KR20050115297A - 전기 저항 측정용 커넥터, 전기 저항 측정용 커넥터 장치및 그 제조 방법 및 회로 기판의 전기 저항 측정 장치 및측정 방법 - Google Patents
전기 저항 측정용 커넥터, 전기 저항 측정용 커넥터 장치및 그 제조 방법 및 회로 기판의 전기 저항 측정 장치 및측정 방법 Download PDFInfo
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Abstract
피검사 회로 기판이 대면적으로 크기가 작은 다수의 피검사 전극을 갖는 것이라도, 소요의 전기적 접속이 확실하게 달성되고, 소기의 전기 저항의 측정이 높은 정밀도로 확실하게 행해지는 전기 저항 측정용 커넥터, 전기 저항 측정용 커넥터 장치 및 그 제조 방법 및 회로 기판의 전기 저항 측정 장치 및 측정 방법이 개시되어 있다. 본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터는 절연성 기판과, 이 절연성 기판의 표면에 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판에서의 복수의 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라 배치된 복수의 접속용 전극 세트를 구비하고, 상기 접속용 전극 세트의 각각은 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극 중 어떠한 전극의 3개 이상이 서로 떨어져 배치되어 이루어지며, 이들의 전극 중 적어도 1개는 전류 공급용 전극이며, 적어도 1개가 전압 측정용 전극이다.
Description
본 발명은 전기 저항 측정용 커넥터, 전기 저항 측정용 커넥터 장치 및 그 제조 방법 및 회로 기판의 전기 저항 측정 장치 및 회로 장치의 전기 저항 측정 방법에 관한 것이다.
최근, 전자 부품이나 이것을 내장한 전자기기에서의 신호 전송의 고속화의 요청에 수반하여, BGA나 CSP 등의 LSI 패키지를 구성하는 회로 기판이나 이들의 반도체 장치가 탑재되는 회로 기판으로서, 전극 사이에서의 배선의 전기 저항이 낮은 것이 요구되고 있다. 그로 인해, 이러한 회로 기판의 전기적 검사에 있어서는, 그 전극 사이에서의 배선의 전기 저항의 측정을 높은 정밀도로 하는 것이 매우 중요하다.
종래, 회로 기판의 전기 저항의 측정에 있어서는, 예컨대 도37에 도시한 바와 같이 피검사 회로 기판(90)의 서로 전기적으로 접속된 2개의 피검사 전극(91, 92)의 각각에 대하여, 전류 공급용 프로브(PA, PD) 및 전압 측정용 프로브(PB, PC)를 압박하여 접촉시키고, 이 상태에서 전류 공급용 프로브(PA, PD) 사이에 전원 장치(93)로부터 전류를 공급하고, 이때에 전압 측정용 프로브(PB, PC)에 의해 검출되는 전압 신호를 상기 신호 처리 장치(94)에 있어서 처리함으로써, 당해 피검사 전극(91, 92) 사이의 전기 저항의 크기를 구하는 4단자법이 채용되어 있다.
그렇지만, 상기한 방법에 있어서는 전류 공급용 프로브(PA, PD) 및 전압 측정용 프로브(PB, PC)를 피검사 전극(91, 92)에 대하여 상당히 큰 가압력으로 접촉시킬 필요가 있으며, 게다가 당해 프로브는 금속제이며 그 선단부는 끝이 뾰족한 형상으로 되어 있으므로, 프로브가 가압됨으로써 피검사 전극(91, 92)의 표면이 손상되어 당해 회로 기판은 사용 불가능한 상태가 되어 버린다. 이러한 사정으로 인해, 전기 저항의 측정은 제품이 되는 모든 회로 기판에 대해 행할 수 없어, 소위 임의 검사가 될 수밖에 없어 결국 제품의 수율을 크게 할 수 없다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 종래 피검사 전극에 접촉하는 접속용 부재가 도전성 엘라스토머에 의해 구성된 전기 저항 측정 장치가 제안되어 있고, 구체적으로는 (i) 엘라스토머에 의해 도전성 입자가 결착된 도전 고무로 이루어지는 탄성 접속용 부재를, 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 개개에 배치하여 이루어지는 전기 저항 측정 장치(하기 선행 문헌 1 참조), (ii) 동일한 피검사 전극에 전기적으로 접속되는 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 양쪽 표면에 접하도록 마련된 이방 도전성 엘라스토머로 이루어지는 공통의 탄성 접속용 부재를 갖는 전기 저항 측정 장치(하기 선행 문헌 2 참조), (iii) 표면에 복수의 검사 전극이 형성된 검사용 회로 기판과, 이 검사용 회로 기판의 표면에 마련된 도전성 엘라스토머로 이루어지는 탄성 접속용 부재를 갖고, 피검사 전극이 접속 부재를 거쳐서 복수의 검사 전극에 전기적으로 접속된 상태에서 그들의 검사 전극 중 2개를 선택하여, 그 중 한쪽을 전류 공급용 전극으로 하고, 다른 쪽을 전압 측정용 전극으로 하여 전기 저항을 측정하는 전기 저항 측정 장치(하기 선행 문헌 3 참조) 등이 알려져 있다.
이러한 전기 저항 측정 장치에 따르면, 피검사 회로 기판의 피검사 전극에 대하여, 탄성 접속용 부재를 거쳐서 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극이 대향 접촉됨으로써 전기적 접속이 달성되므로, 당해 피검사 전극을 손상시키는 일없이 전기 저항의 측정을 할 수 있다.
그렇지만, 상기 (i) 및 상기 (ii) 구성의 전기 저항 측정 장치에 의해, 전극 사이에서의 전기 저항의 측정을 하는 경우에는, 이하와 같은 문제가 있다.
최근, 회로 기판에 있어서는 높은 집적도를 얻기 위해 전극의 크기 및 피치 혹은 전극 간 거리가 작아지는 경향이 있다. 그렇게 하여, 상기 (i) 및 상기 (ii) 구성의 전기 저항 측정 장치에 있어서는, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판에서의 피검사 전극 각각에 탄성 접속용 부재를 거쳐서 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 양쪽을 동시에 전기적으로 접속시킬 필요가 있다. 따라서 작은 크기의 피검사 전극이 고밀도로 배치된 피검사 회로 기판에 대한 전기 저항의 측정을 하기 위한 전기 저항 측정 장치에 있어서는, 작은 크기의 피검사 전극 각각에 대응하여 당해 피검사 전극이 점유하는 영역과 동등하거나 혹은 그 이하의 면적 영역 내에서, 서로 떨어진 상태로 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극을 형성하는 것, 즉 피검사 전극보다도 훨씬 작은 크기의 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극을 매우 작은 거리로 떨어진 상태로 형성하는 것이 필요하다.
또한, 회로 기판의 제조 방법으로서는 생산성을 향상시키기 위해, 하나의 기판 재료에 의해 복수의 회로 기판이 연결되어 이루어지는 회로 기판 연결체를 제조하고, 그 상태에서 당해 회로 기판 연결체에서의 각 회로 기판에 대한 전기적 검사를 일괄적으로 행하고, 그 후 회로 기판 연결체를 절단함으로써, 분리된 복수의 회로 기판을 제조하는 방법이 채용되어 있다.
그런데 검사 대상인 회로 기판 연결체는 그 면적이 상당히 크고, 또한 피검사 전극의 수도 매우 많은 것으로, 특히 다층 회로 기판을 제조하는 경우에는 그 제조 프로세스에서의 공정수가 많고, 가열 처리에 의한 열 이력을 받는 횟수가 많기 때문에, 피검사 전극이 소기의 배치 위치로부터 위치가 어긋난 상태로 형성되는 경우가 적지 않다. 이와 같이, 대면적으로 다수의 피검사 전극을 갖고, 당해 피검사 전극이 소기의 배치 위치로부터 위치가 어긋난 상태로 형성된 피검사 회로 기판에 대해, 상기 (i) 및 상기 (ii) 구성의 전기 저항 측정 장치에 의해 전기 저항의 측정을 하는 경우에는, 피검사 전극 각각에 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 양쪽을 동시에 전기적으로 접속시키는 것은 매우 곤란하다.
구체적인 일례를 들어 설명하면, 도38에 도시한 바와 같이 지름(L)이 300 ㎛인 피검사 전극(T)에 걸리는 전기 저항을 측정하는 경우에는, 당해 피검사 전극(T)에 전기적으로 접속되는 전류 공급용 전극(A) 및 전압 측정용 전극(V)의 떨어진 거리(D)는 150 ㎛ 정도이지만, 도39의 (a) 및 (b)에 도시한 바와 같이 피검사 회로 기판의 위치 정렬에 있어서, 전류 공급용 전극(A) 및 전압 측정용 전극(V)에 대한 피검사 전극(T)의 위치가, 도38에 나타내는 소기의 위치로부터 전류 공급용 전극(A) 및 전압 측정용 전극(V)이 늘어서는 방향(도면에 있어서 좌우 방향)으로 75 ㎛ 어긋났을 때에는, 전류 공급용 전극(A) 및 전압 측정용 전극(V) 중 어느 한쪽과 피검사 전극(T)과의 전기적 접속이 달성되지 않아, 소요의 전기 저항 측정을 할 수 없다.
한편, 상기 (iii)의 전기 저항 측정 장치에 따르면, 피검사 전극 각각에 대응하여 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극을 형성하는 것이 불필요해지므로, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판이 대면적으로 다수의 피검사 전극을 갖고, 또한 작은 크기의 피검사 전극이 고밀도로 배치되어 이루어지는 것이라도, 당해 피검사 전극에 대한 위치 어긋남의 허용도가 크고, 또한 당해 전기 저항 측정 장치의 제작이 쉽다.
그렇지만, 이러한 전기 저항 측정 장치는, 말하자면 유사 4단자법에 의한 측정 장치이므로 측정 오차 범위가 넓은 것이며, 따라서 전극 사이에서의 전기 저항이 낮은 회로 기판에 대해, 그 전기 저항의 측정을 높은 정밀도로 하는 것은 곤란하다.
선행 문헌 1 : 일본 특허 공개 평9-26446호 공보
선행 문헌 2 : 일본 특허 공개 제2000-74965호 공보
선행 문헌 3 : 일본 특허 공개 제2000-241485호 공보
도1은 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터의 제1 예를 나타내는 평면도이다.
도2는 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
도3은 피검사 회로 기판의 일면 위에, 이방 도전성 시트를 거쳐서 도1에 나타내는 전기 저항 측정용 커넥터가 배치된 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도4는 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터에서의 접속용 전극 세트와 피검사 전극 사이에 위치 어긋남이 생긴 상태를 나타내는 설명도이다.
도5는 피검사 회로 기판의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
도6은 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터의 제2 예를 나타내는 평면도이다.
도7은 제2 예의 전기 저항 측정용 커넥터의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
도8은 제2 예의 전기 저항 측정용 커넥터에서의 접속용 전극 세트와 피검사 전극 사이에 위치 어긋남이 생긴 상태를 나타내는 설명도이다.
도9는 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터의 제3 예를 나타내는 평면도이다.
도10은 제3 예의 전기 저항 측정용 커넥터의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
도11은 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터의 제4 예에서의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
도12는 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터 장치의 제1 예에서의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
도13은 도12에 나타내는 전기 저항 측정용 커넥터 장치를, 그 이방 도전성 엘라스토머층의 일부를 파단하여 나타내는 평면도이다.
도14는 이방 도전성 엘라스토머층을 얻기 위한 금형의 일례에서의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
도15는 전기 저항 측정용 커넥터의 표면에 엘라스토머용 재료층이 형성된 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도16은 엘라스토머용 재료층의 두께 방향으로 강도 분포를 갖는 자장이 작용한 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도17은 전기 저항 측정용 커넥터의 표면에 엘라스토머층이 형성된 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도18은 엘라스토머층에 구멍부가 형성된 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도19는 엘라스토머층에 형성된 구멍부에 고분자 물질 형성 재료가 충전된 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도20은 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터 장치의 제2 예에서의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
도21은 도20에 나타내는 전기 저항 측정용 커넥터 장치를, 그 이방 도전성 엘라스토머층의 일부를 파단하여 나타내는 평면도이다.
도22는 이형(離型)성 지지판 위에 도전성 엘라스토머층이 형성된 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도23은 도전성 엘라스토머층 위에 금속박층이 형성된 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도24는 금속박층 위에 개구를 갖는 레지스트층이 형성된 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도25는 레지스트층의 개구 내에 금속 마스크가 형성된 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도26은 이형성 지지판 위에 복수의 도전로 형성부가 형성된 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도27은 전기 저항 측정용 커넥터의 표면에 절연부용 재료층이 형성된 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도28은 절연부용 재료층이 형성된 전기 저항 측정용 커넥터 위에, 도전로 형성부가 형성된 이형성 지지판이 포개어진 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도29는 인접하는 도전로 형성부 사이에 절연부가 형성된 상태를 나타내는 설명용 단면도이다.
도30은 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터 장치의 다른 예에서의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
도31은 본 발명에 관한 회로 기판의 전기 저항 측정 장치의 제1 예에서의 구성 개략을, 피검사 회로 기판과 함께 나타내는 설명용 단면도이다.
도32는 제1 예의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치의 주요부를 확대하여 나타내는 설명용 단면도이다.
도33은 제1 예의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치에 의해 형성되는 전압 측정용 회로를 개략적으로 나타내는 설명도이다.
도34는 본 발명에 관한 회로 기판의 전기 저항 측정 장치의 제2 예에서의 구성 개략을, 피검사 회로 기판과 함께 나타내는 설명용 단면도이다.
도35는 제2 예의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치의 주요부를 확대하여 나타내는 설명용 단면도이다.
도36은 제2 예의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치에 의해 형성되는 전압 측정용 회로를 개략적으로 나타내는 설명도이다.
도37은 전류 공급용 프로브 및 전압 측정용 프로브에 의해, 회로 기판에서의 전극 사이의 전기 저항을 측정하는 장치의 개략도이다.
도38은 종래의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치에 있어서, 피검사 전극 위에 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극이 적당하게 배치된 상태를 나타내는 설명도이다.
도39는 종래의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치에 있어서, 피검사 전극 위에 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극이 위치가 어긋난 상태로 배치된 상태를 나타내는 설명도이다.
