WO2004100283A2 - Elektrolyt zum elektrochemischen polieren von metalloberflächen - Google Patents
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Classifications
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
- C25F3/16—Polishing
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Definitions
- the present invention relates to electrolytes for the electrochemical polishing of workpieces of titanium, titanium alloys, niobium, niobium alloys, tantalum and tantalum alloys, and to a process for electrochemical polishing.
- the electrochemical polishing or glazing of metal surfaces is widely used in the art to treat smaller or larger metal objects. Due to the rapidly increasing use of titanium and titanium alloys in the field of apparatus engineering, vehicle construction, aircraft construction or even medical technology, the surface treatment of these materials by electropolishing is becoming increasingly important.
- electropolishing the articles to be polished which hang on respective support members or are arranged in baskets or the like are introduced into the electrolyte, i. H. the polishing bath, sunk and lifted out of this after a certain polishing time. After draining the bath liquid from the polished surfaces, the articles are then immersed in rinsing baths to remove the electrolyte.
- Electrolytes which contain hydrofluoric acid in significant concentrations as described in the French patent FR 2795433 involve a significant safety and health risk due to the high toxicity and corrosivity of the hydrofluoric acid, which escapes in significant amounts from the electrolyte during the electropolishing process.
- the operation of electropolishing with such electrolyte requires complex safety precautions.
- the loss of hydrofluoric acid via the exhaust air must be added regularly in order to keep the electropolishing process stable.
- the contacting of the electropolishing workpieces in the aforementioned electrolyte must either consist of similar material or pure titanium.
- the contact material is attacked equally and must be renewed regularly. This represents a significant cost factor in terms of the value of these metals and leads to premature wear of the electrolytes. Furthermore, it is thus not possible to unambiguously allocate the current distribution and thus the respective removal rates to the individual workpieces and the contact material. In the case of high demands on the accuracy of the electropolishing process, this represents an additional factor of uncertainty.
- the workpieces must be individually stable, eg. B. by clamping, and can not be processed loosely as bulk material in drums or baskets. This causes at small mass parts such. B.
- the object of the invention is to provide an electrolyte which is suitable for the electropolishing of titanium, titanium alloys including nickel-titanium alloys (nitinol), niobium, niobium alloys including niobium-zirconium alloys as well as tantalum and tantalum alloys.
- an electropolishing process for such metals is to be provided that can be carried out easily and safely.
- the electrolytes according to the invention consist of mixtures of sulfuric acid, ammonium bifluoride and at least one hydroxycarboxylic acid.
- electrolytes according to the invention are neither explosive nor combustible. In addition, they contain no hydrofluoric acid in excess, which could escape during the electropolishing process as hydrofluoric acid gaseous and cause no odor.
- metals can be electropolished with the electrolytes according to the invention. These include titanium, titanium alloys including nickel-titanium alloys, niobium, niobium alloys including niobium-zirconium alloys, as well as tantalum and tantalum alloys.
- electrolytes according to the invention are suitable for electropolishing nitinol, which is a high-strength nickel-titanium alloy with 55% Ni.
- the electropolishing result can be optimized by changing the mixing ratio of the three components within certain concentration ranges.
- Hydroxycarboxylic acids used are preferably hydroxylated C 1 -C 6 -carboxylic acids.
- the hydroxycarboxylic acids can be present in the electrolyte according to the invention in a concentration of 10-80% by volume, preferably 20-60% by volume.
- Preferred hydroxycarboxylic acids include glycolic acid and hydroxypropionic acid. re.
- the hydroxycarboxylic acids are preferably introduced as 60-80% solutions. It is also possible to use combinations of different hydroxycarboxylic acids.
- An electrolyte according to the present invention may contain the sulfuric acid in a concentration of 90-20% by volume, preferably 80-40% by volume. Preferably, 96% sulfuric acid is used.
- ammonium bifluoride can be used in the electrolyte according to the invention in a concentration of 10-150 g per liter, preferably 40-85 g per liter.
