WO2003094257A1 - Siliziumpartikel als additive zur verbesserung der ladungsträgermobilität in organischen halbleitern - Google Patents

Siliziumpartikel als additive zur verbesserung der ladungsträgermobilität in organischen halbleitern Download PDF

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WO2003094257A1
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Marcus Halik
Hagen Klauk
Günter Schmid
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Infineon Technologies Ag
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Definitions

  • Silicon particles as additives to improve charge carrier mobility in organic semiconductors
  • the invention relates to a semiconductor device with a semiconductor path made of an organic semiconductor material and a method for producing a semiconductor device.
  • Semiconductor chips have found wide use in a wide variety of technical applications. However, their manufacture is still very complex and expensive. Silicon substrates can be thinned down to very thin layers, making them flexible. However, these methods are also very expensive, so that flexible or curved microchips are only suitable for demanding applications in which increased costs can be accepted.
  • organic semiconductors offers the possibility of inexpensive manufacture of microelectronic semiconductor circuits on flexible substrates.
  • One application is, for example, a thin film with integrated controls for liquid crystal displays.
  • Another field of application is transponder technology, where so-called tags e.g. Information about a product is stored.
  • Organic semiconductors are easily accessible and can be structured very easily, for example, by printing processes.
  • the use of such organic semiconductors is currently still limited by the low mobility of the charge carriers in the organic polymeric semiconductors. This is currently a maximum of 1 to 2 cm 2 / Vs.
  • the maximum operating frequency of transistors, and thus of the electronic circuit, is limited by the mobility of the charge carriers. Mobility in the order of 1CT 1 cm 2 / Vs is sufficient for driver applications in the manufacture of TFT active matrix displays. So far, however, the organic semiconductors are still suitable for high-frequency applications Not. For technical reasons, wireless information transmission (RF-ID systems) can only take place above a certain minimum frequency.
  • RFID systems wireless information transmission
  • carrier frequencies 125 kHz or 13.56 MHz are widespread.
  • Such systems are used, for example, for the identification or identification of objects in smart cards, ident tags or electronic stamps.
  • the electrical conductivity of many organic semiconductor materials can be increased by introducing suitable dopants.
  • achieving positional selectivity when doping is problematic.
  • the dopants are not bound to a specific position in the organic semiconductors and can move freely within the material. Even if the doping process can initially be restricted to a specific area, for example the areas around the source and drain contacts, one will occur later Migration of the dopants through the entire organic semiconductor layer under the influence of the electric field that is applied between the source and drain contacts in order to operate the transistor.
  • Electrically semiconducting polymers are required, for example, in field effect transistors or electronic components that are based on a field effect.
  • a description of such an arrangement can be found, for example, in MG Kane, J. Campi, MS Hammond, FP Cuomo, B. Greening, CD Sheraw, JA Nichols, DJ Gundlach, JR Huang, CC Kuo, L. Jia, H. Klauk, TM Jackson, IEEE Electron Device Letters, Vol. 21, No. 11 (2000), 534 or D. J. Gundlach, H. Klauk, C. D. Sheraw, C. C. Kuo, J. R. Huang, T. N. Jackson, 1999 International Electron Devices Meeting, December 1999.
  • the object of the invention is therefore to provide a semiconductor device with a semiconductor path made of an organic semiconductor material which can be easily represented, the electrical properties of the organic semiconductor, in particular its electrical conductivity, being improved.
  • the object is achieved with a semiconductor device having a semiconductor path comprising an organic Halbleiterma ⁇ TERIAL, wherein along the semiconductor path Halbleiterparti- kel and / or semiconductor clusters are contained in the organic semiconductor material.
  • the arrangement of semiconductor particles and / or semiconductor clusters in the organic semiconductor material can significantly increase the mobility of the charge carriers in comparison to corresponding pure organic semiconductors.
  • the conductivity of the organic semiconductor material depends on the proportion of the semiconductor particles and / or semiconductor clusters in the organic semiconductor material, and on the material from which the semiconductor particles and / or semiconductor clusters are made. If semiconductor particles and / or semiconductor clusters made of different materials are provided in the semiconductor path, the electrical conductivity is also influenced by the mixing ratio of the components. In this way, the electrical conductivity of the semiconductor path can be set to a desired value. In this way, for example, the threshold voltage and the turn-off behavior of transistors can be influenced, or the threshold voltage and the turn-off behavior of the transistors can be set by the type and amount of the semiconductor particles and / or semiconductor clusters used.
  • a semiconductor path is a line path between two contacts that is made up of an organic semiconductor material.
  • the charge carriers, electrons or holes, are injected into the semiconductor path at the first contact, pass through the semiconductor path and are extracted again from the conductor path at the second contact.
  • along the semiconductor path means a direction or a path along which the charge carriers move from the first contact to the second contact.
  • Semiconductor particles are understood to mean individual particles which consist of a semiconductor material, preferably an inorganic semiconductor material.
  • the parti kel can have any shape in itself, that is spherical, plate-shaped or rod-shaped.
  • the diameter of the particles is preferably from 2 nm to 100 ⁇ m, preferably from 2 to 100 nm.
  • the semiconductor particles can be present as individual particles or can also form agglomerates from several particles.
  • Semiconductor clusters are understood to mean compounds with at least three metal atoms, each of the metal atoms being chemically linked to at least two other metal atoms via a metal-metal bond.
  • the metals of the semiconductor cluster can be the same or different.
  • the metals can be stabilized at their free coordination sites by ligands, for example carbonyl or cyclopentadienyl groups.
  • Elements of the subgroups for example Ru, Co, Rh, Pt, Au, Pd, or Fe, can preferably be used as metals in the semiconductor clusters.
  • Element semiconductors from the IV group of the periodic table such as Si and Ge, and III / V semiconductors, such as GaAs or InP, Ilb / VI semiconductors, for example compounds of zinc or cadmium, can be used as semiconductors from which the semiconductor particles are constructed with oxygen, sulfur, selenium or tellurium, Ib-VII semiconductors such as CuCl and other semiconductors, such as certain modifications of S, Se, Te and P, or semiconductors made of compounds such as Cu 2 0, Ti0 2 , GaSe.
  • the conductivity of the semiconductor materials can be influenced by a corresponding doping in order to obtain p-Si or n-Si, for example.
  • suitable compounds are condensed aromatics, such as anthracene, tetrazene or pentazene, polymeric aromatic compounds, such as polyphenylenes or polynaphthalene derivatives, electrically semiconducting compounds based on polythiophene, for example poly-3-hexylthiophene-2, 5-diyl, or electrically semiconducting compounds based on polyvinylthiophene or polyaniline.
  • other organic semiconductor compounds can also be used.
  • the organic semiconductor materials can have a doping, for example camphorsulfonic acid or polystyrene sulfonic acid.
  • the materials used for the production of the semiconductor section of the semiconductor device according to the invention are easily accessible and some of them can also be obtained from commercial suppliers.
  • the organic semiconductor materials or precursors for the production of the organic semiconductor materials are mostly readily soluble in organic solvents. Solutions or suspensions can also be produced from the semiconductor particles or semiconductor clusters.
  • the surface of the semiconductor particles can also be modified, for example by coordinating nonpolar alkyl chains via a corresponding group to the surface of the nanoparticles.
  • the components of the semiconductor path, organic semiconductors and semiconductor particles and / or semiconductor clusters can therefore be provided in dissolved form or as a suspension and applied to a substrate in liquid form.
  • the semiconductor path of the semiconductor device according to the invention can be produced, for example, by simple printing processes, which considerably simplifies and reduces the cost of producing the semiconductor element.
  • the semiconductor particles and / or semiconductor clusters bring about a considerable reduction in the contact resistance. If the particle material and the material of the contacts have different work functions for the charge carriers, asymmetrical diffusion processes of charge carriers occur on the contact surface between the particles on the one hand and the material of the contacts on the other. The resulting interface potential between the particles and the contact material is compensated for at very short distances, a few tenths of a nanometer, because of the high electrical conductivities in the two materials.
  • the semiconductor particles and / or the semiconductor clusters are preferably statistically distributed in the volume of the organic semiconductor material.
  • the semiconductor particles and / or the semiconductor clusters are distributed uniformly throughout the organic semiconductor material.
  • the organic semiconductor material and the semiconductor particles or the semiconductor clusters can be dissolved in a common solvent and applied together on a substrate.
  • organic semi ⁇ conductor material and to make semiconductor particles or semiconductor clusters in separate solutions or suspensions ready and simultaneously apply the solutions to a substrate in the production of the semiconductor path. After the solvent has evaporated, the semiconductor particles and / or semiconductor clusters are fixed in the organic semiconductor material, the semiconductor particles or semiconductor clusters no longer migrating even under the influence of an electric field.
  • the semiconductor particles and / or the semiconductor clusters are arranged essentially on a surface along the semiconductor path made of the organic semiconductor material.
  • the semiconductor path can be produced in such a way that a layer of semiconductor particles or semiconductor clusters is first applied to a substrate and a layer made of the organic semiconductor material is applied to the layer of semiconductor particles or semiconductor clusters.
  • the procedure can also be carried out in the reverse order, a layer of an organic semiconductor material being first produced on a substrate and then the semiconductor particles or semiconductor clusters being deposited on an exposed surface of the organic semiconductor material opposite the substrate.
  • the semiconductor particles or semiconductor clusters are preferably arranged in such a way that the contact areas between the first or second contact and organic semiconductor material are also covered by the semiconductor particles or semiconductor clusters. The area on which the semiconductor particles and / or the semiconductor clusters are arranged thus generally extends between the first and second contact.
  • the semiconductor particles and / or semiconductor clusters are connected by linker molecules.
  • Linker molecules are molecules that have at least two groups that can coordinate to the surface of a semiconductor particle or a semiconductor cluster.
  • the linker molecules preferably have a between the functional groups arranged conjugated ⁇ electron system.
  • the linker molecules open up further conduction paths within the organic semiconductor material, so that the conduction properties of the semiconductor path can be further improved.
  • the linker molecules further fix the semiconductor particles or semiconductor clusters within the organic semiconductor material.
  • the linker molecules can be bound to the surface of a semiconductor particle or semiconductor cluster via coordinative bonds, for which purpose the linker molecule has, for example, thiol groups or amino groups.
  • the linker molecules are preferably connected to the semiconductor particle and / or the semiconductor cluster by a covalent bond.
  • Such semiconductor particles can be obtained by first activating the surface of the semiconductor particles, e.g. by chlorination, and the activated semiconductor particles are then reacted with suitable ligands, e.g. Thiols, alcohols, amines or carbanions.
  • the semiconductor particles and / or semiconductor clusters are preferably isolated or arranged in the organic semiconductor material as isolated agglomerates of semiconductor particles and / or semiconductor clusters.
  • the average distance between the nanoparticles and / or nanoclusters or agglomerates of nanoparticles or nanoclusters can be selected within wide ranges. An average distance in a range from approximately 0.1 nm to 5000 nm is suitable, for example.
  • the semiconductor properties of the semiconductor path are essentially determined by the organic semiconductor material, the electrical conductivity properties of the organic semiconductor material being modified by the addition of semiconductor particles and / or semiconductor clusters.
  • the proportion of semiconductor particles and / or semiconductor clusters in the Semiconductor path is therefore preferably chosen to be less than 50% by volume.
  • the semiconductor device is preferably designed as a transistor.
  • the semiconductor path is supplemented by a source, drain and gate electrode to form a transistor.
  • a material with high conductivity can preferably be selected as the material for the contacts. Suitable are, for example, electrically conductive metals, such as gold, titanium or palladium, or also an electrically conductive polymer, such as, for example, polyaniline doped with camphorsulfonic acid or poly (dioxyethylene) thiophene doped with polystyrene sulfonic acid.
  • the contact material should have the highest possible electrical conductivity.
