CN101044407A - 接触单元及检查系统 - Google Patents

Abstract

一种具有接触单元和具备该接触单元的检查系统，该接触单元可以容易地进行在检查对象形成的端子和导电性触头之间的位置对准。接触单元(2)包括：导电性触头(3)，其按与检查对象中所形成的信号输入输出用端子对应的排列图案进行配置；保持导电性触头(3)的保持基板(4)；接触块(5)，其在保持基板(4)上、配置在与导电性触头(3)的保持区域对应的区域；固定部件(6)，其将接触块5固定在保持基板(4)上。固定部件(6)，在比保持导电性触头(3)的区域更靠近保持基板中央侧通过螺丝部件(13)相对于保持基板(4)固定，通过按压面(11a)相对于形成接触块(5)的块部件(11)在接近保持基板(4)的方向施加按压力，由此具有将接触块(5)相对于保持基板(4)固定的功能。

Description

接触单元及检查系统

技术领域

本发明涉及一种将形成在规定的检查对象中的端子与用于生成相对于上述检查对象输入输出的电信号的信号生成装置之间电连接的接触单元以及具备相关接触单元的检查系统。

背景技术

以往，公知有用于检查LCD(Liquid Crystal Display)等检查对象的电特性的检查系统。因为形成在LCD等检查对象上的端子具有在微小且狭窄的间隔排列多个的结构，所以检查系统采用了如下结构：通过与形成在检查对象上的多个端子相对应地配置了导电性触头的接触单元，与检查对象电连接(例如，参照专利文献1)。

图6是表示现有的检查系统中所具备的接触单元的构成的示意图。如图6所示，现有的接触单元具备：用于在物理上与形成在检查对象中的端子接触的导电性触头101；用于保持导电性触头101的保持基板102；具备布线结构103和块部件104的接触块105，布线结构103和块部件104用于电连接进行信号生成等的电子电路和导电性触头101；用于将接触块105相对保持基板102固定的固定部件106和用于将接触块105相对保持基板102固定的螺丝部件107。通过使用相关构成的接触单元，由信号处理装置生成的电信号，经由布线结构103和导电性触头101输入到检查对象的端子，对于来自检查对象的应答信号经由导电性触头101和布线结构103输入到信号处理装置。

专利文献1：日本特许第3442137号公报

但是，在现有的检查系统中，存在接触单元所具备的导电性触头和形成在检查对象中的端子之间的对准很困难的问题。以下关于有关问题进行说明。

图7是表示使用了现有的检查系统的检查方式的示意图。在LCD等检查对象上，因为通常形成多个端子110，所以在实际检查中，在电信号输入输出之前，需要正确地进行相关多个端子110与对应的导电性触头101之间的对准。

在每次进行对准时，形成在检查对象上的端子110和导电性触头101之间的位置关系通过直接或隔着规定的照相机目视进行是最可靠的。具体地说，通过目视将保持基板102和检查对象109之间的空隙部分对准，按照需要移动接触单元的位置之后进行电信号的输出输出。

但是，现有的检查系统，也如图7所示，在接触单元中为了确保由螺丝部件107进行固定的固定区域，具有保持基板102延伸到检查对象侧的结构。因此，在现有的检查系统中，主要由于保持基板102的延伸部分妨碍用于对准的目视，因此存在难以迅速进行对准的问题。

这里，将保持基板102上的螺丝部件107的位置设为相对于保持导电性触头101的区域为图7中的纸面垂直方向的位置。但是，在做成相关的构成时，又再次产生对应形成在检查对象中的端子难以配置接触块105的问题。即对应近年来检查对象端子的增加，接触单元具有将多个接触块105多个配置在图7中的纸面垂直方向的结构。因此，在做成上述结构时，螺丝部件107则位于邻接的接触块105之间，增加接触块105间的间隔，与检查对象的端子对应地配置布线结构103是很困难的。

另外，螺丝部件107相对于保持导电性触头101的保持区域配置在保持基板102的中央侧(图7中的左方向)的构成也不是优选的。也如图7所示，布线结构103由于从保持基板102的表面向图7中的左方向延伸，在相关位置配置螺丝部件107的情况下，需要重新花费用于保持螺丝部件107和布线结构103之间的电绝缘性的时间。

