WO2005086239A1 - 白色発光ダイオード（ｌｅｄ）及び白色ｌｅｄの製造方法 - Google Patents

白色発光ダイオード（ｌｅｄ）及び白色ｌｅｄの製造方法 Download PDF

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Definitions

  • the present invention relates to a white LED for converting blue light from a blue light source, in particular, a blue light emitting diode (LED) element to white, and a method for manufacturing a white LED.
  • a white LED for converting blue light from a blue light source, in particular, a blue light emitting diode (LED) element to white
  • a method for manufacturing a white LED for manufacturing a white LED.
  • the blue light has a high energy, and thus easily deteriorates the resin. Therefore, the white LED with such a structure changes color when the resin is used for a long time due to discoloration of the resin.
  • the white LED with such a structure changes color when the resin is used for a long time due to discoloration of the resin.
  • the heat dissipation from the resin-molded element is poor, there is a problem that the color tone of the luminescent color shifts to the yellow side as the temperature rises and the temperature rises immediately.
  • Patent Document 1 JP-A-10-163535
  • Patent Document 2 WO 98/05078 pamphlet
  • Patent Document 3 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-43624
  • the present invention provides a white LED with high reliability and long life using a blue LED element, particularly a high-output blue LED, and a method of manufacturing the white LED.
  • a phosphor layer for converting blue light to yellow light is provided on a blue light emitting diode
  • the phosphor layer is an inorganic compound containing a phosphor.
  • the transparent inorganic oxide is at least one type of oxidation of Al, Si, Ti, Ge, P, B, Y, Sn, Pb, Gd, Lu, Sc, In, Mg, Ca, Sr, and Ba.
  • White light emitting diode is at least one type of oxidation of Al, Si, Ti, Ge, P, B, Y, Sn, Pb, Gd, Lu, Sc, In, Mg, Ca, Sr, and Ba.
  • the phosphor layer comprises an aerosol-deposited inorganic compound containing a phosphor.
  • the transparent inorganic oxide is composed of Al, Si, Ti, Ge, P, B, Y, Sn, Pb, Gd, Lu, Sc, In,
  • FIG. 1 is a view showing a schematic configuration of an aerosol-deposition film forming apparatus.
  • FIG. 2 is a view showing one example of a sectional configuration of a white LED of the present invention.
  • the white light emitting diode (LED) of the present invention and the method of manufacturing the white LED of the present invention will be described in more detail.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of a cross-sectional configuration of the white LED 21 of the present invention.
  • Blue LED chip 24 is so-called flip-chip connection in which a bump 25 is formed on the surface and then turned over and connected to the electrode 23 on the substrate 22.
  • the phosphor layer 26 is formed on the blue LED by a film forming method of depositing the phosphor particles of the present invention by high-speed collision.
  • a sealing layer 27 made of a transparent inorganic oxide may be further formed on the phosphor layer 26.
  • the blue LED one that emits blue light such as InGaN-based, InGaN-based, and ZnO-based is used.
  • the emission peak wavelength of the blue LED is preferably 480-440nm.
  • a phosphor capable of converting blue light emitted from a blue LED into yellow light for example, green yellow (emission peak: about 550 nm) can be used, and is generally available in the market.
  • the most preferred oxide phosphor is a YAlO-based phosphor such as (Y, Gd, Ce) AlO.
  • Examples include those to which Mg and Sr are added and those to which trace amounts of Sm and Ga are added.
  • divalent Eu is added to CaS, GaS, EuS mixed and calcined, and to Hiichi Sialon (SiALON).
  • a transparent inorganic oxide may be mixed in addition to the phosphor.
  • any inorganic material that is transparent to visible light can be used.
  • Specific transparent inorganic oxides that can be used include Al, Si, Ga, Ti, Ge, P, B, Zr, Y, Sn, Examples include oxides of Pb, Gd, Lu, Sc, In, Mg, Ca, Sr, and Ba. Among these, preferred are Si ⁇ and Al ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • the phosphor layer is formed by colliding fine particles of a phosphor as a raw material or fine particles of a transparent inorganic oxide with a blue LED as a substrate at a high speed to form a film.
  • So-called aerosol 'deposition method is used. Aerosol's deposition method has the advantage of high-speed film formation compared to other vacuum film formation methods. For example, the maximum deposition rate of the sputtering method is about 0 .: m / min, but the deposition rate by the aerosol-deposition method is 1030 ⁇ m / min, which enables high-speed deposition.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an aerosol 'deposition film forming apparatus used in the present invention.