  • Conventional materials such as silicon dioxide, aluminum oxide or an insulating polymer such as polystyrene, polyethylene, polyester, polyurethane, polycarbonate, polyacrylate, polyimide, polyether, polybenzoxazoles or mixtures of these compounds can be used to isolate the gate electrode.
  • an insulating polymer such as polystyrene, polyethylene, polyester, polyurethane, polycarbonate, polyacrylate, polyimide, polyether, polybenzoxazoles or mixtures of these compounds can be used to isolate the gate electrode.
  • the semiconductor element according to the invention can be produced very inexpensively from readily accessible materials and is therefore particularly suitable for use in devices which are subject to high cost pressures, such as labels for labeling goods.
  • the invention therefore also relates to a method for producing the semiconductor device described above, wherein a solution or suspension of an organic semiconductor and of semiconductor particles and / or semiconductor clusters is produced in a solvent, the solution is applied to a substrate and the solvent is evaporated to obtain a Semiconductor path, and the semiconductor path is supplemented by further components to form a semiconductor element.
  • the semiconductor particles and / or semiconductor clusters evenly distributed in the organic semiconductor of the semiconductor path.
  • the common solution of organic semiconductor material and semiconductor particles or semiconductor clusters can first be produced and then applied to the substrate.
  • the semiconductor particles or the semiconductor clusters are thus embedded in the volume of the organic semiconductor material.
  • a first solution of an organic semiconductor is produced in a solvent, and a second solution or suspension of semiconductor particles and / or semiconductor clusters in a solvent, so that separate solutions of organic semiconductor material or Semiconductor particles and / or semiconductor clusters are used.
  • the solvents of the two solutions or suspensions can be the same or different.
  • a substrate is then provided, as in the embodiment described above, and a layer stack is produced on the substrate from at least a first and a second layer, the one of the first and second layers being produced from the first solution and the other layer from the second solution so that a semiconductor path is obtained.
  • the semiconductor path is then supplemented by further components to form a semiconductor device.
  • Inflexible substrates such as glass or quartz supports, for example, can be used as the substrate in the manufacture of the semiconductor device according to the invention also silicon wafers.
  • flexible substrates are preferably used, such as, for example, plastic films made of, for example, polystyrene, polyethylene, polyester, polyurethane, polycarbonate, polyacrylate, polyimide, polyether or polybenzoxazoles or also paper.
  • Components of the semiconductor device for example source, drain and gate electrodes, can already be defined on the substrate, the gate electrode being insulated with a corresponding gate dielectric.
  • the solution or solutions which contain the organic semiconductor material or the semiconductor particles and / or semiconductor clusters are then placed on the substrate.
  • the problem can be solved, for example, by spin coating, spraying, dipping or preferably by printing. If a layer of semiconductor particles is first produced on the substrate, these can also be deposited, for example, by vapor deposition.
  • organic semiconductor material and semiconductor particles or semiconductor clusters can be applied to the substrate together or in order to produce a layer structure. To produce a layer structure, either the organic semiconductor material can first be applied to the substrate and then a layer of semiconductor particles or semiconductor clusters can be applied to the layer of organic semiconductor material, or a layer of semiconductor particles or semiconductor clusters can first be deposited on the substrate and a layer of the organic semiconductor material is applied to the layer of semiconductor particles or semiconductor clusters.
  • the semiconductor path is completed to form a semiconductor element, for example by defining and depositing insulating layers or contacts on the semiconductor path.
  • the semiconductor element is then integrated into a corresponding circuit via conductor tracks.
  • the linker molecules can preferably be placed in a separate solution, so that the nanoparticles and the linker molecules form a network on the substrate by coordination, in which the semiconductor particles and / or the semiconductor clusters each represent branch points.
  • the semiconductor particles arranged in the organic semiconductor need not be completely crosslinked by linker molecules. It is also possible for only some of the semiconductor particles to be crosslinked by linker molecules and for free semiconductor particles to be arranged in the organic semiconductor in addition to the crosslinked semiconductor particles.
  • the nanoparticles can either be applied directly, or a solution can first be generated from a soluble precursor of the particle material and the nanoparticles can then only be generated after the deposition, for example by coagulation.
  • the semiconductor particles and / or semiconductor clusters can also be surface-functionalized first, for example by coordinating alkyl chains to the surface of the semiconductor particles and / or semiconductor clusters via corresponding functional groups , It is also possible to first activate the surface of the semiconductor particles and / or semiconductor clusters and then to implement them with a surface-functionalizing compound in order to covalently bind the surface-functionalizing compound to the semiconductor particle and / or the semiconductor cluster.
  • the same methods and materials can be used for this, as explained above for the linker molecules.
  • the invention is explained in more detail below with reference to an accompanying drawing and examples. It shows:
  • FIG. 1 shows embodiments of the semiconductor device according to the invention, the semiconductor particles being statistically distributed in the organic semiconductor material
  • FIG. 2 shows embodiments of the semiconductor device according to the invention, semiconductor particles being arranged along a surface of the semiconductor path;
  • FIG 3 shows an embodiment of the semiconductor device according to the invention, in which the semiconductor particles are linked by linker molecules
  • Fig. 6 is a graph in which the charge carrier mobility is shown for different field effect transistors.
  • FIG. 1 shows two embodiments of a transistor which comprises a semiconductor path 1 which is arranged between a source electrode 2 and a drain electrode 3.
  • the formation of a charge carrier channel can be controlled by the field of the gate electrode 4, which is insulated by a dielectric 5 from the semiconductor path 1 or source electrode 2 and drain electrode 3.
  • source electrode 2 and drain electrode 3 are arranged together with the semiconductor path 1 directly on the dielectric, while in the arrangement shown in FIG. 1b, the source electrode 2 and drain electrode 3 are arranged as top electrodes on the layer of the semiconductor path 1.
  • the semiconductor path 1 is constructed from an organic semiconductor material 6, which forms a continuum between the source electrode 2 and the drain electrode 3.
  • Semiconductor particles 7 are embedded in the semiconductor material 6.
  • the semiconductor particles 7 or agglomerates of semiconductor particles formed from a plurality of semiconductor particles 7a to d are arranged in isolation from one another.
  • the semiconductor particles 7 are statistically arranged in the volume of the organic semiconductor material 6 or the semiconductor path 1.
  • the contact resistance for the transfer of charge carriers between the source electrode 2 or drain electrode 3 and the organic semiconductor material 6 can be significantly reduced by semiconductor particles 7f, 7g arranged adjacent to the surface 2a of the source electrode 2 or the surface 3a of the drain electrode 3.
  • FIG. 2 shows a further possibility of arranging the semiconductor particles 7 and the organic semiconductor material 6.
  • the structure of the transistors shown in FIGS. 2a and 2b corresponds to the structure described in FIGS. 1a and 1b.
  • the semiconductor particles 7 are not distributed statistically in the volume of the organic semiconductor material 6, but rather along a surface 8 of the semiconductor path 1.
  • the surface 8 corresponds to the interface between organic semiconductor material 6 and the dielectric 5 and also includes the surface sections 2a and 3a, which are formed between the source electrode 2 and the semiconductor path 1 or drain electrode 3 and the semiconductor path 1.
  • the semiconductor particles 7 are arranged at a distance from one another along this surface.
  • the semiconductor particles 7f, 7g arranged on the surfaces 2a and 3a in turn can reduce the contact resistance for the transfer of charge carriers between the source electrode 2 and the semiconductor path 1 or the semiconductor path 1 and the drain electrode 3.
  • the semiconductor particles 7 are arranged along a surface 8 of the semiconductor path 1, which is arranged opposite the dielectric 5.
  • the organic semiconductor material 6 is first deposited on the dielectric 5 and, after the formation of a layer of the organic semiconductor material 6, the semiconductor particles 7 are deposited on the upper side of this layer.
  • the source electrode 2 and drain electrode 3 are shown, so that the semiconductor path 1 is supplemented to form a field effect transistor.
  • semiconductor particles 7f, 7g are arranged on the contact surfaces 2a and 3a in order to reduce the charge transfer between the source electrode 2 and organic semiconductor material 6 or organic semiconductor material 6 and drain electrode 3.
  • the arrangements of field effect transistors shown in FIG. 3 correspond to the arrangements shown in FIGS. 1A and 1B.
  • the semiconductor particles 7 are statistically distributed in the volume of the semiconductor path 1.
  • linker molecules 9 are provided, by means of which neighboring semiconductor particles 7 are covalently linked.
  • the semiconductor particles 7 and the linker molecules 9 do not have to form a continuous network.
  • Si particles used in the aforementioned examples were produced by methods as described in the following references 1 to 3.
  • KSi potassium silicide
  • the activated nanoparticles can be placed in an inert dry solvent under a dry argon atmosphere
  • Example 2 5 g of the chlorine-activated microparticles obtained in Example 1 are quenched in a fluidized bed reactor under a nitrogen atmosphere at 150 ° C. with 300 ml of 1-butanol. After cooling to room temperature, a suspension of butoxy-functionalized microparticles in butanol is obtained, which are isolated as a gray-brown powder by washing with water and subsequent drying under reduced pressure.
  • Example 4 5 g of the chlorine-activated nanoparticles obtained in Example 4 are suspended in 100 ml of diethyl glycol in a round-bottom flask equipped with a reflux condenser and an argon purge, and 10 ml of 1-butanol are slowly added. The mixture is then cooled at room temperature for 12 hours. The mixture is taken up in n-hexane and washed three times with water. The hexane phase is dried and the solvent is distilled off under reduced pressure.
  • Example 2 4 g of the chlorine-activated nanoparticles obtained in Example 2 are suspended in 70 ml of diethyl glycol in a round-bottom flask equipped with a reflux condenser and an argon purge, and 12 ml of 2.5M butyllithium in hexane are slowly added. The mixture is then stirred at room temperature for 12 hours. The mixture is taken up in hexane and washed three times with water. The organic phase is dried and the solvent is distilled off.
  • Example 4 5 g of the chlorine-activated nanoparticles obtained in Example 4 are suspended in 100 ml of diethyl glycol in a round-bottom flask equipped with a reflux condenser and argon purge, and 10 ml of 1,4-butanediol are slowly added. The mixture is then stirred at room temperature for 12 hours. The mixture is filtered and washed three times with water and twice with methanol. After drying in vacuo, 5.1 g of brown powder are obtained.
  • Example 2 5 g of the chlorine-activated microparticles obtained in Example 1 are quenched in a fluidized bed reactor and in a nitrogen atmosphere at 150 ° C. with 15 ml of 1,4-dimercaptobutane. After cooling to room temperature, the product is washed with 100 ml of diethyl glycol from the reactor cell. A gray-brown powder is isolated by washing with water and then drying in vacuo:
  • Example 5 0.5 g of the chlorine-activated nanoparticles obtained in Example 5 are suspended in 50 ml of diethyl glycol in a round-bottom flask equipped with a reflux condenser and an argon purge, and 3 ml of 2.0 M hexylmagnesium bromide in ether are slowly added. The mixture is then stirred at room temperature for a further 12 hours. The mixture is filtered and extracted three times with water and twice with n-hexane. After drying the hexane phase and distilling off the solvent under reduced pressure, 80 mg of brown powder are obtained.
  • Example 12 20 mg of the butyl-functionalized silicon nanoparticles obtained in Example 12 are dissolved in a solution of 20 mg of poly-3-hexylthiophene-2,5-diyl in 2.5 ml of chloroform. The solution is applied with a syringe to a silicon wafer prepared with transistor structures (bottom contact) and spun at 2000 revolutions per minute. The film is then annealed at 75 ° C under a nitrogen atmosphere for 4 minutes.
