WO2005121757A1 - X線検査装置 - Google Patents

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WO2005121757A1
WO2005121757A1 PCT/JP2005/005536 JP2005005536W WO2005121757A1 WO 2005121757 A1 WO2005121757 A1 WO 2005121757A1 JP 2005005536 W JP2005005536 W JP 2005005536W WO 2005121757 A1 WO2005121757 A1 WO 2005121757A1
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WO
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ray
conveyor
rays
unit
inspection apparatus
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PCT/JP2005/005536
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English (en)
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Inventor
Takashi Kabumoto
Original Assignee
Ishida Co., Ltd.
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Publication date
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    • G01N23/18Investigating the presence of flaws defects or foreign matter

Definitions

  • the present invention relates to an X-ray inspection apparatus that inspects an article such as contamination by irradiating the article to be conveyed with X-rays.
  • an X-ray inspection apparatus has been used to prevent the defective product from being shipped when foreign matter is mixed into the product or the product is cracked.
  • a defective product inspection was performed.
  • X-rays are irradiated to the inspection object continuously conveyed by the conveyor, the X-ray transmission state is detected by the X-ray light receiving unit, and foreign matter is detected in the inspection object. It is determined whether it is not mixed, or cracks are generated in the inspected object, or the quantity of unit contents in the inspected object is insufficient.
  • the X-ray inspection equipment may inspect the number of unit contents in the inspection object.
  • an X-ray inspection apparatus has been proposed that has a function for confirming whether or not a transport conveyor for transporting a product to be inspected is properly mounted (see Patent Document 1).
  • an open detector is placed at the mounting position of the transfer conveyor inside the apparatus, and the open detector is in an unobstructed state when the transfer conveyor is not properly mounted. Is detected and X-ray irradiation is prohibited. This prevents X-rays from being leaked to the outside of the device when X-rays are irradiated when the transfer conveyor is not properly installed or when the transfer conveyor is forgotten to be installed.
  • Patent Document 1 JP 2002-71588 A (published March 8, 2002) Disclosure of the invention
  • the conventional X-ray inspection apparatus has the following problems.
  • the X-ray inspection apparatus disclosed in the above publication is equipped with an open detector that detects the mounting state of the conveyor, it is easy to check whether the conveyor is properly installed, Although leakage can be prevented, there is a problem that an additional open detector is required, resulting in an increase in cost.
  • An X-ray inspection apparatus is an X-ray inspection apparatus that inspects an article by irradiating the article to be conveyed with X-rays and detecting X-rays transmitted through the article.
  • Unit a light receiving unit, a transport unit, an X-ray shielding unit, and a control unit.
  • the irradiation unit emits X-rays to the object to be inspected.
  • the light receiving unit detects the X-rays emitted from the irradiation unit.
  • the transport unit is disposed between the irradiation unit and the light receiving unit, and transports an article to be inspected.
  • the X-ray shielding unit is integrated with the transport unit and shields a part of the X-rays emitted from the irradiation unit and is formed in a region where the X-rays in the transport unit are irradiated.
  • the control unit detects a position where the X-ray is shielded by the X-ray shielding unit based on the amount of X-ray detected by the light receiving unit. Then, based on this position, it is determined whether or not the conveying unit is properly mounted.
  • the control unit should be detected when the position of the X-ray shielding unit is small and the amount of X-rays detected by the light receiving unit is small compared to other regions. If it matches the position
  • the transport unit is normally mounted.
  • the position of the region where the amount of X-ray detection in the light receiving unit is shielded by the X-ray shielding unit is normally If the position that should be detected when it is mounted is not correct or if an area with a small amount of X-ray detection cannot be detected, it is determined that the transport unit is not normally mounted.
  • the transport unit for transporting the article to be inspected is normally mounted on the main body of the X-ray inspection apparatus. In this case, the scattered X-rays leak inside the apparatus and leak outside the apparatus. There is a risk.
  • the normal mounting of the transport section is a means for detecting whether or not the transport section is normally mounted on the main body of the X-ray inspection apparatus before the inspection of the article is started.
  • a switch that allows X-ray irradiation is provided.
  • the method using a switch like this has the following problems: cost increase and production effort!
  • an X-ray shielding unit integrated with the transport unit is formed in order to confirm normal mounting of the transport unit.
  • the X-ray shielding part of the light-receiving part that is blocked by the X-ray shielding part that is, the part where the detected amount of X-rays is small, is detected and compared with the position to be detected when it is normally attached.
  • the integration of the X-ray shielding part with the transport part means that the X-ray shielding part may be formed as a part of the transport part and integrated, and the X-ray shielding part is formed separately and independently. After being fixed, it is fixed to the transport section and integrated.
  • the X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to the first invention, and when the control unit determines that the transport unit is not normally attached, the X-ray irradiation of the irradiation unit force is performed. Is prohibited.
  • control unit determines that the transfer unit has been properly mounted by X-ray irradiation before the inspection of the article, the X-ray irradiation with the irradiation unit power is prohibited. Do it.
  • the X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to the first or second invention. Therefore, the apparatus further includes a storage unit that stores the position of the light receiving unit where X-rays are shielded by the X-ray shielding unit when the transport unit is normally mounted.
  • the transport unit when the transport unit is mounted at a normal position, the position of the light receiving unit where the X-ray is blocked by the X-ray blocking unit, that is, the amount of X-rays detected by the light receiving unit is compared with other regions.
  • the position of the light receiving unit where the X-ray is blocked by the X-ray blocking unit that is, the amount of X-rays detected by the light receiving unit is compared with other regions.
  • the amount of the X-rays detected by the light receiving unit by irradiating the X-rays before the inspection of the article is small! /, Whether the position of the part matches the position stored in the storage unit! It is possible to easily confirm whether or not the transfer unit is properly mounted according to whether or not it is properly installed. For example, if the position stored in the storage unit does not match the actual detection result, it is determined that the transport unit is not properly mounted. If the position stored in the storage unit matches the actual detection result, it can be determined that the transport unit is mounted normally. As a result, it is possible to easily determine whether or not the transport unit is properly mounted, and it is possible to reliably avoid inspecting the article by irradiating X-rays when the transport unit is not sufficiently mounted.
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to any one of the first to third inventions, wherein the X-ray shielding part is integrally formed with a frame constituting the transport part.
  • the X-ray shielding part is integrally formed with a frame constituting the conveying part, such as a slit or an opening formed in the frame of the conveying part.
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to any one of the first to fourth inventions, wherein the transport unit includes an endless transport belt for transporting an article, and a transport A conveyor having a drive mechanism for rotating the belt and a frame disposed inside the conveyor belt.
  • a conveyance conveyor including a conveyance belt, a drive mechanism, and a frame is used as the conveyance unit.
  • the opening or slit formed in the frame is used to An X-ray shielding part can be formed using a part of
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to the fifth aspect of the invention, wherein the X-ray shielding part is a frame that forms a slit formed in a frame provided in the conveyor. Part.
  • a slit is formed in the frame of the conveyor, and the portion of the frame that forms this slit is used as the X-ray shielding part.
  • the X-rays are shielded by the part of the frame that forms the slits formed in the frame of the conveyor, so it is easy to check whether the conveyor is properly installed based on the position of the shielded light receiving unit. Can be confirmed.
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to the fifth aspect of the invention, wherein the X-ray shielding part is a frame that forms an opening formed in a frame provided in the conveyor. Part.
  • the X-ray shielding part is formed as a part of the frame in consideration of the positional relationship between the opening and the light receiving part originally formed in the frame of the conveyor. .
  • the part of the frame that forms the opening of the frame of the transfer conveyor that is also equipped with the conventional X-ray inspection device is used as the X-ray shielding part.
  • a part of the light receiving part is arranged at a position where X-rays are shielded by the frame part forming the opening.
  • the transport unit As described above, based on the presence or absence of detection in the light receiving unit arranged at a position where X-rays are shielded by the portion of the frame forming the opening, it is possible to easily recognize whether or not the transport unit is normally mounted. it can.
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to any one of the first to seventh inventions, wherein the light receiving unit is a line sensor.
  • a line sensor is used as the light receiving unit. Then, for example, the line sensor is arranged in a direction perpendicular to the transport direction in the transport unit, and each pixel of the line sensor is X-ray detection is performed.
  • both ends of the line sensor are configured to shield X-rays by a portion of the frame that forms an opening formed in the frame as an X-ray shielding unit. Check whether X-rays are detected at multiple pixels at both ends of the line sensor.
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to the eighth aspect, wherein the X-ray shielding unit blocks X-rays detected at one end or both ends of the line sensor. It is placed at the position to cover.
  • an X-ray shielding unit is provided at a position that prevents the irradiation unit force from being detected at the end of the irradiated X-ray force S-line sensor.
