WO2002046648A1 - Robinet a manchon - Google Patents

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WO2002046648A1
WO2002046648A1 PCT/JP2001/010648 JP0110648W WO0246648A1 WO 2002046648 A1 WO2002046648 A1 WO 2002046648A1 JP 0110648 W JP0110648 W JP 0110648W WO 0246648 A1 WO0246648 A1 WO 0246648A1
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WO
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cylinder
panel
piston
pinch
receiver
Prior art date
Application number
PCT/JP2001/010648
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Shigenobu Furukawa
Takeshi Hamada
Original Assignee
Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd.
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Publication date
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Priority claimed from JP2001179207A external-priority patent/JP2002372159A/ja
Application filed by Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. filed Critical Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd.
Priority to US10/182,760 priority Critical patent/US6755388B2/en
Priority to EP01999766A priority patent/EP1253360B1/en
Priority to CA002396807A priority patent/CA2396807C/en
Priority to DE60112893T priority patent/DE60112893T2/de
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/02—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm
    • F16K7/04—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force
    • F16K7/06—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force by means of a screw-spindle, cam, or other mechanical means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
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    • F16K7/04—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force
    • F16K7/06—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force by means of a screw-spindle, cam, or other mechanical means
    • F16K7/066—Wedge clamps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/02—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm
    • F16K7/04—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force
    • F16K7/07—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force by means of fluid pressure

Definitions

  • the present invention relates to pinch pulp used for fluid transport piping in various industrial fields such as chemical factories, semiconductor manufacturing, food, and biotechnology.
  • a pinch valve that is very compact and has improved durability of the pipe against opening and closing of pulp.
  • FIGS. 27 and 28 the upper and lower sides fitted in the cylinder 40 on the leg member 39 composed of the footrest 37 and the leg rod 38 are shown.
  • the upper piston 41 is fixed to the upper end of the shaft 43
  • the lower piston 42 plays on the shaft 43.
  • the fitted pipe shaft 4 4 is fixed to the upper end.
  • a blade piece 45 is provided on the lower side of the pipe shaft 44, and the blade piece 45 is fixed to a lower pincer 47 via a connecting rod 46.
  • An upper presser 48 is fixed to the lower end of the one-sided shaft 43.
  • the center of the pulp pipe 51 supported by the two horizontal rods 50 and the leg members 39 that are horizontally mounted between the flanges 49 fitted to both ends of the flow path section is located on the upper side.
  • the pistons 41, 4 are pressed by pressing the presser 48 between the lower presser 47 and the compressed air into the holes 52, 53, 54 formed in the cylinder 40 as appropriate.
  • the upper clamp 48 and the lower clamp 47 connected to 2 were moved up and down symmetrically to open and close the valve tube 51.
  • the pinch valve having the above structure has a structure in which the drive unit and the valve body are separated from each other, and the leg member 39 and the leg member are interposed between the cylinder 40 and the pulp pipe 51 which is a flow path. Since the pedestal 37 and the wing pieces 45 were provided, the overall height of the pulp was too high to make it compact. Therefore, it could not be used at all as a pinch valve for piping in equipment such as semiconductor manufacturing. Also, with such a structure, it was difficult to arbitrarily adjust the opening degree of the valve tube, so that it was not possible to adjust the minute flow rate. Disclosure of the invention
  • the present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and has a lower overall pulp height than conventional pinch valves and is very compact. It is an object of the present invention to provide a pinch pulp that can significantly improve the durability of a pipe formed and can adjust a minute flow rate.
  • the pinch valve of the first invention has a tubular body 1 made of an elastic body and a part 2 A cylindrical body lid 4 having a disc-shaped cylindrical lid 3 joined thereto, and a cylindrical part 2 which is vertically slidably and slidably contacted on the inner peripheral surface of the cylinder part 2 and provided at the center of the lower surface of the cylindrical body 4.
  • the clamp 15 is housed in an oval slit 6 provided on the bottom surface of the cylinder body 4 at right angles to the flow path axis, and is fixedly joined to the lower end surface of the cylinder body 4.
  • One end has a fitting portion 21 to be fitted with the groove 18 of the main body 16, and the other end has a connecting hole 23, and a through hole 26 for receiving the tube 1.
  • the first feature is that it has.
  • the pinch pulp of the first invention is provided with a slip-off preventing portion 22 at the end of the fitting portion 21 of the connector receiver 20, and a slip-off preventing convex portion 2 2 in the groove 18 of the main body 16.
  • the second feature is that a concave groove 19 for receiving the water is provided.
  • a third feature of the pinch valve of the first invention is that a panel 35 is attached to the second space 8 in a state of being in contact with the cylinder lid 3 and the piston 11.
  • the fourth feature is that the panel 35 is attached to the first space portion 7 while being in contact with the bottom surface of the cylinder portion 2 and the screws 11.
  • the pinch valve of the invention has an outer diameter at one end which is smaller than the inner diameter of the tubular body 1.
  • a connecting body 29 having an insertion part 31 and a pipe connection part 32 at the other end and a flange part 33 at the center, which is formed so as to be large and is connected to the pipe body 1, forms a cap nut 34.
  • Fifth feature is that it is fitted and fixed to the connector receiver 20 by engaging with the flange 33 and screwing it into a male screw portion 24 provided on the outer periphery of the connector receiver 20.
  • the sixth feature is that the material of the tube 1 is EPDM, fluoro rubber, silicon rubber, or a composite thereof.
  • the tube 1 is made of a composite of polytetrafluoroethylene and silicon rubber.
  • the seventh feature is that it consists of a body.
  • the tube 1 of the pinch valve of the present invention is not limited as long as it is an elastic body such as EPDM, fluoro rubber, silicone rubber, or a composite of fluoro rubber and silicon rubber.Fluoro rubber and silicon rubber A complex with is particularly preferred.
  • the cylinder body 4 and the body 16 are not particularly limited as long as they are rigid such as metal and plastic, but plastics such as PVC and fluororesin such as PVDF are particularly preferred. Can be
  • the linking body 29 is not particularly limited as long as it has chemical resistance, such as plastic, but plastics of fluororesin such as PTFE, PVDF, and PFA are particularly preferable.
  • the pinch valve of the present invention has a screw portion 11 Cylinder main body 101 with air port 1 16 communicating with lower end of cylinder part 1 15 and cylinder part 1 1 5 having recess 4 and concave part 1 receiving panel 106 at the bottom 17 and screwed to the screw section 1 1 4 for adjusting the opening of the cylinder body 101 on the outer periphery Cylindrical handle 10 3 having a threaded portion 1 18, a disk-shaped panel receiver 105 holding a panel 106 with an upper end surface of a handle recess 1 17, and a handle 103 upper portion And a connecting rod 104 that is engaged with the panel receiver 105 so as to sandwich the panel 106 between the handle 103 and the panel receiver 105.
  • the first feature is that it comprises a main body 102 having the following structure, and connecting portions for connecting the tubular body 109 to another tube on both sides of the main body.
  • the bolts 122 and the nuts 123 penetrating the inside of the panel receiver 105 and the connecting rod 104 are used to form the nozzles 103 and the nozzle receivers 1.
  • the second feature is that the 05, connecting rod 104 and panel 106 are integrated.
  • an outer diameter is formed at one end to be larger than an inner diameter of the tubular body 109, and an inlet part 124 connected to the tubular body 109 is connected to a pipe connecting part at the other end.
  • a coupling body 113 having a flange 125 and a flange part 126 at the center engages the cap nut 112 with the flange part 126, and is provided on the outer periphery of the coupling body receiving part 111.
  • a third feature is that the connection portion is formed by being screwed into the male screw portion 128 to be fitted and fixed to the connector receiver 111 so as to form a connection portion.
  • the fourth feature is that the material of the tube 109 is EPDM, fluoro rubber, silicon rubber, or a composite thereof. Further, the tube 109 is made of PTFE and silicon rubber.
  • the fifth feature is that it is composed of a complex.
  • the pinch pulp tube 109 of the present invention is not particularly limited as long as it is made of EPDM, fluoro rubber, silicon rubber, or a composite of fluoro rubber and silicon rubber. Composites of, for example, PTFE, etc.) and silicon rubber are particularly preferred.
  • the cylinder body 101, the body 102 and the handle 103 are not particularly limited as long as they are made of a rigid material such as metal or plastic. Plastics made of fluororesins are particularly preferred.
  • connection body 113 constituting the connection portion is not particularly limited as long as it has chemical resistance such as plastic, but a fluororesin plastic such as PTFE, PVDF and PFA is particularly preferable. Preferred examples are given.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a closed state of a first embodiment of the pinch pulp of the first invention of the present invention.
  • Fig. 2 is a longitudinal sectional view of Fig. 1 viewed from the side (in the direction of the flow path).
  • FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing the open state of FIG.
  • FIG. 4 is a bottom view of the cylinder body in FIG.
  • FIG. 5 is a plan view of the main body in FIG.
  • FIG. 6 is an exploded front view of the fixed port, piston and pincer.
  • FIG. 7 is a longitudinal sectional view of the coupled body receiver in FIG.
  • FIG. 8 is a right side view of the connector of FIG.
  • FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing a closed state of the second embodiment of the pinch pulp of the first invention of the present invention.
  • FIG. 10 is a longitudinal sectional view of the pinch pulp of FIG. 9 as viewed from the side (in the direction of the flow path).