发明内容

本发明鉴于上述问题而做出，其目的在于，实现一种可以容易地进行形成在检查对象中的端子和导电性触头之间的对准的接触单元和具备相关的接触单元的检查系统。

为了解决上述课题达到本发明的目的，本发明技术方案1的接触单元，电连接在形成规定的检查对象中的端子和生成相对于所述检查对象输入输出的电信号的信号生成装置之间，其特征在于，具备：导电性触头，其与所述端子接触；保持基板，其在端子附近区域保持所述导电性触头；接触块，其具备规定的布线结构，按照该布线结构与所述导电性触头电连接的方式，配置在所述保持基板上；及块固定部件，其与保持所述导电性触头的区域相比在保持基板中央侧相对所述保持基板固定，通过对所述接触块在接近所述保持基板的方向施加按压力，将所述接触块固定在所述保持基板上。

根据技术方案1的发明，与导电性触头电连接的接触块，被做成在比导电性触头更靠近保持基板中央侧由相对于保持基板固定的固定部件固定在保持基板上的结构，因此不需要为了确保用于固定接触块的区域将保持基板的端部延伸，在检查对象的端子和导电性触头之间的对准时，可以很容易地目视端子和导电性触头之间的位置关系。

另外，根据技术方案二所述的接触单元，在上述发明中，所述接触块具有在所述布线结构的一端接触所述保持基板的面上与所述导电性触头相对应地配置的长方体形状的块部件，所述块固定部件，对于所述块部件中配置了所述布线结构的面相对置面，在接近所述保持基板的方向施加按压力。

根据技术方案三所述的接触单元，在上述发明中，所述块固定部件，从与所述保持基板相对的固定处朝向配置所述导电性触头一侧的相反侧的端部，经过规定的距离具有与所述保持基板表面接触的部分。

根据技术方案四所述的接触单元，在上述发明中，所述块固定部件，形成有用于将所述布线结构的另一端延伸到外部的开口部分。

根据技术方案五所述的检查系统，对规定的检查对象的电特性进行检查，上述检查系统具备接触单元和信号处理装置，所述接触单元具备：导电性触头，其与所述端子接触；保持基板，其在端子附近区域保持所述导电性触头；接触块，其具备规定的布线结构，按照该布线结构与所述导电性触头电连接的方式，配置在所述保持基板上；及块固定部件，其与保持所述导电性触头的区域相比在保持基板的中央侧相对所述保持基板固定，通过对所述接触块在接近所述保持基板的方向施加按压力，而将所述接触块固定在所述保持基板上，所述信号处理装置，其与所述布线结构电连接，通过所述布线结构和所述导电性触头，相对于所述检查对象进行电信号的输入输出。

(发明效果)

本发明相关的接触单元和检查系统中，与导电性触头电连接的接触块被做成在比导电性触头更靠近保持基板中央侧由相对保持基板固定的固定部件固定在保持基板上的结构，因此不需要为了确保用于固定接触块的区域将保持基板的端部延伸，在检查对象的端子和导电性触头之间的对准时，可以很容易地目视端子和导电性触头之间的位置关系，可实现容易地进行对准的效果。

附图说明

图1是表示实施方式中相关检查系统的整体构成的示意图。

图2是构成实施方式相关的检查系统的接触单元的俯视图。

图3是用于说明实施方式相关的检查系统的使用方式的示意图。

图4是用于说明实施方式相关的检查系统的优点的示意图。

图5是用于说明实施方式相关的检查系统的优点的示意图。

图6是表示现有检查系统所具备的接触单元的构成的示意图。

图7是用于说明现有的检查系统的问题的示意图。

图中：1-信号处理单元，2-接触单元，3-导电性触头，4-保持基板，5-接触块，6-固定部件，8-调整机构，9-框基板，10-贯通孔，11-块部件，11a-按压面，12-布线结构，13-螺丝部件，14-第一部件，15-第二部件，16-开口部分，17-保持区域，18-检查对象，19-端子，101-导电性触头，102-保持基板，103-布线结构，104-块部件，105-接触块，106-固定部件，107-螺丝部件，109-检查对象，110-端子。

具体实施方式

以下，参照附图对用于实施本发明相关的接触单元和检查系统的最佳方式(以下称为“实施方式”)进行详细地说明。另外，应该注意画面是示意图，各部分的厚度和宽度之间的关系、各个部分的厚度比例等与实际的不同，当然也包括在画面的互相之间互相的尺寸关系或比例的不同部分。