[부호 설명]
1 피검사 회로 기판 2 일면측 피검사 전극
3 다른 면측 피검사 전극 4a, 4b 회로
5 이방 도전성 시트
10 전기 저항 측정용 커넥터
11 절연성 기판 12 접속용 전극 세트
13 전류 공급용 전극 14 전압 측정용 전극
15 중계 전극 16 배선부
20 이방 도전성 엘라스토머층
20A 엘라스토머용 재료층
20B 엘라스토머층
21 도전로 형성부
21A 도전성 엘라스토머층
22 절연부 22A 절연부용 재료층
23 돌출부 23A 고분자 물질 형성 재료
25 전기 저항 측정용 커넥터 장치
26 이형성 지지판 27 금속박층
28 레지스트층 28a 개구
29 금속 마스크
30 상부형 31 강자성체 기판
32 강자성체층 33 비자성체층
35 하부형 36 강자성체 기판
37 강자성체층 38 비자성체층
40 상부측 어댑터 41 일면측 검사용 회로 기판
42 검사 전극 43 단자 전극
44 제1 상부측 이방 도전성 시트
45 제2 상부측 이방 도전성 시트
48 전극판 49 표준 배열 전극
50 하부측 어댑터 51 다른 면측 검사용 회로 기판
52 검사 전극 53 단자 전극
52a 전류 공급용 검사 전극
52b 전압 측정용 검사 전극
53a 전류 공급용 단자 전극
53b 전압 측정용 단자 전극
55 이방 도전성 엘라스토머층
56 도전로 형성부 57 절연부
59 시험 장치 60 전극판
61 표준 배열 전극
62 하부측 이방 도전성 시트
64 제1 하부측 이방 도전성 시트
65 제2 하부측 이방 도전성 시트
90 피검사 회로 기판
91, 92 피검사 전극
93 전원 장치
94 상기 신호 처리 장치
PA, PD 전류 공급용 프로브
PB, PC 전압 측정용 프로브
A 전류 공급용 전극
V 전압 측정용 전극
T 피검사 전극
P 도전성 입자
K 구멍부
C1, C2, C3, C4 전압 측정용 회로
본 발명은 이상과 같은 사정을 기초로 하여 이루어진 것이며, 그 제1 목적은, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판이 대면적으로 크기가 작은 다수의 피검사 전극을 갖는 것이라도, 당해 피검사 회로 기판에 대한 소요의 전기적 접속을 확실하게 달성할 수 있고, 게다가 소기의 전기 저항의 측정을 높은 정밀도로 확실하게 할 수 있는 전기 저항 측정용 커넥터를 제공하는 데 있다.
본 발명의 제2 목적은, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판이 대면적으로 크기가 작은 다수의 피검사 전극을 갖는 것이라도, 당해 피검사 회로 기판에 대한 소요의 전기적 접속을 확실하게 달성할 수 있고, 게다가 소기의 전기 저항의 측정을 높은 정밀도로 확실하게 할 수 있고, 또한 온도 변화에 의한 열 이력 등의 환경 변화에 대해서도 양호한 전기적 접속이 안정적으로 유지되는 전기 저항 측정용 커넥터 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 제3 목적은, 상기한 전기 저항 측정용 커넥터 장치를 유리하게 제조할 수 있는 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 제4 목적은, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판이 대면적으로 크기가 작은 다수의 피검사 전극을 갖는 것이라도, 당해 피검사 회로 기판에 대한 소요의 전기적 접속을 확실하게 달성할 수 있고, 게다가 소기의 전기 저항의 측정을 높은 정밀도로 확실하게 할 수 있는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 제5 목적은, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판이 대면적으로 크기가 작은 다수의 피검사 전극을 갖는 것이라도, 당해 피검사 회로 기판에 대한 소요의 전기적 접속을 확실하게 달성할 수 있고, 게다가 소기의 전기 저항의 측정을 높은 정밀도로 확실하게 할 수 있는 회로 기판의 전기 저항 측정 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터는 절연성 기판과, 이 절연성 기판의 표면에 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판에서의 복수의 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 복수의 접속용 전극 세트를 구비하여 이루어지며,
상기 접속용 전극 세트의 각각은 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극 중 어떠한 전극의 3개 이상이 서로 떨어져 배치되어 이루어지며, 이들의 전극 중 적어도 하나는 전류 공급용 전극이며, 적어도 하나가 전압 측정용 전극인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터는 절연성 기판과, 이 절연성 기판의 표면에 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판에서의 복수의 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 복수의 접속용 전극 세트를 구비하여 이루어지며,
상기 접속용 전극 세트는 직사각형에서의 서로 대각(對角)하는 정점 위치에 위치하는 2개의 전류 공급용 전극 및 당해 직사각형에서의 서로 대각하는 다른 정점 위치에 위치하는 2개의 전압 측정용 전극이 서로 떨어져 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터는 절연성 기판과, 이 절연성 기판의 표면에 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판에서의 복수의 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 복수의 접속용 전극 세트를 구비하여 이루어지며,
상기 접속용 전극 세트의 각각은 전압 측정용 전극, 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 3개의 전극이 이 순서로 늘어서도록 서로 떨어져 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터는 절연성 기판과, 이 절연성 기판의 표면에 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판에서의 복수의 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 복수의 접속용 전극 세트를 구비하여 이루어지며,
상기 접속용 전극 세트의 각각은 전류 공급용 전극, 전압 측정용 전극 및 전류 공급용 전극의 3개의 전극이 이 순서로 늘어서도록 서로 떨어져 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기한 3개의 전극이 배치되어 이루어지는 접속용 전극 세트를 갖는 전기 저항 측정용 커넥터에 있어서는, 접속용 전극 세트에서의 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 각각은 이들의 전극이 늘어서는 방향에 대하여 수직인 방향으로 긴 형상을 갖는 것이 바람직하다.
본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터에 있어서는, 절연성 기판의 이면에 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극 중 어느 한쪽에 전기적으로 접속된 복수의 중계 전극이 배치되어 있는 것이 바람직하다.
이러한 전기 저항 측정용 커넥터에 있어서는, 복수의 전류 공급용 전극에 전기적으로 접속된 중계 전극을 갖는 것이 바람직하다.
본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터 장치는, 상기한 구성의 전기 저항 측정용 커넥터와, 이 전기 저항 측정용 커넥터의 표면에 일체적으로 적층된 이방 도전성 엘라스토머층을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터 장치에 있어서는, 이방 도전성 엘라스토머층은 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극 각각의 표면 위에 배치된, 각각 두께 방향으로 신장하는 복수의 도전로 형성부와, 이들의 도전로 형성부를 서로 절연하는 절연부로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 도전로 형성부는 자성을 띠는 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유되어 이루어지는 것이 바람직하다.
본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터 장치의 제조 방법은 상기한 구성의 전기 저항 측정용 커넥터 장치를 제조하는 방법이며,
상기한 전기 저항 측정용 커넥터의 표면에, 경화되어 탄성 고분자 물질로 이루어지는 액상 고분자 물질 형성 재료 중에 자성을 띠는 도전성 입자가 함유되어 이루어지는 엘라스토머용 재료층을 형성하고, 이 엘라스토머용 재료층에 대하여 전기 저항 측정용 커넥터의 접속용 전극 세트가 형성된 영역의 표면 위에 위치하는 부분에 있어서 그 이외의 부분보다 큰 강도의 자장을 두께 방향으로 작용시키는 동시에, 당해 엘라스토머용 재료층을 경화 처리함으로써, 당해 전기 저항 측정용 커넥터의 표면에 그 접속용 전극 세트가 형성된 영역의 표면 위에 위치하는 부분에 자성을 띠는 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유된 엘라스토머층을 형성하고,
이 엘라스토머층에서의 도전성 입자가 함유된 부분에 있어서, 접속용 전극 세트에서의 각 전극 사이의 영역의 표면 위에 위치하는 부분을 제거하여 구멍부를 형성하고, 그 후 이 구멍부에 경화되어 탄성 고분자 물질로 이루어지는 액상 고분자 물질 형성 재료를 충전하고, 당해 고분자 물질 형성 재료를 경화 처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치는, 적어도 일면에 전극을 갖는 회로 기판의 전기 저항을 측정하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치이며, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 일면측에 배치되는, 상기한 구성의 전기 저항 측정용 커넥터를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치는, 적어도 일면에 전극을 갖는 회로 기판의 전기 저항을 측정하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치이며,
전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 일면측에 배치되는, 상기한 이면에 중계 전극을 갖는 전기 저항 측정용 커넥터와,
이 전기 저항 측정용 커넥터의 이면에 이방 도전성 시트를 거쳐서 배치된, 표면에 상기 전기 저항 측정용 커넥터에서의 중계 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 검사 전극을 갖는 일면측 검사용 회로 기판을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기한 회로 기판의 전기 저항 측정 장치에 있어서, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판이 양면에 전극을 갖는 것인 경우에는, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 다른 면측에 배치되는, 다른 면측 검사용 회로 기판을 구비하여 이루어지며,
상기 다른 면측 검사용 회로 기판은, 그 표면에 각각 상기 피검사 회로 기판의 다른 면측 피검사 전극의 각각에 대응하여 서로 떨어져 배치된, 각각 동일한 다른 면측 피검사 전극에 전기적으로 접속되는 전류 공급용 검사 전극 및 전압 측정용 검사 전극이 형성되어 있는 것이라도 좋다.
또한, 본 발명의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치는 양면에 전극을 갖는 회로 기판의 전기 저항을 측정하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치이며,
전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 일면측에 배치되는, 상기한 구성의 전기 저항 측정용 커넥터와,
당해 피검사 회로 기판의 다른 면측에 배치되는, 상기한 구성의 전기 저항 측정용 커넥터를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치는 양면에 전극을 갖는 회로 기판의 전기 저항을 측정하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치이며,
전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 일면측에 배치되는, 상기한 구성의 전기 저항 측정용 커넥터와,
이 전기 저항 측정용 커넥터의 이면에 이방 도전성 시트를 거쳐서 배치된, 표면에 당해 전기 저항 측정용 커넥터에서의 중계 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 검사 전극을 갖는 일면측 검사용 회로 기판과,
상기 피검사 회로 기판의 다른 면측에 배치되는, 상기한 구성의 전기 저항 측정용 커넥터와,
이 전기 저항 측정용 커넥터의 이면에 이방 도전성 시트를 거쳐서 배치된, 표면에 당해 전기 저항 측정용 커넥터에서의 중계 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 검사 전극을 갖는 다른 면측 검사용 회로 기판을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 회로 기판의 전기 저항 측정 방법은 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 일면에 상기한 전기 저항 측정용 커넥터를 배치하고,
당해 피검사 회로 기판의 일면측 피검사 전극 각각에 상기 전기 저항 측정용 커넥터의 접속용 전극 세트에서의 적어도 하나의 전류 공급용 전극 및 적어도 하나의 전압 측정용 전극을 동시에 전기적으로 접속하여 측정 상태로 하고,
이 측정 상태에 있어서, 상기 전기 저항 측정용 커넥터에서의 전류 공급용 전극을 거쳐서 피검사 회로 기판에 전류를 공급하는 동시에, 상기 이면측 피검사 전극에 전기적으로 접속된 전압 측정용 전극 중 하나의 전압 측정용 전극을 지정하고, 당해 지정된 하나의 전압 측정용 전극에 전기적으로 접속된 일면측 피검사 전극에 걸리는 전기 저항의 측정을 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터에 따르면, 피검사 회로 기판에서의 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 접속용 전극 세트는 전류 공급용 전극 및/또는 전압 측정용 전극을 2개 이상 가지므로, 이들의 전극을 적절한 위치 관계로 배치함으로써, 피검사 전극의 위치 어긋남에 대한 허용도가 높아진다.
예컨대, 접속용 전극 세트에서의 2개의 전류 공급용 전극이 직사각형에서의 서로 대각하는 정점 위치에 위치되고, 또한 2개의 전압 측정용 전극이 당해 직사각형에서의 서로 대각하는 다른 정점 위치에 위치됨으로써, 당해 직사각형에서의 피검사 전극이 주변 방향으로 위치가 어긋난 경우라도, 당해 피검사 전극은 적어도 하나의 전류 공급용 전극 및 적어도 하나의 전압 측정용 전극의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
또한, 접속용 전극 세트에서의 전압 측정용 전극, 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 3개의 전극이 이 순서로 늘어서도록 배치됨으로써, 혹은 전류 공급용 전극, 전압 측정용 전극 및 전류 공급용 전극의 3개의 전극이 이 순서로 늘어서도록 배치됨으로써, 피검사 전극이 접속용 전극 세트에서의 각 전극이 늘어서는 방향으로 위치가 어긋난 경우라도, 당해 피검사 전극은 적어도 하나의 전류 공급용 전극 및 적어도 하나의 전압 측정용 전극의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다. 또한, 이러한 구성에 있어서 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극 각각이, 이들의 전극이 늘어서는 방향에 대하여 수직인 방향으로 긴 형상이 됨으로써, 피검사 전극이 접속용 전극 세트에서의 각 전극이 늘어서는 방향과 수직인 방향으로 위치가 어긋난 경우라도, 당해 피검사 전극은 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
따라서 본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터에 따르면, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판이 대면적으로 크기가 작은 다수의 피검사 전극을 갖는 것이라도, 당해 피검사 회로 기판에 대한 소요의 전기적 접속을 확실하게 달성할 수 있고, 게다가 소기의 전기 저항의 측정을 높은 정밀도로 확실하게 행할 수 있다.
본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터 장치에 따르면, 상기한 전기 저항 측정용 커넥터를 가지므로, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판이 대면적으로 크기가 작은 다수의 피검사 전극을 갖는 것이라도, 당해 피검사 회로 기판에 대한 소요의 전기적 접속을 확실하게 달성할 수 있고, 게다가 소기의 전기 저항의 측정을 높은 정밀도로 확실하게 할 수 있고, 또한 온도 변화에 의한 열 이력 등의 환경 변화에 대해서도 양호한 전기적 접속을 안정적으로 유지할 수 있다.
본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터 장치의 제조 방법에 따르면, 상기한 전기 저항 측정용 커넥터 장치를 유리하게 제조할 수 있다.
본 발명의 회로 장치의 전기 저항 측정 장치에 따르면, 상기한 전기 저항 측정용 커넥터를 가지므로, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판이 대면적으로 크기가 작은 다수의 피검사 전극을 갖는 것이라도, 당해 피검사 회로 기판에 대한 소요의 전기적 접속을 확실하게 달성할 수 있고, 게다가 소기의 전기 저항의 측정을 높은 정밀도로 확실하게 행할 수 있다.