  • FIG. 11 is a longitudinal sectional view showing the open state of FIG.
  • FIG. 12 is a longitudinal sectional view showing an open state of the third embodiment of the pinch valve according to the first invention of the present invention.
  • FIG. 13 is a vertical cross-sectional view of the pinch pulp of FIG. 12 viewed from the side (in the flow channel direction).
  • FIG. 14 is a longitudinal sectional view showing the closed state of FIG.
  • FIG. 15 is a longitudinal sectional view showing a closed state of the first embodiment of the pinch valve according to the second invention of the present invention.
  • FIG. 16 is a longitudinal sectional view of FIG. 15 as viewed from the side (in the flow channel direction).
  • ⁇ FIG. 17 is a longitudinal sectional view showing the open state of FIG.
  • FIG. 18 is a longitudinal sectional view showing the open state of FIG.
  • FIG. 19 is a longitudinal sectional view showing the intermediate opening degree adjustment state.
  • FIG. 20 is a longitudinal sectional view showing the open state of FIG.
  • FIG. 21 is a bottom view of the cylinder body in FIG.
  • FIG. 22 is a plan view of the main body in FIG.
  • FIG. 23 is a longitudinal sectional view of the coupled body receiver in FIG.
  • FIG. 24 is a right side view of the connector receiver of FIG.
  • FIG. 25 is an exploded perspective view of the fixed port, the piston and the pincer.
  • FIG. 26 is an exploded perspective view of the handle, the connecting rod, the panel receiver, and the panel.
  • FIG. 27 is a longitudinal sectional view of a conventional pinch pulp.
  • FIG. 28 is a partially cut front view of a conventional pinch valve. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • FIG. 1 is a vertical new view showing the closed state of the first embodiment of the pinch pulp of the first invention.
  • FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the pinch pulp of FIG. 1 as viewed from the side (in the direction of the flow path).
  • FIG. 3 is a vertical sectional view ′ showing the open state of FIG.
  • FIG. 4 is a bottom view of the cylinder body in FIG.
  • FIG. 5 is a plan view of the main body in FIG. Fig. 6 is an exploded front view of the fixed port, the piston and the pincer.
  • FIG. 7 is a longitudinal sectional view of the coupled body receiver in FIG.
  • FIG. 8 is a right side view of the connector of FIG.
  • FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing a closed state of the second embodiment of the pinch pulp of the present invention.
  • FIG. 10 is a longitudinal sectional view of the pinch valve of FIG. 9 as viewed from the side (in the direction of the flow path).
  • FIG. 11 is a longitudinal sectional view showing the open state of FIG.
  • FIG. 12 is a longitudinal sectional view showing an open state of the third embodiment of the pinch pulp of the first invention.
  • FIG. 13 is a vertical cross-sectional view of the pinch valve of FIG. 12 viewed from the side (in the direction of the flow path).
  • FIG. 14 is a longitudinal sectional view showing the closed state of FIG.
  • FIGS. 1 is a tube composed of a composite of fluorine rubber and silicon rubber through which a fluid flows.
  • the tube 1 is formed to have a desired wall thickness by, for example, bonding and laminating several layers of PTFE sheets impregnated with silicone rubber.
  • the material of the tube 1 is a composite of fluoro rubber and silicon rubber, but may be an elastic body such as EPDM, silicon rubber, fluoro rubber, or a composite thereof, and is not particularly limited.
  • Reference numeral 4 denotes a cylinder main body, which has a cylinder part 2 having a cylindrical space, and a disc-shaped cylinder lid 3 is screwed into an upper end portion via an O-ring. ing.
  • a through hole 5 through which the piston connecting portion 13 penetrates, and an oval slit 6 for accommodating the pressurizer 15 are continuously provided ( See Figure 4).
  • a second space 8 formed by the peripheral surface, the lower end surface of the cylinder lid 3 and the upper end surface of the biston 11 has an air port 9 for communicating with an external air supply device or the like (not shown). 10 is provided.
  • the piston 11 is disc-shaped, has an O-ring 12 attached to the peripheral side surface, and is fitted to the inner peripheral surface of the part 2 of the cylinder in a vertically movable and sealed manner.
  • the piston connecting portion 13 is provided so as to hang down from the center of the piston, and penetrates through a through hole 5 provided in the center of the lower surface of the cylinder body 4 in a sealed state.
  • the pinching element 15 is fixed.
  • the pinching element 15 is fixed to the tip of a fixed port 14 provided through the biston connecting part 13 by screwing.
  • the method of fixing the pinch element 15 is not particularly limited, and the connecting part 13 may be formed in a rod shape and screwed, bonded or welded to the tip thereof.
  • the cross section of the pressing member 15 that presses the tubular body 1 is formed in a semi-cylindrical shape.
  • the pinching element 15 is fixed to the piston connecting part 13 so as to be orthogonal to the flow path axis, and is housed in the oval slit 6 of the cylinder body 4 when the pulp is opened. .
  • Reference numeral 16 denotes a body joined and fixed to the lower end surface of the cylinder body 4 with a port nut or the like (not shown).
  • a groove 17 having a rectangular cross section for receiving the pipe 1 is provided on the flow path axis. Is provided.
  • a groove 18 for receiving the fitting portion 21 of the connector receiver 20 is provided deeper than the groove 17, and a connector receiver 2 is provided inside the groove 18.
  • 0 is provided with a concave groove 19 for receiving the protrusion 22 for preventing the detachment provided at the tip.
  • the coupling body receiver 20 has a fitting portion 21 having a rectangular cross section which is fitted at one end into grooves 18 provided at both ends of the main body 16. At the bottom of the distal end of the fitting portion 21, there is provided a protrusion 22 for preventing slip-off, which is fitted into a concave groove 19 provided in a groove 18 of the main body 16.
  • a receiving port 23 having the same cross section for receiving the hexagonal flange portion 33 of the connecting body 29 is provided at the other end, and a male screw portion 24 is provided on the outer peripheral surface thereof.
  • An annular flange 25 having a diameter substantially equal to the diagonal length of the fitting portion 21 is provided on an outer peripheral surface located between the male screw portion 24 and the fitting portion 21.
  • the flange portion 25 is in contact with the cylinder body 4 and the body 16 to prevent the coupling body receiver 20 from moving into the inside of both bodies.
  • a through-hole 27 having substantially the same diameter as the outer diameter of the tube 1 is provided in the fitting portion 21, and the connector 29 communicating with the receiving port 23 continuously therefrom.
  • a through hole 26 having substantially the same diameter as the outer diameter of the tubular body 1 fitted and expanded in the insertion portion 31 is provided. Therefore, a step 28 is formed on the inner peripheral surface of the connector receiver 20, as is apparent from FIG. The tube 1 is clamped and fixed in the connector receiver 20 at the step 28.
  • the through-hole 27 and the through-hole 26 having a larger diameter are provided, but the through-hole 27 may be provided as a whole.
  • the connecting body 29 has a flow path 30 inside, and an outer diameter is formed at one end portion larger than the inner diameter of the pipe body 1, and the inlet section 31 into which the pipe body 1 is expanded and inserted is inserted.
  • the other end is provided with a pipe connection part 32 to which another pipe is connected.
  • a flange 33 having a hexagonal cross section is provided at the center of the outer periphery of the connecting body 29 so as to be larger in diameter than both ends.
  • the connector 29 has a flange 33 attached to the socket 23 of the connector receiver 20, and a cap nut 34 engaged with the flange 33 is provided on the outer periphery of the connector receiver 20. By screwing it into the screw part 24, it is attached to the connector receiver 20 so that it does not rotate. Fitted and fixed.
  • the pinch pulp of the present embodiment does not require a leg member, a footrest, and a wing piece between the driving unit and the valve body as in the conventional pinch valve, so that the pulp height is reduced. It is low and has a small volume, making it much more compact than conventional pinch valves.
  • Reference numeral 3 denotes a panel, which is mounted in the part of the cylinder 2 in contact with the upper end of the biston 1 1 and the lower end of the cylinder lid 3.
  • one panel 35 is mounted, but the number of panels 35 may be increased according to the required urging force.
  • the other configuration is the same as that of the first embodiment, and the description is omitted.
  • the operation of the pinch valve acting as the reverse operation valve of the second embodiment having the above configuration is as follows.
  • the panel 35 is mounted in the cylinder part 2 while being sandwiched between the lower end surface of the piston 11 and the bottom surface of the cylinder part 2.
  • a stopper part 36 is provided over the entire circumference, and the piston! 1 The lower limit of 1 is set.
  • one panel 35 is mounted, but the number of panels 35 may be increased according to the required urging force.
  • the other configuration is the same as that of the first embodiment, and the description is omitted.
  • the operation of the pinch pulp acting as the positive working valve of the third embodiment having the above configuration is as follows.
  • FIG. 15 is a longitudinal sectional view showing a closed state of the first embodiment of the pinch pulp of the second invention.
  • FIG. 16 is a longitudinal sectional view of the pinch pulp of FIG. 15 viewed from the side (in the direction of the flow path).
  • Fig. 17 is a vertical sectional view showing the open state of Fig. 15. It is.
  • FIG. 18 is a longitudinal sectional view of the pinch pulp of FIG. 17 as viewed from the side (in the flow channel direction).