- the corresponding metals can be electropolished efficiently and cleanly.
- Part of the invention is also a method for the electrochemical polishing of workpieces made of titanium, titanium alloys, niobium, niobium alloys, tantalum and tantalum alloys, in which an inventive electrolyte is used.
- an advantage of the method according to the invention is that the application parameters of the method can be varied within a wide range, which considerably facilitates the process control. In the prior art, however, the application parameters had to be kept within narrow limits.
- the inventive method for polishing workpieces made of nickel-titanium alloys, such as nitinol, or niobium-zirconium alloys is used.
- the method can be carried out at a temperature of 0 ° C to 40 ° C, a DC electrical voltage of 10 V to 35 V and a current density of 0.5 to 10 A / dm 2 .
- Another advantage of the present invention is that not only the materials to be electropolished can be used as the contact material, but also that aluminum can be used which is inexpensive to purchase and is not attacked by the electropolishing process. This makes it possible to unambiguously allocate the current density to the workpieces to be electropolished and thus control the removal within narrower tolerances.
- a further advantage of the method according to the invention is that free-flowing mass parts in drums or baskets made of aluminum can be processed inexpensively as loose bulk material.
- Glycolic acid (70%): 20% by volume sulfuric acid (96%): 80% by volume of ammonium bifluoride: 75 g / l
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Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft Elektrolyte zum elektrochemischen Polieren von Werkstücken aus Titan, Titanlegierungen, Niob, Nioblegierungen, Tantal und Tantallegierungen, die Schwefelsäure, Ammoniumbifluorid und wenigsten eine Hydroxycarbonsäure enthalten, sowie ein Verfahren zum elektrochemischen Polieren.
Description
Elektrolyt zum elektrochemischen Polieren von Metalloberflächen
Die vorliegende Erfindung betrifft Elektrolyte zum elektrochemischen Polieren von Werkstücken aus Titan, Titanlegierungen, Niob, Nioblegierungen, Tantal und Tantallegierungen, sowie ein Verfahren zum elektrochemischen Polieren.
Das elektrochemische Polieren oder Glänzen von Metalloberflächen wird in der Technik vielfach angewendet, um kleinere oder größere Gegenstände aus Metall zu behandeln. Aufgrund der stark zunehmenden Verwendung von Titan und Titanlegierungen im Bereich von Apparatebau, Fahrzeugbau, Flugzeugbau oder auch Medizintechnik gewinnt die Oberflächenbearbeitung dieser Werkstoffe durch Elektropolieren zunehmend an Bedeutung. Beim Elektropolieren werden die zu polierenden Gegenstände, die an entsprechenden Trageelementen hängen oder in Körben oder dergleichen angeordnet sind, in den Elektrolyt, d. h. das Polierbad, eingesenkt und nach einer gewissen Polierzeit aus diesem herausgehoben. Nach dem Abfließen der Bad-Flüssigkeit von den polierten Oberflächen werden anschließend die Gegenstände in Spülbäder getaucht, um den Elektrolyt zu entfernen.
Nach dem heutigen Stand der Technik werden zur Behandlung von Titan und Titanlegierungen entweder Elektrolyte aus Gemischen von Perchlorsäure- Essigsäureanhydrid oder Gemische von Flusssäure-Schwefelsäure-Essigsäure bzw. Flusssäure-Schwefelsäure-Essigsäureanhydrid bzw. Schwefelsäure-Flusssäure- Phosphorsäure-Ethylenglykol (FR 2 795 433) eingesetzt.