  • the transport unit is a transport conveyor
  • the length of the line sensor may be longer than the length in the direction orthogonal to the transport direction of the X-ray detection opening formed in the frame.
  • X-rays are irradiated before inspecting the article, and the amount of detected X-rays is small compared to other pixels, and the pixel position is at one end of the line sensor. If it matches the pixel, it can be determined that the transport unit is normally attached. On the other hand, if the detected amount of X-rays is small! / If the position of the pixel is shifted by the end force of the line sensor, or if it is more than the specified number, less than the specified number, or if it cannot be detected, the transport unit is normal. It can be determined that it is attached to the
  • FIG. 1 is an external perspective view of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram showing the configuration before and after the X-ray inspection apparatus.
  • FIG. 3 Simplified configuration diagram inside the shield box of the X-ray inspection device.
  • FIG. 4 is a plan view showing a conveyor frame inside the shield box of the X-ray inspection apparatus.
  • FIG. 5 (a) is a diagram showing an X-ray irradiation state when the conveyor is mounted and a graph showing the X-ray detection amount in the line sensor at that time. (b) is a diagram showing an X-ray irradiation state when the conveyor is not installed and a graph showing the X-ray detection amount in the line sensor at that time.
  • FIG. 6 is a block diagram of the control computer. 7] A schematic diagram showing the principle of X-ray inspection.
  • FIG. 8 is a plan view showing a comparison frame mounted inside an X-ray inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 (a) is a diagram showing an X-ray irradiation state on the conveyor frame shown in Fig. 8 and a graph showing an X-ray detection amount in the line sensor at that time. (B) is a graph created by binarizing the amount of X-rays detected in (a).
  • Control computer control unit
  • USB external connection terminal
  • CF Compact Flash (registered trademark), storage unit)
  • the X-ray inspection apparatus 10 is one of the apparatuses that perform quality inspection in a production line for products such as food.
  • the X-ray inspection device 10 irradiates products that are continuously conveyed with X-rays, and inspects whether foreign matters are mixed in the products based on the X-ray dose that has passed through the products! Do.
  • the product G that is the inspection object of the X-ray inspection apparatus 10 is conveyed to the X-ray inspection apparatus 10 by the front conveyor 60. Commodity G is judged by the X-ray inspection apparatus 10 for the presence of foreign matter.
  • the determination result of the X-ray inspection apparatus 10 is transmitted to a distribution mechanism 70 disposed on the downstream side of the X-ray inspection apparatus 10.
  • the distribution mechanism 70 sends the product G as it is to the regular line conveyor 80 when the product G is determined to be a non-defective product in the X-ray inspection apparatus 10.
  • the arm 70a having the downstream end as a rotation shaft rotates so as to block the conveyance path.
  • the product G determined to be a defective product can be collected by the defective product collection box 90 arranged at a position off the conveyance path.
  • the X-ray inspection apparatus 10 mainly includes a shield box 11, a conveyor 12, a shielding panel 16, and a monitor (display device) 26 with a touch panel function.
  • a shield box 11 As shown in FIG. 3, an X-ray irradiator (irradiation unit) 13, an X-ray line sensor 14, and a control computer (control unit) 20 (see FIG. 6) are provided inside.
  • the shield box 11 has an opening 11a for carrying in and out the product on both the entrance side and the exit side of the product G.
  • a conveyor 12 an X-ray irradiator 13, an X-ray line sensor 14, a control computer 20 and the like are accommodated.
  • the opening 11a is blocked by a shielding nolen 16 in order to prevent leakage of X-rays to the outside of the shielding box 11.
  • This shielding nolen 16 has a rubber nolene portion containing lead and is pushed away by the product when the product is carried in and out.
  • a key plugging power switch is arranged on the upper front of the shield box 11.
  • the conveyor 12 conveys commodities within the shield box 11, and is driven by a conveyor motor (drive mechanism) 12f included in the control block of FIG.
  • the conveying speed by the competitor 12 is controlled by the control computer 20 by inverter control of the conveyor motor 12f so as to be the set speed input by the operator.
  • the conveyor 12 has a conveyor belt 12a and a conveyor frame 12b, and is attached to the shield box 11 in a removable state. Thereby, in order to keep the inside of the shield box 11 clean when inspecting food or the like, the conveyor can be removed and frequently cleaned.
  • the conveyor belt 12a is an endless belt, and is supported by the conveyor frame 12b from the inside of the belt. Then, by receiving the driving force of the conveyor motor 12f and rotating, the object placed on the belt is conveyed in a predetermined direction.
  • the conveyor frame 12b supports the conveyor belt 12a from the inside of the endless belt, and is perpendicular to the conveying direction at a position facing the inner surface of the conveyor belt 12a as shown in FIGS. 3 and 4. It has an opening 12c that is long in the direction.
  • the opening 12c is formed on a line connecting the X-ray irradiator 13 and the X-ray line sensor 14 in the conveyor frame 12b.
  • the opening 12c is formed in the X-ray irradiation region from the X-ray irradiator 13 in the conveyor frame 12b, and X-rays that have passed through the product G are shielded by the conveyor frame 12b. It is formed so that it will not be lost!
  • the opening 12c since the opening 12c is formed, a part of the X-ray irradiated from the X-ray irradiator 13 is shielded as a part of the conveyor frame 12b on both sides in the longitudinal direction of the opening 12c.
  • the shielding part (X-ray shielding part) 12d is formed. As shown in FIG. 3 and FIG. 5 (a), the shielding part 12d is a part extending to both ends of the conveyor frame 12b in both ends of the opening 12c in the direction orthogonal to the conveying direction. For this reason, as shown in FIG.
  • the X-ray irradiator 13 is disposed above the conveyor 12 and is disposed below the conveyor 12 through an opening 12c formed in the conveyor frame 12b. (Light receiving part, line sensor) X-rays are radiated in a fan shape toward 14 (see shaded area in Fig. 3).
  • X-rays radiated from the X-ray irradiator 13 slightly extend from the center of the conveyor frame 12b to both ends of the opening 12c (the number of X-ray line sensors 14). Irradiation is performed over the region where the pixel component) protrudes, and over the region including the pixels 14a at both ends of the X-ray line sensor 14, as shown in FIG. 5 (b).
  • the X-ray line sensor 14 is arranged below the conveyor 12 (opening 12c, shielding part 12d), and detects X-rays transmitted through the product G conveyor belt 12a. As shown in FIGS. 5 (a), 5 (b), etc., this X-ray line sensor 14 is composed of a plurality of pixels 14a arranged horizontally in a straight line in a direction perpendicular to the conveying direction by the conveyor 12. .
  • FIG. 5 (a) and 5 (b) show the X-ray irradiation state in the X-ray inspection apparatus 10 and the X-ray dose detected in each pixel 14a constituting the line sensor 14 at that time. Daraf and each are shown.
  • the dotted line in the graph shown at the bottom of each figure corresponds to the position of the pixel 14a where the X-ray is blocked by the shielding part 12d in the X-ray irradiation state shown at the top (Fig. 9 (a The same applies to Fig. 9 (b)).
  • the X-ray line sensor 14 detects the X-ray by the shielding portions 12d at both ends of the opening 12c as shown in the graph of FIG. As a result, the amount of X-ray detection is reduced at several pixels (4-15 pixels) at both ends compared to the other pixels 14a.
  • the conveyor 12 is forgotten to be mounted, X-rays of a predetermined amount or more are detected in all the pixels 14a as shown in the graph of FIG. 5 (b). For this reason, as shown in the lower graph of FIG. 5 (a), by detecting whether or not the detection amount at a predetermined pixel 14a (a plurality of pixels at both ends) is smaller than that of the other pixels 14a, Presence / absence of mounting, mounting failure, etc. can be detected.
  • the monitor 26 is a full-dot liquid crystal display.
  • the monitor 26 has a touch panel function, and displays a screen that prompts input of parameters relating to initial setting and defect determination.
  • the monitor 26 displays an X-ray image after image processing described later is performed. As a result, the presence / absence, location, size, etc. of foreign matter contained in the product G can be visually recognized by the user.
  • the monitor 26 displays a detection result of a mounting failure of the conveyor 12 described later.
  • the control computer (control unit) 20 executes an image processing routine, an inspection determination processing routine, and the like included in the control program in the CPU 21.
  • the control computer 20 stores the images and inspection results used for inspection of defective products in the storage unit such as CF (Compact Flash (registered trademark)) 25 and the X-ray detection amount to other pixels when the conveyor 12 is installed. Saves and accumulates pixel information, etc., which is less than that of the previous one.
  • the control computer 20 includes a CPU 21 and ROM 22, RAM 23, and CF 25 as main storage units controlled by the CPU 21.
