WO2004006240A1 - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体 Download PDF

Info

Publication number
WO2004006240A1
WO2004006240A1 PCT/JP2003/008536 JP0308536W WO2004006240A1 WO 2004006240 A1 WO2004006240 A1 WO 2004006240A1 JP 0308536 W JP0308536 W JP 0308536W WO 2004006240 A1 WO2004006240 A1 WO 2004006240A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
recording
group
magneto
recording medium
land
Prior art date
Application number
PCT/JP2003/008536
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Takeshi Miki
Goro Fujita
Original Assignee
Sony Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corporation filed Critical Sony Corporation
Priority to EP03741199A priority Critical patent/EP1521254B1/en
Priority to AT03741199T priority patent/ATE441186T1/de
Priority to DE60328988T priority patent/DE60328988D1/de
Priority to US10/488,386 priority patent/US7257076B2/en
Priority to JP2004519271A priority patent/JPWO2004006240A1/ja
Publication of WO2004006240A1 publication Critical patent/WO2004006240A1/ja
Priority to US11/890,617 priority patent/US7586833B2/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
    • G11B11/10584—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the form, e.g. comprising mechanical protection elements
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/1055—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers
    • G11B11/10576—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers with provision for moving the transducers for maintaining alignment or spacing relative to the carrier
    • G11B11/10578—Servo format, e.g. prepits, guide tracks, pilot signals
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/2407—Tracks or pits; Shape, structure or physical properties thereof
    • G11B7/24073—Tracks
    • G11B7/24076—Cross sectional shape in the radial direction of a disc, e.g. asymmetrical cross sectional shape
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/2407—Tracks or pits; Shape, structure or physical properties thereof
    • G11B7/24073—Tracks
    • G11B7/24079—Width or depth