  • Example 18 20 mg of the hexyl-functionalized silicon nanoparticles obtained in Example 14 are dissolved in a solution of 20 mg of poly-3-hexylthiophene-2,5-diyl in 2.5 ml of chloroform. The solution is applied with a syringe to a silicon wafer prepared with transistor structures (bottom contact) and spun out at 2000 rpm. The film is then annealed at 75 ° C. under a nitrogen atmosphere for 4 minutes.
  • Example 18 20 mg of the hexyl-functionalized silicon nanoparticles obtained in Example 14 are dissolved in a solution of 20 mg of poly-3-hexylthiophene-2,5-diyl in 2.5 ml of chloroform. The solution is applied with a syringe to a silicon wafer prepared with transistor structures (bottom contact) and spun out at 2000 rpm. The film is then annealed at 75 ° C. under a nitrogen atmosphere for 4 minutes.
  • Example 18 20 mg of the he
  • Example 14 40 mg of the hexyl-functionalized silicon nanoparticles obtained in Example 14 are dissolved in a solution of 20 mg of poly-3-hexylthiophene-2,5-diyl in 3.5 ml of chloroform. The solution is applied with a syringe to a silicon wafer prepared with transistor structures (bottom contact) and spun out at 2000 rpm. The film is then annealed at 75 ° C under a nitrogen atmosphere for 4 minutes.
  • Example 14 10 mg of the hexyl-functionalized silicon nanoparticles obtained in Example 14 are dissolved in a solution of 20 mg of poly-3-hexylthiophene-2,5-diyl in 2 ml of chloroform. The solution is applied with a syringe to a silicon wafer prepared with transistor structures (bottom contact) and spun out at 2000 rpm. The film is then annealed at 75 ° C. under a nitrogen atmosphere for 4 minutes.
  • Example 10 20 mg of the hexyl-functionalized silicon microparticles obtained in Example 10 are suspended in a solution of 20 mg of poly-3-hexylthiophene-2,5-diyl in 2.5 ml of chloroform. This suspension is applied with a syringe to a silicon wafer prepared with transistor structures (bottom contact) and spun out at 2000 rpm. The film is then annealed at 50 ° C for 4 minutes under a nitrogen atmosphere.
  • a milliliter of a solution of 20 mg of the hexyl-functionalized silicon nanoparticles in 1.5 ml of chloroform obtained in Example 14 is placed with a syringe on a silicon wafer prepared with transistor structures (bottom contact) and spun at 2000 rpm. The film is then annealed at 75 ° C for 4 minutes under a nitrogen atmosphere. Then one milliliter of a solution of 20 mg of poly-3-hexylthiophene-2,5-diyl in 2.5 ml of chloroform is added to this layer and spun at 2000 rpm. The film is then annealed at 75 ° C for 4 minutes under a nitrogen atmosphere.
  • the current-voltage characteristics are determined for the field effect transistors produced in Examples 17 to 19.
  • the characteristic curve of a transistor was determined which contained poly-3-hexylthiophene-2,5-diyl (PHT) as an active component without the addition of inorganic particles.
  • Example 21 The current-voltage characteristics of the field effect transistor produced in Example 21 and, in comparison, the characteristic of a transistor with poly-3-hexylthiopen-2, 5-diyl (PHT) as an active component without the addition of inorganic particles, which were produced under the same conditions had been determined.
  • the current-voltage characteristic is shown in FIG. 5.
  • the mobilities of the charge carriers were determined with the field effect transistors used in Examples 23 and 24.
  • a field effect transistor was used, which comprises poly-3-hexylthiphene-2,5-diyl (PHT) as an active component without the addition of inorganic particles.
  • PHT poly-3-hexylthiphene-2,5-diyl
  • the charge carrier mobilities are shown in FIG. 6. In all the cases described, the charge carrier mobility improves by at least a factor of 2.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Halbleitereinrichtung mit einer Halbleiterstrecke aus einem organischen Halbleitermaterial. Im organischen Halbleitermaterial sind statistisch Halbleiterpartikel oder Halbleitercluster verteilt. Die Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster können auch durch Linkermoleküle verknüpft sein. Durch die Zugabe von Halbleiterpartikeln in das organische Halbleitermaterial können die elektrischen Eigenschaften beispielsweise eines Feldeffekttransistors, welcher eine derartige Halbleiterstrecke umfasst, verbessert werden.

Description

Beschreibung
Siliziumpartikel als Additive zur Verbesserung der Ladungsträgermobilität in organischen Halbleitern
Die Erfindung betrifft eine Halbleitereinrichtung mit einer Halbleiterstrecke aus einem organischen Halbleitermaterial sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Halbleitereinrichtung.
Halbleiterchips haben eine breite Verwendung in vielfältigen technischen Anwendungen gefunden. Ihre Herstellung ist jedoch noch immer sehr aufwändig und teuer. Siliziumsubstrate können zwar bis auf sehr geringe Schichtdicken gedürint werden, so dass sie flexibel werden. Diese Verfahren sind jedoch ebenfalls sehr teuer, so dass flexible oder gekrümmte Mikrochips nur für anspruchsvolle Anwendungen geeignet sind, bei denen erhöhte Kosten in Kauf genommen werden können. Die Verwendung organischer Halbleiter bietet die Möglichkeit einer kostengünstigen Herstellung mikroelektronischer Halbleiterschaltungen auf flexiblen Substraten. Eine Anwendung ist zum Beispiel eine dünne Folie mit integrierten Steuerelementen für Flüssigkristallbildschirme. Ein weiteres Anwendungsfeld ist die Transpondertechnologie, wo auf sogenannten Tags z.B. Informationen über eine Ware gespeichert sind.
Organische Halbleiter sind leicht zugänglich und lassen sich zum Beispiel durch Druckprozesse sehr einfach strukturieren. Die Anwendung derartiger organischer Halbleiter ist zur Zeit jedoch noch durch die geringe Mobilität der Ladungsträger in den organischen polymeren Halbleitern begrenzt. Diese liegt derzeit bei maximal 1 bis 2 cm2/Vs. Die maximale Arbeitsfrequenz von Transistoren, und damit der elektronischen Schaltung, wird durch die Mobilität der Ladungsträger begrenzt. Mobilitäten in der Größenordnung von 1CT1 cm2/Vs sind zwar für Treiberanwendungen bei der Herstellung von TFT-Aktiv- Matrix-Displays ausreichend. Für Hochfrequenzanwendungen eignen sich die organischen Halbleiter bisher jedoch noch nicht. Eine drahtlose Informationsübertragung (RF-ID Systeme) kann aus technischen Gründen nur oberhalb einer bestimmten Mindestfrequenz erfolgen. In Systemen, die ihre Energie direkt aus dem elektromagnetischen Wechselfeld ziehen und damit auch keine eigene Spannungsversorgung besitzen, sind Trägerfrequenzen von 125 kHz bzw. 13,56 MHz weit verbreitet. Derartige Systeme werden zum Beispiel für die Identifikation oder Kennzeichnung von Gegenständen in Smart Cards, Ident- Tags oder elektronischen Briefmarken verwendet.
Um den Ladungsträgertransport in organischen Halbleitern zu verbessern, wurden Verfahren entwickelt, in denen halbleitende Moleküle, beispielsweise Pentazen oder Oligothiophene, möglichst geordnet abgeschieden werden können. Dies ist beispielsweise durch Vakuumsublimation möglich. Ein geeignetes Abscheiden des organischen Halbleiters führt zu einer Erhöhung der Kristallinität des Halbleitermaterials. Durch die verbesserte π-π-Überlappung zwischen den Molekülen bzw. den Seitenketten kann die Energiebarriere für den Ladungsträgertransport abgesenkt werden. Durch Substitution der halbleitenden Moleküleinheiten durch sperrige Gruppen bei der Abscheidung des organischen Halbleiters aus der Flüssig- oder Gasphase können Domänen erzeugt werden, die flüssigkristalline Eigenschaften aufweisen. Ferner sind Syntheseverfahren entwickelt worden, bei denen durch den Einsatz asymmetrischer Monomere eine möglichst hohe Regioregularität in dem Polymer erreicht wird.
Die elektrische Leitfähigkeit vieler organischer Halbleitermaterialien kann wie bei anorganischen Halbleitern durch das Einbringen geeigneter Dotiersubstanzen erhöht werden. Die Erzielung positioneller Selektivität beim Dotieren ist jedoch problematisch. Die Dotiersubstanzen sind in den organischen Halbleitern nicht an eine bestimmte Position gebunden und können sich innerhalb des Materials frei bewegen. Selbst wenn der Dotierungsprozess ursprünglich auf einen bestimmten Bereich, zum Beispiel die Bereiche um die Source- und Drainkontakte, beschränkt werden kann, kommt es später zu einer Wanderung der Dotiersubstanzen durch die gesamte organische Halbleiterschicht unter dem Einfluss des elektrischen Feldes, das zwischen den Source- und Drainkontakten angelegt wird, um den Transistor zu betreiben.
Elektrisch halbleitende Polymere werden beispielsweise in Feldeffekttransistoren oder elektronischen Bauteilen benötigt, die auf einem Feldeffekt beruhen. Eine Beschreibung einer derartigen Anordnung findet sich zum Beispiel in M. G. Kane, J. Campi, M. S. Hammond, F. P. Cuomo, B. Greening, C. D. Sheraw, J. A. Nichols, D. J. Gundlach, J. R. Huang, C. C. Kuo, L. Jia, H. Klauk, T. M. Jackson, IEEE Electron Device Letters, Vol. 21, No. 11 (2000), 534 oder D. J. Gundlach, H. Klauk, C. D. Sheraw, C. C. Kuo, J. R. Huang, T. N. Jackson, 1999 International Electron Devices Meeting, December 1999.
Für eine Anwendung organischer Polymere in Feldeffekttransistoren oder ähnlichen elektronischen Bauteilen ist es erforderlich, dass sich das Polymer wie ein Isolator verhält, wenn kein elektrisches Feld anliegt, während es unter Einfluss eines elektrischen Feldes Halbleitereigenschaften bzw. einen Leitungskanal ausbildet. Solche Eigenschaften besitzen zum Beispiel Polyphenylene oder Naphthalenderivate. Diese sind jedoch wegen ihrer Unlöslichkeit nicht prozessierbar, das heißt mit diesen Verbindungen lassen sich keine Feldeffekttransistoren herstellen.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Halbleitereinrichtung mit einer Halbleiterstrecke aus einem organischen Halbleitermaterial zur Verfügung zu stellen, welche sich einfach darstellen lässt, wobei die elektrischen Eigenschaften des organischen Halbleiters, insbesondere dessen elektrisch Leitfähigkeit, verbessert ist.
Die Aufgabe wird gelöst mit einer Halbleitereinrichtung mit einer Halbleiterstrecke aus einem organischen Halbleiterma¬ terial, wobei entlang der Halbleiterstrecke Halbleiterparti- kel und/oder Halbleitercluster im organischen Halbleitermaterial enthalten sind.
Durch die Anordnung von Halbleiterpartikeln und/oder Halb- leiterclustern im organischen Halbleitermaterial kann die Mobilität der Ladungsträger im Vergleich zu entsprechenden reinen organischen Halbleitern deutlich erhöht werden. Die Leitfähigkeit des organischen Halbleitermaterials ist abhängig vom Anteil der Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster im organischen Halbleitermaterial, sowie vom Material, aus welchem die Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster bestehen. Sofern Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster aus unterschiedlichen Materialien in der Halbleiterstrecke vorgesehen werden, wird die elektrische Leitfähigkeit auch vom Mischungsverhältnis der Komponenten be- einflusst. Auf diese Weise lässt sich die elektrische Leitfähigkeit der Halbleiterstrecke auf einen gewünschten Wert einstellen. Dadurch lässt sich beispielsweise die Schwellspannung und das Ausschaltverhalten von Transistoren beeinflussen bzw. ist die Schwellspannung und das Ausschaltverhalten der Transistoren durch die Art und Menge der verwendeten Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster einstellbar.