  • the CF 25 stores a threshold file 25a for storing a threshold value of density, which will be described later, and an inspection result log file 25b for storing inspection images and inspection results.
  • control computer 20 includes a display control circuit for controlling data display on the monitor 26, a key input circuit for fetching key input data from the touch panel of the monitor 26, and an IZO port for controlling data printing in a printer not shown. External connection end With USB24 etc. as a child!
  • the CPU 21, ROM 22, RAM 23, CF 25, etc. are connected to each other via bus lines such as an address bus and a data bus.
  • the control computer 20 is connected to a conveyor motor 12f, a rotary encoder 12g, an X-ray irradiator 13, an X-ray line sensor 14, a photoelectric sensor 15, and the like.
  • the rotary encoder 12g is attached to the conveyor motor 12f, detects the conveying speed of the conveyor 12, and transmits it to the control computer 20.
  • the photoelectric sensor 15 is a synchronous sensor for detecting the timing when the product G to be inspected comes to the position of the X-ray line sensor 14, and is also configured with a pair of projector and receiver power arranged with the conveyor interposed therebetween.
  • the control computer 20 When the control computer 20 receives a signal from the photoelectric sensor 15 and the product G passes through the fan-shaped X-ray irradiation unit (see the hatched portion in FIGS. 3 and 5A), the X-ray line sensor 14 X-ray fluoroscopic image signals (see Fig. 7) are acquired at small time intervals, and an X-ray image of product G is created based on these X-ray fluoroscopic image signals. That is, data at each time is obtained from each pixel 14a of the X-ray line sensor 14 at fine time intervals, and a two-dimensional image is created from these data.
  • the foreign substance inspection routine executed by the CPU 21 of the control computer 20 performs image processing on the X-ray image obtained as described above, and determines whether the product is good or bad (no foreign matter is mixed) by multiple judgment methods. ).
  • Examples of the determination method include a trace detection method, a binarization detection method, and a mask binary key detection method. As a result of judging by these judgment methods, if there is even one that is judged to be defective (the foreign object image shown in Fig. 7), the product G is determined to be defective.
  • the trace detection method and binarization detection method make judgments on unmasked areas of the image.
  • the mask binary key method makes a judgment on the masked area of the image.
  • the mask is set for the container portion of the product G.
  • a reference level is set along the maximum thickness of the object to be detected, and it is judged that foreign matter is mixed in the product G when the image becomes darker than that. It is a method. In this method, a product defect can be detected by detecting a relatively small foreign object.
  • the conveyor 12 before starting the contamination inspection of the product, the conveyor 12 is installed to prevent leakage of X-rays to the outside due to forgetting to install the conveyor 12, etc. If you forget, check the conveyor 12 for misalignment.
  • the control computer 20 controls the X-ray irradiator 13 to prohibit X-ray irradiation.
  • Fig. 5 (b) if you forget to attach the conveyor 12 that has been removed from the shield box 11 for cleaning, etc., X-rays are detected in all the pixels 14a of the X-ray line sensor 14. Is detected. For this reason, the control computer 20 compares the reference state stored in the storage unit such as the RAM 23 with a level equivalent to that of the other pixels 14a in the predetermined pixel 14a (several pixels at both ends of the X-ray line sensor 14). Since X-rays are detected, it is determined that the conveyor 12 is worn abnormally. Then, the X-ray irradiation from the X-ray irradiator 13 is prohibited, and a message indicating that the conveyor 12 is not installed is displayed on the monitor 26!
  • the amount of X-rays emitted from the X-ray irradiator 13 may be reduced compared to that during normal inspection during inspection of defective mounting of the conveyor 12 performed before the start of contamination inspection (for example, 30kv—about 1mA). As a result, even when the conveyor 12 is not properly mounted, the amount of X-rays leaked to the outside when the conveyor 12 is mounted incorrectly can be suppressed to about 1 ⁇ SvZh or less.
  • the X-ray irradiation amount from the X-ray irradiator 13 is increased to a normal inspection amount, and the product G is conveyed by the conveyor 12, Start contamination inspection.
  • the conveyor 12 (conveyor frame 12b) includes a shielding portion 12d that shields a part of the X-rays emitted from the X-ray irradiator 13.
  • the shielding portion 12d is configured such that X-rays detected by a part of the pixels 14a constituting the X-ray line sensor 14 are smaller than those of the other pixels 14a.
  • Pixel 14a position, number, etc.
  • the X-rays are irradiated to detect whether or not the X-rays are detected in the stored pixel 14a, and whether or not the conveyor 12 is not properly mounted is determined.
  • the X-ray inspection apparatus 10 is a RAM 23 as a storage unit that stores a reference state (position and number of pixels where the amount of X-ray detection is reduced) for performing a defective mounting inspection of the conveyor 12. It is equipped with storage means such as.
  • a shielding part 12d as an X-ray shielding part is integrally formed as a part of the conveyor frame 12b.
  • the initial force is also integrated with the conveyor 12, so that the configuration can be further simplified.
  • a conveyor 12 having an endless conveyor belt 12a, a conveyor frame 12b, a conveyor motor 12f, and the like is used as a conveyance unit that conveys products.
  • an X-ray shielding unit integrated with the conveyor 12 can be easily formed in the conveyor frame 12b.
  • a part of the conveyor frame 12b around the opening 12c formed in the conveyor frame 12b is used as an X-ray shielding part (shielding part 12d).
  • an X-ray line sensor 14 including a plurality of pixels 14a is used as a light receiving unit that detects X-rays emitted from the X-ray irradiator 13.
  • the X-ray line sensor 14 so as to be long in the direction orthogonal to the transport direction, the X-rays can be shielded at both ends by the shielding part 12d. Therefore, it is possible to easily determine whether or not the conveyor 12 is defective depending on whether or not the detected amount of X-rays at the predetermined pixels 14a at both ends is reduced.
  • the shielding portion 12d is detected by some pixels 14a at both ends of the X-ray line sensor 14 disposed below the opening 12c formed in the conveyor frame 12b. Shield X-rays.
  • an opening 12c is formed in the conveyor frame 12b, and a part of the conveyor frame 12b at both ends thereof is used as an X-ray shielding part (shielding part 12d).
  • shielding part 12d X-ray shielding part
  • slits 12e are formed in the vicinity of both ends of the conveyor frame 12b in the direction orthogonal to the conveying direction, and the portion of the conveyor frame 12b that forms the slit 12e is formed.
  • the same effects as in the above embodiment can be obtained, and the presence or absence of the conveyor 12 can be determined at the portion of the compare frame 12b that forms the slit 12e. It is possible to inspect the installation failure of the conveyor 12 in a state where it is clear that it is a part (shielding part) of the conveyor frame 12b.
  • the threshold value of the X-ray detection amount in the X-ray line sensor 14 is set, and the detection result shown in FIG. ) May be created to determine whether or not the conveyor 12 is poorly mounted.
  • the pixel 14a of the X-ray line sensor 14 shielded by a part (shielding part) of the conveyor frame 12b is confirmed. It is possible to inspect the conveyor 12 for poor mounting.
  • a member that shields a part of X-rays may be formed separately, and this may be fixed to the conveyor 12 and integrated. Even in this case, since the member as the X-ray shielding part moves as the conveyor 12 moves, it is possible to detect whether or not the conveyor 12 is abnormally attached.
  • the shielding portion 12d is formed so as to shield the X-rays detected in the four-to-five pixels 14a by the both-end forces of the X-ray line sensor 14 has been described.
  • the present invention is not limited to this.
  • X-ray line sensor 14 For example, only a few pixels 14a at one end of the X-ray line sensor 14 may be configured to block the X-rays by the shielding part 12d, or different numbers of X-ray line sensor 14 at both ends may be used. A configuration may be adopted in which the pixels are shielded from the X-rays by the shielding portion 12d.
  • a configuration in which 5 pixels from one end of the X-ray line sensor 14 are shielded from X-rays by the shielding part 12d, or 8 pixels from one end and 3 pixels from the other end are shielding parts. It can be configured to block X-rays by 12d!
  • the pixel 14a (reference state) in which X-rays are blocked by the shielding portion 12d when the conveyor 12 is mounted at a normal position can be stored in the storage portion such as the RAM 23. The same effects as described above can be obtained.
  • the opening 12c forming the shielding part 12d is formed as a square opening.
  • the present invention is not limited to the configuration shown in the above embodiment with respect to the shape and size of the opening 12c.
  • inspection can be performed by irradiating other radiation such as j8 rays other than X-rays, ⁇ rays, and electromagnetic waves.
