WO2003055201A1 - Dispositif d'imagerie - Google Patents

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WO2003055201A1
WO2003055201A1 PCT/JP2002/012887 JP0212887W WO03055201A1 WO 2003055201 A1 WO2003055201 A1 WO 2003055201A1 JP 0212887 W JP0212887 W JP 0212887W WO 03055201 A1 WO03055201 A1 WO 03055201A1
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light
output
photosensitive
sensitive
luminance profile
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PCT/JP2002/012887
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Yukinobu Sugiyama
Haruyoshi Toyoda
Naohisa Mukozaka
Original Assignee
Hamamatsu Photonics K.K.
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Priority to EP02786068A priority patent/EP1460839A4/en
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    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/76Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
    • HELECTRICITY
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    • H04N25/76Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
    • H04N25/77Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components

Definitions

  • the present invention relates to an imaging device.
  • An imaging device is an imaging device having a light-sensitive region in which pixels are two-dimensionally arranged, and a first light-sensitive portion and a second light-sensitive portion that output light in accordance with the intensity of incident light, respectively.
  • an image detection unit for reading out the output from the first photosensitive portion and detecting an image based on the output, and reading out the output from the second photosensitive portion. It is characterized by including a luminance profile detection unit for detecting a luminance profile in a first direction and a second direction in a two-dimensional array based on the output.
  • the imaging device In the imaging device according to the present invention, light incident on one pixel is detected in each of the first light-sensitive portion and the second light-sensitive portion constituting the pixel, and an output according to light intensity is output for each light-sensitive portion. Done. Then, the output from the first light-sensitive portion is read by the image detection unit, and an image is detected based on the output. Further, the output from the second light-sensitive portion is read out by the luminance profile detection section, and the luminance profile in the first direction and the second direction in the two-dimensional array is detected based on the output.
  • one pixel is composed of the first photosensitive part and the second photosensitive part. Therefore, it is possible to detect not only the image but also the two-dimensional position where light is incident.
  • wiring for leading the output from the first photosensitive portion to the image detecting portion and wiring for leading the output from the second photosensitive portion to the luminance profile detecting portion are provided extending between the pixels. Is preferred. In such a configuration, the respective wirings do not prevent light from entering the first photosensitive portion and the second photosensitive portion, so that a decrease in detection sensitivity can be suppressed.
  • the second light-sensitive portion includes a plurality of light-sensitive portions arranged adjacent to each other in the same plane, and extends over a plurality of pixels arranged in the first direction in the two-dimensional array.
  • One of the light-sensitive portions included in the portion is electrically connected to each other, and is included in the second light-sensitive portion over a plurality of pixels arranged in the second direction in the two-dimensional array. It is preferable that the other photosensitive portions of the plurality of photosensitive portions are electrically connected to each other. In such a configuration, the light incident on one second light-sensitive portion is detected in each light-sensitive portion included in the second light-sensitive portion, and a current corresponding to the light intensity is supplied to each light-sensitive portion. Output for each part.
  • the current output from the one photosensitive portion is in the first direction. Sent. Also, since the other photosensitive portions are electrically connected to each other over a plurality of pixels arranged in the second direction in the two-dimensional array, the current output from the other photosensitive portion is in the second direction. Sent to Thus, while the current output from one photosensitive portion is sent in the first direction, and the current output from the other photosensitive portion is sent in the second direction, the luminance in the first direction It is possible to obtain a profile and a brightness profile in the second direction independently of each other. As a result, the two-dimensional position of the incident light can be detected at high speed with a very simple configuration in which a plurality of light-sensitive portions are provided in one pixel.
  • a wiring for electrically connecting one of the plurality of photosensitive portions is provided extending between the pixels in a first direction, and a plurality of wires are arranged in a second direction.
  • Wiring for electrically connecting the other photosensitive portions of the plurality of photosensitive portions included in the second photosensitive portion is provided extending between the pixels in the second direction over a number of pixels. Is preferred. With such a configuration, the incidence of light on the light-sensitive portion is not hindered by each wiring, and a decrease in detection sensitivity can be suppressed.
  • the second light-sensitive portion outputs a current according to the intensity of the incident light
  • the luminance profile detection unit detects one of the pixels electrically connected between the plurality of pixels arranged in the first direction.
  • a first luminance profile detection shift register for sequentially reading out the current output from the photosensitive sub-group in the second direction, and the other light electrically connected between a plurality of pixels arranged in the second direction.
  • a second luminance profile detection shift register for sequentially reading the current output from the sensitive part group in the first direction, and a current output from each one of the light sensitive part groups sequentially read by the first luminance profile detection shift register From the other light-sensitive sub-groups sequentially read by the first integration circuit for sequentially inputting and converting the output to a voltage output, and the second luminance profile detection shift register. Sequentially enter the current output, and a second integrating circuit for converting the output to the voltage output, preferably contains a.
  • the first light-sensitive portion outputs a current corresponding to the intensity of the incident light
  • the image detecting portion detects a first image for sequentially reading out the current output from the first light-sensitive portion in the first direction.
  • a shift register, and a second image detection shift register for sequentially reading the current output sequentially read in the first direction by the first image detection shift register in the second direction.
  • the luminance profile detection unit includes a first pixel position identification unit that identifies a pixel position having a predetermined luminance or higher in the detected luminance profile in the first direction, and a predetermined luminance or higher in the detected luminance profile in the second direction.
  • the image detecting unit may detect an image including the pixel position specified by the first pixel position specifying unit and the second pixel position specifying unit. preferable. With this configuration, it is possible to detect an image including an area having a predetermined luminance or more at an extremely high speed.
  • the imaging device can be applied to a moving object tracking sensor or the like.
  • FIG. 1 is a conceptual schematic configuration diagram illustrating an imaging device according to the present embodiment.
  • FIG. 2 is an enlarged plan view of a main part showing an example of a light-sensitive region included in the imaging device according to the present embodiment.
  • FIG. 3 is a schematic configuration diagram illustrating a photosensitive region included in the imaging device according to the present embodiment.
  • FIG. 4 is a schematic configuration diagram illustrating a first luminance profile detection signal processing circuit included in the imaging device according to the present embodiment.
  • FIG. 5 is a schematic configuration diagram illustrating a second luminance profile detection signal processing circuit included in the imaging device according to the present embodiment.
  • FIG. 6A is a graph illustrating a change over time of a signal output from the first luminance profile detection shift register.
  • FIG. 6B is a graph illustrating a temporal change of a signal output from the first luminance profile detection shift register.
  • FIG. 6C is a graph showing a change over time of a signal output from the first luminance profile detection shift register.
  • FIG. 6D is a graph illustrating a change with time of the reset signal input to the first integration circuit.
  • FIG. 6E is a graph illustrating a temporal change of a voltage output from the first luminance profile detection signal processing circuit.
  • FIG. 7A is a graph showing a change over time of a signal output from the second luminance profile detection shift register.
  • FIG. 7B is a graph showing a change over time of a signal output from the second luminance profile detection shift register.
  • FIG. 7C is a graph illustrating a change over time of a signal output from the second luminance profile detection shift register.
  • FIG. 7D is a graph illustrating a change with time of the reset signal input to the second integration circuit.
  • FIG. 7E is a graph illustrating a temporal change of a voltage output from the second luminance profile detection signal processing circuit.
  • FIG. 8 is a schematic configuration diagram illustrating an image detection unit included in the imaging device according to the present embodiment.
  • FIG. 9A is a graph showing a temporal change of a signal output from the first image detection shift register.
  • FIG. 9B is a graph showing the change over time of the signal output from the first image detection shift register.
  • FIG. 9C is a graph illustrating a temporal change of a signal output from the second image detection shift register.
  • FIG. 9D is a graph illustrating a temporal change of a signal output from the second image detection shift register.
  • FIG. 9E is a graph showing the change over time of the reset signal input to the third integration circuit.
  • FIG. 9F is a graph showing the change over time of the voltage output from the third integration circuit.
  • FIG. 10 is a schematic configuration diagram illustrating a modified example of the imaging device according to the present embodiment.
  • FIG. 11 is a schematic configuration diagram illustrating a modified example of the imaging device according to the present embodiment.
  • FIG. 12A is a diagram for explaining an operation of a modification of the imaging device shown in FIG. 11.
  • FIG. 12B is a diagram for explaining the operation of the modification of the imaging device shown in FIG. 11.
  • each of the parameters M and N is an integer of 2 or more.
  • the parameter m is any integer from 1 to M
  • the parameter n is any integer from 1 to N.
  • FIG. 1 is a conceptual schematic configuration diagram illustrating an imaging device according to the present embodiment.
  • the imaging device 1 according to the present embodiment includes a photosensitive region 10, a first luminance profile detection signal processing circuit 20, a second luminance profile detection signal processing circuit 30, an image detection And an image detection signal processing circuit 50 as a unit.
  • the first luminance profile detection signal processing circuit 20 and the second luminance profile detection signal processing circuit 30 constitute a luminance profile detection unit.
  • pixels 1 lmn are two-dimensionally arranged in M rows and N columns.
  • One pixel is configured by arranging a first photosensitive section 12 mn and a second photosensitive section 13 mn adjacent to each other on the same plane ⁇ ⁇ , each of which outputs a current corresponding to the intensity of light incident thereon.
  • the second photosensitive portions 13 mn are (in this embodiment, two) more disposed adjacent in the same plane containing the photosensitive portions 14 mn, 1 5 mn of.
  • FIG. 2 is an enlarged plan view of a main part showing an example of a photosensitive region included in the imaging device
  • FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a photosensitive region included in the imaging device.
  • illustration of an insulating layer, a protective layer, and the like is omitted.
  • the photosensitive region 10 includes a semiconductor substrate 40 made of a P-type (first conductivity type) semiconductor and an N-type (second conductivity type) semiconductor region 41, 42, 43 formed on the surface layer of the semiconductor substrate 40. And as a result, the first photosensitive portion 12 mn includes the semiconductor substrate 40 and the second conductivity type semiconductor region 41 to form the photodiode 61. Further, photosensitive portions 14 m n of one included in the second photosensitive portions 1 3 mn includes a semiconductor substrate 40 portion and the second conductive type semiconductor region 42, so that the Fotodaio de 62 is configured.
  • the other photosensitive portion 15 mn included in the second photosensitive portion 13 mn includes the semiconductor substrate 40 and the second conductivity type semiconductor region 43, and the photodiode 63 is formed.
  • the first photosensitive part 12 mn is composed of a passive pixel sensor (PPS).
  • the second conductivity type semiconductor regions 42 and 43 have a substantially triangular shape when viewed from the light incident direction. In one pixel, the two regions 42 and 43 are adjacent to each other on one side. Is formed.
  • the semiconductor substrate 40 is set to the ground potential.
  • the photosensitive region 10 may include a semiconductor substrate made of an N-type semiconductor and a P-type semiconductor region formed on a surface layer of the semiconductor substrate.
