with a contact time with granular activated carbon of 0.3 to 1.0 seconds.
  • the cylindrical deodorizing filter is formed by surrounding a layer made of a large number of granular activated carbon with a net.
  • the cylinder may be round or star-shaped in cross section, and the cylinder may have a bellows-shaped outer periphery.
  • granular activated carbon is used which is not powdered activated carbon (generally 1 to 150 ⁇ m).
  • the average particle size of the granular activated carbon is preferably in the range of 1.0 to 10. Omm.
  • Such granular activated carbon may be granulated charcoal, or it may be excavated charcoal with a multi-faceted surface, or a mixture of granulated charcoal and excavated charcoal.
  • FIG. 1 schematically shows a bag filter type dust collector to which an exhaust gas treatment apparatus according to the present invention is applied.
  • This bag filter dust collector 10 includes a layered activated carbon deodorizing filter 12 as a pre-filter for removing odorous substances (gas phase and / or vapor phase odorous substances) accompanying the exhaust gas from the exhaust gas, and the exhaust gas that has passed through the layered deodorizing filter 12. It consists of a bag filter 14 as a main filter that removes dust from the air and a fan 16 that sucks and induces exhaust gas.
  • the deodorizing filter 12 and the bag filter 14 are installed in an airtight cabinet (not shown).
  • the fan 16 is connected to the cabinet through a duct (not shown), and the exhaust gas from the exhaust gas source is sucked and guided into the cabinet by the fan 16 and first passes through the deodorizing filter 12, and then the bug is detected at the next tray. It passes through the filter 14.
  • the layered activated carbon deodorizing filter 12 is formed by laminating a number of granular activated carbons, and the average particle diameter of the granular activated carbon is preferably 1.0 to 10. Omm. This is because when the average particle size is less than 1. Omm, the size of the internal pores of the granular activated carbon is small, so clogging occurs in a relatively short period of time. Deodorization performance decreases It is to do. When the average particle diameter of the granular activated carbon is in the range of 1.0 to 10.0 mm, the internal pores of the activated carbon become relatively large, and this gap is prevented from being clogged early by odorous substances.
  • the granular activated carbon is not limited to granular granulated charcoal, but may be excerpt charcoal whose surface forms a polyhedron or a mixture of both.
  • the bag filter dust collector 10 of FIG. 1 can be used for exhaust gas treatment of a laser processing machine, for example.
  • exhaust gas is generated, so the fan 16 of the bag filter dust collector 10 is kept in operation.
  • Such exhaust gas is accompanied by an odorous substance, and the odorous substance is highly adherent because its substrate is a gas phase or a vapor phase, or both.
  • the exhaust gas sucked and induced by the fan 16 first passes through the deodorizing filter 12, whereby strong adherence and odorous substances in the phase adhere to the surface of the granular activated carbon of the deodorizing finoleta 12, and much or substantially. Usually adsorbed on the surface.
  • This exhaust gas is then directed to the bag filter 14 to remove dust and harmful chemicals.
  • the bag filter 14 does not clog early.
  • the exhaust gas source to which the bag filter dust collector 10 is applied is not limited to a laser processing machine, but may be a semiconductor manufacturing apparatus, an LCD manufacturing apparatus, or the like.
  • FIG. 2 shows another exhaust gas treatment device 20 according to the present invention.
  • the exhaust gas treatment device 20 includes an activated carbon deodorizing filter 22 formed in a cylindrical shape.
  • a layer made of a large number of granular activated carbon defines the outer wall of the cylindrical body.
  • the granular activated carbon layer is surrounded and fixed by a net (such as a wire mesh) 22a having an appropriate mesh roughness, and is formed into a cylindrical body having a desired shape.
  • a deodorizing filter 22 can be attached to the exhaust gas treatment device 20 in a replaceable manner by a known method. Accordingly, such a cylindrical deodorizing filter 22 can be manufactured as a replacement part for the exhaust gas treatment device 20.
  • the cylindrical deodorizing filter 22 has an outer diameter of 250 mm, an inner diameter of 150 mm, and a length of 400 mm in this embodiment.
  • the exhaust gas treatment device 20 is configured so that the exhaust gas from the exhaust gas generation source is outside the cylindrical deodorizing filter 22. Force It further includes a fan 24 that guides the exhaust gas to pass inward.
  • the fan 24 is connected to the deodorizing filter 22 through a duct (not shown).