  • FIG. 19 is a longitudinal sectional view showing the pinch pulp according to the first embodiment of the present invention in an intermediate opening adjustment state.
  • FIG. 20 is a longitudinal sectional view showing the open state of FIG.
  • Reference numeral 101 denotes a cylinder main body, and a cylinder part 115 having a screw portion 114 into which the handle 103 is screwed is provided on the inner surface.
  • a through hole 1 19 through which the piston connecting part 120 penetrates, and an oblong slit 1 2 1 for accommodating the pincer 108 are provided in the center of the lower surface of the cylinder body 101.
  • the lower end of the cylinder portion 115 that is, the inner peripheral surface and bottom surface of the cylinder part 115, and the lower end surface of the piston 107 are formed.
  • An air port 116 communicating with an external air supply device or the like is provided in the first space portion 131 formed.
  • the handle 103 is cylindrical, and has a through hole 1 32 through which the connecting rod 104 penetrates in the upper center, and an engaging portion of the connecting rod 104 at the upper part of the through hole, that is, the connecting rod 104.
  • a recessed portion 134 is provided which is larger in diameter than a through-hole 133 for receiving the flange portion 133 of the hole.
  • a concave portion 117 receiving the panel 106 is provided continuously below the through hole 132.
  • a screw portion 118 to be screwed with the screw portion 114 of the cylinder body 1 is provided on the lower outer peripheral surface, and a lock nut 110 is provided on the screw portion 118. Is screwed.
  • Reference numeral 105 denotes a disk-shaped panel receiver.
  • the panel 106 described later is sandwiched between the upper end surface of the handle recess 1117 and the upper surface of the panel receiver 105.
  • the connecting rod 104 has a flange 133 provided at an upper end thereof engaged with a recess 134 provided at an upper portion of the handle 103, and a through hole of the handle 103 is provided. It penetrates through 132 and hangs in the cylinder part 115, and the panel receiver 105 is joined to the lower end. In the present embodiment, the two are joined and fixed by the port 122 and the nut 123 inserted therethrough.
  • the fixing of the panel receiver 105 and the connecting rod 104 is not limited to fixing with bolts and nuts, but may be screwing or welding.
  • the panel 106 is mounted in a state where the upper surface of the panel receiver 105 and the upper surface of the handle 103 are in contact with each other.
  • one panel is mounted, but two or more panels may be mounted according to the required urging force.
  • the panel 106 was compressed by the port 122 and the nut 123 together with the handle 103, the connecting rod 104, and the panel receiver 105. It is integrated.
  • the piston 107 has a disk shape with an O-ring 135 attached to the peripheral side surface, and the upper surface always contacts the lower surface of the panel receiver 105, and the cylinder portion 115 inner peripheral surface Are vertically slidable and slidably contact in a sealed state.
  • the connecting portion 120 provided from the center of the button 107 penetrates through the through hole 1 19 provided in the center of the lower surface of the cylinder body 101 in a sealed state.
  • the pinching element 108 is fixed to the distal end. In the present embodiment, the pinching element 108 is fixed to the distal end of the fixed port 13 6 inserted through the thread connecting portion 120 by screwing. (See FIG. 25.)
  • the method of fixing the pinching element 108 is not particularly limited, and the connecting part 120 may be formed in a rod shape and screwed, bonded or welded to the tip thereof.
  • the pressurizing element 108 has a section that presses the tubular body 109 formed in a semi-cylindrical shape.
  • the pincer 108 is fixed to the piston connecting portion 120 so as to be orthogonal to the flow axis of the main body 102, and is provided at the lower end of the cylinder main body 101 when the pulp is opened.
  • the tubular body 109 forms a flow path in the main body 102 and is made of a composite of PPTFE and silicon rubber. That is, the desired thickness is formed by bonding and laminating several layers of PTFE sheets impregnated with silicon rubber.
  • the material of the tube is a composite of a PPTFE sheet and silicon rubber, but may be EPDM, silicon rubber, fluorine rubber, or a composite of these, and is not particularly limited.
  • the main body 102 is fixedly connected to the lower end surface of the cylinder 1 with bolts and nuts (not shown), and a groove 1 having a rectangular cross section for receiving the pipe 109 is provided on the flow path axis. 60 are provided.
  • a groove 1 38 for receiving the mating portion 1 37 of the connector receiver 1 1 1 1 is provided deeper than the groove 1 2, and further inside the groove 1 3 8 Is provided with a concave groove 140 for receiving the protrusion 1339 for preventing the detachment provided at the tip of the fitting portion 1337 of the connector receiver 111. (See Fig. 22)
  • the connector receiver 1 1 1 is formed at one end thereof with a fitting portion 13 7 having a rectangular cross section to be fitted into grooves 13 8 provided at both ends of the main body 10 2.
  • a bottom part 139 is provided on the bottom part for preventing slip-off, which is fitted into the concave groove 140 provided in the groove 138 of the main body.
  • the other end is provided with a receiving port 141 having the same shape in cross section for receiving the hexagonal flange portion 126 of the connecting body 113, and a male screw portion 128 on the outer peripheral surface thereof.
  • an annular flange part 130 On the outer peripheral surface located between the male screw part 1 28 and the fitting part 133, an annular flange part 130 having a diameter substantially equal to the diagonal length of the fitting part 133 is provided. I have.
  • the flange portion 130 is in contact with the cylinder body 101 and the body 102 to prevent the coupled body receiver 111 from moving into the inside of both bodies.
  • the fitting 1 13 7 has a through hole 14 2 having substantially the same diameter as the outer diameter of the tubular body 109, and the connecting body 1 13 connected to the receiving port 14 1 continuously.
  • a through hole 144 having substantially the same diameter as the outer diameter of the pipe body 109 expanded and inserted is provided in the inlet section 124. Therefore, a step portion 144 is formed on the outer peripheral surface of the connector receiver 111 as is apparent from the figure. At this step portion 144, the tubular body 109 is clamped and fixed in the connected body receiver 111.
  • the through-holes 142 and the through-holes 144 whose diameters are larger than the through-holes 142 are provided, but the through-holes 142 may be provided as a whole. (See Figures 23 and 24)
  • the connecting body 113 has a flow passage 145 inside, and the outer diameter is formed at one end thereof to be larger than the inner diameter of the tubular body 109, and the tubular body 109 is inserted with the expanded diameter.
  • An inlet section 124 is provided, and a pipe connecting section 125 to which another pipe is connected is provided at the other end.
  • a flange portion 126 having a hexagonal cross section is provided at the center of the outer periphery of the connecting body 113 so as to be larger in diameter than both ends.
  • the connector 1 1 3 fits the flange 1 2 6 into the socket 1 4 1 of the connector receiver 1 1 1, and the cap nut 1 1 2 engaged with the flange 1 2 6 receives the connector 1 1 1
  • the connector body 111 is fitted and fixed so as not to rotate.
  • the structure of the connecting portion is not limited to the present embodiment, and another structure may be used.
  • the upper end of the pincer 108 reaches the upper end of the oval slit 121 provided at the lower end of the cylinder body 101, and the piston 107 and the pincer 1 08 stops rising, and the pinch pulp is fully opened (the state shown in FIGS. 17 and 18). Then, in the fully opened state shown in FIGS.
  • the biston 107 starts to descend due to the repulsive force of the panel through the panel receiver 105 that is in contact with the panel 106.
  • the pincer 108 also descends via the connecting portion 120 provided hanging down from the piston 107.
  • the lower end surface of the biston 107 becomes part of the cylinder 1 15
  • the piston 107 and the pincer 108 stop descending, and the pinch valve is fully closed (the state shown in Figs. 15 and 16).
  • the upper end face of the pressurizer is located in the cylindrical oval slit 121 of the cylinder body 101.
  • the air pressure causes the piston 107 to partially cover the side peripheral surface with the cylinder. 1 1 5 Start to rise while sliding on the inner circumference. Accordingly, the upper end surface of the button 107 rises while compressing the panel 106 via the panel receiver 105, and the connecting portion 1 2 provided to hang down from the button 107.
  • the pincer 108 rises via 0.
  • the upper end surface of the indenter 108 reaches the upper end surface of the elliptical slit 121 provided on the lower end surface of the cylinder body 101, and the piston 107 and the pinch The lifting of the indenter 108 stops, and the pinch valve is fully opened (the state of FIG. 20).
  • the connecting rod 104 connected to the panel receiver 105 also rises, and the flange 133 of the connecting rod 104 extends from the bottom of the concave portion 134 of the handle 103. Needless to say, they are apart.
  • the air supply from the air port 1 16 to the first space 13 1 is stopped, and when the air is released to the atmosphere, the panel receiver 105 in contact with the panel 106 is removed.
  • the piston 107 starts to descend due to the repulsive force of the panel, and accordingly, the pinching element 108 also extends through the connecting portion 120 provided downward from the piston 107. Descend.
  • the lower surface of the flange portion 133 of the connecting rod 104 reaches the bottom surface of the concave portion 134 provided in the upper portion of the handle 103, and the piston 107 and the pressing member 108 are formed.
  • the descent stops and the pinch pulp is in the intermediate opening adjustment state (the state shown in Fig. 19).
  • the pinch pulp of this embodiment can not only open and close the flow of the fluid but also allow the fluid to flow at an intermediate opening. Therefore, for example, a back pressure valve in a closed loop pipe in a device such as a semiconductor manufacturing device. And the minimum pressure in the pipe can be maintained. '
  • the present invention has the above-described structure, and the use of the same provides the following excellent effects.