Als Halbleiterstrecke wird eine Leitungsstrecke zwischen zwei Kontakten bezeichnet, welche aus einem organischen Halbleitermaterial aufgebaut ist. Die Ladungsträger, Elektronen bzw. Löcher, werden am ersten Kontakt in die Halbleiterstrecke injiziert, durchlaufen die Halbleiterstrecke und werden am zweiten Kontakt wieder aus der Leiterstrecke extrahiert. Entlang der Halbleiterstrecke bedeutet im Sinne der Erfindung eine Richtung bzw. eine Strecke, entlang der sich die Ladungsträger vom ersten Kontakt zum zweiten Kontakt bewegen.
Unter Halbleiterpartikeln werden individuelle Partikel verstanden, welche aus einem Halbleitermaterial, vorzugsweise einem anorganischen Halbleitermaterial, bestehen. Die Parti- kel können an sich eine beliebige Gestalt aufweisen, also kugelförmig, plattenförmig oder stabförmig sein. Der Durchmesser der Teilchen beträgt vorzugsweise von 2 nm bis 100 μm, bevorzugt von 2 bis 100 nm. Die Halbleiterpartikel können als individuelle Partikel vorliegen oder auch Agglomera- te aus mehreren Partikeln bilden.
Unter Halbleiterclustern werden Verbindungen mit mindestens drei Metallatomen verstanden, wobei jedes der Metallatome mit mindestens zwei anderen Metallatomen über eine Metall- Metall-Bindung chemisch verknüpft ist. Die Metalle des Halb- leiterclusters können dabei gleich oder verschieden sein. Die Metalle können an ihren freien Koordinationsstellen durch Liganden stabilisiert sein, beispielsweise Carbonyl- oder Cylopentadienylgruppen. Als Metalle können in den Halbleiterclustern bevorzugt Elemente der Nebengruppen verwendet werden, beispielsweise Ru, Co, Rh, Pt, Au, Pd, oder Fe .
Als Halbleiter, aus welchen die Halbleiterpartikel aufgebaut sind, können Elementhalbleiter aus der IV. -Gruppe des Periodensystems, wie Si und Ge verwendet werden, sowie III/V Halbleiter, wie GaAs oder InP, Ilb/VI Halbleiter, beispielsweise Verbindungen von Zink oder Cadmium mit Sauerstoff, Schwefel, Selen oder Tellur, Ib-VII Halbleiter, wie CuCl sowie weitere Halbleiter, wie zum Beispiel bestimmte Modifikationen von S, Se, Te und P oder auch Halbleiter aus Verbindungen wie Cu20, Ti02, GaSe. Die Halbleitermaterialien können in ihrer Leitfähigkeit durch eine entsprechende Dotierung beeinflusst sein, um beispielsweise p-Si bzw. n-Si zu erhalten.
Details zu Eigenschaften und Synthesen von Mikro- und Nano- partikeln finden sich beispielsweise in A. F. Hollemann, E. Wiberg, N. Wiberg, Lehrbuch der anorganischen Chemie, Walter de Gruyter Verlag, Berlin, 1985, Seite 767 oder auch bei J. H. Fendler, Nanoparticles and Nanostructure Films-Prepa- ration, Characterisation and Application, Wiley-VCA, 1998. Als organisches Halbleitermaterial können an sich alle organischen Materialien verwendet werden, welche Halbleitereigenschaften aufweisen. Beispiele für geeignete Verbindungen sind kondensierte Aromaten, wie Anthrazen, Tetrazen oder Pentazen, polymere aromatische Verbindungen, wie Polypheny- lene oder Polynaphthalinderivate, elektrisch halbleitende Verbindungen auf der Basis von Polythiophen, zum Beispiel Poly-3-hexylthiophen-2, 5-diyl, oder elektrisch halbleitende Verbindungen auf der Basis von Polyvinylthiophen oder Poly- anilin. Neben den genannten Verbindungen können auch andere organische Halbleiterverbindungen verwendet werden. Die organischen Halbleitermaterialien können eine Dotierung aufweisen, beispielsweise Camphersulfonsäure oder Polystyrolsulfonsäure.
Die für die Herstellung der Halbleiterstrecke der erfindungsgemäßen Halbleitereinrichtung verwendeten Materialien sind einfach zugänglich und können teilweise auch von kommerziellen Anbietern bezogen werden. Die organischen Halbleitermaterialien bzw. Vorstufen für die Herstellung der organischen Halbleitermaterialien sind meist in organischen Lösungsmitteln gut löslich. Ebenso lassen sich aus den Halbleiterpartikeln bzw. Halbleiterclustern Lösungen oder Suspensionen herstellen. Zur Verbesserung der Löslichkeit bzw. Dispergierbarkeit im Lösungsmittel können die Halbleiterpartikel auch an ihrer Oberfläche modifiziert werden, indem beispielsweise unpolare Alkylketten über eine entsprechende Gruppe an die Oberfläche der Nanopartikel koordiniert werden. Die Komponenten der Halbleiterstrecke, organischer Halbleiter sowie Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster, können also in gelöster Form bzw. als Suspension bereitgestellt und in flüssiger Form auf ein Substrat aufgebracht werden. Auf diese Weise kann die Halbleiterstrecke der erfindungsgemäßen Halbleitervorrichtung beispielsweise durch einfache Druckverfahren erzeugt werden, was die Herstellung des Halbleiterelements wesentlich vereinfacht und verbilligt. Im Bereich der Kontakte bewirken die Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster eine erhebliche Verringerung des Kontaktwiderstandes. Weisen das Partikelmaterial und das Material der Kontakte unterschiedliche Austrittsarbeiten für die Ladungsträger auf, so kommt es zu asymmetrischen Diffusionsprozessen von Ladungsträgern an der Kontaktfläche zwischen den Partikeln einerseits und dem Material der Kontakte andererseits. Das entstehende Grenzflächenpotential zwischen den Partikeln und dem Kontaktmaterial wird wegen der hohen elektrischen Leitfähigkeiten in den beiden Materialien auf sehr kurze Entfernungen, einige Zehntel Nanometer, ausgeglichen. Dies führt zu hohen elektrischen Feldstärken zwischen den Partikeln und dem Kontaktmaterial in der Größenordnung von etwa 107 bis 5 x 107 V/cm. Dieses elektrische Feld überlagert sich dem sich an den Übergängen zwischen Halbleiter und Kontaktmaterial aufbauenden Feld. Die erhöhte elektrische Feldstärke führt zu einer schmäleren Potentialbarriere an der Kontaktfläche und damit zu einer Erhöhung der Tunnelwahrscheinlichkeit bzw. einem Tunnelstrom zwischen Halbleiter und Kontaktmaterial. Der erhöhte Tunnelstrom entspricht einer Verringerung des Kontaktwiderstandes. Die Erhöhung der Feldstärke an der Kontaktfläche fällt um so stärker aus, je größer die Differenz zwischen der Austrittsarbeit des Partikelmaterials und der Austrittsarbeit des Kontaktmaterials ist.
Die Halbleiterpartikel und/oder die Halbleitercluster sind bevorzugt im Volumen des organischen Halbleitermaterials statistisch verteilt. Die Halbleiterpartikel und/oder die Halbleitercluster sind bei dieser Ausführungsform gleichmäßig im gesamten organischen Halbleitermaterial verteilt. Für die Herstellung der Halbleiterstrecke können dazu beispielsweise das organische Halbleitermaterial und die Halbleiterpartikel bzw. die Halbleitercluster in einem gemeinsamen Lösungsmittel gelöst und gemeinsam auf ein Substrat aufgebracht werden. Es ist aber auch möglich, organisches Halb¬ leitermaterial und Halbleiterpartikel bzw. Halbleitercluster in getrennten Lösungen bzw. Suspensionen bereit zu stellen und bei der Herstellung der Halbleiterstrecke die Lösungen gleichzeitig auf ein Substrat aufzubringen. Nach Verdampfen des Lösungsmittels werden die Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster im organischen Halbleitermaterial fixiert, wobei auch unter dem Einfluss eines elektrischen Feldes keine Wanderung der Halbleiterpartikel bzw. Halbleitercluster mehr eintritt.
Gemäß einer anderen Ausführungsform sind die Halbleiterpartikel und/oder die Halbleitercluster im Wesentlichen an einer Fläche entlang der Halbleiterstrecke aus dem organischen Halbleitermaterial angeordnet. Die Herstellung der Halbleiterstrecke kann dabei in der Weise erfolgen, dass zunächst eine Schicht aus Halbleiterpartikeln bzw. Halbleiterclustern auf einem Substrat aufgebracht wird und auf der Schicht aus Halbleiterpartikeln bzw. Halbleiterclustern eine Schicht aus dem organischen Halbleitermaterial aufgebracht wird. Es kann jedoch auch in umgekehrter Reihenfolge vorgegangen werden, wobei zunächst auf einem Substrat eine Schicht aus einem organischen Halbleitermaterial erzeugt wird und dann auf einer dem Substrat gegenüberliegenden freiliegenden Fläche des organischen Halbleitermaterials die Halbleiterpartikel bzw. Halbleitercluster abgeschieden werden. Die Halbleiterpartikel bzw. Halbleitercluster werden dabei bevorzugt in der Weise angeordnet, dass auch die Kontaktflächen zwischen erstem bzw. zweitem Kontakt und organischem Halbleitermaterial von den Halbleiterpartikeln bzw. Halbleiterclustern bedeckt werden. Die Fläche, an welcher die Halbleiterpartikel und/oder die Halbleitercluster angeordnet sind, erstreckt sich also im Allgemeinen zwischen erstem und zweitem Kontakt.
In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster durch Linkermoleküle verbunden. Linkermoleküle sind Moleküle, welche zumindest zwei Gruppen aufweisen, welche an die Oberfläche eines Halblei- terpartikels oder eines Halbleiterclusters koordinieren können. Bevorzugt weisen die Linkermoleküle ein zwischen den funktionellen Gruppen angeordnetes konjugiertes π- Elektronensystem auf. Durch die Linkermoleküle werden weitere Leitungspfade innerhalb des organischen Halbleitermaterials eröffnet, so dass die Leitungseigenschaften der Halbleiterstrecke weiter verbessert werden können. Ferner erfolgt durch die Linkermoleküle eine weitere Fixierung der Halbleiterpartikel bzw. Halbleitercluster innerhalb des organischen Halbleitermaterials .
Die Linkermoleküle können über koordinative Bindungen an die Oberfläche eines Halbleiterpartikels bzw. Halbleiterclusters gebunden sein, wozu das Linkermolekül beispielsweise Thiol- gruppen oder Aminogruppen aufweist. Bevorzugt werden die Linkermoleküle jedoch durch eine kovalente Bindung mit dem Halbleiterpartikel und/oder dem Halbleitercluster verbunden. Solche Halbleiterpartikel lassen sich erhalten, indem die 0- berfläche der Halbleiterpartikel zunächst aktiviert wird, z.B. durch Chlorierung, und die aktivierten Halbleiterpartikel anschließend mit geeigneten Liganden umgesetzt werden, z.B. Thiolen, Alkoholen, Aminen oder Carbanionen.
Die Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster sind bevorzugt isoliert oder als isolierte Agglomerate von Halbleiterpartikeln und/oder Halbleiterclustern im organischen Halbleitermaterial angeordnet. Der mittlere Abstand zwischen den Nanopartikeln und/oder Nanoclustern bzw. Agglomeraten von Nanopartikeln bzw. Nanoclustern kann innerhalb weiter Bereiche gewählt werden. Geeignet ist beispielsweise ein mittlerer Abstand in einem Bereich von etwa 0,1 nm bis 5000 nm.