  • the X-ray inspection apparatus of the present invention has an effect that it is possible to check whether or not the transport unit is properly mounted with a simple configuration, and thus includes a transport unit that transports an article to be inspected. Widely applicable to radiation inspection equipment using radiation such as X-rays

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Abstract

 搬送コンベアの正常な装着の有無を確認するための構成を別途必要とすることなく、簡易な構成により、搬送部が正常に装着されているか否かを容易に確認することが可能なX線検査装置を提供する。X線検査装置(10)は、X線照射器(13)から照射されるX線の一部分を遮蔽する遮蔽部(12d)をコンベア(12)に備えている。遮蔽部(12d)によって、X線ラインセンサ(14)を構成する画素(14a)の一部で検出されるX線が他の画素(14a)よりも少なくなるように構成されている。制御コンピュータ(20)が、コンベア(12)が正常に装着されている場合においてX線の検出量が少なくなる画素(14a)を記憶しており、異物混入の検査を開始する前に、少量のX線を照射して記憶した画素(14a)においてX線が検出されるか否かを検出し、コンベア(12)の装着不良の有無を判定する。

Description

X線検査装置
技術分野
[0001] 本発明は、搬送される物品に対して X線を照射して、例えば、異物混入等の物品の 検査を行う X線検査装置に関する。
背景技術
[0002] 従来より、食品などの商品の生産ラインにおいては、商品への異物混入や商品の 割れ欠けがある場合にその不良商品が出荷されることを防止するために、 X線検査 装置を用いた商品不良検査が行われている。この X線検査装置では、搬送コンベア によって連続搬送されてくる被検査物に対して X線を照射し、その X線の透過状態を X線受光部で検出して、被検査物中に異物が混入していないか、あるいは被検査物 に割れ欠けが生じて 、たり被検査物内の単位内容物の数量が不足して 、たりしな!ヽ かを判別する。また、 X線検査装置によって、被検査物内の単位内容物の数量を数 える検査が行われることもある。
このような X線検査装置において、検査対象が食品等の商品である場合には、衛 生面を考慮して、搬送コンベアは取り外されて繰り返し洗浄される。このとき、何度も 取り外しと取り付けとを繰り返す搬送コンベアが正常な位置に装着されていない場合 には、この状態で X線を照射すると装置の内部で X線が散乱して装置の外部に漏洩 する恐れがある。
このため、検査を行う商品を搬送する搬送コンベアの正常な装着の有無を確認す るための機能を備えた X線検査装置が提案されている (特許文献 1参照)。特許文献 1に開示された X線検査装置では、装置内部の搬送コンベアの取付位置に開放検出 器を配置し、搬送コンベアが正常に装着されていない場合には、開放検出器が非遮 蔽状態を検出して X線の照射を禁止する。これにより、搬送コンベアが正常に取り付 けられていない状態、あるいは搬送コンベアの取付けを忘れている状態で、 X線が照 射されて装置の外部に X線が漏洩することを防止して 、る。
特許文献 1:特開 2002-71588号公報(平成 14年 3月 8日公開) 発明の開示
し力しながら、上記従来の X線検査装置では、以下に示すような問題点を有してい る。
すなわち、上記公報に開示された X線検査装置では、搬送コンベアの取り付け状 態を検出する開放検出器を備えているため、搬送コンベアの正常な取付の有無を容 易に確認し、 X線の漏洩を防止できるものの、別途開放検出器が必要であってコスト アップを招くという問題がある。
本発明の課題は、搬送コンベアの正常な装着の有無を確認するための構成を別途 必要とすることなぐ簡易な構成により、搬送部が正常に装着されている力否かを容 易に確認することが可能な X線検査装置を提供することにある。
第 1の発明に係る X線検査装置は、搬送される物品に対して X線を照射し、物品を 透過した X線を検出することで物品の検査を行う X線検査装置であって、照射部と、 受光部と、搬送部と、 X線遮蔽部と、制御部とを備えている。照射部は、検査対象とな る物品に対して X線を照射する。受光部は、照射部から照射された X線を検出する。 搬送部は、照射部と受光部との間に配置されており、検査対象となる物品を搬送する
。 X線遮蔽部は、搬送部と一体化されており、照射部から照射された X線の一部を遮 蔽するとともに搬送部における X線が照射される領域に形成されている。制御部は、 受光部において検出された X線の量に基づいて X線遮蔽部によって X線が遮蔽され た位置を検出する。そして、この位置に基づいて搬送部が正しく装着されている力否 かを判定する。
ここでは、検査対象となる物品を搬送する搬送部と一体化されており、照射部から 照射される X線を遮る X線遮蔽部を形成している。そして、物品の検査を開始する前 に照射部から X線を照射して、物品を透過した X線を検出する受光部にぉ 、て上記 X線遮蔽部によって X線が遮蔽された位置を検出する。制御部は、 X線遮蔽部によつ て遮蔽されて受光部における X線の検出量が他の領域と比べて少ない領域の位置 力 正常に搬送部が装着されている場合に検出されるべき位置と一致する場合には
、搬送部が正常に装着されていると判定する。一方、制御部は、 X線遮蔽部によって 遮蔽されて受光部における X線の検出量が少ない領域の位置が、正常に搬送部が 装着されている場合に検出されるべき位置カゝらずれている場合や X線の検出量が少 ない領域を検出できない場合には、搬送部が正常に装着されていないと判定する。 ここで、検査対象となる物品を搬送する搬送部が X線検査装置の本体に正常に装 着されて 、な 、場合には、装置内部にぉ 、て散乱した X線が装置外に漏洩する危険 性がある。このため、従来の X線検査装置でも、物品の検査を開始する前に X線検査 装置の本体に搬送部が正常に装着されている力否かを検出する手段として、搬送部 の正常な装着によって X線の照射を許可するスィッチ等が設けられている。しかし、こ のようにスィッチを用いた方法では、コストアップや製作の手間が力かると!、つた問題 がある。
そこで、本発明の X線検査装置では、搬送部の正常な装着を確認するために、搬 送部と一体化された X線遮蔽部を形成している。これにより、受光部において X線遮 蔽部によって X線が遮蔽された部分、つまり X線の検出量が少ない部分を検出して、 正常に装着されている場合に検出されるべき位置と比較することで、容易に搬送部 が正常に装着されている力否かを確認することができる。よって、スィッチ等の複雑な 機構を別途設けなくても、搬送部に X線遮蔽部を形成した簡易な構成により、搬送部 の正常な装着の有無を確認することができる。
なお、 X線遮蔽部の搬送部との一体化とは、 X線遮蔽部が搬送部の一部として形成 されて一体化されてもよ!ヽし、 X線遮蔽部が別個独立して形成された後で搬送部に 固定されて一体化されてもょ ヽ。
第 2の発明に係る X線検査装置は、第 1の発明に係る X線検査装置であって、制御 部は、搬送部が正常に取付けられていないと判定すると照射部力 の X線の照射を 禁止する。
ここでは、物品の検査開始前の X線の照射によって制御部が搬送部が正常に取り 付けられて 、な 、と判定した場合には、照射部力もの X線の照射を禁止するように制 御を行う。
これにより、搬送部が正常に取り付けられていない場合でも、 X線が装置内部で散 乱して外部に漏洩する危険性を回避できる。
第 3の発明に係る X線検査装置は、第 1または第 2の発明に係る X線検査装置であ つて、搬送部が正常に装着されている場合において X線遮蔽部によって X線が遮蔽 される受光部の位置を記憶する記憶部をさらに備えている。
ここでは、搬送部が正常位置に装着されている場合において、 X線遮蔽部によって X線が遮蔽される受光部の位置、つまり受光部において検出される X線の量が他の 領域と比べて少な 、部分を記憶して 、る。
これにより、物品の検査開始前において X線を照射して受光部において検出される 上記 X線の量が少な!/、部分の位置が、記憶部に記憶されて!、る位置と一致するか否 かにより、容易に搬送部の装着が正常に行われている力否かを確認することができる 。例えば、記憶部に記憶されている位置と実際の検出結果とがー致しない場合には 、搬送部の装着が正常でないと判断する。そして、記憶部に記憶されている位置と実 際の検出結果とがー致する場合には、搬送部の装着が正常であると判断することが できる。この結果、搬送部の正常な装着の有無を容易に判定することができ、搬送部 の装着が不十分な状態で X線を照射して物品の検査が行われることを確実に回避で きる。
第 4の発明に係る X線検査装置は、第 1から第 3の発明のいずれか 1つに係る X線 検査装置であって、 X線遮蔽部は、搬送部を構成するフレームと一体成形されている ここでは、 X線遮蔽部が、例えば、搬送部のフレームに形成されたスリットや開口の ように搬送部を構成するフレームと一体成形されて 、る。