  • the first wiring 45 is electrically connected to the region 41 via a through hole (not shown) formed in an insulating layer (not shown). Further, a MOS gate 46 made of polysilicon is provided, and a second wiring 47 is electrically connected to the MOS gate 46. It is connected to the.
  • the switching element 64 field effect transistor: FET
  • FET field effect transistor
  • the drain of the switch element 64 corresponds to a large area of the region 41, and the region 42 where the source is connected to the first wiring 45 has a through hole (not shown) formed in an insulating layer (not shown).
  • the third wiring 48 is electrically connected via the.
  • a fourth wiring 49 is electrically connected to the region 43 via a through hole (not shown) formed in an insulating layer (not shown).
  • the material of the above-mentioned insulating layer can have use of S i 0 2 or S i N, etc., as the material for the wirings of the first wiring 45 to a fourth wiring 49 using a metal such as A 1 Can be.
  • the first wiring 45 electrically connects the region 41 in each pixel 1 lmn in the first direction, and is provided extending between the pixels 1 lmn in the first direction.
  • the second wiring 47 electrically connects the MOS gate 46 in the second direction, and is provided extending between the pixels 1 mn in the second direction.
  • the third wiring 48 electrically connects the region 42 in each pixel 1 mn in the first direction, and is provided extending between the pixels 1 mn in the first direction.
  • a plurality of pixels arranged in a first direction in the two-dimensional array 1 ln ⁇ l 1 1N, 1 1 21 ⁇ 1 1 2N, ⁇ ⁇ ⁇ , 1 1 M1 ⁇ 1 1 MN Niwataconnection one photosensitive portions 14 m n together (e.g., one of the photosensitive portions 14 "to 14 1N) and are electrically connected, light
  • a photosensitive portion extending in the first direction is formed in the sensitive region 10.
  • the photosensitive portions extending in the first direction are formed in M rows.
  • the fourth wiring 49 electrically connects the region 43 in each pixel 1 mn in the second direction, and is provided extending between the pixels 1 mn in the second direction.
  • the plurality of pixels 11 by connecting the region 43 in each pixel 1 lmn by the fourth wiring 49, the plurality of pixels 11 administratto 11 M1 arranged in the second direction in the two-dimensional array are arranged.
  • 1 1 12 ⁇ 1 1 M2, ⁇ ⁇ ⁇ '1 1 1N ⁇ 1 1 MN Niwata connexion other photosensitive portions 1 5 m n together (e.g., other photosensitive portions 15 " ⁇ 1 5 M1) electric are connected to each other to form a photosensitive portion extending in the second direction in the photosensitive region 10.
  • the photosensitive portion extending in the second direction is formed in N rows.
  • the photosensitive column of M columns extending long in the first direction and the photosensitive unit of N rows extending long in the second direction are formed on the same plane. .
  • the second wiring 47 and the fourth wiring 49 are connected between the pixels 11 arranged in the horizontal direction in FIG. 3, and the first wiring 45 and the third wiring 48 are In FIG. 3, there is a connection between the pixels 11 arranged vertically.
  • the shape of the regions 42 and 43 is not limited to the substantially triangular shape shown in FIG. 2 and may be other shapes, such as a rectangular shape or a comb shape when viewed from the light incident direction. Good. Also, two or more areas per pixel. Note that even if the area of the second conductivity type semiconductor region in the first direction and the second direction per pixel is different, it is sufficient that the area is constant in each direction between pixels. That is, it is only necessary that the total area of the photosensitive regions connected to all the wirings extending in the same direction is the same.
  • FIG. 4 is a schematic configuration diagram illustrating a first luminance profile detection signal processing circuit
  • FIG. 5 is a schematic configuration diagram illustrating a second luminance profile detection signal processing circuit.
  • the first luminance profile detection signal processing circuit 20 outputs a voltage H indicating a luminance profile of the light incident on the photosensitive region 10 in the second direction. Output ut .
  • the second luminance profile detection signal processing circuit 30 outputs a voltage V indicating a luminance profile of the light incident on the photosensitive region 10 in the first direction. Output ut .
  • First luminance profile detection signal processing circuit 20 as shown in FIG. 4, a first plurality of pixels arranged in the direction 1 1 " ⁇ 1 1 1N, 1 1 21 ⁇ 1 1 2N, ⁇ ⁇ ⁇ , Corresponds to one of the 14 mn light-sensitive sections electrically connected between 11 M1 and 11 MN (M rows of light-sensitive sections consisting of the second conductive type semiconductor region 42 and extending in the first direction)
  • a first switch element 21 provided in the form of a plurality of pixels ⁇ lii to ll iN, ll 2 i to ll 2 N, ⁇ , 11 MI to 11 MN arranged in the first direction
  • a first luminance profile detection shift register 22 for sequentially reading out the current from one of the light-sensitive portions 14 mn group electrically connected in the second direction, and a first luminance profile detection
  • a first integration circuit 23 that sequentially inputs currents from one of the light-sensitive portions 14 mn group sequentially read out by the shift register 22, converts the currents into voltage
  • the first switch elements 21 are controlled by a signal shift (H m ) output from the first luminance profile detection shift register 22 and are sequentially closed.
  • a first direction are arranged a plurality of pixels 1 1 u ⁇ 1 1 1N, 1 1 21 ⁇ 1 1 2N, ⁇ ⁇ ⁇ , between 1 1 M1 to 1 1 MN
  • the electric charge accumulated in one of the light-sensitive portions 14 mn electrically connected in the above becomes a current, which is output to the first integration circuit 23 via the third wiring 48 and the first switch element 21.
  • the operation of the first luminance profile detection shift register 22 is controlled by a signal output from a control circuit (not shown), and the first switch element 21 is sequentially closed. .
  • the first integrating circuit 23, a first direction are arranged a plurality of pixels 1 1 " ⁇ 1 1 1N, 1 1 21 ⁇ 1 1 2N, ⁇ ⁇ ⁇ , electrically between 1 1 M1 ⁇ 1 1 MN
  • One of the light-sensitive parts connected to the amplifier 14 receives the current output from the 14 mn group, amplifies the charge of the input current output, and one terminal is connected to the input terminal of the amplifier 24.
  • a capacitor 25 with the other terminal connected to the output terminal, one terminal connected to the input terminal of the amplifier 24, the other terminal connected to the output terminal of the amplifier 24, and a reset signal output from the control circuit.
  • the reset signal ⁇ D Hr ESET is the case of a non-significant and a switch element 26 becomes" OFF "state.
  • the first integration circuit 23 discharges the capacitor element 25 and initializes it.
  • the first integrating circuit 23 when switch device 26 is "OFF" state, the first plurality of pixels 1 arranged in the direction of " ⁇ 1 1 1N, 1 1 21 ⁇ 1 1 2N, ⁇ ⁇
  • the charge input to the input terminal from one of the 14 mn light-sensitive parts electrically connected between 11 M1 and 11 MN is stored in the capacitive element 25, and the charge corresponding to the stored charge is stored.
  • the second luminance profile detection signal processing circuit 30 as shown in FIG. 5, a plurality of pixels 1 1 u ⁇ 1 1 M doctor arranged in the second direction
  • the other light-sensitive portion 15 mn group electrically connected between 1 1 12 to 11 M2 ,..., 11N to 11 MN ( consisting of the second conductive type semiconductor region 43,
  • a second switch element 31 provided corresponding to the N rows of light-sensitive sections extending in the second direction, and a plurality of pixels arranged in the second direction.
  • the second switch element 31 is sequentially closed by being controlled by the signal shift (VJ) output from the second luminance profile detection shift register 32. By closing the second switch element 31, the second switch element 31 is closed in the second direction. a plurality of pixels 1 1 " ⁇ arranged: L 1 M Medical 1 1 12 ⁇ 1 1 M2, ⁇ ⁇ ⁇ , 1 1 1N ⁇ 1 1 other electrically connected between the MN photosensitive portions 1 5 mn The electric charge accumulated in the group becomes a current, which is output to the second integration circuit 33 via the fourth wiring 49 and the second switch element 31.
  • the second luminance profile detection shift register 32 includes a control circuit. The operation is controlled by the signal output from the switch, and the second switch element 31 is sequentially closed.
  • the second integration circuit 33 includes a plurality of pixels 11 administratto 11 M1 , 1 arranged in the second direction. ⁇ 12 ⁇ ⁇ ⁇ 2, ⁇ ⁇ ⁇ , enter the current output from the electrically connected the other photosensitive portions 1 5 mn group between 1 1 1N ⁇ 1 1 MN, the charge current output input Amplifier 34 to be amplified, one terminal connected to the input terminal of amplifier 34, capacitor 35 with the other terminal connected to the output terminal of amplifier 34, and one terminal connected to the input terminal of amplifier 34 The other terminal is connected to the output terminal of the amplifier 34, and when the reset signal E> Vreset output from the control circuit is significant, the state becomes “ON”. When the reset signal Vreset is insignificant, Has a switch element 36 which is in the "OFF" state.
  • the second integration circuit 33 discharges the capacitor element 35 and initializes it.
  • the second integration circuit 33 when the switch element 36 is "OFF” state, the second plurality of pixels 1 arranged in the direction of " ⁇ 1 1 M Medical 1 1 12 to 1 1 M2, ⁇ ⁇
  • the charge input to the input terminal from the other 15 mn group of light-sensitive parts electrically connected between 11N and 11 MN is stored in the capacitive element 35, and the charge is stored in accordance with the stored charge. and it outputs the voltage V. ut from the output terminal.
  • Figures 6A to 6E are timing charts for explaining the operation of the first luminance profile detection signal processing circuit. Is a timing chart for explaining the operation of the signal processing circuit for detecting the second luminance profile. .
  • a reset signal H reset is input to the first integration circuit 23 from the control circuit.
  • the charges accumulated in the corresponding one of the photosensitive portions 14 mn are accumulated in the capacitive element 25, and are accumulated as shown in FIG. Voltage H according to the amount of charge. ut are sequentially output from the first integration circuit 23.
  • the first integration circuit 23 closes the switch element 26 and initializes the capacitance element 25 when the reset signal ⁇ Hreset is in the “ON” state.
  • a first plurality arranged in a direction towards the pixel 1 1 1 1N, 1 1 21 ⁇ 1 1 2N, ⁇ ⁇ ⁇ , 1 1 M1 ⁇ 11 The voltage H corresponding to the charge (current) accumulated in the 14 mn group of one photosensitive part electrically connected between 1 MN . ut are sequentially output as time-series data for each of the corresponding 14 mn light-sensitive portions. This time-series data indicates a brightness profile in the second direction.
  • a signal shift (V n ) having a predetermined pulse width is generated as shown in FIGS. 7A and 7B. Output sequentially.