Die Halbleitereigenschaften der Halbleiterstrecke werden wesentlich vom organischen Halbleitermaterial bestimmt, wobei die elektrischen Leitfähigkeitseigenschaften des organischen Halbleitermaterials durch die Zugabe von Halbleiterpartikeln und/oder Halbleiterclustern modifiziert werden. Der Anteil der Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster an der Halbleiterstrecke wird deshalb bevorzugt geringer als 50 Vol.-% gewählt.
Die Halbleitereinrichtung wird bevorzugt als Transistor ausgeführt. Dazu wird die Halbleiterstrecke durch Source-, Drain- und Gateelektrode zu einem Transistor ergänzt. Als Material kann für die Kontakte bevorzugt ein Material mit hoher Leitfähigkeit gewählt werden. Geeignet sind beispielsweise elektrisch leitfähige Metalle, wie etwa Gold, Titan oder Palladium oder auch ein elektrisch leitfähiges Polymer, wie zum Beispiel mit Camphersulfonsäure dotiertes Polyanilin oder mit Polystyrolsulfonsäure dotiertes Po- ly (dioxyethylen) thiophen. Das Kontaktmaterial sollte eine möglichst hohe elektrische Leitfähigkeit aufweisen. Zur Isolation der Gateelektrode können übliche Materialien verwendet werden, wie Siliziumdioxid, Aluminiumoxid oder ein isolierendes Polymer, wie Polystyrol, Polyethylen, Polyester, Polyurethan, Polycarbonat, Polyacrylat, Polyimid, Polyether, Polybenzoxazole oder Gemische dieser Verbindungen.
Das erfindungsgemäße Halbleiterelement lässt sich sehr kostengünstig aus gut zugänglichen Materialien herstellen und eignet sich daher insbesondere für eine Anwendung in Vorrichtungen, welche einem hohen Kostendruck unterliegen, wie zum Beispiel Etiketten für die Kennzeichnung von Waren.
Gegenstand der Erfindung ist daher auch ein Verfahren zur Herstellung der oben beschriebenen Halbleitereinrichtung, wobei eine Lösung oder Suspension eines organischen Halbleiters sowie von Halbleiterpartikeln und/oder Halbleiterclustern in einem Lösungsmittel hergestellt wird, die Lösung auf einem Substrat aufgebracht und das Lösungsmittel verdampft wird unter Erhalt einer Halbleiterstrecke, und die Halbleiterstrecke durch weitere Bauelemente zu einem Halbleiterelement ergänzt wird.
Bei dieser Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens werden die Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster gleichmäßig im organischen Halbleiter der Halbleiterstrecke verteilt. Die gemeinsame Lösung von organischem Halbleitermaterial und Halbleiterpartikeln bzw. Halbleiterclustern kann dabei zunächst hergestellt werden und anschließend auf dem Substrat aufgebracht werden. Es ist aber auch möglich, getrennte Lösungen bzw. Suspensionen von organischem Halbleitermaterial und Halbleiterpartikeln bzw. Halbleiterclustern herzustellen, und aus diesen Lösungen bzw. Suspensionen erst auf dem Substrat eine gemeinsame Lösung herzustellen. Bei dieser Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens sind also die Halbleiterpartikel bzw. die Halbleitercluster im Volumen des organischen Halbleitermaterials eingebettet.
Gemäß einer zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung der oben beschriebenen Halbleitereinrichtung wird eine erste Lösung eines organischen Halbleiters in einem Lösungsmittel hergestellt, sowie eine zweite Lösung oder Suspension aus Halbleiterpartikeln und/oder Halbleiterclustern in einem Lösungsmittel, so dass getrennte Lösungen von organischem Halbleitermaterial bzw. Halbleiterpartikeln und/oder Halbleiterclustern verwendet werden. Die Lösungsmittel der beiden Lösungen bzw. Suspensionen können wie auch bei der ersten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens gleich oder verschieden sein. Es wird dann wie bei der oben beschriebenen Ausführungsform ein Substrat bereitgestellt und auf dem Substrat ein Schichtstapel aus zumindest einer ersten und einer zweiten Schicht hergestellt, wobei die eine der ersten und zweiten Schicht aus der ersten Lösung und die andere Schicht aus der zweiten Lösung hergestellt wird, so dass eine Halbleiterstrecke erhalten wird. Die Halbleiterstrecke wird anschließend wie bei der ersten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens durch weitere Bauelemente zu einer Halbleitereinrichtung ergänzt.
Als Substrat können bei der Herstellung der erfindungsgemäßen Halbleitereinrichtung unflexible Substrate verwendet werden, wie zum Beispiel Träger aus Glas oder Quarz oder auch Siliziumwafer . Bevorzugt werden jedoch flexible Substrate verwendet, wie zum Beispiel Kunststofffolien aus zum Beispiel Polystyrol, Polyethylen, Polyester, Polyurethan, Polycarbonat, Polyacrylat, Polyimid, Polyether oder Polyben- zoxazolen oder auch Papier. Auf dem Substrat können bereits Bauelemente der Halbleitereinrichtung definiert sein, wie zum Beispiel Source-, Drain- und Gateelektrode, wobei die Gateelektrode mit einem entsprechenden Gatedielektrikum isoliert ist. Auf dem Substrat werden dann die Lösung bzw. Lösungen aufgegeben, welche das organische Halbleitermaterial bzw. die Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster enthalten. Die Aufgabe der Lösung kann beispielsweise durch Aufschleudern, Aufsprühen, Tauchverfahren oder bevorzugt durch Druckverfahren erfolgen. Wird auf dem Substrat zunächst eine Schicht aus Halbleiterpartikeln erzeugt, können diese beispielsweise auch durch Aufdampfen abgeschieden werden. Je nach Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens können organisches Halbleitermaterial und Halbleiterpartikel bzw. Halbleitercluster gemeinsam oder zur Erzeugung einer Schichtstruktur auch in aufeinander folgenden Schritten auf das Substrat aufgebracht werden. Zur Erzeugung einer Schichtstruktur kann entweder zunächst das organische Halbleitermaterial auf dem Substrat aufgebracht werden und anschließend auf der Schicht des organischen Halbleitermaterials eine Schicht aus Halbleiterpartikeln bzw. Halbleiterclustern aufgebracht werden, oder es kann zunächst eine Schicht aus Halbleiterpartikeln bzw. Halbleiterclustern auf dem Substrat abgeschieden werden und auf der Schicht aus Halbleiterpartikeln bzw. Halbleiterclustern eine Schicht aus dem organischen Halbleitermaterial aufgebracht werden. Abschließend wird die Halbleiterstrecke zu einem Halbleiterelement vervollständigt, indem beispielsweise isolierende Schichten oder Kontakte auf der Halbleiterstrecke definiert und abgeschieden werden. Über Leiterbahnen wird das Halbleiterelement dann in einen entsprechenden Schaltkreis eingebunden. Sollen die Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster durch Linkermoleküle verbunden werden, so kann die Aufgabe der Linkermoleküle bevorzugt in einer getrennten Lösung erfolgen, so dass die Nanopartikel und die Linkermoleküle auf dem Substrat durch Koordination ein Netzwerk ausbilden, in welchem die Halbleiterpartikel und/oder die Halbleitercluster jeweils Verzweigungsstellen darstellen. Es ist aber auch möglich, die Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster zunächst mit den Linkermolekülen umzusetzen und das Reaktionsprodukt, beispielsweise in Form einer Suspension auf das Substrat aufzubringen. Die im organischen Halbleiter angeordneten Halbleiterpartikel müssen nicht vollständig durch Linkermoleküle vernetzt sein. Es kann auch nur ein Teil der Halbleiterpartikel durch Linkermoleküle vernetzt sein und neben den vernetzten Halbleiterpartikeln noch freie Halbleiterpartikel im organischen Halbleiter angeordnet sein.
Die Nanopartikel können entweder direkt aufgebracht werden, oder es kann auch zunächst aus einer löslichen Vorstufe des Partikelmaterials eine Lösung erzeugt werden und die Nanopartikel dann erst nach der Abscheidung erzeugt werden, zum Beispiel durch Koagulation.
Sofern die Halbleiterpartikel und/oder die Halbleitercluster nur schlecht suspendiert werden können, können die Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster auch zunächst o- berflächenfunktionalisiert werden, indem beispielsweise Al- kylketten über entsprechende funktionelle Gruppen an die 0- berfläche der Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster koordiniert werden. Es ist auch möglich, die Oberfläche der Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster zunächst zu aktivieren und anschließend mit einer oberflächenfunktiona- lisierenden Verbindung umzusetzen, um die oberflächenfunkti- onalisierende Verbindung kovalent an das Halbleiterpartikel und/oder den Halbleitercluster zu binden. Es können dazu die gleichen Verfahren und Materialien eingesetzt werden, wie o- ben bei den Linkermolekülen erläutert. Die Erfindung wird im Folgenden unter Bezugnahme auf eine beigefügte Zeichnung sowie anhand von Beispielen näher erläutert. Dabei zeigt:
Fig. 1 Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Halbleitereinrichtung, wobei die Halbleiterpartikel statistisch im organischen Halbleitermaterial verteilt sind;
Fig. 2 Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Halbleitereinrichtung, wobei Halbleiterpartikel entlang einer Fläche der Halbleiterstrecke angeordnet sind;
Fig. 3 eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Halbleitereinrichtung, bei welcher die Halbleiterpartikel durch Linkermoleküle verknüpft sind;
Fig. 4 eine Grafik, in welcher Strom-Spannungskennlinien organischer Feldeffekttransistoren dargestellt sind;
Fig. 5 eine Strom-Spannungskennlinie eines organischen Feldeffekttransistors;
Fig. 6 eine Grafik, in welcher die Ladungsträgermobilität für verschiedene Feldeffekttransistoren dargestellt ist.
In Fig. 1 sind zwei Ausführungsformen eines Transistors dargestellt, welcher eine Halbleiterstrecke 1 umfasst, die zwischen einer Sourceelektrode 2 und einer Drainelektrode 3 angeordnet ist. Die Ausbildung eines Ladungsträgerkanals kann durch das Feld der Gateelektrode 4 gesteuert werden, welche durch ein Dielektrikum 5 von der Halbleiterstrecke 1 bzw. Sourceelektrode 2 und Drainelektrode 3 isoliert ist. Bei der in Fig. la gezeigten Anordnung des Transistors sind Sourceelektrode 2 und Drainelektrode 3 zusammen mit der Halbleiterstrecke 1 direkt auf dem Dielektrikum angeordnet, während bei der in Fig. lb gezeigten Anordnung Sourceelektrode 2 und Drainelektrode 3 als Topelektroden auf der Schicht der Halbleiterstrecke 1 angeordnet sind. Die Halbleiterstrecke 1 ist aus einem organischen Halbleitermaterial 6 aufgebaut, welches ein Kontinuum zwischen der Sourceelektrode 2 und der Drainelektrode 3 bildet. Im Halbleitermaterial 6 sind jeweils Halbleiterpartikel 7 eingebettet. Die Halbleiterpartikel 7 bzw. aus mehreren Halbleiterpartikeln 7a bis d gebildete Agglo eraten von Halbleiterpartikeln sind isoliert zueinander angeordnet. Die Halbleiterpartikel 7 sind statistisch im Volumen des organischen Halbleitermaterials 6 bzw. der Halbleiterstrecke 1 angeordnet. Durch benachbart zur 0- berflache 2a der Sourceelektrode 2 bzw. der Fläche 3a der Drainelektrode 3 angeordnete Halbleiterpartikel 7f, 7g kann der Kontaktwiderstand für den Übertritt von Ladungsträgern zwischen Sourceelektrode 2 bzw. Drainelektrode 3 und dem organischen Halbleitermaterial 6 deutlich verringert werden.