Definitions

  • the present invention relates to a magneto-optical recording medium, particularly, for example, a recording medium in which a group for taking out a tracking servo signal is formed.
  • the present invention relates to a magneto-optical recording medium using a reproduction method based on a movement detection method, so-called DWDD (Domain Wall Displacement Dection).
  • DWDD Domain Wall Displacement Dection
  • the magneto-optical recording media based on the DWDD method are particularly important optical recording media because high-density recording is possible.
  • the reproduction by the DWDD method is based on a method in which the domain wall of the recording mark is displaced by the temperature distribution caused by the irradiation of the reproducing laser beam to the magneto-optical recording medium, the recording mark is enlarged, and the enlarged recording mark is read. In this way, the recording mark is miniaturized below the limit determined by the spot diameter of the reproduction light to achieve a high recording density.
  • the purpose of the present invention is to apply the DWDD method and In a magneto-optical recording medium, recording is performed sufficiently to ensure smooth domain wall motion, reduce jitter and bit error rate, and at the same time perform proper high-density recording.
  • An object of the present invention is to provide a magneto-optical recording medium capable of increasing a power margin.
  • the present invention is a magneto-optical recording medium in which group recording is performed and the reproduction method is the DWDD method, and the shape of the bent portion of each side edge of the group and the land dividing the group is as follows. It has been found that the characteristics of the medium, particularly the above-mentioned domain wall movement and the recording power margin are affected, and the above-mentioned object is achieved by specifying these shapes.
  • the curvature of the side edge of the land that is, the radius of curvature R 1 in a cross section orthogonal to the recording track of the shoulder adjacent to the group of the land is set to 30 nm or less, and the radius of curvature of the group to be recorded is set to 30 nm or less.
  • the radius of curvature R 2 of the side edge, that is, the inner edge adjacent to the land, in a cross section orthogonal to the recording track is 2 O nm or more.
  • the lower limit of R 1 and the upper limit of R 2 are, in practice, both a concave-convex shape enough to obtain a required tracking signal and a lower limit and an upper limit at which a step is obtained.
  • the group recording specifically, the laser beam is performed by making the shoulder of the land that separates the group steeper than the ordinary DWDD. Transfer of heat to the land during thermal recording due to irradiation, and also to other groups adjacent to the land, can be reduced, improving crosstalk during recording.
  • the overwrite is improved and the recording power margin is expanded, and at the same time, the domain walls move during playback by smoothing the bottom edges of the group compared to normal DWDD. Can be smooth, And the bit error rate can be reduced.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view of an example of a magneto-optical recording medium according to the present invention.
  • FIG. 2 is a configuration diagram of an example of a film layer including an information recording layer of the magneto-optical recording medium according to the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a main part showing a configuration for explaining a substrate shape of a magneto-optical recording medium according to the present invention.
  • FIGS. 4A and 4B show AFM (Type-A and Type-B).
  • FIGS. 5A and 5B are schematic enlarged perspective views of the lands and grooves drawn based on the photograph.
  • FIGS. 5A and 5B show the margin of the magneto-optical recording medium by the substrate shown in FIGS. 4A and 4B.
  • FIGS. 6A to 6E are views showing measured results
  • FIGS. 6A to 6E are partial process diagrams of an example of a method for manufacturing a magneto-optical recording medium according to the present invention
  • FIGS. 7A and 7B are shown in FIGS.
  • FIGS. 8A and 8B are enlarged cross-sectional views of main parts of FIGS. 6C and 6D. It is. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • a tracking medium signal is obtained on at least one principal surface of a recording medium substrate 1, for example, a disk substrate.
  • a recording medium substrate for example, a disk substrate.
  • a helical or concentric group 2 and an uneven surface 4 formed with a land 3 for dividing the group 2 are formed, and the uneven surface 4 is formed of at least a magnetic layer.
  • a laminated film 5 having a recording layer and a reproducing layer is formed.
  • a non-magnetic dielectric layer 6 As shown in the cross-sectional view of FIG. On top are, for example, a non-magnetic dielectric layer 6, a moving layer 7 having a small domain wall coercivity due to the magnetic layer, a cutting layer 8 having a low Curie point T c, and a large domain wall coercivity, respectively. It is formed by laminating recording layers 9 having characteristics.
  • a protective layer 11 is formed on the laminated film 5 so as to fill the uneven surface.
  • the recording layer 9 and the moving layer 7 are magnetically exchange-coupled via the cutting layer 8, and the recording marks recorded on the recording layer 9 are transferred to the moving layer 7. Have been.
  • a laser beam L is irradiated from the back side of the magneto-optical recording medium substrate 1, for example, to perform reproduction by DWDD, that is, a cutting layer 8 of a recording mark forming portion to be reproduced by irradiation with reproduction laser light.
  • DWDD that is, a cutting layer 8 of a recording mark forming portion to be reproduced by irradiation with reproduction laser light.
  • the exchange coupling between the moving layer 7 and the recording layer 9 is released, and the domain wall of the recording mark in the moving layer 7 is exposed to the temperature distribution in the laser light spot.
  • the recording mark By moving the recording mark along the extension direction of the group 2, the recording mark can be enlarged and a necessary and sufficient reproduction output can be obtained.
  • the recording mark since the recording mark is enlarged, the recording mark itself can be miniaturized, and therefore, high-density recording is performed.
  • FIG. 3 a sectional view of the group 2 and the land 3 adjacent thereto, as shown in FIG.
  • the radius of curvature R 1, R in the direction perpendicular to each recording track of the inner edge portion, that is, in the direction perpendicular to the extension direction of the group, that is, the portion 3 S and the bent portion adjacent to the land 3 of group 2 2 is specified.
  • the radius of curvature R 1 is set to 30 nm or less, and the radius of curvature R 2 Is set to 20 nm or more.
  • the lower limit of R 1 and the upper limit of R 2 are actually the shape enough to obtain the required tracking servo signal, and the lower and upper limits at which the step is obtained. Become.
  • Type A the radius of curvature R 2 of both side edges 2 C of Group 2 was set to 20 nm, and the radius of curvature R 1 of shoulder 3 S of Land 3 was set to 69 nm.
  • Type_B is a case where the radius of curvature R1 of the shoulder 3S of the land 3 is 3 Onm, and the radius of curvature R2 of both side edges 2C of the group 2 is 7 nm.
  • FIG. 4 A and B are schematic diagrams based on AFM (Atomic Force Microscope) photographs of the land and group of the recording medium substrate 1 according to the type A and type B.
