JP3441761B2 - イメージセンサ - Google Patents

イメージセンサ

Info

Publication number
JP3441761B2
JP3441761B2 JP12708093A JP12708093A JP3441761B2 JP 3441761 B2 JP3441761 B2 JP 3441761B2 JP 12708093 A JP12708093 A JP 12708093A JP 12708093 A JP12708093 A JP 12708093A JP 3441761 B2 JP3441761 B2 JP 3441761B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
output lines
signals
image processing
pulse
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP12708093A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH06339079A (ja
Inventor
守 宮脇
勇武 上野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP12708093A priority Critical patent/JP3441761B2/ja
Priority to EP94303899A priority patent/EP0626785B1/en
Priority to DE69434241T priority patent/DE69434241T2/de
Publication of JPH06339079A publication Critical patent/JPH06339079A/ja
Priority to US08/717,680 priority patent/US5726439A/en
Priority to US08/964,363 priority patent/US5886343A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3441761B2 publication Critical patent/JP3441761B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N3/00Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages
    • H04N3/10Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical
    • H04N3/14Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by means of electrically scanned solid-state devices
    • H04N3/15Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by means of electrically scanned solid-state devices for picture signal generation
    • H04N3/1506Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by means of electrically scanned solid-state devices for picture signal generation with addressing of the image-sensor elements
    • H04N3/1512Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by means of electrically scanned solid-state devices for picture signal generation with addressing of the image-sensor elements for MOS image-sensors, e.g. MOS-CCD
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/76Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
    • H04N25/767Horizontal readout lines, multiplexers or registers
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/40Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/76Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N3/00Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages
    • H04N3/10Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical
    • H04N3/14Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by means of electrically scanned solid-state devices
    • H04N3/15Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by means of electrically scanned solid-state devices for picture signal generation
    • H04N3/155Control of the image-sensor operation, e.g. image processing within the image-sensor

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は複写機、ファクシミリ、
ビデオカメラレコーダー等のイメージセンサやカメラの
オートフォーカス用のイメージセンサに関し、パターン
認識や、動画の検出等の画像信号処理の機能をもつイメ
ージセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】被写体となる画像(映像)を認識するセ
ンサとしては、第4回画像入力技術シンポジウムの講演
予稿集に久間和生の「光ニュ−ラルネットとインテリジ