  • Deposition film forming equipment uses holder 9 for holding substrate 10 and XY for holder.
  • An XYZ stage 11 that operates three-dimensionally with Z ⁇ , a nozzle 8 with a thin opening for ejecting the raw material onto the substrate 8, a chamber 1 with a pipe 6 that connects the nozzle to the aerosolization chamber 4, and a carrier gas
  • It consists of a high-pressure gas cylinder 1 to be stored, an aerosolization chamber 4 in which the fine particle material 12 and the carrier gas are stirred and mixed, and a pipe 2 and valves 3 and 5 connecting these.
  • a temperature control mechanism using a Peltier element is installed on the back surface of the stage, and the substrate can be kept at an optimal temperature.
  • the particulate material in the aerosolization chamber is formed on a blue LED as a substrate by the following procedure.
  • the fine particle raw material having a particle diameter of preferably 0.02 to 5 ⁇ m, more preferably 0.1 to 2 ⁇ m filled in the aerosolization chamber passes through a pipe from a high-pressure gas cylinder storing a carrier gas. Then, the mixture is introduced into the aerosol shading chamber and vibrated and agitated together with the carrier gas to form an aerosol.
  • a general laser diffraction type particle size measuring device can be used as a method of measuring the particle size of the raw material particles.
  • HELOS JEOL HELOS JEOL
  • Microtrac HRA Nikkiso
  • SA LD— 1100 manufactured by Shimadzu Corporation
  • Coulter Counter manufactured by Coulter Corporation
  • Microtrac HRA is particularly preferred.
  • the aerosolized fine particle material passes through a pipe and is sprayed together with a carrier gas from a nozzle having a narrow opening in the chamber 1 onto a substrate to form a coating film.
  • the chamber 1 is evacuated by a vacuum pump or the like, and the degree of vacuum in the chamber 1 is adjusted as required.
  • the substrate holder is moved three-dimensionally by the ⁇ stage (the degree of vacuum is preferably (there is 0.01-100 Pa, more preferably 0.1-1000 Pa). Accordingly, a phosphor layer having a required thickness can be formed on a predetermined portion of the substrate, and a sealing layer can be provided on the phosphor layer formed on the substrate as needed.
  • the aerosolized raw material particles are preferably carried by a carrier gas having a flow rate of 100 to 400 m / sec, and can be deposited by colliding with the substrate.
  • the particles transported by the carrier gas are bonded to each other by the impact of collision to form a film.
  • an inert gas such as a nitrogen gas or a He gas is preferable as the carrier gas for accelerating and ejecting the raw material particles.
  • Nitrogen gas is particularly preferably used That can be S.
  • the thickness of the phosphor layer is preferably 2 to 500 / im, more preferably 5 to 50 / im.
  • the range of the particle diameter of the photoreceptor is preferably 0.05-5 / im, more preferably 0.22-2 / im, and particularly preferably 0.2 lxm.
  • the temperature of the substrate against which the raw material particles collide is preferably maintained at -100 ° C. or more and 200 ° C. or less since a transparent film is formed and sufficient luminance can be obtained.
  • the phosphor layer at least fine particles of the phosphor are used, and if necessary, fine particles of the transparent inorganic oxide may be mixed.
  • the distribution of the phosphor in the phosphor layer can be controlled, for example, by providing the aerosol shading chamber of the film forming apparatus for the phosphor and the transparent inorganic oxide, and by appropriately switching the supply materials.
  • the transparent inorganic oxide can control the phosphor concentration in the phosphor layer by being appropriately mixed with the phosphor.
  • a layer made of only a transparent inorganic oxide is formed on the outermost surface, it can be used as a transparent sealing layer.
  • a layer made of only a transparent inorganic oxide may be formed on the blue LED surface. It is also possible to form a layer consisting only of a phosphor without using a transparent inorganic oxide.
  • This white LED may contain other inorganic compounds such as a light diffusing material and an inorganic pigment.
  • a transparent resin such as silicone resin or a glass cap is attached to the phosphor film-forming portion of the light emitting chip to complete a white LED.
  • a white LED can be obtained by applying a rated DC load of up to 5 V and 30 mA to the white LED to emit light.