본 발명의 회로 장치의 전기 저항 측정 방법에 따르면, 상기한 전기 저항 측정용 커넥터를 이용하기 때문에, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판이 대면적으로 크기가 작은 다수의 피검사 전극을 갖는 것이라도, 당해 피검사 회로 기판에 대한 소요의 전기적 접속을 확실하게 달성할 수 있고, 게다가 소기의 전기 저항의 측정을 높은 정밀도로 확실하게 행할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 상세하게 설명한다.
<전기 저항 측정용 커넥터>
도1은 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터의 제1 예를 나타내는 평면도, 도2는 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
이 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)는 절연성 기판(11)을 갖고, 이 절연성 기판(11)의 표면에는 복수의 접속용 전극 세트(12)가 전기 저항을 측정해야 할 회로 기판의 일면에 형성된 이면측 피검사 전극(2)(일점 쇄선으로 나타냄)의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치되어 있다. 이 접속용 전극 세트(12)의 각각은 도1에 도시한 바와 같이 2개의 직사각형의 전류 공급용 전극(13) 및 2개의 직사각형의 전압 측정용 전극(14)의 합계 4개의 전극으로 이루어지며, 이들 4개의 전극은 전류 공급용 전극(13)의 각각이 직사각형에서의 서로 대각하는 정점 위치에 위치되고, 또한 전압 측정용 전극(14)의 각각이 당해 직사각형에서의 서로 대각하는 다른 정점 위치에 위치되도록 서로 떨어져 배치되어 있다.
또한, 절연성 기판(11)의 이면에는, 도2에 도시한 바와 같이 복수의 중계 전극(15)이 적절한 패턴을 따라서 배치되고, 이들의 중계 전극(15) 각각에는 절연성 기판(11)에 형성된 배선부(16)에 의해 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14) 중 어느 한쪽이 전기적으로 접속되어 있다.
절연성 기판(11)을 구성하는 재료로서는 폴리이미드 수지, 유리섬유 보강형 폴리이미드 수지, 유리섬유 보강형 에폭시 수지, 유리섬유 보강형 비스말레이미드트리아진 수지 등을 사용할 수 있다. 또한, 절연성 기판(11)은 단층 구성의 것이나 다층 구성의 것이라도 좋다.
절연성 기판(11)의 두께는, 예컨대 50 내지 1000 ㎛인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 100 내지 500 ㎛이다.
전류 공급용 전극(13), 전압 측정용 전극(14), 중계 전극(15) 및 배선부(16)를 구성하는 재료로서는 구리, 니켈, 금 또는 이들 금속의 적층체 등을 사용할 수 있다.
또한, 전류 공급용 전극(13), 전압 측정용 전극(14), 중계 전극(15) 및 배선부(16)는 프린트 배선판을 제조하기 위해 일반적으로 이용되는 방법에 의해 형성할 수 있다.
접속용 전극 세트(12)에서의 전류 공급용 전극(13)과 전압 측정용 전극(14) 사이의 떨어진 거리는 20 내지 100 ㎛인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 30 내지 80 ㎛이다. 이 떨어진 거리가 과소인 경우에는, 전류 공급용 전극(13)과 전압 측정용 전극(14) 사이에 필요한 절연성을 확보하는 것이 곤란해지는 경우가 있고, 또한 당해 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 제조가 곤란해지는 경우가 있다. 한편, 이 떨어진 거리가 과대인 경우에는, 피검사 전극에 대한 위치 어긋남의 허용도가 작아져, 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽을 피검사 전극에 확실하게 전기적으로 접속하는 것이 곤란해지는 경우가 있다.
상기한 전기 저항 측정용 커넥터(10)에 있어서는, 도3에 도시한 바와 같이 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판(1)의 일면에, 예컨대 이방 도전성 시트(5)를 거쳐서 당해 전기 저항 측정용 커넥터(10)에서의 각 접속용 전극 세트(12)가 당해 피검사 회로 기판(1)의 각 일면측 피검사 전극(2) 위에 위치하도록 배치되어, 적절한 수단에 의해 가압됨으로써, 피검사 회로 기판(10)의 일면측 피검사 전극(2)이 이방 도전성 시트(5)를 거쳐서 전기 저항 측정용 커넥터(10)에서의 접속용 전극 세트(12)에서의 전극에 전기적으로 접속된다.
이러한 상태에 있어서, 전류 공급용 전극(13)을 거쳐서 피검사 회로 기판(1)의 피검사 전극 사이에 정(定)전류를 공급하는 동시에, 피검사 회로 기판(10)에서의 일면측 피검사 전극(2)에 전기적으로 접속된 전압 측정용 전극(14) 중 하나의 전압 측정용 전극(14)을 지정하고, 이 지정된 전압 측정용 전극(14)에 전기적으로 접속된 일면측 피검사 전극(2)에 걸리는 전기 저항의 측정이 행해진다. 그리고 지정하는 전압 측정용 전극(14)을 차례로 변경함으로써, 모든 일면측 피검사 전극(2)에 걸리는 전기 저항의 측정이 행해진다.
제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)에 따르면, 각 접속용 전극 세트(12)에는 2개의 전류 공급용 전극(13)이 직사각형에서의 서로 대각하는 정점 위치에 위치되고, 또한 2개의 전압 측정용 전극(14)이 당해 직사각형에서의 서로 대각하는 다른 정점 위치에 위치되어 있으므로, 당해 직사각형에서의 주변 방향(도1에 있어서 좌우 방향 및 상하 방향)으로 일면측 피검사 전극(2)이 위치가 어긋난 경우라도, 당해 일면측 피검사 전극(2)은 적어도 하나의 전류 공급용 전극(13) 및 적어도 하나의 전압 측정용 전극(14)의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
구체적인 예를 들어 설명하면, 도4의 (a)에 도시한 바와 같이 일면측 피검사 전극(2)의 중심 위치가 접속용 전극 세트(12)의 중심 위치로부터 당해 도면에 있어서 오른쪽으로 위치가 어긋난 경우에는, 각각 도면에 있어서 오른쪽에 위치된 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
또한, 도4의 (b)에 도시한 바와 같이 일면측 피검사 전극(2)의 중심 위치가 접속용 전극 세트(12)의 중심 위치로부터 당해 도면에 있어서 좌측으로 위치가 어긋난 경우에는, 각각 도면에 있어서 좌측에 위치된 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
또한, 도4의 (c)에 도시한 바와 같이 일면측 피검사 전극(2)의 중심 위치가 접속용 전극 세트(12)의 중심 위치로부터 당해 도면에 있어서 위쪽으로 위치가 어긋난 경우에는, 각각 도면에 있어서 위쪽에 위치된 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
또한, 도4의 (d)에 도시한 바와 같이 일면측 피검사 전극(2)의 중심 위치가 접속용 전극 세트(12)의 중앙 위치로부터 당해 도면에 있어서 아래쪽으로 위치가 어긋난 경우에는, 각각 도면에 있어서 아래쪽에 위치된 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
따라서 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)에 따르면, 피검사 회로 기판(1)과의 전기적 접속 작업에 있어서, 일면측 피검사 전극(2)에 대한 위치 어긋남의 허용도가 크기 때문에, 피검사 회로 기판(1)이 대면적으로 크기가 작은 다수의 일면측 피검사 전극(2)을 갖는 것이라도, 당해 일면측 피검사 전극(2)에 대한 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽의 전기 접속을 확실하게 달성할 수 있다. 게다가, 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)은 서로 전기적으로 절연되어 있으므로, 피검사 회로 기판(1)에 대한 전기 저항을 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
본 발명에 있어서, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판(1)으로서는, 도5의 (a)에 도시한 바와 같이 일면에 형성된 일면측 피검사 전극(2)만을 갖고 당해 일면측 피검사 전극(2) 사이에 형성된 회로(4a)만을 갖는 것과, 도5의 (b)에 도시한 바와 같이 일면에 형성된 일면측 피검사 전극(2) 및 다른 면에 형성된 다른 면측 피검사 전극(3)을 갖고 일면측 피검사 전극(2)과 다른 면측 피검사 전극(3) 사이에 형성된 회로(4b)만을 갖는 것과, 도5의 (c)에 도시한 바와 같이 일면에 형성된 일면측 피검사 전극(2) 및 다른 면에 형성된 다른 면측 피검사 전극(3)을 갖고 일면측 피검사 전극(2) 사이에 형성된 회로(4a) 및 일면측 피검사 전극(2)과 다른 면측 피검사 전극(3) 사이에 형성된 회로(4b)의 양쪽을 갖는 것 중 어느 하나라도 좋다.
도6은 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터의 제2 예를 나타내는 평면도, 도7은 제2 예의 전기 저항 측정용 커넥터의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
본 제2 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)에 있어서는, 절연성 기판(11)의 표면에는 복수의 접속용 전극 세트(12)가 전기 저항을 측정해야 할 회로 기판의 일면에 형성된 일면측 피검사 전극(2)(일점 쇄선으로 나타냄)의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치되어 있다. 이 접속용 전극 세트(12) 각각은, 도6에 도시한 바와 같이 하나의 직사각형의 전류 공급용 전극(13) 및 2개의 직사각형의 전압 측정용 전극(14)의 합계 3개의 전극으로 이루어지며, 이들 3개의 전극은 전압 측정용 전극(14), 전류 공급용 전극(13), 전압 측정용 전극(14)의 순으로 늘어서도록 서로 떨어져 배치되어 있다.
또한, 절연성 기판(11)의 이면에는, 도7에 도시한 바와 같이 복수의 중계 전극(15)이 적절한 패턴을 따라서 배치되고, 이들 중계 전극(15)의 각각에는 절연성 기판(11)에 형성된 배선부(16)에 의해 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14) 중 어느 한쪽이 전기적으로 접속되어 있다.
이상에 있어서, 절연성 기판(11)의 재질 및 접속용 전극 세트(12)에서의 각 전극의 재질은, 전술한 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터와 마찬가지이다.
제2 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)에 따르면, 접속용 전극 세트(12)에는 전압 측정용 전극(14), 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 3개의 전극이 이 순서로 늘어서도록 배치되어 있으므로, 일면측 피검사 전극(2)이 당해 접속용 전극 세트(12)에서의 각 전극이 늘어서는 방향(도6에 있어서 좌우 방향)으로 위치가 어긋난 경우라도, 당해 이면측 피검사 전극(2)은 전류 공급용 전극(13) 및 적어도 하나의 전압 측정용 전극(14)의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
구체적으로 설명하면, 도8의 (a)에 도시한 바와 같이 일면측 피검사 전극(2)의 중심 위치가 접속용 전극 세트(12)의 중심 위치로부터 당해 도면에 있어서 오른쪽으로 위치가 어긋난 경우에는, 중앙에 위치된 전류 공급용 전극(13) 및 도면에 있어서 오른쪽에 위치된 전압 측정용 전극(14)의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
또한, 도8의 (b)에 도시한 바와 같이 일면측 피검사 전극(2)의 중심 위치가 접속용 전극 세트(12)의 중심 위치로부터 당해 도면에 있어서 좌측으로 위치가 어긋난 경우에는, 중앙에 위치된 전류 공급용 전극(13) 및 도면에 있어서 좌측에 위치된 전압 측정용 전극(14)의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
또한, 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14) 각각은 그들이 늘어서는 방향에 대하여 수직인 방향으로 긴 직사각형의 형상을 가지므로, 일면측 피검사 전극(2)의 중심 위치가 접속용 전극 세트(12)의 중심 위치로부터 당해 접속용 전극 세트(12)에서의 각 전극이 늘어서는 방향과 수직인 방향(도6에 있어서 상하 방향)으로 위치가 어긋난 경우라도, 당해 일면측 피검사 전극(2)은 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
따라서 제2 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)에 따르면, 피검사 회로 기판(1)과의 전기적 접속 작업에 있어서, 일면측 피검사 전극(2)에 대한 위치 어긋남의 허용도가 크기 때문에, 피검사 회로 기판(1)이 대면적으로 크기가 작은 다수의 일면측 피검사 전극(2)을 갖는 것이라도, 당해 일면측 피검사 전극(2)에 대한 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽의 전기 접속을 확실하게 달성할 수 있다. 게다가 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)은 서로 전기적으로 절연되어 있으므로, 피검사 회로 기판(1)에 대한 전기 저항을 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
도9는 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터의 제3 예를 나타내는 평면도, 도10은 제3 예의 전기 저항 측정용 커넥터의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
본 제3 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)에 있어서는, 절연성 기판(11)의 표면에는 복수의 접속용 전극 세트(12)가 전기 저항을 측정해야 할 회로 기판의 일면에 형성된 일면측 피검사 전극(2)(일점 쇄선으로 나타냄)의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치되어 있다. 이 접속용 전극 세트(12)의 각각은, 도9에 도시한 바와 같이 2개의 직사각형의 전류 공급용 전극(13) 및 하나의 직사각형의 전압 측정용 전극(14)의 합계 3개의 전극으로 이루어지며, 이들 3개의 전극은 전류 공급용 전극(13), 전압 측정용 전극(14), 전류 공급용 전극(13)의 순으로 늘어서도록 서로 떨어져 배치되어 있다.
또한, 절연성 기판(11)의 이면에는, 도10에 도시한 바와 같이 복수의 중계 전극(15)이 적절한 패턴을 따라서 배치되고, 이들 중계 전극(15)의 각각에는 절연성 기판(11)에 형성된 배선부(16)에 의해 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14) 중 어느 한쪽이 전기적으로 접속되어 있다.
이상에 있어서, 절연성 기판(11)의 재질 및 접속용 전극 세트(12)에서의 각 전극의 재질은 전술한 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터와 마찬가지이다.
제3 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)에 따르면, 접속용 전극 세트(12)에는 전류 공급용 전극(13), 전압 측정용 전극(14) 및 전류 공급용 전극(13)의 3개의 전극이 이 순서로 늘어서도록 배치되어 있으므로, 일면측 피검사 전극(2)이 접속용 전극 세트(12)에서의 각 전극이 늘어서는 방향(도9에 있어서 좌우 방향)으로 위치가 어긋난 경우라도, 당해 일면측 피검사 전극(2)은 적어도 하나의 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
또한, 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 각각은 그들이 늘어서는 방향에 대하여 수직인 방향으로 긴 직사각형의 형상을 가지므로, 일면측 피검사 전극(2)의 중심 위치가 접속용 전극 세트(12)의 중심 위치로부터 당해 접속용 전극 세트(12)에서의 각 전극이 늘어서는 방향과 수직인 방향(도9에 있어서 상하 방향)으로 위치가 어긋난 경우라도, 당해 일면측 피검사 전극(2)은 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽에 동시에 전기적으로 접속되게 된다.