これにより、搬送部と X線遮蔽部とを一体ィ匕しなくても最初から一体となっているた め、 X線遮蔽部を搬送部とは別に形成する場合と比較して構成を簡易化できる。 第 5の発明に係る X線検査装置は、第 1から第 4の発明のいずれか 1つに係る X線 検査装置であって、搬送部は、物品を搬送する無端状の搬送ベルトと、搬送ベルトを 回転させる駆動機構と、搬送ベルトの内側に配置されたフレームと、を備えた搬送コ ンベアである。
ここでは、搬送部として、搬送ベルトと駆動機構とフレームとを備えた搬送コンベア を用いている。
これにより、例えば、フレームに形成されている開口やスリットを利用して、フレーム の一部を利用して X線遮蔽部を形成することができる。
第 6の発明に係る X線検査装置は、第 5の発明に係る X線検査装置であって、 X線 遮蔽部は、搬送コンベアが備えているフレームに形成されたスリットを形成するフレー ムの部分である。
ここでは、搬送コンベアのフレームにスリットが形成されており、このスリットを形成す るフレームの部分を X線遮蔽部として使用している。
これにより、搬送コンベアのフレームに形成されたスリットを形成するフレームの部分 によって X線が遮蔽されるため、この遮蔽された受光部の位置を基準にして搬送コン ベアの正常な装着の有無を容易に確認することができる。
第 7の発明に係る X線検査装置は、第 5の発明に係る X線検査装置であって、 X線 遮蔽部は、搬送コンベアが備えているフレームに形成された開口を形成するフレー ムの部分である。
ここでは、物品を透過した X線を検出するために元々搬送コンベアのフレームに形 成されている開口と受光部との位置関係を考慮して、フレームの一部として X線遮蔽 部を形成する。つまり、従来の X線検査装置も備えている搬送コンベアのフレームの 開口を形成するフレームの部分を X線遮蔽部として使用する。
例えば、開口を形成するフレームの部分によって X線が遮蔽される位置に受光部の 一部を配置する。これにより、搬送コンベアが正常に装着されている場合には、 X線 遮蔽部によって X線が遮蔽される受光部の一部において X線の検出量が他の領域と 比べて少なくなる一方、搬送コンベアが正常に装着されていない場合には、上記受 光部の一部において多量の X線が検出される。
このように、開口を形成するフレームの部分によって X線が遮蔽される位置に配置さ れた受光部における検出の有無に基づいて、搬送部の正常な装着の有無を容易に ½認することができる。
第 8の発明に係る X線検査装置は、第 1から第 7の発明のいずれか 1つに係る X線 検査装置であって、受光部はラインセンサである。
ここでは、受光部として、ラインセンサを用いている。そして、例えば、ラインセンサを 搬送部における搬送方向に垂直な方向に配置して、ラインセンサの各画素にお 、て X線の検出を行う。ここで、搬送部が正常に装着されている場合には、例えば、ライン センサの両端が X線遮蔽部としてフレームに形成された開口を形成するフレームの 部分によって X線を遮蔽される構成とし、ラインセンサの両端の複数画素において X 線が検出されるか否かを調べる。
これにより、ラインセンサの両端の所定の画素における X線の検出の有無を確認す るだけで、搬送部の正常な装着の有無を容易に確認することができる。
第 9の発明に係る X線検査装置は、第 8の発明に係る X線検査装置であって、 X線 遮蔽部は、ラインセンサの一方の端部あるいは両端部において検出される X線を遮 蔽する位置に配置されて ヽる。
ここでは、照射部力も照射された X線力 Sラインセンサの端部において検出されること を妨げる位置に X線遮蔽部を設けている。例えば、搬送部が搬送コンベアの場合に は、フレームに形成された X線検出用の開口の搬送方向に直交する方向における長 さよりもラインセンサの長さが長くなるような構成とすればよい。
これにより、物品の検査を行う前に X線を照射し、 X線の検出量が他の画素と比べ て少な 、画素の位置がラインセンサの一方の端部ある 、は両端部から所定数の画素 と一致する場合には、搬送部が正常に取り付けられていると判定することができる。 一方、 X線の検出量が少な!/、画素の位置がラインセンサの端部力 ずれて 、る場合 や所定数以上、所定数未満である場合、あるいは検出できない場合には、搬送部が 正常に取り付けられて ヽな 、と判定することができる。
図面の簡単な説明
[図 1]本発明の一実施形態に係る X線検査装置の外観斜視図。
[図 2]X線検査装置の前後の構成を示す図。
[図 3]X線検査装置のシールドボックス内部の簡易構成図。
[図 4]X線検査装置のシールドボックス内部のコンベアフレームを示す平面図。
[図 5] (a)はコンベア装着時の X線照射状態とその時のラインセンサにおける X線検出 量を示すグラフとを示す図。 (b)はコンベア未装着時の X線照射状態とその時のライ ンセンサにおける X線検出量を示すグラフとを示す図。
[図 6]制御コンピュータのブロック構成図。 園 7]X線検査の原理を示す模式図。
[図 8]本発明の他の実施形態に係る X線検査装置の内部に装着されるコンペァフレ ームを示す平面図。
[図 9] (a)は図 8に示すコンベアフレームに対する X線照射状態とその時のラインセン サにおける X線検出量を示すグラフとを示す図。(b)は (a)において検出された X線 の量を 2値ィ匕して作成したグラフ。
符号の説明
10 X線検査装置
11 シーノレドボックス
11a 開口
12 コンベア
12a コンベアベルト(搬送ベルト)
12b コンベアフレーム(フレーム)
12c 開口部(開口)
12d 遮蔽部 (X線遮蔽部)
12e スリット
12f コンベアモータ (駆動機構)
12g ロータリエンコーダ
13 X線照射器 (照射部)
14 X線ラインセンサ(受光部、ラインセンサ)
14a 画素
15 光電センサ
16 遮蔽ノレン
20 制御コンピュータ(制御部)
21 CPU
22 ROM (記憶部)
23 RAM (記憶部)
24 USB (外部接続端子) 25 CF (コンパクトフラッシュ(登録商標)、記憶部)
26 モニタ
G 商品
発明を実施するための最良の形態
本発明の一実施形態に係る X線検査装置について、図 1一図 9 (b)を用いて説明 すれば以下の通りである。
[X線検査装置全体の構成]
本実施形態の X線検査装置 10は、図 1に示すように、食品等の商品の生産ライン において品質検査を行う装置の 1つである。 X線検査装置 10は、連続的に搬送され てくる商品に対して X線を照射し、商品を透過した X線量に基づいて商品に異物が 混入して!/、るか否かの検査を行う。
X線検査装置 10の被検査物である商品 Gは、図 2に示すように、前段コンベア 60に より X線検査装置 10に運ばれてくる。商品 Gは、 X線検査装置 10において異物混入 の有無が判断される。この X線検査装置 10での判断結果は、 X線検査装置 10の下 流側に配置される振分機構 70に送信される。振分機構 70は、商品 Gが X線検査装 置 10において良品と判断された場合には商品 Gをそのまま正規のラインコンベア 80 へと送る。一方、商品 Gが X線検査装置 10において不良品と判断された場合には、 下流側の端部を回転軸とするアーム 70aが搬送路を遮るように回動する。これにより 、不良品と判断された商品 Gを、搬送路から外れた位置に配置された不良品回収箱 90によって回収することができる。
X線検査装置 10は、図 1に示すように、主として、シールドボックス 11と、コンベア 1 2と、遮蔽ノレン 16と、タツチパネル機能付きのモニタ (表示装置) 26と、を備えている 。そして、その内部には、図 3に示すように、 X線照射器 (照射部) 13と、 X線ラインセ ンサ 14と、制御コンピュータ(制御部) 20 (図 6参照)とを備えている。
〔シールドボックス〕
シールドボックス 11は、商品 Gの入口側と出口側の双方の面に、商品を搬出入する ための開口 11aを有している。このシールドボックス 11の中に、コンベア 12、 X線照 射器 13、 X線ラインセンサ 14、制御コンピュータ 20などが収容されている。 また、開口 11aは、図 1に示すように、シールドボックス 11の外部への X線の漏洩を 防止するために、遮蔽ノレン 16によって塞がれている。この遮蔽ノレン 16は、鉛を含 むゴム製のノレン部分を有しており、商品が搬出入されるときには商品によって押し のけられる。
また、シールドボックス 11の正面上部には、モニタ 26の他、キーの差し込みロゃ電 源スィッチが配置されて 、る。
〔コンベア〕
コンベア 12は、シールドボックス 11内において商品を搬送するものであって、図 6 の制御ブロックに含まれるコンベアモータ(駆動機構) 12fによって駆動される。コンペ ァ 12による搬送速度は、作業者が入力した設定速度になるように、制御コンピュータ 20によるコンベアモータ 12fのインバータ制御によって細力べ制御される。
また、コンベア 12は、図 3に示すように、コンベアベルト 12a、コンベアフレーム 12b を有しており、シールドボックス 11に対して取り外し可能な状態で取り付けられて!/、る 。これにより、食品等の検査を行う場合においてシールドボックス 11内を清潔に保つ ために、コンベアを取り外して頻繁に洗浄することができる。
コンベアベルト 12aは、無端状ベルトであって、ベルトの内側からコンベアフレーム 1 2bによって支持されている。そして、コンベアモータ 12fの駆動力を受けて回転する ことで、ベルト上に載置された物体を所定の方向に搬送する。