Diese Elektrolyte sind zwar in der Lage, befriedigende Elektropolierergebnisse auf Reintitan und einer begrenzten Auswahl von Titanlegierungen zu erzielen, jedoch ist der Elektrolyt gemäß dem Patent FR 2 795 433 nicht geeignet, Titan- Nickellegierungen wie Nitinol, das zunehmende Bedeutung als Memorylegierung gewinnt, mit ausreichender Oberflächenqualität zu elektropolieren. Die Anwendung die-
ser beiden Arten von Elektrolyte weist einige Nachteile auf, die einem großtechnischen Einsatz im Wege stehen:
Elektrolyte aus Gemischen von Perchlorsäure-Essigsäureanhydrid sind zwar seit langem bekannt und liefern gute Elektropolierergebnisse, jedoch sind ihrer Anwendung aufgrund der damit verbundenen hohen Explosionsgefahr sehr enge Grenzen gesetzt. Zusätzlich ist der Einsatz von Elektrolyten, die Essigsäure enthalten, mit starker Geruchsbelästigung verbunden, was eine entsprechend aufwendige Luftabsaugung am Arbeitsplatz mit aufwendiger Abluftbehandlung erfordert. Elektrolyte, die wie in dem französischen Patent FR 2795433 beschrieben Flusssäure in erheblichen Konzentrationen enthalten, beinhalten aufgrund der hohen Giftigkeit und Korrosivität der Flusssäure, die während des Elektropolierprozesses in erheblichen Mengen aus dem Elektrolyten gasförmig entweicht, ein signifikantes Sicherheits- und Gesundheitsrisiko. Der Betrieb von Elektropolieranlagen mit der derartigen Elektrolyten erfordert aufwendige Sicherheitsvorkehrungen. Zusätzlich muss der Verlust von Flusssäure über die Abluft regelmäßig ergänzt werden, um den Elektropolierprozess stabil zu halten.
Die Kontaktierung der zu elektropolierenden Werkstücke in den vorgenannten Elektrolyten muss entweder aus artgleichem Werkstoff oder Reintitan bestehen. Der Kontaktwerkstoff wird dabei gleichermaßen angegriffen und muss regelmäßig erneuert werden. Dies stellt im Hinblick auf den Wert dieser Metalle einen erheblichen Kostenfaktor dar und führt zu vorzeitigem Verschleiß der Elektrolyte. Desweiteren ist es dadurch nicht möglich, die Stromverteilung und damit die jeweiligen Abtragsraten den einzelnen Werkstücken und dem Kontaktwerkstoff eindeutig zuzuordnen. Dies stellt bei hohen Anforderungen an die Genauigkeit des Elektropolierverfahrens einen zusätzlichen Unsicherheitsfaktor dar. Während des Elektropolierens müssen darüber hinaus die Werkstücke einzeln stabil, z. B. durch Klemmen, kontaktiert werden, und können nicht lose als Schüttgut in Trommeln oder Körben bearbeitet werden. Dies verursacht bei kleinen Masseteilen wie z. B. Schrauben erhebliche Kosten durch die notwendige manuelle Bestückung der Kontaktgestelle.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Elektrolyten bereitzustellen, der zum Elektropolieren von Titan, Titanlegierungen einschließlich Nickel-Titan-Legierungen (Nitinol), Niob, Nioblegierungen einschließlich Niob-Zirkon-Legierungen sowie Tantal und Tantallegierungen geeignet ist. Zudem soll ein Elektropolierverfahren für solche Metalle bereitgestellt werden, dass einfach und sicher durchgeführt werden kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch einen Elektrolyten gemäß Anspruch 1 und ein Verfahren gemäß Anspruch 6.
Die erfindungsgemäßen Elektrolyte bestehen aus Gemischen von Schwefelsäure, Ammoniumbifluorid und mindestens einer Hydroxycarbonsäure.
Ein Vorteil der erfindungsgemäßen Elektrolyte liegt darin, dass sie weder explosiv noch brennbar sind. Zudem enthalten sie keine Flusssäure im Überschuss, die während des Elektropolierprozesses als Flusssäure gasförmig entweichen könnte und verursachen keine Geruchsbelästigung. Vorteilhafterweise können mit den erfindungsgemäßen Elektrolyten eine breite Palette von Metallen elektropoliert werden. Dazu gehören Titan, Titanlegierungen einschließlich Nickel-Titan-Legierungen, Niob, Nioblegierungen einschließlich Niob-Zirkon-Legierungen sowie Tantal und Tantallegierungen. Insbesondere sind erfindungsgemäße Elektrolyte dazu geeignet, Nitinol, das eine hochfeste Nickel-Titanlegierung mit 55% Ni ist, zu elektropolieren.