  • shift (V n ) is output from the second luminance profile detection shift register 32 to the corresponding second switch element 31, the second switch element 31 is sequentially closed, and the other corresponding light-sensitive portion 15 mn The charges accumulated in the group become currents and are sequentially output to the second integration circuit 33.
  • the reset signal ⁇ ⁇ is input to the second integration circuit 33 from the control circuit.
  • the charge accumulated in the corresponding other photosensitive portion 15 mn group is accumulated in the capacitor 35, and is accumulated as shown in FIG. 7E .
  • Voltage V according to the amount of charge ut are sequentially output from the second integration circuit 33.
  • the second integrating circuit 33 closes the switch element 36 and activates the capacitive element 35 first. Period.
  • the second person plural pixels arranged in direction 1 1 " ⁇ 1 1 M Medical 1 1 12 ⁇ 1 1 M2, ⁇ ⁇ ⁇ , 1 1 1N to 1 electrically connected to corresponding to the stored electric charge at the other of photosensitive portions 1 5 mn group (current) voltage V. ut between 1 MN is a corresponding other of photosensitive portions 1
  • the data is sequentially output as time-series data for each of the 5 mn groups, and the time-series data indicates a luminance profile in the first direction.
  • FIG. 8 is a schematic configuration diagram illustrating an image detection unit.
  • the image detection signal processing circuit 50 generates a voltage IM indicating pixel data (image) by light incident on the photosensitive region 10. Output ut .
  • the image detection signal processing circuit 50 includes a first image detection shift register 51 for sequentially reading out a current output from each of the first photosensitive portions 12 mn in a first direction, and a second direction.
  • the third switch element 52 provided corresponding to the pixel 1 lmn and the current output sequentially read out in the first direction by the first image detection shift register 51 are output in the second direction.
  • the second image detection shift register 53 for sequentially reading the current and the current from each first photosensitive portion 12 mn sequentially read by the second image detection shift register 53 are sequentially input, and the current is converted into a voltage.
  • a third integration circuit 54 that outputs the result.
  • the operation of the first image detection shift register 51 is controlled by a signal output from a control circuit (not shown) in order to read out the current generated in each of the first photosensitive sections 12 mn.
  • the signal shift (V I n ) is output to each! ⁇ 103 gate 46 (switch element 64).
  • the first image detection shift register 51 simultaneously outputs the signal shift (V in ) to the MOS gate 46 (switch element 64) of the first photosensitive section 12 mn arranged in the second direction. It is connected via the second wiring 47 so that it can be connected.
  • the third switch elements 52 are controlled by a signal shift (H ] m ) output from the second image detection shift register 53 and are sequentially closed.
  • the third switch element 52 By closing the third switch element 52, the first light-sensitive portion corresponding to the MOS gate 46 (switch element 64) closed by the signal shift (V ] n ) from the first image detection shift register 51 The electric charge accumulated in 12 mn becomes a current and is output to the third integration circuit 54 via the first wiring 48 and the third switch element 52.
  • the operation of the second image detection shift register 53 is controlled by a signal output from a control circuit (not shown), and the third switch element 52 is sequentially closed.
  • the third integrating circuit 54 receives the current output from each of the first photosensitive sections 12 mn and amplifies the electric charge of the input current output, and one terminal is connected to the input terminal of the amplifier 55.
  • the capacitance element 56 whose output terminal is connected to the other terminal of the amplifier 55, one terminal is connected to the input terminal of the amplifier 55, the other terminal is connected to the output terminal of the amplifier 55, and output from the control circuit.
  • the third integration circuit 54 discharges and initializes the capacitance element 56 when the switch element 57 is in the “ON” state.
  • the third integration circuit 54 accumulates the electric charge input from each of the first photosensitive portions 12 mn to the input terminal into the capacitance element 56 when the switch element .57 force S is in the ⁇ OFF '' state.
  • the voltage IM according to the accumulated charge. Output ut from the output terminal.
  • FIGS. 9A to 9F are timing charts for explaining the operation of the image detection signal processing circuit.
  • the reset signal I Mrset is input to the third integration circuit 54 from the control circuit. While the reset signal IMreset is in the “OFF” state, the charge accumulated in the corresponding first photosensitive portion 12 mn is accumulated in the capacitor 56, and as shown in FIG. 9F , the accumulated charge Voltage IM according to quantity. ut are sequentially output from the third integration circuit 54.
  • the third integration circuit 54 closes the switch element 57 and initializes the capacitance element 56 when the reset signal ⁇ IMreset is in the “ON” state.
  • the IM stored in the first photosensitive section 12mn and corresponding to the electric charge (current). ut are sequentially output as time-series data for each corresponding first photosensitive portion 12 mn .
  • This time-series data indicates pixel data (image).
  • the first luminance profile detection signal processing circuit 20, the second luminance profile detection signal processing circuit 30, and the image detection signal processing circuit 50 may be operated at the same timing, and may be independently operated in chronological order. It may be operated.
  • one pixel 1 l first photosensitive portions light incident on mn is constituting the pixel 1 l mn 1 2 mn and second photosensitive portions 1 3 mn , and outputs corresponding to the light intensity are made for each of the light-sensitive portions 12 mn and I 3 mn .
  • the first light sensitivity is controlled by the image detection signal processing circuit 50.
  • the output from the corresponding part 12 mn is read, and an image is detected based on the output.
  • the output from the second photosensitive section 13 mn is read out by the luminance profile detection section (the first luminance profile detection signal processing circuit 20 and the second luminance profile detection signal processing circuit 30), and based on the output.
  • the luminance profiles in the first direction and the second direction in the two-dimensional array are detected.
  • one pixel is composed of the first photosensitive portion 12 mn and the second photosensitive portion 13 mn , it is possible to detect not only an image but also a two-dimensional position where light is incident. It becomes possible.
  • the wires 45, 47, 48, and 49 do not prevent light from entering the first photosensitive section 12 mn and the second photosensitive section 13 mn , thereby suppressing a decrease in detection sensitivity. it can.
  • the second photosensitive portions 1 3 mn includes a plurality of photosensitive portions 14 mn, 1 5 mn disposed adjacent in the same plane, two-dimensional array the definitive first direction are arranged a plurality of pixels 1 1 n ⁇ 1 1 1N, 1 1 21 ⁇ 1 1 2N, • ⁇ ⁇ , 1 1 ⁇ 1 ⁇ 1 1 ⁇ Niwata connexion, second photosensitive portions 1 3 a plurality of photosensitive portions 14 mn contained in mn, 1 5 one photosensitive portions 14 mn each other among the mn are electrically connected, a plurality of pixels arranged in a second direction in the two-dimensional array 1 1 ⁇ ⁇ 1 1 M1, 1 1 12 ⁇ 1 1 M2, ⁇ ⁇ ⁇ , 1 1 1N ⁇ 'l 1 MN Niwata connexion, a plurality of photosensitive portions 14 mn in the second photosensitive portions 1 3 m n, the other photosensitive portions 1 5 mn same Judges of 15
  • the luminance profile in the first direction and the second direction As a result, it is possible to obtain a light profile in a very simple configuration in which a plurality of photosensitive parts 14 mn and 15 mn are arranged in one pixel. The two-dimensional position of light can be detected at high speed.
  • the third wiring 48 is provided extending between the pixels 1 lmn in the first direction
  • the fourth wiring 49 is provided between the pixels 1 lmn and the second wiring. It is preferable to be provided so as to extend in the direction of. In such a configuration, not the this hindered the entry of light into the respective wires 48, 49 by photosensitive portions 12 mn, 1 3 mn, can suppress a decrease in detection sensitivity.
  • the second light-sensitive portion 13 mn outputs a current corresponding to the intensity of the incident light, and outputs a current corresponding to the intensity profile detection section (the first luminance profile detection signal processing circuit 20, the second (2)
  • the luminance profile detection signal processing circuit 30 includes a first luminance profile detection shift register 22, a second luminance profile detection shift register 32, a first integration circuit 23, and a second integration circuit 33. Yes. This makes it possible to detect the luminance profile in the first direction and the luminance profile in the second direction with an extremely simple configuration.
  • the image detection signal processing circuit 50 includes a first image detection shift register 51, a second image detection shift register 53, and a second integration circuit 54. I have. This makes it possible to detect an image (pixel data) with an extremely simple configuration.
  • FIG. 10 is a schematic configuration diagram illustrating a modified example of the imaging device according to the present embodiment.
  • the modified example is different from the above-described embodiment in that the first light-sensitive portion 12 mn is configured as an active pixel sensor (PPS).
  • PPS active pixel sensor
  • 2 ⁇ 2 pixels are shown.
  • the wirings extending from the same position of each pixel 1 1 11 (1 1 12, 1 1 21, 1 1 22 that are connected.
  • the drains of field effect transistors (FETs) 81 and 82 are connected to the power supply voltage, and the source of transistor 81 and the gate of transistor 82 are connected to the drain of field effect transistor 83.
  • the source of transistor 83 is connected to the power source of photodiode 61. Further, it is connected to the third switch element 52 through a source of the transistor 82 and a drain and a source of the transistor 84.
  • the gate of the transistor 81 is supplied with a reset signal Reset (V I n ) from the first image detection shift register 51, and the gate of the transistor 83 is supplied with the signal SW ( V T n ). Further, a signal shift (V I n ) is supplied to the transistor 84 from the first image detection shift register 51.
  • a reset signal Reset (V ] n ) is applied to the gate of the transistor 81, the transistor 81 is turned on, and the transistor 81 is turned on via the drain and source. Then the voltage of the photodiode 61 is set to the power supply potential (reset). Note that at this time, the transistor 83 is on and the transistor 84 is off. continue, The reset signal Reset (V ] n ) to the gate of the transistor 81 disappears, and the transistor 81 is turned off, whereby the power source potential of the photodiode 61 is maintained at the power supply potential.
  • the photodiode 61 is irradiated with light, and the photodiode 61 photoelectrically converts the incident light, and a charge Q proportional to the amount of irradiation (intensity X time) is accumulated in the photodiode 61, and the photodiode 61
  • the potential of the cathode of the diode 61 causes a voltage change of QZC (where C is the capacitance of the photodiode 61).
  • the first light-sensitive portion 12 mn is configured by the active pixel sensor, it is possible to detect the image and also the two-dimensional position where the light is incident.
  • FIG. 11 is a schematic configuration diagram showing a further modified example of the imaging device according to the present embodiment.
  • the second luminance profile detection signal processing circuit 30 (luminance profile detection unit) includes a first pixel that specifies a pixel position having a predetermined luminance or higher in the luminance profile in the first direction. It includes a position identification unit 91. The output from each of the second switch elements 31 is connected to the first pixel position specifying section 91, and a plurality of pixels 11 administratto 11 M1 and 11 12 to 11 arranged in the second direction are connected. 1 1 M2, • ⁇ ⁇ , the current output from the electrically connected the other photosensitive portions 15 m n group between 1 1 1N ⁇ 1 1 MN is input.