コンベアフレーム 12bは、無端状のベルトの内側からコンベアベルト 12aを支持する とともに、図 3および図 4に示すように、コンベアベルト 12aの内側の面に対向する位 置に搬送方向に対して直角な方向に長く開口した開口部 12cを有している。開口部 12cは、コンベアフレーム 12bにおける、 X線照射器 13と X線ラインセンサ 14とを結 ぶ線上に形成されている。換言すれば、開口部 12cは、コンベアフレーム 12bにおけ る X線照射器 13からの X線照射領域に形成されており、コンベアフレーム 12bによつ て商品 Gを透過した X線が遮蔽されてしまうことがな ヽようにするために形成されて!ヽ る。
また、開口部 12cが形成されていることにより、コンベアフレーム 12bの一部として、 開口部 12cの長手方向の両側に X線照射器 13から照射された X線の一部を遮蔽す る遮蔽部 (X線遮蔽部) 12dが形成される。遮蔽部 12dは、図 3および図 5 (a)に示す ように、搬送方向に直交する方向において、開口部 12cの両端力 コンベアフレーム 12bの両端に至るまでの部分である。このため、図 5 (a)に示すように、扇形形状で照 射される X線の両端の一部分を遮蔽して、コンベア 12の下方に配置された X線ライン センサ 14の両端部の数画素にぉ 、て X線の検出量が少なくなるようにして!/、る。また 、遮蔽部 12dはコンベア 12の一部として形成されていることから、当然にコンベア 12 と一体となって移動する。
〔X線照射器〕
X線照射器 13は、図 3に示すように、コンベア 12の上方に配置されており、コンペ ァフレーム 12bに形成された開口部 12cを介して、コンベア 12の下方に配置された X 線ラインセンサ(受光部、ラインセンサ) 14に向かって扇形形状に X線を照射する(図 3の斜線部参照)。
なお、 X線照射器 13から照射される X線は、図 3および図 5 (a)に示すように、コン ベアフレーム 12bの中心から開口部 12cの両端を若干 (X線ラインセンサ 14の数画 素分)はみ出す領域にかけて、また、図 5 (b)に示すように、 X線ラインセンサ 14の両 端の画素 14aを含む領域にかけて照射される。
〔X線ラインセンサ〕
X線ラインセンサ 14は、コンベア 12 (開口部 12c,遮蔽部 12d)の下方に配置され ており、商品 Gゃコンベアベルト 12aを透過してくる X線を検出する。この X線ラインセ ンサ 14は、図 5 (a) ,図 5 (b)等に示すように、コンベア 12による搬送方向に直交する 向きに一直線に水平配置された複数の画素 14aから構成されている。
なお、図 5 (a)および図 5 (b)には、 X線検査装置 10内における X線照射状態と、そ の時のラインセンサ 14を構成する各画素 14aにおいて検出される X線量を示すダラ フとがそれぞれ示されている。各図の下部に示されたグラフ中の点線は上部に表さ れた X線照射状態にお 、て遮蔽部 12dによって X線が遮られた画素 14aの位置と対 応する(図 9 (a) ,図 9 (b)についても同様)。
そして、 X線ラインセンサ 14は、コンベア 12が所定の位置に取り付けられている場 合には、図 5 (a)に示すグラフのように、開口部 12cの両端の遮蔽部 12dによって X線 が遮られるため、両端の数画素(4一 5画素)において X線の検出量が他の画素 14a に比べて少なくなる。一方、コンベア 12を装着し忘れている場合には、図 5 (b)に示 すグラフのように、全ての画素 14aにおいて所定量以上の X線が検出されることにな る。このため、図 5 (a)の下部のグラフに示すように所定の画素 14a (両端の複数画素 )における検出量が他の画素 14aよりも少なくなる力否かを検出することで、コンベア 12の装着の有無や装着不良等を検出することができる。
〔モニタ〕
モニタ 26は、フルドット表示の液晶ディスプレイである。また、モニタ 26は、タツチパ ネル機能を有しており、初期設定や不良判断に関するパラメータ入力などを促す画 面を表示する。
また、モニタ 26は、後述する画像処理が施された後の X線画像を表示する。これに より、商品 Gに含まれる異物の有無、場所、大きさ等を、ユーザに対して視覚的に認 識させることができる。
さらに、モニタ 26は、後述するコンベア 12の装着不良の検出結果を表示する。
〔制御コンピュータ〕
制御コンピュータ(制御部) 20は、 CPU21において、制御プログラムに含まれる画 像処理ルーチン、検査判定処理ルーチンなどを実行する。また、制御コンピュータ 2 0は、 CF (コンパクトフラッシュ(登録商標)) 25等の記憶部に、不良商品について検 查で使った画像や検査結果、コンベア 12装着時に X線検出量が他の画素に比べて 少なくなる画素の情報等を保存蓄積する。
具体的な構成として、制御コンピュータ 20は、図 6に示すように、 CPU21を搭載す るとともに、この CPU21が制御する主記憶部として ROM22、 RAM23、および CF2 5を搭載している。 CF25には、後述する密集度のしきい値を記憶するしきい値フアイ ル 25a、検査画像や検査結果を記憶する検査結果ログファイル 25bなどが収納され ている。
さらに、制御コンピュータ 20は、モニタ 26に対するデータ表示を制御する表示制御 回路、モニタ 26のタツチパネルからのキー入力データを取り込むキー入力回路、図 示しないプリンタにおけるデータ印字の制御等を行うための IZOポート、外部接続端 子としての USB24等を備えて!/、る。
そして、 CPU21、 ROM22、 RAM23、 CF25などは、アドレスバス,データバス等 のバスラインを介して相互に接続されて 、る。
また、制御コンピュータ 20は、コンベアモータ 12f、ロータリエンコーダ 12g、 X線照 射器 13、 X線ラインセンサ 14、光電センサ 15等と接続されている。
ロータリエンコーダ 12gは、コンベアモータ 12fに装着され、コンベア 12の搬送速度 を検出して制御コンピュータ 20に送信する。
光電センサ 15は、被検査物である商品 Gが X線ラインセンサ 14の位置にくるタイミ ングを検出するための同期センサであり、コンベアを挟んで配置される一対の投光器 および受光器力も構成されて 、る。
<制御コンピュータによる商品不良の判断 >
tX線画像作成〕
制御コンピュータ 20は、光電センサ 15からの信号を受けて、商品 Gが扇状の X線 照射部(図 3および図 5 (a)に示す斜線部分参照)を通過するときに、 X線ラインセン サ 14による X線透視像信号(図 7参照)を細か ヽ時間間隔で取得して、それらの X線 透視像信号を基にして商品 Gの X線画像を作成する。すなわち、 X線ラインセンサ 14 の各画素 14aから細かい時間間隔をあけて各時刻のデータを得て、それらのデータ から 2次元画像が作成される。
〔異物混入検査〕
制御コンピュータ 20の CPU21で実施される異物検査ルーチンは、上記のようにし て得られた X線画像を画像処理して、複数の判断方式によって商品の良 ·不良(異物 が混入していないかどうか)を判断する。判断方式には、例えば、トレース検出方式、 2値化検出方式、マスク 2値ィ匕検出方式などがある。これらの判断方式で判断した結 果、 1つでも不良と判断するもの(図 7に示す異物像)があれば、その商品 Gは不良品 と判断される。
トレース検出方式及び 2値化検出方式は、画像のマスクされていない領域に対して 判断を行う。一方、マスク 2値ィ匕方式は、画像のマスクされている領域に対して判断を 行う。マスクは、商品 Gの容器部分などに対して設定される。 トレース検出方式は、被検出物の大ま力な厚さに沿って基準レベル(閾値)を設定 し、像がそれよりも暗くなつたときに商品 G内に異物が混入していると判断する方式で ある。この方式では、比較的小さな異物を検出して商品不良を検出することができる
<X線検査装置によるコンベア装着不良の判断 >
本実施形態の X線検査装置 10では、商品の異物混入検査を開始する前に、コン ベア 12の装着忘れ等に起因する X線の外部への漏洩を防止するために、コンベア 1 2の装着忘れゃコンベア 12の装着ずれがないかの検査を行う。そして、コンベア 12 の装着忘れ等を検出した場合には、制御コンピュータ 20は X線の照射を禁止するよ うに X線照射器 13を制御する。
すなわち、図 5 (a)に示すように、コンベア 12がシールドボックス 11内の正常な位置 に装着されている場合には、 X線ラインセンサ 14の両端の 4一 5画素において検出さ れる X線の量が他の画素 14aと比べて少なくなる。この状態(両端の数画素の位置、 数)をコンベア 12の正常な装着の基準として上述した RAM23等の記憶部に記憶さ せる。なお、 RAM23等の記憶部に記憶させる基準状態 (X線検出量が減少する画 素の位置、数)については、コンベア 12 (コンベアフレーム 12b)を取り替えるごとにそ の遮蔽部に対応させて新たに記憶させればよい。
そして、図 5 (b)に示すように、洗浄等のためにシールドボックス 11内力 取り外した コンベア 12を装着し忘れている場合には、 X線ラインセンサ 14の全ての画素 14aに おいて X線が検出される。このため、制御コンピュータ 20は、 RAM23等の記憶部に 記憶された基準状態と比較して所定の画素 14a (X線ラインセンサ 14の両端の数画 素)において他の画素 14aと同等のレベルの X線が検出されているため、これをコン ベア 12の装着異常と判定する。そして、 X線照射器 13からの X線の照射を禁止する とともに、モニタ 26にお!/ヽてコンベア 12の装着不良である旨の表示を行う。