Je nach zu elektropolierenden Werkstoffen kann durch Veränderung des Mischungsverhältnisses der drei Komponenten innerhalb bestimmter Konzentrationsbereiche das Elektropolierergebnis optimiert werden.
Als Hydroxycarbonsäuren werden bevorzugt hydroxylierte Cι-C6-Carbonsäuren eingesetzt. Die Hydroxycarbonsäuren können in dem erfindungsgemäßen Elektrolyten in einer Konzentration von 10-80 Vol.-%, bevorzugt 20-60 Vol.-%, enthalten sein. Zu den bevorzugten Hydroxycarbonsäuren gehören Glycolsäure und Hydroxypropionsäu-
re. Die Hydroxycarbonsäuren werden bevorzugt als 60-80%-ige Lösungen eingeführt. Es können auch Kombinationen unterschiedlicher Hydroxycarbonsäuren eingesetzt werden.
Ein Elektrolyt gemäß der vorliegenden Erfindung kann die Schwefelsäure in einer Konzentration von 90-20 Vol.-%, vorzugsweise 80-40 Vol.-%, enthalten. Bevorzugt wird 96%-ige Schwefelsäure verwendet.
Das Ammoniumbifluorid kann in dem erfindungsgemäßen Elektrolyten in einer Konzentration von 10-150 g pro Liter, bevorzugt 40-85 g pro Liter, eingesetzt werden.
Durch Verwendung der erfindungsgemäßen Elektrolyten können die entsprechenden Metalle effizient und sauber elektropoliert werden.
Teil der Erfindung ist auch ein Verfahren zum elektrochemischen Polieren von Werkstücken aus Titan, Titanlegierungen, Niob, Nioblegierungen, Tantal und Tantallegierungen, bei dem ein erfindungsgemäßer Elektrolyt eingesetzt wird.
Ein Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens liegt darin, dass die Anwendungsparameter des Verfahrens in einem breiten Bereich variierbar sind, was die Prozessführung erheblich erleichtert. Im Stand der Technik hingegen mussten die Anwendungsparameter in engen Grenzen gehalten werden. Bevorzugt wird das erfindungsgemäße Verfahren zur Polierung von Werkstücken aus Nickel-Titan- Legierungen, wie beispielsweise Nitinol, oder Niob-Zirkon-Legierungen verwendet.
Das Verfahren kann bei einer Temperatur von 0°C bis 40°C, einer elektrischen Gleichspannung von 10 V bis 35 V und einer Stromdichte von 0,5 bis 10 A/dm2 durchgeführt werden.
Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung liegt darin, dass als Kontaktwerkstoff nicht nur die zu elektropolierenden Werkstoffe eingesetzt werden können, sondern dass auch Aluminium eingesetzt werden kann, das in der Anschaffung billig ist und durch den Elektropolierprozess nicht angegriffen wird. Damit ist es möglich, die Stromdichte den zu elektropolierenden Werkstücken eindeutig zuzuordnen und damit den Abtrag innerhalb engerer Toleranzen zu steuern. Ein weiterer Vorteil des erfin- dungsgemäßen Verfahrens besteht darin, dass schüttfähige Massenteile in Trommeln oder Körben aus Aluminium als loses Schüttgut kostengünstig bearbeitet werden können.
Die Erfindung wird an folgenden Beispielen weiter erläutert.
Beispiel 1
Werkstücke aus Reintitan wurden in einem Elektrolyten bestehend aus
Glycolsäure (70 %ig): 20 Vol.-% Schwefelsäure (96 %ig): 80 Vol.-% Ammoniumbifluorid: 75 g/l
elektropoliert mit einer Stromdichte von 1 A/dm2 und mit einer Bearbeitungszeit von 20 Minuten. Das Ergebnis zeigte eine hochglänzende Oberfläche mit guter Einebnung der Mikrorauhigkeit.
