WO2004086062A1

WO2004086062A1 - 電気抵抗測定用コネクター、電気抵抗測定用コネクター装置およびその製造方法並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法

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Publication number: WO2004086062A1
Application number: PCT/JP2004/003936
Authority: WO
Inventors: Kiyoshi Kimura; Sugiro Shimoda; Fujio Hara
Original assignee: Jsr Corporation
Priority date: 2003-03-26
Filing date: 2004-03-23
Publication date: 2004-10-07
Also published as: TW200506372A; TWI256476B; US20060176064A1; KR20050115297A; EP1607751A1; CN1764844A

Abstract

被検査回路基板が大面積でサイズの小さい多数の被検査電極を有するものでも、所要の電気的接続が確実に達成され、所期の電気抵抗の測定が高い精度で確実に行われる電気抵抗測定用コネクター、電気抵抗測定用コネクター装置およびその製造方法並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法が開示されている。　本発明の電気抵抗測定用コネクターは、絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組とを具え、前記接続用電極組の各々は、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれかの電極の３つ以上が互いに離間して配置されてなり、これらの電極のうち、少なくとも１つは電流供給用電極であり、少なくとも１つが電圧測定用電極である。

Description

明細書 ―

電気抵抗測定用コネクタ一、電気抵抗測定用コネクタ一装置およびその製造方法並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法技術分野

本発明は、電気抵抗測定用コネクタ一、電気抵抗測定用コネクタ一装置およびその製造方法並びに回路基板の電気抵抗測定装置および回路装置の電気抵抗測定方法に関する。背景技術

近年、電子部品やこれを内蔵した電子機器における信号伝送の高速ィ匕の要請に伴って、

B GAや C S Pなどの L S Iパッケージを構成する回路基板やこれらの半導体装置が搭載される回路基板として、電極間における配線の電気抵抗が低いものが要求されている。そのため、このような回路基板の電気的検査においては、その電極間における配線の電気抵杭の測定を高い精度で行うことが極めて重要である。

従来、回路基板の電気抵抗の測定においては、例えば、図 3 7に示すように、被検査回路基板 9 0の互いに電気的に接続された 2つの被検査電極 9 1， 9 2の各々に対し、電流供給用プローブ P A， P Dおよび電圧測定用プローブ P B， P Cを押圧して接触させ、この状態で、電流供給用プローブ P A, P Dの間に電源装置 9 3から電流を供給し、このときに電圧測定用プロ一ブ P B， P Cによって検出される電圧信号を電気信号処理装置 9 4 において処理することにより、当該被検査電極 9 1 , 9 2間の電気抵抗の大きさを求める四端子法が採用されている。

しかしながら、上記の方法においては、電流供給用プローブ P A, P Dおよび電圧測定用プローブ F B， P Cを被検査電極 9 1， 9 2に対して相当に大きい押圧力で接触させることが必要であり、しかも、当該プローブは金属製であってその先端は尖頭状とされているため、プローブが押圧されることによって被検査電極 9 1 , 9 2の表面が損傷してしまい、当該回路基板は使用することが不可能なものとなってしまう。このような事情から、電気抵抗の測定は、製品とされるすべての回路基板について行うことができず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ないため、結局、製品の歩留りを大きくすることはできないこのような問題を解決するため、従来、被検査電極に接触する接続用部材が導電性エラストマ一により構成された電気抵抗測定装置が提案されており、具体的には、（ i ) エラストマ一により導電性粒子が結着された導電ゴムよりなる弾性接続用部材を、電流供給用電極および電圧測定用電極の個々に配置してなる電気抵抗測定装置（下記先行文献 1参照

。 ) 、 ( i i ) 同一の被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極の両方の表面に接するよう設けられた、異方導電性エラストマ一よりなる共通の弾性接続用部材を有する電気抵抗測定装置（下記先行文献 2参照。）、（i i i )表面に複数の検査電極が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に設けられた導電性ェラストマ一よりなる弾性接続用部材とを有し、被検査電極が接続部材を介して複数の検査電極に電気的に接続された状態で、それらの検査電極のうち 2つを選択し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として電気抵抗を測定する電気抵抗測定装置 ( 下言己先行文献 3参照。 ) などが知られている。

このような電気抵抗測定装置によれば、被検査回路基板の被検査電極に対し、弾性接続用部材を介して、電流供給用電極および電圧測定用電極が対接されることによつて電気的接続が達成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく電気抵抗の測定を行うことができる。

しかしながら、上記（ i ) および上記 (i i ) の構成の電気抵抗測定装置によって、電極間における電気抵抗の測定を行う場合には、以下のような問題がある。

近年、回路基板においては、高い集積度を得るために電極のサイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向がある。而して、上記（i ) および上記 ( i i ) の構成の電気抵抗測定装置においては、電気抵抗を測定すベき被検査回路基板における被検査電極の各々に、弾性接続用部材を介して電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させる必要がある。従って、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置された被検査回路基板についての電気抵抗の測定を行うための電気抵抗測定装置においては、小さなサイズの被検査電極の各々に対応して、当該被検査電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の面積の領域内に、互いに離間した状態で電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被検査電極よりも更に小さいサイズの電流供給用電極および電圧測定用電極を極めて小さい距離で離間した状態で形成することがである。

また、回路基板の製造方法としては、生産性を向上させるために、一つの基板材料によ —

3 つて、複数の回路基板が連結されてなる回路基板連結体を製造し、その状態で、当該回路基板結体における各回路基板についての電気的検査を一括して行い、その後、回路 ¾f反連結体を切断することにより、分離された複数の回路基板を製造する方法が採用されている。

然るに、検査対象である回路基板連結体は、その面積が相当に大きく、また、被検査電極の数も極めて多いものであり、特に多層回路基板を製造する場合には、その製造プロセスにおける工程数が多く、力理による熱履歴を受ける回数が多いため、被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成されることが少なくない。このように、大面積で、多数の被検査電極を有し、当該被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成された被検査回路基板について、上記（ i ) および上記 (i i) の構成の電気抵抗測定装置によって電気抵抗の測定を行う場合には、被検査電極の各々に、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させることは極めて困難である。

具体的な一例を挙げて説明すると、図 3 8に示すように、直径 Lが 3 0 0 mの被検査電極 Tに係る電気抵抗を測定する場合には、当該被検査電極 Tに電気的に接続される電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 Vの離間距離 Dは 1 5 0〃m程度であるが、図 3 9 ( a ) および（b ) に示すように、被検査回路基板の位置合わせにおいて、電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 Vに対する被検査電極 Tの位置が、図 3 8に示す所期の位置から電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 Vが並ぶ方向（図において左右方向）に 7 5〃m ずれたときには、電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 Vのいずれか一方と被検査電極 Tとの電気的接続が達成されず、所要の電気抵抗測定を行うことができない。

一方、上記（i i i ) の電気抵抗測定装置によれば、被検査電極の各々に対応して、電流供給用電極および電圧測定用電極を形成することが不要であるため、電気抵抗を測定すベき被検査回路基板が、大面積で、多数の被検査電極を有し、かつ、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置されてなるものであつても、当該被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きく、また、当該電気抵抗測定装置の作製が容易である。

しかしながら、このような電気抵抗測定装置は、いわば擬似四端子法による測定装置であるため、測定誤差範囲が大きいものであり、従って、電極間における電気抵抗の低い回路基板について、その電気抵抗の測定を高い精度で行うことは困難である。

先行文献 1 ：特開平 9— 2 6 4 4 6号公報 _

4 先行文献 2 ：特開 2 0 0 0— 7 4 9 6 5号

先行文献 3 ：特開 2 0 0 0 - 2 4 1 4 8 5号公報発明の開示

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第 1の目的は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる電気抵抗測定用コネクターを提供することにある。

本発明の第 2の目的は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであつても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができ、更に、温度変化による熱履歴などの環境の変化に対しても良好な電気的接続が安定に維持される電気抵抗測定用コネクタ一装置を提供することにある。

本発明の第 3の目的は、上記の電気抵抗測定用コネクター装置を有利に製造することができる方法を提供することにある。

本発明の第 4の目的は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる回路基板の電気抵抗測定装置を提供することにある。

本発明の第 5の目的は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであつても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる回路基板の電気抵抗測定方法を提供することにある。

本発明の電気抵抗測定用コネクタ一は、絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、

前記接続用電極組の各々は、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれかの電極の 3つ以上が互いに離間して配置されてなり、これらの電極のうち、少なくとも 1つは電流供給用電極であり、少なくとも 1つが電圧測定用電極であることを特徴とする。

また、本発明の電気抵抗測定用コネクタ一は、縁性基板と、この縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパタ一ンに従つて配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、

前記接続用電極組は、矩形における互いに対角する頂位置に位置する 2つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する 2つの電圧測定用電極が、互いに離間して配置されてなることを特徴とする。

また、本発明の電気抵抗測定用コネクタ一は、終椽性基板と、この緣性基板の表面に電気抵抗を測定すベき被検査回路基板における複数の被検査電極のノ、。ターンに対応するパ夕一ンに従つて配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、

前記接続用電極組の各々は、電圧測定用電極、電流供給用電極および電圧測定用電極の 3つの電極がこの順で並ぶよう互いに離間して配置されてなることを特徴とする。

また、本発明の電気抵抗測定用コネクタ一は、絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すベき被検査回路基板における複数の被検査電極のパ夕一ンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、

前記接続用電極組の各々は、電流供給用電極、電圧測定用電極および電流供給用電極の 3つの電極がこの順で並ぶよう互いに離間して配置されてなることを特徴とする。

上記の 3つの電極が配置されてなる接続用電極組を有する電気抵抗測定用コネクタ一においては、接続用電極組における電流供給用電極および電圧測定用電極の各々は、これらの電極が並ぶ方向に対して垂直な方向に長尺な形状を有することが好ましい。

本発明の電気抵抗測定用コネクタ一においては、絶縁性基板の裏面に、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された複数の中継電極が配置されていることが好ましい。

このような電気抵抗測定用コネクターにおいては、ネの電流供給用電極に電気的に接続された中継電極を有することが好ましい。

本発明の電気抵抗測定用コネクタ一装置は、上記の構成の電気抵抗測定用コネクターと、この電気抵抗測定用コネクターの表面に一体的に積層された異方導電性エラストマ一層とを具えてなることを特徴とする。

本発明の電気抵抗測定用コネクタ一装置においては、異方導電性エラストマ一層は、電流供給用電極および電圧測定用電極の各々の表面上に配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を相互に絶縁する糸樣部とよりなることが好ましい。

また、導電路形成部は、磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなることが好ましい。

本発明の電気抵抗測定用コネク夕一装置の製造方法は、上記の構成の電気抵抗測定用コネクター装置を製造する方法であって、

上記の電気抵抗測定用コネクタ一の表面に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に磁性を示す導電性粒子が含有されてなるエラストマ一用材料層を形成し、このエラストマ一用材料層に対して、電気抵抗測定用コネクタ一の接続用電極組が形成された領域の表面上に位置する部分においてそれ以外の部分より大きい強度の磁場を厚み方向に作用させると共に、当該エラストマ一用材料層を硬化処理することにより、当該電気抵抗測定用コネクターの表面に、その接続用電極組が形成された領域の表面上に位置する部分に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されたエラストマ一層を形成し、