  • the fan 24 has an exhaust gas force that passes from the outside to the inside of the cylindrical deodorizing filter 22 so that the flow rate is 3 to 12 m per minute and the contact time with the granular activated carbon is 0.3 to 1.0 seconds. Is set. When the contact time is less than 0.3 seconds, the deodorization efficiency of the deodorization filter 22 is 75% or less, and when the contact time exceeds 1.0 seconds, the deodorization efficiency of the deodorization filter 22 is not significantly increased.
  • the average particle diameter of the granular activated carbon is preferably 1.0 to 10.0 mm, and this granular activated carbon may be granulated coal, excreted coal, or both. It may be mixed.
  • the cylinder-shaped deodorizing the exhaust gas E by a fan (not shown) to the filter 22 is fed in in an air volume of 2m 3 per minute, the exhaust gas-cylinder-shaped deodorized per flow rate 7m minute filter 22 It will flow through for 0 ⁇ 43 seconds.
  • Exhaust gas is allowed to pass through the outer wall (granular activated carbon layer) of the cylindrical deodorizing filter 22 at a flow rate of 2 to 80 m / min, and the activated carbon layer contact time of the exhaust gas and the deodorizing efficiency of the granular activated carbon layer at the contact time are determined as odor Measurement was performed with a measuring instrument (odor sensor manufactured by Shin Cosmos Electric Co., Ltd.). Figure 4 shows the measurement results.
  • the flow rate of the exhaust gas passing through the outer wall of the deodorizing filter 22 in the second embodiment is 3 to 12 m / min, preferably 3 to 8 m / min. As shown in Fig. 4, when the flow rate exceeds 12 m / min, the effective utilization rate of activated carbon becomes 80% or less, and when the flow rate is less than 3 m / min, the effective utilization rate of activated carbon does not change.
  • the exhaust gas treatment apparatus of the second embodiment enters the exhaust gas into the granular activated carbon of the deodorizing filter 22 as compared with a conventional exhaust gas treatment apparatus that employs a relatively high flow rate per minute of 15 to 20 m. Therefore, the exhaust gas can be efficiently processed to a desired state.
  • the cylindrical body constituting the cylindrical deodorizing filter 22 has a large surface area with respect to its size and increases the deodorizing efficiency. Or make the outer periphery into a bellows shape.
  • the exhaust gas treatment device 20 of the second embodiment can be combined with the bag filter type dust collector 10 of the first embodiment.
  • the layered activated carbon deodorizing filter 12 of the first embodiment is replaced with the cylindrical activated carbon deodorizing filter 22 of the second embodiment.
  • the exhaust gas passing from the outside to the inside of the cylindrical deodorizing filter 22 flows at a flow rate of 3 to 12 m in the same manner as the conditions shown in the second embodiment. Use one with a contact time of 0.3 to 1.0 seconds per minute with granular activated carbon.
  • FIG. 1 is a diagram schematically showing a bag filter type dust collector according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing an exhaust gas treatment apparatus according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 shows the contact time of the exhaust gas with the activated carbon layer when the exhaust gas passes through the activated carbon layer at a flow rate of 2 to 80 m / min in the apparatus of FIG. 2, and the deodorization efficiency of the activated carbon layer at that contact time. It is a graph which shows correlation of these.
  • Fig. 4 shows the correlation between the flow rate of exhaust gas and the deodorizing ability of the activated carbon layer at that flow rate when exhaust gas passes through the activated carbon layer at a flow rate of 2 to 80 m / min in the apparatus of Fig. 2. It is a graph.