Beispiel 2
Werkstücke aus TiAI6V4, Nitinol und Niob wurden in einem Elektrolyten bestehend aus
Glycolsäure (70 %ig): 60 Vol.-% Schwefelsäure (96 %ig): 40 Vol.-% Ammoniumbifluorid: 50 g/l
elektropoliert bei Temperaturen von 20°C bis 30°C und Stromdichten von 1,5 bis 5 A/dm2. Nach einer Elektropolierzeit von einheitlich 30 Minuten zeigten alle Werkstoffe hochglänzende Oberflächen und gute Glättung.
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Claims
1. Elektrolyt zum elektrochemischen Polieren von Werkstücken aus Titan, Titanlegierungen, Niob, Nioblegierungen, Tantal und Tantallegierungen, dadurch gekennzeichnet, dass er Schwefelsäure, Ammoniumbifluorid und wenigstens eine Hydroxycarbonsäure enthält.
2. Elektrolyt gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Hydroxycarbonsäure Glycolsäure oder Hydroxypropionsäure verwendet wird.
3. Elektrolyt gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass er Hydroxycarbonsäuren in einer Konzentration von 10 bis 80 Volumen-%, vorzugsweise 20-60 Volumen-%, enthält.
4. Elektrolyt gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass er Schwefelsäure (96 %ig) in einer Konzentration von 90 bis 20 Volumen-%, vorzugsweise 80-40 Volumen-%, enthält.
5. Elektrolyt gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass er Ammoniumbifluorid in einer Konzentration von 10 bis 150 g pro Liter, vorzugsweise 40-85 g pro Liter, enthält.
6. Verfahren zum elektrochemischen Polieren von Werkstücken aus Titan, Titanlegierungen, Niob, Nioblegierungen, Tantal und Tantallegierungen, dadurch gekennzeichnet, dass ein Elektrolyt gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5 eingesetzt wird.
7. Verfahren gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass eine Nickel-Titan- Legierung oder eine Niob-Zirkon-Legierung verwendet wird.
8. Verfahren gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der Nickel-Titan-Legierung um Nitinol handelt.
9. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass als Kontaktwerkstoff Aluminium verwendet wird.
10. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren bei einer Temperatur von 0°C bis 40°C, einer elektrischen Gleichspannung von 10 V bis 35 V und einer Stromdichte von 0,5 bis 10 A/dm2 durchgeführt wird.
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| EA201500017A1 (ru) * | 2009-11-23 | 2015-07-30 | МЕТКОН, ЭлЭлСи | Раствор электролита и способы электролитической полировки |
| US20110303553A1 (en) * | 2010-06-11 | 2011-12-15 | Inman Maria E | Electrochemical system and method for machining strongly passivating metals |
| US8580103B2 (en) | 2010-11-22 | 2013-11-12 | Metcon, Llc | Electrolyte solution and electrochemical surface modification methods |
| CN102225504B (zh) * | 2011-04-06 | 2013-12-25 | 宝鸡鑫泽钛镍有限公司 | 高精度钛及钛合金板制备工艺 |
| CN102677142B (zh) * | 2012-05-16 | 2015-07-08 | 安徽华东光电技术研究所 | 一种用于行波管螺旋线的电化学抛光方法 |
| KR101600428B1 (ko) * | 2014-07-15 | 2016-03-07 | 한국화학연구원 | 중이온 가속관의 나이오븀 식각방법 |
| EP3109348B1 (de) * | 2015-06-24 | 2020-06-03 | Airbus Defence and Space GmbH | Elektrolyt und verfahren zum elektrolytischen polieren eines metallischen substrats |
| EP3551786B1 (de) * | 2016-12-09 | 2021-04-07 | RENA Technologies Austria GmbH | Elektropolierverfahren und elektrolyt hierzu |
| CN107937977A (zh) * | 2017-12-20 | 2018-04-20 | 西安泰金工业电化学技术有限公司 | 一种阴极辊电解抛光液及抛光方法 |