このエラストマ一層における導電性粒子が含有された部分において、接続用電極袓における各電極の間の領域の表面上に位置する部分を除去して穴部を形成し、その後、この穴部に硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料を充填し、当該高分子物質形成材料を硬化処理する工程を有することを特徴とする。

本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、少なくとも一面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であつて、

電気抵抗を測定すベき被検査回路基板の一面側に配置される、上記の構成の電気抵抗測定用コネクターを具えてなることを特徴とする。

また、本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、少なくとも一面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であつて、

電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、上記の裏面に中継電極を有する電気抵抗測定用コネクターと、

この電気抵抗測定用コネク夕一の裏面に異方導電性シートを介して配置された、表面に il己電気抵抗測定用コネク夕一における中継電極の、。ターンに対応するパターンに従って配置された検査電極を有する一面側検査用回路基板とを具えてなることを特徴とする。上記の回路基板の電気抵抗測定装置において、電気抵抗を測定すベき被検査回路基板が ®に電極を有するものである場合には、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の他面側に配置される、他面側検査用回路基板を具えてなり、

tirf己他面側検査用回路基板は、その表面にそれぞれ ri己被検査回路基板の他面側被検査電極の各々に対応して互いに離間して配置された、それぞれ同一の他面側被検査電極に電気的に接続される電流供給用検査電極およぴ電圧測定用検電極が形成されているものであってもよい。

また、本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、両面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であつて、

電気抵抗を測定すベき被検査回路基板の一面側に配置される、上記の構成の電気抵抗測定用コネクターと、

当該被検査回路基板の他面側に配置される、上記の構成の電気抵抗測定用コネクタ一とを具えてなることを特徴とする。

また、本発明の回路基板の電気抵抗測置は、両面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であつて、

電気抵抗を測定すベき被検査回路基板の一面側に配置される、上記の構成の電気抵抗測定用コネクタ一と、

この電気抵抗測定用コネク夕一の裏面に異方導電性シートを介して配置された、表面に当該電気抵抗測定用コネクターにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査電極を有する一面側検査用回路基板と、

前記被検査回路基板の他面側に配置される、上記の構成の電気抵抗測定用コネクタ一とこの電気抵抗測定用コネクターの裏面に異方導電性シ一トを介して配置された、表面に当該電気抵抗測定用コネクターにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査電極を有する他面側検査用回路基板と

を具えてなることを特徴とする。

本発明の回路基板の電気抵抗測定方法は、電気抵抗を測定すベき被検査回路基板の一面に、上記の電気抵抗測定用コネクターを配置し、当該被検査回路基板の一面側被検査電極の各々に、編己電気抵抗測定用コネクターの接続用電極組における少なくとも 1つの電流供給用電極および少なくとも 1つの電圧測定用電極を同時に電気的に接続して測定状態とし、

この測定状態において、前記電気抵抗測定用コネク夕一における電流供給用電極を介して被検査回路基板に電流を供給すると共に、編己一面側被検査電極に電気的に接続された電圧測定用電極のうち 1つの電圧測定用電極を指定し、当該指定された 1つの電圧測定用電極に電気的に接続された一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定を feすることを特徴とする。発明の効果

本発明の電気抵抗測定用コネクターによれば、被検査回路基板における被検査電極のパターンに対応する、。夕一ンに従つて配置された接続用電極組は、電流供給用電極および/ または電圧測定用電極を 2つ以上有するため、これらの電極を適宜の位置関係で配置することにより、被検査電極の位置ずれに対する許容度が高くなる。

例えば、接続用電極組における 2つの電流供給用電極が、矩形における互いに対角する頂位置に位置され、かつ、 2つの電圧測定用電極が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されることにより、当該矩形における辺方向に被検査電極が位置ずれした;！^であっても、当該被検査電極は、少なくとも 1つの電流供給用電極および少なくとも 1つの電圧測定用電極の雨方に同時に電気的に接続されるようになる。

また、接続用電極組における電圧測定用電極、電流供給用電極および電圧測定用電極の 3つの電極がこの順で並ぶよう配置されることにより、或いは、電流供給用電極、電圧測定用電極および電流供給用電極の 3つの電極がこの順で並ぶよう配置されることにより、被検査電極が、接続用電極組における各電極が並ぶ方向に位置ずれした場合であつても、当該被検査電極は、少なくとも 1つの電流供給用電極および少なくとも 1つの電圧測定用電極の両方に同時に電気的に接続されるようになる。更に、このような構成において、電流供給用電極および電圧測定用電極の各々が、これらの電極が並ぶ方向に対して垂直な方向に長尺な形状とされることにより、被検査電極が、接続用電極組における各電極が並ぶ方向と垂直な方向に位置ずれした: 1½であっても、当該被検査電極は、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方に同時に電気的に接続されるようになる。従って、本発明の電気抵抗測定用コネクターによれば、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。

本発明の電気抵抗測定用コネク夕一装置によれば、上記の電気抵抗測定用コネク夕一を有するため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができ、更に、温度変ィ匕による熱履歴などの環境の変ィ匕に対しても良好な電気的接続を安定に維持することができる。

本発明の電気抵抗測定用コネク夕一装置の製造方法によれば、上記の電気抵抗測定用コネク夕一装置を有利に製造することができる。

本発明の回路装置の電気抵抗測定装置によれば、上記の電気抵抗測定用コネク夕一を有するため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しカヽも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。

本発明の回路装置の電気抵抗測定方法によれば、上記の電気抵抗測定用コネクタ一を用いるため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しカヽも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。図面の簡単な説明

図 1は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの第 1の例を示す平面図である。図 2は、第 1の例の電気抵抗測定用コネクターの構成を示す説明用断面図である。図 3は、被検査回路基板の一面上に、異方導電性シートを介して図 1に示す電気抵抗測定用コネクタ一が配置された状態を示す説明用断面図である。

図 4は、第 1の例の電気抵抗測定用コネクターにおける接続用電極組と被検査電極との間に位置ずれが生じた状態を示す説明図である。

図 5は、被検査回路基板の構成を示す説明用断面図である。

図 6は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクタ一の第 2の例を示す平面図である。図 7は、第 2の例の電気抵抗測定用コネク夕一の構成を示す説明用断面図である。図 8は、第 2の例の電気抵抗測定用コネク夕一における接続用電極組と被検査電極との間に位置ずれが生じた状態を示す説明図である。

図 9は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの第 3の例を示す平面図である。図 1 0は、第 3の例の電気抵抗測定用コネクタ一の構成を示す説明用断面図である。図 1 1は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクタ一の第 4の例における構成を示す説明用断面図である。

図 1 2は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクター装置の第 1の例における構成を示す説明用断面図である。

図 1 3は、図 1 2に示す電気抵抗測定用コネクター装置を、その異方導電性エラストマ一層の一部を破断して示す平面図である。

図 1 4は、異方導電性エラストマ一層を得るための金型の一例における構成を示す説明用断面図である。

図 1 5は、電気抵抗測定用コネクタ一の表面にエラストマ一用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。

図 1 6は、エラストマ一用材料層の厚み方向に強度分布を有する磁場が作用された状態を示す説明用断面図である。

図 1 7は、電気抵抗測定用コネクターの表面にエラストマ一層が形成された状態を示す説明用断面図である。

図 1 8は、エラストマ一層に穴部が形成された状態を示す説明用断面図である。

図 1 9は、エラストマ一層に形成された穴部に高分子物質形成材料が充填された状態を示す説明用断面図である。

図 2 0は、本発明に係る電気抵抗測定用コネク夕一装置の第の例における構成を示す説明用断面図である。

図 2 1は、図 2 0に示す電気抵抗測定用コネクター装置を、その異方導電性エラストマ一層の一部を破断して示す平面図である。図 2 2は、离 I 性支持; Κ±に導電性エラストマ一層が形成された状態を示す説明用断面図である。

図 2 3は、導電性エラストマ一層上に金属薄層が形成された状態を示す説明用断面図である。

図 2 4は、金属薄層上に開口を有するレジスト層が形成された状態を示す説明用断面図である。

図 2 5は、レジスト層の開口内に金属マスクが形成された状態を示す説明用断面図である。

図 2 6は、 ,性支持; K±に複数の導電路形成部が形成された状態を示す説明用断面図である。

図 2 7は、電気抵抗測定用コネクターの表面に絶縁部用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。

図 2 8は、絶縁部用材料層が形成された電気抵抗測定用コネクター上に、導電路形成部が形成された离性支持板が重ね合わされた状態を示す説明用断面図である。

図^{2 9}は、隣接する導電路形成部間に絶縁部が形成された状態を示す説明用断面図である。

図 3 0は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクター装置の他の例における構成を示す説明用断面図である。

図 3 1は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の第 1の例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す説明用断面図である。

図 3 2は、第 1の例の回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。

図 3 3は、第 1の例の回路基板の電気抵抗測定装置によって形成される電圧測定用回路を模式的に示す説明図である。

図 3 4は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の第 2の例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す説明用断面図である。

図 3 5は、第 2の例の回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。

図 3 6は、第 2の例の回路反の電気抵抗測定装置によって形成される電圧測定用回路を模式的に示す説明図である。

図 3 7は、電流供給用プローブおよび電圧測定用プローブにより、回路基板における電極間の電気抵抗を測定する装置の模式図である。

図 3 8は、従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が適正に配置された状態を示す説明図である。

図 3 9は、従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が位置ずれした状態で配置された状態を示す説明図である。〔符号の説明〕

1 被検査回路基板 2 一面側被検査電極

3 他面側被検査電極 4 a , 4 b 回路

5 異方導電性シート

1 0 電気抵抗測定用コネクタ一

1 1 絶緣隱反 1 2 接続用電極組

1 3 電流供給用電極 1 4 電圧測定用電極

1 5 中継電極 1 6 配線部

2 0 異方導電性ェラストマー層

2 O A エラストマ一用材料層

2 0 B エラストマ一層

2 1 導電路形成部

2 1 A 導電性エラストマ一層

2 2 絶縁部 2 2 A 絶縁部用材料層

2 3 突出部

2 3 A 高分子物質形成材料

2 5 電気抵抗測定用コネクタ一装置

2 6 離型性支持板 2 7 金属薄層

2 8 レジスト層 2 8 a 開口

2 9 金属マスク

3 0 上型 3 1 強磁性体基板

3 2 強磁性体層 3 3 非磁性体層 3 5 下型 36 強磁性体基板

3 7 強磁性体層 38 非磁性体層

4 0 上部側アダプター 4 1 一面側検査用回路基板 4 2 検査電極 4 3 端子電極

44 第 1の上部側異方導電性シート

4 5 第 2の上部側異方導電性シート

4 8 電極板 4 9 標準配列電極

50 下部側アダプター 5 1 他面側検査用回路基板

5 2 検査電極 5 3 端子電極

5 2 a 電流供給用検査電極

5 b 電圧測定用検査電極

5 3 a 電流供給用端子電極

5 3 b 電圧測定用端子電極

5 5 異方導電性エラストマ一層

56 導電路形成部 57 '鶴部

5 9 テスター 60 電極板

6 1 標準配列電極

6 2 下部側異方導電性シート

64 第 1の下部側異方導電性シ一ト

6 5 第 2の下部側異方導電性シ―ト

90 被検査回路基板

9 1 , 9 2 被検査電極 9 3 電源装置

94 電気信号処理装置

PA， PD 電流供給用プロ一ブ

PB, PC 電圧測定用プロ一ブ

A 電流供給用電極 V 電圧測定用電極

T 被検査電極 P 導電性粒子

K 穴部

C 1， C 2, C 3, C 4 電圧測定用回路発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。