ェントセンサ」と題する報告(PP.71−78、199
2年11月10日)がある。上記センサは、感度可変受
光素子(VSPD,Variable Sensitivity Photo Detect
or)を2次元状(N×N個)に配列した素子であり、入力
はN×N画素の光画像情報とN個の制御電圧であり、出力
はN個の光電流である。ここで、VSPDは、GaAs薄膜上に
櫛形のAl金属膜を形成したものであり、光照射により、
空乏層に励起された電子と正孔が、ドリフトされ光電流
として流れるものである。この光電流の大きさは、櫛形
電極に加える制御電圧によって連続的に増加する。この
ことは、光を電気に変換する検出感度が外部電圧で制御
できる(変調素子としての機能)ことを意味している。
VSPDは対象構造であるので、印加電圧の極性を反対にす
れば光電流の向きが逆転する。したがって、等価的に負
の感度を持たせることもできる。そして、このセンサを
用いて制御電圧のパタ−ン(1、−1)を第1行目からN
行目まで周期的にシフトすると、出力信号として画像の
輪郭が得られる。制御電圧のパタ−ン(1、−1)は、
隣接する行間の差を演算することに対応する。既に64
×64素子のチップが試作され、画像の輪郭実験が行わ
れ、処理時間は約200μsである。また、このセンサ
を用いてすべてのVSPDに同じ制御電圧を加えて同じ感度
を持つようにしておけば、2次元の入力画像信号を1次
元に情報圧縮した信号として出力し、画像認識が実現で
きる。
【0003】
【発明が解決する技術課題】しかしながら、上述した従
来技術には次のような技術課題がある。 (1)1方向読み出ししかできないために、パタ−ン認
識精度が悪い。 (2)ノイズ補正もできなく、高精度の画像処理が難し
い。
【0004】
【課題を解決するための手段】上述した技術課題(1)
を解決するために、請求項1のイメージセンサでは、行
方向及び列方向に配列された複数の光電変換要素と、前
記行方向に配列された複数の光電変換要素からの信号を
並列的に読み出すための第1の複数の出力線と、前記列
方向に配列された複数の光電変換要素からの信号を並列
的に読み出すための第2の複数の出力線と、前記行方向
に配列された複数の光電変換要素内の信号を、前記複数
の第1の出力線に同一のタイミングで読み出させ、前記
列方向に配列された複数の光電変換要素内で発生した信
号を、前記複数の第2の出力線に同一のタイミングで読
み出させるための読出手段と、前記第1の複数の出力線
からの複数の信号を並列的に入力し、前記複数の信号を
並列的に画像処理する第1の画像処理手段と、前記第2
の複数の出力線からの複数の信号を並列的に入力し、前
記複数の信号を並列的に画像処理する第2の画像処理手
段とを有し前記行方向及び列方向に配列された複数の光
電変換要素のそれぞれは、前記第1の複数の出力線及び
前記第2の複数の出力線と容量を介して接続されている
ことを特徴とする。
【0005】また、上述した技術課題(1)及び(2)
を解決するために、請求項2のイメージセンサでは、請
求項1において、前記第1の複数の出力線及び前記第2
の複数の出力線のそれぞれは、光信号を蓄積することに
よって生じる前記光電変換要素の出力信号に含まれるノ
イズ成分を除去するための回路部を有することを特徴と
する。
【0006】
【作用】本発明によれば、高精度なパタ−ン認識に応用
可能である。
【0007】
【実施例】以下に述べる実施例は行及び列に代表される
複数の共通読出しラインに時系列的に同時又は順次読み
出しを行う。
【0008】本発明に用いられる要素としては出力側の
複数の結合容量に信号を読み出す非破壊型のセンサが望
ましい。
【0009】(実施例1)本発明の光電変換装置の受光
部及び読出し回路の第1実施例の等価回路図を図1に示
す。本図面上では2×2画素構成について記載したが、
画素数はこれに限定されず実現できることは言うまでも
ない。
【0010】11、21、31、41はバイポーラトラ
ンジスタで、npn型である。上記バイポーラトランジ
スタのベース領域は受光層のフォトダイオードとして使
用し、光照射により発生した電子・正孔対の正孔が上記
ベース領域に蓄積される。
【0011】12、22、32、42はベース領域上に
設けられた容量で上記バイポーラトランジスタのON、
OFF状態を制御する。
【0012】13、23、33、43は横方向の光電変
換セルを分離かつフォトダイオード電位をリセットする
のに使用するP型MOSスイッチである。
【0013】14、24、34、44はエミッタ電位を
リセットするためのN型MOSスイッチで、上記14、
24のMOSスイッチのソースは、エミッタリセット電
源ライン5と、34、44のMOSスイッチのソース
は、同様にエミッタリセット電源ライン6と接続してあ
る。
【0014】15、16、25、26、35、36、4
5、36はそれぞれのエミッタからフローティングバス
ライン1、2、3、4に接続される容量である。
【0015】前に説明したバイボーラのベース領域に設
けられた容量及びPMOSゲートは、駆動ライン9に接
続され、パルスφBRが印加できる。本実施例では、全画
素共通に接続されている。
【0016】又、各バイボーラのベースリセット電源V
BRは、P型拡散層10を介して全画素のベースに印加可
能になっている。
【0017】次に読出し回路部の説明を行う。図1に
は、水平方向の読出し回路のみ記載した。水平、垂直同
時にかつ各行、各列、並列に出力されるため、水平方向
の回路と垂直方向の回路形式は同様のものになるため、
垂直方向の回路を記すことを省略した。
【0018】51、52は水平フローティングバスライ
ン1、2それぞれの電位コントロール用容量であり、一
方はコントロール用のパルスφHFが印加できるようにな
っている。
【0019】61、62は水平フローティングバスライ
ン1、2の電位リセット用MOSスイッチで、上記MO
Sスイッチのゲートは、φHFR パルスが印加される。
【0020】71、72は水平フローティングベースラ
インの電位クランプ用直列容量、81、82はリセット
用スイッチでパルスφHCR により制御される。 91、
92はnpn型バイポーラトランジスタで直列容量7
1、72からの出力ラインにそれぞれのベースが接続さ
れ、かつ91、92のエミッタは共通接続され、各水平
ライン上の画素のピーク信号はVHPEAKOUT端子へ出力さ
れる。
【0021】101、102はサンプルホールド容量1
11、112への転送スイッチでパルスφHCT で駆動で
きる。
【0022】121、122はMOS反転アンプで、そ
の出力131、132が出力される。
【0023】次に駆動方法について、図2のタイミング
チャートを利用した説明する。
【0024】まず、パルスφREをハイレベルにし、画素
セルのエミッタ部に設けられたN型MOSスイッチ1
4、24、34、44をON状態にする。これによりエ
