WO2006043607A1 - コンタクトユニットおよび検査システム - Google Patents

Abstract

　検査対象に形成された端子と導電性接触子との間の位置あわせを容易に行うことが可能なコンタクトユニットおよびかかるコンタクトユニットを備えた検査システムを実現する。 　コンタクトユニット２は、検査対象に形成された信号入出力用の端子に対応した配列パターンで配置された導電性接触子３と、導電性接触子３を保持する保持基板４と、保持基板４上であって導電性接触子３の保持領域に対応した領域に配置されたコンタクトブロック５と、コンタクトブロック５を保持基板４上に固定する固定部材６とを備える。固定部材６は、導電性接触子３が保持された領域よりも保持基板中央側においてネジ部材１３を介して保持基板４に対して固定され、押圧面１１ａを介してコンタクトブロック５を形成するブロック部材１１に対して保持基板４に近接する方向に押圧力を印加することによって、コンタクトブロック５を保持基板４に対して固定する機能を有する。

Description

明 細 書

コンタクトユニットおよび検査システム 技術分野

[0001] 本発明は、所定の検査対象に形成された端子と前記検査対象に対して入出力する 電気信号を生成する信号生成装置との間を電気的に接続するコンタクトユニットおよ び力かるコンタクトユニットを備えた検査システムに関するものである。

背景技術

[0002] 従来から、 LCD (Liquid Crystal Display)等の検査対象の電気的な特性を検査す るための検査システムが知られて 、る。 LCD等の検査対象上に形成される端子は微 小かつ狭い間隔で多数配列された構造を有するため、検査システムは、検査対象上 に形成された多数の端子に対応して導電性接触子が配置されたコンタクトユニットを 介して検査対象と電気的に接続する構成を採用する (例えば、特許文献 1参照。 ) o

[0003] 図 6は、従来の検査システムに備わるコンタクトユニットの構成を示す模式図である 。図 6に示すように、従来のコンタクトユニットは、検査対象に形成された端子と物理 的に接触するための導電性接触子 101と、導電性接触子 101を保持するための保 持基板 102と、信号生成等を行う電子回路と導電性接触子 101とを電気的に接続す るための配線構造 103およびブロック部材 104を備えたコンタクトブロック 105と、コン タクトブロック 105を保持基板 102に対して固定するための固定部材 106と、固定部 材 106を保持基板 102に対して固定するネジ部材 107とを備える。力かる構成のコン タ外ユニットを用いることによって、信号処理装置によって精製された電気信号は、 配線構造 103および導電性接触子 101を経由して検査対象の端子に入力され、検 查対象からの応答信号についても導電性接触子 101および配線構造 103を経由し て信号処理装置に入力されることとなる。

[0004] 特許文献 1：特許第 3442137号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] し力しながら、従来の検査システムでは、コンタクトユニットに備わる導電性接触子と 検査対象に形成された端子との位置あわせが困難であるという課題が存在する。以 下、力かる課題について説明する。

[0006] 図 7は、従来の検査システムを用いた検査の態様を示す模式図である。 LCD等の 検査対象上には、多数の端子 110が形成されるのが通常であるため、実際の検査に お!、ては電気信号の入出力に先立って力かる多数の端子 110と対応する導電性接 触子 101との間の位置あわせを正確に行う必要がある。

[0007] 位置あわせを行うにあたっては、検査対象上に形成された端子 110と導電性接触 子 101との間の位置関係を直接または所定のカメラを介した目視によって行うことが 最も確実である。具体的には、保持基板 102と検査対象 109との間の隙間部分を目 視することによって位置あわせが行われ、必要に応じてコンタクトユニットの位置を移 動した後に電気信号の入出力が行われることとなる。

[0008] しかしながら、従来の検査システムは、図 7にも示すようにコンタクトユニットにおいて ネジ部材 107によるネジ止め領域を確保するため、保持基板 102が検査対象側に延 伸した構造を有する。従って、従来の検査システムでは、保持基板 102の延伸部分 が位置あわせのための目視を妨げる要因となっており、迅速な位置あわせを行うこと が困難であると 、う問題が生じて!/、た。