また、コンベア 12がずれて正常位置に装着されていない場合にも、 X線ラインセン サ 14の両端の所定の数画素における X線の検出の可否により、コンベア 12の装着 不良を判定することができる。例えば、 X線ラインセンサ 14の両端における同数の画 素において X線の検出量が少なくなるはず力 一方で 8画素、他方で 2画素という、 X 線の検出量が少なくなる画素 14aが左右非対称な状態となっている場合に、これをコ ンベア 12の装着不良として判定する。
なお、異物混入検査開始前に行われるコンベア 12の装着不良の検査時には、 X線 照射器 13から照射される X線の量を通常の検査時と比較して少なくしてもよい(例え ば、 30kv— 1mA程度)。これにより、コンベア 12の装着不良が発生している場合でも 、コンベア 12の装着不良検査を行う際に外部に漏洩する X線の量を約 1 μ SvZh以 下に抑制することができる。
一方、コンベア 12の装着不良が検出されな力つた場合には、 X線照射器 13からの X線照射量を通常の検査を行う量まで増加させてコンベア 12によって商品 Gを搬送 しながら、異物混入の検査を開始する。
[X線検査装置の特徴]
(1)
本実施形態の X線検査装置 10では、 X線照射器 13から照射される X線の一部分を 遮蔽する遮蔽部 12dをコンベア 12 (コンベアフレーム 12b)に備えている。そして、こ の遮蔽部 12dによって、 X線ラインセンサ 14を構成する画素 14aの一部で検出される X線が他の画素 14aよりも少なくなるように構成されている。さらに、制御コンピュータ 20力 コンベア 12が正常に装着されている場合において X線の検出量が少なくなる 画素 14a (位置、数等)を記憶しており、異物混入の検査を開始する前に、少量の X 線を照射して上記記憶した画素 14aにおいて X線が検出される力否かを検出し、コン ベア 12の装着不良の有無を判定する。
これにより、コンベア 12と一体ィ匕された遮蔽部 12dによって X線が遮蔽される X線ラ インセンサ 14の画素 14a、つまり X線の検出量が他の画素よりも少なくなる画素を確 認するだけで、異物混入検査を開始する前に予めコンベア 12の装着不良の有無を 判定することができる。このため、コンベア 12の装着の有無を検知するスィッチ等の 部材を別途設けなくても、従来力もコンベアフレーム 12bに形成されている開口部 12 cと、 X線ラインセンサ 14との位置関係を工夫してコンベア 12に一体として形成され た遮蔽部 12dを形成するだけで、簡易な構成によりコンベア 12の装着不良に起因す る X線の漏洩を防止することができる。 (2)
本実施形態の X線検査装置 10では、制御コンピュータ 20が、上述したコンベア 12 の装着不良検出方法によってコンベア 12の装着不良と判定した場合には、 X線照射 器 13からの X線の照射を禁止する。
これにより、コンベア 12の未装着状態や装着ずれの状態 (装着不良発生状態)で X 線を照射しながら商品の異物混入検査を行って、 X線が外部に漏洩することを防止 することができる。
(3)
本実施形態の X線検査装置 10は、コンベア 12の装着不良検査を行うための基準と なる状態 (X線の検出量が少なくなる画素の位置、数等)を記憶する記憶部として、 R AM23等の記憶手段を備えて 、る。
これにより、 RAM23等の記憶部に記憶された基準状態と一致する力否かを判定 するだけで容易にコンベア 12の装着不良の判定を行うことができる。
(4)
本実施形態の X線検査装置 10では、 X線遮蔽部としての遮蔽部 12dが、コンベア フレーム 12bの一部として一体成形されている。
これにより、別途 X線遮蔽部としての部材を形成してコンベア 12に固定する場合と 比較して、最初力もコンベア 12と一体であるため、構成をより簡易化できる。
(5)
本実施形態の X線検査装置 10では、商品を搬送する搬送部として、無端状のコン ベアベルト 12aとコンベアフレーム 12bとコンベアモータ 12f等を有するコンベア 12を 用いている。
これにより、コンベアフレーム 12bに開口やスリットを形成することで、コンベア 12と 一体の X線遮蔽部をコンベアフレーム 12bに容易に形成することができる。
(6)
本実施形態の X線検査装置 10では、コンベアフレーム 12bに形成された開口部 12 cの周辺のコンベアフレーム 12bの一部分を、 X線遮蔽部(遮蔽部 12d)として用いて いる。 これにより、遮蔽部 12dによって X線が遮蔽される下方の位置に X線ラインセンサ 1 4を配置することで、コンベア 12の装着不良の有無を容易に検出することができる。
(7)
本実施形態の X線検査装置 10では、 X線照射器 13から照射される X線を検出する 受光部として、複数の画素 14aから構成される X線ラインセンサ 14を用いている。 これにより、搬送方向に直交する方向に長くなるように X線ラインセンサ 14を配置す ることで、遮蔽部 12dによって、その両端において X線が遮蔽されるようにすることが できる。よって、両端の所定の画素 14aにおける X線の検出量が少なくなるか否かに より、コンベア 12の装着不良の判定を容易に行うことができる。
(8)
本実施形態の X線検査装置 10では、遮蔽部 12dがコンベアフレーム 12bに形成さ れた開口部 12cに沿ってその下方に配置された X線ラインセンサ 14の両端のいくつ かの画素 14aにおいて検出される X線を遮蔽する。
これにより、 X線ラインセンサ 14の両端の数画素 14aにおいて検出される X線の量 が他の画素 14aと比較して少なくなるか否かによりコンベア 12の装着不良の有無を 判定することが可能になる。
[他の実施形態]
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定 されるものではなぐ発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
(A)
上記実施形態では、図 3に示すように、コンベアフレーム 12bに開口部 12cを形成 し、その両端のコンベアフレーム 12bの一部を X線遮蔽部 (遮蔽部 12d)として用 、る 例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、図 8におよび図 9 (a)に示すように、コンベアフレーム 12bにおける搬送方 向に直交する方向の両端部付近にスリット 12eを形成し、このスリット 12eを形成する コンベアフレーム 12bの部分を X線遮蔽部として用いてもよい。この場合には、上記 実施形態と同様の効果を得ることができるとともに、スリット 12eを形成するコンペァフ レーム 12bの部分でコンベア 12の装着の有無を判定することができるため、 X線を遮 蔽しているものが確かにコンベアフレーム 12bの一部(遮蔽部)であることをより明確 にした状態で、コンベア 12の装着不良の検査を行うことができる。
また、図 9 (a)に示すように、 X線ラインセンサ 14における X線検出量の閾値を設定 し、図 9 (a)に示す検出結果を閾値によって 2値ィ匕して図 9 (b)に示すようなグラフを 作成し、コンベア 12の装着不良の有無を判定してもよい。この場合には、 2値化され た信号の Hi— Loパターンをチェックすることにより、コンベアフレーム 12bの一部(遮 蔽部)によって遮蔽された X線ラインセンサ 14の画素 14aを確認して、コンベア 12の 装着不良の検査を行うことができる。
(B)
上記実施形態では、 X線遮蔽部として、コンベアフレーム 12bに形成された開口部 12c等を用いてできた遮蔽部 12dを採用した例を挙げて説明した。しかし、本発明は これに限定されるものではない。
例えば、コンベアフレーム 12bに直接形成された開口やスリット等を用いなくても、 別途 X線の一部分を遮蔽する部材を形成し、これをコンベア 12に固定して一体化し てもよい。この場合でも、コンベア 12の移動に伴って X線遮蔽部としての部材も移動 するため、コンベア 12の装着異常の有無を検出することができる。
(C)
上記実施形態では、 X線ラインセンサ 14の両端力も 4一 5つの画素 14aにおいて検 出される X線を遮るように遮蔽部 12dを形成している例を挙げて説明した。しかし、本 発明はこれに限定されるものではない。
例えば、 X線ラインセンサ 14の一方の端部の数画素 14aだけが遮蔽部 12dによつ て X線を遮られるような構成としてもよいし、 X線ラインセンサ 14の両端において異な る数の画素が遮蔽部 12dによって X線を遮られるような構成としてもよい。
具体的には、 X線ラインセンサ 14の一方の端部から 5画素分が遮蔽部 12dによって X線を遮られる構成や、一方の端部から 8画素、他方の端部から 3画素が遮蔽部 12d によって X線を遮られる構成としてもよ!、。
この場合でも、コンベア 12が正常な位置に装着されている場合における遮蔽部 12 dによって X線が遮られる画素 14a (基準状態)を RAM23等の記憶部に記憶させるこ とで、上記と同様の効果を奏する。
(D)
上記実施形態では、遮蔽部 12dを形成する開口部 12cが四角形の開口として形成 されている例を挙げて説明した。しかし、本発明は開口部 12cの形状や大きさについ て、上記実施形態で示した構成に限定されるものではな ヽ。