  • Example 1 A yellow phosphor layer was formed using the aerosol 'deposition film forming apparatus shown in FIG. (Y, Gd, Ce) Al O fluorescence with particle size distribution 0.1 ⁇ m, average particle size 0.5 ⁇ m
  • Example 2 In the same manner as in Example 1, (Y, Gd, Ce) Al 2 O 3 phosphor particles were adjusted to 460 nm.
  • the film was sprayed onto a blue LED chip (0.4 mm square) having an emission peak to form a film of 10 / im. Furthermore, Si ⁇ particles having a particle size distribution of 0.1-1 / im and an average particle size of 0.5 ⁇ m
  • a mixed solution with an acid anhydride-based curing agent was prepared.
  • Example 1 The white LEDs of Example 1, Example 2, and Comparative Example were driven at 50 ° C. and 20 mA, and the half-life of the initial light flux was examined. The results are shown in Table 1.
  • the present invention was able to provide a long-life white LED.
  • the phosphor layer can form a white LED, which is an inorganic compound containing a phosphor, at a high speed. 'They could be provided at low cost using the deposition method.
  • the white LED manufactured by this method has achieved high reliability and long life.

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Abstract

　青色発光ダイオードの上に、青色光を黄色光に変換する蛍光体層を有する白色発光ダイオードにおいて、前記蛍光体層が蛍光体を含む無機化合物から成ることを特徴とする白色発光ダイオードで、特にこの無機化合物が蛍光体のみから成ることを特徴とする白色発光ダイオードついてである。また、製造法は前記蛍光体層が蛍光体を含む無機化合物をエアロゾル・デポジション法により形成する白色発光ダイオード製造方法についてである。これにより、青色発光ダイオードを使用し、高信頼性、長寿命の白色発光ダイオードを提供することができる。

Description

明 細 書
白色発光ダイオード (LED)及び白色 LEDの製造方法
技術分野
[0001] 本発明は、青色光源、特に青色発光ダイオード (LED)素子からの青色光を白色に 変換する白色 LEDおよび白色 LEDの製造方法に関するものである。
背景技術
[0002] 白色 LEDは、近年、高効率、高信頼性の白色照明光源として注目され、一部が微 小電力小型光源として既に使用に供されている。この種の LEDは、青色 LED素子を 、黄色蛍光体と透明樹脂との混合物で被覆したものが一般的であり、この方式の白 色 LEDおよび白色 LED用蛍光体が開示されている（例えば、特許文献 1, 2, 3参照
) 0
[0003] し力 ながら、青色光はエネルギーが強いので樹脂を劣化させやすい。それゆえ、 このような構造の白色 LEDは、長時間使用していると樹脂が変色して色調が変化す る。また最近では、高出力 LED素子を使用して白色照明光源を開発する動きがある 力 この場合限られた部分に極めて強い青色光が照射されるので樹脂の劣化が著し ぐ発光色の変化が極めて短期間に起こる。また樹脂モールドされた素子からの放熱 性が悪いため、温度が上昇しやすぐ温度上昇にともなって発光色の色調が黄色側 にシフトするという問題があった。
特許文献 1：特開平 10 - 163535号公報