  • FIG. 4 A and B are schematic diagrams based on AFM (Atomic Force Microscope) photographs of the land and group of the recording medium substrate 1 according to the type A and type B.
  • FIG. 4 A and B are schematic diagrams based on AFM (Atomic Force Microscope) photographs of the land and group of the recording medium substrate 1 according to the type A and type B.
  • FIG. 4 A and B are schematic diagrams based on AFM (Atomic Force Microscope) photographs of the land and group of the recording medium substrate 1 according to the type A and type B.
  • FIG. 4 A and B are schematic diagrams based on AFM (Atomic Force Microscope) photographs of the land and group of the recording medium substrate 1 according to the type A and type B.
  • FIG. 4 A and B are schematic diagrams based on AFM (Atomic Force Microscope) photographs
  • type-1A and type-1B magneto-optical recording media consist of a 0.6 mm thick polycarbonate substrate 1 on a 4 O nm thick SiON dielectric film, 4 0 11 111 0 (moving layer by 1-6 Co film, control layer by 3 nm thick TbFeCo film, cutting by 1 Onm thick TbFeCoAl film Layer, recording layer of 5 O nm thick TbFeCo film, recording aid layer of 10 nm thick GdFeCo film, dielectric of 3 Onm thick SiN film A reflective film or a temperature control film of a body layer and an Al alloy film having a thickness of 300 nm was formed.
  • control layer is a layer that functions to control noise to reduce domain wall motion during reproduction
  • recording auxiliary layer is a layer that improves magnetic field sensitivity during recording.
  • the track pitch was 0.44 ⁇ m
  • the pit length was 0.09 IX m.
  • the duty ratio of the recording pulse was 33%.
  • curves 51A and 51B respectively represent data recorded in the main group and the adjacent groups adjacent to the main group, and the data written in the main group. This is a curve that plots the measurement results of the jitter of the playback signal of the main group when another data record is newly overwritten (OW) on the record.
  • the curves 52A and 52B were recorded in the main group first, followed by data recording in both adjacent groups, and then returned to the main group to measure the jitter. This is a plotted curve. In other words, in this case, it measures the effect of the adjacent group's record, that is, the cross light (C.W.).
  • the jitter can be 15% or less
  • the range where both the jitter is 15% or less in both curves 51A and 52A is 6.
  • the curves 51B and 52B are 7.6 mW ⁇ 26%, and the recording power margin is expanded.
  • the radius of curvature of the shoulder 3S of the land 3 becomes the type B. It is desirable to make it smaller than 30 nm. That is, even if the inner angle of the shoulder 3S is less than 90 °, it is acceptable.
  • type 1A is lower than type 1B. This is because the radius of curvature R 2 of both side edges 2 C of Group 2 is 7 nm, whereas in Type 1 B, R 2 has a gentle curvature of 2 O nm. It is considered that the movement of the domain wall of the recording mark is likely to occur. Therefore, it is preferable that the radius of curvature of both side edges 2C of group 2 in reducing the jitter bottom be at least 2 Onm or more.
  • the radius of curvature R 1 of the shoulder 3 S of the land 3 is selected to be 30 nm or less, and both side edges of the group 2 are selected.
  • the radius of curvature R 2 of 2 C should be at least 2 O nm or more.
  • a concave / convex surface 4 having a group 2 for obtaining a tracking service signal at the time of recording and reproduction and a land 3 for separating these are formed on the recording medium substrate 1.
  • a stamper for inverting the uneven surface 4 is arranged in the mold cavity. To form simultaneously with the molding of the substrate 1.
  • a so-called 2 P is formed by applying an ultraviolet-curing resin onto the substrate 1 and pressing the stamper for transferring and forming the uneven surface 4 onto the coating layer of the resin and pressing the stamper.
  • the uneven surface 4 is formed by the 1 ymerization) method.
  • a manufacturing process of a master for manufacturing the stamper is employed. A method of manufacturing this stamper will be described with reference to the process charts of FIGS. 6 and 7.
  • a substrate 21 having a smooth surface for producing a master for example, a glass substrate is prepared, and a lower layer resist such as a Si-based photoresist is provided on the smooth surface.
  • the lower resist layer and the upper resist layers 31 and 32 are subjected to pattern exposure by electron beam drawing or optical exposure, and then to development processing.
  • An opening 33 W is formed in the group forming portion of the above-mentioned uneven surface 4, and RIE (Reactive Ion Etching) is performed from above the laminated resist layer 33.
  • RIE Reactive Ion Etching
  • oxygen plasma treatment is performed.
  • the portion surrounded by the circle a in FIG. 6C is left with a resist layer 31 having a small etching tint, and the opening 33
  • the oxygen plasma treatment is performed in a state in which the concave portion is formed, so that the shoulder portion of the convex portion 21 3 becomes steep, and the gentle curved side edge of the concave portion 2 12 is formed. It is formed.
  • the resist layer 33 is dissolved and removed.
  • a recess 2 12 having a shape and a depth corresponding to the aforementioned group 2 is formed, and a land 2 13 for separating the recess 2 12 corresponding to the land 3 is formed.
  • a master 35 for tamper making is formed.
  • a nickel plating layer 36 is formed on the master 35 by, for example, an electroless plating and an electrolytic plating.
  • the plating layer 36 is peeled off from the master 35 as shown in FIG. 7A to obtain a stamper 36 on which an uneven surface having an inverted master pattern is formed.
  • a stamper 36 is formed by repeating the same plating.
  • the irregular surface 4 on which the target group 2 and the land 3 are formed is formed by the 2P method or as a stamper in the injection molding, as shown in FIG. 7B.
  • the formed magneto-optical recording medium substrate 1 is obtained.
  • the land 3 having the shoulder 3 S having the required small radius of curvature R 1 described above and the group 2 having the side edge 2 C having the large radius of curvature R 2 are formed.
  • a substrate 1 having a surface 4 is formed.
  • the curvature radii R 1 and R 2 are set to R l ⁇ 30 nm and R 2 ⁇ 20 nm according to the conditions of the RIE and the oxygen plasma processing described above, for example, selection of each processing time. can do.
  • a magneto-optical recording medium is obtained by forming a film formation layer 5 having the film configuration described in FIG. 2, for example, on the substrate 1.
  • the magneto-optical recording medium using the DWDD according to the present invention can perform recording by specifying the radius of curvature R 1 of the shoulder 3 S of the land 3 and the radius of curvature R 2 of both side edges 2 C of the group 2.
  • the power margin is large, the bottom jitter is low, and the error rate is improved.
  • the RI is formed by the laminated resist layer 33 in which the resist layer 31 having a small etching rate is formed as a lower layer.
  • the lower and upper photo resist layers are formed by laminating two layers.
  • the depth of the group is a shallow group of about 35 nm. For this reason, it is possible to perform RIE using a single-layer resist layer to leave the single-layer resist layer at a required thickness, and then perform an oxygen plasma treatment.