따라서 제3 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)에 따르면, 피검사 회로 기판(1)과의 전기적 접속 작업에 있어서, 일면측 피검사 전극(2)에 대한 위치 어긋남의 허용도가 크기 때문에, 피검사 회로 기판(1)이 대면적으로 크기가 작은 다수의 일면측 피검사 전극(2)을 갖는 것이라도, 당해 일면측 피검사 전극(2)에 대한 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽의 전기 접속을 확실하게 달성할 수 있다. 게다가 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)은 서로 전기적으로 절연되어 있으므로, 피검사 회로 기판(1)에 대한 전기 저항을 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
도11은 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터의 제4 예에서의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다.
본 제4 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)에 있어서는, 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터와 마찬가지 구성의 접속용 전극 세트(12)가 절연성 기판(11)의 표면에 형성되어 있다(도1 참조). 절연성 기판(11)의 이면에는 복수의 중계 전극(15)이 적절한 패턴을 따라서 배치되고, 이들 중계 전극(15)의 각각에는 절연성 기판(11)에 형성된 배선부(16)에 의해 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14) 중 어느 한쪽이 전기적으로 접속되어 있고, 이들의 중계 전극(15) 중 일부의 중계 전극(15)에는 복수의 전류 공급용 전극(13)이 전기적으로 접속되어 있다.
이상에 있어서, 절연성 기판(11)의 재질 및 접속용 전극 세트(12)에서의 각 전극의 재질은 전술한 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터와 마찬가지이다.
제4 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)에 따르면, 피검사 회로 기판과의 전기적 접속 작업에 있어서, 피검사 전극에 대한 위치 어긋남의 허용도가 크기 때문에 피검사 회로 기판이 대면적으로 크기가 작은 다수의 피검사 전극을 갖는 것이라도, 당해 피검사 전극에 대한 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽의 전기 접속을 확실하게 달성할 수 있다. 게다가 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)은 서로 전기적으로 절연되어 있으므로, 피검사 회로 기판에 대한 전기 저항을 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
또한, 복수의 전류 공급용 전극(13)에 전기적으로 접속된 중계 전극(15)을 가지므로, 당해 전기 저항 측정용 커넥터(10)가 전기적으로 접속되는 검사용 회로 기판에서의 검사 전극의 수를 적게 할 수 있어, 이에 의해 검사용 회로 기판의 제조가 쉬워지고, 또한 검사용 회로 기판의 제조 비용의 저감화를 도모할 수 있다.
본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터는 상기한 예에 한정되지 않고, 여러 가지의 변경을 더하는 것이 가능하다.
예컨대, 접속용 전극 세트는 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 각각을 적어도 하나 이상 갖는 것이면, 전체 전극의 수는 5개 이상이라도 좋다.
또한, 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 형상은 직사각형에 한정되지 않으며, 원형이나 그 밖의 형상이라도 좋다.
또한, 접속용 전극 세트에서의 전극의 배치 패턴은 당해 전극의 수 및 형상 및 피검사 전극의 형상 등에 따라서 적절하게 설정할 수 있다.
또한, 하나의 중계 전극에 복수의 전압 측정용 전극이 전기적으로 접속되어 있어도 좋다.
<전기 저항 측정용 커넥터 장치>
도12는 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터 장치의 제1 예에서의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다. 이 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)는 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)와, 이 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 표면(도면에 있어서 하면) 위에 일체적으로 형성된 이방 도전성 엘라스토머층(20)에 의해 구성되어 있다.
이방 도전성 엘라스토머층(20)은, 도13에도 도시한 바와 같이 각 접속용 전극 세트(12)에서의 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 두께 방향으로 신장하는 복수의 도전로 형성부(21)와, 이들 도전로 형성부(21) 사이에 개재되어 이들을 서로 절연하는 절연부(22)에 의해 구성되어 있다. 또한, 도시한 예에서는 이방 도전성 엘라스토머층(20)의 표면에는, 하나의 접속용 전극 세트(12)의 각 전극에 대응하는 4개의 도전로 형성부(21)의 표면 및 그들 사이에 개재된 절연부(22)의 표면이 그 밖의 절연부(22)의 표면으로부터 돌출하도록 돌출부(23)가 형성되어 있다.
도전로 형성부(21)는 당해 이방 도전성 엘라스토머층(20)의 기재를 구성하는 탄성 고분자 물질 중에 자성을 띠는 도전성 입자(P)가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 밀하게 함유되어 구성되어 있고, 이 도전성 입자(P)의 연쇄에 의해 도전로가 형성된다. 이에 대하여, 절연부(22)는 도전성 입자(P)가 전혀 혹은 거의 함유되어 있지 않은 것이다.
도전로 형성부(21)를 구성하는 도전성 입자(P)로서는, 예컨대 니켈, 철, 코발트 등의 자성을 띠는 금속 입자 혹은 이들의 합금 입자 또는 이들의 금속을 함유하는 입자, 또는 이들의 입자를 코어 입자로 하여, 당해 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 한 것, 혹은 비자성 금속 입자 혹은 글래스비즈 등의 무기질 입자 또는 중합체 입자를 코어 입자로 하여, 당해 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성체의 도금을 한 것 등을 들 수 있다.
이들 중에서는, 니켈 입자를 코어 입자로 하여, 그 표면에 금이나 은 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 한 것을 사용하는 것이 바람직하다.
또한, 도전성 입자(P)의 입경은 얻을 수 있는 도전로 형성부(21)의 가압 변형을 쉽게 하여, 당해 도전로 형성부(21)에서의 도전성 입자(P) 사이에 충분한 전기적인 접촉을 얻을 수 있도록 3 내지 200 ㎛인 것이 바람직하며, 특히 10 내지 100 ㎛인 것이 바람직하다.
또한, 도전성 입자(P)의 함수율은 5 % 이하인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 3 % 이하, 더욱 바람직하게는 2 % 이하, 특히 바람직하게는 1 % 이하이다. 이러한 조건을 만족시킴으로써, 제1 상부측 이방 도전성 시트(20)를 형성할 때에, 당해 제1 이방 도전성 시트(20)에 기포가 생기는 것이 방지 또는 억제된다.
도전로 형성부(21)에서의 도전성 입자(P)의 비율은, 체적분률이 5 내지 60 %인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 7 내지 50 %, 특히 바람직하게는 10 내지 40 %이다. 이 비율이 5 % 미만인 경우에는, 충분히 전기 저항치가 작은 도전로를 형성하는 것이 곤란해지는 경우가 있다. 한편, 이 비율이 60 %를 넘는 경우에는 얻을 수 있는 도전로 형성부(21)는 취약한 것이 되어, 도전로 형성부로서의 필요한 탄성을 얻을 수 없는 경우가 있다.
이방 도전성 엘라스토머층(20)의 기재를 구성하는 절연성 탄성 고분자 물질로서는, 가교 구조를 갖는 것이 바람직하다. 가교 구조를 갖는 고분자 물질을 얻기 위해 사용할 수 있는 고분자 물질용 재료로서는, 여러 가지의 것을 사용할 수 있고, 그 구체예로서는 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로 니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공역 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔 블록 공중합체 고무 등의 블록 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 실리콘 고무, 불소 고무, 실리콘 변성 불소 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 클로로프렌 고무, 에피크롤히드린 고무 등을 들 수 있다.
이상에 있어서, 성형 가공성 및 전기 절연 특성이 높기 때문에, 실리콘 고무, 실리콘 변성 불소 고무를 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)에 따르면, 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터를 가지므로, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판과의 전기적 접속 작업에 있어서, 피검사 전극에 대한 위치 어긋남의 허용도가 크기 때문에 피검사 회로 기판이 대면적으로 크기가 작은 다수의 일면측 피검사 전극을 갖는 것이라도, 당해 피검사 전극에 대한 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽의 전기 접속을 확실하게 달성할 수 있다. 게다가 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)은 서로 전기적으로 절연되어 있으므로, 피검사 회로 기판(1)에 대한 전기 저항을 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
또한, 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 표면에, 이방 도전성 엘라스토머층(20)이 일체적으로 형성되어 있으므로, 온도 변화에 의한 열 이력 등의 환경 변화에 대해서도 양호한 전기적 접속을 안정적으로 유지할 수 있다.
또한, 이방 도전성 엘라스토머층(20)에는 전기 저항 측정용 커넥터(10)에서의 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)에 대응하여 도전로 형성부(21)가 형성되어 있으므로, 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14) 사이의 절연성이 확보되고, 그 결과 피검사 회로 기판에 대한 전기 저항을 한층 더 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터 장치는, 예컨대 이하와 같이 하여 제조할 수 있다.
도14는 이방 도전성 엘라스토머층(20)을 얻기 위한 금형의 일례에서의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다. 이 금형은 상부형(30) 및 이것과 쌍을 이루는 하부형(35)이 서로 대향하도록 배치되어 구성되어 있다.
상부형(30)에 있어서는, 강자성체 기판(31)의 표면(도면에 있어서 하면)에 전기 저항 측정용 커넥터(10)에서의 접속용 전극 세트(12)가 형성된 영역의 패턴과 반대인 패턴을 따라서 강자성체층(32)이 형성되고, 이 강자성체층(32)이 형성된 영역 이외의 영역에는 비자성체층(33)이 형성되어 있다. 비자성체층(33)은 강자성체층(32)의 두께보다 큰 두께를 갖고, 강자성체층(32)과 비자성체층(33) 사이에 단차가 형성됨으로써, 당해 상부형(30)의 성형면에는 이방 도전성 엘라스토머층(20)에서의 돌출부(23)를 형성하기 위한 오목부가 형성되어 있다.
하부형(35)에 있어서는, 강자성체 기판(36)의 표면(도면에 있어서 표면)에 전기 저항 측정용 커넥터(10)에서의 접속용 전극 세트(12)가 형성된 영역의 패턴과 동일한 패턴을 따라서 강자성체층(37)이 형성되고, 이 강자성체층(37)이 형성된 영역 이외의 영역에는 당해 강자성체층(37)과 실질적으로 동일한 두께를 갖는 비자성체층(38)이 형성되어 있다.
상부형(30) 및 하부형(35)의 각각에서의 강자성체 기판(31, 36)을 구성하는 재료로서는 철, 철-니켈 합금, 철-코발트 합금, 니켈, 코발트 등의 강자성체 금속을 사용할 수 있다. 이 강자성체 기판(31, 36)은 그 두께가 0.1 내지 50 ㎜인 것이 바람직하며, 표면이 평활하고, 화학적으로 탈지 처리되고, 또한 기계적으로 연마 처리된 것이 바람직하다.
또한, 상부형(30) 및 하부형(35) 각각에서의 강자성체층(32, 37)을 구성하는 재료로서는 철, 철-니켈 합금, 철-코발트 합금, 니켈, 코발트 등의 강자성체 금속을 사용할 수 있다. 이 강자성체층(32, 37)은 그 두께가 10 ㎛ 이상인 것이 바람직하다. 이 두께가 10 ㎛ 미만인 경우에는, 후술하는 엘라스토머용 재료층에 대하여 충분한 강도 분포를 갖는 자장을 작용시키는 것이 어려워져, 당해 엘라스토머용 재료층에서의 도전로 형성부가 형성되어야 할 부분에 도전성 입자를 높은 밀도로 집합시키기 어려워져, 높은 도전성을 갖는 도전로 형성부를 얻을 수 없는 경우가 있다.
또한, 상부형(30) 및 하부형(35)의 각각에서의 비자성체층(33, 38)을 구성하는 재료로서는, 구리 등의 비자성체 금속, 내열성을 갖는 고분자 물질 등을 사용할 수 있지만, 포토리소그래피의 수법에 의해 쉽게 비자성체층(33, 38)을 형성할 수 있는 점에서, 방사선에 의해 경화된 고분자 물질을 사용하는 것이 바람직하며, 그 재료로서는 예컨대 아크릴계의 드라이 필름 레지스트, 에폭시계의 액상 레지스트, 폴리이미드계의 액상 레지스트 등의 포토레지시트를 사용할 수 있다.
상기한 금형을 이용하여, 예컨대 이하와 같이 하여 전기 저항 측정용 커넥터 장치가 제조된다.
우선, 도1에 나타내는 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)를 제작하는 동시에, 경화되어 탄성 고분자 물질로 이루어지는 액상 고분자 물질 형성 재료 중에, 자성을 띠는 도전성 입자가 함유되어 이루어지는 엘라스토머용 재료를 조제한다.
계속해서, 도15에 도시한 바와 같이 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 표면에 엘라스토머용 재료를 도포함으로써, 소요의 두께의 엘라스토머용 재료층(20A)을 형성하는 동시에, 이 엘라스토머용 재료층(20A)의 표면(도면에 있어서 상면) 및 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 이면에 상기한 상부형(30) 및 하부형(35)을 배치한다.
그리고 상부형(30)의 상면 및 하부형(35)의 하면에, 예컨대 전자석을 배치하여 이것을 작동시킴으로써, 엘라스토머용 재료층(20A)에 대하여 상부형(30)의 강자성체층(32)과 하부형(35)의 강자성체층(37) 사이에 위치하는 부분, 즉 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 접속용 전극 세트(12)가 형성된 영역(이하, 「접속용 전극 세트 영역」이라고도 함)의 표면 위에 위치하는 부분에 있어서 그 이외의 부분보다 큰 강도의 자장을 두께 방향으로 작용시킨다. 그 결과, 엘라스토머용 재료층(20A) 중에 분산되어 있던 도전성 입자(P)가, 도16에 도시한 바와 같이 접속용 전극 세트 영역의 표면 위에 위치하는 부분에 집합하는 동시에, 두께 방향으로 늘어서도록 배향한다. 그리고 이 상태에서, 엘라스토머용 재료층(20A)의 경화 처리를 행함으로써, 도17에 도시한 바와 같이 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 표면에, 그 접속용 전극 세트 영역의 표면 위에 위치하는 부분에 자성을 띠는 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유된 엘라스토머층(20B)이 형성된다.