  • the pinch pulp has a lower overall height than conventional products and is very compact, ie, for example, the length of one side of a rectangular cylinder body is reduced to 35 mm and the overall height is reduced to 93 mm Because there is no need for piping space. For this reason, piping in manufacturing equipment such as semiconductors with complicated piping design can be performed, and the manufacturing equipment can be made more compact.
  • the intermediate opening can be adjusted, it can be adjusted to a small flow rate.

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Description

ピ
技術分野
本発明は、 化学工場、 半導体製造、 食品、 バイオなどの各種産業 分野における流体輸送配管に用いられるピンチパルプに関し、 更に 明
詳しくは、 非常にコ ンパク トで、 パルプの開閉に対する管体の耐久 性を向上させたピンチバルブに関田する。
背景技術
従来、 ピンチバルブは種々提案されているが、 その中の一例が実 公昭 4 5 — 3 2 6 4号公報に開示されている。 これによると、 図 2 7、 図 2 8に示すよ うに、 脚台 3 7 と脚杆 3 8 とで構成される脚部 材 3 9上のシリ ンダー 4 0に嵌装された上側と下側の 2ケのビス ト ン 4 1， 4 2のうち、 上側のピス ト ン 4 1 は軸杆 4 3の上端部に固 定され、 下側のビス ト ン 4 2は軸杆 4 3に遊嵌された管軸 4 4の上 端部に固定されている。 管軸 4 4下辺には翼片 4 5が設けられ、 翼 片 4 5は連結棒 4 6を介して下側挟圧子 4 7に固定されている。 一 方軸杆 4 3の下端部には上側挟圧子 4 8が固定されている。 また、 流路部の両端部に嵌め込んだフランジ 4 9間に横架した 2ケの横杆 5 0 と脚部材 3 9 とによ り支承されたパルプ管体 5 1の中央部を上 側挟圧子 4 8、 下側挟圧子 4 7間で挟圧し、 シリ ンダー 4 0に穿設 された孔 5 2， 5 3， 5 4に適宜圧搾空気を圧入することによって ピス ト ン 4 1， 4 2に連結する上側挟圧子 4 8、 下側挟圧子 4 7を 対称的に上下動させバルブ管体 5 1 を開放、 閉塞させるようにした ものであった。 ところで、 現在、 多種多様な配管や制御機器が配置され、 複雑な 配管設計がなされている半導体などの製造装置分野においては、 装 置自体のコンパク ト化が推し進められている。 それに伴い、 該装置 内配管に用いられるピンチパルプに対しても省スペース化のための コ ンパク ト化が切望され、 該装置内のピンチパルプのコ ンパク ト化 は大きな課題であった。 また、 微小流量の調整ができるバルブが要 求されていた。
しかしながら、 前記構造のピンチバルブでは、 駆動部と弁本体が 別体になっている構造であり、 シリ ンダー 4 0 と流路部であるパル プ管体 5 1の間に脚部材 3 9 と脚台 3 7および翼片 4 5が設けられ ているため、 該パルプの全高が高くなり コンパク トにすることはで きなかった。 そのため、 半導体製造などの装置内配管におけるピン チバルブとしては全く使用できなかった。 また、 このような構造で は、 バルブ管体の開度を任意に調節することが困難であるため、 微 小流量の調整もできなかった。 発明の開示
本発明は、 以上のような従来技術の問題点に鑑みなされたもので あり、 従来のピンチバルブに比べパルプの全高が低く、 非常にコン パク トであり、 また、 バルブ開閉運転における内部に配管された管 体の耐久性を格段に向上させ、 また、 微小流量の調整をすることが 可能なピンチパルプを提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、 本発明者らは鋭意研究した結果、 駆動 部と弁本体を一体化することによ り ピンチバルブ全体を非常にコン パク トにすることを見出し本発明を成すに至った。 すなわち本発明 の構成を、 図 1〜 8を参照して説明すると、 第 1の発明のピンチパ ルブは弾性体からなる管体 1 と、 内部にシリ ンダ一部 2を有し上部 に円盤状のシリ ンダー蓋 3が接合されたシリ ンダ一本体 4 と、 シリ ンダ一部 2内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され、 且つシリ ンダ一本体 4下面中央に設けられた貫通孔 5を密封状態で貫通する ように中央よ り垂下して設けられた連結部 1 3を有するピス ト ン 1 1 と、 ピス ト ン 1 1の連結部 1 3の下端部に固定され、 シリ ンダー 本体 4の底面に流路軸線と直交して設けられた長円状ス リ ッ ト 6内 に収納される挾圧子 1 5 と、 シリ ンダ一本体 4の下端面に接合固定 され、 流路軸線上に管体 1 を受容する溝 1 7 と溝 1 7の両端部にさ らに連結体受け 2 0を受容する溝 1 8が溝 1 7よ り も深く設けられ た本体 1 6 と、 一端に本体 1 6の溝 1 8 と嵌合する嵌合部 2 1 を有 し他端内部に連結対受け口 2 3を有しさらに管体 1 を受容する貫通 孔 2 6を有する一対の連結体受け 2 0 と、 シリ ンダ一本体 4周側面 に設けられ、 シリ ンダー部 2底面及び内周面とピス ト ン 1 1下端面 とで囲まれて形成された第 1 の空間部 7 とシリ ンダー蓋 3下端面と シリ ンダー部 2内周面とビス ト ン 1 1上面とで囲まれた第 2 の空間 部 8 とにそれぞれ連通される一対のエアー口 9， 1 0を具備するこ とを第 1の特徴としている。
第 1の発明のピンチパルプは連結体受け 2 0の嵌合部 2 1の先端 に抜け防止用 ώ部 2 2が設けられ、 また、 本体 1 6の溝 1 8に抜け 防止用凸部 2 2を受容する凹溝 1 9が設けられたことを第 2の特徴 と している。
また、 第 1の発明のピンチバルブは第 2の空間部 8に、 シリ ンダ 一蓋 3 と ピス ト ン 1 1 とに接触させた状態でパネ 3 5を装着させた ことを第 3の特徴と し、 また、 第 1の空間部 7に、 シリ ンダー部 2 底面とビス ト ン 1 1 とに接触させた状態でパネ 3 5を装着させたこ とを第 4の特徴としている。
さ らには、 同発明のピンチバルブは一端に外径が管体 1の内径よ り も大きく形成され管体 1 に揷入接続される挿入部 3 1 と他端の配 管接続部 3 2 と中央の鍔部 3 3 とを有する連結体 2 9が、 キャップ ナッ ト 3 4を鍔部 3 3 と係合させ連結体受け 2 0の外周に設けられ た雄ネジ部 2 4に螺合させることによ り連結体受け 2 0に嵌合固定 されていることを第 5の特徴としている。
また、 管体 1 の材質が E P D M、 フッ素ゴム、 シリ コンゴム、 ま たはこれらの複合体であることを第 6の特徴とし、 さらに、 管体 1 がポリテ トラフルォロエチレンとシリ コンゴムとの複合体からなる ことを第 7の特徴とする。
本発明のピンチバルブの管体 1は E P D M、 フッ素ゴム、 シリ コ ンゴム、 またはフッ素ゴムとシリ コンゴムとの複合体などの弾性体 であれば良く限定されるものではない 、 フッ素ゴムとシリ コンゴ ムとの複合体が特に好適なものと して挙げられる。
また、 シリ ンダー本体 4及び本体 1 6は金属、 プラスチックなど の剛性のあるものであれば特に限定されるものではないが、 P V C 又は、 P V D F等のフッ素系樹脂のプラスチックが特に好適なもの として挙げられる。
また、 連結体 2 9はプラスチックなどの耐薬品性を有するもので あれば特に限定されるものではないが、 P T F E， P V D F , P F A等のフッ素系樹脂のプラスチックが特に好適なものとして挙げら れる。