〈電気抵抗測定用コネクター〉

図 1は、本発明に係る電気抵抗測定用コネク夕一の第 1の例を示す平面図、図 2は、第 1の例の電気抵抗測定用コネクターの構成を示す説明用断面図である。

この第 1の例の電気抵抗測定用コネク夕一 1 0は、絶縁性基板 1 1を有し、この絶縁性基板 1 1の表面には、複数の接続用電極組 1 2が、電気抵抗を測定すべき回路基板の一面に形成された一面側被検査電極 2 (—点鎖:!泉で示す）のパターンに対応するパターンに従つて配置されている。この接続用電極組 1 2の各々は、図 1に示すように、 2つの矩形の電流供給用電極 1 3および 2つの矩形の電圧測定用電極 1 4の合計 4つの電極よりなり、これらの 4つの電極は、電流供給用電極 1 3の各々が、矩形における互いに対角する] 位置に位置され、かつ、電圧測定用電極 1 4の各々が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されるよう、互いに離間して配置されている。

また、絶縁性基板 1 1の裏面には、図 2に示すように、複数の中継電極 1 5が適宜のパターンに従って配置され、これらの中継電極 1 5の各々には、絶縁性謝反 1 1に形成された配線部 1 6によって、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4のいずれか一方が電気的に接続されている。

絶縁性基板 1 1を構成する材料としては、ポリィミド樹脂、ガラス繊維補強型ポリィミド樹脂、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ビスマレイミドトリアジン樹脂などを用いることができる。また、絶縁性 ®f反 1 1は、単層構成のものであっても多層構成のものであってもよい。

絶縁性基板 1 1の厚みは、例えば 5 0〜1 0 0 0 mであることが好ましく、より好ましくは 1 0 0〜 5 0 0 mである。

電流供給用電極 1 3、電圧測定用電極 1 4、中継電極 1 5および ¾線部 1 6を構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの金属の積層体などを用いることができるまた、電流供給用電極 1 3、電圧測定用電極 1 4、中継電極 1 5および配線部 1 6は、プリント配線板を製造するために一般に用いられる方法によって、形成することができる接続用電極組 1 2における電流供給用電極 1 3と電圧測定用電極 1 4との間の離間距離は、 2 0〜1 0 0〃mであることが好ましく、より好ましくは 3 0〜8 0 mである。この離間距離が過小である場合には、電流供給用電極 1 3と電圧測定用電極 1 4との間に必要な絶縁性を確保することが困難となることがあり、また、当該電気抵抗測定用コネクタ — 1 0の製造が困難となることがある。一方、この離間距離が過大である場合には、被検查電極に対する位置ずれの許容度が小さくなり、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の両方を被検査電極に確実に電気的に接続することが困難となることがある。上記の電気抵抗測定用コネクタ一 1 0においては、図 3に示すように、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板 1の一面に、例えば異方導電性シート 5を介して当該電気抵抗測定用コネクタ一 1 0における各接続用電極組 1 2が当該被検査回路基板 1の各一面側被検査電極 2上に位置するよう配置され、適宜の手段によって押圧されることにより、被検査回路基板 1 0の一面側被検査電極 2が、異方導電性シ一ト 5を介して、電気抵抗測定用コネクタ一 1 0における接続用電ネ¾袓 1 2における電極に電気的に接続される。

このような状態において、電流供給用電極 1 3を介して被検査回路基板 1の被検査電極間に定電流を供給すると共に、被 ¾回路基板 1 0における一面側被検査電極 2に電気的に接続された電圧測定用電極 1 4のうち 1つの電圧測定用電極 1 4を指定し、この指定された電圧測定用電極 1 4に電気的に接続された一面側被検査電極 2に係る電気抵抗の測定が行われる。そして、指定する電圧測定用電極 1 4を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極 2に係る電気抵抗の測定が行われる。

第 1の例の電気抵抗測定用コネクタ一 1 0によれば、各接続用電極組 1 2には、 2つの電流供給用電極 1 3が、矩形における互いに対角する]！^位置に位置され、かつ、 2つの電圧測定用電極 1 4が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されているため、当該矩形における辺方向（図 1において左右方向および上下方向）に、一面側被検查電極が位置ずれした; であつても、当該一面側被検查電極 2は、少なくとも 1つの電流供給用電極 1 3および少なくとも 1つの電圧測定用電極 1 4の両方に同時に電気的に接続されるようになる。

具体的な例を挙げて説明すると、図 4 ( a ) に示すように、一面側被検査電極 2の中心位置が、接続用電極組 1 2の中心位置から、当該図において右方に位置ずれした場合には、それぞれ図において右側に位置された電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の雨方に同時に電気的に接続されるようになる。

また、図 4 ( b ) に示すように、一面側被検査電極 2の中心位置が、接続用電極組 1 2 の中心位置から、当該図において左方に位置ずれした場合には、それぞれ図において左側に位置された電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の両方に同時に電気的に接続されるようになる。

また、図 4 ( c ) に示すように、一面側被検査電極 2の中心位置が、接続用電極組 1 2 の中心位置から、当該図において上方に位置ずれした場合には、それぞれ図において上側に位置された電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の両方に同時に電気的に接続されるようになる。

また、図 4 ( d ) に示すように、一面側被検査電極 2の中心位置が、接続用電極組 1 2 の中心位置から、当該図において下方に位置ずれした場合には、それぞれ図において下側に位置された電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の両方に同時に電気的に接続されるようになる。

従って、第 1の例の電気抵抗測定用コネクター 1 0によれば、被検査回路基板 1との電気的接続作業において、一面側被検査電極 2に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板 1が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極 2を有するものであつても、当該一面側被検査電極 2に対する電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の両方の電気接続を確実に達成することができる。しカヽも、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板 1についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。

本発明において、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板 1としては、図 5 ( a ) に示すように、一面に形成された一面側被検査電極 2のみを有し、当該一面側被検査電極 2間に形成された回路 4 aのみを有するもの、図 5 ( b ) に示すように、一面に形成された一面側被検査電極および他面に形成された他面側被検査電極 3を有し、一面側被検査電極 2 と他面側被検査電極 3との間に形成された回路 4 bのみを有するもの、図 5 ( c ) に示すように、一面に形成された一面側被検査電極 2および他面に形成された他面側被検査電極 3を有し、一面側被検査電極 2間に形成された回路 4 aおよび一面側被検査電極 2と他面側被検査電極 3との間に形成された回路 4 bの両方を有するもののいずれであってもよい図 6は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクタ一の第 2の例を示す平面図、図 7は、第 2の例の電気抵抗測定用コネクタ一の構成を示す説明用断面図である。

この第 2の例の電気抵抗測定用コネクター 1 0においては、絶縁性基板 1 1の表面には、複数の接続用電極組 1 2が、電気抵抗を測定すべき回路基板の一面に形成された一面側被検査電極 2 (—点鎖線で示す）のパターンに対応するパターンに従って配置されている。この接続用電極組 1 2の各々は、図 6に示すように、 1つの矩形の電流供給用電極 1 3 および 2つの矩形の電圧測定用電極 1 4の合計 3つの電極よりなり、これらの 3つの電極は、電圧測定用電極 1 4、電流供給用電極 1 3、電圧測定用電極 1 4の順で並ぶよう、互いに離間して配置されている。

また、絶縁性基板 1 1の裏面には、図 7に示すように、複数の中継電極 1 5が遮のパターンに従って配置され、これらの中継電極 1 5の各々には、絶縁性基板 1 1に形成された配線部 1 6によって、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4のいずれか一方が電気的に接続されている。

以上において、絶縁性基板 1 1の材質および接続用電極組 1 2における各電極の材質は、前述の第 1の例の電気抵抗測定^コネクタ一と同様である。

第 1の例の電気抵抗測定用コネクター 1 0によれば、接続用電極組 1 2には、電圧測定用電極 1 4、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の 3つの電極が、この)頃で並ぶよう配置されているため、一面側被検査電極 2が、当該接続用電極組.1 2における各電極が並ぶ方向（図 6において左右方向）に位置ずれした場合であっても、当該一面側被検査電極 2は、電流供給用電極 1 3および少なくとも 1つの電圧測定用電極 1 4の両方に同時に電気的に接続されるようになる。

具体的に説明すると、図 8 ( a ) に示すように、一面側被検査電極 2の中心位置が、接続用電極組 1 2の中心位置から、当該図において右方に位置ずれした場合には、中央に位置された電流供給用電極 1 3および図において右側に位置された電圧測定用電極 1 4の両方に同時に電気的に接続されるようになる。

また、図 8 ( b ) に示すように、一面側被検査電極 2の中心位置が、接続用電極糸且 1 2 の中心位置から、当該図において左方に位置ずれした場合には、中央に位置された電流供給用電極 1 3および図において左側に位置された電圧測定用電極 1 4の両方に同時に電気的に接続されるようになる。

また、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の各々は、それらが並ぶ方向に対して垂直な方向に長尺な矩形の形状を有するため、一面側被検査電極 2の中心位置が、接続用電極組 1 2の中心位置から、当該接続用電極組 1 2における各電極が並ぶ方向と垂直な方向（図 6において上下方向）に位置ずれした場合であっても、当該一面側被検査電極 2は、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の両方に同時に電気的に接続されるようになる。

従って、第 2の例の電気抵抗測定用コネクター 1 0によれば、被検査回路基板 1との電気的接続作業において、一面側被検査電極 2に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板 1が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極 2を有するものであつても、当該一面側被検査電極 2に対する電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板 1についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。

図 9は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクタ一の第 3の例を示す平面図、図 1 0は、第 3の例の電気抵抗測定用コネクタ一の構成を示す説明用断面図である。

この第 3の例の電気抵抗測定用コネクター 1 0においては、絶縁性基板 1 1の表面には、複数の接続用電極組 1 2が、電気抵抗を測定すべき回路基板の一面に形成された一面側被検査電極 2 (—点鎖線で示す）のパターンに対応するパターンに従って配置されている。この接続用電極組 1 2の各々は、図 9に示すように、 2つの矩形の電流供給用電極 1 3 および 1つの矩形の電圧測定用電極 1 4の合計 3つの電極よりなり、これらの 3つの電極は、電流供給用電極 1 3、電圧測定用電極 1 4、電流供給用電極 1 3の順で並ぶよう、互いに離間して配置されている。

また、絶縁性基板 1 1の裏面には、図 1 0に示すように、複数の中継電極 1 5が適宜のパターンに従って配置され、これらの中継電極 1 5の各々には、絶縁性基板 1 1に形成された配線部 1 6によって、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4のいずれか一方が電気的に接続されている。