이상에 있어서, 엘라스토머용 재료의 점도는, 온도 25 ℃에 있어서 100000 내지 1000000 cp의 범위 내인 것이 바람직하다.
엘라스토머용 재료를 도포하는 방법으로서는, 특별히 한정되는 것이 아니지만, 예컨대 롤 도포법, 블레이드 도포법, 스크린 인쇄 등의 인쇄법을 이용할 수 있다.
엘라스토머용 재료층(20A)에 작용하는 자장의 강도는 평균 20 내지 2000 mT가 되는 크기가 바람직하다.
자장을 작용시키는 수단으로서는, 전자석 대신에 영구자석을 사용할 수 있다. 이러한 영구자석으로서는, 상기한 범위의 자장 강도를 얻을 수 있는 점에서, 알니코(Fe-Al-Ni-Co계 합금), 페라이트 등으로 이루어지는 것이 바람직하다.
엘라스토머용 재료층(20A)의 경화 처리는, 자장을 작용시킨 상태에서 행할 수도 있지만, 자장의 작용을 정지한 후에 행할 수도 있다.
엘라스토머용 재료층(20A)의 경화 처리 조건은, 사용되는 재료에 따라 적절하게 선정되지만, 통상 열처리에 의해 행해진다. 구체적인 가열 온도 및 가열 시간은 엘라스토머용 재료층(20A)의 고분자 물질 형성 재료의 종류, 도전성 입자의 이동에 필요한 시간 등을 고려하여 적절하게 선정된다. 예컨대 고분자 물질 형성 재료가 실온 경화형 실리콘 고무인 경우에는, 당해 엘라스토머용 재료층의 경화 처리는 실온에서 24시간 정도, 40 ℃에서 2시간 정도, 80 ℃에서 30분간 정도로 행해진다.
이와 같이 하여 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 표면에 형성된 엘라스토머층(20B)에 대하여, 도18에 도시한 바와 같이 도전성 입자(P)가 함유된 부분에 있어서, 접속용 전극 세트(12)에서의 각 전극[전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)] 사이의 영역의 표면 위에 위치하는 부분을 제거함으로써, 열십자(十)형의 구멍부(K)를 형성한다. 계속해서, 이 구멍부(K)에 도19에 도시한 바와 같이 경화되어 탄성 고분자 물질로 이루어지는 액상 고분자 물질 형성 재료(23A)를 충전하고, 그 후 당해 고분자 물질 형성 재료(23A)의 경화 처리를 함으로써, 인접하는 도전로 형성부(21) 사이에 절연부(22)가 형성된 이방 도전성 엘라스토머층(20)이 형성되어, 이로써 도12 및 도13에 나타내는 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)가 제조된다.
이상에 있어서, 엘라스토머층(20B)에 구멍부(K)를 형성하는 방법으로서는, 탄산가스 레이저 등에 의한 레이저 가공법을 이용하는 것이 바람직하다.
구멍부(K)에 충전되는 고분자 물질 형성 재료는, 전술한 엘라스토머용 재료에 사용되는 고분자 물질 형성 재료와 동일한 종류의 것이나 다른 종류의 것이라도 좋다.
이러한 방법에 따르면, 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 접속용 전극 세트 영역의 표면 위에 도전성 입자(P)가 함유된 부분을 갖는 엘라스토머층(20B)을 형성하고, 이 엘라스토머층(20B)에 대하여 도전성 입자(P)가 함유된 부분에 있어서 전류 공급용 전극(13) 혹은 전압 측정용 전극(14)의 표면 위에 위치하는 도전로 형성부가 형성되어야 할 부분의 사이에 구멍부(K)를 형성한 다음, 당해 구멍부(K)에 절연부(22)를 형성하므로, 인접하는 도전로 형성부(21) 사이에 소요의 절연성이 확보된 이방 도전성 엘라스토머층(20)을 확실하게 형성할 수 있다.
도20은 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터 장치의 제2 예에서의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다. 이 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)는 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터(10)와, 이 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 표면(도면에 있어서 하면) 위에 일체적으로 형성된 이방 도전성 엘라스토머층(20)에 의해 구성되어 있다.
이방 도전성 엘라스토머층(20)은, 도21에도 도시한 바와 같이 각 접속용 전극 세트(12)에서의 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 두께 방향으로 신장하는 복수의 도전로 형성부(21)와, 이들 도전로 형성부(21) 사이에 개재되어 이들을 서로 절연하는 절연부(22)에 의해 구성되어 있다. 또한, 도시한 예에서는 이방 도전성 엘라스토머층(20)에는 도전로 형성부(21)의 표면이 절연부(22)의 표면으로부터 돌출하도록 돌출부(23)가 형성되어 있다.
도전로 형성부(21)는 당해 이방 도전성 엘라스토머층(20)의 기재를 구성하는 탄성 고분자 물질 중에 자성을 띠는 도전성 입자(P)가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 밀하게 함유되어 구성되어 있고, 이 도전성 입자(P)의 연쇄에 의해 도전로가 형성된다. 이에 대하여, 절연부(22)는 도전성 입자(P)가 전혀 함유되어 있지 않은 것이다.
이방 도전성 엘라스토머층(20)의 기재를 구성하는 탄성 고분자 물질 및 도전로 형성부(21)를 구성하는 도전성 입자로서는, 전술한 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터 장치에서의 이방 도전성 엘라스토머층(20)과 마찬가지의 것을 이용할 수 있다.
이러한 제2 예의 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)에 따르면, 제1 예의 전기 저항 측정용 커넥터를 가지므로, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판과의 전기적 접속 작업에 있어서, 피검사 전극에 대한 위치 어긋남의 허용도가 크기 때문에 피검사 회로 기판이 대면적으로 크기가 작은 다수의 일면측 피검사 전극을 갖는 것이라도, 당해 피검사 전극에 대한 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽의 전기 접속을 확실하게 달성할 수 있다. 게다가 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)은 서로 전기적으로 절연되어 있으므로, 피검사 회로 기판(1)에 대한 전기 저항을 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
또한, 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 표면에, 이방 도전성 엘라스토머층(20)이 일체적으로 형성되어 있으므로, 온도 변화에 의한 열 이력 등의 환경 변화에 대해서도 양호한 전기적 접속을 안정적으로 유지할 수 있다.
또한, 이방 도전성 엘라스토머층(20)에는 전기 저항 측정용 커넥터(10)에서의 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)에 대응하여 도전로 형성부(21)가 형성되어 있으므로, 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14) 사이의 절연성이 확보되고, 그 결과 피검사 회로 기판에 대한 전기 저항을 한층 더 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
제2 예의 전기 저항 측정용 커넥터 장치는, 예컨대 이하와 같이 하여 제조할 수 있다.
우선, 도22에 도시한 바와 같이 적절한 이형성 지지판(26)을 준비하여, 이 이형성 지지판(26)의 표면에 탄성 고분자 물질 중에 도전성 입자(P)가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유되어 이루어지는 도전성 엘라스토머층(21A)을, 당해 이형성 지지판(26)에 박리 가능하게 지지가 된 상태로 형성한다. 이 도전성 엘라스토머층(21A)은 형성해야 할 도전로 형성부의 두께와 동등한 두께를 갖는 것이 된다.
이상에 있어서, 이형성 지지판(26)을 구성하는 재료로서는 금속, 세라믹스, 수지 및 이들의 복합 재료 등을 사용할 수 있다.
또한, 도전성 엘라스토머층(21A)을 형성하는 방법으로서는, (1) 미리 적절한 방법에 의해 제조된 탄성 고분자 물질 중에 도전성 입자(P)가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유되어 이루어지는 도전성 엘라스토머 시트를, 이형성 지지판(26)의 표면에 박리 가능하게 접착하는 방법, (2) 경화되어 탄성 고분자 물질로 이루어지는 액상 고분자 물질 형성 재료 중에 자성을 띠는 도전성 입자가 분산되어 이루어지는 도전성 엘라스토머용 재료를 조제하고, 이 도전성 엘라스토머용 재료를 이형성 지지판(15) 위에 도포함으로써, 도전성 엘라스토머용 재료층을 형성하고, 이 도전성 엘라스토머용 재료층에 대하여 그 두께 방향으로 자장을 작용시킴으로써, 도전성 엘라스토머용 재료층 중의 도전성 입자(P)를 두께 방향으로 늘어서도록 배향시키고, 이 상태에서 도전성 엘라스토머용 재료층의 경화 처리를 행하는 방법 등을 이용할 수 있다.
상기 (1)의 방법에 있어서, 도전성 엘라스토머 시트를 이형성 지지판(26)의 표면에 박리 가능하게 접착하는 수단으로서는, 도전성 엘라스토머 시트 자체가 갖는 점착성을 이용하여 접착하는 방법, 점착제에 의해 접착하는 방법 등을 이용할 수 있다.
상기 (2)의 방법에 있어서, 도전성 엘라스토머용 재료를 도포하는 구체적인 수단으로서는, 스크린 인쇄 등의 인쇄법, 롤 도포법, 블레이드 도포법 등을 이용할 수 있다.
도전성 엘라스토머용 재료층에 자장을 작용시키는 수단으로서는 전자석, 영구자석 등을 이용할 수 있다.
도전성 엘라스토머용 재료층에 작용시키는 자장의 강도는 0.2 내지 2.5 테슬라(tesla)가 되는 크기가 바람직하다.
도전성 엘라스토머용 재료층의 경화 처리는, 보통 가열 처리에 의해 행해진다. 구체적인 가열 온도 및 가열 시간은 도전성 엘라스토머용 재료층을 구성하는 고분자 물질 형성 재료의 종류, 도전성 입자의 이동에 필요한 시간 등을 고려하여 적절하게 설정된다.
이와 같이 하여 이형성 지지판(26) 위에 형성된 도전성 엘라스토머층(21A)의 표면에, 도23에 도시한 바와 같이 도금 전극용의 금속박층(27)을 형성한다. 계속해서, 도24에 도시한 바와 같이 이 금속박층(27) 위에, 포토리소그래피의 수법에 의해 형성해야 할 도전로 형성부의 패턴, 즉 전기 저항 측정용 커넥터에서의 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극에 대응하는 패턴을 따라서 복수의 개구(28a)가 형성된 레지스트층(28)을 형성한다. 그 후, 도25에 도시한 바와 같이 금속박층(27)을 도금 전극으로서 당해 금속박층(27)에서의 레지스트층(28)의 개구(28a)를 거쳐서 노출된 부분에, 전해 도금 처리를 함으로써 당해 레지스트층(28)의 개구(28a) 내에 금속 마스크(29)를 형성한다. 그리고 이 상태에서, 도전성 엘라스토머층(21A), 금속박층(27) 및 레지스트층(28)에 대하여 레이저 가공을 함으로써, 레지스트층(28), 금속박층(27) 및 도전성 엘라스토머층(21A)의 일부가 제거되어, 그 결과 도26에 도시한 바와 같이 전기 저항 측정용 커넥터에서의 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 복수의 도전로 형성부(21)가 이형성 지지판(26) 위에 지지가 된 상태로 형성된다. 그 후, 도전로 형성부(21)의 표면으로부터 잔존하는 금속박층(27) 및 금속 마스크(29)를 박리한다.
이상에 있어서, 도전성 엘라스토머층(21A)의 표면에 금속박층(27)을 형성하는 방법으로서는 무전해 도금법, 스퍼터법 등을 이용할 수 있다.
금속박층(27)을 구성하는 재료로서는 구리, 금, 알루미늄, 로듐 등을 사용할 수 있다.
금속박층(27)의 두께는, 0.05 내지 2 ㎛인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 0.1 내지 1 ㎛이다. 이 두께가 과소인 경우에는, 균일한 박층이 형성되지 않아 도금 전극으로서 부적당한 것이 되는 경우가 있다. 한편, 이 두께가 과대한 경우에는, 레이저 가공에 의해 제거하는 것이 곤란해지는 경우가 있다.
레지스트층(28)의 두께는, 형성해야 할 금속 마스크(29)의 두께에 따라서 설정된다.
금속 마스크(29)를 구성하는 재료로서는 구리, 철, 알루미늄, 금, 로듐 등을 사용할 수 있다.
금속 마스크(29)의 두께는 2 ㎛ 이상인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 5 내지 20 ㎛이다. 이 두께가 과소인 경우에는, 레이저에 대한 마스크로서 부적당한 것이 되는 경우가 있다.
레이저 가공은 탄산가스 레이저에 의한 것이 바람직하며, 이에 의해 목적으로 하는 형태의 도전로 형성부(21)를 확실하게 형성할 수 있다.
한편, 도27에 도시한 바와 같이 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 표면에, 경화되어 절연성 탄성 고분자 물질로 이루어지는 액상 고분자 물질 형성 재료를 도포함으로써, 절연부용 재료층(22A)을 형성한다. 계속해서, 도28에 도시한 바와 같이 복수의 도전로 형성부(21)가 형성된 이형성 지지판(26)을 절연부용 재료층(22A)이 형성된 이형성 지지판(26) 위에 포갬으로써, 당해 전기 저항 측정용 커넥터(10)에서의 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 각각과 이에 대응하는 도전로 형성부(21)를 대향 접촉시킨다. 이에 의해 인접하는 도전로 형성부(21) 사이에 절연부용 재료층(22A)이 형성된 상태가 된다. 그 후, 이 상태에서 절연부용 재료층(22A)의 경화 처리를 행함으로써, 도29에 도시한 바와 같이 인접하는 도전로 형성부(21) 사이에 이들을 서로 절연하는 절연부(12)가 도전로 형성부(11) 및 전기 저항 측정용 커넥터(10)에 일체적으로 형성된다.
그리고 이형성 지지판(26)으로부터 이형시킴으로써, 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 표면에 이방 도전성 엘라스토머층(20)이 일체적으로 형성되어 이루어지는, 도20에 나타내는 구성의 어댑터 장치를 얻을 수 있다.
이상에 있어서, 고분자 물질 형성 재료를 도포하는 수단으로서는 스크린 인쇄 등의 인쇄법, 롤 도포법, 블레이드 도포법 등을 이용할 수 있다.
절연부용 재료층(22A)의 두께는, 형성해야 할 절연부(22)의 두께에 따라서 설정된다.
절연부용 재료층(22A)의 경화 처리는, 보통 가열 처리에 의해 행해진다. 구체적인 가열 온도 및 가열 시간은 절연부용 재료층(22A)을 구성하는 엘라스토머 재료의 종류 등을 고려하여 적절하게 설정된다.