ミッタ電位は、電源VREに固定される。
【0025】又同時に水平フローティングバスライン
1、2の電位もパルスφHFR をハイレベルにし、読出し
回路の電位もφHCR 、φHCT パルスをハイレベルにして
接地電位にリセットしておく。
【0026】次に画素部のバイボーラのベース電位をリ
セットするため、バイボーラのベースにVBRという1〜
2V程度の電位を印加するが、エミッタが接地された状
態のままだと、全画素分のバイボーラがONして大電流
が流れてしまうので、一旦φHFR のパルスをローレベル
にして、エミッタが接続されている水平フローティング
バスライン1、2をフローティング状態にする。その
後、φBRパルスを中間レベルからローレベルにし、画素
部のP型MOSスイッチ13、23、33、43をON
状態とし、ベース電位をVBR電位に固定する。このリセ
ット方法(完全リセット)は図1では、片側よりP型拡
散層10を介して行っているが、このリセット時間を短
縮化するためには、画素の両側より実行すれば良い。
【0027】このリセット終了後、φBRパルスを一旦中
間レベルにもどし、再びφHFR パルスをハイレベルに
し、水平フローティングバスラインを接地電位にリセッ
トする。このエミッタ電位により決定されるベース電位
にベース領域を収束させるため、再びφBRパルスをハイ
レベルにする。これにより、各画素部に設けられた容量
12、22、32、42によりベース電位はもち上りベ
ースエミッタバイアスが全画素のバイポーラを順方向動
作するようになる。このためには、上記完全リセット時
のベース固定電位VBRを所望の値にすれば容易に達成で
きる。このリセット方法は、過渡リセットと呼ばれるよ
うにリセット開始は、バイポーラの順方向バイアスによ
り電流は流れるものの、エミッタから逆注入された電子
がベース中の正孔と再結合し、ベース電位は急速に低下
する。これにともない、リセット電流は指数関数的に減
少する。上記リセットにより、リセット電位むら等は低
減され、均一なベース電位となるため、読出し時のリセ
ットノイズが低くなる。
【0028】次に、画素部のエミッタをフローティング
状態にするために、φREパルスをローレベルにし、又φ
BRパルスは中間レベル、φHFR パルスもローレベルに
し、水平フローティングバスライン1、2をフローティ
ング状態にする。
【0029】次に、光信号を蓄積する前に、暗時の出力
レベルでクランプするために暗時出力の読出しを行う。
このために、それまでの期間ハイレベルにしておいたパ
ルスφHFをローレベルにする。これにより容量51、5
2を介して水平フローティングバスライン1、2は下方
に振られる。
【0030】さらに、容量15、25、35、45を介
してバイポーラトランジスタのエミッタ17、27、3
7、47が下方に振られる。この動作により再びバイボ
ーラトランジスタはON状態となり、暗時のベース電位
に対応した電圧がエミッタ側に読出される。この時の電
圧関係を明確にするために、水平フローティングバスラ
イン1の全容量をCHFL1、15に示す容量をC15、C25
に示す容量をC16、暗時のバイポーラトランジスタON
によるエミッタ電位上昇分を、バイポーラトランジスタ
11に対してはVdark 11、21に対してVdark 21又51
の容量をC51とする。その時、上記暗時の出力によるフ
ローティングバスラインの電圧は、
【0031】
【外1】 となる。水平フローティングバスライン2に関しても同
様に、暗時の出力時の電圧は、
【0032】
【外2】 と表される。
【0033】ここで、C35、C45は35、45に示す容
量、CHFL2 は2の水平フローティングバスラインの容
量、Vdark 31、Vdark 41は各31、41のバイポーラの
暗時のエミッタ側の出力値、C52は52の容量である。
本発明の実施例の場合、C15、C25、C35、C45をすべ
て等しく、CHFL1とCHFL2とを、又C51とC52とを等し
くしておく。 CHE≡C15=C25=C35=C45HC≡C51=C52とすると CHFL ≡CHFL1=CHFL2 (1)式、(2)式はそれぞれ、下記のように簡素化さ
れる。
【0034】
【外3】
【0035】この暗時レベルの出力読出し時は、直列容
量71、72の右側の出力ラインは、MOSスイッチ8
1、82により、接地電位に固定されているが、上記読
出しが十分収束して電圧変化がなくなった後、パルスφ
HCR をローレベルとし、直列容量の右側のラインをそれ
ぞれフローティングとする。その後、φHFR パルスをハ
イレベルにし、水平フローティングバスライン1及び2
を接地電位にリセットする。この時の電圧変化は、下方
へ(1)′(2)′に示す値に変化するため、直列容量
71、72の右側は下記に示す電圧になる。
【0036】
【外4】
【0037】ただし、Kは定数である。Kは直列容量と
サンプルホールド容量等から決まる。
【0038】次に、パルスφHCT パルスをローレベルに
して、サンプルホールド容量C111、C112 に(3)
(4)式の電圧を保持する。φHCT パルスをローレベル
にした後、パルスφHFパルスをハイレベルにしておく。
【0039】次に、光信号を蓄積する前に、バイポーラ
トランジスタのエミッタ、ベース、それから直列容量7
1、72の右側の出力ラインの電位を暗時の出力読出し
と同様の動作によりリセットする。
【0040】上記リセットが終了後、光蓄積動作を開始
する。パルスφBRは、ハイレベルより中間レベルにする
ため、バイポーラのベース電位は負側に振られる。これ
により蓄積期間中は、バイポーラは完全にOFF状態に
なっているため、フローティングになっているエミッタ
も、水平フローティングバスラインも電圧変化は生じな
い。したがって、この蓄積期間中はφREをハイレベルに
して、又φHFR パルスをハイレベルにして、接地電圧に
固定しておいてもおかなくても良い。図2に示すタイミ
ングでは、エミッタ端はフローティグ、水平フローティ
ングバスラインは接地電位に固定した。
【0041】光信号蓄積期間終了後、水平フローティン
グバスライン及び直列容量の右側の出力ラインをフロー
ティング状態にするためのφHFR パルス及びφHCR パル
スをそれぞれローレベルとする。
【0042】その後、パルスφHFを下側に振り込む。こ
れにより、水平フローティングライン、エミッタ端と電
圧が下側に振られ、ベースエミッタバイアスが順方向に
バイポーラトランジスタに印加され、各エミッタ端に読
出される。エミッタ端での電圧は、それぞれのバイポー
ラのベース領域に形成されたフォトダイオードに照射さ
れた光信号分VP 11 、VP 21 、VP 31 、VP 41 と暗時の
出力のバイアス分Vdark 11、Vdark 21、Vdark 31、V
dark 41となるため、各水平フローティングラインの電位
は(5)、(6)式のようになる。
【0043】
