WO2003075616A1 - Ecran electroluminescent organique comprenant un separateur d'electrodes, et procede de fabrication - Google Patents

Description

明細書 電極セパレータを備えた有機 E L表示パネル及ぴその製造方法 技術分野

本発明は、 画像表示用のディスプレイとして利用される有機 E L表示パネル、 及びその製造方法に関する。 - 背景技術 · 有機 E L表示パネルの陽極は、 たとえば I T O膜からなる透明電極とされてい るのが通例である。 I T O膜は、 電極に用いられる一般の金属と比.較すると' '、'そ の電気抵抗は大きい。 一方、 有機 E L表示パネルは、 電圧駆動の液晶表示ハ:ネル とは異なり、 電流駆動であるため、 配線抵抗が大きいと、 信号電圧低下や、 信号 波形の鈍りを生じ易い。 これら信号電圧低下や信号波形の鈍りは、 表示画面 お ける輝度むらゃフルカラーでのカラーバランスのばらつきの原因となるため、' -防 止する必要がある。 とくに、 これらの現象は、 瞬間的に大きな電流を流す単純マ トリクス方式のものにおいて生じ易く、 またパネルが大型化するほど生じ易い。 そこで、従来においては、 図 1 2に示すように、 I T O膜からなる陽極 9 1上に、 クロムなどの金属製の補助電極 9 2を積層して形成する場合があった。

図 1 2に図示された有機 E L表示パネルは、単純マトリタス方式のものであり、 透明な基板 9 0上には、 一方向に延ぴ、 かつその方向と直交する方向に間隔をあ けて並ぶ複数の陽極 9 1及ぴ複数の補助電極 9 2が形成されている。 また、 陽極 9 1と補助電極 9 2それらの上には、 これら電極と交差する方向に延び、 当該電 極の長手方向に間隔をあけて並ぶ複数の有機 E Lストリップ 9 3、 陰極 9 4、 及 ぴ陰極セパレータ 9 5が積層して形成されている。 陰極セパレータ 9 5は、 互い に隣り合う陰極 9 4どうしの電気的な絶縁を図るためのものである。 有機 E Lス トリップ 9 3から発せられた光は、 陽極 9 1及ぴ基板 9 0を透過して下向きに進 行するようになっている。 このため、 補助電極 9 2は、 陽極 9 1の全体を覆わな いように、 たとえば陽極 9 1の一方の長手縁縁寄りに偏るようにして陽極 9 1上 に形成されている。

このような構成によれば、 陽極 9 1に補'助電極 9 2が組み合わされていること により、 それら全体の電気抵抗を下げることができるために、 上述の不具合は解 消又は抑制される。

しかしながら、 前記従来の構造においては、 捕助電極 9 2が陽極 9 1の長手方 向の略全長にわたって一連に延びた形状とされており、 このことによって次 φよ うな不具合を生じていた。

すなわち、 陰極セパレータ 9 5は、 図 1 3 aに示すように、 陽極 9 1及び補助 電極 9 2上にレジスト膜 9 5 Aを形成した後に、 フォトリソグラフィの手法 ¾用 いて、 このレジス +膜 9 5 Aに露光 .現像処理を施すことにより形成される。 レ ジスト膜 9 5 Aはネガ形である。 従来において、 マスク 9 9を利用し、 レジスト 膜 9 5 Aの陰極セパレータ 9 5に対応する部分 9 5， に露光を行なうと、 この部 分 9 5 ' を透過した光は、 捕助電極 9 2によって上方に向けて散乱反射されてい た。 補助電極 9 2は、 たとえばクロムであるため、 その表面の光反射率は高い。 このため、 レジスト膜 9 5 Aの下面近傍部分が前記反射光によっても感光する現 象を生じていた。 このため、 その後現像処理を行なったときには、 図 1 3 bに示 すように、 陰極セパレータ 9 5が、 下広がりの断面形状となる場合があった。 このように、 陰極セパレータ 9 5が下広がり形状であると、 図 1 4に示すよう に、 その後有機 E Lストリップ 9 3や陰極 9 4をたとえば蒸着により形成する場 合に、 陰極セパレータ 9 5の上面 9 5 aのみならず、 その両側面 9 5 b， 9 5 c にも成膜がなされてしまう。 これでは、 陰極セパレータ 9 5を挾んで隣り合う陰 極 9 4どうしが電気的に導通した状態となり、 適切でない。 従来においては、 陰 極セパレータ 9 5の上部の一部をその後エッチング処理によって除去すれば、 互 いに隣り合う陰極 9 4どうしを電気的に絶縁することは可能であるものの、 この ような処理を施しても、 陰極セパレータ 9 5の両側面 9 5 b , 9 5 cには、 有機 E Lストリップ 9 3や陰極 9 4が成膜されているために、 陰極セパレータ 9 5を 挟んで隣り合う陰極 9 4どうしの電気的な絶縁を確実に図る観点からすれば、 好 ましいものではなかった。 発明の開示