さ らに、 本発明の第 2の発明のピンチバルブの構成を、 図 1 5〜 2 6を参照して説明すると、 本発明のピンチバルブは、 内面上部に 開度調節用のネジ部 1 1 4を有するシリ ンダ一部 1 1 5 とシリ ンダ 一部 1 1 5下端部に連通するエアー口 1 1 6 とを有するシリ ンダー 本体 1 0 1 と、 下部にパネ 1 0 6を受容する凹部 1 1 7を有し下部 外周にシリ ンダ一本体 1 0 1の開度調節用のネジ部 1 1 4に螺合さ れるネジ部 1 1 8を有する筒状のハンドル 1 0 3 と、 ハンドル凹部 1 1 7上端面とでパネ 1 0 6を挟持する円盤形状をしたパネ受け 1 0 5 と、 ハン ドル 1 0 3上部に係合されかつ下端面がパネ受け 1 0 5 と接合されることによ りパネ 1 0 6をハンドル 1 0 3 とパネ受け 1 0 5間に挟持するようにした接続棒 1 0 4 と、 ハン ドル 1 0 3の ネジ部 1 1 8に螺合されハン ドル 1 0 3の位置を固定するロックナ ッ ト 1 1 0 と、 シリ ンダー部 1 1 5内周面に上下動可能且つ密封状 態で摺接され且つシリ ンダ一本体 1 0 1下面中央に設けられた貫通 孔 1 1 9を密封状態で貫通するように中央よ り垂下して設けられた 連結部 1 2 0を有するビス トン 1 0 7 と、 ビス トン 1 0 7の連結部 1 2 0下端部に固定されシリ ンダ一本体 1 0 1の下端部に流路軸線 と直交して設けられた長円状スリ ッ ト 1 2 1内に収納される挟圧子 1 0 8 と、 シリ ンダー本体 1 0 1の下端面に接合固定され流路軸線 上に弾性体からなる管体 1 0 9を受容する溝 1 2 9を有する本体 1 0 2 と、 本体の両側で管体 1 0 9 と他チューブとを接続する接続部 、 とを具備することを第 1の特徴と している。
また、 第 2の発明はパネ受け 1 0 5及び接続棒 1 0 4の内部を貫 通させたボル ト 1 2 2、 ナッ ト 1 2 3によ りノヽン ドル 1 0 3、 ノ ネ 受け 1 0 5、 接続棒 1 0 4及びパネ 1 0 6を一体化したことを第 2 の特徴と している。
また、 第 2の発明は、 一端に外径が管体 1 0 9の内径よ り も大き く形成され管体 1 0 9に揷入接続される揷入部 1 2 4 と他端に配管 接続部 1 2 5 と中央に鍔部 1 2 6 とを有する連結体 1 1 3が、 キヤ ップナッ ト 1 1 2を鍔部 1 2 6 と係合させ、 連結体受け 1 1 1の外 周に設けられた雄ネジ部 1 2 8に螺合させることによ り連結体受け 1 1 1 に嵌合固定されて接続部を構成することを第 3の特徴として いる。 さらには、 管体 1 0 9の材質が E P DM、 フッ素ゴム、 シリ コン ゴム、 またはこれらの複合体であることを第 4の特徴とし、 さらに 、 管体 1 0 9が P T F Eとシリ コンゴムとの複合体からなることを 第 5の特徴とする。
同発明のピンチパルプの管体 1 0 9は E P DM、 フッ素ゴム、 シ リ コンゴム、 またはフッ素ゴムとシリ コンゴムとの複合体などので あれば良く特に限定されるものではないが、 フッ素系樹脂 （例えば P T F E等） とシリ コンゴムとの複合体が特に好適なものと して挙 げられる。
また、 シリ ンダ一本体 1 0 1、 本体 1 0 2及びハン ドル 1 0 3は 金属、 プラスチックなどの剛性のあるものであれば特に限定される ものではないが、 P V C又は、 P VD F等のフッ素系樹脂のプラス チックが特に好適なものと して挙げられる。
また、 接続部を構成する連結体 1 1 3はプラスチックなどの耐薬 品性を有するものであれば特に限定されるものではないが、 P T F E , P VD F , P F A等のフッ素系樹脂のプラスチックが特に好適 なものと して挙げられる。 図面の簡単な説明
図 1 は本発明の第 1の発明のピンチパルプの第 1 の実施例の閉状 態を示す縦断面図である。
図 2は図 1 を側面 （流路方向） から見た縦断面図である。
図 3は図 2の開状態を示す縦断面図である。
図 4は図 1におけるシリ ンダ一本体の底面図である。
図 5は図 1 における本体の平面図である。
図 6は固定ポルト、 ピス トン及び挟圧子の分解正面図である。 図 7は図 1における連結体受けの縦断面図である。 図 8は図 7の連結体の右側面図である。
図 9は本発明の第 1の発明のピンチパルプの第 2の実施例の閉状 態を示す縦断面図である。
図 1 0は図 9のピンチパルプを側面 （流路方向） から見た縦断面 図である。
図 1 1 は図 1 0の開状態を示す縦断面図である。
図 1 2は本発明の第 1の発明のピンチバルブの第 3の実施例の開 状態を示す縦断面図である。
図 1 3は図 1 2のピンチパルプを側面 （流路方向） から見た縦断 面図である。
図 1 4は図 1 3の閉状態を示す縦断面図である。
図 1 5は本発明の第 2の発明のピンチバルブの第 1の実施例の閉 状態を示す縦断面図である。
図 1 6は図 1 5を側面 （流路方向） から見た縦断面図である。 ■ 図 1 7は図 1 5の開状態を示す縦断面図である。
図 1 8は図 1 6 の開状態を示す縦断面図である。
図 1 9は中間開度調整状態を示す縦断面図である。
図 2 0は図 1 9 の開状態を示す縦断面図である。
図 2 1 は図 1 5におけるシリ ンダ一本体の底面図である。
図 2 2は図 1 5における本体の平面図である。
図 2 3は図 1 5における連結体受けの縦断面図である。
図 2 4は図 2 3の連結体受けの右側面図である。
図 2 5は固定ポルト、 ピス トン及び挟圧子の分解斜視図である。 図 2 6はハン ドル、 接続棒、 パネ受け、 及びパネの分解斜視図で ある。
図 2 7は従来のピンチパルプの縦断面図である。
図 2 8は従来のピンチバルブの一部切断正面図である。 発明を実施するための最良の形態
本発明の実施態様を図面を参照して以下に説明する。
本発明の第 1 の発明の実施態様について図面を参照して説明する が、 本発明が本実施態様に限定されないことは言うまでもない。 図
1は第 1の発明のピンチパルプの第 1の実施例の閉状態を示す縦新 面図である。 図 2は図 1のピンチパルプを側面 （流路方向） から見 た縦断面図である。 図 3は図 2の開状態を示す縦断面図'である。 図 4は図 1 におけるシリ ンダ一本体の底面図である。 図 5は図 1 にお ける本体の平面図である。 図 6は固定ポルト、 ピス ト ン及び挟圧子 の分解正面図である。 図 7は図 1における連結体受けの縦断面図で ある。 図 8は図 7の連結体の右側面図である。 図 9は本発明のピン チパルプの第 2の実施例の閉状態を示す縦断面図である。 図 1 0は 図 9 のピンチバルブを側面 （流路方向） から見た縦断面図である。 図 1 1 は図 1 0の開状態を示す縦断面図である。 図 1 2は第 1 の発 明のピンチパルプの第 3の実施例の開状態を示す縦断面図である。 図 1 3は図 1 2のピンチバルブを側面 （流路方向） から見た縦断面 図である。 図 1 4は図 1 3の閉状態を示す縦断面図である。
以下、 図 1乃至図 8に基づいて第 1の発明の P V D F製ピンチパ ルプの第 1の実施例を説明する。 1 は内部を流体が流れるフッ素ゴ ムとシリ コ ンゴムの複合体からなる管体である。 管体 1 は例えばシ リ コンゴムが含浸された P T F Eシー トを何層も接着積層すること によ り 目的とする肉厚に形成されたものである。 本実施例では管体 1の材質はフッ素ゴムとシリ コ ンゴムの複合体になっているが E P D M、 シリ コンゴム、 フッ素ゴム及びこれらの複合体などの弾性体 でも良く特に限定されるものではない。
4はシリ ンダ一本体で、 円筒状空間を持つシリ ンダ一部 2を有し 、 上端部に円盤状のシリ ンダー蓋 3が O—リ ングを介して螺合され ている。 シリ ンダー本体 4 の下面中央部には、 ピス ト ン連結部 1 3 が貫通する貫通孔 5 と、 挟圧子 1 5を収納する長円状のスリ ッ ト 6 が連続して設けられている （図 4参照） 。 また、 シリ ンダー本体 4 の周側面には、 シリ ンダー部 2 の内周面及び底面とピス ト ン 1 1 の 下端面とで形成される第 1の空間部 7 と、 シリ ンダー部 2の内周面 とシリ ンダー蓋 3の下端面とビス トン 1 1の上端面とで形成される 第 2 の空間部 8 とに、 それぞれ外部エア供給機器など （図示せず） と連通させるエアー口 9， 1 0が設けられている。
ピス ト ン 1 1 は円盤状で周側面に O —リ ング 1 2が装着され、 シ リ ンダ一部 2の内周面に上下動可能且つ密封状態に嵌合されている 。 ピス ト ン連結部 1 3はピス ト ン中央よ り垂下して設けられ、 前記 シリ ンダ一本体 4 の下面中央部に設けられた貫通孔 5 を密封状態で 貫通しており、 その先端部に挟圧子 1 5が固定されている。 本実施 例ではビス トン連結部 1 3を貫通して設けられた固定ポルト 1 4の 先端部に螺着によって挟圧子 1 5が固定されている。 尚、 挟圧子 1 5の固定方法は連結部 1 3を棒状に形成しその先端部に螺着、 接着 あるいは溶接などでも良く、 特に限定されるものではない。