Abstract

　半導体製造ライン、ｌＣＤ製造ラインなどから発生した排ガスを処理する排ガス処理装置を開示する。ファン１６に吸引誘導される排ガスは、先ずプレフィルタとしての層状の活性炭脱臭フィルタ１２を通過して、それに随伴する気体相及び／又は蒸気相の臭気物質を除去される。次いで排ガスはバグフィルタ１４を通過して粉塵等を除去される。バグフィルタ１４へ入来する排ガスは、付着性の強い気体相及び／又は蒸気相の臭気物質をプレフィルタ１２で既に除去されているので、バグフィルタ１４の早期の目詰まりが防止される。

Description

明 細 書
排ガスの処理方法及び装置
技術分野
[0001] 本発明は排ガスを処理する方法及び装置に関し、更に詳しくは排ガスに随伴され る所定の物質、特に臭気物質を除去する方法及び装置に関する。
背景技術
[0002] 従来の排ガス処理装置として、例えば特開 2002— 48331公報にはバグフィルタ式 集塵機が開示されている。このバグフィルタ式集塵機では、焼却炉の排ガス経路上 に上流側から順にバグフィルタと、吸着剤を収容する固定層式吸着塔とを設けている 。バグフィルタに包含される濾材の排ガス流入側の表面には濾過助剤が被着されて レ、る。バグフィルタ式集塵機の運転中には濾材の洗浄はなされなレ、。
[0003] このような従来のバグフィルタ式集塵機は例えばレーザー加工機に適用すると不都 合を生じる。レーザー加工機により例えば樹脂を加工した際に発生する排ガスは臭 気物質を随伴しており、この臭気物質は蒸気相又は気体相、或るいはその両方の基 質であるので付着性が強い。
[0004] し力、しながら、バグフィルタは、このような臭気物質を充分に捕集することができなレヽ 上に、付着性の強い臭気物質がバグフィルタに付着 (例えば蒸気相の臭気物質の蒸 着）することにより、早期に目詰まりを起こしてしまう。従ってバグフィルタの早期の目 詰まりを防止する排ガス処理装置が望まれる。
[0005] また従来の排ガス処理方法として、特開 2004— 290791号公報に開示されたもの では、粉末活性炭を板状に形成してなる活性炭層に、排ガスを通過させることにより 、それに随伴する臭気物質を吸着除去している。この方法においては、排ガスの処 理量を確保するために、活性炭層に対して排ガスを通常は 15乃至 20m毎分の比較 的に早い流速で通過させている。
[0006] し力しながら、このような早レ、流速では、排ガスは活性炭の粉末微粒子の表面上を 比較的に高速で流れてしまうので、粉末微粒子内に進入することができず、その結 果、望ましい効率的な処理効率では排ガスを処理することができないという問題があ る。よって処理効率を改善した排ガス処理方法及び装置も望まれる。
発明の概要
[0007] 本発明の一つの局面によれば、排ガス発生源より発生した排ガスを処理する排ガス 処理装置が与えられる。この装置は、
排ガス発生源からの排ガスを案内する手段と、
案内された排ガスが通過することにより、その排ガスに随伴される臭気物質を吸着 するように、多数の粒状活性炭から層状に形成された活性炭吸着手段と、
この活性炭吸着手段を通過した前記排ガスに随伴される所定の物質を捕集するバ グフィルタとを備える。
[0008] 排ガスに随伴される臭気物質の基質は、気体相と蒸気相とのうちの何れか一方又 は両方でもよい。一方、バグフィルタに捕集される所定の物質は粉塵、有害化学物質 等を含む。
[0009] 排ガス発生源としては、レーザー加工機、半導体製造装置、 LCD製造装置等があ る。例えば、レーザー加工機により樹脂、ゴム、 IC基板などを加工する際に発生した 排ガスの処理に本発明の装置を適用できる。
[0010] 層状に形成された活性炭吸着手段は、外壁により規定された筒体をなすようにして もよレ、。この場合、排ガスを案内する案内手段は、筒体の外壁に対して、その外側か ら内側に向かって、排ガスを流速 3乃至 12m毎分、粒状活性炭との接触時間 0. 3乃 至 1. 0秒で通過させることが好ましい。
[0011] 本発明の他の局面によれば、多数の粒状活性炭を層状に形成してなる外壁により 規定された筒体をなす活性炭吸着手段を用い、排ガスに随伴される臭気物質を除去 する排ガス処理方法が与えられる。この方法は、
排ガスを活性炭吸着手段へ案内する段階と、
活性炭吸着手段の外壁の外側から内側に向かって、排ガスを流速 3乃至 12m毎分 、粒状活性炭との接触時間 0. 3乃至 1. 0秒で外壁を通過させることにより、臭気物 質を粒状活性炭粒子に吸着させる段階とを含む。