そこで、 本発明の目的は、 前記問題点を解消又は軽減できる有機 E L表示パネ ルを提供することにある。 .

本発明の他の目的は、 そのような有機 E L表示パネルの製造方法を提供するこ とにめる。

本発明の第 1の側面によれば、基板上に形成された金属製の複数の補助電極と、 前記補助電極の上方においてそれらと交差する方向に延びる複数の電極セパレー タと、 を有する、 有機 E L表示パネルが提供される。 有機 E L表示パネルは、 前 記各補助電極が、 前記各電極セパレータと交差する位置にて分断されていること を特徴としている。

このような構成によれば、 フォ トリソグラフィの手法を用いて前記電極セパレ 一タを形成するときに、 露光に用!/、ちれた光が前記絶縁層の縁部となる部分の直 下に進行しても、 この光が前記補助電極によって散乱反射されないようにするこ とができる。 したがって、 前記電極セパレータの縁部を所望の適正な形状に仕上 げることが可能となる。

本発明の好適な実施形態に係る有機 E L表示パネルは、 前記基板上に形成され た透光性を有する複数の陽極と、 前記陽極を覆い且つそれらと交差する方向に延 びる複数の有機 E Lストリップと、 前記有機 E Lス トリップを覆い且つ前記陽極 と交差する方向に延びる複数の陰極と、 をさらに具備している。 この場合、 前記 補助電極は、 前記各陽極に導通接触している。 また、 前記電極セパレータは、 .前 記複数の陰極間に形成された陰極セパレータであり、 前記各補助電極は、 前記各 陰極セパレータとの交差位置において'分断されることになる。 前記陰極セパレー タは、 ネガ形レジストからなるのが好ましい。

さらに、 有機 E L表示パネルは、 前記各補助電極及び前記各陽極の一部を覆う 陽極セパレータをさらに備えていてもよい。 この場合、 前記陽極セパレータは、 隣接する陰極セパレータの間において開口部を有しているのが好ましい。 また、 前記各補助電極は、 前記開口部を避けて形成されているのが好ましい。 さらに、 前記陽極セパレータは、 ポジ形レジストからなるのが好ましい。 · 本発明の第 2の側面によれば、 基板上に一方向に延びるように形成された複数 の陽極と、 前記陽極に導通接触する金属製の複数の補助電極と、 前記各補助電極 及び前記陽極の一部を覆うとともに、 前記各陽極上に.おいて開口部を形成してい る陽極セパレータと、 前記陽極セパレータを覆うように形成されるとともに、 前 記複数の陽極に接触するように前記開口部内に部分的に進入している複数の有機

E Lストリップと、 前記有機 E Lス トリ ップ上に積層されるとともに、 前記陽極 と交差する方向に延びる複数の陰極と、 前記陰極の間を仕切るとともに、 前記各 陽極と交差する方向に延びる複数の陰極セパレータと、 を有する、 有機 E L表示 パネルが提供される。 この有機 E L表示パネルは、 前記各補助電極が、 前記各陰 極セパレータ及ぴ前記開口部を避けて形成されていることを特徴としている。 第 2の側面の好適な実施形態においては、 前記捕助電極は、 前記各陽極の少な くとも一方の長手縁部に重り、 且つそれに沿って延ぴている。

第 2の側面の別の好適な実施形態においては、 前記補助電極は、 前記各陽極セ パレータの各開口部を包囲する矩形環状である。

本発明の第 ₃の側面によれば、 基板上に複数の金属製の補助電極を形成するェ 程と、 前記補助電極よりも上方において、 レジストを露光及び現像処理すること により、 前記補助電極と交差する方向に延びる複数の電極セパレータを形成する 工程と、 を有する、 有機 E L表示パネルの製造方法が提供される。 この製造方法 は、 前記補助電極を形成工程が、 前記各電極セパレータと交差するべき位置にて 当該補助電極を分断するように行うことを特徴とする。