  • the first pixel position specifying unit 91 specifies a pixel position having a predetermined luminance or more based on the input output, and outputs information on the specified pixel position to pixel information (channel information).
  • the pixel information includes a pixel position located around the specified pixel position.
  • the first image detection shift register 51 shifts (V ) n only the MOS gate 46 corresponding to the pixel position in the pixel information based on the pixel information sent from the first pixel position specifying unit 91. Output sequentially. As a result, only the MOS gate 46 corresponding to the pixel position in the pixel information is sequentially closed.
  • the first luminance profile detection signal processing circuit 20 (luminance profile detection unit) includes a second pixel position specification unit 92 that specifies a pixel position at or above a predetermined luminance in the luminance profile in the second direction.
  • the output from each of the first switch elements 21 is connected to the second pixel position specifying unit 92, and the plurality of pixels 11 administratto 11N , 1121 to 1111 arranged in the first direction are connected.
  • 1 1 2N , ⁇ '', Output from one of the 14 mn groups of photosensitive parts electrically connected between 11 M1 and 11 MN is input.
  • the second pixel position specifying unit 92 specifies a pixel position having a predetermined brightness or more based on the input output, and shifts information for the specified pixel position as pixel information (channel information) for the second image detection shift.
  • the pixel information includes a pixel position located around the specified pixel position.
  • the second image detection shift register 53 shifts only the third switch element 52 corresponding to the pixel position in the pixel information based on the pixel information sent from the second pixel position specifying unit 92 to shift (H ) m ). Output sequentially.
  • the image I 1 (MXN pixel) detected in the entire photosensitive region 10 Image I 2 (OX P pixel: M ⁇ 0, N ⁇ P) can be obtained.
  • the characteristic A indicates the luminance profile in the second direction obtained by the first luminance profile detection signal processing circuit 20, and the characteristic B indicates the second luminance profile detection signal. 5 shows a luminance profile in a first direction obtained by the processing circuit 30.
  • an image including an area having a predetermined luminance or higher can be detected at an extremely high speed.
  • the imaging apparatus 1 can be applied to a moving object tracking sensor and the like.
  • the present invention is not limited to the embodiment described above.
  • the second photosensitive portion 13 mn instead of disposing the second photosensitive portion 13 mn adjacent to the first photosensitive portion 12 nm in the same plane, the second photosensitive portion 13 mn may be provided on the back side of the semiconductor substrate 40 on which the photosensitive region 10 is formed.
  • a grid-like resistance part such as a resistance electrode is provided, and a luminance profile (light incident position) in the first direction and the second direction is detected by detecting a resistance value variation based on light incidence.
  • the imaging device of the present invention can be used for a moving object tracking device.

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Description

撮像装置
技術分野
本発明は、 撮像装置に関するものである。
'冃 ^ΛΪ¾術
従来、 C MO S型イメージセンサ等の固体撮像素子を用いて撮像し、 画像を検 出することが一般的に行われている。
発明の開示
しかしながら、 従来のものでは、 撮像による画像の検出と共に、 光が入射した 2次元位置の検出を行うということは不可能であった。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、 画像の検出と共に、 光が入射した 2次元位置の検出を行うことができる撮像装置を提供することを課題とする。 本発明に係る撮像装置は、 画素が 2次元配列された光感応領域を有する撮像装 置であって、 各々入射した光の強度に応じて出力する第 1光感応部分と第 2光感 応部分とで 1画素が構成されており、 第 1光感応部分からの出力を読み出して当 該出力に基づいて画像を検出するための画像検出部と、 第 2光感応部分からの出 力を読み出して当該出力に基づいて 2次元配列における第 1の方向及び第 2の方 向での輝度プロファイルを検出するための輝度プロファイル検出部とを備えるこ とを特徴としている。
本発明に係る撮像装置では、 1つの画素に入射した光は当該画素を構成する第 1光感応部分及び第 2光感応部分それぞれにおいて検出されて、 光強度に応じた 出力が光感応部分毎になされる。 そして、 画像検出部により、 第 1光感応部分か らの出力が読み出されて当該出力に基づいて画像が検出される。 また、 輝度プロ ファイル検出部により、 第 2光感応部分からの出力が読み出され当該出力に基づ いて 2次元配列における第 1の方向及び第 2の方向での輝度プロファイルが検出 される。 このように、 1画素が第 1光感応部分と第 2光感応部分とで構成されて いることから、 画像の検出と共に、 光が入射した 2次元位置の検出を行うことが 可能となる。
また、 第 1光感応部分からの出力を画像検出部に導くための配線と第 2光感応 部分からの出力を輝度プロファイル検出部に導くための配線とが画素間を延びて 設けられていることが好ましい。 このように構成した場合、 それぞれの配線によ り第 1光感応部分及び第 2光感応部分への光の入射を妨げられることはなく、 検 出感度の低下を抑制できる。
また、 第 2光感応部分は、 同一面内にて隣接して配設された複数の光感応部分 を含み、 2次元配列における第 1の方向に配列された複数の画素にわたって、 第 2光感応部分に含まれる複数の光感応部分のうち一方の光感応部分同士が電気的 に接続され、 2次元配列における第 2の方向に配列された複数の画素にわたつて 、 第 2光感応部分に含まれる複数の光感応部分のうち他方の光感応部分同士が電 気的に接続されていることが好ましい。 このように構成した場合、 1つの第 2光 感応部分に入射した光は当該第 2光感応部分に含まれる光感応部分それぞれにお いて検出されて、 光強度に応じた電流がそれぞれの光感応部分毎に出力される。 そして、 一方の光感応部分同士が 2次元配列における第 1の方向に配列された複 数の画素にわたって電気的に接続されているので、 一方の光感応部分からの電流 出力は第 1の方向に送られる。 また、 他方の光感応部分同士が 2次元配列におけ る第 2の方向に配列された複数の画素にわたって電気的に接続されているので、 他方の光感応部分からの電流出力は第 2の方向に送られる。 このように、 一方の 光感応部分からの電流出力は第 1の方向に送られるとともに、 他方の光感応部分 からの電流出力は第 2の方向に送られることから、 第 1の方向での輝度プロファ ィノレと第 2の方向での輝度プロフアイルとをそれぞれ独立して得ることが可能と なる。 この結果、 1画素に複数の光感応部分を配設するという極めて簡素な構成 にて、 入射した光の 2次元位置を高速に検出することができる。
また、 第 1の方向に配列された複数の画素にわたって、 第 2光感応部分に含ま れる複数の光感応部分のうち一方の光感応部分同士を電気的に接続するための配 線が、 画素間を第 1の方向に延びて設けられており、 第 2の方向に配列された複 数の画素にわたって、 第 2光感応部分に含まれる複数の光感応部分のうち他方の 光感応部分同士を電気的に接続するための配線が、 画素間を第 2の方向に延びて 設けられていることが好ましい。 このように構成した場合、 それぞれの配線によ り光感応部分への光の入射を妨げられることはなく、 検出感度の低下を抑制でき る。
また、 第 2光感応部分は入射した光の強度に応じた電流を出力し、 輝度プロフ アイル検出部は、 第 1の方向に配列された複数の画素間において電気的に接続さ れた一方の光感応部分群からの電流出力を第 2の方向に順次読み出すための第 1 輝度プロファイル検出用シフトレジスタと、 第 2の方向に配列された複数の画素 間において電気的に接続された他方の光感応部分群からの電流出力を第 1の方向 に順次読み出すための第 2輝度プロファイル検出用シフトレジスタと、 第 1輝度 プロファイル検出用シフトレジスタにより順次読み出される各一方の光感応部分 群からの電流出力を順次入力し、 その出力を電圧出力に変換する第 1積分回路と 、 第 2輝度プロファイル検出用シフトレジスタにより順次読み出される各他方の 光感応部分群からの電流出力を順次入力し、 その出力を電圧出力に変換する第 2 積分回路と、 を含んでいることが好ましい。 このように構成した場合、 第 1の方 向での輝度プロフアイノレと第 2の方向での輝度プロフアイルとを極めて簡易な構 成にて検出することができる。
また、 第 1光感応部分は入射した光の強度に応じた電流を出力し、 画像検出部 は、 第 1光感応部分からの電流出力を第 1の方向に順次読み出すための第 1画像 検出用シフトレジスタと、 第 1画像検出用シフトレジスタにて第 1の方向に順次 読み出された電流出力を第 2の方向に順次読み出すための第 2画像検出用シフト レジスタと、 を含んでいることが好ましい。 このように構成した場合、 画像を極 めて簡易な構成にて検出することができる。 また、 輝度プロファイル検出部は、 検出した第 1の方向での輝度プロファイル における所定輝度以上の画素位置を特定する第 1画素位置特定部と、 検出した第 2の方向での輝度プロファイルにおける所定輝度以上の画素位置を特定する第 2 画素位置特定部とを含み、 画像検出部は、 第 1画素位置特定部及び第 2画素位置 特定部にてそれぞれ特定された画素位置を含む画像を検出することが好ましい。 このように構成した場合、 所定輝度以上の領域を含む画像を極めて高速にて検出 することができる。 また、 当該撮像装置の動体追尾センサ等への適用が可能とな る。
図面の簡単な説明
図 1は、 本実施形態に係る撮像装置を示す概念概略構成図である。
図 2は、 本実施形態に係る撮像装置に含まれる光感応領域の一例を示す要部拡 大平面図である。
図 3は、 本実施形態に係る撮像装置に含まれる光感応領域を示す概略構成図で ある。
図 4は、 本実施形態に係る撮像装置に含まれる第 1輝度プロファイル検出用信 号処理回路を示す概略構成図である。
図 5は、 本実施形態に係る撮像装置に含まれる第 2輝度プロフアイノレ.検出用信 号処理回路を示す概略構成図である。