이러한 제조 방법에 따르면, 도전성 입자(P)가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 분산되어 이루어지는 도전성 엘라스토머층(21A)을 레이저 가공하여 그 일부를 제거함으로써, 목적으로 하는 형태의 도전로 형성부(21)를 형성하므로, 소요량의 도전성 입자(P)가 충전된 소기의 도전성을 갖는 도전로 형성부(21)가 형성된 이방 도전성 엘라스토머(20)를 확실하게 얻을 수 있다.
또한, 이형성 지지판(26) 위에 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 패턴을 따라서 배치된 복수의 도전로 형성부(21)를 형성한 다음, 이들의 도전로 형성부(21) 사이에 절연부용 재료층(22A)을 형성하여 경화 처리함으로써, 절연부(22)를 형성하므로 도전성 입자(P)가 전혀 존재하지 않는 절연부(22)가 형성된 이방 도전성 엘라스토머층(20)을 확실하게 얻을 수 있다.
게다가 이방 도전성 엘라스토머층을 형성하기 위해, 다수의 강자성체부가 배열되어 이루어지는 고가의 금형을 이용하는 것이 불필요해진다.
또한, 레이저 가공에 의한 도전로 형성부(21)의 형성 공정은 이형성 지지판(26) 위에서 행해지므로, 이방 도전성 엘라스토머층(20)의 형성에 있어서, 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 표면에 손상을 주는 일이 없다.
본 발명의 전기 저항 측정용 커넥터 장치는, 상기한 예에 한정되지 않으며 여러 가지의 변경을 더하는 것이 가능하다.
예컨대, 도30에 도시한 바와 같이 전기 저항 측정용 커넥터(10)는 도6 및 도7에 나타내는 제2 예의 것이라도 좋으며, 또한 도9 및 도10에 나타내는 제3 예의 것이나 도11에 나타내는 제4 예의 것, 혹은 그 밖의 본 발명에 관한 전기 저항 측정용 커넥터라도 좋다.
또한, 이방 도전성 엘라스토머층(20)은 도전로 형성부가 접속용 전극 세트에서의 모든 전극을 덮도록 형성되어 이루어지는 것이라도 좋으며, 탄성 고분자 물질 중에 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향하고, 또한 당해 도전성 입자의 연쇄가 면 방향으로 분산된 상태로 함유되어 이루어지는, 소위 분산형의 것이라도 좋다.
<회로 기판의 전기 저항 측정 장치>
도31은 본 발명에 관한 회로 기판의 전기 저항 측정 장치의 제1 예에서의 구성을 나타내는 설명도이며, 도32는 도31에 나타내는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치의 주요부를 확대하여 나타내는 설명도이다.
본 제1 예의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치는, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판(1)의 일면(도31에 있어서 표면)측에 배치되는 상부측 어댑터(40)와, 피검사 회로 기판(1)의 다른 면(도31에 있어서 하면)측에 배치되는 하부측 어댑터(50)가 상하로 서로 대향하도록 배치되어 구성되어 있다.
상부측 어댑터(40)에 있어서는, 피검사 회로 기판(1)의 일면측(도31에 있어서 위쪽)에 배치되는, 예컨대 도12에 나타내는 구성의 전기 저항 측정용 커넥터장치(25)가 설치되고, 이 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)에서의 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 이면(도31에 있어서 표면)에는, 제1 상부측 이방 도전성 시트(44)를 거쳐서 일면측 검사용 회로 기판(41)이 배치되어 있다. 이 일면측 검사용 회로 기판(41)의 표면(도31에 있어서 하면)에는, 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)에서의 중계 전극(15)의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 복수의 검사 전극(42)이 배치되고, 당해 일면측 검사용 회로 기판(41)의 이면(도31에 있어서 표면)에는, 후술하는 전극판(48)의 표준 배열 전극(49)의 배열 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 단자 전극(43)이 배치되어 있으며, 이 단자 전극(43)의 각각은 대응하는 검사 전극(42)에, 전기적으로 접속되어 있다.
일면측 검사용 회로 기판(41)의 이면 위에는, 제2 상부측 이방 도전성 시트(45)를 거쳐서 전극판(48)이 설치되어 있다. 이 전극판(48)은 그 표면(도31에 있어서 하면)에, 예컨대 피치가 2.54 ㎜, 1.8 ㎜ 또는 1.27 ㎜의 표준격자점 위에 배치된 복수의 표준 배열 전극(49)을 갖고, 이들 표준 배열 전극(49)의 각각은 제2 상부측 이방 도전성 시트(45)를 거쳐서 일면측 검사용 회로 기판(41)의 단자 전극(43)에 전기적으로 접속되는 동시에, 전극판(48)의 내부배선(도시하지 않음)을 거쳐서 시험 장치(59)에 전기적으로 접속되어 있다.
본 예에서의 제1 상부측 이방 도전성 시트(44)는, 소위 편재형 이방 도전성 시트이며, 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 중계 전극(15)의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 두께 방향으로 신장하는 복수의 도전로 형성부(도시 생략)와, 이들의 도전로 형성부 사이에 개재되어 이들을 서로 절연하는 절연부(도시 생략)에 의해 구성되고, 도전로 형성부는 절연성 탄성 고분자 물질 중에 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유되어 이루어지고, 절연부는 도전성 입자가 전혀 혹은 거의 함유되어 있지 않은 절연성 탄성 고분자 물질로 이루어진다.
또한, 제2 상부측 이방 도전성 시트(45)는, 소위 분산형의 이방 도전성 시트이며, 탄성 고분자 물질 중에 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향하여 연쇄를 형성한 상태로, 또한 당해 도전성 입자에 의한 연쇄가 면 방향으로 분산된 상태로 함유되어 이루어진다.
이들의 제1 상부측 이방 도전성 시트(44) 및 제2 상부측 이방 도전성 시트(45)를 구성하는 탄성 고분자 물질 및 도전성 입자로서는, 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)에서의 이방 도전성 엘라스토머층(20)을 구성하는 탄성 고분자 물질 및 도전성 입자로서 예시한 것 중에서, 적절하게 선택하여 이용할 수 있다.
하부측 어댑터(50)에 있어서는, 다른 면측 검사용 회로 기판(51)이 마련되고, 이 다른 면측 검사용 회로 기판(51)의 표면(도31에 있어서 표면)에는, 피검사 회로 기판(1)의 다른 면측 피검사 전극(3)의 배치 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 하나의 다른 면측 피검사 전극(3)에 대하여 서로 떨어져 배치된 전류 공급용 검사 전극(52a) 및 전압 측정용 검사 전극(52b)으로 이루어지는 검사 전극대(電極對)가, 다른 면측 피검사 전극(3)이 점유하는 영역과 동등한 면적의 영역 내에 위치하도록 배치되어 있다. 다른 면측 검사용 회로 기판(51)의 이면에는, 후술하는 전극판(60)의 표준 배열 전극(61)의 배열 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 전류 공급용 단자 전극(53a) 및 전압 측정용 단자 전극(53b)이 배치되어 있고, 이들 전류 공급용 단자 전극(53a) 및 전압 측정용 단자 전극(53b)의 각각은 대응하는 전류 공급용 검사 전극(52a) 및 전압 측정용 검사 전극(52b)에 전기적으로 접속되어 있다.
다른 면측 검사용 회로 기판(51)의 표면 위에는, 이방 도전성 엘라스토머층(55)이 일체적으로 형성되어 있다. 이 이방 도전성 엘라스토머층(55)에는, 검사 전극대의 각각을 구성하는 전류 공급용 검사 전극(52a) 및 전압 측정용 검사 전극(52b)의 양쪽 표면(도31에 있어서 표면)에 접하는 공통의 도전로 형성부(56)가 형성되고, 인접하는 도전로 형성부(56) 사이에는 이들을 서로 절연하는 절연부(57)가 형성되어 있다. 도전로 형성부(56)는 절연성 탄성 고분자 물질 중에 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유되어 이루어지며, 절연부(57)는 도전성 입자가 전혀 혹은 거의 함유되어 있지 않은 절연성 탄성 고분자 물질로 이루어진다. 또한, 본 예의 이방 도전성 엘라스토머층(55)에 있어서는, 도전로 형성부(56)의 표면(도31에 있어서 표면)이 절연부(57)의 표면으로부터 돌출된 상태로 형성되어 있다.
다른 면측 검사용 회로 기판(51)의 이면(도31에 있어서 하면)에는, 하부측 이방 도전성 시트(62)를 거쳐서 전극판(60)이 설치되어 있다.
전극판(60) 및 하부측 이방 도전성 시트(62)는, 상부측 어댑터(40)에서의 전극판(48) 및 제2 상부측 이방 도전성 시트(45)에 대응하는 것이며, 전극판(60)은 그 표면(도31에 있어서 표면)에, 예컨대 피치가 2.54 ㎜, 1.8 ㎜ 또는 1.27 ㎜의 표준격자점 위에 배치된 복수의 표준 배열 전극(61)을 갖고, 이들 표준 배열 전극(61)의 각각은 하부측 이방 도전성 시트(62)를 거쳐서 다른 면측 검사용 회로 기판(51)의 전류 공급용 단자 전극(53a) 또는 전압 측정용 단자 전극(53b)에 전기적으로 접속되는 동시에, 전극판(60)의 내부 배선(도시하지 않음)을 거쳐서 시험 장치(59)에 전기적으로 접속되어 있다. 하부측 이방 도전성 시트(62)는, 소위 분산형 이방 도전성 시트이며, 탄성 고분자 물질 중에 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향하여 연쇄를 형성한 상태로, 또한 당해 도전성 입자에 의한 연쇄가 면 방향으로 분산된 상태로 함유되어 이루어진다.
이방 도전성 엘라스토머층(55)에서의 도전로 형성부(56)는, 그 두께 방향에서의 도전성이 두께 방향과 직각인 면 방향에서의 도전성보다 높은 것이 바람직하며, 구체적으로는 면 방향의 전기 저항치에 대한 두께 방향의 전기 저항치의 비가 1 이하, 특히 0.5 이하인 전기적 특성을 갖는 것이 바람직하다.
이 비가 1을 넘는 경우에는, 도전로 형성부(56)를 거쳐서 전류 공급용 검사 전극(52a)과 전압 측정용 검사 전극(52b) 사이에 흐르는 전류가 커지기 때문에 높은 정밀도로 전기 저항을 측정하는 것이 곤란해지는 경우가 있다.
이러한 관점에서, 도전로 형성부(56)에서의 도전성 입자의 충전율이 5 내지 50 체적 %인 것이 바람직하다.
이러한 이방 도전성 엘라스토머층(55)은, 적절한 방법 예컨대 일본 특허 공개 제2000-74965호 공보에 기재된 방법에 의해 형성할 수 있다.
또한, 이방 도전성 엘라스토머층(55) 및 하부측 이방 도전성 시트(62)를 구성하는 탄성 고분자 물질 및 도전성 입자로서는, 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)에서의 이방 도전성 엘라스토머층(20)을 구성하는 탄성 고분자 물질 및 도전성 입자로서 예시한 것 중에서 적절하게 선택하여 사용할 수 있다.
다른 면측 검사용 회로 기판(51)에서의 전류 공급용 검사 전극(52a)과 전압 측정용 검사 전극(52b) 사이의 떨어진 거리는 10 ㎛ 이상인 것이 바람직하다. 이 떨어진 거리가 10 ㎛ 미만인 경우에는, 도전로 형성부(56)를 거쳐서 전류 공급용 검사 전극(52a)과 전압 측정용 검사 전극(52b) 사이에 흐르는 전류가 커지기 때문에, 높은 정밀도로 전기 저항을 측정하는 것이 곤란해지는 경우가 있다.
한편, 이 떨어진 거리의 상한은 각 검사 전극의 크기와, 관련된 다른 면측 피검사 전극(3)의 치수 및 피치에 의해 정해져, 보통은 500 ㎛ 이하이다. 이 떨어진 거리가 과대인 경우에는, 다른 면측 피검사 전극(3)의 하나에 대하여 양 검사 전극을 적절하게 배치하는 것이 곤란해지는 경우가 있다.
이상과 같은 회로 기판의 전기 저항 측정 장치에 있어서는, 다음과 같이 하여 피검사 회로 기판(1)에서의 임의의 일면측 피검사 전극(2)과 이에 대응하는 다른 면측 피검사 전극(3) 사이의 전기 저항이 측정된다.
피검사 회로 기판(1)을 상부측 어댑터(40) 및 하부측 어댑터(50) 사이에서의 소요의 위치에 배치하고, 이 상태에서 상부측 어댑터(40)를 하강시키는 동시에, 하부측 어댑터(50)를 상승시킴으로써, 피검사 회로 기판(1)의 일면에 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)에서의 이방 도전성 엘라스토머층(20)이 압접되는 동시에, 피검사 회로 기판(1)의 다른 면에, 다른 면측 검사용 회로 기판(51)의 표면 위에 형성된 이방 도전성 엘라스토머층(55)이 압접된 상태가 된다. 이 상태가 측정 상태이다.
이 측정 상태에 있어서, 전기 저항 측정용 커넥터(10)에서의 전류 공급용 전극(12)과 다른 면측 검사용 회로 기판(51)에서의 전류 공급용 검사 전극(52a) 사이에 일정한 값의 전류를 공급하는 동시에, 일면측 피검사 전극(2)에 전기적으로 접속된 전압 측정용 전극(14) 중 하나의 전압 측정용 전극(14)을 지정하고, 당해 지정된 하나의 전압 측정용 전극(14)과, 당해 전압 측정용 전극(14)에 전기적으로 접속된 일면측 피검사 전극(2)에 대응하는 다른 면측 피검사 전극(3)에 전기적으로 접속된 검사 전극대에서의 전압 측정용 검사 전극(52b) 사이의 전압을 측정하고, 이렇게 하여 얻어진 전압치를 기초로 하여 당해 지정된 전압 측정용 전극(14)에 전기적으로 접속된 일면측 피검사 전극(2)과 이에 대응하는 다른 면측 피검사 전극(3) 사이의 전기 저항치가 취득된다.
그리고 지정하는 전압 측정용 전극(14)을 차례로 변경함으로써, 모든 일면측 피검사 전극(2)과 이에 대응하는 다른 면측 피검사 전극(3) 사이의 전기 저항의 측정을 할 수 있다.
