JP2003077684A - 有機el素子 - Google Patents

有機el素子

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JP2003077684A
JP2003077684A JP2002240550A JP2002240550A JP2003077684A JP 2003077684 A JP2003077684 A JP 2003077684A JP 2002240550 A JP2002240550 A JP 2002240550A JP 2002240550 A JP2002240550 A JP 2002240550A JP 2003077684 A JP2003077684 A JP 2003077684A
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lines
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auxiliary electrode
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Chang Nam Kim
キム,チャン・ナム
Hak Su Kim
キム,ハク・ス
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LG Electronics Inc
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LG Electronics Inc
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 有機ELを用いてフラットパネルディスプレ
イを製作する時、駆動チップが既存の方式より少なく使
われ、開口率を増加させると共に、スキャンラインの数
を減らしてデータラインのチップ数を減らせるようにし
た有機EL素子を提供する。 【解決手段】 基板上に形成された多数のデータ電極ラ
インと、そのデータ電極ラインに直交する多数のスキャ
ン電極ラインと、電極の間に形成された有機発光層とか
らなる有機EL素子において、各データ電極ラインが幅
方向に3つの電極ラインに分離してパターニングされ、
3つの画素からなる画素グループを同時にスキャンする
ようにしたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は有機EL素子に関
し、特にフラットパネルディスプレイの駆動チップが既
存の方式より少なく、開口率の高い有機EL素子に関す
る。
【0002】
【従来の技術】一般に、パッシブマトリックス有機EL
ディスプレイパネルは、高解像度の高いパネルであれば
あるほどピクセルの数が多く、これによってスキャンラ
イン及びデータラインの数が増加する。スキャンライン
の数が増加すると、1ピクセルの発光時間はそれだけ短
縮され、これによって単位時間当たり発光時間もが短く
なるので、瞬間輝度もその分高くならなければならな
い。
【0003】図1及び図2は従来の技術による有機EL
素子のスキャン駆動概念図である。図1のように、陽極
ストリップ、すなわちデータ電極ラインを半分に分割し
てそれぞれ独自にスキャンを行うことでスキャンライン
の数を半分に減らし、発光効率及び寿命を向上させる。
図2のように、陽極ストリップを分離してパターニング
して、隣接する二つをそれぞれ別々の補助電極に連結
し、それらの補助電極を左右別々に引き出すようにする
と共に、スキャンラインをそれらの二つの分離された電
極に共通に配置されるように2倍の広さに形成して、ス
キャンラインの数を半分に減らしたような方式もある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図1及
び図2のような方式はデータが両側に分けられることに
よってデータ用チップを両側に設けて使用することにな
り、原価上昇の問題が発生する。
【0005】そこで、本発明は上記のような問題点を解
決するために成されたものであって、有機ELを用いて
フラットパネルディスプレイを製作する時、駆動チップ
が既存の方式より少なくてすみ、開口率を増加させるこ
とができる有機EL素子を提供することである。
【0006】また、データラインと連結される補助電極
をデータラインの幅方向において三つに分け、スキャン