以上において、絶縁性基板 1 1の材質および接続用電極組 1 2における各電極の材質は、前述の第 1の例の電気抵抗測定用コネクターと同様である。 _

1 9 第 3の例の電気抵抗測定用コネクタ一 1 0によれば、接続用電極組 1 2には、電流供給用電極 1 3、電圧測定用電極 1 4および電流供給用電極 1 3の 3つの電極が、この順で並ぶよう配置されているため、一面側被検査電極 2が、接続用電極組 1 2における各電極が並ぶ方向（図 9において左右方向）に位置ずれした場合であっても、当該一面側被検査電極 2は、少なくとも 1つの電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の雨方に同時に電気的に接続されるようになる。

また、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の各々は、それらが並ぶ方向に対して垂直な方向に長尺な矩形の形状を有するため、一面側被検査電極 2の中心位置が、接続用電極組 1 2の中心位置から、当該接続用電極組 1 2における各電極が並ぶ方向と垂直な方向（図 9において上下方向）に位置ずれした場合であっても、当該一面側被検査電極 2は、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の両方に同時に電気的に接続されるようになる。

従って、第 3の例の電気抵抗測定用コネクター 1 0によれば、被検査回路基板 1との電気的接続作業において、一面側被検査電極 2に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板 1が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極 2を有するものであつても、当該一面側被検査電極 2に対する電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板 1についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。

図 1 1は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの第 4の例における構成を示す説明用断面図である。

この第 4の例の電気抵抗測定用コネクター 1 0においては、第 1の例の電気抵抗測定用コネクターと同様の構成の接続用電極組 1 2が絶縁' f生基板 1 1の表面に形成されている（図 1参照）。絶縁性基板 1 1の裏面には、複数の中継電極 1 5がのパターンに従って配置され、これらの中継電極 1 5の各々には、絶縁性基板 1 1に形成された配線部 1 6によって、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4のいずれか一方が電気的に接続されており、これらの中継電極 1 5のうちの中継電極 1 5には、複数の電流供給用電極 1 3が電気的に接続されている。

以上において、絶縁性基板 1 1の材質および接続用電極組 1 2における各電極の材質は、前述の第 1の例の電気抵抗測定用コネクターと同様である。

第 4の例の電気抵抗測定用コネクター 1 0によれば、被検査回路基板との電気的接続作業において、被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板が大面積でサイズの小さい多数の被検査電極を有するものであつても、当該被検査電極に対する電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の両方の電気接続を確実に達成することができる。し力、も、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。更に、複数の電流供給用電極 1 3に電気的に接続された中継電極 1 5を有するため、当該電気抵抗測定用コネク夕一 1 0が電気的に接続される検査用回 J^S板における検査電極の数を少なくすることができ、これにより、検査用回路基板の製造が容易となり、また、用回路基板の製造コストの低減ィ匕を図ることができる。

本発明の電気抵抗測定用コネクタ一は、上記の例に限定されず、種々の変更を加えることが可能である。

例えば、接続用電極組は、電流供給用電極および電圧測定用電極の各々を少なくと 1つ以上有するものであれば、全電極の数は 5個以上であつてもよい。

また、電流供給用電極および電圧測定用電極の形状は、矩形に限られず、円形、その他の形状であってもよい。

また、接続用電極組における電極の配置パターンは、当該電極の数および形状並びに被検査電極の形状などに応じて ¾ [設定することができる。

また、一つの中継電極に複数の電圧測定用電極が電気的に接続されていてもよい。〈電気抵抗測定用コネクタ一装置〉

図 1 2は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクター装置の第 1の例における構成を示す説明用断面図である。この電気抵抗測定用コネクタ一装置 2 5は、第 1の例の電気抵抗測定用コネクター 1 0と、この電気抵抗測定用コネクター 1 0の表面（図において T )上に一体的に形成された異方導電性エラストマ一層 2 0とにより構成されている。

異方導電性エラストマ一層 2 0は、図 1 3にも示すように、各接続用電極組 1 2における電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる » (の導電路形成部 2 1と、これらの導電路形成部 2 1の間に介在されてこれらを相互に緣する絶縁部 2 2とにより構成されている。また、図示の例では、異方導電性エラストマー層 2 0の表面には、 1つの接続用電極組 1 2の各電極に対応する 4つの導電路形成部 2 1の表面おょぴそれらの間に介在された絶縁部 2 2の表面がその他の絶縁部 2 2の表面から突出するよう、突出部 2 3が形成されている。

導電路形成部 2 1は、当該異方導電性エラストマ一層 2 0の基材を構成する弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子 Pが厚み方向に並ぶよう配向した状態で密に含有されて構成されており、この導電性粒子 Fの連鎖によって導電路が形成される。これに対して、絶縁部 2 2は、導電性粒子 Pが全く或いは殆ど含有されていないものである。

導電路形成部 2 1を構成する導電性粒子 Fとしては、例えばニッケル、鉄、コバルトなどの磁性を示す金属粒子もしくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当 l¾S粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメツキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子もしくはガラスビーズなどの無機質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当 I ^粒子の表面に、ニッゲル、コバルトなどの導電性磁性体のメツキを施したものなどが挙げられる。

これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に金や銀などの導電性の良好な金属のメツキを施したものを用いることが好ましい。

また、導電性粒子 Pの粒径は、得られる導電路形成部 2 1のカロ圧変形を容易にし、当該導電路形成部 2 1における導電性粒子 F間に十分な電気的な接触が得られるよう、 3〜2 0 0〃mであることが好ましく、特に 1 0〜 1 0 0〃mであることが好ましい。

また、導電性粒子 Pの含水率は、 5 %以下であることが好ましく、より好ましくは 3 % 以下、さらに好ましくは 2 %以下、特に好ましくは 1 %以下である。このような条件を満足することにより、第 1の上部側異方導電性シート 0を形成する際に、当該第 1の異方導電性シート 2 0に気泡が生ずることが防止または抑制される。

導電路形成部 2 1における導電性粒子 Pの割合は、体積分率で 5〜6 0 %であることが好ましく、より好ましくは 7〜 5 0 o/o、特に好ましくは 1 0〜 4 0 %である。この割合が 5 %未満である場合には、十分に電気抵抗値の小さい導電路を形成することが困難となることがある。一方、この割合が 6 0 %を超える場合には、得られる導電路形成部 2 1は脆弱なものとなり、導電路形成部としての i¾な弾性が得られないことがある。

異方導電性エラストマ一層 2 0の基材を構成する絶縁性の弾性高分子物質としては、架橋構造を有するものが好ましい。架橋構造を有する高分子物質を得るために用いることのできる高分子物質用材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン一ブタジエン共重合体ゴム、ァクリロ二トリルーブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジェン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレンーブ夕ジェンブロック共重合体ゴムなどのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添カロ物、シリコーンゴム、フッ素ゴム、シリコーン変 f生フッ素ゴム、エチレン一プロピレン共重合体ゴム、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、クロ口" °レンゴム、ェピクロルヒドリンゴムなどが挙げられる。

以上において、成形加工性および電気絶縁特性が高いことから、シリコーンゴム、シリコ一ン変†生フッ素ゴムを用いることが好まし、。

このような第 1の例の電気抵抗測定用コネクタ一装置 2 5によれば、第 1の例の電気抵抗測定用コネク夕一を有するため、電気抵抗を測定すべき被検査回路謝反との電気的接続作業において、被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極を有するものであっても、当該被検査電極に対する電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の雨方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板 1についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。

また、電気抵抗測定用コネクター 1 0の表面に、異方導電性エラストマ一層 2 0が一体的に形成されているため、温度変化による熱履歴などの環境の変ィ匕に対しても良好な電気的接続を安定に維持することができる。

また、異方導電性エラストマ一層 1 0には、電気抵抗測定用コネク夕一 1 0における電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4に対応して導電路形成部 2 1が形成されているため、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の間の絶縁性が確保され、その果、被検査回路基板についての電気抵抗を一層高い精度で測定することができる。

第 1の例の電気抵抗測定用コネク夕一装置は、例えば以下のようにして製造することができる。

図 1 4は、異方導電性エラストマ一層 2 0を得るための金型の一例における構成を示す説明用断面図である。この金型は、上型 3 0およびこれと対となる下型 3 5が互いに対向するよう配置されて構成されている。上型 3 0においては、強磁性体基板 3 1の表面（図において下面）に、電気抵抗測定用コネクタ一 1 0における接続用電極組 1 2が形成された領域のパターンと対掌なパターンに従って強磁性体層 3 2が形成され、この強磁性体層 3 2が形成された領域以外の領域には、非磁性体層 3 3が形成されている。非磁性体層 3 3は強磁性体層 3 2の厚みより大きい厚みを有し、強磁'【生体層 3 2と非磁性体層 3 3との間に段差が形成されることにより、当該 ± 3 0の成形面には、異方導電性エラストマ一層 2 0における突出部 2 3を形成するための凹所が形成されている。

下型 3 5においては、強磁性体基板 3 6の表面（図において上面）に、電気抵抗測定用コネクター 1 0における接続用電極組 1 2が形成された領域のパターンと同一のパターンに従って強磁性体層 3 7が形成され、この強磁性体層 3 7が形成された領域以外の領域には、当該強磁性体層 3 7と実質的に同一の厚みを有する非磁性体層 3 8が形成されている上型 3 0および下型 3 5の各々における強磁性体基板 3 1 , 3 6を構成する材料としては、鉄、鉄一ニッケル合金、鉄一コバルト合金、ニッケル、コバルトなどの強磁性体金属を用いることができる。この強磁性体基板 3 1， 3 6は、その厚みが 0 . 1〜 5 0 mmであることが好ましく、表面が平滑で、ィ匕学的に脱脂処理され、また、機械的に研磨処理されたものであることが好ましい。

また、 JL 3 0および下型 3 5の各々における強磁性体層 3 2 , 3 7を構成する材料としては、鉄、鉄—ニッケル合金、鉄一コバルト合金、ニッケル、コバルトなどの強磁性体金属を用いることができる。この強磁性体層 3 2 , 3 7は、その厚みが 1 0〃m以上であることが好ましい。この厚みが 1 0〃m未満である場合には、後述するエラストマ一用材料層に対して、十分な強度分布を有する磁場を作用させることが困難となり、当該エラストマ一用材料層における導電路形成部となるべき部分に導電性粒子を高い密度で集合させることが困難となり、高い導電性を有する導電路形成部が得られないことがある。

また、 ± 3 0および下型 3 5の各々における非磁性体層 3 3 , 3 8を構成する材料としては、銅などの非磁性体金属、耐熱性を有する高分子物質などを用いることができるが、フォトリソグラフィ一の手法により容易に非磁性体層 3 3， 3 8を形成することができる点で、線によって硬化された高分子物質を用いることが好ましく、その材料としては、例えばァクリル系のドライフィルムレジスト、エポキシ系の液状レジスト、ポリイミド系の液^！犬レジストなどのフォトレジストを用いることができる。

上記の金型を用い、例えば以下のようにして電気抵抗測定用コネクター装置が製造される。

先ず、図 1に示す第 1の例の電気抵抗測定用コネク夕一 1 0を作製すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に、磁性を示す導電性粒子が含有されてなるエラストマ一用材料を調製する。