図 6 Aは、 第 1輝度プロファイル検出用シフトレジスタから出力される信号の 経時的変化を示すグラフである。
図 6 Bは、 第 1輝度プロファイル検出用シフトレジスタから出力される信号の 経時的変化を示すグラフである。
図 6 Cは、 第 1輝度プロファイル検出用シフトレジスタから出力される信号の 経時的変化を示すグラフである。
図 6 Dは、 第 1積分回路に入力されるリセット信号の経時的変化を示すグラフ である。 図 6 Eは、 第 1輝度プロファイル検出用信号処理回路から出力される電圧の経 時的変化を示すグラフである。
図 7 Aは、 第 2輝度プロファイル検出用シフトレジスタから出力される信号の 経時的変化を示すグラフである。
図 7 Bは、 第 2輝度プロファイル検出用シフ トレジスタから出力される信号の 経時的変化を示すグラフである。
図 7 Cは、 第 2輝度プロファイル検出用シフトレジスタから出力される信号の 経時的変化を示すグラフである。
図 7 Dは、 第 2積分回路に入力されるリセット信号の経時的変化を示すグラフ である。
図 7 Eは、 第 2輝度プロファイル検出用信号処理回路から出力される電圧の経 時的変化を示すグラフである。
図 8は、 本実施形態に係る撮像装置に含まれる画像検出部を示す概略構成図で ある。
図 9 Aは、 第 1画像検出用シフトレジスタから出力される信号の経時的変化を 示すグラフである。
図 9 Bは、 第 1画像検出用シフトレジスタから出力される信号の経時的.変化を. 示すグラフである。
図 9 Cは、 第 2画像検出用シフトレジスタから出力される信号の経時的変化を 示すグラフである。
図 9 Dは、 第 2画像検出用シフトレジスタから出力される信号の経時的変化を 示すグラフである。
図 9 Eは、 第 3積分回路に入力されるリセット信号の経時的変化を示すグラフ である。
図 9 Fは、第 3積分回路から出力される電圧の経時的変化を示すグラフである。 図 10は、 本実施形態に係る撮像装置の変形例を示す概略構成図である。
図 1 1は、 本実施形態に係る撮像装置の変形例を示す概略構成図である。
図 1 2 Aは、 図 1 1に示された撮像装置の変形例の動作を説明するための図で ある。
図 1 2 Bは、 図 1 1に示された撮像装置の変形例の動作を説明するための図で ある。
発明を実施するための最良の形態
本発明の実施形態に係る撮像装置について図面を参照して説明する。 なお、 説 明において、 同一要素又は同一機能を有する要素には、 同一符号を用いることと し、 重複する説明は省略する。 以下では、 パラメータ Mおよび Nそれぞれを 2以 上の整数とする。 また、 特に明示しない限りは、 パラメータ mを 1以上 M以下の 任意の整数とし、 パラメータ nを 1以上 N以下の任意の整数とする。
図 1は、 本実施形態に係る撮像装置を示す概念概略構成図である。 本実施形態 に係る撮像装置 1は、 図 1に示されるように、 光感応領域 10と、 第 1輝度プロ ファイル検出用信号処理回路 20と、 第 2輝度プロファイル検出用信号処理回路 30、 画像検出部としての画像検出用信号処理回路 50とを有している。 ここで 、 第 1輝度プロフアイ.ル検出用信号処理回路 20と第 2輝度プロスアイル検出用 信号処理回路 30とが輝度プロファイル検出部を構成する。
光感応領域 10は、 画素 1 lmnが M行 N列に 2次元配列されている。 1画素は 、各々に入射した光の強度に応じた電流を出力する第 1光感応部分 1 2mnと第 2 光感応部分 1 3mnを同一面內にて隣接して配設することで構成されている。 また 、 第 2光感応部分 13mnは、 同一面内にて隣接して配設された複数 (本実施形態 においては、 2つ) の光感応部分 14 mn, 1 5mnを含んでいる。
2次元配列における第 1の方向に配列された複数の画素 1 1„〜1 11N, 1 1 21〜1 12N, · · ', 1 1M1〜1 1MNにわたつて、 第 2光感応部分 1 3mnに含 まれる複数の光感応部分 14 mn, 1 5mnのうち一方の光感応部分 14mn同士 ( たとえば、 一方の光感応部分 14u〜l 41N) が電気的に接続されている。 また 、 第 2光感応部分 1 3 mnに含まれる複数の光感応部分 14 mn, 1 5mnのうち他 方の光感応部分 1 5 mn同士 (たとえば、 一方の光感応部分 1 5 n〜l 51N) が 電気的に接続されている。
ここで、 図 2及び図 3に基づいて、 光感応領域 10の構成について説明する。 図 2は、 撮像装置に含まれる光感応領域の一例を示す要部拡大平面図であり、 図 3は、 撮像装置に含まれる光感応領域を示す概略構成図である。 なお、 図 2にお いては、 絶縁層、 保護層等の図示を省略している。
光感応領域 10は、 P型 (第 1導電型) の半導体からなる半導体基板 40と、 当該半導体基板 40の表層に形成された N型 (第 2導電型) の半導体領域 4 1, 42, 43とを含んでいる。 これにより、 第 1光感応部分 1 2mnは半導体基板 4 0部分と第 2導電型半導体領域 41とを含み、 フォトダイオード 61が構成され ることとなる。 また、 第 2光感応部分 1 3 mnに含まれる一方の光感応部分 14m nは半導体基板 40部分と第 2導電型半導体領域 42とを含み、 フォトダイォー ド 62が構成されることとなる。 また、 第 2光感応部分 13 mnに含まれる他方の 光感応部分 15mnは半導体基板 40部分と第 2導電型半導体領域 43とを含み、 フォトダイォード 63が構成されることとなる。 第 1光感応部分 12 mnは、 パッ シブピクセルセンサ (PP S : Passive Pixel Sensor) に構成されている。
第 2導電型半導体領域 42, 43は、 図 2に示されるように、 光入射方向から 見て略三角形状を呈しており、 1画素において 2つの領域 42, 43が互いに一 辺が隣接して形成されている。 半導体基板 40は、 接地電位とされている。 なお 、 光感応領域 10は、 N型の半導体からなる半導体基板と、 当該半導体基板の表 層に形成された P型の半導体領域とを含んで構成されていてもよい。
領域 4 1には、 絶縁層 (図示せず) に形成されたスルーホール (図示せず) を 介して第 1配線 45が電気的に接続されている。 また、 ポリシリコンからなる M OSゲート 46が設けられており、 MOSゲート 46には第 2配線 47が電気的 に接続されている。 領域 41と MO Sグート 46によりスィツチ素子 64 (電界 効果トランジスタ: FET) が構成されることとなる。 スィッチ素子 64のドレ インが領域 41の大きな面積部分に相当し、 ソースが第 1配線 45に接続される 領域 42には、 絶縁層 (図示せず) に形成されたスルーホール (図示せず) を 介して第 3配線 48が電気的に接続されている。 領域 43には、 絶縁層 (図示せ ず) に形成されたスルーホール (図示せず) を介して第 4配線 49が電気的に接 続されている。 なお、 上述した絶縁層の材料としては S i 02又は S i N等を用 いることができ、 第 1配線 45〜第 4配線 49の各配線の材料としては A 1等の 金属を用いることができる。
第 1配線 45は、各画素 1 lmnにおける領域 41を第 1の方向にわたって電気 的に接続するものであって、画素 1 lmn間を第 1の方向に延びて設けられている 。 第 2配線 47は、 MOSゲート 46を第 2の方向にわたって電気的に接続する ものであって、 画素 1 lmn間を第 2の方向に延びて設けられている。
第 3配線 48は、各画素 1 lmnにおける領域 42を第 1の方向にわたって電気 的に接続するものであって、画素 1 lmn間を第 1の方向に延びて設けられている 。 このように、 各画素 1 lmnにおける領域 42を第 3配線 48で接続することに より、 2次元配列における第 1の方向に配列された複数の画素 1 l n〜l 11N , 1 121〜1 12N, · · · , 1 1M1〜 1 1MNにわたつて一方の光感応部分 14m n同士 (たとえば、 一方の光感応部分 14„〜141N) が電気的に接続されて、 光感応領域 10において第 1の方向に長く延びる光感応部が構成される。 この第 1の方向に長く延びる光感応部は M列形成されることになる。
第 4配線 49は、各画素 1 lmnにおける領域 43を第 2の方向にわたって電気 的に接続するものであって、画素 1 lmn間を第 2の方向に延びて設けられている 。 このように、 各画素 1 lmnにおける領域 43を第 4配線 49で接続することに より、 2次元配列における第 2の方向に配列された複数の画素 1 1„〜1 1M1 , 1 112〜1 1M2, · · · ' 1 11N〜1 1MNにわたつて他方の光感応部分 1 5m n同士 (たとえば、 他方の光感応部分 15„〜1 5M1) が電気的に接続されて、 光感応領域 10において第 2の方向に長く延びる光感応部が構成される。 この第 2の方向に長く延びる光感応部は N行形成されることになる。
また、 光感応領域 10においては、 上述した第 1の方向に長く延びる M列の光 感応部と第 2の方向に長く延びる N行の光感応部とが同一面上に形成されること になる。
図 2から分かるように、 図 3において、 第 2配線 47及び第 4配線 49は図 3 中左右方向に並んでいる画素 1 1間でつながつており、 第 1配線 45及び第 3配 線 48は図 3中上下方向に並んでいる画素 1 1間でつながつている。
領域 42, 43の形状は、 図 2に示された略三角形状のものに限られず、 他の 形状であってもよく、 たとえば、 光入射方向から見て長方形状や櫛状を呈してい てもよい。 また、 1画素あたり 2以上の領域としてもよレ、。 なお、 1画素あたり 第 1の方向と第 2の方向の第 2導電型半導体領域の面積が異なっていても、 画素 間で夫々の方向ごとに一定であればよい。 すなわち、 同一の方向に延びる全ての 配線で各々に接続されている光感応領域の総面積が同じであればよい。
続いて、 図 4及び図 5に基づいて、 第 1輝度プロファイル検出用信号処理回路 20及び第 2輝度プロフアイル検出用信号処理回路 30の構成について説明する 。 図 4は、 第 1輝度プロファイル検出用信号処理回路を示す概略構成図であり、 図 5は、 第 2輝度プロファイル検出用信号処理回路を示す概略構成図である。 第 1輝度プロファイル検出用信号処理回路 20は、 光感応領域 10に入射した 光の第 2の方向での輝度プロファイルを示す電圧 H。u tを出力する。 第 2輝度プ ロフアイル検出用信号処理回路 30は、 光感応領域 10に入射した光の第 1の方 向での輝度プロファイルを示す電圧 V。u tを出力する。
第 1輝度プロファイル検出用信号処理回路 20は、 図 4に示されるように、 第 1の方向に配列された複数の画素 1 1„〜 1 11N, 1 121〜1 12N, · ■ · , 1 1M1〜1 1MN間において電気的に接続された一方の光感応部分 14mn群 (第 2導電型半導体領域 42からなり、 第 1の方向に長く延びる M列の光感応部) に 対応して設けられた第 1スィッチ素子 2 1と、 第 1の方向に配列された複数の画 素丄 l i i〜l l iN, l l 2 i〜l l 2N, · · ·, 1 1 MI ~ 1 1 MN間にねいて電気 的に接続された一方の光感応部分 14mn群からの電流を第 2の方向に順次読み 出すための第 1輝度プロファイル検出用シフトレジスタ 22と、 第 1輝度プロフ アイル検出用シフトレジスタ 22により順次読み出される各一方の光感応部分 1 4 mn群からの電流を順次入力し、 その電流を電圧に変換して出力する第 1積分回 路 23とを含んでいる。
第 1スィッチ素子 21は、 第 1輝度プロファイル検出用シフトレジスタ 22か ら出力される信号 s h i f t (Hm) により制御されて順次閉じられる。 第 1ス イッチ素子 21を閉じることにより、第 1の方向に配列された複数の画素 1 1 u 〜1 11N, 1 121〜1 12N, · · ·, 1 1M1〜1 1MN間において電気的に接続 された一方の光感応部分 14mn群に蓄積された電荷が電流となって、 第 3配線 4 8及び第 1スィッチ素子 21を介して第 1積分回路 23に出力される。 第 1輝度 プロファイル検出用シフ トレジスタ 22は、 制御回路 (図示せず) から出力され る信号によりその動作が制 されて、 第 1スィッチ素子 2 1を順次閉じる。 . 第 1積分回路 23は、 第 1の方向に配列された複数の画素 1 1„〜1 11N, 1 121〜1 12N, · · · , 1 1M1〜 1 1MN間において電気的に接続された一方の 光感応部分 14 mn群からの電流出力を入力し、入力した電流出力の電荷を増幅す るアンプ 24と、 アンプ 24の入力端子に一方の端子が接続され、 アンプ 24の 出力端子に他方の端子が接続された容量素子 25と、 アンプ 24の入力端子に一 方の端子が接続され、 アンプ 24の出力端子に他方の端子が接続され、 制御回路 から出力されるリセット信号 ΦΗ^5"が有意の場合には 「ΟΝ」 状態となり、 リセット信号 <DHr e s e tが非有意の場合には 「OFF」 状態となるスィッチ素子 26とを有している。 第 1積分回路 23は、 スィッチ素子 26力 S 「ON」 状態であるときには、 容量 素子 25を放電して初期化する。 一方、 第 1積分回路 23は、 スィッチ素子 26 が 「OFF」 状態であるときには、 第 1の方向に配列された複数の画素 1 1„〜 1 11N, 1 121〜1 12N, · · · , 1 1M1〜 1 1MN間において電気的に接続さ れた一方の光感応部分 14 mn群から入力端子に入力した電荷を容量素子 25に 蓄積して、 その蓄積された電荷に応じた電圧 H。utを出力端子から出力する。 第 2輝度プロファイル検出用信号処理回路 30は、 図 5に示されるように、 第 2の方向に配列された複数の画素 1 1 u〜 1 1Mい 1 112〜1 1M2, · · · , 1 11N〜 1 1MN間において電気的に接続された他方の光感応部分 1 5mn群 (第 2導電型半導体領域 43からなり、 第 2の方向に長く延びる N行の光感応部) に 対応して設けられた第 2スィッチ素子 31と、 第 2の方向に配列された複数の画
¾ 1 1! χ ~ 1 1 Ml ' 丄 丄 〜丄 丄!^^, . . · , 1 11 N~ 1 1 MN間におレ、て電¼ 的に接続された他方の光感応部分 1 5 mn群からの電流を第 1の方向に順次読み 出すための第 2輝度プロファイル検出用シフ トレジスタ 32と、 第 2輝度プロフ アイル検出用シフトレジスタ 32により順次読み出される各他方の光感応部分 1 5 mn群からの電流を順次入力し、その電流を電圧に変換して出力する第 2積分回 路 33とを含んでいる。 .