图1是表示本实施方式相关的检查系统的整体构成的示意图。如图1所示，本实施方式的检查系统为如下构成，具备进行规定的电信号的生成/处理的信号处理装置1和电连接信号处理装置1和检查对象之间的接触单元2。

信号处理装置1是用于进行规定的电信号的输入输出和信号处理的装置。具体地说，信号处理装置1生成在检查对象检查时所使用的检查用电信号，而且具有输入/处理来自检查对象的电信号的功能。

接触单元2具备：导电性触头3，其按照与形成在检查对象中的信号输入输出用的端子相对应的排列图案配置；保持基板4，其保持导电性触头3；接触块5，其配置在保持基板4上与导电性触头3的保持区域相对应的区域；固定部件6，其将接触块5固定在保持基板4上。接触单元2具备调整导电性触头3相对于检查对象的高度的调整机构8和保持调整机构8的框基板9。

图2是接触单元2的俯视图。如图2所示，接触单元2具有相对于单个框(frame)基板9配置多个调整机构8和与该调整机构8对应的固定部件6、接触块5(图2中省略图示)、保持基板4以及导电性触头3(图2中省略图示)的结构。本实施方式相关的检查系统，通过采用上述结构实现对于形成在检查对象上的多个端子的电连接，当然也可以由单个保持基板4、接触块5和固定部件6构成接触单元2。

导电性触头3与形成在检查对象上的端子在物理上接触。具体地说，导电性触头3例如具备弹簧部件，由伸缩自如的针状的导电性部件形成。导电性触头3形成为：在保持区域17以贯通保持基板4的方式保持，在下端部与检查对象上的端子在物理上接触，在上端部与布线结构12(后述)电连接。

保持基板4用于保持导电性触头3。具体地说，保持基板4对应端部附近检查对象的端子的排列形成多个贯通孔10，具有在上述的贯通孔10中保持导电性触头3的结构。

接触块5用于与导电性触头3电连接。具体地说，接触块5具有如下结构：具备由绝缘材料形成、具有长方体形状块部件11和一端固定在块部件11的表面上的布线结构12。

布线结构12用于电连接导电性触头3和信号处理装置1之间。具体地说，布线结构12，一端固定在块部件11的表面中与保持基板4对置的面上，通过将块部件11配置在保持基板4的规定位置，构成一端与导电性触头3的上端部接触。另外，也可以由与多个导电性触头3对应的多条导电性导线等形成布线结构12，作为其结构，但是，本实施方式中，通过FPC(Flexible Printed Circuit)、TAB(Tape Automated Bonding)等做成具有将多个导电性触头3的每一个与信号处理装置1电连接的结构。

固定部件6用于将接触块5固定在保持基板4上。具体地说，固定部件6在比保持导电性触头3的区域(即形成贯通孔10的区域)更靠近保持基板中央侧(图1中的左侧)具有使其固定于保持基板4的结构，而且具有在相对于保持基板4固定的情况下形成与块部件11的上面接触的按压面11a的结构。更具体地说，固定部件6，如图1所示，在比保持导电性触头3的区域更靠近保持基板中央侧，通过用螺丝部件13进行固定而相对于保持基板4固定，通过相关的固定方式经由按压面11a对块部件11在接近保持基板4的方向施加按压力，来固定接触块5。

另外，固定部件6具有在形成按压面11a的区域和相对保持基板4固定的区域(即、螺丝部件13配置区域)之间形成开口部分16的结构。开口部分16用于使接触块5所具备的布线结构12向外部延伸，布线结构12经由相关的开口部分16，延伸到接触单元2的外部，与信号处理装置1电连接。

调整机构8用于调整导电性触头3的垂直方向的位置。具体地说，调整机构8，具有相对框基板9固定的第一部件14和相对固定部件6固定的第二部件5，通过调整第一部件14和第二部件15之间垂直方向的位置关系的机构(图中省略)，具有调整固定部件6相对于框基板9(和相对于固定部件6固定的保持基板4，以及导电性触头3)在垂直方向的位置的功能。通过相关的位置调整功能，如图2所示，可以预先对齐由不同的保持基板4所保持的导电性触头3间的高度。