本発明の第 4の側面によれば、 基板上に複数の陽極を形成する工程と、 前^陽 極に導通接触する複数の金属製の補助電極を形成するェ禾呈と、 レジストを露條 ぴ現像処理することにより、 前記各補助電極及び前記各陽極の一部を覆い、.がつ · 前記各陽極上において開口部を有する陽極セパレー を形成する工程と、 前記陽 極セパレータ上に複数の有機 E Lストリップを形成する工程と、 前記有機 E Lス トリップを覆う複数の陰極を形成する工程と、 を有する、 有機 E L表示パネルの 製造方法が提供される。 この製造方法は、 前記各補助電極の形成工程が、 前記陽 極セパレータの開口部となるべき位置を当該補助電極が避けるように行なわれる ことを特徴とする。

本発明のその他の特徴及び利点については、 以下に行う好適な実施形態の説明 から明らかになるであろう。 図面の簡単な説明 .. 図 1は、 本発明に係る有機 E L表示パネルの一実施形態を示す要部断面斜視図 である。 . ^:

図 2は、 図 1の Π— Π断面図である。

図 3は、 図 1の ΙΠ— HI断面図である。

図 4は、 図 1に示された表示パネルの要部を示す透視平面図である。

図 5 a及ぴ 5 bは、 図 1に示す表示パネルの絶縁層の形成工程の一例を示す要 部断面図である。

図 6は図 1に示す表示パネルの要部拡大断面図である。 ' 図 7は、 対比例に係る有機 E L表示パネルを示す要部拡大断面図である。 図 8は、 図 1に示す表示パネルの陰極セパレータの形成工程の一例を示す要部 断面図である。

図 9は、 本発明における成膜工程例を示す要部拡大断面図である。

図 1 0 aは、 本発明の他の実施形態に係る有機 E L表示パネルを示す要部薪面 図である。

図 1 0 bは、 図 1 0 aに示す表示パネルの透視平面図である。

図 1 1は、 本発明の他の実施形態を示す要部透視平面図である。

図 1 2は、 従来の有機 E L表示パネルを示す要部断南図である。

図 1 3 a及び 1 3 bは、 従来の表示パネルにおける陰極セパレータの形成工程 を示す断面図である。 '

図 1 4の従来技術における成膜工程 を示す要部拡大断面図である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 本発明の好ましい実施の形態について、 図面を参照しつつ具体的に説明 する。

図 1〜図 4は、 本発明の第 1実施形態を示している。 図 1によく表われている ように、 本実施形態の有機 E L表示パネル Aは、 単純マトリクス方式であり、 透 明ガラスからなる基板 1の上面上に、 複数の陽極 2、 複数の補助電極 3、 陽極セ パレータ 4、 複数の有機 E Lス トリ ップ 5、 複数の陰極 6、 及び複数の陰極お:'パ レータ 7が形成された構成を有している。

複数の陽極 2は、， I T O膜からなる透明電極であり、 一方向に延びる帯状 （長 状） であり、 かつ幅方向に相互に間隔をあけて並んでいる。 各補助電極 3は、 配 線抵抗を下げるために設けられたものであり、 陽極 2の全体を覆つてしまわない ように各陽極 2の一方の縁部上に積層されている。 各補助電極 3は、 各陽極 2の 長手方向に延びているが、 図 3に示すように、 各陰極セパレータ 7の直下におい ては分断部 3 9が形成されている。 各補助電極 3の材質は、 たとえばクロムであ 'る。 クロムは、 I T O膜に対する密着性がよく、 また耐食性にも優れる。 ただし、 これに代えて、 アルミニウムなどの他.の金属製としてもかまわない。

陽極セパレータ 4は、 図 2によく表われているように、 互いに隣り合う陽極 2 どうしの間を仕切るとともに、 各捕助電極 3の全体と各陽極 2の一部分とを覆つ ている。 この陽極セパレータ 4は単一の絶縁層からなり、 後述するように、 ポジ 形のレジストにより形成されており、 各陽極 2上に複数の開口部 4 0を有してい る。 各開口部 4 0は、 図 4によく表われているように、 たとえば矩形状である。 図 4においては、 有機 E Lストリップ 5及ぴ陰極 6を省略しており、 陽極セパレ ータ 4は網点により暗色表示されている。 各補助電極 3は、 各開口部 4 0を避け るように形成されている。 より具体的には、 各補助電極 3は、 その近傍に位置す る開口部 4 0の縁部 4 0 aから適当な寸法 s 1だけ離間している。