Abstract

記録トラックに沿って形成されたグルーブ内を信号記録エリアとするグルーブ記録形態がとられ、磁壁移動検出方式がとられる光磁気記録媒体であって、グルーブを挟むランドにおけるグルーブと隣接する肩部の、記録トラックと直交する断面における曲率半径R1が、30nm以下とされ、記録がなされるグルーブのランドと隣接する内側縁部の、記録トラックと直交する断面における曲率半径R2が、20nm以上とすることによって、記録パワーマージンの拡大、ジッターの改善、エラーレートの改善を図ることができるようにするものである。

Description

明 細 書
光磁気記録媒体
技術分野
本発明は、 光磁気記録媒体、 特に例えばトラッキングサーボ信 号を取り 出すグループが形成された記録媒体において、 そのダル 一ブ内を信号記録エリ アとする、 いわゆるグループ記録形態をと り、 かつ磁壁移動検出方式いわゆる D WD D (D o m a i n W a l l D i s p l a c e m e n t D e t e c t i o n ) によ る再生方式がと られる光磁気記録媒体に関する。 背景技術
光磁気記録媒体にあって、 特に、 DWD D方式による光磁気記 録媒体は、 高密度記録が可能であるこ とから、 重要視されている 光記録媒体である。 この DWD D方式による再生は、 光磁気記録 媒体に対する再生レーザ光の照射による温度分布によって、 記録 マークの磁壁移動を生じさせて、 記録マークを拡大し、 この拡大 された記録マークを読み出すという方式によるものであり、 この よ う にするこ とによって、 記録マークを、 再生光のスポッ ト径に よる限界以下に微小化して、 高記録密度化を図っているものであ る。
この DWD D方式による場合において、 大容量の光磁気記録媒 体を実現するためには、 スムーズな磁壁の移動を実現するこ とが ジッターや、 ビッ トエラーレー トの改善に必要である。
また、 適正な高密度記録を行うためには、 充分な記録パワーマ 一ジンを確保するこ とが必要である。 発明の開示 '
本発明の目的は、 D W D D方式が適用され、 グループ記録によ る光磁気記録媒体において、 確実にスムーズな磁壁移動がなされ るよ う にして、ジッターや、ビッ トエラーレー トの低減化を図り 、 同時に適正な高密度記録を行う こ とができるに充分な、 記録パヮ 一マージンの拡大を図ることができるよ う にした光磁気記録媒体 を提供するこ とである。
すなわち、 本発明は、 グループ記録がなされ、 その再生方式が D W D D方式による光磁気記録記録媒体であり 、 そのグループ、 およびグループを区分するラン ドの、 それぞれの側縁の屈曲部の 形状が、 この媒体の特性、 特に上述した磁壁の移動、 記録パワー マージンに影響するこ とを見出し、 これらの形状の特定によって 上述した目的を達成するものである。
すなわち、 そのラン ドにおける側縁の曲率、 すなわちラン ドの グループと隣接する肩部の記録トラ ック と直交する断面における 曲率半径 R 1 を、 3 0 n m以下と し、 記録がなされるグループの 側縁、 すなわちラン ドと隣接する内側縁の、 記録トラ ック と直交 する断面における曲率半径 R 2 を 2 O n m以上とする。
ここで、 R 1 の下限および R 2の上限は、 実際には、 と もに、 必要とする トラ ッキングサーポ信号が得られる程度の凹凸形状、 および段差が得られる下限および上限となる。
上述したよ う に、 本発明による光磁気記録媒体においては、 通 常の D W D Dに比し、 グループを区分するラン ドの肩部を急峻と することによって、 グループ記録、 具体的には、 レーザ光照射に よる熱記録におけるラ ン ドへの熱の伝達、 更には、 ラン ドを挟ん で隣接する他のグループへの熱の伝達を、減少させることができ、 記録時のク ロ ス トーク の改善、 オーバーライ トの改善が図られ、 記録パワーマージンの拡大が図られるものであり、 同時に通常の D W D Dに比し、 グループの底部の両側縁を滑らかにすることに よって、 再生時の磁壁の移動をスムーズにすることができ、 ジッ ターおよぴビッ トエラーレー トを低減することができるものであ る。 図面の簡単な説明
図 1 は、 本発明による光磁気記録媒体の一例の概略断面図であ り、 図 2は、 本発明による光磁気記録媒体の情報記録層を含む成 膜層の一例の構成図であ り、 図 3 は、 本発明による光磁気記録媒 体の基板形状の説明に供する構成を示す要部の模式的断面図であ り、 図 4 Aおよび Bは、 タイプ一 Aおよびタイプ一 Bによる A F M (原子間力顕微鏡） 写真に基づいて描いたランドおょぴグルー ブの模式的拡大斜視図であり 、 図 5 Aおよび Bは、 図 4 Aおよび Bで示した基板による光磁気記録媒体のマージンを測定した結果 を示す図であり 、 図 6 A〜 Eは、 本発明による光磁気記録媒体を 製造する方法の一例の一部の工程図であり 、 図 7 Aおよび Bは、 図 6で示した製造工程に続く 工程図であり 、 図 8 Aおよび Bは、 図 6 Cおよび Dの要部の拡大断面図である。 発明を実施するための最良の形態
本発明による D W D D方式による光磁気記録媒体の実施の形態 例について説明する。