接着，对使用本实施方式相关的检查系统的检查进行说明。图3是表示使用了本实施方式相关的检查系统的检查对象的检查方式的示意图，以下，边适当参照图3边对检查内容进行说明。

首先，进行导电性触头3的位置对准(S1)。具体地说，对于检查对象18上所形成的端子19，按照使对应的导电性触头3位于垂直上方的方式，在水平方向(图3中的横方向和垂直纸面的方向)调整导电性触头3的位置。具体地说，也如图3所示，以导电性触头3和端子19的接触部分作为基点，通过在视角θ的范围自检查对象18侧的斜上方向目视，边确认导电性触头3和端子19之间的水平方向相关位置关系，边进行位置调整。另外，作为具体的位置调整的方式，例如也可以使用在水平方向微调整框基板9的位置的机构，也可以使调整机构8具有在水平方向的位置调整功能。

而且，水平方向的位置对准结束后，通过调整导电性触头3和检查对象18之间的垂直方向的位置关系(相对于检查对象18的导电性触头3的相对高度)，使导电性触头3和端子19在物理上接触(S2)。具体地说，例如通过在垂直方向上移动检查对象18，使检查对象18上所形成的端子19和导电性触头3在物理上接触。另外，作为相关物理上的接触方式，优选以自一方相对于另一方施加规定的按压力的程度而互相接触。通过导电性触头3相对于端子19以被施加按压力的状态接触，可以减少导电性触头3和端子19之间电气上的接触电阻。

然后，信号处理装置1和检查对象18之间进行信号的输入输出(S3)。具体地说，从信号处理装置1输出的电信号，通过布线结构12、导电性触头3和与导电性触头3在物理上接触的端子19，输入到检查对象18。对于相关的电信号，执行由形成在检查对象18内的电子电路等所进行的处理，从检查对象18对信号处理装置1输出响应信号，信号处理装置1根据相关的信号，进行判断检查对象18是否具备期望的特性的判断处理。

接着，对本实施方式相关的检查系统的优点进行说明。首先，本实施方式相关的检查系统，可以容易且迅速地进行导电性触头3对于端子19的位置对准。以下，对于相关的优点进行详细地说明。

如图1等所示，本实施方式的相关检查系统中，固定部件6在比保持导电性触头3的区域更靠近保持基板中央侧具有相对于保持基板4固定结构。因此，在本实施方式中，不需要将用于固定固定部件6的区域形成在保持基板4的端部附近，可以将导电性触头3保持在保持基板4的端部附近。

因此，在本实施方式的相关检查系统中，保持基板4没有成为比保持导电性触头3的区域更延伸到检查对象侧(图1、图3中的右侧)的结构，可以抑制对保持基板4的位置对准时目视的妨碍。即本实施方式相关的检查系统具有以下优点：在针对检查对象18进行检查时，通过将可目视导电性触头3和端子19接触的部分的视野范围比以往扩大，可以容易且迅速地进行位置对准。另外，比较图3和图7可知导电性触头3和端子19接触部分可目视的视野范围比以往扩大为，图3所示的本实施方式的视野角θ比图7所示的以往的视野角θ₀角度宽。

另外，本实施方式的相关检查系统，可以有效地防止由于扩大可目视导电性触头3和端子19相接触部分的视野范围而发生不良情况。即如图2所示，在本实施方式，关于导电性触头3的排列方向(垂直图1、图3中纸面的方向)的端部附近，具有没有配置螺丝部件，与以往没有什么变化的构成。因此，尽管将螺丝部件的位置配置在与保持基板的端部附近不同的位置，也不会扩大多个接触块间的间隔，也不会发生对应微小端子难以配置导电性触头的问题。

另外，如图1所示，固定部件6在比配置了块部件11的区域更靠近保持基板中央侧具有相对于保持基板4固定的结构。因此，从块部件11的下面延伸的布线结构12和用于固定部件6的固定的螺丝部件13不必接触，尽管做成将螺丝部件13配置在与保持基板4的端部附近不同位置的结构，也不会妨碍布线结构12的功能。特别是在本实施方式中，因为采用在固定部件6中形成开口部分16的结构，所以布线结构12可以从块部件11的下面经由开口部分16延伸到外部，从该角度看不会存在由于固定部件6的存在而妨碍布线结构12的功能。