第 2スィツチ素子 31は、 第 2輝度プロファイル検出用シフトレジスタ 32か ら出力される信号 s h i f t (VJ により制御されて順次閉じられる。 第 2ス イッチ素子 3 1を閉じることにより、第 2の方向に配列された複数の画素 1 1„ 〜: L 1Mい 1 112〜1 1M2, · · ·, 1 11N〜 1 1MN間において電気的に接続 された他方の光感応部分 1 5 mn群に蓄積された電荷が電流となって、第 4配線 4 9及び第 2スィッチ素子 3 1を介して第 2積分回路 33に出力される。 第 2輝度 プロファイル検出用シフトレジスタ 32は、 制御回路から出力される信号により その動作が制御されて、 第 2スィッチ素子 31を順次閉じる。
第 2積分回路 33は、第 2の方向に配列された複数の画素 1 1„〜1 1M1, 1 ι12〜ι ιΜ2, · · ·, 1 11N〜 1 1MN間において電気的に接続された他方の 光感応部分 1 5 mn群からの電流出力を入力し、入力した電流出力の電荷を増幅す るアンプ 34と、 アンプ 34の入力端子に一方の端子が接続され、 アンプ 34の 出力端子に他方の端子が接続された容量素子 35と、 アンプ 34の入力端子に一 方の端子が接続され、 アンプ 34の出力端子に他方の端子が接続され、 制御回路 から出力されるリセット信号 E>Vr e s e tが有意の場合には 「ON」 状態となり、 リセッ ト信号 Vr e s e tが非有意の場合には 「OFF」 状態となるスィッチ素子 36とを有している。
第 2積分回路 33は、 スィッチ素子 36力 S 「ON」 状態であるときには、 容量 素子 35を放電して初期化する。 一方、 第 2積分回路 33は、 スィッチ素子 36 が 「OFF」 状態であるときには、 第 2の方向に配列された複数の画素 1 1„〜 1 1Mい 1 112〜1 1M2, · · ·, 1 11N〜 1 1MN間において電気的に接続さ れた他方の光感応部分 1 5 mn群から入力端子に入力した電荷を容量素子 35に 蓄積して、 その蓄積された電荷に応じた電圧 V。u tを出力端子から出力する。 続いて、 図 6 A〜図 6 E及び図 7 A〜図 7 Eに基づいて、 第 1輝度プロフアイ ル検出用信号処理回路 20及び第 2輝度プロファイル検出用信号処理回路 30の 動作について説明する。 図 6 A〜図 6 Eは、 第 1輝度プロファイル検出用信号処 理回路の動作を説明するためのタイミングチャートであり、 図 7 A〜図 7 Eは、 第 2輝度プロファイル検出用信号処理回路の動作を説明するためのタイミングチ ヤートである。
制御回路から第 1輝度プロファイル検出用シフトレジスタ 22にスタート信号 が入力されると、 図 6 A及び図 6 Bにも示されるように、 所定のパルス幅を有す る信号 s h i f t (HJ が順次出力される。 第 1輝度プロファイル検出用シフ トレジスタ 22から対応する第 1スィツチ素子 2 1に s h i f t (HJ が出力 されると、 第 1スィッチ素子 2 1が順次閉じ、 対応する一方の光感応部分 14mn 群に蓄積された電荷が電流となって第 1積分回路 23に順次出力される。
第 1積分回路 23には、 図 6 Dに示されるように、 制御回路からリセット信号 Hr e s e tが入力されている。 このリセット信号 Hr e s e tが 「OFF」 状態の期 間、対応する一方の光感応部分 14mn群に蓄積された電荷が容量素子 25に蓄積 されて、 図 6 Eに示されるように、 蓄積された電荷量に応じた電圧 H。u tが第 1 積分回路 23から順次出力される。 なお、 第 1積分回路 23は、 リセッ ト信号 Φ Hr e s e tが 「ON」 状態のときにはスィッチ素子 26を閉じて容量素子 25を初 期化する。
このように、 第 1輝度プロファイル検出用信号処理回路 20からは、 第 1の方 向に配列された複数の画素 1 1 11N, 1 121〜1 12N, ■ · · , 1 1M1 〜1 1MN間において電気的に接続された一方の光感応部分 14 mn群にて蓄積さ れて電荷 (電流) に対応した電圧 H。utが、 対応する一方の光感応部分 14mn群毎 に順次時系列データとして出力される。 この時系列データは、 第 2の方向での輝 度プロファイルを示すものである。
制御回路から第 2輝度プロファイル検出用シフトレジスタ 32にスタート信号 が入力されると、 図 7 A及び図 7 Bにも示されるように、 所定のパルス幅を有す る信号 s h i f t (Vn) が順次出力される。 第 2輝度プロファイル検出用シフ トレジスタ 32から対応する第 2スィツチ素子 3 1に s h i f t (Vn) が出力 されると、 第 2スィッチ素子 3 1が順次閉じ、 対応する他方の光感応部分 1 5mn 群に蓄積された電荷が電流となって第 2積分回路 33に順次出力される。
第 2積分回路 33には、 図 7 Dに示されるように、 制御回路からリセッ ト信号 Φν^ が入力されている。 このリセット信号 Vr e s e tが 「OFF」 状態の期 間、対応する他方の光感応部分 1 5 mn群に蓄積された電荷が容量素子 35に蓄積 されて、 図 7 Eに示されるように、 蓄積された電荷量に応じた電圧 V。u tが第 2 積分回路 33から順次出力される。 なお、 第 2積分回路 33は、 リセッ ト信号 Φ Vr e s e tが 「ON」 状態のときにはスィッチ素子 36を閉じて容量素子 35を初 期化する。
このように、 第 2輝度プロファイル検出用信号処理回路 30からは、 第 2の方 向に配列された複数の画素 1 1„〜 1 1Mい 1 112〜1 1M2, · · ·, 1 11N 〜1 1MN間において電気的に接続された他方の光感応部分 1 5 mn群にて蓄積さ れて電荷 (電流) に対応した電圧 V。utが、 対応する他方の光感応部分 1 5mn群 毎に順次時系列データとして出力される。 この時系列データは、 第 1の方向での 輝度プロファイルを示すものである。
続いて、 図 8に基づいて、 画像検出用信号処理回路 50の構成について説明す る。 図 8は、 画像検出部を示す概略構成図である。 画像検出用信号処理回路 50 は、 光感応領域 1 0に入射した光により画素データ (画像) を示す電圧 IM。u t を出力する。
画像検出用信号処理回路 50は、各第 1光感応部分 1 2mnからの電流出力を第 1の方向に順次読み出すための第 1画像検出用シフトレジスタ 51と、 第 2の方 向に配列された画素 1 lmnに対応して設けられた第 3スィツチ素子 52と、 第 1 画像検出用シフトレジスタ 5 1にて第 1の方向に順次読み出されたそれぞれの電 流出力を第 2の方向に順次読み出すための第 2画像検出用シフトレジスタ 53と 、 第 2画像検出用シフトレジスタ 53により順次読み出される各第 1光感応部分 1 2mnからの電流を順次入力し、その電流を電圧に変換して出力する第 3積分回 路 54とを含んでいる。
第 1画像検出用シフトレジスタ 5 1は、 夫々の第 1光感応部分 1 2mnで生じた 電流を読み出すために、 制御回路 (図示せず) から出力される信号によりその動 作が制御されて、 夫々の!^103ゲート46 (スィッチ素子 64) に信号 s h i f t (VI n) を出力する。 第 1画像検出用シフトレジスタ 5 1は、 第 2の方向に配 列された第 1光感応部分 1 2mnの MOSゲート 46 (スィッチ素子 64) に対し て、 同時に信号 s h i f t (Vi n) を出力し得るように第 2配線 47を介して接 続されている。 第 3スィツチ素子 52は、 第 2画像検出用シフトレジスタ 53から出力される 信号 s h i f t (H]m) により制御されて順次閉じられる。 第 3スィッチ素子 5 2を閉じることにより、 第 1画像検出用シフトレジスタ 5 1からの信号 s h i f t (V] n) により閉じられた MO Sゲート 46 (スィッチ素子 64) に対応する 第 1光感応部分 1 2 mnに蓄積された電荷が電流となって、第 1配線 48及び第 3 スィツチ素子 52を介して第 3積分回路 54に出力される。 第 2画像検出用シフ トレジスタ 53は、 制御回路 (図示せず) 力 ら出力される信号によりその動作が 制御されて、 第 3スィッチ素子 52を順次閉じる。
第 3積分回路 54は、 夫々の第 1光感応部分 1 2 mnからの電流出力を入力し、 入力した電流出力の電荷を増幅するアンプ 55と、 アンプ 55の入力端子に一方 の端子が接続され、 アンプ 55の出力端子に他方の端子が接続された容量素子 5 6と、 アンプ 55の入力端子に一方の端子が接続され、 アンプ 55の出力端子に 他方の端子が接続され、 制御回路から出力されるリセット信号 Φ j Mr e s e tが有意 の場合には 「ON」 状態となり、 リセット信号 ]mr e s e tが非有意の場合には 「 OF F」 状態となるスィッチ素子 57とを有している。
第 3積分回路 54は、 スィッチ素子 57が 「ON」 状態であるときには、 容量 素子 56を放電して初期化する。 一方、 第 3積分回路 54は、 スィッチ素子.57 力 S 「OFF」 状態であるときには、 夫々の第 1光感応部分 1 2mnから入力端子に 入力した電荷を容量素子 56に蓄積して、 その蓄積された電荷に応じた電圧 IM 。u tを出力端子から出力する。
続いて、 図 9 A〜図 9 Fに基づいて、 画像検出用信号処理回路 50の動作につ いて説明する。 図 9A〜図 9 Fは、 画像検出用信号処理回路の動作を説明するた めのタイミングチャートである。