ラインの数を減らして1本のスキャンラインに少なくと
も3本のデータラインを同時に駆動して素子効率が向上
し、且つデータラインの配線を一方側に抜き出すことに
より、データラインのチップ数を減らせるようにした有
機EL素子を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るための本発明による有機EL素子は、基板上に形成さ
れた多数のデータ電極ラインと、そのデータ電極ライン
に直交する多数のスキャン電極ラインと、それらの電極
の間に形成された有機発光層とからなる有機EL素子で
あって、各データ電極ラインが三つを一つのグループと
するように分離してパターニングし、三つの画素を同時
にスキャンするようにしたことを特徴とする。
【0008】好ましくは、各データ電極ラインはスキャ
ン電極方向と直交する方向にそれぞれ形成される3本の
補助電極ラインと、補助電極にそれぞれ連結され、それ
ぞれの画素を駆動するように形成される主電極ラインと
からなることを特徴とする。
【0009】好ましくは、補助電極ラインは、Cr,M
o,Al,Cuなどの電導性材料であるか、この中2つ
以上の化合物であることを特徴とする。
【0010】好ましくは、電極パターンはITOより形
成された透明電極であることを特徴とする。
【0011】好ましくは、3本の補助電極ラインの中2
本の補助電極ラインが一平面に形成され、その形成され
た補助電極ライン上に第2絶縁膜を形成し、その第2絶
縁膜上に2本の補助電極ラインの何れか1本と残りの補
助電極ラインとを重畳して形成することを特徴とする。
【0012】好ましくは、重畳して形成した補助電極上
に第3絶縁膜を更に形成することを特徴とする。
【0013】好ましくは、3本の補助電極ラインの中第
1補助電極ラインが形成され、その第1補助電極ライン
上に第2絶縁膜を形成し、その第2絶縁膜上に第2補助
電極ラインを重畳して形成し、第2補助電極ライン上に
第3絶縁膜を形成し、第3絶縁膜上に再び第3補助電極
ラインを重畳して形成することを特徴とする。
【0014】好ましくは、第3補助電極ライン上に第4
絶縁膜を更に形成することを特徴とする。
【0015】補助電極ラインの幅が互いに等しいか等し
くなくても良い。
【0016】好ましくは、データ電極ライン上に第1絶
縁膜を更に形成することを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明によるダブルスキャ
ン構造の有機EL素子の好ましい実施形態を添付の図面
に基づいて説明する。
【0018】図3a〜図3cは本発明による第1実施形
態で、トリプルスキャン構造の有機EL素子の平面図に
よる製造工程図を示す。図3cに示すように、本発明に
よる有機EL素子はデータ電極ラインとなる第1電極5
とスキャン電極である第2電極が交差する領域に設けら
れる多数の画素を有し、一方向に配列された画素のうち
隣接した三つを一つの画素グループとし、その画素グル
ープが1本のスキャンラインに連結され、同時に駆動さ
れる。尚、データ電極ラインとは従来のデータラインを
意味し、主電極ラインとは画素に対応してパターニング
して形成させた第1電極とそれに接続した補助電極の並
びを意味する。本実施形態においては1本のデータ電極
ラインに3本の主電極ラインが属することになる。
【0019】上記のようなトリプルスキャン構造の有機
EL素子においては、透明基板上に、一方向に一つの画
素グループ当たり少なくとも3本のラインとして配列さ
れる補助電極が形成され、各補助電極には一つの画素グ
ループの隣接した画素3a,3b,3cのそれぞれが接
続されている。それぞれの画素3a,3b,3cに対応
させてパターニングして形成された第1電極5a,5
b,5cをそれぞれの補助電極2a,2b,2cに接続
するように設け、その第1電極5a,5b,5cの上に
有機発光層(図示せず)を設けると共に、その有機発光
層上に、第1電極5a,5b,5cと交差して形成され
た第2電極とを備えている。本実施形態はこの第2電極
即ちスキャン電極は三つの画素からなる画素グループに
1本の割合で配置されている。すなわち、第2電極は図
の縦方向に配置されるが、三つの画素からなる画素グル
ープをカバーするだけの幅を持っている。
【0020】3本のラインの補助電極の一つ2aは、画
素グループの中一番目に位置した画素3aを制御するよ
うに第1電極5aパターンに接続され、他の補助電極2