[0012] 本発明の更に他の局面によれば、排ガス発生源より発生した排ガスから、これに随 伴される臭気物質を除去する排ガス処理装置が与えられる。この装置は、 排ガス発生源力 排ガスを案内する案内手段と、
多数の粒状活性炭からなる層を筒体状に形成した筒体状脱臭フィルタとを備え、 案内手段が、筒体の外側から内側に向かって排ガスを案内して、この排ガスを流速
3乃至 12m毎分、粒状活性炭との接触時間 0. 3乃至 1. 0秒で、包囲された粒状活 性炭を通過させる。
[0013] 本発明の一つの実施例によれば、筒体状脱臭フィルタは多数の粒状活性炭からな る層を網で包囲して形成される。その筒体は、その横断面の輪郭を円形または星形 にしてもよぐ筒体が蛇腹形状の外周を有するようにしてもよい。
[0014] 本発明においては、粉末活性炭（一般に 1乃至 150 x m)ではなぐ粒状活性炭を 用いる。その粒状活性炭の平均粒径は好ましくは 1. 0乃至 10. Ommの範囲である。 このような粒状活性炭は、造粒炭でもよぐ表面が多面形状の破粋炭でもよぐ或い は造粒炭と破粋炭との混合体を用いてもよい。
[0015] 本発明の更なる特徴と利点は添付図面共に好ましい実施例の詳細な説明を参照 することにより一層明らかになる。
好ましい実施例の詳細な説明
[0016] 図 1は本発明による排ガス処理装置を適用したバグフィルタ式集塵機を概略的に 示す。このバグフィルタ集塵機 10は、排ガスからそれに随伴する臭気物質 (気体相 及び/又は蒸気相の臭気物質)を除去するプレフィルタとしての層状の活性炭脱臭 フィルタ 12と、この層状脱臭フィルタ 12を通過した排ガスから粉塵を除去する主フィ ルタとしてのバグフィルタ 14と、排ガスを吸引誘導するファン 16とからなる。脱臭フィ ルタ 12とバグフィルタ 14とは、図示しない気密構造のキャビネット内に取り付けてある 。ファン 16は、このキャビネットに図示しないダクトを介して連通接続してあり、排ガス 源からの排ガスはファン 16により当該キャビネット内に吸引誘導されて先ず脱臭フィ ルタ 12を通過し、次レ、でバグフィルタ 14を通過するようにしてある。
[0017] 層状の活性炭脱臭フィルタ 12は多数の粒状活性炭を層状に形成してなり、その粒 状活性炭の平均粒径は好ましくは 1. 0乃至 10. Ommである。これは、平均粒径が 1 . Omm未満では粒状活性炭の内部細孔の大きさが小さいので比較的短期間で目詰 まりを起こし、また、平均粒径が 10. Ommを超えると粒状活性炭の脱臭性能が低下 するためである。粒状活性炭の平均粒径が 1. 0乃至 10. 0mmの範囲では、活性炭 の内部細孔が比較的大きくなるので、この間隙が臭気物質によって早期に目詰まり を起こすことが防止される。
[0018] 粒状活性炭は、顆粒状の造粒炭に限らず、表面が多面体を形成する破粋炭でもよ ぐ或いはそれら両者を混合させたものでもよい。
[0019] 図 1のバグフィルタ集塵機 10は例えばレーザー加工機の排ガス処理に用いること ができる。このレーザー加工機により例えば樹脂を加工する際には、排ガスが発生す るので、バグフィルタ集塵機 10のファン 16を稼動状態にしておく。このような排ガスは 臭気物質を随伴しており、この臭気物質は、その基質が気体相又は蒸気相、或いは その両方であるため、付着性が強い。ファン 16により吸引誘導された排ガスは、先ず 脱臭フィルタ 12を通過することにより、付着性の強レ、相にある臭気物質が脱臭フィノレ タ 12の粒状活性炭表面に付着して、その多く若しくは実質的に殆どが吸着される。こ の排ガスは次いでバグフィルタ 14に誘導されて、粉塵や有害化学物質を除去される 。その際、付着性の強い臭気物質は脱臭フィルタ（プレフィルタ） 12によって既に除 去されているので、バグフィルタ 14が早期に目詰まりを起こすことはない。
[0020] バグフィルタ集塵機 10を適用する排ガス源は、レーザー加工機に限らず、半導体 製造装置、 LCD製造装置等でもよい。