各有機 E Lス トリ ップ 5は、 陽極 2及ぴ陰極 6を利用した通電がなされること により発光を行なう発光層 （図示略） を備えたものであり、 陽極セパレータ 4上 に積層され、 かつ陽極 2と直交する方,向に延びている。 各有機 E Lストリップ 5 の一部は、 陽極セパレータ 4の開口部 4 0に進入していることにより、 陽極 2と 陰極 6とによつて直接挟まれた構造となっており、 この領域が発光領域となる。 この領域から発せられた光は、 陽極 2及ぴ基板 1を透過して下向きに進行する。 各陰極 6は、 たとえばアルミニウムからなり、 各有機 E Lス トリ ップ 5上に積層 されて各有機 E Lストリップ 5と同方向に延びている。

各陰極セパレー夕 7は、 互いに隣り合う陰極 6どうしの間を仕切り、 それらの 電気的な絶縁を図るためのものである。図 1及ぴ図 3によく表われているように、 各陰極セパレータ 7は、 陽極セパレータ 4上に形成され、 かつ陰極 6及ぴ有機 E Lストリップ 5と同方向に延ぴている。 後述するように、 この陰極セパレータ 7 は、 ネガ形のフォトレジストにより形成されたものである。

次に、 前記した構成の有機 E L表示パネ Aの製造方法と作用につい " 説明す る。 '

有機 E L表示パネル Aを製造するには、 基板 1上に複数の陽極 2及ぴ複数の補 助電極 3を形成した後に、 陽極セパレータ 4を形成する。 この陽極セパレータ 4 の形成は、 ポジ形のフォトレジストを用いて、 フォトリソグラフィの手法により 行なう。 より具体的には、 図 5 aに示すように、 まず基板 1上に複数の陽極 2及 ぴ複数の補助電極 3を覆うレジスト膜 4 Aを形成してから、 露光処理を行なう。 露光用のマスク 8 1は、 陽極セパレ—タ 4として形成すべき部分 4 ' には光を照 射させず、 それ以外の部分 4 9 (網点による暗色表示部分） に光を照射可能とす るものである。

前記の部分 4 ' ， 4 9間の境界は、 陽極セパレータ 4の開口部 4 0の縁部 4 0 aに相当する。 補助電極 3は開口部 4 0を避けるように設けらるために、'補助電 極 3が前記境界に向けて多くの光を反射しない。 その一方、 レジスト膜 4 A内を 光が進行する際にその光の強度は弱まる。 このため、 露光対象となる部分 4 9の 露光量は、 レジスト膜 4 Aの上面で最大となって、下面に近づくほど少なくなり、 レジスト膜 4 Aのうちの非露光部分は、 レジスト 4 Aの裏面になるほど幅広とな る。 したがって、 その後現像処理を行ない、 非露光部分を残存させることによつ てこの部分を陽極セパレータ 4とすると、 図 5 bに示すように、 開口部 4 0の縁 部 4 0 aは、 開口部 4 0の開口幅が上側になるほど大きくするようにな.だらかに 傾斜した形状となる。