bは、画素グループの中二番目に位置した画素グループ
3bを制御するように第1電極5bパターンに接続さ
れ、残りの補助電極2cは画素グループの中三番目に位
置した画素グループ3cを制御するように、第1電極5
cパターンに接続されている。
【0021】そして、第1電極5a,5b,5cパター
ンのエッジ部分をカバーするように透明基板上に形成さ
れた絶縁膜4−4をも備えている。さらに、一方向に配
列された三つの画素グループ毎にその並びと直交するよ
うに形成され、隣接した三つの画素グループが1本のス
キャンラインで同時に駆動されるように第2電極を三つ
の画素グループ毎に電気的に隔離させる隔壁6を備えて
いる。
【0022】以下、上記のような有機EL素子の製造方
法を図3a〜図3cを参照して説明する。
【0023】図3aのように、透明基板上に一つの画素
グループ当たり少なくとも3本のラインの補助電極2
a,2b,2cを形成する。この際、真ん中の第2補助
電極2bの一部は第1補助電極2aから離して所定の間
隔を隔てて隣り合い、他の一部は第3補助電極2cから
離して所定の間隔を隔てて隣り合うようにする。即ち、
第2補助電極2bはジグザグ状のラインとして形成され
ている。
【0024】従って、この実施形態の場合、補助電極ラ
イン2bは他のラインに比べて長くなり抵抗差が生じる
ので、それを補うように補助電極2a,2b,2cの配
線幅x,y,zを異なるようにして形成しても良い。
【0025】次いで、図3bのように、3本のラインの
補助電極2a,2b,2cと電気的に連結されるように
透明な導電性物質をパターニングして、第1電極5a,
5b,5cのパターンを形成する。その際、第1電極5
aは補助電極2aと、第1電極5bは補助電極2bと、
最後の第1電極5cは補助電極2cと電気的に連結され
るようにする。そして、第1電極5a,5b,5cパタ
ーンのエッジ部分をカバーするよう透明基板上に絶縁膜
4−4を形成する。
【0026】次いで、一方向に配列された三つの画素グ
ループが外部の1本のスキャンライン(図示せず)と連
結され、三つの画素グループを同時に駆動するように、
第2電極を画素グループごとに電気的に隔離させる隔壁
6を形成し、第1電極5a,5b,5cの上にそれぞれ
有機発光層を形成する。
【0027】即ち、三つの画素3a,3b,3cからな
るグループ毎に補助電極2a,2b,2cと交差する方
向に隔壁6を形成し、第1電極5a,5b,5cの上部
に有機発光層を形成し、その有機発光層上に第2電極
(図示せず)を形成した後、パシベーション、エンキャ
ップレーション(encapsulation)を行うと素子が完成す
る。
【0028】さらに、図示しないスキャンラインを画素
グループごとにそれらに含まれる画素が一緒に駆動され
るように形成する。
【0029】図4及び図8は本発明による第2実施形態
であり、トリプルスキャン構造の有機EL素子の平面図
であり、3本の補助電極の少なくとも2本以上絶縁材を
介在させて重ねて形成するようにした例であり、図5a
〜図5c及び,図9a〜図9bはそれぞれ図4及び図8
のI−I’,II−II’方向に沿った製造工程図を示す。
【0030】本発明の第2実施形態は3本のラインの補
助電極2a,2b,2cのうち少なくとも2本のライン
を重畳して形成することが特徴である。即ち、第2実施
形態では、微細画素を形成する場合、画素の開口率を高
めるために補助電極を重畳して多層構造に形成してい
る。この際、多層の補助電極は同一の幅及び太さを持
ち、上下に重畳される。
【0031】図4は2本の補助電極2a、2bを重畳し
て2層構造の補助電極を形成し、重畳した補助電極の間
に絶縁膜を更に形成したものであって、それ以外第1実
施形態の構成とほぼ同様であるので、その構成の説明は
省略する。
【0032】図4に示すように、3本のラインの補助電
極のうち2a,2bの補助電極を重畳し、その重畳する
2本のラインの補助電極2a,2bの間に絶縁膜4−1
を形成して、2本のラインの補助電極2a,2bを電気
的に隔離する。多数のスキャンラインのうち特定のスキ
ャンラインにスキャン信号が印加され、3本のラインの
補助電極2a,2b,2cにそれぞれ独立的に接触され
た第1電極5a,5b,5cにデータ信号が印加される
と、第1電極5a,5b,5cのデータ信号が印加され
た第1電極の上に形成された有機発光層が発光する。こ
のとき、発光時間は1ラインの補助電極を形成した時よ
り3倍に増加する。なお、この実施形態では補助電極と