이상에 있어서, 피검사 회로 기판(1)에서의 하나의 일면측 피검사 전극(2)에, 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 접속용 전극 세트(12)에서의 2개의 전압 측정용 전극(14)이 전기적으로 접속된 경우에는, 도33에 도시한 바와 같이 당해 일면측 피검사 전극(2)과 이에 대응하는 다른 면측 피검사 전극(3) 사이에는 2개의 전압 측정용 회로(C1, C2)가 형성되게 된다. 이러한 경우에는 전압 측정용 회로(C1)에 의한 전기 저항치 및 전압 측정용 회로(C2)에 의한 전압치 중 그 값이 높은 것이 채용되어, 당해 전압치를 기초로 하여 일면측 피검사 전극(2)과 이에 대응하는 다른 면측 피검사 전극(3) 사이의 전기 저항치가 취득된다.
이상과 같은 구성의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치에 따르면, 그 상부측 어댑터(40)에 도1 및 도2에 나타내는 구성의 전기 저항 측정용 커넥터(10)가 설치되어 있음으로써, 피검사 회로 기판(1)과의 전기적 접속 작업에 있어서, 일면측 피검사 전극(2)에 대한 위치 어긋남의 허용도가 크기 때문에 피검사 회로 기판(1)이 대면적으로 크기가 작은 다수의 일면측 피검사 전극(2)을 갖는 것이라도, 당해 일면측 피검사 전극(2)에 대한 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽의 전기 접속을 확실하게 달성할 수 있다. 게다가 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)은 서로 전기적으로 절연되어 있으므로, 피검사 회로 기판(1)에 대한 전기 저항을 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
도34는 본 발명에 관한 회로 기판의 전기 저항 측정 장치의 제2 예에서의 구성을 나타내는 설명도이며, 도35는 도34에 나타내는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치의 주요부를 확대하여 나타내는 설명도이다.
본 제2 예의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치는, 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판(1)의 일면(도34에 있어서 표면)측에 배치되는 상부측 어댑터(40)와, 피검사 회로 기판(1)의 다른 면(도34에 있어서 하면)측에 배치되는 하부측 어댑터(50)가 상하로 서로 대향하도록 배치되어 구성되어 있고, 상부측 어댑터(40)는 제1 예의 전기 저항 측정 장치에서의 상부측 어댑터와 마찬가지의 구성이다.
하부측 어댑터(50)에 있어서는, 피검사 회로 기판(1)의 다른 면측(도34에 있어서 아래쪽)에 배치되는, 예컨대 도12에 나타내는 구성의 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)가 설치되고, 이 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)에서의 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 이면(도34에 있어서 하면)에는, 제1 하부측 이방 도전성 시트(64)를 거쳐서 다른 면측 검사용 회로 기판(51)이 배치되어 있고, 이 다른 면측 검사용 회로 기판(51)의 이면 상에는, 제2 하부측 이방 도전성 시트(65)를 거쳐서 전극판(60)이 설치되어 있다. 이 전극판(60)은 제1 예의 전기 저항 측정 장치의 하부측 어댑터에서의 전극판과 마찬가지의 구성이다.
다른 면측 검사용 회로 기판(51)의 표면(도34에 있어서 표면)에는, 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)에서의 중계 전극(15)의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 복수의 검사 전극(52)이 배치되고, 당해 다른 면측 검사용 회로 기판(51)의 이면(도34에 있어서 하면)에는, 전극판(60)의 표준 배열 전극(61)의 배열 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 단자 전극(53)이 배치되어 있으며, 이 단자 전극(53)의 각각은 대응하는 검사 전극(52)에 전기적으로 접속되어 있다.
본 예에서의 제1 하부측 이방 도전성 시트(64)는, 소위 편재형 이방 도전성 시트이며, 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 중계 전극(15)의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 두께 방향으로 신장하는 복수의 도전로 형성부(도시 생략)와, 이들의 도전로 형성부 사이에 개재되어 이들을 서로 절연하는 절연부(도시 생략)에 의해 구성되고, 도전로 형성부는 절연성 탄성 고분자 물질 중에 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유되어 이루어지고, 절연부는 도전성 입자가 전혀 혹은 거의 함유되어 있지 않은 절연성 탄성 고분자 물질로 이루어진다.
또한, 제2 하부측 이방 도전성 시트(65)는, 소위 분산형 이방 도전성 시트이며, 탄성 고분자 물질 중에 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향하여 연쇄를 형성한 상태로, 또한 당해 도전성 입자에 의한 연쇄가 면 방향으로 분산된 상태로 함유되어 이루어진다.
이들의 제1 하부측 이방 도전성 시트(64) 및 제2 하부측 이방 도전성 시트(65)를 구성하는 탄성 고분자 물질 및 도전성 입자로서는, 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)에서의 이방 도전성 엘라스토머층(20)을 구성하는 탄성 고분자 물질 및 도전성 입자로서 예시한 것 중에서 적절하게 선택하여 이용할 수 있다.
이상과 같은 회로 기판의 전기 저항 측정 장치에 있어서는, 다음과 같이 하여 피검사 회로 기판(1)에서의 임의의 일면측 피검사 전극(2)과 이에 대응하는 다른 면측 피검사 전극(3) 사이의 전기 저항이 측정된다.
피검사 회로 기판(1)을 상부측 어댑터(40) 및 하부측 어댑터(50) 사이에서의 소요의 위치에 배치하고, 이 상태에서 상부측 어댑터(40)를 하강시키는 동시에, 하부측 어댑터(50)를 상승시킴으로써, 피검사 회로 기판(1)의 일면에 상부측 어댑터(40)의 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)에서의 이방 도전성 엘라스토머층(20)이 압접되는 동시에, 피검사 회로 기판(1)의 다른 면에 하부측 어댑터(50)의 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)에서의 이방 도전성 엘라스토머층(20)이 압접된 상태가 된다. 이 상태가 측정 상태이다.
이 측정 상태에 있어서, 상부측 어댑터(40)의 전기 저항 측정용 커넥터(10)에서의 전류 공급용 전극(12)과 하부측 어댑터(50)의 전기 저항 측정용 커넥터(10)에서의 전류 공급용 전극(12) 사이에 일정한 값의 전류를 공급하는 동시에, 일면측 피검사 전극에 전기적으로 접속된 전압 측정용 전극(14) 중 하나의 전압 측정용 전극(14)을 지정하고, 당해 지정된 1개의 전압 측정용 전극(14)과, 당해 전압 측정용 전극(14)에 전기적으로 접속된 일면측 피검사 전극(2)에 대응하는 다른 면측 피검사 전극(3)에 전기적으로 접속된 전압 측정용 전극(14) 사이의 전압을 측정하여, 이렇게 하여 얻어진 전압치를 기초로 하여, 당해 지정된 전압 측정용 전극(14)에 전기적으로 접속된 일면측 피검사 전극(2)과 이에 대응하는 다른 면측 피검사 전극(3) 사이의 전기 저항치가 취득된다.
그리고 지정하는 전압 측정용 전극(14)을 차례로 변경함으로써, 모든 일면측 피검사 전극(2)과 이에 대응하는 다른 면측 피검사 전극(3) 사이의 전기 저항의 측정을 할 수 있다.
이상에 있어서, 피검사 회로 기판(1)에서의 하나의 일면측 피검사 전극(2)에, 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 접속용 전극 세트(12)에서의 2개의 전압 측정용 전극(14)이 전기적으로 접속되고, 당해 피검사 회로 기판(1)에서의 하나의 다른 면측 피검사 전극(3)에, 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 접속용 전극 세트(12)에서의 2개의 전압 측정용 전극(14)이 전기적으로 접속된 경우에는, 도36에 도시한 바와 같이 당해 일면측 피검사 전극(2)과 이에 대응하는 다른 면측 피검사 전극(3) 사이에는 4개의 전압 측정용 회로(C1, C2, C3, C4)가 형성되게 된다. 이러한 경우에는, 전압 측정용 회로(C1), 전압 측정용 회로(C2), 전압 측정용 회로(C3) 및 전압 측정용 회로(C4) 각각에 의한 전압치 중 그 값이 가장 높은 것이 채용되어, 당해 전압치를 기초로 하여 일면측 피검사 전극(2)과 이에 대응하는 다른 면측 피검사 전극(3) 사이의 전기 저항치가 취득된다.
이상과 같은 구성의 회로 기판의 전기 저항 측정 장치에 따르면, 그 상부측 어댑터(40) 및 하부측 어댑터(50) 각각에 도1 및 도2에 나타내는 구성의 전기 저항 측정용 커넥터(10)가 설치되어 있음으로써, 피검사 회로 기판(1)과의 전기적 접속 작업에 있어서, 일면측 피검사 전극(2) 및 다른 면측 피검사 전극(3)에 대한 위치 어긋남의 허용도가 크기 때문에, 피검사 회로 기판(1)이 대면적으로 크기가 작은 다수의 일면측 피검사 전극(2) 및 다른 면측 피검사 전극(3)을 갖는 것이라도, 당해 일면측 피검사 전극(2) 및 다른 면측 피검사 전극(3)의 각각에 대한 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 양쪽의 전기 접속을 확실하게 달성할 수 있다. 게다가 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)은 서로 전기적으로 절연되어 있으므로, 피검사 회로 기판(1)에 대한 전기 저항을 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
본 발명의 회로 장치의 전기 저항 측정 장치는, 상기한 예에 한정되지 않고, 이하와 같은 여러 가지의 변경을 더하는 것이 가능하다.
예컨대, 제1 예에 있어서 하부측 어댑터(50)의 다른 면측 검사용 회로 기판(51)은 하나의 다른 면측 피검사 전극(3)에 대하여 검사 전극대를 구성하는 전류 공급용 검사 전극(52) 및 전압 측정용 검사 전극(53)이 전기적으로 접속된 상태를 달성할 수 있는 것이면, 여러 가지의 것을 이용할 수 있다.
또한, 이방 도전성 엘라스토머층(55)으로서는 전류 공급용 검사 전극(52) 및 전압 측정용 검사 전극(53)의 각각에 대응하여 도전로 형성부가 형성되어 이루어지는 것을 사용할 수 있다.
또한, 개개의 선단부에 도전성 엘라스토머가 마련된 검사 전극이나, 또한 허용되는 경우에는 프로브 핀을 검사 전극으로서 사용하는 것도 가능하다.
또한, 피검사 회로 기판이 편면 프린트 회로 기판인 경우에는, 하부측 어댑터를 마련하는 것은 불필요하다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예에 대해 설명하지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것이 아니다.
또한, 이하의 실시예에 있어서, 피검사 회로 기판으로서 하기 수단의 편면 프린트 회로 기판을 사용하였다.
종횡의 치수가 3 ㎝ × 3 ㎝이고, 일면에 지름 100 ㎛의 피검사 전극의 600개가 0.2 ㎜의 피치로 배치되어 이루어지는 전극군이 합계 4개 형성되어 이루어지며(피검사 전극의 합계 수가 2400개), 각 전극군에서의 600개의 피검사 전극 중 2개씩이 내부 배선을 거쳐서 서로 전기적으로 접속되어 회로가 형성된(각 전극군에서의 회로 수가 300개, 전체의 회로 수가 1200개) 편면 프린트 회로 기판.
<제1 실시예>
[전기 저항 측정용 커넥터]
도1 및 도2에 나타내는 구성을 따라, 하기의 수단에 의해 전기 저항 측정용 커넥터를 제작하였다.
절연성 기판(11) :
재질 : 유리섬유 보강형 에폭시 수지, 절연성 기판(11)의 치수 ; 100 ㎜ × 100 ㎜ × 0.5 ㎜,
접속용 전극 세트(12) :
전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14)의 치수 ; 50 ㎛ × 50 ㎛, 전류 공급용 전극(13) 및 전압 측정용 전극(14) 사이의 떨어진 거리 ; 30 ㎛, 접속용 전극 세트(12)의 피치 ; 200 ㎛, 접속용 전극 세트(12)의 수 ; 600
중계 전극(15) :
중계 전극(15)의 치수 ; 지름 120 ㎛(원형), 중계 전극(15)의 피치 ; 350 ㎛, 중계 전극(15)의 수 ; 1200
[전기 저항 측정용 커넥터 장치]
상기한 전기 저항 측정용 커넥터의 표면에, 이하와 같이 하여 이방 도전성 엘라스토머층을 형성하여 전기 저항 측정용 커넥터 장치를 제작하였다.
(1) 금형 :
도14에 나타내는 구성을 따라, 하기의 수단에 의해 이방 도전성 엘라스토머층을 얻기 위한 금형을 제작하였다.
즉, 상부형(30) 및 하부형(35)의 각각에 있어서, 강자성체 기판(31, 36)의 재질은 철이며, 그 두께는 10 ㎜이다. 강자성체층(32, 37)의 재질은 니켈이며, 그 평면 형상은 원형으로, 그 치수는 지름이 300 ㎛, 두께가 100 ㎛이다. 상부형(30)의 비자성체층(33)의 재질은 드라이 필름 레지스트를 경화 처리한 것이며, 그 두께는 150 ㎛이다. 하부형(35)의 비자성체층(38)의 재질은 드라이 필름 레지스트를 경화 처리한 것이며, 그 두께는 100 ㎛이다.
(2) 엘라스토머용 재료 :
부가형 액상 실리콘 고무 100 중량부에, 평균 입자 지름이 10 ㎛인 도전성 입자 15 중량부를 첨가하여 혼합하고, 그 후 감압에 의한 탈포 처리를 함으로써, 엘라스토머용 재료를 조제하였다. 이상에 있어서, 도전성 입자로서는 니켈로 이루어지는 코어 입자에 금 도금이 되어 이루어지는 것(평균 피복량 : 코어 입자 중량의 4 중량 %)을 사용하였다. 또한, 엘라스토머용 재료의 점도는, 온도 25 ℃에 있어서 4800P였다.