陽極セパレータ 4がこのように形成されると、 次に述べるように、 この陽極セ パレータ 4上に有機 E Lストリップ 5や陰極 6を形成するのに具合が良い。 図 7 は、 本発明との対比例を示していおり、 同図において、 本実施形態の要素に対応 する要素には、 本実施形態と同一符号を付している。 この対比例においては、 陽 極セパレータ 4の縁部 4 0 aが、 陽極 2の表面から垂直に近い角度で立ち上がつ ている。 このような構成においては、 その後陽極 2及び陽極セパレータ 4上に有 機 E Lストリップ 5を形成する場合、 陽極 2の表面上の縁部 4 0 a付近の隅部 n 1に有機 E Lストリップ 5を適切に形成することが困難となり、 その隅部 n 1に おいて、有機 E Lストリップ 5·の厚みが極端に薄くなるといつた現象を生じ易い。 この有機 E Lストリップ 5上に陰極 6 'を形成する場合についても同様である。 こ れでは、 これら有機 E Lストリップ 5や陰極 6の耐圧性が劣ったものとなる。 こ れに対し、 本実施形態においては、 図 6に示すように、 陽極セパレータ 4の縁部 4 0 aの傾斜がなだらかであるために、 隅部 n 1が広く開口した形状とな'り、 こ の部分にも有機 E Lス トリップ 5や陰極 6を適切に形成することが可能である。 陽極セパレータ 4の形成後には、 陰極セパレータ 7を形成する。 この陰極セパ レータ 7の形成は、 既述した従来技術と同様に、 ネガ形のフォ トレジス トを用い てフォトリソグラフィの手法により行なう。 具体的には、 図 8に示すように、 陽 極セパレータ 4上にレジスト膜 7 Aを形成した後に露光を行なう。 露光用マスク 8 2は、 陰極セパレータ 7として形成する部分 7 ' (網点により喑色表示した部 分） のみへの露光を可能とするものである。 この露光処理時には、 前記部分 7 ' の下方まで光が進行する虞れがあるものの、 前記部分 7 ' の直下は補助電極 3の 分断部 3 9である。 このため、 前記光が補助電極 3によって強く上方に向けて散 乱反射されることはない。 したがって、 レジスト膜 7 Aの露光対象部分の露光量 は、 レジス ト膜 7 Aの上面で最大となって、 下面に近づくほど少なくなる。 た がって、 その後現像処理を行なうと、 陰極セパレータ 7は、 既述,した従来技術の 場合とは反対に、 上部よりも下部の方が幅狭となる断面形状に形成されることと なる。 ' . '

陰極セパレータ 7が前記断面形状に形成されると、 図 9に示すように、 そ'の後 有機 E Lス トリップ 5や陰極 6をたとえば蒸着により形成するときには、 陰樨 パレータ 7の両側面 7 0 b , 7 0 cにそれらの成膜がなされないこととなる。 し たがって、 陰極セパレータ 7を挟んで隣り合う陰極 6間に電気的な短絡を生じ難 くすることが可能となる。

図 1 0 a及ぴ 1 0 bは、 本発明の第 2実施形態を示しており、 図 1 1は本発明 の第 3実施形態を示している。 これらの図においては、 上述の第 1実施形態と同 一又は類似の要素には、 同実施形態と同一の符号を付している。

図 1 0 a及び 1 0 に示す第 2実施形態においては、 複数の補助電極 3 (図 1 O .bの暗色表示部分） ί 各陽極 2の幅方向両側縁部のそれぞれの上に積層して 設けられている。 各補助電極 3は、 陰極セパレータ 7の直下で陽極セパレータ 4 の開口部 4 0を避けるように設けられている。 このよう'な構成によれば、'各陽極 2の幅方向の一側縁部上のみに補助電極を設ける場合と比較すると、 複数の補助 電極 3全体のボリュームを大きくし、 配線抵抗を小さくするのに好ましい。

図 1 1に示す第 3実施形態においては、 各補助電極 3 (暗色表示部分） は矩形 環状とされており、 各陽極 2の長手方向に延びる一対の帯状部 3 0 aと、 これら 一対の帯状部 3 0 aの長手方向両端どうしを繋ぐようにして各陽極 2の幅 向に 延びる一対の帯状部 3 0 bとを有している ₀ このような構成によれば、 捕助電極 3のボリュームを一層大きくすることができるために、 配線抵抗を図 1 0に示,し' た構成よりもさらに小さくすることが可能となる。

本発明は、 上述した実施形態の内容に限定されない。 本発明に係る有機 E L表 示パネルの各部の眞体的な構成は、 種々に設計変更自在である。 同様に、 本発明 に係る有機 E L表示パネルの製造方法の各工程の具体的な構成も変更自在である。 本発明においては、 単純マ トリクス方式のものに限定されず、 アクティブ 'マ トリクス方式のものにも適用することが可能である。 アクティブ 'マトリクス方 式のものでは、 マトリクス状に配列された複数の電極が形成された基板上に複数 本の信号線が形成されるが、 この信号線は細幅であることにより、 その電気抵抗 が比較的大きい。 このため、 金属製の補助電極を前記信号線に導通接触させて設 けることにより、 それらをトータルした部分の電気抵抗を小さくすることが可能 であり、 このような構造を採用した有機 E L表示パネルにおいても、 本発明を適 用することが可能である。 '