第1電極との接続は図4に示すように、それぞれの補助
電極を直線状に配置し、それぞれからそれぞれの画素の
縁に沿って直角方向に突出部を形成させ、その連結部で
第1電極に接続する。その際、絶縁膜が介在することに
なるがその絶縁膜を突出部の部分では除去して電気的に
接続させる。また、後述のようにビアホールを形成させ
てそのビアホールを利用して電気的に接続するようにし
てもよい。2本のラインの補助電極2a,2bを重畳し
て形成したので、第1電極の形成領域を拡張させること
ができ、画素の発光効率が更に増加する。
【0033】以下、かかる有機EL素子の製造方法を図
4,及び図5a〜図5dを参照して説明する。
【0034】図5aのように、透明基板1上に2本のラ
インの補助電極2a,2cを形成する。2本のラインの
補助電極2a,2cはストライプパターンであり、かつ
そのストライプパターンと連結され突出部を有するよう
に形成する。
【0035】次いで、図5bのように、補助電極2a,
2cの上に絶縁膜4−1を形成し、補助電極2aの上に
形成された絶縁膜4−1上にさらに補助電極2bを直線
状、すなわちストライプパターン及び、ストライプパタ
ーンと連結された突出部を有するように形成して、2つ
の補助電極2a,2bを重畳する。
【0036】次いで、図5cのように、3本のラインの
補助電極2a,2b,2cとその突出部で電気的に連結
されるように透明な導電性物質をパターニングして第1
電極5a,5b,5cのパターンを形成する。そして、
図5dのように、第1電極5a,5b,5cパターンの
エッジ部分をカバーするように透明基板上に絶縁膜4−
4を形成する。
【0037】次いで、一方向に配列された三つの画素グ
ループが外部の1本のスキャンライン(図示せず)と連
結され、三つの画素グループが同時にスキャン駆動され
るように、第2電極を画素グループ毎に電気的に隔離さ
せる隔壁6を形成し、第1電極5a,5b,5cの上部
に有機発光層を形成する。即ち、三つの画素3a,3
b,3cからなるグループ毎に一つずつ補助電極2a,
2b,2cと交差する方向に隔壁6を形成した後、有機
発光層上に第2電極(図示せず)を形成し、パシベーシ
ョン、エンキャップレーションを行うとディスプレイ素
子が完成する。
【0038】一方向に配列された画素グループのうち隣
接した三つの画素グループが1本のスキャンラインに連
結され同時に駆動されるように、補助電極2a,2b,
2cと交差する方向の隣接した三つの画素グループ当た
り1本のスキャンライン(図示せず)を連結する段階を
更に備えている。
【0039】図6は図4の他の実施形態であり、トリプ
ルスキャン構造の有機EL素子の平面図を示し、図7a
〜図7eは図6のIII−III’方向に沿った製造工程を示
す。この実施形態は、図6及び図7eに示すように、重
畳する2本のラインの補助電極2a,2bの間だけでな
く、補助電極2bの上部に絶縁膜4−2が更に形成され
るものであって、絶縁膜4−2を形成することにより、
更に広い面積で第1電極5a,5b,5cを形成するこ
とができる。図6の他の構成は図4の構成とほぼ同様で
あり、製造工程においても絶縁膜4−2を形成すること
外は同様であるので省略する。
【0040】図8は3本のラインの補助電極を全て重畳
して3層構造の補助電極を形成し、重畳した補助電極の
間に絶縁膜を更に形成するもので、第1実施形態の構成
とほぼ同様であるのでその詳細な構成は省略する。
【0041】図8及び図9aに示すように、3本のライ
ンの補助電極2a,2b,2cを共に重畳する。補助電
極2a,2b,2cの間には絶縁膜4−1,4−2を形
成して、3本のラインの補助電極2a,2b,2cを電
気的に隔離する。多数のスキャンラインのうち特定のス
キャンラインにスキャン信号が印加され、3本のライン
の補助電極2a,2b,2cにそれぞれ独立的に接触さ
れた第1電極5a,5b,5cにデータ信号が印加され
ると、第1電極5a,5b,5cの上に形成された有機
発光層が発光する。発光時間は1ラインの補助電極を形
成した時より3倍に増加する。
【0042】そして、3本のラインの補助電極2a,2
b,2cを重畳して形成したので、第1電極5a,5
b,5cの形成領域を拡張させ、画素の発光効率が更に
増加する。
【0043】図10は図8の他の実施形態であって、ト
リプルスキャン構造の有機EL素子の平面図を示す。図
10は図8の構成とほぼ同様であり、図10に示すよう