挟圧子 1 5は、 管体 1 を押圧する部分の断面がかまぼこ状に形成 されている。 また、 挟圧子 1 5は、 流路軸線と直交するようにビス ト ン連結部 1 3に固定されており、 パルプ開時にはシリ ンダー本体 4の長円状スリ ッ ト 6内に収納されている。
1 6はシリ ンダ一本体 4下端面にポルト . ナッ トなど （図示せず ) で接合固定される本体であり、 流路軸線上には管体 1 を受容する 断面矩形状の溝 1 7が設けられている。 また、 溝 1 7の両端部には 連結体受け 2 0の嵌合部 2 1 を受容する溝 1 8が溝 1 7より深く設 けられ、 さ らに溝 1 8内部には連結体受け 2 0の嵌合部 2 1先端に 設けられた抜け防止用凸部 2 2を受容する凹溝 1 9が設けられてい る。
連結体受け 2 0は、 図 7に示されるように、 一端部に本体 1 6の 両端に設けられた溝 1 8に嵌合される断面矩形状の嵌合部 2 1が形 成され、 さらに嵌合部 2 1の先端底部には本体 1 6の溝 1 8に設け られた凹溝 1 9に嵌合される抜け防止用凸部 2 2が設けられている 。 一方、 他端部には連結体 2 9の六角形の鍔部 3 3を受容する断面 同形の受け口 2 3が設けられ、 その外周面には雄ネジ部 2 4が設け られている。 雄ネジ部 2 4 と嵌合部 2 1 との間に位置する外周面に は嵌合部 2 1 の対角線長と略同一の直径を有する環状の鍔部 2 5が 設けられている。 鍔部 2 5はシリ ンダ一本体 4及び本体 1 6 と接触 し、 連結体受け 2 0が両本体の内部へ移動することを防止している 。 連結体受け 2 0の内部では、 嵌合部 2 1 に管体 1 の外径と略同径 を有する貫通孔 2 7が設けられ、 またそれに連続して、 受け口 2 3 に通じる連結体 2 9の揷入部 3 1 に嵌合拡径された管体 1の外径と 略同径の貫通孔 2 6が設けられている。 したがって、 連結体受け 2 0の内周面には図 7で明らかな如く段差部 2 8が形成されている。 この段差部 2 8で管体 1が連結体受け 2 0内に挟持固定される。 尚 、 本実施例では貫通孔 2 7及びそれよ り拡径された貫通孔 2 6が設 けられているが、 貫通孔 2 7を全体に設けてもよい。
連結体 2 9は内部に流路 3 0を有し、 一端部には外径が管体 1 の 内径よ り も大きく形成され、 管体 1が拡径して揷入される揷入部 3 1が設けられ、 他端部には他の管体が接続される配管接続部 3 2が 設けられている。 連結体 2 9の外周中央部には両端部より も拡径し て断面六角形状の鍔部 3 3が設けられている。 連結体 2 9は鍔部 3 3を連結体受け 2 0の受け口 2 3に嵌合させ、 鍔部 3 3 と係合させ たキヤッブナッ ト 3 4を連結体受け 2 0の外周に設けられた雄ネジ 部 2 4に螺合させることによ り回動しないように連結体受け 2 0に 嵌合固定される。
以上説明したごとく、 本実施例のピンチパルプは、 従来のピンチ バルブのように駆動部と弁本体の間に脚部材と脚台及び翼片が不要 な構造になっているため、 パルプの全高が低く、 体積が小さく なり 従来のピンチバルブに比ぺはるかにコンパク トになつている。
上記の構成からなる本実施例のピンチバルブの作動は次の通りで ある。
今、 図 1 , 2に示すようにピンチバルブ全閉の状態において、 ェ アーロ 9から第 1 の空間部 7 へ圧縮空気を供給圧入するとともに第 2空間部 8からエアー口 1 0によ り圧縮空気を排出すると、 該空気 圧によ り、 ピス ト ン 1 1が側周面をシリ ンダー部 2内周に摺接させ ながら上昇し始め、 それに伴ってピス ト ン 1 1 よ り垂下して設けら れた連結部 1 3を介して挟圧子 1 5が上昇する。 そしてついには挟 圧子 1 5上端面がシリ ンダ一本体 4の下端面に設けられた長円状ス リ ッ ト 6の上端面に到達しピス トン 1 1及び挟圧子 1 5の上昇は止 まり、 該ピンチパルプは全開状態となる （図 3の状態） 。
次に、 図 3の全開状態において、 エアー口 1 0から第 2の空間部 8へ圧縮空気を供給圧入する とともに第 1の空間部 7内の圧縮空気 をエアー口 9から排除すると、 該空気圧によ り、 ピス ト ン 1 1 が下 降し始め、 それに伴ってピス ト ン 1 1 より垂下して設けられた連結 部 1 3を介して挟圧子 1 5 も下降する。 そしてついにはピス ト ン 1 1下端面がシリ ンダ一部 2底面に到達しピス ト ン 1 1及び挟圧子 1 5の下降は止まり、 該ピンチパルプは全閉状態となる （図 1， 2の 状態） 。 この時、 挟圧子 1 5の回り防止のため挟圧子 1 5上端面は シリ ンダ一本体 4 の長円状スリ ッ ト 6内に位置するよ うになってい る。
次に、 図 9乃至図 1 1 に基づいて、 第 1の発明の第 2実施例であ る逆作動タイプのピンチパルプについて説明する。
3 5はパネで、 ビス トン 1 1上端面とシリ ンダー蓋 3下端面とで 接触された状態でシリ ンダ一部 2内に装着されている。 本実施例で はパネ 3 5は 1本装着されているが、 必要とする付勢力に応じて装 着する本数を増やしても良い。
その他の構成は第 1実施例と同様であるので説明は省略する。 以 上の構成からなる第 2実施例の逆作動弁として作用するピンチパル ブの作動は以下の通りである。
今、 図 9， 1 0に示すようにピンチパルプが全閉状態において、 エアー口 9から第 1空間部 7 へ圧縮空気を供給圧入すると、 該空気 圧によ り ビス トン 1 1 はバネ 3 5を圧縮しながらシリ ンダ一部 2内 を上昇し始め、 それに伴ってピス ト ン 1 1 よ り垂下して設けられた 連結部 1 3を介して挟圧子 1 5が上昇する。 さらに上昇を続けつい には挟圧子 1 5上端面がシ'リ ンダ一本体 4の下端面に設けられた長 円状ス リ ッ ト 6上端面と接触しピス ト ン 1 1及び挟圧子 1 5 の上昇 は止まり、 該ピンチバルブは全開状態となる （図 1 1の状態） 。 一方、 図 1 1 に示す前記ピンチパルプの全開状態において、 エア 一口 9から第一空間部 7の圧縮空気を大気開放すると、 パネ 3 5に 当接しているビス トン 1 1がパネ 3 5の反発力により下降し始め、 それに伴ってビス ト ン 1 1 よ り垂下して設けられた連結部 1 3を介 して挟圧子 1 5が下降する。 そしてついにはビス トン 1 1下端面が シリ ンダ一部 2底面に到達しピス ト ン 1 1及び挟圧子 1 5の下降は 止ま り、 該ピンチパルプは全閉状態となる （図 9， 1 0の状態） 。
次に、 図 1 2乃至図 1 4に基づいて、 第 1の発明の第 3実施例で ある正作動タイプのピンチバルブについて説明する。
本実施例では、 パネ 3 5は、 ピス トン 1 1下端面とシリ ンダー部 2底面とで挟持された状態でシリ ンダ一部 2内に装着されている。 シリ ンダ一部 2上部には、 全周に渡ってス ト ッパ一部 3 6が設けら れ、 ピス ト ン ！ 1 1の下限を設定している。 本実施例ではパネ 3 5は 1本装着されているが、 必要とする付勢力に応じて装着する本数を 増やしても良い。
その他の構成は第 1実施例と同様であるので説明は省略する。 以 上の構成からなる第 3実施例の正作動弁と して作用するピンチパル プの作動は以下の通りである。
今、 図 1 2 , 1 3に示すようにピンチパルプが全開状態にある時 、 エアー口 1 0から第 2空間部 8へ圧縮空気を供給圧入すると、 該 空気圧によ り ビス トン 1 1がパネ 3 5を圧縮しながらシリ ンダ一部 2内を下降し始め、 それに伴ってピス ト ン 1 1 よ り垂下して設けら れた連結部 1 3を介して挟圧子 1 5が下降する。 さらに下降を続け ついにはビス ト ン 1 1下端面が、 ス ト ッパー 3 6 に到達しビス ト ン 1 1及び挟圧子 1 5 の下降は止まり、 該ピンチバルブは全閉状態と なる （図 1 4の状態） 。
一方、 図 1 4に示す前記ピンチパルプの全閉状態において、 エア 一口 1 0から第 2 の空間部 8 の圧縮空気を大気開放すると、 パネ 3 5に当接しているビス ト ン 1 1がパネ 3 5 の反発力により上昇し始 め、 それに伴ってピス ト ン 1 1 よ り垂下して設けられた連結部 1 3 を介して挟圧子 1 5が上昇する。 そして、 ついにはピス ト ン 1 1上 端面がシリ ンダー蓋 3下端面に到達しピス ト ン 1 1及び挟圧子 1 5 の上昇は止まり、 該ピンチパルプは全開状態となる （図 1 2， 1 3 の状態） 。
次に、 第 2の発明の実施態様について図面を参照して説明する図 1 5は第 2の発明のピンチパルプの第 1の実施例の閉状態を示す縦 断面図である。 図 1 6は図 1 5のピンチパルプを側面 （流路方向） から見た縦断面図である。 図 1 7は図 1 5の開状態を示す縦断面図 である。 図 1 8は図 1 7のピンチパルプを側面 （流路方向） から見 た縦断面図である。 図 1 9は本発明のピンチパルプの第 1の実施例 の中間開度調整状態を示す縦断面図である。 図 2 0は図 1 9 の開状 態を示す縦断面図である。