本発明による光磁気記録媒体は、 例えば図 1 にその要部の概略 断面図を示すよ う に、 記録媒体基板 1例えばディスク基板の少な く と も一主面に、 トラックキングサーポ信号を得る例えば螺旋状、 あるいは同心円状のグループ 2 と、 このグループ 2 を区分するラ ン ド 3 とが形成された凹凸面 4が形成され、 この凹凸面 4に少な く と もそれぞれ磁性層によって構成される記録層と再生層を有す る積層膜 5が形成されて成る。
この積層膜 5 は、 図 2 に断面図を示すよ うに、 記録媒体基板 1 上に、 順次、 例えば非磁性の誘電体層 6 と、 それぞれ磁性層によ る磁壁抗磁力の小さい特性の移動層 7、 低いキュ リー点 T c を有 する切断層 8、 磁壁抗磁力の大きい特性を有する記録層 9が積層 されて成る。
そして、 この積層膜 5上に、 その凹凸面を埋め込むよ う に、 保 護層 1 1が形成される。
この光磁気記録媒体は、 通常状態では、 記録層 9 と移動層 7 と が切断層 8 を介して磁気交換結合された状態にあり、 記録層 9に 記録された記録マークが移動層 7に転写されている。
そして、 再生時には、 レーザ光 Lを、 例えば光磁気記録媒体基 板 1 の背面側から照射し、 D W D Dによる再生、 すなわち再生レ 一ザ光の照射によって再生を行う記録マークの形成部の切断層 8 を、 そのキュ リ ー点以上の温度に昇温し、 移動層 7 と記録層 9 と の交換結合を解除して移動層 7における記録マークの磁壁を、 レ 一ザ光スポッ ト内の温度分布によってグループ 2の延長方向に沿 つて移動させることによって記録マークを拡大して必要充分な再 生出力を得るこ とができるものである。このよ う に、再生時には、 記録マークを拡大するものであることから、 記録マーク 自体は微 細化できるものであり、 したがって、 高密度記録がなされるもの である。
そして、 本発明による光磁気記録媒体においては、 図 3 にその グループ 2 と これに隣接するラン ド 3 との断面図を示すよ う に、 ラン ド 3 のグループ 2 と隣接する屈曲部、 すなわち肩部 3 S と、 グループ 2 のランド 3 と隣接する屈曲部、 すなわち内側縁部のそ れぞれの記録トラック と直交する方向、 すなわちグループの延長 方向と直交する方向の曲率半径 R 1 と、 R 2 とをそれぞれ特定す るものである。
すなわち、 曲率半径 R 1 を、 3 0 n m以下と し、 曲率半径 R 2 を、 2 0 n m以上とする。
そして、 上述したよ う に、 R 1 の下限おょぴ R 2の上限は、 実 際には、 ともに、 必要とする トラッキングサーボ信号が得られる 程度の形状、 および段差が得られる下限および上限となる。
本発明による光磁気記録媒体の特徴を明確化するために、 タイ ブー Aと、 タイプ一 Bの光磁気記録媒体を用意した。
タイプ一 Aは、 グループ 2の両側縁 2 Cの曲率半径 R 2 を 2 0 n mと し、ラン ド 3の肩部 3 Sの曲率半径 R 1 を 6 9 n mと した。 また、 タイプ _ Bは、 ランド 3の肩部 3 Sの曲率半径 R 1 を 3 O n mと し、 グループ 2の両側縁 2 Cの曲率半径 R 2 を 7 n mと' した場合である。
図 4 Aおよび Bは、 これらタイプ一 Aおよびタイプ一 Bによる 記録媒体基板 1 のラン ドおよびグループの、 A F M (原子間カ顕 微鏡 ： A t o m i c F o r c e M i r o s c o p e ) 写真に 基いて描いた模式的斜視図である。
これらタイプ一 Aおよびタイプ一 Bによる光磁気記録媒体は、 厚さ 0. 6 m mのポリ カーボネー トによる基板 1上に、 順次、 厚 さ 4 O n mの S i N膜による誘電体膜、 厚さ 4 0 11 111の 0 (1 ? 6 C o膜による移動層、厚さ 3 n mの T b F e C o膜による制御層、 厚さ 1 O n mの T b F e C o A l 膜による切断層、 厚さ 5 O n m の T b F e C o膜による記録層、 厚さ 1 0 n mの G d F e C o膜 による記録捕助層、 厚さ 3 O n mの S i N膜による誘電体層、 厚 さ 3 0 0 n mの A 1 合金膜による反射膜も しく は温度制御膜を成 膜した。
ここで、 制御層は、 再生時に磁壁移動においてノイズを下げる よ う に制御する働きをなす層であり、 記録補助層は、 記録時に磁 界感度を向上させるための層である。
これらタイプ一 Aおよぴタイプー Bによる光磁気記録媒体に対 してそれぞれ記録パワーマージンを測定した結果を、 図 5 Aおよ ぴ Bに示す。
この場合、 トラックピッチは、 0. 4 4 μ m、 ピッ ト長は、 0. 0 9 IX m . 記録パルスのデューティ比は、 3 3 %と した。
図 5 Aおよび Bにおいて、曲線 5 1 Aおよび 5 1 Bは、それぞれ、 メインのグループと、 これに隣接する両隣り のグループとにそれ ぞれデータ記録を行い、 メイングループに、 書き込まれたデータ 記録上に、 新たに、 他のデータ記録をオーバーライ ト （O . W.) した場合の、 そのメイングループの再生信号のジッターの測定結 果をプロ ッ ト した曲線である。