制御回路から第 1画像検出用シフトレジスタ 5 1にスタート信号が入力される と、 図 9 A及び図 9 Bにも示されるように、 所定のパルス幅を有する信号 s h i f t (VI n) が順次出力される。 第 1画像検出用シフ トレジスタ 51から対応す る MO Sゲート 46に s h i f t (VI n) が出力されると、 MOSゲート 46が 順次閉じる。
この状態で、 制御回路から第 2画像検出用シフトレジスタ 53にスタート信号 が入力されると、 図 9 C及び図 9 Dにも示されるように、 所定のパルス幅を有す る信号 s h i f t (Hlm) が順次出力される。 第 2画像検出用シフトレジスタ 5 3から対応する第 3スィツチ素子 52に S h i f t (HJm) が出力されると、 第 3スィッチ素子 52が順次閉じ、対応する第 1光感応部分 1 2 mnに蓄積された電 荷が電流となって第 3積分回路 54に順次出力される。
第 3積分回路 54には、 図 9 Eに示されるように、 制御回路からリセッ ト信号 IMr e s e tが入力されている。 このリセット信号 IMr e s e tが 「OFF」 状態の 期間、対応する第 1光感応部分 12 mnに蓄積された電荷が容量素子 56に蓄積さ れて、 図 9 Fに示されるように、 蓄積された電荷量に応じた電圧 I M。utが第 3 積分回路 54から順次出力される。 なお、 第 3積分回路 54は、 リセッ ト信号 Φ IMre se tが 「ON」 状態のときにはスィッチ素子 57を閉じて容量素子 56を初 期化する。
このように、 画像検出用信号処理回路 50からは、 第 1光感応部分 12mnにて 蓄積されて電荷 (電流) に対応した IM。utが、 対応する第 1光感応部分 1 2mn 毎に順次時系列データとして出力される。 この時系列データは、 画素データ (画 像) を示すものである。
なお、 第 1輝度プロファイル検出用信号処理回路 20、 第 2輝度プロファイル 検出用信号処理回路 30及び画像検出用信号処理回路 50は、 同じタイミングに て動作させてもよく、 時系列順で独立して動作させてもよい。
以上のように、 本実施形態の撮像装置 1においては、 1つの画素 1 lmnに入射 した光は当該画素 1 lmnを構成する第 1光感応部分 1 2 mn及び第 2光感応部分 1 3 mnそれぞれにおいて検出されて、 光強度に応じた出力が光感応部分 1 2mn , I 3mn毎になされる。 そして、 画像検出用信号処理回路 50により、 第 1光感 応部分 1 2 mnからの出力が読み出されて当該出力に基づいて画像が検出される。 また、 輝度プロファイル検出部 (第 1輝度プロファイル検出用信号処理回路 20 及び第 2輝度プロファイル検出用信号処理回路 30) により、 第 2光感応部分 1 3mnからの出力が読み出され当該出力に基づいて 2次元配列における第 1の方 向及び第 2の方向での輝度プロファイルが検出される。 このように、 1画素が第 1光感応部分 1 2 m nと第 2光感応部分 13 mnとで構成されていることから、画像 の検出と共に、 光が入射した 2次元位置の検出を行うことが可能となる。
また、 本実施形態の撮像装置 1において、 第 1光感応部分 1 2mnからの出力を 画像検出用信号処理回路 50に導くための第 1配線 45及び第 2配線 47と、 第 2光感応部分 1 3mnからの出力を輝度プロファイル検出部(第 1輝度プロフアイ ル検出用信号処理回路 20及び第 2輝度プロファイル検出用信号処理回路 30) に導くための第 3配線 48及び第 4配線 49とが画素 1 lmn間を延びて設けら れている。 これにより、 それぞれの配線 45, 47, 48, 49により第 1光感 応部分 1 2 mn及び第 2光感応部分 1 3 mnへの光の入射を妨げられることはなく、 検出感度の低下を抑制できる。
また、 本実施形態の撮像装置 1において、 第 2光感応部分 1 3mnは、 同一面内 にて隣接して配設された複数の光感応部分 14mn, 1 5mnを含み、 2次元配列に おける第 1の方向に配列された複数の画素 1 1 n〜 1 11N, 1 121〜 1 12N, • · · , 1 1Μ1〜1 1ΜΝにわたつて、 第 2光感応部分 1 3mnに含まれる複数の 光感応部分 14mn, 1 5 mnのうち一方の光感応部分 14mn同士が電気的に接続 され、 2次元配列における第 2の方向に配列された複数の画素 1 1 ^〜1 1M1 , 1 112〜1 1M2, ■ · ·, 1 11N〜'l 1MNにわたつて、 第 2光感応部分 1 3m nに含まれる複数の光感応部分 14mn, 15 mnのうち他方の光感応部分 1 5mn同 士が電気的に接続されている。 これにより、 1つの第 2光感応部分 1 3 mnに入射 した光は当該第 2光感応部分 1 3 mnに含まれる光感応部分 14mn, 1 5mnそれ ぞれにおいて検出されて、 光強度に応じた電流がそれぞれの光感応部分 14mn, 1 5mn毎に出力される。 そして、一方の光感応部分 14mn同士が 2次元配列にお ける第 1の方向に配列された複数の画素 1 1 n〜l 11N, 1 121〜1 12N, · • ■, 1 1M1〜1 1MNにわたつて電気的に接続されているので、 一方の光感応部 分 14 mnからの電流出力は第 1の方向に送られる。 また、 他方の光感応部分 1 5 mn同士が 2次元配列における第 2の方向に配列された複数の画素 1 1„〜1 1M い 1 112〜1 1M2, ' · ·, 1 11N~1 1MNにわたつて電気的に接続されてい るので、 他方の光感応部分 1 5 mnからの電流出力は第 2の方向に送られる。 この ように、 一方の光感応部分 14 mnからの電流出力は第 1の方向に送られるととも に、 他方の光感応部分 1 5 mnからの電流出力は第 2の方向に送られることから、 第 1の方向での輝度プロファイルと第 2の方向での輝度プロファイルとをそれぞ れ独立して得ることが可能となる。 この結果、 1画素に複数の光感応部分 14 mn , 1 5mnを配設するという極めて簡素な構成にて、 入射した光の 2次元位置を高 速に検出することができる。
また、 本実施形態の撮像装置 1においては、 第 3配線 48が、 画素 1 lmn間を 第 1の方向に延びて設けられており、 第 4配線 49が、 画素 1 lmn間を第 2の方 向に延びて設けられていることが好ましい。 このように構成した場合、 それぞれ の配線 48, 49により光感応部分 12 mn, 1 3 mnへの光の入射を妨げられるこ とはなく、 検出感度の低下を抑制できる。
また、 本実施形態の撮像装置 1において、 第 2光感応部分 1 3 mnは入射した光 の強度に応じた電流を出力し、 輝度プロファイル検出部 (第 1輝度プロファイル 検出用信号処理回路 20、 第 2輝度プロファイル検出用信号処理回路 30) は、 第 1輝度プロファイル検出用シフトレジスタ 22と、 第 2輝度プロファイル検出 用シフトレジスタ 32と、 第 1積分回路 23と、 第 2積分回路 33とを含んでい る。 これにより、 第 1の方向での輝度プロファイルと第 2の方向での輝度プロフ アイノレとを極めて簡易な構成にて検出することができる。
また、 本実施形態の撮像装置 1において、 第 1光感応部分 1 2 mnは入射した光 の強度に応じた電流を出力し、 画像検出用信号処理回路 50は、 第 1画像検出用 シフトレジスタ 5 1と、 第2画像検出用シフトレジスタ 53と、 第 2積分回路 5 4とを含んでいる。 これにより、 画像 (画素データ) を極めて簡易な構成にて検 出することができる。
次に、 図 10に基づいて、 本実施形態に係る撮像装置の変形例について説明す る。 図 10は、 本実施形態に係る撮像装置の変形例を示す概略構成図である。 変 形例は、 上述した実施形態に比して、 第 1光感応部分 1 2 mnがアクティブピクセ ルセンサ (P PS : Active Pixel Sensor) に構成されている点で相違する。 なお 、 図 10では、 2 X 2画素として図示している。 なお、 図 10において、 各画素 1 111( 1 112, 1 121, 1 122の同じ位置から延びる各配線はつながってい る。
電界効果トランジスタ (FET) 81, 82の各ドレインが電源電圧に接続さ れ、 トランジスタ 81のソースと トランジスタ 82のゲートが電界効果トランジ スタ 83のドレインに接続されている。 トランジスタ 83のソースがフォトダイ オード 61の力ソードに接続されている。 更に、 トランジスタ 82のソースカ、 トランジスタ 84のドレイン、 ソースを通して第 3スィツチ素子 52側に接続さ れている。 トランジスタ 81のゲートには、 第 1画像検出用シフトレジスタ 5 1 からリセット信号 R e s e t (VI n) が与えられ、 トランジスタ 83のゲートに は、 第 1画像検出用シフトレジスタ 5 1から信号 SW (VT n) が与えられる。 ま た、 トランジスタ 84には、 第 1画像検出用シフトレジスタ 5 1から信号 s h i f t (VI n) が与えられる。
このアクティブピクセルセンサの動作について説明するに、 まず、 トランジス タ 8 1のゲートにリセット信号 R e s e t (V] n) が印加され、 トランジスタ 8 1がオンになり、 トランジスタ 8 1のドレイン、 ソースを介してフォトダイォー ド 6 1の力ソードの電圧が電源電位にされる (リセットされる) 。 なお、 このと き、 トランジスタ 83はオンであり、 トランジスタ 84はオフである。 続いて、 トランジスタ 8 1のゲートへのリセット信号 R e s e t (V] n) が消失してトラ ンジスタ 8 1がオフとなり、 これにより、 フォトダイオード 6 1の力ソード電位 が電源電位に維持される。 この状態で、 フォトダイオード 6 1に光が照射され、 フォトダイオード 6 1が入射光を光電変換して、 照射光量 (強度 X時間) に比例 した電荷 Qがフォトダイォード 61に蓄積され、 フォトダイォード 6 1のカソー ドの電位が QZCなる電圧変化を起こす (ただし、 Cはフォトダイオード 6 1の 容量である) 。