【外5】
【0044】次に、パルスφHFR をハイレベルにする
と、(5)、(6)の電圧変化分が、サンプリングトラ
ンジスタに読出されるので、(3)、(4)式の電圧と
たしあわされて、その電圧は(7)、(8)のようにな
る。
【0045】
【外6】 結局
【0046】
【外7】 に示すように、水平の加算出力が並列に読出される。
【0047】上記動作において、垂直方向も同様の動作
となるため、垂直方向に並列に加算出力が読出される。
【0048】次に本発明のセンサ部の構造について、図
3を用いて説明する。(a)は図1のバイポーラトラン
ジスタ11部の単位セルの平面図、そのXX′断面を
(b)、そのYY′断面を(c)に示す。図1と同一箇
所は同一番号で記す。
【0049】151はバイポーラ11のベース層、17
はn+ 拡散層からなるエミッタ、152はn- 拡散層、
153は基板でバイポーラのコレクタ層を形成してい
る。
【0050】本構成以外にP型基板上にn+ 埋め込み層
を介してn- 層を設けても良いことは言うまでもない。
【0051】154はベース層リセット及び駆動用のゲ
ート電極及びそれに接線された配線である。図3の
(b)からわかるように、154のゲート電極により、
各セルのベース層は分離されている。このゲートには、
図1に示すφBRパルスが印加されるわけで、φBRパルス
がローレベルの時、P型MOSがON状態になり、ベー
ス単位はVBR電位にリセットされる。
【0052】又、φBRパルスにハイパルスが印加される
と、上記ゲート154とベース層との重なり部分で形成
される容量によりベース電位をもち上げる図1の12に
示す容量としても作用する。
【0053】155は第2のゲート電極及びそれに接続
された配線である。図3の(c)からわかるように、n
+ 拡散層からなるVRE電源ラインとエミッタ17とのO
N、OFFを制御するために、上記155ゲート電極は
設けられている。
【0054】エミッタ17上には、図3の(c)の1
5、16に示す如く絶縁層を介して、水平フローティン
グバスライン1及び垂直フローティングバスライン3へ
接続される。
【0055】以上説明したように、2種類のゲート配線
材、1種類の拡散層、電源ライン、2種類の配線層(水
平、垂直フローティングバスライン用にたとえば、Al
1、Al2)を用いて単純な構成で実現可能となる。
又、本実施例では、画素部の容量15、16、25、2
6、35、36、45、46を同じものとしたが、この
値を変化させることにより、各画素の出力の重みづけを
変化させることができることも言うまでもない。
【0056】(実施例2)次に第2実施例について、図
4に等価回路図、図5にその駆動タイミングチャートを
示す。第1実施例と同一箇所は同一番号で記し説明は省
略する。
【0057】第1実施例と異なる点は、リセットと読出
しを各セルに設けられた容量12、22、32、42に
よりベース電位コントロールにより行い、水平、垂直フ
ローティングバスライン電位はコントロールしない点に
ある。したがって、図1に示した容量51、52及びパ
ルスφHF、垂直ライン用のそれに対応した容量及びパル
スφVFも不要となる。
【0058】次に、図5に示すタイミングチャートに従
って動作方法について説明する。第1実施例と同様に、
ベース、エミッタ、さらに水平フローティングライン、
直列容量71、72の右側の出力ラインのリセットを行
う。過渡リセット終了時点では、エミッタリセット用M
OSはON状態、水平フローティングバスラインは接地
電位、又直列容量の右側の出力ラインも接地電位に固定
されている。過渡リセット動作を十分行えば、ベース電
位は十分さがり、バイポーラに電流はほとんど流れない
状態になる。この状態になった後、上記端子をパルスφ
RE、φHFR 、φHCR をローレベルにすると、照射された
光により上昇したベース電位に対応した信号の各画素の
加算出力が水平フローティングラインに現れる。
【0059】上記パルスφRE、φHFR 、φHCR をローレ
ベルにした時の振られがサンプルホールド容量に伝播し
ないために、過渡リセット終了直前にφHCT パルスをロ
ーレベルにしておく方が望ましい。
【0060】このように、水平フローティングバスライ
ンには、各画素の加算信号に相当した出力が現れ、直列
容量71、72を介して、直列容量の右側の出力ライン
も同様に上昇する。
【0061】本発明の動作においては、光信号蓄積中に
出力上昇がモニタできる。したがって、91、92に示
す如く、npn型バイポーラトランジスタのベース層を
出力ラインに接続し、かつ各々のエミッタを共通接続し
ておけば、水平方向に出力された信号のピーク値を検出
できる。これにより、蓄積時間を適当に選択すれば、後
での信号処理する時の画像データの出力レベルをそろえ
ることができる。
【0062】所望の蓄積時間が終了した時点で、パルス
φHCT をONし、サンプルホールド容量にデータを取り
込めば良い。又、サンプルホールド容量は、アンプを介
して並列に読出される。第1、第2実施例ではMOSの
反転アンプを介して出力しているが、これにより文字等
のデータは文字領域が逆に高い出力になるように変換さ
れ、後段の画像処理が容易になる。
【0063】(実施例3)次に本発明の第3実施例を図
6を用いて説明する。同一箇所は、同一番号を記し、説
明は省略する。第3実施例が前記実施例と異なる点は、
バイポーラ素子をなくし、直接フォトダイオード16
1、162、163、164の出力を各容量15、1
6、25、26、27、28を介して、水平垂直フロー
ティングバスラインへ出力する形態にした事である。
【0064】本実施例の構成は、図6からもわかるよう
に、簡単な構成ゆえ、受光部の開口率が大きくなる。水
平、垂直フローティングバスラインにつく寄生容量を小
さくおさえ、かつ、15、16、25、26、35、3
6、45、46の容量が小さく形成できれば、フォトダ
イオード領域の光照射による出力も得られる。したがっ
て、十分な光量が得られる画像の場合、本実施例の構成
は有効となる。
【0065】(実施例4)次に本発明の第4実施例につ
いて、図7を用いて説明する。本第4実施例では、光電
変換部の感度を各画素ごと可変にする事を可能にし、光
電変換領域で、積和演算が一括して実行できる。
【0066】まず、受光部の構成を説明する。203は
フォトダイオードでフォトダイオード領域で光電変換さ
れたキャリアは転送ゲート202を介して201に示す
MOSのゲートに転送される。
【0067】上記201に示すトランジスタは、通常の
MOSFETだけでなく、JFET等でも良い。上記転
送キャリアにより、上記201のトランジスタ部に流れ
る電流は変調される。
【0068】一方、トランジスタ201と207で形成
されるアンプのゲインを可変にするため、トランジスタ
207のゲートはフローティングゲート204を1層は
さみ、その上に分離した2層目のゲート208と209