[0009] ここで、保持基板 102上におけるネジ部材 107の位置を導電性接触子 101が保持 される領域に対して図 7における紙面垂直方向の位置とすることが考えられる。しかし ながら、カゝかる構成とした場合には、検査対象に形成された端子に対応してコンタクト ブロック 105を配置することが困難となるという課題が新たに生じる。すなわち、近年 における検査対象の端子の増加に対応して、コンタクトユニットは、複数のコンタクト ブロック 105を図 7における紙面垂直方向に複数配置した構成を有する。従って、上 述の構成とした場合には、隣接するコンタクトブロック 105間にネジ部材 107が位置 することとなり、コンタクトブロック 105間の間隔が増加し、検査対象の端子に対応して 配線構造 103を配置することが困難となる。

[0010] また、ネジ部材 107を導電性接触子 101が保持される領域に対して保持基板 102 の中央側（図 7における左方向）に配置する構成も好ましくない。図 7にも示すように、 配線構造 103は、保持基板 102の表面から図 7における左方向に延伸するため、ネ ジ部材 107をかかる位置に配置した場合には、ネジ部材 107と配線構造 103との電 気的な絶縁性を保持するための工夫が新たに必要となるためである。

[0011] 本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、検査対象に形成された端子と導電 性接触子との間の位置あわせを容易に行うことが可能なコンタクトユニットおよびかか るコンタクトユニットを備えた検査システムを実現することを目的とする。 課題を解決するための手段

[0012] 上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項 1にかかるコンタクトュ-ッ トは、所定の検査対象に形成された端子と前記検査対象に対して入出力する電気信 号を生成する信号生成装置との間を電気的に接続するコンタクトユニットであって、 前記端子と接触する導電性接触子と、端部近傍領域にて前記導電性接触子を保持 する保持基板と、所定の配線構造を備え、該配線構造が前記導電性接触子と電気 的に接続するよう前記保持基板上に配置されたコンタクトブロックと、前記導電性接 触子が保持される領域よりも保持基板中央側にて前記保持基板に対して固定され、 前記コンタクトブロックに対して前記保持基板に近接する方向に押圧力を印加するこ とによって前記コンタクトブロックを前記保持基板上に固定するブロック固定部材とを 備えたことを特徴とする。

[0013] この請求項 1の発明によれば、導電性接触子と電気的に接続するコンタクトブロック は、導電性接触子よりも保持基板中央側にて保持基板に対して固定された固定部材 によって保持基板上に固定される構成としたため、コンタクトブロックを固定するため の領域を確保するために保持基板の端部を延伸する必要が無ぐ検査対象の端子と 導電性接触子との間の位置あわせの際に端子と導電性接触子との間の位置関係を 容易に目視することが可能である。

[0014] また、請求項 2にかかるコンタクトユニットは、上記の発明において、前記コンタクト ブロックは、前記配線構造の一端が前記保持基板と接触する面上に前記導電性接 触子に対応して配置された直方体形状のブロック部材を備え、前記ブロック固定部 材は、前記ブロック部材において前記配線構造が配置された面と対向する面に対し て前記保持基板に近接する方向に押圧力を印加することを特徴とする。

[0015] また、請求項 3にかかるコンタクトユニットは、上記の発明において、前記ブロック固 定部材は、前記保持基板に対する固定箇所力 前記導電性接触子が配置される側 と反対側の端部に向かって所定距離に渡って前記保持基板表面と接触する部分を 有することを特徴とする。

[0016] また、請求項 4に力かるコンタクトユニットは、上記の発明において、前記ブロック固 定部材は、前記配線構造の他端を外部に延伸させるための開口部が形成されたこと を特徴とする。

[0017] また、請求項 5にかかる検査システムは、所定の検査対象の電気的特性を検査す る検査システムであって、前記端子と接触する導電性接触子と、端部近傍領域にて 前記導電性接触子を保持する保持基板と、所定の配線構造を備え、該配線構造が 前記導電性接触子と電気的に接続するよう前記保持基板上に配置されたコンタクト ブロックと、前記導電性接触子が保持される領域よりも保持基板中央側にて前記保 持基板に対して固定され、前記コンタクトブロックに対して前記保持基板に近接する 方向に押圧力を印加することによって前記コンタクトブロックを前記保持基板上に固 定するブロック固定部材とを備えたコンタクトユニットと、前記配線構造と電気的に接 続され、前記配線構造および前記導電性接触子を介して前記検査対象に対して電 気信号の入出力を行う信号処理装置とを備えたことを特徴とする。

発明の効果

[0018] 本発明にカゝかるコンタクトユニットおよび検査システムは、導電性接触子と電気的に 接続するコンタクトブロックが、導電性接触子よりも保持基板中央側にて保持基板に 対して固定された固定部材によって保持基板上に固定される構成としたため、コンタ タトブロックを固定するための領域を確保するために保持基板の端部を延伸する必 要が無ぐ検査対象の端子と導電性接触子との間の位置あわせの際に端子と導電性 接触子との間の位置関係を容易に目視することが可能であり、容易に位置あわせを 行うことが可能であると!/、う効果を奏する。

図面の簡単な説明

[0019] [図 1]図 1は、実施の形態にカゝかる検査システムの全体構成を示す模式図である。

[図 2]図 2は、実施の形態に力かる検査システムを構成するコンタクトユニットの上面 図である。 [図 3]図 3は、実施の形態に力かる検査システムの使用態様について説明するための 模式図である。

[図 4]図 4は、実施の形態に力かる検査システムの利点を説明するための模式図であ る。

[図 5]図 5は、実施の形態に力かる検査システムの利点を説明するための模式図であ る。

[図 6]図 6は、従来の検査システムに備わるコンタクトユニットの構成を示す模式図で ある。

[図 7]図 7は、従来の検査システムの課題を説明するための模式図である。

符号の説明

1 信号処理装置

2 コンタクトユニット

3 導電性接触子

4 保持基板

5 コンタクトブロック

6 固定部材

8 調整機構

9 フレーム基板

10 貫通孔

11 ブロック咅附

11a 押圧面

12 配線構造

13 ネジ部材

14 第 1部材

15 第 2部材

16 開口部

17 保持領域

18 検査対象 19 端子

101 導電性接触子

102 保持基板

103 配線構造

104 ブロック部材

105 コンタクトブロック

106 固定部材

107 ネジ部材

109 検査対象

110 端子

発明を実施するための最良の形態

[0021] 以下に、本発明に力かるコンタクトユニットおよび検査システムを実施するための最 良の形態 (以下、「実施の形態」と称する）を、図面を参照しつつ詳細に説明する。な お、図面は模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚 みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間におい ても互 、の寸法の関係や比率が異なる部分が含まれて 、ることはもちろんである。

[0022] 図 1は、本実施の形態にカゝかる検査システムの全体構成を示す模式図である。図 1 に示すように、本実施の形態に力かる検査システムは、所定の電気信号の生成'処 理を行う信号処理装置 1と、信号処理装置 1と検査対象との間を電気的に接続するコ ンタクトユニット 2とを備えた構成を有する。

[0023] 信号処理装置 1は、所定の電気信号の入出力および信号処理を行うためのもので ある。具体的には、信号処理装置 1は、検査対象の検査の際に使用される検査用の 電気信号を生成すると共に、検査対象からの電気信号を入力'処理する機能を有す る。

[0024] コンタクトユニット 2は、検査対象に形成された信号入出力用の端子に対応した配 列パターンで配置された導電性接触子 3と、導電性接触子 3を保持する保持基板 4と 、保持基板 4上であって導電性接触子 3の保持領域に対応した領域に配置されたコ ンタクトブロック 5と、コンタクトブロック 5を保持基板 4上に固定する固定部材 6とを備 える。また、コンタクトユニット 2は、検査対象に対する導電性接触子 3の高さを調整す る調整機構 8と、調整機構 8を保持するフレーム基板 9とを備える。

[0025] 図 2は、コンタクトユニット 2の上面図である。図 2に示すように、コンタクトユニット 2は 、単一のフレーム基板 9に対して複数の調整機構 8および調整機構 8に対応した固 定部材 6、コンタクトブロック 5 (図 2にて図示省略)、保持基板 4、および導電性接触 子 3 (図 2にて図示省略)が配置された構造を有する。本実施の形態に力かる検査シ ステムは、力かる構造を採用することによって検査対象上に形成された多数の端子 に対する電気的接続を実現するが、もちろん単一の保持基板 4、コンタクトブロック 5 および固定部材 6によってコンタクトユニット 2を構成することとしても良い。

[0026] 導電性接触子 3は、検査対象上に形成された端子と物理的に接触するためのもの である。具体的には、導電性接触子 3は、例えばパネ部材を備え、伸縮自在の針状 の形状の導電性部材によって形成される。導電性接触子 3は、保持領域 17において 保持基板 4を貫通するよう保持され、下端部において検査対象上の端子と物理的に 接触し、上端部において配線構造 12 (後述）と電気的に接続するよう形成される。

[0027] 保持基板 4は、導電性接触子 3を保持するためのものである。具体的には、保持基 板 4は、端部近傍に検査対象の端子の配列に対応して貫通孔 10が多数形成され、 かかる貫通孔 10中に導電性接触子 3を保持する構造を有する。

[0028] コンタクトブロック 5は、導電性接触子 3と電気的に接続するためのものである。具体 的には、コンタクトブロック 5は、絶縁材料によって形成され、直方体形状を有するブ ロック部材 11と、ブロック部材 11の表面上に一端が固定された配線構造 12とを備え た構造を有する。

[0029] 配線構造 12は、導電性接触子 3と信号処理装置 1との間を電気的に接続するため のものである。具体的には、配線構造 12は、ブロック部材 11の表面のうち、保持基板 4と対向する面上に一端が固定されており、ブロック部材 11が保持基板 4の所定の位 置に配置されることによって、一端が導電性接触子 3の上端部と接触するよう構成さ れている。また、配線構造 12そのものの構造としては、多数の導電性接触子 3に対 応した多数本の導電性ワイヤ等によって形成することとしても良いが、本実施の形態 では、 FPC (Flexible Printed Circuit)、 TAB (Tape Automated Bonding)等によつ て多数の導電性接触子 3のそれぞれと信号処理装置 1とを電気的に接続する構成を 有することとする。

[0030] 固定部材 6は、コンタクトブロック 5を保持基板 4上に固定するためのものである。具 体的には、固定部材 6は、導電性接触子 3が保持される領域 (すなわち、貫通孔 10 が形成される領域)よりも保持基板中央側（図 1における左側）にて保持基板 4に固定 された構成を有すると共に、保持基板 4に対して固定された場合にブロック部材 11の 上面と接触する押圧面 11aが形成された構造を有する。より具体的には、固定部材 6 は、図 1に示すように導電性接触子 3が保持される領域よりも保持基板中央側にてネ ジ部材 13によってネジ止めされることによって保持基板 4に対して固定され、かかる 固定態様により押圧面 1 laを介してブロック部材 11に対して保持基板 4に近接する 方向に押圧力を印加し、コンタクトブロック 5を固定することとして 、る。

[0031] また、固定部材 6は、押圧面 11aが形成された領域と保持基板 4に対して固定され た領域 (すなわち、ネジ部材 13が配置された領域)との間に開口部 16が形成された 構造を有する。開口部 16は、コンタクトブロック 5に備わる配線構造 12を外部に延伸 させるためのものであって、力かる開口部 16を経由して配線構造 12はコンタクトュ- ット 2の外部に延伸し、信号処理装置 1と電気的に接続されることとなる。

[0032] 調整機構 8は、導電性接触子 3の鉛直方向の位置を調整するためのものである。具 体的には、調整機構 8は、フレーム基板 9に対して固定された第 1部材 14と、固定部 材 6に対して固定された第 2部材 15とを備え、第 1部材 14と第 2部材 15との間の鉛直 方向の位置関係を調整する機構（図示省略）によって、フレーム基板 9に対する固定 部材 6 (および固定部材 6に対して固定される保持基板 4、さらには導電性接触子 3) の鉛直方向の位置を調整する機能を有する。力かる位置調整機能により、図 2に示 すように異なる保持基板 4に保持された導電性接触子 3間の高さをあらかじめ揃えて おくことが可能である。

[0033] 次に、本実施の形態に力かる検査システムを用いた検査について説明する。図 3は 、本実施の形態に力かる検査システムを用いた検査対象の検査態様にっ 、て示す 模式図であり、以下、図 3を適宜参照しつつ検査の内容について説明する。

[0034] まず、導電性接触子 3の位置あわせが行われる（S l)。具体的には、検査対象 18 上に形成された端子 19に対して、対応する導電性接触子 3が鉛直上方に位置する よう、水平方向（図 3における横方向および紙面に垂直な方向）に導電性接触子 3の 位置を調整する。具体的には、図 3にも示すように、導電性接触子 3と端子 19とが接 触する部分を基点として視野角 Θの範囲で検査対象 18側の斜め上方向より目視す ることによって導電性接触子 3と端子 19との水平方向に関する位置関係を確認しつ つ位置調整を行う。なお、具体的な位置調整の態様としては、例えばフレーム基板 9 の位置を水平方向に微調整する機構を用いることとしても良いし、調整機構 8に水平 方向の位置調整機能を持たせることとしても良い。

[0035] そして、水平方向の位置あわせが完了した後に、導電性接触子 3と検査対象 18と の間の鉛直方向の位置関係 (検査対象 18の導電性接触子 3に対する相対的な高さ )を調整することによって、導電性接触子 3と端子 19とを物理的に接触させる（S2)。 具体的には、例えば検査対象 18を鉛直上方に移動することによって、検査対象 18 上に形成された端子 19と導電性接触子 3とを物理的に接触させる。なお、かかる物 理的な接触の態様としては、一方力 他方に対して所定の押圧力が印加される程度 に互いに接触することが好ましい。導電性接触子 3が端子 19に対して押圧力を印加 した状態で接触することにより、導電性接触子 3と端子 19との間における電気的な接 触抵抗を低減することが可能となるためである。

[0036] その後、信号処理装置 1と検査対象 18との間で信号の入出力が行われる（S3)。具 体的には、信号処理装置 1から出力された電気信号は、配線構造 12、導電性接触 子 3および導電性接触子 3と物理的に接触した端子 19を介して検査対象 18に入力 される。かかる電気信号に対して検査対象 18内に形成された電子回路等による処理 が行われ、検査対象 18から信号処理装置 1に対して応答信号が出力され、かかる信 号に基づき信号処理装置 1は、検査対象 18が所望の特性を備えているか否かの判 定処理等を行う。

[0037] 次に、本実施の形態に力かる検査システムの利点について説明する。まず、本実 施の形態に力かる検査システムは、端子 19に対する導電性接触子 3の位置あわせを 容易かつ迅速に行うことが可能である。以下、力かる利点について詳細に説明する。

[0038] 図 1等において示したように、本実施の形態に力かる検査システムでは、固定部材 6が保持基板 4に対して導電性接触子 3が保持される領域よりも保持基板中央側にて 固定された構造を有する。このため、本実施の形態では、固定部材 6を固定するため の領域を保持基板 4の端部近傍に形成する必要が無ぐ導電性接触子 3を保持基板 4の端部近傍にて保持することが可能となる。

[0039] 従って、本実施の形態にカゝかる検査システムでは、保持基板 4が、導電性接触子 3 を保持する領域よりも検査対象側（図 1、図 3における右側）に延伸した構成とはなら ず、保持基板 4が位置あわせの際の目視の妨げとなることを抑制することが可能であ る。すなわち、本実施の形態に力かる検査システムは、検査対象 18に対する検査を 行う際に導電性接触子 3と端子 19とが接触する部分を目視可能な視野範囲が従来 よりも拡大することによって、迅速かつ容易な位置あわせを行うことが可能であるとい う利点を有する。なお、導電性接触子 3と端子 19とが接触する部分を目視可能な視 野範囲が従来よりも拡大することは、図 3と図 7とを比較すれば明らかであって、図 3 に示す本実施の形態の視野角 Θは、図 7に示す従来の視野角 Θ よりも広い角度と

0

なっている。

[0040] なお、本実施の形態に力かる検査システムは、導電性接触子 3と端子 19とが接触 する部分を目視可能な視野範囲を拡大することによって生じうる不具合も効果的に 防止している。すなわち、図 2にも示したように、本実施の形態では、導電性接触子 3 の配列方向（図 1、図 3における紙面に垂直な方向）の端部近傍に関してはパネ部材 が配置されることもなく従来と何ら変わらない構成を有する。従って、ネジ部材の位置 を保持基板の端部近傍とは異なる位置に配置したにもかかわらず、複数のコンタクト ブロック間の間隔が広がり、微小な端子に対応して導電性接触子を配置することが困 難となると 、つた問題が新たに生じることはな 、。

[0041] また、図 1等にも示すように固定部材 6は、ブロック部材 11が配置された領域よりも 保持基板中央側にて保持基板 4に対して固定された構成を有する。従って、ブロック 部材 11の下面から延伸する配線構造 12と、固定部材 6の固定に用いられるネジ部 材 13とが接触することはなぐネジ部材 13を保持基板 4の端部近傍と異なる位置に 配置する構成としたにも関わらず、配線構造 12の機能を妨げることもない。特に、本 実施の形態では固定部材 6に開口部 16を形成した構造を採用するため、配線構造 12は、ブロック部材 11の下面から開口部 16を経由して外部に延伸することが可能で あり、力かる観点力もも固定部材 6の存在により配線構造 12の機能が妨げられること はない。

[0042] さらに、本実施の形態に力かる検査システムは、導電性接触子の先端部における 摩耗を抑制できるという利点を有する。図 4は、力かる利点を説明するための模式図 であり、以下では図 4を参照しつつ説明を行う。

[0043] 既に説明したように、検査対象 18に対して検査を行う際には、位置あわせを行った 後に検査対象 18を鉛直上方に移動させることによって導電性接触子 3の先端が端 子 19と物理的に接触する。そして、カゝかる時点において、導電性接触子 3と端子 19 との間の電気的な接触抵抗を低減する観点から、本実施の形態では導電性接触子 3と端子 19との間で一方から他方に対して鉛直方向（図 3、図 4における縦方向）にあ る程度の押圧力を印加するよう接触される。力かる押圧力の反作用として導電性接 触子 3に対しては、端子 19から鉛直上方に押圧力を受けることとなり、この結果、導 電性接触子 3を保持する保持基板 4は、端部近傍にて鉛直上方に圧力を受けること となり、従来構造の検査システム等においては、保持基板 4が反り、保持基板 4に保 持された導電性接触子 3の先端部は、端子 19に接触した状態を維持しつつ位置が 変動する。従って、検査を複数回繰り返した場合等には、導電性接触子 3の先端部 が徐々に摩耗することとなり、検査システムの性能に悪影響を及ぼすという問題があ つた o

[0044] これに対して、本実施の形態では、固定部材 6が導電性接触子 3よりも保持基板中 央側にて保持基板 4に対して固定されると共に、コンタクトブロック 5を保持基板 4との 間で挟み込む構成を有する。このため、固定部材 6は、保持基板 4に対して、コンタク トブロック 5を介して導電性接触子 3を保持する領域にぉ 、て鉛直下向に押圧力を印 加することとなり、力かる押圧力が端子 19より与えられる鉛直上方の押圧力を相殺す る補強部材として機能することが可能である。すなわち、本実施の形態にかかる検査 システムでは、固定部材 6が保持基板 4の反りを防ぐための補強部材として機能する こと〖こよって、保持基板 4の反りが抑制され、結果として導電性接触子 3の先端部の 位置変動の発生を抑制することとなり、先端部の摩耗を防止することが可能となる。 [0045] なお、固定部材 6が保持基板 4の補強部材としても機能することにより、本実施の形 態では保持基板 4を形成する材料の選択自由度が向上するという利点も有する。す なわち、保持基板 4は、保持する導電性接触子 3の長さに合わせて厚みを薄くした基 板によって形成する必要があるため、従来構造において反り等の形状変化をある程 度抑制するためには保持基板 4を形成する材料として剛性に富んだものを用いる必 要があった。し力しながら本実施の形態に力かる検査システムでは固定部材 6が補強 部材として機能することによって保持基板 4の剛性が強化されることとなるため、保持 基板 4の剛性に関して考慮する必要性が乏しくなる。従って、保持基板 4を構成する 材料の選択の自由度が向上することとなり、製造コストや剛性以外の特性を重視した 保持基板 4を用いることが可能となる。なお、固定部材 6に関しては、導電性接触子 3 の長さ等による厚みの制限は特にないことから、固定部材 6を形成する材料を剛性に 富んだものとしても良いし、固定部材 6の厚みを大きくすることによって固定部材 6全 体として所望の剛性を持たせることとしても良い。

[0046] なお、本実施の形態 1では、さらに確実に保持基板 4の反りの発生を抑制するため に、固定部材 6の構造に工夫を施している。すなわち、図 4にも示すように、固定部材 6は、導電性接触子 3が保持される領域よりも保持基板中央側にてネジ部材 13によ つて保持基板 4に対して固定される力 本実施の形態では、固定部材 6を力かる固定 箇所 (すなわち、ネジ部材 13が配置される領域)よりも保持基板中央側、さら〖こは導 電性接触子 3が保持される端部と対向する基板端部側にまで延伸した構成を採用し ている。力かる構成を採用することによって、固定部材 6は、保持基板 4に対する固定 箇所よりもさらに保持基板中央側に位置する領域においても補強部材として機能す ることとなり、保持基板 4の反りをより効果的に抑制することが可能である。

[0047] さらに、本実施の形態に力かる検査システムは、コンタクトブロック 5の交換が容易で あるという利点を有する。図 5は、力かる利点を説明するための模式図であり、以下図 5を参照しつつ説明を行う。

[0048] 従来の検査システムは、図 6にも示したように、固定のためのネジ部材が補強部材 のみならずコンタクトブロックをも貫通する形で配置されていたため、コンタクトブロック を交換するためにはネジ部材をー且取り外す必要があった。これに対して、上述した ように本実施の形態におけるコンタクトブロック 5は、保持基板 4上の所定の位置に配 置され、コンタクトブロック 5を形成するブロック部材 11の上面に対して固定部材 6が 保持基板に近接する方向に押圧力を印加することにより固定されている。従って、コ ンタクトブロック 5は、固定部材 6によって保持基板 4上に固定された状態であっても 水平方向（図 5における横方向および紙面に垂直な方向）には比較的自由に移動す ることが可能である。すなわち、本実施の形態では、コンタクトブロック 5を交換する際 には、固定部材 6がネジ部材 13によって保持基板 4に対して固定された状態を維持 したままコンタクトブロック 5のみを保持基板 4力 取り外すことが可能であり、容易に コンタクトブロック 5を交換することが可能である。

[0049] なお、他の構成としては、コンタクトブロック 5を形成するブロック部材 11の上面およ び Zまたは下面を微小な凹凸を有する面とすることとしても良い。力かる構成とした場 合には、固定部材 6が保持基板 4に対して固定された状態においては、保持基板 4 の表面等との間に摩擦力を生じることとなるため、コンタクトブロック 5が水平方向に移 動することは困難となる。一方で、ネジ部材 13をゆるめた場合には固定部材 6によつ て印加される押圧力が減少するために摩擦力が低下し、コンタクトブロック 5の水平方 向に対する移動が比較的容易なものとなる。このため、ネジ部材 13によるネジ止めの 程度を調整することによってコンタクトブロック 5の固定の程度を調整することが可能と なり、例えば検査システムを用いた検査の最中にコンタクトブロック 5が水平方向に位 置ずれすることを防止できる一方で、交換時にはコンタクトブロック 5を容易に移動す ることが可能となる。この他に、ノックピンを用いることによって、ブロック部材 11が保 持基板 4および固定部材 6に対して位置決めされる構成とすることも好ましい。

[0050] 以上、本発明に関して実施の形態を用いて説明した力 本発明は上述の実施の形 態に限定して解釈するべきではなぐ当業者であれば容易に実施例、変形例等に想 到することが可能である。例えば、上述した実施の形態においては検査対象 18につ いて LCDを例として説明したが、当然のことながら検査対象に関しては任意の回路 構造とすることが可能であり、例えば本発明を半導体素子'ウェハに対する検査シス テムに適用することが可能である。

[0051] また、具体的な構造としては図 1等に示したものに限定されるものではない。すなわ ち、所定の保持基板の端部近傍に導電性接触子が配置され、カゝかる導電性接触子 と電気的に接続する配線構造を備えたコンタクトブロックを固定するための固定部材 が導電性接触子が配置された領域よりも保持基板中央側にて保持基板に対して固 定された構造を有していれば、検査対象の端子と導電性接触子との間の位置関係を 目視することが容易となり、両者の間の位置あわせを容易に行うことができるという本 発明の利点を享受することが可能である。さらに、固定部材 6の保持基板 4に対する 固定態様に関しても、ネジ部材 13以外の構成を用いることとしても良い。また、配線 構造 12と導電性接触子 3との間の電気的接続は、両者が物理的に接触することによ つて実現しても良いが、たとえばブロック部材 11の下面に導電性接触子 3に対応した 端子が形成され、かかる端子を介して配線構造 12と導電性接触子 3との間を電気的 に接続することとしても良い。

産業上の利用可能性

以上のように、本発明に力かるコンタクトユニットおよび検査システムは、 LCDのよう に、微小かつ狭い間隔で多数の端子が配列された構造を有する検査対象の電気特 性を検査するのに好適である。

Claims

請求の範囲

[1] 所定の検査対象に形成された端子と前記検査対象に対して入出力する電気信号 を生成する信号生成装置との間を電気的に接続するコンタクトユニットであって、 前記端子と接触する導電性接触子と、

端部近傍領域にて前記導電性接触子を保持する保持基板と、

所定の配線構造を備え、該配線構造が前記導電性接触子と電気的に接続するよう 前記保持基板上に配置されたコンタクトブロックと、

前記導電性接触子が保持される領域よりも保持基板中央側にて前記保持基板に 対して固定され、前記コンタクトブロックに対して前記保持基板に近接する方向に押 圧力を印加することによって前記コンタクトブロックを前記保持基板上に固定するプロ ック固定部材と、

を備えたことを特徴とするコンタクトユニット。

[2] 前記コンタクトブロックは、前記配線構造の一端が前記保持基板と接触する面上に 前記導電性接触子に対応して配置された直方体形状のブロック部材を備え、 前記ブロック固定部材は、前記ブロック部材にお 、て前記配線構造が配置された 面と対向する面に対して前記保持基板に近接する方向に押圧力を印加することを特 徴とする請求項 1に記載のコンタクトユニット。

[3] 前記ブロック固定部材は、前記保持基板に対する固定箇所から前記導電性接触子 が配置される側と反対側の端部に向力つて所定距離に渡って前記保持基板表面と 接触する部分を有することを特徴とする請求項 1に記載のコンタクトユニット。

[4] 前記ブロック固定部材は、前記配線構造の他端を外部に延伸させるための開口部 が形成されたことを特徴とする請求項 1に記載のコンタクトユニット。

[5] 所定の検査対象の電気的特性を検査する検査システムであって、

前記端子と接触する導電性接触子と、端部近傍領域にて前記導電性接触子を保 持する保持基板と、所定の配線構造を備え、該配線構造が前記導電性接触子と電 気的に接続するよう前記保持基板上に配置されたコンタクトブロックと、前記導電性 接触子が保持される領域よりも保持基板中央側にて前記保持基板に対して固定され 、前記コンタクトブロックに対して前記保持基板に近接する方向に押圧力を印加する ことによって前記コンタクトブロックを前記保持基板上に固定するブロック固定部材と を備えたコンタクトユニットと、

前記配線構造と電気的に接続され、前記配線構造および前記導電性接触子を介 して前記検査対象に対して電気信号の入出力を行う信号処理装置と、

を備えたことを特徴とする検査システム。