次いで、図 1 5に示すように、電気抵抗測定用コネクター 1 0の表面にエラストマ一用材料を塗布することにより、所要の厚みのエラストマ一用材料層 2 O Aを形成すると共に、このエラストマ一用材料層 2 O Aの表面（図において上面）および電気抵抗測定用コネクタ一 1 0の裏面に、上記の ± 3 0および下型 3 5を配置する。

そして、上型 3 0の下面および下型 3 5の下面に、例えば電磁石を配置してこれを作動させることにより、エラストマ一用材料層 2 O Aに対し、上型 3 0の強磁性体層 3 2と下型 3 5の強磁性体層 3 7との間に位置する咅 β分、すなわち電気抵抗測定用コネクタ一 1 0 の接続用電極組 1 2が形成された領域（以下、「接続用電極組領域」ともいう。）の表面上に位置する部分においてそれ以外の部分より大きい強度の磁場を厚み方向に作用させる。その結果、エラストマ一用材料層 2 O A中に分散されていた導電性粒子が、図 1 6に示すように、接続用電極組領域の表面上に位置する部分に集合すると共に、厚み方向に並ぶよう配向する。そして、この状態で、エラストマ一用材料層 2 O Aの硬化処理を行うことにより、図 1 7に示すように、電気抵抗測定用コネクター 1 0の表面に、その接続用電極袓領域の表面上に位置する部分に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されたエラストマ一層 2 0 Bが形成される。

以上において、エラストマ一用材料の粘度は、温度 2 5 °Cにおいて 1 0 0 0 0 0〜 1 0 0 0 0 0 0 c の範囲内であることが好ましい。

エラストマ一用材料を塗布する方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、ロール塗布法、ブレード塗布法、スクリーン印刷などの印刷法を利用することができるエラストマ一用材料層 2 O Aに作用される磁場の強度は、平均で 2 0〜2 0 0 O mTとなる大きさが好ましい。

磁場を作用させる手段としては、電磁石の代わりに永久磁石を用いることができる。このような永久磁石としては、上記の範囲の磁場の強度が得られる点で、アルニコ（F e— A 1 - N i—C o系合金）、フヱライ卜などよりなるものが好ましい。

エラストマ一用材料層 2 0 Aの硬ィ匕処理は、磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、磁場の作用を停止した後に行うこともできる。

エラストマ一用材料層 2 O Aの硬化処理の条件は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、熱処理によって行われる。具体的な力 D熱温度および加熱時間は、エラストマ一用材料層 2 0 Aの高分子物質形成材料の種類、導電性粒子の移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。例えば高分子物質形成材料が室温硬化型シリコーンゴムである場合には、当該エラストマ一用材料層の硬化処理は、室温で 2 4時間程度、 4 0 °Cで 2時間程度、 8 0 °Cで 3 0分間程度で行われる。

このようにして電気抵抗測定用コネクタ一 1 0の表面に形成されたエラストマ一層 2 0 Bに対して、図 1 8に示すように、導電性粒子 Pが含有された部分において、接続用電極組 1 2における各電極（電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4 ) の間の領域の表面上に位置する部分を除去することにより、十字状の穴部 Kを形成する。次いで、この穴部に、図 1 9に示すように、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料 2 3 Aを充填し、その後、当該高分子物質形成材料 2 3 Aの硬化処理を行うことにより、隣接する導電路形成部 2 1間に絶縁部 2 2が形成された異方導電性エラストマ一層 2 0 が形成され、以て、図 1 2および図 1 3に示す電気抵抗測定用コネクター装置 2 5が製造される。

以上において、エラストマ一層 2 0 Bに穴部 Kを形成する方法としては、炭酸ガスレーザ一などによるレ一ザ一カロ工法を利用することが好ましい。

穴部 Kに充填される高分子物質形成材料は、前述のエラストマ一用材料に用いられる高分子物質形成材料と同一の種類のものであっても異なる種類のものであってもよい。このような方法によれば、電気抵抗測定用コネクター 1 0の接続用電極組領域の表面上に導電性粒子 Pが含有された部分を有するエラストマ一層 2 0 Bを形成し、このエラストマー層 2 0 Bに対して、導電性粒子 Pが含有された部分において電流供給用電極 1 3若しくは電圧測定用電極 1 4の表面上に位置する導電路形成部となるべき部分の間に穴部 Kを形成したうえで、当該穴部 Kに絶縁部 2 2を形成するため、隣接する導電路形成部 2 1間に所要の終縁性が確保された異方導電性エラストマ一層 1 0を確実に形成することができる。

図 2 0は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクター装置の第 2の例における構成を示す説明用断面図である。この電気抵抗測定用コネクタ一装置 2 5は、第 1の例の電気抵抗測定用コネクタ一 1 0と、この電気抵抗測定用コネクター 1 0の表面（図において T )上に一体的に形成された異方導電性エラストマ一層 2 0とにより構成されている。

異方導電性エラストマ一層 2 0は、図 2 1にも示すように、各接続用電極組 1 2における電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部 2 1と、これらの導電路形成部 2 1の間に介在されてこれらを相互に絶縁する絶縁部 2 2とにより構成されている。また、図示の例では、異方導電性エラストマ一層 2 0には、導電路形成部 2 1の表面が縁部 2 2の表面から突出するよう、突出部 2 3が形成されている。

導電路形成部 2 1は、当該異方導電性エラストマ一層 2 0の基材を構成する弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子 Pが厚み方向に並ぶよう配向した状態で密に含有されて構成されており、この導電性粒子 Pの連鎖によって導電路が形成される。これに対して、絶縁部 2 2は、導電性粒子 Pが全く含有されていないものである。

異方導電性エラストマ一層 2 0の基材を構成する弾性高分子物質および導電路形成部 2 1を構成する導電性粒子としては、前述の第 1の例の電気抵抗測定用コネク夕一装置における異方導電性エラストマ一層 2 0と同様のものを用いることができる。

このような第 2の例の電気抵抗測定用コネクター装置 2 5によれば、第 1の例の電気抵抗測定用コネク夕一を有するため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板との電気的接続作業において、被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路縦反が大面積でサイズの小さ、多数の一面側被検査電極を有するものであっても、当該被検査電極に対する電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板 1についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。

また、電気抵抗測定用コネクター 1 0の表面に、異方導電性エラストマ一層 0がー体的に形成されているため、温度変ィ匕による熱履歴などの環境の変ィ匕に対しても良好な電気的接続を安定に維持することができる。また、異方導電性エラストマ一層 1 0には、電気抵抗測定用コネク夕一 1 0における電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4に対応して導電路形成部 2 1が形成されているため、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の間の絶縁性が確保され、その結果、被検査回路基板についての電気抵抗を一層高い精度で測定することができる。

第 2の例の電気抵抗測定用コネクター装置は、例えば以下のようにして製造することができる。

先ず、図 2 2に示すように、適宜の離型性支持板 2 6を用意し、この離型性支持板 2 6 の表面に、弾性高分子物質中に導電性粒子 Pが厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなる導電性エラストマ一層 2 1 Aを、当該離型性支持板 2 6に剥離可能に支持された状態で形成する。この導電性エラストマ一層 2 1 Aは、形成すべき導電路形成部の厚みと同等の厚みを有するものとされる。

以上において、離型性支持板 2 6を構成する材料としては、金属、セラミックス、樹脂およびこれらの複合材などを用いることができる。

また、導電性エラストマ一層 2 1 Aを形成する方法としては、（ 1 )予め適宜の方法によって製造された、弾性高分子物質中に導電性粒子 Pが厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなる導電性エラストマ一シートを、离煙性支持板 2 6の表面に剥離可能に接着する方法、 ( 2 )硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に磁性を示す導電性粒子が分散されてなる導電性エラストマ一用材料を調製し、この導電性エラストマー用材料を、离 I f生支持板 1 5上に塗布することによって、導電性エラストマ一用材料層を形成し、この導電性エラストマ一用材料層に対してその厚み方向に磁場を作用させることにより、導電性エラストマ一用材料層中の導電性粒子 Pを厚み方向に並ぶよう配向させ、この状態で、導電性エラストマ一用材料層の硬化処理を行う方法、などを利用することができる。

上記（ 1 ) の方法において、導電性エラストマ一シ一トを、離型性支持板 2 6の表面に剥離可能に接着する手段としては、導電性エラストマーシート自体が有する粘着性を利用して接着する方法、粘着剤によつて接着する方法などを用いることができる。

上記（2 ) の方法において、導電性エラストマ一用材料を塗布する具体的な手段としては、スクリーン印刷などの印刷法、ロール塗布法、ブレード塗布法などを利用することができる。導電性エラストマ一用材料層に磁場を作用させる手段としては、電磁石、永久磁石などを用いることができる。

導電性エラストマ一用材料層に作用させる磁場の強度は、 0 . 1〜1 . 5テスラとなる大きさが好ましい。

導電性エラストマ一用材料層の硬化処理は、通常、カロ熱処理によって行われる。具体的な力 D熱温度および加熱時間は、導電性エラストマ一用材料層を構成する高分子物質形成材料の @®、導電性粒子の移動に要する時間などを考慮して適宜設定される。

このようにして離型性支持板 2 6上に形成された導電性エラストマ一層 2 1 Aの表面に、図 2 3に示すように、メツキ電極用の金属薄層 2 7を形成する。次いで、図 2 4に示すように、この金属薄層 2 7上に、フォトリソグラフィ一の手法により、形成すべき導電路形成部のパターン、すなわち電気抵抗測定用コネク夕一における電流供給用電極および電圧測定用電極に対応するパターンに従って複数の開口 2 8 aが形成されたレジスト層 2 8 を形成する。その後、図 2 5に示すように、金属薄層 2 7をメツキ電極として、当該金属薄層 2 7におけるレジスト層 2 8の開口 2 8 aを介して露出した部分に、電解メツキ処理を施すことにより、当該レジスト層 2 8の開口 2 8 a内に金属マスク 2 9を形成する。そして、この状態で、導電性エラストマ一層 2 1 A、金属薄層 2 7およびレジスト層 2 8に対してレーザ一カロ工を施すことにより、レジスト層 2 8、金属薄層 2 7および導電性エラストマー層 2 1 Aの^ ¾が除去され、その結果、図 2 6に示すように、電気抵抗測定用コネクタ一における電流供給用電極および電圧測定用電極に対応するパターンに従って配置された複数の導電路形成部 2 1が离醒性支持板 2 6上に支持された状態で形成される。その後、導電路形成部 2 1の表面から残存する金属薄層 2 7および金属マスク 2 9を剥離する。

以上において、導電性エラストマ一層 2 1 Aの表面に金属薄層 2 7を形成する方法としては、無電解メツキ法、スパッタ法などを利用することができる。

金属薄層 2 7を構成する材料としては、銅、金、アルミニウム、ロジウムなどを用いることができる。

金属薄層 2 7の厚みは、 0 . 0 5〜2 であることが好ましく、より好ましくは 0 . 1〜 1〃mである。この厚みが過小である場合には、均一な薄層が形成されず、メツキ電極として不適なものとなることがある。一方、この厚みが過大である: には、レーザ一加工によつて除去することが困難となることがある。