特許文献 2：国際公開第 98/05078号パンフレット
特許文献 3：特開 2002 - 43624号公報
発明の開示
[0004] 本発明は、上記の如き状況に鑑みてなされたものである。
[0005] 本発明は、青色 LED素子、特に高出力の青色 LEDを使用し、高信頼性、長寿命 の白色 LED、および白色 LEDの製造方法を提供するものである。
[0006] 本発明の目的は下記構成のいずれかを採ることにより達成される。
[0007] (構成 1)青色発光ダイオードの上に青色光を黄色光に変換する蛍光体層を有する 白色発光ダイオードにおいて、前記蛍光体層が蛍光体を含む無機化合物である白 色発光ダイオード。
[0008] (構成 2)無機化合物が蛍光体である構成 1に記載の白色発光ダイオード。
[0009] (構成 3)無機化合物が透明無機酸化物を含む構成 1に記載の白色発光ダイオード
[0010] (構成 4)透明無機酸化物が Al, Si, Ti, Ge， P, B, Y， Sn， Pb， Gd, Lu， Sc, In, Mg， Ca, Sr, Baの少なくとも一種の酸化物である白色発光ダイオード。
[0011] (構成 5)透明無機酸化物がシリカ又はアルミナである構成 3に記載の白色発光ダイ オード。
[0012] (構成 6)青色発光ダイオードの上に青色光を黄色光に変換する蛍光体層を有する 白色発光ダイオードの製造方法において、前記蛍光体層が蛍光体を含む無機化合 物をエアロゾル'デポジション法により形成する白色発光ダイオード製造方法。
[0013] (構成 7)無機化合物が蛍光体である化合物をエアロゾル *デポジション法により形 成する構成 6に記載の白色発光ダイオード製造方法。
[0014] (構成 8)無機化合物が透明無機酸化物を含む化合物をエアロゾル *デポジション 法により形成する構成 6に記載の白色発光ダイオード製造方法。
[0015] (構成 9)透明無機酸化物が Al, Si, Ti, Ge， P, B, Y, Sn, Pb， Gd, Lu, Sc, In,
Mg， Ca, Sr, Baの少なくとも一種の酸化物をエアロゾル 'デポジション法により形成 する構成 6に記載の白色発光ダイオード製造方法。
[0016] (構成 10)透明無機酸化物がシリカ又はアルミナである化合物をエアロゾル ·デポジ シヨン法により形成する構成 6に記載の白色発光ダイオード製造方法。
図面の簡単な説明
[0017] [図 1]図 1はエアロゾル'デポジション成膜装置の概略構成を示す図である。
[図 2]図 2は本発明の白色 LEDの断面構成の 1例を示す図である。
発明を実施するための最良の形態
[0018] 以下に、本発明の白色発光ダイオード (LED)及び本発明の白色 LEDの製造方法 を更に詳細に説明する。
[0019] 図 2は、本発明の白色 LED21の断面構成の 1例を示す図である。青色 LEDチップ 24は表面にバンプ 25を形成した後、裏返して基板 22上の電極 23と接続する、いわ ゆるフリップチップ接続されている。更に、青色 LED上に、本発明の蛍光体粒子を高 速衝突させて堆積する成膜法により、蛍光体層 26が形成される。図 2に示すように、 蛍光体層 26の上に、更に透明無機酸化物による封止層 27が形成されてもよい。
[0020] 青色 LEDとしては、 In Ga N系、 InGaN系、 ZnO系等青色発光するものを使用
1- すること力 Sできる。青色 LEDの発光ピーク波長は 480— 440nmのものが好ましレ、。
[0021] 蛍光体としては、青色 LEDから発せられる青色光を黄色系の光、例えば緑黄色（ 発光ピーク約 550nm)に変換可能なものを使用でき、一般的に市中で入手できる。 最も好適な酸化物蛍光体としては、（Y， Gd, Ce) Al O などの Y Al O 系蛍光体
3 5 12 3 5 12 が挙げられる。また、（Y， Gd, Pr) Al〇 や（Y， Gd, Ce) Al〇 に微量の Zn， Ca，
5 12 5 12
Mg， Srを添加したものそして微量の Sm， Gaを添加したものも挙げられる。更に、 Ca S， Ga S， EuSを混合し焼成したものやひ一サイアロン（SiALON)に 2価の Euを賦
2 3
活したあのち挙げられる。
[0022] 本発明の蛍光体層には、前記蛍光体の他に透明無機酸化物を混合しても良い。
可視光に透明な無機材料であればどれでも使用でき、具体的に使用可能な透明無 機酸ィ匕物として、 Al、 Si、 Ga、 Ti, Ge, P, B, Zr, Y, Sn, Pb, Gd, Lu, Sc, In, M g, Ca, Sr, Baの酸化物が挙げられる。尚、これらの中で好ましいのは Si〇、 Al〇