を設けている。208のゲートは206の出力端子へ、
一方209のゲートは制御端子205に接続されてい
る。
【0069】205の制御端子に入力されるパルスによ
り、204のフローティングゲートの電圧は、上昇、下
降することにより、207のの実効的抵抗値は変化す
る。これにより、各セルの感度を変化させた出力が出力
端子より出される。
【0070】それぞれのセルへのパルスの入力は、下記
のように行えば良い。図7に示すように、フォトダイオ
ードから、アンプのゲートへの転送パルスはφR パルス
により実行する。又、各素子の感度調整用パルスは、電
源196より191、192ラインを通し送る。その選
択用スイッチとして181、182、183、184を
設け、その選択パルスをパルス発生器195より配線1
93、194を介して送れば良い。
【0071】以上説明したように、各セルごと感度が変
化でき、その各々の出力は、水平垂直フローティングバ
スラインにより加算されるので、積和演算が一括してで
き、画素の実時間フーリエ変換等が可能になる。
【0072】(実施例5)次に、本発明の第5実施例を
図8を用いて説明する。本第5実施例は、水平フローテ
ィングバスライン、垂直フローティングバスラインを分
割して、右側と左側、上側、下側に振り分けて出力する
ように構成した例である。
【0073】図8では、水平フローティングバスライン
は1、2は右へ、211、212は左側、垂直フローテ
ィングバスライン34は下側へ、213、214は上側
にのびそれぞれ同様の読出し回路が配置されている。図
8では、4つのセルを分割した例であるが、セル数はこ
の値に限定されず、又上下左右の数も必ずしも同等でな
くても良いことは言うまでもない。
【0074】次に、上述した本発明の各実施例からの出
力信号を処理する画像処理部のいくつかの実施例につい
て述べる。
【0075】(処理部実施例1)次に本発明の画像処理
部について図9を用いて説明する。又、水平出力と垂直
出力は同一形態で読出されるので、水平出力のみ説明す
る。
【0076】301、302、303はそれぞれ水平の
第1ライン出力、第2ライン出力、第nライン出力であ
る。それらの出力はそれぞれ2つに分岐し一方はシフト
回路307、308、309へ入力、一方はコンパレー
タ304、305、306に入力される。
【0077】コンパレータでは、310に示す基準電位
REF 以上の出力かVREF 以下の出力かを判断する。こ
れは、光電変換部でとらえられた画像の領域を検出する
ために行う。コンパレータの出力はカウンタ回路311
に入力され、画像が始まるまでのビット数、画像の長さ
を上記カウンタ回路で計算する。
【0078】今、このカウンタ回路で画像データが始ま
るビット数をi、一方、画像の長さをjとする。前記、
水平ライン出力301、302、303を同時に(i−
1)ビット上方にシフトさせ、画像の頭かせそろうよう
にする。このシフト回路には、トラッスミッションゲー
トを組合せた並列タイプのものが望ましい。
【0079】次にこの出力をアンプ312、313、3
14を介して、画像の先頭の最初のラインデータを容量
315、316、317へ、次のラインデータを容量3
18、319へ、最終ラインもしくは画像データなしラ
インデータを容量320、321…322へ書き込む。
【0080】これらの容量の数はn2 コある。又各容量
はMOSスイッチ323〜332により、分離もしくは
接続ができるように配置されている。上記MOSスイッ
チのゲート数は、n2 コの間に設けられているので、
(n2 −1)コあるが、上から上記MOSゲートがON
する電圧をVON、OFFする電圧をVOFF とすると、V
ONが(j−1)コ連続した後、VOFF が発生、又その後
ONが(i−1)コ連続に後VOFF が発生するパルスを
発生する。これにより、jビットづつ画像データが混ざ
り合う、したがってjビット周期にデータを選択するマ
ルチプレクサー334を介して、nビットの出力33
5、336、337が得られる。
【0081】上記の説明の処理を行うことにより、光電
変換領域で任意の位置に、任意の大きさの画像でもメモ
リに保持されている参照データと、正確に比較ができパ
ターン認識精度が高くなる。
【0082】338、339、340はAD変換器、3
41、342、343はデジタルコンパレータ、34
4、345、346は347から読出されたnbitの
参照データ列、348はROMからのデータ読出し回
路、349はタイミング発生回路、350は加算器、3
51は相関データ処理回路である。
【0083】ROMの中の参照データをまず、344、
345、346のデータ列に読出し、受光した画像信号
とデジタルコンパレータで差分演算を並列的に実行す
る。画像の認識は各画素のデータと参照データとの差分
出力の絶対値の和が最も小さくなるものであるので、デ
ジタルコンパレータ341、342、343は符号デー
タなして、加算器350に並列に送る。加算結果を相関
データ回路351にストアし、タイミング発生回路34
9により、読出し回路348を起動させ、次の参照デー
タとの比較演算を実効し、それぞれのデータを相関デー
タ回路351にストアしていく。複数回の演算結果より
最も相関の強いデータ、つまり加算結果が最小となるも
のを相関データ回路で選択し、結果が出力される。
【0084】以上説明したように、nラインデータをR
OMに格納された参照データ長に正確に交換し、かつ並
列的に比較演算を実行できるため、高速かつ高精度のパ
ターン認識が実現できる。
【0085】(処理部実施例2)次に本発明の画像処理
部の第2実施例を図10を用いて説明する。図9と同一
箇所は同一番号を記し、説明は省略する。本実施例が、
前述実施例と異なる点は、比較演算をアナログ情報レベ
ルで実行する点にある。
【0086】したがって、ROMからの参照データ列3
44、345、346はDA変換器によりアナログ情報
に変換され、マルチプレクサーの出力データとアナログ
コンパレータ360、361、362で演算され、30
3の加算器で加算されたデータより相関データ回路によ
り最も相関の強いデータが出力される。
【0087】アナログ演算することにより、回路規模が
小さくてすむ利点を有する。
【0088】(処理部実施例3)次に本発明の画像処理
部の第3実施例を図11を用いて説明する。本第3実施
例では、メモリ部371には、ROM以外にRAMもそ
なえ、相関データ回路で処理した後、基準レベルに達す
る相関データがない場合、画像のND変換結果を配線3
78、372、373を介して書き込み用データ入力端
子374、375、376へ書き込む。これを、書き込
み読み出し回路370により、RAMに書き込まれる。
本構成により、学習機能を有するパターン認識装置が実
現できる。
【0089】(処理部実施例4)次に本発明の画像処理
部の第4実施例について、図12を用いて説明する。