その後、 トランジスタ 83のゲートに信号 SW (VI n) が印加され、 トランジ スタ 84のゲートに信号 s h i f t (V] n) が印加されることにより、 フォトダ ィオード 6 1の上述した力ソード電圧変化分が、 トランジスタ 83、 トランジス タ 82及びトランジスタ 84を通して画像信号として出力される。
このように、第 1光感応部分 1 2 mnをアクティブピクセルセンサにて構成した 場合においても、 画像の検出と共に、 光が入射した 2次元位置の検出を行うこと が可能となる。
次に、 図 1 1に基づいて、 本実施形態に係る撮像装置の更なる変形例について 説明する。 図 1 1は、 本実施形態に係る撮像装置の更なる変形例を示す概略構成 図である。
図 1 1に示された変形例において、 第 2輝度プロファイル検出用信号処理回路 30 (輝度プロファイル検出部) は、 第 1の方向での輝度プロファイルにおける 所定輝度以上の画素位置を特定する第 1画素位置特定部 9 1を含んでいる。 第 1 画素位置特定部 91には、 夫々の第 2スィツチ素子 3 1からの出力が接続されて おり、 第 2の方向に配列された複数の画素 1 1„〜 1 1M1, 1 112〜 1 1M2, • · · , 1 11N〜1 1MN間において電気的に接続された他方の光感応部分 15m n群からの電流出力が入力される。
第 1画素位置特定部 9 1は、 入力された出力に基づいて、 所定輝度以上となる 画素位置を特定して、 特定した画素位置に関する情報を画素情報 (チャンネル情 報) として第 1画像検出用シフトレジスタ 5 1に送る。 画素情報には、 特定した 画素位置の周辺に位置する画素位置も含まれる。 第 1画像検出用シフトレジスタ 5 1は、 第 1画素位置特定部 9 1から送られた画素情報に基づいて、 当該画素情 報における画素位置に対応する MOSゲート 46のみ s h i f t (V] n) を順次 出力する。 これにより、 画素情報における画素位置に対応する MOSゲート 46 のみが順次閉じられることとなる。
第 1輝度プロファイル検出用信号処理回路 20 (輝度プロファイル検出部) は 、 第 2の方向での輝度プロフアイルにおける所定輝度以上の画素位置を特定する 第 2画素位置特定部 92を含んでいる。 第 2画素位置特定部 92には、 夫々の第 1スィッチ素子 2 1からの出力が接続されており、 第 1の方向に配列された複数 の画素 1 1„〜1 11N, 1 121〜1 12N, ■ ' ', 1 1M1〜1 1MN間において 電気的に接続された一方の光感応部分 14mn群からの出力が入力される。
第 2画素位置特定部 92は、 入力された出力に基づいて、 所定輝度以上となる 画素位置を特定して、 特定した画素位置に関する情報を画素情報 (チャンネル情 報) として第 2画像検出用シフトレジスタ 53に送る。 画素情報には、 特定した 画素位置の周辺に位置する画素位置も含まれる。 第 2画像検出用シフトレジスタ 53は、 第 2画素位置特定部 92から送られた画素情報に基づいて、 当該画素情 報における画素位置に対応する第 3スィッチ素子 52のみ s h i f t (H]m) を 順次出力する。 これにより、 画素情報における画素位置に対応する第 3スィッチ 素子 52のみが順次閉じられて、 当該画素位置に対応する第 1光感応部分 1 2mn に蓄積された電荷が電流となってイメージ読出回路 93、 第 3スィツチ素子 52 を介して AZD変換回路 94に順次出力される。 なお、 第 1輝度プロファイル検 出用信号処理回路 20及び第 2輝度プロファイル検出用信号処理回路 30の出力 は A/D変換回路 95, 96に送られて AZD変換された後に出力される。
したがって、 図 12 A及び図 12 Bに示されるように、 光感応領域 10全体で 検出される画像 I 1 (MXN画素) に対して、 所定輝度以上となる所定の領域の 画像 I 2 (OX P画素:ただし M≥0、 N≥ P) を得ることができる。 たとえば 、 M = N= 5 1 2、 0 = P = 64、 読み出し速度 1 t s e c/p i x e 1の場合 、 画像 I 1を読み出すとフレームレートは 3. 8 (f p s) となり、 画像 I 2を 読み出すと 244 (f p s) となり、 高速での読み出しが可能となる。 なお、 図 1 2Aにおいて、 特性 Aは、 第 1輝度プロファイル検出用信号処理回路 20によ り得られた第 2の方向での輝度プロファイルを示し、 特性 Bは、 第 2輝度プロフ ァィル検出用信号処理回路 30により得られた第 1の方向での輝度プロフアイノレ を示す。
このように、 図 1 1に示された変形例では、 所定輝度以上の領域を含む画像を 極めて高速にて検出することができる。 また、 当該撮像装置 1の動体追尾センサ 等への適用が可能となる。
本発明は、 前述した実施形態に限定されるものではない。 たとえば、 第 2光感 応部分 1 3mnを同一面内にて第 1光感応部分 1 2nmと隣接して配設する代わり に、 光感応領域 10が形成される半導体基板 40の裏面側に、 抵抗電極等の格子 状の抵抗部を設け、 光入射に基づく抵抗値変動を検知することで第 1の方向及び 第 2の方向での輝度プロファイル (光の入射位置) を検出するようにしてもよい 産業上の利用可能性
本発明の撮像装置は、 動体追尾装置に利用できる。

Claims

言青求の範囲
1 . 画素が 2次元配列された光感応領域を有する撮像装置であって、 各々入射した光の強度に応じた出力を行う第 1光感応部分と第 2光感応部分と で 1画素が構成されており、
前記第 1光感応部分からの出力を読み出して当該出力に基づいて画像を検出す るための画像検出部と、 前記第 2光感応部分からの出力を読み出して当該出力に 基づいて前記 2次元配列における第 1の方向及び第 2の方向での輝度プロフアイ ルを検出するための輝度プロファイル検出部とを備えることを特徴とする撮像装 置。
2 . 前記第 1光感応部分からの出力を前記画像検出部に導くための配線と 前記第 2光感応部分からの出力を前記輝度プロファイル検出部に導くための配線 とが前記画素間を延びて設けられていることを特徴とする請求の範囲第 1項に記 載の撮像装置。
3 . 前記第 2光感応部分は、 同一面内にて隣接して配設された複数の光感 応部分を含み、
前記 2次元配列における第 1の方向に配列された複数の画素にわたつて、 前記 第 2光感応部分に含まれる複数の光感応部分のうち一方の光感応部分同士が電気 的に接続され、
前記 2次元配列における第 2の方向に配列された複数の画素にわたつて、 前記 第 2光感応部分に含まれる複数の光感応部分のうち他方の光感応部分同士が電気 的に接続されていることを特徴とする請求の範囲第 1項に記載の撮像装置。
4 . 前記第 1の方向に配列された複数の画素にわたって、 前記第 2光感応 部分に含まれる複数の光感応部分のうち一方の光感応部分同士を電気的に接続す るための配線が、 前記画素間を前記第 1の方向に延びて設けられており、 前記第 2の方向に配列された複数の画素にわたつて、 前記第 2光感応部分に含 まれる複数の光感応部分のうち他方の光感応部分同士を電気的に接続するための 配線が、 前記画素間を前記第 2の方向に延びて設けられていることを特徴とする 請求の範囲第 3項に記載の撮像装置。
5 . 前記第 2光感応部分は入射した光の強度に応じた電流を出力し、 前記輝度プロフアイル検出部は、
前記第 1の方向に配列された前記複数の画素間において電気的に接続された 一方の光感応部分群からの電流出力を前記第 2の方向に順次読み出すための第 1 輝度プロファイル検出用シフトレジスタと、
前記第 2の方向に配列された前記複数の画素間において電気的に接続された 他方の光感応部分群からの電流出力を前記第 1の方向に順次読み出すための第 2 輝度プロファイル検出用シフトレジスタと、
前記第 1輝度プロファイル検出用シフトレジスタにより順次読み出される前 記各一方の光感応部分群からの電流出力を順次入力し、 その出力を電圧出力に変 換する第 1積分回路と、
前記第 2輝度プロファイル検出用シフトレジスタにより順次読み出される前 記各他方の光感応部分群からの電流出力を順次入力し、 その出力を電圧出力に変 換する第 2積分回路と、 を含んでいることを特徴とする請求の範囲第 3項に記載 の撮像装置。
6 . 前記第 1光感応部分は入射した光の強度に応じた電流を出力し、 前記画像検出部は、
前記第 1光感応部分からの電流出力を前記第 1の方向に順次読み出すための 第 1画像検出用シフ トレジスタと、
前記第 1画像検出用シフトレジスタにて前記第 1の方向に順次読み出された 前記電流出力を前記第 2の方向に順次読み出すための第 2画像検出用シフトレジ スタと、 を含んでいることを特徴とする請求の範囲第 1項に記載の撮像装置。
7 . 前記輝度プロファイル検出部は、 検出した前記第 1の方向での輝度プ ロフアイルにおける所定輝度以上の画素位置を特定する第 1画素位置特定部と、 検出した前記第 2の方向での輝度プロフアイルにおける所定輝度以上の画素位置 を特定する第 2画素位置特定部とを含み、
前記画像検出部は、 前記第 1画素位置特定部及び前記第 2画素位置特定部にて それぞれ特定された前記画素位置を含む画像を検出することを特徴とする請求の 範囲第 1項に記載の撮像装置。
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