[0021] 図 2は本発明による他の排ガス処理装置 20を示す。排ガス処理装置 20は、筒体状 に形成された活性炭脱臭フィルタ 22を含む。この筒体状の活性炭脱臭フィルタ 22は 、多数の粒状活性炭からなる層が筒体の外壁を規定している。粒状活性炭をこのよう な筒体にするには、例えば適宜なメッシュ粗さの網（金網等） 22aで粒状活性炭層を 包囲して固定することにより、所望の形態の筒体に成形する。このような脱臭フィルタ 22は公知の方法により排ガス処理装置 20に対して交換可能に装着できる。従って、 このような筒体状脱臭フィルタ 22を、排ガス処理装置 20に対する交換用部品として 製造することも可能である。
[0022] この筒体状脱臭フィルタ 22は、本実施例では外径 250mm、内径 150mm、長さ 4 00mmである。
[0023] 排ガス処理装置 20は、排ガス発生源からの排ガスが筒体状脱臭フィルタ 22の外側 力 内側へ向かって通過するように排ガスを案内するファン 24を更に含む。このファ ン 24は図示しないダクトを介して脱臭フィルタ 22に連通接続してある。ファン 24は、 筒体状脱臭フィルタ 22の外側から内側へ向かって通過する排ガス力 その通過の際 に流速 3乃至 12m毎分、粒状活性炭との接触時間 0. 3乃至 1. 0秒となるように設定 されている。接触時間が 0. 3秒未満では脱臭フィルタ 22の脱臭効率が 75%以下に なり、また、接触時間が 1. 0秒を超えると、脱臭フィルタ 22の脱臭効率に大きな上昇 が見られない。
[0024] 第 1実施例と同様に、粒状活性炭の平均粒径は好ましくは 1. 0乃至 10. 0mmであ り、この粒状活性炭は、造粒炭又は破粋炭でもよぐ或いはそれら両者を混合させた ものでもよい。
[0025] このような排ガス処理装置 20において、筒体状脱臭フィルタ 22に図示しないファン により排ガス Eを 2m3毎分の風量で送り込むと、この排ガスは流速 7m毎分で筒体状 脱臭フィルタ 22中を 0· 43秒間で貫流する。
[0026] 筒体状脱臭フィルタ 22の外壁 (粒状活性炭層）に排ガスを流速 2乃至 80m毎分で 通過させて排ガスの活性炭層接触時間と、その接触時間における粒状活性炭層の 脱臭効率を、臭気測定器 (新コスモス電機株式会社製 臭いセンサー)で測定した。 その測定結果を図 4に示す。
[0027] 第 2実施例のように、排ガスを風量 2m3毎分、流速 7m毎分、接触時間 0. 43秒間 で筒体状脱臭フィルタ 22の外壁を通過させると、図 3に示すように、脱臭フィルタ 22 の脱臭効率は 78%になる。
[0028] 第 2実施例における脱臭フィルタ 22の外壁を通過する排ガスの流速は、 3乃至 12 m毎分であり、好ましくは 3乃至 8m毎分である。図 4に示すように、流速が 12m毎分 を超えると活性炭の有効利用率が 80%以下になり、また、流速を 3m毎分未満にす ると活性炭の有効利用率が変化しない。
[0029] この第 2実施例の排ガス処理装置は、 15乃至 20m毎分の比較的に早い流速を採 用する従来の排ガス処理装置と比較すると、排ガスを脱臭フィルタ 22の粒状活性炭 の内部まで進入させて処理することが可能になるため、排ガスを効率良く所望の状態 に処理をすることができる。 [0030] 筒体状脱臭フィルタ 22をなす筒体は、その大きさに対して表面積を広く確保して脱 臭効率を高めるために、例えば、横断面の輪郭は円形に限らず星形としてもよぐ或 いは外周を蛇腹形状としてもょレ、。
[0031] 第 1実施例のバグフィルタ式集塵機 10に第 2実施例の排ガス処理装置 20を組み 合わせることも可能である。この場合は、第 1実施例の層状活性炭脱臭フィルタ 12を 第 2実施例の筒体状活性炭脱臭フィルタ 22に置き換える。更に、第 1実施例のファン 14は、第 2実施例に示した条件と同様に、筒体状脱臭フィルタ 22の外側から内側へ 向かって通過する排ガスが、その通過の際に流速 3乃至 12m毎分、粒状活性炭との 接触時間 0. 3乃至 1. 0秒とすることができるものを用いる。
[0032] 本発明による排ガス処理の装置及び方法について、幾つかの実施例で説明したが 、これらの実施例は例示のために与えられたものであり、添付の特許請求の範囲に 規定された範囲内で様々な変形及び変更が可能なことは当業者には明らかである。 図面の簡単な説明
[0033] [図 1]図 1は本発明の第 1実施例に係るバグフィルタ式集塵機を概略的に示す図であ る。
[図 2]図 2本発明の第 2実施例に係る排ガス処理装置を概略的に示す図である。