【0090】308はシフトレジスタに代表される走査
回路で、マルチプレクサー334のアナログ出力と、R
OMからのDA変換されたアナログデータを1ビットづ
つ、コンパレータ381により相関をとり、シフトレジ
スタ380のタイミングに同期してコンパレータ381
の出力を逐次加算器382により加算し、相関データ回
路383へ送るものである。
【0091】本実施例の構成により、シリアル処理にな
り、前述実施例よりも処理スピードは低下するものの、
回路規模が小さくて済み、画素数の多い演算には適して
いる。
【0092】(処理部実施例5)次に本発明の画像処理
部の第5実施例について、図13を用いて説明する。処
理部実施例1〜4は、パターン認識用の回路構成であっ
たが、本実施例は動き検知用処理回路である。
【0093】水平の出力データ301、302、303
は、バッファアンプ401、402、403により、時
刻t1 のデータは405に示すパルスφt1をハイレベル
にして、MOSスイッチ501、503、505をON
状態とし、それぞれ容量601、603、665に書き
込む。
【0094】次に時刻t2 のデータを301、302、
303から入力し再度バッファアンプ401、402、
403を介して、パルスφt2をハイレベルにして、MO
Sスイッチ502、504、506をON状態にし、そ
れぞれ容量602、604、606に書き込む。
【0095】時刻t1 とt2 との相関データをとるた
め、それぞれの容量に書き込まれた値を901〜906
のバッファアンプにより増幅して差分回路に読出す。差
分結果は、絶対値回路804で絶対値をとった後、アナ
ログ加算回路805で、各ライン差分データの加算を行
い、相関データ806上にストアする。
【0096】次に801と802の走査タイミングを正
負含めて1bitづつずらし、同様の読出し動作を行
う。
【0097】上記動作で最も相関の強いbitずらし量
が求まれば、それがy方向への物体の移動量となる。同
様のことをx方向にも適用すれば、x方向の移動量が得
られる。
【0098】イメージセンサからの映像信号により、被
写体の動き量を算出することは、すでに実行されている
が、映像信号を使用すると、映像の走査周期が決定され
ている為、例えばNTSCでは1/60secで1フィ
ールドとなる。よってこれより早い動き等に関しては、
検出感度が低下する。
【0099】本実施例の構成では、x方向、y方向同時
に出力されるため、極めて高速、高精度の動き検知が実
現でき、自動車、列車、衝突防止センサ、高速追尾シス
テム等に応用可能となる。
【0100】
【発明の効果】本発明によれば、高精度なパタ−ン認識
に応用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1によるイメージセンサの回路
構成図である。
【図2】実施例1によるイメージセンサの動作を説明す
るタイミングチャートである。
【図3】実施例1によるセンサ単位セルの平面図と断面
図である。
【図4】本発明の実施例2によるイメージセンサの回路
構成図である。
【図5】実施例2によるイメージセンサの動作を説明す
るタイミングチャートである。
【図6】本発明の実施例3によるイメージセンサの回路
構成図である。
【図7】本発明の実施例4によるイメージセンサの回路
構成図である。
【図8】本発明の実施例5によるイメージセンサの回路
構成図である。
【図9】本発明の画像処理部の1実施例を示す図であ
る。
【図10】本発明の画像処理部の別の実施例を示す図で
ある。
【図11】本発明の画像処理部のさらに別の実施例を示
す図である。
【図12】本発明の画像処理部のさらに別の実施例を示
す図である。
【図13】本発明の画像処理部のさらに別の実施例を示
す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−202188(JP,A) 特開 昭62−67961(JP,A) 特開 平3−29474(JP,A) 特開 平1−286586(JP,A) 特開 平1−170279(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H04N 5/335

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 行方向及び列方向に配列された複数の光
    電変換要素と、 前記行方向に配列された複数の光電変換要素からの信号
    を並列的に読み出すための第1の複数の出力線と、 前記列方向に配列された複数の光電変換要素からの信号
    を並列的に読み出すための第2の複数の出力線と、 前記行方向に配列された複数の光電変換要素内の信号
    を、前記複数の第1の出力線に同一のタイミングで読み
    出させ、前記列方向に配列された複数の光電変換要素内
    で発生した信号を、前記複数の第2の出力線に同一のタ
    イミングで読み出させるための読出手段と、 前記第1の複数の出力線からの複数の信号を並列的に入
    力し、前記複数の信号を並列的に画像処理する第1の画
    像処理手段と、 前記第2の複数の出力線からの複数の信号を並列的に入
    力し、前記複数の信号を並列的に画像処理する第2の画
    像処理手段とを有し、 前記行方向及び列方向に配列された複数の光電変換要素
    のそれぞれは、前記第1の複数の出力線及び前記第2の
    複数の出力線と容量を介して接続されている ことを特徴
    とするイメ−ジセンサ。
  2. 【請求項2】 前記第1の複数の出力線及び前記第2の
    複数の出力線のそれぞれは、光信号を蓄積することによ
    って生じる前記光電変換要素の出力信号に含まれるノイ
    ズ成分を除去するための回路部を有することを特徴とす
    る請求項に記載のイメ−ジセンサ。
  3. 【請求項3】 前記第1の画像処理手段及び前記第2の
    画像処理手段のそれぞれは、パタ−ン認識回路を含むこ
    とを特徴とする請求項1又は2に記載のイメ−ジセン
    サ。
  4. 【請求項4】 前記第1の画像処理手段及び前記第2の
    画像処理手段のそれぞれは、動き検出用処理回路を含む
    ことを特徴とする請求項1又は2に記載のイメ−ジセン
    サ。
JP12708093A 1993-05-28 1993-05-28 イメージセンサ Expired - Fee Related JP3441761B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12708093A JP3441761B2 (ja) 1993-05-28 1993-05-28 イメージセンサ
EP94303899A EP0626785B1 (en) 1993-05-28 1994-05-31 Reading means for solid state image sensor