レジスト層 2 8の厚みは、形成すべき金属マスク 2 9の厚みに応じて設定される。金属マスク 2 9を構成する材料としては、銅、鉄、アルミゥニム、金、ロジウムなどを用いることができる。

金属マスク 1 9の厚みは、 2 m以上であることが好ましく、より好ましくは 5〜 2 0 mである。この厚みが過小である場合には、レ一ザ一に対するマスクとして不適なものとなることがある。

レーザー力 0ェは、炭酸ガスレーザ一によるものが好ましく、これにより、目的とする形態の導電路形成部 2 1を確実に形成することができる。

一方、図 2 7に示すように、電気抵抗測定用コネク夕一 1 0の表面に、硬化されて絶縁性の弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料を塗布することにより、絶縁部用材料層 2 2 Aを形成する。次いで、図 2 8に示すように、複数の導電路形成部 2 1が形成された离醒性支持板 2 6を、絶縁部用材料層 2 2 Aが形成された離型性支持板 2 6上に重ね合わせることにより、当該電気抵抗測定用コネクタ一 1 0における電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の各々とこれに対応する導電路形成部 2 1とを対接させる。これにより、隣接する導電路形成部 2 1の間に絶縁部用材料層 2 2 Aが形成された状態となる。その後、この状態で、絶縁部用材料層 2 2 Aの硬化処理を行うことにより、図 2 9に示すように、隣接する導電路形成部 2 1の間にこれらを相互に絶縁する緣部 1 2が、導電路形成部 1 1および電気抵抗測定用コネクタ一 1 0に一体的に形成される。

そして、離型性支持板 2 6から离醒させることにより、電気抵抗測定用コネクタ一 1 0 の表面に異方導電性エラストマ一層 2 0がー体的に形成されてなる、図 2 0に示す構成のアダプター装置が得られる。

以上において、高分子物質形成材料を塗布する手段としては、スクリーン印刷などの印刷法、ロール塗布法、ブレード塗布法などを利用することができる。

絶縁部用材料層 2 2 Aの厚みは、形成すべき絶縁部 2 2の厚みに応じて設定される。絶縁部用材料層 2 2 Aの硬化処理は、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、絶縁部用材料層 2 2 Aを構成するエラストマ一材料の種類などを考慮して設定される。

このような製造方法によれば、導電性粒子 Pが厚み方向に並ぶよう配向した状態で分散されてなる導電性エラストマ一層 2 1 Aをレーザー加工してその ~¾を除去することにより、目的とする形態の導電路形成部 2 1を形成するため、所要の量の導電性粒子 Pが充填された所期の導電性を有する導電路形成部 2 1が形成された異方導電性エラストマ一 2 0 を確実に得ることができる。

また、离涯性支持板 2 6上に電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4のパターンに従って配置された複数の導電路形成部 2 1を形成したうえで、これらの導電路形成部 2 1の間に縁部用材料層 2 2 Aを形成して硬化処理することによって、絶縁部 2 2を形成するため、導電性粒子 Pが全く存在しない絶縁部 2 2が形成された異方導電性エラストマ —層 0を確実に得ることができる。

しかも、異方導電性エラストマ一層を形成するために、多数の強磁性体部が配列されてなる高価な金型を用いることが不要となる。

また、レ一ザ一加工による導電路形成部 2 1の形成工程は、離型性支持板 2 6上において ί亍われるため、異方導電性エラストマ一層 2 0の形成において、電気抵抗測定用コネクター 1 0の表面に損傷を与えることがなレ、。

本発明の電気抵抗測定用コネクター装置は、上記の例に限定されず、種々の変更を加えることが可能である。

例えば、図 3 0に示すように、電気抵抗測定用コネクタ一 1 0は、図 6および図 7に示す第 2の例のものであってもよく、また、図 9および図 1 0に示す第 3の例のものまたは図 1 1に示す第 4の例のもの、或いは、その他の本発明に係る電気抵抗測定用コネクターであってもよい。

また、異方導電性エラストマ一層 2 0は、導電路形成部が接続用電極組における全ての電極を覆うよう形成されてなるものであってもよく、弾性高分子物質中に、導電性粒子が、厚み方向に並ぶよう配向し、かつ、当該導電性粒子の連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる、いわゆる分散型のものであってもよい。

<回路基板の電気抵抗測定装置〉

図 3 1は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の第 1の例における構成を示す説明図であり、図 3 2は、図 3 1に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明図である。

この第 1の例の回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路 ¾ί反 1の一面（図 3 1において上面）側に配置される上部側アダプター 4 0と、被検査回路基板 1の他面（図 3 1において T ) 側に配置される下部側アダプター 5 0とが、上下に互レヽに対向するよう配置されて構成されている。

上部側アダプター 4 0においては、被検査回路反 1の一面側（図 3 1において上側）に配置される、例えば図 1 2に示す構成の電気抵抗測定用コネクター装置 2 5が設けられ、この電気抵抗測定用コネクタ一装置 2 5における電気抵抗測定用コネクター 1 0の裏面

(図 3 1において上面）には、第 1の上部側異方導電性シート 4 4を介して一面側検査用回路基板 4 1が配置されている。この一面側検査用回路基板 4 1の表面（図 3 1において T ) には、電気抵抗測定用コネクタ一装置 2 5における中継電極 1 5のパ夕一ンに対応するパターンに従って、ネ鐵の検査電極 4 2が配置され、当該一面側検査用回路基板 4 1 の裏面（図 3 1において上面）には、後述する電極板 4 8の標準配列電極 4 9の配列バターンに対応するパターンに従って端子電極 4 3が配置されおり、この端子電極 4 3の各々は対応する検査電極 4 2に、電気的に接続されている。

一面側検査用回路基板 4 1の裏面上には、第 2の上部側異方導電性シート 4 5を介して電極板 4 8が設けられている。この電極板 4 8は、その表面（図 3 1において下面）に、例えばピッチが 2 . 5 4 mm. 1 . 8 mmまたはし 2 7 mmの標準格子点 Jiに配置された複数の標準配列電極 4 9を有し、これらの標準配列電極 4 9の各々は、第 2の上部側異方導電性シート 4 5を介して一面側検査用回路基板 4 1の端子電極 4 3に電気的に接続されると共に、電極板 4 8の内部配線（図示せず）を介してテスター 5 9に電気的に接続されている。

この例における第 1の上部側異方導電性シート 4 4は、いわゆる偏在型異方導電性シー卜であって、電気抵抗測定用コネクター 1 0の中継電極 1 5のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部（図示省略）と、これらの導電路形成部の間に介在されてこれらを相互に絶縁する紙縁部（図示省略）とにより構成され、導電路形成部は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、糸縁部は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない縁性の弾性高分子物質よりなる。

また、第 2の上部側異方導電性シート 4 5は、いわゆる分醒の異方導電性シートであつて、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。これらの第 1の上部側異方導電性シート 4 4および第 2の上部側異方導電性シート 4 5 を構成する弾性高分子物質および導電'性粒子としては、電気抵抗測定用コネクタ一装置 5における異方導電性エラストマ一層 1 0を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、谪官選択して用いることができる。

下部側アダプター 5 0においては、他面側検査用回路基板 5 1が設けられ、この他面側検査用回路基板 5 1の表面（図 3 1において上面）には、被検査回路基板 1の他面側被検査電極 3の配置ノ、。ターンに対応するパターンに従って、 1つの他面側被検査電極 3に対して、互いに離間して配置された電流供給用検査電極 5 2 aおよび電圧測定用検査電極 5 2 bよりなる検査電極対が、他面側被検査電極 3が占有する領域と同等の面積の領域内に位置するよう配置されている。他面側検査用回路基板 5 1の裏面には、後述する電極板 6 0 の標準配列電極 6 1の配列パターンに対応するパターンに従って電流供給用端子電極 5 3 aおよぴ電圧測定用端子電極 5 3 bが配置されており、これらの電流供給用端子電極 5 3 aおよび電圧測定用端子電極 5 3 bの各々は、対応する電流供給用検査電極 5 2 aおよび電圧測定用検査電極 5 2 bに電気的に接続されている。

他面側検査用回路基板 5 1の表面上には、異方導電性エラストマ一層 5 5がー体的に形成されている。この異方導電性エラストマ一層 5 5には、検査電極対の各々を構成する電流供給用検査電極 5 2 aおよび電圧測定用検査電極 5 2 bの両方の表面（図 3 1において上面）に接する共通の導電路形成部 5 6が形成され、隣接する導電路形成部 5 6の間には、これらを相互に絶縁する絶縁部 5 7が形成されている。導電路形成部 5 6は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部 5 7は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。また、この例の異方導電性エラストマ一層 5 5においては、導電路形成部 5 6の表面（図 3 1において上面）が絶縁部 5 7の表面から突出した状態で形成されている。他面側検査用回路謝反 5 1の裏面（図 3 1において T®) には、下部側異方導電'性シート 6 2を介して電極板 6 0が設けられている。

電極板 6 0および下咅側異方導電'性シート 6 2は、上部側アダプタ一 4 0における電極板 4 8および第 2の上部側異方導電性シート 4 5に対応するものであり、電極板 6 0は、その表面（図 3 1において上面）に、例えばピッチが 2 . 5 4 mm、 1 . 8 mmまたは 1 . 2 7 mmの標準格子点上に配置されたネ鐵の標準配列電極 6 1を有し、これらの標準配列電極 6 1の各々は、下部側異方導電性シート 6 2を介して他面側検査用回路基板 5 1の電流供給用端子電極 5 3 aまたは電圧測定用端子電極 5 3 bに電気的に接続されると共に、電極板 6 0の内部配線（図示せず）を介してテスター 5 9に電気的に接続されている。下部側異方導電性シート 6 2は、いわゆる分觀の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電 1"生粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。

異方導電性エラストマ一層 5 5における導電路形成部 5 6は、その厚み方向における導電性が、厚み方向と直角な面方向における導電性より高いことが好ましく、具体的には、面方向の電気抵抗値に対する厚み方向の電気抵抗値の比が 1以下、特に 0 . 5以下であるような電気的特性を有するものであることが好ましい。

この比が 1を超える場合には、導電路形成部 5 6を介して電流供給用検査電極 5 2 aと電圧測定用検査電極 5 2 bとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。

このような観点から、導電路形成部 5 6における導電性粒子の充填率が 5〜 5 0体積⁰ /₀ であることが好ましい。

このような異方導電性エラス卜マー層 5 5は、直直の方法例えば特開 2 0 0 0 - 7 4 9 6 5号公報に記載された方法によつて形成することができる。

また、異方導電性エラス卜マー層 5 5および下部側異方導電性シ一ト 6 2を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクタ一装置 2 5における異方導電性エラストマ一層 2 0を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。

他面側検査用回路基板 5 1における電流供給用検査電極 5 2 aと電圧測定用検査電極 5 2 bとの間の離間距離は 1 0 / m以上であることが好ましい。この離間距離が 1 0〃m未満である場合には、導電路形成部 5 6を介して電流供給用検査電極 5 2 aと電圧測定用検査電極 5 2 bとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。