(3) 이방 도전성 엘라스토머층 :
상기한 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 표면에, 조제한 엘라스토머용 재료를 스크린 인쇄법에 의해 도포함으로써, 엘라스토머용 재료층(20A)을 형성하여, 이 엘라스토머용 재료층(20A)의 표면 및 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 이면에, 상기한 상부형(30) 및 하부형(35)을 배치하였다. 그리고 상부형(30)의 하면 및 하부형(35)의 하면에, 전자석을 배치하여 이것을 작동시킴으로써, 엘라스토머용 재료층(20A)에 대하여, 상부형(30)의 강자성체층(32)과 하부형(35)의 강자성체층(37) 사이에 위치하는 부분에, 그 두께 방향으로 2T의 자장을 작용시키면서, 125 ℃에서 2시간의 조건으로 엘라스토머용 재료층(20A)의 경화 처리를 함으로써, 전기 저항 측정용 커넥터(10)의 표면에 그 접속용 전극 세트 영역의 표면 위에 위치하는 부분에 자성을 띠는 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유된 엘라스토머층(20B)을 형성하였다.
이렇게 하여 얻어진 엘라스토머층(20B)에 대하여, 탄산가스 레이저에 의한 레이저 가공을 함으로써, 도전성 입자가 함유된 부분에 있어서 접속용 전극 세트(12)에서의 각 전극 사이의 영역의 표면 위에 위치하는 부분을 제거함으로써, 열십자형의 구멍부(K)를 형성하였다. 계속해서, 이 구멍부(K)에 부가형 액상 실리콘 고무를 충전하여, 125 ℃에서 2시간의 조건으로 당해 부가형 액상 실리콘 고무의 경화 처리를 함으로써, 이방 도전성 엘라스토머층(20)을 형성하여, 전기 저항 측정용 커넥터 장치(25)를 제조하였다.
(4) 회로 장치의 전기 저항 측정 장치 :
상기한 전기 저항 측정용 커넥터 장치를 이용하여, 도31에 나타내는 상부측 어댑터와, 시험 장치로 이루어지는 전기 저항 측정 장치를 제작하였다.
<제1 비교예>
일본 특허 공개 제2000-74965호 공보에 개시되어 있는 구성을 따라, 피검사 전극에 대응하여 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극이 표면에 형성된 검사용 회로 기판과, 이 검사용 회로 기판의 표면에 마련된 도전성 엘라스토머로 이루어지는 접속 부재 및 유지 부재를 갖는 전기 저항 측정 장치를 제작하였다.
상기한 검사용 회로 기판에서의 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 종횡 치수는 각각 120 ㎛ × 40 ㎛이고, 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 떨어진 거리는 40 ㎛이고, 접속 부재의 두께는 0.06 ㎜이고, 접속 부재를 구성하는 탄성 고분자 물질로서 실리콘 고무를 사용하는 동시에, 도전성 입자로서 금 도금된 평균 입경 10 ㎛의 니켈 입자를 사용하였다.
[평가]
전술한 수단의 피검사 회로 기판을 합계 200매 준비하여, 이들의 피검사 회로 기판에서의 각 회로의 전기 저항의 측정을 제1 실시예 및 제1 비교예에 관한 전기 저항 측정 장치에 의해 행하고, 회로의 전기 저항의 측정치가 1 Ω 이상인 경우를, 접속 불량이라 판단하여 그 수를 측정하였다.
그 결과, 제1 실시예에 관한 전기 저항 측정 장치에 있어서는 100개의 회로 기판(1200 회로 × 100) 중, 전기 저항의 측정치가 1 Ω 이상인 회로를 갖는 회로 기판의 수는 0개이며, 제1 비교예에 관한 전기 저항 장치에 있어서는 100개의 회로 기판(1200 회로 × 100) 중, 전기 저항의 측정치가 1 Ω 이상인 회로를 갖는 회로 기판의 수는 25개였다.
Claims (17)
- 절연성 기판과, 이 절연성 기판의 표면에 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판에서의 복수의 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 복수의 접속용 전극 세트를 구비하여 이루어지며,상기 접속용 전극 세트의 각각은 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극 중 어떠한 전극의 3개 이상이 서로 떨어져 배치되어 이루어지며, 이들의 전극 중 적어도 하나는 전류 공급용 전극이며, 적어도 하나가 전압 측정용 전극인 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터.
- 절연성 기판과, 이 절연성 기판의 표면에 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판에서의 복수의 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 복수의 접속용 전극 세트를 구비하여 이루어지며,상기 접속용 전극 세트는 직사각형에서의 서로 대각하는 정점 위치에 위치하는 2개의 전류 공급용 전극 및 당해 직사각형에서의 서로 대각하는 다른 정점 위치에 위치하는 2개의 전압 측정용 전극이 서로 떨어져 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터.
- 절연성 기판과, 이 절연성 기판의 표면에 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판에서의 복수의 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 복수의 접속용 전극 세트를 구비하여 이루어지며,상기 접속용 전극 세트의 각각은 전압 측정용 전극, 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 3개의 전극이 이 순서로 늘어서도록 서로 떨어져 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터.
- 절연성 기판과, 이 절연성 기판의 표면에 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판에서의 복수의 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 복수의 접속용 전극 세트를 구비하여 이루어지며,상기 접속용 전극 세트의 각각은 전류 공급용 전극, 전압 측정용 전극 및 전류 공급용 전극의 3개의 전극이 이 순서로 늘어서도록 서로 떨어져 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터.
- 제3항 또는 제4항에 있어서, 접속용 전극 세트에서의 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 각각은 이들의 전극이 늘어서는 방향에 대하여 수직인 방향으로 긴 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 절연성 기판의 이면에, 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극 중 어느 한쪽에 전기적으로 접속된 복수의 중계 전극이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터.
- 제6항에 있어서, 복수의 전류 공급용 전극에 전기적으로 접속된 중계 전극을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터.
- 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 전기 저항 측정용 커넥터와, 이 전기 저항 측정용 커넥터의 표면에 일체적으로 적층된 이방 도전성 엘라스토머층을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터 장치.
- 제8항에 있어서, 이방 도전성 엘라스토머층은 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극의 각각 표면 위에 배치된, 각각 두께 방향으로 신장하는 복수의 도전로 형성부와, 이들의 도전로 형성부를 서로 절연하는 절연부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터 장치.
- 제9항에 있어서, 이방 도전성 엘라스토머층에서의 도전로 형성부는, 자성을 띠는 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터 장치.
- 제10항에 기재된 전기 저항 측정용 커넥터 장치를 제조하는 방법이며,제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 전기 저항 측정용 커넥터의 표면에, 경화되어 탄성 고분자 물질로 이루어지는 액상 고분자 물질 형성 재료 중에 자성을 띠는 도전성 입자가 함유되어 이루어지는 엘라스토머용 재료층을 형성하고, 이 엘라스토머용 재료층에 대하여 전기 저항 측정용 커넥터의 접속용 전극 세트가 형성된 영역의 표면 위에 위치하는 부분에 있어서 그 이외의 부분보다 큰 강도의 자장을 두께 방향으로 작용시키는 동시에, 당해 엘라스토머용 재료층을 경화 처리함으로써, 당해 전기 저항 측정용 커넥터의 표면에 그 접속용 전극 세트가 형성된 영역의 표면 위에 위치하는 부분에 자성을 띠는 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유된 엘라스토머층을 형성하고,이 엘라스토머층에서의 도전성 입자가 함유된 부분에 있어서, 접속용 전극 세트에서의 각 전극 사이의 영역의 표면 위에 위치하는 부분을 제거하여 구멍부를 형성하고, 그 후 이 구멍부에 경화되어 탄성 고분자 물질로 이루어지는 액상 고분자 물질 형성 재료를 충전하고, 당해 고분자 물질 형성 재료를 경화 처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터 장치의 제조 방법.
- 적어도 일면에 전극을 갖는 회로 기판의 전기 저항을 측정하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치이며,전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 일면측에 배치되는, 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 전기 저항 측정용 커넥터를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치.
- 적어도 일면에 전극을 갖는 회로 기판의 전기 저항을 측정하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치이며,전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 일면측에 배치되는, 제6항 또는 제7항에 기재된 전기 저항 측정용 커넥터와,이 전기 저항 측정용 커넥터의 이면에 이방 도전성 시트를 거쳐서 배치된, 표면에 당해 전기 저항 측정용 커넥터에서의 중계 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 검사 전극을 갖는 일면측 검사용 회로 기판을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치.
- 제12항 또는 제13항에 있어서, 양면에 전극을 갖는 회로 기판의 전기 저항을 측정하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치이며,전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 다른 면측에 배치되는, 다른 면측 검사용 회로 기판을 구비하여 이루어지며,상기 다른 면측 검사용 회로 기판은 그 표면에 각각 상기 피검사 회로 기판의 다른 면측 피검사 전극의 각각에 대응하여 서로 떨어져 배치된, 각각 동일한 다른 면측 피검사 전극에 전기적으로 접속되는 전류 공급용 검사 전극 및 전압 측정용 검사 전극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치.
- 양면에 전극을 갖는 회로 기판의 전기 저항을 측정하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치이며,전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 일면측에 배치되는, 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 전기 저항 측정용 커넥터와,당해 피검사 회로 기판의 다른 면측에 배치되는 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 전기 저항 측정용 커넥터를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치.
- 양면에 전극을 갖는 회로 기판의 전기 저항을 측정하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치이며,전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 일면측에 배치되는, 제6항 또는 제7항에 기재된 전기 저항 측정용 커넥터와,이 전기 저항 측정용 커넥터의 이면에 이방 도전성 시트를 거쳐서 배치된, 표면에 당해 전기 저항 측정용 커넥터에서의 중계 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 검사 전극을 갖는 일면측 검사용 회로 기판과,상기 피검사 회로 기판의 다른 면측에 배치되는 제6항 또는 제7항에 기재된 전기 저항 측정용 커넥터와,이 전기 저항 측정용 커넥터의 이면에 이방 도전성 시트를 거쳐서 배치된, 표면에 당해 전기 저항 측정용 커넥터에서의 중계 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치된 검사 전극을 갖는 다른 면측 검사용 회로 기판을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치.
- 전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 일면에, 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 전기 저항 측정용 커넥터를 배치하고,당해 피검사 회로 기판의 일면측 피검사 전극의 각각에 상기 전기 저항 측정용 커넥터의 접속용 전극 세트에서의 적어도 하나의 전류 공급용 전극 및 적어도 하나의 전압 측정용 전극을 동시에 전기적으로 접속하여 측정 상태로 하고,이 측정 상태에 있어서, 상기 전기 저항 측정용 커넥터에서의 전류 공급용 전극을 거쳐서 피검사 회로 기판에 전류를 공급하는 동시에, 상기 일면측 피검사 전극에 전기적으로 접속된 전압 측정용 전극 중 하나의 전압 측정용 전극을 지정하고, 당해 지정된 하나의 전압 측정용 전극에 전기적으로 접속된 일면측 피검사 전극에 걸리는 전기 저항의 측정을 하는 것을 특징으로 하는 회로 기판의 전기 저항 측정 방법.
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| KR101118650B1 (ko) * | 2010-12-30 | 2012-03-06 | 경북대학교 산학협력단 | 도전성 박막의 무손상 저항 균일성 평가 장치 |
Families Citing this family (20)
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|---|---|---|---|---|
| TW200635158A (en) * | 2004-10-22 | 2006-10-01 | Jsr Corp | Anisotropic conductive connector for inspecting wafer, manufacturing method thereof, waver inspection probe card, manufacturing method thereof, and wafer inspection device |
| WO2006043629A1 (ja) * | 2004-10-22 | 2006-04-27 | Jsr Corporation | アダプター装置およびその製造方法並びに回路装置の電気的検査装置 |
| WO2006043631A1 (ja) * | 2004-10-22 | 2006-04-27 | Jsr Corporation | ウエハ検査用異方導電性コネクターおよびその製造方法、ウエハ検査用プローブカードおよびその製造方法並びにウエハ検査装置 |
| US7595790B2 (en) * | 2005-01-31 | 2009-09-29 | Panasonic Corporation | Pressure sensitive conductive sheet, method of manufacturing the same, and touch panel using the same |
| JP5008005B2 (ja) | 2006-07-10 | 2012-08-22 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブカード |
| TWI497084B (zh) * | 2010-09-30 | 2015-08-21 | Ismeca Semiconductor Holding | 電性接點及測試平台 |
| CN102175919B (zh) * | 2011-01-28 | 2015-11-04 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 金属硅化物薄膜电阻模型的提取方法 |
| US9176167B1 (en) * | 2011-08-21 | 2015-11-03 | Bruker Nano Inc. | Probe and method of manufacture for semiconductor wafer characterization |
| US9442133B1 (en) * | 2011-08-21 | 2016-09-13 | Bruker Nano Inc. | Edge electrode for characterization of semiconductor wafers |
| CN102520252A (zh) * | 2011-12-29 | 2012-06-27 | 广州杰赛科技股份有限公司 | 一种测试模具及其制作方法及薄膜电阻基板单位阻值检测方法 |
| CN103472304B (zh) * | 2013-09-17 | 2014-10-22 | 中国科学院物理研究所 | 一种弹性探针阵列多通道电阻测量方法和装置 |
| WO2018101233A1 (ja) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | 日本電産リード株式会社 | 抵抗測定装置及び抵抗測定方法 |
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| KR20210060542A (ko) * | 2018-09-14 | 2021-05-26 | 니혼덴산리드가부시키가이샤 | 검사 지시 정보 생성 장치, 기판 검사 시스템, 검사 지시 정보 생성 방법 및 검사 지시 정보 생성 프로그램 |
| JP7281620B2 (ja) * | 2018-10-15 | 2023-05-26 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 特性計測装置、部品実装装置、特性計測方法および部品実装方法 |
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Family Cites Families (7)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2000241485A (ja) * | 1999-02-24 | 2000-09-08 | Jsr Corp | 回路基板の電気抵抗測定装置および方法 |
| DE60107519T2 (de) * | 2000-09-25 | 2005-12-15 | Jsr Corp. | Anisotropisches leitfähiges Verbindungsblatt, Herstellungsverfahren dafür und Produkt davon |
| JP4522604B2 (ja) * | 2001-03-19 | 2010-08-11 | 日東電工株式会社 | 異方導電性フィルム |
| US6771077B2 (en) * | 2002-04-19 | 2004-08-03 | Hitachi, Ltd. | Method of testing electronic devices indicating short-circuit |
| JP2003322665A (ja) * | 2002-05-01 | 2003-11-14 | Jsr Corp | 電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法 |
-
2004
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101118650B1 (ko) * | 2010-12-30 | 2012-03-06 | 경북대학교 산학협력단 | 도전성 박막의 무손상 저항 균일성 평가 장치 |
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