以下、 図面に基づいて第 2の発明の P V D F製ピンチパルプの第 1 の実施例を説明する。
1 0 1はシリ ンダ一本体で、 内面上部にハンドル 1 0 3が螺合さ れるネジ部 1 1 4を有するシリ ンダ一部 1 1 5が設けられている。 シリ ンダ一本体 1 0 1 の下面中央部には、 ピス トン連結部 1 2 0が 貫通する貫通孔 1 1 9 と、 挟圧子 1 0 8を収納する長円状のス リ ッ ト 1 2 1が連続して設けられている （図 2 1参照） 。 また、 シリ ン ダー本体 1 0 1 の周側面には、 シリ ンダー部 1 1 5下端部即ち、 シ リ ンダ一部 1 1 5内周面及び底面と ピス ト ン 1 0 7下端面とで形成 される第 1空間部 1 3 1 に外部エア供給機器など （図示せず） と連 通したエアー口 1 1 6が設けられている。
ハン ドル 1 0 3は筒状で、 上部中央に接続棒 1 0 4が貫通する貫 通孔 1 3 2 と、 貫通孔の上部に接続棒 1 0 4の係合部即ち、 接続棒 1 0 4の鍔部 1 3 3 を受容する貫通孔 1 3 2より拡径された凹部 1 3 4が設けられている。 また、 貫通孔 1 3 2 の下部にはパネ 1 0 6 を受容する凹部 1 1 7が連続して設けられている。 さ らに、 下部外 周面には前記シリ ンダ一本体 1 のネジ部 1 1 4 と螺合するネジ部 1 1 8が設けられており、 ネジ部 1 1 8にはロ ックナツ ト 1 1 0が螺 合されている。
1 0 5は円盤形状のパネ受けであり、 前記ハンドル凹部 1 1 7上 端面と、 パネ受け 1 0 5上面で後記パネ 1 0 6を挟持している。 接続棒 1 0 4は、 上端部に設けられた鍔部 1 3 3がハンドル 1 0 3上部に設けられた凹部 1 3 4 と係合し、 ハン ドル 1 0 3 の貫通孔 1 3 2を貫通してシリ ンダ一部 1 1 5内に垂下し、 下端部には前記 パネ受け 1 0 5が接合されている。 本実施例では両者を貫通して揷 入されたポルト 1 2 2、 ナッ ト 1 2 3によ り両者は接合固定されて いる。 尚、 パネ受け 1 0 5 と接続棒 1 0 4 の固定はボルト、 ナツ ト による固定に限定されず、 螺着あるいは溶接などでも良い。
パネ 1 0 6は、 パネ受け 1 0 5上面とハン ドル 1 0 3凹部 1 1 7 上端面とで接触された状態で装着されている。 本実施例ではパネは 1本装着されているが、 必要とする付勢力に応じて装着する本数を 2本以上にしても良い。
尚、 図からも分かるようにパネ 1 0 6は、 ハン ドル 1 0 3、 接続 棒 1 0 4、 パネ受け 1 0 5 とともにポルト 1 2 2、 ナッ ト 1 2 3に よ り圧縮された状態で一体化されている。
ピス ト ン 1 0 7は周側面に O —リ ング 1 3 5が装着された円盤状 で、 常に上面がパネ受け 1 0 5の下面に接触し、 かつ、 シリ ンダー 部 1 1 5内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接されている。 ビス ト ン 1 0 7中央よ り垂下して設けられた連結部 1 2 0は、 前記シリ ンダ一本体 1 0 1 の下面中央部に設けられた貫通孔 1 1 9を密封状 態で貫通しており、 その先端部に挟圧子 1 0 8が固定されている。 本実施例ではビス ト ン連結部 1 2 0を貫通して挿入された固定ポル ト 1 3 6 の先端部に螺着によって挟圧子 1 0 8が固定されている。 (図 2 5参照） 尚、 挟圧子 1 0 8 の固定方法は連結部 1 2 0を棒状 に形成しその先端部に螺着、 接着あるいは溶着などでも良く、 特に 限定されるものではない。
挟圧子 1 0 8は、 管体 1 0 9を押圧する部分の断面がかまぼこ状 に形成されている。 また、 挟圧子 1 0 8は、 本体 1 0 2の流路軸線 と直交するよう にビス ト ン連結部 1 2 0に固定されており、 パルプ 開時にはシリ ンダー本体 1 0 1 の下端部に設けられた長円状スリ ッ ト 1 2 1 内に収納されるよ うになっている。
管体 1 0 9は本体 1 0 2内に流路を形成しており、 P T F Eとシ リ コンゴムの複合体からなっている。 すなわちシリ コンゴムが含浸 された P T F Eシートを何層も接着積層することによ り 目的とする 肉厚に形成されている。 本実施例では管体の材質は P T F Eシート とシリ コンゴムの複合体になっているが E P DM、 シリ コンゴム、 フッ素ゴム及びこれらの複合体などでも良く特に限定されるもので はない。
本体 1 0 2はシリ ンダ一本体下端面にボルト . ナッ トなど （図示 せず） で接合固定されており、 流路軸線上には管体 1 0 9を受容す る断面矩形状の溝 1 6 0が設けられている。 また、 溝 1 2 1の両端 部には連結体受け 1 1 1の嵌合部 1 3 7を受容する溝 1 3 8が溝 1 2 1 よ り深く設けられ、 .さらに溝 1 3 8内部には連結体受け 1 1 1 の嵌合部 1 3 7先端に設けられた抜け防止用凸部 1 3 9を受容する 凹溝 1 4 0が設けられている。 （図 2 2参照）
次に、 接続部を構成する部品について説明する。
連結体受け 1 1 1は、 一端部に本体 1 0 2の両端に設けられた溝 1 3 8に嵌合される断面矩形状の嵌合部 1 3 7が形成され、 さらに 嵌合部の先端底部には本体の溝 1 3 8に設けられた凹溝 1 4 0に嵌 合される抜け防止用 ώ部 1 3 9が設けられている。 一方、 他端部に は連結体 1 1 3の六角形の鍔部 1 2 6を受容する断面同形の受け口 1 4 1が設けられ、 その外周面には雄ネジ部 1 2 8が設けられてい る。 雄ネジ部 1 2 8 と嵌合部 1 3 7 との間に位置する外周面には嵌 合部 1 3 7の対角線長と略同一の直径を有する環状の鍔部 1 3 0が 設けられている。 鍔部 1 3 0はシリ ンダ一本体 1 0 1及び本体 1 0 2 と接触し、 連結体受け 1 1 1が両本体の内部へ移動することを防 止している。 図 2 3に示されるように、 連結体受け 1 1 1の内部に は、 嵌合部 1 3 7に管体 1 0 9の外径と略同径を有する貫通孔 1 4 2が設けられ、 またそれに連続して受け口 1 4 1 に通じる、 連結体 1 1 3の揷入部 1 2 4に揷入拡径された管体 1 0 9の外径と略同径 の貫通孔 1 4 3が設けられている。 したがって、 連結体受け 1 1 1 の內周面には図で明らかな如く段差部 1 4 4が形成されている。 こ の段差部 1 4 4で管体 1 0 9が連結体受け 1 1 1 内に挟持固定され る。 尚、 本実施例では貫通孔 1 4 2及びそれより拡径された貫通孔 1 4 3が設けられているが、 貫通孔 1 4 2を全体に設けてもよい。 (図 2 3， 2 4参照）
連結体 1 1 3は内部に流路 1 4 5を有し、 一端部には外径が管体 1 0 9の内径よ り も大きく形成され、 管体 1 0 9が拡径して挿入さ れる揷入部 1 2 4が設けられ、 他端部には他の管体が接続される配 管接続部 1 2 5が設けられている。 連結体 1 1 3の外周中央部には 両端部よ り も拡径して断面六角形状の鍔部 1 2 6が設けられている 。 連結体 1 1 3は鍔部 1 2 6を連結体受け 1 1 1 の受け口 1 4 1 に 嵌合させ、 鍔部 1 2 6 と係合させたキヤップナツ ト 1 1 2を連結体 受け 1 1 1の外周に設けられた雄ネジ部 1 2 8に螺合させることに より回動しないように連結体受け 1 1 1に嵌合固定される。 尚、 接 続部の構造は本実施例に限定されるものではなく、 他構造を用いて もよい。
上記の構成からなる本実施例のピンチパルプの作動は次の通りで める。