In Fig. 2 ist eine weitere Möglichkeit der Anordnung der Halbleiterpartikel 7 und des organischen Halbleitermaterials 6 gezeigt. Der Aufbau der in Fig. 2a und 2b gezeigten Transistoren entspricht dabei dem bei den Fig. la und lb beschriebenen Aufbau. Bei der in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform sind die Halbleiterpartikel 7 jedoch nicht statistisch im Volumen des organischen Halbleitermaterials 6 verteilt, sondern entlang einer Fläche 8 der Halbleiterstrecke 1. Bei der in Fig. 2a gezeigten Ausführungsform entspricht die Fläche 8 der Grenzfläche zwischen organischem Halbleitermaterial 6 und dem Dielektrikum 5 und schließt auch die Flächenabschnitte 2a und 3a ein, welche zwischen Sourceelektrode 2 und Halbleiterstrecke 1 bzw. Drainelektrode 3 und Halbleiterstrecke 1 gebildet werden. Die Halbleiterpartikel 7 sind entlang dieser Fläche beabstandet zueinander angeordnet. Durch die an den Flächen 2a und 3a angeordneten Halbleiterpartikel 7f, 7g kann wiederum der Kontaktwiderstand für den Übertritt von Ladungsträgern zwischen Sourceelektrode 2 und Halbleiterstrecke 1 bzw. Halbleiterstrecke 1 und Drainelektrode 3 erniedrigt werden. Bei der in Fig. 2b dargestell- -lö¬
ten Ausführungsform des Transistors sind die Halbleiterpartikel 7 entlang einer Fläche 8 der Halbleiterstrecke 1 angeordnet, welche dem Dielektrikum 5 gegenüberliegend angeordnet ist. Bei dieser Ausführungsform wird zunächst das organische Halbleitermaterial 6 auf dem Dielektrikum 5 abgeschieden und nach Ausbildung einer Schicht des organischen Halbleitermaterials 6 die Halbleiterpartikel 7 auf der Oberseite dieser Schicht abgeschieden. Abschließend erfolgt die Darstellung von Sourceelektrode 2 und Drainelektrode 3, so dass die Halbleiterstrecke 1 zu einem Feldeffekttransistor ergänzt wird. Auch bei dieser Ausführungsform sind an den Kontaktflächen 2a und 3a Halbleiterpartikel 7f, 7g angeordnet, um den Ladungsübertritt zwischen Sourceelektrode 2 und organischem Halbleitermaterial 6 bzw. organischem Halbleitermaterial 6 und Drainelektrode 3 zu verringern.
Die in Fig. 3 dargestellten Anordnungen von Feldeffekttransistoren entsprechen den in Fig. 1A und 1B gezeigten Anordnungen. Auch hier sind die Halbleiterpartikel 7 statistisch im Volumen der Halbleiterstrecke 1 verteilt. Zusätzlich sind jedoch Linkermoleküle 9 vorgesehen, durch welche benachbarte Halbleiterpartikel 7 kovalent verknüpft werden. Die Halbleiterpartikel 7 und die Linkermoleküle 9 müssen dabei kein durchgängiges Netzwerk ausbilden.
Beispiele
Die in den vorgenannten Beispielen verwendeten Si-Partikel wurden nach Verfahren hergestellt, wie sie in den folgenden Literaturstellen 1 bis 3 beschrieben sind.
(1) Holleman, Wiberg, Lehrbuch der anorganischen Chemie, Walter de Gruyter Berlin, New York, 1995;
(2) M. Kauzlarich et al . J. Am. Chem. Soc. 1996, 118, 1246f;
(3) U. Hilleringmann, Silizium-Halbleitertechnologie B.G. Teubner Stuttgart, Leipzig, 1999. Beispiel 1 :
Oberflächenaktivierung von Si-Mikropartikeln durch Chlorwasserstoff in der Gasphase
In einem Wirbelschichtreaktor werden 10 g pulverisiertes Si (p-dotiert, 1,8 Ωcm, Korngröße < 5 um) 15 Minuten bei 350°C mit HCl umgesetzt. Anschließend wird während 30 Minuten mit Stickstoff auf Raumtemperatur abgekühlt. Die aktivierten Partikel können direkt im Reaktor umgesetzt werden oder unter trockener Argonatmosphäre in einem inerten trockenen Lösungsmittel (z.B. Diethylglykol) gelagert werden.
Ausbeute: 11 g graues Pulver
Beispiel 2:
Oberflächenaktivierung von Si-Nanopartikeln mittels Chlorwasserstoff in der Gasphase
In einem Wirbelschichtreaktor werden 8 g Si-Nanopartikel (Korngröße ca. 50 nm) für 15 Minuten bei 350 °C mit HCl umgesetzt. Anschließend wird während 30 Minuten mit Stickstoff auf Raumtemperatur abgekühlt. Die aktivierten Nanopartikel können direkt im Reaktor umgesetzt werden oder unter trockener Argonatmosphäre in einem inerten trockenen Lösungsmittel (z.B. Diethylglykol) gelagert werden.
Ausbeute: 10,5 braunes Pulver
Beispiel 3:
Oberflächenaktivierung von Si-Mikropartikeln mittels Siliziumtetrachlorid in Lösung
In einer mit einem Rückflusskühler und einer Argonspülung ausgestatteten Rundkolbenapparatur werden 10,1 g (0,36 mol) pulverisiertes Silizium (n-dotiert, 8,6 Ωcm, Korngröße < 5 μm) in 300 ml Diethylglykol suspendiert und für 72 Stunden mit 61,2 g (0,36 mol) Siliziumtetrachlorid unter Rück- fluss erhitzt. Nach dem Abkühlen wird das Lösungsmittel und überschüssiges SiCl4 unter reduziertem Druck abdestilliert. Die aktivierten Partikel können unter trockener Argonatmosphäre in einem inerten trockenen Lösungsmittel (z.B. Diethylglykol) gelagert werden.
Beispiel 4:
Oberflächenaktivierung von Silizium-Nanopartikeln mittels Siliziumtetrachlorid in Lösung
In einer mit einem Rückflusskühler und einer Argonspülung ausgestatteten Rundkolbenapparatur werden 7,0 g (0,25 mol) Silizium-Nanopartikel (Korngröße ca. 50 nm) in 200 ml Diethylglykol suspendiert und für 72 Stunden mit 42,5 (0,25 mol) Siliziumtetrachlorid unter Rückfluss zum Sieden erhitzt. Nach dem Abkühlen wird das Lösungsmittel und überschüssiges SiCl4 unter reduziertem Druck abdestilliert. Die aktivierten Nanopartikel können unter trockener Argonatmosphäre in einem inerten trockenen Lösungsmittel (z.B. Diethylglykol) gelagert werden.
Beispiel 5:
Oberflächenaktivierung von Silizium-Nanopartikeln mittels Siliziumtetrachlorid in Lösung
In einer mit einem Rückflusskühler und einer Argonspülung ausgestatteten Rundkolbenapparatur werden 1,0 g Kaliumsili- zid (KSi) in 80 ml Diethylglykol suspendiert und mit 3 g
(0,25 mol) Siliziumtetrachlorid für 72 Stunden unter Rückfluss zum Sieden erhitzt. Nach Abkühlen wird das Lösungsmittel und überschüssiges SiCl4 unter reduziertem Druck abdes¬ tilliert. Die aktivierten Nanopartikel können unter trockener Argonatmosphäre in einem inerten trockenen Lösungsmittel
(z.B. Diethylglykol) gelagert werden. Beispiel 6 :
Oberflächenfunktionalisierung von Silizium-Mikropartikeln mit Butanol in der Gasphase
5 g der in Beispiel 1 erhaltenen chloraktivierten Mikropar- tikel werden im Wirbelschichtreaktor unter Stickstoffatmosphäre bei 150 °C mit 300 ml 1-Butanol gequencht . Nach Abkühlen auf Raumtemperatur wird eine Suspension von butoxy- funktionalisierten Mikropartikeln in Butanol erhalten, die durch Waschen mit Wasser und anschließender Trocknung unter reduziertem Druck als grau-braunes Pulver isoliert werden.
Ausbeute: 5,5 g, FTIR v in cm"1: 2926, 2855, 1464, 1384
Beispiel 7:
Oberflächenfunktionalisierung von Silizium-Nanopartikeln mit Butanol in Lösung
5 g der in Beispiel 4 erhaltenen chloraktivierten Nanopartikel werden in einer mit einem Rückflusskühler und einer Argonspülung ausgestatteten Rundkolbenapparatur in 100 ml Diethylglykol suspendiert und langsam 10 ml 1-Butanol zugegeben. Anschließend wird für 12 Stunden bei Raumtemperatur gekühlt. Die Mischung wird in n-Hexan aufgenommen und dreimal mit Wasser gewaschen. Die Hexanphase wird getrocknet und das Lösungsmittel unter reduziertem Druck abdestilliert.
Ausbeute: 4,8 g braunes Pulver; FTIR V in cm"1: 2931, 2857, 1460, 1377
Beispiel 8:
Oberflächenfunktionalisierung von Silizium-Nanopartikeln mit Phenol in Lösung 3 g der in Beispiel 4 erhaltenen chloraktivierten Nanopartikel werden in einer mit einem Rückflusskühler und einer Argonspülung ausgestatteten Rundkolbenapparatur in 70 ml Diethylglykol suspendiert und langsam mit 3 g Phenol versetzt. Anschließend wird noch für 12 Stunden bei Raumtemperatur gerührt. Die Mischung wird in Toluen aufgenommen und dreimal mit Wasser gewaschen. Die organische Phase wird getrocknet und das Lösungsmittel abdestilliert.
Ausbeute: 3,1 g braunes Pulver; FTIR v in cm"1: 3031, 1588, 1498, 1198
Beispiel 9:
Oberflächenfunktionalisierung von Silizium-Nanopartikeln mit Butyllithium in Lösung
4 g der in Beispiel 2 erhaltenen chloraktivierten Nanopartikel werden in einer mit einem Rückflusskühler und einer Argonspülung ausgestatteten Rundkolbenapparatur in 70 ml Diethylglykol suspendiert und langsam mit 12 ml 2,5M Butyllithium in Hexan versetzt. Anschließend wird noch für 12 Stunden bei Raumtemperatur gerührt. Die Mischung wird in Hexan aufgenommen und dreimal mit Wasser gewaschen. Die organische Phase wird getrocknet und das Lösungsmittel abdestilliert.
Ausbeute: 3,4 g braunes Pulver, FTIR v in cm"1: 2957, 2929, 2858, 1465, 1378
Beispiel 10:
Oberflächenfunktionalisierung von Silizium-Mikropartikeln mit Hexylmagnesiumbromid in Lösung
3 g der in Beispiel 3 erhaltenen chloraktivierten Mikropar- tikel werden in einer mit einem Rückflusskühler und einer Argonspülung ausgestatteten Rundkolbenapparatur in 70 ml Diethylglykol suspendiert und langsam mit 10 ml 2,0M Hexyl- magnesiumbromid in Ether versetzt. Anschließend wird noch 12 Stunden bei Raumtemperatur gerührt. Die Mischung wird filtriert und dreimal mit Wasser sowie zweimal mit Methanol gewaschen. Nach Trocknen unter reduziertem Druck werden 2,7 g graues Pulver erhalten.
FTIR v in cm"1: 2967, 2933, 2868, 1460, 1365 Beispiel 11:
Kovalente Verknüpfung von Silizium-Nanopartikeln mit 1,4- Butandiol in Lösung
5 g der in Beispiel 4 erhaltenen chloraktivierten Nanopartikel werden in einer mit einem Rückflusskühler und Argonspülung ausgestatteten Rundkolbenapparatur in 100 ml Diethylglykol suspendiert und langsam mit 10 ml 1,4- Butandiol versetzt. Anschließend wird noch für 12 Stunden bei Raumtemperatur gerührt. Die Mischung wird filtriert und dreimal mit Wasser sowie zweimal mit Methanol gewaschen. Nach Trocknen im Vakuum werden 5,1 g braunes Pulver erhalten.