また、 曲線 5 2 Aおよび 5 2 Bは、 まず、 メイングループに記 録を行い、次に、両隣り のグループにデータ記録を行い、その後、 メイングループに戻ってジッターの測定を行った結果をプロ ッ ト した曲線である。 つま り、 この場合、 隣り のグループの記録によ る影響、すなわちク ロスライ ト （ C . W.) を測定したものである。
こ こで、 ジッターが 1 5 %以下を許容し得るものとする と、 タ イプー Aの場合、 両曲線 5 1 Aおよび 5 2 Aにおいて、 ともにジ ッター 1 5 %以下となる範囲は、 6 . 7 mW± 1 3 %程度である に比し、 タイプ一 Bの場合、 曲線 5 1 Bおよび 5 2 Bは、 7. 6 mW± 2 6 %となり、 記録パワーマージンが拡大している。
すなわち、 ラン ド 3の肩部 3 Sが、 通常よ り急峻と された 3 0 n mと したタイプ一 Bの場合、 ラン ド 3 の肩部 3 Sを緩やかと し たタイプ一 Aに比し、 記録パワーマージンが拡大している。
これは、 · ラン ド 3の肩部 3 Sの屈曲が急峻であるこ とによ り、 グループ 2 に対する記録時のレーザ光照射による熱がラン ドを越 えて放散しにく く なることによる と考えられる。 したがって、 今 後、 更に、 記録密度の向上が図られて、 トラック ピッチが、 狭小 となるにつれ、 ランド 3の肩部 3 Sの曲率半径は、 タイプ一 Bに おける 3 0 n mよ り小とすることが望ま しいものである。つま り、 この肩部 3 Sの内角が、 9 0 ° 未満であってもよレヽものである。
しかしながら、ジッターボ トムに関しては、タイプ一 Aの方が、 タイプ一 Bに比して低い。 これは、 グループ 2の両側縁 2 Cの曲 率半径 R 2が、 7 n mであるに比し、 タイプ一 Bにおいては、 R 2が、 2 O n mという ゆるやかな湾曲と したことによって再生時 の記録マークの磁壁の移動が、 生じやすく なることによる と考え られる。 したがって、 ジッターボ トムの低減においてグループ 2 の両側縁 2 Cの曲率半径は、 少なく とも 2 O n m以上とするこ と がよい。
上述した事柄から、 本発明構成においては、 DWD Dにおける 光磁気記録媒体基板 1 は、 そのラン ド 3の肩部 3 Sの曲率半径 R 1 を 3 0 n m以下に選定し、 グループ 2の両側縁 2 Cの曲率半径 R 2 を少なく とも 2 O n m以上とするものである。
次に、 本発明によるラン ド 3の肩部 3 Sの曲率半径 R 1 と、 グ ループ 2の両側縁 2 Cの曲率半径 R 2 とを有する光磁気記録媒体 を得るこ とができる製造方法の一例を、 図 6〜図 8 を参照して説 明する。
この場合、 その記録再生時の トラ ッキングサーポ信号を得るグ ループ 2 と、 これらを区分するラン ド 3 とを有する凹凸面 4が、 記録媒体基板 1 に形成されるものであり、この凹凸面 4の形成は、 通常における と同様に、 基板 1 をプラスチック、 例えばポリカー ボネー トの射出成型によって成型するに際して、 金型のキヤビテ ィ内に、 凹凸面 4を反転形成するスタンパを配置するこ とによつ て基板 1 の成型と同時に形成する。
あるいは、 基板 1上に紫外線硬化樹脂を塗布して、 この樹脂の 塗布層に、 凹凸面 4 を転写形成するスタンパを押圧して形成し、 紫外線照射によって硬化する、 いわゆる 2 P ( P h o t o P o 1 y m e r i z a t i o n ) 法によって凹凸面 4の开 成を行う。 この製造方法においては、 このスタンパを作製する原盤の製造 工程をとるものである。 図 6およぴ図 7の工程図を参照してこ の スタンパの製造方法を説明する。
先ず、 図 6 Aに示すよ う に、 原盤を作製する平滑面を有する基 板 2 1、 例えばガラス基板を用意し、 その平滑面上に、 例えば S i 系のフォ ト レジス トによる下層レジス ト層 3 1 と、 例えばノポ ラ ック系のフォ ト レジス トによる上層レジス ト層 3 2 との積層レ ジス ト層 3 3 を塗布形成する。
図 6 Bに示すよ うに、 これら下層および上層レジス ト層 3 1 お よび 3 2の積層レジス ト層に対して電子ビーム描画、 あるいは光 学的露光によるパターン露光を行い、 現像処理を行って、 目的と する前述した凹凸面 4のグループ形成部に開口 3 3 Wを穿設する, 積層レジス ト層 3 3の上方から R I E (反応イオンエッチング ： R e a c t i e I o n E t c h i n g ) を行って、 図 6 C に示すよ うに、 上層レジス ト層 3 2がエッチングされる と同時に 開口 3 3 Wを通じて外部に露呈する基板 2 1 の表面をエッチング する。
その後、 酸素プラズマ処理を行う。 このよ う にすると、 図 6 C に円 aで囲んで示す部分を、 図 8 Aで拡大して示すよ う に、 エツ チングレー トの小さいレジス ト層 3 1が残され、 開口 3 3 Wの形 成部では凹部が形成された状態で、 酸素プラズマ処理がなされる こ とによって、 凸部 2 1 3では、 その肩部が急峻となり、 凹部 2 1 2においては、 なだらかに湾曲する側縁が形成される。
その後、 図 6 Dおよぴ図 8 Bに示すよ う に、 レジス ト層 3 3 を 溶解除去する。 こ のよ う にして、 前述したグループ 2に対応する 形状、 深さの凹部 2 1 2が形成され、 ラ ン ド 3に対応する凹部 2 1 2を区分するラ ン ド 2 1 3が形成される。 このよ う にして、 ス タンパ作製の原盤 3 5が形成される。
この原盤 3 5上に、 図 6 Eに示すよ う に、 例えば無電解メ ッキ および電解メ ツキによつて例えば二ッケルメ ッキ層 3 6 を形成す る。
このメ ツキ層 3 6 を、 図 7 Aに示すよ う に、 原盤 3 5から剥離 し、 原盤パターンが反転した凹凸面が形成された、 スタンパ 3 6 を得る。 あるいはこれをマスタスタンパと して、 同様のメ ツキお ょぴ剥離の繰り返しによってスタンパ 3 6 を形成する。
そして、 このスタンパ 3 6 によって、 図 7 Bに示すよ う に、 2 P法によって、あるいは射出成型におけるスタンパと して用いて、 目的とするグループ 2およびラン ド 3が形成された凹凸面 4が形 成された光磁気記録媒体基板 1 を得る。
このよ う にして、 上述した所要の小なる曲率半径 R 1 の肩部 3 Sを有するラン ド 3が形成され、 大なる曲率半径 R 2 の側縁 2 C を有するグループ 2が形成された凹凸面 4 を有する基板 1 が形成 される。 そして、 各曲率半径 R 1 および R 2は、 上述した R I E および酸素プラズマ処理の条件、 例えば各処理時間等の選定によ つて、 R l ≤ 3 0 n mと し、 R 2 ≥ 2 0 n mに選定することがで きる。
そして、 この基板 1 に例えば図 2で説明した膜構成による成膜 層 5を形成するこ とによって光磁気記録媒体を得る。
上述したよ う に、本発明による D W D Dによる光磁気記録媒体は、 ランド 3の肩部 3 Sの曲率半径 R 1 の特定およびグループ 2の両 側縁 2 C の曲率半径 R 2 の特定によって、 記録パワーマージンが 大で、 かつボトムジッターが低く 、 エラーレー ト の改善が図られ る。
また、 本発明製造方法によれば、 下層にエッチングレー ト の小 さレヽレジス ト層 3 1 を形成した積層レジス ト層 3 3 によって R I Eを行う こ とによって、 本発明による光磁気記録媒体を、 特段に 製造工程数の増加をきたすことなく 、 製造することができるもの である。
尚、 上述した例では、 下層おょぴ上層の 2層のフォ ト レジス ト 層を積層して形成した場合であるが、 実際には、 グループの深さ は、 3 5 n m程度の浅いグループであるこ とから、 単層のレジス ト層を用いて、 こ の単層のレジス ト層を所要の厚さに残す R I E を行い、 その後、 酸素プラズマ処理を行う方法によるこ と もでき る。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 記録トラックに沿って形成されたグループ内を信号記録エリ ァとするグループ記録形態がと られ、 磁壁移動検出方式がと られ る光磁気記録媒体であって、
上記グループを挟むラン ドにおける上記グループと隣接する肩 部の、上記記録トラック と直交する断面における曲率半径 R 1.が、 3 0 n m以下と され、
上記記録がなされる上記グループの上記ラン ドと隣接する内側 縁部の、 上記記録トラック と直交する断面における曲率半径 R 2 が、 2 O n m以上と されたことを特徴とする光磁気記録媒体。
2 . 記録媒体基板の少なく とも一主面に、 上記ラン ドとグループ が形成された凹凸面が形成され、 該凹凸面上に、 該凹凸面の形状 を踏襲する表面形状を保持して形成された磁性層を少なく と も有 する積層膜が形成されて成ることを特徴とする請求の範囲第 1項 に記載の光磁気記録媒体。
PCT/JP2003/008536 2002-07-04 2003-07-04 光磁気記録媒体 WO2004006240A1 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP03741199A EP1521254B1 (en) 2002-07-04 2003-07-04 Magneto-optical recording medium
AT03741199T ATE441186T1 (de) 2002-07-04 2003-07-04 Magneto-optisches aufzeichnungsmedium
DE60328988T DE60328988D1 (de) 2002-07-04 2003-07-04 Magneto-optisches aufzeichnungsmedium
US10/488,386 US7257076B2 (en) 2002-07-04 2003-07-04 Magneto-optical recording medium
JP2004519271A JPWO2004006240A1 (ja) 2002-07-04 2003-07-04 光磁気記録媒体
US11/890,617 US7586833B2 (en) 2002-07-04 2007-08-07 Magneto-optical recording medium