2 2 3 が挙げられる
(蛍光体層の形成方法） 本発明では蛍光体層の形成には、原料である蛍光体の微 粒子や透明無機酸化物の微粒子を、基板である青色 LEDに高速で衝突させ成膜す る、所謂エアロゾル 'デポジション法を用いる。エアロゾル 'デポジション法は他の真空 成膜法と比較して高速成膜の利点がある。例えば、スパッタ法の成膜速度は最大で も 0.： m/min程度であるが、エアロゾル 'デポジション法による成膜速度は 10 3 0 μ m/minと高速成膜が可能となる。
[0023] エアロゾル *デポジション法による成膜装置としては、「応用物理」誌 68卷 1号 44ぺ ージ、特開 2003—215256号公報等に開示されている構成が利用できる。
[0024] 図 1は本発明に用いられるエアロゾル'デポジション成膜装置の概略構成図を示す 。エアロゾル.デポジション成膜装置は基板 10を保持するホルダー 9、ホルダーを XY Z Θで 3次元に作動させる XYZ Θステージ 11、基板に原料を噴出させる細い開口を 備えたノズノレ 8、ノズルをエアロゾル化室 4とつなぐ配管 6を備えたチャンバ一 7、さら に、搬送ガスを貯留する高圧ガスボンベ 1、微粒子原料 12とキャリアガスが攪拌 '混 合されるエアロゾル化室 4、およびこれらをつなぐ配管 2とバルブ 3、 5によって構成さ れる。ステージの裏面にはペルチヱ素子による温度制御機構が設置され、基板を最 適な温度に保つことができる。
[0025] さらに、エアロゾノレ化室内の微粒子原料は、以下のような手順によって基板である 青色 LED上に形成される。
[0026] エアロゾル化室内に充填された、好ましくは 0. 02-5 μ m、より好ましくは 0. 1-2 μ mの粒径の微粒子原料は、キャリアガスを貯留する高圧ガスボンベより配管を通つ てエアロゾルィ匕室に導入されキャリアガスとともに、振動'撹拌されてエアロゾル化さ れる。
[0027] 原料粒子の粒径測定方法としては、一般的なレーザー回折式粒径測定装置があ げられ、具体的には、 HELOS JEOL社製）、 Microtrac HRA(日機装社製）、 SA LD— 1100 (島津製作所社製）、コールターカウンター（コールター社製）などがあげ られる。特に好ましくは Microtrac HRAである。
[0028] エアロゾルィ匕された微粒子原料は配管を通り、チャンバ一内の細い開口を備えたノ ズルから基板にキャリアガスとともに吹き付けられ塗膜を形成する。チャンバ一は真空 ポンプ等で排気され、チャンバ一内の真空度は必要に応じて調整されている。本発 明で (ま真空度 ίま、好ましく (ま 0. 01— lOOOOPaであり、更に好ましく ίま 0. 1— 1000P aである。以下さらに、基板のホルダーは ΧΥΖ Θステージにより 3次元に動くことがで きるため基板の所定の部分に必要な厚みの蛍光体層が形成できる。基板に形成さ れた蛍光体層上には必要に応じて封止層を設けることができる。
[0029] エアロゾル化された原料粒子は、好ましくは流速 100— 400m/secのキャリアガス によって搬送され、基板上に衝突することによって堆積することができる。キャリアガス により搬送された粒子は、互いに衝突の衝撃によって接合し膜を形成する。
[0030] 本発明の製造方法において、原料粒子を加速 *噴出するためのキャリアガスとして は、窒素ガスや Heガスなどの不活性ガスが好ましい。窒素ガスは特に好ましく用いる こと力 Sできる。
[0031] 尚、蛍光体層の厚さは、好ましくは 2— 500 /i m、更に好ましくは 5— 50 /i mである 。 光体粒径の範囲として、好ましくは 0· 05— 5 /i m、更に好ましくは 0· 2— 2 /i m、 特に好ましくは 0. 2 l x mである。
[0032] また、原料微粒子を衝突させる基板の温度は、透明な膜を形成し十分な輝度が得 られるので、— 100°C以上 200°C以下に保持することが好ましい。
[0033] 蛍光体層の形成には、少なくとも前記蛍光体の微粒子が用いられ、更に必要に応 じ前記透明無機酸化物の微粒子を混合しても良い。前記成膜装置のエアロゾルィ匕 室を、蛍光体用と透明無機酸化物用に併設し、適宜供給原料を切り替えることなどに より、蛍光体層中の蛍光体分布を制御できる。透明無機酸化物は、蛍光体と適宜混 合されることにより、蛍光体層中の蛍光体濃度を制御できる。最表面に透明無機酸 化物だけの層を形成した場合には、透明封止層として用いることができる。これとは 逆に青色 LED表面に透明無機酸化物だけの層を形成してもよい。また、透明無機 酸化物を用いずに蛍光体だけからなる層を形成することも可能である。尚、この白色 LEDは光拡散材及び無機顔料など他の無機化合物を含んでレ、てもよレ、。