DE69434241T DE69434241T2 (de) 1993-05-28 1994-05-31 Leseverfahren für Festkörper-Bildsensor
US08/717,680 US5726439A (en) 1993-05-28 1996-09-23 Image sensor comprising a two-dimensional array of photodetectors with both column and row output circuits which are in parallel
US08/964,363 US5886343A (en) 1993-05-28 1997-11-04 Image sensor comprising a two-dimensional array of storing elements with both row and column parallel output circuitry

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12708093A JP3441761B2 (ja) 1993-05-28 1993-05-28 イメージセンサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06339079A JPH06339079A (ja) 1994-12-06
JP3441761B2 true JP3441761B2 (ja) 2003-09-02

Family

ID=14951082

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12708093A Expired - Fee Related JP3441761B2 (ja) 1993-05-28 1993-05-28 イメージセンサ

Country Status (2)

Country Link
US (2) US5726439A (ja)
JP (1) JP3441761B2 (ja)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6201573B1 (en) * 1995-11-13 2001-03-13 Hamamatsu Photonics K. K. Solid state imaging apparatus for imaging a two dimensional optical image having a number of integration circuits
WO1997007628A1 (fr) * 1995-08-11 1997-02-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Dispositif semi-conducteur mos pour effectuer une saisie d'iamge
US5932902A (en) * 1996-08-19 1999-08-03 Sony Corporation Solid-state imaging device with element-separating electrodes
US6515702B1 (en) * 1997-07-14 2003-02-04 California Institute Of Technology Active pixel image sensor with a winner-take-all mode of operation
US5854100A (en) * 1997-11-17 1998-12-29 Vanguard International Semiconductor Corporation Method of forming a new bipolar/CMOS pixel for high resolution imagers
JPH11196427A (ja) * 1997-12-26 1999-07-21 Canon Inc 単板カラー撮像装置
US6532040B1 (en) * 1998-09-09 2003-03-11 Pictos Technologies, Inc. Low-noise active-pixel sensor for imaging arrays with high speed row reset
WO2000014960A1 (fr) * 1998-09-09 2000-03-16 Hamamatsu Photonics K.K. Camera electronique
JP3564031B2 (ja) * 1999-03-16 2004-09-08 オリンパス株式会社 電子スチルカメラ
US6972794B1 (en) 1999-06-15 2005-12-06 Micron Technology, Inc. Dual sensitivity image sensor
AU5494300A (en) * 1999-06-15 2001-01-02 Photobit Corporation Dual sensitivity image sensor
FR2795587B1 (fr) * 1999-06-23 2001-09-07 Agence Spatiale Europeenne Detecteur du type a pixels actifs
JP4265038B2 (ja) * 1999-08-02 2009-05-20 ソニー株式会社 画像処理装置
JP4703815B2 (ja) 2000-05-26 2011-06-15 株式会社半導体エネルギー研究所 Mos型センサの駆動方法、及び撮像方法
JP4914548B2 (ja) * 2001-09-26 2012-04-11 本田技研工業株式会社 光電変換セル、撮像装置、撮像方法及び撮像装置の駆動方法
US7193197B2 (en) * 2001-12-05 2007-03-20 Hamamatsu Photonics K.K. Light detection device, imaging device and distant image acquisition device
JP3965049B2 (ja) 2001-12-21 2007-08-22 浜松ホトニクス株式会社 撮像装置
KR100412995B1 (ko) * 2002-03-29 2003-12-31 주식회사 하이닉스반도체 병렬아날로그 버스 및 열구동부를 갖는 이미지센서
US7199828B2 (en) * 2002-05-28 2007-04-03 Imagerlabs Active pixel sensor cell array
JP2004264034A (ja) * 2003-01-24 2004-09-24 Hamamatsu Photonics Kk 光検出装置