进而，本实施方式相关的检查系统，具有可以抑制在导电性触头的前端部的磨损的优点。图4是表示用于说明相关优点的模式图，以下边参照图4边进行说明。

如已经说明过那样，在对检查对象18进行检查时，进行了位置对准之后，通过将检查对象18在垂直方向上移动，导电性触头3的前端与端子19在物理上接触。而且，在相关的时刻，从减少导电性触头3和端子19之间在电气上的接触电阻的角度，本实施方式中在导电性触头3和端子19之间从一方到另一方在垂直方向(图3、图4中的纵方向)施加某种程度的按压力以使其接触。作为相关按压力的反作用力，对于导电性触头3从端子19在垂直方向上受到按压力，其结果，保持导电性触头3的保持基板4在端部附近受到垂直向上的压力，在以往结构的检查系统等当中，保持基板4翘曲，保持基板4所保持的导电性触头3的前端部，边维持与端子19接触的状态边变动位置。因此，在多次重复检查的情况下，导电性触头3的前端部逐渐磨损，存在对检查系统性能带来不良影响的问题。

与此相对，在本实施方式中，固定部件6在比导电性触头3更靠近保持基板中央侧相对于保持基板4固定，而且具有在保持基板4之间夹着接触块5的构成。因此，固定部件6相对于保持基板4在隔着接触块5在保持导电性触头3的区域沿垂直向下的方向施加按压力，可以发挥加强部件的功能，使相关按压力与自端子19提供的垂直上方的按压力相抵消。即在本实施方式相关的检查系统中，固定部件6起到了用于防止保持基板4的翘曲的加强部件的功能，抑制保持部件4的翘曲，其结果可以抑制导电性触头3的前端部发生位置变动，防止前端部的损耗。

另外，通过固定部件6也作为保持基板4的加强部件的作用，在本实施方式中，也存在提高形成保持基板4的材料选择自由度的优点。即保持基板4，因为需要通过与所保持的导电性触头3的长度一致而厚度薄的基板形成，所以为了在以往的结构中在某种程抑制翘曲等形状的变化，作为形成保持基板4的材料需要用富有刚性的材料。但是，在本实施方式的相关的检查系统中，固定部件6通过起到加强部件的作用，可以强化保持基板4的刚性，因此不必太考虑关于保持基板4的刚性。因此，提高构成保持基板4的材料选择自由度，可以使用重视制造成本或刚性以外的特性的保持基板4。另外，关于固定部件6，因为到导电性触头3的长度等所引起的厚度没有特别地限制，所以也可以形成固定部件6的材料可以富有刚性，也可以通过加大固定部件6的厚度使固定部件6整体具有期望的刚性。

另外，在本实施方式1中，为了进一步可靠地抑制保持基板4的翘曲的发生，对固定部件6的结构进行研究。即如图4所示，固定部件6在比保持导电性触头3的区域更靠近保持基板中央侧通过螺丝部件13相对保持基板4固定，但是在本实施方式中，采用将固定部件6配置在相关固定处(即配置螺丝部件13的区域)更靠近保持基板中央侧，进而延伸到与保持导电性触头3的端部对置的基板端部侧的构成。通过采用该构成，固定部件6在相对于保持基板4固定的场所更位于保持基板中央侧的区域起到加强部件的作用，可以有效地抑制保持基板4的翘曲。

进而，本实施方式相关的检查系统，具有容易更换接触块5的优点。图5是用于说明相关优点的模式图。以下，边参照图5边进行说明。

以往的检查系统，如图6所示，用于固定的螺丝部件不仅是加强部件，也是按贯通接触块的形式而配置，所以为了更换接触块需要暂时取下螺丝部件。与此相对，如上所述，本实施方式中的接触块5，配置在保持基板4上的规定位置，通过相对于形成接触块5的块部件11的上面在固定部件6接近保持基板的方向施加按压力而固定。因此，接触块5即使是通过固定部件6固定在保持部件4上的状态，在水平方向(图5中的横方向和垂至于纸面的方向)可以比较自由地移动。即本实施方式中，在更换接触块5时，通过螺丝部件13固定部件6相对于保持基板4维持固定状态，可以从保持基板4只取下接触块5，可以容易地进行接触块5的更换。