[0034] 蛍光体層を形成した LEDチップは、シリコーン樹脂等の透明樹脂又はガラス製キヤ ップを発光チップの蛍光体成膜部分に取り付けて白色 LEDを完成する。本発明の 白色 LEDには、例えば、最大 5V、 30mAまでの定格直流負荷を加え発光させて白 色発光を得ることができる。
実施例
[0035] 以下、実施例により更に具体的に説明するが本発明はこれらの記載に限定される ものではない。
[0036] 実施例 1 図 1に示すエアロゾル 'デポジション成膜装置を用いて黄色蛍光体層を 形成した。粒度分布 0. 1 1 μ m、平均粒径 0. 5 μ mの（Y, Gd, Ce) Al O 蛍光
3 5 12 体粒子をエアロゾル化室に充填し、キャリアガスとして流速 200m/sの Nガスを用い
2
、チャンバ一の真空度は 100Pa、基板温度を 20°Cとして、 460nmに発光ピークを有 する青色 LEDチップ（0. 4mm角）上に吹きつけて 10 μ ΐηの成膜を行ない、白色 LE Dを得た。 [0037] 実施例 2 実施例 1と同様にして、（Y, Gd, Ce) Al O 蛍光体粒子を、 460nmに
3 5 12
発光ピークを有する青色 LEDチップ（0. 4mm角）上に吹きつけて 10 /i mの成膜を 行った。更にその上に、粒度分布 0. 1— 1 /i m、平均粒径 0. 5 μ mの Si〇粒子を、
2 同じ条件で吹き付けて 10 μ mの成膜を行なレ、、図 2に示す白色 LEDを得た。
[0038] 比較例（Y, Gd, Ce) Al O 蛍光体のエポキシ樹脂（日東電工社製、 NT8014)、
3 5 12
酸無水物系硬化剤との混合液を作製した。
[0039] 上記の蛍光体と樹脂との混合液を注射器を用いて、 460nmに発光ピークを有する 青色 LEDチップ（0. 4mm角）上に 50 μリットル滴下し、乾燥した後、更に半円形の 透明なエポキシ樹脂キャップで被覆して白色 LEDを得た。
(評価） 実施例 1、実施例 2、比較例の白色 LEDを、 50°C、 20mAで駆動し、初期 光束の半減時間を調べた。結果を表 1に示す。
[0040] [表 1]
Figure imgf000007_0001
[0041] 上記のように本発明では長寿命の白色 LEDを提供することができた。
産業上の利用可能性
[0042] 青色 LEDの上に、青色光を黄色光に変換する蛍光体層を有する白色 LEDにおい て、前記蛍光体層が蛍光体を含む無機化合物である白色 LEDを高速成膜が可能な エアロゾル 'デポジション法を用いて安価に提供することができた。また、この方法に より製造された白色 LEDは高信頼性及び長寿命化を達成した。

Claims

請求の範囲
[1] 青色発光ダイオードの上に青色光を黄色光に変換する蛍光体層を有する白色発光 ダイオードにおいて、前記蛍光体層が蛍光体を含む無機化合物である白色発光ダイ オード。
[2] 無機化合物が蛍光体である請求の範囲第 1項に記載の白色発光ダイオード。
[3] 無機化合物が透明無機酸化物を含む請求の範囲第 1項に記載の白色発光ダイォ ード。
[4] 透明無機酸化物が Al, Si, Ti, Ge， P, B, Y, Sn, Pb， Gd, Lu, Sc, In, Mg, Ca,
Sr, Baの少なくとも一種の酸化物である請求の範囲第 3項に記載の白色発光ダイォ ード。
[5] 透明無機酸化物がシリカ又はアルミナである請求の範囲第 3項に記載の白色発光 ダイオード。
[6] 青色発光ダイオードの上に青色光を黄色光に変換する蛍光体層を有する白色発 光ダイオードの製造方法において、前記蛍光体層が蛍光体を含む無機化合物をェ ァロゾル.デポジション法により形成する白色発光ダイオード製造方法。
[7] 無機化合物が蛍光体である化合物をエアロゾル 'デポジション法により形成する請 求の範囲第 6項に記載の白色発光ダイオード製造方法。
[8] 無機化合物が透明無機酸化物を含む化合物をエアロゾル *デポジション法により形 成する請求の範囲第 6項に記載の白色発光ダイオード製造方法。
[9] 透明無機酸化物が Al, Si, Ti, Ge， P, B, Y, Sn, Pb， Gd, Lu, Sc, In, Mg, Ca,
Sr, Baの少なくとも一種の酸化物をエアロゾル 'デポジション法により形成する請求 の範囲第 6項に記載の白色発光ダイオード製造方法。
[10] 透明無機酸化物がシリカ又はアルミナである化合物をエアロゾル'デポジション法 により形成する請求の範囲第 6項に記載の白色発光ダイオード製造方法
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