に、重畳した3本のラインの補助電極2a,2b,2c
の間だけでなく、補助電極2cの上部に絶縁膜4−3が
更に形成されるものであって、絶縁膜4−3を形成する
ことにより、更に広い面積で第1電極5a,5b,5c
を形成することができる。
【0044】図11は図8の他の実施形態であり、トリ
プルスキャン構造の有機EL素子の平面図を示し、図1
2は図11のIV−IV’方向に沿った断面図を示す。図1
1は重畳する絶縁膜4−1,4−2がビアホール4aを
有し、第1電極5a,5b,5cをビアホール4aを通
して隣接した三つの画素3a,3b,3cに形成された
補助電極2a,2b,2cに接触させる。
【0045】図13は図11の他の実施形態であり、ト
リプルスキャン構造の有機EL素子の断面図を示すもの
であって、3本のラインの補助電極2a,2b,2cの
間だけでなく、補助電極2cの上部に絶縁膜4−3が更
に形成されるもので、絶縁膜4−3を形成することによ
り、更に広い面積で第1電極5a,5b,5cを形成す
ることができる。
【0046】第1,2、3実施形態で、隔壁6を境界に
分離された第2電極に電気的に連結されたスキャンライ
ンにスキャン信号が印加され、第2電極の下部に第2電
極と交差して形成される補助電極2a,2b,2cにデ
ータ信号が印加されると、データ信号が印加された補助
電極2a,2b,2cと電気的に連結された第1電極5
a,5b,5cへデータ信号が伝達され、対応する画素
3a,3b,3cを発光させる。
【0047】一回のスキャンによって三つの画素3a,
3b,3cが同時に発光するので、発光時間を3倍に増
加させることができ、スキャンラインの数は1/3に減
る。そして、第1,第2,第3実施形態において補助電
極2a,2b,2cの材料は電導性物質を使用すれば好
ましく、特に、Cr,Mo,Al,Cuの合金、或いは
2つ以上を同時に使用することも可能である。厚さは
0.01〜10μmであり、線幅は素子によって異なる
ように形成できる。
【0048】絶縁膜4−1,4−2,4−3,4−4の
材料としては無機及び有機絶縁膜共に使用可能であり、
無機絶縁膜として酸化系絶縁膜(oxide類、SiO
)と窒化系絶縁膜(nitride類、SiNx)が
好ましく、有機絶縁膜としてはポリマー(特に、pol
yacryl類、polyimide類,novola
c,polyphenyl,polystyrene)
であれば良い。また、絶縁膜の厚さは0.01〜10μ
mであれば良く、可視光線に対して吸光度の低い物質が
好ましい。
【0049】絶縁膜(4−1,4−2,4−3,4−
4)の材料は同一であるか異なる物質の使用が可能であ
る。絶縁膜4−4は第1電極5a,5b,5cと第2電
極の段落を防止するため、工程中に損傷しやすい第1電
極5a,5b,5cのエッジ部分をカバーするように形
成する。そして、第1電極5a,5b,5cは透明電極
であり、第2電極は金属電極である。
【0050】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるトリ
プルスキャン構造の有機EL素子は次のような効果があ
る。
【0051】画素の1列の並びに補助電極を三の部分に
分けてて配置し、三つの画素に共通にスキャンラインを
配置したので、スキャンラインの数を減らし、データチ
ップの数を減らすことができ、1画素の発光時間を3倍
に増加させ、画素の発光効率を高めることができた。ま
た、第1電極と電気的に連結される3本のラインからな
る補助電極のうち少なくとも2本のラインを重畳するよ
うにし、各画素グループが3本のラインの補助電極によ
って独立的に制御されるように補助電極を絶縁膜に絶縁
させる方法により、透明基板上で補助電極の占める面積
を減少させ、且つ透明電極の第1電極を広く形成させ、
その分画素の開口率を増大させることができ、画素の発
光効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術による有機EL素子のスキャン駆動概
念図。
【図2】従来技術による有機EL素子のスキャン駆動概
念図。
【図3a】本発明による第1実施形態であり、トリプル
スキャン構造の有機EL素子の平面図による製造工程
図。
【図3b】本発明による第1実施形態であり、トリプル
スキャン構造の有機EL素子の平面図による製造工程
図。
【図3c】本発明による第1実施形態であり、トリプル
スキャン構造の有機EL素子の平面図による製造工程
図。