本発明でいう絶縁体は、 上述した実施形態の陽極セパレータ 4や陰極セパレー タ 7に相当する部分に限定されない。上述の陰極セパレータ 7は細幅であるため、 陰極セパレータ 7の全幅を避けるように補助電極 3を分断させているが、 これと は異なり、 たとえば陰極セパレータ 7が幅広状の場合には、 その縁部のみを避け るように捕助電極を分断させた構成としてもかまわない。

Claims

請求の範囲

1 . 基板上に形成された金属製の複数の補助電極と、 前記補助電極の上方におい てそれらと交差する方向に延びる複数の電極セパレータと、 を有する、 有機： e'-.L 表示パネルであって、

前記各補助電極は、 前記各電極セパレータと交差する位置にて分断されてい る、 有機 E L表示パネル。

2 . 前記基板上に形成された透光性を有する複数の陽極と、 前記陽極を覆い且つ それらと交差する^向に延びる複数の有機 E Lストリップと、 前記有機 E Lスト リップを覆い且つ前記陽極と交差する方向に延びる複数の陰極と、 をさらに具備 しており、 前記補助電極は、 前記各陽極に導通接触している、 請求項 1に記載の 有機 E L表示パネル。

3 . 前記電極セパレータは、 前記複数の陰極間に形成された陰極セパレータであ り、 前記各補助電極は、 前記各陰極セパレータとの交差位置において分断されて いる、 請求項 2に記載の有機 E L表示パネル。

4 . 前記陰極セパレータは、 ネガ形レジストからなる、 請求項 3に記載の有機 E L表示ノ 不ノレ。

5 . 前記各補助電極及び前記各陽極の一部を覆う陽極セパレータをさらに備えて おり、 前記陽極セパレータは、 隣接する陰極セパレータの間において開口部を有 している、 請求項 3に記載の有機 E L表示パネル。 '：

6 . 前記各補助電極は、 前記開口部を避けて形成されている、 請求項 5に記載の 有機 E L表示パネル。

7 . 前記陽極セパレータは、 ポジ形レジストからなる、 請求項 6に記載の有機 E L表示パネル。

8 . 基板上に一方向に延びるように形成された複数の陽極と、

前記陽極に導通接触する金属製の複数の補助電極と、 ' 前記各補助電極及び前記陽極の一部を覆うとともに、 前記各陽極上において 開口部を形成している陽極セパレータと、

, 前記陽極セパレータを覆うように形成されるとともに、 前記複数の陽極に接 触するように前記開口部内に部分的に進入している複数の有機 E Lストリップと、 前記有機 E Lストリ ップ上に積層されるとともに、 前記陽極と交差する方向に 延びる複数の陰極と、

前記陰極の間を仕切るとともに、 前記各陽極と交差する方向に延びる複数の陰 極セパレータと、 を有する、 有機 E L表示パネルであって、

前記各補助電極は、 前記各陰極セパレータ及ぴ前記開口部を避けて形成されて いる、 有機 E L表示パネル。 ' ■

9 . 前記補助電極は、 前記各陽極の少なくとも一方の長手縁部に重り、 且つそれ に沿って延ぴている、 請求項 8に記載の有機 E L表示パネル。

10. 前記補助電極は、 前記各陽極セパレータの各開口部を包囲する矩形環状であ る、 請求項 8に記載の有機 E L表示パネル。

11. 基板上に複数の金属製の捕助電極を形成する工程と、

前記補助電極よりも上方において、 レジストを露光 ぴ現像処理することに より、 前記補助電極と交差する方向に延びる複数の電極セパレータを形成するェ 程と、 を有する、 有機 E L表示パネルの製造方法であって、

前記補助電極を形成工程は、 前記各電極セパレータと交差するべき位置にて 当該補助電極が分断されるように行う、 有機 E L表示パネルの製造方法。

12. 基板上に複数の陽極を形成する工程と、

前記陽極に導通接触する複数の金属製の補助電極を形成する工程と、 レジストを露^及び現像処理することにより、 前記各補助電極及び前記各陽 極の一部を覆い、 かつ前記各陽極上において開口部を有する陽極セパレータを形 成する工程と、

前記陽極セパレータ上に複数の有機 E Lストリップを形成する工程と、 前記有機 E Lストリップを覆う複数の陰極を形成する工程と、 を有する 有 機 E L表示パネルの製造方法であって、

前記各補助電極の形成工程は、 前記陽極セパレータの開口部となるべき位 ¾ を当該捕助電極が避けるように行なう、 有機 E L表示パネルの製造方法。