[図 3]図 3は図 2の装置において排ガスが流速 2乃至 80m毎分で活性炭層を通過し た際の、排ガスの活性炭層との接触時間と、その接触時間における活性炭層の脱臭 効率との相関関係を示すグラフである。
[図 4]図 4は図 2の装置において排ガスが流速 2乃至 80m毎分で活性炭層を通過し た際の、排ガスの流速と、その流速における活性炭層の脱臭能力との相関関係を示 すグラフである。

Claims

請求の範囲
[I] 排ガス発生源より発生した排ガスを処理する排ガス処理装置であって、
前記排ガス発生源からの前記排ガスを案内する手段と、
前記案内された排ガスが通過することにより、その排ガスに随伴される臭気物質を 吸着するように、多数の粒状活性炭から層状に形成された活性炭吸着手段と、 この活性炭吸着手段を通過した前記排ガスに随伴される所定の物質を捕集するバ グフィルタとを備える装置。
[2] 請求項 1の装置において、前記粒状活性炭の平均粒径は 1. 0乃至 10. 0mmの範 囲である装置。
[3] 請求項 2の装置において、前記粒状活性炭は、造粒炭と破粋炭とのうちの何れか一 方又は両方である装置。
[4] 請求項 1の装置において、前記排ガスに随伴される臭気物質の基質は、気体相と蒸 気相とのうちの何れか一方又は両方である装置。
[5] 請求項 1の装置において、前記バグフィルタに捕集される所定の物質は粉塵、有害 化学物質等を含む装置。
[6] 請求項 1の装置において、前記排ガス発生源がレーザー加工機、半導体製造装置、
LCD製造装置等である装置。
[7] 請求項 6の装置において、前記排ガスは、前記レーザー加工機により樹脂、ゴム、 IC 基板などを加工する際に発生したものである装置。
[8] 請求項 4の装置において、前記層状に形成された活性炭吸着手段が、外壁により規 定された筒体をなしてレ、る装置。
[9] 請求項 8の装置において、前記案内手段は、前記筒体の外壁に対して、その外側か ら内側に向かって、前記排ガスを流速 3乃至 12m毎分、前記粒状活性炭との接触時 間 0. 3乃至 1. 0秒で通過させる装置。
[10] 請求項 9の装置において、前記筒体の横断面の輪郭が円形または星形である装置。
[II] 請求項 9の装置において、前記筒体が蛇腹形状の外周を有する装置。
[12] 多数の粒状活性炭を層状に形成してなる外壁により規定された筒体をなす活性炭吸 着手段を用い、排ガスに随伴される臭気物質を除去する排ガス処理方法であって 前記排ガスを前記活性炭吸着手段へ案内する段階と、
前記活性炭吸着手段の前記外壁の外側から内側に向かって、前記排ガスを流速 3 乃至 12m毎分、前記粒状活性炭との接触時間 0. 3乃至 1. 0秒で前記外壁を通過さ せることにより、前記臭気物質を前記粒状活性炭粒子に吸着させる段階とを含む方 法。
[13] 請求項 12の方法において、前記粒状活性炭の平均粒径は 1. 0乃至 10. 0mmの範 囲である装置。
[14] 請求項 13の方法において、前記粒状活性炭は、造粒炭と破粋炭との何れか一方又 は両方である装置。
[15] 排ガス発生源より発生した排ガスから、これに随伴される臭気物質を除去する排ガス 処理装置であって、
前記排ガス発生源力 前記排ガスを案内する案内手段と、
多数の粒状活性炭からなる層を筒体状に形成した筒体状脱臭フィルタとを備え、 前記案内手段が、前記筒体の外側から内側に向かって前記排ガスを案内して、こ の排ガスを流速 3乃至 12m毎分、前記粒状活性炭との接触時間 0. 3乃至 1. 0秒で 前記包囲された粒状活性炭を通過させる排ガス処理装置。
[16] 請求項 15の装置において、前記粒状活性炭の平均粒径は 1. 0乃至 10. 0mmの範 囲である装置。
[17] 請求項 16の装置において、前記粒状活性炭は、造粒炭と破粋炭との何れか一方又 は両方である装置。
[18] 請求項 17の装置において、前記筒体は前記多数の粒状活性炭からなる層を網で包 囲してなる装置。
[19] 請求項 17の装置において、前記筒体の横断面の輪郭が円形または星形である装置
[20] 請求項 17の装置において、前記筒体が蛇腹形状の外周を有する装置。
[21] 請求項 15の装置における前記脱臭フィルタのための交換用脱臭フィルタであって、 平均粒径が 1. 0乃至 10. 0mmの範囲である多数の粒状活性炭からなる層を網で 包囲して筒体状に形成された交換用脱臭フィルタ。
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