一方、この離間距離の上限は、各検査電極のサイズと、関連する他面側被検査電極 3の寸法およびピッチによって定まり、通常は 5 0 0 m以下である。この離間距離が過大である場合には、他面側被検査電極 3の 1つに対して両検査電極を適切に配置することが困難となることがある。

以上のような回路基板の電気抵抗測定装置においては、次のようにして被検査回路基板 1における任意の一面側被検査電極 2とこれに対応する他面側被検査電極 3との間の電気抵抗が測定される。

被検査回路基板 1を、上部側アダプタ一 4 0および下部側アダプター 5 0の間における所要の位置に配置し、この状態で、上部側アダプター 4 0を下降させると共に、下部側ァダブ夕一 5 0を上昇させることにより、被検査回路基板 1の一面に、電気抵抗測定用コネクタ一装置 2 5における異方導電性エラストマ一層 2 0が圧接されると共に、被検査回路基板 1の他面に、他面側検査用回路基板 5 1の表面上に形成された異方導電性エラストマ —層 5 5が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。

この測定状態において、電気抵抗測定用コネク夕一 1 0における電流供給用電極 1 2と他面側検査用回路基板 5 1における電流供給用検査電極 5 2 aとの間に一定の値の電流を供給すると共に、一面側被検査電極 2に電気的に接続された電圧測定用電極 1 4のうち 1 つの電圧測定用電極 1 4を指定し、当該指定された 1つの電圧測定用電極 1 4と、当該電圧測定用電極 1 4に電気的に接続された一面側被検査電極 2に対応する他面側被検査電極 3に電気的に接続された検査電極対における電圧測定用検査電極 5 bとの間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された電圧測定用電極 1 4に電気的に接続された一面側被検査電極 2とこれに対応する他面側被検査電極 3との間の電気抵抗値が取得される。

そして、指定する電圧測定用電極 1 4を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極 2とこれに対応する他面側被検査電極 3との間の電気抵抗の測定を行うことができる以上において、被検査回路基板 1における 1つの一面側被検査電極 2に、電気抵抗測定用コネクター 1 0の接続用電 @且 1 2における 2つの電圧測定用電極 1 4が電気的に接続された場合には、図 3 3に示すように、当該一面側被検査電極 2とこれに対応する他面側被検査電極 3との間には、 2つの電圧測定用回路 C 1 , C 2が形成されることになる。このような場合には、電圧測定用回路 C 1による電気抵抗値および電圧測定用回路 C による電圧値のうちその値が高いものが採用され、当該電圧値に基づいて一面側被検査電極 2 とこれに対応する他面側被検査電極³との間の電気抵抗値が取得される。

以上のような構成の回路基板の電気抵抗測錢置によれば、その上部側アダプター 4 0 に図 1および図 2に示す構成の電気抵抗測定用コネク夕一 1 0が設けられていることにより、被検査回路基板 1との電気的接続作業において、一面側被検査電極 2に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板 1が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検查電極 2を有するものであつても、当該一面側被検査電極 2に対する電流供給用電極 1 3 および電圧測定用電極 1 4の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板 1についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。

図 3 4は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の第 2の例における構成を示す説明図であり、図 3 5は、図 3 4に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明図である。

この第 1の例の回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板

1の一面（図 3 4において上面）側に配置される上部側アダプタ一 4 0と、被検査回路基板 1の他面（図 3 4において下面）側に配置される下部側アダプター 5 0とが、上下に互いに対向するよう配置されて構成されており、上部側アダプタ一 4 0は、第 1の例の電気抵抗測定装置における上部側ァダブ夕一と同様の構成である。

下部側アダプター 5 0においては、被検査回路基板 1の他面側（図 3 4において下側）に配置される、例えば図 1 2に示す構成の電気抵抗測定用コネクター装置 2 5が設けられ、この電気抵抗測定用コネクタ一装置 2 5における電気抵抗孭 I淀用コネクタ一 1 0の裏面

(図 3 4において下面）には、第 1の下部側異方導電性シート 6 を介して他面側検査用回路基板 5 1が配置されており、この他面側検査用回路基板 5 1の裏面上には、第 2の下部側異方導電性シート 6 5を介して電極板 6 0が設けられている。この電極板 6 0は、第

1の例の電気抵抗測^ ¾置の下部側アダプターにおける電極板と同様の構成である。他面側検査用回路謝反 5 1の表面（図 3 4において上面）には、電気抵抗測定用コネク夕一装置 2 5における中継電極 1 5のパターンに対応するノ、"ターンに従つて、複数の検査電極 5 2が配置され、当該他面側検査用回路基板 5 1の裏面（図 3 4において下面）には、電極板 6 0の標準配列電極 6 1の配列パターンに対応するパターンに従って端子電極 5

3が配置されおり、この端子電極 5 3の各々は対応する検査電極 5 2に、電気的に接続されている。

この伊こおける第 1の下部側異方導電性シート 6 4は、いわゆる偏在型異方導電性シー卜であつて、電気抵抗測定用コネクター 1 0の中継電極 1 5のパターンに対応するパ夕一ンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部（図示省略）と、これらの導電路形成部の間に介在されてこれらを相互に絶縁する緣部（図示省略）とにより構成され、導電路形成部は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない糸生の弾'性高分子物質よりなる。

また、第 2の下部側異方導電性シート 6 5は、いわゆる分 ¾ の異方導電性シートであつて、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。これらの第 1の下部側異方導電性シート 6 4および第 2の下部側異方導電性シ一ト 6 5 を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクタ一装置 2 5における異方導電性エラストマ一層 2 0を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、 ¾ 選択して用いることができる。

被検査回路基板 1を、上部側アダプター 4 0および下部側アダプタ一 5 0の間における所要の位置に配置し、この状態で、上部側アダプター 4 0を下降させると共に、下部側ァダブ夕一 5 0を上昇させることにより、被検査回路基板 1の一面に、上部側アダプタ一 4 0の電気抵抗測定用コネクタ一装置 2 5における異方導電性エラストマ一層 2 0が圧接されると共に、被検査回路基板 1の他面に、下部側アダプター 5 0の電気抵抗測定用コネク夕一装置 2 5における異方導電性エラストマ一層 2 0が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。

この測定状態において、上部側アダプタ一 4 0の電気抵抗測定用コネクター 1 0における電流供給用電極 1 2と下部側アダプター 5 0の電気抵抗測定用コネクター 1 0における電流供給用電極 1 2との間に一定の値の電流を供給すると共に、一面側被検査電極に電気的に接続された電圧測定用電極 1 4のうち 1つの電圧測定用電極 1 4を指定し、当該指定された 1つの電圧測定用電極 1 4と、当該電圧測定用電極 1 4に電気的に接続された一面側被検査電極 2に対応する他面側被検査電極 3に電気的に接続された電圧測定用電極 1 4 との間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された電圧測定用電極 1 4 に電気的に接続された一面側被検査電極²とこれに対応する他面側被検査電極³との間の電気抵抗値が取得される。

そして、指定する電圧測定用電極 1 4を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極 2とこれに対応する他面側被検査電極 3との間の電気抵抗の測定を行うことができる以上において、被検査回路基板 1における 1つの一面側被検査電極 2に、電気抵抗測定用コネクタ一 1 0の接続用電極袓 1 2における 2つの電圧測定用電極 1 4が電気的に接続され、当! ¾皮検査回路基板 1における 1つの他面側被検査電極 3に、電気抵抗測定用コネクタ一 1 0の接続用電極組 1 2における 2つの電圧測定用電極 1 4が電気的に接続された場合には、図 3 6に示すように、当該一面側被検査電極 2とこれに対応する他面側被検査電極 3との間には、 4つの電圧測定用回路 C 1， C 2 , C 3 , C 4が形成されることになる。このような場合には、電圧測定用回路 C K電圧測定用回路 C 2、電圧測定用回路 C 3および電圧測定用回路 C 4の各々による電圧値のうちその値が最も高いものが採用され、当該電圧値に基づいて、一面側被検査電極 2とこれに対応する他面側被検査電極 3との間の電気抵抗値が取得される。

以上のような構成の回路基板の電気抵抗測定装置によれば、その上部側アダプタ一 4 0 および下部側アダプター 5 0の各々に図 1および図 2に示す構成の電気抵抗測定用コネク夕一 1◦が設けられていることにより、被検査回路基板 1との電気的接続作業において、一面側被検査電極 2および他面側被検査電極 3に対する位置ずれの許容度が大きいため、被検査回路基板 1が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極 2および他面側被検査電極 3を有するものであっても、当該一面側被検査電極 2および他面側被検査電極 3の各々に対する電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4の両方の電気接続を確実に達成することができる。しかも、電流供給用電極 1 3および電圧測定用電極 1 4は互いに電気的に絶縁されているので、被検査回路基板 1についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。

本発明の回路装置の電気抵抗測定装置は、上記の例に限定されず、以下のような種々の変更を加えることが可能である。

例えば、第 1の例において、下部側アダプター 5 0の他面側検査用回路基板 5 1は、 1 つの他面側被検査電極 3に対して、検査電極対を構成する電流供給用検査電極 5 2および電圧測定用検査電極 5 3が電気的に接続された状態を達成することのできるものであれば、種々のものを用いることができる。

また、異方導電性エラストマ一層 5 5としては、電流供給用検査電極 5 2および電圧測定用検査電極 5 3の各々に対応して導電路形成部が形成されてなるものを用いることができる。

また、個々の先端に導電性エラストマ一が設けられた検査電極や、更に、許容される場合にはプローブピンを検査電極として用いることも可能である。

また、被検査回路基板が片面プリント回路基板である場合には、下部側アダプターを設けることは不要である。

以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

また、以下の実施例において、被検査回路基板として、下記の仕様の片面プリント回路基板を使用した。

縦横の寸法が 3 c mx 3 c mで、一面に直径 1 0 0 mの被検査電極の 6 0 0個が 0 . 2 mmのピッチで配置されてなる電極群が合計で 4つ形成されてなり（被検査電極の合計の数が 2 4 0 0個）、各電極群における 6 0 0個の被検査電極のうち 2個ずつが内部配線を介して互いに電気的に接続されて回路が形成された（各電極群における回路数が 3 0 0 個，全体の回路数が 1 2 0 0個）片面プリント回路基板。

〈実施例 1 >

〔電気抵抗測定用コネクター〕

図 1および図 2に示す構成に従い、下記の仕様により、電気抵抗測定用コネクターを作製した。

絶縁隨反 ( 1 1 ) :

材質；ガラス繊維補強型ェポシキ樹脂，絶縁性基板 ( 1 1 ) の寸法； 1 0 O mm X 1 0 0 mm X 0 . 5 mm,

接続用電極組 ( 1 ) : 電流供給用電極 ( 1 3) および電圧測定用電極（1 4) の^去； 5 0 mx 5 0 , 電流供給用電極（ 1 3) および電圧測定用電極（ 1 4) の間の離間距離； 30〃m, 接続用電 il且（ 1 2 ) のピッチ； 20 0〃m，接続用電極 '組（ 1 2 ) の数； 600 ,

中継電極 ( 1 5) :