今、 図 1 5， 1 6に示すようにピンチパルプ全閉の状態において 、 エアー口 1 1 6から第 1空間部 1 3 1へ圧縮空気を供給圧入する と、 該空気圧によ り、 ピス トン 1 0 7が側周面をシリ ンダー部 1 1 5内周に摺接させながら上昇し始める。 それに伴ってピス ト ン 1 0 7上端面がパネ受け 1 0 5を介してパネ 1 0 6を圧縮させながら上 昇すると共に、 ピス ト ン 1 0 7よ り垂下して設けられた連結部 1 2 0を介して挟圧子 1 0 8が上昇する。 そしてついには挟圧子 1 0 8 上端面がシリ ンダ一本体 1 0 1の下端部に設けられた長円状スリ ッ ト 1 2 1 の上端面に到達しピス ト ン 1 0 7及び挟圧子 1 0 8の上昇 は止まり、 該ピンチパルプは全開状態となる （図 1 7， 1 8の状態 次に、 図 1 7， 1 8の全開状態において、 エアー口 1 1 6から第 1空間部 1 3 1へのエアー供給を止め、 大気開放すると、 パネ 1 0 6に当接しているパネ受け 1 0 5を介してビス トン 1 0 7がパネの 反発力によ り、 下降し始め、 それに伴ってピス ト ン 1 0 7より垂下 して設けられた連結部 1 2 0を介して挟圧子 1 0 8も下降する。 そ してついにはビス トン 1 0 7下端面がシリ ンダ一部 1 1 5底面に到 達しピス トン 1 0 7及び挟圧子 1 0 8の下降は止ま り、 該ピンチパ ルブは全閉状態となる （図 1 5， 1 6の状態） 。 この時、 挟圧子 1 0 8の回り防止のため挟圧子上端面はシリ ンダ一本体 1 0 1の長円 状スリ ッ ト 1 2 1内に位置するようになっている。
次に、 図 1 9に基づいて、 第 2の発明の中間開度の調整方法につ いて説明する。
図 1 6の状態、 即ち全閉状態において、 ハンドル 1 0 3を開方向 に回動させると、 接続棒 1 0 4を介してパネ受け 1 0 5下端面が上 昇する。 これに伴い、 管体 1 0 9内部を流れる流体の流体圧と、 管 体 1 0 9の弾性力により挟圧子 1 0 8が押し上げられ、 これに伴い ピス ト ン 1 0 7が上昇し、 管体 1 0 9は中間開度となる。 こ こで、 ハン ドル 1 0 3 と ともに上昇し、 シリ ンダ一本体 1 0 1の上端面か ら隔離していたロ ックナッ ト 1 1 0を下端面がシリ ンダ一本体 1 0 1上端面に接触するまで締めこむことによ り、 ハン ドル 1 0 3が口 ックされ、 中間開度が固定される （図 1 9の状態） 。 ロ ックナッ ト 1 1 0がハンドル 1 0 3の回動を防止している為、 パルプが閉状態 に戻ることはない。
一方、 中間開度調整状態でエアー口 1 1 6から第 1空間部 1 3 1 に圧縮空気を供給圧入すると、 該空気圧によ り、 ピス ト ン 1 0 7が 側周面をシリ ンダ一部 1 1 5内周に摺接させながら上昇し始める。 それに伴ってビス ト ン 1 0 7上端面がパネ受け 1 0 5を介してパネ 1 0 6を圧縮させながら上昇すると共に、 ビス ト ン 1 0 7よ り垂下 して設けられた連結部 1 2 0を介して挟圧子 1 0 8が上昇する。 そ してついには挟圧子 1 0 8上端面がシリ ンダ一本体 1 0 1の下端面 に設けられた長円状スリ ッ ト 1 2 1の上端面に到達しピス ト ン 1 0 7及び挟圧子 1 0 8の上昇は止ま り、 該ピンチバルブは全開状態と なる （図 2 0の状態） 。 当然のことながら、 パネ受け 1 0 5 と接続 している接続棒 1 0 4 も上昇し、 接続棒 1 0 4の鍔部 1 3 3は、 ハ ンドル 1 0 3の凹部 1 3 4の底面から離れていることは言うまでも ない。
次に、 図 2 0の全開状態において、 エアー口 1 1 6から第 1空間 部 1 3 1 へのエアー供給を止め、 大気開放すると、 パネ 1 0 6に当 接しているパネ受け 1 0 5を介してビス ト ン 1 0 7がパネの反発力 によ り下降し始め、 それに伴ってピス ト ン 1 0 7 より垂下して設け られた連結部 1 2 0を介して挟圧子 1 0 8 も下降する。 そしてつい には接続棒 1 0 4 の鍔部 1 3 3下面がハン ドル 1 0 3上部に設けら れた凹部 1 3 4底面に到達し、 ピス ト ン 1 0 7及び挟圧子 1 0 8 の 下降は止まり、 該ピンチパルプは中間開度調整状態となる （図 1 9 の状態） 。
以上説明したごとく、 本実施例のピンチパルプは、 流体の流れを 開閉するのみならず、 中間開度で流体を流すことができる。 従って 、 例えば半導体製造装置などの装置内閉ループ配管において背圧弁 として使用することができ、 当該配管内の最低圧力を保持すること ができる。 '
本発明は以上のよ うな構造をしており、 これを使用することによ り以下の優れた効果が得られる。
1 . 従来品に比較してピンチパルプの全高が低く、 非常にコ ンパ ク トであるため、 すなわち、 例えば矩形状のシリ ンダー本体の 1辺 を 3 5 mmまで、 全高を 9 3 mmまで短縮できるため配管スペースが少 なくてすむ。 その為、 複雑な配管設計がなされている半導体などの 製造装置内での配管が可能になり、 ひいては製造装置のコンパク ト 化も図れる。
2 . 従来品に比較して部品点数が少ない為、 組立て易く、 安価に 製造できる。
3 . 管体を押圧する挟圧子をかまぼこ形状にすることによ り従来 品に比較して、 管体の耐久性が向上し、 ひいてはピンチバルブの耐 用期間を飛躍的に延長することができる。
4 . 中間開度を調節することができるため、 微小な'流量に調節す ることができる。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 弾性体からなる管体と、 内部シリ ンダー部を有し上部に円盤 状のシリ ンダー蓋が接合されたシリ ンダ一本体と、 シリ ンダ一部内 周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され且つシリ ンダ一本体下面 中央に設けられた貫通孔を密封状態で貫通するように中央よ り垂下 して設けられた連結部を有するピス トンと、 ピス トンの連結部の下 端部に固定されシリ ンダ一本体の底面に流路軸線と直交して設けら れた長円状スリ ッ ト内に収納される挟圧子と、 シリ ンダー本体の下 端面に接合固定され、 流路軸線上に管体を受容する溝と溝の両端部 にさ らに連結体受けを受容する溝が管体を受容する溝より も深く設 けられた本体と、 一端に本体の溝と嵌合する嵌合部を有し他端内部 に連結体受け口を有しさ らに管体を受容する貫通孔を有する一対の 連結体受けと、 シリ ンダー本体周側面に設けられ、 シリ ンダー部底 面及び内周面と ピス ト ン下端面とで囲まれて形成された第 1 の空間 部と、 シリ ンダー蓋下端面とシリ ンダー部内周面と ピス ト ン上面と で囲まれた第 2の空間部とにそれぞれ連通される一対のエアー口を 具備することを特徴とするピンチパルプ。
2 . 連結体受けの嵌合部の先端に抜け防止用凸部が設けられ、 ま た本体の溝に抜け防止用凸部を受容する凹溝が設けられたことを特 徴とする請求項 1 に記載のピンチパルプ。
3 . 第 2 の空間部に、 シリ ンダー蓋とピス ト ンに接触させた状態 でパネを装着させたことを特徴とする請求項 1又は 2に記載のピン
4 . 第 1 の空間部に、 シリ ンダー部底面とピス ト ン下端面に接触 させた状態でパネを装着させたことを特徴とする請求項 1又は 2に 記載のピ
5 . 内面上部に開度調節用のネジ部を有するシリ ンダ一部とシリ ンダ一部下端部に連通するエアー口とを有するシリ ンダ一本体と、 下部にパネを受容する凹部を有し下部外周にシリ ンダ一本体の開度 調節用のネジ部に螺合されるネジ部を有する筒状のハン ドルと、 ハ ン ドル凹部上端面とでパネを挟持する円盤形状をしたパネ受けと、 ハンドル上部に係合されかつ下端面がパネ受けと接合されることに よ り パネをハン ドルとパネ受け間に挟持するよ うにした接続棒と、 ハン ドルのネジ部に螺合されハン ドルの位置を固定する口ックナツ ト と、 シリ ンダ一部内周面に上下動可能且つ密封状態で摺接され且 っシリ ンダ一本体下面中央に設けられた貫通孔を密封状態で貫通す るように中央よ り垂下して設けられた連結部を有するビス トンと、 ピス ト ンの連結部下端部に固定されシリ ンダ一本体の下端部に流路 軸線と直交して設けられた長円状スリ ッ ト内に収納される挟圧子と 、 シリ ンダ一本体の下端面に接合固定され流路軸線上に弾性体から なる管体を受容する溝を有する本体と、 本体の両側で管体と他チュ ーブとを接続する接続部、 とを具備するこ.とを特徴とするピンチバ ルブ。
6 . パネ受け及び接続棒の内部を貫通させたボルト、 ナッ トでハ ン ドル、 パネ受け、 接続棒及びパネを一体化したこ とを特徴とする 請求項 5に記載のピンチバルブ。
7 . 一端に外径が管体の内径より も大きく形成され管体に挿入接 続される挿入部と他端の配管接続部と中央の鍔部とを有する連結体 が、 キャップナッ トを鍔部と係合させ、 連結体受けの外周に設けら れた雄ネジ部に螺合させることによ り連結体受けに嵌合固定されて いることを特徴とする請求項 1又は 5に記載のピンチパルプ。
8 . 管体の材質が E P D M、 フッ素ゴム、 シリ コ ンゴム、 または これらの複合体であることを特徴とする請求項 1又は 5に記载のピ
9 . 管体がポリテ トラフルォロエチレンとシリ コ ンゴムとの複合 体からなることを特徴とする請求項 1又は 5に記載のピンチパルプ
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