FTIR v in cm"1: 3300, 2951, 2923, 2878, 1460, 1365, 1098
Beispiel 12:
Kovalente Verknüpfung von Silizium-Nanopartikeln mit Hydro- chinon in Lösung
4 g der in Beispiel 4 erhaltenen chloraktivierten Nanopartikel werden in einer mit einem Rückflusskühler und einer Argonspülung ausgestatteten Rundkolbenapparatur in 100 ml Diethylglykol suspendiert und langsam mit 2,6 g Hydrochinon versetzt. Anschließend wird noch für 12 Stunden bei Raumtemperatur gerührt. Die Mischung wird filtriert und dreimal mit Wasser sowie zweimal mit Ethanol gewaschen. Nach Trocknen im Vakuum werden 4,5 g braunes Pulver erhalten. FTIR v in cm"1: 3520, 3031, 1680, 1581, 1488, 1193
Beispiel 13:
Kovalente Verknüpfung von Silizium-Mikropartikeln mit 1,4- Dimercaptobutan in der Gasphase
5 g der in Beispiel 1 erhaltenen chloraktivierten Mikropar- tikel werden im Wirbelschichtreaktor und Stickstoffatmosphäre bei 150 °C mit 15 ml 1, 4-Dimercaptobutan gequencht. Nach Abkühlen auf Raumtemperatur wird das Produkt mit 100 ml Diethylglykol aus der Reaktorzelle gewaschen. Durch Waschen mit Wasser und anschließendem Trocknen in Vakuum wird ein grau-braunes Pulver isoliert:
Ausbeute: 5,5 g; FTIR V in cm"1: 3420, 2940, 2865, 1474, 1374
Beispiel 14:
Oberflächenfunktionalisierung von Silizium-Nanopartikeln mit Hexylmagnesiumbromid in Lösung
0,5 g der in Beispiel 5 erhaltenen chloraktivierten Nanopartikel werden in einer mit einem Rückflusskühler und einer Argonspülung ausgestatteten Rundkolbenapparatur in 50 ml Diethylglykol suspendiert und langsam mit 3 ml 2,0M Hexylmagnesiumbromid in Ether versetzt. Anschließend wird noch 12 Stunden bei Raumtemperatur gerührt. Die Mischung wird filtriert und dreimal mit Wasser sowie zweimal mit n-Hexan extrahiert. Nach Trocknen der Hexanphase und Abdestillieren des Lösungsmittels unter reduziertem Druck werden 80 mg braunes Pulver erhalten.
FTIR v in cm"1: 2957, 2923, 2858, 1460, 1458
Beispiel 15:
Herstellung eines Films aus anorganischen halbleitenden Mik- ropartikeln in einem organischen Halbleiter In einer Lösung von 20 mg Poly-3-hexylthiophen-2, 5-diyl in 2,5 ml Chloroform werden 20 mg pulverisiertes Silizium (p- dotiert, 1,8 Ωcm, Korngröße < 5 μm) suspendiert. Die Suspension wird mit einer Spritze auf einen mit Transistorstrukturen (bottom contact) vorpräparierten Siliziumwafer gegeben und bei 2000 Umdrehungen pro Minute ausgeschleudert. Der Film wird anschließend bei 75°C unter einer Stickstoffatmosphäre für 4 Minuten getempert.
Beispiel 16:
Herstellung eines Films aus anorganischen halbleitenden Nanopartikeln in einem organischen Halbleiter
In einer Lösung von 20 mg Poly-3-hexylthiophen-2, 5-diyl in 2,5 ml Chloroform werden 20 mg der in Beispiel 12 erhaltenen butyl-funktionalisierten Silizium-Nanopartikel gelöst. Die Lösung wird mit einer Spritze auf einen mit Transistorstrukturen (bottom contact) vorpräparierten Siliziumwafer gegeben und bei 2000 Umdrehungen pro Minute ausgeschleudert. Der Film wird anschließend bei 75 °C unter einer Stickstoffatmo- sphäre für 4 Minuten getempert.
Beispiel 17:
Herstellung eines ' Films aus anorganischen halbleitenden Nanopartikeln in einem organischen Halbleiter
In einer Lösung von 20 mg Poly-3-hexylthiophen-2, 5-diyl in 2,5 ml Chloroform werden 20 mg der in Beispiel 14 erhaltenen hexyl-funktionalisierten Silizium-Nanopartikel gelöst. Die Lösung wird mit einer Spritze auf einen mit Transistorstrukturen (bottom contact) vorpräparierten Siliziumwafer gegeben und bei 2000 UPM ausgeschleudert. Anschließend wird der Film bei 75°C unter einer Stickstoffatmosphäre für 4 Minuten getempert. Beispiel 18 :
Herstellung eines Films aus einer Mischung von anorganischen halbleitenden Nanopartikeln in organischen Halbleitern
In einer Lösung von 20 mg Poly-3-hexylthiophen-2, 5-diyl in 3,5 ml Chloroform werden 40 mg der in Beispiel 14 erhaltenen hexyl-funktionalisierten Silizium-Nanopartikel gelöst. Die Lösung wird mit einer Spritze auf einen mit Transistorstrukturen (bottom contact) vorpräparierten Siliziumwafer gegeben und bei 2000 UPM ausgeschleudert. Der Film wird anschließend bei 75°C unter Stickstoffatmosphäre für 4 Minuten getempert.
Beispiel 19:
Herstellung eines Films aus einer Mischung von anorganischen halbleitenden Nanopartikeln und organischen Halbleitern
In einer Lösung von 20 mg Poly-3-hexylthiophen-2, 5-diyl in 2 ml Chloroform werden 10 mg der in Beispiel 14 erhaltenen hexyl-funktionalisierten Silizium-Nanopartikel gelöst. Die Lösung wird mit einer Spritze auf einen mit Transistorstrukturen (bottom contact) vorpräparierten Siliziumwafer gegeben und bei 2000 UPM ausgeschleudert. Anschließend wird der Film bei 75°C unter Stickstoffatmosphäre für 4 Minuten getempert.
Beispiel 20:
Herstellung eines Films aus einer Mischung von anorganischen halbleitenden Mikropartikeln und organischen Halbleitern
In einer Lösung von 20 mg Poly-3-hexylthiophen-2, 5-diyl in 2,5 ml Chloroform werden 20 mg der in Beispiel 10 erhaltenen hexyl-funktionalisierten Silizium-Mikropartikel suspendiert. Diese Suspension wird mit einer Spritze auf einen mit Transistorstrukturen (bottom contact) vorpräparierten Siliziumwafer gegeben und bei 2000 UPM ausgeschleudert. Der Film wird anschließend bei 50 °C für 4 Minuten unter einer Stickstoffatmosphäre getempert.
Beispiel 21:
Herstellung eines Films durch schichtweisen Aufbau
Ein Milliliter einer Lösung von 20 mg der in Beispiel 14 erhaltenen hexyl-funktionalisierten Silizium-Nanopartikel in 1,5 ml Chloroform wird mit einer Spritze auf einer mit Transistorstrukturen (bottom contact) vorpräparierten Siliziumwafer gegeben und bei 2000 UPM ausgeschleudert. Der Film wird anschließend bei 75°C für 4 Minuten unter einer Stickstoffatmosphäre getempert. Anschließend wird ein Milliliter einer Lösung von 20 mg Poly-3-hexylthiophen-2, 5-diyl in 2,5 ml Chloroform auf diese Schicht gegeben und bei 2000 UPM ausgeschleudert. Der Film wird anschließend bei 75 °C für 4 Minuten unter einer Stickstoffatmosphäre getempert.
Beispiel 22:
Herstellung eines Films mit Schichtstruktur
Ein Milliliter einer Lösung von 20 mg der in Beispiel 12 erhaltenen butyl-funktionalisierten Silizium-Nanopartikel, gelöst in 1,5 ml Chloroform, wird mit einer Spritze auf einen mit Transistorstrukturen (bottom contact) vorpräparierten Siliziumwafer gegeben und bei 2000 UPM ausgeschleudert. Anschließend wird der Film bei 75°C unter einer Stickstoffatmosphäre für 4 Minuten getempert. Daran anschließend wird ein Milliliter einer Lösung von 20 mg Poly-3-hexylthiophen- 2, 5-diyl in 2,5 ml Chloroform auf dieser Schicht aufgegeben und bei 2000 UPM ausgeschleudert. Anschließend wird der Film bei 75°C in einer Stickstoffatmosphäre für 4 Minuten getempert. Beispiel 23 :
Für die in den Beispielen 17 bis 19 hergestellten Feldeffekttransistoren werden die Strom-Spannungskennlinien bestimmt. Als Vergleich wurde die Kennlinie eines Transistors bestimmt, welcher Poly-3-hexylthiophen-2, 5-diyl (PHT) als aktive Komponente ohne Zusatz von anorganischen Partikeln enthielt.
Die Kennlinien sind in Fig. 4 dargestellt. Es ist dabei eine Verbesserung der Transistoreigenschaften im Vergleich zu PHT zu erkennen, die somit von der Stöchiometrie der Mischungen abhängen.
Beispiel 24:
Es wurden die Strom-Spannungskennlinien des im Beispiel 21 hergestellten Feldeffekttransistors und im Vergleich dazu die Kennlinie eines Transistors mit Poly-3-hexylthiopen-2, 5- diyl (PHT) als aktive Komponente ohne Zusatz von anorganischen Partikeln, welche unter den gleichen Bedingungen hergestellt worden war, bestimmt. Die Strom-Spannungskennlinie ist in Fig. 5 dargestellt.
Beispiel 25:
Bestimmung der Ladungsträgermobilität
Mit den in den Beispielen 23 und 24 verwendeten Feldeffekttransistoren wurden die Mobilitäten der Ladungsträger bestimmt. Als Vergleich wurde ein Feldeffekttransistor verwendet, welcher Poly-3-hexylthiphen-2, 5-diyl (PHT) als aktive Komponente ohne Zusatz von anorganischen Partikeln umfasst. Die Ladungsträgermobilitäten sind in Fig. 6 dargestellt. In allen beschriebenen Fällen verbessern sich die Ladungsträgermobilitäten um mindestens den Faktor 2.

Claims

Patentansprüche
1. Halbleitereinrichtung mit einer Halbleiterstrecke aus einem organischen Halbleitermaterial, einem ersten Kontakt zum Injizieren von Ladungsträgern in die Halbleiterstrecke und einem zweiten Kontakt zum Extrahieren von Ladungsträgern aus der Halbleiterstrecke, wobei entlang der Halbleiterstrecke Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster im organischen Halbleitermaterial enthalten sind.
2. Halbleitereinrichtung nach Anspruch 1, wobei die Halbleiterpartikel und/oder die Halbleitercluster im Volumen des organischen Halbleitermaterials statistisch verteilt sind.
3. Halbleitereinrichtung nach Anspruch 1, wobei die Halbleiterpartikel und/oder die Halbleitercluster im Wesentlichen an einer Fläche entlang der Halbleiterstrecke aus dem organischen Halbleitermaterial angeordnet sind.
4. Halbleitereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Halbleiterpartikel und/oder die Halbleitercluster an ihrer Oberfläche durch Alkylketten modifiziert sind.
5. Halbleitereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Halbleiterpartikel und/oder die Halbleitercluster durch Linkermoleküle verbunden sind.
6. Halbleitereinrichtung nach Anspruch 5, wobei die Linkermoleküle durch eine kovalente Bindung mit dem Halbleiterpartikel und/oder dem Halbleitercluster verbunden sind.
7. Halbleitereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Halbleiterpartikel und/oder die Halbleitercluster isoliert oder als isolierte Agglomerate von Halbleiterpartikeln und/oder Halbleiterclustern in dem organischen Halbleitermaterial angeordnet sind.
8. Halbleitereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Anteil der Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster an der Halbleiterstrecke geringer als
20 Vol.-% ist.
9. Halbleitereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Halbleiterstrecke durch Source-, Drain- und Gateelektrode zu einem Transistor ergänzt ist.
10. Verfahren zur Herstellung einer Halbleitereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei eine Lösung oder Suspension eines organischen Halbleiters sowie von Halbleiterpartikeln und/oder Halbleiterclustern in einem Lösungsmittel hergestellt wird, die Lösung auf einem Substrat aufgebracht und das Lösungsmittel verdampft wird unter Erhalt einer Halbleiterstrecke, und die Halbleiterstrecke durch weitere Bauelemente zu einer Halbleitereinrichtung ergänzt wird.
11. Verfahren zur Herstellung einer Halbleitereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei eine erste Lösung eines organischen Halbleiters in einem Lösungsmittel hergestellt wird, eine zweite Lösung oder Suspension aus Halbleiterpartikeln und/oder Halbleiterclustern in einem Lösungsmittel hergestellt wird, ein Substrat bereitgestellt wird, ein Schichtstapel aus zumindest einer ersten und einer zweiten Schicht hergestellt wird, wobei die eine der ersten und zweiten Schicht aus der ersten Lösung und die andere Schicht aus der zweiten Lösung hergestellt wird, wobei eine Halbleiterstrecke erhalten wird, und die Halbleiterstrecke durch weitere Bauelemente zu einer Halbleitereinrichtung ergänzt wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 11, wobei die Halbleiterpartikel und/oder Halbleitercluster oberflächen- funktionalisiert sind.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, wobei der Lösung des organischen Halbleiters und/oder der Lösung der Halbleiterpartikel und/oder der Halbleitercluster ein Linkermolekül beigegeben ist, welches die Halbleiterpartikel und/oder die Halbleitercluster verbindet.
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KR1020047017341A KR100639449B1 (ko) 2002-04-29 2003-04-11 반도체 장치 및 반도체 장치 제조 방법
JP2004502377A JP2005531132A (ja) 2002-04-29 2003-04-11 有機半導体中の荷電粒子の移動度を改善するための添加剤としてのシリコン粒子
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006041495A (ja) * 2004-07-19 2006-02-09 Seiko Epson Corp 半導体粒子の分散体から半導体要素を製作する方法
KR100585849B1 (ko) * 2004-03-29 2006-06-01 학교법인 한양학원 고분자 박막 내에 형성된 나노결정체를 이용한 플로팅게이트를 갖는 플래쉬 기억소자 및 그 제조방법
WO2007082767A1 (en) * 2006-01-23 2007-07-26 Consiglio Nazionale Delle Ricerche Device comprising a charge transfer channel and method for manufacturing the same
US7592663B2 (en) 2004-03-29 2009-09-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Flash memory device utilizing nanocrystals embedded in polymer

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8568684B2 (en) 2000-10-17 2013-10-29 Nanogram Corporation Methods for synthesizing submicron doped silicon particles
US20090075083A1 (en) 1997-07-21 2009-03-19 Nanogram Corporation Nanoparticle production and corresponding structures
US7226966B2 (en) 2001-08-03 2007-06-05 Nanogram Corporation Structures incorporating polymer-inorganic particle blends
US6599631B2 (en) 2001-01-26 2003-07-29 Nanogram Corporation Polymer-inorganic particle composites
AU2003235181A1 (en) 2002-04-22 2003-11-03 Konica Minolta Holdings, Inc. Organic semiconductor composition, organic semiconductor element, and process for producing the same
JP4635410B2 (ja) * 2002-07-02 2011-02-23 ソニー株式会社 半導体装置及びその製造方法
JP4862950B2 (ja) * 2002-07-02 2012-01-25 ソニー株式会社 半導体装置及びその製造方法
DE10245554B4 (de) * 2002-09-30 2008-04-10 Qimonda Ag Nanopartikel als Ladungsträgersenke in resistiven Speicherelementen
JP4545373B2 (ja) * 2002-11-07 2010-09-15 旭化成株式会社 有機半導体薄膜及びその製造方法
WO2004068536A2 (en) * 2003-01-30 2004-08-12 University Of Cape Town A thin film semiconductor device and method of manufacturing a thin film semiconductor device
JP4586334B2 (ja) * 2003-05-07 2010-11-24 ソニー株式会社 電界効果型トランジスタ及びその製造方法
US20050139867A1 (en) * 2003-12-24 2005-06-30 Saito Shin-Ichi Field effect transistor and manufacturing method thereof
US7372070B2 (en) * 2004-05-12 2008-05-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Organic field effect transistor and method of manufacturing the same
KR100913903B1 (ko) * 2004-12-24 2009-08-26 삼성전자주식회사 양자점을 이용하는 메모리 소자
GB0517097D0 (en) 2005-08-19 2005-09-28 Solexa Ltd Modified nucleosides and nucleotides and uses thereof
GB2430546A (en) * 2005-09-20 2007-03-28 Seiko Epson Corp A semiconductor film comprising domains of an organic semiconductor and a method of its fabrication
JP4289385B2 (ja) 2006-05-18 2009-07-01 ソニー株式会社 有機電子デバイス及びその製造方法
US8164087B2 (en) * 2006-06-12 2012-04-24 Alcatel Lucent Organic semiconductor compositions with nanoparticles
DE102006027884B4 (de) * 2006-06-13 2010-11-18 Samsung Mobile Display Co. Ltd., Suwon Organischer Dünnfilmtransistor mit einer homogen-kristallinen organischen Halbleiterschicht
JP4379450B2 (ja) * 2006-08-22 2009-12-09 ソニー株式会社 電子デバイス及びその製造方法
CN101165937A (zh) * 2006-10-18 2008-04-23 清华大学 有机复合物p-n结及其制备方法以及应用该p-n结的有机复合物二极管
WO2008069973A2 (en) 2006-12-01 2008-06-12 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Four-color dna sequencing by synthesis using cleavable fluorescent nucleotide reversible terminators
CN103333526A (zh) * 2007-01-03 2013-10-02 内诺格雷姆公司 基于硅/锗的纳米颗粒油墨、掺杂型颗粒、用于半导体应用的印刷和方法
KR100960492B1 (ko) * 2007-02-13 2010-06-01 주식회사 엘지화학 유기 트랜지스터 및 이의 제조방법
US8119233B2 (en) 2007-02-17 2012-02-21 Nanogram Corporation Functional composites, functional inks and applications thereof
US20080237650A1 (en) * 2007-03-30 2008-10-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Electrode structure for fringe field charge injection
GB0708381D0 (en) * 2007-04-30 2007-06-06 Nokia Corp Method for forming a semiconductor structure
FR2918797B1 (fr) * 2007-07-13 2009-11-06 Sofileta Sa Transistor organique a effet de champ et procede de fabrication de ce transistor
FR2921759B1 (fr) 2007-09-27 2010-01-01 Commissariat Energie Atomique Matrices hybrides pour transistors a couches minces
JP5369516B2 (ja) * 2008-06-30 2013-12-18 ソニー株式会社 電子デバイス及びその製造方法、並びに、半導体装置及びその製造方法
DE102008036063B4 (de) * 2008-08-04 2017-08-31 Novaled Gmbh Organischer Feldeffekt-Transistor
JP5363291B2 (ja) * 2009-12-11 2013-12-11 赫 上原 有機光電変換素子
US8895962B2 (en) 2010-06-29 2014-11-25 Nanogram Corporation Silicon/germanium nanoparticle inks, laser pyrolysis reactors for the synthesis of nanoparticles and associated methods
CN104919012A (zh) 2013-05-24 2015-09-16 纳克公司 具有基于硅/锗的纳米颗料并且具有高粘度醇类溶剂的可印刷墨水
CA3225867A1 (en) 2015-03-24 2016-09-29 Illumina, Inc. Methods, carrier assemblies, and systems for imaging samples for biological or chemical analysis
GB201505743D0 (en) 2015-04-02 2015-05-20 Technion Res & Dev Foundation Field effect transistor device
CN107527999B (zh) * 2017-08-25 2020-03-31 京东方科技集团股份有限公司 半导体混合材料及其制备方法、薄膜晶体管以及电子装置
CN115132923B (zh) * 2021-08-23 2023-10-17 天津大学 光稳有机场效应晶体管
CN116699914B (zh) * 2023-08-07 2023-11-17 惠科股份有限公司 阵列基板、显示面板及显示装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5500537A (en) * 1989-08-17 1996-03-19 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Field-effect transistor with at least two different semiconductive organic channel compounds
EP0716459A2 (de) * 1994-12-09 1996-06-12 AT&T Corp. Artikel mit organischen Dünnfilmtransistoren
WO2000020916A2 (en) * 1998-08-19 2000-04-13 Massachusetts Institute Of Technology Nanoparticle-based electrical, chemical, and mechanical structures and methods of making same
US20020084504A1 (en) * 2001-01-02 2002-07-04 K.S. Narayan Photo-responsive organic field effect transistor

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6013257B2 (ja) * 1976-02-20 1985-04-05 松下電器産業株式会社 二次電子増倍体およびその製造方法
DE10153562A1 (de) * 2001-10-30 2003-05-15 Infineon Technologies Ag Verfahren zur Verringerung des elektrischen Kontaktwiderstandes in organischen Feldeffekt-Transistoren durch Einbetten von Nanopartikeln zur Erzeugung von Feldüberhöhungen an der Grenzfläche zwischen dem Kontaktmaterial und dem organischen Halbleitermaterial

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5500537A (en) * 1989-08-17 1996-03-19 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Field-effect transistor with at least two different semiconductive organic channel compounds
EP0716459A2 (de) * 1994-12-09 1996-06-12 AT&T Corp. Artikel mit organischen Dünnfilmtransistoren
WO2000020916A2 (en) * 1998-08-19 2000-04-13 Massachusetts Institute Of Technology Nanoparticle-based electrical, chemical, and mechanical structures and methods of making same
US20020084504A1 (en) * 2001-01-02 2002-07-04 K.S. Narayan Photo-responsive organic field effect transistor

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
BLOM P W M ET AL: "ELECTRICAL CHARACTERIZATION OF ELECTROLUMINESCENT POLYMER/ NANOPARTICLE COMPOSITE DEVICES", APPLIED PHYSICS LETTERS, AMERICAN INSTITUTE OF PHYSICS. NEW YORK, US, vol. 73, no. 26, 28 December 1998 (1998-12-28), pages 3914 - 3916, XP000802261, ISSN: 0003-6951 *
TADA K ET AL: "CHARACTERISTICS OF JUNCTION DEVICES UTILIZAING C60 DOPED CONDUCTING POLYMER", TECHNOLOGY REPORTS OF THE OSAKA UNIVERSITY, OSAKA, JP, vol. 45, no. 2224, 15 October 1995 (1995-10-15), pages 161 - 166, XP008001972 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100585849B1 (ko) * 2004-03-29 2006-06-01 학교법인 한양학원 고분자 박막 내에 형성된 나노결정체를 이용한 플로팅게이트를 갖는 플래쉬 기억소자 및 그 제조방법
US7592663B2 (en) 2004-03-29 2009-09-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Flash memory device utilizing nanocrystals embedded in polymer
JP2006041495A (ja) * 2004-07-19 2006-02-09 Seiko Epson Corp 半導体粒子の分散体から半導体要素を製作する方法
US7517719B2 (en) 2004-07-19 2009-04-14 Seiko Epson Corporation Method for fabricating a semiconductor element from a dispersion of semiconductor particles
WO2007082767A1 (en) * 2006-01-23 2007-07-26 Consiglio Nazionale Delle Ricerche Device comprising a charge transfer channel and method for manufacturing the same

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