中継電極 ( 1 5) の寸法；直径 1 20〃m (円形），中継電極（ 1 5 ) のピッチ； 3 5 0 nm, 中継電極（ 1 5) の数； 1 200

〔電気抵抗測定用コネクタ一装置〕

上記の電気抵抗測定用コネクタ一の表面に、以下のようにして異方導電性エラストマ一層を形成して電気抵抗測定用コネクタ一装置を作製した。

( 1 )金型：

図 14に示す構成に従レヽ、下記の仕様により、異方導電性エラストマ一層を得るための金型を作製した。

すなわち、 ± ( 30 ) および下型 (3 5) の各々において、強磁性体基板 (3 1 , 3 6) の材質は鉄であり、その厚みは 1 Ommである。強磁性体層 ( 32, 37 ) の材質はニッケルであり、その平面形状は円形で、その寸法は直径が 300〃m、厚みが 1 0 0 mである。上型（30) の非磁性体層 (33) の材質はドライフィルムレジストを硬化処理したものであり、その厚みは 1 50〃mである。下型（3 5) の非磁性体層（38) の材質はドライフィルムレジストを硬化処理したものであり、その厚みは 1 00 mである

(2) エラストマ一用材料：

付加型液状シリコーンゴム 1 00重量部に、平均粒子径が 1 0 mの導電性粒子 1 5重量部を添加して混合し、その後、減圧による脱泡処理を施すことにより、エラストマ一用材料を調製した。以上において、導電性粒子としては、ニッケルよりなる芯粒子に金メッキが施されてなるもの（平均被覆量：芯粒子の重量の 4重量％) を用いた。また、エラストマ一用材料の粘度は、温度 25 °Cにおいて 4800 Fであった。

( 3 )異方導電性エラストマ一層：

上記の電気抵抗測定用コネクター（1 0) の表面に、調製したエラストマ一用材料をスクリーン印刷法によって塗布することにより、エラストマ一用材料層 (2 OA) を形成し、このエラストマ一用材料層 (2 OA) の表面および電気抵抗測定用コネクタ一 1 0の裏面に、上記の ± (30)および下型 (35) を配置した。そして、 ± ( 30 ) のおよび下型 (35) の下面に、電磁石を配置してこれを作動させることにより、エラストマ一用材料層 (2 OA) に対し、 ± ( 30 )の強磁性体層（32) と下型（ 35 ) の強磁性体層 (37) との間に位置する部分に、その厚み方向に 2 Tの磁場を作用させながら、 125°C、 2時間の条件で、エラストマ一用材料層 (2 OA) の硬化処理を行うことにより、電気抵抗測定用コネクター（10)の表面に、その接続用電極組領域の表面上に位置する部分に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されたエラストマー層（20B) を形成した。

得られたエラストマ一層（20 B) に対して、炭酸ガスレ一ザ一によるレーザー^]ェを施すことにより、導電性粒子が含有された部分において、接続用電極組（12) における各電極の間の領域の表面上に位置する部分を除去することにより、十字状の穴部 (K) を形成した。次いで、この穴部 (K) に、付加型液状シリコーンゴムを充填し、 125°C、 2時間の条件で、当該付加型液状シリコ一ンゴムの硬化処理を行うことにより、異方導電性エラストマ一層（20) を形成し、以て、電気抵抗測定用コネクタ一装置 (25) を製した。

( 4 ) 回路装置の電気抵抗測定装置：

上記の電気抵抗測定用コネクタ一装置を用い、図 31に示す上部側アダプタ一と、テスターとからなる電気抵抗測定装置を作製した。

ぐ比較例 1 >

特開 2000— 74965号公報に開示されている構成に従い、被検査電極に対応して電流供給用電極および電圧測定用電極が表面に形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に設けられた導電性エラストマ一よりなる接続部材および保持部材と有する電気抵抗測定装置を作製した。

上記の検査用回路基板における電流供給用電極および電圧測定用電極の縦横の寸法は、それぞれ 120 mx 40〃mで、電流供給用電極および電圧測定用電極の離間距離は 4 0 で、接 ΐ^材の厚みは 0. 06 mmで、接続部材を構成する弾性高分子物質としてシリコーンゴムを用いると共に、導電性粒子として、金メッキされた平均粒径 10〃mのニッケル粒子を用いた。前述の仕様の被検査回路基板を合計で 2 0 0枚用意し、これらの被検査回路基板における各回路の電気抵抗の測定を、実施例 1および比較例 1に係る電気抵抗測定装置によって行い、回路の電気抵抗の測定値が 1 Ω以上であるを、接続不良と判断し、その数を測

¾1し/こ。

その結果、実施例 1に係る電気抵抗測定装置においては、 1 0 0個の回路基板 ( 1 2 0 0回路 X 1 0 0 ) 中、電気抵抗の測定値が 1 Ω以上である回路を有する回路基板の数は 0 個であり、比較例 1に係る電気抵抗装置においては、 1 0 0個の回路基板（ 1 2 0 0回路 X 1 0 0 ) 中、電気抵抗の測定値が 1 Ω以上である回路を有する回路基板の数は 2 5個であつに。

Claims

請求の範囲

1 . 絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のノ、。ターンに対応するパターンに従つて配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、

前記接続用電極組の各々は、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれかの電極の

3つ以上が互いに離間して配置されてなり、これらの電極のうち、少なくとも 1つは電流供給用電極であり、少なくとも 1つが電圧測定用電極であることを特徴とする電気抵抗測定用コネクタ一。

2 . 絶縁性基板と、この絶椽性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパタ―ンに対応するパ夕―ンに従つて配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、

編己接続用電極組は、矩形における互いに対角する頂 ϋ置に位置する 2つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する 1つの電圧測定用電極が、互いに離間して配置されてなることを特徴とする電気抵抗測定用コネク夕一。

3 . 絶縁性基板と、この紙縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のノ、。ターンに対応する、"ターンに従つて配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、

編己接続用電極組の各々は、電圧測定用電極、電流供給用電極および電圧測定用電極の 3つの電極がこの順で並ぶよう互いに離間して配置されてなることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター。

4 . 絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極の、。夕一ンに対応するパターンに従つて配置された複数の接続用電極組とを具えてなり、

前記接続用電極組の各々は、電流供給用電極、電圧測定用電極および電流供給用電極の 3つの電極がこの順で並ぶよう互いに離間して配置されてなることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター。

5 . 接続用電極袓における電流供給用電極および電圧測定用電極の各々は、これらの電極が並ぶ方向に対して垂直な方向に長尺な形状を有することを特徴とする請求の範囲第 3項または第 4項に記載の電気抵抗測定用コネクタ一。

6 . 縁性基板の裏面に、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された複数の中継電極が配置されていることを特徴とする請求の範囲第 1項乃至第 5項のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクター。

7 . 複数の電流供給用電極に電気的に接続された中継電極を有することを特徴とする請求の範囲第 6項に記載の電気抵抗測定用コネクター。

8 . 請求の範囲第 1項乃至第 7項のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターと、この電気抵抗測定用コネクタ一の表面に一体的に積層された異方導電性エラストマー層とを具えてなることを特徴とする電気抵抗測定用コネク夕一装置。

9 . 異方導電性エラストマ一層は、電流供給用電極および電圧測定用電極の各々の表面上に配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を相互に終緣する絶縁部とよりなることを特徴とする請求の範囲第 8項に記載の電気抵抗測定用コネクター装置。

1 0 . 異方導電性エラストマ一層における導電路形成部は、磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなることを特徴とする請求の範囲第 9項に記載の電気抵抗測定用コネクタ一装置。

1 1 . 請求の範囲第 1 0項に記載の電気抵抗測定用コネクター装置を製造する方法であつて、

請求の範囲第 1項乃至第 7項のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネク夕一の表面に、硬ィ匕されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に磁性を示す導電性粒子が含有されてなるエラストマ一用材料層を形成し、このエラストマ一用材料層に対して、電気抵抗測定用コネク夕一の接続用電極組が形成された領域の表面上に位置する部分においてそれ以外の部分より大きい弓 ¾ の磁場を厚み方向に作用させると共に、当該エラストマ一用材料層を硬化処理することにより、当該電気抵抗測定用コネクターの表面に、その接続用電極組が形成された領域の表面上に位置する部分に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されたエラストマ一層を形成し、

このエラストマ一層における導電性粒子が含有された部分において、接続用電極組における各電極の間の領域の表面上に位置する部分を除去して穴部を形成し、その後、この穴部に硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料を充填し、当該高分子物質形成材料を硬化処理する工程を有することを特徴とする電気抵抗測定用コネク夕一装置の製造方法。 ^

1 2 . 少なくとも一面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、

電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、請求の範囲第 1項乃至第 7項のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターを具えてなることを特徴とする回路基

1 3 . 少なくとも一面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、

電気抵抗を測定すベき被検査回路基板の一面側に配置される、請求の範囲第 6項または第 7項に記載の電気抵抗測定用コネクターと、

この電気抵抗測定用コネク夕一の裏面に異方導電性シ一トを介して配置された、表面に当該電気抵抗測定用コネクタ一における中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査電極を有する一面側検査用回路基板とを具えてなることを特徴とする回路

1 4 . 両面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であって、

電気抵抗を測定すベき被検査回路基板の他面側に配置される、他面側検査用回路基板を具えてなり、

前記他面側検査用回路基板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の他面側被検査電極の各々に対応して互いに離間して配置された、それぞれ同一の他面側被検査電極に電気的に接続される電流供給用検査電極および電圧測定用検査電極が形成されていることを特徴とする請求の範囲第 1 2項または第 1 3項に記載の回路基板の電気抵抗測定装置。

1 5 . 両面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測置でってヽ

電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、請求の範囲第 1項乃至第 7項のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネク夕一と、

当該被検査回路基板の他面側に配置される、請求の範囲第 1項乃至第 7項のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターとを具えてなることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。 '

1 6 . 両面に電極を有する回路基板の電気抵抗を測定する回路基板の電気抵抗測定装置であっし、

電気抵抗を測定すベき被検査回路基板の一面側に配置される、請求の範囲第 6項または第 7項に記載の電気抵抗測定用コネクタ一と、

この電気抵抗測定用コネクタ一の裏面に異方導電性シートを介して配置された、表面に当該電気抵抗測定用コネク夕一における中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査電極を有する一面側検査用回路基板と、

前記被検査回路基板の他面側に配置される、請求の範囲第 6項または第 7項に記載の電気抵抗測定用コネクタ一と、

この電気抵抗測定用コネクターの裏面に異方導電性シ一トを介して配置された、表面に当該電気抵抗測定用コネクタ一における中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査電極を有する他面側検査用回路基板と

を具えてなることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。

1 7 . 電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面に、請求の範囲第 1項乃至第 7項のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクタ一を配置し、

当該被検査回路基板の一面側被検査電極の各々に、編己電気抵抗測定用コネクタ一の接続用電極組における少なくとも 1つの電流供給用電極および少なくとも 1つの電圧測定用電極を同時に電気的に接続して測定状態とし、

この測定状態において、前記電気抵抗測定用コネク夕一における電流供給用電極を介して被検査回路基板に電流を供給すると共に、編己一面側被検査電極に電気的に接続された電圧測定用電極のうち 1つの電圧測定用電極を指定し、当該指定された 1つの電圧測定用電極に電気的に接続された一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定を実施することを特徴とする回路基板の電気抵抗測定方法。