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002195729 2002-07-04
JP2002-195729 2002-07-04

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US10488386 A-371-Of-International 2003-07-04
US11/890,617 Continuation US7586833B2 (en) 2002-07-04 2007-08-07 Magneto-optical recording medium

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2004006240A1 true WO2004006240A1 (ja) 2004-01-15

Family

ID=30112348

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2003/008536 WO2004006240A1 (ja) 2002-07-04 2003-07-04 光磁気記録媒体

Country Status (8)

Country Link
US (2) US7257076B2 (ja)
EP (1) EP1521254B1 (ja)
JP (1) JPWO2004006240A1 (ja)
KR (1) KR20050025117A (ja)
AT (1) ATE441186T1 (ja)
DE (1) DE60328988D1 (ja)
TW (1) TWI227480B (ja)
WO (1) WO2004006240A1 (ja)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06302028A (ja) * 1993-04-16 1994-10-28 Tdk Corp 光磁気ディスク
JPH0917031A (ja) * 1995-06-29 1997-01-17 Sony Corp 光ディスク
JPH11120636A (ja) * 1997-10-16 1999-04-30 Canon Inc 光磁気記録媒体
JPH11213470A (ja) 1998-01-22 1999-08-06 Sony Corp 光磁気ディスク及びその製造方法
JP2001110101A (ja) 1999-07-30 2001-04-20 Fujitsu Ltd 記録媒体とその製造方法
JP2001195785A (ja) * 1999-11-01 2001-07-19 Mitsubishi Chemicals Corp 光記録媒体及びその記録再生方法
JP2002367249A (ja) * 2001-06-06 2002-12-20 Canon Inc 記録媒体およびその製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3376697B2 (ja) 1994-06-17 2003-02-10 三菱化学株式会社 光磁気記録媒体及びその再生方法
WO1997038421A1 (en) * 1996-04-10 1997-10-16 Hitachi Maxell, Ltd. Optical recording medium
WO2000072319A1 (fr) 1999-05-19 2000-11-30 Fujitsu Limited Support d'enregistrement de donnees et procede de fabrication dudit support
JP2002216403A (ja) * 2001-01-16 2002-08-02 Canon Inc 光磁気ディスクのアニール方法、及び光磁気ディスク
JPWO2002086882A1 (ja) 2001-04-19 2004-08-12 キヤノン株式会社 光磁気記録媒体
JP2004030817A (ja) 2002-06-27 2004-01-29 Canon Inc 光磁気ディスク

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06302028A (ja) * 1993-04-16 1994-10-28 Tdk Corp 光磁気ディスク
JPH0917031A (ja) * 1995-06-29 1997-01-17 Sony Corp 光ディスク
JPH11120636A (ja) * 1997-10-16 1999-04-30 Canon Inc 光磁気記録媒体
JPH11213470A (ja) 1998-01-22 1999-08-06 Sony Corp 光磁気ディスク及びその製造方法
JP2001110101A (ja) 1999-07-30 2001-04-20 Fujitsu Ltd 記録媒体とその製造方法
JP2001195785A (ja) * 1999-11-01 2001-07-19 Mitsubishi Chemicals Corp 光記録媒体及びその記録再生方法
JP2002367249A (ja) * 2001-06-06 2002-12-20 Canon Inc 記録媒体およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP1521254A1 (en) 2005-04-06
US20080002530A1 (en) 2008-01-03
DE60328988D1 (de) 2009-10-08
US7257076B2 (en) 2007-08-14
US7586833B2 (en) 2009-09-08
EP1521254B1 (en) 2009-08-26
TW200414171A (en) 2004-08-01
JPWO2004006240A1 (ja) 2005-11-04
ATE441186T1 (de) 2009-09-15
TWI227480B (en) 2005-02-01
EP1521254A4 (en) 2008-05-28
US20050030837A1 (en) 2005-02-10
KR20050025117A (ko) 2005-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20050226136A1 (en) Magnetooptic recording medium and method for producing the same
US6731589B2 (en) Substrate for optical recording media, optical recording medium, manufacturing process for optical recording media, and optical recording/reproducing method
WO2004006240A1 (ja) 光磁気記録媒体
WO2005062301A1 (ja) 光磁気記録媒体およびその製造方法、光磁気記録媒体用基板、並びに、母型スタンパおよびその製造方法
US20080199602A1 (en) Method for manufacturing magneto-optical recording medium
JPH11126386A (ja) 光磁気記録媒体
JP4073675B2 (ja) 光情報記録媒体、光情報記録媒体用基板、該基板製造用のスタンパ、及び該スタンパの製造方法
JP3787515B2 (ja) 光ディスク基板用スタンパーおよびその製造方法
JPH0413253A (ja) 光磁気メモリ素子及びその作製方法
JP3895221B2 (ja) 光情報記録媒体、光情報記録媒体の製造方法
JPH11312342A (ja) 光磁気記録媒体
US20060028925A1 (en) Processing scheme for domain expansion rom media
JP4160630B2 (ja) 光磁気記録媒体
JP2006048922A (ja) 光記録媒体
JPH1092032A (ja) 光磁気記録媒体用基板およびその製造方法
JP2937045B2 (ja) 光磁気記録媒体及びその製造方法
JP2006179156A (ja) 光磁気記録媒体
JPH09245378A (ja) 光ディスク
JP2002367249A (ja) 記録媒体およびその製造方法
JP2001297496A (ja) 光磁気記録媒体及びその製造方法
JPH10320858A (ja) 光磁気記録媒体
JP2003109258A (ja) 光記録媒体
JP2001229587A (ja) 光ディスク基板
JP2002319199A (ja) 光記録媒体
JP2006092589A (ja) 光磁気記録媒体及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): JP KR US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PT RO SE SI SK TR

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2004519271

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020047003167

Country of ref document: KR

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2003741199

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10488386

Country of ref document: US

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2003741199

Country of ref document: EP