(E)
上記実施形態では、商品に対して X線を照射して検査を行う例を挙げて説明した。 しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、 X線以外の j8線、 γ線、電磁波等の他の放射線を照射して検査を行うこと も可能である。
産業上の利用可能性
本発明の X線検査装置は、簡易な構成により搬送部の正常な装着の有無を確認す ることが可能になるという効果を奏することから、検査対象となる物品を搬送する搬送 部を備えた X線等の放射線を利用した放射線検査装置に対して広く適用可能である

Claims

請求の範囲
[1] 搬送される物品に対して X線を照射し、前記物品を透過した X線を検出することで 前記物品の検査を行う X線検査装置であって、
前記物品に対して X線を照射する照射部と、
前記照射部力 照射された X線を検出する受光部と、
前記照射部と前記受光部との間に配置されており、前記物品を搬送する搬送部と、 前記搬送部と一体化されており、前記 X線が照射される領域に形成された X線遮蔽 部と、
前記受光部において検出された X線の量に基づいて前記 X線遮蔽部によって X線 が遮蔽された位置を検出し、前記位置に基づいて前記搬送部が正しく装着されてい る力否かを判定する制御部と、
を備えている X線検査装置。
[2] 前記制御部は、前記搬送部が正常に取付けられて 、な 、と判定すると前記照射部 力もの X線の照射を禁止する、
請求項 1に記載の X線検査装置。
[3] 前記搬送部が正常に装着されている場合において前記 X線遮蔽部によって X線が 遮蔽される前記受光部の位置を記憶する記憶部をさらに備えた、
請求項 1または 2に記載の X線検査装置。
[4] 前記 X線遮蔽部は、前記搬送部を構成するフレームと一体成形されて 、る、
請求項 1から 3のいずれか 1項に記載の X線検査装置。
[5] 前記搬送部は、前記物品を搬送する無端状の搬送ベルトと、前記搬送ベルトを回 転させる駆動機構と、前記搬送ベルトの内側に配置されたフレームと、を備えた搬送 コンベアである、
請求項 1から 4のいずれか 1項に記載の X線検査装置。
[6] 前記 X線遮蔽部は、前記搬送コンベアが備えている前記フレームに形成されたスリ ットを形成する前記フレームの部分である、
請求項 5に記載の X線検査装置。
[7] 前記 X線遮蔽部は、前記搬送コンベアが備えている前記フレームに形成された開 口を形成する前記フレームの部分である、
請求項 5に記載の X線検査装置。
[8] 前記受光部はラインセンサである、
請求項 1から 7のいずれか 1項に記載の X線検査装置。
[9] 前記 X線遮蔽部は、前記ラインセンサの一方の端部あるいは両端部において検出 される X線を遮蔽する位置に配置されている、
請求項 8に記載の X線検査装置。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5559471B2 (ja) * 2008-11-11 2014-07-23 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出装置、放射線画像取得システム、放射線検査システム、及び放射線検出方法
DE102010016502A1 (de) * 2010-04-19 2011-10-20 Phoenix Conveyor Belt Systems Gmbh Einrichtung zur zerstörungsfreien Inspektion eines Fördergurtes mittels energiereicher Strahlen, insbesondere Röntgenstrahlen
CN102551774B (zh) * 2010-12-20 2016-05-11 Ge医疗系统环球技术有限公司 皮带式床和ct设备及用于ct设备校准数据的获取方法
CN102519990B (zh) * 2011-12-05 2014-03-26 天津工业大学 基于纹理规则性分析的钢丝绳芯输送带故障在线检测方法
US10598613B2 (en) 2015-06-16 2020-03-24 Dylog Itlalia S.P.A. Non-destructive X-ray inspection machine, devices provided for such machine and method for operating the same
PL234550B1 (pl) 2016-06-03 2020-03-31 Int Tobacco Machinery Poland Spolka Z Ograniczona Odpowiedzialnoscia Urządzenie do identyfikacji parametrów fizycznych artykułów prętopodobnych przemysłu tytoniowego
JP6934241B2 (ja) * 2017-03-16 2021-09-15 株式会社イシダ X線検査装置
JP6830243B2 (ja) * 2017-03-16 2021-02-17 株式会社イシダ X線検査装置
JP6717784B2 (ja) * 2017-06-30 2020-07-08 アンリツインフィビス株式会社 物品検査装置およびその校正方法
CN107694963A (zh) * 2017-11-14 2018-02-16 安徽中科光电色选机械有限公司 一种x光机喷阀像元划分装置及方法
JP7153525B2 (ja) * 2018-10-12 2022-10-14 アンリツ株式会社 X線検査装置
JP7382773B2 (ja) * 2019-09-24 2023-11-17 東芝Itコントロールシステム株式会社 放射線検査装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002071588A (ja) * 2000-09-04 2002-03-08 Ishida Co Ltd X線異物検査装置
JP2003050216A (ja) * 2001-08-06 2003-02-21 Shimadzu Corp X線検査装置
JP2003279500A (ja) * 2002-03-25 2003-10-02 Anritsu Sanki System Co Ltd X線異物検出装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2438708A1 (de) * 1974-08-12 1976-03-04 Siemens Ag Patienten-lagerungsvorrichtung fuer ein roentgen-transversal-schichtgeraet
EP0367856B1 (de) * 1988-11-09 1993-02-03 Siemens Aktiengesellschaft Computer-Tomograph
JP2530384Y2 (ja) * 1992-11-06 1997-03-26 日新電子工業株式会社 金属検出機用カセット式簡易着脱型ベルトコンベヤ
JP2001039520A (ja) * 1999-07-30 2001-02-13 Shimadzu Corp X線異物検査装置
JP3676962B2 (ja) * 2000-04-28 2005-07-27 アンリツ産機システム株式会社 X線検出ユニット及びx線異物検出装置
US6512812B2 (en) * 2000-04-28 2003-01-28 Anritsu Corporation X-ray foreign-body detector
JP3916843B2 (ja) * 2000-04-28 2007-05-23 アンリツ産機システム株式会社 コンベアを用いたx線異物検出装置
DE60109806T2 (de) * 2000-10-25 2006-03-16 Koninklijke Philips Electronics N.V. Kalibrierungstisch mit kegelförmiger Durchstrahlung eines computertomographischen Gerätes
JP2003225236A (ja) * 2002-02-04 2003-08-12 Shimadzu Corp 緊急停止回路
JP2004028961A (ja) * 2002-06-28 2004-01-29 Shimadzu Corp X線異物検査装置
US7120223B2 (en) * 2002-09-25 2006-10-10 Pencilbeam Technologies Body-supporting couch
DE102005032288B4 (de) * 2005-07-11 2008-10-16 Siemens Ag Röntgenaufnahmeeinrichtung

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002071588A (ja) * 2000-09-04 2002-03-08 Ishida Co Ltd X線異物検査装置
JP2003050216A (ja) * 2001-08-06 2003-02-21 Shimadzu Corp X線検査装置
JP2003279500A (ja) * 2002-03-25 2003-10-02 Anritsu Sanki System Co Ltd X線異物検出装置

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