另外，作为其它的构成，也可以在形成接触块5的块部件11的上面和/或下面形成具有微小凹凸的面。在做成相关构成的情况下，在固定部件6相对于保持基板4处于固定的状态下，因为与保持基板4的表面等之间产生摩擦力，接触块5难以在水平方向移动。另一方面，在螺丝部件13松动时，通过固定部件6施加的按压力减少，从而摩擦力降低，接触块5可以比较容易地相对于水平方向移动。因此，通过调整螺丝部件13的固定程度，可以调整接触块5的固定程度，例如在使用检查系统的检查中可以防止接触块5在水平方向错位，另一方面，在更换时可以容易地移动接触块5。此外，优选通过使用定位销(knock pin)，制成块部件11相对于保持基板4和固定部件6位置对准的结构。

以上，采用有关本发明的实施方式进行了说明，但是，本发明不应该解释为限定于上述实施方式，也包括本领域技术人员可以容易想到实施例、变形例等。例如，在上述实施方式中，对于检查对象18以LCD为例进行了说明，当然关于检查对象可以是任意的电路结构，例如可以将本发明应用在对半导体元件/晶片(wafer)的检查系统中。

另外，作为具体的结构，并不局限于图1等所示。即在规定的保持基板的端部附近配置导电性触头，具有将用于固定接触块的固定部件在比配置导电性触头的区域更靠近保持基板中央侧相对于保持基板固定的结构，该接触块具有与相关的导电性触头电连接的布线结构，可以容易地目视检查对象的端子和导电性触头之间的位置关系，容易地进行二者间的位置对准，这就是本发明的优点。进一步，关于固定部件6相对于保持基板固定方式也可以使用螺丝部件13以外的结构。另外，布线结构12和导电性触头3之间的电连接，也可以通过二者在物理上接触实现，但是也可以如在块部件11的下面形成与导电性触头3对应的端子，通过相关的端子将布线结构12和导电性触头3之间电连接。

产业上的应用可能性

如以上所述，本发明相关的接触单元和检查系统，适于检查LDC那样的、具有在微小而狭窄的间隔中配置多个端子的结构的检查对象的电特性。

Claims (5)

1、一种接触单元，电连接在形成于规定的检查对象中的端子和生成相对于所述检查对象输入输出的电信号的信号生成装置之间，其特征在于，

具备：

导电性触头，其与所述端子接触；

保持基板，其在端部附近区域保持所述导电性触头；

接触块，其具备规定的布线结构，按照该布线结构与所述导电性触头电连接的方式，配置在所述保持基板上；及

块固定部件，其与保持所述导电性触头的区域相比在保持基板中央侧相对所述保持基板固定，通过对所述接触块在接近所述保持基板的方向施加按压力，而将所述接触块固定在所述保持基板上。

2、根据权利要求1所述的接触单元，其特征在于，

所述接触块具有在所述布线结构的一端接触所述保持基板的面上与所述导电性触头相对应地配置的长方体形状的块部件，

所述块固定部件，对于与所述块部件中配置了所述布线结构的面相对置面，在接近所述保持基板的方向施加按压力。

3、根据权利要求1所述的接触单元，其特征在于，

所述块固定部件，具有从与所述保持基板相对的固定处朝向与配置所述导电性触头一侧相反侧的端部，经过规定的距离与所述保持基板表面接触的部分。

4、根据权利要求1所述的接触单元，其特征在于，

所述块固定部件，形成有用于将所述布线结构的另一端延伸到外部的开口部分。

5、一种检查系统，用于检查规定的检查对象的电特性，其特征在于，

所述检查系统具备接触单元和信号处理装置，

所述接触单元具备：导电性触头，其与所述端子接触；保持基板，其在端部附近区域保持所述导电性触头；接触块，其具备规定的布线结构，按照该布线结构与所述导电性触头电连接的方式，配置在所述保持基板上；及块固定部件，其与保持所述导电性触头的区域相比在保持基板中央侧相对所述保持基板固定，通过对所述接触块在接近所述保持基板的方向施加按压力，而将所述接触块固定在所述保持基板上，

所述信号处理装置，与所述布线结构电连接，通过所述布线结构和所述导电性触头，相对于所述检查对象进行电信号的输入输出。

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