| JP6671763B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2020-03-25 | 三愛プラント工業株式会社 | 電解研磨液及び電解研磨方法 |
| JP7313664B2 (ja) * | 2019-06-17 | 2023-07-25 | マルイ鍍金工業株式会社 | 電解研磨方法 |
| DE102020200815A1 (de) | 2020-01-23 | 2021-07-29 | Mahle International Gmbh | Zusammensetzung als Elektrolyt zum Auflösen und/oder Abscheiden von Metallen, Metalloxiden und/oder Metalllegierungen sowie Verwendungen dieser Zusammensetzung |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2863811A (en) * | 1955-05-09 | 1958-12-09 | Gen Electric | Method of etching capacitor electrodes |
| EP1094134A1 (de) * | 1999-10-18 | 2001-04-25 | General Electric Company | Elektrochemische Vorrichtung und Verfahren zum Abziehen von metallischen Überzügen |
| US20020019128A1 (en) * | 2000-06-05 | 2002-02-14 | Jong-Won Lee | Slurry for chemical mechanical polishing of metal layer, method of preparing the slurry, and metallization method using the slurry |
| US6447664B1 (en) * | 1999-01-08 | 2002-09-10 | Scimed Life Systems, Inc. | Methods for coating metallic articles |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DK574274A (de) * | 1973-12-06 | 1975-07-28 | Ciba Geigy Ag | |
| DE3461202D1 (en) * | 1983-08-23 | 1986-12-11 | Bbc Brown Boveri & Cie | Process for electrolytically polishing a work piece made of a nickel, cobalt or iron based alloy |
| JPH02310400A (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-26 | Nec Corp | マグネシウム上のめっき皮膜を剥離する方法 |
| JPH0394100A (ja) * | 1989-09-04 | 1991-04-18 | Canon Inc | 電解研磨液及び電解研磨方法 |
| JP3291512B2 (ja) * | 1995-03-16 | 2002-06-10 | 日本パーオキサイド株式会社 | 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液の安定剤、及びこれを用いた鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液 |
| US5861535A (en) * | 1997-09-23 | 1999-01-19 | Eastman Kodak Company | Reductive alkylation process to prepare tertiary aminoaryl compounds |
| JP3318656B2 (ja) * | 1999-04-08 | 2002-08-26 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | チタン複合材料 |
| FR2795433B1 (fr) | 1999-06-25 | 2001-08-31 | Org Europeene De Rech | Composition de bain pour le polissage electrolytique du titane, et son procede d'utilisation |
| US7128825B2 (en) * | 2001-03-14 | 2006-10-31 | Applied Materials, Inc. | Method and composition for polishing a substrate |
| JP3484525B2 (ja) * | 2001-07-06 | 2004-01-06 | 株式会社ケミカル山本 | ステンレス鋼表面の清浄、不動態化処理方法 |
| US7357854B1 (en) * | 2002-08-19 | 2008-04-15 | Advanced Cardiovascular Systems, Inc. | Process for electropolishing a device made from cobalt-chromium |
-
2003
- 2003-05-09 DE DE10320909A patent/DE10320909A1/de not_active Withdrawn
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2863811A (en) * | 1955-05-09 | 1958-12-09 | Gen Electric | Method of etching capacitor electrodes |
| US6447664B1 (en) * | 1999-01-08 | 2002-09-10 | Scimed Life Systems, Inc. | Methods for coating metallic articles |
| EP1094134A1 (de) * | 1999-10-18 | 2001-04-25 | General Electric Company | Elektrochemische Vorrichtung und Verfahren zum Abziehen von metallischen Überzügen |
| US20020019128A1 (en) * | 2000-06-05 | 2002-02-14 | Jong-Won Lee | Slurry for chemical mechanical polishing of metal layer, method of preparing the slurry, and metallization method using the slurry |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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