【図4】本発明による第2実施形態であり、トリプルス
キャン構造の有機EL素子の平面図。
【図5】図4及び図8のI−I’,II−II’方向に沿っ
た製造工程図。
【図6】図4の他の実施形態であり、トリプルスキャン
構造の有機EL素子の平面図。
【図7a】図6のIII−III’方向に沿った製造工程図。
【図7b】図6のIII−III’方向に沿った製造工程図。
【図7c】図6のIII−III’方向に沿った製造工程図。
【図7d】図6のIII−III’方向に沿った製造工程図。
【図7e】図6のIII−III’方向に沿った製造工程図。
【図8】本発明による第2実施形態であり、トリプルス
キャン構造の有機EL素子の平面図。
【図9】図4及び図8のI−I’,II−II’方向に沿っ
た製造工程図。
【図10】図8の他の実施形態であり、トリプルスキャ
ン構造の有機EL素子の断面図。
【図11】図8の他の実施形態であり、トリプルスキャ
ン構造の有機EL素子の平面図。
【図12】図11のIV−IV’方向の断面図。
【図13】図11の他の実施形態であり、トリプルスキ
ャン構造の有機EL素子の断面図。
【符号の説明】
1:透明基板 2a,2b,2c:補助電極 3a,3b,3c:画素 4−1,4−2,4−3,4−4:絶縁膜 4a:ビアホール 5a,5b,5c:第1電極 6:隔壁
フロントページの続き (72)発明者 キム,ハク・ス 大韓民国・ソウル・カンブック−ク・ミア 7−ドン・(番地なし)・エスケイ ブ カンサンシテイ アパートメント・143− 903 Fターム(参考) 3K007 AB03 BA06 CB01 CC00 DB03 EA00

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に形成された多数のデータ電極ラ
    インと、そのデータ電極ラインに直交する多数のスキャ
    ン電極ラインと、前記電極の間に形成された有機発光層
    とからなる有機EL素子であって、 各データ電極ラインが三を一つのグループとして三に分
    離してパターニングされ、同時に三つの画素をスキャン
    するようにした有機EL素子。
  2. 【請求項2】 前記各データ電極ラインはスキャン電極
    方向と直交する方向にそれぞれ形成される3本の補助電
    極ラインと、 前記補助電極に連結され、それぞれの画素を駆動するよ
    うに形成される主電極ラインとからなることを特徴とす
    る請求項1記載の有機EL素子。
  3. 【請求項3】 前記補助電極ラインは、Cr,Mo,A
    l,Cuなどの電導性材料であるか、この中2つ以上の
    化合物であることを特徴とする請求項2記載の有機EL
    素子。
  4. 【請求項4】 前記電極パターンはITOより形成され
    た透明電極であることを特徴とする請求項2記載の有機
    EL素子。
  5. 【請求項5】 前記3本の補助電極ラインの中2本の補
    助電極ラインが同一平面に形成され、これらの補助電極
    ライン上に第2絶縁膜を形成し、その第2絶縁膜の上に
    前記2本の補助電極ラインの中何れか1本と重なるよう
    に残りの補助電極ラインを形成することを特徴とする請
    求項2記載の有機EL素子。
  6. 【請求項6】 前記重畳して形成した補助電極上に第3
    絶縁膜を更に形成することを特徴とする請求項5記載の
    有機EL素子。
  7. 【請求項7】 前記3本の補助電極ラインの中第1補助
    電極ラインが形成され、その第1補助電極ライン上に第
    2絶縁膜を形成し、その第2絶縁膜上に第2補助電極ラ
    インを重畳して形成し、前記第2補助電極ライン上に第
    3絶縁膜を形成し、前記第3絶縁膜上に再び第3補助電
    極ラインを重畳して形成することを特徴とする請求項2
    記載の有機EL素子。
  8. 【請求項8】 前記第3補助電極ライン上に第4絶縁膜
    を更に形成することを特徴とする請求項7記載の有機E
    L素子。
  9. 【請求項9】 前記補助電極ラインの幅が互いに等しい
    か不等であることを特徴とする請求項1記載の有機EL
    素子。
  10. 【請求項10】 前記データ電極ライン上に第1絶縁膜
    を更に形成することを特徴とする請求項1記載の有機E
    L素子。
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