JP2005218052A (ja) 2004-02-02 2005-08-11 Hamamatsu Photonics Kk 光検出装置
US7626626B2 (en) 2006-01-13 2009-12-01 Micron Technology, Inc. Method and apparatus providing pixel storage gate charge sensing for electronic stabilization in imagers
JP5807925B2 (ja) * 2011-03-17 2015-11-10 国立研究開発法人産業技術総合研究所 ゲイン可変方法、ゲイン可変光電変換素子、ゲイン可変光電変換セル、ゲイン可変光電変換アレイ、読み出し方法、および、回路
US20160003672A1 (en) * 2014-07-25 2016-01-07 Varun Verma Multiplexer for single photon detector, process for making and use of same
JP2021093563A (ja) 2019-12-06 2021-06-17 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像素子、制御方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5210434A (en) * 1983-07-02 1993-05-11 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric converter with scanning circuit
NL8801342A (nl) * 1988-05-25 1989-12-18 Imec Inter Uni Micro Electr Stralingsopnemer.
US5032712A (en) * 1988-10-19 1991-07-16 Canon Kabushiki Kaisha Signal accumulation image reading apparatus
US5241167A (en) * 1990-11-07 1993-08-31 Canon Kabushiki Kaisha Photosensor device including means for designating a plurality of pixel blocks of any desired size
US5428420A (en) * 1991-08-28 1995-06-27 Canon Kabushiki Kaisha Focus detecting apparatus having photoelectric area sensors
JP3006216B2 (ja) * 1991-09-05 2000-02-07 富士ゼロックス株式会社 2次元密着型イメージセンサ及びその駆動方法
US5401952A (en) * 1991-10-25 1995-03-28 Canon Kabushiki Kaisha Signal processor having avalanche photodiodes
US5406332A (en) * 1992-03-06 1995-04-11 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric converting device
US5351309A (en) * 1992-06-30 1994-09-27 National Science Council Image edge sensor

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06339079A (ja) 1994-12-06
US5886343A (en) 1999-03-23
US5726439A (en) 1998-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3441761B2 (ja) イメージセンサ
EP0493455B1 (en) I.c. sensor
EP0272152B1 (en) Signal reading out circuit
JP3613705B2 (ja) 放射線を画像化するためのデバイス
US4518863A (en) Static induction transistor image sensor with noise reduction
JPS6343951B2 (ja)
JPH0435106B2 (ja)
US6980243B2 (en) Photoelectric conversion device providing advantageous readout of two-dimensional array of transistors
EP0630152B1 (en) Photo-electric converter
JPS6033346B2 (ja) 固体撮像装置
US4387402A (en) Charge injection imaging device for faithful (dynamic) scene representation
JPH0562869B2 (ja)
JPH084129B2 (ja) 光電変換装置
JP4099413B2 (ja) 光検出装置
EP0626785B1 (en) Reading means for solid state image sensor
US4806779A (en) Solid-state image pickup apparatus using static induction transistors for performing non-destructive readout
US7872674B2 (en) Solid-state imaging device and method of operating solid-state imaging device
JP4914548B2 (ja) 光電変換セル、撮像装置、撮像方法及び撮像装置の駆動方法
JP3053721B2 (ja) 固体撮像装置
JPS6337995B2 (ja)
JPH0542828B2 (ja)
JP2598103B2 (ja) 光電変換装置
Jespers et al. Three-terminal charge-injection device
JPH09116817A (ja) 固体撮像装置及びその駆動方法
JPH0683398B2 (ja) 固体撮像装置

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20010904

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees